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JP2011238739A - Solid electrolytic capacitor and its manufacturing method - Google Patents

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JP2011238739A
JP2011238739A JP2010108172A JP2010108172A JP2011238739A JP 2011238739 A JP2011238739 A JP 2011238739A JP 2010108172 A JP2010108172 A JP 2010108172A JP 2010108172 A JP2010108172 A JP 2010108172A JP 2011238739 A JP2011238739 A JP 2011238739A
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electrolytic capacitor
solid electrolytic
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carbon
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JP2010108172A
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Tomoyuki Tani
智之 谷
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solid electrolytic capacitor capable of suppressing heat degradation in a semiconductor layer consisting of electroconductive polymer as well as suppressing an increase in leak current with low ESR thereby achieving high reliability and low cost, and the manufacturing method thereof.SOLUTION: This solid electrolytic capacitor forms; a dielectric layer on the surface of a positive electrode comprising valve action metal; and a semiconductor layer made of electroconductive polymer on the dielectric layer. After forming a carbon layer on the semiconductor layer, humidifying treatment is applied to the carbon layer under the environment with a relative humidity of 65% to 95% thereby forming a metal paste layer on the carbon layer.

Description

本発明は、固体電解コンデンサ及びその製造方法、より詳細には、カーボン層を具有する固体電解コンデンサ及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a solid electrolytic capacitor and a manufacturing method thereof, and more particularly to a solid electrolytic capacitor having a carbon layer and a manufacturing method thereof.

従来、固体電解コンデンサ1は、図1(B)に示すように、アルミニウム、タンタル、ニオブ、チタン等の弁作用金属からなる陽極素子2と、陽極素子2の表面を酸化して形成された誘電体層3と、誘電体層3上に形成された半導体層5と、半導体層5の表面に形成されたカーボン層6と、カーボン層6上に形成された金属ペースト層7と、を具備する。図1(A)に示すとおり、金属ペースト層7に陰極端子8が、陽極素子2に接続されたリード線12に陽極端子14が接続されている。   Conventionally, as shown in FIG. 1B, a solid electrolytic capacitor 1 includes an anode element 2 made of a valve metal such as aluminum, tantalum, niobium, and titanium, and a dielectric formed by oxidizing the surface of the anode element 2. A body layer 3, a semiconductor layer 5 formed on the dielectric layer 3, a carbon layer 6 formed on the surface of the semiconductor layer 5, and a metal paste layer 7 formed on the carbon layer 6. . As shown in FIG. 1A, the cathode terminal 8 is connected to the metal paste layer 7, and the anode terminal 14 is connected to the lead wire 12 connected to the anode element 2.

しかしながら、半導体層5は撥水性が強く、水を溶媒とするカーボンペーストを用いようとした場合は、カーボン層6の未塗布部が生じやすくなる。その結果、半導体層5とカーボン層6との間の界面抵抗が大きくなり、等価直列抵抗(以後ESRと示すことがある)の上昇を招き、また、そのばらつきも大きくなるという課題があった。   However, the semiconductor layer 5 has high water repellency, and when a carbon paste using water as a solvent is used, an uncoated portion of the carbon layer 6 is likely to occur. As a result, there has been a problem that the interface resistance between the semiconductor layer 5 and the carbon layer 6 is increased, resulting in an increase in equivalent series resistance (hereinafter sometimes referred to as ESR), and a large variation.

特許文献1では、二酸化マンガンを半導体層とする固体電解コンデンサにおいて、カーボンペースト塗布後に285℃以上の熱を加えることにより、グラファイトカーボンを包み込んでいる樹脂の一部分が熱分解され、ESRの低減が図れることが記載されている。しかし、導電性高分子を半導体層とする固体電解コンデンサに対し、285℃以上の熱を加えると、導電性高分子の熱劣化が起こり、それにより漏れ電流(以後L.C.と示すことがある)の上昇を招くという問題があった。   In Patent Document 1, in a solid electrolytic capacitor using manganese dioxide as a semiconductor layer, by applying heat of 285 ° C. or higher after applying the carbon paste, a part of the resin surrounding the graphite carbon is thermally decomposed, and ESR can be reduced. It is described. However, when heat of 285 ° C. or higher is applied to a solid electrolytic capacitor having a conductive polymer as a semiconductor layer, thermal deterioration of the conductive polymer occurs, thereby causing leakage current (hereinafter referred to as LC). There was a problem of inviting a rise.

