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JP2011039404A - Photosensitive composition for forming barrier rib of optical element, black matrix using the same and manufacturing method of the same, as well as, method of manufacturing color filter - Google Patents

Photosensitive composition for forming barrier rib of optical element, black matrix using the same and manufacturing method of the same, as well as, method of manufacturing color filter Download PDF

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JP2011039404A
JP2011039404A JP2009188554A JP2009188554A JP2011039404A JP 2011039404 A JP2011039404 A JP 2011039404A JP 2009188554 A JP2009188554 A JP 2009188554A JP 2009188554 A JP2009188554 A JP 2009188554A JP 2011039404 A JP2011039404 A JP 2011039404A
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Japan
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photosensitive composition
black matrix
forming
partition
phosphoric acid
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Application number
JP2009188554A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Ishizeki
健二 石関
Hideyuki Takahashi
秀幸 高橋
Masayuki Kawashima
正行 川島
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AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
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Publication date
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Abstract

【課題】光学素子として使用する際に基板との密着耐久性に優れる隔壁が形成可能であり、かつ貯蔵安定性のよい光学素子の隔壁形成用感光性組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、光重合開始剤(B)、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)、および黒色顔料(E)を含む光学素子の隔壁形成用感光性組成物であって、組成物中の全固形分に対する前記リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)の含有量が0.1〜5質量%であり、かつ、前記光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)の含有量が10〜100ppmであることを特徴とする隔壁形成用感光性組成物。
【選択図】図1
An object of the present invention is to provide a photosensitive composition for forming a partition wall of an optical element which can form a partition wall having excellent adhesion durability with a substrate when used as an optical element and has good storage stability.
An alkali-soluble resin (A) having a photocurable ethylenically unsaturated double bond, a photopolymerization initiator (B), a phosphoric acid (meth) acrylate compound (C), and a photocurable functional group. A photosensitive composition for forming a partition wall of an optical element comprising a phosphoric acid compound (D) that is not present and a black pigment (E), wherein the phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) with respect to the total solid content in the composition ) And 0.1 to 5% by mass, and the content of the phosphoric acid compound (D) having no photocurable functional group is 10 to 100 ppm. Photosensitive composition.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、光学素子の隔壁形成用感光性組成物、これを用いたブラックマトリックスおよびその製造方法、並びにこのブラックマトリックスを有するカラーフィルタの製造方法に関する。   The present invention relates to a photosensitive composition for forming partition walls of an optical element, a black matrix using the same, a method for producing the same, and a method for producing a color filter having the black matrix.

近年、カラーフィルタの画素間の隔壁、有機EL(Electro−Luminescence)表示素子の画素間の隔壁、有機TFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)アレイの各TFTを仕切る隔壁、液晶表示素子のITO電極の隔壁、回路配線基板の隔壁等の永久膜を形成する材料として、感光性組成物が注目されている。   In recent years, partition walls between pixels of a color filter, partition walls between pixels of an organic EL (Electro-Luminescence) display element, partition walls partitioning each TFT of an organic TFT (Thin Film Transistor) array, partition walls of an ITO electrode of a liquid crystal display element As a material for forming a permanent film such as a partition wall of a circuit wiring board, a photosensitive composition has attracted attention.

このような感光性組成物を用いて光学素子の隔壁を形成する場合には、隔壁はガラス等の透明基板上にフォトリソグラフィ法によりパターン形成される。その後、基板上に形成された隔壁間の開口部に画素を形成することで光学素子が製造される。   When forming the partition of an optical element using such a photosensitive composition, a partition is pattern-formed by the photolithographic method on transparent substrates, such as glass. Then, an optical element is manufactured by forming a pixel in an opening between partition walls formed on the substrate.

上記光学素子の製造に用いられる隔壁形成用の感光性組成物においては、隔壁を形成する際に、感光硬化性、現像性が求められる他、隔壁形成後、光学素子を製造する際には、耐熱性、インク等に溶解されない耐溶剤性、部分的に要求される例えば上部表面の撥インク性、基板付近壁面の親インク性等の特性が求められる。さらに、光学素子としての使用に際しては、使用環境における耐久性、特に隔壁と基板との間の密着耐久性が求められている。   In the photosensitive composition for forming a partition wall used for the production of the optical element, when the partition wall is formed, photosensitive curability and developability are required, and when the optical element is manufactured after the partition wall formation, Properties such as heat resistance, solvent resistance not dissolved in ink, etc., partially required characteristics such as ink repellency on the upper surface and ink affinity on the wall near the substrate are required. Furthermore, when used as an optical element, durability in a use environment, particularly durability of adhesion between a partition wall and a substrate is required.

ここで、上記光学素子における隔壁と基板との密着性を改善するための技術として、隔壁形成用感光性組成物中にリン酸エステルを添加することが知られている。具体的には、特許文献1には、カラーフィルター用光重合性組成物に、光重合開始系エチレン不飽和二重結合を有する化合物と、色材料と、リン酸(メタ)アクリレート化合物を配合することで、現像性、感度、画像再現性、密着性が改良された光重合性組成物が得られることが記載されている。   Here, as a technique for improving the adhesion between the partition walls and the substrate in the optical element, it is known to add a phosphate ester to the partition wall forming photosensitive composition. Specifically, in Patent Document 1, a compound having a photopolymerization initiation system ethylenically unsaturated double bond, a color material, and a phosphoric acid (meth) acrylate compound are blended into a photopolymerizable composition for a color filter. Thus, it is described that a photopolymerizable composition having improved developability, sensitivity, image reproducibility, and adhesion can be obtained.

しかしながら、リン酸(メタ)アクリレート化合物等のリン酸エステルには、通常リン酸が含まれており、精製が困難であることからリン酸エステルはリン酸を含んだまま、各種用途に用いられている。したがって、上記感光性組成物についてもリン酸(メタ)アクリレート化合物とともにリン酸が含まれており貯蔵安定性に影響を与えるという問題があった。   However, phosphoric acid esters such as phosphoric acid (meth) acrylate compounds usually contain phosphoric acid and are difficult to purify, so that phosphoric acid esters are used in various applications while containing phosphoric acid. Yes. Therefore, the photosensitive composition also contains phosphoric acid (meth) acrylate compound and has a problem of affecting storage stability.

特許第3577854号公報Japanese Patent No. 3577754

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであって、光学素子として使用する際に基板との密着耐久性に優れる隔壁が形成可能であり、かつ貯蔵安定性のよい光学素子の隔壁形成用感光性組成物を提供することを目的とする。さらに、これにより得られる基板との密着耐久性に優れるブラックマトリックスおよびその製造方法、並びにこのブラックマトリックスを有するカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and can be used to form a partition wall having excellent adhesion durability to a substrate when used as an optical element, and the partition wall of an optical element having good storage stability. It aims at providing the photosensitive composition for formation. It is another object of the present invention to provide a black matrix having excellent adhesion durability with a substrate obtained thereby, a method for producing the same, and a method for producing a color filter having the black matrix.

本発明の隔壁形成用感光性組成物は、光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、光重合開始剤(B)、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)、および黒色顔料(E)を含む光学素子の隔壁形成用感光性組成物であって、組成物中の全固形分に対する前記リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)の含有量が0.1〜5質量%であり、かつ、前記光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)の含有量が10〜100ppmであることを特徴とする。   The photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention comprises an alkali-soluble resin (A) having a photocurable ethylenically unsaturated double bond, a photopolymerization initiator (B), and a phosphoric acid (meth) acrylate compound (C). , A phosphoric acid compound (D) having no photocurable functional group, and a photosensitive composition for forming a partition wall of an optical element comprising a black pigment (E), wherein the phosphorus with respect to the total solid content in the composition Content of acid (meth) acrylate compound (C) is 0.1-5 mass%, and content of the phosphoric acid compound (D) which does not have the said photocurable functional group is 10-100 ppm. It is characterized by being.

ここで、本明細書において用いる「リン酸(メタ)アクリレート化合物」は、リン酸アクリレート化合物とリン酸メタクリレート化合物の両方を、「(メタ)アクリロイルオキシ」の用語は、アクリロイルオキシとメタクリロイルオキシの両方を、「(メタ)アクリル酸エステル」はアクリル酸エステルとメタクリル酸エステルとの両方を、意味するものとして用いられる。   As used herein, “phosphoric acid (meth) acrylate compound” refers to both a phosphoric acid acrylate compound and a phosphoric acid methacrylate compound, and the term “(meth) acryloyloxy” refers to both acryloyloxy and methacryloyloxy. "(Meth) acrylic acid ester" is used to mean both acrylic acid ester and methacrylic acid ester.

本発明は、上記本発明の隔壁形成用感光性組成物の塗膜硬化物からなるブラックマトリックスを提供する。   This invention provides the black matrix which consists of a coating-film hardened | cured material of the photosensitive composition for partition formation of the said invention.

また、本発明は、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有する光学素子のブラックマトリックスの製造方法であって、上記本発明の隔壁形成用感光性組成物を前記基材上に塗布し塗膜を形成する工程と、前記塗膜のブラックマトリックスとなる部分のみを露光し感光硬化させる露光工程と、前記感光硬化した部分以外の塗膜を除去し前記塗膜の感光硬化部分からなるブラックマトリックスを形成させる現像工程と、前記形成されたブラックマトリックスを加熱するポストベーク工程とを順に有することを特徴とするブラックマトリックスの製造方法を提供する。   Further, the present invention provides a base material, a black matrix formed on the main surface of the base material so as to partition the main surface into a plurality of sections, and a region partitioned by the black matrix on the base material. A method for producing a black matrix of an optical element having a plurality of pixels, each of which is formed by coating the photosensitive composition for partition formation of the present invention on the substrate to form a coating film, An exposure process in which only a portion of the coating film that becomes the black matrix is exposed and photocured; a developing process in which the coating film other than the photocured portion is removed to form a black matrix of the photocured portion of the coating film; and And a post-baking step of heating the formed black matrix in order.

また、本発明は、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有するカラーフィルタの製造方法であって、上記本発明の製造方法によって基材上にブラックマトリックスを形成した後、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にインクジェット法またはフォトリソグラフィ法により前記画素を形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。   Further, the present invention provides a base material, a black matrix formed on the main surface of the base material so as to partition the main surface into a plurality of sections, and a region partitioned by the black matrix on the base material. A method of manufacturing a color filter having a plurality of formed pixels, wherein a black matrix is formed on a substrate by the manufacturing method of the present invention, and then the region partitioned by the black matrix on the substrate. The method for producing a color filter is characterized by comprising a step of forming the pixel by an inkjet method or a photolithography method.

本発明の光学素子の隔壁形成用感光性組成物を用いれば、光学素子として使用する際に基板との密着耐久性に優れるブラックマトリックス(隔壁)が製造可能であり、したがってこのブラックマトリックスを有するカラーフィルタは耐久性を有するものである。また、本発明の隔壁形成用感光性組成物は貯蔵安定性がよい。   When the photosensitive composition for forming a partition wall of an optical element of the present invention is used, a black matrix (partition wall) having excellent adhesion durability to a substrate can be produced when used as an optical element. Therefore, a color having this black matrix is produced. The filter has durability. Moreover, the photosensitive composition for partition formation of this invention has good storage stability.

本発明のブラックマトリックスの製造方法の実施の形態の一例を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically an example of embodiment of the manufacturing method of the black matrix of this invention.

以下、本発明の実施の形態を説明する。
[隔壁形成用感光性組成物]
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、光重合開始剤(B)、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C):組成物全固形分に対して0.1〜5質量%、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D):組成物全固形分に対して10〜100ppm、および黒色顔料(E)を含有する。
Embodiments of the present invention will be described below.
[Photosensitive composition for barrier rib formation]
The photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention comprises an alkali-soluble resin (A) having a photocurable ethylenically unsaturated double bond, a photopolymerization initiator (B), and a phosphoric acid (meth) acrylate compound (C). : 0.1 to 5% by mass with respect to the total solid content of the composition, phosphoric acid compound having no photocurable functional group (D): 10 to 100 ppm with respect to the total solid content of the composition, and black pigment ( E).

(1)光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(A)(以下、単に「アルカリ可溶性樹脂(A)」という場合もある)
本発明の隔壁形成用感光性組成物が含有するアルカリ可溶性樹脂(A)は、1分子内に光硬化性のエチレン性不飽和二重結合、およびアルカリ可溶性の基、すなわち、酸性基を有する感光性樹脂である。アルカリ可溶性樹脂(A)が光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有することにより、隔壁形成時、フォトリソグラフィにおける露光に際して、これを含む隔壁形成用感光性組成物塗膜の露光部は、後述の光重合開始剤(B)の作用によりラジカル重合し硬化が促進され、露光に次いで行われる現像に際しては、アルカリ現像液にて除去されずに塗膜面に残って、光学素子の隔壁を形成することができる。また、アルカリ可溶性樹脂(A)がアルカリ可溶性の基、すなわち酸性基を有することにより、隔壁形成時、フォトリソグラフィにおける露光後の現像に際して、これを含む隔壁形成用感光性組成物塗膜の未露光部すなわち未硬化の部分はアルカリ現像液にて容易に除去することができる。なお、アルカリ可溶性樹脂(A)は実質的にペルフルオロアルキル基を含有しないことが好ましい。
(1) Alkali-soluble resin (A) having a photocurable ethylenically unsaturated double bond (hereinafter sometimes referred to simply as “alkali-soluble resin (A)”)
The alkali-soluble resin (A) contained in the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention is a photosensitive resin having a photocurable ethylenically unsaturated double bond and an alkali-soluble group, that is, an acidic group in one molecule. Resin. When the alkali-soluble resin (A) has a photocurable ethylenically unsaturated double bond, the exposure part of the photosensitive composition coating film for forming a barrier rib, which includes this at the time of exposure in photolithography at the time of barrier rib formation, Radical polymerization is promoted by the action of the photopolymerization initiator (B) described later, and curing is accelerated. In the development performed after the exposure, it remains on the surface of the coating film without being removed with an alkaline developer, and the partition walls of the optical element are formed. Can be formed. In addition, when the alkali-soluble resin (A) has an alkali-soluble group, that is, an acidic group, when the partition wall is formed, during development after exposure in photolithography, the photosensitive composition coating film for forming the partition wall including this is not exposed. The portion, that is, the uncured portion can be easily removed with an alkali developer. In addition, it is preferable that alkali-soluble resin (A) does not contain a perfluoroalkyl group substantially.

上記アルカリ可溶性樹脂(A)が有する光硬化性のエチレン性不飽和二重結合としては、これを有する基として、例えば、(メタ)アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルエーテル基等の付加重合性の不飽和基や、これら付加重合性不飽和基の水素原子の一部またはすべてが、炭化水素基により置換されている基等が挙げられる。なお、前記炭化水素基としては、メチル基が好ましい。   Examples of the photocurable ethylenically unsaturated double bond of the alkali-soluble resin (A) include addition polymerization such as (meth) acryloyl group, allyl group, vinyl group, and vinyl ether group. And a group in which part or all of the hydrogen atoms of these addition polymerizable unsaturated groups are substituted with a hydrocarbon group. The hydrocarbon group is preferably a methyl group.

また、上記アルカリ可溶性樹脂(A)が有する酸性基としては、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびリン酸基からなる群から選ばれる1以上の酸性基が挙げられる。   Moreover, as an acidic group which the said alkali-soluble resin (A) has, one or more acidic groups chosen from the group which consists of a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group are mentioned.

アルカリ可溶性樹脂(A)として、具体的には、酸性基を有する光硬化性のエチレン性不飽和単量体や反応性基と結合し得る官能基を有する光硬化性のエチレン性不飽和単量体等の共重合体であって、酸性基を有する側鎖と光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有する側鎖とを有する重合体(A1)、エポキシ樹脂に光硬化性のエチレン性不飽和二重結合と酸性基とを導入した樹脂(A2)等が挙げられる。   As the alkali-soluble resin (A), specifically, a photocurable ethylenically unsaturated monomer having a functional group capable of binding to a photocurable ethylenically unsaturated monomer having an acidic group or a reactive group. A polymer (A1) having a side chain having an acidic group and a side chain having a photocurable ethylenically unsaturated double bond, a photocurable ethylenic epoxy resin Resin (A2) etc. which introduce | transduced the unsaturated double bond and the acidic group are mentioned.

