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JP2011246790A - Continuous electrolytic etching method and continuous electrolytic etching device for metallic strip - Google Patents

Continuous electrolytic etching method and continuous electrolytic etching device for metallic strip Download PDF

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JP2011246790A JP2010123506A JP2010123506A JP2011246790A JP 2011246790 A JP2011246790 A JP 2011246790A JP 2010123506 A JP2010123506 A JP 2010123506A JP 2010123506 A JP2010123506 A JP 2010123506A JP 2011246790 A JP2011246790 A JP 2011246790A
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electrolytic
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Shigenobu Koga
重信 古賀
Masahiro Fujikura
昌浩 藤倉
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Nippon Steel Corp
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Nippon Steel Corp
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Abstract

【課題】従来の間接通電方式の連続電解エッチングの問題点を有利に解決して、電解エッチングを安定化させることを可能とし、特に、電解エッチングにより形成される形状を安定化させて、溝幅や溝深さにバラツキが生じるのを抑えることを可能とする。
【解決手段】金属帯1の電解エッチングすべきエッチング面1aと相対向して金属帯1の搬送方向に順に第1電極31及び第2電極33を配設する。続いて、第1電極31及び第2電極33から金属帯1のエッチング面1aにラミナー流となる電解液Wrを噴射する。第1電極31及び第2電極33の何れか一方を陽極、他方を陰極としてこれらの間で電圧を印加して、噴射している電解液Wr及び金属帯1を通して通電させる。
【選択図】図3
To solve the problems of the conventional indirect energization type continuous electrolytic etching and to stabilize the electrolytic etching, in particular, to stabilize the shape formed by the electrolytic etching, and to improve the groove width. It is possible to suppress variations in the groove depth.
A first electrode and a second electrode are disposed in order in the transport direction of the metal band so as to face an etching surface of a metal band to be electrolytically etched. Subsequently, an electrolytic solution Wr that is a laminar flow is injected from the first electrode 31 and the second electrode 33 onto the etching surface 1 a of the metal strip 1. One of the first electrode 31 and the second electrode 33 is used as an anode, and the other is used as a cathode, and a voltage is applied between them to energize through the sprayed electrolyte Wr and the metal strip 1.
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、連続的に搬送される金属帯の表面を電解エッチングする金属帯の連続電解エッチング方法及び連続電解エッチング装置に関するものであり、特に、歪取り焼鈍後に鉄損が劣化し難い耐歪取り焼鈍低鉄損方向性珪素鋼板の製造に好適な連続電解エッチング方法及び連続電解エッチング装置に関するものである。   The present invention relates to a metal strip continuous electrolytic etching method and a continuous electrolytic etching apparatus for electrolytically etching the surface of a continuously transported metal strip, and in particular, anti-strain relief that iron loss is unlikely to deteriorate after strain relief annealing. The present invention relates to a continuous electrolytic etching method and a continuous electrolytic etching apparatus suitable for producing an annealed low iron loss directional silicon steel sheet.

従来より、電動機、変圧器その他の電気機器の鉄心等として用いられる方向性珪素鋼板では、その鉄損特性を改善することが求められており、そのための技術としては、鋼板の表面に局所的な熱歪を導入したり、線状溝等の溝を形成することにより、磁区を細分化させる技術が知られている。ここで、方向性珪素鋼板を巻き鉄心等として用いる場合は、打ち抜き加工等による加工歪を除去するため、加工製品に歪取り焼鈍が行なわれるが、磁区細分化を局所歪の導入により行なってしまうと、局所歪が歪取り焼鈍により除去されてしまい、磁区細分化による鉄損特性改善の効果が失われてしまう。このため、歪取り焼鈍後に鉄損が劣化し難い耐歪取り焼鈍低鉄損方向性珪素鋼板を製造するうえでは、鋼板の表面に溝を形成する方法が好適に用いられている。   Conventionally, directional silicon steel sheets used as iron cores of electric motors, transformers, and other electrical equipment have been required to improve their iron loss characteristics. Techniques for subdividing magnetic domains by introducing thermal strain or forming grooves such as linear grooves are known. Here, when a grain-oriented silicon steel sheet is used as a wound iron core or the like, the processed product is subjected to strain relief annealing in order to remove the processing strain due to punching processing or the like, but magnetic domain subdivision is performed by introducing local strain. Then, the local strain is removed by the strain relief annealing, and the effect of improving the iron loss characteristic by the magnetic domain subdivision is lost. For this reason, in producing a strain relief annealed low iron loss directional silicon steel sheet in which the iron loss does not easily deteriorate after strain relief annealing, a method of forming grooves on the surface of the steel sheet is preferably used.

このような方向性珪素鋼板等の金属帯の表面に溝を形成するための技術としては、連続的に搬送される金属帯の表面にエッチングパターンの形成された電気絶縁性のエッチングマスクを予め被覆させておき、そのエッチングパターンに応じた溝を電解エッチングにより金属帯の表面に形成する連続電解エッチング方法が知られている(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)。   As a technique for forming a groove on the surface of a metal band such as a directional silicon steel plate, an electrically insulating etching mask having an etching pattern formed on the surface of the metal band that is continuously conveyed is coated in advance. In addition, there is known a continuous electrolytic etching method in which a groove corresponding to the etching pattern is formed on the surface of a metal strip by electrolytic etching (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).

この連続電解エッチング方法では、特許文献3に示すように、陽極又は陰極の何れかを金属帯に接触させて、その何れかの電極から金属帯に直接的に通電させる直接通電方式と、特許文献4に示すように、陽極及び陰極と金属帯との間に電解液を充満させて、その電解液及び金属帯を通して陽極から陰極に通電させる間接通電方式とが検討されている。   In this continuous electrolytic etching method, as shown in Patent Document 3, a direct energization method in which either the anode or the cathode is brought into contact with the metal band, and the metal band is directly energized from any of the electrodes, and Patent Document As shown in FIG. 4, an indirect energization method in which an electrolyte is filled between the anode and the cathode and the metal strip, and the anode to the cathode is energized through the electrolyte and the metal strip has been studied.

図11は、直接通電方式の連続電解エッチング装置102の構成を概略的に示す側面図であり、特許文献3で開示されている発明を例にしている。この連続電解エッチング装置102は、電解液Wの貯溜された電解槽161と、電解槽161の電解液Wに浸漬された板状電極からなる陰極133と、電解液Wの外側に配設された陽極であるコンダクターロール181とを有している。この連続電解エッチング装置102では、電解エッチングすべき金属帯101のエッチング面101aにエッチングパターンの形成されたエッチングマスク111が被覆され、エッチング面101aとは反対側の片面101cが全面に亘って露出されており、金属帯101のエッチング面101aが下向きに通板され、その金属帯101のエッチング面101aと相対向して陰極133が上向きに配設されている。   FIG. 11 is a side view schematically showing the configuration of a direct energization type continuous electrolytic etching apparatus 102, taking the invention disclosed in Patent Document 3 as an example. The continuous electrolytic etching apparatus 102 is disposed outside the electrolytic solution 161, an electrolytic bath 161 in which the electrolytic solution W is stored, a cathode 133 made of a plate electrode immersed in the electrolytic solution W in the electrolytic bath 161, and the electrolytic solution W. And a conductor roll 181 which is an anode. In this continuous electrolytic etching apparatus 102, the etching surface 101a of the metal strip 101 to be electrolytically etched is covered with the etching mask 111 on which the etching pattern is formed, and the one surface 101c opposite to the etching surface 101a is exposed over the entire surface. The etching surface 101a of the metal strip 101 is passed downward, and the cathode 133 is disposed upward so as to face the etching surface 101a of the metal strip 101.

そして、この直接通電方式の連続電解エッチング装置102により電解エッチングをするうえでは、陽極であるコンダクターロール181と陰極133との間に電圧を印加して、コンダクターロール181、金属帯101、電解液W、陰極133の順に通電されることにより、陰極133に相対向する金属帯101のエッチング面101aが電解エッチングされることになる。   When performing the electrolytic etching by the direct energization type continuous electrolytic etching apparatus 102, a voltage is applied between the conductor roll 181 as the anode and the cathode 133, and the conductor roll 181, the metal strip 101, the electrolyte W When the cathode 133 is energized in this order, the etching surface 101a of the metal strip 101 facing the cathode 133 is electrolytically etched.

図12は、間接通電方式の連続電解エッチング装置103の構成を概略的に示す側面図であり、特許文献4で開示されている発明を例にしている。この連続電解エッチング装置103は、電解槽161に貯溜された電解液W内で金属帯101の搬送方向に順に配設された板状電極からなる陽極131及び陰極133と、電解液W内で陽極131と陰極133との間に配設され、陽極131から陰極133に電解液Wのみを通して流れる漏れ電流を防止するための電気絶縁性の遮蔽板171とを有している。この連続電解エッチング装置103では、電解エッチングすべき金属帯101のエッチング面101aにエッチングパターンの形成されたエッチングマスク111が被覆されており、金属帯101のエッチング面101aが下向きに通板され、その金属帯101のエッチング面101aと相対向して陰極133が上向きに配設されている。   FIG. 12 is a side view schematically showing the configuration of an indirect energization type continuous electrolytic etching apparatus 103, taking the invention disclosed in Patent Document 4 as an example. The continuous electrolytic etching apparatus 103 includes an anode 131 and a cathode 133 that are formed of plate-like electrodes arranged in order in the transport direction of the metal strip 101 in the electrolytic solution W stored in the electrolytic bath 161, and an anode in the electrolytic solution W. An electrically insulating shielding plate 171 is provided between 131 and the cathode 133 for preventing leakage current flowing from the anode 131 to the cathode 133 only through the electrolytic solution W. In this continuous electrolytic etching apparatus 103, an etching mask 111 on which an etching pattern is formed is coated on the etching surface 101a of the metal strip 101 to be electrolytically etched, and the etching surface 101a of the metal strip 101 is passed downward. A cathode 133 is disposed upward facing the etching surface 101a of the metal strip 101.

この間接通電方式の連続電解エッチング装置103により電解エッチングをするうえでは、陽極131と陰極133との間に電圧を印加して、陽極131、陽極131とこれと相対向する金属帯101との間の電解液W、金属帯101、陰極133とこれと相対向する金属帯101との間の電解液W、陰極133の順に通電されることにより、陰極133に相対向する金属帯101のエッチング面101aが電解エッチングされることになる。   In performing the electrolytic etching by the indirect energization type continuous electrolytic etching apparatus 103, a voltage is applied between the anode 131 and the cathode 133, and the anode 131, the anode 131, and the metal strip 101 opposite to the anode 131. The electrolyte W, the metal strip 101, the cathode 133 and the electrolyte W between the metal strip 101 opposite to the cathode 133, and the cathode 133 are energized in this order to thereby etch the etched surface of the metal strip 101 opposite to the cathode 133. 101a is electrolytically etched.

特開昭63−042332号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-042332 特公平08−006140号公報Japanese Patent Publication No. 08-006140 特開平10−204699号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-204699 特開2004−131841号公報JP 2004-131841 A 特開平08−269563号公報JP 08-269563 A

しかしながら、上述した従来の直接通電方式の連続電解エッチング装置102は、コンダクターロール181から金属帯101に直接的に通電させる方法であるため、コンダクターロール181が当接する側の金属帯101の片面101cは、電気絶縁性のエッチングマスク111により被覆させずに電気導電性を維持しておく必要がある。このため、同装置102では、エッチングパターンの形成されたエッチングマスク111を金属帯101の片面にしか被覆させることができず、電解エッチングを行なうことができるのは、一度のエッチング処理につき金属帯101の片面だけとならざるを得なかった。従って、同装置102では、金属帯101の両面に電解エッチングを行なう必要がある場合、金属帯101の片面ずつ合計2回のエッチング処理を行なう必要があり、処理コストの増大を招くだけでなく生産性が悪いという問題点があった。   However, since the conventional direct energization type continuous electrolytic etching apparatus 102 described above is a method of directly energizing the metal strip 101 from the conductor roll 181, the one surface 101c of the metal strip 101 on the side on which the conductor roll 181 contacts is It is necessary to maintain electrical conductivity without being covered with the electrically insulating etching mask 111. For this reason, in the apparatus 102, the etching mask 111 on which the etching pattern is formed can be covered only on one surface of the metal strip 101, and the electrolytic etching can be performed because the metal strip 101 can be etched once. It had to be only one side. Therefore, in the same apparatus 102, when it is necessary to perform electrolytic etching on both surfaces of the metal strip 101, it is necessary to perform etching processing twice in total for each side of the metal strip 101, which not only increases the processing cost but also increases the production cost. There was a problem that the nature was bad.

また、金属帯101の片面だけ電解エッチングする場合でも、エッチング処理前の段階で仕上焼鈍等の前処理により金属帯101の両面の全面に電気絶縁性の被膜が覆われていて、コンダクターロール181に当接させる側の金属帯101の片面101cの被膜を全面に亘って除去することが、製品上困難であったり経済的に大きな負担となる場合には、上述した直接通電方式の連続電解エッチングを適用できないという問題点があった。   Even when only one surface of the metal strip 101 is electrolytically etched, an electrically insulating film is covered on both surfaces of the metal strip 101 by a pretreatment such as finish annealing before the etching process, and the conductor roll 181 is covered with the conductive roll 181. If it is difficult on the product to remove the coating on one surface 101c of the metal strip 101 on the side to be in contact with the entire product, or if it is an economic burden, the above-described direct energization type continuous electrolytic etching is performed. There was a problem that it could not be applied.

