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JP2011249035A - Organic el display panel and method of manufacturing the same - Google Patents

Organic el display panel and method of manufacturing the same Download PDF

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JP2011249035A
JP2011249035A JP2010118363A JP2010118363A JP2011249035A JP 2011249035 A JP2011249035 A JP 2011249035A JP 2010118363 A JP2010118363 A JP 2010118363A JP 2010118363 A JP2010118363 A JP 2010118363A JP 2011249035 A JP2011249035 A JP 2011249035A
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JP
Japan
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organic
outer peripheral
peripheral wall
display panel
substrate
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Application number
JP2010118363A
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Japanese (ja)
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Shuhei Nakatani
修平 中谷
Ryoji Hiuga
亮二 日向
Tsuneyuki Ejima
恒行 江嶋
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Panasonic Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL display panel that suppresses luminance unevenness and has a high display quality.SOLUTION: An organic EL display panel 10 includes a substrate 100; a plurality of pixel electrodes 210 arrayed on the substrate 100 to constitute an image display region 900; an organic functional layer 650 including a light emitting layer 600 formed by a coating method and made of a light emitting material, and arranged on the pixel electrodes; a counter electrode 220 arranged on the organic functional layer 650 and shared for the plurality of pixel electrodes 210; a wall-like sealing portion 750 arranged on the substrate 100 so as to surround an outer periphery of the image display region 900; and a sealing plate 700 arranged on the sealing portion 750. The counter electrode 220 is arranged even on an inner wall surface 770 of the sealing portion.

Description

本発明は、有機ELディスプレイパネルおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic EL display panel and a manufacturing method thereof.

有機ELディスプレイパネルとは、有機化合物の電界発光を利用した発光素子(有機EL素子)を有するディスプレイパネルである。有機ELディスプレイパネルは、画素電極と、画素電極上に配置された有機発光層と、有機発光層上に配置された対向電極を含む有機EL素子を有する。有機発光層に含まれる有機EL材料は、低分子有機化合物の組み合わせ(ホスト材料とドーパント材料)と、高分子有機化合物とに大別される。高分子有機化合物の例には、PPVと称されるポリフェニレンビニレンやその誘導体などが含まれる。高分子有機化合物を利用した有機ELディスプレイパネルは、比較的低電圧で駆動でき、消費電力が少なく、ディスプレイパネルの大型化に対応し易いとされている。   An organic EL display panel is a display panel having a light emitting element (organic EL element) using electroluminescence of an organic compound. The organic EL display panel includes an organic EL element including a pixel electrode, an organic light emitting layer disposed on the pixel electrode, and a counter electrode disposed on the organic light emitting layer. The organic EL material contained in the organic light emitting layer is roughly classified into a combination of a low molecular organic compound (host material and dopant material) and a high molecular organic compound. Examples of the macromolecular organic compound include polyphenylene vinylene called PPV and derivatives thereof. An organic EL display panel using a polymer organic compound can be driven at a relatively low voltage, consumes less power, and is easily adapted to an increase in the size of the display panel.

また、高分子有機化合物は、キシレンやトルエン等の芳香族系の有機溶剤に溶解させた溶液の状態とすることができる。このため、インクジェット法などの印刷法で高分子有機化合物の溶液(以下、単に「インク」とも記す)を所定の箇所に塗布し、有機発光層を形成することが可能である。即ち、高分子化合物を適正な箇所に配置する方法として、簡便かつ処理能力の高いインクジェット法を採用することで、ディスプレイパネルの大画面化により対応し易いとされている。   The high molecular organic compound can be in the form of a solution dissolved in an aromatic organic solvent such as xylene or toluene. For this reason, it is possible to apply a solution of a polymer organic compound (hereinafter also simply referred to as “ink”) to a predetermined location by a printing method such as an ink jet method to form an organic light emitting layer. That is, as a method of arranging the polymer compound at an appropriate location, it is said that it is easy to cope with the enlargement of the screen of the display panel by adopting a simple and high-capacity inkjet method.

有機EL素子は、画素電極、正孔注入層、および有機発光層等の複数のレイヤーからなる積層デバイスである。そして、それぞれのレイヤーの膜厚は、有機EL素子の発光特性を左右する重要な要素であるといえる。なかでも、発光に直接寄与する有機発光層の膜厚に対しては高度な均一性が要求される。有機発光層の膜厚のバラつきは有機ELディスプレイパネルに「輝度ムラ」を生じさせるため、有機ELディスプレイパネルの表示品質欠陥につながる。   The organic EL element is a laminated device composed of a plurality of layers such as a pixel electrode, a hole injection layer, and an organic light emitting layer. And it can be said that the film thickness of each layer is an important element which influences the light emission characteristic of an organic EL element. In particular, a high degree of uniformity is required for the thickness of the organic light emitting layer that directly contributes to light emission. The variation in the thickness of the organic light emitting layer causes “brightness unevenness” in the organic EL display panel, which leads to display quality defects in the organic EL display panel.

インクジェット法などの印刷法で有機発光層を形成する場合には、先ず、バンクと呼ばれる画素を規定する隔壁の内側にインクを塗布する。次いで、インクに含まれる有機溶剤を蒸発させ、インクを乾燥させることで100nm程度の膜厚の有機発光層を形成することができる。形成される有機発光層の膜厚や膜形状は、インクの乾燥工程により左右されることが知られている。   In the case of forming an organic light emitting layer by a printing method such as an ink jet method, first, ink is applied to the inside of a partition wall that defines a pixel called a bank. Next, an organic light-emitting layer having a thickness of about 100 nm can be formed by evaporating the organic solvent contained in the ink and drying the ink. It is known that the film thickness and film shape of the organic light emitting layer to be formed depend on the ink drying process.

例えば、基板上の同一の画素領域内に配置された画素であっても、形成される有機発光層の形状にバラつきが発生する場合がある。具体的には、画素表示領域の周縁部に配置された画素における有機発光層は、基板の外側に向かって傾斜した形状となる場合がある。これは、画素領域の周縁部における有機溶剤の蒸気濃度は中央部に比して低く、画素領域の周縁部ほどインクの乾燥速度が高くなるためである。そして、ディスプレイパネルの大型化に伴い、乾燥速度の相違に起因して発生する有機発光層の形状のバラつきは特に顕著となる傾向にある。   For example, even in the case of pixels arranged in the same pixel region on the substrate, the shape of the formed organic light emitting layer may vary. Specifically, the organic light emitting layer in the pixel arranged in the peripheral portion of the pixel display region may have a shape inclined toward the outside of the substrate. This is because the vapor concentration of the organic solvent at the peripheral portion of the pixel region is lower than that at the central portion, and the ink drying rate increases at the peripheral portion of the pixel region. And with the enlargement of a display panel, the variation in the shape of the organic light emitting layer due to the difference in drying speed tends to be particularly remarkable.

上記のような問題を解決すべく、発光には寄与しないダミーの画素を発光に寄与する画素表示領域の周囲に設け、膜厚が均一な画素のみを発光させる方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。また、インク塗布領域の周囲に着脱可能な仕切り用の囲いを一時的に設けて乾燥させることにより、塗布領域端部における乾燥速度の上昇を抑制し、塗布領域面内でムラなく均一に乾燥させて均一な膜を形成する方法が知られている(例えば、特許文献2参照)。   In order to solve the above problems, a method is known in which dummy pixels that do not contribute to light emission are provided around a pixel display region that contributes to light emission, and only pixels having a uniform film thickness emit light (for example, Patent Document 1). Also, by temporarily providing a removable partition enclosure around the ink application area and drying it, the increase in the drying speed at the end of the application area is suppressed, and the application area surface is uniformly dried. A method for forming a uniform film is known (see, for example, Patent Document 2).

特許第3628997号公報Japanese Patent No. 3628997 特開2007−90200号公報JP 2007-90200 A

しかしながら、引用文献1に記載された方法ではパネル面積に占める発光領域の面積の割合が小さくなってしまうため、パネルの表示性能が低下するという問題がある。また、発光に寄与しない部分にもインクを塗布する必要があるため、材料の使用効率が低下し、パネルの製造コストが嵩むという問題もある。   However, the method described in the cited document 1 has a problem that the display performance of the panel is deteriorated because the ratio of the area of the light emitting region to the panel area is reduced. In addition, since it is necessary to apply ink to a portion that does not contribute to light emission, there is a problem that the use efficiency of the material is lowered and the manufacturing cost of the panel is increased.

また、引用文献2に記載された方法では、仕切り用の囲いを基板に装着させる必要があるとともに、インクの乾燥後には仕切り用の囲いを基板から取り外す必要がある。このため、仕切り用の囲いの装着時および取り外し時に微細なパーティクル(ゴミ)が発生し易い。従って、発生したパーティクルが基板に付着した場合にはディスプレイパネルの表示品質が低下してしまい、製造歩留まりが低下するという問題があった。   Further, according to the method described in the cited document 2, it is necessary to attach a partition enclosure to the substrate and to remove the partition enclosure from the substrate after the ink is dried. For this reason, fine particles (dust) are likely to be generated when the partition enclosure is mounted and removed. Therefore, when the generated particles adhere to the substrate, the display quality of the display panel deteriorates, and there is a problem that the manufacturing yield decreases.

本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、輝度ムラの発生が抑制され、表示品質の高い有機ELディスプレイパネル、およびその製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and an object of the present invention is to suppress the occurrence of luminance unevenness and to provide an organic EL display panel with high display quality, and a method for manufacturing the same. Is to provide.

即ち、本発明によれば、以下に示す有機ELディスプレイパネル、および有機ELディスプレイパネルの製造方法が提供される。   That is, according to the present invention, the following organic EL display panel and a method for manufacturing the organic EL display panel are provided.

[1]基板と、前記基板上に配列されて画像表示領域を構成する複数の画素電極と、
塗布法で形成された発光材料からなる発光層を含む、前記画素電極上に配置された有機機能層と、前記有機機能層上に配置され、前記複数の画素電極に対して共有する対向電極と、前記画像表示領域の外周を囲むように前記基板上に配置された壁状の封止部と、前記封止部上に配置された封止板と、を備え、前記対向電極が、前記封止部の内壁面上にも配置されている有機ELディスプレイパネル。
[1] A substrate, and a plurality of pixel electrodes arranged on the substrate and constituting an image display area,
An organic functional layer disposed on the pixel electrode, including a light emitting layer made of a light emitting material formed by a coating method; and a counter electrode disposed on the organic functional layer and shared with the plurality of pixel electrodes; A wall-shaped sealing portion disposed on the substrate so as to surround an outer periphery of the image display region, and a sealing plate disposed on the sealing portion, and the counter electrode includes the sealing member An organic EL display panel also arranged on the inner wall surface of the stop.

[2]前記封止部が、ガラスフリットの焼成物により形成されている前記[1]に記載の有機ELディスプレイパネル。   [2] The organic EL display panel according to [1], wherein the sealing portion is formed of a fired product of glass frit.

[3]前記封止部の内部に空隙が形成されている前記[1]又は[2]に記載の有機ELディスプレイパネル。   [3] The organic EL display panel according to [1] or [2], wherein a gap is formed inside the sealing portion.

