JP2011230410A - Liquid droplet ejection head and liquid droplet ejection apparatus with the same - Google Patents
Liquid droplet ejection head and liquid droplet ejection apparatus with the same Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011230410A JP2011230410A JP2010103965A JP2010103965A JP2011230410A JP 2011230410 A JP2011230410 A JP 2011230410A JP 2010103965 A JP2010103965 A JP 2010103965A JP 2010103965 A JP2010103965 A JP 2010103965A JP 2011230410 A JP2011230410 A JP 2011230410A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- nozzle
- nozzles
- pressure chamber
- diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14475—Structure thereof only for on-demand ink jet heads characterised by nozzle shapes or number of orifices per chamber
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【課題】複数のノズルを有するインク圧力室を有するインクジェットヘッドであって、当該複数のノズルから吐出される各インク液滴の量が均一化されたインクジェットヘッドを提供することを目的とする。当該インクジェットヘッドを用いて、均一な膜厚を有する塗布膜を形成する。
【解決手段】複数のノズルを有するインク圧力室と、前記インク圧力室に供給されるインクが流れる供給流路と、前記インク圧力室から排出されるインクが流れる排出流路と、前記インク圧力室内のインクに圧力を加えるピエゾ素子と、を有する液滴吐出ヘッドであって、前記インク圧力室が有する複数のノズルのすべての径は同一ではなく、前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が大きい領域のノズルの径は、他のノズルの径よりも小さいか、または前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が小さい領域のノズルの径は、他のノズルの径よりも大きい、液滴吐出ヘッド。
【選択図】図2An object of the present invention is to provide an ink jet head having an ink pressure chamber having a plurality of nozzles, wherein the amount of each ink droplet ejected from the plurality of nozzles is uniform. A coating film having a uniform film thickness is formed using the inkjet head.
An ink pressure chamber having a plurality of nozzles, a supply channel through which ink supplied to the ink pressure chamber flows, a discharge channel through which ink discharged from the ink pressure chamber flows, and the ink pressure chamber A plurality of nozzles of the ink pressure chamber are not the same, and the ink pressure applied by the piezo element is large. A droplet discharge head in which the diameter of the nozzle is smaller than the diameter of the other nozzle or the diameter of the nozzle in the region where the ink pressure applied by the piezo element is small is larger than the diameter of the other nozzle.
[Selection] Figure 2
Description
本発明は、液滴吐出ヘッド、およびそれを具備する液滴吐出装置、典型的にはインクジェット装置に関する。 The present invention relates to a droplet discharge head and a droplet discharge device including the droplet discharge head, typically an inkjet device.
インクジェット装置のインクジェットヘッドは、インク供給源からインクを供給されるインク供給流路と;インク供給流路に連通し、かつノズルを有する複数のインク圧力室と;インク圧力室のそれぞれに配置されたアクチュエーター(例えばピエゾ素子)とを有することがある。アクチュエータがインク圧力室内のインクに圧力を与えることで、ノズルからインクが液滴として吐出される。 An ink jet head of an ink jet apparatus is disposed in each of an ink supply channel to which ink is supplied from an ink supply source; a plurality of ink pressure chambers communicating with the ink supply channel and having nozzles; And an actuator (for example, a piezo element). When the actuator applies pressure to the ink in the ink pressure chamber, the ink is ejected as droplets from the nozzle.
また、インクジェットヘッドには、インクを循環させるタイプと、循環させないタイプとがある。インクを循環させるタイプのインクジェットヘッドは、インク圧力室に連通するインク排出流路を有する。インク供給流路からインク圧力室に供給されたインクの一部はノズルから吐出されるが、残部はインク排出流路に排出されて、インク供給源に回収される(特許文献1を参照)。インクを循環させるタイプのインクジェットヘッドでは、インクへのエアー混入やノズルつまりを低減させることができる。 Ink jet heads include a type that circulates ink and a type that does not circulate ink. An ink jet head that circulates ink has an ink discharge channel communicating with an ink pressure chamber. A part of the ink supplied from the ink supply channel to the ink pressure chamber is ejected from the nozzle, but the remaining part is discharged to the ink discharge channel and collected by the ink supply source (see Patent Document 1). In an ink jet head that circulates ink, air mixing into the ink and nozzle clogging can be reduced.
また、1つのインク圧力室が有するノズルの数は、通常は1つであるが、複数にすることも提案されている(例えば、特許文献2を参照)。具体的には図6に示されるように、インク供給流路19と;インク圧力室18と;圧電素子15とピストン16とからなる1つの圧力発生器12と;ノズルプレート13に形成された複数のノズル20とを有するインクジェットヘッド1が提案されている。1つのインク圧力室に複数のノズルを配置すれば、ノズルの数に対してアクチュエータの数を減らすことができるので、製造コストを低減することができる、とされている。
In addition, although the number of nozzles included in one ink pressure chamber is usually one, it is also proposed to use a plurality of nozzles (see, for example, Patent Document 2). Specifically, as shown in FIG. 6, an ink
近年、インクジェット装置を用いて、より膜厚均一性の高い塗布膜を形成しようとする試みがなされている。例えば、有機ELディスプレイパネルの有機機能層をインクジェット装置で形成する試みがなされている。膜厚均一性の高い塗布膜を形成するには、インクジェットヘッドから吐出されるインク液滴の着弾密度を高める必要がある。インク液滴の着弾密度が低いと、着弾したインク液敵同士が結合してレベリングされた膜となる前にインクの溶媒が乾燥してしまうため、膜厚均一性の高い塗布膜が得られない。特に、インクの粘度が高かったり、インク中の溶質濃度が高かったり、インクに含まれる溶媒の揮発性が高かったりすると、塗布膜の膜厚均一性が低下しやすい。 In recent years, attempts have been made to form a coating film with higher film thickness uniformity using an inkjet apparatus. For example, an attempt has been made to form an organic functional layer of an organic EL display panel with an ink jet apparatus. In order to form a coating film with high film thickness uniformity, it is necessary to increase the landing density of ink droplets ejected from an inkjet head. If the landing density of the ink droplets is low, the ink solvent dries before the landed ink liquid enemies combine to form a leveled film, so a coating film with high film thickness uniformity cannot be obtained. . In particular, when the viscosity of the ink is high, the solute concentration in the ink is high, or the volatility of the solvent contained in the ink is high, the film thickness uniformity of the coating film tends to decrease.
