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JP2011165629A - Substrate for organic electroluminescent element, organic electroluminescent element, and its manufacturing method - Google Patents

Substrate for organic electroluminescent element, organic electroluminescent element, and its manufacturing method Download PDF

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JP2011165629A
JP2011165629A JP2010030554A JP2010030554A JP2011165629A JP 2011165629 A JP2011165629 A JP 2011165629A JP 2010030554 A JP2010030554 A JP 2010030554A JP 2010030554 A JP2010030554 A JP 2010030554A JP 2011165629 A JP2011165629 A JP 2011165629A
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JP
Japan
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layer
organic
light emitting
substrate
electrode layer
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JP2010030554A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshihiro Kobayashi
義弘 小林
Akihiko Okada
昭彦 岡田
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
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Abstract

【課題】本発明は、有機層を印刷法により形成する場合に、隔壁間に設けられる発光領域に有機層形成用塗工液を充填し易く、かつ、隔壁によって陰極を分断することができる有機EL素子用基板を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明においては、基板と、上記基板上に形成された第1電極層と、上記第1電極層が形成された基板上に形成され、第2電極層を複数に分断する分断領域を画定する複数の絶縁性の隔壁とを有し、上記隔壁の各々が、所定間隔をおいて平行に設けられた複数の小隔壁から構成されており、上記小隔壁の高さが0.5μm〜2μmの範囲内であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子用基板を提供することにより、上記課題を解決する。
【選択図】図1
The present invention provides an organic layer which can be easily filled with a coating solution for forming an organic layer in a light emitting region provided between partition walls when the organic layer is formed by a printing method, and the cathode can be divided by the partition walls. The main object is to provide a substrate for an EL element.
In the present invention, a substrate, a first electrode layer formed on the substrate, and a substrate formed on the substrate on which the first electrode layer is formed, and dividing the second electrode layer into a plurality of portions. A plurality of insulative partition walls defining a region, and each of the partition walls is composed of a plurality of small partition walls provided in parallel at a predetermined interval. The problem is solved by providing a substrate for an organic electroluminescence element characterized by being in the range of 5 μm to 2 μm.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、陰極隔壁を有する有機エレクトロルミネッセンス素子用基板、有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a substrate for an organic electroluminescence element having a cathode partition, an organic electroluminescence element, and a method for producing the same.

従来、有機エレクトロルミネッセンス(以下、エレクトロルミネッセンスをELと略すことがある。)素子の製造方法として、陽極上に逆テーパー(逆台形)形状を有する絶縁性の隔壁を設け、その上から有機層および陰極を順に蒸着法により成膜することにより、陰極を分断する方法が知られている。
しかしながら、隔壁が一部欠損する場合や、隔壁の周囲にゴミやパーティクル(微粒子)等が付着している場合には、陰極を蒸着法により成膜すると、隔壁を隔てて隣り合う陰極が隔壁を乗り越えてつながってしまい、電気的に絶縁したい陰極間でショートするという問題がある。
Conventionally, as a method for producing an organic electroluminescence (hereinafter, electroluminescence may be abbreviated as EL) element, an insulating partition having a reverse taper (reverse trapezoidal) shape is provided on an anode, and an organic layer and A method of dividing the cathode by forming the cathode in order by vapor deposition is known.
However, in the case where a part of the partition wall is missing, or when dust or particles (fine particles) are attached around the partition wall, when the cathode is formed by vapor deposition, the adjacent cathodes across the partition wall form the partition wall. There is a problem of short-circuiting between cathodes that are over-connected and electrically insulated.

そこで、電気的に絶縁したい陰極間に複数の隔壁を並べて設けることにより、陰極を確実に分断する方法が提案されている(特許文献1および特許文献2参照)。   In view of this, a method has been proposed in which a plurality of partition walls are provided side by side between cathodes that are to be electrically insulated to reliably divide the cathodes (see Patent Document 1 and Patent Document 2).

特開平10−321372号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-321372 特開2000−235894号公報JP 2000-235894 A

上記の陰極を分断するために隔壁を設ける方法において、有機層を蒸着法ではなく印刷法で成膜する場合、隣接する隔壁間に設けられる発光領域(画素)の幅が狭いと、発光領域において、版やブランケットに付着した有機層形成用塗工液が基板に直接接触することができず、有機層形成用塗工液が入り込み難くなることがある。このような場合、発光領域で有機層形成用塗工液が十分に充填されず、所望の有機層が形成されないおそれがある。   In the above method of providing a partition to divide the cathode, when an organic layer is formed by a printing method instead of an evaporation method, if the width of a light emitting region (pixel) provided between adjacent partition walls is narrow, The organic layer forming coating solution adhering to the plate or the blanket cannot directly contact the substrate, and the organic layer forming coating solution may be difficult to enter. In such a case, the organic layer forming coating solution is not sufficiently filled in the light emitting region, and a desired organic layer may not be formed.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、有機層を印刷法により形成する場合に、隣接する隔壁間に設けられる発光領域に有機層形成用塗工液を充填することができ、かつ、隔壁によって陰極を分断することができる有機EL素子用基板を提供することを主目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above problems, and when an organic layer is formed by a printing method, a light emitting region provided between adjacent partition walls can be filled with an organic layer forming coating solution. And it aims at providing the board | substrate for organic EL elements which can cut | disconnect a cathode with a partition.

上記目的を達成するために、本発明においては、基板と、上記基板上に形成された第1電極層と、上記第1電極層が形成された基板上に形成され、第2電極層を複数に分断する分断領域を画定する複数の絶縁性の隔壁とを有し、上記隔壁の各々が、所定間隔をおいて平行に設けられた複数の小隔壁から構成されており、上記小隔壁の高さが、0.5μm〜2μmの範囲内であることを特徴とする有機EL素子用基板を提供する。   In order to achieve the above object, in the present invention, a plurality of second electrode layers are formed on a substrate, a first electrode layer formed on the substrate, and a substrate on which the first electrode layer is formed. A plurality of insulating partitions that define a dividing region to be divided into a plurality of regions, and each of the partitions is composed of a plurality of small partitions provided in parallel at a predetermined interval. Is within the range of 0.5 μm to 2 μm.

本発明によれば、隔壁の各々が所定間隔をおいて平行に設けられた複数の小隔壁から構成されており、この小隔壁の高さが上記範囲内であるため、このような有機EL素子用基板上に、有機EL層を構成する有機層を印刷法により形成する場合、印刷に際して、隣接する隔壁間に設けられる発光領域で有機層形成用塗工液が直接基板に接触し易くすることができることから、発光領域に有機層形成用塗工液を十分に充填して、所望の有機層を形成することができる。また、小隔壁が複数あるので、さらに有機EL層上に第2電極層を形成する際に、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを防止することが可能である。   According to the present invention, each of the partition walls is composed of a plurality of small partition walls provided in parallel at a predetermined interval, and the height of the small partition walls is within the above range. When the organic layer constituting the organic EL layer is formed on the substrate for printing by a printing method, the organic layer forming coating solution should be in direct contact with the substrate in the light emitting region provided between the adjacent partition walls during printing. Therefore, a desired organic layer can be formed by sufficiently filling the light emitting region with an organic layer forming coating solution. In addition, since there are a plurality of small barrier ribs, when the second electrode layer is further formed on the organic EL layer, the second electrode layer is surely divided and short-circuited between the second electrode layers located across the barrier ribs. It is possible to prevent.

上記発明においては、上記隔壁間に設けられた発光領域の幅が、60μm以上であることが好ましい。発光領域において、版やブランケットに付着した有機層形成用塗工液が基板に広く接することができ、有機層形成用塗工液をより充填し易くなるからである。   In the said invention, it is preferable that the width | variety of the light emission area | region provided between the said partition is 60 micrometers or more. This is because the organic layer forming coating solution adhering to the plate or the blanket can come into wide contact with the substrate in the light emitting region, and it becomes easier to fill the organic layer forming coating solution.

上記発明においては、上記小隔壁間の間隔が、1μm〜60μmの範囲内であることが好ましい。版やブランケットに付着した有機層形成用塗工液が小隔壁間で基板に接触することを防止して、小隔壁間に有機層形成用塗工液が多量に入り込むことを抑制することができ、かつ、隣接する小隔壁の頂部間で有機層が連なって成膜されることを防止することができるからである。これにより、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを防止することが可能である。   In the said invention, it is preferable that the space | interval between the said small partition walls exists in the range of 1 micrometer-60 micrometers. The organic layer forming coating liquid adhering to the plate or blanket can be prevented from coming into contact with the substrate between the small partition walls, and the organic layer forming coating liquid can be prevented from entering a large amount between the small partition walls. In addition, it is possible to prevent the organic layers from being continuously formed between the tops of the adjacent small partition walls. Thereby, it is possible to reliably divide the second electrode layer and prevent a short circuit between the second electrode layers located with the partition wall interposed therebetween.

上記発明においては、上記第1電極層と上記隔壁との間に絶縁層が形成されていることが好ましい。有機EL素子を形成した場合に、第1電極層と第2電極層とが接触してショートすることを防ぐことができるからである。   In the said invention, it is preferable that the insulating layer is formed between the said 1st electrode layer and the said partition. This is because when the organic EL element is formed, the first electrode layer and the second electrode layer can be prevented from contacting and short-circuiting.

また、本発明においては、上述した有機EL素子用基板を調製する有機EL素子用基板調製工程と、上記有機EL素子用基板上に、発光層を含む有機EL層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層を印刷法により形成する有機層形成工程とを有することを特徴とする有機EL素子の製造方法を提供する。   Moreover, in this invention, at least among the organic layers which comprise the organic EL element substrate preparation process which prepares the organic EL element substrate mentioned above, and the organic EL layer containing a light emitting layer on the said organic EL element substrate. And an organic layer forming step of forming one organic layer by a printing method.

本発明によれば、上述した有機EL素子用基板上に、上記有機層を印刷法により形成するので、隣接する隔壁間に設けられる発光領域に有機層形成用塗工液を十分に充填して、所望の有機層を形成することができる。また、小隔壁間で有機層形成用塗工液が多量に入り込むことを抑制することにより、さらに有機EL層上に第2電極層を形成する際に、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを防止することが可能である。   According to the present invention, since the organic layer is formed by the printing method on the organic EL element substrate described above, the light emitting region provided between adjacent partition walls is sufficiently filled with the organic layer forming coating solution. A desired organic layer can be formed. Moreover, when the second electrode layer is further formed on the organic EL layer by suppressing a large amount of the organic layer forming coating liquid from entering between the small partition walls, the second electrode layer is reliably divided, It is possible to prevent a short circuit between the second electrode layers located across the partition wall.

上記発明においては、上記有機EL素子用基板の隔壁を構成する複数の小隔壁のうち発光領域側に設けられた上記小隔壁の上記発光領域側の端部での上記有機層の高さをt、上記発光領域側に設けられた上記小隔壁の上記発光領域側とは反対側の端部での上記有機層の高さをtとしたとき、t>tであることが好ましい。 In the above invention, the height of the organic layer at the end of the small partition provided on the light emitting region side among the plurality of small partitions constituting the partition of the organic EL element substrate is t. 1, when the light emitting region side of the small partition wall provided in the light emitting region side where the height of the organic layer at the end opposite the t 2, it is preferable that t 1> t 2 .

上記発明においては、上記有機層形成工程後に、上記有機EL層上に、金属材料を成膜して第2電極層を形成する第2電極層形成工程を有することが好ましい。第2電極層の材料としては、抵抗が低いものであればよく、金属材料が最も適しているからである。   In the said invention, it is preferable to have a 2nd electrode layer formation process which forms a 2nd electrode layer by forming a metal material into a film on the said organic EL layer after the said organic layer formation process. This is because the second electrode layer may have a low resistance, and a metal material is most suitable.

上記発明においては、上記金属材料の成膜方法が真空蒸着法であってもよい。真空蒸着法は、ドライプロセスで有機EL層へのダメージが少ない方法であり、積層に適しているからである。   In the said invention, the film-forming method of the said metal material may be a vacuum evaporation method. This is because the vacuum deposition method is a method that causes little damage to the organic EL layer in a dry process and is suitable for stacking.

上記発明においては、上記金属材料として金属ペーストを用いてもよい。ウェットプロセスはドライプロセスよりも大面積の対応に適しているからである。ウェットプロセスであっても、有機EL層に影響を与えない溶媒が配合された金属ペーストは使用可能である。   In the said invention, you may use a metal paste as said metal material. This is because the wet process is more suitable for a larger area than the dry process. Even in the wet process, a metal paste containing a solvent that does not affect the organic EL layer can be used.

また、本発明においては、上述した有機EL素子用基板と、上記有機EL素子用基板の隔壁間の第1電極層上に形成され、発光層を含む有機EL層と、上記有機EL層上に形成され、上記隔壁により分断されている第2電極層とを有し、上記隔壁を挟んで隣接する上記第2電極層が互いに電気的に絶縁されていることを特徴とする有機EL素子を提供する。   Moreover, in this invention, it forms on the 1st electrode layer between the partition for the organic EL element substrate mentioned above, and the said organic EL element substrate, The organic EL layer containing a light emitting layer, On the said organic EL layer An organic EL element comprising: a second electrode layer formed and separated by the partition wall, wherein the second electrode layers adjacent to each other across the partition wall are electrically insulated from each other To do.

本発明によれば、上述した有機EL素子用基板を用いているため、隣接する隔壁間に設けられる発光領域に有機層形成用塗工液を十分に充填して、所望の有機層が形成することができる。また、小隔壁間で有機層形成用塗工液が多量に入り込むことを抑制することにより、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを防止することが可能である。   According to the present invention, since the organic EL element substrate described above is used, a desired organic layer is formed by sufficiently filling a light emitting region provided between adjacent partition walls with an organic layer forming coating solution. be able to. In addition, the second electrode layer is surely divided by preventing the organic layer forming coating liquid from entering a large amount between the small partition walls, thereby preventing a short circuit between the second electrode layers located across the partition walls. Is possible.

上記発明においては、上記隔壁を構成する複数の小隔壁のうち発光領域側に設けられた上記小隔壁の上記発光領域側の端部での上記第2電極層の高さをt、上記発光領域側に設けられた上記小隔壁の上記発光領域側とは反対側の端部での上記第2電極層の高さをtとしたとき、t>tであることが好ましい。 In the above invention, the height of the second electrode layer at the end of the small partition provided on the light emitting region side among the plurality of small partitions constituting the partition is t 3 , the light emission when the light emitting region side of the small partition wall provided in the region side where the height of the second electrode layer at the end opposite the t 4, it is preferable that t 3> t 4.

上記発明においては、上記有機EL層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層が、メニスカス状の断面形状を有していてもよい。有機EL層を構成する有機層がメニスカス状の断面形状を有する場合には、隔壁の周辺で有機層の厚みが厚くなるが、本発明の構成とすることにより、第2電極層を確実に分断することができる。   In the above invention, at least one of the organic layers constituting the organic EL layer may have a meniscus cross-sectional shape. When the organic layer constituting the organic EL layer has a meniscus cross-sectional shape, the thickness of the organic layer is increased around the partition wall, but the second electrode layer is reliably divided by the configuration of the present invention. can do.

本発明においては、有機層を印刷法により形成する場合に、隣接する隔壁間に設けられる発光領域に有機層形成用塗工液を十分に充填することができ、かつ、隔壁により陰極を分断できるという効果を奏する。   In the present invention, when an organic layer is formed by a printing method, a light emitting region provided between adjacent barrier ribs can be sufficiently filled with a coating liquid for forming an organic layer, and the cathode can be divided by the barrier ribs. There is an effect.

本発明の有機EL素子用基板の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the board | substrate for organic EL elements of this invention. 本発明の有機EL素子用基板の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the board | substrate for organic EL elements of this invention. 発光領域におけるブランケットと基板との位置関係の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the positional relationship of the blanket and a board | substrate in a light emission area | region. 発光領域におけるブランケットと基板との位置関係の他の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the other example of the positional relationship of the blanket and a board | substrate in a light emission area | region. 本発明の有機EL素子用基板の他の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the other example of the board | substrate for organic EL elements of this invention. 本発明の有機EL素子の製造方法の一例を示す工程図である。It is process drawing which shows an example of the manufacturing method of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の製造方法における有機層形成工程の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the organic layer formation process in the manufacturing method of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の製造方法における有機層形成工程の他の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the other example of the organic layer formation process in the manufacturing method of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の製造方法の他の例を示す工程図である。It is process drawing which shows the other example of the manufacturing method of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子用基板の他の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the other example of the board | substrate for organic EL elements of this invention. 本発明の有機EL素子の製造方法の他の例を示す工程図である。It is process drawing which shows the other example of the manufacturing method of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の製造方法における有機層形成工程の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the organic layer formation process in the manufacturing method of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の製造方法における有機層形成工程の他の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the other example of the organic layer formation process in the manufacturing method of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の他の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the other example of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の他の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the other example of the organic EL element of this invention. 本発明の有機EL素子の他の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the other example of the organic EL element of this invention.