[4]基板上に画像表示領域を構成する複数の画素電極を配列するステップと、発光材料および揮発性の有機溶媒を含有するインクを前記画素電極上に塗布するステップと、前記画像表示領域の外周を囲む高さ3mm以上の外周壁を前記基板上に形成するステップと、前記画素電極上に塗布した前記インクを乾燥させて発光層を形成するステップと、前記発光層上および前記外周壁の内壁面上に対向電極を形成するステップと、前記外周壁上に封止板を配置するとともに前記外周壁を押し潰し、前記画像表示領域の外周を囲むように配置された壁状の封止部を形成するステップと、を有する有機ELディスプレイパネルの製造方法。   [4] A step of arranging a plurality of pixel electrodes constituting the image display region on the substrate, a step of applying an ink containing a light emitting material and a volatile organic solvent on the pixel electrode, Forming an outer peripheral wall having a height of 3 mm or more surrounding the outer periphery on the substrate; drying the ink applied on the pixel electrode to form a light emitting layer; and forming the light emitting layer on the light emitting layer and the outer peripheral wall. A step of forming a counter electrode on an inner wall surface; and a wall-shaped sealing portion disposed so as to surround the outer periphery of the image display area by disposing a sealing plate on the outer peripheral wall and crushing the outer peripheral wall. Forming an organic EL display panel.

[5]押し潰した前記外周壁を、レーザーにより焼成して前記封止部を形成する前記[4]に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   [5] The method for manufacturing an organic EL display panel according to [4], wherein the squeezed outer peripheral wall is baked with a laser to form the sealing portion.

[6]ガラスフリット材料を用いて前記外周壁を形成する前記[4]又は[5]に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   [6] The method for producing an organic EL display panel according to [4] or [5], wherein the outer peripheral wall is formed using a glass frit material.

[7]前記ガラスフリット材料には、前記インクに含有される前記有機溶媒と同一種類の有機溶媒が含有されている前記[6]に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   [7] The method for producing an organic EL display panel according to [6], wherein the glass frit material contains an organic solvent of the same type as the organic solvent contained in the ink.

[8]前記外周壁を、前記画像表示領域の端縁から100μm以上離隔させて前記基板上に形成する前記[4]〜[7]のいずれかに記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   [8] The method for manufacturing an organic EL display panel according to any one of [4] to [7], wherein the outer peripheral wall is formed on the substrate with a distance of 100 μm or more from an edge of the image display region.

[9]前記外周壁は、その上部が前記基板の外周方向に傾斜している前記[4]〜[8]のいずれかに記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   [9] The method for manufacturing an organic EL display panel according to any one of [4] to [8], wherein an upper portion of the outer peripheral wall is inclined in an outer peripheral direction of the substrate.

[10]前記外周壁は、内側に比して外側が高い階段状である前記[4]〜[9]のいずれかに記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   [10] The method for manufacturing an organic EL display panel according to any one of [4] to [9], wherein the outer peripheral wall has a step shape that is higher on the outside than on the inside.

本発明の有機ELディスプレイパネルは発光層の膜厚が均一であるため、輝度ムラの発生が抑制されており、表示品質が極めて高いものである。   Since the organic EL display panel of the present invention has a uniform light emitting layer thickness, the occurrence of luminance unevenness is suppressed, and the display quality is extremely high.

本発明の有機ELディスプレイパネルの製造方法によれば、所定高さの外周壁を画像表示領域の外周を囲むように形成した状態で、所定の箇所に塗布した発光材料を含有するインクを乾燥させるため、インクの乾燥速度を均一にして、形成される発光層の膜厚を均一にすることができる。このため、本発明の有機ELディスプレイパネルの製造方法によれば、輝度ムラの発生が抑制され、表示品質の高い有機ELディスプレイパネルを製造することができる。   According to the method for manufacturing an organic EL display panel of the present invention, in a state where an outer peripheral wall having a predetermined height is formed so as to surround the outer periphery of the image display region, the ink containing the light emitting material applied to the predetermined portion is dried. Therefore, the drying speed of the ink can be made uniform, and the film thickness of the formed light emitting layer can be made uniform. For this reason, according to the manufacturing method of the organic EL display panel of this invention, generation | occurrence | production of a brightness nonuniformity is suppressed and an organic EL display panel with high display quality can be manufactured.

本発明の有機ELディスプレイパネルの一実施形態を模式的に示す上面図である。It is a top view which shows typically one Embodiment of the organic electroluminescent display panel of this invention. 本発明の有機ELディスプレイパネルの一実施形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one Embodiment of the organic electroluminescent display panel of this invention. 本発明の有機ELディプレイパネルの製造方法の一実施形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one Embodiment of the manufacturing method of the organic electroluminescent display panel of this invention. 本発明の有機ELディプレイパネルの製造方法の一実施形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one Embodiment of the manufacturing method of the organic electroluminescent display panel of this invention. 本発明の有機ELディプレイパネルの製造方法の一実施形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one Embodiment of the manufacturing method of the organic electroluminescent display panel of this invention. 本発明の有機ELディプレイパネルの製造方法の一実施形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one Embodiment of the manufacturing method of the organic electroluminescent display panel of this invention. 本発明の有機ELディプレイパネルの製造方法の一実施形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one Embodiment of the manufacturing method of the organic electroluminescent display panel of this invention. 本発明の有機ELディプレイパネルの製造方法の一実施形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one Embodiment of the manufacturing method of the organic electroluminescent display panel of this invention. 本発明の有機ELディプレイパネルの製造方法の一実施形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one Embodiment of the manufacturing method of the organic electroluminescent display panel of this invention. 外周壁の構造の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the structure of an outer peripheral wall typically. 外周壁の構造の他の例を模式的示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the other example of the structure of an outer peripheral wall. 外周壁の構造の更に他の例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the other example of the structure of an outer peripheral wall. 流体解析により計算された、外周壁がない場合における基板上の蒸気濃度を示すグラフである。It is a graph which shows the vapor | steam density | concentration on a board | substrate when there is no outer peripheral wall computed by the fluid analysis. 流体解析により計算された、外周壁がある場合とない場合における基板上の蒸気濃度を示すグラフである。It is a graph which shows the vapor | steam density | concentration on a board | substrate with and without an outer peripheral wall calculated by the fluid analysis. 参考例1で形成した発光層(乾燥膜)の膜プロファイルの測定結果を示すグラフである。It is a graph which shows the measurement result of the film | membrane profile of the light emitting layer (dry film | membrane) formed in Reference Example 1. 比較参考例1で形成した発光層(乾燥膜)の膜プロファイルの測定結果を示すグラフである。6 is a graph showing the measurement results of the film profile of the light emitting layer (dry film) formed in Comparative Reference Example 1. 比較参考例2で形成した発光層(乾燥膜)の膜プロファイルの測定結果を示すグラフである。It is a graph which shows the measurement result of the film | membrane profile of the light emitting layer (dry film | membrane) formed in the comparative reference example 2. 参考例1でガラス基板上に形成した発光層、バンクおよび外周壁のパターンを模式的に示す上面図である。It is a top view which shows typically the pattern of the light emitting layer, bank, and outer peripheral wall which were formed on the glass substrate in the reference example 1. FIG. 図12AのX−X断面図である。It is XX sectional drawing of FIG. 12A.

1.有機ELディスプレイパネルの製造方法
本発明の有機ELディスプレイパネルの製造方法は、(1)基板上に複数の画素電極を配列するステップ(以下、「第1ステップ」とも記す)と、(2)発光材料を含有するインクを画素電極上に塗布するステップ(以下、「第2ステップ」とも記す)と、(3)画像表示領域の外周を囲む所定高さの外周壁を基板上に形成するステップ(以下、「第3ステップ」とも記す)と、(4)インクを乾燥させて発光層を形成するステップ(以下、「第4ステップ」とも記す)と、(5)対向電極を形成するステップ(以下、「第5ステップ」とも記す)と、(6)外周壁上に封止板を配置するステップ(以下、「第6ステップ」とも記す)と、を有する。
1. Manufacturing method of organic EL display panel The manufacturing method of the organic EL display panel of the present invention includes (1) a step of arranging a plurality of pixel electrodes on a substrate (hereinafter also referred to as “first step”), and (2) light emission. A step of applying ink containing a material on the pixel electrode (hereinafter also referred to as “second step”), and (3) a step of forming an outer peripheral wall having a predetermined height on the substrate surrounding the outer periphery of the image display region ( (Hereinafter also referred to as “third step”), (4) a step of drying the ink to form a light emitting layer (hereinafter also referred to as “fourth step”), and (5) a step of forming a counter electrode (hereinafter referred to as “fourth step”). And (6) a step of disposing a sealing plate on the outer peripheral wall (hereinafter also referred to as “sixth step”).

本発明の有機ELディスプレイパネルの製造方法では、(i)発光材料を含有するインクを塗布するステップ、(ii)インクが塗布される領域(画像表示領域)の外周を囲むように所定高さの外周壁を基板上に形成するステップ、および(iii)インクを乾燥させて発光層を形成するステップ、を含むことを特徴の一つとしている。このように、本発明の製造方法においては塗布したインクの周りを外周壁で囲った状態で乾燥させるため、画像表示領域の端部における局所的なインク乾燥速度の上昇を抑制することができる。このため、形成される発光層の膜厚を均一にすることができる。   In the method for producing an organic EL display panel of the present invention, (i) a step of applying an ink containing a light emitting material, (ii) a predetermined height so as to surround an outer periphery of a region to which the ink is applied (image display region). One of the features includes a step of forming an outer peripheral wall on the substrate, and (iii) a step of drying the ink to form a light emitting layer. As described above, in the manufacturing method of the present invention, since the periphery of the applied ink is dried in a state surrounded by the outer peripheral wall, a local increase in the ink drying speed at the end of the image display region can be suppressed. For this reason, the film thickness of the light emitting layer formed can be made uniform.

なお、上記(i)のステップと、上記(ii)のステップの実施順序は特に限定されず、いずれのステップを先に実施してもよい。但し、(i)のステップの後に(ii)のステップを実施することが、外周壁の存在に制約されることなく、より正確な箇所にインクを容易に塗布することができるために好ましい。   In addition, the execution order of the step (i) and the step (ii) is not particularly limited, and any step may be executed first. However, it is preferable to perform the step (ii) after the step (i) because the ink can be easily applied to a more accurate location without being restricted by the presence of the outer peripheral wall.

インクの乾燥速度(流束)は、Fickの法則より下記式(1)で表すことができる。
J=−D・(dc/dx) ・・・(1)
(J:流束、D:拡散係数、c:蒸気濃度、x:位置)
The drying speed (flux) of the ink can be expressed by the following formula (1) from Fick's law.
J = −D · (dc / dx) (1)
(J: flux, D: diffusion coefficient, c: vapor concentration, x: position)

上記式(1)式から、インクの乾燥速度はインクに含まれる有機溶媒の蒸気濃度の関数として表すことが可能であり、蒸気濃度が異なると乾燥速度も異なることがわかる。このため、塗布領域内でインクを均一に乾燥させるには、蒸気濃度が塗布領域の上で均一であることが必要である。なお、塗布領域の外側部分では蒸気の相互作用が小さいため、インクが拡散し易く、蒸気濃度は小さくなる傾向にある。   From the above equation (1), it can be seen that the drying speed of the ink can be expressed as a function of the vapor concentration of the organic solvent contained in the ink. For this reason, in order to uniformly dry the ink in the application region, it is necessary that the vapor concentration is uniform on the application region. In addition, since the interaction of the vapor is small in the outer portion of the application region, the ink tends to diffuse and the vapor concentration tends to be small.