インク液滴の着弾密度を高めるには、インクジェットヘッドのノズルの配置密度を高めること、つまりノズル同士の間隔を狭める必要がある。ノズル同士の間隔を狭めるには、インクジェットヘッドにおけるインク圧力室の配置密度を高めることが考えられるが、インクジェットヘッドに配置できるインク圧力室の個数には制限がある。そこで、各インク圧力室に複数のノズルを配置して、ノズルの配置密度を高めることが考えられる。 In order to increase the landing density of the ink droplets, it is necessary to increase the arrangement density of the nozzles of the inkjet head, that is, to reduce the interval between the nozzles. In order to reduce the interval between the nozzles, it is conceivable to increase the arrangement density of the ink pressure chambers in the ink jet head, but the number of ink pressure chambers that can be arranged in the ink jet head is limited. Accordingly, it is conceivable to increase the nozzle arrangement density by arranging a plurality of nozzles in each ink pressure chamber.
しかしながら、インク圧力室に複数のノズルを配置すると、各ノズルから吐出されるインク液滴の量が不均一になる場合があった。インク液滴の量が不均一になると、インク液滴の着弾密度を高めても、塗布膜の膜厚均一性を十分に高めることはできない。 However, when a plurality of nozzles are arranged in the ink pressure chamber, the amount of ink droplets ejected from each nozzle may be uneven. If the amount of ink droplets becomes non-uniform, even if the landing density of ink droplets is increased, the film thickness uniformity of the coating film cannot be sufficiently increased.
そこで本発明は、複数のノズルを有するインク圧力室を有する液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッドなど)であって、当該複数のノズルから吐出される各インク液滴の量が均一化された液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。そして、それを具備する液滴吐出装置を用いることで、膜厚均一性の高い塗布膜を形成することを目的とする。 Accordingly, the present invention provides a droplet discharge head (such as an ink jet head) having an ink pressure chamber having a plurality of nozzles, wherein the amount of each ink droplet discharged from the plurality of nozzles is made uniform. The object is to provide a head. And it aims at forming a coating film with high film thickness uniformity by using the droplet discharge apparatus provided with it.
本発明者は、液滴吐出ヘッドのインク圧力室に配置された複数のノズルから吐出されたインク液滴の量が不均一になる原因は、インク圧力室に配置されたアクチュエータによる圧力が、インク圧力室内のインクに均一に印加されないためであることに着目した。そこで、アクチュエータによる圧力が印加されやすい領域にあるノズルの口径を、他のノズルの口径よりも小さくするか、あるいはアクチュエータによる圧力が印加されにくい領域にあるノズルの口径を、他のノズルの口径よりも大きくした。それにより、各ノズルから吐出されるインク液滴の量を均一にした。すなわち本発明は、以下に示す液滴吐出ヘッド、およびそれを具備する液滴吐出装置に関する。 The present inventor has found that the amount of ink droplets ejected from a plurality of nozzles arranged in the ink pressure chamber of the droplet ejection head is uneven because the pressure by the actuator arranged in the ink pressure chamber is It was noted that this was because the ink was not uniformly applied to the ink in the pressure chamber. Therefore, the nozzle diameter in the area where the pressure by the actuator is easy to be applied is made smaller than the diameter of other nozzles, or the nozzle diameter in the area where the pressure by the actuator is difficult to be applied is smaller than the diameter of other nozzles. Was also bigger. Thereby, the amount of ink droplets discharged from each nozzle was made uniform. That is, the present invention relates to a droplet discharge head described below and a droplet discharge apparatus including the same.
[1]インク液滴を吐出するための複数のノズルを有するインク圧力室と、前記インク圧力室に供給されるインクが流れる供給流路と、前記インク圧力室から排出されるインクが流れる排出流路と、前記インク圧力室内のインクに圧力を加えるピエゾ素子と、を有する液滴吐出ヘッドであって、
前記インク圧力室が有する複数のノズルのすべての口径は同一ではなく、前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が大きい領域のノズルの口径は、他のノズルの口径よりも小さいか、または前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が小さい領域のノズルの口径は、他のノズルの口径よりも大きい、液滴吐出ヘッド。
[2]前記ピエゾ素子は、前記複数のノズルの配置面に向かって伸縮する面を有し、かつ前記伸縮する面の伸縮量には分布があり、
前記ピエゾ素子の伸縮する面のうち、伸縮量が最大の部位に最も近いノズルの口径は、他のノズルの口径よりも小さい、[1]に記載の液滴吐出ヘッド。
[3]前記ピエゾ素子は、前記複数のノズルの配置面に向かって伸縮する面を有さず、前記複数のノズルのうち、前記排出流路に最も近いノズルの径は、他のノズルの径よりも大きい、[1]に記載の液滴吐出ヘッド。
[4]前記[1]〜[3]のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを具備する液滴吐出装置。
[1] An ink pressure chamber having a plurality of nozzles for ejecting ink droplets, a supply channel through which ink supplied to the ink pressure chamber flows, and a discharge flow through which ink discharged from the ink pressure chamber flows A droplet discharge head having a path and a piezo element that applies pressure to ink in the ink pressure chamber,
All the nozzle diameters of the plurality of nozzles included in the ink pressure chamber are not the same, and the nozzle diameter of the area where the ink pressure applied by the piezo element is large is smaller than the diameters of the other nozzles, or by the piezo element. A droplet discharge head in which the nozzle diameter of the region where the applied ink pressure is small is larger than the diameter of the other nozzles.
[2] The piezo element has a surface that expands and contracts toward an arrangement surface of the plurality of nozzles, and the expansion and contraction amount of the surface that expands and contracts is distributed.
