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JP2011128368A - Wavelength conversion light source - Google Patents

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JP2011128368A
JP2011128368A JP2009286668A JP2009286668A JP2011128368A JP 2011128368 A JP2011128368 A JP 2011128368A JP 2009286668 A JP2009286668 A JP 2009286668A JP 2009286668 A JP2009286668 A JP 2009286668A JP 2011128368 A JP2011128368 A JP 2011128368A
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JP
Japan
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light source
wavelength
waveguide
light
nonlinear optical
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JP2009286668A
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Japanese (ja)
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Osamu Tadanaga
修 忠永
Masao Yube
雅生 遊部
Katsuaki Magari
克明 曲
Takeshi Umeki
毅伺 梅木
Isao Tomita
勲 富田
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NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Abstract

【課題】導波路型の非線形光学結晶を用いた、中赤外光を発生する波長変換光源において、励起光強度を抑えて低消費電力化を図ることにある。
【解決手段】非線形光学結晶301に導波路302の構造が施されている。導波路302の両端面には、波長λ2に対して高反射率になっている第1及び第2の高反射率膜303、304が施されている。波長λ1の励起光を発する励起光源305からの入射光は、ファイバ306から供給され、第1及び第2のレンズ307、308を介して、高反射率膜303を通して導波路302に結合されている。一方、波長λ2の信号光のシード光を発するシード光源309からの入射光は、ファイバ310から供給され、第3のレンズ311とミラー312を介して、高反射率膜304を通して導波路302に結合されている。ミラー312はシード光に対して反射し、中赤外光に対して透過をする特性を持っている。
【選択図】図3
In a wavelength conversion light source that generates a mid-infrared light using a waveguide type nonlinear optical crystal, it is intended to reduce power consumption by suppressing excitation light intensity.
A nonlinear optical crystal is provided with a waveguide structure. First and second high reflectivity films 303 and 304 having high reflectivity with respect to the wavelength λ 2 are applied to both end faces of the waveguide 302. Incident light from an excitation light source 305 that emits excitation light having a wavelength λ 1 is supplied from a fiber 306 and is coupled to the waveguide 302 through the first and second lenses 307 and 308 through the high reflectivity film 303. Yes. On the other hand, the incident light from the seed light source 309 that emits the seed light of the signal light having the wavelength λ 2 is supplied from the fiber 310 and passes through the third lens 311 and the mirror 312 to the waveguide 302 through the high reflectivity film 304. Are combined. The mirror 312 has a property of reflecting the seed light and transmitting the mid-infrared light.
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、波長変換光源に関し、より詳細には、環境ガス計測等に用いる中赤外光を発生する波長変換素子を備える波長変換光源に関する。   The present invention relates to a wavelength conversion light source, and more particularly to a wavelength conversion light source including a wavelength conversion element that generates mid-infrared light used for environmental gas measurement and the like.

環境保護や安全衛生上の観点から、CH4、CO2、CO、N2O等の温室効果ガス、NOx、SOx、アンモニア系等の環境ガス、水の吸収ピーク、多くの有機系ガス、又は残留農薬の極微量分析技術の確立が強く望まれている。ガス濃度を計測する一手法として、被測定ガスにレーザ光を当て、その吸収特性を観測する方法が知られている。ガスはそれぞれ特有の吸収線を有しているので、吸収線付近の波長を有するレーザ光をスキャンし、吸収スペクトルを観測することによりガス濃度を計測することができる。 From the viewpoints of environmental protection and safety and health, greenhouse gases such as CH 4 , CO 2 , CO, N 2 O, environmental gases such as NO x , SO x , ammonia, water absorption peaks, and many organic gases It is strongly desired to establish a trace analysis technique for residual agricultural chemicals. As one method for measuring the gas concentration, a method is known in which laser light is applied to a gas to be measured and its absorption characteristics are observed. Since each gas has its own absorption line, the gas concentration can be measured by scanning a laser beam having a wavelength near the absorption line and observing the absorption spectrum.

環境ガスの多くは、波長2μm以上の中赤外光領域に基本振動またはその低次の倍音の吸収線を有している。従って、波長2μm以上の中赤外領域において、室温で連続発振が可能な中赤外光光源の需要が高まっている。このような光源として、擬似位相整合型波長変換素子による差周波発生により、ガスの吸収線波長である中赤外領域のレーザ光を出力する光源が多数発表されている(例えば、非特許文献1参照)。この光源は、波長変換素子に励起光および信号光を入力するレーザとして技術的に安定した波長2μm以下の半導体レーザを用いることができるので実用化が容易である。   Many of the environmental gases have fundamental vibrations or low-order harmonic absorption lines in the mid-infrared light region having a wavelength of 2 μm or more. Accordingly, there is an increasing demand for a mid-infrared light source capable of continuous oscillation at room temperature in the mid-infrared region having a wavelength of 2 μm or more. As such a light source, a number of light sources that output laser light in the mid-infrared region, which is the absorption line wavelength of gas, have been announced by generating a difference frequency by a quasi phase matching wavelength conversion element (for example, Non-Patent Document 1). reference). This light source can be easily put to practical use because a technically stable semiconductor laser having a wavelength of 2 μm or less can be used as a laser for inputting excitation light and signal light to the wavelength conversion element.

