JP2011244005A - Build-in component wiring board, and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
【課題】製造負担を低減し信頼性を向上する部品内蔵配線板と製造方法を提供すること。
【解決手段】配線パターンの面上に電気的、機械的に接続された電気/電子部品と、電気/電子部品を埋設するように、配線パターンの電気/電子部品の接続された側の面上に積層された、絶縁樹脂と該絶縁樹脂に含有された補強材とを有する絶縁層と、を具備し、この絶縁層が、その補強材が横方向に電気/電子部品の領域に達せずに絶縁樹脂中に存在し、その絶縁樹脂が電気/電子部品の領域に達して該電気/電子部品に密着している絶縁層であって、加えて、少なくとも2つの絶縁層の積層であり、この少なくとも2つの絶縁層の間に挟設された第2の配線パターンと、少なくとも2つの絶縁層のうち配線パターンに接触する方の絶縁層を貫通して配線パターンの面と第2の配線パターンの面との間に挟設された層間接続体と、をさらに具備する。
【選択図】図14To provide a wiring board with a built-in component and a manufacturing method that reduce manufacturing burden and improve reliability.
An electrical / mechanical component electrically and mechanically connected on the surface of the wiring pattern, and a surface of the wiring pattern on which the electrical / electronic component is connected so as to embed the electrical / electronic component. And an insulating layer having an insulating resin and a reinforcing material contained in the insulating resin, and the insulating layer does not reach the region of the electric / electronic component in the lateral direction. An insulating layer that is present in the insulating resin, the insulating resin reaches the region of the electric / electronic component and is in close contact with the electric / electronic component, and in addition, is a stack of at least two insulating layers, A second wiring pattern sandwiched between at least two insulating layers and a surface of the wiring pattern penetrating the insulating layer in contact with the wiring pattern of at least two insulating layers and the second wiring pattern And the interlayer connector sandwiched between the Comprising.
[Selection] Figure 14
Description
本発明は、絶縁板中に電気/電子部品を埋設して有する部品内蔵配線板およびその製造方法に係り、特に、製造する負担の低減に適する部品内蔵配線板およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a component built-in wiring board having an electric / electronic component embedded in an insulating plate and a method for manufacturing the same, and more particularly to a component built-in wiring board suitable for reducing the manufacturing burden and a method for manufacturing the same.
部品内蔵配線板の従来技術として下記特許文献1に開示されたものがある。この部品内蔵配線板は、多層配線層のうち内層の配線層のパターン上に電子部品が表面実装された構造を有している。電子部品は絶縁板中に埋設されるが、その絶縁板には、絶縁性樹脂またはこれとフィラとの混合物をドクターブレード法などによりシート状に成形して得られたものが用いられている。積層工程においては、電子部品の相当する位置に特にくぼみや開口などの逃げ部分を持たせないか、または電子部品の占める大きさより小さなくぼみを持たせた絶縁板が用いられる。
As a prior art of a component built-in wiring board, there is one disclosed in
上記の構造および製造方法では、絶縁性樹脂の材料として、プリント配線板で一般的なガラスクロスやアラミド樹脂繊維を補強材とするいわゆるプリプレグを用いるのが難しい。すなわち、特殊な絶縁材料を準備する必要がありその入手性やコストの点で不利である。また、無理にプリプレグを用いると、内蔵される電子部品にガラスクロスなどがぶつかり応力が発生して電子部品を破壊する恐れや、内層の配線パターンと電子部品との接続信頼性を損なう恐れを生じる。 In the structure and the manufacturing method described above, it is difficult to use a so-called prepreg that uses a glass cloth or an aramid resin fiber as a reinforcing material for a printed wiring board as a material for the insulating resin. That is, it is necessary to prepare a special insulating material, which is disadvantageous in terms of availability and cost. Also, if the prepreg is forcibly used, a glass cloth or the like may collide with the built-in electronic component and stress may be generated, causing the electronic component to be damaged, or the connection reliability between the inner wiring pattern and the electronic component may be impaired. .
本発明は、上記した事情を考慮してなされたもので、絶縁板中に電気/電子部品を埋設して有する部品内蔵配線板およびその製造方法において、製造負担を低減し信頼性向上にも資する部品内蔵配線板およびその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of the above-described circumstances. In the component built-in wiring board having an electric / electronic component embedded in an insulating plate and the manufacturing method thereof, the manufacturing burden is reduced and the reliability is improved. An object is to provide a component built-in wiring board and a method for manufacturing the same.
上記の課題を解決するため、本発明の一態様である部品内蔵配線板は、配線パターンと、前記配線パターンの面上に電気的、機械的に接続された電気/電子部品と、前記電気/電子部品を埋設するように、前記配線パターンの前記電気/電子部品の接続された側の面上に積層された、絶縁樹脂と該絶縁樹脂に含有された補強材とを有する絶縁層と、を具備し、前記絶縁層が、該絶縁層のうちの前記補強材が横方向に前記電気/電子部品の領域に達せずに前記絶縁樹脂中に存在し、該絶縁層のうちの前記絶縁樹脂が前記電気/電子部品の領域に達して該電気/電子部品に密着している絶縁層であって、加えて、少なくとも2つの絶縁層の積層であり、前記少なくとも2つの絶縁層の間に挟設された第2の配線パターンと、前記少なくとも2つの絶縁層のうち前記配線パターンに接触する方の絶縁層を貫通して前記配線パターンの面と前記第2の配線パターンの面との間に挟設された層間接続体と、をさらに具備することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, a component built-in wiring board according to an aspect of the present invention includes a wiring pattern, an electrical / electronic component electrically and mechanically connected on the surface of the wiring pattern, and the electrical / electronic component. An insulating layer having an insulating resin and a reinforcing material contained in the insulating resin, which is laminated on a surface of the wiring pattern to which the electrical / electronic component is connected so as to embed the electronic component; The insulating layer is present in the insulating resin without the reinforcing material of the insulating layer reaching the region of the electrical / electronic component in the lateral direction, and the insulating resin of the insulating layer is An insulating layer that reaches the region of the electric / electronic component and is in close contact with the electric / electronic component, and is additionally a laminate of at least two insulating layers, and is sandwiched between the at least two insulating layers A second wiring pattern and the at least two And further comprising an inter-layer connection body that is interposed between the surface of the wiring pattern and the surface of the second wiring pattern through the insulating layer in contact with the wiring pattern of the edge layer It is characterized by.
すなわち、電気/電子部品を埋設する絶縁層が、電気/電子部品が埋設された領域を除き該領域以外の領域に補強材を有する構造である。換言すると、電気/電子部品が埋設された領域では補強材を有さず、その以外の領域では補強材を有する。これにより、電気/電子部品と補強材との衝突を避け信頼性を向上する。また、絶縁層として配線板で一般的なプリプレグを硬化させたものを使用することが可能になる。なお、層間接続体は、配線パターンに接触する方の絶縁層を貫通する層間接続体の一例であり、例えば導電性組成物のスクリーン印刷により形成される導電性バンプを由来とする層間接続体である。 That is, the insulating layer in which the electric / electronic component is embedded has a structure having a reinforcing material in a region other than the region except for the region in which the electric / electronic component is embedded. In other words, the region where the electrical / electronic component is embedded does not have the reinforcing material, and the region other than that has the reinforcing material. Thereby, the collision between the electrical / electronic component and the reinforcing material is avoided, and the reliability is improved. Moreover, it becomes possible to use what hardened a general prepreg with the wiring board as an insulating layer. The interlayer connection body is an example of an interlayer connection body that penetrates the insulating layer that contacts the wiring pattern. For example, the interlayer connection body is derived from a conductive bump formed by screen printing of a conductive composition. is there.