図7は、流体解析により計算された、外周壁がない場合における基板上の蒸気濃度を示すグラフである。図7においては、インク塗布後、大気圧条件下で120秒放置後のシクロヘキシルベンゼン(CHB)の蒸気濃度の分布が示されている。なお、この流体解析は、汎用の数値流体力学ソフトウェアである商品名「FLUENT」(フルーエント・アジアパシフィック社製)を用いて行なったものである。   FIG. 7 is a graph showing the vapor concentration on the substrate calculated by fluid analysis when there is no outer peripheral wall. FIG. 7 shows the distribution of the vapor concentration of cyclohexylbenzene (CHB) after standing for 120 seconds under atmospheric pressure conditions after ink application. This fluid analysis was performed using a product name “FLUENT” (manufactured by Fluent Asia Pacific), which is general-purpose computational fluid dynamics software.

図7に示すように、基板の中心から離れるに従って蒸気濃度は徐々に低下しており、塗布領域の端部で急激に蒸気濃度は低下している。これにより、基板の中心部では蒸気濃度が比較的高く、インクの乾燥速度が遅いことが分かる。一方、基板の端部ではインクの乾燥速度が速いと考えられる。これにより基板面内でインクの乾燥ムラが生じ、形成される乾燥膜(発光層)の形状にバラつきが発生するものと推測される。発光層の形状のバラつきは輝度ムラにつながり、有機ELディスプレイパネルの表示特性が低下する要因となる。   As shown in FIG. 7, the vapor concentration gradually decreases as the distance from the center of the substrate increases, and the vapor concentration rapidly decreases at the end of the application region. Thus, it can be seen that the vapor concentration is relatively high at the center of the substrate and the ink drying speed is slow. On the other hand, it is considered that the ink drying speed is fast at the edge of the substrate. It is presumed that this causes uneven drying of the ink within the surface of the substrate, resulting in variations in the shape of the formed dry film (light emitting layer). The variation in the shape of the light emitting layer leads to luminance unevenness, which causes the display characteristics of the organic EL display panel to deteriorate.

図8は、流体解析により計算された、「外周壁がある場合」と「外周壁がない場合」における基板上の蒸気濃度を示すグラフである。図8に示すように、外周壁の高さが1mmの場合には、外周壁がない場合と同等の蒸気濃度分布となることが分かる。一方、外周壁の高さ3mmの場合には、基板の端部における蒸気濃度の低下が抑制されていることが明らかである。従って、単に外周壁を設けるだけでなく、設ける外周壁を所定の高さ以上とすることでインクの乾燥ムラを抑制可能であることが明らかである。これは、インク蒸気の発生量に比して外周壁が低い場合には、外周壁を乗り越えてインク蒸気が外部へと漏れ出すためである。なお、インク蒸気の発生量に比して外周壁が十分に高い場合には、外周壁で囲まれた領域内にインク蒸気が溜め込まれると考えられる。   FIG. 8 is a graph showing the vapor concentration on the substrate in “when there is an outer peripheral wall” and “when there is no outer peripheral wall” calculated by fluid analysis. As shown in FIG. 8, when the height of the outer peripheral wall is 1 mm, it can be seen that the vapor concentration distribution is the same as that without the outer peripheral wall. On the other hand, when the height of the outer peripheral wall is 3 mm, it is clear that the decrease in the vapor concentration at the end of the substrate is suppressed. Therefore, it is clear that not only the outer peripheral wall but also the ink drying unevenness can be suppressed by setting the outer peripheral wall to a predetermined height or more. This is because, when the outer peripheral wall is lower than the amount of ink vapor generated, the ink vapor leaks out over the outer peripheral wall. If the outer peripheral wall is sufficiently higher than the amount of ink vapor generated, it is considered that the ink vapor is stored in the region surrounded by the outer peripheral wall.

なお、本発明の製造方法においては外周壁を用いて封止部を形成し、基板と封止板を接着する。即ち、インクを均一に乾燥させるために用いた外周壁を、有機ELディスプレイパネルを構成する部材とする。従って、外周壁を取り外す工程が存在しないために、外周壁の取り外しに伴って発生する微細なパーティクル(ゴミ)が基板等に付着することがない。このため、ゴミ等の混入によるディスプレイパネルの表示品質の低下が起こり難く、製造歩留まりを向上させることができる。   In the manufacturing method of the present invention, the sealing portion is formed using the outer peripheral wall, and the substrate and the sealing plate are bonded. That is, the outer peripheral wall used for uniformly drying the ink is used as a member constituting the organic EL display panel. Therefore, since there is no step of removing the outer peripheral wall, fine particles (dust) generated with the removal of the outer peripheral wall do not adhere to the substrate or the like. For this reason, it is difficult for the display quality of the display panel to deteriorate due to contamination of dust and the like, and the manufacturing yield can be improved.

以下、本発明の有機ELディスプレイパネルの製造方法のそれぞれのステップについて詳細に説明する。   Hereinafter, each step of the manufacturing method of the organic EL display panel of the present invention will be described in detail.

(第1ステップ)
第1ステップでは、複数の画素電極を基板上にマトリクス状に配列して形成する。画素電極は、例えば、スパッタリング法等により電極材料の膜を基板上に形成した後、電極材料の膜をレジストでマスキングし、次いで、エッチングしてパターニングすることにより形成される。画素電極の膜厚は100〜200nm程度であることが好ましい。画素電極の膜厚が薄過ぎると、膜厚が不均一になり易い。
(First step)
In the first step, a plurality of pixel electrodes are formed in a matrix on the substrate. The pixel electrode is formed, for example, by forming an electrode material film on a substrate by sputtering or the like, then masking the electrode material film with a resist, and then etching and patterning. The film thickness of the pixel electrode is preferably about 100 to 200 nm. If the film thickness of the pixel electrode is too thin, the film thickness tends to be non-uniform.

なお、画素電極上には正孔注入層を形成してもよい。正孔注入層の材料は、通常、遷移金属の酸化物である。正孔注入層は、例えばスパッタリング法等により画素電極上に形成することができる。   Note that a hole injection layer may be formed over the pixel electrode. The material of the hole injection layer is usually a transition metal oxide. The hole injection layer can be formed on the pixel electrode by sputtering, for example.

また、発光領域を規定するバンクを、画素電極の周縁の一部または全部を覆うように形成することが好ましい。なお、画素電極上には正孔注入層を形成した場合には、画素電極上の正孔注入層の周縁の一部または全部を覆うようにバンクを形成すればよい。バンクの材料としては、ポリイミド、アクリル樹脂等の樹脂を含有する感光性樹脂材料を用いることができる。なお、樹脂中にフッ素化合物が導入されていてもよい。感光性樹脂組成物を使用すれば、フォトリソプロセス(塗布、ベーク、露光、現像、および焼成)によってバンクをパターン形成することができる。特に限定されることはないが、一例を挙げると、ベークは100℃で2分、露光は365nmがメインピークであるi線を露光量として200mJ/cm、現像は0.2質量%のTMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)液で60秒、リンスを純水で60秒、焼成は乾燥炉を使用して220℃で60分間実施すればよい。 In addition, it is preferable to form a bank that defines the light emitting region so as to cover a part or all of the periphery of the pixel electrode. When a hole injection layer is formed on the pixel electrode, a bank may be formed so as to cover part or all of the periphery of the hole injection layer on the pixel electrode. As the bank material, a photosensitive resin material containing a resin such as polyimide or acrylic resin can be used. Note that a fluorine compound may be introduced into the resin. If the photosensitive resin composition is used, the bank can be patterned by a photolithography process (coating, baking, exposure, development, and baking). Although not particularly limited, for example, TMAH is baked at 100 ° C. for 2 minutes, exposure is i-line having a main peak at 365 nm of 200 mJ / cm 2 , and development is 0.2% by mass. (Tetramethylammonium hydroxide) 60 seconds, rinse with pure water for 60 seconds, and firing may be performed at 220 ° C. for 60 minutes using a drying furnace.

なお、バンクの形成後、正孔輸送材料を含むインクを正孔注入層上に塗布してもよい。塗布されたインクを乾燥およびベークすること等により正孔輸送層を形成することができる。塗布されるインクには、所望の正孔輸送材料および有機溶媒が含有される。有機溶媒は、正孔輸送材料の種類に応じて決定される。有機溶媒の例には、アニソール等の芳香族系の溶媒が含まれる。インクを塗布する手段は特に限定されない。インクの塗布手段の例には、インクジェット法、ディスペンサー法、ノズルコート法、スピンコート法、ダイコート法、凹版印刷法、凸版印刷法等が含まれる。好ましいインクの塗布手段はインクジェット法である。   Note that after the bank is formed, an ink containing a hole transport material may be applied onto the hole injection layer. The hole transport layer can be formed by drying and baking the applied ink. The applied ink contains a desired hole transport material and an organic solvent. The organic solvent is determined according to the type of the hole transport material. Examples of the organic solvent include aromatic solvents such as anisole. The means for applying ink is not particularly limited. Examples of the ink application means include an inkjet method, a dispenser method, a nozzle coating method, a spin coating method, a die coating method, an intaglio printing method, and a relief printing method. A preferred ink application means is an ink jet method.

(第2ステップ)
第2ステップでは、発光材料を含有するインクを画素電極上に塗布する。なお、画素電極上に正孔注入層や正孔輸送層を形成した場合には、これらの層を介して画素電極上にインクを塗布する。また、バンクを形成した場合には、バンクで規定された領域内における画素電極上にインクを塗布する。
(Second step)
In the second step, ink containing a light emitting material is applied onto the pixel electrode. When a hole injection layer or a hole transport layer is formed on the pixel electrode, ink is applied onto the pixel electrode through these layers. When a bank is formed, ink is applied on the pixel electrode in the area defined by the bank.

インクには、発光材料と揮発性の有機溶媒が含有されている。有機溶媒は、発光材料の種類に応じて選択すればよい。有機溶媒の例には、シクロヘキシルベンゼン(CHB)、アニソール、メトキシトルエン、ヘプチルベンゼン等が含まれる。インクの塗布手段の例には、インクジェット法、ディスペンサー法、ノズルコート法、スピンコート法、ダイコート法、凹版印刷法、凸版印刷法等が含まれる。好ましいインクの塗布手段はインクジェット法である。   The ink contains a light emitting material and a volatile organic solvent. What is necessary is just to select an organic solvent according to the kind of luminescent material. Examples of the organic solvent include cyclohexylbenzene (CHB), anisole, methoxytoluene, heptylbenzene and the like. Examples of the ink application means include an inkjet method, a dispenser method, a nozzle coating method, a spin coating method, a die coating method, an intaglio printing method, and a relief printing method. A preferred ink application means is an ink jet method.