以上のような問題は、連続電解エッチングを直接通電方式から間接通電方式に変更することにより解決できる可能性がある。しかし、間接通電方式の連続電解エッチングは、工業的に前例がない技術であるだけに、電解エッチングにより金属帯101に形成される溝の形状の安定性や電解エッチング条件等、不明な事項が多く、技術的には未完成なものと言わざるを得なかった。   The above problems may be solved by changing the continuous electrolytic etching from the direct energization method to the indirect energization method. However, indirect energization type continuous electrolytic etching is an unprecedented technology in the industry, and there are many unknown matters such as the stability of the shape of the groove formed in the metal strip 101 by electrolytic etching and the electrolytic etching conditions. I had to say that it was technically incomplete.

また、従来の直接通電方式、間接通電方式の何れの連続電解エッチング方法でも、金属帯を電解液に浸漬させる必要があるため、電解液に浸漬された金属帯の板幅方向端部で電流集中が生じ、板幅方向でのエッチング量の分布が不均一なものになってしまううえ、電解エッチングすべきエッチング面とは反対側の面にも電流が回り込んでしまい、その反対側の面でも電解エッチングが進行してしまうという問題点があった。これを解決するため、特許文献5に開示されたように、電気絶縁性の遮蔽板を電解液中で金属帯と電極との間に介挿しておき、金属帯と電極との間に流れる電流を金属帯の板幅方向端部で部分的に遮断する方法も提案されている。しかし、この場合、遮蔽板を介挿する必要がある分、余計な装置コストの増大を招いてしまっていた。   In addition, in both the conventional direct energization method and the indirect energization method, it is necessary to immerse the metal strip in the electrolytic solution, so that current concentration occurs at the end of the metal strip immersed in the electrolytic solution in the plate width direction. The distribution of the etching amount in the plate width direction becomes non-uniform, and the current also flows to the surface opposite to the etching surface to be electrolytically etched. There was a problem that electrolytic etching progressed. In order to solve this, as disclosed in Patent Document 5, an electrically insulating shielding plate is interposed between the metal strip and the electrode in the electrolytic solution, and a current flowing between the metal strip and the electrode. A method has been proposed in which the metal is partially cut off at the end of the metal strip in the plate width direction. However, in this case, since it is necessary to insert a shielding plate, an extra device cost is increased.

そこで、本発明は、上述した問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的とするところは、従来の間接通電方式の連続電解エッチングの問題点を有利に解決して、電解エッチングを安定化させることを可能とし、特に、電解エッチングにより形成される溝の形状を安定化させて、溝幅や溝深さにバラツキが生じるのを抑えることを可能とする金属帯の連続電解エッチング方法及び連続電解エッチング装置を提供することにある。   Therefore, the present invention has been devised in view of the above-described problems, and the object of the present invention is to advantageously solve the problems of conventional indirect energization type continuous electrolytic etching, and to perform electrolytic etching. Metal strip continuous electrolytic etching method that makes it possible to stabilize, and in particular, stabilizes the shape of a groove formed by electrolytic etching and suppresses variations in groove width and groove depth. And providing a continuous electrolytic etching apparatus.

本発明者は、上述した課題を解決するために、鋭意検討の末、下記の金属帯の連続電解エッチング方法及び連続電解エッチング装置を発明した。   In order to solve the above-mentioned problems, the present inventor has invented the following continuous electrolytic etching method and continuous electrolytic etching apparatus for metal bands after intensive studies.

第1発明に係る金属帯の連続電解エッチング方法は、連続的に搬送される金属帯の表面を電解エッチングする金属帯の連続電解エッチング方法において、前記金属帯の電解エッチングすべきエッチング面と相対向して当該金属帯の搬送方向に順に第1電極及び第2電極を配設し、前記第1電極及び前記第2電極から前記金属帯のエッチング面にラミナー流となる電解液を噴射し、前記第1電極及び前記第2電極の何れか一方を陽極、他方を陰極としてこれらの間で電圧を印加して、前記噴射している電解液及び前記金属帯を通して通電させることを特徴とする。   A continuous electrolytic etching method for a metal strip according to a first aspect of the present invention is the continuous electrolytic etching method for a metal strip for electrolytically etching the surface of a continuously transported metal strip, opposite to the etching surface of the metal strip to be electrolytically etched. Then, the first electrode and the second electrode are sequentially arranged in the transport direction of the metal strip, and an electrolyte solution that becomes a laminar flow is sprayed from the first electrode and the second electrode to the etching surface of the metal strip, One of the first electrode and the second electrode is an anode, and the other is a cathode, and a voltage is applied between them to conduct electricity through the sprayed electrolyte and the metal strip.

第2発明に係る金属帯の連続電解エッチング方法は、第1発明において、前記第1電極及び前記第2電極を配設する工程では、前記金属帯の搬送方向の最も出側に陰極を配設することを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, there is provided the continuous electrolytic etching method for a metal strip according to the first aspect, wherein in the step of disposing the first electrode and the second electrode, a cathode is disposed on the most exit side in the transport direction of the metal strip. It is characterized by doing.

第3発明に係る金属帯の連続電解エッチング方法は、第1発明又は第2発明において、前記第1電極及び前記第2電極を配設する工程では、前記第1電極及び前記第2電極の組からなる電極群を前記金属帯の搬送方向に複数配設することを特徴とする。   The method for continuously electrolytic etching a metal strip according to a third aspect of the present invention is the first or second aspect of the invention, wherein the first electrode and the second electrode are arranged in the step of disposing the first electrode and the second electrode. A plurality of electrode groups comprising a plurality of electrode groups are arranged in the metal band transport direction.

第4発明に係る金属帯の連続電解エッチング方法は、第1発明〜第3発明の何れか一つの発明において、前記搬送される金属帯は、その両面が前記エッチング面であり、前記第1電極及び前記第2電極を配設する工程では、当該第1電極及び当該第2電極のうち陰極となるものを前記金属帯の両面のエッチング面に相対向して配設することを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the continuous electrolytic etching method for a metal strip according to any one of the first to third aspects of the present invention, wherein the transported metal strip is the etched surface on both sides, and the first electrode. In the step of disposing the second electrode, the first electrode and the second electrode, which are the cathodes, are disposed opposite to the etching surfaces on both surfaces of the metal strip.

第5発明に係る金属帯の連続電解エッチング方法は、第1発明〜第4発明の何れか一つの発明において、前記搬送される金属帯は、前記エッチング面に電気絶縁性のエッチングマスクが被覆された方向性珪素鋼板から構成され、前記エッチングマスクには、前記金属帯の搬送方向に間隔を空けた列状の点状溝又は線状溝が形成されていることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the continuous electrolytic etching method for a metal strip according to any one of the first to fourth aspects of the present invention, wherein the transported metal strip is coated with an electrically insulating etching mask on the etching surface. The etching mask is formed with a row of point-like grooves or linear grooves spaced apart in the transport direction of the metal strip.

第6発明に係る金属帯の連続電解エッチング方法は、第5発明において、前記搬送される金属帯は、仕上焼鈍された後の方向性珪素鋼板であり、前記方向性珪素鋼板である金属帯は、前記エッチングマスクとしての絶縁性被膜を有する絶縁性被膜層が前記エッチング面に被覆されていることを特徴とする。   The continuous electrolytic etching method for a metal strip according to a sixth aspect of the present invention is the method according to the fifth aspect, wherein the transported metal strip is a directional silicon steel plate after finish annealing, and the metal strip that is the directional silicon steel plate is The etching surface is covered with an insulating coating layer having an insulating coating as the etching mask.

第7発明に係る金属帯の連続電解エッチング方法は、第6発明において、前記絶縁性被膜層は、前記方向性珪素鋼板の地鉄表面のフォルステライト被膜と、前記フォルステライト被膜表面の張力付与型絶縁性被膜とを有することを特徴とする。   The continuous electrolytic etching method for a metal strip according to a seventh aspect of the present invention is the method according to the sixth aspect, wherein the insulating coating layer comprises a forsterite coating on the ground iron surface of the grain-oriented silicon steel sheet and a tension imparting type on the forsterite coating surface. It has an insulating film.

第8発明に係る金属帯の連続電解エッチング方法は、第6発明において、前記絶縁性被膜層は、前記方向性珪素鋼板の地鉄表面の張力付与型絶縁性被膜を有することを特徴とする。   According to an eighth aspect of the present invention, there is provided the metal strip continuous electrolytic etching method according to the sixth aspect, wherein the insulating coating layer has a tension-imparting insulating coating on the surface of the ground iron of the directional silicon steel sheet.

第9発明に係る金属帯の連続電解エッチング方法は、第5発明において、前記搬送される金属帯は、冷間圧延された後の方向性珪素鋼板であり、前記方向性珪素鋼板である金属帯は、前記エッチングマスクとしてのエッチングレジストが前記エッチング面に被覆されていることを特徴とする。   According to a ninth aspect of the present invention, there is provided the metal strip continuous electrolytic etching method according to the fifth aspect, wherein the transported metal strip is a directional silicon steel sheet after being cold-rolled, and is the directional silicon steel sheet. Is characterized in that an etching resist as the etching mask is coated on the etching surface.

第10発明に係る金属帯の連続電解エッチング方法は、第1発明〜第4発明の何れか一つの発明において、前記搬送される金属帯は、前記エッチング面にエッチングマスクの被覆されていないステンレス鋼、純チタン又はチタン合金から構成されることを特徴とする。   According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a continuous electrolytic etching method for a metal strip according to any one of the first to fourth aspects of the invention, wherein the transported metal strip is stainless steel whose etching surface is not coated with an etching mask. It is characterized by comprising pure titanium or a titanium alloy.

第11発明に係る金属帯の連続電解エッチング装置は、連続的に搬送される金属帯の表面を電解エッチングするための金属帯の連続電解エッチング装置において、前記金属帯の電解エッチングすべきエッチング面と相対向して当該金属帯の搬送方向に順に配設された第1電極及び第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極に設けられ、当該第1電極及び当該第2電極から前記金属帯のエッチング面にラミナー流となる電解液を噴射するラミナーノズルと、前記第1電極及び前記第2電極の何れか一方を陽極、他方を陰極として電圧を印加して、前記ラミナーノズルから噴射する電解液及び前記金属帯を通して通電させる電圧印加手段とを備えることを特徴とする。   A metal strip continuous electrolytic etching apparatus according to an eleventh aspect of the invention is a metal strip continuous electrolytic etching apparatus for electrolytically etching the surface of a continuously transported metal strip. The first electrode and the second electrode that are arranged opposite to each other in order in the transport direction of the metal strip, and the first electrode and the second electrode, the metal from the first electrode and the second electrode. A laminar nozzle that injects a laminar electrolyte on the etching surface of the strip, and a voltage is applied using either the first electrode or the second electrode as an anode and the other as a cathode, and the laminar nozzle injects the voltage. And a voltage applying means for energizing through the electrolytic solution and the metal strip.

第12発明に係る金属帯の連続電解エッチング装置は、第11発明において、前記第1電極及び前記第2電極は、前記金属帯の搬送方向の最も出側に配設されたものが陰極であることを特徴とする。   According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided the metal strip continuous electrolytic etching apparatus according to the eleventh aspect of the present invention, wherein the first electrode and the second electrode are arranged on the most outward side in the transport direction of the metal strip. It is characterized by that.

第13発明に係る金属帯の連続電解エッチング装置は、第11発明又は第12発明において、前記第1電極及び前記第2電極は、これらの組からなる電極群が前記金属帯の搬送方向に複数配設されていることを特徴とする。   According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided the continuous electrolytic etching apparatus for a metal strip according to the eleventh or twelfth aspect of the present invention, wherein the first electrode and the second electrode include a plurality of electrode groups in the transport direction of the metal strip. It is characterized by being arranged.

第14発明に係る金属帯の連続電解エッチング装置は、第11発明〜第13発明の何れか一つの発明において、前記搬送される金属帯は、その両面が前記エッチング面であり、前記第1電極及び前記第2電極は、当該第1電極及び当該第2電極のうち陰極となるものが前記金属帯の両面のエッチング面に相対向して配設されていることを特徴とする。   In the continuous electrolytic etching device for a metal strip according to a fourteenth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the eleventh to thirteenth aspects of the invention, both sides of the transported metal strip are the etched surfaces, and the first electrode The second electrode is characterized in that the cathode of the first electrode and the second electrode is disposed opposite to the etching surfaces on both sides of the metal strip.