また、本発明の別の態様である部品内蔵配線板の製造方法は、第1の金属配線パターンを有する第1の絶縁層の前記第1の金属配線パターン上に電気/電子部品を電気的、機械的に接続する工程と、第2の金属配線パターンを有しかつ補強材を含有する第2の絶縁層の前記第2の金属配線パターン上に導電性バンプを印刷、形成する工程と、前記導電性バンプが形成された側の前記第2の絶縁層上に補強材を含有するプリプレグの層を積層する工程と、前記第2の絶縁層および前記プリプレグを有する積層体に、前記電気/電子部品の位置に対応すべく該電気/電子部品より大きな開口を貫通形成する工程と、前記電気/電子部品が接続された側の前記第1の絶縁層上に、前記開口の形成された前記積層体を、前記プリプレグの側を前記第1の絶縁層に対向させるようにかつ前記電気/電子部品を前記開口内に位置させるように配置し、さらに前記第2の絶縁層上に第3の絶縁層を配置し、積層、一体化する工程とを具備することを特徴とする。 According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a component built-in wiring board, wherein an electrical / electronic component is electrically disposed on the first metal wiring pattern of the first insulating layer having the first metal wiring pattern. A step of mechanically connecting; a step of printing and forming conductive bumps on the second metal wiring pattern of the second insulating layer having a second metal wiring pattern and containing a reinforcing material; A step of laminating a layer of a prepreg containing a reinforcing material on the second insulating layer on the side where the conductive bumps are formed; and a layered body having the second insulating layer and the prepreg, A step of penetrating an opening larger than the electric / electronic component so as to correspond to the position of the component, and the lamination in which the opening is formed on the first insulating layer on the side to which the electric / electronic component is connected The first side of the prepreg Disposing the electrical / electronic component so as to face the insulating layer and positioning the electrical / electronic component in the opening, and further disposing a third insulating layer on the second insulating layer, and laminating and integrating; It is characterized by comprising.
この製造方法によれば、電気/電子部品を埋設する絶縁層(第2の絶縁層を含む積層体)が、電気/電子部品が埋設された領域を除き該領域以外の領域に補強材を有する構造になる。これにより、電気/電子部品と補強材との衝突が避けられて信頼性が向上する。また、第2の絶縁層として配線板で一般的なプリプレグを利用することができる。 According to this manufacturing method, the insulating layer (laminated body including the second insulating layer) in which the electric / electronic component is embedded has the reinforcing material in a region other than the region except for the region in which the electric / electronic component is embedded. Become a structure. Thereby, the collision between the electric / electronic component and the reinforcing material is avoided, and the reliability is improved. Moreover, a general prepreg can be used for the wiring board as the second insulating layer.
本発明によれば、絶縁板中に電気/電子部品を埋設して有する部品内蔵配線板およびその製造方法において、製造負担を低減し信頼性向上を図ることができる。 According to the present invention, in a component built-in wiring board having an electrical / electronic component embedded in an insulating plate and its manufacturing method, the manufacturing burden can be reduced and the reliability can be improved.
なお、以下の実施形態の説明で行われる各図の最初の説明は、上記の説明と異なる場合がある。この場合は、上記の説明が優先する。また、その場合には、その図を参照する説明は、発明の実施形態の説明ではなく、参考例の説明である。 In addition, the first description of each figure performed by description of the following embodiment may differ from said description. In this case, the above description has priority. In that case, the description referring to the figure is not the description of the embodiment of the invention but the description of the reference example.
以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る部品内蔵配線板の構成を模式的に示す断面図である。図1に示すように、この部品内蔵配線板は、絶縁層11、配線パターン12、13、スルーホール内壁導電層14、半田15、電気/電子部品16を有する。絶縁層11は、絶縁樹脂11aとこれを補強する補強材11b(例えばガラスクロス)とからなる。
Based on the above, embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a component built-in wiring board according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, this component built-in wiring board includes an
電気/電子部品16は、絶縁層11内に埋設され、かつ、半田15を介して配線パターン12に電気的・機械的に接続されている。配線パターン12の電気/電子部品16の接続された面と同じ面上に絶縁層11が積層され、さらに絶縁層11の反対側に配線パターン13が設けられる。絶縁層11の補強材11bは、電気/電子部品16が埋設された領域には存在しない。絶縁層11の両面の配線パターン12、13は、絶縁層11に設けられたスルーホール内壁導電層14により電気的に導通され得る。このような構成の部品内蔵配線板では、製造過程で絶縁層11として容易にガラスエポキシのプリプレグを使用することができる。
The electrical /
以下、図1に示した部品内蔵配線板の製造工程について図2を参照して説明する。図2は、図1に示した部品内蔵配線板の製造過程を模式的断面で示す工程図である。 Hereinafter, the manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a process diagram schematically showing a manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG.
まず、図2(a)に示すように、配線パターン12とすべき厚さ例えば18μmの金属箔(電解銅箔)12Aを用意し、その面上所定の位置に例えばスクリーン印刷によりクリーム状の半田15を印刷付着する。次に、図2(b)に示すように、例えばマウンタを用いて電気/電子部品16(例えば0603サイズまたは0402サイズのチップ抵抗)をその両端子が上記半田15に接するように載置し、その後半田15をリフローさせて電気/電子部品16を金属箔12A上に電気的・機械的に接続する。
First, as shown in FIG. 2 (a), a metal foil (electrolytic copper foil) 12A having a thickness of, for example, 18 μm to be used as the
次に、絶縁層11とすべきガラスエポキシのプリプレグ11A(厚さ例えば150μm)を用意し、内蔵される電気/電子部品16が配置される位置に対応する例えば直径0.8mmの穴あけ(電気/電子部品16が0603サイズの場合)によって、プリプレグ11Aに開口11oを形成する。そして、図2(c)に示すように、金属箔12Aの電気/電子部品16が接続された側に対向して、開口11oが形成されたプリプレグ11A、さらにプリプレグ11Aの上側に配線パターン13とすべき厚さ例えば18μmの金属箔(電解銅箔)13Aを位置合わせし積層配置する。
Next, a glass epoxy prepreg 11A (thickness, for example, 150 μm) to be used as the
積層配置後、加熱しつつ積層方向に加圧してプリプレグ11Aを流動化させ全体を一体化する。このとき、プリプレグ11Aの絶縁樹脂11aの部分が電気/電子部品16周りの空間を埋めて密着する状態となる。この状態でプリプレグ11Aは完全に硬化し絶縁層11になる。この積層一体化では、電気/電子部品16が配置される領域のプリプレグ11Aにあらかじめ開口11oが設けられているので、電気/電子部品16が過大に加圧されることがない。したがって、電気/電子部品16と金属箔12Aとの接続部分(半田5)に過大な応力が発生せず、また電気/電子部品16の破壊も防止できる。これにより信頼性を向上できる。
After the stacked arrangement, pressure is applied in the stacking direction while heating to fluidize the
なお、上述した加圧下での加熱は、例えば上記プリプレグをガラスクロス入りのエポキシ樹脂から構成した場合においては、圧力を20〜50kgf/cm2とし、温度を125〜175℃とすることができる。また、加熱は単一の温度で行うこともできるが、例えば125℃で30分間の加熱後、175℃で1時間加熱するようにすることもできる。この際、真空吸引しながら行うことができる。 In addition, the heating under the pressurization mentioned above can set a pressure to 20-50 kgf / cm < 2 > and a temperature to 125-175 degreeC, for example, when the said prepreg is comprised from the epoxy resin containing glass cloth. The heating can be performed at a single temperature. For example, the heating can be performed at 125 ° C. for 30 minutes and then at 175 ° C. for 1 hour. At this time, it can be performed with vacuum suction.