以下、本発明の有機EL素子用基板、有機EL素子およびその製造方法について詳細に説明する。   Hereinafter, the substrate for an organic EL element, the organic EL element and the production method thereof of the present invention will be described in detail.

A.有機EL素子用基板
まず、本発明の有機EL素子用基板について説明する。本発明の有機EL素子用基板は、基板と、上記基板上に形成された第1電極層と、上記第1電極層が形成された基板上に形成され、第2電極層を複数に分断する分断領域を画定する複数の絶縁性の隔壁とを有し、上記隔壁の各々が、所定間隔をおいて平行に設けられた複数の小隔壁から構成されており、上記小隔壁の高さが、0.5μm〜2μmの範囲内であることを特徴とするものである。
A. First, the organic EL element substrate of the present invention will be described. The organic EL element substrate of the present invention is formed on a substrate, a first electrode layer formed on the substrate, and a substrate on which the first electrode layer is formed, and divides the second electrode layer into a plurality of parts. A plurality of insulating partition walls defining a dividing region, each of the partition walls is composed of a plurality of small partition walls provided in parallel at a predetermined interval, and the height of the small partition wall is It is in the range of 0.5 μm to 2 μm.

本発明の有機EL素子用基板について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の有機EL素子用基板の一例を示す概略断面図である。図1に例示する有機EL素子用基板1は、基板2と、基板2上に形成された第1電極層3と、第1電極層3上に形成された絶縁層4と、絶縁層4上に形成され、第2電極層を複数に分断する分断領域10を画定する複数の絶縁性の隔壁5とを有している。この有機EL素子用基板1において、隔壁5の各々は、所定間隔dをおいて平行に設けられた複数の小隔壁5a、5bから構成されている。また、この小隔壁5aおよび5bの高さhは、0.5μm〜2μmの範囲内となっている。小隔壁5aおよび5bの高さhが上記範囲内のように低いため、有機EL用素子基板1上に有機層を印刷法により形成する場合に、隣接する隔壁5間に設けられる発光領域11に有機層形成用塗工液を充填し易くなる。図1に示す例においては、図2に例示するように、第1電極層3のストライプパターンに、隔壁5(小隔壁5a、5b)のストライプパターンが直交するように、隔壁5(小隔壁5a、5b)が形成されている。なお、図1は、図2のA−A線断面図である。   The organic EL element substrate of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the organic EL element substrate of the present invention. An organic EL element substrate 1 illustrated in FIG. 1 includes a substrate 2, a first electrode layer 3 formed on the substrate 2, an insulating layer 4 formed on the first electrode layer 3, and an insulating layer 4. And a plurality of insulating barrier ribs 5 that divide the second electrode layer into a plurality of dividing regions 10. In the organic EL element substrate 1, each of the partition walls 5 is composed of a plurality of small partition walls 5a and 5b provided in parallel at a predetermined interval d. Further, the height h of the small partition walls 5a and 5b is in the range of 0.5 μm to 2 μm. Since the height h of the small barrier ribs 5a and 5b is as low as within the above range, when the organic layer is formed on the organic EL element substrate 1 by the printing method, the light emitting region 11 provided between the adjacent barrier ribs 5 It becomes easy to fill the organic layer forming coating solution. In the example shown in FIG. 1, as illustrated in FIG. 2, the barrier ribs 5 (small barrier ribs 5a) are arranged so that the stripe pattern of the barrier ribs 5 (small barrier ribs 5a, 5b) is orthogonal to the stripe pattern of the first electrode layer 3. 5b) is formed. FIG. 1 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.

印刷法の場合に、小隔壁の高さが低いと、発光領域に有機層形成用塗工液を充填し易くなる理由は、次のように考えられる。図3に例示するように、小隔壁5aおよび5bの高さhが低いと、ブランケット12に付着した有機層形成用塗工液13が発光領域11で第1電極層3表面に接触することができ、発光領域11に有機層形成用塗工液13を充填し易くなると思料される。一方、図4に例示するように、小隔壁5aおよび5bの高さhが高いと、ブランケット12に付着した有機層形成用塗工液13が発光領域11で第1電極層3表面に接触することができず、発光領域11に有機層形成用塗工液13を充填し難くなると思料される。   In the case of the printing method, if the height of the small partition walls is low, the reason why it becomes easier to fill the light emitting region with the organic layer forming coating solution is considered as follows. As illustrated in FIG. 3, when the height h of the small partition walls 5 a and 5 b is low, the organic layer forming coating solution 13 attached to the blanket 12 may come into contact with the surface of the first electrode layer 3 in the light emitting region 11. It is thought that it becomes easy to fill the light emitting region 11 with the organic layer forming coating solution 13. On the other hand, as illustrated in FIG. 4, when the height h of the small partition walls 5 a and 5 b is high, the organic layer forming coating solution 13 attached to the blanket 12 contacts the surface of the first electrode layer 3 in the light emitting region 11. It is thought that it becomes difficult to fill the light emitting region 11 with the organic layer forming coating solution 13.

本発明によれば、隔壁の各々が所定間隔をおいて平行に設けられた複数の小隔壁から構成されており、この小隔壁の高さが上記範囲内であるため、このような有機EL素子用基板上に、有機EL層を構成する有機層を印刷法によって形成する場合、印刷に際して、隣接する隔壁間に設けられる発光領域で有機層形成用塗工液が直接基板に接触し易くすることができることから、発光領域に有機層形成用塗工液を十分に充填して、所望の有機層を形成することができる。また、小隔壁間で有機層形成用塗工液が直接基板に接触することを防止し、小隔壁間に有機層形成用塗工液が多量に入り込むことを抑制することにより、さらに有機EL層上に第2電極層を形成する際に、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを防止することが可能である。   According to the present invention, each of the partition walls is composed of a plurality of small partition walls provided in parallel at a predetermined interval, and the height of the small partition walls is within the above range. When an organic layer constituting an organic EL layer is formed on a substrate for printing by a printing method, the organic layer forming coating solution should be in direct contact with the substrate in a light emitting region provided between adjacent partition walls during printing. Therefore, a desired organic layer can be formed by sufficiently filling the light emitting region with an organic layer forming coating solution. Further, the organic layer forming coating liquid is prevented from directly contacting the substrate between the small partition walls, and the organic layer forming coating liquid is prevented from entering a large amount between the small partition walls, thereby further reducing the organic EL layer. When the second electrode layer is formed thereon, it is possible to reliably divide the second electrode layer and prevent a short circuit between the second electrode layers located with the partition wall interposed therebetween.

なお、「分断領域」とは、第2電極層を複数に分断する領域であって、発光に寄与しない領域をいう。この分断領域は、隔壁が設けられている領域であり、隔壁により画定される。これに対し、「発光領域」とは、発光に寄与する領域をいう。この発光領域は、隣接する隔壁間に設けられる領域であり、発光領域の両端には隔壁が形成されている。   The “divided region” is a region where the second electrode layer is divided into a plurality of regions and does not contribute to light emission. This divided region is a region where a partition is provided, and is defined by the partition. On the other hand, the “light emitting region” refers to a region contributing to light emission. This light emitting region is a region provided between adjacent barrier ribs, and barrier ribs are formed at both ends of the light emitting region.

また、「小隔壁間の間隔」とは、隔壁を構成する複数の小隔壁において、隣接する小隔壁の向かい合う上底面の端部から上底面の端部までの距離をいう。
なお、小隔壁間の間隔は、光学顕微鏡、レーザ顕微鏡、走査型白色干渉計により測定することができる。
The “interval between the small partition walls” refers to a distance from an end portion of the upper bottom surface to an end portion of the upper bottom surface of adjacent small partition walls in a plurality of small partition walls constituting the partition wall.
In addition, the space | interval between small partitions can be measured with an optical microscope, a laser microscope, and a scanning white interferometer.

以下、本発明の有機EL素子用基板における各構成について説明する。   Hereinafter, each structure in the organic EL element substrate of the present invention will be described.

1.隔壁
本発明における隔壁は、第1電極層が形成された基板上に複数形成され、第2電極層を複数に分断する分断領域を画定するものである。隔壁の各々は、所定間隔をおいて平行に設けられた複数の小隔壁から構成されている。本発明において、小隔壁の高さは、0.5μm〜2μmの範囲内であり、中でも、0.5μm〜1.5μmの範囲内であることが好ましく、0.5μm〜1μmの範囲内であることがより好ましい。
1. Partition Walls In the present invention, a plurality of partition walls are formed on the substrate on which the first electrode layer is formed, and delimits a dividing region that divides the second electrode layer into a plurality of portions. Each of the partition walls is composed of a plurality of small partition walls provided in parallel at a predetermined interval. In the present invention, the height of the small partition wall is in the range of 0.5 μm to 2 μm, preferably in the range of 0.5 μm to 1.5 μm, and more preferably in the range of 0.5 μm to 1 μm. It is more preferable.

小隔壁の高さとしては、通常、基板表面から小隔壁表面までの高さが、発光領域の中心部における基板表面から第2電極層表面までの高さよりも高くなるように設定され、一般に使用されている小隔壁の高さは、3μm〜4μm程度である。小隔壁がこのような高さの場合、グラビア印刷等のダイレクト塗布方法では、発光領域の幅が狭いと、版やブランケットに付着した有機層形成用塗工液が発光領域で基板に接触することができず、発光領域に有機層形成用塗工液が十分に充填されないおそれがある。これに対して、本発明においては、小隔壁の高さを上記範囲内のように低く設定することで、版やブランケットに付着した有機層形成用塗工液を発光領域で基板に接触し易くし、発光領域に有機層形成用塗工液を十分に充填することができるため、所望の有機層を形成することが可能である。なお、小隔壁の高さが低すぎると、第2電極層を分断できなくなるおそれがある。   The height of the small partition walls is generally set so that the height from the substrate surface to the surface of the small partition walls is higher than the height from the substrate surface to the second electrode layer surface at the center of the light emitting region. The height of the small partition wall is about 3 μm to 4 μm. When the small partition wall is at such a height, in the direct coating method such as gravure printing, when the width of the light emitting area is narrow, the organic layer forming coating liquid adhering to the plate or blanket contacts the substrate in the light emitting area. And the light emitting region may not be sufficiently filled with the organic layer forming coating solution. On the other hand, in the present invention, by setting the height of the small partition wall as low as within the above range, the organic layer forming coating liquid adhering to the plate or blanket can easily come into contact with the substrate in the light emitting region. In addition, since the light emitting region can be sufficiently filled with the organic layer forming coating solution, a desired organic layer can be formed. If the height of the small partition is too low, the second electrode layer may not be divided.

隣接する隔壁間に設けられる発光領域の幅としては、版やブランケットに付着した有機層形成用塗工液が発光領域で基板に接することができる幅であればよいが、具体的には、
60μm以上であることが好ましく、100μm以上であることがより好ましい。また、目的とする有機EL素子の画素の大きさ等を踏まえ、その上限としては、通常、10mm程度である。発光領域の幅をこのような範囲に設定することにより、版やブランケットに付着した有機層形成用塗工液が発光領域において、直接基板に広く接触することができ、発光領域に有機層形成用塗工液をより充填し易くなるからである。上述したように、発光領域の幅が狭すぎると、版やブランケットに付着した有機層形成用塗工液が発光領域で直接基板に接触することができないため、発光領域に有機層形成用塗工液を充填し難くなる。
The width of the light emitting region provided between adjacent partitions may be any width that allows the organic layer forming coating solution attached to the plate or blanket to contact the substrate in the light emitting region.
It is preferably 60 μm or more, and more preferably 100 μm or more. The upper limit is usually about 10 mm in consideration of the pixel size of the target organic EL element. By setting the width of the light emitting region in such a range, the organic layer forming coating liquid adhering to the plate or the blanket can be in wide contact directly with the substrate in the light emitting region, and the organic layer forming This is because it becomes easier to fill the coating liquid. As described above, if the width of the light emitting region is too narrow, the organic layer forming coating solution attached to the plate or blanket cannot directly contact the substrate in the light emitting region. It becomes difficult to fill with liquid.

一方、小隔壁間の間隔としては、第2電極層を確実に分断することが可能な間隔であればよいが、中でも、1μm〜60μmの範囲内であることが好ましく、1μm〜30μmの範囲内であることがより好ましく、1μm〜10μmの範囲内であることがさらに好ましい。小隔壁間の間隔が広すぎると、版やブランケットに付着した有機層形成用塗工液が小隔壁間で第1電極層表面に接触し易くなり、有機層形成用塗工液が小隔壁間に入り込み易くなるため、第2電極層を分断することが困難となるおそれがあるからである。一方、小隔壁間の間隔が狭すぎるものは形成が困難であったり、また、小隔壁間の間隔が狭すぎると、隣接する小隔壁の頂部間で有機層が連なって成膜されるおそれがあったりするからである。
なお、小隔壁間の間隔の測定方法については、上述したとおりである。
On the other hand, the interval between the small partition walls may be an interval that can reliably divide the second electrode layer, but is preferably in the range of 1 μm to 60 μm, and is preferably in the range of 1 μm to 30 μm. It is more preferable that it is in the range of 1 μm to 10 μm. If the distance between the small partition walls is too wide, the organic layer forming coating solution adhering to the plate or the blanket will easily come into contact with the surface of the first electrode layer between the small partition walls. This is because it may be difficult to divide the second electrode layer because it easily enters. On the other hand, when the distance between the small partition walls is too narrow, it is difficult to form, or when the distance between the small partition walls is too narrow, the organic layers may be formed continuously between the tops of the adjacent small partition walls. Because there is.
The method for measuring the distance between the small partition walls is as described above.

隔壁を構成する小隔壁の数が3個以上である場合、通常、小隔壁間の間隔は等間隔とされる。   When the number of the small partition walls constituting the partition walls is three or more, the intervals between the small partition walls are usually equal.

隔壁を構成する小隔壁の数としては、複数であればよく、例えば、2個、3個等とすることができる。隔壁を構成する小隔壁の数が多すぎると、発光領域が相対的に狭くなることから、隔壁を構成する小隔壁の数は2個であることが好ましい。   The number of the small partition walls constituting the partition wall may be plural, for example, two, three, or the like. If the number of the small partition walls constituting the partition wall is too large, the light emitting region becomes relatively narrow. Therefore, the number of the small partition walls constituting the partition wall is preferably two.

小隔壁が上記の高さを有していれば、第2電極層を複数に分断することができるため、小隔壁の断面形状としては、特に限定されるものではなく、例えば、矩形状、台形状(順テーパー形状)、逆テーパー形状等が挙げられる。好ましくは、逆テーパー形状等のオーバーハング形状である。   If the small partition wall has the above height, the second electrode layer can be divided into a plurality of parts. Therefore, the cross-sectional shape of the small partition wall is not particularly limited. Examples include a shape (forward taper shape) and a reverse taper shape. An overhang shape such as a reverse taper shape is preferable.

逆テーパー形状の場合、基板表面に対するテーパー角度θは、0°<θ<90°であればよいが、好ましくは20°<θ<80°、より好ましくは30°<θ<70°である。なお、逆テーパー形状の場合、テーパー角度θとは、図5に例示するような基板2表面に対するテーパー角度θをいう。なお、図5は、本発明の有機EL素子用基板の他の例を示す概略断面図である。   In the case of a reverse taper shape, the taper angle θ with respect to the substrate surface may be 0 ° <θ <90 °, preferably 20 ° <θ <80 °, more preferably 30 ° <θ <70 °. In the case of an inversely tapered shape, the taper angle θ refers to the taper angle θ with respect to the surface of the substrate 2 as illustrated in FIG. FIG. 5 is a schematic sectional view showing another example of the organic EL element substrate of the present invention.

隔壁の形成位置としては、有機EL素子の駆動方式や表示方式等により適宜選択される。例えば、パッシブ型の有機EL素子の場合、通常、第1電極層がストライプパターンに形成されることから、この第1電極層のストライプパターンに直交するように、隔壁を構成する小隔壁もストライプパターンに形成される。また例えば、エリアカラーの有機EL素子の場合であって、かつ、第1電極層が、取り出し電極等が形成されている領域を除いて基板上にほぼ全面に形成されており、隔壁によって発光領域を所望のパターンに区画する場合、隔壁を構成する小隔壁は、所望のパターン、例えば、絵柄、文字のパターンに形成される。   The partition formation position is appropriately selected depending on the driving method and display method of the organic EL element. For example, in the case of a passive organic EL element, since the first electrode layer is usually formed in a stripe pattern, the small barrier ribs constituting the barrier rib are also arranged in a stripe pattern so as to be orthogonal to the stripe pattern of the first electrode layer. Formed. Further, for example, in the case of an area-color organic EL element, the first electrode layer is formed almost entirely on the substrate except the region where the extraction electrode and the like are formed, and the light emitting region is formed by the partition. When partitioning into a desired pattern, the small partition walls constituting the partition walls are formed in a desired pattern, for example, a pattern of pictures or characters.