(第3ステップ)
第3ステップでは、画像表示領域の外周を囲む外周壁を基板上に形成する。ここで「画像表示領域」とは、基板上における複数の画素電極が配列された領域を意味する。なお、この外周壁は、発光材料を含有するインクの塗布後、インクの乾燥が進行しないうちに直ちに形成することが好ましい。
(Third step)
In the third step, an outer peripheral wall surrounding the outer periphery of the image display area is formed on the substrate. Here, the “image display area” means an area where a plurality of pixel electrodes are arranged on the substrate. The outer peripheral wall is preferably formed immediately after the ink containing the light emitting material is applied and before the ink is dried.

外周壁の材料としては、ガラスフリット材料(即ち、ガラスペースト)を用いることが好ましい。ガラスフリット材料には、通常、粉末状のガラスであるガラスフリットと有機溶媒が含有されている。ガラスフリット材料は、一般的な樹脂材料に比して粘度が高い。このため、ガラスフリット材料を使用すれば、ある程度の高さを有するとともに、形状保持製の良好な外周壁を容易に形成することができる。ガラスフリット材料に含有される有機溶媒は、発光層を形成するためのインクに含有される有機溶媒と同一種類の有機溶媒であることが好ましい。発光層等を形成するためのインクに含有される有機溶媒と同一種類の有機溶媒を用いることで、有機溶媒の蒸気が外周壁からも生ずることとなる。このため、外周壁の付近(即ち、画像表示領域の端部)における有機溶媒の蒸気濃度の低下をより効果的に抑制することができ、形成される発光層の膜厚をより均一にすることができる。   As a material for the outer peripheral wall, a glass frit material (that is, a glass paste) is preferably used. The glass frit material usually contains a glass frit which is powdery glass and an organic solvent. The glass frit material has a higher viscosity than a general resin material. For this reason, if a glass frit material is used, it can have a certain height and can easily form a good outer peripheral wall made of shape retention. The organic solvent contained in the glass frit material is preferably the same type of organic solvent as the organic solvent contained in the ink for forming the light emitting layer. By using the same type of organic solvent as the organic solvent contained in the ink for forming the light emitting layer or the like, vapor of the organic solvent is also generated from the outer peripheral wall. For this reason, the decrease in the vapor concentration of the organic solvent in the vicinity of the outer peripheral wall (that is, the end of the image display region) can be more effectively suppressed, and the film thickness of the formed light emitting layer can be made more uniform. Can do.

ガラスフリット材料等の外周壁を形成するための材料を塗布することによって、外周壁を形成する。塗布手段の例には、ディスペンサーを用いるディスペンサー法、ノズルコート法、ダイコート法等が含まれる。ガラスフリット材料等の好ましい塗布手段はディスペンサー法である。   The outer peripheral wall is formed by applying a material for forming the outer peripheral wall such as a glass frit material. Examples of the application means include a dispenser method using a dispenser, a nozzle coating method, a die coating method, and the like. A preferable application means such as a glass frit material is a dispenser method.

外周壁は、発光材料のインクから発生した有機溶媒の蒸気をその内部に溜め込むための構造体である。そして、有機溶媒の蒸発速度が速い場合には、有機溶媒の蒸気を内部に溜め込むために外周壁を高く形成する必要がある。即ち、外周壁の必要な高さはインクに含有される有機溶媒の蒸発速度によって定まる。例えば、有機溶媒がシクロヘキシルベンゼン(CHB)(25℃、大気圧下での蒸発速度:6.441×10−6kg/(m・sec))である場合には、外周壁の高さは3mm以上、好ましくは3〜5mmとする。また、有機溶媒がメトキシトルエン(25℃、大気圧下での蒸発速度:41.77×10−6kg/(m・sec))である場合には、外周壁の高さは20mm以上、好ましくは20〜24mmとする。更に、有機溶媒がフェノキシトルエン(25℃、大気圧下での蒸発速度:1.829×10−6kg/(m・sec))である場合には、外周壁の高さは0.9mm以上、好ましくは1〜3mmとする。 The outer peripheral wall is a structure for accumulating the vapor of the organic solvent generated from the ink of the light emitting material. When the evaporation rate of the organic solvent is high, it is necessary to form a high outer peripheral wall in order to store the vapor of the organic solvent inside. That is, the required height of the outer peripheral wall is determined by the evaporation rate of the organic solvent contained in the ink. For example, when the organic solvent is cyclohexylbenzene (CHB) (evaporation rate at 25 ° C. and atmospheric pressure: 6.441 × 10 −6 kg / (m 2 · sec)), the height of the outer peripheral wall is 3 mm or more, preferably 3 to 5 mm. Further, when the organic solvent is methoxytoluene (evaporation rate at 25 ° C. and atmospheric pressure: 41.77 × 10 −6 kg / (m 2 · sec)), the height of the outer peripheral wall is 20 mm or more, Preferably, it is 20 to 24 mm. Furthermore, when the organic solvent is phenoxytoluene (evaporation rate at 25 ° C. and atmospheric pressure: 1.829 × 10 −6 kg / (m 2 · sec)), the height of the outer peripheral wall is 0.9 mm. As mentioned above, Preferably it is 1-3 mm.

発光材料のインクから発生する有機溶媒の蒸発速度は、熱重量測定(TG)/示差熱分析(DTA)により重量減少量から算出した。また、TG/DTAには商品名「EXSTAR TG/DTA7000」(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製)を使用した。   The evaporation rate of the organic solvent generated from the ink of the luminescent material was calculated from the weight loss by thermogravimetry (TG) / differential thermal analysis (DTA). The trade name “EXSTAR TG / DTA7000” (manufactured by SII Nanotechnology) was used for TG / DTA.

なお、第2ステップと第3ステップの実施順序については特に限定されず、いずれのステップを先に実施してもよい。但し、第2ステップの後に第3ステップを実施することが、外周壁の存在に制約されることなく、より正確な箇所にインクを容易に塗布することができるために好ましい。   In addition, about the implementation order of a 2nd step and a 3rd step, it does not specifically limit, Any step may be implemented first. However, it is preferable to perform the third step after the second step because the ink can be easily applied to a more accurate location without being restricted by the presence of the outer peripheral wall.

(第4ステップ)
第4ステップでは、画素電極上に塗布したインクを、画像表示領域の周りを所定高さの外周壁で囲んだ状態で乾燥させる。これにより発光層を形成することができる。インクの乾燥手段は特に限定されないが、例えば減圧乾燥によって乾燥させることが好ましい。減圧乾燥は、例えば真空チャンバーを使用し、真空ポンプ等でチャンバー内を到達圧力5Pa程度まで減圧することにより行えばよい。なお、インクの乾燥と同時に外周壁を乾燥させることもできる。また、通常、インクの乾燥後にIR炉やホットプレート等を使用して10分程度ベークする。ベーク温度は発光材料の種類によって適宜設定されるが、例えば130℃前後である。
(4th step)
In the fourth step, the ink applied onto the pixel electrode is dried in a state where the periphery of the image display area is surrounded by an outer peripheral wall having a predetermined height. Thereby, a light emitting layer can be formed. The means for drying the ink is not particularly limited, but it is preferable to dry the ink by, for example, drying under reduced pressure. The vacuum drying may be performed, for example, by using a vacuum chamber and reducing the pressure in the chamber to an ultimate pressure of about 5 Pa with a vacuum pump or the like. The outer peripheral wall can be dried simultaneously with the drying of the ink. Usually, after the ink is dried, it is baked for about 10 minutes using an IR furnace or a hot plate. The baking temperature is appropriately set depending on the type of the light emitting material, and is, for example, around 130 ° C.

(第5ステップ)
第5ステップでは、発光層の上面を含む画像表示領域の全ての上面に対向電極を形成する。対向電極は、例えばスパッタリング法等により形成することができる。なお、画像表示領域の全ての上面に対向電極を形成すると、同時に外周壁の内壁面上にも対向電極が形成されることとなる。
(5th step)
In the fifth step, counter electrodes are formed on all upper surfaces of the image display region including the upper surface of the light emitting layer. The counter electrode can be formed by, for example, a sputtering method. When the counter electrode is formed on all the upper surfaces of the image display area, the counter electrode is also formed on the inner wall surface of the outer peripheral wall at the same time.

(第6ステップ)
第6ステップでは、外周壁上に封止板を配置する。その際、外周壁を押し潰して、画像表示領域の外周を囲むように配置された壁状の封止部(ダム(DAM))を形成する。形成された壁状の封止部を介して基板と封止板を貼り合わせれば有機ELディスプレイパネルを得ることができる。
(6th step)
In the sixth step, a sealing plate is disposed on the outer peripheral wall. At that time, the outer peripheral wall is crushed to form a wall-shaped sealing portion (dam (DAM)) arranged so as to surround the outer periphery of the image display region. An organic EL display panel can be obtained by pasting the substrate and the sealing plate through the formed wall-shaped sealing portion.

なお、通常、変形させた外周壁を焼成することにより壁状の封止部を形成する。但し、外周壁の構成材料がガラスフリット材料である場合には変形させた外周壁にレーザーを照射してガラスフリットを焼成することが好ましい。ガラスフリットの焼成に要する温度は、通常400〜800℃と高温であるので、焦点範囲の狭いレーザーを照射することによって外周壁以外の部分への影響を回避しつつ外周壁のガラスフリットを焼成することができる。   Normally, the wall-shaped sealing portion is formed by firing the deformed outer peripheral wall. However, when the constituent material of the outer peripheral wall is a glass frit material, it is preferable to fire the glass frit by irradiating the deformed outer peripheral wall with a laser. Since the temperature required for firing the glass frit is usually as high as 400 to 800 ° C., the glass frit on the outer peripheral wall is fired while irradiating a laser having a narrow focal range while avoiding the influence on portions other than the outer peripheral wall. be able to.

2.有機ELディスプレイパネル
本発明の有機ELディスプレイパネルは、上述した本発明の有機ELディスプレイパネルの製造方法によって製造されるものである。本発明の有機ELディスプレイパネルは、基板と、基板上に配列された複数の画素電極と、発光層を含む有機機能層と、有機機能層上に配置された対向電極と、画像表示領域の外周を囲むように基板上に配置された壁状の封止部と、封止部上に配置された封止板と、を備えている。以下、それぞれの構成要素について説明する。
2. Organic EL Display Panel The organic EL display panel of the present invention is manufactured by the above-described method for manufacturing the organic EL display panel of the present invention. The organic EL display panel of the present invention includes a substrate, a plurality of pixel electrodes arranged on the substrate, an organic functional layer including a light emitting layer, a counter electrode disposed on the organic functional layer, and an outer periphery of the image display region. The wall-shaped sealing part arrange | positioned on a board | substrate so that may be enclosed, and the sealing board arrange | positioned on a sealing part. Hereinafter, each component will be described.

