JP2011168363A - 基板搬送装置及び基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のローラを用い、ローラの基板への接触面積を増加させることなく、基板の搬送を安定して行う。
【解決手段】基板移動方向に所定の間隔で設けた複数の第１のローラ２０に基板１を搭載し、複数の第１のローラ２０を回転して、基板１を基板移動方向へ移動しながら、複数の第１のローラ２０により移動される基板１の下面を複数の第２のローラ１０で支持し、複数の第２のローラ１０を、複数の第１のローラ２０により移動される基板１と共に基板移動方向へ移動する。第１のローラ間で発生する基板１の変形が、第２のローラにより抑制され、第１のローラ及び第２のローラを合わせたローラの基板１への接触面積を増加させることなく、基板１の搬送が安定して行われる。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、基板の搬送を行う基板搬送装置及び基板搬送方法に係り、特に、基板移動方向に所定の間隔で設けられた複数のローラを備え、基板を複数のローラに搭載して移動する基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。

表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造工程では、基板上に回路パターンやカラーフィルタ等を形成するため、基板の露光、現像、エッチング、剥離等の処理が行われる。また、現像、エッチング、剥離等の薬液処理の前又は後には、純水等の洗浄液を用いた基板の洗浄、及び洗浄後の基板の乾燥が行われる。これらの一連の処理を行うため、基板搬送装置により、基板が露光装置、基板処理装置、基板洗浄装置又は基板乾燥装置へ搬送される。

表示用パネル基板を搬送する基板搬送装置は、基板移動方向に所定の間隔で設けられた複数のローラを備え、基板を複数のローラに搭載して移動するものが一般的である。この様な基板の搬送装置として、特許文献１に記載のものがある。

特開平１０−２６５０１８号公報

近年の表示用パネルの大画面化に伴い、基板のサイズは、大型化及び薄型化している。そのため、基板搬送装置により基板を搬送する際、所定の間隔で設けられたローラ間で、基板の自重による変形が生じ、基板に余分なストレスが掛かり、また基板の先端が次のローラに乗らずに基板が落下する恐れが出てきた。これを避けるためには、ローラの間隔を狭くする必要があるが、ローラの間隔を狭くすると、ローラの数が増えてローラの基板への接触面積が増加し、ローラに付いた塵等の異物が基板の下面に付着する機会が増えるという問題があった。

また、表示用パネルの多品種化に伴って、基板のサイズも多様化し、サイズが大幅に異なる基板を搬送する際は、ローラの間隔を変更する必要がある。ローラの間隔を変更する手間を省くため、始めからローラの間隔を狭くすると、上述の様に、塵等の異物が基板の下面に付着する機会が増えるという問題があった。

本発明の課題は、複数のローラを用い、ローラの基板への接触面積を増加させることなく、基板の搬送を安定して行うことである。また、本発明の課題は、複数のローラを用い、ローラの間隔を変更することなく、異なったサイズの基板の搬送を安定して行うことである。

本発明の基板搬送装置は、基板移動方向に所定の間隔で設けられ、基板を搭載しながら回転して、基板を基板移動方向へ移動する複数の第１のローラと、複数の第１のローラにより移動される基板の下面を支持する複数の第２のローラと、複数の第２のローラを、複数の第１のローラにより移動される基板と共に基板移動方向へ移動する移動手段とを備えたものである。

また、本発明の基板搬送方法は、基板移動方向に所定の間隔で設けた複数の第１のローラに基板を搭載し、複数の第１のローラを回転して、基板を基板移動方向へ移動しながら、複数の第１のローラにより移動される基板の下面を、複数の第２のローラで支持し、複数の第２のローラを、複数の第１のローラにより移動される基板と共に基板移動方向へ移動するものである。

複数の第１のローラにより移動される基板の下面を、複数の第２のローラで支持し、複数の第２のローラを、複数の第１のローラにより移動される基板と共に基板移動方向へ移動するので、第１のローラ間で発生する基板の変形が、第２のローラにより抑制される。従って、第１のローラ及び第２のローラを合わせたローラの基板への接触面積を増加させることなく、基板の搬送が安定して行われる。また、基板のサイズが異なっても、第１のローラの間隔を変更することなく、異なったサイズの基板の搬送が安定して行われる。

