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JP2011008219A - Laser scanning microscope and control method - Google Patents

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JP2011008219A
JP2011008219A JP2010047618A JP2010047618A JP2011008219A JP 2011008219 A JP2011008219 A JP 2011008219A JP 2010047618 A JP2010047618 A JP 2010047618A JP 2010047618 A JP2010047618 A JP 2010047618A JP 2011008219 A JP2011008219 A JP 2011008219A
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JP
Japan
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scanning
coordinates
laser
sample
image
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Application number
JP2010047618A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Kishimoto
弘 岸本
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

【課題】複数の走査系の座標間における誤差の調整を容易に行う。
【解決手段】集光レンズ32により形成される一次結像面34に配置された蛍光試料34bに対し、第1の走査系16−1の座標系に基づいて、第2の走査系16−2を介して照射されるレーザ光の照射箇所の座標が設定される。そして、第2の走査系16−2を介して照射箇所にレーザ光を照射させた後、第1の走査系16−1を介して蛍光試料34bにレーザ光を走査させて、レーザ光の走査領域の画像を取得し、その画像において第2の走査系16−2を介してレーザ光が実際に照射された箇所の座標が検出される。これにより、設定された座標と、検出された座標とに基づいて、第2の走査系16−2の座標系を第1の走査系16−1の座標系に一致させる補正を行うための補正係数が求められる。本発明は、例えば、複数の走査系を備えたレーザ走査顕微鏡に適用できる。
【選択図】図3
To easily adjust an error between coordinates of a plurality of scanning systems.
A second scanning system 16-2 is applied to a fluorescent sample 34b arranged on a primary imaging surface 34 formed by a condenser lens 32 based on a coordinate system of the first scanning system 16-1. The coordinates of the irradiation spot of the laser beam irradiated via the are set. Then, after irradiating the irradiated portion with laser light through the second scanning system 16-2, the fluorescent sample 34b is scanned with laser light through the first scanning system 16-1, and scanning of the laser light is performed. An image of the region is acquired, and the coordinates of the location where the laser beam is actually irradiated through the second scanning system 16-2 are detected in the image. Thereby, based on the set coordinates and the detected coordinates, the correction for performing the correction to make the coordinate system of the second scanning system 16-2 coincide with the coordinate system of the first scanning system 16-1. A coefficient is determined. The present invention can be applied to, for example, a laser scanning microscope provided with a plurality of scanning systems.
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、レーザ走査顕微鏡および制御方法に関する。   The present invention relates to a laser scanning microscope and a control method.

従来、複数の走査手段を備え、それぞれの走査手段において走査されるレーザ光を同一の観察面に照射して試料の観察を行うレーザ走査顕微鏡がある。   2. Description of the Related Art Conventionally, there is a laser scanning microscope that includes a plurality of scanning units and observes a sample by irradiating the same observation surface with a laser beam scanned by each scanning unit.

一般的に、レーザ光を走査する走査手段は、機械的または光学的な様々な要因により、理想的な座標系を設定しても、想定している設定上の座標系と実際に走査される物理的な座標系との間にズレが発生することがある。そのため、複数の走査手段を備えるレーザ走査顕微鏡では、それぞれの走査手段の座標を完全に一致させることが困難であり、各走査手段の座標間で誤差が発生してしまう。   In general, the scanning means for scanning a laser beam is actually scanned with an assumed coordinate system even if an ideal coordinate system is set due to various mechanical or optical factors. Misalignment may occur with the physical coordinate system. Therefore, in a laser scanning microscope provided with a plurality of scanning means, it is difficult to make the coordinates of the respective scanning means completely coincide, and an error occurs between the coordinates of each scanning means.

例えば、観察用レーザ光を走査する走査手段と、刺激用レーザ光を走査する走査手段とを備えたレーザ走査顕微鏡では、まず、観察用レーザ光を利用して観察面の画像が取得される。そして、その画像に基づいた観察用レーザ光の走査手段の座標で、刺激用レーザ光の走査手段に刺激箇所を設定した場合、走査手段の座標間の誤差により、設定された刺激箇所とは異なる位置に刺激用レーザ光が照射される。   For example, in a laser scanning microscope including a scanning unit that scans the observation laser beam and a scanning unit that scans the stimulation laser beam, an image of the observation surface is first acquired using the observation laser beam. Then, when the stimulation location is set in the scanning means for the laser light for stimulation based on the coordinates of the scanning means for the observation laser light based on the image, it differs from the set stimulation location due to an error between the coordinates of the scanning means. The position is irradiated with stimulation laser light.

例えば、特許文献1には、走査手段における光路に光学的条件を変更させる要素(例えば、波長選択フィルタなど)が挿入され、複数の走査手段間の光学的条件が異なっている場合においても、各走査手段の座標間に生じる誤差による影響を軽減することができる走査型レーザ顕微鏡が開示されている。   For example, in Patent Document 1, even when an element (for example, a wavelength selection filter) that changes an optical condition is inserted in the optical path in the scanning unit, and the optical conditions among the plurality of scanning units are different, There has been disclosed a scanning laser microscope capable of reducing the influence caused by errors generated between the coordinates of the scanning means.

しかしながら、複数の走査手段を備えるレーザ走査顕微鏡では、各走査手段における光学的条件だけが誤差の要因となるのでなく、例えば、異なる機械的な可動部を備えていることや、異なる駆動用電気回路により駆動されることなどが誤差の要因となっているため、各走査手段の座標間に生じる誤差による影響を抑制することは困難である。   However, in a laser scanning microscope having a plurality of scanning means, only the optical conditions in each scanning means do not cause an error. For example, it has different mechanical movable parts or different driving electric circuits. It is difficult to suppress the influence due to the error generated between the coordinates of each scanning means.

例えば、XスキャナおよびYスキャナを備えて構成されるガルバノスキャナやレゾナントスキャナなどの走査手段では、XスキャナおよびYスキャナの各々が有する誤差や、XスキャナとYスキャナとの光学的配置に関する誤差、対物レンズによる誤差、走査光学系と対物レンズ光学系との光軸ずれによる誤差、複数の走査手段の光路を合成させることに関わる誤差などが、各走査手段の座標間に誤差が発生する要因となる。   For example, in a scanning means such as a galvano scanner or a resonant scanner configured to include an X scanner and a Y scanner, the error of each of the X scanner and the Y scanner, the error related to the optical arrangement of the X scanner and the Y scanner, the objective An error caused by the lens, an error caused by an optical axis shift between the scanning optical system and the objective lens optical system, an error related to combining optical paths of a plurality of scanning means, and the like cause errors between the coordinates of the respective scanning means. .

XスキャナおよびYスキャナの各々が有する誤差としては、駆動電圧と回転角度の関係が一次関数とならないことによる直線性誤差、駆動電圧範囲と回転角度範囲が同じ変化をしないことによる倍率誤差、および、スキャナの回転軸とレーザ光の光軸とが一致していないことによる中心ずれがある。また、XスキャナとYスキャナとの光学的配置に関する誤差としては、Xスキャナの回転軸とYスキャナの回転軸が精密に直交していないことにより走査面上の座標軸が直交しないことによる直交度誤差がある。   As errors that each of the X scanner and Y scanner have, linearity error due to the relationship between the drive voltage and the rotation angle not being a linear function, magnification error due to the same change of the drive voltage range and the rotation angle range, and There is a misalignment due to the fact that the rotation axis of the scanner and the optical axis of the laser beam do not match. Further, as errors related to the optical arrangement of the X scanner and the Y scanner, the orthogonality error caused by the coordinate axes on the scanning plane not being orthogonal because the rotation axis of the X scanner and the rotation axis of the Y scanner are not precisely orthogonal. There is.

対物レンズによる誤差としては、レンズの歪みによる誤差、および走査系により異なる波長の光源を使用する場合にレンズの収差に基づく波長差による位置ずれがある。また、複数の走査手段の光路を合成させることに関わる誤差としては、光路合成のためのハーフミラーや波長選択フィルタなどの反射または屈折面の倒れによる誤差がある。   The error due to the objective lens includes an error due to distortion of the lens and a positional shift due to a wavelength difference based on the aberration of the lens when using a light source having a different wavelength depending on the scanning system. Further, as errors related to combining the optical paths of a plurality of scanning means, there are errors due to reflection of a half mirror and a wavelength selection filter for optical path combining or tilting of the refractive surface.

そして、これらの要因が総合的に作用し、各走査手段の座標間に誤差が発生する。そのため、通常、レーザ走査顕微鏡は、スキャナの機械的な取り付け位置や電気的な駆動制御などが調整可能となるような構造となっており、各走査手段において走査されるレーザ光により取得された画像を比較しながら、製造時に、誤差が最小になるような機械的な調整が行われる。さらに、機械的な調整の後に、レーザ光を走査させて得られた画像から求められる各走査手段の座標に対する基準座標系との誤差を、補正係数としてレーザ走査顕微鏡に保持させることで、その補正係数を用いた電気的な調整が行われる。   These factors act comprehensively, and an error occurs between the coordinates of each scanning means. For this reason, a laser scanning microscope is generally structured such that the mechanical mounting position of the scanner and electrical drive control can be adjusted, and an image acquired by laser light scanned by each scanning means. In comparison, mechanical adjustment is performed so that the error is minimized. Further, after mechanical adjustment, the error of the reference coordinate system with respect to the coordinates of each scanning means obtained from the image obtained by scanning the laser beam is retained in the laser scanning microscope as a correction coefficient, thereby correcting the error. Electrical adjustment using a coefficient is performed.

特開2007−233241号公報JP 2007-233241 A

ところで、一般的に、レーザ走査顕微鏡は、光源や走査手段などを有する走査部と、対物レンズや試料が載置されるステージなどを有する顕微鏡部とが別々の装置として構成されている。そして、複数の走査系の座標間における誤差の調整は、最終画像位置に基づいて行う必要があるため、走査部と顕微鏡部を組み合わせた状態で調整を行う必要がある。   By the way, in general, in a laser scanning microscope, a scanning unit having a light source and scanning means and a microscope unit having a stage on which an objective lens and a sample are placed are configured as separate devices. And since it is necessary to adjust the error between the coordinates of a plurality of scanning systems based on the final image position, it is necessary to perform the adjustment in a state where the scanning unit and the microscope unit are combined.