隔壁を構成する複数の小隔壁は、所定間隔をおいて平行に設けられていればよく、小隔壁の形状は、直線状、曲線状等とすることができる。   The plurality of small partitions constituting the partition need only be provided in parallel at a predetermined interval, and the shape of the small partitions can be linear, curved, or the like.

隔壁により画定される分断領域の幅は、特に限定されるものではないが、60μm以下であることが好ましい。分断領域の幅が上記範囲内であれば、分断領域に有機層形成用塗工液が入り込むことを抑制する効果を十分に確保することができるからである。また、分断領域の幅が広すぎると、発光領域が相対的に狭くなるからである。   The width of the divided region defined by the partition walls is not particularly limited, but is preferably 60 μm or less. This is because if the width of the divided region is within the above range, an effect of suppressing the organic layer forming coating liquid from entering the divided region can be sufficiently ensured. Further, if the width of the divided region is too wide, the light emitting region becomes relatively narrow.

隔壁の形成材料としては、例えば、感光性ポリイミド樹脂、アクリル系樹脂、ノボラック系樹脂、スチレン系樹脂、フェノール系樹脂、メラミン系樹脂等の光硬化型樹脂、または熱硬化型樹脂、および無機材料等を挙げることができる。   Examples of the partition wall forming material include photosensitive polyimide resins, acrylic resins, novolac resins, styrene resins, phenol resins, melamine resins, and other photo-curing resins, thermosetting resins, and inorganic materials. Can be mentioned.

この場合、隔壁の形成方法としては、フォトリソグラフィー法、印刷法等の一般的な方法を用いることができる。   In this case, as a method for forming the partition wall, a general method such as a photolithography method or a printing method can be used.

2.第1電極層
本発明に用いられる第1電極層は、陽極であっても陰極であってもよいが、通常は陽極として形成される。
2. First Electrode Layer The first electrode layer used in the present invention may be an anode or a cathode, but is usually formed as an anode.

第1電極層は、透明性を有していても有していなくてもよい。第1電極層の透明性は、光の取り出し面等によって適宜選択される。例えば、第1電極層側から光を取り出す場合は、第1電極層は透明または半透明である必要がある。   The first electrode layer may or may not have transparency. The transparency of the first electrode layer is appropriately selected depending on the light extraction surface and the like. For example, when light is extracted from the first electrode layer side, the first electrode layer needs to be transparent or translucent.

陽極としては、正孔が注入し易いように仕事関数の大きい導電性材料を用いることが好ましく、具体的には、ITO、酸化インジウム、金のような仕事関数の大きい金属、ポリアニリン、ポリアセチレン、ポリアルキルチオフェン誘導体、ポリシラン誘導体のような導電性高分子等を挙げることができる。   As the anode, a conductive material having a high work function is preferably used so that holes can be easily injected. Specifically, a metal having a high work function such as ITO, indium oxide, gold, polyaniline, polyacetylene, poly Examples thereof include conductive polymers such as alkylthiophene derivatives and polysilane derivatives.

第1電極層は抵抗が小さいことが好ましく、一般には金属材料が用いられるが、有機化合物または無機化合物を用いてもよい。   The first electrode layer preferably has a low resistance, and generally a metal material is used, but an organic compound or an inorganic compound may be used.

第1電極層は、基板上にパターン状に形成されていてもよく、取り出し電極等が形成されている領域を除いて基板上にほぼ全面に形成されていてもよい。通常、第1電極層は基板上にパターン状に形成される。第1電極層が、取り出し電極等が形成されている領域を除いて基板上にほぼ全面に形成されている場合には、隔壁によって発光領域を所望のパターンに区画することができる。   The first electrode layer may be formed in a pattern on the substrate, or may be formed on almost the entire surface of the substrate except for the region where the extraction electrode or the like is formed. Usually, the first electrode layer is formed in a pattern on the substrate. When the first electrode layer is formed on almost the entire surface of the substrate except for the region where the extraction electrode or the like is formed, the light emitting region can be partitioned into a desired pattern by the partition.

第1電極層の成膜方法としては、一般的な電極の成膜方法を用いることができ、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等のPVD法や、CVD法等を挙げることができる。また、第1電極層のパターニング方法としては、所望のパターンに精度よく形成することができる方法であれば、特に限定されるものではなく、具体的にはフォトリソグラフィー法等を挙げることができる。   As a method for forming the first electrode layer, a general electrode forming method can be used, for example, a PVD method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a CVD method, or the like. Can do. Further, the patterning method of the first electrode layer is not particularly limited as long as it can be accurately formed into a desired pattern, and specific examples thereof include a photolithography method.

3.基板
本発明に用いられる基板は、上述の隔壁、第1電極層などを支持するものであり、所定の強度を有するものであれば、特に限定されない。本発明においては、第1電極層が所定の強度を有する場合には、第1電極層が基板を兼ねるものであってもよいが、通常は、所定の強度を有する基板上に第1電極層が形成される。
3. Substrate The substrate used in the present invention is not particularly limited as long as it supports the above-described partition walls, the first electrode layer, and the like and has a predetermined strength. In the present invention, when the first electrode layer has a predetermined strength, the first electrode layer may also serve as the substrate. Usually, however, the first electrode layer is formed on the substrate having the predetermined strength. Is formed.

基板としては、上記の隔壁や第1電極層等が形成可能であれば、特に限定されるものではないが、例えば、光の取り出し面により光透過性が必要か否かで適宜決定される。一般的には、基板側を光の取り出し面とすることが好ましいことから、基板は透明な材料で形成されることが好ましい。   The substrate is not particularly limited as long as the above partition walls, the first electrode layer, and the like can be formed. For example, the substrate is appropriately determined depending on whether light transmission is necessary depending on the light extraction surface. In general, since it is preferable that the substrate side be a light extraction surface, the substrate is preferably formed of a transparent material.

このような基板の形成材料としては、例えば、ソーダ石灰ガラス、アルカリガラス、鉛アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラス、シリカガラス等のガラス板、またはフィルム状に成形が可能な樹脂基板等を用いることができる。この樹脂基板に用いる樹脂としては、耐溶媒性および耐熱性の比較的高い高分子材料であることが好ましい。具体的には、フッ素系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニル、ポリスチレン、ABS樹脂、ポリアミド、ポリアセタール、ポリエステル、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリスルホン、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、液晶性ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリミクロイキシレンジメチレンテレフタレート、ポリオキシメチレン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアクリレート、アクリロニトリル−スチレン樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、シリコーン樹脂、非晶質ポリオレフィン等が挙げられる。また、上記の他にも所定の条件を満たす高分子材料であれば、使用可能であり、2種類以上の共重合体を用いることもできる。さらに、必要に応じて水分、酸素等のガスを遮断するガスバリア性を有する基板を用いてもよい。   Examples of the material for forming such a substrate include soda lime glass, alkali glass, lead alkali glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, and silica glass, or a resin substrate that can be formed into a film. Can be used. The resin used for the resin substrate is preferably a polymer material having relatively high solvent resistance and heat resistance. Specifically, fluorine resin, polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, polyvinyl fluoride, polystyrene, ABS resin, polyamide, polyacetal, polyester, polycarbonate, modified polyphenylene ether, polysulfone, polyarylate, polyetherimide, polyether mon Phon, Polyamideimide, Polyimide, Polyphenylene sulfide, Liquid crystalline polyester, Polyethylene terephthalate, Polybutylene terephthalate, Polyethylene naphthalate, Polymicroxylene dimethylene terephthalate, Polyoxymethylene, Polyethersulfone, Polyetheretherketone, Polyacrylate, Acrylonitrile -Styrene resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, unsaturated polyester resin, Epoxy resins, polyurethanes, silicone resins, amorphous polyolefins, and the like. In addition to the above, any polymer material that satisfies a predetermined condition can be used, and two or more types of copolymers can be used. Furthermore, you may use the board | substrate which has gas barrier property which interrupts | blocks gas, such as a water | moisture content and oxygen, as needed.

4.絶縁層
本発明においては、第1電極層と隔壁との間に絶縁層が形成されていることが好ましい。本発明の有機EL素子用基板を用いて有機EL素子を形成した場合に、第1電極層と第2電極層とが接触してショートすることを防ぐことができるからである。この絶縁層は、第1電極層の端部を覆うように形成されていることが好ましい。第1電極層の端部では有機EL層の厚みが薄くなるため、絶縁層を形成することでショートし難くすることができる。また隣り合う発光領域が電気的に接続されることを防ぐことができるからである。絶縁層が形成された部分は、発光に寄与しない領域とすることができる。
4). Insulating layer In the present invention, an insulating layer is preferably formed between the first electrode layer and the partition. This is because when the organic EL element is formed using the organic EL element substrate of the present invention, it is possible to prevent the first electrode layer and the second electrode layer from coming into contact with each other and causing a short circuit. This insulating layer is preferably formed so as to cover the end of the first electrode layer. Since the thickness of the organic EL layer is reduced at the end portion of the first electrode layer, short-circuiting can be made difficult by forming an insulating layer. In addition, it is possible to prevent the adjacent light emitting regions from being electrically connected. The portion where the insulating layer is formed can be a region that does not contribute to light emission.

絶縁層の形成材料としては、感光性ポリイミド樹脂、アクリル系樹脂等の光硬化型樹脂、または熱硬化型樹脂、および無機材料等を挙げることができる。   Examples of the material for forming the insulating layer include photo-curing resins such as photosensitive polyimide resins and acrylic resins, thermosetting resins, and inorganic materials.

絶縁層の形成方法としては、フォトリソグラフィー法、印刷法等の一般的な方法を用いることができる。   As a method for forming the insulating layer, a general method such as a photolithography method or a printing method can be used.

5.有機EL素子用基板
本発明の有機EL素子用基板の用途としては、有機EL素子を形成するのに用いられるが、その際、有機EL層を構成する有機層の形成方法としては、印刷法が好適に用いられる。したがって、本発明の有機EL素子用基板は、印刷用として好適に用いられるものである。
5. Substrate for organic EL element As an application of the substrate for organic EL element of the present invention, it is used for forming an organic EL element. At that time, as a method for forming an organic layer constituting the organic EL layer, a printing method is used. Preferably used. Therefore, the organic EL element substrate of the present invention is suitably used for printing.

B.有機EL素子の製造方法
次に、本発明の有機EL素子の製造方法について説明する。本発明の有機EL素子の製造方法は、上述した有機EL素子用基板を調製する有機EL素子用基板調製工程と、上記有機EL素子用基板上に、発光層を含む有機EL層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層を印刷法により形成する有機層形成工程とを有することを特徴とするものである。
B. Next, a method for manufacturing the organic EL element of the present invention will be described. The organic EL device manufacturing method of the present invention includes an organic EL device substrate preparation step for preparing the organic EL device substrate described above, and an organic material that constitutes an organic EL layer including a light emitting layer on the organic EL device substrate. An organic layer forming step of forming at least one organic layer of the layers by a printing method.

本発明の有機EL素子の製造方法について図面を参照しながら説明する。図6は、本発明の有機EL素子の製造方法の一例を示す工程図である。まず、基板2と、基板2上に形成された第1電極層3と、第1電極層3上に形成された絶縁層4と、絶縁層4上に形成され、第2電極層を複数に分断する分断領域10を画定する複数の絶縁性の隔壁5とを有する有機EL素子用基板1を調製する(図6(a)、有機EL素子用基板調製工程)。この有機EL素子用基板1において、隔壁5の各々は、所定間隔dをおいて平行に設けられた複数の小隔壁5a、5bから構成されており、この小隔壁5aおよび5bの高さhが0.5μm〜2μmの範囲内となるように形成される。また、図6(a)に示す例においては、図2に例示するように、第1電極層3のストライプパターンに、隔壁5(小隔壁5a、5b)のストライプパターンが直交するように、隔壁5(小隔壁5a、5b)が形成されている。なお、図6(a)は、図2のA−A断面図である。   The manufacturing method of the organic EL element of this invention is demonstrated referring drawings. FIG. 6 is a process diagram showing an example of a method for producing an organic EL element of the present invention. First, a substrate 2, a first electrode layer 3 formed on the substrate 2, an insulating layer 4 formed on the first electrode layer 3, and a plurality of second electrode layers formed on the insulating layer 4 An organic EL element substrate 1 having a plurality of insulating partition walls 5 defining a dividing region 10 to be divided is prepared (FIG. 6A, organic EL element substrate preparing step). In this organic EL element substrate 1, each of the partition walls 5 is composed of a plurality of small partition walls 5a and 5b provided in parallel at a predetermined interval d, and the height h of each of the small partition walls 5a and 5b is It forms so that it may exist in the range of 0.5 micrometer-2 micrometers. In the example shown in FIG. 6A, as illustrated in FIG. 2, the barrier ribs 5 (small barrier ribs 5a, 5b) are perpendicular to the stripe pattern of the first electrode layer 3. 5 (small partition walls 5a, 5b) are formed. FIG. 6A is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.

次に、有機EL素子用基板1上の全面に、例えば、グラビア印刷法により有機層形成用塗工液を塗布し、有機層6を形成する(図6(b)、有機層形成工程)。図6(b)に示す例においては、有機層6として発光層を形成している。本発明においては、小隔壁5aおよび5bの高さhが上記範囲内となっているため、有機層形成用塗工液を発光領域11に充填し易くなり、所望の有機層6を形成することができる。   Next, an organic layer forming coating solution is applied to the entire surface of the organic EL element substrate 1 by, for example, a gravure printing method to form an organic layer 6 (FIG. 6B, organic layer forming step). In the example shown in FIG. 6B, a light emitting layer is formed as the organic layer 6. In the present invention, since the height h of the small partition walls 5a and 5b is within the above range, it becomes easy to fill the light emitting region 11 with the coating liquid for forming the organic layer, and the desired organic layer 6 is formed. Can do.

次いで、有機層6上に、例えば、金属材料を真空蒸着法により成膜し、第2電極層7を形成する(図6(c)、第2電極層形成工程)。金属材料は小隔壁5aおよび5b間にも堆積されるので、小隔壁5aおよび5b間にも第2電極層7が形成される。この第2電極層7は、隔壁5(小隔壁5a、5b)により分断される。   Next, on the organic layer 6, for example, a metal material is formed by vacuum deposition to form the second electrode layer 7 (FIG. 6C, second electrode layer forming step). Since the metal material is also deposited between the small partitions 5a and 5b, the second electrode layer 7 is also formed between the small partitions 5a and 5b. The second electrode layer 7 is divided by the partition walls 5 (small partition walls 5a and 5b).

本発明によれば、上述した有機EL素子用基板上に、有機層を印刷法により形成するので、小隔壁の高さが低いことから、隣接する隔壁間に設けられる発光領域に有機層形成用塗工液を十分に充填して、所望の有機層を形成することができる。また、小隔壁が複数あるので、さらに有機EL層上に第2電極層を形成する際に、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを防止することが可能である。   According to the present invention, since the organic layer is formed on the above-described organic EL element substrate by a printing method, the height of the small partition wall is low, so that the organic layer is formed in the light emitting region provided between the adjacent partition walls. A desired organic layer can be formed by sufficiently filling the coating liquid. In addition, since there are a plurality of small barrier ribs, when the second electrode layer is further formed on the organic EL layer, the second electrode layer is surely divided and short-circuited between the second electrode layers located across the barrier ribs. It is possible to prevent.

本発明の有機EL素子の製造方法は、上記有機EL素子用基板調製工程および上記有機層形成工程を有するものであればよいが、有機層形成工程を有し、有機EL層を形成する有機EL層形成工程や、有機EL層形成工程後に、有機EL層上に第2電極層を形成する第2電極層形成工程等を有することができる。
以下、本発明の有機EL素子の製造方法における各工程について説明する。
Although the manufacturing method of the organic EL element of this invention should just have the said organic EL element board | substrate preparation process and the said organic layer formation process, it has an organic layer formation process and forms organic EL layer After the layer forming step or the organic EL layer forming step, a second electrode layer forming step for forming the second electrode layer on the organic EL layer can be included.
Hereinafter, each process in the manufacturing method of the organic EL element of this invention is demonstrated.

