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JP2011108710A - Semiconductor package - Google Patents

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JP2011108710A
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semiconductor package
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semiconductor
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Junichi Kasai
純一 河西
Masao Sakuma
正夫 佐久間
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Sklink
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SK LINK KK
Sklink
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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】
半導体パッケージの構成部材および組立工程数を減らすことにより半導体パッケージの組立費用を大幅に低減し、さらには半導体パッケージの厚さを薄化することが可能となり、10段重ねのPOPとした場合でも1ミリメートル以下の厚さを達成する半導体パッケージを提供できるようにする。
【解決手段】
従来の半導体パッケージの構成部材であるリードフレーム、サブストレート、および、ワイヤーと接着剤を不要とし、半導体パッケージの薄化を可能としたことを特徴とするものである。
【選択図】 図2
【Task】
By reducing the number of components of the semiconductor package and the number of assembly steps, the assembly cost of the semiconductor package can be greatly reduced, and the thickness of the semiconductor package can be reduced. It is possible to provide a semiconductor package that achieves a thickness of a millimeter or less.
[Solution]
A lead frame, a substrate, a wire, and an adhesive, which are constituent members of a conventional semiconductor package, are unnecessary, and the semiconductor package can be thinned.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は半導体パッケージに関するものである。       The present invention relates to a semiconductor package.

従来、金属のリードフレームを外部電極に使用する半導体パッケージの構造として、
半導体チップの外部端子(パッド)と2次実装に使用される外部電極(リードフレーム)は金属のワイヤーで接続されており、外部電極を除いた部分は樹脂で覆われている。
Conventionally, as a structure of a semiconductor package using a metal lead frame as an external electrode,
An external terminal (pad) of the semiconductor chip and an external electrode (lead frame) used for secondary mounting are connected by a metal wire, and a portion excluding the external electrode is covered with a resin.

このように構成された半導体パッケージは単体でプリント基板に実装されて使用され、実装スペースは半導体パッケージの平面的面積が必要となり実装密度を高めることはできない。また、リードフレームを使用し金属ワイヤー接続を必要とすることからパッケージ組立て費用は高価となる。       The semiconductor package thus configured is used by being mounted on a printed circuit board as a single unit, and the mounting space requires a planar area of the semiconductor package, and the mounting density cannot be increased. Further, since a lead frame is used and a metal wire connection is required, the package assembly cost is high.

また、従来の半導体パッケージではパッケージを縦型に積み重ねて1つのシステムとするパッケージオンパッケージ(POP)の構造がある。POPに使用されるパッケージはボールグリッドアレイ(BGA)タイプが主流であるがその構造は、サブストレート(配線基板)の上に半導体チップを搭載しサブストレート上に被着された配線と半導体チップ上のパッドを金属ワイヤーで接続し樹脂で覆われている、なお、サブストレート上の配線からサブストレート下面に設けられたボール(半導体パッケージの外部電極)へ電気的に接続されている。       A conventional semiconductor package has a package on package (POP) structure in which packages are stacked vertically to form one system. The ball grid array (BGA) type is the mainstream package used for POPs, but the structure is such that the semiconductor chip is mounted on the substrate (wiring board) and the wiring is deposited on the substrate and the semiconductor chip. These pads are connected with a metal wire and covered with a resin. The wiring on the substrate is electrically connected to a ball (an external electrode of the semiconductor package) provided on the lower surface of the substrate.

このように構成された半導体パッケージは複数の高価な構成部材が必要であり、また、パッケージの厚さも複数の構成部材を使用するため厚くなる(0.5mm以上)ことからPOPとした場合でも2段重ねまでの構造が主流である。       The semiconductor package configured as described above requires a plurality of expensive components, and the thickness of the package becomes thick because a plurality of components are used (0.5 mm or more). The structure up to the stack is the mainstream.

前述のごとく従来の半導体パッケージでは複数の構成部材が必要であり、組立工程も複雑であることから高価なものとなっている。また従来の半導体パッケージを使用して実装密度を高めるためにはBGAを積み重ねたPOPの構造となるが、BGAのパッケージを2段に積み重ねるのが実用上の限界であり、期待されるほどの実装密度は達成されていない。本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、構成部材および組立工程数を減らすことにより半導体パッケージの組立費用を大幅に低減し、さらには半導体パッケージの厚さを薄化することが可能となり、10段重ねのPOPとした場合でも1ミリメートル以下の厚さを達成する半導体パッケージを提供することを目的とする。       As described above, the conventional semiconductor package requires a plurality of components and is complicated because the assembly process is complicated. In order to increase the mounting density using a conventional semiconductor package, a POP structure in which BGAs are stacked is used. However, stacking BGA packages in two stages is a practical limit and mounting as expected. Density has not been achieved. The present invention has been made in view of the above points, and by reducing the number of constituent members and the number of assembly steps, the assembly cost of the semiconductor package can be greatly reduced, and further the thickness of the semiconductor package can be reduced. An object of the present invention is to provide a semiconductor package that can achieve a thickness of 1 millimeter or less even when a 10-layer POP is formed.