上記重合体(A1)は、例えば、酸性基を有する光硬化性のエチレン性不飽和単量体や反応性基と結合し得る官能基を有する光硬化性のエチレン性不飽和単量体等を通常のラジカル重合法により合成したあと、反応性基と二重結合を有する化合物を反応させることにより、光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有する側鎖を形成することで得られる。   Examples of the polymer (A1) include a photocurable ethylenically unsaturated monomer having an acidic group and a photocurable ethylenically unsaturated monomer having a functional group capable of binding to a reactive group. It is obtained by forming a side chain having a photocurable ethylenically unsaturated double bond by reacting a reactive group with a compound having a double bond after synthesis by a normal radical polymerization method.

上記樹脂(A2)としては、エポキシ樹脂と、カルボキシル基と光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物との反応物に、さらに多塩基性カルボン酸またはその無水物を反応させて得られる化合物が好ましい。   The resin (A2) is obtained by further reacting a polybasic carboxylic acid or its anhydride with a reaction product of an epoxy resin and a carboxyl group and a compound having a photocurable ethylenically unsaturated double bond. Are preferred.

上記樹脂(A2)の製造に用いられるエポキシ樹脂として具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、下記式(B21)で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂(ただし、sは1〜50の整数を示し、2〜10が好ましい。)、下記式(B22)で表されるエポキシ樹脂(ただし、R、R8、R、R10は独立して水素原子、塩素原子または炭素数1〜5のアルキル基のいずれかを示し、これらは互いに同一であっても異なってもよい。tは0〜10の整数を示す。)等が挙げられる。 Specific examples of the epoxy resin used in the production of the resin (A2) include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, trisphenolmethane type epoxy resin, and naphthalene. An epoxy resin having a skeleton, an epoxy resin having a biphenyl skeleton represented by the following formula (B21) (where s represents an integer of 1 to 50, preferably 2 to 10), and represented by the following formula (B22) Epoxy resin (wherein R 7 , R 8 , R 9 , and R 10 independently represent any one of a hydrogen atom, a chlorine atom, and an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, which may be the same or different from each other) And t represents an integer of 0 to 10.) and the like.

Figure 2011039404
Figure 2011039404

エポキシ樹脂に、カルボキシル基と光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物を反応させることにより、エポキシ樹脂に光硬化性のエチレン性不飽和二重結合が導入される。ついで、これに多塩基性カルボン酸またはその無水物を反応させることにより、酸性基としてカルボキシル基を導入することができる。   By reacting the epoxy resin with a compound having a carboxyl group and a photocurable ethylenically unsaturated double bond, a photocurable ethylenically unsaturated double bond is introduced into the epoxy resin. Subsequently, a carboxyl group can be introduced as an acidic group by reacting this with a polybasic carboxylic acid or its anhydride.

本発明においては、前記エポキシ樹脂に酸性基と光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を導入した樹脂(A2)として、市販品を用いることが可能である。市販品としては、KAYARAD PCR−1069、K−48C、CCR−1105、CCR−1115、CCR−1163H、CCR−1166H、CCR−1159H、TCR−1025、TCR−1064H、TCR−1286H、ZAR−1535H、ZFR−1122H、ZFR−1124H、ZFR−1185H、ZFR−1492H、ZCR−1571H、ZCR−1569H、ZCR−1580H、ZCR1581H、ZCR1588H(以上全て、商品名、日本化薬社製)等が挙げられる。   In this invention, it is possible to use a commercial item as resin (A2) which introduce | transduced the acidic group and the photocurable ethylenically unsaturated double bond into the said epoxy resin. Commercially available products include KAYARAD PCR-1069, K-48C, CCR-1105, CCR-1115, CCR-1163H, CCR-1166H, CCR-1159H, TCR-1025, TCR-1064H, TCR-1286H, ZAR-1535H, ZFR-1122H, ZFR-1124H, ZFR-1185H, ZFR-1492H, ZCR-1571H, ZCR-1569H, ZCR-1580H, ZCR1581H, ZCR1588H (all are trade names, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like.

本発明の隔壁形成用感光性組成物においてアルカリ可溶性樹脂(A)は、1分子内に3個以上の光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有することが好ましく、1分子内に6個以上の光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有することがより好ましい。これにより、得られる感光性組成物の塗膜の露光部分と未露光部分とのアルカリ溶解度に差がつきやすく、より少ない露光量での微細なパターン形成が可能となる。   In the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention, the alkali-soluble resin (A) preferably has 3 or more photocurable ethylenically unsaturated double bonds in one molecule, and 6 in one molecule. It is more preferable to have the above photocurable ethylenically unsaturated double bond. Thereby, it is easy to make a difference in the alkali solubility between the exposed portion and the unexposed portion of the coating film of the resulting photosensitive composition, and a fine pattern can be formed with a smaller exposure amount.

本発明の隔壁形成用感光性組成物は、その塗膜硬化物の架橋密度を増大させ、耐熱性を向上させるために、後述のように、アルカリ可溶性樹脂(A)と加熱処理、具体的には、現像後の加熱処理等により架橋反応する熱硬化性樹脂(G)をさらに含む場合がある。その場合には、上記アルカリ可溶性樹脂(A)は、熱硬化性樹脂(G)と架橋反応し得る基を有するように分子設計される。   In order to increase the crosslinking density of the cured film and to improve the heat resistance, the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention is heated with an alkali-soluble resin (A), specifically, as described later. May further contain a thermosetting resin (G) that undergoes a crosslinking reaction by heat treatment after development or the like. In that case, the alkali-soluble resin (A) is molecularly designed so as to have a group capable of undergoing a crosslinking reaction with the thermosetting resin (G).

例えば、後述の通り本発明の隔壁形成用感光性組成物には、熱硬化性樹脂(G)としてエポキシ基を有する樹脂が好ましく用いられるが、その場合には、上記アルカリ可溶性樹脂(A)は、エポキシ基と架橋反応し得る基、具体的には、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、リン酸基等を有するように分子設計される。この際、アルカリ可溶性樹脂(A)が酸性基としてカルボキシル基、フェノール性水酸基等を既に有する場合には、これらは前記架橋反応し得る基として作用するため特に新たな基の導入は必要とされないが、アルカリ可溶性樹脂(A)が酸性基としてスルホン酸基、リン酸基等のみを有する場合には、架橋反応し得る基として、カルボキシル基、フェノール性水酸基、アルコール性水酸基等のいずれか1個以上を導入する。   For example, as described later, in the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention, a resin having an epoxy group is preferably used as the thermosetting resin (G). In that case, the alkali-soluble resin (A) is The molecule is designed to have a group capable of undergoing a crosslinking reaction with an epoxy group, specifically, a carboxyl group, a hydroxyl group, an amino group, a phosphate group, and the like. At this time, when the alkali-soluble resin (A) already has a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group or the like as an acidic group, since these act as groups capable of undergoing a crosslinking reaction, it is not particularly necessary to introduce a new group. When the alkali-soluble resin (A) has only a sulfonic acid group, a phosphoric acid group or the like as an acidic group, any one or more of a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, an alcoholic hydroxyl group and the like as a group capable of crosslinking reaction Is introduced.

アルカリ可溶性樹脂(A)の酸価は、10〜300mgKOH/gが好ましく、30〜150mgKOH/gがより好ましい。当該範囲であると得られる感光性組成物の現像性が良好である。また、酸価とは、試料1g中の樹脂酸などを中和するのに必要な水酸化カリウムのミリグラム数をいい、JIS K 0070の測定方法に準じて測定することができる値である。   10-300 mgKOH / g is preferable and, as for the acid value of alkali-soluble resin (A), 30-150 mgKOH / g is more preferable. The developability of the photosensitive composition obtained as it is the said range is favorable. The acid value refers to the number of milligrams of potassium hydroxide necessary to neutralize resin acid in 1 g of a sample, and is a value that can be measured according to the measurement method of JIS K 0070.

アルカリ可溶性樹脂(A)の重量平均分子量は、500以上20,000未満が好ましく、2,000以上15,000未満がより好ましい。この範囲であると得られる感光性組成物のアルカリ溶解性、現像性が良好である。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により、ポリスチレンを標準物質として測定した値をいう。以下、本明細書中に記載の重量平均分子量は、前記と同様の測定方法により測定した値である。   The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin (A) is preferably 500 or more and less than 20,000, and more preferably 2,000 or more and less than 15,000. Within this range, the resulting photosensitive composition has good alkali solubility and developability. In addition, a weight average molecular weight says the value which measured polystyrene as the standard substance by the gel permeation chromatography method. Hereinafter, the weight average molecular weight described in the present specification is a value measured by the same measurement method as described above.

本発明の隔壁形成用感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)として、これに分類される化合物の1種を単独で含有してもよいし、2種以上を含有してもよい。また、本発明の隔壁形成用感光性組成物の全固形分に対するアルカリ可溶性樹脂(A)の割合は、5〜80質量%が好ましく、10〜60質量%がより好ましい。当該範囲であると感光性組成物の現像性が良好である。   The photosensitive composition for forming a partition of the present invention may contain one kind of compounds classified as this as an alkali-soluble resin (A), or may contain two or more kinds. Moreover, 5-80 mass% is preferable and, as for the ratio of alkali-soluble resin (A) with respect to the total solid of the photosensitive composition for partition formation of this invention, 10-60 mass% is more preferable. Within this range, the developability of the photosensitive composition is good.

(2)光重合開始剤(B)
本発明の隔壁形成用感光性組成物が含有する光重合開始剤(B)は、光重合開始剤としての機能を有する化合物であれば特に制限されないが、光によりラジカルを発生する化合物からなることが好ましい。
(2) Photopolymerization initiator (B)
The photopolymerization initiator (B) contained in the barrier rib-forming photosensitive composition of the present invention is not particularly limited as long as it is a compound having a function as a photopolymerization initiator, but is composed of a compound that generates radicals by light. Is preferred.

光重合開始剤(B)としては、例えば、ベンジル、ジアセチル、メチルフェニルグリオキシレート、9,10−フェナンスレンキノン等のα−ジケトン類;ベンゾイン等のアシロイン類;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類;チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、チオキサントン−4−スルホン酸等のチオキサントン類;ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2−(4−トルエンスルホニルオキシ)−2−フェニルアセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、2,2’−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、p−メトキシアセトフェノン、2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等のアセトフェノン類;アントラキノン、2−エチルアントラキノン、カンファーキノン、1,4−ナフトキノン等のキノン類;2−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル等のアミノ安息香酸類;フェナシルクロライド、トリハロメチルフェニルスルホン等のハロゲン化合物;アシルホスフィンオキシド類;ジ−t−ブチルパーオキサイド等の過酸化物;1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾイル−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル類等が挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator (B) include α-diketones such as benzyl, diacetyl, methylphenylglyoxylate, and 9,10-phenanthrenequinone; acyloins such as benzoin; benzoin methyl ether and benzoin ethyl ether Acyloin ethers such as benzoin isopropyl ether; thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 2,4 -Thioxanthones such as diisopropylthioxanthone and thioxanthone-4-sulfonic acid; benzophenone, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzopheno Benzophenones such as acetophenone, 2- (4-toluenesulfonyloxy) -2-phenylacetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, 2,2′-dimethoxy-2-phenylacetophenone, p-methoxyacetophenone, 2-methyl- [ Acetophenones such as 4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one; anthraquinone, 2-ethyl Quinones such as anthraquinone, camphorquinone, 1,4-naphthoquinone; ethyl 2-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate (n-butoxy), 4-dimethylaminobenzoic acid Isoamyl, 4-dimethylamino Aminobenzoic acids such as 2-ethylhexyl benzoate; halogen compounds such as phenacyl chloride and trihalomethylphenylsulfone; acyl phosphine oxides; peroxides such as di-t-butyl peroxide; 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime), ethanone 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazoyl-3-yl] -1- (O— Oxime esters such as acetyloxime).

特に、上記ベンゾフェノン類、上記アミノ安息香酸類等は、その他のラジカル開始剤と共に用いられて、増感効果を発現することがある。また、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、n−ブチルアミン、N−メチルジエタノールアミン、ジエチルアミノエチルメタクリレート等の脂肪族アミン類も同じくラジカル開始剤と共に用いられて、増感効果を発現することがある。   In particular, the benzophenones, aminobenzoic acids and the like may be used together with other radical initiators to exhibit a sensitizing effect. In addition, aliphatic amines such as triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, n-butylamine, N-methyldiethanolamine, and diethylaminoethyl methacrylate may also be used together with a radical initiator to exhibit a sensitizing effect. .

さらに、上記以外にも、2−メルカプトベンズイミダゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、1,4−ブタノールビス(3−メルカプトブチレート)、トリス(2−メルカプトプロパノイルオキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)などのチオール化合物も同じくラジカル開始剤と共に用いられて、増感効果を発現することがある。   In addition to the above, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 1,4-butanol bis (3-mercaptobutyrate), tris (2-mercaptopropanoyloxyethyl) isocyanate Thiol compounds such as nurate and pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) may also be used together with a radical initiator to exhibit a sensitizing effect.

本発明の隔壁形成用感光性組成物は、光重合開始剤(B)として、これに分類される化合物の1種を単独で含有してもよいし、2種以上の混合物を含有してもよい。また、本発明の隔壁形成用感光性組成物の全固形分に対する光重合開始剤(B)の割合は、0.1〜50質量%が好ましく、0.5〜30質量%がより好ましい。当該範囲であると得られる感光性組成物の現像性が良好である。   The photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention may contain, as a photopolymerization initiator (B), one kind of compound classified as this alone, or a mixture of two or more kinds. Good. Moreover, 0.1-50 mass% is preferable and, as for the ratio of the photoinitiator (B) with respect to the total solid of the photosensitive composition for partition formation of this invention, 0.5-30 mass% is more preferable. The developability of the photosensitive composition obtained as it is the said range is favorable.

(3)リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)
本発明の隔壁形成用感光性組成物が含有するリン酸(メタ)アクリレート化合物(C)としては、分子内に少なくともリン酸由来のO=P構造と、(メタ)アクリル酸系化合物由来のエチレン性不飽和二重結合である(メタ)アクリロイル基とを有する化合物であれば特に制限されないが、具体的には、下記一般式(2)に示されるリン酸(メタ)アクリレート化合物が挙げられる。
(3) Phosphoric acid (meth) acrylate compound (C)
The phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) contained in the barrier rib-forming photosensitive composition of the present invention includes at least an O═P structure derived from phosphoric acid and ethylene derived from a (meth) acrylic acid compound in the molecule. Although it will not restrict | limit especially if it is a compound which has a (meth) acryloyl group which is an ionic unsaturated double bond, Specifically, the phosphoric acid (meth) acrylate compound shown by following General formula (2) is mentioned.

本発明の隔壁形成用感光性組成物は、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)を含有することにより、これを用いて得られる隔壁と基材との間に優れた密着耐久性を有するものである。リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)は、そのリン酸エステル構造が隔壁と基材の密着性に関与するものと考えられる。また、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)は、(メタ)アクリロイル基を有することから、上記アルカリ可溶性樹脂(A)とラジカル重合することが可能であり、このラジカル重合によりリン酸(メタ)アクリレート化合物(C)は隔壁に強固に固定される。したがって、光学素子として長期使用した場合にも、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)としてこれが隔壁から溶出することなく密着性能を長く維持することが可能となる。   The photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention contains a phosphoric acid (meth) acrylate compound (C), and has excellent adhesion durability between the partition wall obtained using the phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) and the substrate. It is. The phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) is considered to have a phosphoric ester structure involved in the adhesion between the partition walls and the substrate. Further, since the phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) has a (meth) acryloyl group, it can be radically polymerized with the alkali-soluble resin (A), and phosphoric acid (meth) can be obtained by this radical polymerization. The acrylate compound (C) is firmly fixed to the partition wall. Therefore, even when used as an optical element for a long period of time, it is possible to maintain the adhesion performance for a long time without eluting from the partition walls as the phosphoric acid (meth) acrylate compound (C).