The droplet discharge head according to [1], wherein the diameter of the nozzle closest to the portion with the largest expansion / contraction amount among the expansion / contraction surfaces of the piezo element is smaller than the diameters of the other nozzles.
[3] The piezo element does not have a surface that expands and contracts toward the arrangement surface of the plurality of nozzles, and the diameter of the nozzle closest to the discharge channel among the plurality of nozzles is the diameter of another nozzle. The droplet discharge head according to [1], wherein the droplet discharge head is larger.
[4] A droplet discharge apparatus comprising the droplet discharge head according to any one of [1] to [3].
本発明の液滴吐出ヘッド(典型的にはインクジェットヘッド)を具備する液滴吐出装置を用いることで、膜厚均一性の高い塗布膜を形成することができる。特に本発明の効果は、高粘度のインクであったり、高濃度のインクであったり、揮発性の高い溶媒を含むインクを吐出させる場合に有効に奏される。したがって、本発明の液滴吐出装置は、有機ELディスプレイパネルの有機機能層(有機発光層など)の形成などに有効に用いられる。 By using a droplet discharge device including the droplet discharge head (typically, an inkjet head) of the present invention, a coating film with high film thickness uniformity can be formed. In particular, the effect of the present invention is effectively exhibited when ink having high viscosity, high density ink, or ink containing a highly volatile solvent is ejected. Therefore, the droplet discharge device of the present invention is effectively used for forming an organic functional layer (such as an organic light emitting layer) of an organic EL display panel.
液滴吐出ヘッドについて
本発明の液滴吐出ヘッドは、ノズルを配置されたインク圧力室と、インク供給流路と、インク排出流路と、ピエゾ素子とを有する。インク供給流路からインク圧力室へインクが供給され、供給されたインクの一部はノズルから吐出され、残部はインク排出流路に排出される。このように、本発明の液滴吐出ヘッドは、インクが循環するタイプの、いわゆる循環型の液滴吐出ヘッドである。インク供給流路およびインク排出流路には、複数のインク圧力室が並列に連通していることが好ましい。
About the droplet discharge head The droplet discharge head of the present invention includes an ink pressure chamber in which nozzles are arranged, an ink supply channel, an ink discharge channel, and a piezo element. Ink is supplied from the ink supply channel to the ink pressure chamber, a part of the supplied ink is discharged from the nozzle, and the remaining portion is discharged to the ink discharge channel. Thus, the droplet discharge head of the present invention is a so-called circulation type droplet discharge head of a type in which ink circulates. It is preferable that a plurality of ink pressure chambers communicate in parallel with the ink supply channel and the ink discharge channel.
インク圧力室に配置されたピエゾ素子は、伸縮することでインク圧力室の容積を変化させ、インク圧力室内のインクに圧力を加えることができる。ピエゾ素子とは、電圧が加えられると収縮する素子である。ピエゾ素子は、薄膜ピエゾ素子とバルクピエゾ素子とに分類されうる。本発明のインクジェットヘッドに含まれるピエゾ素子は、そのいずれでもよいが、高粘度のインクを吐出する場合には、バルクピエゾ素子を用いることが好ましい。バルクピエゾ素子による吐出力は、薄膜ピエゾ素子による吐出力よりも大きいからである。インク圧力室に配置されるピエゾ素子の数は、1つであっても2つ以上であってもよい。 The piezo element disposed in the ink pressure chamber can expand and contract to change the volume of the ink pressure chamber and apply pressure to the ink in the ink pressure chamber. A piezo element is an element that contracts when a voltage is applied. Piezo elements can be classified into thin film piezo elements and bulk piezo elements. Any of the piezo elements included in the ink jet head of the present invention may be used, but in the case of discharging high viscosity ink, it is preferable to use a bulk piezo element. This is because the ejection force due to the bulk piezoelectric element is larger than the ejection force due to the thin film piezoelectric element. The number of piezoelectric elements arranged in the ink pressure chamber may be one or two or more.
インク供給流路からインク圧力室に供給されたインクは、ピエゾ素子の伸縮による圧力を受けて、その一部がノズルを通って吐出される。吐出されないインクは、インク排出流路に排出される。 The ink supplied from the ink supply channel to the ink pressure chamber receives pressure due to expansion and contraction of the piezo element, and a part of the ink is ejected through the nozzle. Ink that is not ejected is discharged to the ink discharge channel.
図1は、循環型の液滴吐出ヘッドを模式的に示す図である。図1に示される液滴吐出ヘッド10は、インク供給流路100と、インク排出流路110と、複数のインク圧力室120(120A〜120C)とを有する。インク供給流路100から、各接続流路160を通って各インク圧力室120に、インクが供給される。各インク圧力室120から、各接続流路170を通ってインク排出流路110に、インクが排出される。
FIG. 1 is a diagram schematically showing a circulation type droplet discharge head. A
各インク圧力室120には、ノズル140(140A〜C)と、ピエゾ素子130(130A〜C)とが配置される。本発明の液滴吐出ヘッド10は、各インク圧力室120に配置されたノズル140の数が複数であること、およびピエゾ素子130の配置態様に応じて、複数のノズル140の口径が異なること、とを特徴とする。
In each
前記の通り、本発明の液滴吐出ヘッドのインク圧力室には、複数のノズルが配置されている。通常、1つのインク圧力室に配置されるノズルの個数は2〜100個であるが、特に限定されるわけではない。各インク圧力室に、一つのノズルを設けた場合と比較して、複数のノズルを設けた場合にはノズル同士の間隔を短くすることができる。つまり、塗布面へのインク液滴の着弾密度を上げることができる。インク液滴の着弾密度を上げることができれば、塗布面に均一な塗布膜を成膜しやすくなる。 As described above, a plurality of nozzles are arranged in the ink pressure chamber of the droplet discharge head of the present invention. Usually, the number of nozzles arranged in one ink pressure chamber is 2 to 100, but is not particularly limited. Compared with the case where one nozzle is provided in each ink pressure chamber, the interval between the nozzles can be shortened when a plurality of nozzles are provided. That is, the landing density of the ink droplets on the application surface can be increased. If the landing density of ink droplets can be increased, a uniform coating film can be easily formed on the coating surface.