波長変換により中赤外光を得る方法として差周波発生以外に光パラメトリック発振がある(例えば、非特許文献2参照)。光パラメトリック発振の構成図を図1に示す。光パラメトリック発振ではバルク型の非線形光学結晶がこれまで用いられてきたので、バルク型非線形光学結晶を用いて説明をする。非線形光学結晶11が、凹面型のミラー12、13の間に挟まれるように配置する。波長λ1の励起光を光軸14に沿って入力すると、非線形光学結晶11内で非線形光学効果により1/λ1=1/λ2+1/λ3を満たす波長λ2とλ3の光が発生する。ミラー12、13は少なくとも波長λ2の光に対して高反射となっており、波長λ2の光はミラー12、13間を光軸15に沿って往復する。実際の光は、点線で示した光形状16の様に非線形光学結晶11内で光が絞られた軌跡をたどる。非線形光学結晶11内では波長λ2とλ3の光が発生するが、これはいわゆる利得媒質として働き、ミラー12、13の間に挟まれることによって光発振器の構成になっている。非線形光学結晶11内の利得がミラー12、13での損失を超えた時に発振をはじめ波長λ2の発振光が光軸17に沿って得られる。この場合、強い波長λ2の光に誘発されて同時に強い波長λ3の光も得られる。 As a method of obtaining mid-infrared light by wavelength conversion, there is optical parametric oscillation in addition to difference frequency generation (see, for example, Non-Patent Document 2). A block diagram of optical parametric oscillation is shown in FIG. Since bulk type nonlinear optical crystals have been used in optical parametric oscillation, bulk nonlinear optical crystals will be used for explanation. The nonlinear optical crystal 11 is disposed so as to be sandwiched between the concave mirrors 12 and 13. When excitation light having a wavelength λ 1 is input along the optical axis 14, light having wavelengths λ 2 and λ 3 satisfying 1 / λ 1 = 1 / λ 2 + 1 / λ 3 due to a nonlinear optical effect is generated in the nonlinear optical crystal 11. appear. The mirrors 12 and 13 are highly reflective at least with respect to the light with the wavelength λ 2, and the light with the wavelength λ 2 reciprocates between the mirrors 12 and 13 along the optical axis 15. The actual light follows a locus in which the light is narrowed down in the nonlinear optical crystal 11 like a light shape 16 indicated by a dotted line. In the nonlinear optical crystal 11, light having wavelengths λ 2 and λ 3 is generated. This acts as a so-called gain medium, and is sandwiched between mirrors 12 and 13 to form an optical oscillator. When the gain in the nonlinear optical crystal 11 exceeds the loss in the mirrors 12 and 13, oscillation light having a wavelength λ 2 including oscillation is obtained along the optical axis 17. In this case, light having a strong wavelength λ 3 is simultaneously obtained by being induced by light having a strong wavelength λ 2 .

ここでは波長λ2の光に対してミラー12、13が共振器を構成するミラーとなっている場合について説明したが、ミラー12、13が波長λ3の光に対して共振器を構成するミラーとなっていてもかまわない。 Although the case where the mirrors 12 and 13 are mirrors constituting a resonator with respect to light of wavelength λ 2 has been described here, the mirrors 12 and 13 are mirrors that constitute a resonator with respect to light of wavelength λ 3. It does not matter if it is.

このような光パラメトリック発振では、光軸15内で定在波となり、ミラー12、13での損失を超える非線形光学結晶11の利得波長領域内の全ての波長で発振が可能であり、複数波長で発振する可能性がある。そこで、波長λ1の励起光以外に利得領域内の固定した波長λ2のレーザ光をシード光として非線形光学結晶11に入射すると安定したシングルモード発振が可能であることが良く知られている。 Such optical parametric oscillation becomes a standing wave in the optical axis 15, and can oscillate at all wavelengths within the gain wavelength region of the nonlinear optical crystal 11 exceeding the loss in the mirrors 12 and 13. There is a possibility of oscillation. Therefore, it is well known that stable single mode oscillation is possible when laser light having a fixed wavelength λ 2 in the gain region is incident on the nonlinear optical crystal 11 as seed light in addition to the excitation light having wavelength λ 1 .

D. G. Lancaster et al., Optics Lett., Vol .24, No. 23, 1744 (1999).D. G. Lancaster et al., Optics Lett., Vol. 24, No. 23, 1744 (1999). L. E. Myers et al., J. Opt. Soc. Am. B., Vol .12, No. 11, 2102 (1995).L. E. Myers et al., J. Opt. Soc. Am. B., Vol. 12, No. 11, 2102 (1995).

以上のようなバルク型の非線形光学結晶を用いた光パラメトリック発振では、非線形光学効果が小さく、発振に必要な励起光強度が数Wと非常に大きく消費電力が大きい。光密度を高めて、高い変換効率の得られる導波路型の非線形光学結晶を用いるのが最善だと考えられる。   In the optical parametric oscillation using the bulk type nonlinear optical crystal as described above, the nonlinear optical effect is small, and the excitation light intensity required for oscillation is as very large as several W and the power consumption is large. It is considered best to use a waveguide-type nonlinear optical crystal with high light density and high conversion efficiency.

図2に、導波路型の非線形光学結晶を用いた場合の構成図を示す。本構成図では、入力光を光ファイバから供給する場合について説明を行う。非線形光学結晶21に導波路22の構造が施されている。導波路22の両端面には高反射率膜23、24が施されている。入射光はファイバ25から供給され、レンズ26、27を介して導波路22に結合されている。このような構造に対して、波長λ1の励起光と波長λ2のシード光の2波をファイバ25により入力する場合、この2波は波長が異なるので、レンズ26、27の色収差のために2つの光において同時に最適な結合効率が取れないという問題が存在する。 FIG. 2 shows a configuration diagram when a waveguide-type nonlinear optical crystal is used. In this configuration diagram, a case where input light is supplied from an optical fiber will be described. The structure of the waveguide 22 is applied to the nonlinear optical crystal 21. High reflectivity films 23 and 24 are provided on both end faces of the waveguide 22. Incident light is supplied from the fiber 25 and is coupled to the waveguide 22 via lenses 26 and 27. For such a structure, the two waves of the wavelength lambda 1 of the excitation light and the wavelength lambda 2 of the seed beam when entering the fiber 25, since the two waves is wavelength different for chromatic aberration of the lenses 26, 27 There is a problem that the optimum coupling efficiency cannot be obtained at the same time for the two lights.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、導波路型の非線形光学結晶を用いた、中赤外光を発生する波長変換光源において、励起光強度を抑えて低消費電力化を図ることにある。   The present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to suppress the excitation light intensity in a wavelength conversion light source that generates a mid-infrared light using a waveguide type nonlinear optical crystal. The purpose is to reduce power consumption.