本発明は、上記の課題を解決するために、次に述べる手段を講じたことを特徴とするものである。請求項1の発明は、半導体パッケージにおいて半導体チップの周囲を電気的絶縁材料にてパッケージングする際に平面的に見て半導体チップの大きさよりも広範囲にパッケージングし、半導体チップの範囲外のパッケージ部にパッケージの表裏を貫通する孔を設け、当該孔の壁面に金属膜を被着しパッケージの表裏を孔の壁面によって電気的に導通し外部電極とする構造をもつことを要旨とする。従って従来の半導体パッケージ構造に使用されているリードフレーム又はサブストレートが不要となる。       The present invention is characterized by taking the following means in order to solve the above-mentioned problems. According to the first aspect of the present invention, when packaging the periphery of a semiconductor chip with an electrically insulating material in a semiconductor package, the package is packaged in a wider range than the size of the semiconductor chip in plan view, and the package is outside the range of the semiconductor chip. The gist of the present invention is to provide a structure in which a hole penetrating the front and back of the package is provided in the part, a metal film is attached to the wall surface of the hole, and the front and back of the package are electrically connected to each other by the wall surface of the hole. Therefore, the lead frame or substrate used in the conventional semiconductor package structure becomes unnecessary.

請求項2の発明は、半導体パッケージにおいて半導体チップの周囲を電気的絶縁材料にてパッケージングする際に平面的に見て半導体チップの大きさよりも広範囲にパッケージングし、半導体チップの範囲外のパッケージ部にパッケージの表裏を貫通する孔を設け、当該孔に導電性の材料を埋め込みパッケージの表裏を孔の内部に埋め込んだ導電性材料によって電気的に導通し外部電極とする構造をもつこと要旨とする。従って従来の半導体パッケージ構造に使用されているリードフレーム又はサブストレートが不要となる。       According to a second aspect of the present invention, when packaging the periphery of a semiconductor chip with an electrically insulating material in a semiconductor package, the package is packaged in a wider range than the size of the semiconductor chip in plan view, and the package is outside the range of the semiconductor chip. A hole that penetrates the front and back of the package in the part, and a conductive material is embedded in the hole, and the structure is electrically connected by the conductive material embedded in the front and back of the package to form an external electrode. To do. Therefore, the lead frame or substrate used in the conventional semiconductor package structure becomes unnecessary.

請求項3の発明は、半導体パッケージにおいて半導体チップ表面の電極パッドに導電性のポストを形成し当該ポストの一部をパッケージの表面に露出させ、当該露出部と請求項1および請求項2に記載された外部電極をパッケージの表面に被着された配線によって電気的に導通させたことを要旨とする。従って従来の半導体パッケージ構造に使用されている金属ワイヤーを使用しないため、半導体パッケージの部材数及び組立工程数を低減することが可能となり大幅にコストダウンすることができる。       According to a third aspect of the present invention, in the semiconductor package, a conductive post is formed on the electrode pad on the surface of the semiconductor chip, a part of the post is exposed on the surface of the package, and the exposed portion and the first and second aspects are described. The gist is that the external electrodes thus made are electrically connected by wirings attached to the surface of the package. Therefore, since the metal wire used in the conventional semiconductor package structure is not used, the number of members of the semiconductor package and the number of assembly steps can be reduced, and the cost can be greatly reduced.

請求項4の発明は、半導体パッケージの表裏を貫通した孔の壁面に被着する金属膜を、イオンプレーティング法により形成したその金属膜の結晶状態が不定形(アモルファスなど)であることを要旨とする。イオンプレーティング法であれば貫通孔の壁面に金属膜を被着することが容易であり、被着した金属膜の密着強度は印刷法やメッキ法によって被着された金属膜よりも強力である。       The invention of claim 4 is that the metal film deposited on the wall surface of the hole penetrating the front and back surfaces of the semiconductor package is formed by ion plating, and the crystal state of the metal film is indefinite (such as amorphous). And With the ion plating method, it is easy to deposit a metal film on the wall surface of the through hole, and the adhesion strength of the deposited metal film is stronger than the metal film deposited by the printing method or the plating method. .