さらに、本発明の基板搬送装置は、複数の第１のローラにより移動される基板の下面に対し、上向きに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズルを備え、移動手段が、複数のエアノズルを、複数の第２のローラと一緒に移動するものである。また、本発明の基板搬送方法は、複数の第１のローラにより移動される基板の下面に対し、上向きに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズルを設け、複数のエアノズルを、複数の第２のローラと一緒に移動するものである。エアノイズから基板の下面に対して上向きに吹き付けた圧縮空気により、第１のローラ間で発生する基板の変形がさらに抑制され、基板の搬送がさらに安定して行われる。

あるいは、本発明の基板搬送装置は、複数の第１のローラにより移動される基板の下面に対し、基板移動方向へ斜めに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズルを備え、移動手段が、複数のエアノズルを、複数の第２のローラと一緒に移動するものである。また、本発明の基板搬送方法は、複数の第１のローラにより移動される基板の下面に対し、基板移動方向へ斜めに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズルを設け、複数のエアノズルを、複数の第２のローラと一緒に移動するものである。エアノイズから基板の下面に対して基板移動方向へ斜めに吹き付けた圧縮空気により、第１のローラ間で発生する基板の変形がさらに抑制されると共に、第１のローラによる基板の移動が助勢されるので、第１のローラの回転力を上げることなく、大型の基板の搬送が安定して行われる。

さらに、本発明の基板搬送装置は、複数の第１のローラの回転軸が基板の幅に渡って設けられ、移動手段により基板移動方向へ移動される複数の第２のローラを、複数の第１のローラの回転軸の前後で下降及び上昇させる昇降手段を備えたものである。また、本発明の基板搬送方法は、複数の第１のローラの回転軸を基板の幅に渡って設け、基板移動方向へ移動する複数の第２のローラを、複数の第１のローラの回転軸の前後で下降及び上昇させるものである。複数の第１のローラの回転軸を基板の幅に渡って設ける場合、基板移動方向へ移動する複数の第２のローラを、複数の第１のローラの回転軸の前後で下降及び上昇させることにより、第２のローラを、基板移動方向に所定の間隔で設けた複数の第１のローラに渡って、第１のローラの回転軸に接触させることなく、基板移動方向へ移動することができる。

本発明の基板搬送装置及び基板搬送方法によれば、基板移動方向に所定の間隔で設けた複数の第１のローラに基板を搭載し、複数の第１のローラを回転して、基板を基板移動方向へ移動しながら、複数の第１のローラにより移動される基板の下面を、複数の第２のローラで支持し、複数の第２のローラを、複数の第１のローラにより移動される基板と共に基板移動方向へ移動することにより、第１のローラ間で発生する基板の変形を、第２のローラにより抑制することができる。従って、第１のローラ及び第２のローラを合わせたローラの基板への接触面積を増加させることなく、基板の搬送を安定して行うことができる。また、基板のサイズが異なっても、第１のローラの間隔を変更することなく、異なったサイズの基板の搬送を安定して行うことができる。

さらに、本発明の基板搬送装置及び基板搬送方法によれば、複数の第１のローラにより移動される基板の下面に対し、上向きに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズルを設け、複数のエアノズルを、複数の第２のローラと一緒に移動することにより、第１のローラ間で発生する基板の変形をさらに抑制することができるので、基板の搬送をさらに安定して行うことができる。

あるいは、本発明の基板搬送装置及び基板搬送方法によれば、複数の第１のローラにより移動される基板の下面に対し、基板移動方向へ斜めに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズルを設け、複数のエアノズルを、複数の第２のローラと一緒に移動することにより、第１のローラ間で発生する基板の変形をさらに抑制することができると共に、第１のローラによる基板の移動を助勢することができるので、第１のローラの回転力を上げることなく、大型の基板の搬送を安定して行うことができる。

さらに、本発明の基板搬送装置及び基板搬送方法によれば、複数の第１のローラの回転軸を基板の幅に渡って設け、基板移動方向へ移動する複数の第２のローラを、複数の第１のローラの回転軸の前後で下降及び上昇させることにより、第２のローラを、基板移動方向に所定の間隔で設けた複数の第１のローラに渡って、第１のローラの回転軸に接触させることなく、基板移動方向へ移動することができる。