このような目的を達成するために、本発明の第1の態様は、中赤外光を発生する波長変換光源において、第1の波長λ1の励起光を発する励起光源と、前記第1の波長λ1と異なる第2の波長λ2のシード光を発するシード光源と、非線形光学結晶導波路とを備え、前記非線形光学結晶導波路の両端面に、前記シード光に対して反射率が70%以上の反射膜が設置されており、前記励起光源が発する前記励起光は、前記非線形光学導波路の一端からレンズを介して前記非線形光学結晶導波路に入射され、前記シード光源が発する前記シード光は、前記非線形光学導波路の他端からレンズ及びミラーを介して前記非線形光学結晶導波路に入射され、前記中赤外光は、前記非線形光学結晶導波路において光パラメトリック発振によって発生する、1/λ1−1/λ2=1/λ3を満たす第3の波長λ3の中赤外光であることを特徴とする。 In order to achieve such an object, according to a first aspect of the present invention, there is provided a wavelength-converted light source that generates mid-infrared light, an excitation light source that emits excitation light having a first wavelength λ 1, A seed light source that emits seed light having a second wavelength λ 2 different from the wavelength λ 1 and a nonlinear optical crystal waveguide are provided, and the reflectance of the seed light is 70 at both end faces of the nonlinear optical crystal waveguide. % Of the reflection film is installed, and the excitation light emitted from the excitation light source is incident on the nonlinear optical crystal waveguide from one end of the nonlinear optical waveguide via a lens, and the seed light emitted from the seed light source Light enters the nonlinear optical crystal waveguide from the other end of the nonlinear optical waveguide via a lens and a mirror, and the mid-infrared light is generated by optical parametric oscillation in the nonlinear optical crystal waveguide. / Characterized in that it satisfies 1 -1 / λ 2 = 1 / λ 3 is the third mid-infrared light of wavelength lambda 3.

また、本発明の第2の態様は、第1の態様において、前記ミラーが、前記シード光に対して反射し、前記中赤外光に対して透過する特性を有することを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the mirror has a characteristic of reflecting the seed light and transmitting the mid-infrared light.

また、本発明の第3の態様は、第1の態様において、前記ミラーが、前記シード光に対して透過し、前記中赤外光に対して反射する特性を有することを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the first aspect, the mirror has a characteristic of transmitting the seed light and reflecting the mid-infrared light.

また、本発明の第4の態様は、第2又は第3の態様において、前記非線形光学結晶導波路のコア層に分極反転構造が施されていることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the second or third aspect, a polarization inversion structure is applied to a core layer of the nonlinear optical crystal waveguide.

また、本発明の第5の態様は、第4の態様において、前記コア層の材料がニオブ酸リチウムであることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect, the material of the core layer is lithium niobate.

また、本発明の第6の態様は、第2又は第3の態様において、前記励起光源および前記シード光源からの光はファイバを介して前記非線形光学結晶導波路に結合していることを特徴とする。   According to a sixth aspect of the present invention, in the second or third aspect, the light from the excitation light source and the seed light source is coupled to the nonlinear optical crystal waveguide through a fiber. To do.

本発明によれば、第1の波長λ1の励起光と第1の波長λ1と異なる第2の波長λ2のシード光とを非線形光学結晶導波路端の別方向から入射することにより、非線形光学結晶導波路に最適に第1の波長λ1及び第2の波長λ2の光を入射することが可能となる。これは、従来のバルク型結晶から導波路素子に置き換えることによる波長変換効率の向上とともに、結合損失の低下をもたらす。したがって、励起光源の出力を抑えて、消費電力の小さな波長変換光源が可能となる。 According to the present invention, by entering the first wavelength lambda 1 of the excitation light and the first wavelength lambda 1 and the second wavelength different from lambda 2 of the seed beam from another direction of the nonlinear optical crystal waveguide end, Light of the first wavelength λ 1 and the second wavelength λ 2 can be optimally incident on the nonlinear optical crystal waveguide. This leads to an improvement in wavelength conversion efficiency by replacing a conventional bulk crystal with a waveguide element, and a reduction in coupling loss. Therefore, the wavelength conversion light source with low power consumption can be achieved by suppressing the output of the excitation light source.

従来の光パラメトリック発振の構成図である。It is a block diagram of the conventional optical parametric oscillation. 導波路型の非線形光学結晶を用いた場合の従来の構成図である。It is the conventional block diagram at the time of using a waveguide type nonlinear optical crystal. 本発明の第1の実施形態にかかる波長変換光源の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the wavelength conversion light source concerning the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態にかかる波長変換光源の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the wavelength conversion light source concerning the 2nd Embodiment of this invention. 実施例1にかかる波長変換光源の構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a configuration of a wavelength conversion light source according to Example 1. FIG. 実施例2にかかる波長変換光源の構成を示す図である。6 is a diagram illustrating a configuration of a wavelength conversion light source according to Example 2. FIG. 実施例3にかかる波長変換光源の構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of a wavelength conversion light source according to a third example. 実施例4にかかる波長変換光源の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the wavelength conversion light source concerning Example 4. FIG.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。まず、第1及び第2の実施形態について説明し、その後に実施例を示す。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, the first and second embodiments will be described, followed by examples.