(基板)
基板の材料は、有機ELでディスプレイパネルがボトムエミッション型か、トップエミッション型かによって異なる。例えば、ボトムエミッション型の場合、基板は、透明であることが求められる。従って、ボトムエミッション型の場合、基板の材料の例にはガラスや石英、透明プラスチック等が含まれる。一方、トップエミッション型の場合、基板が透明である必要はない。従って、トップエミッション型の場合、基板の材料は絶縁体であれば任意であり、例えば不透明プラスチックや金属等である。
(substrate)
The material of the substrate differs depending on whether the display panel is an organic EL or a bottom emission type or a top emission type. For example, in the case of the bottom emission type, the substrate is required to be transparent. Therefore, in the case of the bottom emission type, examples of the material of the substrate include glass, quartz, and transparent plastic. On the other hand, in the case of the top emission type, the substrate does not need to be transparent. Therefore, in the case of the top emission type, the material of the substrate is arbitrary as long as it is an insulator, and is, for example, opaque plastic or metal.

有機ELディスプレイパネルがアクティブマトリクス型である場合、基板には、有機EL素子を駆動するための薄膜トランジスタ(駆動TFT)が内蔵される。基板に内蔵されたTFTのソース電極またはドレイン電極は、画素電極に接続される。また、画素電極を、TFTのソース電極またはドレイン電極と同一平面に配置してもよい。なお、有機ELディスプレイパネルはTFT上に積層して配置されていてもよい。   When the organic EL display panel is an active matrix type, a thin film transistor (drive TFT) for driving the organic EL element is built in the substrate. The source electrode or drain electrode of the TFT built in the substrate is connected to the pixel electrode. Further, the pixel electrode may be arranged on the same plane as the source electrode or drain electrode of the TFT. Note that the organic EL display panel may be laminated on the TFT.

(画素電極)
画素電極は基板上に配置される導電性部材である。画素電極は、通常陽極として機能するが、陰極として機能してもよい。有機ELディスプレイパネルがボトムエミッション型の場合、画素電極が透明電極であることが求められ、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、または酸化スズ等で形成すればよい。有機ELディスプレイパネルがトップエミッション型の場合には、画素電極には光反射性が求められる。光反射性の画素電極は、例えば銀を含む合金、より具体的には銀−パラジウム−銅合金(APCとも称する)、銀−ルビジジウム−金合金(ARAとも称する)、モリブデン−クロムの合金(MoCrとも称する)、ニッケル−クロム合金(NiCrとも称する)、アルミニウム合金等で形成すればよい。画素電極の厚さは、通常100〜500nmであり、約150nmであることが好ましい。
(Pixel electrode)
The pixel electrode is a conductive member disposed on the substrate. The pixel electrode normally functions as an anode, but may function as a cathode. When the organic EL display panel is a bottom emission type, the pixel electrode is required to be a transparent electrode, and may be formed of ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide), tin oxide, or the like. When the organic EL display panel is a top emission type, the pixel electrode is required to have light reflectivity. The light-reflective pixel electrode includes, for example, an alloy containing silver, more specifically, a silver-palladium-copper alloy (also referred to as APC), a silver-rubididium-gold alloy (also referred to as ARA), a molybdenum-chromium alloy (MoCr). Or a nickel-chromium alloy (also referred to as NiCr), an aluminum alloy, or the like. The thickness of the pixel electrode is usually 100 to 500 nm, preferably about 150 nm.

(正孔注入層および正孔輸送層)
画素電極上には、正孔注入層と正孔輸送層の少なくともいずれかが配置されてもよい。正孔注入層とは、正孔注入材料からなる層を意味する。正孔注入材料の例には、ポリスチレンスルホン酸をドープしたポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)(PEDOT−PSSと称される)や、その誘導体(共重合体等)が含まれる。また、正孔注入材料には、WOx(タングステンオキサイド)、MoOx(モリブデンオキサイド)、VOx(バナジウムオキサイド)等の酸化物;これらの組み合わせ;MoをドープしたWOx等が含まれていてもよい。正孔注入層の厚さは、通常10nm以上100nm以下、好ましくは約30nmである。
(Hole injection layer and hole transport layer)
At least one of a hole injection layer and a hole transport layer may be disposed on the pixel electrode. The hole injection layer means a layer made of a hole injection material. Examples of the hole injection material include poly (3,4-ethylenedioxythiophene) doped with polystyrene sulfonic acid (referred to as PEDOT-PSS) and derivatives thereof (copolymers and the like). In addition, the hole injection material may include oxides such as WOx (tungsten oxide), MoOx (molybdenum oxide), and VOx (vanadium oxide); combinations thereof; WOx doped with Mo and the like. The thickness of the hole injection layer is usually 10 nm or more and 100 nm or less, preferably about 30 nm.

正孔輸送層は、正孔注入層への電子の輸送をブロックする役割や、発光層に正孔を効率よく運ぶ役割等を有する層である。正孔輸送層は、例えばフルオレンと芳香族アミンとの共重合体からなる層である。正孔輸送層の厚さは通常、10nm以上100nm以下であり、好ましくは約30nmである。   The hole transport layer is a layer having a role of blocking the transport of electrons to the hole injection layer, a role of efficiently transporting holes to the light emitting layer, and the like. The hole transport layer is a layer made of a copolymer of fluorene and an aromatic amine, for example. The thickness of the hole transport layer is usually from 10 nm to 100 nm, preferably about 30 nm.

(バンク)
発光領域を規定するバンクが、画素電極の周縁の一部または全部を覆うように形成されていることが好ましい。バンクは、ポリイミドやアクリル樹脂等の樹脂からなる構造体である。これらの樹脂は、少なくとも一部の繰返し単位にフッ素原子を有するフッ素樹脂であることが好ましい。フッ素樹脂の例には、フッ素化ポリオレフィン系樹脂、フッ素化ポリイミド樹脂、フッ素化ポリアクリル樹脂等が含まれる。フッ素樹脂の更なる具体例には、特表2002−543469号公報に記載されているフッ素含有ポリマー;フルオロエチレンとビニルエーテルとの共重合体である商品名「ルミフロン」(LUMIFLON、登録商標、旭硝子社製)等が含まれる。バンクの基板からの高さは、通常0.1μm〜2μm、好ましくは0.8μm〜1.2μmである。
(bank)
It is preferable that the bank defining the light emitting region is formed so as to cover part or all of the periphery of the pixel electrode. The bank is a structure made of a resin such as polyimide or acrylic resin. These resins are preferably fluororesins having fluorine atoms in at least some of the repeating units. Examples of the fluororesin include fluorinated polyolefin resin, fluorinated polyimide resin, fluorinated polyacrylic resin, and the like. Further specific examples of the fluororesin include a fluorine-containing polymer described in JP-T-2002-543469; a trade name “LUMIFLON” (registered trademark, Asahi Glass Co., Ltd.), which is a copolymer of fluoroethylene and vinyl ether. Manufactured) and the like. The height of the bank from the substrate is usually 0.1 μm to 2 μm, preferably 0.8 μm to 1.2 μm.

バンクの形状は順テーパー状であることが好ましい。順テーパー状とは、バンクの障壁面が斜めになっており、バンクの底面の面積がバンクの上面の面積よりも大きい形状を意味する。バンクの形状がテーパー状である場合、テーパー角度は通常20°〜80°、好ましくは30°〜50°である。   The shape of the bank is preferably a forward tapered shape. The forward taper shape means a shape in which the barrier surface of the bank is inclined and the area of the bottom surface of the bank is larger than the area of the upper surface of the bank. When the bank shape is tapered, the taper angle is usually 20 ° to 80 °, preferably 30 ° to 50 °.

バンク上面の濡れ性は低いことが好ましく、バンク壁面の濡れ性よりも低いことが好ましい。なお、バンクの上面とは、バンクの頂点を含む面を意味する。具体的には、バンク上面と水との接触角は、通常80°以上、好ましくは90°以上である。また、バンク上面とアニソールとの接触角は、通常30°〜70°である。一方、バンク壁面とアニソールとの接触角は、通常3°〜30°である。なお、接触角の値が高いほど、その面の濡れ性が低いことを意味する。   The wettability of the bank upper surface is preferably low, and is preferably lower than the wettability of the bank wall surface. The top surface of the bank means a surface including the top of the bank. Specifically, the contact angle between the bank upper surface and water is usually 80 ° or more, preferably 90 ° or more. The contact angle between the bank upper surface and anisole is usually 30 ° to 70 °. On the other hand, the contact angle between the bank wall surface and anisole is usually 3 ° to 30 °. In addition, it means that the wettability of the surface is so low that the value of a contact angle is high.

(有機機能層)
画素電極上には、少なくとも一の発光層を含む有機機能層が配置される。なお、画素電極上に正孔注入層や正孔輸送層が配置される場合には、これらの層を介して画素電極上に有機機能層が配置される。また、バンクを有する場合には、バンクによって規定された領域内に有機機能層が配置される。有機機能層の厚さは、特に限定されないが、例えば50〜200nm程度であればよい。
(Organic functional layer)
An organic functional layer including at least one light emitting layer is disposed on the pixel electrode. In addition, when a hole injection layer and a hole transport layer are arrange | positioned on a pixel electrode, an organic functional layer is arrange | positioned on a pixel electrode through these layers. When the bank is provided, the organic functional layer is disposed in a region defined by the bank. Although the thickness of an organic functional layer is not specifically limited, What is necessary is just about 50-200 nm, for example.

発光層に含まれる有機EL材料は、副画素(有機EL素子)が発する光の色(RGB)に応じて副画素ごとに適宜選択される。有機EL材料は、高分子有機EL材料と低分子有機EL材料のいずれでもよいが、塗布法により形成する観点からは高分子有機EL材料が好ましい。高分子有機EL材料を用いることで、他の部材に損傷を与えることなく発光層を容易に形成することができる。   The organic EL material contained in the light emitting layer is appropriately selected for each sub-pixel according to the color (RGB) of light emitted from the sub-pixel (organic EL element). The organic EL material may be either a high molecular organic EL material or a low molecular organic EL material, but a high molecular organic EL material is preferable from the viewpoint of forming by a coating method. By using the polymer organic EL material, the light emitting layer can be easily formed without damaging other members.

高分子有機EL材料の例には、ポリパラフェニレンビニレンおよびその誘導体、ポリアセチレンおよびその誘導体、ポリフェニレンおよびその誘導体、ポリパラフェニレンエチレンおよびその誘導体、ポリ3−ヘキシルチオフェンおよびその誘導体、ポリフルオレンおよびその誘導体などが含まれる。   Examples of the polymer organic EL material include polyparaphenylene vinylene and derivatives thereof, polyacetylene and derivatives thereof, polyphenylene and derivatives thereof, polyparaphenylene ethylene and derivatives thereof, poly-3-hexylthiophene and derivatives thereof, polyfluorene and derivatives thereof Etc. are included.