つまり、塗布面へのインク液滴の着弾密度が低いと、着弾したインク液滴同士がレベリングして均一な塗布膜となるために必要とされる時間が長くなる。そのため、レベリングされる前にインク中の溶媒が揮発してしまい、均一な塗布膜が得られない。一方で、塗布面へのインク液滴の着弾密度が高いと、着弾したインク液滴同士がレベリングして均一な塗布膜となるために必要とされる時間が短いため、インク中の溶媒が揮発する前にレベリングが実現され、均一な塗布膜が得られる。 That is, if the landing density of the ink droplets on the coating surface is low, the time required for the landed ink droplets to level and form a uniform coating film becomes long. For this reason, the solvent in the ink volatilizes before leveling, and a uniform coating film cannot be obtained. On the other hand, if the landing density of ink droplets on the application surface is high, the time required for leveling the ink droplets that have landed to form a uniform coating film is short, so the solvent in the ink volatilizes. Leveling is realized before the coating, and a uniform coating film is obtained.
このように、本発明の液滴吐出ヘッドは、インクの溶媒が比較的乾燥しやすい溶媒であっても、均一な塗布膜を成膜することができる。比較的乾燥しやすい溶媒は、比較的低粘度であることが多い。そのため本発明の液滴吐出ヘッドのインクは、溶質の濃度が高かったり、溶質の粘度が高かったりしても、溶媒により低粘度化させやすい。 Thus, the droplet discharge head of the present invention can form a uniform coating film even if the solvent of the ink is a solvent that is relatively easy to dry. Solvents that are relatively easy to dry often have a relatively low viscosity. Therefore, the ink of the droplet discharge head of the present invention can be easily reduced in viscosity by a solvent even if the concentration of the solute is high or the viscosity of the solute is high.
以上のように、各インク圧力室に複数のノズルを配置すると、インク液滴の着弾密度が高く、それにより均一な塗布膜が形成されうる。ところが、インク液滴の着弾密度が高くても、各ノズルから吐出されるインク液滴の容量にばらつきがあると、均一な塗布膜を形成しにくい。インク圧力室に供給されたインクは、ピエゾ素子の伸縮によって圧力を受けて、各ノズルから液滴として吐出される。インク圧力室内のインク全体が均一の圧力を受けるのであれば、各ノズルの口径を一定にすることで、各ノズルから吐出されるインク液滴の量を一定にすることができるはずである。ところが、インク圧力室に複数のノズルを設けて、それら複数のノズルの口径を一定にすると、吐出されるインク液滴にばらつきが生じることがわかった。 As described above, when a plurality of nozzles are arranged in each ink pressure chamber, the landing density of ink droplets is high, and thereby a uniform coating film can be formed. However, even if the landing density of ink droplets is high, it is difficult to form a uniform coating film if the volume of ink droplets ejected from each nozzle varies. The ink supplied to the ink pressure chamber receives pressure due to expansion and contraction of the piezo element, and is ejected as droplets from each nozzle. If the entire ink in the ink pressure chamber receives a uniform pressure, it is possible to make the amount of ink droplets ejected from each nozzle constant by making the diameter of each nozzle constant. However, it has been found that if a plurality of nozzles are provided in the ink pressure chamber and the diameters of the plurality of nozzles are made constant, the discharged ink droplets vary.
その原因は、ピエゾ素子の伸縮による圧力が、インク圧力室内のインクに均一に伝わらないためであることが見いだされた(詳細は後述する)。つまり、インク圧力室内のインクには不均一の圧力が加わるので、各ノズルの近傍のインクに加わる圧力も異なる。そのため、インク圧力室に配置された複数のノズルの口径が互いに同じであると、ノズルから吐出されるインク液滴の容量が同一でなくなる。 It has been found that the cause is that the pressure due to expansion and contraction of the piezo element is not uniformly transmitted to the ink in the ink pressure chamber (details will be described later). That is, since non-uniform pressure is applied to the ink in the ink pressure chamber, the pressure applied to the ink in the vicinity of each nozzle is also different. For this reason, when the diameters of the plurality of nozzles arranged in the ink pressure chamber are the same, the volumes of ink droplets ejected from the nozzles are not the same.
そこで本発明は、主にインクジェットヘッドのインク圧力室におけるピエゾ素子の配置態様に応じて、複数のノズルの径を互いに相違させていることを特徴とする。つまり、インク圧力室内のインクのうち、ピエゾ素子の伸縮による圧力を受けやすいインクを吐出するノズルの径を小さくし;ピエゾ素子の伸縮による圧力を受けにくいインクを吐出するノズルの径を大きくすることで、各ノズルから吐出されるインク液滴の容量を一定にする。 Therefore, the present invention is characterized in that the diameters of the plurality of nozzles are different from each other mainly in accordance with the arrangement of the piezo elements in the ink pressure chamber of the ink jet head. In other words, among the inks in the ink pressure chamber, the diameter of the nozzle that ejects ink that is susceptible to pressure due to expansion and contraction of the piezo element is reduced; Thus, the volume of ink droplets ejected from each nozzle is made constant.
インク圧力室のノズルの口径は、吐出したいインク液滴の容量などに応じて適宜設定されるが、通常は10〜100μmの範囲内に設定されうる。インク圧力室に配置される複数のノズルのうち、最大の口径を有するノズルの口径は、最小の口径を有するノズルの口径の1.2倍以上であることが好ましい。 The nozzle diameter of the ink pressure chamber is appropriately set according to the volume of ink droplets to be ejected, but can usually be set within a range of 10 to 100 μm. Of the plurality of nozzles arranged in the ink pressure chamber, the nozzle diameter having the largest diameter is preferably 1.2 times or more the nozzle diameter having the smallest diameter.
以下において、インク圧力室に配置される複数のノズルの口径の設定について、具体的に説明する。 Hereinafter, setting of the diameters of the plurality of nozzles arranged in the ink pressure chamber will be specifically described.