また、上記プリプレグをBTレジンから構成した場合においては、圧力を同じく20〜50kgf/cm2とし、温度を130〜200℃とすることができる。また、この場合においても、加熱は単一の温度で行うこともできるが、例えば130℃で30分間の加熱後200℃で90分間加熱するようにすることもできる。この際、真空吸引しながら行うことができる。 Further, when the prepreg is made of BT resin, the pressure can be set to 20 to 50 kgf / cm 2 and the temperature can be set to 130 to 200 ° C. Also in this case, the heating can be performed at a single temperature. For example, the heating can be performed at 130 ° C. for 30 minutes and then at 200 ° C. for 90 minutes. At this time, it can be performed with vacuum suction.
このような加圧加熱条件を採用することにより、プリプレグ11Aを十分に流動化させることができるようになる。
By adopting such pressure heating conditions, the
積層一体化後、周知のように所定位置穴あけ、めっきの各工程を行い、図2(d)に示すような、スルーホール内壁導電層14を備えた両面シールド基板を得る。さらに、両面の金属箔12A、13Aに例えば周知のフォトリソグラフィによるパターニングを行い、これらを配線パターン12、13に加工すると、図1に示したような構成の部品内蔵配線板を得ることができる。
After the lamination and integration, a predetermined position drilling and plating processes are performed as is well known to obtain a double-sided shield substrate having a through-hole inner wall
なお、上記では電気/電子部品16の金属箔12Aへの接続に半田15を用いたが、これに代えて例えば導電性接着剤を用いることもできる。また、補強材11bとしてガラスクロスを含有するプリプレグ11Aの場合を説明したが、この補強材に代えてアラミドクロスやガラス不織布、アラミド不織布などの補強材を含有するプリプレグとしてもよい。
In the above description, the
なお、開口11oの大きさは、例えばその平面形状が直径0.45mm〜1.0mmの円形状、または0.41mm×0.21mm〜0.7mm×0.5mmの矩形状とすることができる。この場合、開口11oの大きさは、電気/電子部品16として0402部品(0.4mm×0.2mm)を配置し、埋設するのに適したものとなる。
The size of the opening 11o can be, for example, a circular shape having a planar shape of 0.45 mm to 1.0 mm in diameter or a rectangular shape having a diameter of 0.41 mm × 0.21 mm to 0.7 mm × 0.5 mm. . In this case, the size of the opening 11 o is suitable for placing and embedding 0402 parts (0.4 mm × 0.2 mm) as the electrical /
また、開口11oの大きさは、例えばその平面形状が、直径0.68mm〜1.5mmの円形状、または0.61mm×0.31mm〜1.2mm×0.9mmの矩形状とすることができる。この場合、開口11oの大きさは、電気/電子部品16として0603部品(0.6mm×0.3mm)を配置し、埋設するのに適したものとなる。
Further, the size of the opening 11o may be, for example, a circular shape having a diameter of 0.68 mm to 1.5 mm, or a rectangular shape having a diameter of 0.61 mm × 0.31 mm to 1.2 mm × 0.9 mm. it can. In this case, the size of the opening 11o is suitable for placing and embedding 0603 parts (0.6 mm × 0.3 mm) as the electric /
さらに、開口11oの大きさは、例えばその平面形状が、直径1.15mm〜2.5mmの円形状、または1.01mm×0.51mm〜1.6mm×1.1mmの矩形状とすることができる。この場合、開口11oの大きさは、電気/電子部品16として1005部品(1.0mm×0.5mm)を配置し、埋設するのに適したものとなる。
Further, the size of the opening 11o may be, for example, a circular shape having a diameter of 1.15 mm to 2.5 mm, or a rectangular shape having a diameter of 1.01 mm × 0.51 mm to 1.6 mm × 1.1 mm. it can. In this case, the size of the opening 11 o is suitable for placing and embedding 1005 parts (1.0 mm × 0.5 mm) as the electric /
なお、上述した開口11oは、電気/電子部品16を配置し埋設するものであるので電気/電子部品16に対する埋設領域を構成することになる。
Note that the opening 11o described above constitutes an embedded region for the electrical /
また、上述した電気/電子部品においては、その高さが例えば0.2mm〜0.5mm程度であって(上記0402部品などの具体的部品を採用した場合)、絶縁層の厚さが数十μm(例えば公称60μm)であるので、部品内蔵配線板全体の厚さはコンマ数ミリ程度となる。 In addition, the above-described electric / electronic component has a height of, for example, about 0.2 mm to 0.5 mm (when a specific component such as the above-mentioned 0402 component is used), and the thickness of the insulating layer is several tens. Since it is μm (for example, nominally 60 μm), the entire thickness of the component built-in wiring board is about several millimeters of commas.