低分子有機EL材料の例には、ドーパント材料とホスト材料との組み合わせが含まれる。ドーパント材料の例には、BCzVBi(4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン)、クマリン、ルブレン、DCJTB([2−tert−ブチル−6−[2−(2,3,6,7−テトラヒドロ−1,1,7,7−テトラメチル−1H,5H−ベンゾ[ij]キノリジン−9−イル)ビニル]−4H−ピラン−4−イリデン]マロノニトリル)等が含まれる。また、ホスト材料の例には、DPVBi(4,4’−ビス(2,2−ジフェニルエテニル)ビフェニル)、Alq3(トリス(8−キノリノラト)アルミニウム)等が含まれる。   Examples of the low molecular organic EL material include a combination of a dopant material and a host material. Examples of dopant materials include BCzVBi (4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline), coumarin, rubrene, DCJTB ([2-tert-butyl-6- [2- (2,3,6,7-tetrahydro). -1,1,7,7-tetramethyl-1H, 5H-benzo [ij] quinolizin-9-yl) vinyl] -4H-pyran-4-ylidene] malononitrile) and the like. Examples of the host material include DPVBi (4,4'-bis (2,2-diphenylethenyl) biphenyl), Alq3 (tris (8-quinolinolato) aluminum) and the like.

有機機能層には、上記の発光層に加えて、正孔輸送層(インターレイヤ)、電子注入層、電子輸送層等が含まれていてもよい。正孔輸送層は、有機発光層に正孔を効率よく運ぶ機能、および画素電極(または正孔注入層)への電子の侵入をブロックする機能を有する。従って、正孔輸送層は、画素電極と発光層との間に配置される。正孔輸送層の材料は、正孔輸送性の有機材料であれば、高分子材料でも低分子材料であってもよい。正孔輸送性の有機材料の例には、フルオレン部位とトリアリールアミン部位を含む共重合体や低分子量のトリアリールアミン誘導体等が含まれる。   In addition to the light emitting layer, the organic functional layer may include a hole transport layer (interlayer), an electron injection layer, an electron transport layer, and the like. The hole transport layer has a function of efficiently transporting holes to the organic light emitting layer and a function of blocking the entry of electrons into the pixel electrode (or hole injection layer). Therefore, the hole transport layer is disposed between the pixel electrode and the light emitting layer. The material of the hole transport layer may be a high molecular material or a low molecular material as long as it is an organic material having a hole transport property. Examples of the hole transporting organic material include a copolymer containing a fluorene moiety and a triarylamine moiety, and a low molecular weight triarylamine derivative.

(対向電極)
対向電極は、有機機能層上に配置される導電性部材である。なお、この対向電極は後述する封止部の内壁面上にも配置される。対向電極は通常陰極として機能するが、陽極として機能してもよい。
(Counter electrode)
The counter electrode is a conductive member disposed on the organic functional layer. In addition, this counter electrode is also arrange | positioned also on the inner wall face of the sealing part mentioned later. The counter electrode normally functions as a cathode, but may function as an anode.

対向電極の材料は、有機ELデバイスがボトムエミッション型か、トップエミッション型かによってその材料が異なる。有機ELデバイスがトップエミッション型の場合には、対向電極が透明である必要があるので、対向電極の材料を、透過率が80%以上の導電性部材とすることが好ましい。これにより、発光効率が高く、消費電力が低く、寿命が長いトップエミッション有機ELディスプレイパネルを得ることができる。   The material of the counter electrode differs depending on whether the organic EL device is a bottom emission type or a top emission type. When the organic EL device is a top emission type, the counter electrode needs to be transparent. Therefore, the material of the counter electrode is preferably a conductive member having a transmittance of 80% or more. Thereby, a top emission organic EL display panel with high luminous efficiency, low power consumption, and long life can be obtained.

このような透明電極は、アルカリ土類金属を含む層と、電子輸送性の有機材料からなる層と、金属酸化物層とから構成されてもよい。アルカリ土類金属の例には、マグネシウム、カルシウム、バリウム等が含まれる。電子輸送性の有機材料は、例えば電子輸送性の有機半導体材料である。金属酸化物は、特に限定されないが、例えばインジウム錫酸化物又はインジウム亜鉛酸化物である。   Such a transparent electrode may be composed of a layer containing an alkaline earth metal, a layer made of an electron-transporting organic material, and a metal oxide layer. Examples of alkaline earth metals include magnesium, calcium, barium and the like. The electron transporting organic material is, for example, an electron transporting organic semiconductor material. The metal oxide is not particularly limited, but for example, indium tin oxide or indium zinc oxide.

また、透明陰極は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはこれらのハロゲン化物を含む層と銀を含む層とから構成されてもよい。銀を含む層は、銀のみから構成されてもよいし、銀合金から構成されてもよい。また、銀を含む層上に透明度が高い屈折率調整層を設けてもよい。屈折率調整層を設けることで光取り出し効率を向上させることができる。   The transparent cathode may be composed of a layer containing an alkali metal, an alkaline earth metal, or a halide thereof and a layer containing silver. The layer containing silver may be comprised only from silver, and may be comprised from a silver alloy. Moreover, you may provide a refractive index adjustment layer with high transparency on the layer containing silver. The light extraction efficiency can be improved by providing the refractive index adjustment layer.

対向電極は、それぞれの発光層上に面形成されていればよいが、通常は複数の発光層を共通して覆うように面形成されている。対向電極は通常、スパッタリング法により形成され、必ずしも発光層ごとに分離されていなくてもよい。つまり、アクティブマトリクス型のように画素電極が有機EL素子ごとに独立して制御されていれば、有機EL素子をドライブするTFT素子が独立しているので、対向電極を複数の発光層で共有することができる。   The counter electrode may be formed on the surface of each light emitting layer, but is usually formed so as to cover a plurality of light emitting layers in common. The counter electrode is usually formed by a sputtering method and is not necessarily separated for each light emitting layer. That is, if the pixel electrode is controlled independently for each organic EL element as in the active matrix type, the TFT element that drives the organic EL element is independent, so that the counter electrode is shared by a plurality of light emitting layers. be able to.

(封止部)
封止部(ダム(DAM))は、前述の外周壁を変形させ、必要に応じてレーザー照射等によって焼成することにより形成される部分である。この封止部は、画像表示領域の外周を囲むように配置された壁状の構成要素である。なお、基板と後述する封止板とは、封止部を介して貼り合わされている。
(Sealing part)
The sealing portion (dam (DAM)) is a portion formed by deforming the above-described outer peripheral wall and firing it by laser irradiation or the like as necessary. This sealing portion is a wall-shaped component arranged so as to surround the outer periphery of the image display area. In addition, the board | substrate and the sealing plate mentioned later are bonded together through the sealing part.

封止部の前駆体である外周壁は、例えばガラスフリット材料等の材料によって形成されている。このため、外周壁がガラスフリット材料で形成されている場合には、この外周壁を変形および焼成してなる封止部は、ガラスフリットの焼成物によって形成されている。   The outer peripheral wall, which is a precursor of the sealing portion, is formed of a material such as a glass frit material. For this reason, when the outer peripheral wall is formed of a glass frit material, the sealing portion formed by deforming and baking the outer peripheral wall is formed of a fired product of glass frit.

封止部の前駆体である外周壁の内壁面上には、対向電極が形成されている。このため、この外周壁を変形させること等により形成された封止部の内壁面上にも対向電極が形成されている。   A counter electrode is formed on the inner wall surface of the outer peripheral wall which is a precursor of the sealing portion. For this reason, the counter electrode is also formed on the inner wall surface of the sealing portion formed by deforming the outer peripheral wall.

(封止板)
封止部上には封止板が配置されている。この封止板は、封止部を介して基板と貼り合わされている。封止板としては、ガラス板や樹脂板を用いることができる。なお、有機ELでディスプレイパネルがボトムエミッション型である場合には、封止板は透明でなくてもよい。
(Sealing plate)
A sealing plate is disposed on the sealing portion. This sealing plate is bonded to the substrate via a sealing portion. As the sealing plate, a glass plate or a resin plate can be used. When the display panel is a bottom emission type with organic EL, the sealing plate may not be transparent.

(平坦化層)
画像表示領域(有機EL素子)と封止板との間には、通常、平坦化層が形成される。この平坦化層は、例えば、樹脂材料が画像表示領域(有機EL素子)と封止板との間に充填されることにより形成される。
(Flattening layer)
A flattening layer is usually formed between the image display area (organic EL element) and the sealing plate. This planarization layer is formed, for example, by filling a resin material between the image display region (organic EL element) and the sealing plate.

(有機ELディスプレイパネル)
上述の構成を有する有機ELディスプレイパネルの画素電極と対向電極との間に電圧を印加すると、画素電極から正孔が、対向電極から電子が発光層に注入される。注入された正孔および電子は、発光層の内部で結合し、励起子が発生する。この励起子によって発光層が発光し、光が発せられる。以下、本発明の有機ELディスプレイパネルの実施形態について図面を参照しつつ説明する。
(Organic EL display panel)
When a voltage is applied between the pixel electrode and the counter electrode of the organic EL display panel having the above-described configuration, holes from the pixel electrode and electrons from the counter electrode are injected into the light emitting layer. The injected holes and electrons are combined inside the light emitting layer, and excitons are generated. The light emitting layer emits light by this exciton, and light is emitted. Hereinafter, embodiments of the organic EL display panel of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1および2は、本発明の有機ELディスプレイパネルの一実施形態を模式的に示す上面図および断面図である。なお、図1においては、便宜上、封止板の記載を省略している。また、図1および2に示すように、本実施形態の有機ELディスプレイパネル10は、基板100、画素電極210、正孔注入層510、赤(R)、緑(G)、および青(B)の三色の発光層600を含む有機機能層650、バンク400、画像表示領域900の周囲に形成された封止部750、対向電極220、ならびに封止板700を有する。   1 and 2 are a top view and a cross-sectional view schematically showing an embodiment of the organic EL display panel of the present invention. In addition, in FIG. 1, description of the sealing plate is abbreviate | omitted for convenience. As shown in FIGS. 1 and 2, the organic EL display panel 10 of the present embodiment includes a substrate 100, a pixel electrode 210, a hole injection layer 510, red (R), green (G), and blue (B). The organic functional layer 650 including the three-color light emitting layer 600, the bank 400, the sealing portion 750 formed around the image display region 900, the counter electrode 220, and the sealing plate 700 are included.

基板100の材料は、例えばガラス等である。また、基板100には金属配線やトランジスタ回路が形成されていてもよい。画素電極210は、基板100上に配置された導電層である。画素電極210は、例えばAPC等の光反射性の金属によって形成されている。通常は、基板100上に複数の画素電極210がマトリクス状に配置される。   The material of the substrate 100 is, for example, glass. In addition, a metal wiring or a transistor circuit may be formed on the substrate 100. The pixel electrode 210 is a conductive layer disposed on the substrate 100. The pixel electrode 210 is made of, for example, a light reflective metal such as APC. Usually, a plurality of pixel electrodes 210 are arranged in a matrix on the substrate 100.

発光層600は正孔注入層510上に配置されている。発光層600の厚さは50〜150nmであることが好ましい。バンク400は、発光層600の領域を規定するように基板100上および正孔注入層510上にピクセル状又はライン状に配置されている。封止部750は、画像表示領域900の外周を囲むように配置されている。封止部750は、例えばガラスフリットの焼成物によって形成されている。なお、封止部750の内部には空隙800が形成されていることが好ましい。この空隙800は、例えば、封止部750の前駆体である外周壁300(図3F参照)が折れ曲がるとともに押し潰される際に形成され得る。封止部750の内部に空隙が形成されていることにより、封止部750の耐衝撃性が向上する。   The light emitting layer 600 is disposed on the hole injection layer 510. The thickness of the light emitting layer 600 is preferably 50 to 150 nm. The banks 400 are arranged in a pixel shape or a line shape on the substrate 100 and the hole injection layer 510 so as to define the region of the light emitting layer 600. The sealing portion 750 is disposed so as to surround the outer periphery of the image display area 900. The sealing part 750 is formed of, for example, a fired product of glass frit. Note that a void 800 is preferably formed inside the sealing portion 750. For example, the void 800 may be formed when the outer peripheral wall 300 (see FIG. 3F) that is a precursor of the sealing portion 750 is bent and crushed. By forming a gap inside the sealing part 750, the impact resistance of the sealing part 750 is improved.