図１（ａ）は本発明の一実施の形態による基板搬送装置の上面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ部の一部断面側面図である。 図２（ａ）は図１に示した基板搬送装置が基板を移動した状態を示す上面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ部の一部断面側面図である。 図３（ａ）は本発明の他の実施の形態による基板搬送装置の上面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ部の一部断面側面図である。 図４（ａ）は図３に示した基板搬送装置が基板を移動した状態を示す上面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ部の一部断面側面図である。 本発明のさらに他の実施の形態による基板搬送装置の昇降テーブルの側面図である。 本発明のさらに他の実施の形態による基板搬送装置の昇降テーブルの側面図である。 図７（ａ）は本発明のさらに他の実施の形態による基板搬送装置の上面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＣ−Ｃ部の一部断面側面図である。 図７に示した基板搬送装置の動作を説明する図である。 図７に示した基板搬送装置の動作を説明する図である。

図１（ａ）は本発明の一実施の形態による基板搬送装置の上面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ部の一部断面側面図である。基板搬送装置は、ベース２、支持板３、補助ローラ１０、補助ローラ移動機構、送りローラ２０、モータ２１、軸継手２２、プーリ２３、ベルト２４、及び位置決めローラ３０を含んで構成されている。

図１（ａ）において、ベース２には、基板移動方向と直交する方向に間隔を空けて、２枚の支持板３が取り付けられている。各支持板３には、複数の送りローラ２０の回転軸が、回転可能に取り付けられている。複数の送りローラ２０は、基板移動方向に所定の間隔で各支持板３に設置されており、各支持板３に設置された送りローラ２０同士は、支持板３間で互いに向き合って配置されている。支持板３の外側において、各送りローラ２０の回転軸には、プーリ２３が取り付けられており、各プーリ２３は、支持板３毎に、ベルト２４により連結されている。支持板３毎に、１つの送りローラ２０の回転軸が、軸継手２２を介して、モータ２１のシャフトに接続されており、モータ２１の回転は、直接、またはプーリ２３及びベルト２４を介して、各送りローラ２０の回転軸へ伝達される。基板１は、その幅方向の両脇が各支持板３に設置された複数の送りローラ２０上に搭載され、送りローラ２０の回転により、基板移動方向へ移動される。

図１（ａ），（ｂ）において、各支持板３の上面には、複数の位置決めローラ３０の回転軸が、回転可能に取り付けられている。複数の位置決めローラ３０は、基板移動方向に所定の間隔で各支持板３に設置されており、各支持板３に設置された位置決めローラ３０同士は、支持板３上で互いに向き合って配置されている。各位置決めローラ３０は、図１（ｂ）に示す様に、送りローラ２０により移動される基板１の側面に接触して、基板１が基板移動方向に対して傾いた姿勢となるのを防止する。

補助ローラ移動機構は、ガイドレール４、移動テーブル５、ガイドシャフト６、昇降テーブル７、エアシリンダ８、支柱９、モータ１１、軸継手１２、軸受１３、ボールねじ１４ａ、ナット１４ｂ、及びセンサー１５を含んで構成されている。図１（ａ），（ｂ）において、ベース２の上面には、一対のガイドレール４が設けられており、ガイドレール４には、移動テーブル５が搭載されている。また、ベース２の側面には、モータ１１が設置されており、モータ１１のシャフトは、軸継手１２によりボールねじ１４ａに接続されている。ボールねじ１４ａは、軸受１３により、回転可能に支持されている。図１（ｂ）において、移動テーブル５の下面には、ボールねじ１４ａにより移動されるナット１４ｂが取り付けられている。モータ１１を回転すると、ボールねじ１４ａによりナット１４ｂが移動され、移動テーブル５がガイドレール４に沿って移動される。

図１（ｂ）において、移動テーブル５の上面には、ガイドシャフト６及びエアシリンダ８が設置されている。エアシリンダ８のロッドの先端には、昇降テーブル７が搭載されており、昇降テーブル７は、エアシリンダ８により、ガイドシャフト６に沿って、上昇及び下降される。昇降テーブル７の上面には、複数の支柱９が取り付けられおり、各支柱９には、補助ローラ１０の回転軸が回転可能に取り付けられている。複数の補助ローラ１０は、送りローラ２０により移動される基板１の下面を支持する。エアシリンダ８は、昇降テーブル７を上昇又は下降させて、補助ローラ１０の高さを調節する。

図１（ａ），（ｂ）において、昇降テーブル７の基板移動方向側の側面には、センサー１５が取り付けられている。センサー１５は、投光系と受光系とを有し、投光系から射出した光が基板１で反射された反射光を受光系で受光して、基板１の基板移動方向側の端部を検出する。モータ１１は、センサー１５の検出結果に基づき、補助ローラ１０が送りローラ２０により移動される基板１と共に移動する様に、ボールねじ１４ａを回転させて、移動テーブル５を移動させる。

