[go: up one dir, main page]

JP2012052808A - 熱式流量測定装置 - Google Patents

熱式流量測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2012052808A
JP2012052808A JP2010193072A JP2010193072A JP2012052808A JP 2012052808 A JP2012052808 A JP 2012052808A JP 2010193072 A JP2010193072 A JP 2010193072A JP 2010193072 A JP2010193072 A JP 2010193072A JP 2012052808 A JP2012052808 A JP 2012052808A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
heating
heating resistor
resistor
pwm control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2010193072A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroaki Hoshika
浩昭 星加
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Astemo Ltd
Original Assignee
Hitachi Automotive Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Automotive Systems Ltd filed Critical Hitachi Automotive Systems Ltd
Priority to JP2010193072A priority Critical patent/JP2012052808A/ja
Publication of JP2012052808A publication Critical patent/JP2012052808A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

【課題】複数の発熱抵抗体をそれぞれPWM制御を行い、所定温度に制御する熱式流量測定装置において、温度検出時に1つでもPWM制御をしていると、ノイズの混入により精度の高い温度検出ができない。そこで本発明は、上記課題に鑑み、ノイズに影響されない高精度の温度検出ができるようにした熱式流量測定装置を提供するものである。
【解決手段】発熱抵抗体20,30の加熱電流103,109を制御するPWM制御を中断して、ともに中断している期間に、温度検出することにより、PWM制御によって発生するノイズの影響を排除し、温度検出の精度を向上させることができる。
【選択図】 図4