しかしながら、走査部と顕微鏡部を組み合わせた状態では、走査部に起因する誤差と、顕微鏡部に起因する誤差とが複合されてしまうため、誤差を解消するための調整が複雑となってしまう。   However, in a state where the scanning unit and the microscope unit are combined, an error caused by the scanning unit and an error caused by the microscope unit are combined, so that adjustment for eliminating the error becomes complicated.

本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、複数の走査系の座標間における誤差の調整を容易に行うことができるようにするものである。   The present invention has been made in view of such a situation, and makes it possible to easily adjust an error between coordinates of a plurality of scanning systems.

本発明の走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光を試料上で走査し、前記試料からの光を用いて前記試料の画像を取得する走査型レーザ顕微鏡であって、前記レーザ光を走査する複数の走査手段と、前記複数の走査手段から射出される前記レーザ光の光路が合成された共通の光路上に配置され、前記レーザ光を集光して、前記試料側に配置される対物レンズとの間に一次結像面を形成する集光手段とを備え、前記一次結像面に配置された蛍光試料に対し、前記複数の走査手段のうちの、特定の走査手段の座標系に基づいて、他の走査手段を介して照射される前記レーザ光の照射箇所の座標を設定し、前記他の走査手段を介して前記照射箇所に前記レーザ光を照射させ、前記特定の走査手段を介して前記蛍光材料に前記レーザ光を走査させて、前記レーザ光の走査領域の画像を取得させ、前記画像において前記他の走査手段を介して前記レーザ光が実際に照射された箇所の座標を検出し、前記設定された座標と、前記検出された座標とに基づいて、前記他の走査手段の座標系を前記特定の走査手段の座標系に一致させる補正を行うための補正係数を求めることを特徴とする。   The scanning laser microscope of the present invention is a scanning laser microscope that scans a laser beam on a sample and acquires an image of the sample using the light from the sample, and a plurality of scans that scan the laser beam. And an objective lens disposed on the sample side, which is disposed on a common optical path in which the optical paths of the laser beams emitted from the plurality of scanning units are combined. And a condensing means for forming a primary imaging plane, and for the fluorescent sample arranged on the primary imaging plane, based on a coordinate system of a specific scanning means among the plurality of scanning means, The coordinates of the irradiation spot of the laser beam irradiated through the scanning means are set, the laser beam is irradiated onto the irradiation spot via the other scanning means, and the fluorescence is passed through the specific scanning means. The laser beam is scanned over the material, and the laser The image of the scanning region of the light is acquired, and the coordinates of the portion where the laser beam is actually irradiated through the other scanning means in the image are detected, the set coordinates, and the detected coordinates Based on the above, a correction coefficient for performing correction for matching the coordinate system of the other scanning unit with the coordinate system of the specific scanning unit is obtained.

本発明の制御方法は、レーザ光を試料上で走査し、前記試料からの光を用いて前記試料の画像を取得する走査型レーザ顕微鏡の制御方法であって、前記一次結像面に配置された蛍光試料に対し、前記複数の走査手段のうちの、特定の走査手段の座標系に基づいて、他の走査手段を介して照射される前記レーザ光の照射箇所の座標を設定し、前記他の走査手段を介して前記照射箇所に前記レーザ光を照射させ、前記特定の走査手段を介して前記蛍光材料に前記レーザ光を走査させて、前記レーザ光の走査領域の画像を取得させ、前記画像において前記他の走査手段を介して前記レーザ光が実際に照射された箇所の座標を検出し、前記設定された座標と、前記検出された座標とに基づいて、前記他の走査手段の座標系を前記特定の走査手段の座標系に一致させる補正を行うための補正係数を求めるステップを含むことを特徴とする。   The control method of the present invention is a control method of a scanning laser microscope that scans laser light on a sample and acquires an image of the sample using light from the sample, and is disposed on the primary imaging plane. The coordinates of the laser beam irradiation spot irradiated through other scanning means are set on the fluorescent sample based on the coordinate system of the specific scanning means among the plurality of scanning means, and the other The irradiation part is irradiated with the laser light through the scanning means, the fluorescent material is scanned through the specific scanning means, and an image of the scanning region of the laser light is acquired, The coordinates of the part where the laser beam is actually irradiated through the other scanning means in the image are detected, and the coordinates of the other scanning means are determined based on the set coordinates and the detected coordinates. The coordinates of the particular scanning means Characterized in that it comprises a step of obtaining a correction coefficient for correcting to match.

本発明の走査型レーザ顕微鏡および制御方法においては、一次結像面に配置された蛍光試料に対し、複数の走査手段のうちの、特定の走査手段の座標系に基づいて、他の走査手段を介して照射されるレーザ光の照射箇所の座標が設定され、他の走査手段を介して照射箇所にレーザ光が照射される。また、特定の走査手段を介して蛍光材料にレーザ光を走査させて、レーザ光の走査領域の画像が取得され、その画像において他の走査手段を介してレーザ光が実際に照射された箇所の座標が検出される。そして、設定された座標と、検出された座標とに基づいて、他の走査手段の座標系を特定の走査手段の座標系に一致させる補正を行うための補正係数が求められる。   In the scanning laser microscope and the control method of the present invention, the other scanning means is applied to the fluorescent sample arranged on the primary imaging plane based on the coordinate system of the specific scanning means among the plurality of scanning means. The coordinates of the irradiation spot of the laser beam irradiated via the laser beam are set, and the laser beam is irradiated to the irradiation spot via other scanning means. In addition, the fluorescent material is scanned with the laser beam through a specific scanning unit, and an image of the scanning region of the laser beam is acquired, and the portion of the image where the laser beam is actually irradiated through the other scanning unit is acquired. Coordinates are detected. Then, based on the set coordinates and the detected coordinates, a correction coefficient for correcting the coordinate system of the other scanning unit to the coordinate system of the specific scanning unit is obtained.

本発明の走査型レーザ顕微鏡および制御方法によれば、複数の走査系の座標間における誤差の調整を容易に行うことができる。   According to the scanning laser microscope and the control method of the present invention, it is possible to easily adjust an error between coordinates of a plurality of scanning systems.

複数の走査系を備えるレーザ走査顕微鏡の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of a laser scanning microscope provided with a some scanning system. 注目箇所の座標と検出箇所の座標との誤差について説明する図である。It is a figure explaining the difference | error of the coordinate of an attention location, and the coordinate of a detection location. 本発明を適用したレーザ走査顕微鏡における走査装置の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the scanning apparatus in the laser scanning microscope to which this invention is applied. 結合部を利用して蛍光試料が固定された状態を示す図である。It is a figure which shows the state by which the fluorescence sample was fixed using the coupling | bond part. 一次結像面の近傍を拡大して示した図である。It is the figure which expanded and showed the vicinity of the primary image formation surface. 第1の走査系における最大走査範囲で取得した画像における座標系を示す図である。It is a figure which shows the coordinate system in the image acquired in the maximum scanning range in a 1st scanning system. 走査倍率が1倍であるときのマーキングを行う点を示す図である。It is a figure which shows the point which performs marking when a scanning magnification is 1 time. 走査倍率が1.5倍であるときのマーキングを行う点を示す図である。It is a figure which shows the point which performs marking when a scanning magnification is 1.5 times. 各倍率での走査範囲を示す図である。It is a figure which shows the scanning range in each magnification. より複雑なマーク座標を組み合わせた例を示す図である。It is a figure which shows the example which combined the more complicated mark coordinate. 解像度、走査範囲、およびスポット径の関係について説明する図である。It is a figure explaining the relationship between resolution, a scanning range, and a spot diameter. 倍率ごとのマーキングの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the marking for every magnification. Y方向にも複数のスポットによるマーキングを行う例を示す図である。It is a figure which shows the example which performs marking by a some spot also to a Y direction. 注目箇所に光刺激をして観察を行う処理を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the process which optically stimulates an attention location and observes. 光刺激の前後で取得される画像の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the image acquired before and behind light stimulation.

以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings.

図1を参照して、複数の走査系を備えるレーザ走査顕微鏡について説明する。   A laser scanning microscope having a plurality of scanning systems will be described with reference to FIG.

図1に示されているレーザ走査顕微鏡11は、試料の観察面12上でレーザ光を走査し、観察面12からの光を用いて観察面12の画像を取得する。また、レーザ走査顕微鏡11は、走査部13と顕微鏡部14とが別体で構成されており、結合部15により走査部13と顕微鏡部14とが結合された状態で、観察面12の画像を取得する機能を備える。   A laser scanning microscope 11 shown in FIG. 1 scans a laser beam on an observation surface 12 of a sample, and acquires an image of the observation surface 12 using light from the observation surface 12. In the laser scanning microscope 11, the scanning unit 13 and the microscope unit 14 are configured separately, and the image of the observation surface 12 is displayed in a state where the scanning unit 13 and the microscope unit 14 are coupled by the coupling unit 15. It has a function to acquire.

そして、レーザ走査顕微鏡11は、第1の走査系16−1および第2の走査系16−2を走査部13に備えており、第1の走査系16−1および第2の走査系16−2により観察面12に照射されるレーザ光が走査される。   The laser scanning microscope 11 includes a first scanning system 16-1 and a second scanning system 16-2 in the scanning unit 13, and the first scanning system 16-1 and the second scanning system 16-. 2 scans the laser beam irradiated onto the observation surface 12.

第1の走査系16−1では、レーザ光源21−1から射出されるレーザ光が、集光レンズ22−1により平行光とされてダイクロイックミラー35を透過し、X軸走査手段23−1、X軸走査ミラー24−1、Y軸走査手段25−1、Y軸走査ミラー26−1を有して構成されるスキャナ(ガルバノスキャナやレゾナントスキャナなど)に入射する。   In the first scanning system 16-1, the laser light emitted from the laser light source 21-1 is converted into parallel light by the condenser lens 22-1 and transmitted through the dichroic mirror 35, and the X-axis scanning unit 23-1. The light is incident on a scanner (such as a galvano scanner or a resonant scanner) configured to include an X-axis scanning mirror 24-1, a Y-axis scanning unit 25-1, and a Y-axis scanning mirror 26-1.