Figure 2011039404
Figure 2011039404

式(2)中、Rは、水素原子またはメチル基を示し、Rは水素原子または炭素数1〜4の炭化水素基を示し、Xは1〜3の整数である。Yは、酸素原子、または下記一般式(3)で表される基を示す。
−O−(CH−(OR12−O− …(3)
ここで、OR12は、炭素数2〜6のオキシアルキレン基または炭素数4〜6のオキシカルボニルアルキレン基であり、mは1〜15の整数、lは0〜10の整数である。
In Formula (2), R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 4 represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and X is an integer of 1 to 3. Y represents an oxygen atom or a group represented by the following general formula (3).
—O— (CH 2 ) m — (OR 12 ) 1 —O— (3)
Here, OR 12 is an oxyalkylene group having 2 to 6 carbon atoms or an oxycarbonylalkylene group having 4 to 6 carbon atoms, m is an integer of 1 to 15, and l is an integer of 0 to 10.

本発明に用いるリン酸(メタ)アクリレート化合物(C)としては、上記一般式(2)で示される化合物が好ましく、これらの化合物のうちでも、Yが−O−(CH−O−(上記一般式(3)のlが0の基)である化合物がより好ましく、Yが−O−(CH−O−であり、Rが水素原子であって、Xが1〜3である、それぞれモノ(メタ)アクリロイルオキシエチルフォスフェート、ジ(メタ)アクリロイルオキシエチルフォスフェート、トリス(メタ)アクリロイルオキシエチルフォスフェートが特に好ましい。 Examples of the phosphoric acid used in the present invention (meth) acrylate compound (C), is preferably a compound represented by the general formula (2), among these compounds, Y is -O- (CH 2) m -O- A compound in which (1 in the above general formula (3) is 0) is more preferable, Y is —O— (CH 2 ) 2 —O—, R 4 is a hydrogen atom, and X is 1 to 1 Particularly preferred are mono (meth) acryloyloxyethyl phosphate, di (meth) acryloyloxyethyl phosphate and tris (meth) acryloyloxyethyl phosphate, respectively.

本発明の隔壁形成用感光性組成物は、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)として、これに分類される化合物の1種を単独で含有してもよいし、2種以上を含有してもよい。また、本発明の隔壁形成用感光性組成物の全固形分に対するリン酸(メタ)アクリレート化合物(C)の割合は、0.1〜5質量%であり、0.2〜3質量%であることがより好ましい。隔壁形成用感光性組成物の全固形分に対するリン酸(メタ)アクリレート化合物(C)の含有量が0.1質量%未満であると、得られる隔壁と基板との密着耐久性が優れる利点があり、5質量%を越えると、感光性組成物の貯蔵安定性が低下することがある。   The photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention may contain, as the phosphoric acid (meth) acrylate compound (C), one kind of compound classified as such, or two or more kinds. Also good. Moreover, the ratio of phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) with respect to the total solid of the photosensitive composition for partition formation of this invention is 0.1-5 mass%, and is 0.2-3 mass%. It is more preferable. When the content of the phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) with respect to the total solid content of the barrier rib-forming photosensitive composition is less than 0.1% by mass, there is an advantage that the obtained partition wall and the substrate have excellent adhesion durability. If it exceeds 5% by mass, the storage stability of the photosensitive composition may be lowered.

(4)光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)
本発明の隔壁形成用感光性組成物が含有する光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)とは、分子内に少なくともリン酸由来のO=P構造を有し光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物をいうが、具体的には、下記一般式(4)に示されるリン酸化合物が挙げられる。
(4) Phosphoric acid compound having no photocurable functional group (D)
The phosphoric acid compound (D) having no photocurable functional group contained in the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention has at least an O═P structure derived from phosphoric acid in the molecule and is photocurable. Although the phosphoric acid compound which does not have the functional group is specifically, a phosphoric acid compound represented by the following general formula (4) is exemplified.

Figure 2011039404
Figure 2011039404

(式(4)中、Rは、水素原子またはリン原子に隣接する原子が炭素原子である炭素数
1〜15の炭化水素基。Rは水素または酸素原子に隣接する原子が炭素原子である炭素数1〜4の炭化水素基。xは1〜3の整数。)
(In Formula (4), R 5 is a hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms in which an atom adjacent to a hydrogen atom or a phosphorus atom is a carbon atom. R 6 is a carbon atom in which an atom adjacent to a hydrogen or oxygen atom is a carbon atom. A certain C1-C4 hydrocarbon group, x is an integer of 1-3.)

上記一般式(4)で示される光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)は、通常上述のリン酸(メタ)アクリレート化合物(C)に含まれる副成分であり、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)とは精製分離が困難な、不可分のリン酸化合物である。このような、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)として、より具体的には、リン酸、トリメチルフォスフェート、トリエチルフォスフェート等を挙げることができる。   The phosphoric acid compound (D) having no photocurable functional group represented by the general formula (4) is a subcomponent usually contained in the phosphoric acid (meth) acrylate compound (C), and phosphoric acid. The (meth) acrylate compound (C) is an indivisible phosphate compound that is difficult to purify and separate. Specific examples of the phosphoric acid compound (D) having no photocurable functional group include phosphoric acid, trimethyl phosphate, and triethyl phosphate.

光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)は、隔壁形成用感光性組成物の貯蔵安定性を減退させる成分である。また、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)のように上記アルカリ可溶性樹脂(A)と結合することができないため、隔壁形成後、光学素子として使用する際には隔壁から溶出する成分である。   The phosphoric acid compound (D) having no photocurable functional group is a component that decreases the storage stability of the barrier rib-forming photosensitive composition. Moreover, since it cannot couple | bond with the said alkali-soluble resin (A) like a phosphoric acid (meth) acrylate compound (C), when using as an optical element after partition formation, it is a component eluted from a partition.

このような観点から設定された、本発明の隔壁形成用感光性組成物における、上記光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)の含有許容量は、隔壁形成用感光性組成物の全固形分に対して10〜100ppmの量である。光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)の含有量が100ppmを越えると、隔壁形成用感光性組成物の貯蔵安定性が十分に得られない。   In the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention set from such a viewpoint, the allowable amount of the phosphoric acid compound (D) having no photocurable functional group is determined as follows. It is the quantity of 10-100 ppm with respect to the total solid of a thing. When the content of the phosphoric acid compound (D) having no photocurable functional group exceeds 100 ppm, the storage stability of the barrier rib-forming photosensitive composition cannot be sufficiently obtained.

(5)黒色顔料(E)
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、黒色顔料(E)を含有する。これにより、本発明の隔壁形成用感光性組成物を用いて得られる光学素子の隔壁は黒色であるが、このような黒色隔壁を通常「ブラックマトリックス」と呼ぶ。ブラックマトリックスは、代表的には、液晶表示素子においてカラーフィルタのR(赤)、G(緑)、B(青)の3色の画素を囲む格子状の黒色部分として用いられている。
(5) Black pigment (E)
The photosensitive composition for partition formation of this invention contains a black pigment (E). Thus, the partition walls of the optical element obtained using the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention are black. Such a black partition wall is usually called a “black matrix”. The black matrix is typically used as a grid-like black portion surrounding three color pixels of R (red), G (green), and B (blue) of a color filter in a liquid crystal display element.

本発明の隔壁形成用感光性組成物が含有する黒色顔料(E)として、具体的には、カーボンブラック、アニリンブラック、アントラキノン系黒色顔料、ペリレン系黒色顔料、例えば、C.I.ピグメントブラック1、6、7、12、20、31等が挙げられる。また、本発明においては、黒色顔料(E)として、赤色顔料、青色顔料、および緑色顔料等の有機顔料や無機顔料の混合物を用いることもできる。このような各種顔料のうちでも、本発明に用いる黒色顔料(E)としては、価格、遮光性の大きさからカーボンブラックが好ましい。前記カーボンブラックは樹脂などで表面処理されていてもよく、また、色調を調整するために、前記カーボンブラックとともに青色顔料や紫色顔料を併用してもよい。   Specific examples of the black pigment (E) contained in the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention include carbon black, aniline black, anthraquinone black pigment, and perylene black pigment such as C.I. I. Pigment black 1, 6, 7, 12, 20, 31 etc. are mentioned. Moreover, in this invention, the mixture of organic pigments, such as a red pigment, a blue pigment, and a green pigment, and an inorganic pigment can also be used as a black pigment (E). Among such various pigments, carbon black is preferable as the black pigment (E) used in the present invention because of its price and light shielding properties. The carbon black may be surface-treated with a resin or the like, and a blue pigment or a violet pigment may be used in combination with the carbon black in order to adjust the color tone.

本発明に用いるカーボンブラックとしては、ブラックマトリックスの形状の観点から、BET法による比表面積が50〜200m/gであるものが好ましい。用いるカーボンブラックの比表面積が50m/g未満では、ブラックマトリックス形状の劣化を引き起こすことがある。またカーボンブラックの比表面積が200m/gより大きいと、カーボンブラックに分散助剤が過度に吸着してしまい、諸物性を発現させるためには多量の分散助剤を配合する必要が生じることがある。 The carbon black used in the present invention is preferably one having a specific surface area of 50 to 200 m 2 / g by the BET method from the viewpoint of the shape of the black matrix. When the specific surface area of the carbon black used is less than 50 m 2 / g, the black matrix shape may be deteriorated. If the specific surface area of the carbon black is larger than 200 m 2 / g, the dispersion aid is excessively adsorbed on the carbon black, and a large amount of dispersion aid needs to be blended in order to develop various physical properties. is there.

また、本発明に用いるーボンブラックとしては、感度の点から、フタル酸ジブチルの吸油量が120cc/100g以下のものが好ましく、少ないものほどより好ましい。   The bon black used in the present invention preferably has a dibutyl phthalate oil absorption of 120 cc / 100 g or less from the viewpoint of sensitivity, and a smaller one is more preferable.

さらに、本発明に用いるカーボンブラックとしては、透過型電子顕微鏡観察による平均1次粒子径が、20〜50nmであるものが好ましい。平均1次粒子径が小さすぎると、高濃度に分散させることが困難になるおそれがあり、経時安定性の良好な感光性組成物が得られ難く、平均1次粒子径が大きすぎると、ブラックマトリックス形状の劣化を招くことがあるためである。また、透過型電子顕微鏡観察による平均2次粒子径としては、80〜200nmが好ましい。   Furthermore, as carbon black used for this invention, that whose average primary particle diameter by transmission electron microscope observation is 20-50 nm is preferable. If the average primary particle size is too small, it may be difficult to disperse at a high concentration, and it is difficult to obtain a photosensitive composition with good temporal stability. If the average primary particle size is too large, black This is because the matrix shape may be deteriorated. Moreover, as an average secondary particle diameter by transmission electron microscope observation, 80-200 nm is preferable.

本発明の隔壁形成用感光性組成物に黒色顔料(E)を含有させブラックマトリックス形成等に用いる場合、該感光性組成物の全固形分に対する黒色顔料(E)の割合は、15〜50質量%が好ましく、20〜40質量%がより好ましい。当該範囲であると得られる感光性組成物は感度が良好であり、また、形成される隔壁すなわちブラックマトリックスは遮光性に優れる。   When the black pigment (E) is contained in the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention and used for forming a black matrix or the like, the ratio of the black pigment (E) to the total solid content of the photosensitive composition is 15 to 50 mass. % Is preferable, and 20 to 40% by mass is more preferable. The photosensitive composition obtained within this range has good sensitivity, and the partition walls, that is, the black matrix to be formed have excellent light shielding properties.

なお、ブラックマトリックスの遮光性を示す値として、OD(Optical Density)値が用いられるが、本発明の隔壁形成用感光性組成物は、これを用いて得られるブラックマトリックスのOD値が3〜6の範囲となるように調製されることが好ましい。すなわち、ブラックマトリックスのOD値が上記好ましい範囲となるように、隔壁形成用感光性組成物に配合する黒色顔料(E)の種類、配合量等を上記のようにして適宜選択する。   In addition, although the OD (Optical Density) value is used as a value which shows the light-shielding property of a black matrix, the OD value of the black matrix obtained by using this for the photosensitive composition for partition formation of this invention is 3-6. It is preferable to prepare so that it may become the range. That is, the type, blending amount, and the like of the black pigment (E) to be blended with the photosensitive composition for forming a partition are appropriately selected as described above so that the OD value of the black matrix falls within the above preferable range.

(6)任意成分
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、上記(A)〜(E)の成分を必須成分として含有するが、必要に応じて本発明の効果を損なわない範囲で、任意成分として以下に説明する各種成分を含有することができる。
(6) Optional Component The photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention contains the above components (A) to (E) as essential components, but is optional as long as the effects of the present invention are not impaired as required. Various components described below can be contained as components.

(6−1)シランカップリング剤(F)
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、任意成分として、シランカップリング剤(F)を含有できる。シランカップリング剤を配合することで、得られる隔壁形成用感光性組成物を用いて形成される隔壁の基材への密着性がより向上し、好ましい。
(6-1) Silane coupling agent (F)
The photosensitive composition for partition formation of this invention can contain a silane coupling agent (F) as an arbitrary component. By blending a silane coupling agent, the adhesion of the partition formed using the resulting partition-forming photosensitive composition to the substrate is further improved, which is preferable.

このようなシランカップリング剤(F)として、具体的には、テトラエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、へプタデカフルオロオクチルエチルトリメトキシシラン、ポリオキシアルキレン鎖含有トリエトキシシラン等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   Specific examples of such a silane coupling agent (F) include tetraethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, Examples include 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, heptadecafluorooctylethyltrimethoxysilane, and polyoxyalkylene chain-containing triethoxysilane. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明の隔壁形成用感光性組成物においては、その全固形分におけるシランカップリング剤(F)の割合は、0.1〜20質量%が好ましく、1〜10質量%がより好ましい。含有量が少なすぎると得られる感光性組成物から形成される隔壁の基材密着性向上の効果が少なく、含有量が多すぎると、現像後に残渣が発生しやすくなるおそれがあり好ましくない。   In the photosensitive composition for partition formation of this invention, 0.1-20 mass% is preferable and, as for the ratio of the silane coupling agent (F) in the total solid, 1-10 mass% is more preferable. If the content is too small, the effect of improving the adhesion of the partition walls to the base material formed from the photosensitive composition is small, and if the content is too large, a residue may be easily generated after development, which is not preferable.

(6−2)熱硬化性樹脂(G)
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、また、任意成分として、熱硬化性樹脂(G)を含有してもよい。熱硬化性樹脂(G)は、上記アルカリ可溶性樹脂(A)と、加熱処理、具体的には、現像後の加熱処理等により架橋反応する樹脂であり、隔壁を構成する樹脂の架橋密度を増大させ、耐熱性を向上させるために用いられる任意成分である。
(6-2) Thermosetting resin (G)
The photosensitive composition for forming a partition of the present invention may also contain a thermosetting resin (G) as an optional component. The thermosetting resin (G) is a resin that undergoes a crosslinking reaction with the alkali-soluble resin (A) by a heat treatment, specifically, a heat treatment after development, etc., and increases the crosslink density of the resin constituting the partition wall. And an optional component used for improving heat resistance.

熱硬化性樹脂(G)としては、上記架橋硬化するアルカリ可溶性樹脂(A)が有する架橋反応性の官能基の種類によるが、その種類に応じて、例えば、アミノ樹脂、2個以上のエポキシ基を有する化合物、2個以上のヒドラジノ基を有する化合物、ポリカルボジイミド化合物、2個以上のオキサゾリン基を有する化合物、2個以上のアジリジン基を有する化合物、多価金属類、2個以上のメルカプト基を有する化合物、ポリイソシアネート化合物等が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   The thermosetting resin (G) depends on the type of the cross-linking reactive functional group of the alkali-soluble resin (A) to be cross-linked and cured. Depending on the type, for example, an amino resin, two or more epoxy groups A compound having two or more hydrazino groups, a polycarbodiimide compound, a compound having two or more oxazoline groups, a compound having two or more aziridine groups, a polyvalent metal, or two or more mercapto groups. Compounds, polyisocyanate compounds, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

これらのうちでも、本発明において隔壁形成用感光性組成物に添加する熱硬化性樹脂(G)としては、2個以上のエポキシ基を有する化合物が耐溶剤性の点から好ましく用いられる。2個以上のエポキシ基を有する化合物として具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノール・ノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール・ノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂等のグリシジルエーテル類、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(2,3−エポキシシクロペンチル)エーテルなどの脂環式エポキシ樹脂、ジグリシジルヘキサヒドロフタレート、ジグリシジルテトラヒドロフタレート、ジグリシジルフタレート等のグリシジルエステル類、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルパラアミノフェノール等のグリシジルアミン類、トリグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹脂などが挙げられる。   Among these, as the thermosetting resin (G) to be added to the photosensitive composition for forming a partition wall in the present invention, a compound having two or more epoxy groups is preferably used from the viewpoint of solvent resistance. Specific examples of compounds having two or more epoxy groups include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, phenol / novolak type epoxy resins, cresol / novolac type epoxy resins, trisphenol methane type epoxy resins, and bromination. Glycidyl ethers such as epoxy resins, alicyclic epoxy resins such as 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, bis (2,3-epoxycyclopentyl) ether, diglycidyl hexahydrophthalate, di Glycidyl esters such as glycidyl tetrahydrophthalate and diglycidyl phthalate, glycidyl amines such as tetraglycidyl diaminodiphenylmethane and triglycidyl paraaminophenol, triglycidyl And heterocyclic epoxy resins such as isocyanurate and the like.