第1発明〜第14発明によれば、金属帯のエッチング面にラミナー流となる電解液を噴射させることにより、金属帯のエッチング面の電解エッチングを行ないつつ洗浄することが可能となる。このため、金属帯のエッチング面での物質移動を円滑にさせることができ、その分、電解エッチングを安定化させることが可能となる。また、ラミナー流としての電解液を用いて金属帯の電解エッチングをすることができることと、金属帯を電解液に浸漬させることなく電解エッチングをすることができることとから、電解エッチングをするときの金属帯の板幅方向端部での電流集中を抑えることが可能となり、その分、電解エッチングを安定化させることが可能となる。また、金属帯を電解液に浸漬させることなく電解エッチングをすることができるので、金属帯のエッチング面とは反対側の片面に電流が回り込むのを抑えることが可能となる。また、金属帯を電解液に浸漬させることなく電解エッチングをすることができるので、陽極から陰極に電解液のみを通して流れる漏れ電流が生じるのを抑え、エッチング量の制御を正確に行なうことが可能となる。また、金属帯を電解液に浸漬させることなく電解エッチングをすることができるので、従来のように電解槽に大量の電解液を貯溜させておく必要がなくなり、その分、処理コストの低減を図ることが可能となる。また、これらの効果を発揮しつつ、間接通電方式の連続電解エッチング方法のメリットである、一度のエッチング処理につき金属帯の両面を電解エッチングすることができるという効果を発揮することができ、直接通電方式の連続電解エッチング方法よりも処理コストの低減を図れ、更に生産性の向上を図ることが可能となる。   According to the first invention to the fourteenth invention, it is possible to perform cleaning while performing electrolytic etching on the etching surface of the metal band by injecting an electrolytic solution that becomes a laminar flow onto the etching surface of the metal band. For this reason, the mass transfer on the etching surface of the metal band can be made smooth, and the electrolytic etching can be stabilized correspondingly. In addition, since the metal strip can be electrolytically etched using an electrolytic solution as a laminar flow, and the metal strip can be etched without being immersed in the electrolytic solution, the metal used for the electrolytic etching It is possible to suppress current concentration at the end of the strip in the plate width direction, and it is possible to stabilize electrolytic etching correspondingly. In addition, since the electrolytic etching can be performed without immersing the metal strip in the electrolytic solution, it is possible to suppress the current from flowing to one side opposite to the etching surface of the metal strip. In addition, since it is possible to perform the electrolytic etching without immersing the metal strip in the electrolytic solution, it is possible to suppress the leakage current flowing only through the electrolytic solution from the anode to the cathode and to accurately control the etching amount. Become. In addition, since it is possible to perform the electrolytic etching without immersing the metal strip in the electrolytic solution, it is not necessary to store a large amount of the electrolytic solution in the electrolytic bath as in the conventional case, and the processing cost is reduced accordingly. It becomes possible. In addition, while exhibiting these effects, it is possible to demonstrate the effect of being able to perform electrolytic etching on both sides of the metal strip for one etching process, which is a merit of the indirect energization type continuous electrolytic etching method. Compared with the continuous electrolytic etching method, the processing cost can be reduced, and the productivity can be further improved.

第2発明、第12発明によれば、電解エッチングにより生成された反応生成物や汚れ等が金属帯のエッチング面に付着していても、最も出側に配設された陰極と金属帯との間での陽極反応により除去することが可能となり、反応生成物等を除去するための後処理が不要となる。   According to the second and twelfth aspects of the present invention, even if reaction products or dirt generated by electrolytic etching adhere to the etching surface of the metal strip, It becomes possible to remove by an anodic reaction, and post-treatment for removing reaction products and the like becomes unnecessary.

第3発明、第13発明によれば、金属帯のエッチング面に対するエッチング能力を増大させることができ、金属帯のエッチング面を高速で電解エッチングすることが可能となる。   According to the third and thirteenth inventions, it is possible to increase the etching ability for the etched surface of the metal band, and it is possible to perform electrolytic etching of the etched surface of the metal band at high speed.

第5発明によれば、金属帯のエッチング面に形成された溝内での物質移動を円滑にさせることができ、その分、電解エッチングにより形成される溝の形状を安定化させ、溝幅、溝深さにバラツキが生じるのを抑えることが可能となる。このような効果は、歪取り焼鈍後に鉄損が劣化し難い耐歪取り焼鈍低鉄損方向性珪素鋼板を適用の対象とした場合に特に優れた効果として発揮される。   According to the fifth invention, the mass transfer in the groove formed on the etching surface of the metal band can be made smooth, and the shape of the groove formed by electrolytic etching is stabilized correspondingly, the groove width, It is possible to suppress variations in the groove depth. Such an effect is exhibited as a particularly excellent effect when an anti-strain-free annealed low iron loss directional silicon steel sheet, in which the iron loss hardly deteriorates after the stress relief annealing, is applied.

第10発明によれば、金属帯のエッチング面での物質移動を円滑にさせることができ、その分、電解エッチングを安定化させ、過酸洗が生じるのを抑えることが可能となる。また、金属帯を電解槽の電解液に浸漬させる必要がないうえ、電解エッチング反応の進行を通電の有無や電解液供給の有無により調整できるので、搬送ラインを止めた場合に金属帯に過酸洗が生じるのを抑えることが可能となる。   According to the tenth aspect of the invention, the mass transfer on the etching surface of the metal strip can be made smooth, and accordingly, the electrolytic etching can be stabilized and the occurrence of peracid washing can be suppressed. In addition, it is not necessary to immerse the metal strip in the electrolytic solution of the electrolytic bath, and the progress of the electrolytic etching reaction can be adjusted by the presence or absence of energization or the supply of the electrolytic solution. It is possible to suppress the occurrence of washing.

第1実施形態に係る連続電解エッチング装置の構成を概略的に示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows schematically the structure of the continuous electrolytic etching apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る第1電極の構成を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the structure of the 1st electrode which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る第1電極及び第2電極の動作状態を模式的に示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows typically the operation state of the 1st electrode and 2nd electrode which concern on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る第1電極の動作状態を模式的に示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows typically the operation state of the 1st electrode which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る電解電源装置により印加する電圧の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the voltage applied by the electrolytic power supply device which concerns on 1st Embodiment. 第2実施形態に係る連続電解エッチング装置の構成を概略的に示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows schematically the structure of the continuous electrolytic etching apparatus which concerns on 2nd Embodiment. 第3実施形態に係る連続電解エッチング装置の構成を概略的に示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows schematically the structure of the continuous electrolytic etching apparatus which concerns on 3rd Embodiment. 第3実施形態に係る第1電極及び第2電極の動作状態を模式的に示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows typically the operation state of the 1st electrode and 2nd electrode which concern on 3rd Embodiment. 第3実施形態に係る第1電極の動作状態を模式的に示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows typically the operation state of the 1st electrode which concerns on 3rd Embodiment. 連続電解エッチングにより金属帯の表面に溝を形成したときに観察される溝の幾何学的形状を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the geometric shape of a groove | channel observed when a groove | channel is formed in the surface of a metal strip by continuous electrolytic etching. 従来の直接通電方式の連続電解エッチング装置の構成を概略的に示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows schematically the structure of the conventional continuous electroetching apparatus of a direct current system. 従来の間接通電方式の連続電解エッチング装置の構成を概略的に示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows the structure of the conventional continuous electroetching apparatus of the conventional indirect energization method roughly.

まず、本発明を完成させるに至るまでの間に行なった予備的な検討内容について説明する。   First, preliminary examination contents conducted until the present invention is completed will be described.

間接通電方式の連続電解エッチング方法についての基礎的なデータを収集するため、図12に示すような、上述した間接通電方式の連続電解エッチング装置103を用いて、金属帯101の表面に電解エッチングにより溝を形成する予備的実験を行なった。   In order to collect basic data on the indirect energization type continuous electrolytic etching method, the surface of the metal strip 101 is electroetched by using the indirect energization type continuous electrolytic etching apparatus 103 as shown in FIG. Preliminary experiments to form grooves were conducted.

この予備的実験では、金属帯101として仕上焼鈍された後の方向性珪素鋼板を用い、その方向性珪素鋼板としては、仕上焼鈍によりその地鉄表面に生成されたフォルステライト被膜と、そのフォルステライト被膜上にコーティング液の塗布、焼き付けにより得られたリン酸塩系被膜からなる張力付与型絶縁性被膜とを有する絶縁性被膜層が両面に被覆されたものを用いた。この方向性珪素鋼板の絶縁性被膜層は、エッチングマスク111として用い、片面の絶縁性被膜層にのみレーザ加工により線状溝113からなるエッチングパターンを形成した。また、この予備的実験では、陽極131としてPt系の不溶性電極を、陰極133としてSUS316からなる電極を、電解液WとしてNaClの水溶液を用いた。また、この予備的実験では、電解エッチングにより金属帯101の表面に形成された溝の幾何学的形状、溝幅、溝深さ等を観察することとした。   In this preliminary experiment, a directionally-oriented silicon steel plate after finish annealing was used as the metal strip 101. As the direction-oriented silicon steel plate, a forsterite film formed on the surface of the ground iron by finish annealing and its forsterite An insulating coating layer having a tension-imparting insulating coating composed of a phosphate coating obtained by applying and baking a coating solution on the coating was used on both sides. This insulative coating layer of the directional silicon steel sheet was used as an etching mask 111, and an etching pattern composed of linear grooves 113 was formed only on one side of the insulating coating layer by laser processing. In this preliminary experiment, a Pt-based insoluble electrode was used as the anode 131, an electrode made of SUS316 was used as the cathode 133, and an aqueous NaCl solution was used as the electrolyte W. In this preliminary experiment, the geometric shape, groove width, groove depth, etc. of the grooves formed on the surface of the metal strip 101 by electrolytic etching were observed.

図10(a)〜図10(d)は、この予備的実験により観察された溝2の幾何学的形状を模式的に示す断面図である。なお、図10においては、エッチングマスク111の溝113について、その溝幅Wのみ示している。   FIG. 10A to FIG. 10D are cross-sectional views schematically showing the geometric shape of the groove 2 observed in this preliminary experiment. In FIG. 10, only the groove width W of the groove 113 of the etching mask 111 is shown.

図10(a)は溝底面2aが比較的平坦な凹型(イ)の形状の溝2を示し、図10(b)は溝底面2aに傾斜した凹凸のある傾斜型(ロ)の形状の溝2を示し、図10(c)はエッチングマスク111の溝113の溝幅Wに対してその溝幅が広く形成されてしまう幅拡がり型(ハ)の形状の溝2を示し、図10(d)は溝底面2aの一部が局所的にエッチングされてしまう局部エッチング型(ニ)の形状の溝2を示している。図10(a)の凹型(イ)の形状の溝2がこれらの中で最も好ましい形状である。   FIG. 10A shows a concave (A) -shaped groove 2 having a relatively flat groove bottom surface 2a, and FIG. 10 (B) shows an inclined (B) -shaped groove with irregularities inclined on the groove bottom surface 2a. 10 (c) shows a groove 2 having a wide-width type (C) shape in which the groove width is formed wider than the groove width W of the groove 113 of the etching mask 111, and FIG. ) Shows a locally etched (d) -shaped groove 2 in which a part of the groove bottom surface 2a is locally etched. The groove 2 having the concave shape (A) in FIG. 10A is the most preferable shape among them.

予備的実験により観察された溝2の形状は、その大半が図10(b)〜図10(d)に示すような幾何学的形状が不安定な形状であり、更に、溝幅、溝深さも大きく変動し易いことが判明した。   Most of the shapes of the grooves 2 observed in the preliminary experiment are unstable shapes as shown in FIGS. 10 (b) to 10 (d), and further, the groove width and the groove depth. It has also been found that the fluctuations are greatly variable.

そこで、本発明者は、金属帯1の鋼種を変更したり、金属帯101のエッチングマスク111からの露出部に対する実効電流密度等の電解エッチング条件を変更したりして、諸々の条件下での溝2の形状を調査したが、溝2の形状を安定化させて、溝幅、溝深さのばらつきを大幅に減少させることができなかった。   Therefore, the present inventor changed the steel type of the metal strip 1 or changed the electrolytic etching conditions such as the effective current density with respect to the exposed portion of the metal strip 101 from the etching mask 111, under various conditions. The shape of the groove 2 was investigated, but the shape of the groove 2 could not be stabilized and the variation in groove width and depth could not be significantly reduced.

本発明者は、さらに鋭意検討を重ねるうちに、金属帯101を電解液Wに浸漬させることにより生じる金属帯101の板幅方向端部での電流集中が主原因であると突き止めるとともに、電解エッチングにより金属帯101に形成される溝2内での物質移動、とりわけ、電解エッチングにより生成された反応生成物や汚れ等が溝2内で淀み(沈殿物)として残る点が主原因であると突き止めた。なお、ここでいう反応生成物とは、金属帯101が鋼帯である場合、Fe(OH)2、Fe(OH)3等の鉄化合物や、鉄以外の不純物であるSi等の化合物のことを意味している。 The present inventor has determined that the current concentration at the end in the plate width direction of the metal strip 101 caused by immersing the metal strip 101 in the electrolytic solution W is the main cause, while conducting further elaborate studies, and electrolytic etching. It is determined that the main cause is that mass transfer in the groove 2 formed in the metal strip 101 by the etching, in particular, reaction products and dirt generated by electrolytic etching remain as stagnation (precipitate) in the groove 2. It was. Note that the reaction product referred to here is an iron compound such as Fe (OH) 2 or Fe (OH) 3 or a compound such as Si that is an impurity other than iron when the metal strip 101 is a steel strip. Means.