X軸走査ミラー24−1およびY軸走査ミラー26−1は、X軸走査手段23−1およびY軸走査手段25−1の駆動軸にそれぞれ取り付けられており、X軸走査手段23−1の駆動軸とY軸走査手段25−1の駆動軸とは、互いに直交するように配置される。従って、X軸走査ミラー24−1およびY軸走査ミラー26−1がレーザ光を反射しつつ、駆動軸を中心に回動することで、観察面12のX−Y方向(観察面12に照射されるレーザ光の光軸をZ方向として、Z方向に直交する方向)にレーザ光が走査される。   The X-axis scanning mirror 24-1 and the Y-axis scanning mirror 26-1 are attached to the drive shafts of the X-axis scanning means 23-1 and the Y-axis scanning means 25-1, respectively. The drive shaft and the drive shaft of the Y-axis scanning unit 25-1 are arranged so as to be orthogonal to each other. Accordingly, the X-axis scanning mirror 24-1 and the Y-axis scanning mirror 26-1 are rotated about the drive axis while reflecting the laser beam, so that the observation surface 12 is irradiated in the XY direction (irradiating the observation surface 12). The laser beam is scanned in a direction orthogonal to the Z direction, where the optical axis of the laser beam is Z direction.

第1の走査系16−1において走査されたレーザ光は、ダイクロイックミラー31により観察面12に向かって反射され、集光レンズ32により集光されて一旦結像された後、対物レンズ33により集光されて観察面12上にスポットを形成する。集光レンズ32によりレーザ光が結像される一次結像面34は、実際には何もない空間であるが、一次結像面34の位置に走査光が結像しているため二次的な光源として機能し、その二次的な光源からの光が、対物レンズ33により観察面12に結像される。   The laser beam scanned in the first scanning system 16-1 is reflected toward the observation surface 12 by the dichroic mirror 31, collected by the condenser lens 32, and once imaged, and then collected by the objective lens 33. It is illuminated to form a spot on the observation surface 12. The primary imaging surface 34 on which the laser light is imaged by the condenser lens 32 is actually a space where there is nothing, but since the scanning light is imaged at the position of the primary imaging surface 34, it is secondary. The light from the secondary light source is focused on the observation surface 12 by the objective lens 33.

観察面12上に配置された試料にレーザ光源21−1からのレーザ光の波長に反応して、蛍光放射を行う物質が含まれている場合、観察面12で発生した蛍光は、対物レンズ33により、一次結像面34に結像され、集光レンズ32により平行光とされ、ダイクロイックミラー31で反射して第1の走査系16−1に導入される。そして、その蛍光は、X軸走査ミラー24−1およびY軸走査ミラー26−1によりデスキャンされた後、ダイクロイックミラー35で反射され、結像レンズ36により集光されて光検出器37に入射する。   When the sample arranged on the observation surface 12 contains a substance that emits fluorescence in response to the wavelength of the laser light from the laser light source 21-1, the fluorescence generated on the observation surface 12 is reflected by the objective lens 33. As a result, an image is formed on the primary imaging surface 34, converted into parallel light by the condenser lens 32, reflected by the dichroic mirror 31, and introduced into the first scanning system 16-1. The fluorescence is descanned by the X-axis scanning mirror 24-1 and the Y-axis scanning mirror 26-1, then reflected by the dichroic mirror 35, condensed by the imaging lens 36, and incident on the photodetector 37. .

光検出器37は、受光した蛍光の強度に応じた電気信号である強度信号を出力して、図示しない画像化回路に供給する。画像化回路は、X走査ミラー24−1およびY走査ミラー26−1の走査動作(角度)に応じた時系列順に、光検出器37から出力される強度信号をサンプリングして、X走査ミラー24−1およびY走査ミラー26−1による走査位置と、強度信号が示す蛍光の強度とを関連付けることで、観察面12の画像を二次元的に画像化する。そして、画像化回路により画像化された観察面12の画像は、図示しない表示装置に表示され、これにより計測が行われる。   The photodetector 37 outputs an intensity signal, which is an electrical signal corresponding to the intensity of the received fluorescence, and supplies it to an imaging circuit (not shown). The imaging circuit samples the intensity signal output from the light detector 37 in time-series order according to the scanning operation (angle) of the X scanning mirror 24-1 and the Y scanning mirror 26-1, and then scans the X scanning mirror 24. The image of the observation surface 12 is two-dimensionally imaged by associating the scanning position by the -1 and Y scanning mirrors 26-1 with the fluorescence intensity indicated by the intensity signal. The image of the observation surface 12 imaged by the imaging circuit is displayed on a display device (not shown), and measurement is performed thereby.

また、第2の走査系16−2は、第1の走査系16−1と同様に、レーザ光源21−2、集光レンズ22−2、並びに、X軸走査手段23−2、X軸走査ミラー24−2、Y軸走査手段25−2、およびY軸走査ミラー26−2を有して構成されるスキャナを備えている。そして、第2の走査系16−2において走査されるレーザ光は、ミラー38により観察面12に向かって反射され、ダイクロイックミラー31を透過して、集光レンズ32により一次結像面34に集光されて一旦結像された後、対物レンズ33により集光されて観察面12上にスポットを形成する。ダイクロイックミラー31は、第1の走査系16−1からのレーザ光の光路と、第2の走査系16−2からのレーザ光の光路とを合成する光路合成手段として機能する。   Similarly to the first scanning system 16-1, the second scanning system 16-2 has a laser light source 21-2, a condenser lens 22-2, an X-axis scanning unit 23-2, and an X-axis scanning. The scanner includes a mirror 24-2, a Y-axis scanning unit 25-2, and a Y-axis scanning mirror 26-2. Then, the laser beam scanned in the second scanning system 16-2 is reflected toward the observation surface 12 by the mirror 38, passes through the dichroic mirror 31, and is collected on the primary imaging surface 34 by the condenser lens 32. After being focused and imaged, the light is condensed by the objective lens 33 to form a spot on the observation surface 12. The dichroic mirror 31 functions as an optical path combining unit that combines the optical path of the laser light from the first scanning system 16-1 and the optical path of the laser light from the second scanning system 16-2.

このようにレーザ走査顕微鏡11は、第1の走査系16−1と第2の走査系16−2とを備えており、同一の試料に対して、それぞれの走査系からのレーザ光を走査させることができる。従って、レーザ走査顕微鏡11では、例えば、ある波長のレーザ光を第1の走査系16−1により走査して観察面12の画像を取得するのと同時に、他の波長のレーザ光を第2の走査系16−2により走査させることができる。   As described above, the laser scanning microscope 11 includes the first scanning system 16-1 and the second scanning system 16-2, and scans the same sample with the laser light from each scanning system. be able to. Therefore, in the laser scanning microscope 11, for example, a laser beam having a certain wavelength is scanned by the first scanning system 16-1 to acquire an image of the observation surface 12, and at the same time, a laser beam having another wavelength is used for the second laser beam. It can be scanned by the scanning system 16-2.

例えば、レーザ走査顕微鏡11は、第1の走査系16−1によりレーザ光(励起光)のラスタ走査を行って、観察面12の矩形領域の画像化を行わせ、その画像に基づいてレーザ光による刺激を行わせる箇所を特定し、第2の走査系16−2によりベクトル走査を行わせて、その箇所にレーザ光(刺激光)を照射させるような観察に用いられる。   For example, the laser scanning microscope 11 performs raster scanning of laser light (excitation light) by the first scanning system 16-1 to form an image of a rectangular region of the observation surface 12, and based on the image, the laser light This is used for observation in which the location where the stimulation is performed is specified, vector scanning is performed by the second scanning system 16-2, and the location is irradiated with laser light (stimulation light).

ところが、上述したように、第1の走査系16−1における座標と、第2の走査系16−2における座標との間で誤差が発生するため、第1の走査系16−1を用いて取得した画像の座標を、そのまま第2の走査系16−2に設定しても、設定した座標と、実際にレーザ光が照射される座標とにズレが発生する。即ち、第1の走査系16−1を用いて取得した画像において刺激を与えようと注目している注目箇所と、その注目箇所の座標を第2の走査系16−2に設定して刺激光を照射した箇所を、再度画像を取得することにより検出した検出箇所とが異なる位置になる。   However, as described above, since an error occurs between the coordinates in the first scanning system 16-1 and the coordinates in the second scanning system 16-2, the first scanning system 16-1 is used. Even if the coordinates of the acquired image are set in the second scanning system 16-2 as they are, a deviation occurs between the set coordinates and the coordinates where the laser beam is actually irradiated. That is, an attention spot that is focused on giving a stimulus in an image acquired using the first scanning system 16-1 and the coordinates of the attention spot are set in the second scanning system 16-2, and the stimulation light is set. The position where the irradiation is performed becomes a position different from the detection position detected by acquiring the image again.

図2を参照して、注目箇所の座標と検出箇所の座標との誤差について説明する。図2Aには、5点の注目箇所が白丸(○)で示されており、図2Bには、5点の検出箇所が黒丸(●)で示されている。   With reference to FIG. 2, an error between the coordinates of the target location and the coordinates of the detection location will be described. In FIG. 2A, five points of interest are indicated by white circles (◯), and in FIG. 2B, five points of detection are indicated by black circles (●).

第1の走査系16−1を用いて取得した画像に基づいて、図2Aに示すように、第1の走査系16−1の座標でのX軸上およびY軸上の5箇所を、注目箇所P0乃至P4を特定としたとする。そして、第2の走査系16−2に対して、第1の走査系16−1の座標で注目箇所P0乃至P4を設定し、適切な時間で第2の走査系16−2を介したレーザ光による刺激を行うと、蛍光物質の励起光放射により蛍光物質の量が変化する。その後、第1の走査系16−1を用いて画像を再度取得すると、第2の走査系16−2によるレーザ光の照射位置において蛍光発光が減少するので、輝度の低い点として、検出箇所P0’乃至P4’が検出される。   Based on the image obtained using the first scanning system 16-1, as shown in FIG. 2A, attention is paid to five locations on the X axis and the Y axis in the coordinates of the first scanning system 16-1. Assume that the places P0 to P4 are specified. Then, with respect to the second scanning system 16-2, the points of interest P0 to P4 are set by the coordinates of the first scanning system 16-1, and the laser passes through the second scanning system 16-2 at an appropriate time. When stimulation with light is performed, the amount of fluorescent material changes due to the excitation light emission of the fluorescent material. Thereafter, when an image is acquired again using the first scanning system 16-1, the fluorescence emission decreases at the position irradiated with the laser light from the second scanning system 16-2. 'To P4' are detected.