1.有機EL素子用基板調製工程
本発明における有機EL素子用基板調製工程は、上述した有機EL素子用基板を調製する工程である。有機EL素子用基板を調製する方法については、上記「A.有機EL素子用基板」の項に詳しく記載したので、ここでの説明は省略する。
1. Organic EL Element Substrate Preparation Step The organic EL element substrate preparation step in the present invention is a step of preparing the above-described organic EL element substrate. The method for preparing the organic EL element substrate has been described in detail in the section “A. Substrate for organic EL element”, and will not be described here.

2.有機層形成工程
本発明における有機層形成工程は、上記有機EL素子用基板上に、発光層を含む有機EL層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層を印刷法により形成する工程である。
2. Organic layer forming step The organic layer forming step in the present invention is a step of forming at least one organic layer of the organic layers constituting the organic EL layer including the light emitting layer on the organic EL element substrate by a printing method. is there.

本発明に用いられる有機EL層は、少なくとも発光層を含む1層もしくは複数層の有機層を有するものである。すなわち、有機EL層とは、少なくとも発光層を含む層であり、その層構成が有機層1層以上の層をいう。通常、塗布によるウェットプロセスで有機EL層を形成する場合は、溶媒との関係で多数の層を積層することが困難であることから、1層もしくは2層の有機層で構成される場合が多いが、有機材料を工夫したり、真空蒸着法を組み合わせたりすることにより、さらに多数層とすることも可能である。   The organic EL layer used in the present invention has one or more organic layers including at least a light emitting layer. That is, the organic EL layer is a layer including at least a light emitting layer, and the layer configuration is a layer having one or more organic layers. Usually, when an organic EL layer is formed by a wet process by coating, it is often difficult to stack a large number of layers in relation to a solvent, so that it is often composed of one or two organic layers. However, it is possible to further increase the number of layers by devising organic materials or combining vacuum deposition methods.

発光層以外に有機EL層を構成する有機層としては、正孔注入層、電子注入層、正孔輸送層、電子輸送層等を挙げることができる。正孔輸送層は、正孔注入層に正孔輸送の機能を付与することにより、正孔注入層と一体化される場合がある。また、電子輸送層は、電子注入層に電子輸送の機能を付与することにより、電子注入層と一体化される場合がある。さらに、有機EL層を構成する有機層としては、キャリアブロック層のような正孔もしくは電子の突き抜けを防止し、再結合効率を高めるための層等を挙げることができる。   Examples of the organic layer constituting the organic EL layer other than the light emitting layer include a hole injection layer, an electron injection layer, a hole transport layer, and an electron transport layer. The hole transport layer may be integrated with the hole injection layer by imparting a hole transport function to the hole injection layer. In addition, the electron transport layer may be integrated with the electron injection layer by adding an electron transport function to the electron injection layer. Furthermore, as an organic layer which comprises an organic EL layer, the layer etc. for preventing the penetration of a hole or an electron like a carrier block layer, and improving recombination efficiency can be mentioned.

本発明においては、有機EL層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層を印刷法により形成する。印刷法により形成する有機層の数としては、1層以上であればよく、例えば、1層、2層、3層等とすることができる。   In the present invention, at least one organic layer among the organic layers constituting the organic EL layer is formed by a printing method. The number of organic layers formed by the printing method may be one or more, for example, one layer, two layers, three layers, and the like.

印刷法により形成する有機層としては、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層および電子注入層が挙げられる。中でも、印刷法により形成する有機層は、発光層であることが好ましい。また、印刷法により形成する有機層は、正孔注入層および発光層であってもよい。   Examples of the organic layer formed by the printing method include a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. Especially, it is preferable that the organic layer formed by the printing method is a light emitting layer. The organic layer formed by a printing method may be a hole injection layer and a light emitting layer.

上記有機層を形成する際には、有機EL素子用基板上に、有機層を形成するための有機層形成用塗工液を印刷法により塗布する。この有機層形成用塗工液には、有機層の種類に応じた材料が用いられる。
以下、本工程における有機層および有機層の形成方法に分けて説明する。
When the organic layer is formed, an organic layer forming coating solution for forming the organic layer is applied on the organic EL element substrate by a printing method. A material corresponding to the type of the organic layer is used for the organic layer forming coating solution.
Hereinafter, the organic layer and the method for forming the organic layer in this step will be described separately.

(1)有機層
(i)発光層
本発明における発光層に用いられる材料としては、例えば、色素系材料、金属錯体系材料、高分子系材料等の発光材料を挙げることができる。
(1) Organic layer (i) Light-emitting layer Examples of the material used for the light-emitting layer in the present invention include light-emitting materials such as dye-based materials, metal complex-based materials, and polymer-based materials.

色素系材料としては、シクロペンタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、シロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、トリフマニルアミン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマー等を挙げることができる。   Examples of dye materials include cyclopentadiene derivatives, tetraphenylbutadiene derivatives, triphenylamine derivatives, oxadiazole derivatives, pyrazoloquinoline derivatives, distyrylbenzene derivatives, distyrylarylene derivatives, silole derivatives, thiophene ring compounds, pyridine ring compounds. Perinone derivatives, perylene derivatives, oligothiophene derivatives, trifumanylamine derivatives, oxadiazole dimers, pyrazoline dimers, and the like.

また、金属錯体系材料としては、アルミキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾール亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロビウム錯体等、中心金属にAl、Zn、Be等、または、Tb、Eu、Dy等の希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造等を有する金属錯体等を挙げることができる。   Examples of the metal complex-based material include an aluminum quinolinol complex, a benzoquinolinol beryllium complex, a benzoxazole zinc complex, a benzothiazole zinc complex, an azomethylzinc complex, a porphyrin zinc complex, and a eurobium complex. Alternatively, a metal complex having a rare earth metal such as Tb, Eu, or Dy and having a ligand such as oxadiazole, thiadiazole, phenylpyridine, phenylbenzimidazole, or quinoline structure can be given.

さらに、高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリビニルカルバゾール等、ポリフルオレン誘導体、ポリキノキサリン誘導体、およびそれらの共重合体等を挙げることができる。   Furthermore, examples of the polymer material include polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, polyparaphenylene derivatives, polysilane derivatives, polyacetylene derivatives, polyvinylcarbazole, polyfluorene derivatives, polyquinoxaline derivatives, and copolymers thereof. be able to.

上記発光層中には、発光効率の向上、発光波長を変化させる等の目的でドーピング剤を添加してもよい。このようなドーピング剤としては、例えば、ペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル系色素、テトラセン誘導体、ピラゾリン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾン、キノキサリン誘導体、カルバゾール誘導体、フルオレン誘導体等を挙げることができる。   A dopant may be added to the light emitting layer for the purpose of improving the light emission efficiency and changing the light emission wavelength. Examples of such doping agents include perylene derivatives, coumarin derivatives, rubrene derivatives, quinacridone derivatives, squalium derivatives, porphyrin derivatives, styryl dyes, tetracene derivatives, pyrazoline derivatives, decacyclene, phenoxazone, quinoxaline derivatives, carbazole derivatives, fluorene derivatives. Etc.

発光層の厚みとしては、電子と正孔との再結合の場を提供して発光する機能を発現することができる厚みであれば、特に限定されるものではなく、例えば、1nm〜500nm程度とすることができる。   The thickness of the light emitting layer is not particularly limited as long as it can provide a function of emitting light by providing a recombination field between electrons and holes, and is, for example, about 1 nm to 500 nm. can do.

本発明においては、発光層が隔壁により分断され、パターン状に形成される。この際、発光層は、赤・緑・青等の複数色の発光部を有するようにパターン状に形成されていることが好ましい。これにより、カラー表示が可能な有機EL素子とすることができる。この場合、例えば、図2に示す有機EL素子用基板1を用いて、図7および図8に例示するように赤色の発光部8R、緑色の発光部8Gおよび青色の発光部8Bを有するようにパターン状に発光層を形成することができる。   In the present invention, the light emitting layer is divided by the partition walls and formed into a pattern. At this time, the light emitting layer is preferably formed in a pattern so as to have light emitting portions of a plurality of colors such as red, green, and blue. Thereby, it can be set as the organic EL element in which a color display is possible. In this case, for example, the organic EL element substrate 1 shown in FIG. 2 is used to have a red light emitting portion 8R, a green light emitting portion 8G, and a blue light emitting portion 8B as illustrated in FIGS. A light emitting layer can be formed in a pattern.

(ii)正孔注入層
上述したように、正孔輸送層は、正孔注入層に正孔輸送の機能を付与することにより、正孔注入層と一体化される場合がある。すなわち、正孔注入層は、正孔注入機能のみを有していてもよく、正孔注入機能および正孔輸送機能の両機能を有していてもよい。
(Ii) Hole Injection Layer As described above, the hole transport layer may be integrated with the hole injection layer by imparting a hole transport function to the hole injection layer. That is, the hole injection layer may have only a hole injection function, or may have both a hole injection function and a hole transport function.

正孔注入層に用いられる材料としては、発光層内への正孔の注入を安定化させることができる材料であれば、特に限定されるものではなく、上記発光層の発光材料に例示した化合物の他、フェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリフェニレンビニレン誘導体等を用いることができる。具体的には、ビス(N−(1−ナフチル)−N−フェニル)ベンジジン(α−NPD)、4,4,4−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン(MTDATA)、ポリ3,4エチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホン酸(PEDOT−PSS)、ポリビニルカルバゾール(PVCz)等が挙げられる。   The material used for the hole injection layer is not particularly limited as long as it can stabilize the injection of holes into the light emitting layer, and the compounds exemplified as the light emitting material for the light emitting layer. In addition, phenylamine-based, starburst-type amine-based, phthalocyanine-based, polyaniline, polythiophene, polyphenylene vinylene derivatives, and the like can be used. Specifically, bis (N- (1-naphthyl) -N-phenyl) benzidine (α-NPD), 4,4,4-tris (3-methylphenylphenylamino) triphenylamine (MTDATA), poly-3 4,4 ethylenedioxythiophene-polystyrene sulfonic acid (PEDOT-PSS), polyvinylcarbazole (PVCz), and the like.

また、正孔注入層の厚みとしては、正孔注入機能や正孔輸送機能が十分に発揮される厚みであれば、特に限定されないが、具体的には、0.5nm〜1000nmの範囲内、中でも、10nm〜500nmの範囲内であることが好ましい。   Further, the thickness of the hole injection layer is not particularly limited as long as the hole injection function and the hole transport function are sufficiently exerted, but specifically, within the range of 0.5 nm to 1000 nm, Especially, it is preferable that it exists in the range of 10 nm-500 nm.

(iii)電子注入層
上述したように、電子輸送層は、電子注入層に電子輸送の機能を付与することにより、電子注入層と一体化される場合がある。すなわち、電子注入層は、電子注入機能のみを有していてもよく、電子注入機能および電子輸送機能の両機能を有していてもよい。
(Iii) Electron Injection Layer As described above, the electron transport layer may be integrated with the electron injection layer by adding an electron transport function to the electron injection layer. That is, the electron injection layer may have only an electron injection function, or may have both an electron injection function and an electron transport function.

電子注入層に用いられる材料としては、発光層内への電子の注入を安定化させることができる材料であれば、特に限定されるものではなく、上記発光層の発光材料に例示した化合物等を用いることができる。
また、電子輸送性の有機材料にアルカリ金属あるいはアルカリ土類金属をドープした金属ドープ層を形成し、これを電子注入層とすることもできる。上記電子輸送性の有機材料としては、例えば、バソキュプロイン、バソフェナントロリン、フェナントロリン誘導体等を挙げることができ、ドープする金属としては、Li、Cs、Ba、Sr等が挙げられる。
The material used for the electron injecting layer is not particularly limited as long as it can stabilize the injection of electrons into the light emitting layer, and compounds exemplified as the light emitting material of the light emitting layer can be used. Can be used.
Alternatively, a metal doped layer in which an alkali metal or alkaline earth metal is doped on an electron transporting organic material may be formed and used as an electron injection layer. Examples of the electron-transporting organic material include bathocuproine, bathophenanthroline, and phenanthroline derivatives. Examples of the metal to be doped include Li, Cs, Ba, and Sr.

上記電子注入層の厚みとしては、電子注入機能や電子輸送機能が十分に発揮される厚みであれば、特に限定されない。   The thickness of the electron injection layer is not particularly limited as long as the electron injection function and the electron transport function are sufficiently exhibited.

(iv)電子輸送層
電子輸送層に用いられる材料としては、陰極から注入された電子を発光層内へ輸送することが可能な材料であれば、特に限定されるものではなく、例えば、バソキュプロイン、バソフェナントロリン、フェナントロリン誘導体、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム錯体(Alq)の誘導体等を挙げることができる。
(Iv) Electron transport layer The material used for the electron transport layer is not particularly limited as long as it is a material capable of transporting electrons injected from the cathode into the light emitting layer. For example, bathocuproine, Examples include bathophenanthroline, phenanthroline derivatives, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, and derivatives of tris (8-quinolinolato) aluminum complex (Alq 3 ).

上記電子輸送層の厚みとしては、電子輸送機能が十分に発揮される厚みであれば、特に限定されない。   The thickness of the electron transport layer is not particularly limited as long as the electron transport function is sufficiently thick.

(2)有機層の形成方法
本工程に用いられる有機層形成用塗工液は、上記有機層を構成する材料を溶媒に溶解もしくは分散させることにより調製される。溶媒としては、有機層を構成する材料に応じて適宜選択される。例えば、有機層として発光層を形成する場合、発光層形成用塗工液に用いられる溶媒としては、上述した発光材料を溶解もしくは分散させることができるものであれば、特に限定されるものではなく、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン、テトラヒドロフラン、トルエン、キシレン、テトラリン、メシチレン等を挙げることができる。
(2) Formation method of organic layer The coating liquid for organic layer formation used for this process is prepared by dissolving or dispersing the material which comprises the said organic layer in a solvent. The solvent is appropriately selected according to the material constituting the organic layer. For example, when the light emitting layer is formed as the organic layer, the solvent used in the light emitting layer forming coating solution is not particularly limited as long as it can dissolve or disperse the light emitting material described above. , Chloroform, methylene chloride, dichloroethane, tetrahydrofuran, toluene, xylene, tetralin, mesitylene and the like.

本工程においては、上述したように、有機EL素子用基板上に有機層形成用塗工液を印刷法により塗布する。この方法は、発光領域に有機層形成用塗工液を充填し易くすることができ、かつ、小隔壁間に有機層形成用塗工液を入り込み難くすることができる方法だからである。
印刷法の具体例としては、グラビア印刷法、活版印刷法等が挙げられる。印刷用版およびブランケットとしては、例えば、金属製、ゴム製、プラスチック製のもの等を用いることができる。中でも、版は金属製が好ましく、ブランケットは表面にクッション層を備えたブランケット胴に樹脂フィルムを巻いたものが好ましい。クッション層の硬度は、例えば、20°〜80°の範囲内であり、クッション層の厚みは、例えば、0.1mm〜30mmの範囲内である。なお、上記の硬度は、JIS(K6253)デュロメータ硬さ試験によるTypeA硬度である。樹脂フィルムの厚みは、例えば、5μm〜200μmの範囲内である。グラビア版のセルは、例えば、最大開口長が20μm〜200μmの範囲内であり、深さが10μm〜200μmの範囲内である。また、印刷機のドラム径は、被印刷体の大きさに比例するものであり、被印刷体の大きさに応じて適宜選択されるものであるが、例えば、10mm〜1000mmの範囲内である。
In this step, as described above, the organic layer forming coating solution is applied onto the organic EL element substrate by a printing method. This is because the organic layer forming coating solution can be easily filled in the light emitting region and the organic layer forming coating solution can be prevented from entering between the small partition walls.
Specific examples of the printing method include a gravure printing method and a letterpress printing method. As the printing plate and blanket, for example, metal, rubber, plastic, or the like can be used. Among them, the plate is preferably made of metal, and the blanket is preferably a resin film wound around a blanket cylinder having a cushion layer on the surface. The hardness of the cushion layer is, for example, in the range of 20 ° to 80 °, and the thickness of the cushion layer is, for example, in the range of 0.1 mm to 30 mm. In addition, said hardness is TypeA hardness by a JIS (K6253) durometer hardness test. The thickness of the resin film is, for example, in the range of 5 μm to 200 μm. For example, the gravure plate cell has a maximum opening length in the range of 20 μm to 200 μm and a depth in the range of 10 μm to 200 μm. Further, the drum diameter of the printing press is proportional to the size of the printing medium, and is appropriately selected according to the size of the printing medium. For example, the drum diameter is within a range of 10 mm to 1000 mm. .