また、特許文献2では、カーボンペーストに界面活性剤を含有させることにより、半導体層に対するカーボン層の湿潤性が高まり、半導体層とカーボン層の接触抵抗の低減がはかれることが記載されている。しかし、界面活性剤の含有によりカーボン層自体の抵抗値が上昇するという問題があった。また、界面活性剤中に含まれる、ナトリウムイオンがカーボン層上に形成された銀ペースト層表面においてマイクロセルを形成し、L.C.が増大し、さらには、界面活性剤を付加的に添加していることからコストが嵩むという問題があった。   Patent Document 2 describes that the inclusion of a surfactant in the carbon paste increases the wettability of the carbon layer with respect to the semiconductor layer, thereby reducing the contact resistance between the semiconductor layer and the carbon layer. However, there is a problem that the resistance value of the carbon layer itself increases due to the inclusion of the surfactant. In addition, microcells are formed on the surface of the silver paste layer in which sodium ions are formed on the carbon layer and contained in the surfactant. C. In addition, there is a problem that the cost increases because a surfactant is additionally added.

特開平6−124857号公報JP-A-6-124857 特開平3−159222号公報JP-A-3-159222

したがって、本発明の課題は、導電性高分子からなる半導体層の熱劣化を抑制できるとともに、ESRが低く、L.C.の増大を抑制した信頼性の高い低コストの固体電解コンデンサ及びその製造方法を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to suppress thermal deterioration of a semiconductor layer made of a conductive polymer and to have low ESR. C. An object of the present invention is to provide a highly reliable and low-cost solid electrolytic capacitor that suppresses the increase in the number and a manufacturing method thereof.

本発明者は、鋭意研究を重ねた結果、半導体層となる導電性高分子層上にカーボン層を形成した後に加湿処理をすることにより、カーボン粒子の再配列と樹脂の再溶解が起こり、半導体層とカーボン層との間の結着性の向上と均一化が起こっていると推定し、これにより、界面抵抗を低減し、ESR特性を低減できることを見出した。   As a result of extensive research, the inventor conducted a humidification process after forming a carbon layer on a conductive polymer layer to be a semiconductor layer, thereby causing rearrangement of carbon particles and re-dissolution of the resin. It was estimated that the binding property between the carbon layer and the carbon layer was improved and made uniform, and it was found that the interface resistance can be reduced and the ESR characteristic can be reduced.

本発明は、上記知見に基づいてなされたものであり、本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法は、弁作用金属からなる陽極の表面に誘電体層を形成する工程と、誘電体層上に導電性高分子からなる半導体層を形成する工程と、半導体層上にカーボン層を形成する工程と、カーボン層に加湿処理を施す工程と、カーボン層に金属ペースト層を形成する工程と、を有することを特徴とする。   The present invention has been made based on the above knowledge, and a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to the present invention includes a step of forming a dielectric layer on the surface of an anode made of a valve metal, A step of forming a semiconductor layer made of a conductive polymer, a step of forming a carbon layer on the semiconductor layer, a step of humidifying the carbon layer, and a step of forming a metal paste layer on the carbon layer. It is characterized by that.

本発明によれば、導電性高分子からなる半導体層の熱劣化を抑制できるとともに、ESRが低く、L.C.の増大を抑制した信頼性の高い低コストの固体電解コンデンサ及びその製造方法を提供することができる。   According to the present invention, thermal degradation of a semiconductor layer made of a conductive polymer can be suppressed, and ESR is low. C. It is possible to provide a highly reliable and low-cost solid electrolytic capacitor that suppresses the increase in the resistance and a method for manufacturing the same.