次に、本発明の別の実施形態に係る部品内蔵配線板について図3を参照して説明する。図3は、本発明の別の実施形態に係る部品内蔵配線板の構成を模式的に示す断面図である。図3に示すように、この部品内蔵配線板は、絶縁層31、32、33、配線パターン34、35、36、37、スルーホール内壁導電層38、半田40、電気/電子部品41を有する。絶縁層31、32、33は、それぞれ、絶縁樹脂31a、32a、33aとこれを補強する補強材31b、32b、33b(例えばガラスクロス)とからなる。この実施形態では、図1に示した実施形態の配線板より厚さの厚い電気/電子部品41を内蔵することができる。配線層数は、2つの内層を含め合計4層となっている。
Next, a component built-in wiring board according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a component built-in wiring board according to another embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, this component built-in wiring board has insulating
電気/電子部品41は、絶縁層31、32内に埋設され、かつ、半田40を介して配線パターン34に電気的・機械的に接続されている。配線パターン34の電気/電子部品41の接続された面と同じ面上に絶縁層31が積層されている。絶縁層31とこの上に積層の絶縁層32との間には配線パターン35が挟設され、同様に絶縁層35とこの上に積層の絶縁層33との間には配線パターン36が挟設されている。絶縁層33の配線パターン36が設けられた側とは反対側(すなわち外側)には配線パターン37が設けられる。
The electrical /
絶縁層31、32の補強材31b、32bは、電気/電子部品41が埋設された領域には存在しない。各配線パターン34、35、36、37は、絶縁層31、32、33を貫通するスルーホール内壁導電層38により電気的に導通され得る。この構成の部品内蔵配線板でも、製造過程で絶縁層31、32として容易にガラスエポキシのプリプレグを使用することができる。
The reinforcing
以下、図3に示した部品内蔵配線板の製造工程について図4を参照して説明する。図4は、図3に示した製造過程を模式的断面で示す工程図である。ただし、電気/電子部品41の金属箔(電解銅箔)34A上への接続工程については、すでに説明した図2(a)、同(b)に示す工程とほぼ同様なので図示省略する。電気/電子部品41としては、例えば厚さ0.5mmの1005サイズや2012サイズのチップ抵抗を用いる。
Hereinafter, the manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG. 3 will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a process diagram schematically showing the manufacturing process shown in FIG. However, the connection process of the electric /
電気/電子部品41が接続された金属箔34Aのほかに、図4(a)に示すように、絶縁層32とプリプレグ31A(絶縁層31とすべきもの)が積層されかつ電気/電子部品41が配置される位置に対応して開口32oを有するもの(コア板)と、金属箔(電解銅箔)37Aが積層されたプリプレグ33A(絶縁層33とすべきもの)とを用意する。コア板は、あらかじめ以下のような工程により準備する。
In addition to the
厚さ例えば0.5mmのFR−4の両面銅張り基板(絶縁層32を有する)を準備し、その両面の銅層に例えば周知のフォトリソグラフィによるパターニングを行い、これらを配線パターン35、36に加工する。そして、絶縁層32の配線パターン35側上に厚さ例えば公称60μmのFR−4のプリプレグ31Aを熱ラミネートで積層する。続いて、この積層されたものに、内蔵される電気/電子部品41が配置される位置に対応する例えば直径1.2mmの穴あけ(電気/電子部品41が1005サイズの場合)を例えばドリリングで行い、開口32oを設ける。
An FR-4 double-sided copper-clad substrate (having an insulating layer 32) having a thickness of 0.5 mm, for example, is prepared, and the copper layers on both sides are patterned by, for example, well-known photolithography. Process. Then, a FR-4
金属箔37Aが積層されたプリプレグ33A(絶縁層33とすべきもの)は、厚さ例えば18μmの電解銅箔と厚さ例えば公称60μmのFR−4プリプレグとの積層体である。以上用意された3者を図4(a)に示すように、金属箔34Aの電気/電子部品41が接続された側に対向して、開口32oが形成されたプリプレグ31Aと絶縁層32との積層体(コア板)、さらにその絶縁層32側上に金属箔37Aとプリプレグ33Aとの積層体のプリプレグ33A側をそれぞれ位置合わせし積層配置する。
The
積層配置後、加熱しつつ積層方向に加圧してプリプレグ31Aおよびプリプレグ33Aを流動化させ一体化する。このとき、プリプレグ31Aおよびプリプレグ33Aの絶縁樹脂31a、33aの部分が電気/電子部品41周りの空間を埋めて密着する状態となる。この状態でプリプレグ31A、33Aは完全に硬化し絶縁層31、33になる。この積層一体化でも、電気/電子部品41が配置される領域の、絶縁層32およびプリプレグ31Aにはあらかじめ開口32oが設けられているので、電気/電子部品41が過大に加圧されることがない。したがって、電気/電子部品41と金属箔32Aとの接続部分(半田40)に過大な応力が発生せず、また電気/電子部品41の破壊も防止できる。これにより信頼性を向上できる。
After the stacked arrangement, the
積層一体化後、周知のように所定位置穴あけ、めっきの各工程を行い、図4(b)に示すような、スルーホール内壁導電層38を備えた両面シールド基板を得る。さらに、両面の金属箔34A、37Aに例えば周知のフォトリソグラフィによるパターニングを行い、これらを配線パターン34、37に加工すると、図3に示したような構成の部品内蔵配線板を得ることができる。
After the lamination and integration, a predetermined position drilling and plating processes are performed as is well known, and a double-sided shield substrate having a through-hole inner wall
この実施形態でも、電気/電子部品41の金属箔34Aへの接続に半田40を用いるほか、例えば導電性接着剤を用いることもできる。また、補強材31b、33bとしてガラスクロスを含有するプリプレグ31A、33Aの場合を説明したが、この補強材に代えてアラミドクロスやガラス不織布、アラミド不織布などの補強材を含有するプリプレグとしてもよい。また、絶縁層32にも、FR−4相当のもののほか、CEM−3材を用いることができる。
Also in this embodiment, in addition to using the
また、銅張り基板(絶縁層32を有する)の両面の銅層を配線パターン35、36に加工した段階で、通常の所定位置穴あけ、めっきの各工程を行い、絶縁層32にスルーホール内壁導電層を形成するようにしてもよい。この段階のスルーホール内壁導電層の形成によって配線板として一層のファイン化が可能である。このスルーホール内は、その後の積層工程において絶縁樹脂31a、33aが流動して充填される。
Further, at the stage where the copper layers on both sides of the copper-clad substrate (having the insulating layer 32) are processed into the
また、絶縁層32、プリプレグ31Aへの開口32oの形成は、絶縁層32とプリプレグ31Aとの積層前に個別に行うことも可能である。この場合には積層するときに位置合わせ精度が必要になる。
The openings 32o can be formed in the insulating
さらに、加圧加熱条件は、図1に関する例で説明したような圧力及び温度を採用することができ、2段階の加熱処理を行うことができる。 Furthermore, pressure and temperature as described in the example relating to FIG. 1 can be adopted as the pressure heating condition, and two-stage heat treatment can be performed.