(第1の実施形態)
図3に、本発明の第1の実施形態にかかる波長変換光源の構成を示す。非線形光学結晶301に導波路302(以下「非線形光学結晶導波路」とも呼ぶ。)の構造が施されている。導波路302の両端面には、波長λ2(「第2の波長」に対応)に対して90%以上の反射率を有する第1の高反射率膜303及び70%以上の反射率を有する第2の高反射率膜304が施されている。波長λ1(「第1の波長」に対応)の励起光を発する励起光源305からの入射光は、ファイバ306から供給され、第1及び第2のレンズ307、308を介して、高反射率膜303を通して導波路302に結合されている。一方、波長λ2の信号光のシード光を発するシード光源309からの入射光は、ファイバ310から供給され、第3のレンズ311とミラー312を介して、高反射率膜304を通して導波路302に結合されている。ミラー312はシード光に対して反射し、中赤外光に対して透過をする特性を持っている。
(First embodiment)
FIG. 3 shows the configuration of the wavelength conversion light source according to the first embodiment of the present invention. The nonlinear optical crystal 301 is provided with a structure of a waveguide 302 (hereinafter also referred to as “nonlinear optical crystal waveguide”). Both end faces of the waveguide 302 have a first high-reflectivity film 303 having a reflectance of 90% or more with respect to the wavelength λ 2 (corresponding to the “second wavelength”) and a reflectance of 70% or more. A second high reflectivity film 304 is applied. Incident light from an excitation light source 305 that emits excitation light having a wavelength λ 1 (corresponding to “first wavelength”) is supplied from a fiber 306, and has high reflectivity via first and second lenses 307 and 308. Coupled to waveguide 302 through membrane 303. On the other hand, the incident light from the seed light source 309 that emits the seed light of the signal light having the wavelength λ 2 is supplied from the fiber 310 and passes through the third lens 311 and the mirror 312 to the waveguide 302 through the high reflectivity film 304. Are combined. The mirror 312 has a property of reflecting the seed light and transmitting the mid-infrared light.

入射された波長λ2のシード光は、導波路302の両端面の第1及び第2の高反射率膜303、304により反射を受けて導波路302内を往復する。第1の高反射率膜303から第2の高反射率膜304の方向へ進行する導波路内302の波長λ1の励起光により、同方向に進行する波長λ2のシード光が増幅作用を受ける。波長λ2のシード光において、第1及び第2の高反射率膜303、304における損失と導波路302の導波による導波損失との和を増幅が上回るときにレーザ発振が起こる。この信号光のレーザ発振に伴い、1/λ1−1/λ2=1/λ3をみたす高強度の波長λ3(「第3の波長」に対応)の中赤外光を取り出すことができる。このとき、波長λ3の中赤外光はミラー312を透過し、レンズ313を介して取り出す。 The incident seed light having the wavelength λ 2 is reflected by the first and second high reflectivity films 303 and 304 on both end faces of the waveguide 302 and reciprocates in the waveguide 302. The pumping light of wavelength λ 1 in the waveguide 302 traveling in the direction from the first high reflectance film 303 to the second high reflectance film 304 amplifies the seed light of wavelength λ 2 traveling in the same direction. receive. In the seed light having the wavelength λ 2 , laser oscillation occurs when the amplification exceeds the sum of the loss in the first and second high reflectivity films 303 and 304 and the waveguide loss due to the waveguide in the waveguide 302. Accompanying the laser oscillation of this signal light, the mid-infrared light having a high intensity wavelength λ 3 (corresponding to the “third wavelength”) satisfying 1 / λ 1 −1 / λ 2 = 1 / λ 3 can be extracted. it can. At this time, the mid-infrared light having the wavelength λ 3 passes through the mirror 312 and is extracted through the lens 313.

以上の第1の実施形態では、第1及び第2のレンズ307、308のファイバ306及び導波路302に対する設置位置により、最適に波長λ1の励起光を導波路302に結合可能である。一方、シード光源309からの光は、独立した第3のレンズ311により導波路302に結合され、シード光源309からの光と導波路302との結合のみを考慮して第3のレンズ311の位置を設置可能である。 In the first embodiment described above, the excitation light having the wavelength λ 1 can be optimally coupled to the waveguide 302 by the installation positions of the first and second lenses 307 and 308 with respect to the fiber 306 and the waveguide 302. On the other hand, the light from the seed light source 309 is coupled to the waveguide 302 by the independent third lens 311, and only the coupling between the light from the seed light source 309 and the waveguide 302 is taken into consideration. Can be installed.

なお、上述の構成では、励起光源およびシード光源からの光をファイバを介して導波路に結合しているが、ファイバを介さずに半導体LDチップからの出力をレンズを介して導波路に結合させてもよい。   In the above configuration, the light from the excitation light source and the seed light source is coupled to the waveguide through the fiber, but the output from the semiconductor LD chip is coupled to the waveguide through the lens without using the fiber. May be.

また、非線形光学結晶に周期的な分極反転を施してもよい。通常、励起光、シード光、中赤外光の3つの光の間には位相整合が取れず中赤外光の発生効率が低くなるが、分極反転構造を取ることにより擬似的に位相整合を満たす事が可能となり、非線形光学導波路内での中赤外光の発生効率が高まるという利点がある。   In addition, periodic polarization inversion may be applied to the nonlinear optical crystal. Normally, phase matching cannot be achieved between the three lights of excitation light, seed light, and mid-infrared light, resulting in low generation efficiency of mid-infrared light. There is an advantage that the generation efficiency of the mid-infrared light in the nonlinear optical waveguide is increased.