そして、本発明者は、このような着目点に基づき、金属帯101の板幅方向端部での電流集中を抑えつつ、溝2内での淀みを効果的に減少させて溝2内での物質移動を円滑にさせることにより、電解エッチングにより形成される溝2の形状を安定させ、溝幅、溝深さを均一にできるのではないかという発想を得て、後述の実施例1で説明するような確認実験を行なった。   And based on such a point of interest, the present inventor effectively reduces the sag in the groove 2 while suppressing current concentration at the end of the metal strip 101 in the plate width direction. The idea that the shape of the groove 2 formed by electrolytic etching can be stabilized and the groove width and depth can be made uniform by smoothing the mass transfer will be described in Example 1 described later. A confirmation experiment was conducted.

この結果、金属帯101の板幅方向端部での電流集中を抑制しつつ、溝2内での淀みを減少させる手段として、金属帯101を電解液Wに浸漬させない構成としたうえで、ラミナー流となる電解液を金属帯に噴射しつつ電解エッチングすることが極めて有効であることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result, as a means for reducing stagnation in the groove 2 while suppressing current concentration at the end of the metal band 101 in the plate width direction, the metal band 101 is not immersed in the electrolytic solution W. The inventors have found that it is extremely effective to perform electrolytic etching while injecting a flowing electrolytic solution onto a metal strip, and have completed the present invention.

本発明は、このような検討内容に基づき案出されたものであり、以下、その実施するための形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。   The present invention has been devised based on such examination contents. Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

まず、本発明の第1実施形態に係る連続電解エッチング方法とこれを実現するための連続電解エッチング装置について説明する。   First, the continuous electrolytic etching method according to the first embodiment of the present invention and the continuous electrolytic etching apparatus for realizing the method will be described.

図1は、本発明の第1実施形態に係る連続電解エッチング装置3の構成を概略的に示す側面断面図である。   FIG. 1 is a side sectional view schematically showing a configuration of a continuous electrolytic etching apparatus 3 according to the first embodiment of the present invention.

本発明に係る連続電解エッチング方法の適用の対象となる金属帯1は、搬送ロール81等により連続的に搬送されるものである。金属帯1は、その片面又は両面が電解エッチングすべきエッチング面1aとして搬送され、第1実施形態においては上側の片面のみがエッチング面1aとして搬送されているものを例示している。金属帯1のエッチング面1aには、後述の絶縁性被膜層やエッチングレジスト等からなる電気絶縁性のエッチングマスク11が被覆されている。金属帯1のエッチング面1aが片面のみである場合、残りの片面1cに対しては、エッチングマスク11を被覆させてもよいし、被覆させなくともよい。   The metal strip 1 to which the continuous electrolytic etching method according to the present invention is applied is continuously transported by a transport roll 81 or the like. One or both surfaces of the metal strip 1 are conveyed as an etching surface 1a to be electrolytically etched, and in the first embodiment, only the upper one surface is conveyed as an etching surface 1a. The etching surface 1a of the metal strip 1 is covered with an electrically insulating etching mask 11 made of an insulating film layer, an etching resist, etc., which will be described later. When the etching surface 1a of the metal band 1 is only one surface, the remaining one surface 1c may be covered with the etching mask 11 or may not be covered.

金属帯1のエッチング面1aに被覆されたエッチングマスク11には、予めレーザー、電子線等により溝13からなるエッチングパターンが形成されている。金属帯1のエッチング面1aは、このエッチングマスク11の溝13から露出した露出部1bが電解エッチングされて、エッチングマスク11の溝13に対応した形状の溝2が形成される。電解エッチングにより金属帯1のエッチング面1aに形成されるべき溝2の形状としては、例えば、金属帯1の搬送方向に間隔を空けた列状の点状溝又は線状溝が挙げられ、これらの例での溝2の具体的な寸法条件としては、例えば、これらの延びる方向が金属帯1の搬送方向に対して90°〜45°の範囲、溝幅が10〜300μm、溝深さが5〜40μm、金属帯1の搬送方向での溝間間隔であるピッチが1〜20mmで形成されるものが挙げられる。エッチングマスク11に形成される溝13も、このような溝2の形状、寸法条件となるよう、金属帯1の搬送方向に間隔を空けた列状の点状溝又は線状溝から形成される。   On the etching mask 11 covered with the etching surface 1a of the metal band 1, an etching pattern including grooves 13 is formed in advance by a laser, an electron beam or the like. On the etching surface 1 a of the metal band 1, the exposed portion 1 b exposed from the groove 13 of the etching mask 11 is electrolytically etched to form a groove 2 having a shape corresponding to the groove 13 of the etching mask 11. As the shape of the groove 2 to be formed on the etching surface 1a of the metal strip 1 by electrolytic etching, for example, a row of dotted or linear grooves spaced in the transport direction of the metal strip 1 can be cited. As specific dimensional conditions of the groove 2 in the example, for example, the extending direction is in the range of 90 ° to 45 ° with respect to the conveying direction of the metal strip 1, the groove width is 10 to 300 μm, and the groove depth is 5-40 micrometers and the pitch which is the pitch which is the space | interval between groove | channels in the conveyance direction of the metal strip 1 are mentioned. The grooves 13 formed in the etching mask 11 are also formed from row-like dot-like grooves or linear grooves spaced in the transport direction of the metal strip 1 so as to satisfy the shape and size conditions of the grooves 2. .

連続電解エッチング装置3は、金属帯1の電解エッチングすべきエッチング面1aと相対向してその金属帯1の搬送方向に順に配設される第1電極31及び第2電極33を備えている。   The continuous electrolytic etching apparatus 3 includes a first electrode 31 and a second electrode 33 which are disposed in order in the transport direction of the metal band 1 so as to face the etching surface 1a of the metal band 1 to be electrolytically etched.

第1電極31及び第2電極33は、何れか一方が陽極、他方が陰極として構成されるものであり、公知の電極材料から構成される。ただし、陽極となる電極31、33は、電極自身が電解エッチングされることのないようPt系等の不溶性材料から構成されるのが好ましく、また、陰極となる電極31、33は、不溶性材料であることに特に限定されず、ガス発生電位の低い物質から構成されればよい。   One of the first electrode 31 and the second electrode 33 is configured as an anode and the other as a cathode, and is configured from a known electrode material. However, the electrodes 31 and 33 serving as anodes are preferably made of an insoluble material such as Pt so that the electrodes themselves are not subjected to electrolytic etching, and the electrodes 31 and 33 serving as cathodes are made of insoluble materials. There is no particular limitation, and it may be composed of a substance having a low gas generation potential.

第1電極31と第2電極33との間には、これらの間に電圧を印加する電圧印加手段としての電解電源装置41が接続されている。電解電源装置41は、第1実施形態では、直流電圧を印加するものとして構成されている。電解電源装置41は、例えば、六相交流電源を六相半波整流して直流電圧を印加するものから構成されるが、電圧を印加できれば特にその構成について限定するものではなく、また、その方式もトランジスター方式、インバータ方式等特に限定するものではない。   Between the first electrode 31 and the second electrode 33, an electrolytic power supply device 41 is connected as voltage applying means for applying a voltage therebetween. In the first embodiment, the electrolytic power supply device 41 is configured to apply a DC voltage. The electrolysis power supply device 41 is configured, for example, from a six-phase AC power source that rectifies a six-phase half-wave and applies a DC voltage. However, the configuration is not particularly limited as long as a voltage can be applied, and the method thereof There is no particular limitation on the transistor system, the inverter system, and the like.

第1実施形態では、第1電極31と電解電源装置41との間に開閉器43が接続され、電解電源装置41と第2電極33との間に抵抗器45が接続されている。開閉器43を閉にすることにより、第1電極31と第2電極33との間で電圧が印加され、開閉器43を開にすることにより、これらの間での電圧の印加が中断される。また、抵抗器45の値を増減させることにより、第1電極31と第2電極33との間で通電される電解電流の電流値が調整される。   In the first embodiment, a switch 43 is connected between the first electrode 31 and the electrolytic power supply device 41, and a resistor 45 is connected between the electrolytic power supply device 41 and the second electrode 33. By closing the switch 43, a voltage is applied between the first electrode 31 and the second electrode 33, and by applying the switch 43, the voltage application between them is interrupted. . Further, by increasing / decreasing the value of the resistor 45, the current value of the electrolysis current passed between the first electrode 31 and the second electrode 33 is adjusted.

図2は第1電極31の構成を模式的に示す平面図であり、図3はその動作状態を示す側面断面図であり、図4はその動作状態を示す正面断面図である。なお、第2電極33の構成もこれと同様であるので、図2〜図4を基に第2電極33の構成も併せて説明する。また、図4では、第1電極31から噴射されるラミナー流としての電解液Wrを省略し、その電解液Wrの噴射される範囲のみ模式的に示している。   2 is a plan view schematically showing the configuration of the first electrode 31, FIG. 3 is a side sectional view showing the operating state, and FIG. 4 is a front sectional view showing the operating state. In addition, since the structure of the 2nd electrode 33 is the same as this, the structure of the 2nd electrode 33 is also demonstrated collectively based on FIGS. In FIG. 4, the electrolyte solution Wr as a laminar flow ejected from the first electrode 31 is omitted, and only a range in which the electrolyte solution Wr is ejected is schematically illustrated.

第1電極31及び第2電極33は、第1実施形態において、金属帯1の搬送方向と略平行に配設された板状の電極プレート35と、電極プレート35の金属帯1と相対向する側に、金属帯1の搬送方向に間隔を空けて並列に設けられた一つ以上の筒状のヘッダー37と、ヘッダー37に設けられ、第1電極31及び第2電極33から金属帯1のエッチング面1aにラミナー流となる電解液Wrを噴射する電解液噴射手段としてのラミナーノズル39とを有している。   In the first embodiment, the first electrode 31 and the second electrode 33 are opposed to the plate-like electrode plate 35 disposed substantially parallel to the transport direction of the metal strip 1 and the metal strip 1 of the electrode plate 35. On the side, one or more cylindrical headers 37 provided in parallel at intervals in the transport direction of the metal band 1, and provided on the header 37, the first electrode 31 and the second electrode 33 are connected to the metal band 1. A laminar nozzle 39 is provided as an electrolyte injection means for injecting an electrolyte Wr that is a laminar flow onto the etching surface 1a.

電極プレート35は、電圧を印加するために、電解電源装置41に電気的に接続する電源用配線47が結線されている。   The electrode plate 35 is connected to a power supply wiring 47 that is electrically connected to the electrolytic power supply device 41 in order to apply a voltage.

電極プレート35の板幅方向両側には、第1実施形態において、金属帯1の搬送方向に延びる電解液供給本管51が配設されており、電解液供給本管51から分枝した電解液供給枝管53がヘッダー37の端部に接続されている。電解液供給枝管53の配管途中には、第1実施形態において、ラミナーノズル39からの電解液の噴射量を調整するため、枝管流量調節弁55が接続されており、流量調節弁55の開度を調節することにより、電解液供給本管51から電解液供給枝管53を通してヘッダー37内に供給される電解液の供給量が調節される。   In the first embodiment, an electrolyte supply main pipe 51 extending in the transport direction of the metal strip 1 is disposed on both sides of the electrode plate 35 in the plate width direction, and the electrolyte solution branched from the electrolyte supply main pipe 51 is provided. A supply branch pipe 53 is connected to the end of the header 37. In the middle of the piping of the electrolyte supply branch pipe 53, a branch pipe flow rate control valve 55 is connected in order to adjust the injection amount of the electrolyte solution from the laminar nozzle 39 in the first embodiment. By adjusting the opening, the supply amount of the electrolyte supplied from the electrolyte supply main pipe 51 to the header 37 through the electrolyte supply branch pipe 53 is adjusted.

ラミナーノズル39は、ラミナー流を噴射するものである。ここでいうラミナー流とは、その噴射される方向に直交する方向に対して厚みと幅を持つ流れであって、その流れの中で電解液が充填されており、ラミナーノズル39より噴射されてから金属帯1に衝突するまでの範囲での形状が時間の経過に対してほぼ一様な流れのことをいう。ラミナーノズル39は、第1実施形態においては、ラミナーノズル39が膜状のラミナー流を噴射するスリット状噴射口39aを有するものから構成される例を示しているが、この他にも、柱状のラミナー流を噴射する筒状噴射口を有するものから構成されていてもよい。   The laminar nozzle 39 ejects a laminar flow. The laminar flow referred to here is a flow having a thickness and a width with respect to a direction orthogonal to the jetting direction, in which the electrolyte is filled and injected from the laminar nozzle 39. The shape in the range from collision to collision with the metal strip 1 is a flow that is substantially uniform over time. In the first embodiment, the laminar nozzle 39 is an example in which the laminar nozzle 39 includes a slit-like injection port 39a for injecting a film-like laminar flow. You may be comprised from what has the cylindrical injection port which injects a laminar flow.