本発明の隔壁形成用感光性組成物における上記熱硬化性樹脂(G)の配合割合は、用いる光学素子の種類や用途にもよるが、組成物の全固形分に対して、1〜50質量%とすることが好ましく、5〜30質量%とすることがより好ましい。このような範囲であると、これを用いて得られる隔壁を構成する樹脂硬化物の架橋密度が増大し、耐熱性に優れる隔壁が得られる。   The blending ratio of the thermosetting resin (G) in the barrier rib-forming photosensitive composition of the present invention is 1 to 50 mass based on the total solid content of the composition, depending on the type and use of the optical element used. %, Preferably 5 to 30% by mass. Within such a range, the crosslink density of the cured resin constituting the partition obtained by using this increases, and a partition having excellent heat resistance can be obtained.

(6−3)フッ素原子および/またはケイ素原子を含む重合体
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、さらに、任意成分として、水素原子の少なくとも1つがフッ素原子に置換された炭素数1〜20のアルキル基(ただし、該アルキル基は炭素原子間にエーテル性酸素原子を有していてもよい)および/または下記式(1)で示される基を含む重合体を含有してもよい。
(6-3) Polymer containing fluorine atom and / or silicon atom The photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention further contains, as an optional component, at least one hydrogen atom substituted with a fluorine atom. A polymer containing 20 alkyl groups (however, the alkyl group may have an etheric oxygen atom between carbon atoms) and / or a group represented by the following formula (1) may be contained.

Figure 2011039404
Figure 2011039404

(式(1)中、RおよびRはそれぞれ独立してメチル基またはフェニル基を表す。nは1〜200の整数を示す。) (In Formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a methyl group or a phenyl group. N represents an integer of 1 to 200.)

上記フッ素原子および/またはケイ素原子を含む重合体は界面活性剤として作用する。また、これを含む隔壁形成用感光性組成物を用いて隔壁を形成した際に、必要に応じて、隔壁の上部表面に撥インク性を付与する撥インク剤としての機能も有する。   The polymer containing a fluorine atom and / or a silicon atom acts as a surfactant. Moreover, when a partition is formed using the photosensitive composition for partition formation containing this, it also has a function as an ink repellent agent which provides ink repellency to the upper surface of a partition as needed.

上記フッ素原子および/またはケイ素原子を含む重合体を界面活性剤として用いる場合には、その数平均分子量は、500以上30000未満が好ましく、1000以上15000未満がより好ましい。また、撥インク剤として用いる場合には、上記重合体の数平均分子量は、500以上15000未満が好ましく、1000以上10000未満がより好ましい。この範囲であるとアルカリ溶解性、現像性が良好である。   When the polymer containing the fluorine atom and / or silicon atom is used as a surfactant, the number average molecular weight is preferably 500 or more and less than 30000, and more preferably 1000 or more and less than 15000. When used as an ink repellent agent, the number average molecular weight of the polymer is preferably 500 or more and less than 15000, and more preferably 1000 or more and less than 10,000. Within this range, alkali solubility and developability are good.

上記フッ素原子および/またはケイ素原子を含む重合体を撥インク剤として用いる場合には、上記重合体のフッ素含有量は、撥インク性と隔壁成形性の観点から、好ましくは5〜35質量%であり、より好ましくは12〜30質量%である。また、上記重合体がケイ素原子を含有する場合の重合体におけるケイ素含有量は、撥インク性と隔壁成形性の観点から、好ましくは0.5〜30質量%、より好ましくは0.5〜10質量%である。   When the polymer containing fluorine atoms and / or silicon atoms is used as an ink repellent agent, the fluorine content of the polymer is preferably 5 to 35% by mass from the viewpoint of ink repellency and partition wall moldability. Yes, more preferably 12 to 30% by mass. Further, the silicon content in the polymer when the polymer contains a silicon atom is preferably 0.5 to 30% by mass, more preferably 0.5 to 10% from the viewpoints of ink repellency and partition wall moldability. % By mass.

また、上記重合体を撥インク剤として用いる場合には、重合体は側鎖に、好ましくは3〜100個/分子の割合で、より好ましくは6〜30個/分子の割合でエチレン性二重結合を有することが好ましい。エチレン性二重結合を有することにより上記重合体は、隔壁形成用感光性組成物中のアルカリ可溶性樹脂(A)にラジカル重合して隔壁上部に固定化されることが可能となる。   When the polymer is used as an ink repellent agent, the polymer is an ethylenic double chain in the side chain, preferably at a rate of 3 to 100 / molecule, more preferably at a rate of 6 to 30 / molecule. It is preferable to have a bond. By having an ethylenic double bond, the polymer can be radically polymerized to the alkali-soluble resin (A) in the barrier rib-forming photosensitive composition and fixed to the upper part of the barrier rib.

さらに上記重合体は、酸性基、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基およびスルホン酸基の群から選ばれる少なくとも1つの酸性基を有することが好ましい。その理由は、アルカリ可溶性を有することで、基材上の隔壁で仕切られた領域(以下、「ドット」ということもある)内に上記撥インク性を有する重合体が残りにくく、インクを注入した際のインクの濡れ拡がり性が良好となるからである。このような観点から、重合体の酸価は10〜400mgKOH/gであることが好ましく、20〜300mgKOH/gがより好ましい。   Furthermore, the polymer preferably has an acidic group, for example, at least one acidic group selected from the group consisting of a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, and a sulfonic acid group. The reason is that the polymer having the ink repellency hardly remains in the region (hereinafter also referred to as “dot”) partitioned by the partition wall on the base material because of alkali solubility, and the ink was injected. This is because the wet-spreading property of the ink becomes good. From such a viewpoint, the acid value of the polymer is preferably 10 to 400 mgKOH / g, and more preferably 20 to 300 mgKOH / g.

本発明の隔壁形成用感光性組成物における上記フッ素原子および/またはケイ素原子を含む重合体の配合割合は、用いる光学素子の種類や用途にもよるが、界面活性剤として用いる場合には、組成物の全固形分に対して、0.1〜5質量%とすることが好ましく、0.2〜3質量%とすることがより好ましい。また、本発明の隔壁形成用感光性組成物に上記フッ素原子および/またはケイ素原子を含む重合体を撥インク剤として配合する場合の配合割合は、用いる光学素子の種類や用途にもよるが、組成物の全固形分に対して、0.1〜5質量%とすることが好ましく、0.2〜3質量%とすることがより好ましい。このような範囲であると、隔壁間の開口部にインクジェット法で形成されたカラーインクの混色や白抜けが起きることなく良好な画素が得られる。   The blending ratio of the polymer containing fluorine atoms and / or silicon atoms in the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention depends on the type and use of the optical element to be used. It is preferable to set it as 0.1-5 mass% with respect to the total solid of a thing, and it is more preferable to set it as 0.2-3 mass%. Further, the blending ratio when blending the polymer containing fluorine atoms and / or silicon atoms as an ink repellent agent in the barrier rib-forming photosensitive composition of the present invention depends on the type and use of the optical element used. It is preferable to set it as 0.1-5 mass% with respect to the total solid of a composition, and it is more preferable to set it as 0.2-3 mass%. Within such a range, good pixels can be obtained without color mixing or white spots of color inks formed by the ink jet method at the openings between the partition walls.

(6−4)その他任意成分
本発明の隔壁形成用感光性組成物においては、さらに必要に応じて、上記以外の任意成分として、架橋剤、硬化促進剤、増粘剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤、ハジキ防止剤、紫外線吸収剤、フィラー等を含有することができる。
架橋剤としては、エチレン性二重結合を2個以上有する架橋剤であることが好ましい。これにより、隔壁形成用感光性組成物の硬化性が向上し、隔壁を形成する際の露光量を低減することができる。なお、架橋剤は、酸性基を実質的に有さないことが好ましい。
(6-4) Other optional components In the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention, a cross-linking agent, a curing accelerator, a thickener, a plasticizer, and an antifoam are optionally added as optional components other than the above. Agents, leveling agents, repellency inhibitors, ultraviolet absorbers, fillers, and the like.
The crosslinking agent is preferably a crosslinking agent having two or more ethylenic double bonds. Thereby, the sclerosis | hardenability of the photosensitive composition for partition formation improves, and the exposure amount at the time of forming a partition can be reduced. In addition, it is preferable that a crosslinking agent does not have an acidic group substantially.

架橋剤としては、特に限定されないが、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ウレタンアクリレート等が挙げられ、2種以上併用してもよい。
本発明の隔壁形成用感光性組成物の全固形分中の架橋剤の含有量は、5〜50質量%であることが好ましく、10〜30質量%がより好ましい。この範囲であると、感光性組成物の現像性が良好となる。
Although it does not specifically limit as a crosslinking agent, Diethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol Di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ethoxy Isocyanuric acid triacrylate, urethane acrylate and the like, and two or more of them may be used in combination.
It is preferable that content of the crosslinking agent in the total solid of the photosensitive composition for partition formation of this invention is 5-50 mass%, and 10-30 mass% is more preferable. Within this range, the developability of the photosensitive composition will be good.

本発明の隔壁形成用感光性組成物は、光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、光重合開始剤(B)および黒色顔料(E)のそれぞれ適宜選択された配合量と、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)の組成物全固形分に対して
0.1〜5質量%となる量、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)の組成物全固形分に対して10〜100ppmとなる量を配合し、さらにその他の任意成分については任意に上記説明した適当量を秤量し、これらを適当な方法で適当な時間、具体的には、30〜120分間程度混合攪拌することにより調製することができる。
The photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention is appropriately selected from an alkali-soluble resin (A) having a photocurable ethylenically unsaturated double bond, a photopolymerization initiator (B), and a black pigment (E). Amount, 0.1 to 5% by mass relative to the total solid content of the phosphoric acid (meth) acrylate compound (C), phosphoric acid compound having no photocurable functional group (D ) In an amount of 10 to 100 ppm with respect to the total solid content of the composition, and for the other optional components, the appropriate amounts described above are arbitrarily weighed, and these are appropriately measured for an appropriate time by an appropriate method. Can be prepared by mixing and stirring for about 30 to 120 minutes.

本発明においては、このようにして得られた隔壁形成用感光性組成物をこのまま基材に塗布して塗膜形成を行うことも可能であるが、以下に説明する溶剤を添加してこれを含有する塗布液の形で塗膜形成に用いることが好ましい。なお、本明細書において、溶剤とは反応性でないものをいう。   In the present invention, it is possible to form the coating film by applying the thus obtained photosensitive composition for forming a partition wall to a substrate as it is, but by adding a solvent described below, It is preferable to use it for coating film formation in the form of the coating liquid to contain. In addition, in this specification, a solvent means what is not reactive.

このような溶剤として、具体例には、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類;アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、2−ブトキシエタノール等のセルソルブ類;2−(2−メトキシエトキシ)エタノール、2−(2−エトキシエトキシ)エタノール、2−(2−ブトキシエトキシ)エタノール等のカルビトール類;メチルアセテート、エチルアセテート、n−ブチルアセテート、エチルラクテート、n−ブチルラクテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、エチル−3−エトキシプロピオネート、シクロヘキサノールアセテート、乳酸ブチル、γ−ブチロラクトン、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、グリセリントリアセテート等のエステル類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、等が挙げられる。その他には、n−ブタン、n−ヘキサン等の鎖式炭化水素、シクロヘキサン等の環式飽和炭化水素、トルエン、キシレン、ベンジルアルコール等の芳香族炭化水素等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   Specific examples of such solvents include alcohols such as ethanol, 1-propanol, 2-propanol, 1-butanol and ethylene glycol; ketones such as acetone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; 2-methoxyethanol, 2 Cell sorbs such as ethoxyethanol and 2-butoxyethanol; carbitols such as 2- (2-methoxyethoxy) ethanol, 2- (2-ethoxyethoxy) ethanol and 2- (2-butoxyethoxy) ethanol; methyl acetate , Ethyl acetate, n-butyl acetate, ethyl lactate, n-butyl lactate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, Ethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol diacetate, propylene glycol diacetate, ethyl-3-ethoxypropionate, cyclohexanol acetate, butyl lactate, γ Esters such as butyrolactone, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, glycerol triacetate; diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, tetraethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol dimethyl And ether, dibutyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, and the like. Other examples include chain hydrocarbons such as n-butane and n-hexane, cyclic saturated hydrocarbons such as cyclohexane, and aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and benzyl alcohol. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明の隔壁形成用感光性組成物に添加する溶剤の量としては、前記感光性組成物の組成、用途等にもよるが、その全固形分に対して1〜100質量%とすることが好ましい。   The amount of the solvent to be added to the barrier rib-forming photosensitive composition of the present invention depends on the composition and use of the photosensitive composition, but may be 1 to 100% by mass with respect to the total solid content. preferable.

溶剤の添加は、前記得られた隔壁形成用感光性組成物に対して行うことも可能であるが、前記調製において隔壁形成用感光性組成物の原料成分を混合攪拌する際に、溶剤を原料成分に添加して原料成分とともに混合攪拌する方法が効率的であり好ましい。   The addition of the solvent can be performed on the obtained photosensitive composition for forming a partition wall, but when mixing and stirring the raw material components of the photosensitive composition for partition wall formation in the preparation, the solvent is used as a raw material. A method of adding to the components and mixing and stirring together with the raw material components is efficient and preferable.

[本発明のブラックマトリックスおよびその製造方法]
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、通常のネガ型感光性組成物と同様にフォトリソグラフィ等の材料として用いられ、得られた黒色の塗膜硬化物は、通常の光学素子用の黒色隔壁、ブラックマトリックス、具体的には、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有する光学素子のブラックマトリックスとして適用可能である。
[Black Matrix of the Present Invention and Method for Producing the Same]
The photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention is used as a material for photolithography or the like in the same manner as a normal negative photosensitive composition, and the obtained black coating cured product is a black color for a normal optical element. Partition wall, black matrix, specifically, a base material, a black matrix formed on the main surface of the base material so as to partition the main surface into a plurality of sections, and a partition with the black matrix on the base material The present invention can be applied as a black matrix of an optical element having a plurality of pixels respectively formed in the formed region.

本発明はまた、上記本発明の隔壁形成用感光性組成物を使用した前記ブラックマトリックスの製造方法を提供するものである。以下に、本発明の隔壁形成用感光性組成物を使用したフォトリソグラフィ工程による本発明のブラックマトリックスの製造方法について説明する。   The present invention also provides a method for producing the black matrix using the above-described photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention. Below, the manufacturing method of the black matrix of this invention by the photolithographic process using the photosensitive composition for partition formation of this invention is demonstrated.

本発明のブラックマトリックスの製造方法は、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有する光学素子のブラックマトリックスの製造方法であって、上記本発明の隔壁形成用感光性組成物を前記基材上に塗布し塗膜を形成する工程と、前記塗膜のブラックマトリックスとなる部分のみを露光し感光硬化させる露光工程と、前記感光硬化した部分以外の塗膜を除去し前記塗膜の感光硬化部分からなるブラックマトリックスを形成させる現像工程と、前記形成されたブラックマトリックスを加熱するポストベーク工程とを順に有することを特徴とする。   The method for producing a black matrix according to the present invention includes a base material, a black matrix formed on the main surface of the base material so as to partition the main surface into a plurality of compartments, and the black matrix on the base material. A method for producing a black matrix of an optical element having a plurality of pixels each formed in a formed region, wherein the above-described photosensitive composition for forming a partition of the present invention is applied onto the substrate to form a coating film And an exposure process in which only the black matrix portion of the coating film is exposed to light and photocured, and development is performed to remove the coating film other than the photocured portion and form a black matrix comprising the photocured portion of the coating film. It has a process and a post-baking process which heats the formed black matrix in order.