また、電気/電子部品41の埋設領域を確定する開口32oの平面形状の大きさは、 1に関する例で説明したように、その部品が0402部品、0603部品または1005 品である場合などに応じて、上記同様の大きさにすることができる。さらに、部品内蔵 線板全体の厚さはコンマ数ミリ程度とすることができる。
In addition, the size of the planar shape of the opening 32o that defines the embedded region of the electric /
次に、本発明のさらに別の実施形態について図5を参照して説明する。図5は、本発明のさらに別の実施形態に係る部品内蔵配線板の構成を模式的に示す断面図である。図5において、すでに説明した構成部分と同一または同一相当の部分には同一符号を付し、その説明は省略する。この実施形態の部品内蔵配線板は、配線層数がさらに2つ増加して合計6層になっている。この結果、電気/電子部品41が接続される配線パターン53が内層の配線パターンになる。また、図4における説明で変形例として述べたが、コア板の絶縁層32にはこれを貫通するスルーホール内壁導電層42を有している。
Next, still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a component built-in wiring board according to still another embodiment of the present invention. In FIG. 5, the same or equivalent parts as those already described are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. In the component built-in wiring board of this embodiment, the number of wiring layers is further increased by two to a total of six layers. As a result, the
以上のほか、この実施形態は、図3に示した実施形態における配線パターン34が絶縁層51およびその両面の配線パターン52、53からなる両面配線板に、配線パターン37が絶縁層61およびその両面の配線パターン62、63からなる両面配線板に、それぞれ置き換わったものである。ここで、絶縁層51両面の配線パターン52、53は、それらの面間に挟設された層間接続体54により電気的に導通され得、また、絶縁層61両面の配線パターン62、63は、それらの面間に挟設された層間接続体64により電気的に導通され得る。絶縁層51、61は、それぞれ、絶縁樹脂51a、61aとこれを補強する補強材51b、61b(例えばガラスクロス)とからなる。
In addition to the above, this embodiment is different from the embodiment shown in FIG. 3 in that the
以下、図5に示した部品内蔵配線板の製造工程について図6を参照して説明する。図6は、図5に示した部品内蔵配線板の一部製造過程を模式的断面で示す工程図であり、上記説明の、絶縁層51およびその両面の配線パターン52、53からなる両面配線板の部分の製造工程を示すものである。この製造工程は、絶縁層61およびその両面の配線パターン62、63からなる両面配線板の部分についても同様である。
Hereinafter, the manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG. 5 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a process diagram schematically showing a partial manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG. 5 and is a double-sided wiring board comprising the insulating
まず、図6(a)に示すように、厚さ例えば18μmの金属箔(電解銅箔)53A上に例えばスクリーン印刷により、層間接続体54となるペースト状の導電性組成物をほぼ円錐形のバンプ状に形成する。この導電性組成物は、ペースト状の樹脂中に銀、金、銅などの金属微細粒または炭素微細粒を分散させたものである。図示の都合で金属箔53Aの下面に印刷しているが上面でもよい(以下の各図も同じである)。層間接続体54の印刷後これを乾燥させて硬化させる。
First, as shown in FIG. 6A, a paste-like conductive composition to be an
次に、図6(b)に示すように、金属箔53A上に厚さ例えば公称60μmのプリプレグ51Aを積層して層間接続体54を貫通させ、その頭部が露出するようにする。露出に際してあるいはその後その先端を塑性変形でつぶしてもよい(いずれにしても層間接続体54の形状は、積層方向に一致する軸を有しその軸方向に径が変化する形状である。)。続いて、図6(c)に示すように、プリプレグ51A上に金属箔(電解銅箔)52Aを積層配置して加圧・加熱し全体を一体化する。このとき、金属箔52Aは層間接続体54と電気的導通状態となり、プリプレグ51Aは完全に硬化して絶縁層51になる。
Next, as shown in FIG. 6B, a
次に、図6(d)に示すように、片側の金属箔53Aに例えば周知のフォトリソグラフィによるパターニングを施し、これを配線パターン53に加工する。そして、この図(d)に示すものを図4(a)に示す金属箔34Aの代わりに用いる。すなわち、配線パターン53上へのクリーム状の半田40の印刷付着を行うことになる。この印刷付着工程では、配線パターン53への位置合わせが必要である。なお、図4(a)に示す金属箔37Aの代わりにも、図6(d)に示すものと同様の構成のものを用いる。以上の状態で図4と同様な積層・一体化を行い、最後にスルーホール内壁導電層38の形成および両面の金属箔52A、62Aのパターニングを行うことで図5に示した部品内蔵配線板を得ることができる。
Next, as shown in FIG. 6D, patterning is performed on the
この実施形態では、図6(d)に示した配線板の部材に代えて図1または図3に示した部品内蔵配線板を用いることもできる(ただし、片面側の配線パターンは、パターニング前の金属箔の状態にしておく。積層一体化後にパターニングする。)。これによれば、部品内蔵配線板として部品の一層の高密度内蔵が可能である。 In this embodiment, the component built-in wiring board shown in FIG. 1 or FIG. 3 can be used instead of the wiring board member shown in FIG. 6D (however, the wiring pattern on one side is the same as that before patterning). Leave it in the state of a metal foil. According to this, it is possible to incorporate components at a higher density as a component-embedded wiring board.
なお、加圧加熱条件は、図1に関する例で説明したような圧力及び温度を採用することができ、2段階の加熱処理を行うことができる。 Note that pressure and temperature as described in the example relating to FIG. 1 can be adopted as the pressure heating condition, and two-stage heat treatment can be performed.
また、電気/電子部品41の埋設領域を確定する開口の平面形状の大きさは、図1に関する例で説明したように、その部品が0402部品、0603部品または1005部品である場合などに応じて、上記同様の大きさにすることができる。さらに、部品内蔵配線板全体の厚さはコンマ数ミリ程度とすることができる。
Further, the size of the planar shape of the opening that defines the embedded region of the electric /
次に、本発明のさらに別の実施形態について図7を参照して説明する。図7は、本発明のさらに別の実施形態に係る部品内蔵配線板の構成を模式的に示す断面図である。図7において、すでに説明した構成部分と同一または同一相当の部分には同一符号を付し、その説明は省略する。この実施形態は、図5に示した部品内蔵配線板の層間接続体54、64に代えて、金属からなり、積層方向に一致する軸を有しその軸方向に径が変化する形状の層間接続体74、84を用いたものである。
Next, still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a component built-in wiring board according to still another embodiment of the present invention. In FIG. 7, the same or equivalent parts as those already described are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. In this embodiment, instead of the
以下、図7に示した部品内蔵配線板の製造工程について図8を参照して説明する。図8は、図7に示した部品内蔵配線板の一部製造過程を模式的断面で示す工程図であり、上記説明のうち、配線パターン53と層間接続体74とからなる部分の製造工程を示すものである。
Hereinafter, the manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG. 7 will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a process diagram schematically showing a partial manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG. 7. Of the above description, the manufacturing process of the part composed of the