[実施の形態1]
インク圧力室内のインクに不均一の圧力が加わる第一の原因は、ピエゾ素子の伸縮部位が、一定に伸縮せずに分布(ばらつき)を有するからである。つまり、ピエゾ素子は、可動端と称される端面(可動端面ともいう)を伸縮させるが、可動端面全体が均一に伸縮するのではなく、伸縮量に分布を有する。
[Embodiment 1]
The first cause of the non-uniform pressure applied to the ink in the ink pressure chamber is that the expansion / contraction part of the piezo element has a distribution (variation) without expanding / contracting uniformly. In other words, the piezo element expands and contracts an end surface called a movable end (also referred to as a movable end surface), but the entire movable end surface does not expand and contract uniformly, but has a distribution in the amount of expansion and contraction.
図5Aには、ピエゾ素子の可動端面の変位量分布が示される。図5AのグラフのX軸はピエゾ素子の可動端面における位置を示す。ここで、ピエゾ素子の可動端面の直径は1500μmとする。X軸の0μmおよび1500μmの近傍が可動端面の端部にあたる。グラフのY軸は、ピエゾ素子の可動端面の変位率を表す。変位率とは、ピエゾ素子の可動端面の伸縮量の最大値に対する、伸縮量の割合を意味する。図5Aに示されるように、可動端面の中央部の伸縮量に対して、可動端面の端部の伸縮量が少ないことわかる。ピエゾ素子の構造によっては、必ずしも可動端面の中央部の伸縮量が大きくなり、端部が小さくなるわけではないが、いずれにしても、可動端面全体を均一に伸縮させることは困難である。 FIG. 5A shows the displacement distribution of the movable end face of the piezo element. The X axis of the graph of FIG. 5A indicates the position on the movable end surface of the piezo element. Here, the diameter of the movable end face of the piezo element is 1500 μm. The vicinity of 0 μm and 1500 μm on the X axis corresponds to the end of the movable end surface. The Y axis of the graph represents the displacement rate of the movable end face of the piezo element. The displacement rate means the ratio of the expansion / contraction amount to the maximum value of the expansion / contraction amount of the movable end surface of the piezo element. As shown in FIG. 5A, it can be seen that the amount of expansion / contraction at the end of the movable end surface is smaller than the amount of expansion / contraction at the center of the movable end surface. Depending on the structure of the piezo element, the amount of expansion / contraction at the central portion of the movable end surface does not necessarily increase and the end portion does not decrease, but in any case, it is difficult to uniformly expand / contract the entire movable end surface.
図5Bには、ピエゾ素子の可動端面の変位(伸縮)量(X軸)と、それにより生じる圧力(Y軸)との関係を示すグラフである。変位量が大きいほど、生じる圧力が高まることがわかる。そのため、可動端面のうち、変位量が大きい可動端面による圧力を受けやすい領域にあるノズルからは、インクが吐出しやすく、吐出されるインク液滴の容量も大きくなりやすい。一方で、伸縮量が小さい可動端面による圧力を受けやすい領域にあるノズルからは、インクが吐出しにくく、吐出されるインク液滴の容量も小さくなりやすい。そのため、各インク圧力室に配置される複数のノズルの口径が一定であると、ノズルの配置位置によってノズルから吐出されるインク液滴の容量が異なる。 FIG. 5B is a graph showing the relationship between the displacement (expansion / contraction) amount (X axis) of the movable end surface of the piezoelectric element and the pressure (Y axis) generated thereby. It can be seen that the greater the amount of displacement, the greater the resulting pressure. For this reason, it is easy to eject ink from the nozzles in the movable end surface, where the pressure is easily received by the movable end surface having a large displacement, and the volume of the ejected ink droplets tends to increase. On the other hand, it is difficult for ink to be ejected from a nozzle in a region where the pressure due to the movable end surface with a small amount of expansion and contraction is small, and the volume of ejected ink droplets tends to be small. Therefore, when the diameters of the plurality of nozzles arranged in each ink pressure chamber are constant, the volume of ink droplets ejected from the nozzles differs depending on the nozzle arrangement position.
図5Cには、ノズルの口径(X軸)と、一定量のインクの吐出に必要とされる圧力(Y軸)との関係を示すグラフである。図5Cに示されるように、ノズル口径が小さいと、一定量のインクを吐出させるために必要とされる圧力が高いことがわかる。 FIG. 5C is a graph showing the relationship between the nozzle diameter (X axis) and the pressure (Y axis) required for ejecting a certain amount of ink. As shown in FIG. 5C, it can be seen that when the nozzle diameter is small, the pressure required to eject a certain amount of ink is high.
そこで、本発明の第一の形態の液滴吐出ヘッドでは、インク圧力室に配置されたピエゾ素子が、複数のノズルの配置面に向かって伸縮する面(可動端面)を有しており、かつピエゾ素子の伸縮する面(可動端面)のうち、伸縮量が最大の部位に最も近いノズルの口径が、他のノズルの口径よりも小さい。つまり、可動端面のうち、ピエゾ素子の伸縮量が最大の部位に最も近いノズルの近傍のインクは、最も大きい圧力を受けやすいので、そのノズル径を小さくすることで液滴として吐出されるインク容量を抑制する。 Therefore, in the liquid droplet ejection head according to the first aspect of the present invention, the piezo element arranged in the ink pressure chamber has a surface (movable end surface) that expands and contracts toward the arrangement surface of the plurality of nozzles, and Of the surface (movable end surface) of the piezo element that expands and contracts, the nozzle diameter closest to the portion with the largest expansion / contraction amount is smaller than the diameters of the other nozzles. That is, in the movable end surface, the ink in the vicinity of the nozzle closest to the portion where the expansion / contraction amount of the piezo element is maximum is likely to be subjected to the largest pressure, so the ink capacity discharged as droplets by reducing the nozzle diameter. Suppress.