第1の走査系16−1の座標と第2の走査系16−2の座標とに誤差が生じていなければ、注目箇所P0乃至P4と検出箇所P0’乃至P4’とは一致するが、実際には誤差が生じているため、図2に示すように、検出箇所P0’乃至P4’が、注目箇所P0乃至P4とは異なる位置で検出される。なお、実際の誤差は僅かな量であるが、図2では誤差が誇張して示されている。   If there is no error between the coordinates of the first scanning system 16-1 and the coordinates of the second scanning system 16-2, the points of interest P0 to P4 coincide with the detection points P0 ′ to P4 ′. As shown in FIG. 2, the detection points P0 ′ to P4 ′ are detected at different positions from the attention points P0 to P4. Although the actual error is a slight amount, the error is exaggerated in FIG.

このような注目箇所P0乃至P4と検出箇所P0’乃至P4’との差は、第1の走査系16−1と第2の走査系16−2との同一座標に対する物理位置の違いを反映しているため、その差を解析することにより、例えば、第1の走査系16−1の座標に対する第2の走査系16−2の座標の関係性を求めることができる。   Such a difference between the attention points P0 to P4 and the detection points P0 ′ to P4 ′ reflects a difference in physical position with respect to the same coordinate between the first scanning system 16-1 and the second scanning system 16-2. Therefore, by analyzing the difference, for example, the relationship of the coordinates of the second scanning system 16-2 with respect to the coordinates of the first scanning system 16-1 can be obtained.

ここでは、第1の走査系16−1の座標系を基準として、第2の走査系16−2の座標系を第1の走査系16−1に一致させるための手法について説明する。なお、同じ手法を用いて、仮想の座標系に対して、第1の走査系16−1および第2の走査系16−2の座標系を一致させるようにしてもよい。また、以下、適宜、第1の走査系16−1の座標に基づいて第2の走査系16−2を利用して観察面12の注目箇所にレーザ光を照射し、その退色位置を形成することをマーキングと称する。   Here, a method for matching the coordinate system of the second scanning system 16-2 with the first scanning system 16-1 with reference to the coordinate system of the first scanning system 16-1 will be described. Note that the same method may be used to make the coordinate systems of the first scanning system 16-1 and the second scanning system 16-2 coincide with the virtual coordinate system. In addition, hereinafter, a laser beam is irradiated to a spot of interest on the observation surface 12 using the second scanning system 16-2 based on the coordinates of the first scanning system 16-1, and the color fading position is formed. This is called marking.

そして、注目箇所の座標と検出箇所の座標とを比較することにより、X軸の伸縮係数Sx、Y軸の伸縮係数Sy、座標系の中心についてのX方向へのズレ量0xおよびY方向へのズレ量0y、並びに、座標系の直交度についてのX軸のズレ角θxおよびY軸のズレ角θyが求められる。   Then, by comparing the coordinates of the target location and the coordinates of the detection location, the X-axis expansion coefficient Sx, the Y-axis expansion coefficient Sy, the shift amount 0x in the X direction about the center of the coordinate system, and the Y direction The X axis deviation angle θx and the Y axis deviation angle θy with respect to the deviation amount 0y and the orthogonality of the coordinate system are obtained.

X軸の伸縮係数Sxは、第1の走査系16−1上の2点のX軸方向の距離と、それらの2点に対応する第2の走査系16−2上のX軸方向の距離との伸縮率を示す係数である。Y軸の伸縮係数Syは、第1の走査系16−1上の2点のY軸方向の距離と、それらの2点に対応する第2の走査系16−2上のY軸方向の距離との伸縮率を示す係数である。   The X-axis expansion / contraction coefficient Sx is the distance in the X-axis direction between two points on the first scanning system 16-1 and the distance in the X-axis direction on the second scanning system 16-2 corresponding to these two points. It is a coefficient which shows the expansion-contraction rate. The Y-axis expansion coefficient Sy is the distance in the Y-axis direction between two points on the first scanning system 16-1 and the distance in the Y-axis direction on the second scanning system 16-2 corresponding to these two points. It is a coefficient which shows the expansion-contraction rate.

座標系の中心についてのX方向へのズレ量0xは、第1の走査系16−1の原点と、第2の走査系16−2の原点とのX方向の距離の差を示す値である。座標系の中心についてのY方向へのズレ量0yは、第1の走査系16−1の原点と、第2の走査系16−2の原点とのY方向の距離の差を示す値である。   A shift amount 0x in the X direction with respect to the center of the coordinate system is a value indicating a difference in distance in the X direction between the origin of the first scanning system 16-1 and the origin of the second scanning system 16-2. . The amount of deviation 0y in the Y direction with respect to the center of the coordinate system is a value indicating the difference in distance in the Y direction between the origin of the first scanning system 16-1 and the origin of the second scanning system 16-2. .

座標系の直交度についてのX軸のズレ角θxは、第2の走査系16−2のX軸上の検出点を直線補完した線分(図2Bの検出箇所P1’およびP2’を通る直線)の第1の走査系16−1のX軸に対する角度を示す値である。座標系の直交度についてのY軸のズレ角θyは、第2の走査系16−2のY軸上の検出点を直線補完した線分(図2Bの検出箇所P3’およびP4’を通る直線)の第1の走査系16−1のY軸に対する角度を示す値である。   The X-axis deviation angle θx for the orthogonality of the coordinate system is a line segment obtained by linear interpolation of the detection points on the X-axis of the second scanning system 16-2 (straight lines passing through the detection points P1 ′ and P2 ′ in FIG. 2B). ) Of the first scanning system 16-1 with respect to the X axis. The Y axis deviation angle θy for the orthogonality of the coordinate system is a line segment obtained by linear interpolation of the detection points on the Y axis of the second scanning system 16-2 (straight lines passing through the detection points P3 ′ and P4 ′ in FIG. 2B). ) Of the first scanning system 16-1 with respect to the Y axis.

そして、第1の走査系16−1により取得された画像に基づいて指定される注目箇所の座標(X1,Y1)と、マーキング後に再度取得された画像から計測される検出箇所の座標(X2,Y2)との関係は、次の式(1)および式(2)で表される。なお、伸縮率が座標位置によらない定数であり、各軸の傾斜角が固定されているものとする。   Then, the coordinates (X1, Y1) of the target location designated based on the image acquired by the first scanning system 16-1 and the coordinates (X2, Y2) of the detected location measured from the image acquired again after marking. The relationship with Y2) is expressed by the following equations (1) and (2). Note that the expansion / contraction rate is a constant that does not depend on the coordinate position, and the inclination angle of each axis is fixed.

X2=Sx×X1×cos(θx)+Sy×Y1×sin(θy)+0x
・・・(1)
Y2=Sx×X1×sin(θx)+Sy×Y1×cos(θy)+0y
・・・(2)
X2 = Sx * X1 * cos ([theta] x) + Sy * Y1 * sin ([theta] y) + 0x
... (1)
Y2 = Sx * X1 * sin ([theta] x) + Sy * Y1 * cos ([theta] y) + 0y
... (2)

そして、第2の走査系16−2によりマーキングが施された検出箇所を、第1の走査系16−1での座標系において注目箇所に一致させるためには、式(1)および式(2)において、検出箇所の座標(X2,Y2)を注目箇所の座標(X1,Y1)に変換するような変換係数X’およびY’を求めればよい。即ち、次の式(3)および式(4)を満たすような変換係数X’およびY’を求めればよい。   And in order to make the detection location marked by the 2nd scanning system 16-2 correspond to an attention location in the coordinate system in the 1st scanning system 16-1, Formula (1) and Formula (2) ), Conversion coefficients X ′ and Y ′ for converting the coordinates (X2, Y2) of the detected location into the coordinates (X1, Y1) of the location of interest may be obtained. That is, conversion coefficients X ′ and Y ′ that satisfy the following expressions (3) and (4) may be obtained.

X1=Sx×X’×cos(θx)+Sy×Y’×sin(θy)+0x
・・・(3)
Y1=Sx×X’×sin(θx)+Sy×Y’×cos(θy)+0y
・・・(4)
X1 = Sx × X ′ × cos (θx) + Sy × Y ′ × sin (θy) + 0x
... (3)
Y1 = Sx × X ′ × sin (θx) + Sy × Y ′ × cos (θy) + 0y
... (4)

ここで、X軸の伸縮係数Sx、Y軸の伸縮係数Sy、座標系の中心についてのX方向へのズレ量0xおよびY方向へのズレ量0y、並びに、座標系の直交度についてのX軸のズレ角θxおよびY軸のズレ角θyは、第1の走査系16−1により取得された2枚の画像を適切に画像処理することにより計測することができ、既知の定数として扱うことができる。   Here, the X-axis expansion coefficient Sx, the Y-axis expansion coefficient Sy, the shift amount 0x in the X direction about the center of the coordinate system and the shift amount 0y in the Y direction, and the X axis regarding the orthogonality of the coordinate system The deviation angle θx and the Y-axis deviation angle θy can be measured by appropriately processing the two images acquired by the first scanning system 16-1, and can be handled as known constants. it can.

従って、Sx×cos(θx)を定数aとし、Sy×sin(θy)を定数bとし、0xを定数cとし、Sx×sin(θx)を定数dとし、Sy×cos(θy)を定数eとし、0yを定数fとすると、式(3)および式(4)は、次の式(5)および(6)で表される。   Therefore, Sx × cos (θx) is a constant a, Sy × sin (θy) is a constant b, 0x is a constant c, Sx × sin (θx) is a constant d, and Sy × cos (θy) is a constant e. Assuming that 0y is a constant f, equations (3) and (4) are expressed by the following equations (5) and (6).