なお、本明細書において「本発明の隔壁形成用感光性組成物を基材上に塗布する」とは、本発明の隔壁形成用感光性組成物をそのまま塗布することに加え、例えば、隔壁形成用感光性組成物に溶剤が添加されたような隔壁形成用感光性組成物を含有する塗布液を塗布することも含むものである。したがって、以下に説明する露光工程以前の「塗膜」においては、「隔壁形成用感光性組成物からなる塗膜」は前記塗布液からなる塗膜を含むものである。   In this specification, “applying the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention onto a substrate” means, for example, forming the partition wall in addition to applying the photosensitive composition for partition wall formation of the present invention as it is. It also includes applying a coating solution containing the barrier rib-forming photosensitive composition in which a solvent is added to the photosensitive composition. Therefore, in the “coating film” before the exposure step described below, the “coating film comprising the barrier rib-forming photosensitive composition” includes the coating film comprising the coating solution.

図1は、本発明のブラックマトリックスの製造方法の実施の形態の一例を模式的に示す図である。図1(a)は、基材1上に本発明の隔壁形成用感光性組成物からなる塗膜2が形成された状態の断面を示す図である。(b)は露光工程を模式的に示す図である。(c)は、現像工程後の基材1と基材上に形成された隔壁(ブラックマトリックス)6を示す断面図である。以下、図1を用いて本発明の製造方法を具体的に説明する。   FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of an embodiment of a method for producing a black matrix according to the present invention. FIG. 1A is a view showing a cross section in a state where a coating film 2 made of the photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention is formed on a substrate 1. (B) is a figure which shows an exposure process typically. (C) is sectional drawing which shows the partition 1 (black matrix) 6 formed on the base material 1 and a base material after a image development process. Hereinafter, the production method of the present invention will be specifically described with reference to FIG.

(塗膜形成工程)
ブラックマトリックスを製造するには、まず、図1(a)に断面を示すように、基材1上に上記本発明の隔壁形成用感光性組成物を塗布して隔壁形成用感光性組成物からなる塗膜2を形成する。
(Coating film formation process)
In order to produce a black matrix, first, as shown in a cross section in FIG. 1 (a), the partition wall-forming photosensitive composition of the present invention is applied onto a substrate 1, and then the partition wall-forming photosensitive composition is used. A coating film 2 is formed.

本発明の製造方法に用いる基材1としては、その材質は特に限定されるものではないが、通常、光学素子用の基材に用いられる材質、例えば、各種ガラス板;ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート等)、ポリオレフィン(ポリエチレン、ポリプロピレン等)、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルホン、ポリイミド、ポリ(メタ)アクリル樹脂等の熱可塑性プラスチックシート;エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル等の熱硬化性プラスチックシート等を挙げることができる。また、あらかじめ上記基材にシリコンナイトライドやポリイミドなどの絶縁膜を形成させた基板を挙げることができる。特に、耐熱性の点からガラス板、ポリイミド等の耐熱性プラスチックが好ましい。なお、基材1上に隔壁形成用感光性組成物の塗膜2を形成させる前に、基材1の隔壁形成用感光性組成物の塗布面をアルコール洗浄、UVオゾン洗浄等で洗浄することが好ましい。   The material of the substrate 1 used in the production method of the present invention is not particularly limited, but is usually a material used for a substrate for an optical element, such as various glass plates; polyester (polyethylene terephthalate, etc.) , Thermoplastic sheets such as polyolefin (polyethylene, polypropylene, etc.), polycarbonate, polymethyl methacrylate, polysulfone, polyimide, poly (meth) acrylic resin; thermosetting plastic sheets such as epoxy resin, unsaturated polyester, etc. it can. Moreover, the board | substrate which formed the insulating film, such as a silicon nitride and a polyimide, in the said base material previously can be mentioned. In particular, a heat resistant plastic such as a glass plate or polyimide is preferable from the viewpoint of heat resistance. In addition, before forming the coating film 2 of the photosensitive composition for barrier rib formation on the base material 1, wash | cleaning the application surface of the photosensitive composition for barrier rib formation of the base material 1 by alcohol cleaning, UV ozone cleaning, etc. Is preferred.

隔壁形成用感光性組成物塗膜2の形成方法としては、膜厚が均一な塗膜が形成される方法であれば特に制限されず、スピンコート法、スプレー法、スリットコート法、ロールコート法、回転塗布法、バー塗布法など通常の塗膜形成に用いられる方法が挙げられる。また、塗膜2の膜厚は最終的に得られる隔壁の高さを勘案して決められる。このような膜厚として概ね、好ましくは0.3〜325μm、より好ましくは1.3〜65μm程度を挙げることができる。   The method of forming the barrier rib-forming photosensitive composition coating film 2 is not particularly limited as long as a coating film having a uniform film thickness is formed. Spin coating, spraying, slit coating, roll coating , Spin coating, bar coating, and other methods used for normal coating formation. Moreover, the film thickness of the coating film 2 is determined in consideration of the height of the partition wall finally obtained. In general, the thickness is preferably 0.3 to 325 μm, more preferably about 1.3 to 65 μm.

ブラッマトリックスの製造に際しては、上記塗膜形成工程後に行われる以下の露光工程の前に、必要に応じてプリベーク工程を設けてもよい。プリベーク工程では、前記塗膜形成工程で基材1上に形成された塗膜2を加熱する。この加熱によって、塗膜を構成する隔壁形成用感光性組成物に含まれる揮発成分、または、隔壁形成用感光性組成物に必要に応じて添加された溶剤が揮発し、粘着性のない塗膜が得られる。また、隔壁形成用感光性組成物が撥インク剤を含有する場合には、撥インク剤が塗膜表面近傍に移行する。加熱の方法としては、基材1とともに塗膜2をホットプレート、オーブンなどの加熱装置により、好ましくは50〜120℃で10〜2000秒間程度加熱処理する方法が挙げられる。   When manufacturing the black matrix, a pre-baking step may be provided as necessary before the following exposure step performed after the coating film forming step. In the pre-bake process, the coating film 2 formed on the substrate 1 in the coating film forming process is heated. By this heating, the volatile component contained in the barrier rib forming photosensitive composition constituting the coating film or the solvent added to the barrier rib forming photosensitive composition as needed is volatilized, and the coating film has no tackiness. Is obtained. Moreover, when the photosensitive composition for barrier rib formation contains an ink repellent agent, an ink repellent agent transfers to the coating-film surface vicinity. Examples of the heating method include a method in which the coating film 2 is heat-treated at 50 to 120 ° C. for about 10 to 2000 seconds with a heating device such as a hot plate and an oven together with the base material 1.

なお、前記塗膜形成工程において隔壁形成用感光性組成物に溶剤を添加した塗布液を用いた場合には、溶剤の除去が必要となる。上記のようにプリベーク工程の加熱によって溶剤を除去することも可能であるが、溶剤を除去するために加熱(乾燥)以外の真空乾燥等の乾燥工程をプリベーク工程の前に別に設けてもよい。また、塗膜外観のムラを発生させず、効率よく乾燥させるために、前記プリベーク工程による乾燥を兼ねた加熱と真空乾燥を併用することがより好ましい。真空乾燥の条件は、各成分の種類、配合割合などによっても異なるが、好ましくは500〜10Paで10〜300秒間程度の幅広い範囲で行うことができる。   In addition, when the coating liquid which added the solvent to the photosensitive composition for partition formation in the said coating-film formation process is used, removal of a solvent is needed. As described above, it is possible to remove the solvent by heating in the pre-baking step, but in order to remove the solvent, a drying step such as vacuum drying other than heating (drying) may be separately provided before the pre-baking step. Further, in order to efficiently dry the coating film without causing unevenness in the appearance of the coating film, it is more preferable to use heating combined with drying by the pre-baking step and vacuum drying in combination. The conditions for vacuum drying vary depending on the type of each component, the blending ratio, and the like, but preferably 500 to 10 Pa and a wide range of about 10 to 300 seconds.

(露光工程)
塗膜形成工程に引き続き、図1(b)に模式図を示す露光工程を実行する。すなわち、基材1上の乾燥後の隔壁形成用感光性組成物の塗膜2に所定パターンのマスク4を介して光5を照射する。前記マスク4に切られた所定パターン部分のみを光5が透過し基材1上の隔壁形成用感光性組成物塗膜に到達しその部分のみが感光硬化する。したがって、隔壁(ブラックマトリックス)の形成を行う場合、前記所定パターンは隔壁(ブラックマトリックス)の形状に適合する形に設けられる。例えば、以下のポストベーク工程後に隔壁(ブラックマトリックス)の幅の平均が、好ましくは100μm以下、より好ましくは20μm以下、また、隣接する隔壁(ブラックマトリックス)間の距離の平均が、好ましくは300μm以下、より好ましくは100μm以下となるようにパターンを形成したマスクを用いることが、本発明においては好ましい。
(Exposure process)
Subsequent to the coating film forming step, an exposure step whose schematic diagram is shown in FIG. That is, the light 5 is irradiated through the mask 4 of a predetermined pattern to the coating film 2 of the photosensitive composition for partition formation after drying on the base material 1. Only the predetermined pattern portion cut in the mask 4 is transmitted by the light 5, reaches the photosensitive composition coating film for forming a partition wall on the substrate 1, and only that portion is photocured. Therefore, when the partition (black matrix) is formed, the predetermined pattern is provided in a shape that matches the shape of the partition (black matrix). For example, after the following post-baking step, the average width of the partition walls (black matrix) is preferably 100 μm or less, more preferably 20 μm or less, and the average distance between adjacent partition walls (black matrix) is preferably 300 μm or less. In the present invention, it is preferable to use a mask having a pattern formed so as to be 100 μm or less.

露光は前記塗膜の所望の部分に光を照射する工程であり、方法は特に限定されないが、図1(b)のように所定パターンのマスクを介して行うことが好ましい。図1(b)において、光が照射された塗膜の露光部分は隔壁形成用感光性組成物の塗膜硬化物からなり、一方、未露光部分は未硬化の隔壁形成用感光性組成物の塗膜2そのものが残存する状態である。   The exposure is a step of irradiating a desired portion of the coating film with light, and the method is not particularly limited, but it is preferably performed through a mask having a predetermined pattern as shown in FIG. In FIG.1 (b), the exposed part of the coating film irradiated with light consists of a coating film hardened | cured material of the photosensitive composition for partition formation, On the other hand, an unexposed part is the photosensitive composition for uncured partition formation. In this state, the coating film 2 itself remains.

照射する光5として、具体的には、可視光;紫外線;遠紫外線;KrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー、Fエキシマレーザー、Krエキシマレーザー、KrArエキシマレーザー、Arエキシマレーザー等のエキシマレーザー;X線;電子線等が挙げられる。また、照射光5としては、波長100〜600nmの電磁波が好ましく、300〜500nmの範囲に分布を有する光線がより好ましく、i線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)が特に好ましい。 Specific examples of the light 5 to be irradiated include visible light; ultraviolet rays; far ultraviolet rays; excimer lasers such as KrF excimer laser, ArF excimer laser, F 2 excimer laser, Kr 2 excimer laser, KrAr excimer laser, Ar 2 excimer laser; X-rays: electron beam and the like. The irradiation light 5 is preferably an electromagnetic wave having a wavelength of 100 to 600 nm, more preferably a light ray having a distribution in the range of 300 to 500 nm, particularly i-line (365 nm), h-line (405 nm), and g-line (436 nm). preferable.

照射装置(図示されていない)として、公知の超高圧水銀灯やディープUVランプ等を用いることができる。露光量は、好ましくは5〜1000mJ/cmの範囲であり、より好ましくは50〜400mJ/cmである。露光量が低すぎると、隔壁となる隔壁形成用感光性組成物の硬化が不十分で、その後の現像で溶解や基材1からの剥離が起こるおそれがある。露光量が高すぎると高い解像度が得られなくなる傾向にある。また、光照射(露光)時間として、露光量、隔壁形成用感光性組成物の組成、塗膜の厚さ等にもよるが、具体的には1〜60秒間、好ましくは5〜20秒間を挙げることができる。 As the irradiation device (not shown), a known ultra-high pressure mercury lamp, deep UV lamp, or the like can be used. The exposure dose is preferably in the range of 5 to 1000 mJ / cm 2 , more preferably 50 to 400 mJ / cm 2 . If the exposure amount is too low, curing of the barrier rib-forming photosensitive composition serving as the barrier ribs may be insufficient, and subsequent development may cause dissolution or peeling from the substrate 1. If the exposure amount is too high, high resolution tends not to be obtained. Further, the light irradiation (exposure) time depends on the exposure amount, the composition of the barrier rib-forming photosensitive composition, the thickness of the coating film, etc., but specifically 1 to 60 seconds, preferably 5 to 20 seconds. Can be mentioned.

(現像工程)
露光工程の後、現像液を用いて現像を行い、図1(b)に示される基材1上の未露光部分2を除去する。これにより、図1(c)に断面図が示されるような、基材1と前記基材上に隔壁形成用感光性組成物の塗膜硬化物により形成された隔壁(ブラックマトリックス)6の構成が得られる。また、隔壁(ブラックマトリックス)6と基材1で囲まれた部分は、インク注入等により画素が形成されるドット7と呼ばれる部分である。得られたブラックマトリックス付き基材は、後述のポストベーク工程を経て、インクジェット方式あるいはフォトリソグラフィ法での光学素子作製に用いることが可能な基板となる。
(Development process)
After the exposure step, development is performed using a developer, and the unexposed portion 2 on the substrate 1 shown in FIG. Thereby, the structure of the partition (black matrix) 6 formed by the coating film cured product of the photosensitive composition for partition formation on the substrate 1 and the substrate as shown in the sectional view of FIG. Is obtained. A portion surrounded by the partition (black matrix) 6 and the substrate 1 is a portion called a dot 7 where a pixel is formed by ink injection or the like. The obtained base material with a black matrix becomes a substrate that can be used for optical element production by an inkjet method or a photolithography method through a post-bake process described later.

現像に用いる現像液としては、例えば、無機アルカリ類、アミン類、アルコールアミン類、第4級アンモニウム塩等のアルカリ類を含むアルカリ水溶液を用いることができる。また現像液には、溶解性の向上や残渣除去のために、界面活性剤やアルコールなどの有機溶剤を添加することができる。   As the developer used for development, for example, an alkaline aqueous solution containing alkalis such as inorganic alkalis, amines, alcohol amines, and quaternary ammonium salts can be used. In addition, an organic solvent such as a surfactant or alcohol can be added to the developer in order to improve solubility and remove residues.

現像時間(現像液に接触させる時間)は、5〜180秒間が好ましい。また現像方法は液盛り法、ディッピング法、シャワー法などのいずれでもよい。現像後、高圧水洗や流水洗浄を行い、圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによって、基材1および隔壁(ブラックマトリックス)6上の水分を除去できる。   The development time (time for contacting with the developer) is preferably 5 to 180 seconds. Further, the developing method may be any of a liquid piling method, a dipping method, a shower method and the like. After development, water on the substrate 1 and the partition walls (black matrix) 6 can be removed by washing with high pressure water or running water and air-drying with compressed air or compressed nitrogen.

(ポストベーク工程)
続いて、基材1上の隔壁(ブラックマトリックス)6を加熱することが好ましい。加熱の方法としては、基材1とともに隔壁(ブラックマトリックス)6をホットプレート、オーブンなどの加熱装置により、好ましくは150〜250℃で、5〜90分間加熱処理をする方法が挙げられる。この加熱処理により、基材1上の隔壁形成用感光性組成物の塗膜硬化物からなる隔壁(ブラックマトリックス)6がさらに硬化し、隔壁(ブラックマトリックス)6と基材1で囲まれるドット7の形状もより固定化される。なお、前記加熱温度は180℃以上であることがより好ましい。加熱温度が低すぎると隔壁(ブラックマトリックス)6の硬化が不十分であるために、充分な耐薬品性が得られず、その後、例えばインクジェット塗布工程でドット7にインクを注入した場合に、そのインクに含まれる溶媒により隔壁(ブラックマトリックス)6が膨潤したり、インクが滲んでしまうおそれがある。一方、加熱温度が高すぎると、隔壁(ブラックマトリックス)6の熱分解が起こるおそれがある。
(Post bake process)
Subsequently, it is preferable to heat the partition (black matrix) 6 on the substrate 1. Examples of the heating method include a method in which the partition wall (black matrix) 6 is heated together with the base material 1 by a heating device such as a hot plate or an oven, preferably at 150 to 250 ° C. for 5 to 90 minutes. By this heat treatment, the partition wall (black matrix) 6 made of a cured coating film of the photosensitive composition for partition formation on the substrate 1 is further cured, and the dots 7 surrounded by the partition wall (black matrix) 6 and the substrate 1 are formed. The shape is also more fixed. The heating temperature is more preferably 180 ° C. or higher. When the heating temperature is too low, the partition wall (black matrix) 6 is not sufficiently cured, so that sufficient chemical resistance cannot be obtained. Thereafter, for example, when ink is injected into the dots 7 in the inkjet coating process, There is a possibility that the partition (black matrix) 6 swells or the ink oozes due to the solvent contained in the ink. On the other hand, if the heating temperature is too high, thermal decomposition of the partition walls (black matrix) 6 may occur.