まず、例えば厚さ18μmの金属箔(電解銅箔)53Aにごく薄い厚さ例えば2μmの例えばニッケル合金からなる層(エッチングストッパ層ES)が積層された積層膜を用意し、このエッチングストッパ層ES側に金属板(銅板)74Aを積層一体化して、図8(a)に示すような3層構造のクラッド材を得る。そしてさらに、金属板74A上の所定位置にエッチングマスク79を形成する。
First, for example, a laminated film in which a layer (etching stopper layer ES) made of, for example, a nickel alloy having a very thin thickness, for example, 2 μm, is prepared on a metal foil (electrolytic copper foil) 53A having a thickness of 18 μm is prepared. A metal plate (copper plate) 74A is laminated and integrated on the side to obtain a clad material having a three-layer structure as shown in FIG. Further, an
次に、エッチングマスク79が形成された3層クラッド材の金属板74Aを、銅のみエッチング可能なエッチング液でエッチングする。これにより図8(b)に示すように、層間接続体74を得ることができる。以下の工程は、この図8(b)に示した素材を図(a)に示す素材に代えて、図6(b)以下の工程を行えばよい。以上の説明は、配線パターン63と層間接続体84とからなる部分について同様である。
Next, the three-layer clad
この場合においても、電気/電子部品41の埋設領域を確定する開口の平面形状の大きさは、図1に関する例で説明したように、その部品が0402部品、0603部品または1005部品である場合などに応じて、上記同様の大きさにすることができる。
Also in this case, the size of the planar shape of the opening that defines the embedded region of the electric /
次に、本発明のさらに別の実施形態について図9を参照して説明する。図9は、本発明のさらに別の実施形態に係る部品内蔵配線板の構成を模式的に示す断面図である。図9において、すでに説明した構成部分と同一または同一相当の部分には同一符号を付し、その説明は省略する。この実施形態は、図5に示した部品内蔵配線板の層間接続体54、64に代えて、導電性組成物からなり、積層方向に一致する軸を有しその軸方向に径が変化しない形状の層間接続体94、104を用いたものである。
Next, still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a component built-in wiring board according to still another embodiment of the present invention. In FIG. 9, parts that are the same as or equivalent to those already described are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted. In this embodiment, instead of the
以下、図9に示した部品内蔵配線板の製造工程について図10を参照して説明する。図10は、図9に示した部品内蔵配線板の一部製造過程を模式的断面で示す工程図であり、上記説明のうち、絶縁層51とその両面の配線パターン52、53、および絶縁層51を貫通する層間接続体94の部分の製造工程を示すものである。
Hereinafter, the manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG. 9 will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a process diagram schematically showing a partial manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG. 9. In the above description, the insulating
まず、図10(a)示すように、例えば厚さ公称60μmのプリプレグ51Aの所定位置に穴あけを行い、その穴内部を導電性組成物で充填し層間接続体94とする。次に、図10(b)に示すように、プリプレグ51Aの両面に厚さ例えば18μmの金属箔(電解銅箔)52A、53Aを積層し加圧・加熱して一体化する。この積層・一体化で各金属箔52A、53Aは層間接続体94との電気的導通状態を確立し、プリプレグ51Aは完全に硬化して絶縁層51となる。
First, as shown in FIG. 10A, for example, a predetermined position of a
次に、図10(c)に示すように、片側の金属箔53Aに例えば周知のフォトリソグラフィによるパターニングを施し、これを配線パターン53に加工する。そして、この図10(c)に示す素材を図6(d)に示す素材の代わりに用い、その後の工程は図6における説明と同様である。
Next, as shown in FIG. 10C, patterning by, for example, well-known photolithography is performed on the
なお、加圧加熱条件は、図1に関する例で説明したような圧力及び温度を採用することができ、2段階の加熱処理を行うことができる。 Note that pressure and temperature as described in the example relating to FIG. 1 can be adopted as the pressure heating condition, and two-stage heat treatment can be performed.
また、電気/電子部品41の埋設領域を確定する開口の平面形状の大きさは、図1に関する例で説明したように、その部品が0402部品、0603部品または1005部品である場合などに応じて、上記同様の大きさにすることができる。さらに、部品内蔵配線板全体の厚さはコンマ数ミリ程度とすることができる。
Further, the size of the planar shape of the opening that defines the embedded region of the electric /
次に、本発明のさらに別の実施形態について図11を参照して説明する。図11は、本発明のさらに別の実施形態に係る部品内蔵配線板の構成を模式的に示す断面図である。図11において、すでに説明した構成部分と同一または同一相当の部分には同一符号を付し、その説明は省略する。この実施形態は、図5に示した部品内蔵配線板の層間接続体54、64に代えて、金属からなり、積層方向に一致する軸を有しその軸方向に径が変化しない形状の層間接続体114、124を用いたものである。
Next, still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a component built-in wiring board according to still another embodiment of the present invention. In FIG. 11, the same or equivalent parts as those already described are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. In this embodiment, instead of the
以下、図11に示した部品内蔵配線板の製造工程について図12を参照して説明する。図12は、図11に示した部品内蔵配線板の一部製造過程を模式的断面で示す工程図であり、上記説明のうち、配線パターン53と層間接続体114とからなる部分の製造工程を示すものである。
Hereinafter, the manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG. 11 will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a process diagram schematically showing a partial manufacturing process of the component built-in wiring board shown in FIG. 11. In the above description, the manufacturing process of the part composed of the
まず、図12(a)に示すように、例えば厚さ18μmの金属箔(電解銅箔)53A上に、所定位置にマスク除去部119Aを有するめっき阻止マスク119を形成する。マスク除去部119Aの形状は例えばほぼ円筒状である。次に、金属箔53Aを電気供給路としてそのめっき阻止マスク119側に電解めっき工程を施し、図12(b)に示すように、マスク除去部119A内に例えば銅のめっき層を成長させる。この成長させためっき層が層間接続体114になる。めっき層成長後、めっき阻止マスク119を除去すると図1(c)に示すような素材が得られる。以下の工程は、この図12(c)に示した素材を図6(a)に示す素材に代えて、図6(b)以下の工程を行えばよい。以上の説明は、配線パターン63と層間接続体124とからなる部分について同様である。
First, as shown in FIG. 12A, a
以上、図5ないし図12では、絶縁層51およびその両面の配線パターン52、53からなる両面配線板の部分と、絶縁層61およびその両面の配線パターン62、63からなる両面配線板の部分とについての諸例を、その層間接続体の構成という観点から示した。これらの説明以外の層間接続体を有する両面配線板を用いることも無論可能である。例えば、層間接続体としては、周知の、穴あけおよびめっき工程によるスルーホール内壁導電体としてもよい。さらにその他様々な構成の層間接続体を有する両面配線板を用いることができる。
5 to 12, the double-sided wiring board portion including the insulating
なお、加圧加熱条件は、図1に関する例で説明したような圧力及び温度を採用することができ、2段階の加熱処理を行うことができる。 Note that pressure and temperature as described in the example relating to FIG. 1 can be adopted as the pressure heating condition, and two-stage heat treatment can be performed.