Description

本発明は、発熱抵抗体の温度を所定値に制御して、流体流量を測定する熱式流量測定装置に関する。
自動車などの内燃機関における吸入空気量や排気ガス流量を測定する流量測定装置として、発熱抵抗体を加熱する熱式のものが多数使われている。
流量の検出方法として、一つは被流体中に発熱抵抗体を配置して、発熱抵抗体を一定温度に加熱して、流れが生じた際に流れる電流変化を直接あるいは間接的に検出する方法がある。また、別の方式として、発熱抵抗体と測温抵抗体を配置し、発熱抵抗体と測温抵抗体の温度差を一定に保持するよう加熱して、流れが生じた際に流れる電流変化を直接あるいは間接的に検出する方法がある。
そして、発熱抵抗体に通電する加熱電流を制御する方法として直流電流を通電する制御方法と、パルス状の電流によるPWM(Pules Width Modulation)制御方法がある。現在は駆動素子の消費電力を低減できるPWM制御方法が多用されるようになってきた。
PWM制御における流量測定では、一動作周期内で駆動素子のオン期間とオフ期間の比、いわゆるデューティ比を可変しており、発熱抵抗体の熱が被流体の流れに応じて失われると、通電電流を大きくしてさらに加熱するためにデューティ比も増加する。
この関係から、デューティ比は被流体の流量に応じて変化するので、デューティ比を計測することにより流量を検出するものである。
ところで、PWM制御では、電圧を一定周期内でオン,オフして裁断したパルス電圧を発熱抵抗体に印加して加熱電流を通電するので、時間に対して電圧と電流の変化が急峻になりノイズ発生の要因となる。
そのため、発熱抵抗体に温度検出の測温電流を重畳させて通電すると、ノイズが混入して温度検出の精度が低下し、流量測定の誤差が大きくなる。
この対策として、発熱抵抗体の加熱電流を中断、すなわちPWM制御を中断して、その間に測温電流による温度検出をする技術が、特許文献1に開示されている。
一方、自動車などのエンジン吸気や排気システムに使用される従来の熱式流量測定装置において、2つの発熱抵抗体に挟持されるように測温抵抗体を配置し、2つの発熱抵抗体を所定温度に加熱し、測温抵抗体で温度検出する構成の熱式流量測定装置の技術が特許文献2に開示されている。
特開昭61−105422号公報では、感温抵抗器2,3とブリッジ抵抗器4,5の温度差のフィードバック制御において、PID補償要素10により温度差を補償するように感温抵抗器2,3のPWM制御と、温度検出時には計測制御回路11から感温抵抗器2,3の計測電流の通電をタイマー7によって切替えることに、正確な温度計測を行い、この温度から流量を測定している。
特開2008−032501号公報では、第1発熱抵抗体1の温度Tmainを一定温度に加熱制御すると共に、第1発熱抵抗体1と第2発熱抵抗体6に挟持された温度検出手段により、第2発熱抵抗体6を所定温度に加熱制御し、第1発熱抵抗体に接合される支持体4の温度が微粒状物質2を蒸発できるようにしている。
ところで、第1発熱抵抗体1と第2発熱抵抗体6の加熱制御は、共に電力損失を小さくするためにPWM制御による加熱電流を通電することが多用されている。
特開昭61−105422号公報 特開2008−032501号公報
特開昭61−105422号公報では、発熱すべき抵抗体が1つの場合であり、複数の抵抗体で構成したPWM制御による加熱電流の通電方法、および温度の検出方法については開示されていない。
一方、特開2008−032501号では、第1,第2発熱抵抗体の加熱電流の通電方法について具体的な技術は開示されていないが、共にPWM制御によって加熱電流を通電した時、一方のみの加熱電流を中断して温度検出をした場合、他方の発熱電流がPWM制御されて通電していると、温度検出回路にノイズが混入し正確な温度検出ができない問題がある。
そこで、本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところはノイズに影響されない高精度の温度検出ができるようにした熱式流量測定装置を提供するものである。
本発明の熱式流量測定装置は、第1の発熱抵抗体と第2の発熱抵抗体に流れる加熱電流がともに中断されている期間に発熱抵抗体の温度検出を行うようにした。
本発明の熱式流量測定装置は、PWM中断中に温度検出をするので、ノイズの影響を受けない高精度の温度検出ができる効果がある。
本発明の一実施例を示す熱式流量測定装置。 本発明の一実施例における温度制御図。 本発明の一実施例における制御回路構成図。 本発明の一実施例における制御フロー図。 本発明の一実施例における動作波形図。 本発明の他の実施例における動作波形図。
以下、本発明の実施例について図1乃至図6を参照して説明する。
(実施例1)
図1は熱式流量測定装置の構成図を示した図である。内燃機関の排気環境に適用するため、排気雰囲気内のガス流量の検出する流量センサでは、流量センサが排気ガス雰囲気にさらされ、内燃機関から排気された煤や灰分などの微粒子状物質に含まれる不揮発成分が、流量センサの汚損の対象となる。
汚損は、微粒子状物質の可溶性有機成分や炭化水素などの揮発成分の持つ粘着力に起因して発生し、この汚損が流量検出値の精度を低下させる。
このような汚損の回避には、揮発成分を蒸発させるため発熱抵抗体の温度を約350℃以上にすることが有効な方法である。
ところで、発熱抵抗体に接合される支持体は、発熱抵抗体の温度より低く、揮発成分の蒸発に時間がかかるため、完全に汚損を除去できず、堆積が進行すると流量検出値の精度を低下させることになる。
そこで、図1に示されるように、支持体50を約350℃以上に維持するため、第1の発熱抵抗体20と第2発熱抵抗体30の2つの発熱抵抗体に挟んで測温抵抗体40を配置し、2つの発熱抵抗体の加熱制御を行う構成としている。
そして、第1発熱抵抗体20と第2発熱抵抗体30に挟持された測温抵抗体40が流体10中に配置され、それぞれの発熱抵抗体に接合された導電性の支持体50が制御回路100に接続されている。
図2は各抵抗体の温度を制御した変化を示している。図2において、第1発熱抵抗体20の温度制御は、目標温度TH20sを設定し、加熱電流をPWM制御することにより温度TH20がTH20sに一定となるように制御する。
一方、第2発熱抵抗体30は、測温抵抗体40の温度TH40を検出して、第1発熱抵抗体20と第2発熱抵抗体30間の部分の温度が、第1発熱抵抗体20の温度TH20に近づくように加熱電流をPWM制御する。