有機層形成用塗工液の塗布に際しては、図6(b)に例示するように、有機EL素子用基板1の全面に有機層形成用塗工液を塗布してもよく、図9(b)に例示するように、有機EL素子用基板1上にパターン状に有機層形成用塗工液を塗布してもよい。なお、図9(a)〜(c)は、本発明の有機EL素子の製造方法の他の例を示す工程図である。   In applying the organic layer forming coating solution, as illustrated in FIG. 6B, the organic layer forming coating solution may be applied to the entire surface of the organic EL element substrate 1, as shown in FIG. ), An organic layer forming coating solution may be applied in a pattern on the organic EL element substrate 1. 9A to 9C are process diagrams showing another example of the method for manufacturing the organic EL element of the present invention.

また、有機層形成用塗工液の塗布に際して、図2に例示するように、隔壁5を構成する小隔壁(5a、5b)が直線状に形成されている場合、有機層形成用塗工液を、小隔壁の長手方向に対して垂直に塗布してもよく、小隔壁の長手方向に対して平行に塗布してもよい。例えば、赤色の発光部8R、緑色の発光部8Gおよび青色の発光部8Bの3色の発光部を有するようにパターン状に発光層を形成する場合、図2に例示する有機EL素子用基板1を用いて、図7に例示するように、小隔壁5aおよび5bの長手方向に対して各発光層形成用塗工液を垂直に塗布してもよく、図8に例示するように、小隔壁5aおよび5bの長手方向に対して各発光層形成用塗工液を平行に塗布してもよい。   In addition, when the organic layer forming coating solution is applied, as illustrated in FIG. 2, when the small partition walls (5a, 5b) constituting the partition wall 5 are formed in a straight line, the organic layer forming coating solution is used. May be applied perpendicularly to the longitudinal direction of the small partition walls, or may be applied parallel to the longitudinal direction of the small partition walls. For example, when the light emitting layer is formed in a pattern so as to have three color light emitting parts of a red light emitting part 8R, a green light emitting part 8G, and a blue light emitting part 8B, the organic EL element substrate 1 illustrated in FIG. As shown in FIG. 7, each light emitting layer forming coating solution may be applied perpendicularly to the longitudinal direction of the small barrier ribs 5 a and 5 b, and as shown in FIG. You may apply | coat each coating liquid for light emitting layer formation in parallel with respect to the longitudinal direction of 5a and 5b.

有機層形成用塗工液の塗布後は、乾燥を行ってもよい。   You may dry after application | coating of the coating liquid for organic layer formation.

本発明においては、隔壁を構成する複数の小隔壁のうち発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側の端部での有機層の高さをt、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部での有機層の高さをtとしたとき、t>tであることが好ましい。 In the present invention, the height of the organic layer at the end of the small partition provided on the light emitting region side among the plurality of small partitions constituting the partition is t 1 , and the small provided on the light emitting region side. when the light emitting region side of the partition wall in which the height of the organic layer at the end opposite the t 2, it is preferable that t 1> t 2.

なお、発光領域の定義については、上記「A.有機EL素子用基板」の項に記載したので、ここでの説明は省略する。   Since the definition of the light emitting region is described in the above section “A. Organic EL element substrate”, the description thereof is omitted here.

「隔壁を構成する複数の小隔壁のうち発光領域側に設けられた小隔壁」とは、隔壁を構成する複数の小隔壁のうち、隔壁の両端に位置する2個の小隔壁をいう。図2に例示するように、隔壁5が2個の小隔壁5a、5bから構成されている場合、2個の小隔壁5aおよび5bのいずれもが隔壁5の両端に位置する小隔壁となる。一方、図10に例示するように、隔壁5が3個の小隔壁5a、5b、5cから構成されている場合、3個の小隔壁5a、5b、5cのうち、隔壁5の両端に位置する2個の小隔壁は、小隔壁5aおよび5cである。   The “small partition provided on the light emitting region side among the plurality of small partitions constituting the partition” refers to two small partitions located at both ends of the partition among the plurality of small partitions constituting the partition. As illustrated in FIG. 2, when the partition wall 5 is composed of two small partition walls 5 a and 5 b, both of the two small partition walls 5 a and 5 b are small partition walls positioned at both ends of the partition wall 5. On the other hand, as illustrated in FIG. 10, when the partition wall 5 includes three small partition walls 5 a, 5 b, and 5 c, the three partition walls 5 a, 5 b, and 5 c are positioned at both ends of the partition wall 5. The two small partitions are the small partitions 5a and 5c.

また、「発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側の端部での有機層の高さt」とは、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側の端部における、小隔壁の下地層表面から有機層表面までの高さをいう。図6(b)に例示するように、小隔壁5a、5bが絶縁層4の直上に形成されている場合には、小隔壁5a、5bの下地層は絶縁層4であり、上記有機層の高さtは、小隔壁5aの発光領域11側の端部における絶縁層4表面から有機層6表面までの高さとなる。また、図11(b)に例示するように、小隔壁5a、5bが第1電極層3の直上に形成されている場合には、小隔壁5a、5bの下地層は第1電極層3であり、上記有機層の高さtは、小隔壁5aの発光領域11側の端部における第1電極層3表面から有機層6表面までの高さとなる。すなわち、上記有機層の高さtは、小隔壁の発光領域側の端部における有機層のみの高さ(厚み)をいう。
なお、図11(a)〜(c)は、本発明の有機EL素子の製造方法の他の例を示す工程図である。
Further, “the height t 1 of the organic layer at the end of the small partition provided on the light emitting region side on the light emitting region side” is the end of the small partition provided on the light emitting region side on the light emitting region side. The height from the surface of the base layer of the small partition wall to the surface of the organic layer. As illustrated in FIG. 6B, when the small partition walls 5a and 5b are formed immediately above the insulating layer 4, the base layer of the small partition walls 5a and 5b is the insulating layer 4, and the organic layer the height t 1 is a height from the insulating layer 4 surface at the end portion of the light emitting region 11 side of the small partition wall 5a to the organic layer 6 surface. Further, as illustrated in FIG. 11B, when the small partition walls 5 a and 5 b are formed immediately above the first electrode layer 3, the base layer of the small partition walls 5 a and 5 b is the first electrode layer 3. The height t 1 of the organic layer is the height from the surface of the first electrode layer 3 to the surface of the organic layer 6 at the end of the small partition wall 5a on the light emitting region 11 side. That is, the height t 1 of the organic layer refers to the height (thickness) of only the organic layer at the end of the small partition wall on the light emitting region side.
11A to 11C are process diagrams showing another example of the method for manufacturing the organic EL element of the present invention.

一方、「発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部での有機層の高さt」とは、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部における、小隔壁の下地層表面から有機層表面までの高さをいう。図6(b)に例示するように、小隔壁5a、5bが絶縁層4の直上に形成されている場合には、小隔壁5a、5bの下地層は絶縁層4であり、上記有機層の高さtは、小隔壁5aの発光領域11側とは反対側の端部における絶縁層4表面から有機層6表面までの高さとなる。また、図11(b)に例示するように、小隔壁5a、5bが第1電極層3の直上に形成されている場合には、小隔壁5a、5bの下地層は第1電極層3であり、上記有機層の高さtは、小隔壁5aの発光領域11側とは反対側の端部における第1電極層3表面から有機層6表面までの高さとなる。すなわち、上記有機層の高さtは、小隔壁の発光領域側とは反対側の端部における有機層のみの高さ(厚み)をいう。 On the other hand, “the height t 2 of the organic layer at the end opposite to the light emitting region side of the small partition provided on the light emitting region side” is the light emitting region side of the small partition provided on the light emitting region side. Means the height from the surface of the base layer of the small partition wall to the surface of the organic layer at the opposite end. As illustrated in FIG. 6B, when the small partition walls 5a and 5b are formed immediately above the insulating layer 4, the base layer of the small partition walls 5a and 5b is the insulating layer 4, and the organic layer the height t 2 is a height from the insulating layer 4 surface at an end portion opposite to the light-emitting region 11 side of the small partition wall 5a to the organic layer 6 surface. Further, as illustrated in FIG. 11B, when the small partition walls 5 a and 5 b are formed immediately above the first electrode layer 3, the base layer of the small partition walls 5 a and 5 b is the first electrode layer 3. There, the height t 2 of the organic layer is a height from the first electrode layer 3 surface in the end portion opposite to the light-emitting region 11 side of the small partition wall 5a to the organic layer 6 surface. That is, the height t 2 of the organic layer, it refers to an organic layer only in height at the opposite end (thickness) to the light emitting region side of the small septum.

ここで、小隔壁の端部とは、小隔壁の最も外側の端部をいう。例えば、小隔壁の断面形状が逆テーパー形状である場合、小隔壁の端部は、図6(b)に例示するように、上底面の端部となる。また例えば、小隔壁の断面形状が順テーパー形状である場合、小隔壁の端部は、図12に例示するように、下底面の端部となる。
すなわち、例えば、小隔壁の断面形状が逆テーパー形状である場合、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側の端部での有機層の高さtは、図6(b)および図11(b)に例示するように、小隔壁5aの発光領域11側の上底面の端部における有機層の高さtになる。また、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部での有機層の高さtは、図6(b)および図11(b)に例示するように、小隔壁5aの発光領域11側とは反対側の上底面の端部における有機層の高さtになる。
また例えば、小隔壁の断面形状が順テーパー形状である場合、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側の端部での有機層の高さtは、図12に例示するように、小隔壁5aの発光領域11側の下底面の端部における有機層の高さtになる。また、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部での有機層の高さtは、図12に例示するように、小隔壁5aの発光領域11側とは反対側の下底面の端部における有機層の高さtになる。
Here, the end portion of the small partition wall means the outermost end portion of the small partition wall. For example, when the cross-sectional shape of the small partition is an inversely tapered shape, the end of the small partition becomes the end of the upper bottom surface as illustrated in FIG. For example, when the cross-sectional shape of the small partition is a forward tapered shape, the end of the small partition is an end of the lower bottom surface as illustrated in FIG.
That is, for example, when the cross-sectional shape of the small partition is an inversely tapered shape, the height t 1 of the organic layer at the end of the small partition provided on the light emitting region side on the light emitting region side is shown in FIG. As illustrated in FIG. 11B, the organic layer has a height t 1 at the end of the upper bottom surface of the small partition wall 5 a on the light emitting region 11 side. Further, the height t 2 of the organic layer at the end opposite to the light emitting region side of the small partition provided on the light emitting region side is, as illustrated in FIGS. 6B and 11B, It becomes the height t 2 of the organic layer at the end portion of the bottom surface on the side opposite to the light-emitting region 11 side of the small septum 5a.
For example, when the cross-sectional shape of the small partition is a forward tapered shape, the height t 1 of the organic layer at the end of the small partition provided on the light emitting region side on the light emitting region side is as illustrated in FIG. , the height t 1 of the organic layer at the end portion of the bottom surface of the light emitting region 11 side of the small septum 5a. The height t 2 of the organic layer at the end opposite to the light emitting region side of the small partition wall provided in the light emitting region side, as illustrated in FIG. 12, a light emitting region 11 side of the small partition wall 5a is the height t 2 of the organic layer at the end portion of the bottom surface of the opposite side.

なお、上記有機層の高さtおよびtは、Zygo社製の走査型白色干渉計またはキーエンス社製のレーザ顕微鏡により測定することができる。 The height t 1 and t 2 of the organic layer can be measured with a scanning white interferometer manufactured by Zygo or a laser microscope manufactured by Keyence.

としては、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部において、基板表面から有機層表面までの高さが、基板表面から小隔壁表面までの高さよりも低く、かつ、tよりも低ければよい。なお、図6(b)および図9(b)に示す例においては、t=0の場合が示されているが、t>tであれば、図13に例示するようにt>0でもよい。
具体的に、tは、小隔壁の厚みを1とすると、0.5以下であることが好ましく、より好ましくは0.2以下、さらに好ましくは0.1以下である。上記の比率が上記範囲であれば、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを効果的に抑制することができるからである。
さらに具体的に、tは、0nm〜500nmの範囲内であることが好ましく、より好ましくは0nm〜250nmの範囲内、さらに好ましくは0nm〜100nmの範囲内である。tが上記範囲であれば、上記の場合と同様に、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを効果的に抑制することができるからである。
As t 2 , the height from the substrate surface to the organic layer surface is higher than the height from the substrate surface to the surface of the small partition wall at the end of the small partition wall provided on the light emitting region side opposite to the light emission region side. low and may be lower than t 1. In the example shown in FIG. 6 (b) and FIG. 9 (b), although the case of t 2 = 0 are shown, if t 1> t 2, as illustrated in FIG. 13 t 2 It may be> 0.
Specifically, t 2 is preferably 0.5 or less, more preferably 0.2 or less, and further preferably 0.1 or less, where the thickness of the small partition wall is 1. This is because, if the ratio is within the above range, the second electrode layer can be reliably divided and a short circuit between the second electrode layers positioned with the partition wall interposed therebetween can be effectively suppressed.
More specifically, t 2 is preferably in the range of 0 nm to 500 nm, more preferably in the range of 0 nm to 250 nm, and still more preferably in the range of 0 nm to 100 nm. If t 2 is in the above range, as in the case described above, the second electrode layer reliably separated, it because it is possible to effectively suppress a short circuit in the second electrode layers located across a partition wall It is.

としては、tよりも高ければ、特に限定されるものではない。 t 1 is not particularly limited as long as it is higher than t 2 .

3.有機EL層形成工程
本発明における有機EL層形成工程は、上記有機層形成工程を有するものであり、有機EL層を形成する工程である。
3. Organic EL layer formation process The organic EL layer formation process in this invention has the said organic layer formation process, and is a process of forming an organic EL layer.

有機EL層は、少なくとも発光層を含む1層もしくは複数層の有機層を有するものであり、その層構成については、上記有機層形成工程の項に記載した通りである。本発明においては、有機EL層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層を印刷法により形成すればよく、有機EL層を構成する他の層を印刷法以外の方法で形成することができる。例えば、有機EL素子用基板上に、正孔注入層および発光層を印刷法により順に形成した後に、発光層上に電子輸送層や電子注入層を印刷法以外の方法、例えば、真空蒸着法により形成することができる。また例えば、有機EL素子用基板上に、正孔注入層を印刷法以外の方法、例えば、スピンコート法により形成した後に、正孔注入層上に発光層を印刷法により形成することができる。   The organic EL layer has one or a plurality of organic layers including at least a light emitting layer, and the layer structure is as described in the section of the organic layer forming step. In the present invention, at least one of the organic layers constituting the organic EL layer may be formed by a printing method, and other layers constituting the organic EL layer may be formed by a method other than the printing method. it can. For example, after a hole injection layer and a light emitting layer are sequentially formed on a substrate for an organic EL element by a printing method, an electron transport layer and an electron injection layer are formed on the light emitting layer by a method other than the printing method, for example, a vacuum deposition method. Can be formed. Further, for example, after the hole injection layer is formed on the organic EL element substrate by a method other than the printing method, for example, the spin coating method, the light emitting layer can be formed on the hole injection layer by the printing method.

このように、有機EL層を構成する少なくとも1層の有機層を印刷法により形成し、有機EL層を構成する他の層を印刷法以外の方法で形成してもよいが、中でも、有機EL層を構成する有機層のうち、湿式法で形成する有機層のすべてを印刷法により形成することが好ましい。これにより、本発明の効果を特に発揮することができるからである。   As described above, at least one organic layer constituting the organic EL layer may be formed by a printing method, and other layers constituting the organic EL layer may be formed by a method other than the printing method. Of the organic layers constituting the layer, it is preferable to form all of the organic layers formed by a wet method by a printing method. This is because the effect of the present invention can be particularly exhibited.

以下、印刷法以外の方法で形成する他の層と、印刷法以外の方法とに分けて説明する。   Hereinafter, the description will be made by dividing into other layers formed by a method other than the printing method and methods other than the printing method.

(1)印刷法以外の方法で形成する他の層
本発明において、印刷法以外の方法で形成する他の層としては、発光層以外の層であることが好ましい。このような層としては、例えば、正孔注入層、電子注入層、電子輸送層等が挙げられる。以下、これらの層について説明する。
(1) Other layer formed by a method other than the printing method In the present invention, the other layer formed by a method other than the printing method is preferably a layer other than the light emitting layer. Examples of such a layer include a hole injection layer, an electron injection layer, and an electron transport layer. Hereinafter, these layers will be described.