本発明の隔壁形成用感光性組成物は、隔壁(ブラックマトリックス)の幅の平均が、好ましくは100μm以下、より好ましくは20μm以下のパターン形成に用いることができる。また、隣接する隔壁(ブラックマトリックス)間の距離(ドットの幅)の平均が、好ましくは300μm以下、より好ましくは100μm以下のパターン形成に用いることができる。また、隔壁(ブラックマトリックス)の高さの平均が、好ましくは0.05〜50μm、より好ましくは0.2〜10μmのパターン形成に用いることができる。
[本発明のカラーフィルタの製造方法]
The barrier rib-forming photosensitive composition of the present invention can be used for pattern formation in which the average width of the barrier rib (black matrix) is preferably 100 μm or less, more preferably 20 μm or less. Moreover, the average of the distance (dot width) between adjacent partition walls (black matrix) is preferably 300 μm or less, more preferably 100 μm or less. Further, the average height of the partition walls (black matrix) is preferably 0.05 to 50 μm, more preferably 0.2 to 10 μm.
[Method for Producing Color Filter of the Present Invention]

本発明はまた、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックス(上記本発明の方法で製造されるブラックマトリックス)と、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有するカラーフィルタの製造方法を提供するものである。以下に、本発明のカラーフィルタの製造方法について説明する。   The present invention also provides a base material, a black matrix formed on the main surface of the base material so as to partition the main surface into a plurality of compartments (a black matrix produced by the method of the present invention), and the base The present invention provides a method of manufacturing a color filter having a plurality of pixels respectively formed in a region partitioned by the black matrix on a material. Below, the manufacturing method of the color filter of this invention is demonstrated.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有するカラーフィルタの製造に適用され、上記本発明の製造方法によって基材上にブラックマトリックスを形成した後、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にインクジェット法またはフォトリソグラフィ法により前記画素を形成する工程を有することを特徴とする。   The method for producing a color filter of the present invention includes a base material, a black matrix formed on the main surface of the base material so as to partition the main surface into a plurality of compartments, and the black matrix on the base material. Applied to the manufacture of a color filter having a plurality of pixels formed in each of the formed regions, and after forming a black matrix on the substrate by the manufacturing method of the present invention, partitioning with the black matrix on the substrate The method has a step of forming the pixel in the formed region by an ink jet method or a photolithography method.

カラーフィルタにおいては、形成される画素の形状は、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、4画素配置型等の公知のいずれの配列とすることも可能であり、上記ブラックマトリックスの形成は、この画素の形状に合わせて行われる。   In the color filter, the shape of the pixel to be formed can be any known arrangement such as a stripe type, a mosaic type, a triangle type, or a four-pixel arrangement type. It is done according to the shape.

ここで、本発明のカラーフィルタの製造方法においては、上記本発明の方法でブラックマトリックスを形成した後、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域(ドット)内にインクを投入する前に、ドット内に露出した基材表面に、例えば、アルカリ水溶液による洗浄処理、UV洗浄処理、UVオゾン洗浄処理、エキシマ洗浄処理、コロナ放電処理、酸素プラズマ処理等の方法で親インク化処理を施してもよい。   Here, in the method for producing a color filter of the present invention, after the black matrix is formed by the above-described method of the present invention, before the ink is injected into the region (dot) partitioned by the black matrix on the substrate. In addition, the surface of the substrate exposed in the dots is subjected to an ink affinity treatment by, for example, an alkali aqueous cleaning process, a UV cleaning process, a UV ozone cleaning process, an excimer cleaning process, a corona discharge process, or an oxygen plasma process. May be.

(インクジェット法による画素形成)
基材上のブラックマトリックスで仕切られた領域にインクジェット法により画素を形成するには、まず、上記必要に応じて親インク化処理工程が行われた後のドットにインクジェット法によりR(赤)、B(青)、G(緑)の3色のインクを注入する。インクの注入は、インクジェット法に一般的に用いられるインクジェット装置を用いて通常の方法と同様に行うことができる。このようなインク注入に用いられるインクジェット装置としては、特に限定されるものではないが、帯電したインクを連続的に噴射し磁場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等の各種の方法を用いたインクジェット装置を用いることができる。
(Pixel formation by inkjet method)
In order to form a pixel by an inkjet method in a region partitioned by a black matrix on a substrate, first, R (red) is applied to the dot after the ink-repellent treatment step is performed by the inkjet method as necessary. B (blue) and G (green) inks of three colors are injected. The ink can be injected in the same manner as a normal method using an ink jet apparatus generally used in the ink jet method. The ink jet device used for such ink injection is not particularly limited, but a method in which charged ink is continuously ejected and controlled by a magnetic field, and a method in which ink is intermittently ejected using a piezoelectric element. Ink jet apparatuses using various methods such as a method of heating ink and intermittently ejecting the ink by using the bubbling can be used.

なお、本明細書において「インク」とは、乾燥硬化した後に、例えば光学的、電気的に機能を有する液体を総称するものであり、従来から用いられている着色材料に限定されるものではない。また、前記インクを注入して形成される「画素」についても同様に、隔壁(ブラックマトリックス)で仕切られたそれぞれに光学的、電気的機能を有する区分を表すものとして用いられる。   In the present specification, “ink” is a general term for liquids having optical and electrical functions after being dried and cured, and is not limited to conventionally used coloring materials. . Similarly, “pixels” formed by injecting the ink are also used to represent sections having optical and electrical functions, which are partitioned by partition walls (black matrix).

ここで、カラーフィルタの画素の形成に用いられるインクは、主に着色成分とバインダー樹脂成分と溶剤とを含む。着色成分としては、耐熱性、耐光性などに優れた顔料および染料を用いることが好ましい。バインダー樹脂成分としては、透明で耐熱性に優れた樹脂が好ましく、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂などが挙げられる。水性のインクは、溶剤として水および必要に応じて水溶性有機溶媒を含み、バインダー樹脂成分として水溶性樹脂または水分散性樹脂を含み、必要に応じて各種助剤を含む。また、油性のインクは、溶剤として有機溶剤を含み、バインダー樹脂成分として有機溶剤に可溶な樹脂を含み、必要に応じて各種助剤を含む。   Here, the ink used for forming the pixel of the color filter mainly includes a coloring component, a binder resin component, and a solvent. As the coloring component, it is preferable to use pigments and dyes excellent in heat resistance, light resistance and the like. As the binder resin component, a resin that is transparent and excellent in heat resistance is preferable, and examples thereof include an acrylic resin, a melamine resin, and a urethane resin. The water-based ink contains water and, if necessary, a water-soluble organic solvent, contains a water-soluble resin or a water-dispersible resin as a binder resin component, and contains various auxiliary agents as necessary. The oil-based ink contains an organic solvent as a solvent, a resin soluble in an organic solvent as a binder resin component, and various auxiliary agents as necessary.

なお、インクジェット法においては、上記インクジェット装置でドットにインクを注入した後、必要により、乾燥、加熱硬化、紫外線硬化を行うことが好ましい。   In the ink jet method, it is preferable to perform drying, heat curing, and ultraviolet curing as necessary after injecting ink into the dots by the ink jet apparatus.

(フォトリソグラフィ法による画素形成)
基材上のブラックマトリックスで仕切られた領域にフォトリソグラフィ法により画素を形成するには、前記ブラックマトリックスの製造方法と同様に、まず必要に応じて前記基板を洗浄した後、カラーインク組成物を基板に塗布する。塗布方法は、前記ブラックマトリックスの製造方法における塗布方法と同様である。その後も、前記と同様にプリベーク工程、露光工程、現像工程、ポストベーク工程を経ることによってドットにカラー層を形成する。この工程を、R(赤)、B(青)、G(緑)の3色のインクについてそれぞれ行い(計3回)、画素が完成する。インクとしては、主に着色成分とバインダー樹脂と溶剤とを含む組成物が用いられる。着色成分としては、耐熱性、耐光性などに優れた顔料および染料を用いることが好ましい。バインダー樹脂としては、前記のアルカリ可溶性樹脂(A)や架橋剤と同様のものが使用できる。
(Pixel formation by photolithography)
In order to form a pixel by a photolithography method in a region partitioned by a black matrix on a base material, the substrate is first cleaned as necessary, and then a color ink composition is added as in the black matrix manufacturing method. Apply to substrate. The coating method is the same as the coating method in the black matrix manufacturing method. Thereafter, similarly to the above, a color layer is formed on the dots through the pre-bake process, the exposure process, the development process, and the post-bake process. This process is performed for each of the three ink colors R (red), B (blue), and G (green) (three times in total) to complete the pixel. As the ink, a composition mainly containing a coloring component, a binder resin, and a solvent is used. As the coloring component, it is preferable to use pigments and dyes excellent in heat resistance and light resistance. As the binder resin, those similar to the alkali-soluble resin (A) and the crosslinking agent can be used.

このようにして、基材上のブラックマトリックスで仕切られた領域にインクジェット法またはフォトリソグラフィ法により画素を形成した後、必要に応じて、保護膜層を形成する。保護膜層は表面平坦性を上げる目的と隔壁や画素部のインクからの溶出物が液晶層に到達するのを遮断する目的で形成することが好ましい。保護膜層を形成する場合は、事前に隔壁の撥インク性を除去することが好ましい。撥インク性を除去しない場合、オーバーコート用塗布液をはじき、均一な膜厚が得られないため好ましくない。隔壁の撥インク性を除去する方法としては、プラズマアッシング処理や光アッシング処理等が挙げられる。   Thus, after forming a pixel by the inkjet method or the photolithographic method in the area | region partitioned off with the black matrix on a base material, a protective film layer is formed as needed. The protective film layer is preferably formed for the purpose of increasing the surface flatness and for blocking the eluate from the ink in the partition walls and the pixel portion from reaching the liquid crystal layer. When forming the protective film layer, it is preferable to remove the ink repellency of the partition wall in advance. If the ink repellency is not removed, the overcoat coating solution is repelled, and a uniform film thickness cannot be obtained. Examples of the method for removing the ink repellency of the partition include plasma ashing and optical ashing.

さらに必要に応じて、カラーフィルタを用いて製造される液晶パネルの高品位化のためにフォトスペーサーを隔壁で構成されるブラックマトリックス上に形成することが好ましい。   Further, if necessary, it is preferable to form a photo spacer on a black matrix composed of partition walls in order to improve the quality of a liquid crystal panel manufactured using a color filter.

以下に、実施例に基づいて、本発明について説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。なお、各例に化合物の配合量として用いた「部」は、「質量部」を意味する。   Hereinafter, the present invention will be described based on examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, "part" used as a compounding quantity of the compound in each example means "mass part".

また、以下の各例に用いた化合物の略号を次に示す。
(i)撥インク剤の調製に用いた化合物
C6FMA:CH=C(CH)COOCHCH(CF
MAA:メタクリル酸
MMA:メタクリル酸メチル
2−HEMA:2−ヒドロキシエチルメタクリレート
V−70:V−70(商品名、和光純薬社製、2,2'−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル))
2−ME:2−メルカプトエタノール
MOI:カレンズMOI(商品名、昭和電工社製、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート)
DBTDL:ジブチル錫ジラウレート
BHT:2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール
(ii)感光性樹脂組成物塗布液の調製に用いた成分
OXE02:OXE02(商品名、チバスペシャルティケミカルズ社製、エタノン 1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾイル−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)
ZCR1569:KAYARAD ZCR−1569H(商品名、日本化薬社製、ビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂にエチレン性不飽和二重結合と酸性基とを導入した樹脂の溶液;固形分70%、重量平均分子量4710)
DPHA:KAYARAD DPHA(商品名、日本化薬社製、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物)
PGMEA:プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセテート
CB:カーボンブラック分散液(平均2次粒径120nm、分散媒PGMEA、カーボンブラック20%、アミン価が18mgKOH/gのポリウレタン系高分子分散剤5%)
シリカ分散液:シリカ分散液(平均粒径20nm、分散媒PGMEA、固形分30%、シリカは負に帯電している。)
157S70:157S70(商品名、ジャパンエポキシレジン社製、ノボラック型エポキシ樹脂)
KBM403:KBM−403(商品名、信越化学工業社製、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)
PA:リン酸とモノメタクリロイルオキシエチルフォスフェート、ジメタクリロイルオキシエチルフォスフェートの2:1(質量比)混合物(混合物中のリン酸の濃度は0.3質量%である。)
Moreover, the symbol of the compound used for each following example is shown next.
(I) Compound used for preparation of ink repellent agent C6FMA: CH 2 ═C (CH 3 ) COOCH 2 CH 2 (CF 2 ) 6 F
MAA: methacrylic acid MMA: methyl methacrylate 2-HEMA: 2-hydroxyethyl methacrylate V-70: V-70 (trade name, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4- Dimethylvaleronitrile))
2-ME: 2-mercaptoethanol MOI: Karenz MOI (trade name, manufactured by Showa Denko KK, 2-methacryloyloxyethyl isocyanate)
DBTDL: Dibutyltin dilaurate BHT: 2,6-di-t-butyl-p-cresol (ii) Component used for preparation of photosensitive resin composition coating solution OXE02: OXE02 (trade name, manufactured by Ciba Specialty Chemicals, Ethanon 1- [9-Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazoyl-3-yl] -1- (O-acetyloxime)
ZCR1569: KAYARAD ZCR-1569H (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., a solution of a resin in which an ethylenically unsaturated double bond and an acidic group are introduced into an epoxy resin having a biphenyl skeleton; solid content: 70%, weight average molecular weight: 4710 )
DPHA: KAYARAD DPHA (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate)
PGMEA: Propylene glycol 1-monomethyl ether 2-acetate CB: Carbon black dispersion (average secondary particle size 120 nm, dispersion medium PGMEA, carbon black 20%, polyurethane polymer dispersant 5% with an amine value of 18 mgKOH / g)
Silica dispersion: Silica dispersion (average particle size 20 nm, dispersion medium PGMEA, solid content 30%, silica is negatively charged)
157S70: 157S70 (trade name, manufactured by Japan Epoxy Resin, novolak epoxy resin)
KBM403: KBM-403 (trade name, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane)
PA: 2: 1 (mass ratio) mixture of phosphoric acid, monomethacryloyloxyethyl phosphate and dimethacryloyloxyethyl phosphate (the concentration of phosphoric acid in the mixture is 0.3% by mass)

[合成例]撥インク剤の調製
撹拌機を備えた内容積1Lのオートクレーブに、アセトン(556g)、C6FMA(96g)、MAA(4.8g)、2−HEMA(96g)、MMA(43.2g)、連鎖移動剤2−ME(6.2g)および重合開始剤V−70(4.5g)を仕込み、窒素雰囲気下に撹拌しながら、40℃で18時間重合させ、重合体(1)の溶液を得た。得られた重合体(1)のアセトン溶液に水を加え再沈精製し、次いで石油エーテルで再沈精製し、真空乾燥し、重合体(1)の237gを得た。重合体(1)の重量平均分子量は5600であった。
[Synthesis Example] Preparation of ink repellent agent To an autoclave having an internal volume of 1 L equipped with a stirrer, acetone (556 g), C6FMA (96 g), MAA (4.8 g), 2-HEMA (96 g), MMA (43.2 g). ), Chain transfer agent 2-ME (6.2 g) and polymerization initiator V-70 (4.5 g) were charged, and the mixture was polymerized at 40 ° C. for 18 hours with stirring in a nitrogen atmosphere. A solution was obtained. Water was added to the obtained acetone solution of the polymer (1) for reprecipitation purification, then reprecipitation purification with petroleum ether and vacuum drying to obtain 237 g of the polymer (1). The weight average molecular weight of the polymer (1) was 5600.