対向電極220は、発光層600上および封止部の内壁面770上に配置(面形成)される光透過性の導電層である。対向電極の材料は、例えばITOである。封止部750上には封止板700が配置される。この封止板700は、画素電極210、正孔注入層510、発光層600、および対向電極220等を水分、熱、衝撃等から保護するための部材である。封止板700による封止は、封止部300の前駆体である変形させた外周壁(図示せず)と封止板700を密着させた状態で封止板700側からレーザーを外周壁に照射し、外周壁を焼成することで行なうことができる。なお、封止部750と封止板700の間には対向電極220が配置される。   The counter electrode 220 is a light-transmitting conductive layer disposed (surface-formed) on the light emitting layer 600 and on the inner wall surface 770 of the sealing portion. The material of the counter electrode is, for example, ITO. A sealing plate 700 is disposed on the sealing portion 750. The sealing plate 700 is a member for protecting the pixel electrode 210, the hole injection layer 510, the light emitting layer 600, the counter electrode 220, and the like from moisture, heat, impact, and the like. Sealing with the sealing plate 700 is performed by applying a laser from the sealing plate 700 side to the outer peripheral wall in a state where the deformed outer peripheral wall (not shown), which is a precursor of the sealing portion 300, and the sealing plate 700 are in close contact. Irradiation can be performed by firing the outer peripheral wall. Note that the counter electrode 220 is disposed between the sealing portion 750 and the sealing plate 700.

封止部750の幅Wは、通常0.5〜2mm、好ましくは1〜1.5mmである。 Width W 1 of the sealing portion 750 is generally 0.5 to 2 mm, preferably 1-1.5 mm.

(有機ELディスプレイパネルの製造方法)
次に、本実施形態の有機ELディスプレイパネルの製造方法について説明する。図3A〜3Gは、本発明の有機ELディプレイパネルの製造方法の一実施形態を模式的に示す断面図である。本実施形態の有機ELディスプレイパネルの製造方法は、(1)基板100上に複数の画素電極210を配列する第1ステップ(図3A)と、(2)発光材料を含有するインク550を画素電極210上に塗布する第2ステップ(図3C)と、(3)画像表示領域900の外周を囲む所定高さの外周壁300を基板100上に形成した後、インク550を乾燥させて発光層600を形成する第3ステップ(図3Dおよび3E)と、(4)対向電極220を形成する第4ステップ(図3F)と、(5)外周壁300上に封止板700を配置する第5ステップ(図3G)と、を有する。
(Method for manufacturing organic EL display panel)
Next, the manufacturing method of the organic EL display panel of this embodiment will be described. 3A to 3G are cross-sectional views schematically showing an embodiment of a method for producing an organic EL display panel of the present invention. The manufacturing method of the organic EL display panel of the present embodiment includes (1) a first step (FIG. 3A) in which a plurality of pixel electrodes 210 are arranged on the substrate 100, and (2) an ink 550 containing a light emitting material. The second step (FIG. 3C) applied on the substrate 210 and (3) the outer peripheral wall 300 having a predetermined height surrounding the outer periphery of the image display area 900 are formed on the substrate 100, and then the ink 550 is dried to emit the light emitting layer 600. (4) the fourth step (FIG. 3F) for forming the counter electrode 220, and (5) the fifth step for disposing the sealing plate 700 on the outer peripheral wall 300. (FIG. 3G).

(1)第1ステップ(図3A)では、基板100上に複数の画素電極210をマトリクス状に配置する。なお、画素電極210には正孔注入層510を形成することができる。なお、図3Bに示すように、画素電極210上の正孔注入層510の周縁を覆うとともに、正孔注入層の表面の一部が露出するようにバンク400を形成することも好ましい。   (1) In the first step (FIG. 3A), a plurality of pixel electrodes 210 are arranged in a matrix on the substrate 100. Note that a hole injection layer 510 can be formed on the pixel electrode 210. As shown in FIG. 3B, it is also preferable to form the bank 400 so as to cover the periphery of the hole injection layer 510 on the pixel electrode 210 and to expose a part of the surface of the hole injection layer.

(2)第2ステップ(図3C)では、正孔注入層510上であって、バンク440によって規定された領域内に発光材料を含有するインク550を、例えばインクジェット法によって塗布する。   (2) In the second step (FIG. 3C), an ink 550 containing a light-emitting material in a region defined by the bank 440 on the hole injection layer 510 is applied by, for example, an inkjet method.

(3)第3ステップ(図3Dおよび3E)では、先ず、画像表示領域900の外周を囲むように外周壁300を基板100上に形成する。外周壁300の高さHは3mm以上、好ましくは3〜5mmである(図4参照)。外周壁300の幅Wは200〜700μmとすることが好ましく、300〜500μmとすることが更に好ましい。外周壁の幅Wが狭過ぎる場合には、そのように幅の狭い外周壁を形成することが困難である。一方、外周壁300の幅が厚過ぎる場合には、有効な画像表示領域が狭くなることがある。 (3) In the third step (FIGS. 3D and 3E), first, the outer peripheral wall 300 is formed on the substrate 100 so as to surround the outer periphery of the image display region 900. The height H of the outer peripheral wall 300 is 3 mm or more, preferably 3 to 5 mm (see FIG. 4). The width W 2 of the outer peripheral wall 300 is preferably 200 to 700 μm, and more preferably 300 to 500 μm. When the width W of the outer peripheral wall is too narrow, it is difficult to form such a narrow outer peripheral wall. On the other hand, when the width of the outer peripheral wall 300 is too thick, the effective image display area may be narrowed.

また、画像表示領域900の端縁から100μm以上離隔させて基板100上に外周壁300を形成することが好ましく、0.5〜2mm離隔させて形成することが更に好ましい(図4参照)。画像表示領域900の端縁から外周壁300までの距離Lが短過ぎると、後の工程で外周壁300を変形させる際に、変形した外周壁300が画像表示領域900に流入する場合がある。一方、距離Lが長過ぎると、有効な画像表示領域が狭くなることがある。   Further, the outer peripheral wall 300 is preferably formed on the substrate 100 with a separation of 100 μm or more from the edge of the image display region 900, and more preferably with a separation of 0.5 to 2 mm (see FIG. 4). If the distance L from the edge of the image display area 900 to the outer peripheral wall 300 is too short, the deformed outer peripheral wall 300 may flow into the image display area 900 when the outer peripheral wall 300 is deformed in a later step. On the other hand, if the distance L is too long, the effective image display area may be narrowed.

なお、図5に示すように、外周壁310を、その上部が基板100の外周方向に傾斜するように形成することが好ましい。外周壁310の上部を基板100の外周方向に傾斜させることで、変形させた外周壁300が画像表示領域900の側に流入することをより効果的に抑制することができる。また、図6に示すように、外周壁320を、内側に比して外側が高い階段状に形成することも好ましい。図6に示すような段差部370を有する階段状に外周壁320を形成することで、変形させた外周壁300が画像表示領域900の側に流入することをより効果的に抑制することができる。   As shown in FIG. 5, the outer peripheral wall 310 is preferably formed so that the upper portion thereof is inclined in the outer peripheral direction of the substrate 100. By inclining the upper part of the outer peripheral wall 310 in the outer peripheral direction of the substrate 100, it is possible to more effectively suppress the deformed outer peripheral wall 300 from flowing into the image display region 900 side. Moreover, as shown in FIG. 6, it is also preferable to form the outer peripheral wall 320 in a stepped shape with the outer side being higher than the inner side. By forming the outer peripheral wall 320 in a staircase shape having a stepped portion 370 as shown in FIG. 6, it is possible to more effectively suppress the deformed outer peripheral wall 300 from flowing into the image display region 900 side. .

次いで、正孔注入層510上のインク550と外周壁300を乾燥することにより、発光層600を形成することができる。   Next, the light emitting layer 600 can be formed by drying the ink 550 and the outer peripheral wall 300 on the hole injection layer 510.

(4)第4ステップ(図3F)では、発光層600上に対向電極220を形成する。なお、対向電極220は外周壁300の内壁面上にも形成される。   (4) In the fourth step (FIG. 3F), the counter electrode 220 is formed on the light emitting layer 600. The counter electrode 220 is also formed on the inner wall surface of the outer peripheral wall 300.

(5)第5ステップ(図3G)では、外周壁300を押し潰しながら外周壁300上に封止板700を配置する。次いで、押し潰れて変形した外周壁300に対し、封止板700側からレーザーを照射し、適宜圧力を負荷することにより封止部750が形成される。これにより、封止部750を介して基板100と封止板700を貼り合わせることができる。以上のステップにより有機ELディスプレイパネル10を製造することができる。   (5) In the fifth step (FIG. 3G), the sealing plate 700 is disposed on the outer peripheral wall 300 while crushing the outer peripheral wall 300. Next, the sealing portion 750 is formed by irradiating the outer peripheral wall 300 that has been crushed and deformed with laser from the sealing plate 700 side and appropriately applying pressure. Thereby, the substrate 100 and the sealing plate 700 can be bonded together via the sealing portion 750. The organic EL display panel 10 can be manufactured by the above steps.

以下、本発明を実験例に基づいて更に具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically based on experimental examples.

(参考例1)
図12Aおよび図12Bに示すように、ガラス基板100(旭硝子社製、370mm×470mm×0.7mm)上に、画素電極215として厚さ150nmのAPC膜をスパッタリング法により形成した。形成されたAPC膜(画素電極215)上に、正孔注入層520として厚さ30nmのWOx膜をスパッタリング法により形成した。形成されたWOx膜(正孔注入層520)上に、バンク材料としてアクリル材料(旭硝子社製、ネガ型の感光性樹脂材料)をスピンコート法により塗布して塗膜を形成した後、100℃で2分間プリベークを行なった。フォトマスクを介して、波長365nmの紫外光を、露光照度20mW/cmで10秒間照射して露光した。0.2質量%のTMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)水溶液(商品名「NMD−3」、東京応化社製)で現像した後、純水で洗浄した。クリーンオーブンにて220℃で60分間ポストベークすることにより、WOx膜上にライン状のバンク410を形成した。なお、形成されたバンク410の開口幅は65μmであり、正孔注入層520の表面からバンク410の上端までの長さ(高さ)は1μmであった。
(Reference Example 1)
As shown in FIGS. 12A and 12B, an APC film having a thickness of 150 nm was formed as a pixel electrode 215 on a glass substrate 100 (Asahi Glass Co., Ltd., 370 mm × 470 mm × 0.7 mm) by a sputtering method. A WOx film having a thickness of 30 nm was formed as a hole injection layer 520 on the formed APC film (pixel electrode 215) by a sputtering method. On the formed WOx film (hole injection layer 520), an acrylic material (a negative photosensitive resin material manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) is applied as a bank material by a spin coating method to form a coating film. For 2 minutes. Exposure was performed by irradiating with ultraviolet light having a wavelength of 365 nm for 10 seconds at an exposure illuminance of 20 mW / cm 2 through a photomask. After developing with 0.2% by mass of a TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution (trade name “NMD-3”, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.), it was washed with pure water. Line-shaped banks 410 were formed on the WOx film by post-baking at 220 ° C. for 60 minutes in a clean oven. The opening width of the formed bank 410 was 65 μm, and the length (height) from the surface of the hole injection layer 520 to the upper end of the bank 410 was 1 μm.