請求項5の発明は、半導体パッケージの表面に被着する配線材料をイオンプレーティング法により形成したその金属膜の結晶状態が不定形(アモルファスなど)であることを要旨とする。イオンプレーティング法であればパッケージの表面に金属膜を被着することが容易であり、被着した金属膜の密着強度は印刷法やメッキ法によって被着された金属膜よりも強力である。       The gist of the invention of claim 5 is that the crystalline state of the metal film formed by ion plating of the wiring material to be deposited on the surface of the semiconductor package is indefinite (such as amorphous). With the ion plating method, it is easy to deposit a metal film on the surface of the package, and the adhesion strength of the deposited metal film is stronger than the metal film deposited by a printing method or a plating method.

請求項1および請求項2に記載の発明によれば、半導体チップとパッケージの外縁部の間に2次実装用の外部電極を設けるため、パッケージの外側に突出する外部リードが不要となる。このために従来の半導体パッケージに必要であった金属リードフレームおよびサブストレートが不要となり、半導体パッケージを構成する部材数および組立工程数の低減がなされ大幅なコストダウンを達成する、とともにリードフレームおよびサブストレートを使用しないためパッケージ厚さの薄化(半導体パッケージ厚さ0.1ミリメートル以下)が可能となる。       According to the first and second aspects of the present invention, since the external electrode for secondary mounting is provided between the semiconductor chip and the outer edge of the package, the external lead protruding outside the package becomes unnecessary. This eliminates the need for the metal lead frame and substrate that were required for conventional semiconductor packages, reduces the number of members and assembly processes that make up the semiconductor package, and achieves significant cost reductions. Since the straight is not used, the package thickness can be reduced (the semiconductor package thickness is 0.1 mm or less).

請求項3に記載の発明によれば、従来の半導体パッケージの構成に不可欠であった金属ワイヤーが不要となる。このために従来の半導体パッケージに比較し、半導体パッケージを構成する部材数および組立工程数の低減がなされ大幅なコストダウンを達成する。 According to invention of Claim 3, the metal wire which was indispensable for the structure of the conventional semiconductor package becomes unnecessary. For this reason, compared with the conventional semiconductor package, the number of members constituting the semiconductor package and the number of assembly processes are reduced, and a significant cost reduction is achieved.

請求項4に記載の発明によれば、半導体パッケージの表裏を貫通した孔の壁面に金属膜をイオンプレーティング法によって被着するが、イオンプレーティング法により被着された金属膜の密着強度は、印刷法やメッキ法によって被着された金属膜よりも強力であり信頼性の高い半導体パッケージを提供することが可能となる。       According to the invention described in claim 4, the metal film is deposited on the wall surface of the hole penetrating the front and back of the semiconductor package by the ion plating method. The adhesion strength of the metal film deposited by the ion plating method is It is possible to provide a semiconductor package that is stronger and more reliable than a metal film deposited by a printing method or a plating method.

請求項5に記載の発明によれば、パッケージの表面に被着する配線材料をイオンプレーティング法により被着するが、イオンプレーティング法により被着された金属膜の密着強度は、印刷法やメッキ法によって被着された金属膜よりも強力であり信頼性の高い半導体パッケージを提供することが可能となる。さらにはイオンプレーティング法であれば配線のラインアンドスペース(線幅と線間の距離)を、従来の印刷法に比較して微細化が可能となる。       According to the invention described in claim 5, the wiring material to be deposited on the surface of the package is deposited by the ion plating method. The adhesion strength of the metal film deposited by the ion plating method is determined by the printing method or It is possible to provide a semiconductor package that is stronger and more reliable than a metal film deposited by plating. Furthermore, if the ion plating method is used, the line and space (the line width and the distance between the lines) of the wiring can be miniaturized as compared with the conventional printing method.

本発明に係わる半導体パッケージの例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of the semiconductor package concerning this invention. 本発明に係わる半導体パッケージの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the semiconductor package concerning this invention. 本発明に係わる半導体パッケージにてPOPシステムを構成した図である。It is the figure which comprised the POP system with the semiconductor package concerning this invention. 本発明に係わる半導体パッケージの組立工程の実施例を示す図である。It is a figure which shows the Example of the assembly process of the semiconductor package concerning this invention. リードフレームを使用した半導体パッケージの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the semiconductor package which uses a lead frame. サブストレートを使用した半導体パッケージの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the semiconductor package which uses a substrate. 従来のパッケージにてPOPシステムを構成した図であるIt is the figure which comprised the POP system with the conventional package.