定常状態の流量が高流量では加熱電流は大きく、低流量では加熱電流を小さくして、第1発熱抵抗体20の温度TH20の変化が生じないように制御される。
この結果、第1発熱抵抗体で必要となる発熱量と支持体への伝熱分を切り離すことができるので、支持体の汚損とは無関係に第1発熱抵抗体の温度変化は流量に応じた変化のみとして検出することが可能となる。
図3は、第1発熱抵抗体20と第2発熱抵抗体30の温度を制御する制御回路100の構成図である。
第1発熱抵抗体20には、加熱制御時は電源101からトランジスタ102でPWM制御された電圧を印加し、目標温度T20sになるように加熱電流103を通電し、温度検出時は、定電流回路104から測温電流105を通電する。
測温抵抗体40は温度検出時のみ、定電流回路106から測温電流107を通電する。
第2発熱抵抗体30には、加熱制御時は電源101からトランジスタ108でPWM制御された電圧を印加し、所定温度になるように加熱電流109を通電し、温度検出時は、定電流回路110から測温電流111を通電する。
測温電流105による発熱抵抗体20の電圧降下をA/D変換器112で取り込み、比較要素113に入力する。
比較要素113は、測温電流105による発熱抵抗体20の電圧降下と、発熱抵抗体20の目標温度TH20sを設定する目標温度TH20s設定要素114の偏差を出力して、発熱抵抗体20の温度が目標温度TH20sと等しくなるようにフィードバック制御される。
フィードバック制御系は、偏差を補償要素115により演算し、その結果をDuty変換要素116により、動作周期中のオン時間とオフ時間を設定してトランジスタ102のPWM動作を行うと同時に、Duty(オン時間/動作周期)が被流体の流量に応じて変化するので、Dutyを計測して流量変換要素により流量の測定をする。
一方、測温電流111による第2発熱抵抗体30の電圧降下は、A/D変換器117で取り込み監視要素118の入力として、第2発熱抵抗体30の温度が上限値を越えないように監視している。
比較要素120は、測温電流107による測温抵抗体40の電圧降下をA/D変換器119で取り込んで一方の入力、第1発熱抵抗体20のA/D変換器112の出力を他方の入力として偏差を出力し、第2発熱抵抗体30の温度TH30が所定値になるようにフィードバック制御される。
フィードバック制御系は、偏差を補償要素121により演算し、その結果をDuty変換要素122により、動作周期中のオン時間とオフ時間を設定してトランジスタ108のPWM動作を行う。
図3は、制御回路100の動作をブロック図で示して説明したが、実用的にはマイクロコンピュータを使用したデジタル回路で構成される。
図4はマイクロコンピュータで制御する場合の制御フローであり、図5に示す動作波形と共に説明する。
第1,第2発熱抵抗体20,30と測温抵抗体40に測温電流105,111,107を通電して温度検出し、補償演算によってDutyを算出する処理は、図5に示すように一定時間毎の測温周期THtimeの周期処理であり、時点t0から処理が開始される。
図5の時点t0において、ステップS10はトランジスタ102と108のPWM制御を中断するため、たとえば、マイクロコンピュータに内蔵されるPWMモジュールのDutyレジスタの値を0にセットすることで、Duty変換要素116と122の出力をローレベルにセットする。
図5の時点t0以前では、前回算出されたDuty値でPWM制御が行われ、第1発熱抵抗体20の温度TH20は、目標温度TH20sに、第2発熱抵抗体30は温度TH20に近づくように制御されている。
なお、PWM制御による温度制御では、PWM制御周期でトランジスタ102がオン,オフ動作すると、発熱抵抗体20の温度TH20の変化は、発熱抵抗体20固有の熱時定数により脈動が生ずるが、PWM制御周期を熱時定数より十分小さく設定することにより、脈動を小さくして、流量検出に影響されないようにしている。
前述のように、PWM制御されるトランジスタ102,108のオン,オフは、直流電圧を裁断するため、ノイズの発生要因となるので、第1,第2発熱抵抗体20,30と測温抵抗体40の温度検出、すなわち抵抗体の電圧降下の取り込みを安定して得るために、トランジスタ102と108の動作を同時に中断するようにしている。
ステップS11では、PWM制御の中断中に、定電流回路104と106と110から測温電流105と107と111を通電し、ステップS12で発熱抵抗体20と30と測温抵抗体40の電圧降下をA/D変換器112と117と119で取り込んでA/D変換を開始させ、ステップS13でA/D変換の終了を判定し、終了前はNO、終了後はYESが判定される。
終了前のNO判定では、ステップS13が繰返され、終了後はYES判定でステップS13に進む。
ステップS14では、電圧降下を温度変換して、第1,第2発熱抵抗体20と30と測温抵抗体40の温度TH20とTH30とTH40を算出して確定し、ステップS15で補償要素を演算するための温度偏差TH20s−TH20と温度偏差TH20−TH40を算出する。
ステップS16は、第1発熱抵抗体20の補償演算処理であり、温度偏差値TH20s−TH20から、たとえばPID補償の演算処理により得られた結果をステップS17でDuty変換してPWMモジュールのDutyレジスタに書き込むことにより、ステップS18においてトランジスタ102のPWM駆動が開始される。
ステップS19は、第2発熱抵抗体30の補償演算処理であり、温度偏差値TH20−TH40から、たとえばPID補償の演算処理により得られた結果をステップS20でDuty変換してPWMモジュールのDutyレジスタに書き込むことにより、ステップS21においてトランジスタ108のPWM駆動が開始される。
ステップS20が終了した時点で、測温周期THtimeの処理が終了する。
ステップS17とS20のDuty変換は、異なる2つのPWMモジュールであり、第1,第2発熱抵抗体20,30の温度脈動が流量測定に影響を与えないように設定されるが、同一でも異なった動作周期でも設定することもできる。