(i)正孔注入層
正孔輸送層は、正孔注入層に正孔輸送の機能を付与することにより、正孔注入層と一体化される場合がある。すなわち、正孔注入層は、正孔注入機能のみを有していてもよく、正孔注入機能および正孔輸送機能の両機能を有していてもよい。
(I) Hole injection layer The hole transport layer may be integrated with the hole injection layer by imparting a hole transport function to the hole injection layer. That is, the hole injection layer may have only a hole injection function, or may have both a hole injection function and a hole transport function.

正孔注入層に用いられる材料としては、発光層内への正孔の注入を安定化させることができる材料であれば、特に限定されるものではなく、上記発光層の発光材料に例示した化合物の他、フェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、酸化アルミニウム、酸化チタン等の酸化物、アモルファスカーボン、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリフェニレンビニレン誘導体等を用いることができる。具体的には、ビス(N−(1−ナフチル)−N−フェニル)ベンジジン(α−NPD)、4,4,4−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン(MTDATA)、ポリ3,4エチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホン酸(PEDOT−PSS)、ポリビニルカルバゾール(PVCz)等が挙げられる。   The material used for the hole injection layer is not particularly limited as long as it can stabilize the injection of holes into the light emitting layer, and the compounds exemplified as the light emitting material for the light emitting layer. In addition, phenylamine, starburst amine, phthalocyanine, vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, aluminum oxide, titanium oxide and other oxides, amorphous carbon, polyaniline, polythiophene, polyphenylene vinylene derivatives, etc. may be used. it can. Specifically, bis (N- (1-naphthyl) -N-phenyl) benzidine (α-NPD), 4,4,4-tris (3-methylphenylphenylamino) triphenylamine (MTDATA), poly-3 4,4 ethylenedioxythiophene-polystyrene sulfonic acid (PEDOT-PSS), polyvinylcarbazole (PVCz), and the like.

また、正孔注入層の厚みとしては、正孔注入機能や正孔輸送機能が十分に発揮される厚みであれば、特に限定されないが、具体的には、0.5nm〜1000nmの範囲内、中でも、10nm〜500nmの範囲内であることが好ましい。   Further, the thickness of the hole injection layer is not particularly limited as long as the hole injection function and the hole transport function are sufficiently exerted, but specifically, within the range of 0.5 nm to 1000 nm, Especially, it is preferable that it exists in the range of 10 nm-500 nm.

(ii)電子注入層
電子輸送層は、電子注入層に電子輸送の機能を付与することにより、電子注入層と一体化される場合がある。すなわち、電子注入層は、電子注入機能のみを有していてもよく、電子注入機能および電子輸送機能の両機能を有していてもよい。
(Ii) Electron injection layer The electron transport layer may be integrated with the electron injection layer by imparting an electron transport function to the electron injection layer. That is, the electron injection layer may have only an electron injection function, or may have both an electron injection function and an electron transport function.

電子注入層に用いられる材料としては、発光層内への電子の注入を安定化させることができる材料であれば、特に限定されるものではなく、上記発光層の発光材料に例示した化合物の他、アルミリチウム合金、フッ化リチウム、ストロンチウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、フッ化ストロンチウム、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、酸化アルミニウム、酸化ストロンチウム、カルシウム、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレンスルホン酸ナトリウム、リチウム、セシウム、フッ化セシウム等のようにアルカリ金属類、およびアルカリ金属類のハロゲン化物、アルカリ金属の有機錯体等を用いることができる。   The material used for the electron injection layer is not particularly limited as long as it can stabilize the injection of electrons into the light emitting layer. In addition to the compounds exemplified as the light emitting material for the light emitting layer, Aluminum lithium alloy, lithium fluoride, strontium, magnesium oxide, magnesium fluoride, strontium fluoride, calcium fluoride, barium fluoride, aluminum oxide, strontium oxide, calcium, polymethyl methacrylate, sodium polystyrene sulfonate, lithium, cesium Alkali metals such as cesium fluoride, alkali metal halides, alkali metal organic complexes, and the like can be used.

また、電子輸送性の有機材料にアルカリ金属あるいはアルカリ土類金属をドープした金属ドープ層を形成し、これを電子注入層とすることもできる。上記電子輸送性の有機材料としては、例えば、バソキュプロイン、バソフェナントロリン、フェナントロリン誘導体等を挙げることができ、ドープする金属としては、Li、Cs、Ba、Sr等が挙げられる。   Alternatively, a metal doped layer in which an alkali metal or alkaline earth metal is doped on an electron transporting organic material may be formed and used as an electron injection layer. Examples of the electron-transporting organic material include bathocuproine, bathophenanthroline, and phenanthroline derivatives. Examples of the metal to be doped include Li, Cs, Ba, and Sr.

上記電子注入層の厚みとしては、電子注入機能や電子輸送機能が十分に発揮される厚みであれば、特に限定されない。   The thickness of the electron injection layer is not particularly limited as long as the electron injection function and the electron transport function are sufficiently exhibited.

(iii)電子輸送層
電子輸送層に用いられる材料としては、陰極から注入された電子を発光層内へ輸送することが可能な材料であれば特に限定されるものではなく、例えば、バソキュプロイン、バソフェナントロリン、フェナントロリン誘導体、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、またはトリス(8−キノリノラト)アルミニウム錯体(Alq)等を挙げることができる。
(Iii) Electron transport layer The material used for the electron transport layer is not particularly limited as long as it is a material capable of transporting electrons injected from the cathode into the light emitting layer. For example, bathocuproine, batho Phenanthroline, a phenanthroline derivative, a triazole derivative, an oxadiazole derivative, or a tris (8-quinolinolato) aluminum complex (Alq 3 ) can be given.

上記電子輸送層の厚みとしては、電子輸送機能が十分に発揮される厚みであれば、特に限定されない。   The thickness of the electron transport layer is not particularly limited as long as the electron transport function is sufficiently thick.

(2)印刷法以外の方法
印刷法以外の方法としては、湿式法であってもよく乾式法であってもよい。
(2) Method other than printing method The method other than the printing method may be a wet method or a dry method.

湿式法としては、塗工液を塗布する方法が挙げられる。塗布方法としては、例えば、ディップコート法、ロールコート法、ブレードコート法、スピンコート法、バーコート法、ワイヤーバーコート法、キャスト法、LB法等を挙げることができる。また、インクジェット法等の吐出法、熱転写法等の転写法などを挙げることができる。   Examples of the wet method include a method of applying a coating liquid. Examples of the coating method include a dip coating method, a roll coating method, a blade coating method, a spin coating method, a bar coating method, a wire bar coating method, a casting method, and an LB method. Further, a discharge method such as an ink jet method, a transfer method such as a thermal transfer method, and the like can be given.

乾式法としては、真空蒸着法等の一般的な蒸着方法を用いることができる。   As the dry method, a general vapor deposition method such as a vacuum vapor deposition method can be used.

4.第2電極層形成工程
本発明における第2電極層形成工程は、有機EL層上に第2電極層を形成する工程である。
4). Second electrode layer forming step The second electrode layer forming step in the present invention is a step of forming the second electrode layer on the organic EL layer.

第2電極層は、陽極であっても陰極であってもよいが、通常は陰極として形成される。   The second electrode layer may be an anode or a cathode, but is usually formed as a cathode.

また、第2電極層は、透明性を有していても有していなくてもよく、光の取り出し面等によって適宜選択される。例えば、第2電極層側から光を取り出す場合は、第2電極層は透明または半透明である必要がある。   The second electrode layer may or may not have transparency, and is appropriately selected depending on the light extraction surface and the like. For example, when light is extracted from the second electrode layer side, the second electrode layer needs to be transparent or translucent.

陰極としては、電子が注入し易いように仕事関数の小さい導電性材料を用いることが好ましく、例えば、MgAg等のマグネシウム合金、AlLi、AlCa、AlMg等のアルミニウム合金、Li、Caをはじめとするアルカリ金属類およびアルカリ土類金属類、または、アルカリ金属類およびアルカリ土類金属類の合金などが挙げられる。   As the cathode, a conductive material having a small work function is preferably used so that electrons can be easily injected. For example, magnesium alloys such as MgAg, aluminum alloys such as AlLi, AlCa, and AlMg, and alkalis such as Li and Ca are used. Examples thereof include metals and alkaline earth metals, or alloys of alkali metals and alkaline earth metals.

また、第2電極層は抵抗が小さいことが好ましく、一般には金属材料が用いられるが、有機化合物または無機化合物を用いてもよい。   The second electrode layer preferably has a low resistance, and generally a metal material is used, but an organic compound or an inorganic compound may be used.

本工程においては、上記有機EL層上に、金属材料を成膜して第2電極層を形成することが好ましい。第2電極層の材料としては抵抗が低いものであればよく、金属材料が最も適しているからである。   In this step, it is preferable to form a second electrode layer by forming a metal material on the organic EL layer. This is because the second electrode layer may be made of a material having a low resistance, and a metal material is most suitable.

金属材料の成膜方法としては、一般的な電極の形成方法を用いることができ、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の一般的な蒸着法や、金属ペーストを塗布する方法等が挙げられる。中でも、真空蒸着法、金属ペーストを塗布する方法が好ましい。真空蒸着法は、ドライプロセスで有機EL層へのダメージが少ない方法であり、積層に適している。また、金属ペーストを塗布する方法はウェットプロセスであり、ウェットプロセスはドライプロセスよりも大面積の対応に適している。ウェットプロセスであっても、有機EL層に影響を与えない溶媒が配合された金属ペーストは使用可能である。すなわち、有機EL層の耐溶剤性などによって有機EL層に影響を与えないように工夫することで、ウェットプロセスも適用可能となる。   As a method for forming a metal material, a general electrode forming method can be used. For example, a general vapor deposition method such as a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or a method for applying a metal paste. Etc. Among these, a vacuum deposition method and a method of applying a metal paste are preferable. The vacuum evaporation method is a method that causes little damage to the organic EL layer in a dry process and is suitable for stacking. Further, the method of applying the metal paste is a wet process, and the wet process is more suitable for dealing with a larger area than the dry process. Even in the wet process, a metal paste containing a solvent that does not affect the organic EL layer can be used. That is, a wet process can be applied by devising the organic EL layer so as not to be affected by the solvent resistance of the organic EL layer.

なお、第1電極層と隔壁との間に絶縁層が形成されていない場合、図5および図11(a)に例示するような有機EL素子用基板1が用いられる。このような有機EL素子用基板1を用いて、図11(b)および(c)に例示するように有機層6および第2電極層7を形成すると、図11(c)に例示するように小隔壁5aおよび5b間において第1電極層3と第2電極層7とが接触する場合がある。本発明においては、小隔壁5aおよび5b間に位置する第2電極層7は、発光領域11に位置する第2電極層7とは分断されており、電圧の印加に関与しない。よって、絶縁層が形成されておらず、小隔壁間で第1電極層および第2電極層が接触している場合であっても、第1電極層および第2電極層間でショートすることはない。   In addition, when the insulating layer is not formed between the 1st electrode layer and the partition, the board | substrate 1 for organic EL elements which is illustrated to FIG. 5 and FIG. 11 (a) is used. When the organic layer 6 and the second electrode layer 7 are formed using such an organic EL element substrate 1 as illustrated in FIGS. 11B and 11C, as illustrated in FIG. 11C. The first electrode layer 3 and the second electrode layer 7 may be in contact with each other between the small partition walls 5a and 5b. In the present invention, the second electrode layer 7 located between the small barrier ribs 5a and 5b is separated from the second electrode layer 7 located in the light emitting region 11, and does not participate in voltage application. Therefore, even when the insulating layer is not formed and the first electrode layer and the second electrode layer are in contact with each other between the small partition walls, there is no short circuit between the first electrode layer and the second electrode layer. .

C.有機EL素子
次に、本発明の有機EL素子について説明する。本発明の有機EL素子は、上述した有機EL素子用基板と、上記有機EL素子用基板の隔壁間の第1電極層上に形成され、発光層を含む有機EL層と、上記有機EL層上に形成され、上記隔壁により分断されている第2電極層とを有し、上記隔壁を挟んで隣接する上記第2電極層が互いに電気的に絶縁されていることを特徴とするものである。
C. Organic EL Element Next, the organic EL element of the present invention will be described. The organic EL element of the present invention is formed on the organic EL element substrate described above and the first electrode layer between the partition walls of the organic EL element substrate, and includes an organic EL layer including a light emitting layer, and the organic EL layer. And the second electrode layers adjacent to each other with the partition wall interposed therebetween are electrically insulated from each other.

本発明の有機EL素子について図面を参照しながら説明する。図14は、本発明の有機EL素子の一例を示す概略断面図である。図14に例示する有機EL素子20は、基板2上に第1電極層3が形成され、この第1電極層3上に絶縁層4が形成され、この絶縁層4上に、第2電極層を複数に分断する分断領域10を画定する複数の絶縁性の隔壁5が形成された有機EL素子用基板を有するものであり、さらに、隔壁5間の第1電極層3上に形成された発光層8と、発光層8上に形成され、隔壁5により分断されている第2電極層7とを有している。
隔壁5の各々は、所定間隔dをおいて平行に設けられた複数の小隔壁5a、5bから構成されている。また、この小隔壁5aおよび5bの高さhは、0.5μm〜2μmの範囲内となっている。図14に示す例においては、図2に例示するように、第1電極層3のストライプパターンに、隔壁5(小隔壁5a、5b)のストライプパターンが直交するように、隔壁5(小隔壁5a、5b)が形成されている。
また、隔壁5を挟んで隣接する第2電極層7は互いに電気的に絶縁されている。
The organic EL element of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 14 is a schematic cross-sectional view showing an example of the organic EL element of the present invention. In the organic EL element 20 illustrated in FIG. 14, the first electrode layer 3 is formed on the substrate 2, the insulating layer 4 is formed on the first electrode layer 3, and the second electrode layer is formed on the insulating layer 4. The organic EL element substrate having a plurality of insulating partition walls 5 defining a dividing region 10 for dividing the substrate into a plurality of regions, and further, a light emission formed on the first electrode layer 3 between the partition walls 5. It has a layer 8 and a second electrode layer 7 formed on the light emitting layer 8 and divided by the partition wall 5.
Each of the partition walls 5 is composed of a plurality of small partition walls 5a and 5b provided in parallel at a predetermined interval d. Further, the height h of the small partition walls 5a and 5b is in the range of 0.5 μm to 2 μm. In the example shown in FIG. 14, as illustrated in FIG. 2, the barrier ribs 5 (small barrier ribs 5 a) are arranged so that the stripe pattern of the barrier ribs 5 (small barrier ribs 5 a, 5 b) is orthogonal to the stripe pattern of the first electrode layer 3. 5b) is formed.
Further, the second electrode layers 7 adjacent to each other with the partition wall 5 interposed therebetween are electrically insulated from each other.

このような有機EL素子を製造する場合、図6(b)に例示するように、発光層等の有機層を形成する際に、小隔壁5aおよび5b間の高さhは上記範囲内となっているため、有機層形成用塗工液を発光領域11に充填し易くなり、所望の有機層6を形成することができる。   When manufacturing such an organic EL element, as shown in FIG. 6B, when an organic layer such as a light emitting layer is formed, the height h between the small partition walls 5a and 5b is within the above range. Therefore, it becomes easy to fill the light emitting region 11 with the organic layer forming coating solution, and the desired organic layer 6 can be formed.

本発明によれば、上述した有機EL素子用基板を用いているため、隣接する隔壁間に設けられる発光領域に有機層形成用塗工液を十分に充填して、所望の有機層が形成することができる。また、小隔壁間で有機層形成用塗工液が多量に入り込むことを抑制することにより、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを防止することが可能である。   According to the present invention, since the organic EL element substrate described above is used, a desired organic layer is formed by sufficiently filling a light emitting region provided between adjacent partition walls with an organic layer forming coating solution. be able to. In addition, the second electrode layer is surely divided by preventing the organic layer forming coating liquid from entering a large amount between the small partition walls, thereby preventing a short circuit between the second electrode layers located across the partition walls. Is possible.

なお、基板、第1電極層、隔壁、分断領域、絶縁層については、上記「A.有機EL素子用基板」の項に詳しく記載したので、ここでの説明は省略する。以下、本発明の有機EL素子における他の構成について説明する。   The substrate, the first electrode layer, the partition wall, the dividing region, and the insulating layer have been described in detail in the above section “A. Substrate for organic EL element”, and thus description thereof is omitted here. Hereinafter, the other structure in the organic EL element of this invention is demonstrated.

1.第2電極層
本発明における第2電極層は、上記有機EL層上に形成され、上記隔壁により分断されているものである。
1. 2nd electrode layer The 2nd electrode layer in this invention is formed on the said organic EL layer, and is parted by the said partition.