また、電気/電子部品41の埋設領域を確定する開口の平面形状の大きさは、図1に関する例で説明したように、その部品が0402部品、0603部品または1005部品である場合などに応じて、上記同様の大きさにすることができる。さらに、部品内蔵配線板全体の厚さはコンマ数ミリ程度とすることができる。
Further, the size of the planar shape of the opening that defines the embedded region of the electric /
次に、本発明のさらに別の実施形態について図13を参照して説明する。図13は、本発明のさらに別の実施形態に係る部品内蔵配線板の構成を模式的に示す断面図である。図13において、すでに説明した構成部分と同一または同一相当の部分には同一符号を付し、その説明は省略する。この実施形態の部品内蔵配線板は、図5に示したものに比較して、絶縁層31、33を貫通して配線パターン面間に挟設される層間接続体205、201を新たに有する点、および、絶縁層32が絶縁層3、2、1の3層積層になっている点が異なる。
Next, still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 13 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a component built-in wiring board according to still another embodiment of the present invention. In FIG. 13, parts that are the same as or equivalent to those already described are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted. The component built-in wiring board of this embodiment newly has
ここで、絶縁層3、2間、絶縁層2、1間にはそれぞれ配線パターン6、5が挟設され、絶縁層3、2、1をそれぞれ貫通しかつ配線パターン面間に挟設されて層間接続体204、203、202が存在する。層間接続体54、64に加えて層間接続体205、201、204、203、202を備えることでスルーホール内壁導電層による層間接続の必要のない構成になっている。
Here,
絶縁層3、2、1は、それぞれ、絶縁樹脂3a、2a、1aとこれを補強する補強材3b、2b、1b(例えばガラスクロス)とからなる。配線パターン7、4は、それぞれ図5に示した実施形態における配線パターン35、36に相当する。
The insulating
この実施形態においても、電気/電子部品41が埋設された領域では絶縁層1、2、3、31が補強材1b、2b、3b、31bを有さず、それ以外の領域で補強材1b、2b、3b、31bを有する。よって、電気/電子部品41と補強材1b、2b、3b、31bとの衝突を避け信頼性を向上することができる。また、絶縁層1、2、3、31として配線板で一般的なプリプレグを硬化させたものを使用することが可能になる。
Also in this embodiment, the insulating
この図13に示す部品内蔵配線板の製造方法を概略的に述べると以下のようである。まず、両面にそれぞれ配線パターンと金属箔とを有しそれらの層間接続が積層方向に径の変化する形状の層間接続体によりされている両面基板を、絶縁層51、3、1、61それぞれに相当して4枚製造する。その工程は図6に示した通りである。
The manufacturing method of the component built-in wiring board shown in FIG. 13 is roughly described as follows. First, a double-sided board having wiring patterns and metal foils on both sides and having an interlayer connection having a shape in which the diameter of the interlayer connection changes in the laminating direction is provided on each of the insulating
次に、そのうち絶縁層1に相当するものの配線パターン5上に、層間接続体203となる導電性バンプを印刷形成しさらにその面に絶縁層2とすべきプリプレグを積層する。そして、その絶縁層2とすべきプリプレグ側に、絶縁層3に相当する両面基板の配線パターン6側を対向させて加圧・加熱により積層・一体化する。これにより配線層が4つの基板ができる。続いてその外側の金属箔をパターニングすることで配線パターン7、4が形成される。
Next, on the
次に、形成された配線パターン7上に、層間接続体205となる導電性バンプを印刷形成しさらにその面に絶縁層31とすべきプリプレグを積層する。そして、これにより得られた積層体に、内蔵する電気/電子部品41に対応する位置の開口(例えば0.8mm径)を例えばドリリングにより形成する。
Next, on the formed
一方、絶縁層61に相当するものの配線パターン63上には、層間接続体201となる導電性バンプを印刷形成しさらにその面に絶縁層33とすべきプリプレグを積層しておく。絶縁層51に相当するものの配線パターン53上には電気/電子部品41を半田40を介して接続しておく。
On the other hand, on the
以上のようにして得られた3つの部材を、図4(a)に示した配置と同様に積層配置し加圧しつつ積層方向に加圧する。このとき、絶縁層31とすべきプリプレグおよび絶縁層33とすべきプリプレグの絶縁樹脂31a、33aの部分が電気/電子部品41周りの空間を埋めて密着する状態となる。この状態で両プリプレグは完全に硬化し絶縁層31、33になる。さらに、両面に位置する金属箔に例えば周知のフォトリソグラフィによるパターニングを行い、これらを配線パターン52、62に加工すると、図13に示したような構成の部品内蔵配線板を得ることができる。
The three members obtained as described above are stacked and pressed in the stacking direction in the same manner as the layout shown in FIG. At this time, the portions of the prepreg to be the insulating
以上説明の図13に示す部品内蔵配線板は、層間接続体204、202を、層間接続体74、84(図7)、同94、104(図9)、同114、124(図11)のいずれかのようにして形成されたものに代えることが可能である。また、層間接続体205、201は、層間接続体94、104(図9(a))のようにして形成されたものに代えることが可能である。後者の場合、最後の積層工程が3つの素材の積層ではなく5つの素材の積層になる。
The component built-in wiring board shown in FIG. 13 described above has the
なお、加圧加熱条件は、図1に関する例で説明したような圧力及び温度を採用することができ、2段階の加熱処理を行うことができる。 Note that pressure and temperature as described in the example relating to FIG. 1 can be adopted as the pressure heating condition, and two-stage heat treatment can be performed.
また、電気/電子部品41の埋設領域を確定する開口の平面形状の大きさは、図1に関する例で説明したように、その部品が0402部品、0603部品または1005部品である場合などに応じて、上記同様の大きさにすることができる。さらに、部品内蔵配線板全体の厚さはコンマ数ミリ程度とすることができる。
Further, the size of the planar shape of the opening that defines the embedded region of the electric /
次に、本発明のさらに別の実施形態について図14を参照して説明する。図14は、本発明のさらに別の実施形態に係る部品内蔵配線板の構成を模式的に示す断面図である。図14において、すでに説明した構成部分と同一または同一相当の部分には同一符号を付し、その説明は省略する。この実施形態は、図7に示した部品内蔵配線板のスルーホール内壁導電層38によって各配線パターンを接続する代わりに、積層方向に一致する軸を有しその軸方向に径が変化する形状の層間接続体を用いて各配線パターンを接続するようにしている。
Next, still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 14 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a component built-in wiring board according to still another embodiment of the present invention. In FIG. 14, parts that are the same as or equivalent to those already described are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted. In this embodiment, instead of connecting each wiring pattern by the through-hole inner wall
具体的には、図14に示すように、スルーホール内壁導電層38に代えて、配線パターン62及び63間を積層方向に一致する軸を有し前記軸の方向に径が変化している形状である層間接続体111で電気的機械的に接続し、配線パターン63及び36間を同形状の層間接続体112で電気的機械的に接続している。また、配線パターン35及び53間を同形状の層間接続体113で電気的機械的に接続し、配線パターン53及び52間を同形状の層間接続体114で電気的機械的に接続している。
Specifically, as shown in FIG. 14, instead of the through hole inner wall
さらに、本例においては、同形状の層間接続体115及び116を形成し、これらの層間接続体によっても、配線パターン63及び36間、並びに配線パターン35及び53間を電気的機械的に接続するようにしている。
Further, in the present example,
図15は、図14に示す部品内蔵配線パターンの製造方法の要部を簡略化して示す図である。 FIG. 15 is a simplified diagram showing the main part of the method for manufacturing the component built-in wiring pattern shown in FIG.