(第2の実施形態)
図4に、本発明の第2の実施形態にかかる波長変換光源の構成を示す。非線形光学結晶401に導波路402(以下「非線形光学結晶導波路」とも呼ぶ。)の構造が施されている。導波路402の両端面には波長λ2(「第2の波長」に対応)に対して90%以上の反射率を有する第1の高反射率膜403及び70%以上の反射率を有する第2の高反射率膜404が施されている。波長λ1(「第1の波長」に対応)の励起光を発する励起光源405からの入射光は、ファイバ406から供給され、第1及び第2のレンズ407、408を介して第1の高反射率膜403を通して導波路402に結合されている。一方、波長λ2の信号光のシード光を発するシード光源409からの入射光は、ファイバ410から供給され、第3のレンズ411、ミラー412、及び第4のレンズ413を介して、第2の高反射率膜404を通して導波路402に結合されている。ミラー412は、信号光に対して透過し、中赤外光に対して反射をする特性を持っている。
(Second Embodiment)
FIG. 4 shows a configuration of a wavelength conversion light source according to the second embodiment of the present invention. The nonlinear optical crystal 401 has a structure of a waveguide 402 (hereinafter also referred to as “nonlinear optical crystal waveguide”). The first high reflectivity film 403 having a reflectivity of 90% or more with respect to the wavelength λ 2 (corresponding to the “second wavelength”) and the first high reflectivity film having a reflectivity of 70% or more on both end faces of the waveguide 402 Two high reflectivity films 404 are provided. Incident light from an excitation light source 405 that emits excitation light having a wavelength λ 1 (corresponding to a “first wavelength”) is supplied from a fiber 406 and passed through first and second lenses 407, 408. It is coupled to the waveguide 402 through the reflectivity film 403. On the other hand, incident light from a seed light source 409 that emits seed light of signal light having a wavelength λ 2 is supplied from the fiber 410 and passes through the third lens 411, the mirror 412, and the fourth lens 413. Coupled to waveguide 402 through high reflectivity film 404. The mirror 412 has characteristics of transmitting signal light and reflecting mid-infrared light.

入射された波長λ2のシード光は、導波路402の両端面の第1及び第2の高反射率膜403、404により反射を受けて導波路402内を往復する。第1の高反射率膜403から第2の高反射率膜404の方向へ進行する導波路内402の波長λ1の励起光により、同方向に進行する波長λ2のシード光が増幅作用を受ける。波長λ2のシード光において、第1及び第2の高反射率膜403、404における損失と導波路402の導波による導波損失との和を増幅が上回るときにレーザ発振が起こる。このシード光のレーザ発振に伴い、1/λ1−1/λ2=1/λ3を満たす高強度の波長λ3(「第3の波長」に対応)の中赤外光を取り出すことができる。このとき、波長λ3の中赤外光はミラー413を反射して取り出す。 The incident seed light having the wavelength λ 2 is reflected by the first and second high reflectivity films 403 and 404 on both end faces of the waveguide 402 and reciprocates in the waveguide 402. The pumping light of wavelength λ 1 in the waveguide 402 traveling in the direction from the first high reflectance film 403 to the second high reflectance film 404 amplifies the seed light of wavelength λ 2 traveling in the same direction. receive. In the seed light of wavelength λ 2 , laser oscillation occurs when the amplification exceeds the sum of the loss in the first and second high reflectivity films 403 and 404 and the waveguide loss due to the waveguide of the waveguide 402. Accompanying the laser oscillation of the seed light, mid-infrared light having a high intensity wavelength λ 3 (corresponding to the “third wavelength”) satisfying 1 / λ 1 -1 / λ 2 = 1 / λ 3 can be extracted. it can. At this time, the mid-infrared light having the wavelength λ 3 is reflected by the mirror 413 and extracted.

以上の第2の実施形態では、第1及び第2のレンズ407、408のファイバ406及び導波路402に対する設置位置により最適に波長λ1の励起光を導波路402に結合可能である。一方、光源409からの光は、独立した第3及び第4のレンズ411、413により導波路402に結合され、シード光源409からの光と導波路402との結合のみを考慮して第3及び第4のレンズ411、413の位置を設置可能である。 In the second embodiment described above, the excitation light having the wavelength λ 1 can be optimally coupled to the waveguide 402 according to the installation positions of the first and second lenses 407 and 408 with respect to the fiber 406 and the waveguide 402. On the other hand, light from the light source 409 is coupled to the waveguide 402 by independent third and fourth lenses 411 and 413, and only the coupling between the light from the seed light source 409 and the waveguide 402 is considered. The positions of the fourth lenses 411 and 413 can be set.

なお、上述の構成では、励起光源およびシード光源からの光をファイバを介して導波路に結合しているが、ファイバを介さずに半導体LDチップからの出力をレンズを介して導波路に結合させてもよい。   In the above configuration, the light from the excitation light source and the seed light source is coupled to the waveguide through the fiber, but the output from the semiconductor LD chip is coupled to the waveguide through the lens without using the fiber. May be.

また、非線形光学結晶に周期的な分極反転を施してもよい。第1の実施形態と同様に、非線形光学導波路内での中赤外光の発生効率が高まるという利点がある。   In addition, periodic polarization inversion may be applied to the nonlinear optical crystal. Similar to the first embodiment, there is an advantage that the generation efficiency of mid-infrared light in the nonlinear optical waveguide is increased.

図5に、実施例1にかかる波長変換光源の構成を示す。本波長変換光源は第1の実施形態の一例である。導波路502を有し、周期的な分極反転を施したLiNbO3で構成された非線形光学結晶501を用意した。分極反転周期は28.4μmであり、導波路長は5cmであった。非線形光学結晶501の導波路両端面に、波長1550nmに対して高反射率の第1及び第2の高反射率膜503、504を施した。第1の高反射率膜503の1550nmでの反射率は99%、第2の高反射率膜504の1550nmでの反射率は70%であった。 FIG. 5 shows a configuration of the wavelength conversion light source according to the first embodiment. This wavelength conversion light source is an example of the first embodiment. A nonlinear optical crystal 501 having a waveguide 502 and composed of LiNbO 3 subjected to periodic polarization inversion was prepared. The polarization inversion period was 28.4 μm and the waveguide length was 5 cm. First and second high reflectivity films 503 and 504 having a high reflectivity with respect to a wavelength of 1550 nm were applied to both end faces of the waveguide of the nonlinear optical crystal 501. The reflectivity at 1550 nm of the first high reflectivity film 503 was 99%, and the reflectivity at 1550 nm of the second high reflectivity film 504 was 70%.