形成されたバンク410によって規定されたライン状の領域内に、発光材料および溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含有するインクをインクジェット法により塗布した。画像表示領域の周囲に、ガラスフリットおよび溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含有するガラスフリット材料をディスペンサー法により塗布して高さ3mmの外周壁330を形成した。ガラス基板100を内温25℃の真空チャンバーに入れ、大気圧から10Paまで30秒で減圧する排気速度で真空チャンバー内を真空ポンプで減圧し、インク(および外周壁)を乾燥させることにより発光層610を形成した。形成された発光層610(乾燥膜)の膜厚均一性の測定結果を表1に示す。また、膜プロファイルの測定結果を図9に示す。なお、膜プロファイルおよび膜厚均一性の測定方法を以下に示す。   An ink containing a luminescent material and cyclohexylbenzene as a solvent was applied to the line-shaped region defined by the formed bank 410 by an inkjet method. Around the image display area, a glass frit and a glass frit material containing cyclohexylbenzene as a solvent were applied by a dispenser method to form an outer peripheral wall 330 having a height of 3 mm. The glass substrate 100 is placed in a vacuum chamber with an internal temperature of 25 ° C., and the vacuum chamber is depressurized with a vacuum pump at an exhaust speed of depressurizing from atmospheric pressure to 10 Pa in 30 seconds to dry the ink (and outer peripheral wall). 610 was formed. Table 1 shows the measurement results of film thickness uniformity of the formed light emitting layer 610 (dry film). Moreover, the measurement result of a film | membrane profile is shown in FIG. In addition, the measuring method of a film profile and film thickness uniformity is shown below.

[膜プロファイルおよび膜厚均一性の測定]:画像表示領域のうちの端部に位置する発光層(乾燥膜)の膜形状を、原子間力顕微鏡(商品名「AS−7B」、タカノ社製)を使用して観察し、膜プロファイルと膜厚均一性を測定した。膜厚均一性は下記式(2)により算出した。なお、膜プロファイルと膜厚均一性は、インクの塗布領域のうち、バンクから7.5μm以上内側の領域(有効画素領域)について測定した。
膜厚均一性(%)={(最大膜厚−最小膜厚)/(2×平均膜厚)}×100
・・・(2)
[Measurement of Film Profile and Film Thickness Uniformity]: The film shape of the light emitting layer (dry film) located at the end of the image display area was measured with an atomic force microscope (trade name “AS-7B”, manufactured by Takano Co., Ltd.). ) To measure the film profile and film thickness uniformity. The film thickness uniformity was calculated by the following formula (2). The film profile and the film thickness uniformity were measured for an area (effective pixel area) 7.5 μm or more from the bank in the ink application area.
Film thickness uniformity (%) = {(maximum film thickness−minimum film thickness) / (2 × average film thickness)} × 100
... (2)

(比較参考例1)
高さ1mmの外周壁を形成したこと以外は、上述の参考零例1と同様の操作により発光層を形成した。形成された発光層(乾燥膜)の膜厚均一性の測定結果を表1に示す。また、膜プロファイルの測定結果を図10に示す。
(Comparative Reference Example 1)
A light emitting layer was formed in the same manner as in Reference Zero Example 1 except that an outer peripheral wall having a height of 1 mm was formed. Table 1 shows the measurement results of the film thickness uniformity of the formed light emitting layer (dry film). Moreover, the measurement result of a film profile is shown in FIG.

(比較参考例2)
外周壁を形成しなかったこと以外は、上述の参考例1と同様の操作により発光層を形成した。形成された発光層(乾燥膜)の膜厚均一性の測定結果を表1に示す。また、膜プロファイルの測定結果を図11に示す。
(Comparative Reference Example 2)
A light emitting layer was formed by the same operation as in Reference Example 1 except that the outer peripheral wall was not formed. Table 1 shows the measurement results of the film thickness uniformity of the formed light emitting layer (dry film). Moreover, the measurement result of a film | membrane profile is shown in FIG.

Figure 2011249035
Figure 2011249035

表1に示す結果から、高さ3mmの外周壁を形成した参考例1では、外周壁を形成しなかった比較参考例2に比して膜厚均一性が顕著に向上していることが明らかである。なお、高さ1mmの外周壁を形成した比較参考例1の膜厚均一性は、外周壁を形成しなかった比較参考例2の膜厚均一性と同等であった。これは、流体解析により得られた蒸気濃度の傾向(図8参照)と一致しており、蒸気濃度にバラつきをなくして均一化させることが、膜プロファイルの均一化に寄与していることが明らかである。   From the results shown in Table 1, it is clear that in Reference Example 1 in which the outer peripheral wall having a height of 3 mm was formed, the film thickness uniformity was significantly improved as compared with Comparative Reference Example 2 in which the outer peripheral wall was not formed. It is. In addition, the film thickness uniformity of Comparative Reference Example 1 in which the outer peripheral wall having a height of 1 mm was formed was equivalent to the film thickness uniformity of Comparative Reference Example 2 in which the outer peripheral wall was not formed. This agrees with the tendency of the vapor concentration obtained by fluid analysis (see FIG. 8), and it is clear that uniforming the vapor concentration without variation contributes to uniform film profile. It is.

本発明によれば、輝度ムラの発生が抑制され、表示品質の高い有機ELディスプレイパネルを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an organic EL display panel that suppresses occurrence of luminance unevenness and has high display quality.

10 有機ELディスプレイパネル
100 基板
210,215 画素電極
220 対向電極
300,310,320,330 外周壁
350 外周壁の内周面
370 段差部
400,410 バンク
510,520 正孔注入層
550 インク
600,610 発光層
650 有機機能層
700 封止板
750 封止部
770 封止部の内壁面
800 空隙
900 画像表示領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Organic EL display panel 100 Substrate 210,215 Pixel electrode 220 Counter electrode 300,310,320,330 Outer peripheral wall 350 Inner peripheral surface of outer peripheral wall 370 Stepped part 400,410 Bank 510,520 Hole injection layer 550 Ink 600,610 Light emitting layer 650 Organic functional layer 700 Sealing plate 750 Sealing portion 770 Inner wall surface of sealing portion 800 Air gap 900 Image display region

Claims (10)

基板と、
前記基板上に配列されて画像表示領域を構成する複数の画素電極と、
塗布法で形成された発光材料からなる発光層を含む、前記画素電極上に配置された有機機能層と、
前記有機機能層上に配置され、前記複数の画素電極に対して共有する対向電極と、
前記画像表示領域の外周を囲むように前記基板上に配置された壁状の封止部と、
前記封止部上に配置された封止板と、を備え、
前記対向電極が、前記封止部の内壁面上にも配置されている有機ELディスプレイパネル。
A substrate,
A plurality of pixel electrodes arranged on the substrate and constituting an image display region;
An organic functional layer disposed on the pixel electrode, including a light emitting layer made of a light emitting material formed by a coating method;
A counter electrode disposed on the organic functional layer and shared with the plurality of pixel electrodes;
A wall-shaped sealing portion disposed on the substrate so as to surround the outer periphery of the image display region;
A sealing plate disposed on the sealing portion,
An organic EL display panel in which the counter electrode is also disposed on an inner wall surface of the sealing portion.
前記封止部が、ガラスフリットの焼成物により形成されている請求項1に記載の有機ELディスプレイパネル。   The organic EL display panel according to claim 1, wherein the sealing portion is formed of a fired product of glass frit. 前記封止部の内部に空隙が形成されている請求項1又は2に記載の有機ELディスプレイパネル。   The organic EL display panel according to claim 1, wherein a gap is formed inside the sealing portion. 基板上に画像表示領域を構成する複数の画素電極を配列するステップと、
発光材料および揮発性の有機溶媒を含有するインクを前記画素電極上に塗布するステップと、
前記画像表示領域の外周を囲む高さ3mm以上の外周壁を前記基板上に形成するステップと、
前記画素電極上に塗布した前記インクを乾燥させて発光層を形成するステップと、
前記発光層上および前記外周壁の内壁面上に対向電極を形成するステップと、
前記外周壁上に封止板を配置するとともに前記外周壁を押し潰し、前記画像表示領域の外周を囲むように配置された壁状の封止部を形成するステップと、
を有する有機ELディスプレイパネルの製造方法。
Arranging a plurality of pixel electrodes constituting an image display area on a substrate;
Applying an ink containing a luminescent material and a volatile organic solvent on the pixel electrode;
Forming an outer peripheral wall having a height of 3 mm or more surrounding the outer periphery of the image display area on the substrate;
Drying the ink applied on the pixel electrode to form a light emitting layer;
Forming a counter electrode on the light emitting layer and on the inner wall surface of the outer peripheral wall;
Disposing a sealing plate on the outer peripheral wall and crushing the outer peripheral wall to form a wall-shaped sealing portion disposed so as to surround the outer periphery of the image display region;
The manufacturing method of the organic electroluminescent display panel which has this.
押し潰した前記外周壁を、レーザーにより焼成して前記封止部を形成する請求項4に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   The method for producing an organic EL display panel according to claim 4, wherein the squeezed outer peripheral wall is baked by a laser to form the sealing portion. ガラスフリット材料を用いて前記外周壁を形成する請求項4又は5に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   The method for producing an organic EL display panel according to claim 4, wherein the outer peripheral wall is formed using a glass frit material. 前記ガラスフリット材料には、前記インクに含有される前記有機溶媒と同一種類の有機溶媒が含有されている請求項6に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   The method for producing an organic EL display panel according to claim 6, wherein the glass frit material contains the same type of organic solvent as the organic solvent contained in the ink. 前記外周壁を、前記画像表示領域の端縁から100μm以上離隔させて前記基板上に形成する請求項4〜7のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   The method for manufacturing an organic EL display panel according to any one of claims 4 to 7, wherein the outer peripheral wall is formed on the substrate so as to be spaced from the edge of the image display region by 100 μm or more. 前記外周壁は、その上部が前記基板の外周方向に傾斜している請求項4〜8のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   The method of manufacturing an organic EL display panel according to claim 4, wherein an upper portion of the outer peripheral wall is inclined in an outer peripheral direction of the substrate. 前記外周壁は、内側に比して外側が高い階段状である請求項4〜9のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。   10. The method of manufacturing an organic EL display panel according to claim 4, wherein the outer peripheral wall has a stepped shape that is higher on the outer side than on the inner side.
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