図2Aおよび図2Bには、本発明の実施の形態1の液滴吐出ヘッド10-1が模式的に示される。図2Aは、液滴吐出ヘッド10-1の断面図であり;図2Bは、液滴吐出ヘッド10-1の透視上面図である。図2Aの液滴吐出ヘッド10-1は、インク供給流路100と、インク圧力室120と、インク排出流路110とを有する。液滴吐出ヘッド10-1は、図1に示される液滴吐出ヘッド10と同様に、インク供給流路100とインク排出流路110とに並列して連通している複数のインク圧力室120を有する。図2Aにおける点線の矢印は、インクの流れを示す。
2A and 2B schematically show the droplet discharge head 10-1 according to
インク圧力室120にはピエゾ素子130が配置され、また複数のノズル140(140-1〜140-3)が形成されている。ピエゾ素子130の可動端面131は、ノズル140が形成されている面に向かって変位することができる。当該変位により圧力を受けたインクが、各ノズル140を通ってインク液滴200(200-1〜200-3)として吐出され、基板300の塗布面に着弾する。基板300の塗布面となる領域は、バンク(隔壁)310によって規定されていてもよい。
A
前述の通り、ピエゾ素子の130の可動端面131は、均一に変位するわけではない。図2Aに示されるように、例えば、可動端面131の中央部分の変位量が大きく、可動端面131の端部の変位量が小さくなる(実線矢印参照)。
As described above, the
そこで、図2Aおよび図2Bに示されるように、可動端面131の中央部分に近いノズル140-2の口径を小さくし、可動端面131の端部に近いノズル140-1および140-3の口径を大きくしている。このようにして、吐出圧力が高い領域のノズル140-2の口径を小さくしたので、各ノズル140から吐出されるインク液滴200の容量が均一化される。
Therefore, as shown in FIG. 2A and FIG. 2B, the diameter of the nozzle 140-2 near the center of the
図3Aに示される液滴吐出ヘッド10-2も、図2に示される液滴吐出ヘッド10-1と同様に、ピエゾ素子130の可動端面131の中央部分に近いノズル140-2の口径を小さくし、可動端面131の端部に近いノズル140-1および140-3の口径を大きくしている。ただし、ノズル140-1および140-3のノズルの口径は、インク圧力室120の側から外部に向かって徐々に小さくなっている。そのため、ノズル140-1〜140-3の外部口径は互いに同一であり;ノズル140-2の内部口径(インク圧力室120側の口径)が、ノズル140-1および140-3の内部口径よりも小さい。
Similar to the droplet discharge head 10-1 shown in FIG. 2, the droplet discharge head 10-2 shown in FIG. 3A also has a smaller diameter of the nozzle 140-2 near the central portion of the
図3Aに示されるように、各ノズル140の口径の内部口径のみ調整するだけであっても、各ノズル140から吐出されるインク液滴200の容量が均一化されうる。 As shown in FIG. 3A, the capacity of the ink droplets 200 ejected from each nozzle 140 can be made uniform even by adjusting only the inner diameter of each nozzle 140.
図3Bに示される液滴吐出ヘッド10-3も、図2に示される液滴吐出ヘッド10-1と同様に、ピエゾ素子130の可動端面131の中央部分に近いノズル140-2の口径を小さくし、可動端面131の端部に近いノズル140-1および140-3の口径を大きくしている。さらに、ノズル140-1および140-3のノズルを傾けることで、吐出されるインク液滴200の容量を均一化するだけでなく、吐出されるインク液滴200の吐出角度も調整することができる。
Similarly to the droplet discharge head 10-1 shown in FIG. 2, the droplet discharge head 10-3 shown in FIG. 3B also has a small diameter of the nozzle 140-2 near the central portion of the
ピエゾ素子130の可動端面131が変位すると、可動端面131の中央部から端部へ向かう圧力が発生する(図3Bの波線矢印参照)。したがって、ノズル140-1およびノズル140-3からのインク液滴200も、外側に向かって吐出しようとする。そこで、図3Bに示されるように、ノズル140-1およびノズル140-3の中心線を内側に傾かせている。それにより、外側に向かって吐出しようとするインク液滴200の吐出方向を内側に修正する。
When the
[実施の形態2]
液滴吐出ヘッドのインク圧力室内のインクに不均一の圧力が加わる第二の原因は、インク圧力室内でのインクの流れに起因する。つまり、インク圧力室の内部のうち、供給流路付近の領域や、排出流路付近の領域でのインクの流れは速くなる。そのため、供給流路付近や排出流路付近に配置したノズルの近傍のインクには、ピエゾ素子による圧力が伝わりにくい。そのため、ピエゾ素子が変位しても、ノズルから吐出するための圧力がインクに伝わりにくい。したがって、当該ノズルから吐出されるインク液滴の容量が少なくなる。
[Embodiment 2]
The second cause of the uneven pressure applied to the ink in the ink pressure chamber of the droplet discharge head is due to the flow of ink in the ink pressure chamber. That is, the flow of ink in the area near the supply flow path and the area near the discharge flow path in the ink pressure chamber becomes faster. Therefore, the pressure by the piezo element is not easily transmitted to the ink in the vicinity of the nozzles arranged near the supply channel or the discharge channel. Therefore, even when the piezo element is displaced, the pressure for discharging from the nozzle is not easily transmitted to the ink. Accordingly, the volume of ink droplets ejected from the nozzle is reduced.
そこで、本発明の第二の形態の液滴吐出ヘッドでは、各インク圧力室に複数のノズルが配置されており、インク排出流路に最も近いノズルの径を、他のノズルよりも大きくする。それにより、ピエゾ素子による圧力が、ノズルから吐出するための力としてインクに伝わりにくい領域にあるインク(インク排出流路に近いインク)も吐出されやすくなり、各ノズルから吐出されるインク液滴の容量が均一化される。 Therefore, in the liquid droplet ejection head according to the second aspect of the present invention, a plurality of nozzles are arranged in each ink pressure chamber, and the diameter of the nozzle closest to the ink discharge channel is made larger than the other nozzles. As a result, the ink in the region where the pressure by the piezo element is not easily transmitted to the ink as the force for ejecting from the nozzle (ink close to the ink discharge channel) is easily ejected, and the ink droplets ejected from each nozzle The capacity is made uniform.