上記で得られた重合体(1)(100g)、MOI(47.7g)、DBTDL(0.19g)、BHT(2.4g)およびアセトン(100g)を、温度計、撹拌機、加熱装置を備えた内容量500mLのガラス製フラスコに仕込み、撹拌しながら、30℃で18時間重合させ、重合体(2)の溶液を得た。得られた重合体(2)のアセトン溶液に水を加え再沈精製し、次いで石油エーテルで再沈精製し、真空乾燥し、重合体(2)の135gを得た。重量平均分子量は8800であった。得られた重合体(2)を撥インク剤として実施例の隔壁形成用感光性組成物の製造に用いた。   Polymer (1) (100 g), MOI (47.7 g), DBTDL (0.19 g), BHT (2.4 g) and acetone (100 g) obtained above were added to a thermometer, stirrer and heating device. The solution was charged in a glass flask having an internal volume of 500 mL and polymerized at 30 ° C. for 18 hours with stirring to obtain a solution of the polymer (2). Water was added to the obtained acetone solution of the polymer (2) for reprecipitation purification, and then reprecipitation purification with petroleum ether and vacuum drying to obtain 135 g of the polymer (2). The weight average molecular weight was 8800. The obtained polymer (2) was used as an ink repellent agent in the production of the photosensitive composition for forming a partition wall in the examples.

[実施例1]
(隔壁形成用感光性組成物希釈液の調製)
アルカリ可溶性樹脂(A)を含むZCR1569(13.37部)、光重合開始剤(B)としてのOXE02(0.94部)、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)とリン酸化合物(D)の混合物を含むPA(0.07部)、リン酸化合物(D)としてリン酸を1質量%の割合で含むリン酸PGMEA溶液(0.13部)、黒色顔料(E)の分散液としてのCB(40.11部)、シランカップリング剤(F)としてのKBM403(1.34部)、熱硬化性樹脂(G)としての157S70(1.14部)、架橋剤としてのDPHA(4.01部)、撥インク剤としての重合体(2)(0.05部)、フィラーとしてのシリカを含むシリカ分散液(8.91部)、溶剤としてのPGMEA(29.94部)を混合して、隔壁形成用感光性組成物(1)の希釈液を得た。
表1に得られた隔壁形成用感光性組成物(1)の固形分の組成(質量%)を示す。なお、リン酸化合物(D)については、含有量をppmで示した。表1に示す通り隔壁形成用感光性組成物の全固形分中のリン酸(メタ)アクリレート化合物の含有量は0.22質量%であり、リン酸の含有量は51.3ppmである。
[Example 1]
(Preparation of photosensitive composition dilution for partition wall formation)
ZCR1569 (13.37 parts) containing alkali-soluble resin (A), OXE02 (0.94 parts) as photopolymerization initiator (B), phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) and phosphoric acid compound (D) As a dispersion liquid of PA (0.07 parts) containing phosphoric acid, phosphoric acid PGMEA solution (0.13 parts) containing phosphoric acid in a proportion of 1% by mass as phosphoric acid compound (D), and black pigment (E) CB (40.11 parts), KBM403 (1.34 parts) as a silane coupling agent (F), 157S70 (1.14 parts) as a thermosetting resin (G), DPHA (4. 01 part), a polymer (2) (0.05 parts) as an ink repellent agent, a silica dispersion (8.91 parts) containing silica as a filler, and PGMEA (29.94 parts) as a solvent. For the formation of barrier ribs To obtain a dilution of the composition (1).
Table 1 shows the composition (% by mass) of the solid content of the obtained photosensitive composition (1) for forming a partition wall. In addition, about phosphoric acid compound (D), content was shown by ppm. As shown in Table 1, the content of the phosphoric acid (meth) acrylate compound in the total solid content of the partition wall-forming photosensitive composition is 0.22% by mass, and the content of phosphoric acid is 51.3 ppm.

(ブラックマトリックスの製造)
スピンナーを用いて、基材となるガラス基板AN100(旭硝子製、100mm×100mm、0.7mm厚)上に、上記で調製した隔壁形成用感光性組成物(1)の希釈液を塗布した後、ホットプレート上で、100℃で2分間乾燥させ、2.0μmの隔壁形成用感光性組成物(1)の塗膜を形成した。
(Manufacture of black matrix)
After applying the diluted solution of the barrier rib forming photosensitive composition (1) prepared above on the glass substrate AN100 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., 100 mm × 100 mm, 0.7 mm thickness) as a base material using a spinner, The coating was dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes to form a 2.0 μm barrier rib-forming photosensitive composition (1).

上記で得られたガラス基板上の隔壁形成用感光性組成物(1)の塗膜に、超高圧水銀灯を用いて、露光量がi線(365nm)基準で100mJ/cmの光を、マスクを通して照射し、露光した。なお、マスクは、遮光部が100μm×200μm、光透過部が20μmの格子状パターンであり、ガラス基板上に形成される隔壁で仕切られた領域すなわち開口部(ドット)の容積が40pLとなる設計であった。 Using a super high pressure mercury lamp, a light of 100 mJ / cm 2 on the basis of i-line (365 nm) is applied to the coating film of the photosensitive composition (1) for forming a partition wall on the glass substrate obtained above as a mask. Through and exposed. The mask has a lattice pattern with a light shielding part of 100 μm × 200 μm and a light transmission part of 20 μm, and the volume of the area partitioned by the partition formed on the glass substrate, that is, the opening (dot) is 40 pL. Met.

上記露光後のガラス基板を、無機アルカリタイプの現像液セミクリーンDL−A4(商品名、横浜油脂工業社製)の10倍希釈水溶液に浸漬して現像を行い、未露光部を水により洗い流し、乾燥させた。   The glass substrate after the exposure is developed by immersing it in a 10-fold diluted aqueous solution of an inorganic alkali type developer semi-clean DL-A4 (trade name, manufactured by Yokohama Yushi Kogyo Co., Ltd.), and the unexposed part is washed away with water. Dried.

現像〜乾燥後のガラス基板を、ホットプレート上で、220℃で30分間、加熱することにより、隔壁(ブラックマトリックス)が形成されたガラス基板(1)を得た。   The glass substrate (1) on which the partition walls (black matrix) were formed was obtained by heating the glass substrate after development to drying on a hot plate at 220 ° C. for 30 minutes.

また、以下の密着性評価のために用いるガラス基板(2)を作製した。すなわち、上記隔壁が形成されたガラス基板(1)の作製において、マスクを用いずに露光した以外は、上記と同様にして、隔壁形成用感光性組成物(1)の塗膜硬化物がガラス基板の片側全面に形成されたガラス基板(2)を得た。   Moreover, the glass substrate (2) used for the following adhesive evaluation was produced. That is, in the production of the glass substrate (1) on which the partition walls were formed, the cured coating film of the partition wall-forming photosensitive composition (1) was made of glass in the same manner as described above except that exposure was performed without using a mask. A glass substrate (2) formed on the entire surface of one side of the substrate was obtained.

<評価>
上記得られた隔壁形成用感光性組成物(1)の希釈液、ガラス基板(1)、ガラス基板(2)を用いて以下の評価を行った。結果を表1の下欄に示す。
<Evaluation>
The following evaluation was performed using the dilution liquid, the glass substrate (1), and the glass substrate (2) of the obtained photosensitive composition for partition formation (1). The results are shown in the lower column of Table 1.

(1)現像性
上記で得られたガラス基板(1)において、隔壁が完全に現像できたものを○、現像されない部分があったものを×として、判定した。
(1) Developability In the glass substrate (1) obtained as described above, the case where the partition wall was completely developed was judged as ◯, and the case where there was a part that was not developed was judged as ×.

(2)PCT密着性
上記で得られたガラス基板(2)について、塗膜硬化物をカッターにて、2mm間隔でマス目の数が25個となるように、碁盤目状に傷を付けた。次に、このガラス基板(2)を121℃、100RH%、2気圧の条件下に24時間曝す、PCT(プレッシャークッカー)試験を実施した。試験後のガラス基板(2)の塗膜硬化物上、カッターでマス目を作った部分に粘着テープ(ニチバン社製、商品名:セロテープ(登録商標))を貼り、直後にこの粘着テープを剥がした。目視により、マス目が剥がれなかったもの(剥がれたマス目の数が0個)を○、マス目が殆ど剥がれたもの(剥がれたマス目の数が1個以上)を×として塗膜硬化物の付着状態を評価した。
(2) PCT adhesion About the glass substrate (2) obtained above, the coating film cured product was scratched in a grid pattern so that the number of cells was 25 at intervals of 2 mm with a cutter. . Next, a PCT (pressure cooker) test was performed in which the glass substrate (2) was exposed to conditions of 121 ° C., 100 RH%, and 2 atmospheres for 24 hours. Adhesive tape (made by Nichiban Co., Ltd., trade name: cello tape (registered trademark)) is pasted on the cured part of the glass substrate (2) after the test on the part of the grid made by the cutter, and this adhesive tape is peeled off immediately afterwards. It was. By visual inspection, the case where the squares were not peeled off (the number of the squares that were peeled off was 0), and the case where the squares were almost peeled off (the number of the squares that were peeled off was 1 or more) was x. The adhesion state of was evaluated.

(3)貯蔵安定性
隔壁形成用感光性組成物(1)希釈液を調製後、23℃で2週間保管した後に、これを用いて上記ガラス基板(1)と同様にして隔壁(ブラックマトリックス)が形成されたガラス基板(3)を、またガラス基板(2)と同様にして隔壁形成用感光性組成物(1)の塗膜硬化物がガラス基板の片側全面に形成されたガラス基板(4)を作製した。
ガラス基板(3)について上記(1)の現像性評価を行い、ガラス基板(1)の評価と比較した。また、ガラス基板(4)について上記(2)PCT密着性の評価を行い、ガラス基板(2)の評価と比較した。保管前の隔壁形成用感光性組成物(1)希釈液を用いて作製したガラス基板(1)、ガラス基板(2)の結果と比較して、同等の結果が得られたものを○、得られなかったものを×として、判定した。
(3) Storage stability Photosensitive composition for partition wall formation (1) After preparing the diluted solution and storing it at 23 ° C. for 2 weeks, the partition wall (black matrix) is used in the same manner as the glass substrate (1). A glass substrate (4) having a coating film cured product of the photosensitive composition for partition wall formation (1) formed on the entire surface of one side of the glass substrate in the same manner as the glass substrate (2). ) Was produced.
The developability evaluation of the above (1) was performed on the glass substrate (3) and compared with the evaluation of the glass substrate (1). Moreover, said (2) PCT adhesiveness evaluation was performed about the glass substrate (4), and it compared with the evaluation of the glass substrate (2). Compared with the results of the glass substrate (1) and the glass substrate (2) prepared using the diluent for forming the barrier rib-forming photosensitive composition (1) before storage, those obtained with equivalent results What was not made was determined as x.

[実施例2]
アルカリ可溶性樹脂(A)を含むZCR1569(13.16部)、光重合開始剤(B)としてのOXE02(0.92部)、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)とリン酸化合物(D)の混合物を含むPA(0.53部)、黒色顔料(E)の分散液としてのCB(39.49部)、シランカップリング剤(F)としてのKBM403(1.32部)、熱硬化性樹脂(G)としての157S70(1.12部)、架橋剤としてのDPHA(3.95部)、撥インク剤としての重合体(2)(0.05部)、フィラーとしてのシリカを含むシリカ分散液(8.78部)、溶剤としてのPGMEA(30.68部)を混合して、隔壁形成用感光性組成物(2)の希釈液を得た。表1に得られた隔壁形成用感光性組成物(2)の固形分の組成(質量%)を示すが、リン酸(メタ)アクリレート化合物の含有量は1.76質量%であり、リン酸の含有量は52.7ppmであった。
[Example 2]
ZCR1569 (13.16 parts) containing alkali-soluble resin (A), OXE02 (0.92 parts) as photopolymerization initiator (B), phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) and phosphoric acid compound (D) PA (0.53 parts), a black pigment (E) dispersion liquid CB (39.49 parts), a silane coupling agent (F) KBM403 (1.32 parts), thermosetting Silica containing 157S70 (1.12 parts) as a resin (G), DPHA (3.95 parts) as a crosslinking agent, polymer (2) (0.05 parts) as an ink repellent agent, and silica as a filler The dispersion (8.78 parts) and PGMEA (30.68 parts) as a solvent were mixed to obtain a diluted solution of the barrier rib forming photosensitive composition (2). Although the composition (mass%) of solid content of the photosensitive composition (2) for partition formation obtained in Table 1 is shown, content of a phosphoric acid (meth) acrylate compound is 1.76 mass%, and phosphoric acid The content of was 52.7 ppm.

得られた隔壁形成用感光性組成物(2)の希釈液を用いて、実施例1と同様にして隔壁(ブラックマトリックス)が形成されたガラス基板、隔壁形成用感光性組成物(2)の塗膜硬化物がガラス基板の片側全面に形成されたガラス基板を作製し、上記実施例1と同様の評価を行った。結果を表1の下欄に示す。   Using the obtained diluted solution of the barrier rib forming photosensitive composition (2), a glass substrate on which barrier ribs (black matrix) were formed in the same manner as in Example 1, the barrier rib forming photosensitive composition (2) A glass substrate having a cured coating film formed on the entire surface of one side of the glass substrate was prepared, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in the lower column of Table 1.

[比較例1]
アルカリ可溶性樹脂(A)を含むZCR1569(13.4部)、光重合開始剤(B)としてのOXE02(0.94部)、リン酸化合物(D)としてリン酸を1質量%の割合で含む、リン酸のPGMEA溶液(0.15部)、黒色顔料(E)の分散液としてのCB(40.2部)、シランカップリング剤(F)としてのKBM403(1.34部)、熱硬化性樹脂(G)としての157S70(1.34部)、架橋剤としてのDPHA(4.025部)、撥インク剤としての重合体(2)(0.05部)、フィラーとしてのシリカを含むシリカ分散液(8.93部)、溶剤としてのPGMEA(29.83部)を混合して、隔壁形成用感光性組成物(3)の希釈液を得た。表1に得られた隔壁形成用感光性組成物(3)の固形分の組成(質量%)を示すが、リン酸(メタ)アクリレート化合物は含有しておらず、リン酸の含有量は48.7ppmであった。
[Comparative Example 1]
ZCR1569 (13.4 parts) containing an alkali-soluble resin (A), OXE02 (0.94 parts) as a photopolymerization initiator (B), and phosphoric acid (D) as a phosphoric acid compound (D) in a proportion of 1% by mass , PGMEA solution of phosphoric acid (0.15 parts), CB (40.2 parts) as a dispersion of black pigment (E), KBM403 (1.34 parts) as silane coupling agent (F), thermosetting 157S70 (1.34 parts) as an adhesive resin (G), DPHA (4.025 parts) as a crosslinking agent, a polymer (2) (0.05 parts) as an ink repellent agent, and silica as a filler Silica dispersion (8.93 parts) and PGMEA (29.83 parts) as a solvent were mixed to obtain a diluted liquid of the barrier rib-forming photosensitive composition (3). Although the composition (mass%) of solid content of the photosensitive composition (3) for partition formation obtained in Table 1 is shown, it does not contain a phosphoric acid (meth) acrylate compound, and the content of phosphoric acid is 48. 0.7 ppm.

得られた隔壁形成用感光性組成物(3)の希釈液を用いて、実施例1と同様にして隔壁(ブラックマトリックス)が形成されたガラス基板、隔壁形成用感光性組成物(3)の塗膜硬化物がガラス基板の片側全面に形成されたガラス基板を作製し、上記実施例1と同様の評価を行った。結果を表1の下欄に示す。   Using the obtained diluted solution of the barrier rib forming photosensitive composition (3), a glass substrate on which barrier ribs (black matrix) were formed in the same manner as in Example 1, the barrier rib forming photosensitive composition (3) A glass substrate having a cured coating film formed on the entire surface of one side of the glass substrate was prepared, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in the lower column of Table 1.