本発明による半導体パッケージ1は、半導体チップ2、パッケージング樹脂3、表裏貫通孔4、孔壁面被着膜5、電極パッド6、ポスト7、配線8、外部電極9から構成される。     The semiconductor package 1 according to the present invention includes a semiconductor chip 2, packaging resin 3, front and back through-holes 4, hole wall surface coating films 5, electrode pads 6, posts 7, wirings 8, and external electrodes 9.

半導体チップ2に設けられた電極パッド6には導電性のポスト7が立てられており、半導体チップ2の回路のない背面が露出するようにパッケージング樹脂3によってパッケージされている、このときポスト7の一部はパッケージの表面から露出している。       A conductive post 7 is erected on the electrode pad 6 provided on the semiconductor chip 2 and is packaged with the packaging resin 3 so that the back surface without the circuit of the semiconductor chip 2 is exposed. At this time, the post 7 A part of is exposed from the surface of the package.

パッケージング樹脂3は平面的に半導体チップ2の大きさよりも相当大きい範囲をパッケージしており、半導体チップ2とパッケージの端部との間には表裏貫通孔4が設けられ、当該貫通孔の内面には導電性材料により孔壁面被着膜5が被着されている。また、当該貫通孔に導電性材料を埋め込むことでも同じ効果が得られる。       The packaging resin 3 is packaged in a range that is considerably larger than the size of the semiconductor chip 2 in plan view, and a front and back through hole 4 is provided between the semiconductor chip 2 and the end of the package, and the inner surface of the through hole The hole wall surface coating film 5 is deposited on a conductive material. The same effect can be obtained by embedding a conductive material in the through hole.

表裏貫通孔4の表側の縁と裏側の縁には孔壁面被着膜5を介して電気的に導通するようになされた導電性の材料にて外部電極9を設けており、導電性材料を被着した配線8によってポスト7と外部電極9は電気的に結ばれている。 External electrodes 9 are provided on the front and back edges of the front and back through-holes 4 with a conductive material that is electrically connected through the hole wall surface coating film 5. The post 7 and the external electrode 9 are electrically connected by the deposited wiring 8.

本発明による半導体パッケージ1の製造方法の1実施例としては、枠21に張力をもった状態(弛みのない状態)で粘着テープ22を貼り付けておき、粘着テープ22へ、ポスト7を形成し終え且つ個片化された半導体チップ2を搭載する。このとき半導体チップ2は粘着テープ22に接着固定されており、隣接するチップ同士の距離は少なくとも半導体パッケージ1の外形サイズより大きくする。       As one embodiment of the method of manufacturing the semiconductor package 1 according to the present invention, the adhesive tape 22 is attached to the frame 21 in a tensioned state (no slack), and the post 7 is formed on the adhesive tape 22. The finished and separated semiconductor chip 2 is mounted. At this time, the semiconductor chip 2 is bonded and fixed to the adhesive tape 22, and the distance between adjacent chips is at least larger than the outer size of the semiconductor package 1.

さらに、半導体チップ2及びポスト7をパッケージング樹脂3で覆いつくし、樹脂の硬化後に枠21および粘着テープ22を取り去りポスト7の一部が露出するまで表面を削り取る。       Further, the semiconductor chip 2 and the post 7 are covered with the packaging resin 3, and after the resin is cured, the frame 21 and the adhesive tape 22 are removed, and the surface is scraped until a part of the post 7 is exposed.

その後、外部電極9の位置にパッケージの表裏貫通孔4を設け、孔壁面被着膜5、配線8、外部電極9をイオンコーティングにて形成する。       Thereafter, the front and back through-holes 4 of the package are provided at the position of the external electrode 9, and the hole wall surface film 5, wiring 8, and external electrode 9 are formed by ion coating.

さらに、隣接する半導体チップ2の間にて各々を切り離すことにより半導体パッケージ1が完成する。       Further, the semiconductor package 1 is completed by separating each of the adjacent semiconductor chips 2.