なお、第1電極31及び第2電極33は、第1実施形態において、電極プレート35、ヘッダー37及びラミナーノズル39が一体的に構成されているものを例示しているが、電極プレート35とヘッダー37及びラミナーノズル39とを別体のものとしてこれらを連結したものから構成されていてもよい。また、第1電極31及び第2電極33は、ラミナーノズル39から噴射される電解液に対して通電可能な構成であれば、その構成について特に限定するものではなく、例えば、ヘッダー37のみが公知の電極材料から構成されていてもよいし、電極プレート35を用いずに構成されていてもよい。   In the first embodiment, the first electrode 31 and the second electrode 33 are illustrated in which the electrode plate 35, the header 37, and the laminar nozzle 39 are integrally configured. 37 and laminar nozzle 39 may be separated and connected to each other. The first electrode 31 and the second electrode 33 are not particularly limited as long as the first electrode 31 and the second electrode 33 are configured to be able to energize the electrolyte sprayed from the laminar nozzle 39. For example, only the header 37 is known. The electrode material may be used, or the electrode plate 35 may not be used.

また、連続電解エッチング装置3は、第1実施形態において、ラミナーノズル39から金属帯1のエッチング面1aに噴射された電解液を貯溜するための電解槽61を備えている。電解槽61には、ラミナーノズル39から噴射された電解液がその底部61aで溜まりWaとなって貯溜され、金属帯1は、電解槽61に貯留された溜まりWaとしての電解液に浸漬されないように搬送される。   Moreover, the continuous electrolytic etching apparatus 3 includes an electrolytic tank 61 for storing the electrolytic solution sprayed from the laminar nozzle 39 onto the etching surface 1a of the metal strip 1 in the first embodiment. In the electrolytic bath 61, the electrolytic solution sprayed from the laminar nozzle 39 accumulates at the bottom 61 a and is accumulated as Wa, so that the metal strip 1 is not immersed in the electrolytic solution as the accumulated Wa stored in the electrolytic bath 61. It is conveyed to.

電解槽61の底部61aで溜まりWaとなった電解液は、電解槽61に接続された排出管63を介して排出されて、排出管63に接続された貯溜タンク64内で貯溜される。貯溜タンク64には、電解液供給本管51が接続されており、電解液供給本管51の配管途中には、電解液を移送するための電解液供給ポンプ65と、電解液を濾過するための電解液フィルタ66と、電解液供給本管51に供給される電解液の供給量を調節するための本管流量調節弁67とが接続されている。貯溜タンク64内に貯溜された電解液Wは、電解液供給ポンプ65の駆動により、電解液フィルタ66を通して電解液供給本管51に移送され、その後、ヘッダー37、ラミナーノズル39を通して、再度、金属帯1に噴射され、循環して用いられる。   The electrolytic solution that has accumulated at the bottom 61 a of the electrolytic tank 61 and has become Wa is discharged through a discharge pipe 63 connected to the electrolytic tank 61 and stored in a storage tank 64 connected to the discharge pipe 63. An electrolytic solution supply main pipe 51 is connected to the storage tank 64, and an electrolytic solution supply pump 65 for transferring the electrolytic solution is provided in the middle of the piping of the electrolytic solution supply main pipe 51 to filter the electrolytic solution. The electrolyte filter 66 is connected to a main flow rate adjusting valve 67 for adjusting the amount of electrolyte supplied to the electrolyte supply main pipe 51. The electrolytic solution W stored in the storage tank 64 is transferred to the electrolytic solution supply main pipe 51 through the electrolytic solution filter 66 by driving of the electrolytic solution supply pump 65, and then again through the header 37 and the laminar nozzle 39 to form the metal again. It is injected into the belt 1 and used after circulation.

なお、電解液Wとしては、電解エッチングすべき対象となる金属帯1の種類、材質に応じた公知のものが適宜用いられ、例えば、方向性珪素鋼板を電解エッチングするときにはNaCl等の酸性水溶液が用いられ、後述のステンレス鋼等を電解エッチングするときには塩酸、硝酸等が用いられる。   As the electrolytic solution W, a known one corresponding to the type and material of the metal strip 1 to be subjected to electrolytic etching is appropriately used. For example, an acidic aqueous solution such as NaCl is used when electrolytically etching a directional silicon steel plate. Hydrochloric acid, nitric acid or the like is used when electrolytically etching stainless steel, which will be described later, is used.

また、第1実施形態では、第1電極31から第2電極33に放電するのを抑制するため、第1電極31と第2電極33との間にウレタンゴム等の電気絶縁性材料からなる遮蔽板71が配設されている。   In the first embodiment, in order to suppress discharge from the first electrode 31 to the second electrode 33, a shield made of an electrically insulating material such as urethane rubber is provided between the first electrode 31 and the second electrode 33. A plate 71 is provided.

また、第1実施形態では、金属帯1を連続的に搬送させるための搬送ロール81として、電解槽61の入側及び出側において、金属帯1を間に挟んで一対のリンガーロール81が配設されており、電解槽61の外側への電解液Wの流出が抑制されている。   In the first embodiment, a pair of ringer rolls 81 are arranged on the entry side and the exit side of the electrolytic cell 61 with the metal band 1 interposed therebetween as the conveyance roll 81 for continuously conveying the metal band 1. The electrolyte solution W is prevented from flowing out to the outside of the electrolytic cell 61.

また、第1電極31、第2電極33、遮蔽板71は、例えば、電解槽61に図示しない電気絶縁性材料を介して支持された状態で配設されている。   Moreover, the 1st electrode 31, the 2nd electrode 33, and the shielding board 71 are arrange | positioned in the state supported by the electrolytic vessel 61 through the electrically insulating material which is not shown in figure, for example.

次に、本発明の第1実施形態に係る連続電解エッチング装置3を用いた連続電解エッチング方法について説明する。   Next, a continuous electrolytic etching method using the continuous electrolytic etching apparatus 3 according to the first embodiment of the present invention will be described.

まず、連続的に搬送される金属帯1のエッチング面1aに、第1電極31及び第2電極33からラミナーノズル39によりラミナー流となる電解液Wrを噴射する。このとき、金属帯1の上側のラミナーノズル39から噴射されたラミナー流としての電解液Wrは、その大半が金属帯1の上面に衝突した後、金属帯1の板幅方向両端側まで流れ、金属帯1の板幅方向両端から電解槽61に液滴Wbとなって落下する。   First, an electrolytic solution Wr that forms a laminar flow is sprayed from the first electrode 31 and the second electrode 33 to the etching surface 1a of the metal strip 1 that is continuously conveyed by the laminar nozzle 39. At this time, the electrolyte solution Wr as a laminar flow jetted from the laminar nozzle 39 on the upper side of the metal band 1 flows to the both ends in the plate width direction of the metal band 1 after most of the collision with the upper surface of the metal band 1. Drops Wb fall into the electrolytic cell 61 from both ends of the metal strip 1 in the plate width direction.

ここで、金属帯1の上側のラミナーノズル39から噴射されたラミナー流としての電解液Wrは、ラミナーノズル39に対して下方に位置するものほど落下速度が速くなり、表面張力の関係でその厚みや幅が小さくなるように変形する。このとき、図4における範囲Sに位置するような、金属帯1に衝突せずにその板幅方向両側を通過しようとするラミナー流は、金属帯1により拘束されていないことと、その厚みや幅が小さくなっていることとから、流れが不安定になることにより頻繁に部分的に分断される。この結果、金属帯1に衝突せずにその板幅方向両側を通過しようとするラミナー流としての電解液Wrからは、金属帯1に対する電解電流の流れがほとんど生じなくなり、これによって、金属帯1の板幅方向端部での電流集中が抑えられることになる。   Here, the electrolyte solution Wr as a laminar flow sprayed from the laminar nozzle 39 on the upper side of the metal strip 1 has a faster drop speed as it is positioned below the laminar nozzle 39, and its thickness is related to the surface tension. It deforms so that the width becomes smaller. At this time, the laminar flow which is located in the range S in FIG. 4 and does not collide with the metal band 1 and tries to pass through both sides in the plate width direction is not constrained by the metal band 1 and its thickness or Due to the fact that the width is small, the flow is unstable and often partly divided. As a result, the electrolytic solution Wr as a laminar flow which does not collide with the metal band 1 and tries to pass through both sides in the plate width direction hardly generates an electrolysis current flow with respect to the metal band 1. Current concentration at the end in the plate width direction is suppressed.

続いて、電圧印加手段としての電解電源装置41により、第1電極31及び第2電極33の何れか一方を陽極、他方を陰極として電圧を印加する。ここでは、第1電極31を陽極、第2電極33を陰極として、図5に示すような定電圧を印加するものとする。また、このとき、電解電源装置41の性能や抵抗器45の抵抗値等を変えることにより、電解電源装置41から所定の電流値の電解電流が通電されるよう調整される。   Subsequently, a voltage is applied by the electrolysis power supply device 41 as a voltage application unit using either the first electrode 31 or the second electrode 33 as an anode and the other as a cathode. Here, a constant voltage as shown in FIG. 5 is applied using the first electrode 31 as an anode and the second electrode 33 as a cathode. At this time, by adjusting the performance of the electrolytic power supply device 41, the resistance value of the resistor 45, and the like, adjustment is made so that an electrolytic current having a predetermined current value is supplied from the electrolytic power supply device 41.

これにより、電解電源装置41−陽極となる第1電極31−第1電極31から噴射しているラミナー流の電解液Wr−第1電極31と相対向する金属帯1のエッチング面1aの露出部1b−金属帯1−第2電極33と相対向する金属帯1のエッチング面1aの露出部1b−第2電極から噴射しているラミナー流の電解液Wr−陰極となる第2電極33−電解電源装置41の閉回路が形成され、これらを通して電解電流が通電されることになる。   Accordingly, the electrolytic power supply 41-the first electrode 31 serving as the anode-the laminar electrolyte Wr sprayed from the first electrode 31-the exposed portion of the etching surface 1a of the metal strip 1 facing the first electrode 31 1b-metal band 1-exposed portion 1b of the etching surface 1a of the metal band 1 opposite to the second electrode 33-laminar flow electrolyte Wr sprayed from the second electrode-second electrode 33 serving as a cathode-electrolysis A closed circuit of the power supply device 41 is formed, and an electrolytic current is passed through them.

このとき、陰極となる第2電極33に相対向する金属帯1のエッチング面1aの露出部1bでは、この電解電流により金属帯1を構成する金属Meから金属カチオンMen+が溶出する下記の陽極反応が生じ、電解エッチングが進行する。これにより、エッチングマスク11のエッチングパターンに対応した形状の溝2が金属帯1のエッチング面1aに形成されることになる。
Me→Men++ne- (金属帯1が鋼帯の場合: Fe→Fe2++2e-
At this time, in the exposed portion 1b of the etching surface 1a of the metal band 1 opposite to the second electrode 33 serving as the cathode, the following anode from which the metal cation Me n + is eluted from the metal Me constituting the metal band 1 by this electrolytic current. Reaction occurs and electrolytic etching proceeds. As a result, a groove 2 having a shape corresponding to the etching pattern of the etching mask 11 is formed on the etching surface 1 a of the metal strip 1.
Me → Me n + + ne (when the metal strip 1 is a steel strip: Fe → Fe 2+ + 2e )

このとき、第1実施形態においては、電解液を電解液フィルタ66を通して循環して用いているため、電解エッチングにより生成された反応生成物や汚れ等が除去された電解液が金属帯1のエッチング面1aに噴射される。   At this time, in the first embodiment, since the electrolytic solution is circulated through the electrolytic solution filter 66, the electrolytic solution from which reaction products, dirt, and the like generated by electrolytic etching have been removed is etched into the metal strip 1. It is injected to the surface 1a.

ここで、本発明によれば、金属帯1の電解エッチングを進行させている間、金属帯1のエッチング面1aにラミナー流となる電解液Wrを噴射させているので、電解エッチングにより生成された反応生成物や汚れ等が金属帯1のエッチング面1aに形成された溝2から洗い流されて除去される。即ち、金属帯1のエッチング面1aにラミナー流となる電解液Wrを噴射させることにより、金属帯1のエッチング面1aの電解エッチングを行ないつつ洗浄することが可能となる。このため、金属帯1のエッチング面1aに形成された溝2内での物質移動を円滑にさせることができ、その分、電解エッチングにより形成される溝2の形状を安定化させ、溝幅、溝深さにバラツキが生じるのを抑えることが可能となる。   Here, according to the present invention, while the electrolytic etching of the metal strip 1 is proceeding, the electrolytic solution Wr that is a laminar flow is sprayed onto the etching surface 1a of the metal strip 1, so that it is generated by electrolytic etching. Reaction products, dirt, etc. are washed away from the grooves 2 formed on the etching surface 1a of the metal strip 1 and removed. That is, by injecting the electrolytic solution Wr that is a laminar flow onto the etching surface 1a of the metal band 1, it becomes possible to perform cleaning while performing the electrolytic etching of the etching surface 1a of the metal band 1. For this reason, the mass transfer in the groove 2 formed on the etching surface 1a of the metal band 1 can be made smooth, and the shape of the groove 2 formed by electrolytic etching is stabilized correspondingly, the groove width, It is possible to suppress variations in the groove depth.