図4に示す制御フローが時系列で処理される場合は、図5に示す時点t0からt1までが、トランジスタ102と108のPWM制御を中断し、ステップS12のA/D変換処理が終了するまでの期間、時点t1からt2までが、ステップS17のDuty変換処理を終了して、トランジスタ102がPWMを開始するまでの期間、時点t2からt3までがステップS20のDuty変換処理を終了してトランジスタ108がPWMを開始するまでの期間、時点t0からt4までが測温周期THtimeの期間である。
第1発熱抵抗体20の温度制御の補償演算結果によるDuty値は時点t2からt4まで、第2発熱抵抗体30の温度制御の補償演算結果によるDuty値は時点t3からt4まで出力されて、温度TH20がTH20sに温度TH30がTH30sに制御される。
本発明の一実施例によれば、第1発熱抵抗体20を加熱制御するトランジスタ102と第2発熱抵抗体30を加熱制御するトランジスタ108のPWM動作を同時に中断し、測温電流105,107,111を通電してそれぞれの抵抗体の電圧降下をA/D変換器112,117,119で取り込むので、ノイズの混入を防止し、制度の高い温度検出ができる効果がある。
実施例1において、図5は第1発熱抵抗体20と第2発熱抵抗体30の温度制御がそれぞれ独立に時系列で処理されるので、PWM制御の開始の時点が異なっている。
しかし、2つの処理を混在させて補償演算を行い、直列に補償演算をさせる制御にすると、トランジスタ102と108は、ほぼ同時にPWM制御を開始させることもでき、効果は同等のものが得られる。
さらに、図5では、トランジスタ102と108のPWM動作周期を同一として示しているが、これに限定されなくてもよい。
2つのトランジスタのオン、あるいはオフを、同一時点にすると電源回路101からの時間に対する電流変化が大きくなりノイズ発生の要因となり、内燃機関の制御装置全体に影響が及ぶ場合や、第1発熱抵抗体20、または第2発熱抵抗体30の固有の熱時定数が大きい場合には、動作周期を低くしてトランジスタのスイッチングロスを低減する場合などに、PWM動作周期を意図的にずらしても、効果は同等である。
さらに、測温周期THtimeは常に一定周期として説明したが、第1,第2発熱抵抗体20,30が所定の温度に制御できる周期であれば一定周期である必要はない。
すなわち、エンジン制御における燃料制御や点火制御などは、エンジン回転数や負荷に応じて制御周期が異なるので、その制御周期に応じて流量値が必要となる。
測温周期THtimeは流量算出周期とほぼ同じ周期であるので、エンジン制御周期に応じて測温周期THtimeを可変して流量算出をすることにより、その時点のエンジンの動作状態に最適な流量を算出することができる。
(実施例2)
次に、本発明の他の実施例について図6を用いて説明する。本実施例において、先の実施例1で説明した構成と同様の部分は同じ符号を付し、説明は省略する。
実施例1では、測温周期THtimeの1つの周期内で、2つのトランジスタ102,108のPWM制御を同時に中断して温度検出後、第1発熱抵抗体20と第2発熱抵抗体30のDuty値を算出するようにしているが、補償演算に要する時間が長くなると、どちらか一方加熱電流の中断時間が長くなり、その抵抗体の温度低下が大きくなる。
この低下した温度から設定値までの温度差が大きくなると、発熱体の熱応力が大きくなり、これの繰返しにより信頼性が損なわれる原因になることがある。
実施例2は、加熱電流の中断時間での温度低下を小さくするよう制御するものであり、図6の動作波形により説明する。
最初の測温周期THtime(期間t00〜t10)の最初の時点t00でトランジスタ102と108を同時に中断して、測温電流105を通電し、期間t00〜t01で第1発熱抵抗体20の電圧降下をA/D変換器112で取り込んで補償要素115の演算処理を実行して、その結果のDuty値により、トランジスタ102のPWM制御を行う。
期間t01〜t02が演算処理時間であり、時点t02からトランジスタ102のPWM制御が開始され、加熱電流103を通電する。
第2発熱抵抗体は、期間t00〜t01で加熱電流109を中断し、時点t01から1周期前の測温周期THtimeで演算されたDuty値により、トランジスタ108のPWM制御が開始され、加熱電流109を通電する。
最初の測温周期THtime(期間t00〜t10)が経過すると、時点t10でトランジスタ102と108を同時に中断して、測温電流107と111を通電し、期間t10〜t11で第2発熱抵抗体30と測温抵抗体40の電圧降下をA/D変換器119と117で取り込んで補償要素121の演算処理を実行して、その結果のDuty値により、トランジスタ108のPWM制御を行う。
期間t11〜t12が演算処理時間であり、時点t12からトランジスタ108のPWM制御が開始され、加熱電流109を通電する。
第1発熱抵抗体は、期間t10〜t11で加熱電流103を中断し、時点t11から1周期前の測温周期THtimeで演算されたDuty値により、トランジスタ102のPWM制御が開始され、加熱電流103を通電する。
実施例2では、実施例1の効果以外に、測温周期THtimeの補償要素の演算が1回だけ実行されるので、第1,第2発熱抵抗体20,30の温度TH20とTH30の温度低下が小さくできるので、温度脈動が低減でき熱応力が低減できる効果がある。
本発明の熱式流量検出装置は、実施例1,実施例2示す発熱抵抗体が2つで、それぞれの加熱電流をPWM制御する構成に限られるものではなく、2つ以上の発熱抵抗体の加熱電流をPWM制御する構成においても作用,効果は同等である。
また、実施例1,実施例2は温度検出時に同一時点でPWM制御を中断し、この期間で発熱抵抗体の電圧降下を取り込むようにしたが、同一時点でPWM制御が中断されなくても、中断時間が重なり、PWM制御をしない範囲が存在する期間内で、発熱抵抗体の電圧降下を取り込むようにすることもできる。
10 流体
20 第1発熱抵抗体
30 第2発熱抵抗体
40 測温抵抗体
100 制御回路
101 電源回路
102,108 トランジスタ
103,109 加熱電流
104,106,110 定電流回路
105,107,111 測温電流
112,117,119 A/D変換器
113,120 比較要素
114 目標温度設定要素
115,121 補償要素
116,122 Duty変換要素
TH20 第1発熱抵抗体の温度
TH20s 第1発熱抵抗体の目標温度
TH30 第2発熱抵抗体の温度
TH40 測温抵抗体の温度
THtime 測温周期