波長1064nmの励起光源505は、ファイバ506を出力ポートとして有する。励起光源505からの出力を、導波路502に、高反射率膜503の施してある側から、第1及び第2のレンズ507、508を介して結合した。このとき、ファイバ506と導波路502の光結合は1064nmだけを考慮すればよく、第1及び第2のレンズ507、508の焦点距離は色収差を考慮する必要がなく、波長1064nmの光に関してファイバ506内でのモード径と導波路502内でのモード径の比率を補償するように焦点距離比率を持つ第1及び第2のレンズ507、508を選定可能である。また、設置場所も波長による屈折角の違いを考慮する必要がなく1064nmにおいてのみ第1及び第2のレンズ507、508の設置位置を決定できるので、シード光を考慮する場合よりも効率よく1064nmの光を結合することが出来る。   An excitation light source 505 having a wavelength of 1064 nm has a fiber 506 as an output port. The output from the excitation light source 505 was coupled to the waveguide 502 through the first and second lenses 507 and 508 from the side where the high reflectance film 503 was applied. At this time, the optical coupling between the fiber 506 and the waveguide 502 only needs to consider 1064 nm, and the focal length of the first and second lenses 507 and 508 does not need to consider chromatic aberration, and the fiber 506 with respect to light having a wavelength of 1064 nm. The first and second lenses 507 and 508 having a focal length ratio can be selected so as to compensate the ratio between the mode diameter inside the waveguide and the mode diameter inside the waveguide 502. In addition, since the installation position of the first and second lenses 507 and 508 can be determined only at 1064 nm without considering the difference in refraction angle depending on the wavelength, the installation location is 1064 nm more efficiently than in the case of considering the seed light. Can combine light.

また、シード光源509には、波長1550nmの発振波長を持つ半導体レーザモジュールを用いた。シード光源509は、ファイバ510を出力ポートとして有する。シード光源509からの出力を、導波路502に、高反射率膜504の施してある側から最適に結合するように第3のレンズ511及びミラー512を設置した。ミラー512は、波長1550nmを反射し、3〜4μmの中赤外光を透過する特性を持つものを用いた。第2の高反射率膜504の施してある側の導波路502の端からの光軸上にミラー512を通して第3のレンズ513を配置し、中赤外光出力を測定した。   The seed light source 509 is a semiconductor laser module having an oscillation wavelength of 1550 nm. The seed light source 509 has a fiber 510 as an output port. A third lens 511 and a mirror 512 are installed so that the output from the seed light source 509 is optimally coupled to the waveguide 502 from the side where the high reflectance film 504 is applied. The mirror 512 used had a characteristic of reflecting a wavelength of 1550 nm and transmitting 3 to 4 μm of mid-infrared light. A third lens 513 was placed through the mirror 512 on the optical axis from the end of the waveguide 502 on the side on which the second high reflectance film 504 was applied, and the mid-infrared light output was measured.

励起光源505の出力強度が100mW付近で中赤外光出力を観測し始めた。励起光源505の出力強度が1Wにおいて中赤外光出力6mWを観測した。   The mid-infrared light output started to be observed when the output intensity of the excitation light source 505 was around 100 mW. A mid-infrared light output of 6 mW was observed when the output intensity of the excitation light source 505 was 1 W.

図6に、実施例2にかかる波長変換光源の構成を示す。本波長変換光源は第2の実施形態の一例である。導波路602を有し、周期的な分極反転を施したLiNbO3で構成された非線形光学結晶601を用意した。分極反転周期は28.4μmであり、導波路長は5cmであった。非線形光学結晶601の導波路両端面に、波長1550nmに対して高反射率の第1及び第2の高反射率膜603、604を施した。第1の高反射率膜603の1550nmでの反射率は99%、第2の高反射率膜604の1550nmでの反射率は80%であった。 FIG. 6 shows a configuration of a wavelength conversion light source according to the second embodiment. This wavelength conversion light source is an example of the second embodiment. A nonlinear optical crystal 601 having a waveguide 602 and composed of LiNbO 3 subjected to periodic polarization inversion was prepared. The polarization inversion period was 28.4 μm and the waveguide length was 5 cm. First and second high reflectivity films 603 and 604 having high reflectivity with respect to a wavelength of 1550 nm were applied to both end faces of the waveguide of the nonlinear optical crystal 601. The reflectivity at 1550 nm of the first high reflectivity film 603 was 99%, and the reflectivity at 1550 nm of the second high reflectivity film 604 was 80%.

波長1064nmの励起光源605は、ファイバ606を出力ポートとして有する。励起光源605からの出力を、導波路602に、第1の高反射率膜603の施してある側から最適に結合するように第1及び第2のレンズ607、608を設置した。   An excitation light source 605 having a wavelength of 1064 nm has a fiber 606 as an output port. First and second lenses 607 and 608 are installed so that the output from the excitation light source 605 is optimally coupled to the waveguide 602 from the side where the first high reflectance film 603 is applied.