[比較例2]
アルカリ可溶性樹脂(A)を含むZCR1569(12.83部)、光重合開始剤(B)としてのOXE02(0.90部)、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)とリン酸化合物(D)の混合物を含むPA(1.28部)、黒色顔料(E)の分散液としてのCB(38.38部)、シランカップリング剤(F)としてのKBM403(1.28部)、熱硬化性樹脂(G)としての157S70(1.09部)、架橋剤としてのDPHA(3.85部)、撥インク剤としての重合体(2)(0.05部)、フィラーとしてのシリカを含むシリカ分散液(8.55部)、溶剤としてのPGMEA(31.69部)を混合して、隔壁形成用感光性組成物(4)の希釈液を得た。表1に得られた隔壁形成用感光性組成物(4)の固形分の組成(質量%)を示すが、リン酸(メタ)アクリレート化合物の含有量は4.28質量%であり、リン酸の含有量は128.3ppmであった。
[Comparative Example 2]
ZCR1569 (12.83 parts) containing alkali-soluble resin (A), OXE02 (0.90 parts) as photopolymerization initiator (B), phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) and phosphoric acid compound (D) PA (1.28 parts), a black pigment (E) dispersion as CB (38.38 parts), silane coupling agent (F) as KBM403 (1.28 parts), thermosetting Silica containing 157S70 (1.09 parts) as resin (G), DPHA (3.85 parts) as a crosslinking agent, polymer (2) (0.05 parts) as an ink repellent agent, silica as a filler The dispersion (8.55 parts) and PGMEA (31.69 parts) as a solvent were mixed to obtain a diluted solution of the barrier rib-forming photosensitive composition (4). Although the composition (mass%) of solid content of the photosensitive composition (4) for partition formation obtained in Table 1 is shown, content of a phosphoric acid (meth) acrylate compound is 4.28 mass%, and phosphoric acid The content of was 128.3 ppm.

得られた隔壁形成用感光性組成物(4)の希釈液を用いて、実施例1と同様にして隔壁(ブラックマトリックス)が形成されたガラス基板、隔壁形成用感光性組成物(4)の塗膜硬化物がガラス基板の片側全面に形成されたガラス基板を作製し、上記実施例1と同様の評価を行った。結果を表1の下欄に示す。   Using the obtained diluted solution of the barrier rib forming photosensitive composition (4), a glass substrate on which the barrier rib (black matrix) was formed in the same manner as in Example 1, the barrier rib forming photosensitive composition (4) A glass substrate having a cured coating film formed on the entire surface of one side of the glass substrate was produced, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in the lower column of Table 1.

Figure 2011039404
*表中の配合量(質量%)は、リン酸化合物(D)のみ質量%に替えてppmで示す。
Figure 2011039404
* The compounding quantity (mass%) in a table | surface replaces only the phosphoric acid compound (D) with mass%, and shows it in ppm.

表1から分かるように、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)を含有しなかったり、リン酸化合物(D)を多く含有する比較例の隔壁形成用感光性組成物が、貯蔵安定性と基材密着性の両方を満たすことがないのに比べて、実施例の隔壁形成用感光性組成物は、貯蔵安定性を有するとともにこれを用いて得られるブラックマトリックスは、基材との密着耐久性にも優れる。   As can be seen from Table 1, the barrier rib-forming photosensitive composition of Comparative Example that does not contain the phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) or contains a large amount of the phosphoric acid compound (D) has a storage stability and a base. Compared to not satisfying both of the material adhesion, the photosensitive composition for forming a partition wall of the example has storage stability and the black matrix obtained by using this has a durability against adhesion to a substrate. Also excellent.

本発明の隔壁形成用感光性組成物は、貯蔵安定性を有するとともにこれを用いて得られるブラックマトリックスは、基材との密着耐久性に優れるため、カラーフィルタ等の製造に有用である。   The photosensitive composition for forming a partition wall of the present invention has storage stability and a black matrix obtained by using it is excellent in adhesion durability with a base material, and thus is useful for producing a color filter and the like.

1…基材、2…隔壁形成用感光性組成物の層、4…マスク、5…光、6…隔壁(ブラックマトリックス)、7…ドット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base material, 2 ... Layer of photosensitive composition for partition formation, 4 ... Mask, 5 ... Light, 6 ... Partition (black matrix), 7 ... Dot

Claims (7)

光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、光重合開始剤(B)、リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)、および黒色顔料(E)を含む光学素子の隔壁形成用感光性組成物であって、
組成物中の全固形分に対する前記リン酸(メタ)アクリレート化合物(C)の含有量が0.1〜5質量%であり、かつ、前記光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物(D)の含有量が10〜100ppmであることを特徴とする隔壁形成用感光性組成物。
Alkali-soluble resin (A) having photocurable ethylenically unsaturated double bond, photopolymerization initiator (B), phosphoric acid (meth) acrylate compound (C), phosphorus having no photocurable functional group A photosensitive composition for forming partition walls of an optical element comprising an acid compound (D) and a black pigment (E),
Phosphoric acid compound having a content of the phosphoric acid (meth) acrylate compound (C) of 0.1 to 5% by mass with respect to the total solid content in the composition and having no photocurable functional group ( A photosensitive composition for forming a partition wall, wherein the content of D) is 10 to 100 ppm.
さらにシランカップリング剤(F)を含む請求項1に記載の隔壁形成用感光性組成物。   Furthermore, the photosensitive composition for partition formation of Claim 1 containing a silane coupling agent (F). さらに熱硬化性樹脂(G)を含む請求項1または2に記載の隔壁形成用感光性組成物。   Furthermore, the photosensitive composition for partition formation of Claim 1 or 2 containing a thermosetting resin (G). さらに、水素原子の少なくとも1つがフッ素原子に置換された炭素数1〜20のアルキル基(ただし、該アルキル基は炭素原子間にエーテル性酸素原子を有していてもよい)および/または下記式(1)で示される基を含む重合体を含む請求項1〜3のいずれかに記載の隔壁形成用感光性組成物。
Figure 2011039404
(式(1)中、RおよびRはそれぞれ独立してメチル基またはフェニル基を表す。nは1〜200の整数を示す。)
Further, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms in which at least one hydrogen atom is substituted with a fluorine atom (however, the alkyl group may have an etheric oxygen atom between carbon atoms) and / or the following formula The photosensitive composition for partition formation in any one of Claims 1-3 containing the polymer containing group shown by (1).
Figure 2011039404
(In Formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a methyl group or a phenyl group. N represents an integer of 1 to 200.)
請求項1〜4のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性組成物の塗膜硬化物からなるブラックマトリックス   The black matrix which consists of a coating-film hardened | cured material of the photosensitive composition for partition formation of any one of Claims 1-4 基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有する光学素子のブラックマトリックスの製造方法であって、請求項1〜5のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性組成物を前記基材上に塗布し塗膜を形成する工程と、前記塗膜のブラックマトリックスとなる部分のみを露光し感光硬化させる露光工程と、前記感光硬化した部分以外の塗膜を除去し前記塗膜の感光硬化部分からなるブラックマトリックスを形成させる現像工程と、前記形成されたブラックマトリックスを加熱するポストベーク工程とを順に有することを特徴とするブラックマトリックスの製造方法。   A base material, a black matrix formed on the main surface of the base material so as to partition the main surface into a plurality of compartments, and a plurality of regions formed respectively on the base material on the black matrix. It is a manufacturing method of the black matrix of the optical element which has a pixel, Comprising: The process of apply | coating the photosensitive composition for partition formation of any one of Claims 1-5 on the said base material, and forming a coating film. And an exposure process in which only a portion of the coating film that becomes the black matrix is exposed and photosensitively cured, and a developing process in which the coating film other than the photosensitively cured portion is removed to form a black matrix that includes the photosensitive cured portion of the coating film And a post-baking step of heating the formed black matrix in order. 基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有するカラーフィルタの製造方法であって、請求項6に記載の製造方法によって基材上にブラックマトリックスを形成した後、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にインクジェット法またはフォトリソグラフィ法により前記画素を形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。   A base material, a black matrix formed on the main surface of the base material so as to partition the main surface into a plurality of compartments, and a plurality of regions formed respectively on the base material on the black matrix. A method for producing a color filter having pixels, wherein after forming a black matrix on a substrate by the production method according to claim 6, an inkjet method or a region partitioned by the black matrix on the substrate A method for producing a color filter, comprising a step of forming the pixel by a photolithography method.
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Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013054868A1 (en) * 2011-10-12 2013-04-18 東洋インキScホールディングス株式会社 Resin composition, coating film, and insulating film for touch panel
CN103857750A (en) * 2011-10-12 2014-06-11 东洋油墨Sc控股株式会社 Resin composition, coating film, and insulating film for touch panel
JP2015518978A (en) * 2012-05-25 2015-07-06 エルジー・ケム・リミテッド Photosensitive resin composition, pattern formed using the same, method for producing pattern, and display panel including the same
JP2015161815A (en) * 2014-02-27 2015-09-07 凸版印刷株式会社 Black photosensitive resin composition, black matrix, color filter, liquid crystal display device, and organic electroluminescence display device
JP2016050231A (en) * 2014-08-29 2016-04-11 日立化成株式会社 Photocurable resin composition, photocurable light-shielding coating material using the same, liquid crystal display panel, and liquid crystal display device
JP2016153834A (en) * 2015-02-20 2016-08-25 富士フイルム株式会社 Photosensitive resin composition, production method of cured film, cured film, touch panel, touch panel display device, liquid crystal display device, and organic el display device
JPWO2014069478A1 (en) * 2012-10-31 2016-09-08 旭硝子株式会社 Negative photosensitive resin composition, cured resin film, partition and optical element
JP2018035219A (en) * 2016-08-29 2018-03-08 株式会社タムラ製作所 Black photosensitive resin composition
WO2018062130A1 (en) * 2016-09-30 2018-04-05 富士フイルム株式会社 Structure, color filter, solid state imaging device, image display device, method for producing structure, and composition for forming organic substance layer
CN109143779A (en) * 2017-06-27 2019-01-04 太阳油墨制造株式会社 Photosensitive film lamination body and its solidfied material
CN111133344A (en) * 2017-09-26 2020-05-08 大阪有机化学工业株式会社 Photosensitive resin composition for photo-spacer formation, method for forming photo-spacer, substrate with photo-spacer, and color filter
CN111367143A (en) * 2014-03-07 2020-07-03 日铁化学材料株式会社 Black resin composition for light-shielding film, substrate with light-shielding film, color filter, and touch panel
CN112578635A (en) * 2019-09-30 2021-03-30 日铁化学材料株式会社 Photosensitive resin composition for black resist, method for producing same, light-shielding film, color filter, touch panel, and display device
JP2022052426A (en) * 2020-09-23 2022-04-04 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Photosensitive resin composition for light-shielding film formation, light-shielding film, and display device
WO2023182092A1 (en) * 2022-03-23 2023-09-28 富士フイルム株式会社 Transfer film, laminate, method for producing laminate having resist pattern, and method for producing laminate having conductor pattern

Cited By (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103857750A (en) * 2011-10-12 2014-06-11 东洋油墨Sc控股株式会社 Resin composition, coating film, and insulating film for touch panel
TWI481965B (en) * 2011-10-12 2015-04-21 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd Resin composition, coated film and insulating film for touch panel
WO2013054868A1 (en) * 2011-10-12 2013-04-18 東洋インキScホールディングス株式会社 Resin composition, coating film, and insulating film for touch panel
JP2015518978A (en) * 2012-05-25 2015-07-06 エルジー・ケム・リミテッド Photosensitive resin composition, pattern formed using the same, method for producing pattern, and display panel including the same
JPWO2014069478A1 (en) * 2012-10-31 2016-09-08 旭硝子株式会社 Negative photosensitive resin composition, cured resin film, partition and optical element
JP2015161815A (en) * 2014-02-27 2015-09-07 凸版印刷株式会社 Black photosensitive resin composition, black matrix, color filter, liquid crystal display device, and organic electroluminescence display device
CN111367143A (en) * 2014-03-07 2020-07-03 日铁化学材料株式会社 Black resin composition for light-shielding film, substrate with light-shielding film, color filter, and touch panel
CN111367143B (en) * 2014-03-07 2023-10-31 日铁化学材料株式会社 Black resin composition for light-shielding film, substrate with light-shielding film, color filter and touch screen
JP2016050231A (en) * 2014-08-29 2016-04-11 日立化成株式会社 Photocurable resin composition, photocurable light-shielding coating material using the same, liquid crystal display panel, and liquid crystal display device
JP2016153834A (en) * 2015-02-20 2016-08-25 富士フイルム株式会社 Photosensitive resin composition, production method of cured film, cured film, touch panel, touch panel display device, liquid crystal display device, and organic el display device
JP2018035219A (en) * 2016-08-29 2018-03-08 株式会社タムラ製作所 Black photosensitive resin composition
US11189652B2 (en) 2016-09-30 2021-11-30 Fujifilm Corporation Structure, color filter, solid-state imaging element, image display device, method for producing structure, and composition for forming organic material layer
CN109791235B (en) * 2016-09-30 2021-09-28 富士胶片株式会社 Structure, color filter, solid-state imaging element, image display device, method for manufacturing structure, and composition for forming organic layer
JPWO2018062130A1 (en) * 2016-09-30 2019-07-04 富士フイルム株式会社 Structure, color filter, solid-state imaging device, image display device, method of manufacturing structure, and composition for forming organic layer
WO2018062130A1 (en) * 2016-09-30 2018-04-05 富士フイルム株式会社 Structure, color filter, solid state imaging device, image display device, method for producing structure, and composition for forming organic substance layer
KR20190035913A (en) * 2016-09-30 2019-04-03 후지필름 가부시키가이샤 Structure, color filter, solid-state image pickup device, image display device, manufacturing method of structure, and composition for organic layer formation
KR102175480B1 (en) * 2016-09-30 2020-11-06 후지필름 가부시키가이샤 Structure, color filter, solid-state imaging device, image display device, method of manufacturing structure and composition for forming organic material layer
TWI747961B (en) * 2016-09-30 2021-12-01 日商富士軟片股份有限公司 Structure, color filter, solid-state imaging element, image display device, method of manufacturing structure, and composition for forming organic layer
CN109791235A (en) * 2016-09-30 2019-05-21 富士胶片株式会社 Composition is used in structural body, colour filter, solid-state imager, image display device, the manufacturing method of structural body and organic matter layer formation
CN109143779A (en) * 2017-06-27 2019-01-04 太阳油墨制造株式会社 Photosensitive film lamination body and its solidfied material
CN109143779B (en) * 2017-06-27 2024-01-05 太阳控股株式会社 Photosensitive film laminate and cured product thereof
CN111133344A (en) * 2017-09-26 2020-05-08 大阪有机化学工业株式会社 Photosensitive resin composition for photo-spacer formation, method for forming photo-spacer, substrate with photo-spacer, and color filter
JP2021056509A (en) * 2019-09-30 2021-04-08 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Photosensitive resin composition for black resist, method for producing the same, light-shielding film obtained by curing the same, color filter and touch panel having the light-shielding film, and display device having the color filter and touch panel
KR20210038385A (en) * 2019-09-30 2021-04-07 닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition for black resist, manufacturing method of that, light-shielding film cured the same, color filter and touch panel having that film, display device having them
CN112578635A (en) * 2019-09-30 2021-03-30 日铁化学材料株式会社 Photosensitive resin composition for black resist, method for producing same, light-shielding film, color filter, touch panel, and display device
TWI875825B (en) * 2019-09-30 2025-03-11 日商日鐵化學材料股份有限公司 Photosensitive resin composition for black resist, manufacturing method of that, light-shielding film cured the same, color filter and touch panel having that film, display device having them
KR102807451B1 (en) * 2019-09-30 2025-05-14 닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition for black resist, manufacturing method of that, light-shielding film cured the same, color filter and touch panel having that film, display device having them
JP7780251B2 (en) 2019-09-30 2025-12-04 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Photosensitive resin composition for black resist, method for producing said photosensitive resin composition, light-shielding film obtained by curing said photosensitive resin composition, color filter and touch panel having said light-shielding film, and display device having said color filter and touch panel
JP2022052426A (en) * 2020-09-23 2022-04-04 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Photosensitive resin composition for light-shielding film formation, light-shielding film, and display device
WO2023182092A1 (en) * 2022-03-23 2023-09-28 富士フイルム株式会社 Transfer film, laminate, method for producing laminate having resist pattern, and method for producing laminate having conductor pattern

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