X1=a×X’+b×Y’+c
・・・(5)
Y1=d×X’+e×Y’+f
・・・(6)
X1 = a × X ′ + b × Y ′ + c
... (5)
Y1 = d × X ′ + e × Y ′ + f
... (6)

そして、式(5)および(6)において、注目箇所の座標(X1,Y1)も既知の値(ユーザにより注目箇所として指定される値)であるので、変換係数X’およびY’についての一次式の連立として解くことができ、変換係数X’およびY’を求めることができる。このようにして求められる変換係数X’およびY’を用いて、第1の走査系16−1の座標系と第2の走査系16−2の座標系とを一致させることができる。   In the equations (5) and (6), since the coordinates (X1, Y1) of the target location are also known values (values designated as the target location by the user), the primary values for the transform coefficients X ′ and Y ′ It can be solved as a set of equations, and conversion coefficients X ′ and Y ′ can be obtained. By using the conversion coefficients X ′ and Y ′ thus obtained, the coordinate system of the first scanning system 16-1 and the coordinate system of the second scanning system 16-2 can be matched.

このように、第1の走査系16−1の座標系と第2の走査系16−2の座標系とを一致させるためには、第1の走査系16−1の座標系上での注目箇所の座標(X1,Y1)を指定して、その注目箇所の座標(X1,Y1)を第2の走査系16−2の座標系に設定してマーキングを行わせる必要がある。   Thus, in order to make the coordinate system of the first scanning system 16-1 coincide with the coordinate system of the second scanning system 16-2, attention is paid on the coordinate system of the first scanning system 16-1. It is necessary to designate the coordinates (X1, Y1) of the place, set the coordinates (X1, Y1) of the noticed place in the coordinate system of the second scanning system 16-2, and perform marking.

ここで、走査部13と顕微鏡部14とを組み合わせた状態で、観察面12に蛍光材料を配置してマーキングを行う場合には、上述したように、走査部13に起因する誤差と顕微鏡部14に起因する誤差とが複合されてしまう。これにより、単純な変換係数を定義することが困難となる。そこで、レーザ走査顕微鏡11では、走査部13に起因する誤差と顕微鏡部14に起因する誤差とを別け、走査部13に起因する誤差を補正するためのマーキングが行われる。   Here, when marking is performed by arranging a fluorescent material on the observation surface 12 in a state where the scanning unit 13 and the microscope unit 14 are combined, as described above, the error caused by the scanning unit 13 and the microscope unit 14 are detected. Are combined with the error caused by. This makes it difficult to define simple conversion coefficients. Therefore, in the laser scanning microscope 11, marking for correcting the error caused by the scanning unit 13 is performed by separating the error caused by the scanning unit 13 from the error caused by the microscope unit 14.

次に、図3乃至図5を参照して、レーザ走査顕微鏡11において、マーキングを実現する方法について説明する。   Next, a method for realizing marking in the laser scanning microscope 11 will be described with reference to FIGS.

図3は、本発明を適用したレーザ走査顕微鏡11における走査部13の構成例を示す図である。   FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of the scanning unit 13 in the laser scanning microscope 11 to which the present invention is applied.

図3に示すように、走査部13では、マーキングを行うための蛍光試料34bが試料固定アダプタ34aに固定されて、集光レンズ32によりレーザ光が集光される一次結像面34に配置される。そして、第1の走査系16−1の座標系上での注目箇所の座標(X1,Y1)が第2の走査系16−2に対して設定され、第2の走査系16−2を介して蛍光試料34bに対するマーキングが行われる。その後、第1の走査系16−1を介して蛍光試料34bに照射される画像を取得し、レーザ光が実際に照射された箇所が検出され、変換係数X’およびY’が求められる。   As shown in FIG. 3, in the scanning unit 13, a fluorescent sample 34 b for marking is fixed to a sample fixing adapter 34 a and is arranged on a primary imaging plane 34 on which laser light is collected by a condenser lens 32. The Then, the coordinates (X1, Y1) of the point of interest on the coordinate system of the first scanning system 16-1 are set with respect to the second scanning system 16-2, via the second scanning system 16-2. Thus, marking is performed on the fluorescent sample 34b. Thereafter, an image irradiated on the fluorescent sample 34b is acquired via the first scanning system 16-1, a portion where the laser beam is actually irradiated is detected, and conversion coefficients X 'and Y' are obtained.

また、図4は、結合部15を利用して蛍光試料34bが固定された状態を示す図である。図4に示すように、試料固定アダプタ34aは、走査部13を収納する筐体13’に端に設けられる結合部15を利用して、筐体13’の内部に配置される。   FIG. 4 is a diagram showing a state in which the fluorescent sample 34 b is fixed using the coupling portion 15. As shown in FIG. 4, the sample fixing adapter 34 a is arranged inside the housing 13 ′ by using a coupling portion 15 provided at an end of the housing 13 ′ that houses the scanning unit 13.

図5は、一次結像面34の近傍を拡大して示した図である。   FIG. 5 is an enlarged view showing the vicinity of the primary imaging plane 34.

結合部15は、例えば、フランジ状の金物であり、筐体13’の外側に装着されている。試料固定アダプタ34aは、結合部15に挿入可能な略円柱形状の構造で、その先端部に蛍光試料34bが取り付け可能となっている。また、試料固定アダプタ34aには、先端部の反対側の一部の外径が結合部15の内径よりも大きな外径部34a’が形成されており、試料固定アダプタ34aを筐体13’の外側から結合部15に挿入していき、外径部34a’の先端側の面が結合部15に当接したときに、蛍光試料34bが一次結像面34に配置されるような長さに形成されており、蛍光試料34bの位置を決定する位置決め機構として機能する。これにより、蛍光試料34bを一次結像面34に容易に一致させることができる。   The coupling portion 15 is, for example, a flange-shaped hardware, and is attached to the outside of the housing 13 '. The sample fixing adapter 34 a has a substantially cylindrical structure that can be inserted into the coupling portion 15, and the fluorescent sample 34 b can be attached to the tip portion thereof. Further, the sample fixing adapter 34a is formed with an outer diameter portion 34a ′ having a part of the outer diameter opposite to the tip portion larger than the inner diameter of the coupling portion 15, and the sample fixing adapter 34a is attached to the housing 13 ′. The length is set such that the fluorescent sample 34b is arranged on the primary imaging surface 34 when the distal end side surface of the outer diameter portion 34a ′ comes into contact with the coupling portion 15 after being inserted into the coupling portion 15 from the outside. It is formed and functions as a positioning mechanism for determining the position of the fluorescent sample 34b. As a result, the fluorescent sample 34b can be easily matched with the primary imaging plane 34.

また、蛍光試料34bは、その裏面に粘着剤が塗布されており、試料固定アダプタ34aの先端面に貼着され、容易に交換可能となっている。これにより、蛍光試料34bを交換して、試料固定アダプタ34aを繰り返し利用することができるとともに、蛍光試料34bの交換を短時間で行うことができる。   Further, the fluorescent sample 34b is coated with an adhesive on the back surface thereof, and is attached to the front end surface of the sample fixing adapter 34a so that it can be easily replaced. Accordingly, the fluorescent sample 34b can be replaced and the sample fixing adapter 34a can be used repeatedly, and the fluorescent sample 34b can be replaced in a short time.

次に、図6乃至図10を参照して、マーキングを行う座標の選択(座標配置)について説明する。   Next, selection of coordinates (coordinate arrangement) for marking will be described with reference to FIGS.

図6には、第1の走査系16−1における最大走査範囲で取得した画像における座標系が示されている。走査部13では、最大走査範囲内の複数の箇所にマーキングを行う。   FIG. 6 shows a coordinate system in an image acquired in the maximum scanning range in the first scanning system 16-1. The scanning unit 13 performs marking at a plurality of locations within the maximum scanning range.

ここで一次結像面34に配置される蛍光試料34bにマーキングを行うには、蛍光試料34bの材質にもよるが、安価な蛍光シールを採用することができ、そのような蛍光シールに対して、1点のマーキングを行うのに数秒の時間が必要となる。また、第1の走査系16−1によるラスタス走査により画像を取得する際の走査倍率を変更すると、通常、スキャナを駆動する振幅が変化することにより諸特性が変化するため、上述の変換原理式(式(5)および(6))より求められる変換係数X’およびY’も変化することになる。   Here, in order to perform marking on the fluorescent sample 34b arranged on the primary imaging plane 34, although it depends on the material of the fluorescent sample 34b, an inexpensive fluorescent seal can be adopted. It takes several seconds to mark one point. In addition, when the scanning magnification at the time of acquiring an image by raster scanning by the first scanning system 16-1 is changed, various characteristics usually change by changing the amplitude for driving the scanner. The conversion coefficients X ′ and Y ′ obtained from (Expressions (5) and (6)) also change.

従って、単一の走査倍率ごとに、それぞれ適応させる変換係数X’およびY’を求める必要がある。そこで、例えば、観察を行う代表的な走査倍率について、個別に変換係数X’およびY’を取得する処理が行われる。   Therefore, it is necessary to obtain conversion coefficients X ′ and Y ′ to be adapted for each single scanning magnification. Therefore, for example, a process of individually obtaining conversion coefficients X ′ and Y ′ is performed for a typical scanning magnification for observation.

なお、走査倍率とは、走査系による走査可能な最大の範囲である最大走査範囲に対する、観察時の走査範囲の比率の逆数である。例えば、観察時の走査範囲が、最大走査範囲の半分である場合、観察により得られる画像を、最大走査範囲において得られる画像と同一の大きさで取得(表示)すると、2倍の倍率で観察したときと同様の効果が得られるため、一般的に、走査倍率と呼ばれる。   The scanning magnification is the reciprocal of the ratio of the scanning range at the time of observation to the maximum scanning range that is the maximum range that can be scanned by the scanning system. For example, when the scanning range at the time of observation is half of the maximum scanning range, an image obtained by observation is acquired (displayed) with the same size as the image obtained in the maximum scanning range, and is observed at a magnification of 2 times. Since the same effect as that obtained is obtained, it is generally called a scanning magnification.