(A)は、一般的な固体電解コンデンサの概略斜視図であり、図1(B)は、その部分断面図である。FIG. 1A is a schematic perspective view of a general solid electrolytic capacitor, and FIG. 1B is a partial cross-sectional view thereof. (I)は、本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法におけるソケット挿入工程を示す概略図であり、(II)は、化成工程を示す概略図であり、(III)は、酸化剤含浸工程を示す概略図である。(I) is the schematic which shows the socket insertion process in the manufacturing method of the solid electrolytic capacitor which concerns on this invention, (II) is the schematic which shows a chemical conversion process, (III) is an oxidizing agent impregnation process. FIG. (IV)は、本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法における半導体層形成工程を示す概略図であり、(V)は、再化成工程を示す概略図であり、(VI)は、カーボン層形成工程を示す概略図である。(IV) is the schematic which shows the semiconductor layer formation process in the manufacturing method of the solid electrolytic capacitor which concerns on this invention, (V) is the schematic which shows the re-forming process, (VI) is carbon layer formation It is the schematic which shows a process. (VII)は、本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法における金属ペースト層形成工程を示す概略図であり、(VIII)は、素子取外し工程を示す概略図である。(VII) is the schematic which shows the metal paste layer formation process in the manufacturing method of the solid electrolytic capacitor which concerns on this invention, (VIII) is the schematic which shows an element removal process. (IX)は、本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法におけるスタッキング工程を示す概略図であり、(X)は、封止工程を示す概略図であり、(XI)は、リードフォーム工程を示す概略図である。(IX) is a schematic view showing a stacking step in the method for producing a solid electrolytic capacitor according to the present invention, (X) is a schematic view showing a sealing step, and (XI) shows a lead form step. FIG.

以下、図面を参照しながら、本発明に係る固体電解コンデンサ及びその製造方法に関して詳細に説明する。以下に示す実施の形態は、本発明を例示するものであって、限定するものではない。なお、各図において、共通する部材、構成要素については同一の符号を付し重複した説明を省略する。   Hereinafter, a solid electrolytic capacitor and a method for manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following embodiments are illustrative of the present invention and are not limiting. In addition, in each figure, about the common member and component, the same code | symbol is attached | subjected and the overlapping description is abbreviate | omitted.

以下、本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法に関して詳細に説明する。   Hereinafter, the manufacturing method of the solid electrolytic capacitor according to the present invention will be described in detail.

1.ソケット挿入工程
図2の(I)に示すように、リード線12付き陽極素子2をソケット11に挿入する。リード線12の周りには例えばテフロンリング13を装着し、後続の半導体層形成工程でのリード線12への半導体層形成を防止する。
1. Socket Insertion Step As shown in FIG. 2 (I), the anode element 2 with the lead wire 12 is inserted into the socket 11. For example, a Teflon ring 13 is attached around the lead wire 12 to prevent the semiconductor layer from being formed on the lead wire 12 in the subsequent semiconductor layer forming step.

2.化成工程
図2の(II)に示すように、不図示の化成用給電端子を陽極に、化成溶液30中に設けた不図示の外部電極を陰極にし、陽極素子2と外部電極間に所定の電圧を印加して誘電体層3を形成する。
2. As shown in FIG. 2 (II), a chemical feed terminal (not shown) is used as an anode, an external electrode (not shown) provided in the chemical solution 30 is used as a cathode, and a predetermined amount is provided between the anode element 2 and the external electrode. A dielectric layer 3 is formed by applying a voltage.

3.酸化剤含浸工程
図2の(III)に示すように、誘電体層3が形成された陽極素子2を酸化剤含浸液31に浸漬し後段の半導体層形成初期に重合開始点となる酸化剤4を誘電体層3表面に付着させる。酸化剤4としては、例えば、アリールスルホン酸またはその塩、アルキルスルホン酸またはその塩、各種高分子スルホン酸またはその塩等の公知の酸化剤を用いることができる。
3. Oxidant impregnation step As shown in FIG. 2 (III), the anode element 2 on which the dielectric layer 3 is formed is immersed in an oxidant impregnating solution 31, and an oxidant 4 that becomes a polymerization starting point at the initial stage of the subsequent semiconductor layer formation. Is attached to the surface of the dielectric layer 3. As the oxidizing agent 4, for example, known oxidizing agents such as arylsulfonic acid or a salt thereof, alkylsulfonic acid or a salt thereof, various polymer sulfonic acids or a salt thereof can be used.

4.半導体層形成工程
図3の(IV)に示すように、酸化剤4が付着した陽極素子2を半導体層5の前駆物質である半導体層形成溶液32に浸漬し、化学重合により、誘電体層3表面に導電性高分子からなる半導体層5を形成する。なお、図2の(III)の酸化剤含浸工程で形成された酸化剤4は、半導体層形成工程において、半導体層5に取り込まれる。
4). Semiconductor Layer Forming Step As shown in FIG. 3 (IV), the anode element 2 to which the oxidant 4 is adhered is immersed in a semiconductor layer forming solution 32 that is a precursor of the semiconductor layer 5 and is subjected to chemical polymerization to form the dielectric layer 3. A semiconductor layer 5 made of a conductive polymer is formed on the surface. Note that the oxidant 4 formed in the oxidant impregnation step (III) of FIG. 2 is taken into the semiconductor layer 5 in the semiconductor layer formation step.