図4には、本発明の実施の形態2の液滴吐出ヘッド10-4が模式的に示される。図4に示される液滴吐出ヘッド10-4は、インク供給流路100と、インク排出流路110と、インク圧力室120と、を有する。液滴吐出ヘッド10-4も、図1に示される液滴吐出ヘッド10と同様に、複数のインク圧力室120が、インク供給流路100とインク排出流路110とに連通している。点線の矢印は、インクの流れを示す。
FIG. 4 schematically shows a droplet discharge head 10-4 according to the second embodiment of the present invention. The droplet discharge head 10-4 shown in FIG. 4 includes an
インク圧力室120には、ピエゾ素子130が配置され、かつ複数のノズル140(140-1〜140-3)が形成されている。ピエゾ素子130の可動端面131は、変位によりインク圧力室120の内部のインクに圧力を加えることができるが、ノズル140が形成されている面に向かって変位する必要はない。
In the
複数のノズル140のうち、ノズル140-1はインク排出流路110に最も近接している。ノズル140-1の近傍のインクには、インク排出流路110に排出する力が作用している。したがって、ピエゾ素子130の可動端面131の変位によりインク圧力室120の内部のインクに圧力がかかると、ノズル140-2やノズル140-3の近傍のインクには適切に吐出するための圧力が印加されるが、ノズル140-1の近傍のインクには、十分に吐出するための圧力が印加されにくい。
Of the plurality of nozzles 140, the nozzle 140-1 is closest to the
そこで、図4に示される液滴吐出ヘッドでは、ノズル140-1の口径を、ノズル140-2やノズル140-3の口径よりも大きくする。それにより、ノズル140-1からのインク液滴200-1を吐出しやすくして、弱い吐出圧力でもインク液滴200-1の容量を大きくする。それにより、各ノズル140から吐出される各インク液滴200(200-1〜200-3)の容量が均一化される。 Therefore, in the droplet discharge head shown in FIG. 4, the diameter of the nozzle 140-1 is made larger than the diameters of the nozzle 140-2 and the nozzle 140-3. As a result, the ink droplet 200-1 from the nozzle 140-1 can be easily discharged, and the capacity of the ink droplet 200-1 is increased even with a low discharge pressure. Thereby, the volume of each ink droplet 200 (200-1 to 200-3) discharged from each nozzle 140 is made uniform.
液滴吐出装置について
本発明の液滴吐出装置は、前述のインク吐出ヘッドを具備することを特徴とするが、それ以外は、従来の液滴吐出装置、つまりインクジェットヘッドなどと同様の構成をとりうる。例えば、液滴吐出ヘッドを固定する部材や、インクを塗布する対象物を載置して移動するための移動ステージなどを有する。
About the droplet discharge device The droplet discharge device of the present invention is characterized by including the above-described ink discharge head, but otherwise has the same configuration as a conventional droplet discharge device, that is, an inkjet head. sell. For example, it includes a member for fixing the droplet discharge head, a moving stage for mounting and moving an object to which ink is applied.
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのインクを循環させるためのインク循環装置を具備する。インクの循環はポンプなどの駆動圧力で行うが、供給圧力が一定になるように循環タンクを介して循環させることが好ましい。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのインクを、装置作動中に絶えず循環させてもよいし;断続的に循環させてもよい。 The droplet discharge device of the present invention includes an ink circulation device for circulating the ink of the droplet discharge head. The ink is circulated by a driving pressure of a pump or the like, but is preferably circulated through a circulation tank so that the supply pressure is constant. The droplet discharge device may continuously circulate the ink of the droplet discharge head during operation of the device; it may circulate intermittently.
本発明の液滴吐出ヘッドを具備する液滴吐出装置を用いれば、インク液滴の着弾密度を高めつつ、各ノズルから吐出されるインク液滴の容量を均一にすることができるので、極めて膜厚均一性の高い塗布膜を形成することができる。そのため、本発明の液滴吐出装置は、例えば、高度な膜厚均一性が求められる有機発光ディスプレイの有機発光層を塗布形成するために有用である。 By using the droplet discharge device having the droplet discharge head of the present invention, it is possible to make the volume of ink droplets discharged from each nozzle uniform while increasing the landing density of ink droplets. A coating film with high thickness uniformity can be formed. Therefore, the droplet discharge device of the present invention is useful for coating and forming an organic light emitting layer of an organic light emitting display that requires a high degree of film thickness uniformity, for example.
1 インクジェットヘッド
12 圧力発生器
13 ノズルプレート
15 圧電素子
16 ピストン
18 インク圧力室
19 インク供給流路
20 ノズル
10,10-1〜10-4 液滴吐出ヘッド
100 インク供給流路
110 インク排出流路
120,120A〜C インク圧力室
130,130A〜C ピエゾ素子
131 可動端面
140,140A〜C ノズル
160,160A〜C 接続流路
170,170A〜C 接続流路
200 インク液滴
300 基板
310 バンク(隔壁)
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記インク圧力室が有する複数のノズルのすべての口径は同一ではなく、
前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が大きい領域のノズルの口径は、他のノズルの口径よりも小さいか、または前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が小さい領域のノズルの口径は、他のノズルの口径よりも大きい、液滴吐出ヘッド。 An ink pressure chamber having a plurality of nozzles for ejecting ink droplets, a supply channel through which ink supplied to the ink pressure chamber flows, a discharge channel through which ink discharged from the ink pressure chamber flows, A piezo element that applies pressure to the ink in the ink pressure chamber;
The diameters of the plurality of nozzles of the ink pressure chamber are not the same,
The nozzle diameter in the region where the ink pressure applied by the piezo element is large is smaller than the diameter of the other nozzle, or the nozzle diameter in the region where the ink pressure applied by the piezo element is small is the diameter of the other nozzle. Larger than the droplet discharge head.