また、本発明によれば、ラミナー流としての電解液Wrを用いて金属帯1の電解エッチングをすることができることと、金属帯1を電解液Waに浸漬させることなく電解エッチングをすることができることとから、電解エッチングをするときの金属帯1の板幅方向端部での電流集中を抑えることが可能となり、その分、電解エッチングにより形成される溝2の形状を安定化させ、溝幅、溝深さにバラツキが生じるのを抑えることが可能となる。また、金属帯1を電解液Waに浸漬させることなく電解エッチングをすることができるので、金属帯1のエッチング面1aとは反対側の片面に電流が回り込むのを抑えることが可能となる。   In addition, according to the present invention, the electrolytic etching of the metal strip 1 can be performed using the electrolytic solution Wr as a laminar flow, and the electrolytic etching can be performed without immersing the metallic strip 1 in the electrolytic solution Wa. Therefore, it is possible to suppress current concentration at the end of the metal strip 1 in the plate width direction when electrolytic etching is performed, and to that extent, the shape of the groove 2 formed by electrolytic etching is stabilized, It is possible to suppress variations in the groove depth. In addition, since the electrolytic etching can be performed without immersing the metal strip 1 in the electrolytic solution Wa, it is possible to suppress the current from flowing to one side of the metal strip 1 opposite to the etching surface 1a.

このような電解エッチングにより形成される溝2の形状を安定化させるという効果は、歪取り焼鈍後に鉄損が劣化し難い耐歪取り焼鈍低鉄損方向性珪素鋼板を適用の対象とした場合に特に優れた効果として発揮される。これは、このような方向性珪素鋼板では、電解エッチングにより形成される溝2の形状のバラツキがそのまま磁性のバラツキとなって磁気特性に悪影響を及ぼすためである。   The effect of stabilizing the shape of the groove 2 formed by such electrolytic etching is the case where a strain relief annealed low iron loss directional silicon steel sheet, in which the iron loss does not easily deteriorate after strain relief annealing, is applied. This is particularly effective. This is because in such a directional silicon steel sheet, the variation in the shape of the groove 2 formed by electrolytic etching becomes a magnetic variation as it is and adversely affects the magnetic properties.

また、本発明によれば、金属帯1を電解液Waに浸漬させることなく電解エッチングをすることができるので、陽極から陰極に電解液Waのみを通して流れる漏れ電流が生じるのを抑え、エッチング量の制御を正確に行なうことが可能となる。また、金属帯1を電解液Waに浸漬させることなく電解エッチングをすることができるので、従来のように電解槽61に大量の電解液を貯溜させておく必要がなくなり、その分、処理コストの低減を図ることが可能となる。   In addition, according to the present invention, the electrolytic etching can be performed without immersing the metal strip 1 in the electrolytic solution Wa, so that the leakage current flowing only from the anode to the cathode through the electrolytic solution Wa is suppressed, and the etching amount is reduced. Control can be performed accurately. Further, since the electrolytic etching can be performed without immersing the metal strip 1 in the electrolytic solution Wa, it is not necessary to store a large amount of the electrolytic solution in the electrolytic bath 61 as in the prior art, and the processing cost is correspondingly reduced. Reduction can be achieved.

また、本発明によれば、これらの効果を発揮しつつ、間接通電方式の連続電解エッチング方法のメリットである、一度のエッチング処理につき金属帯1の両面を電解エッチングすることができるという効果を発揮することができ、直接通電方式の連続電解エッチング方法よりも処理コストの低減を図れ、更に生産性の向上を図ることが可能となる。   Further, according to the present invention, while exhibiting these effects, it is possible to perform electrolytic etching on both surfaces of the metal strip 1 per etching process, which is a merit of the indirect energization type continuous electrolytic etching method. Therefore, the processing cost can be reduced and the productivity can be further improved as compared with the direct energization type continuous electrolytic etching method.

次に、本発明の第2実施形態に係る連続電解エッチング方法及びこれを実現するための連続電解エッチング装置について説明する。なお、上述した構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を付すことにより以下での説明を省略する。   Next, a continuous electrolytic etching method according to a second embodiment of the present invention and a continuous electrolytic etching apparatus for realizing the same will be described. In addition, about the component same as the component mentioned above, the description below is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same code | symbol.

図6は、第2実施形態に係る連続電解エッチング装置3の構成を概略的に示す側面断面図である。   FIG. 6 is a side sectional view schematically showing the configuration of the continuous electrolytic etching apparatus 3 according to the second embodiment.

第1実施形態においては、第1電極31及び第2電極33の組からなる電極群30が金属帯1の搬送方向に一つ配設されている例について説明したが、第2実施形態においては、第1電極31及び第2電極33の組からなる電極群30が金属帯1の搬送方向に複数配設されている。また、各電極群30につき一つの電解電源装置41が接続されている。   In 1st Embodiment, although the electrode group 30 which consists of a group of the 1st electrode 31 and the 2nd electrode 33 demonstrated one example arrange | positioned in the conveyance direction of the metal strip 1, in 2nd Embodiment, A plurality of electrode groups 30 each including a set of the first electrode 31 and the second electrode 33 are arranged in the transport direction of the metal strip 1. Further, one electrolytic power supply device 41 is connected to each electrode group 30.

このように、電極群30が金属帯1の搬送方向に複数配設されている場合、金属帯1のエッチング面1aに対するエッチング能力を増大させることができ、金属帯1のエッチング面1aを高速で電解エッチングすることが可能となる。   As described above, when a plurality of electrode groups 30 are arranged in the conveying direction of the metal band 1, the etching capability of the metal band 1 with respect to the etching surface 1a can be increased, and the etching surface 1a of the metal band 1 can be formed at high speed. Electrolytic etching can be performed.

このとき、第2実施形態において例示しているように、電解槽61を金属帯1の搬送方向に順に配設することも有効である。これは、以下の理由による。電解槽61が金属帯1の搬送方向に長くなりすぎると、自重により金属帯1がカテナリー状に変形し、電極31、33から金属帯1までの距離や金属帯1の形状の変動が搬送方向で大きくなり、その結果、ラミナー流が不安定となってしまう。ここで、電解槽61を金属帯1の搬送方向に順に配設すると、所定量電解デッチングするのに必要な電解槽61の一つ当たりの長さを抑えることができる結果、自重による金属帯1のカテナリー状の変形を抑えることができる。これにより、電極31、33から金属帯1までの距離や金属帯1の形状の変動も併せて抑えることができ、その結果、ラミナー流を安定化させることができるので、電解エッチングにより形成される溝2の溝幅、溝深さにバラツキが生じるのを抑えることが可能となる。   At this time, as illustrated in the second embodiment, it is also effective to sequentially arrange the electrolytic cells 61 in the conveying direction of the metal strip 1. This is due to the following reason. If the electrolytic cell 61 becomes too long in the conveyance direction of the metal band 1, the metal band 1 is deformed into a catenary shape by its own weight, and the distance from the electrodes 31, 33 to the metal band 1 and the variation of the shape of the metal band 1 are changed in the conveyance direction. As a result, the laminar flow becomes unstable. Here, when the electrolytic cell 61 is arranged in order in the conveying direction of the metal strip 1, the length per one electrolytic cell 61 required for electrolytic detching by a predetermined amount can be suppressed. As a result, the metal strip 1 due to its own weight. The catenary deformation can be suppressed. Thereby, the distance from the electrodes 31 and 33 to the metal band 1 and the fluctuation of the shape of the metal band 1 can also be suppressed. As a result, the laminar flow can be stabilized, and thus formed by electrolytic etching. It is possible to suppress variations in the groove width and groove depth of the groove 2.

次に、本発明の第3実施形態に係る連続電解エッチング方法及びこれを実現するための連続電解エッチング装置について説明する。   Next, a continuous electrolytic etching method and a continuous electrolytic etching apparatus for realizing the same according to a third embodiment of the present invention will be described.

図7は、第3実施形態に係る連続電解エッチング装置3の構成を概略的に示す側面断面図であり、図8は、その動作状態を示す正面断面図である。なお、図8では、上下の第1電極31から噴射されるラミナー流としての電解液Wrを省略し、下側の電解液Wrの噴射される範囲のみ模式的に示している。   FIG. 7 is a side sectional view schematically showing a configuration of the continuous electrolytic etching apparatus 3 according to the third embodiment, and FIG. 8 is a front sectional view showing an operation state thereof. In FIG. 8, the electrolyte solution Wr as a laminar flow ejected from the upper and lower first electrodes 31 is omitted, and only the range in which the lower electrolyte solution Wr is ejected is schematically shown.

第3実施形態に係る連続電解エッチング方法は、金属帯1の両面をエッチング面1aとして電解エッチングする場合に適用されるものを例示している。第3実施形態に係る連続電解エッチング装置3は、第1電極31及び第2電極33の組からなる電極群30が金属帯1の両面に相対向して配設されている。また、各電極群30につき一つの電解電源装置41が接続されている。   The continuous electrolytic etching method according to the third embodiment exemplifies a method applied when electrolytic etching is performed using both surfaces of the metal strip 1 as etching surfaces 1a. In the continuous electrolytic etching apparatus 3 according to the third embodiment, an electrode group 30 composed of a set of a first electrode 31 and a second electrode 33 is disposed opposite to both surfaces of the metal strip 1. Further, one electrolytic power supply device 41 is connected to each electrode group 30.

これにより、金属帯1の両面をエッチング面1aとして電解エッチングすることが可能となる。   As a result, both surfaces of the metal strip 1 can be electrolytically etched using the etching surface 1a.

なお、金属帯1の両面をエッチング面1aとする場合、金属帯1の両面のエッチング面1aで陽極反応のみが進行すればよいため、陰極となる電極のみが金属帯1の両面に相対向して配設されていればよく、許容電流密度が許せば、陽極となる電極が金属帯1の片面のみに相対向して配設されるようにしてもよい。   When both surfaces of the metal band 1 are the etching surfaces 1a, only the anode reaction needs to proceed on the etching surfaces 1a on both surfaces of the metal band 1, so that only the electrode serving as the cathode is opposed to both surfaces of the metal band 1. If the allowable current density permits, the electrode serving as the anode may be disposed opposite to only one side of the metal strip 1.

また、第3実施形態に係る連続電解エッチング方法では、金属帯1の下側の第1電極31及び第2電極33のラミナーノズル39から電解液が噴射されるが、この金属帯1の下側のラミナーノズル39から噴射される電解液Wrは、その大半が金属帯1の下面に衝突した後、金属帯1の板幅方向両端から電解槽61に液滴Wbとなって落下することになる。   Further, in the continuous electrolytic etching method according to the third embodiment, an electrolytic solution is injected from the laminar nozzle 39 of the first electrode 31 and the second electrode 33 on the lower side of the metal band 1. Most of the electrolytic solution Wr sprayed from the laminar nozzle 39 collides with the lower surface of the metal strip 1 and then drops into the electrolytic bath 61 as droplets Wb from both ends of the metal strip 1 in the plate width direction. .

ここで、金属帯1の下側のラミナーノズル39から噴射されるライナー流としての電解液Wrは、金属帯1の下面に衝突するのに必要かつ最小限のエネルギーとなるように、金属帯1から噴射されるときの速度等が予め調整されている。これにより、金属帯1の下側に位置するラミナー流は、金属帯1の下面とそのラミナー流の上部との間での表面張力により、金属帯1の下面に安定して接触し、図9における範囲Sに位置するような、金属帯1に衝突せずにその板幅方向両側を通過しようとするラミナー流は、金属帯1の下面の高さまで安定して到達しないことになる。この結果、金属帯1に衝突せずにその板幅方向両側を通過しようとするラミナー流としての電解液Wrからは、金属帯1に対する電解電流の流れがほとんど生じなくなり、これによって、金属帯1の板幅方向端部での電流集中が抑えられることになる。   Here, the electrolytic solution Wr as a liner flow ejected from the laminar nozzle 39 on the lower side of the metal strip 1 is required to have the minimum energy necessary for colliding with the lower surface of the metal strip 1. The speed at the time of jetting from is adjusted in advance. As a result, the laminar flow located on the lower side of the metal band 1 stably contacts the lower surface of the metal band 1 due to the surface tension between the lower surface of the metal band 1 and the upper part of the laminar flow. The laminar flow which is located in the range S in FIG. 5 and does not collide with the metal band 1 and tries to pass through both sides in the plate width direction does not reach the height of the lower surface of the metal band 1 stably. As a result, the electrolytic solution Wr as a laminar flow which does not collide with the metal band 1 and tries to pass through both sides in the plate width direction hardly generates an electrolysis current flow with respect to the metal band 1. Current concentration at the end in the plate width direction is suppressed.

このとき、金属帯1の上側の第1電極31及び第2電極33のラミナーノズル39から噴射されるラミナー流となる電解液の方が、下側のラミナーノズル39から噴射されるものより形状が安定するため、金属帯1の片面のみ電解エッチングする場合は、電解エッチングを安定化させるうえで、金属帯1の上側に第1電極31及び第2電極を配設することが好ましい。   At this time, the shape of the electrolyte that is a laminar flow ejected from the laminar nozzle 39 of the first electrode 31 and the second electrode 33 on the upper side of the metal band 1 is more than the shape that is ejected from the lower laminar nozzle 39. In order to stabilize, when performing electrolytic etching only on one side of the metal strip 1, it is preferable to dispose the first electrode 31 and the second electrode on the upper side of the metal strip 1 in order to stabilize the electrolytic etching.