また、シード光源609には、波長1550nmの発振波長を持つ半導体レーザモジュールを用いた。シード光源609は、ファイバ610を出力ポートとして有する。シード光源609からの出力を、導波路602に、第2の高反射率膜604の施してある側から最適に結合するように第3のレンズ611、ミラー612、及び第4のレンズ613を設置した。ミラー612は波長1550nmを透過し、3〜4μmの中赤外光を反射する特性を持つものを用いた。ミラー612で反射された中赤外光出力を測定した。   The seed light source 609 is a semiconductor laser module having an oscillation wavelength of 1550 nm. The seed light source 609 has a fiber 610 as an output port. A third lens 611, a mirror 612, and a fourth lens 613 are installed so that the output from the seed light source 609 is optimally coupled to the waveguide 602 from the side where the second high-reflectivity film 604 is applied. did. A mirror 612 having a characteristic of transmitting a wavelength of 1550 nm and reflecting mid-infrared light of 3 to 4 μm was used. The mid-infrared light output reflected by the mirror 612 was measured.

励起光源505の出力強度が90mW付近で中赤外光出力を観測し始めた。励起光源505の出力強度が1Wにおいて中赤外光出力4mWを観測した。   The mid-infrared light output started to be observed when the output intensity of the excitation light source 505 was around 90 mW. A mid-infrared light output of 4 mW was observed when the output intensity of the excitation light source 505 was 1 W.

図7に、実施例3にかかる波長変換光源の構成を示す。本波長変換光源は第1の実施形態の一例である。導波路702を有し、周期的な分極反転を施したLiNbO3で構成された非線形光学結晶701を用意した。分極反転周期は28.4μmで導波路長は5cmであった。非線形光学結晶701の導波路両端面に、波長1550nmに対して高反射率の第1及び第2の高反射率膜703、704を施した。第1の高反射率膜703の1550nmでの反射率は99%、第2の高反射率膜704の1550nmでの反射率は90%であった。 FIG. 7 shows a configuration of a wavelength conversion light source according to the third embodiment. This wavelength conversion light source is an example of the first embodiment. A nonlinear optical crystal 701 having a waveguide 702 and made of LiNbO 3 subjected to periodic polarization inversion was prepared. The polarization inversion period was 28.4 μm and the waveguide length was 5 cm. First and second high reflectivity films 703 and 704 having high reflectivity with respect to a wavelength of 1550 nm were applied to both end faces of the waveguide of the nonlinear optical crystal 701. The reflectivity at 1550 nm of the first high reflectivity film 703 was 99%, and the reflectivity at 1550 nm of the second high reflectivity film 704 was 90%.

波長1064nmの励起光源705は、分布帰還型の半導体レーザチップを用いた。励起光源705からの出力を、導波路702に、高反射率膜703の施してある側から最適に結合するように第1及び第2のレンズ706、707を設置した。   A distributed feedback type semiconductor laser chip was used as the excitation light source 705 having a wavelength of 1064 nm. First and second lenses 706 and 707 are installed so that the output from the excitation light source 705 is optimally coupled to the waveguide 702 from the side where the high reflectance film 703 is applied.

シード光源708には、波長1550nmの発振波長を持つ分布帰還型半導体レーザチップを用いた。また、シード光源708からの出力を、導波路702に、高反射率膜704の施してある側から最適に結合するように第3のレンズ709及びミラー710を設置した。ミラー710は、波長1550nmを反射し、3〜4μmの中赤外光を透過する特性を持つものを用いた。第2の高反射率膜704の施してある側の導波路702の端からの光軸上にミラー710を通して第3のレンズ711を配置し、中赤外光出力を測定した。   As the seed light source 708, a distributed feedback semiconductor laser chip having an oscillation wavelength of 1550 nm was used. In addition, a third lens 709 and a mirror 710 are installed so that the output from the seed light source 708 is optimally coupled to the waveguide 702 from the side where the high reflectance film 704 is applied. The mirror 710 used has a characteristic of reflecting a wavelength of 1550 nm and transmitting 3 to 4 μm of mid-infrared light. A third lens 711 was placed through the mirror 710 on the optical axis from the end of the waveguide 702 on the side where the second high reflectance film 704 was applied, and the mid-infrared light output was measured.

励起光源705の出力強度が60mW付近で中赤外光出力を観測し始めた。励起光源705の出力強度が800mWにおいて中赤外光出力4mWを観測した。   The mid-infrared light output started to be observed when the output intensity of the excitation light source 705 was around 60 mW. A mid-infrared light output of 4 mW was observed when the output intensity of the excitation light source 705 was 800 mW.

図8に、実施例4にかかる波長変換光源の構成を示す。本波長変換光源は第2の実施形態の一例である。導波路802を有し、周期的な分極反転を施したLiNbO3で構成された非線形光学結晶801を用意した。分極反転周期は28.4μmで導波路長は5cmであった。非線形光学結晶801の導波路両端面に、波長1550に対して高反射率の第1及び第2の高反射率膜803、804を施した。第1の高反射率膜803の1550nmでの反射率は99%、第2の高反射率膜804の1550nmでの反射率は70%であった。 FIG. 8 shows a configuration of a wavelength conversion light source according to the fourth embodiment. This wavelength conversion light source is an example of the second embodiment. A nonlinear optical crystal 801 having a waveguide 802 and made of LiNbO 3 subjected to periodic polarization inversion was prepared. The polarization inversion period was 28.4 μm and the waveguide length was 5 cm. First and second high reflectivity films 803 and 804 having high reflectivity with respect to the wavelength 1550 were applied to both end faces of the waveguide of the nonlinear optical crystal 801. The reflectivity at 1550 nm of the first high reflectivity film 803 was 99%, and the reflectivity at 1550 nm of the second high reflectivity film 804 was 70%.

波長1064nmの励起光源805は、分布帰還型の半導体レーザチップを用いた。励起光源805からの出力を、導波路802に、高反射率膜803の施してある側から最適に結合するように第1及び第2のレンズ806、807を設置した。   A distributed feedback semiconductor laser chip was used as the excitation light source 805 having a wavelength of 1064 nm. First and second lenses 806 and 807 are installed so that the output from the excitation light source 805 is optimally coupled to the waveguide 802 from the side where the high reflectance film 803 is applied.