5.再化成工程
図3の(V)に示すように、重合時に劣化した誘電体層3を修復するために、半導体層5が形成された陽極素子2を再化成溶液33に浸漬し、所定の電圧印加により再化成する。
5). Reformation Step As shown in FIG. 3 (V), in order to repair the dielectric layer 3 deteriorated during polymerization, the anode element 2 on which the semiconductor layer 5 is formed is immersed in the reconstitution solution 33, and a predetermined voltage is applied. Reforming by application.

6.カーボン層形成工程
図3の(VI)に示すように、半導体層5が形成された陽極素子2を、カーボンペースト34に浸漬し、引き上げ後、乾燥硬化させて半導体層5上にカーボン層6を形成する。なお、カーボンペースト34は、水を溶媒とし、カーボンブラック等のカーボン粒子と樹脂が含まれている。また、カーボン層6の形成は、通常採用される公知のペースト層の形成方法、例えば、ディップ法、スプレー法、ローラー法、スクリーン印刷法等により行えばよい。
6). Carbon Layer Forming Step As shown in FIG. 3 (VI), the anode element 2 on which the semiconductor layer 5 is formed is immersed in the carbon paste 34, pulled up, dried and cured, and the carbon layer 6 is formed on the semiconductor layer 5. Form. The carbon paste 34 uses water as a solvent and contains carbon particles such as carbon black and a resin. The carbon layer 6 may be formed by a known paste layer forming method that is usually employed, for example, a dipping method, a spray method, a roller method, a screen printing method, or the like.

7.加湿処理工程
半導体層5上に形成されたカーボン層6を加湿処理に供する。加湿処理は、好ましくは相対湿度65%〜95%、より好ましくは85%〜95%の環境下で行う。これにより、界面抵抗を低減し、ESRを低減できる。また、加湿処理は、65℃〜95℃の温度範囲で、2時間〜48時間行うことが好ましい。これにより、カーボン粒子の再配列と樹脂の再溶解が十分に進行し、ESRを低減しバラツキを抑制できると考えられる。加湿処理は、カーボン層6の形成後であればいつ行ってもよいが、金属ペースト層7の形成前に行うことが特に好ましい。これにより、ESRのばらつきをより小さくできることに加え、効率よく短時間で効果を得ることができる。
7). Humidification treatment step The carbon layer 6 formed on the semiconductor layer 5 is subjected to a humidification treatment. The humidification treatment is preferably performed in an environment with a relative humidity of 65% to 95%, more preferably 85% to 95%. Thereby, interface resistance can be reduced and ESR can be reduced. Further, the humidification treatment is preferably performed in a temperature range of 65 ° C. to 95 ° C. for 2 hours to 48 hours. Thereby, the rearrangement of the carbon particles and the re-dissolution of the resin proceed sufficiently to reduce the ESR and suppress the variation. The humidification treatment may be performed any time after the formation of the carbon layer 6, but it is particularly preferable to perform the humidification treatment before the formation of the metal paste layer 7. Thereby, in addition to being able to reduce the variation of ESR, an effect can be obtained efficiently and in a short time.

8.金属ペースト層形成工程
図4の(VII)に示すように、カーボン層6が形成された素子を、金属ペースト35に浸漬し、引き上げ後、乾燥硬化させてカーボン層6上に金属ペースト層7を形成する。
8). Metal Paste Layer Formation Step As shown in FIG. 4 (VII), the element on which the carbon layer 6 is formed is immersed in the metal paste 35, pulled up, dried and cured, and the metal paste layer 7 is formed on the carbon layer 6. Form.

9.素子取り外し工程
図4の(VIII)に示すように、金属ペースト層形成後の素子22をソケットから取り外す。取り外された素子22は、リード線12の外周にテフロンリング13が装着されている。
9. Element Removal Step As shown in FIG. 4 (VIII), the element 22 after the metal paste layer is formed is removed from the socket. The removed element 22 has a Teflon ring 13 attached to the outer periphery of the lead wire 12.