前記ピエゾ素子の伸縮する面のうち、伸縮量が最大の部位に最も近いノズルの口径は、他のノズルの口径よりも小さい、請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。 The piezo element has a surface that expands and contracts toward an arrangement surface of the plurality of nozzles, and the expansion amount of the surface that expands and contracts has a distribution,
2. The droplet discharge head according to claim 1, wherein a nozzle diameter closest to a portion having the largest expansion / contraction amount among the expansion / contraction surfaces of the piezoelectric element is smaller than the diameters of the other nozzles.
前記複数のノズルのうち、前記排出流路に最も近いノズルの径は、他のノズルの径よりも大きい、請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。 The piezo element does not have a surface that expands and contracts toward an arrangement surface of the plurality of nozzles,
2. The droplet discharge head according to claim 1, wherein a diameter of a nozzle closest to the discharge channel among the plurality of nozzles is larger than a diameter of another nozzle.
A droplet discharge apparatus comprising the droplet discharge head according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010103965A JP2011230410A (en) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | Liquid droplet ejection head and liquid droplet ejection apparatus with the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010103965A JP2011230410A (en) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | Liquid droplet ejection head and liquid droplet ejection apparatus with the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011230410A true JP2011230410A (en) | 2011-11-17 |
Family
ID=45320227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010103965A Pending JP2011230410A (en) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | Liquid droplet ejection head and liquid droplet ejection apparatus with the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2011230410A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019501771A (en) * | 2016-01-14 | 2019-01-24 | デュール システムズ アーゲーDurr Systems AG | Perforated plate with large hole spacing in one or both edge regions of the nozzle row |
| CN109693445A (en) * | 2017-10-24 | 2019-04-30 | 东芝泰格有限公司 | Fluid ejection head and liquid ejection apparatus |
| CN109693446A (en) * | 2017-10-24 | 2019-04-30 | 东芝泰格有限公司 | Fluid ejection head and liquid ejection apparatus |
| JP2019077168A (en) * | 2017-10-24 | 2019-05-23 | 東芝テック株式会社 | Liquid discharge head and liquid discharge device |
| JP2019077167A (en) * | 2017-10-24 | 2019-05-23 | 東芝テック株式会社 | Liquid discharge head and liquid discharge device |
| US11529645B2 (en) | 2016-01-14 | 2022-12-20 | Dürr Systems Ag | Perforated plate with a reduced diameter in one or both edge regions of a row of nozzles |
-
2010
- 2010-04-28 JP JP2010103965A patent/JP2011230410A/en active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019501771A (en) * | 2016-01-14 | 2019-01-24 | デュール システムズ アーゲーDurr Systems AG | Perforated plate with large hole spacing in one or both edge regions of the nozzle row |
| US11097291B2 (en) | 2016-01-14 | 2021-08-24 | Dürr Systems Ag | Perforated plate with increased hole spacing in one or both edge regions of a row of nozzles |
| US11529645B2 (en) | 2016-01-14 | 2022-12-20 | Dürr Systems Ag | Perforated plate with a reduced diameter in one or both edge regions of a row of nozzles |
| CN109693445A (en) * | 2017-10-24 | 2019-04-30 | 东芝泰格有限公司 | Fluid ejection head and liquid ejection apparatus |
| CN109693446A (en) * | 2017-10-24 | 2019-04-30 | 东芝泰格有限公司 | Fluid ejection head and liquid ejection apparatus |
| JP2019077168A (en) * | 2017-10-24 | 2019-05-23 | 東芝テック株式会社 | Liquid discharge head and liquid discharge device |
| JP2019077167A (en) * | 2017-10-24 | 2019-05-23 | 東芝テック株式会社 | Liquid discharge head and liquid discharge device |
| CN109693445B (en) * | 2017-10-24 | 2021-04-20 | 东芝泰格有限公司 | Liquid ejection head and liquid ejection device |
| CN109693446B (en) * | 2017-10-24 | 2021-10-26 | 东芝泰格有限公司 | Liquid discharge head and liquid discharge apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8087758B2 (en) | Liquid droplet ejecting head and liquid droplet ejecting apparatus | |
| JP2011230410A (en) | Liquid droplet ejection head and liquid droplet ejection apparatus with the same | |
| CN107215114B (en) | Inkjet printing method for controlling film thickness distribution and method for manufacturing display device | |
| JP6990877B2 (en) | Inkjet head and inkjet device using it and ink application method | |
| CN109484024B (en) | Ink jet head, ink jet apparatus using the same, and method of manufacturing device | |
| US7789494B2 (en) | Inkjet head including plurality of restrictors to restrain crosstalk | |
| JP4984959B2 (en) | PATTERN FORMING APPARATUS, PATTERN FORMING METHOD, COLOR FILTER AND ORGANIC FUNCTIONAL DEVICE MANUFACTURING METHOD | |
| JP5541727B2 (en) | Recording device | |
| JP2009255513A (en) | Liquid ejecting method, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus | |
| JP2016215096A (en) | Ink drying preventing device | |
| US7883179B2 (en) | Nozzle plate usable with inkjet printhead | |
| CN108656744B (en) | Liquid ejecting apparatus and liquid ejecting method | |
| JP2006315326A (en) | Ink-jet recording head, method for manufacturing head, and ink-jet recorder | |
| US20190061348A1 (en) | Liquid discharge device | |
| CN115052686A (en) | Coating device, coating method, and program | |
| JP2011042155A (en) | Inkjet head and method for manufacturing inkjet head | |
| JP2012232574A (en) | Method of driving liquid ejection head and liquid ejection apparatus | |
| CN110385926B (en) | Printing method, printing apparatus, EL, and method for manufacturing solar cell | |
| KR101257838B1 (en) | Method for forming hydrophobic coating layer on surface of nozzle plate of inkjet head | |
| CN107443904A (en) | Ink gun and ink-jet printer | |
| US20060268059A1 (en) | Hydrophobic nozzle exit with improved micro fluid ejection dynamics | |
| JP4562177B2 (en) | Liquid discharge recording head and liquid discharge recording apparatus | |
| JP2011147915A (en) | Ink jet head and ink jet device | |
| TWI574848B (en) | Liquid injection device, method for manufacturing liquid injection device, and printer | |
| JP4569594B2 (en) | Color filter manufacturing method |