さらに、走査倍率ごとに変換係数X’およびY’を取得する他、例えば、走査部13の光学的特性ごとに変換係数X’およびY’が取得される。即ち、走査部13では、ダイクロイックミラー31や35などを交換することができるように構成されており、観察に使用するレーザ光の波長および蛍光材料の組み合わせに応じて、ダイクロイックミラー31や35などが切り替えられる。このようなダイクロイックミラー31や35などを変更に伴って、走査部13の光学的特性が変化して、第1の走査系16−1の座標系と第1の走査系16−2の座標系との誤差が変化するため、走査部13の光学的特性ごとに変換係数X’およびY’を取得する必要がある。   Further, in addition to obtaining conversion coefficients X ′ and Y ′ for each scanning magnification, for example, conversion coefficients X ′ and Y ′ are obtained for each optical characteristic of the scanning unit 13. That is, the scanning unit 13 is configured so that the dichroic mirrors 31 and 35 can be exchanged. Depending on the combination of the wavelength of the laser beam used for observation and the fluorescent material, the dichroic mirrors 31 and 35 are arranged. Can be switched. As the dichroic mirrors 31 and 35 are changed, the optical characteristics of the scanning unit 13 change, and the coordinate system of the first scanning system 16-1 and the coordinate system of the first scanning system 16-2 are changed. Therefore, it is necessary to obtain conversion coefficients X ′ and Y ′ for each optical characteristic of the scanning unit 13.

具体的には、検出箇所を5点とし、7つの倍率(1倍、1.5倍、2倍、3倍、4倍、6倍、8倍)のそれぞれで、6種類の波長選択フィルタを使用するときにおいて変換係数X’およびY’を取得するとした場合、マーキングを行う箇所は、210箇所(210=5×7×6)となる。そして、1点のマーキングに必要な時間を3秒とすると、210箇所のマーキングを行うには、620秒が必要となる。   Specifically, the number of detection points is five, and six types of wavelength selection filters are provided at each of seven magnifications (1 ×, 1.5 ×, 2 ×, 3 ×, 4 ×, 6 ×, and 8 ×). When the conversion coefficients X ′ and Y ′ are acquired at the time of use, the marking is performed at 210 locations (210 = 5 × 7 × 6). If the time required for marking one point is 3 seconds, 620 seconds are required for marking 210 locations.

さらに、走査倍率および波長選択フィルタの種類ごとに蛍光試料を交換してマーキングを行うとした場合、42回(42=7×6)の交換作業が必要となる。全てのマーキングに必要な時間である620秒と、蛍光試料を42回交換する手間は、製造効率を低下させる原因となる。さらに、変換係数X’およびY’を取得する処理を、メンテナンスなどでレーザ走査顕微鏡11が設置されているユーザ先で行う場合は、大きな問題となる恐れがある。即ち、マーキングの手間を削減することは、実用上重要な用件である。   Further, when marking is performed by exchanging the fluorescent sample for each type of scanning magnification and wavelength selection filter, 42 (42 = 7 × 6) replacement operations are required. The time required for all markings, 620 seconds, and the time and effort of exchanging the fluorescent sample 42 times cause a reduction in manufacturing efficiency. Furthermore, when the processing for obtaining the conversion coefficients X ′ and Y ′ is performed at the user's site where the laser scanning microscope 11 is installed for maintenance or the like, there is a possibility that it becomes a big problem. That is, reducing the marking effort is a practically important requirement.

そこで、図6に示されるような座標系において、全ての倍率(1倍、1.5倍、2倍、3倍、4倍、6倍、8倍)のマーキングを一度に一枚の蛍光試料に行い、計測のみ倍率を変更して行うようにすることで、倍率による蛍光試料の交換を不要とすることができる。また、各倍率で共通となる座標が存在する場合は、その座標点数が、総マーキング数の削減にも貢献するため、マーキング時間を削減することができる。   Therefore, in the coordinate system as shown in FIG. 6, all the magnifications (1 ×, 1.5 ×, 2 ×, 3 ×, 4 ×, 6 ×, 8 ×) are marked one fluorescent sample at a time. Thus, only the measurement is performed by changing the magnification, so that it is not necessary to replace the fluorescent sample by the magnification. In addition, when there are coordinates that are common to each magnification, the number of coordinate points also contributes to the reduction of the total number of markings, so that the marking time can be reduced.

図6に示すように、最大走査範囲を座標(x,y)で表現すると、-1.0 ≦x≦ +1.0、-1.0 ≦y≦ +1.0の範囲となるように、第1の走査系16−1での座標系を設定する。   As shown in FIG. 6, when the maximum scanning range is expressed by coordinates (x, y), the first scanning system 16 − has a range of −1.0 ≦ x ≦ + 1.0 and −1.0 ≦ y ≦ + 1.0. Set the coordinate system at 1.

そして、マーキングを行う座標は、第1の走査系16−1での座標系上で、各倍率での検出箇所の配置が重なり合うように決定される。以下では、図2に示したような5つの注目箇所に応じた点、即ち、座標系の原点に対応する点P0、X軸上の走査範囲の両端近傍の点P1および点P2、並びに、Y軸上の走査範囲の両端近傍の点P3および点P4を、マーキングを行う点として説明する。   And the coordinate which performs marking is determined so that the arrangement | positioning of the detection location in each magnification may overlap on the coordinate system in the 1st scanning system 16-1. In the following, points corresponding to five points of interest as shown in FIG. 2, that is, point P0 corresponding to the origin of the coordinate system, points P1 and P2 near both ends of the scanning range on the X axis, and Y The points P3 and P4 in the vicinity of both ends of the scanning range on the axis will be described as marking points.

図7には、走査倍率が1倍であるときのマーキングを行う5つの点P0乃至P4が示されている。図7に示すように、走査倍率が1倍であるときのマーキングを行う点の座標は、原点に対応する点P0(0.0,0.0)、X軸上の2つの点P1(-0.9,0.0)および点P2(0.9,0.0)、Y軸上の2つの点P3(0.0,-09)および点P4(0.0,0.9)となる。   FIG. 7 shows five points P0 to P4 for marking when the scanning magnification is 1. FIG. As shown in FIG. 7, the coordinates of the point to be marked when the scanning magnification is 1 are the point P0 (0.0, 0.0) corresponding to the origin and the two points P1 (-0.9, 0.0) on the X axis. And point P2 (0.9, 0.0), two points P3 (0.0, -09) and point P4 (0.0, 0.9) on the Y axis.

そして、走査倍率が1.5倍であるときには、1倍の倍率での点P0乃至P4の座標を、倍率(1.5)で割った値に決定することで、1.5倍の倍率での点P0乃至P4が、1倍の倍率での点P0乃至P4と同様に配置される。   When the scanning magnification is 1.5, the coordinates of the points P0 to P4 at the magnification of 1 are determined by dividing the coordinates by the magnification (1.5). The points P0 to P4 are arranged in the same manner as the points P0 to P4 at 1 × magnification.

図8には、走査倍率が1.5倍であるときのマーキングを行う5つの点P0乃至P4が示されている。図8に示すように、走査倍率を1.5倍としたときのマーキングを行う座標は、原点に対応する点P0(0.0,0.0)、X軸上の2つの点P1(-0.6,0.0)および点P2(0.6,0.0)、Y軸上の2つの点P3(0.0,-0.6)および点P4(0.0,0.6)となる。   FIG. 8 shows five points P0 to P4 for marking when the scanning magnification is 1.5. As shown in FIG. 8, the coordinates for marking when the scanning magnification is 1.5 are the point P0 (0.0, 0.0) corresponding to the origin and the two points P1 (-0.6, 0.0) on the X axis. And point P2 (0.6, 0.0), two points P3 (0.0, -0.6) and point P4 (0.0, 0.6) on the Y-axis.

このようにマーキングを行う座標を決定することで、1倍の倍率での走査範囲T1に対するマーキングを行う箇所の配置(図7)と、1.5倍の倍率での走査範囲T1.5に対するマーキングを行う箇所の配置(図8)とが、相対的に同一の配置とされる。   By determining the coordinates for marking in this way, the arrangement of the locations to be marked for the scanning range T1 at a magnification of 1 (FIG. 7) and the marking for the scanning range T1.5 at a magnification of 1.5 times The arrangement of the places to perform (FIG. 8) is relatively the same arrangement.

以下、同様に、走査倍率を2倍としたときのマーキングを行う座標を、原点に対応する点P0(0.0,0.0)、X軸上の2つの点P1(-0.45,0.0)および点P2(0.45,0.0)、Y軸上の2つの点P3(0.0,-0.45)および点P4(0.0, 0.45)とすることで、1倍の倍率での走査範囲T1に対するマーキングを行う箇所の配置と、2倍の倍率での走査範囲T2(図9)に対するマーキングを行う箇所の配置とが、相対的に同一の配置とされる。   Similarly, the coordinates for marking when the scanning magnification is doubled are the point P0 (0.0, 0.0) corresponding to the origin, the two points P1 (-0.45, 0.0) and the point P2 (on the X axis). 0.45,0.0), two points P3 (0.0, -0.45) and point P4 (0.0,0.45) on the Y-axis, and the arrangement of locations for marking for the scanning range T1 at a magnification of 1.times. The arrangement of the places where marking is performed with respect to the scanning range T2 (FIG. 9) at double magnification is relatively the same arrangement.

また、走査倍率を3倍としたときのマーキングを行う座標を、原点に対応する点P0(0.0,0.0)、X軸上の2つの点P1(-0.3,0.0)および点P2(0.3,0.0)、Y軸上の2つの点P3(0.0,-0.3)および点P4(0.0,0.3)とすることで、1倍の倍率での走査範囲T1に対するマーキングを行う箇所の配置と、3倍の倍率での走査範囲T3(図9)に対するマーキングを行う箇所の配置とが、相対的に同一の配置とされる。   The coordinates for marking when the scanning magnification is set to 3 are the point P0 (0.0, 0.0) corresponding to the origin, the two points P1 (-0.3, 0.0) on the X axis, and the point P2 (0.3, 0.0). ), By setting two points P3 (0.0, -0.3) and point P4 (0.0, 0.3) on the Y-axis, the arrangement of the location for marking for the scanning range T1 at a magnification of 1 and 3 times The arrangement of the places where marking is performed with respect to the scanning range T3 (FIG. 9) at the magnification is relatively the same.