10.スタッキング工程(リードフレーム取り付け工程)
図5の(IX)に示すように、同方向に整列させた2つの素子22をリードフレーム20の一端側に例えば接着銀21を介して取付ける。そして、2つの素子22からそれぞれ延びるリード線12をもう一方のリードフレーム23に取り付ける。
10. Stacking process (lead frame mounting process)
As shown in (IX) of FIG. 5, two elements 22 aligned in the same direction are attached to one end side of the lead frame 20 via, for example, adhesive silver 21. Then, the lead wires 12 extending from the two elements 22 are attached to the other lead frame 23.

11.真空乾燥工程
スタッキング工程後、真空雰囲気下で乾燥を行い接着銀21を完全に熱硬化させる。
11. Vacuum drying step After the stacking step, drying is performed in a vacuum atmosphere, and the adhesive silver 21 is completely thermoset.

12.封止工程
図5の(X)に示すように、リードフレーム20、23に取り付けられた素子22を金型に装填し、封止樹脂を金型内に注入し硬化させ、外装樹脂24を形成する。
12 Sealing Step As shown in FIG. 5 (X), the element 22 attached to the lead frames 20 and 23 is loaded into a mold, and the sealing resin is injected into the mold and cured to form an exterior resin 24. To do.

13.ブラスト工程
外装樹脂24のバリをショットブラストにより除去する。
13. Blasting process The burr | flash of the exterior resin 24 is removed by shot blasting.

14.キュア工程
外装樹脂24を十分に硬化させるために加熱する。
14 Cure process Heating is performed to sufficiently cure the exterior resin 24.

15.誘電体修復工程
加湿により素子に水分を含ませた後、加熱条件下で電流を流してエージングする。
15. Dielectric Repair Process After moisture is added to the element by humidification, aging is performed by passing a current under heating conditions.

16.リードフォーム工程
図5の(XI)に示すように、リードフレーム20、23を切断し、外装樹脂24に沿って折り曲げてチップ化する。
16. Lead Form Process As shown in FIG. 5 (XI), the lead frames 20 and 23 are cut and bent along the exterior resin 24 to form chips.

以下、実施例を用いて本発明を説明するが、以下の例は本発明を説明するためのものであり、本発明を限定するものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated using an Example, the following examples are for describing this invention, and do not limit this invention.

陽極素子にタンタルを使用し、リン酸水溶液中で陽極酸化によりタンタル表面に誘電体層を形成した。その後、パラトルエンスルホン酸鉄水溶液に浸漬し、更にエチレンジオキシチオフェン/エタノール溶液に浸漬することで化学重合させ、半導体層となるポリエチレンジオキシチオフェン層を形成した。この素子をカーボンペーストに浸漬、乾燥させてカーボン層を形成後、銀ペーストに浸漬、乾燥させ銀層を形成し、さらに樹脂封止を行って固体電解コンデンサを作製した。   Tantalum was used for the anode element, and a dielectric layer was formed on the tantalum surface by anodic oxidation in a phosphoric acid aqueous solution. Then, it was immersed in an aqueous solution of iron paratoluenesulfonate and further immersed in an ethylenedioxythiophene / ethanol solution for chemical polymerization to form a polyethylenedioxythiophene layer serving as a semiconductor layer. This element was immersed in a carbon paste and dried to form a carbon layer, and then immersed in a silver paste and dried to form a silver layer, followed by resin sealing to produce a solid electrolytic capacitor.

実施例1においては、温度85℃、相対湿度85%RHの環境下で10時間の加湿処理を、カーボン層形成後かつ銀層形成前(サンプル1)または銀層形成後かつ樹脂封止前(サンプル2)または樹脂封止後(サンプル3)に行った場合と加湿処理を行わなかった場合(従来例)のESRの比較を行った。ESRの測定値と標準偏差を表1に示す。   In Example 1, a humidification treatment for 10 hours in an environment of a temperature of 85 ° C. and a relative humidity of 85% RH is performed after carbon layer formation and before silver layer formation (sample 1) or after silver layer formation and before resin sealing ( Comparison of ESR was performed between sample 2) or after resin sealing (sample 3) and when no humidification was performed (conventional example). Table 1 shows the measured values and standard deviation of ESR.

加湿処理を行わなかった場合と比較して、カーボン層の形成後に加湿処理を加えることにより、ESR値が低減し、その特性バラツキも改善した。   Compared with the case where the humidification treatment was not performed, by adding the humidification treatment after the formation of the carbon layer, the ESR value was reduced and the characteristic variation was also improved.