また、第1実施形態〜第3実施形態においては、一つ又は複数の電極群30を構成する第1電極31及び第2電極33のうち、金属帯1の搬送方向の最も出側に配設されたものが陰極から構成されている。これにより、電解エッチングにより生成された反応生成物や汚れ等が金属帯1のエッチング面1aに形成された溝2内に付着していても、最も出側に配設された陰極と金属帯1との間での陽極反応により除去することが可能となり、これにより、溝内に付着している反応生成物等を除去するための後処理が不要となる。因みに、金属帯1の搬送方向の最も出側に配設されたものが陽極であってもよい。   Moreover, in 1st Embodiment-3rd Embodiment, it arrange | positions among the 1st electrodes 31 and 2nd electrodes 33 which comprise the 1 or several electrode group 30 in the most outgoing side of the conveyance direction of the metal strip 1. These are made up of cathodes. Thereby, even if the reaction product, dirt, etc. produced by the electrolytic etching adhere to the groove 2 formed on the etching surface 1a of the metal strip 1, the cathode and the metal strip 1 arranged on the most outer side are provided. Can be removed by an anodic reaction between them, thereby eliminating the need for post-treatment for removing reaction products and the like adhering to the grooves. Incidentally, the anode disposed on the most outlet side in the transport direction of the metal strip 1 may be used.

以上、本発明の実施形態の例について詳細に説明したが、前述した実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。   As mentioned above, although the example of embodiment of this invention was demonstrated in detail, all the embodiment mentioned above showed only the example of actualization in implementing this invention, and these are the technical aspects of this invention. The range should not be construed as limiting.

例えば、上述した実施形態においては、金属帯1の片面又は両面のエッチング面1aに電気絶縁性のエッチングマスク11が被覆されている例について説明したが、金属帯1がステンレス鋼、純チタン又はチタン合金等から構成されている場合は、エッチングマスク11を被覆させずに、本発明に係る連続電解エッチング方法により金属帯1の片面又は両面を全面酸洗するようにしてもよい。   For example, in the above-described embodiment, the example in which the etching surface 11a on one side or both sides of the metal strip 1 is covered with the electrically insulating etching mask 11 has been described. However, the metal strip 1 is made of stainless steel, pure titanium, or titanium. When it is made of an alloy or the like, the entire surface of the metal strip 1 may be pickled by the continuous electrolytic etching method according to the present invention without covering the etching mask 11.

この場合においても、金属帯1の電解エッチングを進行させている間、金属帯1のエッチング面1aにラミナー流となる電解液Wrを噴射させているので、電解エッチングにより生成された反応生成物や汚れ等が金属帯1のエッチング面1aから洗い流されて除去される。このため、金属帯1のエッチング面1aでの物質移動を円滑にさせることができ、その分、電解エッチングを安定化させて、過酸洗が生じるのを抑えることが可能となる。   Also in this case, while the electrolytic etching of the metal strip 1 is proceeding, the electrolyte Wr that is a laminar flow is sprayed onto the etching surface 1a of the metal strip 1, so that the reaction product generated by the electrolytic etching, Dirt and the like are washed away from the etching surface 1a of the metal strip 1 and removed. For this reason, the mass transfer on the etching surface 1a of the metal strip 1 can be made smooth, and it is possible to stabilize the electrolytic etching and suppress the occurrence of peracid washing.

また、この場合においても、金属帯1を電解液Waに浸漬させることなく電解エッチングをすることができるので、電解エッチングをするときの金属帯1の板幅方向端部での電流集中を抑えつつ、金属帯1のエッチング面1aとは反対側の片面に電流が回り込むのも抑えることができ、その分、電解エッチングを安定化させて、過酸洗が生じるのを抑えることが可能となる。   Also in this case, since the electrolytic etching can be performed without immersing the metal strip 1 in the electrolytic solution Wa, the current concentration at the end in the plate width direction of the metal strip 1 during the electrolytic etching is suppressed. Further, it is possible to suppress the current from flowing to one side of the metal strip 1 opposite to the etching surface 1a, and to stabilize the electrolytic etching correspondingly, it is possible to suppress the occurrence of peracid washing.

また、この場合においては、金属帯1を電解槽61の電解液Waに浸漬させる必要がないうえ、開閉器43の開閉操作による通電の有無や電解液供給ポンプ65の駆動操作による電解液供給の有無によって、電解エッチング反応の進行を調整できるので、搬送ラインを止めた場合に金属帯1に過酸洗が生じるのを抑えることが可能となる。   Further, in this case, it is not necessary to immerse the metal strip 1 in the electrolytic solution Wa in the electrolytic bath 61, and the presence or absence of energization by the opening / closing operation of the switch 43 and the supply of the electrolytic solution by the driving operation of the electrolyte supply pump 65 Since the progress of the electrolytic etching reaction can be adjusted depending on the presence or absence, it is possible to suppress the occurrence of peracid washing in the metal strip 1 when the conveyance line is stopped.

また、金属帯1が方向性珪素鋼板から構成されている場合、方向性珪素鋼板の製造プロセスのどの時点で本発明に係る連続電解エッチング方法を適用するかにより、エッチングマスク11の構成が変わってくる。即ち、方向性珪素鋼板の一般的な製造では、まずスラブに熱間圧延を施し、必要に応じて熱延板焼鈍を施した後、1回又は中間焼鈍を挟む複数回の冷間圧延を施して最終板厚の冷延板に仕上げた後、脱炭焼鈍を含む一次再結晶焼鈍を施し、その後、必要に応じて焼鈍分離材を塗布した後、二次再結晶焼鈍と純化焼鈍とからなる仕上焼鈍を施す一連の工程が行なわれる。この一連の工程中で、本発明に係る連続電解エッチング方法は、冷間圧延を施した後に行ってもよいし、仕上焼鈍を施した後に行ってもよい。   Moreover, when the metal strip 1 is composed of a grain-oriented silicon steel sheet, the configuration of the etching mask 11 varies depending on at which point in the manufacturing process of the grain-oriented silicon steel sheet the continuous electrolytic etching method according to the present invention is applied. come. That is, in general production of grain-oriented silicon steel sheets, first, hot rolling is performed on the slab, and hot-rolled sheet annealing is performed as necessary, and then cold rolling is performed once or a plurality of times with intermediate annealing. After finishing the cold-rolled sheet with the final thickness, it is subjected to primary recrystallization annealing including decarburization annealing, and after that, after applying an annealing separator as necessary, it consists of secondary recrystallization annealing and purification annealing. A series of steps for performing finish annealing is performed. In this series of steps, the continuous electrolytic etching method according to the present invention may be performed after cold rolling or after finish annealing.

このとき、方向性珪素鋼板となる鋼板に冷間圧延を施した後は、エッチングマスク11としての絶縁性被膜層がエッチング面1aに被覆されていないので、エッチングレジストからなるエッチングマスク11を被覆させる工程が必要となる。この工程は、電解エッチング前にオフセット印刷等によりレジストインクをエッチング面1aに塗布、焼き付けすることによって行なわれる。   At this time, after the cold rolling is performed on the steel sheet that becomes the grain-oriented silicon steel sheet, the etching mask 1 made of the etching resist is covered with the etching film 1 because the insulating coating layer as the etching mask 11 is not covered on the etching surface 1a. A process is required. This process is performed by applying and baking a resist ink on the etching surface 1a by offset printing or the like before electrolytic etching.

また、方向性珪素鋼板となる鋼板に仕上焼鈍を施した後は、仕上焼鈍の条件により、仕上焼鈍により生成されるフォステライト(Mg2SiO4)からなるフォルステライト被膜が生成される場合と、生成されない場合とがある。何れの場合においても、仕上焼鈍を施した後に、地鉄表面又はフォルステライト被膜表面にコーティング液を塗布、焼き付けすることにより張力付与型絶縁性被膜を生成させるようにし、フォルステライト被膜と張力付与型被膜とを有する絶縁性被膜層、又は張力付与型被膜層を有する絶縁性被膜層をエッチングマスク11として用いるようにしてもよい。この張力付与型絶縁被膜は、鋼板に張力を付与し、それにより交番磁場における磁歪を低減して鉄損を低減する目的で生成されるものであり、リン酸塩系被膜やクロム酸塩系被膜から構成される。このように、本発明は、フォルステライト被膜を有する場合でもフォルステライト被膜を有さない場合でも適用でき、何れに適用した場合においても、耐歪取り焼鈍低鉄損方向性珪素鋼板として優れた効果が発揮される。 In addition, after performing finish annealing on the steel sheet that becomes the grain-oriented silicon steel sheet, a forsterite film made of fosterite (Mg 2 SiO 4 ) generated by finish annealing is generated according to the conditions of finish annealing, It may not be generated. In any case, after finishing annealing, a coating solution is applied to the surface of the iron or forsterite film and baked to produce a tension-imparting insulating film, forsterite film and tension-imparting type. An insulating coating layer having a coating or an insulating coating layer having a tension-imparting coating layer may be used as the etching mask 11. This tension-imparting insulation coating is produced for the purpose of imparting tension to a steel sheet, thereby reducing magnetostriction in an alternating magnetic field and reducing iron loss. Consists of As described above, the present invention can be applied with or without a forsterite film, and in any case, the excellent effect as a strain-relief-annealed low iron loss directional silicon steel sheet. Is demonstrated.

以下、本発明の効果を実施例により更に説明する。   Hereinafter, the effects of the present invention will be further described with reference to examples.

本実施例では、図1に示すような本発明に係る連続電解エッチング装置3と、図12に示すような従来の間接通電方式の連続電解エッチング装置103とを実際に用いて、電解エッチングにより金属帯1、101の表面を溝加工して、金属帯1、101の表面に形成された溝2の幾何学的形状、溝幅、溝深さを観察することにより、本発明の効果を確認することとした。   In this embodiment, the continuous electrolytic etching apparatus 3 according to the present invention as shown in FIG. 1 and the conventional indirect energization type continuous electrolytic etching apparatus 103 as shown in FIG. The effect of the present invention is confirmed by grooving the surfaces of the bands 1 and 101 and observing the geometric shape, groove width, and groove depth of the grooves 2 formed on the surfaces of the metal bands 1 and 101. It was decided.

本実施例では、以下に説明するような順序で製造した方向性珪素鋼板を用いた。まず、下記の表1に示すような寸法条件となるよう、冷間圧延により最終板厚の冷延鋼板に仕上げた後、脱炭焼鈍を施し、その後、MgOからなる焼鈍分離材を金属帯1、101の両面に塗布、焼き付けし、その後、仕上焼鈍を施した。続いて、リン酸塩系被膜からなる張力付与型絶縁被膜が生成されるように金属帯1、101の表面にコーティング液を塗布、焼き付けした。これにより、地鉄表面のフォルステライト被膜と、その表面のリン酸塩系被膜からなる張力付与型絶縁被膜とを有する絶縁被膜層が両面に被覆された方向性珪素鋼板が得られた。続いて、この絶縁被膜層をエッチングマスク11、111として用いるべく、金属帯1、101の搬送方向に対して90°の角度で延びる線状溝の溝13、113からなるエッチングパターンを、溝幅0.2mm、ピッチ0.2mmとなるよう、金属帯1、101の片面の絶縁性被膜層にのみレーザーにより形成した。   In this example, grain-oriented silicon steel sheets manufactured in the order as described below were used. First, a cold rolled steel sheet having a final thickness is finished by cold rolling so as to have the dimensional conditions shown in Table 1 below, followed by decarburization annealing, and then an annealing separator made of MgO is applied to the metal strip 1. , 101 were applied and baked on both sides, and then finish annealing was performed. Subsequently, a coating solution was applied and baked on the surfaces of the metal bands 1 and 101 so that a tension-imparting insulating coating composed of a phosphate-based coating was generated. Thus, a grain-oriented silicon steel sheet was obtained in which an insulating coating layer having a forsterite coating on the surface of the ground iron and a tension-imparting insulating coating composed of a phosphate-based coating on the surface was coated on both sides. Subsequently, in order to use this insulating coating layer as the etching masks 11 and 111, an etching pattern composed of linear grooves 13 and 113 extending at an angle of 90 ° with respect to the transport direction of the metal bands 1 and 101 is defined as the groove width. Only the insulating coating layer on one side of the metal bands 1 and 101 was formed by laser so that the pitch was 0.2 mm and the pitch was 0.2 mm.

また、本実施例では、電解液Wとして組成500g−NaCl/l、液温60℃のものを用い、電解電流として350C/dm2のものを通電させ、電解エッチングにより金属帯1、101の表面に形成される溝2の溝深さの目標値が0.02mmとなるようにした。 In this example, the electrolytic solution W having a composition of 500 g-NaCl / 1 and a liquid temperature of 60 ° C. is used, and an electrolytic current of 350 C / dm 2 is applied, and the surfaces of the metal bands 1 and 101 are subjected to electrolytic etching. The target value of the groove depth of the groove 2 formed in the above was 0.02 mm.