また、走査倍率を4倍としたときのマーキングを行う座標を、原点に対応する点P0(0.0,0.0)、X軸上の2つの点P1(-0.225,0.0)および点P2(0.225,0.0)、Y軸上の2つの点P3(0.0,-0.225)および点P4(0.0,0.225)とすることで、1倍の倍率での走査範囲T1に対するマーキングを行う箇所の配置と、4倍の倍率での走査範囲T4(図9)に対するマーキングを行う箇所の配置とが、相対的に同一の配置とされる。   The coordinates for marking when the scanning magnification is set to 4 are the point P0 (0.0,0.0) corresponding to the origin, the two points P1 (-0.225,0.0) and the point P2 (0.225,0.0) on the X axis. ), By setting two points P3 (0.0, -0.225) and P4 (0.0,0.225) on the Y-axis, the arrangement of the location for marking for the scanning range T1 at a magnification of 1x and 4x The arrangement of the places where marking is performed with respect to the scanning range T4 (FIG. 9) at the magnification is relatively the same.

また、走査倍率を6倍としたときのマーキングを行う座標を、原点に対応する点P0(0.0,0.0)、X軸上の2つの点P1(-0.15,0.0)および点P2(0.15,0.0)、Y軸上の2つの点P3(0.0,-0.15)および点P4(0.0,0.15)とすることで、1倍の倍率での走査範囲T1に対するマーキングを行う箇所の配置と、6倍の倍率での走査範囲T6(図9)に対するマーキングを行う箇所の配置とが、相対的に同一の配置とされる。   In addition, the coordinates for marking when the scanning magnification is set to 6 are the point P0 (0.0,0.0) corresponding to the origin, the two points P1 (-0.15,0.0) and the point P2 (0.15,0.0) on the X axis. ), By setting two points P3 (0.0, -0.15) and point P4 (0.0,0.15) on the Y-axis, the arrangement of the location for marking for the scanning range T1 at a magnification of 1x, and 6x The arrangement of the portions to be marked with respect to the scanning range T6 (FIG. 9) at the magnification is relatively the same arrangement.

また、走査倍率を8倍としたときのマーキングを行う座標を、原点に対応する点P0(0.0,0.0)、X軸上の2つの点P1(-0.1125,0.0)および点P2(0.1125,0.0)、Y軸上の2つの点P3(0.0,-0.1125)および点P4(0.0,0.1125)とすることで、1倍の倍率での走査範囲T1に対するマーキングを行う箇所の配置と、8倍の倍率での走査範囲T8(図9)に対するマーキングを行う箇所の配置とが、相対的に同一の配置とされる。   The coordinates for marking when the scanning magnification is set to 8 are the point P0 (0.0,0.0) corresponding to the origin, the two points P1 (-0.1125,0.0) and the point P2 (0.1125,0.0) on the X axis. ), By setting two points P3 (0.0, -0.1125) and P4 (0.0,0.1125) on the Y-axis, the arrangement of the location for marking for the scanning range T1 at a magnification of 1x, and 8x The arrangement of the portions to be marked with respect to the scanning range T8 (FIG. 9) at the magnification is relatively the same arrangement.

このように、1倍の倍率での点P0乃至P4の座標を、各倍率で割った値に決定することで、走査範囲に対するマーキングを行う箇所の配置が各倍率で同一となるように、マーキングを行う箇所が設定される。このように同一となるような配置とすることにより、マーキングされた位置を計測する処理を簡便化することができる。なお、必ずしもこのような関係とする必要はない。   In this way, by determining the coordinates of the points P0 to P4 at a magnification of 1 by dividing by the respective magnifications, the markings are arranged so that the arrangement of the portions to be marked on the scanning range is the same at each magnification. The location to perform is set. Thus, the arrangement | positioning which becomes the same can simplify the process which measures the marked position. Note that such a relationship is not necessarily required.

従って、レーザ走査顕微鏡11において、変換係数X’およびY’を求める際に、各倍率でのマーキングを1枚の蛍光試料に対して行うことができるので、倍率ごとに蛍光試料を交換する手間を省くことになり、作業効率を著しく向上させることができる。   Therefore, in the laser scanning microscope 11, when obtaining the conversion coefficients X ′ and Y ′, marking at each magnification can be performed on one fluorescent sample, so that the trouble of replacing the fluorescent sample for each magnification can be reduced. This saves the work efficiency.

また、各倍率において、マーキングを行う箇所は、点P0乃至点p4の5箇所に限られるものではなく、補正を精度よく行うために、さらに多くの箇所に対して、様々な組み合わせでマーキングを行っても良い。即ち、図6乃至9での説明は、処理を簡略化および単純化したときの例であり、このような例でもって、本発明の主旨に影響をあたえることはない。例えば、図10は、より複雑なマーク座標を組み合わせた例を示している。   In addition, in each magnification, the number of places to be marked is not limited to the five places of points P0 to p4, and in order to perform correction accurately, marking is performed in various combinations on more places. May be. That is, the description in FIGS. 6 to 9 is an example when the process is simplified and simplified, and such an example does not affect the gist of the present invention. For example, FIG. 10 shows an example in which more complicated mark coordinates are combined.

このように、蛍光試料34bに対する複数箇所のマーキングを行うことにより、レーザ走査顕微鏡11の走査部13において、第1の走査系16−1の座標系と第2の走査系16−2の座標系との誤差を解消する処理が行われる。   Thus, by marking a plurality of locations on the fluorescent sample 34b, the coordinate system of the first scanning system 16-1 and the coordinate system of the second scanning system 16-2 are used in the scanning unit 13 of the laser scanning microscope 11. A process for eliminating the error is performed.

即ち、まず、蛍光試料34bを試料固定アダプタ34aの先端に貼着させ、結合部15に試料固定アダプタ34aを挿入して、一次結像面34に蛍光試料34bを配置する作業が行われる。次に、図6乃至図10を参照して説明したような走査倍率ごとの所定箇所の座標(第1の走査系16−1の座標系での座標)を設定し、第2の走査系16−2を駆動させて、レーザ光源21−2から出力されるレーザ光を蛍光試料34bに照射して、マーキングする作業が行われる。その後、第1の走査系16−1を駆動させて、走査倍率ごとに走査範囲の画像を取得する作業が行われる。   That is, first, the fluorescent sample 34b is attached to the tip of the sample fixing adapter 34a, the sample fixing adapter 34a is inserted into the coupling portion 15, and the fluorescent sample 34b is placed on the primary imaging plane 34. Next, the coordinates of a predetermined portion (coordinates in the coordinate system of the first scanning system 16-1) for each scanning magnification as described with reference to FIGS. 6 to 10 are set, and the second scanning system 16 is set. -2 is driven, and the marking is performed by irradiating the fluorescent sample 34b with the laser light output from the laser light source 21-2. Thereafter, the first scanning system 16-1 is driven, and an operation of acquiring an image in the scanning range for each scanning magnification is performed.

そして、走査倍率の画像ごとに、その走査倍率の補正で使用するマーキングを検出して、第1の走査系16−1の座標系におけるマーキングの座標を求める作業が行われる。このようにして検出された座標(検出箇所の座標)と、マーキングにおいて設定した座標(注目箇所の座標)とに基づいて、第2の走査系16−2の座標系を、第1の走査系16−1の座標系に一致させるような変換係数を算出する作業が行われ、レーザ走査顕微鏡11を制御する制御装置に記憶される。   Then, for each scanning magnification image, the marking used in the correction of the scanning magnification is detected, and an operation for obtaining the coordinates of the marking in the coordinate system of the first scanning system 16-1. Based on the coordinates thus detected (the coordinates of the detected location) and the coordinates set in the marking (the coordinates of the target location), the coordinate system of the second scanning system 16-2 is changed to the first scanning system. An operation for calculating a conversion coefficient that matches the coordinate system 16-1 is performed and stored in a control device that controls the laser scanning microscope 11.

以上のように、レーザ走査顕微鏡11では、一次結像面34に配置される蛍光試料34bを使用して、第1の走査系16−1の座標系と第2の走査系16−2の座標系との間の誤差を解消可能な変換係数を求めることができる。従って、第1の走査系16−1の座標系に基づいて入力される注目箇所の座標を、変換係数を使用して変換し、その変換後の座標に従って第2の走査系16−2によりレーザ光を照射することで、入力された注目箇所に第2の走査系16−2を介してレーザ光を確実に照射することができる。   As described above, in the laser scanning microscope 11, the coordinate system of the first scanning system 16-1 and the coordinate system of the second scanning system 16-2 are used by using the fluorescent sample 34b disposed on the primary imaging plane 34. A conversion coefficient capable of eliminating an error with the system can be obtained. Therefore, the coordinates of the point of interest input based on the coordinate system of the first scanning system 16-1 are converted using the conversion coefficient, and the laser is transmitted by the second scanning system 16-2 according to the converted coordinates. By irradiating with light, it is possible to reliably irradiate the input target portion with laser light via the second scanning system 16-2.

また、このような変換係数を求める処理は、走査部13側だけで行うことができ、走査部13と顕微鏡部14とを組み合わせた状態で変換係数を求める場合よりも変換係数を容易に求めること、即ち、誤差の調整を容易に行うことができる。   In addition, such processing for obtaining the conversion coefficient can be performed only on the scanning unit 13 side, and the conversion coefficient can be obtained more easily than the case of obtaining the conversion coefficient in a state where the scanning unit 13 and the microscope unit 14 are combined. That is, the error can be easily adjusted.

即ち、走査部13と顕微鏡部14とを組み合わせた状態では、それぞれに起因する誤差が複合されてしまい、第1の走査系16−1の座標系と第2の走査系16−2の座標系との関係を単純な係数で定義することは困難である。これに対し、走査部13側だけで変換係数を求めることにより、単純な係数で定義することができ、誤差の調整が容易となる。このように、様々な誤差要因のうち、対物レンズ33を含む顕微鏡部14に起因する誤差以外を走査系単独で補正し、誤差の要因を単純化することにより、レーザ走査顕微鏡11による最終画像による補正量を最小にすることができるとともに、補正を単純化または不要とすることができる。   That is, in the state where the scanning unit 13 and the microscope unit 14 are combined, errors caused by the respective components are combined, and the coordinate system of the first scanning system 16-1 and the coordinate system of the second scanning system 16-2 are combined. It is difficult to define the relationship between and with a simple coefficient. On the other hand, by obtaining the conversion coefficient only on the scanning unit 13 side, the conversion coefficient can be defined with a simple coefficient, and the error can be easily adjusted. In this way, among various error factors, errors other than those caused by the microscope unit 14 including the objective lens 33 are corrected by the scanning system alone, and the error factors are simplified, so that the final image obtained by the laser scanning microscope 11 is used. The correction amount can be minimized, and correction can be simplified or unnecessary.