Claims (4)

  1. 抵抗体の温度を制御するための制御回路部と、被測定流体の流れに配置され前記制御回路部に電気的に接続された第一の発熱抵抗体と第二の発熱抵抗体と測温抵抗体と、を有し、前記測温抵抗体は前記第一の発熱抵抗体と前記第二の発熱抵抗体との間に設けられ、前記第一および第二の発熱抵抗体には前記制御回路部で制御される加熱電流が通電され、さらに、前記第一の発熱抵抗体および前記第二の発熱抵抗体にはそれぞれの抵抗体の温度検出のための前記制御回路部で制御される測温電流が通電される熱式流量測定装置において、
    前記第一および第二の発熱抵抗体に通電される前記加熱電流は、それぞれ、前記第一および第二の発熱抵抗体が所定の温度となるようにPWM制御により電流制御が行われており、
    前記温度検出は、前記第一および第二の発熱抵抗体における前記加熱電流の前記PWM制御がともに中断した期間に行うことを特徴とする熱式流量測定装置。
  2. 請求項1に記載の熱式流量測定装置において、
    前記PWM制御は、前記第一および第二の発熱抵抗体における前記加熱電流の前記PWM制御が同時に中断し、
    前記温度検出は、前記PWM制御が同時に中断した期間に行うことを特徴とする熱式流量測定装置。
  3. 請求項1または2に記載の熱式流量測定装置において、
    前記温度検出は、所定の時間周期で繰返されることを特徴とする熱式流量測定装置。
  4. 請求項1または2に記載の熱式流量測定装置において、
    前記温度検出は、前記所定の時間周期毎に前記第一あるいは第二の発熱抵抗体の単一の温度を順次検出することを特徴とする熱式流量測定装置。
JP2010193072A 2010-08-31 2010-08-31 熱式流量測定装置 Withdrawn JP2012052808A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010193072A JP2012052808A (ja) 2010-08-31 2010-08-31 熱式流量測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010193072A JP2012052808A (ja) 2010-08-31 2010-08-31 熱式流量測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012052808A true JP2012052808A (ja) 2012-03-15