本発明においては、隔壁を構成する複数の小隔壁のうち発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側の端部での第2電極層の高さをt、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部での第2電極層の高さをtとしたとき、t>tとなることが好ましい。 In the present invention, the height of the second electrode layer at the end of the small partition provided on the light emitting region side among the plurality of small partitions constituting the partition is t 3 , and is provided on the light emitting region side. It is preferable that t 3 > t 4 when the height of the second electrode layer at the end of the small partition opposite to the light emitting region is t 4 .

なお、発光領域、隔壁を構成する複数の小隔壁のうち発光領域側に設けられた小隔壁、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側の端部、および、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部、の定義については、上記「A.有機EL素子用基板」および「B.有機EL素子の製造方法」の項に記載したので、ここでの説明は省略する。   Of the plurality of small partitions constituting the light emitting region, the small partition provided on the light emitting region side, the end of the small partition provided on the light emitting region side on the light emitting region side, and the light emitting region side. The definition of the end of the small partition opposite to the light emitting region side is described in the above-mentioned sections “A. Substrate for organic EL element” and “B. Method for manufacturing organic EL element”. Description of is omitted.

「発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側の端部での第2電極層の高さt」とは、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側の端部における、小隔壁の下地層表面から第2電極層表面までの高さをいう。図14〜図16に例示するように、小隔壁5aおよび5bが絶縁層4の直上に形成されている場合には、小隔壁5aおよび5bの下地層は絶縁層4であり、上記第2電極層の高さtは、小隔壁5aの発光領域11側の端部における絶縁層4表面から第2電極層7表面までの高さとなる。また、図17に例示するように、小隔壁5aおよび5bが第1電極層3の直上に形成されている場合には、小隔壁5aおよび5bの下地層は第1電極層3であり、上記第2電極層の高さtは、小隔壁5aの発光領域11側の端部における第1電極層3表面から第2電極層7表面までの高さとなる。 “Height t 3 of the second electrode layer at the end of the small partition provided on the light emitting region side on the light emitting region side” is the end of the small partition provided on the light emitting region side on the light emitting region side. This refers to the height from the surface of the base layer of the small partition wall to the surface of the second electrode layer. As illustrated in FIGS. 14 to 16, when the small partitions 5 a and 5 b are formed immediately above the insulating layer 4, the base layer of the small partitions 5 a and 5 b is the insulating layer 4, and the second electrode height t 3 of the layer is a height from the insulating layer 4 surface at the end portion of the light emitting region 11 side of the small partition wall 5a to the second electrode layer 7 surface. In addition, as illustrated in FIG. 17, when the small partition walls 5 a and 5 b are formed immediately above the first electrode layer 3, the base layer of the small partition walls 5 a and 5 b is the first electrode layer 3. height t 3 of the second electrode layer is a height from the first electrode layer 3 surface in the end portion of the light emitting region 11 side of the small partition wall 5a to the second electrode layer 7 surface.

一方、「発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部での第2電極層の高さt」とは、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部における、小隔壁の下地層表面から第2電極層表面までの高さをいう。図14〜図16に例示するように、小隔壁5aおよび5bが絶縁層4の直上に形成されている場合には、小隔壁5aおよび5bの下地層は絶縁層4であり、上記第2電極層の高さtは、小隔壁5aの発光領域11側とは反対側の端部における絶縁層4表面から第2電極層7表面までの高さとなる。また、図17に例示するように、小隔壁5aおよび5bが第1電極層3の直上に形成されている場合には、小隔壁5aおよび5bの下地層は第1電極層3であり、上記第2電極層の高さtは、小隔壁5aの発光領域11側とは反対側の端部における第1電極層3表面から第2電極層7表面までの高さとなる。 On the other hand, “the height t 4 of the second electrode layer at the end opposite to the light emitting region side of the small partition provided on the light emitting region side” is the light emitting region of the small partition provided on the light emitting region side. The height from the surface of the base layer of the small partition wall to the surface of the second electrode layer at the end opposite to the side. As illustrated in FIGS. 14 to 16, when the small partitions 5 a and 5 b are formed immediately above the insulating layer 4, the base layer of the small partitions 5 a and 5 b is the insulating layer 4, and the second electrode the height t 4 of the layers, the height of the insulating layer 4 surface at an end portion opposite to the light-emitting region 11 side of the small partition wall 5a to the second electrode layer 7 surface. In addition, as illustrated in FIG. 17, when the small partition walls 5 a and 5 b are formed immediately above the first electrode layer 3, the base layer of the small partition walls 5 a and 5 b is the first electrode layer 3. the height t 4 of the second electrode layer is a height from the first electrode layer 3 surface in the end portion opposite to the light-emitting region 11 side of the small partition wall 5a to the second electrode layer 7 surface.

なお、上記第2電極層の高さtおよびtの測定方法については、上記「B.有機EL素子の製造方法」の有機層の高さtおよびtの測定方法と同様であるので、ここでの説明は省略する。 The method for measuring the heights t 3 and t 4 of the second electrode layer is the same as the method for measuring the heights t 1 and t 2 of the organic layer in “B. Manufacturing method of organic EL element”. Therefore, explanation here is omitted.

としては、発光領域側に設けられた小隔壁の発光領域側とは反対側の端部において、基板表面から第2電極層表面までの高さが、基板表面から小隔壁表面までの高さよりも低く、かつ、tよりも低ければよい。具体的に、tは、小隔壁の厚みを1とすると、0.5以下であることが好ましく、より好ましくは0.4以下、さらに好ましくは0.3以下である。上記の比率が上記範囲であれば、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを効果的に抑制することができるからである。
さらに具体的に、tは、50nm〜1000nmの範囲内であることが好ましく、より好ましくは50nm〜800nmの範囲内、さらに好ましくは50nm〜600nmの範囲内である。tが上記範囲であれば、上記の場合と同様に、第2電極層を確実に分断し、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを効果的に抑制することができるからである。
The t 4, at the end opposite to the light emitting region side of the small partition wall provided in the light emitting region side, the height from the substrate surface to the second electrode layer surface is high from the substrate surface to the small surface of the partition wall lower than of, and may be lower than t 3. Specifically, t 4 is preferably 0.5 or less, more preferably 0.4 or less, and further preferably 0.3 or less, where the thickness of the small partition wall is 1. This is because, if the ratio is within the above range, the second electrode layer can be reliably divided and a short circuit between the second electrode layers positioned with the partition wall interposed therebetween can be effectively suppressed.
More specifically, t 4 is preferably in the range of 50 nm to 1000 nm, more preferably in the range of 50 nm to 800 nm, and still more preferably in the range of 50 nm to 600 nm. If t 4 is in the above range, as in the case described above, the second electrode layer reliably separated, it because it is possible to effectively suppress a short circuit in the second electrode layers located across a partition wall It is.

としては、tよりも高ければ、特に限定されるものではない。 t 3 is not particularly limited as long as it is higher than t 4 .

また、隔壁を挟んで隣接する第2電極層は互いに電気的に絶縁されている。なお、隔壁を挟んで隣接する第2電極層が互いに電気的に絶縁されていることは、テスターによる導通の有無や、電圧印加による発光の有無などにより確認することができる。   Further, the second electrode layers adjacent to each other with the partition wall interposed therebetween are electrically insulated from each other. In addition, it can confirm that the 2nd electrode layer adjacent on both sides of a partition is mutually insulated by the presence or absence of the conduction | electrical_connection by a tester, the presence or absence of the light emission by voltage application, etc.

なお、第2電極層のその他の点については、上記「B.有機EL素子の製造方法」の第2電極層形成工程の項に記載したので、ここでの説明は省略する。   Since the other points of the second electrode layer are described in the section of the second electrode layer forming step in “B. Manufacturing method of organic EL element”, description thereof is omitted here.

2.有機EL層
本発明に用いられる有機EL層は、少なくとも発光層を含む1層もしくは複数層の有機層を有するものである。
なお、有機EL層の層構成および有機EL層を構成する各層については、上記「B.有機EL素子の製造方法」の有機層形成工程および有機EL層形成工程の項に詳しく記載したので、ここでの説明は省略する。
2. Organic EL Layer The organic EL layer used in the present invention has one or more organic layers including at least a light emitting layer.
The layer configuration of the organic EL layer and each layer constituting the organic EL layer are described in detail in the section of the organic layer forming step and the organic EL layer forming step in “B. Manufacturing method of organic EL element” above. The description in is omitted.

有機EL層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層は、メニスカス状の断面形状を有していてもよい。例えば、図14〜図16においては、隣り合う隔壁5の間に位置する発光層8がメニスカス状の断面形状を有している。有機EL層を構成する発光層等の有機層がメニスカス状の断面形状を有する場合には、有機EL層上に形成される第2電極層が発光領域と分断領域とでつながってしまうおそれがあるが、本発明においては隔壁が複数の小隔壁から構成されており、小隔壁の高さが所定の範囲内であるので、第2電極層を確実に分断することができる。よって、有機EL層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層が、メニスカス状の断面形状を有する場合には、本発明の構成とすることにより、隔壁を挟んで位置する第2電極層間でショートすることを効果的に抑制することができる。   At least one organic layer of the organic layers constituting the organic EL layer may have a meniscus cross-sectional shape. For example, in FIGS. 14-16, the light emitting layer 8 located between the adjacent partition walls 5 has a meniscus cross-sectional shape. When the organic layer such as the light emitting layer constituting the organic EL layer has a meniscus cross-sectional shape, the second electrode layer formed on the organic EL layer may be connected to the light emitting region and the divided region. However, in the present invention, the partition wall is composed of a plurality of small partition walls, and the height of the small partition walls is within a predetermined range, so that the second electrode layer can be reliably divided. Therefore, in the case where at least one of the organic layers constituting the organic EL layer has a meniscus cross-sectional shape, the second electrode layer located between the partition walls is formed by the configuration of the present invention. Can be effectively suppressed.

なお、有機EL層を構成する有機層がメニスカス状の断面形状を有することは、有機EL素子の断面の電子顕微鏡写真により確認することができる。   In addition, it can confirm with the electron micrograph of the cross section of an organic EL element that the organic layer which comprises an organic EL layer has a meniscus cross-sectional shape.

メニスカス状の断面形状を有する有機層の数としては、1層以上であればよく、例えば、1層、2層、3層等とすることができる。
また、メニスカス状の断面形状を有する有機層としては、発光層であることが好ましい。この有機層は、正孔注入層および発光層であってもよい。
The number of organic layers having a meniscus cross-sectional shape may be one or more, for example, one layer, two layers, three layers, and the like.
The organic layer having a meniscus cross-sectional shape is preferably a light emitting layer. This organic layer may be a hole injection layer and a light emitting layer.

有機EL層の形成位置としては、有機EL層を構成する各層が少なくとも発光領域に形成されていればよい。例えば、図14〜図17に示すように、発光層8は隔壁5上に形成されていてもよく、図示しないが隔壁上に形成されていなくてもよい。また、発光層が隔壁上に形成されている場合には、図14、図15および図17に例示するように、発光層8が隔壁5上の全部に形成されていてもよく、図16に例示するように発光層8が隔壁5上の一部に形成されていてもよい。   As a formation position of the organic EL layer, each layer constituting the organic EL layer may be formed at least in the light emitting region. For example, as shown in FIGS. 14 to 17, the light emitting layer 8 may be formed on the partition wall 5, but not necessarily formed on the partition wall although not shown. Further, when the light emitting layer is formed on the partition wall, the light emitting layer 8 may be formed on the entire partition wall 5 as illustrated in FIG. 14, FIG. 15 and FIG. As illustrated, the light emitting layer 8 may be formed on a part of the partition wall 5.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。   The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

以下、実施例および比較例を用いて、本発明について具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples.

[実施例1]
(透明電極層の形成)
まず、ガラス基板(厚み0.7mm)に対して、イオンプレーティング法により膜厚200nmの酸化インジウムスズ(ITO)電極膜を形成し、このITO電極膜上に感光性レジストを塗布し、マスク露光、現像、ITO電極膜のエッチングを行って、幅125μmのストライプ状の透明電極層を155μmピッチで445本形成した。
[Example 1]
(Formation of transparent electrode layer)
First, an indium tin oxide (ITO) electrode film having a thickness of 200 nm is formed on a glass substrate (thickness 0.7 mm) by an ion plating method, a photosensitive resist is applied on the ITO electrode film, and mask exposure is performed. Then, development and etching of the ITO electrode film were performed to form 445 striped transparent electrode layers with a width of 125 μm at a pitch of 155 μm.

(絶縁層の形成)
次に、上記のガラス基板(厚み0.7mm)に、洗浄処理と紫外線プラズマ洗浄を施し、その後、ポリイミド前駆体を主成分とするポジ型感光性レジストをスピンコート法で塗布し、フォトリソグラフィープロセスでパターニングして、各透明電極層上に100μm×100μmの発光領域(開口部)が155μmピッチで存在するように絶縁層(厚み1.5μm)を形成した。
(Formation of insulating layer)
Next, the glass substrate (thickness 0.7 mm) is subjected to cleaning treatment and ultraviolet plasma cleaning, and then a positive photosensitive resist mainly composed of a polyimide precursor is applied by a spin coating method, and a photolithography process is performed. Then, an insulating layer (thickness: 1.5 μm) was formed so that light emitting regions (openings) of 100 μm × 100 μm exist at a pitch of 155 μm on each transparent electrode layer.

(隔壁の形成)
次に、上記の絶縁層が形成されたガラス基板に、洗浄処理と紫外線プラズマ洗浄を施し、その後、ノボラック樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂からなるネガ型感光性レジストをスピンコート法で塗布し、フォトリソグラフィープロセスでパターニングして、絶縁層上に透明電極層と直交するように、ストライプ状で断面形状が逆テーパー状の隔壁を並列に形成した。この際、隔壁を構成する小隔壁の数は2個(2ライン)とした。また、小隔壁間の間隔を15μmで隔壁を形成した。小隔壁は、幅が20μm、高さが2μm、逆テーパーの角度は50°であった。
(Formation of partition walls)
Next, the glass substrate on which the insulating layer is formed is subjected to cleaning treatment and ultraviolet plasma cleaning, and then a negative photosensitive resist composed of a novolac resin, a phenol resin, and a melamine resin is applied by a spin coat method. Patterning was performed by a lithography process, and barrier ribs having a stripe shape and a reverse taper shape were formed in parallel on the insulating layer so as to be orthogonal to the transparent electrode layer. At this time, the number of small partition walls constituting the partition walls was set to two (2 lines). Further, the partition walls were formed with an interval between the small partition walls of 15 μm. The small partition wall had a width of 20 μm, a height of 2 μm, and an inverse taper angle of 50 °.