本発明による半導体パッケージ1の構造は従来の半導体パッケージ(図4および図5)に比較してリードフレームやサブストレートが不要となるため構成部材が少なくなっており1/5以下への薄型化が可能となる、また、ワイヤーボンディングの工程が不要となり大幅なコストの低減と信頼性の向上を実現することができる。 The structure of the semiconductor package 1 according to the present invention eliminates the need for a lead frame and a substrate as compared with the conventional semiconductor package (FIGS. 4 and 5), so that the number of components is reduced and the thickness can be reduced to 1/5 or less. In addition, the wire bonding process is not required, and the cost can be greatly reduced and the reliability can be improved.

1 本発明による半導体パッケージ
2 半導体チップ
3 パッケージング樹脂
4 表裏貫通孔
5 孔壁面被着膜
6 電極パッド
7 ポスト
8 配線
9 外部電極
10 リードフレーム
11 ワイヤー
12 ステージ
13 接着剤
14 サブストレート
15 実装用半田ボール
16 パッケージ範囲
17 個片化された本発明による半導体パッケージ
18 10段重ねPOP
19 2段重ねPOP
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor package 2 Semiconductor chip 3 Packaging resin 4 Front and back through-hole 5 Hole wall surface coating film 6 Electrode pad 7 Post 8 Wiring 9 External electrode 10 Lead frame 11 Wire 12 Stage 13 Adhesive 14 Substrate 15 Solder for mounting Ball 16 Package range 17 Separated semiconductor package 18 according to the present invention 10 10-layer POP
19 Two-tiered POP

Claims (5)

半導体チップの周囲を電気的絶縁材料にてパッケージングする際に平面的に見て半導体チップの大きさよりも広範囲にパッケージングし、半導体チップの範囲外のパッケージ部にパッケージの表裏を貫通する孔を設け、当該孔の壁面に金属膜を被着しパッケージの表裏を孔の壁面によって電気的に導通し外部電極とする構造をもつことを特徴とする半導体パッケージ。       When packaging the periphery of a semiconductor chip with an electrically insulating material, it is packaged in a wider range than the size of the semiconductor chip in plan view, and a hole that penetrates the front and back of the package is formed in the package part outside the range of the semiconductor chip. A semiconductor package having a structure in which a metal film is attached to a wall surface of the hole and the front and back surfaces of the package are electrically connected to each other by the wall surface of the hole to form an external electrode. 半導体チップの周囲を電気的絶縁材料にてパッケージングする際に平面的に見て半導体チップの大きさよりも広範囲にパッケージングし、半導体チップの範囲外のパッケージ部にパッケージの表裏を貫通する孔を設け、当該孔に導電性の材料を埋め込みパッケージの表裏を孔の内部に埋め込んだ導電性材料によって電気的に導通し外部電極とする構造をもつことを特徴とする半導体パッケージ。       When packaging the periphery of a semiconductor chip with an electrically insulating material, it is packaged in a wider range than the size of the semiconductor chip in plan view, and a hole that penetrates the front and back of the package is formed in the package part outside the range of the semiconductor chip. A semiconductor package having a structure in which a conductive material is provided in the hole and electrically connected by a conductive material in which the front and back surfaces of the package are embedded in the hole to form an external electrode. 請求項1及び請求項2に記載された半導体チップ表面の電極パッドに導電性のポストを形成し当該ポストの一部をパッケージの表面に露出させ、当該露出部と請求項1および請求項2に記載された外部電極をパッケージの表面に被着された配線によって電気的に導通させたことを特徴とする半導体パッケージ。       A conductive post is formed on the electrode pad on the surface of the semiconductor chip described in claim 1 and claim 2, and a part of the post is exposed on the surface of the package. The exposed portion and claim 1 and claim 2 A semiconductor package characterized in that the described external electrode is electrically connected by wiring attached to the surface of the package. 請求項1においてパッケージの表裏を貫通した孔の壁面に被着する金属膜をイオンプレーティング法により形成したその金属膜の結晶状態が不定形(アモルファスなど)であることを特徴とする半導体パッケージ。       2. The semiconductor package according to claim 1, wherein the metal film deposited on the wall surface of the hole penetrating the front and back surfaces of the package is formed by an ion plating method, and the crystal state of the metal film is indefinite (such as amorphous). 請求項3においてパッケージの表面に被着する配線材料をイオンプレーティング法により形成したその金属膜の結晶状態が不定形(アモルファスなど)であることを特徴とする半導体パッケージ。       4. The semiconductor package according to claim 3, wherein a crystal state of the metal film formed by ion plating of a wiring material to be deposited on the surface of the package is indefinite (such as amorphous).
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