カーボン層形成後であれば効果は得られるが、好ましくはカーボン層形成後かつ銀層形成前に加湿処理を実施した場合、ESRおよびバラツキの低減が特に顕著であった。   The effect can be obtained after the formation of the carbon layer, but when the humidification treatment is carried out preferably after the formation of the carbon layer and before the formation of the silver layer, the reduction of ESR and variation was particularly remarkable.

カーボン層形成後かつ銀層形成前に加湿処理を行う際の温度、相対湿度、時間を変更して処理を行った。サンプル1、4、8は、温度、相対湿度を変更したものであり、相対湿度が高い程ESRの低減、安定化を図ることができた。サンプル4が最も効果が大きかった。   After the carbon layer was formed and before the silver layer was formed, the temperature, relative humidity, and time when the humidification treatment was performed were changed. Samples 1, 4, and 8 were obtained by changing the temperature and the relative humidity. As the relative humidity was higher, the ESR could be reduced and stabilized. Sample 4 was the most effective.

サンプル1、5、6、7は、加湿時間を変更したものであり、加湿時間が長い程ESRの低減、安定化を図ることができた。   Samples 1, 5, 6, and 7 were obtained by changing the humidification time. As the humidification time was longer, ESR could be reduced and stabilized.

Figure 2011238739
Figure 2011238739

Figure 2011238739
Figure 2011238739

1 固体電解コンデンサ
2 陽極(陽極素子)
3 誘電体層
4 ドーパント
5 半導体層
6 カーボン層
7 金属ペースト層
8 陰極端子
11 ソケット
12 リード線
13 テフロンリング
14 陽極端子
20 リードフレーム(陰極用)
21 接着金属
22 素子
23 リードフレーム(陽極用)
24 外装樹脂
30 化成溶液
31 酸化剤含浸液
32 半導体層形成溶液
33 再化成溶液
34 カーボンペースト
35 金属ペースト
1 Solid electrolytic capacitor 2 Anode (anode element)
3 Dielectric layer 4 Dopant 5 Semiconductor layer 6 Carbon layer 7 Metal paste layer 8 Cathode terminal 11 Socket 12 Lead wire 13 Teflon ring 14 Anode terminal 20 Lead frame (for cathode)
21 Adhesive metal 22 Element 23 Lead frame (for anode)
24 exterior resin 30 chemical conversion solution 31 oxidant impregnating solution 32 semiconductor layer forming solution 33 re-chemical conversion solution 34 carbon paste 35 metal paste

Claims (4)

弁作用金属からなる陽極の表面に誘電体層を形成する工程と、
誘電体層上に導電性高分子からなる半導体層を形成する工程と、
半導体層上にカーボン層を形成する工程と、
カーボン層に加湿処理を施す工程と、
カーボン層に金属ペースト層を形成する工程と、
を有する固体電解コンデンサの製造方法。
Forming a dielectric layer on the surface of the anode made of a valve metal;
Forming a semiconductor layer made of a conductive polymer on the dielectric layer;
Forming a carbon layer on the semiconductor layer;
A step of humidifying the carbon layer;
Forming a metal paste layer on the carbon layer;
The manufacturing method of the solid electrolytic capacitor which has this.
前記加湿処理が、相対湿度65%〜95%の環境下で行われることを特徴とする請求項1記載の固体電解コンデンサの製造方法。   The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the humidification treatment is performed in an environment having a relative humidity of 65% to 95%. 前記加湿処理が、65℃〜95℃の温度範囲で2時間〜48時間行われることを特徴とする請求項1又は2記載の固体電解コンデンサの製造方法。   The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1 or 2, wherein the humidification treatment is performed in a temperature range of 65 ° C to 95 ° C for 2 hours to 48 hours. 前記加湿処理が、前記カーボン層を形成する工程の後でありかつ、前記金属ペースト層を形成する工程の前に行われることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の固体電解コンデンサの製造方法。   The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the humidification process is performed after the step of forming the carbon layer and before the step of forming the metal paste layer. Manufacturing method.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016522573A (en) * 2013-05-17 2016-07-28 ケメット エレクトロニクス コーポレーション Solid electrolytic capacitor and improved manufacturing method of solid electrolytic capacitor
JP7813930B1 (en) 2025-03-14 2026-02-13 ニチコン株式会社 Manufacturing method for stacked solid electrolytic capacitors

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