図２（ａ）は図１に示した基板搬送装置が基板を移動した状態を示す上面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ部の一部断面側面図である。複数の補助ローラ１０は、複数の送りローラ２０により移動される基板１の下面を支持しながら、補助ローラ移動機構により、複数の送りローラ２０により移動される基板１と共に基板移動方向へ移動される。基板１を図示しない露光装置、基板処理装置、基板洗浄装置又は基板乾燥装置へ搬送した後、モータ１１は、ボールねじ１４ａを逆回転させて、移動テーブル５を元の位置へ戻す。

図３（ａ）は本発明の他の実施の形態による基板搬送装置の上面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ部の一部断面側面図である。本実施の形態は、補助ローラ移動機構において、図１に示したモータ１１、軸継手１２、軸受１３、ボールねじ１４ａ、及びナット１４ｂの代わりに、モータ１６、プーリ１７、ベルト１８、及び取り付け具１９を用いたものである。その他の構成要素は、図１に示した実施の形態と同様である。

図３（ｂ）において、ベース２の上面には、移動テーブル５を挟んで、２つのプーリ１７が取り付けられている。２つのプーリ１７は、ベルト１８により連結されており、一方のプーリの回転軸は、ベース２の下面に設置されたモータ１６のシャフトに接続されている。移動テーブル５の下面には、ベルト１８に固定された取り付け具１９が取り付けられている。モータ１６を回転すると、プーリ１７によりベルト１８が移動されて、取り付け具１９が移動され、移動テーブル５がガイドレール４に沿って移動される。

図３（ａ），（ｂ）において、昇降テーブル７の基板移動方向側の側面には、センサー１５が取り付けられている。センサー１５は、投光系と受光系とを有し、投光系から射出した光が基板１で反射された反射光を受光系で受光して、基板１の基板移動方向側の端部を検出する。モータ１６は、センサー１５の検出結果に基づき、補助ローラ１０が送りローラ２０により移動される基板１と共に移動する様に、プーリ１７を回転させて、移動テーブル５を移動させる。

図４（ａ）は図３に示した基板搬送装置が基板を移動した状態を示す上面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ部の一部断面側面図である。複数の補助ローラ１０は、複数の送りローラ２０により移動される基板１の下面を支持しながら、補助ローラ移動機構により、複数の送りローラ２０により移動される基板１と共に基板移動方向へ移動される。基板１を図示しない露光装置、基板処理装置、基板洗浄装置又は基板乾燥装置へ搬送した後、モータ１６は、プーリ１７を逆回転させて、移動テーブル５を元の位置へ戻す。

複数の送りローラ２０により移動される基板１の下面を、複数の補助ローラ１０で支持し、複数の補助ローラ１０を、複数の送りローラ２０により移動される基板１と共に基板移動方向へ移動するので、送りローラ２０間で発生する基板１の変形が、補助ローラ１０により抑制される。従って、送りローラ２０及び補助ローラ１０を合わせたローラの基板１への接触面積を増加させることなく、基板１の搬送が安定して行われる。また、基板のサイズが異なっても、送りローラ２０の間隔を変更することなく、異なったサイズの基板の搬送が安定して行われる。

図５は、本発明のさらに他の実施の形態による基板搬送装置の昇降テーブルの側面図である。本実施の形態は、図１又図３に示した基板搬送装置の昇降テーブルの上面に、複数のエアノズル４０ａを設けたものである。エアノズル４０ａは、複数の送りローラ２０により移動される基板１の下面に対し、上向きに圧縮空気を吹き付ける。エアノイズ４０ａから基板１の下面へ上向きに吹き付けた圧縮空気により、送りローラ２０間で発生する基板１の変形がさらに抑制され、基板１の搬送がさらに安定して行われる。

図６は、本発明のさらに他の実施の形態による基板搬送装置の昇降テーブルの側面図である。本実施の形態は、図１又図３に示した基板搬送装置の昇降テーブルの上面に、複数のエアノズル４０ｂを設けたものである。エアノズル４０ｂは、複数の送りローラ２０により移動される基板１の下面に対し、基板移動方向へ斜めに圧縮空気を吹き付ける。エアノイズ４０ｂから基板１の下面に対して基板移動方向へ斜めに吹き付けた圧縮空気により、送りローラ２０間で発生する基板１の変形がさらに抑制されると共に、送りローラ２０による基板１の移動が助勢されるので、送りローラ２０の回転力を上げることなく、大型の基板１の搬送が安定して行われる。