Family

ID=45906309

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010193072A Withdrawn JP2012052808A (ja) 2010-08-31 2010-08-31 熱式流量測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012052808A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018047836A1 (ja) * 2016-09-08 2018-03-15 株式会社村田製作所 風速測定装置および風量測定装置
WO2018047385A1 (ja) * 2016-09-08 2018-03-15 株式会社村田製作所 風速測定装置および風量測定装置
WO2019031329A1 (ja) * 2017-08-05 2019-02-14 株式会社村田製作所 風速測定装置および風量測定装置
KR102005270B1 (ko) 2019-01-22 2019-07-31 에스디아이테크 주식회사 차량용 사이드 미러의 전동식 폴딩 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010107328A (ja) * 2008-10-30 2010-05-13 Hitachi Automotive Systems Ltd 熱式流量測定装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010107328A (ja) * 2008-10-30 2010-05-13 Hitachi Automotive Systems Ltd 熱式流量測定装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018047836A1 (ja) * 2016-09-08 2018-03-15 株式会社村田製作所 風速測定装置および風量測定装置
WO2018047385A1 (ja) * 2016-09-08 2018-03-15 株式会社村田製作所 風速測定装置および風量測定装置
US10823750B2 (en) 2016-09-08 2020-11-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wind speed measuring device and airflow measuring device
WO2019031329A1 (ja) * 2017-08-05 2019-02-14 株式会社村田製作所 風速測定装置および風量測定装置
US11243223B2 (en) 2017-08-05 2022-02-08 Murata Manufacturing Co., Ltd. Airflow velocity measuring apparatus and airflow rate measuring apparatus
KR102005270B1 (ko) 2019-01-22 2019-07-31 에스디아이테크 주식회사 차량용 사이드 미러의 전동식 폴딩 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9234805B2 (en) Temperature compensation for particulate matter sensor regeneration
CN106053546A (zh) 测量和控制半导体气体传感器中的加热温度的布置和方法
JP2012052808A (ja) 熱式流量測定装置
CN107632054B (zh) 空燃比传感器的控制器和异常检测方法
JP5276949B2 (ja) 熱式流量測定装置
JP6276172B2 (ja) 負荷駆動装置
US9541523B2 (en) Sensor control apparatus and gas detection system
JP5111180B2 (ja) 熱式流量計
US9769877B2 (en) Heater control apparatus for gas sensor
WO2014132804A1 (ja) ラムダセンサ予熱制御方法及びラムダセンサ駆動制御装置
JP5001020B2 (ja) 熱式ガス質量流量計
JP2006138688A (ja) 流体流量計及びそれを用いたエンジン制御システム
JP2006126053A (ja) 故障検出装置
JP6459788B2 (ja) センサの印加電圧制御装置
EP2869061A1 (en) Particulate matter sensor regeneration
JP2009031014A (ja) 熱式ガス質量流量計
JP2008304383A (ja) ガス濃度検出装置
US20160084812A1 (en) Control apparatus
JPH1096703A (ja) 抵抗体による熱伝導パラメータセンシング方法及びセンサ回路
US11215531B2 (en) Oxygen sensor control device with detection switching based on impedance state
JP5178264B2 (ja) 熱式流量計
JPH0740008B2 (ja) 温度制御装置
JP7125258B2 (ja) 酸素濃度検出器の劣化判定装置
JP6345215B2 (ja) ガス濃度センサのヒータ制御装置
JP6587906B2 (ja) 空燃比センサの異常検出装置、空燃比センサの制御装置および異常検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20120518

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120622

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120622

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130828

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130910

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20130926