最初に、図2(a)及び(b)並びに図6に示すような工程に従って、電気/電子部品41が半田40で絶縁層51上に形成された配線パターン53に電気的機械的に接続されたようなアセンブリ150を製造する。このアセンブリ150において、絶縁層51の裏面側には後に配線パターン52となる金属箔52Aが形成されており、絶縁層51中には層間接続体114が形成されている。
First, according to the steps shown in FIGS. 2A and 2B and FIG. 6, the electrical /
また、同じく図6に示すような工程に従って、絶縁層61及び33が積層され、その間に配線パターン63が狭設されるとともに、絶縁層61及び33内に層間接続体63,112及び115などが形成されたアセンブリ151を形成する。
Similarly, in accordance with the process as shown in FIG. 6, insulating
次いで、図4に示すような工程に従って、配線パターン36及び35が形成されるとともに、スルーホール内壁導電体42が形成された絶縁層32及びこれと密着するようにして設けられるとともに、層間接続体113が貫通するようにして設けられたプリプレグ31Aを介して、上下方向に加圧下加熱する。この際、プリプレグ31Aは流動化し、電気/電子部品41の周囲の空間を埋設して密着する状態で硬化し、絶縁層となる。
Next, according to the process as shown in FIG. 4, the
各層間接続体は、直接金属箔から形成する代わりに、上述したように、例えばスクリーン印刷により樹脂中に銀、金、銅などの金属微細粒または炭素微細粒を分散させたペースト状ものから構成することもできる。 Instead of directly forming the interlayer connection body from the metal foil, as described above, the interlayer connection body is composed of a paste-like material in which fine metal particles such as silver, gold, copper, or carbon fine particles are dispersed in the resin by screen printing, for example. You can also
なお、加圧加熱条件は、図1に関する例で説明したような圧力及び温度を採用することができ、2段階の加熱処理を行うことができる。 Note that pressure and temperature as described in the example relating to FIG. 1 can be adopted as the pressure heating condition, and two-stage heat treatment can be performed.
また、電気/電子部品41の埋設領域を確定する開口の平面形状の大きさは、図1に関する例で説明したように、その部品が0402部品、0603部品または1005部品である場合などに応じて、上記同様の大きさにすることができる。さらに、部品内蔵配線板全体の厚さはコンマ数ミリ程度とすることができる。
Further, the size of the planar shape of the opening that defines the embedded region of the electric /
以上、本発明を具体例に基づいて詳細に説明してきたが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。 Although the present invention has been described in detail based on specific examples, the present invention is not limited to the above specific examples, and various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention.
1…絶縁層、1a…絶縁樹脂、1b…補強材、2…絶縁層、2a…絶縁樹脂、2b…補強材、3…絶縁層、3a…絶縁樹脂、3b…補強材、4,5,6,7…配線パターン、11…絶縁層、11a…絶縁樹脂、11b…補強材、11A…プリプレグ、11o…開口,12,13…配線パターン、12A,13A…金属箔(銅箔)、14…スルーホール内壁導電層、15…半田、16…部品、31…絶縁層、31a…絶縁樹脂、31b…補強材、31A…プリプレグ、32…絶縁層、32a…絶縁樹脂、32b…補強材、32o…開口、33…絶縁層、33a…絶縁樹脂、33b…補強材、33A…プリプレグ、34,35,36,37…配線パターン、34A,37A…金属箔(銅箔)、38…スルーホール内壁導電層、40…半田、41…部品、51…絶縁層、51a…絶縁樹脂、51b…補強材、52,53…配線パターン、52A,53A…金属箔(銅箔)、54…層間接続体(導電性組成物印刷による導電性バンプ)、61…絶縁層、61a…絶縁樹脂、61b…補強材、62,63…配線パターン、64…層間接続体(導電性組成物印刷による導電性バンプ)、74,84…層間接続体(金属板エッチングによる導体バンプ)、74A…金属板、79…エッチングマスク、94,104…層間接続体(導電性組成物充填)、114,124…層間接続体(めっきによる導体バンプ)、119…めっき阻止マスク、119A…マスク除去部、201,202,203,204,205…層間接続体(導電性組成物印刷による導電性バンプ)、ES…エッチングストッパ層、111,112,113,114,115,116…層間接続体。
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記配線パターンの面上に電気的、機械的に接続された電気/電子部品と、
前記電気/電子部品を埋設するように、前記配線パターンの前記電気/電子部品の接続された側の面上に積層された、絶縁樹脂と該絶縁樹脂に含有された補強材とを有する絶縁層と、を具備し、
前記絶縁層が、該絶縁層のうちの前記補強材が横方向に前記電気/電子部品の領域に達せずに前記絶縁樹脂中に存在し、該絶縁層のうちの前記絶縁樹脂が前記電気/電子部品の領域に達して該電気/電子部品に密着している絶縁層であって、加えて、少なくとも2つの絶縁層の積層であり、
前記少なくとも2つの絶縁層の間に挟設された第2の配線パターンと、
前記少なくとも2つの絶縁層のうち前記配線パターンに接触する方の絶縁層を貫通して前記配線パターンの面と前記第2の配線パターンの面との間に挟設された層間接続体と、をさらに具備すること
を特徴とする部品内蔵配線板。 A wiring pattern;
Electrical / electronic components electrically and mechanically connected on the surface of the wiring pattern;
An insulating layer having an insulating resin and a reinforcing material contained in the insulating resin, which is laminated on a surface of the wiring pattern on the side where the electric / electronic component is connected so as to embed the electric / electronic component. And comprising
The insulating layer is present in the insulating resin without the reinforcing material of the insulating layer reaching the region of the electric / electronic component in the lateral direction, and the insulating resin of the insulating layer is An insulating layer that reaches the area of the electronic component and is in intimate contact with the electrical / electronic component, in addition, a stack of at least two insulating layers;
A second wiring pattern sandwiched between the at least two insulating layers;
An interlayer connector that is interposed between the surface of the wiring pattern and the surface of the second wiring pattern through the insulating layer in contact with the wiring pattern of the at least two insulating layers; A component built-in wiring board further comprising:
第2の金属配線パターンを有しかつ補強材を含有する第2の絶縁層の前記第2の金属配線パターン上に導電性バンプを印刷、形成する工程と、
前記導電性バンプが形成された側の前記第2の絶縁層上に補強材を含有するプリプレグの層を積層する工程と、
前記第2の絶縁層および前記プリプレグを有する積層体に、前記電気/電子部品の位置に対応すべく該電気/電子部品より大きな開口を貫通形成する工程と、
前記電気/電子部品が接続された側の前記第1の絶縁層上に、前記開口の形成された前記積層体を、前記プリプレグの側を前記第1の絶縁層に対向させるようにかつ前記電気/電子部品を前記開口内に位置させるように配置し、さらに前記第2の絶縁層上に第3の絶縁層を配置し、積層、一体化する工程と
を具備することを特徴とする部品内蔵配線板の製造方法。 Electrically and mechanically connecting an electrical / electronic component on the first metal wiring pattern of the first insulating layer having the first metal wiring pattern;
Printing and forming conductive bumps on the second metal wiring pattern of the second insulating layer having a second metal wiring pattern and containing a reinforcing material;
Laminating a layer of a prepreg containing a reinforcing material on the second insulating layer on the side where the conductive bumps are formed;
A step of penetrating and forming a larger opening than the electric / electronic component to correspond to the position of the electric / electronic component in the laminate including the second insulating layer and the prepreg;
The laminated body having the opening formed on the first insulating layer on the side where the electric / electronic component is connected is arranged so that the prepreg side faces the first insulating layer, and the electric The electronic component is disposed so as to be positioned in the opening, and a third insulating layer is disposed on the second insulating layer, and is laminated and integrated. A method for manufacturing a wiring board.
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