(正孔注入層用のインキおよび赤色発光層用のインキの調製)
次に、下記組成の正孔注入層用のインキA1を調製した。このインキA1のせん断速度100/秒における粘度(インキ温度23℃)を、Physica社製の粘弾性測定装置MCR301型により定常流測定モードで測定した結果、15cPであった。また、2Hzにおける動的表面張力(インキ温度23℃)をSITA t60/2(SITA Messtechnik GmbH社製)を用いて測定した結果、30dyne/cmであった。
<正孔注入層用のインキA1の組成>
・PEDOT(ポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン)/PSS(ポリスチレンスルフォネート)(混合比=1/20)(バイエル社製 Baytron PCH8000
) … 70重量%
・混合溶媒(水:イソプロピルアルコール(沸点82.4℃)=70:30)
… 30重量%
(Preparation of ink for hole injection layer and ink for red light emitting layer)
Next, an ink A1 for a hole injection layer having the following composition was prepared. The viscosity of the ink A1 at a shear rate of 100 / sec (ink temperature: 23 ° C.) was measured in a steady flow measurement mode using a viscoelasticity measuring apparatus MCR301 manufactured by Physica, and found to be 15 cP. The dynamic surface tension (ink temperature 23 ° C.) at 2 Hz was measured using SITA t60 / 2 (manufactured by SITA Messtechnik GmbH), and as a result, it was 30 dyne / cm.
<Composition of ink A1 for hole injection layer>
PEDOT (poly (3,4) ethylenedioxythiophene) / PSS (polystyrene sulfonate) (mixing ratio = 1/20) (Baytron PCH8000 manufactured by Bayer)
70% by weight
Mixed solvent (water: isopropyl alcohol (boiling point 82.4 ° C.) = 70:30)
... 30% by weight

次いで、下記組成の赤色発光層用のインキB1を調製した。このインキB1のせん断速度100/秒における粘度(インキ温度23℃)を、上記のインキA1と同様に測定した結果、80cPであった。また、溶媒として使用するメシチレンとテトラリンの表面張力を、協和界面科学(株)製の表面張力計CBVP−Z型により、液温20℃で測定した。
<赤色発光層用のインキB1の組成>
・ポリフルオレン誘導体系の赤色発光材料(分子量:300,000)… 2.5重量%
・溶媒(メシチレン:テトラリン=50:50の混合溶媒) …97.5重量%
(混合溶媒の表面張力=32dyne/cm、沸点=186℃)
(メシチレンの表面張力=28dyne/cm、沸点=165℃)
(テトラリンの表面張力=35.5dyne/cm、沸点=207℃)
Subsequently, ink B1 for red light emitting layers having the following composition was prepared. As a result of measuring the viscosity (ink temperature 23 ° C.) of the ink B1 at a shear rate of 100 / sec in the same manner as the ink A1, it was 80 cP. The surface tension of mesitylene and tetralin used as solvents was measured at a liquid temperature of 20 ° C. using a surface tension meter CBVP-Z type manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.
<Composition of ink B1 for red light emitting layer>
・ Polyfluorene derivative-based red light emitting material (molecular weight: 300,000): 2.5% by weight
-Solvent (mixed solvent of mesitylene: tetralin = 50: 50) ... 97.5% by weight
(Surface tension of mixed solvent = 32 dyne / cm, boiling point = 186 ° C.)
(Surface tension of mesitylene = 28 dyne / cm, boiling point = 165 ° C.)
(Surface tension of tetralin = 35.5 dyne / cm, boiling point = 207 ° C)

(正孔注入層および発光層の形成)
グラビア版として、セル間隔25μmとなるように格子形状に配列された正方形のセル(セルの一辺が100μm、セルの深さ35μm)を備えた板状のグラビア版(有効幅80mm)を準備した。このグラビア版では、正方形のセルの対角線方向を、後述のブランケットの稼動方向と一致させた。
次に、樹脂フィルムとして、易接着ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東レ(株)製 U10、厚み100μm、表面張力60dyne/cm)を準備した。なお、このフィルムの表面張力は、2種以上の表面張力が判っている液体(標準物質)を使用して、自動接触角計(協和界面科学(株)製 DropMaster 700型)にて接触角θを測定し、γs(樹脂フィルムの表面張力)=γL(液体の表面張力)cosθ+γSL(樹脂フィルムと液体の表面張力)の式に基づいて求めた。
次いで、直径12cm、胴幅30cmのブランケット胴(表面にクッション層(硬度70°)を備える)の周面に、上記の樹脂フィルムを装着してブランケットを作製した。なお、クッション層の硬度はJIS(K6253)デュロメータ硬さ試験によるTypeA硬度である。
(Formation of hole injection layer and light emitting layer)
As a gravure plate, a plate-like gravure plate (effective width 80 mm) provided with square cells (one side of the cell is 100 μm and the cell depth is 35 μm) arranged in a lattice shape so that the cell spacing is 25 μm was prepared. In this gravure version, the diagonal direction of the square cell was made to coincide with the operation direction of the blanket described later.
Next, an easily-adhesive polyethylene terephthalate (PET) film (U10 manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 100 μm, surface tension 60 dyne / cm) was prepared as a resin film. In addition, the surface tension of this film is a contact angle θ using an automatic contact angle meter (DropMaster 700 type manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) using a liquid (standard material) of which two or more types of surface tensions are known. Was measured based on the equation: γs (surface tension of resin film) = γL (surface tension of liquid) cos θ + γSL (surface tension of resin film and liquid).
Next, a blanket was prepared by mounting the above resin film on the peripheral surface of a blanket cylinder (having a cushion layer (hardness 70 °) on the surface) having a diameter of 12 cm and a cylinder width of 30 cm. In addition, the hardness of a cushion layer is Type A hardness by a JIS (K6253) durometer hardness test.

次に、上記のグラビア版とブランケットを平台オフセット印刷機に装着し、グラビア版に上記の正孔注入層用のインキA1を供給し、ブレードを用いて不要なインキを除去して、セル内にインキを充填した。次いで、グラビア版からブランケットにインキを受理させ、その後、ブランケットから上記の隔壁等が形成されたガラス基板上にインキを転移させることによって、正孔注入層(厚み約70nm)の形成を行った。なお、印刷速度は1000mm/秒であり、乾燥は120℃に設定したホットプレート上で1時間とした。この正孔注入層は75mm×75mmであり、上記の絶縁層の開口部を被覆するように形成した。   Next, the gravure plate and the blanket are mounted on a flat table offset printing machine, and the ink A1 for the hole injection layer is supplied to the gravure plate, and unnecessary ink is removed using a blade, and the ink is put into the cell. Filled with ink. Next, ink was received from the gravure plate into the blanket, and then the hole injection layer (thickness: about 70 nm) was formed by transferring the ink from the blanket onto the glass substrate on which the partition walls and the like were formed. The printing speed was 1000 mm / second, and drying was performed for 1 hour on a hot plate set at 120 ° C. The hole injection layer was 75 mm × 75 mm, and was formed so as to cover the opening of the insulating layer.

次いで、グラビア版に上記の赤色発光層用のインキB1を供給し、正孔注入層の形成と同様の作業によって、赤色発光層(厚み約70nm)の形成を行った。なお、印刷速度は1000mm/秒であり、乾燥は180℃に設定したホットプレート上で1時間とした。この赤色発光層は75mm×75mmであり、上記の正孔注入層を被覆するように形成した。   Subsequently, the ink B1 for the red light emitting layer was supplied to the gravure plate, and a red light emitting layer (thickness of about 70 nm) was formed by the same operation as the formation of the hole injection layer. The printing speed was 1000 mm / second, and drying was performed for 1 hour on a hot plate set at 180 ° C. This red light emitting layer was 75 mm × 75 mm, and was formed so as to cover the hole injection layer.

(電子注入層の形成)
赤色発光層を形成した面側に、80mm×80mmの開口部を備えたメタルマスクを上記の絶縁層の発光領域(開口部)上に位置するように配置した。次に、このマスクを介して真空蒸着法によりカルシウムを蒸着(蒸着速度=0.1nm/秒)して電子注入層(厚み10nm)を形成した。
(Formation of electron injection layer)
On the surface side on which the red light emitting layer was formed, a metal mask having an opening of 80 mm × 80 mm was arranged so as to be positioned on the light emitting region (opening) of the insulating layer. Next, calcium was vapor-deposited through this mask by a vacuum vapor deposition method (deposition rate = 0.1 nm / second) to form an electron injection layer (thickness 10 nm).

(第2電極層の形成)
次に、電子注入層の形成に用いたメタルマスクをそのまま使用して、真空蒸着法によりアルミニウムを蒸着(蒸着速度=0.4nm/秒)した。これにより、電子注入層上に、アルミニウムからなる80mm×80mmの開口部の第2電極層(厚み300nm)を形成した。
最後に、第2電極層を形成した面側に、紫外線硬化型接着剤を介して封止板を貼り合わせることにより、有機EL素子を得た。
(Formation of second electrode layer)
Next, the metal mask used for forming the electron injection layer was used as it was, and aluminum was deposited by vapor deposition (deposition rate = 0.4 nm / second). Thereby, a second electrode layer (thickness: 300 nm) made of aluminum and having an opening of 80 mm × 80 mm was formed on the electron injection layer.
Finally, an organic EL element was obtained by bonding a sealing plate to the surface side on which the second electrode layer was formed via an ultraviolet curable adhesive.

[比較例1]
小隔壁の高さを4μmに変更したこと以外は、実施例1と同様にして有機EL素子を作製した。
[Comparative Example 1]
An organic EL device was produced in the same manner as in Example 1 except that the height of the small partition walls was changed to 4 μm.

[比較例2]
小隔壁の高さを0.2μmに変更したこと以外は、実施例1と同様にして有機EL素子を作製した。
[Comparative Example 2]
An organic EL device was produced in the same manner as in Example 1 except that the height of the small partition walls was changed to 0.2 μm.

[実施例2]
小隔壁の高さを0.5μmとして隔壁を形成し、下記のようにして正孔注入層上に正孔輸送層、正孔輸送層上に発光層を形成したこと以外は、実施例1と同様にして有機EL素子を作製した。
[Example 2]
Example 1 is the same as Example 1 except that the partition walls were formed with a small partition wall height of 0.5 μm, and a hole transport layer was formed on the hole injection layer and a light emitting layer was formed on the hole transport layer as described below. Similarly, an organic EL device was produced.

(正孔輸送層の形成)
真空蒸着法によりN,N´−ジフェニル−N,N´−ビス(3メチルフェニル)−1,1´−ビフェニル−4,4´−ジアミン(TPD)を蒸着(蒸着速度=0.1nm/秒)した。これにより、正孔注入層上に、TPDからなる80mm×80mmの正孔輸送層(厚み80nm)を形成した。
(Formation of hole transport layer)
N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine (TPD) was deposited by vacuum deposition (deposition rate = 0.1 nm / second). )did. As a result, an 80 mm × 80 mm hole transport layer (thickness 80 nm) made of TPD was formed on the hole injection layer.

(発光層の形成)
真空蒸着法によりトリス(8−キノリノラト)アルミニウム錯体(Alq)を蒸着(蒸着速度=0.1nm/秒)した。これにより、正孔輸送層上に、Alqからなる80mm×80mmの発光層(厚み80nm)を形成した。
(Formation of light emitting layer)
Tris (8-quinolinolato) aluminum complex (Alq 3 ) was deposited by vapor deposition (deposition rate = 0.1 nm / second). As a result, an 80 mm × 80 mm light emitting layer (thickness 80 nm) made of Alq 3 was formed on the hole transport layer.

[評価]
実施例1〜2および比較例1〜2について評価したところ、比較例1では、第1電極層と第2電極層との短絡が多数発生した。実施例1および実施例2では、短絡は見られなかった。これは、比較例1では発光領域(開口部)へのインクの充填が不足して所定膜厚が得られず、短絡したと考えられる。
また、比較例2では、隔壁の逆テーパー部が有機層で埋められて、隣接する第2電極間での短絡が多数発生した。実施例1および実施例2では、隣接する第2電極間での短絡は見られなかった。
[Evaluation]
When Examples 1-2 and Comparative Examples 1-2 were evaluated, in Comparative Example 1, many short circuits occurred between the first electrode layer and the second electrode layer. In Example 1 and Example 2, no short circuit was observed. In Comparative Example 1, it is considered that the light emitting region (opening) was insufficiently filled with ink, so that a predetermined film thickness was not obtained and a short circuit occurred.
Further, in Comparative Example 2, the reverse tapered portion of the partition wall was filled with the organic layer, and many short circuits occurred between the adjacent second electrodes. In Example 1 and Example 2, the short circuit between adjacent 2nd electrodes was not seen.

1 … 有機EL素子用基板
2 … 基板
3 … 第1電極層
4 … 絶縁層
5 … 隔壁
5a、5b、5c … 小隔壁
6 … 有機層
7 … 第2電極層
8 … 発光層
10 … 分断領域
11 … 発光領域
12 … ブランケット
13 … 有機層形成用塗工液
20 … 有機EL素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate for organic EL elements 2 ... Substrate 3 ... First electrode layer 4 ... Insulating layer 5 ... Partition 5a, 5b, 5c ... Small partition 6 ... Organic layer 7 ... Second electrode layer 8 ... Light emitting layer 10 ... Dividing region 11 ... Light emitting area 12 ... Blanket 13 ... Organic layer forming coating solution 20 ... Organic EL element

Claims (12)

基板と、
前記基板上に形成された第1電極層と、
前記第1電極層が形成された基板上に形成され、第2電極層を複数に分断する分断領域を画定する複数の絶縁性の隔壁とを有し、
前記隔壁の各々が、所定間隔をおいて平行に設けられた複数の小隔壁から構成されており、
前記小隔壁の高さが、0.5μm〜2μmの範囲内であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子用基板。
A substrate,
A first electrode layer formed on the substrate;
A plurality of insulating partitions that are formed on the substrate on which the first electrode layer is formed and that divide the second electrode layer into a plurality of dividing regions;
Each of the partition walls is composed of a plurality of small partition walls provided in parallel at a predetermined interval,
The organic electroluminescence element substrate, wherein the small partition walls have a height in the range of 0.5 μm to 2 μm.
前記隔壁間に設けられた発光領域の幅が、60μm以上であることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子用基板。   The substrate for an organic electroluminescence element according to claim 1, wherein the width of the light emitting region provided between the partition walls is 60 µm or more. 前記小隔壁間の間隔が、1μm〜60μmの範囲内であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子用基板。   The organic electroluminescent element substrate according to claim 1 or 2, wherein a distance between the small partition walls is in a range of 1 µm to 60 µm. 前記第1電極層と前記隔壁との間に絶縁層が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかの請求項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子用基板。   The organic electroluminescent element substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein an insulating layer is formed between the first electrode layer and the partition wall. 請求項1から請求項4までのいずれかの請求項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子用基板を調製する有機エレクトロルミネッセンス素子用基板調製工程と、
前記有機エレクトロルミネッセンス素子用基板上に、発光層を含む有機エレクトロルミネッセンス層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層を印刷法により形成する有機層形成工程と
を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
A substrate preparation step for an organic electroluminescence element for preparing the substrate for an organic electroluminescence element according to any one of claims 1 to 4,
An organic layer forming step of forming at least one organic layer of the organic layers constituting the organic electroluminescent layer including the light emitting layer on the organic electroluminescent element substrate by a printing method. Manufacturing method of electroluminescent element.
前記有機エレクトロルミネッセンス素子用基板の隔壁を構成する複数の小隔壁のうち発光領域側に設けられた前記小隔壁の前記発光領域側の端部での前記有機層の高さをt、前記発光領域側に設けられた前記小隔壁の前記発光領域側とは反対側の端部での前記有機層の高さをtとしたとき、t>tであることを特徴とする請求項5に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 The height of the organic layer at the end of the small partition provided on the light emitting region side of the plurality of small partitions constituting the partition of the substrate for the organic electroluminescence element is t 1 , and the light emission when the light emitting region side of the small partition wall provided in the region side where the height of the organic layer at the end opposite to the t 2, preceding claims, characterized in that a t 1> t 2 5. A method for producing an organic electroluminescent element according to 5. 前記有機層形成工程後に、前記有機エレクトロルミネッセンス層上に、金属材料を成膜して第2電極層を形成する第2電極層形成工程を有することを特徴とする請求項5または請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   7. The method according to claim 5, further comprising a second electrode layer forming step of forming a second electrode layer by forming a metal material on the organic electroluminescence layer after the organic layer forming step. The manufacturing method of the organic electroluminescent element of description. 前記金属材料の成膜方法が、真空蒸着法であることを特徴とする請求項7に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   The method for producing an organic electroluminescent element according to claim 7, wherein the film forming method of the metal material is a vacuum deposition method. 前記金属材料として金属ペーストを用いることを特徴とする請求項7に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   8. The method of manufacturing an organic electroluminescence element according to claim 7, wherein a metal paste is used as the metal material. 請求項1から請求項4までのいずれかの請求項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子用基板と、
前記有機エレクトロルミネッセンス素子用基板の隔壁間の第1電極層上に形成され、発光層を含む有機エレクトロルミネッセンス層と、
前記有機エレクトロルミネッセンス層上に形成され、前記隔壁により分断されている第2電極層とを有し、
前記隔壁を挟んで隣接する前記第2電極層が互いに電気的に絶縁されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
A substrate for an organic electroluminescence element according to any one of claims 1 to 4,
An organic electroluminescence layer formed on the first electrode layer between the barrier ribs of the organic electroluminescence element substrate and including a light emitting layer;
A second electrode layer formed on the organic electroluminescence layer and divided by the partition;
2. The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the second electrode layers adjacent to each other across the partition are electrically insulated from each other.
前記隔壁を構成する複数の小隔壁のうち発光領域側に設けられた前記小隔壁の前記発光領域側の端部での前記第2電極層の高さをt、前記発光領域側に設けられた前記小隔壁の前記発光領域側とは反対側の端部での前記第2電極層の高さをtとしたとき、t>tであることを特徴とする請求項10に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 The height of the second electrode layer at the end of the small partition provided on the light emitting region side among the plurality of small partitions constituting the partition is t 3 , provided on the light emitting region side. The t 3 > t 4 when the height of the second electrode layer at the end of the small partition opposite to the light emitting region is t 4. Organic electroluminescence element. 前記有機エレクトロルミネッセンス層を構成する有機層のうち少なくとも1層の有機層が、メニスカス状の断面形状を有することを特徴とする請求項10または請求項11に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescent element according to claim 10 or 11, wherein at least one organic layer of the organic layers constituting the organic electroluminescent layer has a meniscus cross-sectional shape.
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