金属帯1、101の表面に形成された溝2の幾何学的形状は、各例毎に、総ての溝に対する図10(a)〜図10(d)に示すような形状の溝の割合を百分率で求め、この各例毎の百分率での割合によって評価することとした。また、溝2の溝深さは、各例毎に、総ての溝2の溝幅、溝深さを測定した後、その平均値Xaveを求め、平均値Xaveと各測定値Xi(i=1〜nの自然数、nはサンプル数)とに基づき下記の数式から標準偏差σを求め、標準偏差σ/平均値Xaveにより算出されるバラツキ(%)によって評価することとした。なお、評価対象となる金属帯1、101の溝2は、サンプル数n=12として評価した。

Figure 2011246790
The geometric shapes of the grooves 2 formed on the surfaces of the metal bands 1 and 101 are the ratios of the grooves as shown in FIGS. 10A to 10D to all the grooves for each example. Was determined as a percentage, and the percentage was evaluated for each example. For each example, the groove depth of the groove 2 is determined by measuring the groove width and groove depth of all the grooves 2, and then obtaining an average value Xave to obtain the average value Xave and each measured value Xi (i = The standard deviation σ is obtained from the following formula based on the natural number of 1 to n, where n is the number of samples), and is evaluated by the variation (%) calculated by the standard deviation σ / average value Xave. In addition, the groove | channel 2 of the metal strips 1 and 101 used as evaluation object evaluated as the sample number n = 12.

Figure 2011246790

各例毎の金属帯1、101の寸法条件、結果は、下記の表1に示すとおりである。   The dimensional conditions and results of the metal bands 1 and 101 for each example are as shown in Table 1 below.

Figure 2011246790
Figure 2011246790

本発明の要件を満たすものはNo.1〜7の例である。これらは、板幅に拘わらず、金属帯1、101の表面に観察される溝2の幾何学的形状が総て凹型(イ)の形状であり、その結果、溝幅、溝深さのバラツキも他の例のものと比較して極めて小さいことが分かる。なお、溝2の幾何学的形状が凹型(イ)となることにより溝幅、溝深さのバラツキが小さくなる理由であるが、これは、溝2の幾何学的形状が凹型(イ)のように他の形状に対して安定になる結果、一定の電解電流に対する電解エッチングによる溶解量が安定するためと考えられる。   Those satisfying the requirements of the present invention are No. It is an example of 1-7. Regardless of the plate width, the geometric shapes of the grooves 2 observed on the surfaces of the metal bands 1 and 101 are all concave shapes (a). As a result, the groove width and the groove depth vary. It can be seen that is extremely small compared to the other examples. In addition, although the geometric shape of the groove | channel 2 becomes concave (A), it is a reason for the variation in groove width and groove depth becoming small, but this is because the geometric shape of the groove 2 is concave (A). As a result, it is considered that the amount of dissolution by electrolytic etching with respect to a constant electrolytic current is stabilized as a result of being stable with respect to other shapes.

本発明の範囲外であるものはNo11〜15の例である。これらは、金属帯1、101の表面に観察される溝2の幾何学的形状として、凹型(イ)の形状がほとんど認められず、傾斜型(ロ)、幅拡がり型(ハ)、局部エッチング型(ニ)の形状が混在しており、また、溝深さのバラツキも大きいことが分かる。なお、板幅が狭いほど、溝深さのバラツキが一層大きくなる傾向があることも分かる。   Those outside the scope of the present invention are examples Nos. 11-15. As for the geometrical shape of the groove 2 observed on the surfaces of the metal bands 1 and 101, the concave shape (b) is hardly recognized, and the inclined type (b), the widened type (c), and the local etching are observed. It can be seen that the shapes of the molds (d) are mixed and the variation in groove depth is large. It can also be seen that the narrower the plate width, the greater the variation in groove depth.

1 :金属帯
1a :エッチング面
1b :露出部
2 :溝
3 :連続電解エッチング装置
11 :エッチングマスク
13 :溝
30 :電極群
31 :第1電極
33 :第2電極
35 :電極プレート
37 :ヘッダー
39 :ラミナーノズル
41 :電解電源装置
43 :開閉器
45 :抵抗器
47 :電源用配線
51 :電解液供給本管
53 :電解液供給枝管
55 :枝管流量調節弁
61 :電解槽
63 :排出管
64 :貯溜タンク
65 :電解液供給ポンプ
66 :電解液フィルタ
67 :本管流量調節弁
71 :遮蔽板
81 :搬送ロール
W :電解液
Wr :ラミナー流
Wa :溜まり
Wb :液滴

1: Metal strip 1 a: Etching surface 1 b: Exposed portion 2: Groove 3: Continuous electrolytic etching apparatus 11: Etching mask 13: Groove 30: Electrode group 31: First electrode 33: Second electrode 35: Electrode plate 37: Header 39 : Laminar nozzle 41: Electrolytic power supply device 43: Switch 45: Resistor 47: Power supply wiring 51: Electrolyte supply main pipe 53: Electrolyte supply branch pipe 55: Branch pipe flow control valve 61: Electrolytic tank 63: Discharge pipe 64: Reservoir tank 65: Electrolyte supply pump 66: Electrolyte filter 67: Main flow rate control valve 71: Shield plate 81: Transfer roll W: Electrolyte Wr: Laminar flow Wa: Pool Wb: Droplet

Claims (14)

連続的に搬送される金属帯の表面を電解エッチングする金属帯の連続電解エッチング方法において、
前記金属帯の電解エッチングすべきエッチング面と相対向して当該金属帯の搬送方向に順に第1電極及び第2電極を配設し、
前記第1電極及び前記第2電極から前記金属帯のエッチング面にラミナー流となる電解液を噴射し、
前記第1電極及び前記第2電極の何れか一方を陽極、他方を陰極としてこれらの間で電圧を印加して、前記噴射している電解液及び前記金属帯を通して通電させること
を特徴とする金属帯の連続電解エッチング方法。
In the continuous electrolytic etching method of the metal strip for electrolytically etching the surface of the continuously transported metal strip,
The first electrode and the second electrode are arranged in order in the transport direction of the metal band opposite to the etching surface to be electrolytically etched of the metal band,
Injecting an electrolyte solution that becomes a laminar flow from the first electrode and the second electrode to the etching surface of the metal strip,
One of the first electrode and the second electrode is an anode, and the other is a cathode, and a voltage is applied between them to energize through the sprayed electrolyte and the metal strip. A continuous electrolytic etching method for strips.
前記第1電極及び前記第2電極を配設する工程では、前記金属帯の搬送方向の最も出側に陰極を配設すること
を特徴とする請求項1記載の金属帯の連続電解エッチング方法。
2. The continuous electrolytic etching method for a metal strip according to claim 1, wherein in the step of disposing the first electrode and the second electrode, a cathode is disposed on the outermost side in the transport direction of the metal strip.
前記第1電極及び前記第2電極を配設する工程では、前記第1電極及び前記第2電極の組からなる電極群を前記金属帯の搬送方向に複数配設すること
を特徴とする請求項1又は2記載の金属帯の連続電解エッチング方法。
The step of disposing the first electrode and the second electrode includes disposing a plurality of electrode groups each composed of a set of the first electrode and the second electrode in a transport direction of the metal strip. 3. A continuous electrolytic etching method for a metal strip according to 1 or 2.
前記搬送される金属帯は、その両面が前記エッチング面であり、
前記第1電極及び前記第2電極を配設する工程では、当該第1電極及び当該第2電極のうち陰極となるものを前記金属帯の両面のエッチング面に相対向して配設すること
を特徴とする請求項1〜3の何れか1項記載の金属帯の連続電解エッチング方法。
Both sides of the metal strip to be conveyed are the etched surfaces,
In the step of disposing the first electrode and the second electrode, disposing the first electrode and the second electrode serving as a cathode opposite to the etching surfaces on both surfaces of the metal strip. The continuous electrolytic etching method for a metal strip according to any one of claims 1 to 3.
前記搬送される金属帯は、前記エッチング面に電気絶縁性のエッチングマスクが被覆された方向性珪素鋼板から構成され、
前記エッチングマスクには、前記金属帯の搬送方向に間隔を空けた列状の点状溝又は線状溝が形成されていること
を特徴とする請求項1〜4の何れか1項記載の金属帯の連続電解エッチング方法。
The metal strip to be conveyed is composed of a directional silicon steel plate in which the etching surface is covered with an electrically insulating etching mask,
The metal according to any one of claims 1 to 4, wherein the etching mask is formed with a row of dotted grooves or linear grooves spaced in the transport direction of the metal strip. A continuous electrolytic etching method for strips.
前記搬送される金属帯は、仕上焼鈍された後の方向性珪素鋼板であり、
前記方向性珪素鋼板である金属帯は、前記エッチングマスクとしての絶縁性被膜を有する絶縁性被膜層が前記エッチング面に被覆されていること
を特徴とする請求項5記載の金属帯の連続電解エッチング方法。
The metal strip to be conveyed is a directional silicon steel plate after finish annealing,
6. The continuous electrolytic etching of a metal strip according to claim 5, wherein the metal strip which is the directional silicon steel sheet is coated with an insulating coating layer having an insulating coating as the etching mask on the etching surface. Method.
前記絶縁性被膜層は、前記方向性珪素鋼板の地鉄表面のフォルステライト被膜と、前記フォルステライト被膜表面の張力付与型絶縁性被膜とを有すること
を特徴とする請求項6記載の金属帯の連続電解エッチング方法。
The metal strip according to claim 6, wherein the insulating coating layer has a forsterite coating on the surface of the ground iron of the grain-oriented silicon steel sheet and a tension-imparting insulating coating on the surface of the forsterite coating. Continuous electrolytic etching method.
前記絶縁性被膜層は、前記方向性珪素鋼板の地鉄表面の張力付与型絶縁性被膜を有すること
を特徴とする請求項6記載の金属帯の連続電解エッチング方法。
The method of continuous electrolytic etching of a metal strip according to claim 6, wherein the insulating coating layer has a tension-imparting insulating coating on the surface of the ground iron of the grain-oriented silicon steel sheet.
前記搬送される金属帯は、冷間圧延された後の方向性珪素鋼板であり、
前記方向性珪素鋼板である金属帯は、前記エッチングマスクとしてのエッチングレジストが前記エッチング面に被覆されていること
を特徴とする請求項5記載の金属帯の連続電解エッチング方法。
The metal band to be conveyed is a grain-oriented silicon steel sheet after being cold-rolled,
6. The method of continuous electrolytic etching of a metal strip according to claim 5, wherein the metal strip, which is a directional silicon steel plate, is coated with an etching resist as the etching mask on the etching surface.
前記搬送される金属帯は、前記エッチング面にエッチングマスクの被覆されていないステンレス鋼、純チタン又はチタン合金から構成されること
を特徴とする請求項1〜4の何れか1項記載の金属帯の連続電解エッチング方法。
The metal strip according to any one of claims 1 to 4, wherein the transported metal strip is made of stainless steel, pure titanium, or a titanium alloy whose etching surface is not covered with an etching mask. Continuous electrolytic etching method.
連続的に搬送される金属帯の表面を電解エッチングするための金属帯の連続電解エッチング装置において、
前記金属帯の電解エッチングすべきエッチング面と相対向して当該金属帯の搬送方向に順に配設された第1電極及び第2電極と、
前記第1電極及び前記第2電極に設けられ、当該第1電極及び当該第2電極から前記金属帯のエッチング面にラミナー流となる電解液を噴射するラミナーノズルと、
前記第1電極及び前記第2電極の何れか一方を陽極、他方を陰極として電圧を印加して、前記ラミナーノズルから噴射する電解液及び前記金属帯を通して通電させる電圧印加手段とを備えること
を特徴とする金属帯の連続電解エッチング装置。
In a continuous electroetching apparatus for a metal strip for electrolytically etching the surface of a continuously transported metal strip,
A first electrode and a second electrode arranged in order in the transport direction of the metal band opposite to the etching surface of the metal band to be electrolytically etched;
A laminar nozzle that is provided on the first electrode and the second electrode, and injects an electrolyte solution that becomes a laminar flow from the first electrode and the second electrode to the etching surface of the metal strip;
A voltage applying unit configured to apply a voltage by using one of the first electrode and the second electrode as an anode and the other as a cathode, and to energize the electrolyte through the laminar nozzle and the metal strip. Metal strip continuous electrolytic etching equipment.
前記第1電極及び前記第2電極は、前記金属帯の搬送方向の最も出側に配設されたものが陰極であること
を特徴とする請求項11記載の金属帯の連続電解エッチング装置。
12. The continuous electrolytic etching apparatus for a metal strip according to claim 11, wherein the first electrode and the second electrode are arranged on the most exit side in the transport direction of the metal strip as a cathode.
前記第1電極及び前記第2電極は、これらの組からなる電極群が前記金属帯の搬送方向に複数配設されていること
を特徴とする請求項11又は12記載の金属帯の連続電解エッチング装置。
13. The continuous electrolytic etching of a metal strip according to claim 11, wherein the first electrode and the second electrode are each provided with a plurality of electrode groups made of these sets in the transport direction of the metal strip. apparatus.
前記搬送される金属帯は、その両面が前記エッチング面であり、
前記第1電極及び前記第2電極は、当該第1電極及び当該第2電極のうち陰極となるものが前記金属帯の両面のエッチング面に相対向して配設されていること
を特徴とする請求項11〜13の何れか1項記載の金属帯の連続電解エッチング装置。
Both sides of the metal strip to be conveyed are the etched surfaces,
In the first electrode and the second electrode, the cathodes of the first electrode and the second electrode are arranged opposite to the etching surfaces on both sides of the metal strip. The continuous electrolytic etching apparatus for a metal strip according to any one of claims 11 to 13.
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