シード光源808には、波長1550nmの発振波長を持つ分布帰還型半導体レーザチップを用いた。また、シード光源808からの出力を、導波路802に、高反射率膜804の施してある側から最適に結合するように第3のレンズ809、ミラー810、及び第4のレンズ811を設置した。ミラー810は波長1550nmを透過し、3〜4μmの中赤外光を反射する特性を持つものを用いた。ミラー810で反射された中赤外光出力を測定した。   As the seed light source 808, a distributed feedback semiconductor laser chip having an oscillation wavelength of 1550 nm was used. In addition, a third lens 809, a mirror 810, and a fourth lens 811 are installed so that the output from the seed light source 808 is optimally coupled to the waveguide 802 from the side where the high reflectance film 804 is provided. . A mirror 810 having a characteristic of transmitting a wavelength of 1550 nm and reflecting mid-infrared light of 3 to 4 μm was used. The mid-infrared light output reflected by the mirror 810 was measured.

励起光源805の出力強度が120mW付近で中赤外光出力を観測し始めた。励起光源805の出力強度が1Wにおいて中赤外光出力12mWを観測した。   The mid-infrared light output began to be observed when the output intensity of the excitation light source 805 was around 120 mW. A mid-infrared light output of 12 mW was observed when the output intensity of the excitation light source 805 was 1 W.

302、402、502、602、702、802 非線形光学結晶導波路
303、304、403、404、503、504、603、604、703、704、803、804 高反射率膜
306、310、406、410、506、510、606、610 ファイバ
307、308、311、313、407、408、411、413、507、508、511、513、607、608、611、613、706、707、709、711、806、807、809、811 レンズ
305、405、505、605、705、805 励起光源
309、409、509、609、708、808 シード光源
301、401、501、601、701、801 非線形光学結晶
302, 402, 502, 602, 702, 802 Nonlinear optical crystal waveguides 303, 304, 403, 404, 503, 504, 603, 604, 703, 704, 803, 804 High reflectivity films 306, 310, 406, 410 , 506, 510, 606, 610 Fiber 307, 308, 311, 313, 407, 408, 411, 413, 507, 508, 511, 513, 607, 608, 611, 613, 706, 707, 709, 711, 806 , 807, 809, 811 Lens 305, 405, 505, 605, 705, 805 Excitation light source 309, 409, 509, 609, 708, 808 Seed light source 301, 401, 501, 601, 701, 801 Nonlinear optical crystal

Claims (6)

中赤外光を発生する波長変換光源において、
第1の波長λ1の励起光を発する励起光源と、
前記第1の波長λ1と異なる第2の波長λ2のシード光を発するシード光源と、
非線形光学結晶導波路と
を備え、
前記非線形光学結晶導波路の両端面に、前記シード光に対して反射率が70%以上の反射膜が設置されており、
前記励起光源が発する前記励起光は、前記非線形光学導波路の一端からレンズを介して前記非線形光学結晶導波路に入射され、
前記シード光源が発する前記シード光は、前記非線形光学導波路の他端からレンズ及びミラーを介して前記非線形光学結晶導波路に入射され、
前記中赤外光は、前記非線形光学結晶導波路において光パラメトリック発振によって発生する、1/λ1−1/λ2=1/λ3を満たす第3の波長λ3の中赤外光であることを特徴とする波長変換光源。
In the wavelength conversion light source that generates mid-infrared light,
An excitation light source that emits excitation light of a first wavelength λ 1 ;
A seed light source that emits seed light having a second wavelength λ 2 different from the first wavelength λ 1 ;
A non-linear optical crystal waveguide,
Reflective films having a reflectance of 70% or more with respect to the seed light are disposed on both end faces of the nonlinear optical crystal waveguide,
The excitation light emitted from the excitation light source is incident on the nonlinear optical crystal waveguide through a lens from one end of the nonlinear optical waveguide,
The seed light emitted from the seed light source is incident on the nonlinear optical crystal waveguide from the other end of the nonlinear optical waveguide via a lens and a mirror,
The mid-infrared light is mid-infrared light of the third wavelength λ 3 that is generated by optical parametric oscillation in the nonlinear optical crystal waveguide and satisfies 1 / λ 1 −1 / λ 2 = 1 / λ 3. A wavelength conversion light source characterized by that.
前記ミラーは、前記シード光に対して反射し、前記中赤外光に対して透過する特性を有することを特徴とする請求項1に記載の波長変換光源。   The wavelength conversion light source according to claim 1, wherein the mirror has a characteristic of reflecting the seed light and transmitting the mid-infrared light. 前記ミラーは、前記シード光に対して透過し、前記中赤外光に対して反射する特性を有することを特徴とする請求項1に記載の波長変換光源。   The wavelength conversion light source according to claim 1, wherein the mirror has a characteristic of transmitting the seed light and reflecting the mid-infrared light. 前記非線形光学結晶導波路のコア層に分極反転構造が施されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の波長変換光源。   4. The wavelength conversion light source according to claim 2, wherein a polarization inversion structure is applied to a core layer of the nonlinear optical crystal waveguide. 前記コア層の材料は、ニオブ酸リチウムであることを特徴とする請求項4に記載の波長変換光源。   The wavelength conversion light source according to claim 4, wherein a material of the core layer is lithium niobate. 前記励起光源および前記シード光源からの光はファイバを介して前記非線形光学結晶導波路に結合していることを特徴とする請求項2又は3に記載の波長変換光源。   4. The wavelength conversion light source according to claim 2, wherein light from the excitation light source and the seed light source is coupled to the nonlinear optical crystal waveguide through a fiber.
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