図７（ａ）は本発明のさらに他の実施の形態による基板搬送装置の上面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＣ−Ｃ部の一部断面側面図である。本実施の形態は、図１に示した実施の形態において、送りローラ２０の回転軸を基板１の幅に渡って設け、補助ローラ１０の高さを調節するエアシリンダ８の代わりに、エアシリンダ８よりもストロークが長いエアシリンダ８’を設けたものである。その他の構成要素は、図１に示した実施の形態と同様である。

図７（ａ）において、各支持板３には、複数の送りローラ２０の回転軸の両端が、回転可能に取り付けられている。支持板３の外側において、各送りローラ２０の回転軸には、プーリ２３が取り付けられており、各プーリ２３は、ベルト２４により連結されている。１つの送りローラ２０の回転軸が、軸継手２２を介して、モータ２１のシャフトに接続されており、モータ２１の回転は、直接、またはプーリ２３及びベルト２４を介して、各送りローラ２０の回転軸へ伝達される。基板１は、複数の送りローラ２０上に搭載され、送りローラ２０の回転により、基板移動方向へ移動される。

図８及び図９は、図７に示した基板搬送装置の動作を説明する図である。図８（ａ），（ｂ）に示す様に、複数の補助ローラ１０は、複数の送りローラ２０により移動される基板１の下面を支持しながら、補助ローラ移動機構により、複数の送りローラ２０により移動される基板１と共に基板移動方向へ移動される。図８（ｂ）に示す様に、補助ローラ１０が送りローラ２０の回転軸に近づくと、エアシリンダ８’は、図８（ｃ）に示す様に、昇降テーブル７を下降させて、補助ローラ１０を送りローラ２０の回転軸よりも低い位置へ下降させる。そして、図９（ａ）に示す様に、補助ローラ１０が送りローラ２０の回転軸の下を通り過ぎた後、エアシリンダ８’は、図９（ｂ）に示す様に、昇降テーブル７を上昇させて、補助ローラ１０を元の高さに戻す。補助ローラ１０は、図９（ｂ），（ｃ）に示す様に、送りローラ２０により移動される基板１の下面を再び支持しながら、補助ローラ移動機構により、送りローラ２０により移動される基板１と共に基板移動方向へ移動される。

これらの動作を繰り返して、基板１を図示しない露光装置、基板処理装置、基板洗浄装置又は基板乾燥装置へ搬送した後、エアシリンダ８’は、昇降テーブル７を下降させて、補助ローラ１０を送りローラ２０の回転軸よりも低い位置へ下降させる。そして、モータ１１が、ボールねじ１４ａを逆回転させて、移動テーブル５を元の位置へ戻した後、エアシリンダ８’は、昇降テーブル７を上昇させて、補助ローラ１０を元の高さに戻す。

複数の送りローラ２０の回転軸を基板１の幅に渡って設ける場合、基板移動方向へ移動する複数の補助ローラ１０を、複数の送りローラ２０の回転軸の前後で下降及び上昇させることにより、補助ローラ１０を、基板移動方向に所定の間隔で設けた複数の送りローラ２０に渡って、送りローラ２０の回転軸に接触させることなく、基板移動方向へ移動することができる。

なお、図７に示した実施の形態の補助ローラ移動機構において、モータ１１、軸継手１２、軸受１３、ボールねじ１４ａ、及びナット１４ｂの代わりに、図３に示したモータ１６、プーリ１７、ベルト１８、及び取り付け具１９を用いてもよい。また、昇降テーブル７に、図５に示したエアノズル４０ａ、または図６に示したエアノズル４０ｂを設けてもよい。

以上説明した実施の形態によれば、基板移動方向に所定の間隔で設けた複数の送りローラ２０に基板１を搭載し、複数の送りローラ２０を回転して、基板１を基板移動方向へ移動しながら、複数の送りローラ２０により移動される基板１の下面を、複数の補助ローラ１０で支持し、複数の補助ローラ１０を、複数の送りローラ２０により移動される基板１と共に基板移動方向へ移動することにより、送りローラ２０間で発生する基板１の変形を、補助ローラ１０により抑制することができる。従って、送りローラ２０及び補助ローラ１０を合わせたローラの基板１への接触面積を増加させることなく、基板１の搬送を安定して行うことができる。また、基板のサイズが異なっても、送りローラ２０の間隔を変更することなく、異なったサイズの基板の搬送を安定して行うことができる。

さらに、図４に示した実施の形態によれば、複数の送りローラ２０により移動される基板１の下面に対し、上向きに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズル４０ａを設け、複数のエアノズル４０ａを、複数の補助ローラ１０と一緒に移動することにより、送りローラ２０間で発生する基板１の変形をさらに抑制することができるので、基板１の搬送をさらに安定して行うことができる。

また、図５に示した実施の形態によれば、複数の送りローラ２０により移動される基板１の下面に対し、基板移動方向へ斜めに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズル４０ｂを設け、複数のエアノズル４０ｂを、複数の補助ローラ１０と一緒に移動することにより、送りローラ２０間で発生する基板の変形１をさらに抑制することができると共に、送りローラ２０による基板１の移動を助勢することができるので、送りローラ２０の回転力を上げることなく、大型の基板１の搬送を安定して行うことができる。

さらに、図７に示した実施の形態によれば、複数の送りローラ２０の回転軸を基板１の幅に渡って設け、基板移動方向へ移動する複数の補助ローラ１０を、複数の送りローラ２０の回転軸の前後で下降及び上昇させることにより、補助ローラ１０を、基板移動方向に所定の間隔で設けた複数の送りローラ２０に渡って、送りローラ２０の回転軸に接触させることなく、基板移動方向へ移動することができる。

１ 基板
２ ベース
３ 支持板
４ ガイドレール
５ 移動テーブル
６ ガイドシャフト
７ 昇降テーブル
８，８’エアシリンダ
９ 支柱
１０ 補助ローラ
１１，２１，１６ モータ
１２，２２ 軸継手
１３ 軸受
１４ａ ボールねじ
１４ｂ ナット
１５ センサー
１７，２３ プーリ
１８，２４ ベルト
１９ 取り付け具
２０ 送りローラ
３０ 位置決めローラ
４０ａ，４０ｂ エアノズル

Claims (8)

1. 基板移動方向に所定の間隔で設けられ、基板を搭載しながら回転して、基板を基板移動方向へ移動する複数の第１のローラと、
   前記複数の第１のローラにより移動される基板の下面を支持する複数の第２のローラと、
   前記複数の第２のローラを、前記複数の第１のローラにより移動される基板と共に基板移動方向へ移動する移動手段とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。
2. 前記複数の第１のローラにより移動される基板の下面に対し、上向きに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズルを備え、
   前記移動手段は、前記複数のエアノズルを、前記複数の第２のローラと一緒に移動することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 前記複数の第１のローラにより移動される基板の下面に対し、基板移動方向へ斜めに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズルを備え、
   前記移動手段は、前記複数のエアノズルを、前記複数の第２のローラと一緒に移動することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
4. 前記複数の第１のローラは、回転軸が基板の幅に渡って設けられ、
   前記移動手段により基板移動方向へ移動される前記複数の第２のローラを、前記複数の第１のローラの回転軸の前後で下降及び上昇させる昇降手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
5. 基板移動方向に所定の間隔で設けた複数の第１のローラに基板を搭載し、
   複数の第１のローラを回転して、基板を基板移動方向へ移動しながら、
   複数の第１のローラにより移動される基板の下面を、複数の第２のローラで支持し、
   複数の第２のローラを、複数の第１のローラにより移動される基板と共に基板移動方向へ移動することを特徴とする基板搬送方法。
6. 複数の第１のローラにより移動される基板の下面に対し、上向きに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズルを設け、
   複数のエアノズルを、複数の第２のローラと一緒に移動することを特徴とする請求項５に記載の基板搬送方法。
7. 複数の第１のローラにより移動される基板の下面に対し、基板移動方向へ斜めに圧縮空気を吹き付ける複数のエアノズルを設け、
   複数のエアノズルを、複数の第２のローラと一緒に移動することを特徴とする請求項５に記載の基板搬送方法。
8. 複数の第１のローラの回転軸を基板の幅に渡って設け、
   基板移動方向へ移動する複数の第２のローラを、複数の第１のローラの回転軸の前後で下降及び上昇させることを特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれか一項に記載の基板搬送方法。

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