また、走査部13と顕微鏡部14とを組み合わせた状態でマーキングを行うには、プレパラートに試料を乗せ、かつ、実際の観察試料と同程度の厚みでなければならないなど、変換係数を求めるための制限が多かった。これに対し、本実施の形態では、一次結像面34に配置される蛍光試料34bを利用するので、そのような制限もなく、また、上述のように蛍光シールを採用することで作業を容易に行うことができる。   In addition, in order to perform marking in a state where the scanning unit 13 and the microscope unit 14 are combined, the sample must be placed on the slide and the thickness should be the same as the actual observation sample. There were many restrictions. On the other hand, in the present embodiment, since the fluorescent sample 34b disposed on the primary imaging plane 34 is used, there is no such limitation, and the operation can be facilitated by adopting the fluorescent seal as described above. Can be done.

また、通常、走査部13と顕微鏡部14とが組み合わされるのは、レーザ走査顕微鏡11の設置時であり、従来、レーザ走査顕微鏡11が納入されるユーザ先で、変換係数を求めて誤差を調整する処理を行う必要があった。これに対し、走査部13だけで変換係数を求めて誤差を調整する処理を行うことができるので、例えば、レーザ走査顕微鏡11の出荷前に工場などで処理を行うことができる。   In general, the scanning unit 13 and the microscope unit 14 are combined when the laser scanning microscope 11 is installed. Conventionally, the user who receives the laser scanning microscope 11 adjusts the error by obtaining a conversion coefficient. It was necessary to carry out processing. On the other hand, since it is possible to perform the process of obtaining the conversion coefficient and adjusting the error only by the scanning unit 13, for example, the process can be performed in a factory or the like before the laser scanning microscope 11 is shipped.

なお、蛍光試料34bの画像からマーキングの位置を求める処理を行うとき、走査倍率ごとに適切な大きさのマーキングを行うことにより、マーキングされた箇所の座標をより正確に求めることができる。   In addition, when performing the process which calculates | requires the position of marking from the image of the fluorescence sample 34b, the coordinate of the marked location can be calculated | required more correctly by performing marking of an appropriate magnitude | size for every scanning magnification.

図11乃至図13を参照して、走査倍率ごとに適切な大きさのマーキングを行うための補助マーキング座標について説明する。   With reference to FIGS. 11 to 13, auxiliary marking coordinates for performing marking of an appropriate size for each scanning magnification will be described.

第1の走査系16−1において走査されるレーザ光の走査範囲を画像として認識するために、観察面12上の走査位置と光検出器37の強度信号が示す蛍光の輝度を時間的に関連付ける処理が行われる。そして、レーザ光が走査される走査速度と、取得される画像の解像度との関係に基づいて、観察面12から発せられる蛍光の輝度は、一定の範囲からの輝度の積分値として検出される。   In order to recognize the scanning range of the laser beam scanned in the first scanning system 16-1 as an image, the scanning position on the observation surface 12 and the fluorescence luminance indicated by the intensity signal of the photodetector 37 are temporally related. Processing is performed. Then, based on the relationship between the scanning speed at which the laser beam is scanned and the resolution of the acquired image, the luminance of the fluorescence emitted from the observation surface 12 is detected as an integral value of the luminance from a certain range.

また、観察面12上で走査されるレーザ光には一定の大きさ(以下、適宜、観察面12に照射されるレーザ光の大きさをスポット径と称する)があり、観察面12とレーザ光源21との光学的な関係により、スポット径は決定される。従って、解像度、走査範囲、およびスポット径の関係に基づいて、観察面12におけるスポットの位置を分解することの限界が存在する。   Further, the laser light scanned on the observation surface 12 has a certain size (hereinafter, the size of the laser light irradiated onto the observation surface 12 is appropriately referred to as a spot diameter). The spot diameter is determined according to the optical relationship with 21. Therefore, there is a limit of resolving the spot position on the observation surface 12 based on the relationship between the resolution, the scanning range, and the spot diameter.

図11を参照して、解像度、走査範囲、およびスポット径の関係について説明する。   With reference to FIG. 11, the relationship between the resolution, the scanning range, and the spot diameter will be described.

図11には、X軸の走査による時間変化と解像度により決定される1画素の輝度積算範囲と、その輝度積算範囲ごとに得られる輝度値の変化が示されており、輝度値の変化は、横軸を画素位置とし縦軸を蛍光の輝度として表されている。また、図11Aおよび図11Bには、1画素に相当する輝度積算範囲内の異なる位置にスポットがある例が示されており、図11Cには、2画素の輝度積算範囲に跨る位置にスポットがある例が示されている。   FIG. 11 shows a luminance integration range of one pixel determined by a temporal change and resolution due to scanning of the X axis, and a luminance value change obtained for each luminance integration range. The horizontal axis represents the pixel position, and the vertical axis represents the luminance of the fluorescence. 11A and 11B show an example in which spots are located at different positions within the luminance integration range corresponding to one pixel, and FIG. 11C shows spots at positions over the luminance integration range of two pixels. An example is shown.

X軸方向の輝度積算範囲は、画像の解像度に応じて決定され、スポット径が輝度積算範囲より小さい場合、図11Aおよび図11Bに示すように、1画素に相当する輝度積算範囲内の異なる位置にマーキングが行われていても、検出される輝度値が同じであるため、1画素に相当する輝度積算範囲内でのマーキングの位置情報は変化しないことになる。即ち、1画素に相当する輝度積算範囲内の異なる位置にマーキングが行われていても、同一の位置にマーキングが行われたとして検出される。   The luminance integration range in the X-axis direction is determined according to the resolution of the image, and when the spot diameter is smaller than the luminance integration range, as shown in FIGS. 11A and 11B, different positions within the luminance integration range corresponding to one pixel. Even if marking is performed, since the detected luminance value is the same, the position information of the marking within the luminance integration range corresponding to one pixel does not change. That is, even if marking is performed at different positions within the luminance integration range corresponding to one pixel, it is detected that marking has been performed at the same position.

これに対し、図11Cに示すように、図11Aおよび図11Bに示されているスポットと同一の大きさのスポットであっても、2画素の輝度積算範囲に跨る位置にマーキングが行われているとき、その2画素で検出される輝度値に差が発生する。即ち、それぞれの輝度積算範囲におけるスポットの大きさによって、それぞれの画素で検出される輝度値が変化する。従って、この輝度値の比率から、微小なスポット位置の差を演算により算出することができる。   On the other hand, as shown in FIG. 11C, even if the spot is the same size as the spot shown in FIG. 11A and FIG. 11B, marking is performed at a position across the luminance integration range of two pixels. When this occurs, a difference occurs in the luminance value detected by the two pixels. That is, the luminance value detected by each pixel changes depending on the size of the spot in each luminance integration range. Therefore, a minute spot position difference can be calculated from the ratio of the luminance values.

このように、マーキングによるスポットが、複数の画素に必ず跨るようなマーキングを行うことで、例えば、隣接するように複数のスポットによるマーキングを行い、複数の画素で検出される輝度値の差から、そのマーキングの中心位置を精密に算出することができる。   In this way, by performing marking so that the spot due to marking always crosses over a plurality of pixels, for example, marking with a plurality of spots so as to be adjacent to each other, from the difference in luminance values detected by the plurality of pixels, The center position of the marking can be calculated accurately.

図12には、倍率ごとのマーキングの例が示されている。   FIG. 12 shows an example of marking for each magnification.

例えば、倍率が1倍であるときの輝度積算範囲のX方向の長さが、スポット径の2倍以上であり3倍以下であるとき、1倍の倍率では、3つのスポットが隣接するようなマーキングが行われる。これにより、3つのスポットからなるマーキングは、2つの輝度積算範囲に必ず跨るようになり、そのマーキングが跨る輝度積算範囲の差から、マーキングの中心位置(この場合、中央のスポットの中心の位置)が求められる。   For example, when the length in the X direction of the luminance integration range when the magnification is 1 is not less than 2 times and not more than 3 times the spot diameter, three spots are adjacent at a magnification of 1 Marking is performed. As a result, the marking consisting of three spots always extends over the two luminance integration ranges, and the center position of the marking (in this case, the center position of the central spot) from the difference of the luminance integration ranges over which the marking extends. Is required.

そして、倍率が1.5倍および2倍の場合には、2つのスポットが隣接するようなマーキングを行うことで、そのマーキングが跨る輝度積算範囲の差から、マーキングの中心位置(この場合、2つのスポットの中間の位置)が求められる。また、倍率が3倍および8倍の場合には、1つのスポットによるマーキングを行っても、そのマーキングは、2つの輝度積算範囲に必ず跨るようになり、そのマーキングが跨る輝度積算範囲の差から、マーキングの中心位置(スポットの中間の位置)が求められる。   When the magnification is 1.5 times and 2 times, by performing marking such that two spots are adjacent to each other, the central position of the marking (in this case 2 Between the two spots). In addition, when the magnification is 3 times and 8 times, even if marking is performed by one spot, the marking always extends over two luminance integration ranges. The center position of the marking (the middle position of the spot) is obtained.

なお、図12では、X軸方向について説明したが、Y軸方向についても同様に、隣接するように複数のスポットによるマーキングを行うことで、マーキングの中心位置を精密に算出することができる。   Although the X-axis direction has been described with reference to FIG. 12, the center position of the marking can be accurately calculated by marking with a plurality of spots so as to be adjacent to each other in the Y-axis direction as well.

図13には、Y方向にも複数のスポットによるマーキングを行う例が示されている。   FIG. 13 shows an example of marking with a plurality of spots in the Y direction.

例えば、倍率が1倍であるときには、中央のスポットの上下および左右にスポットが隣接するような5つのスポットによるマーキングが行われる。また、倍率が1.5倍および2倍であるときには、スポットが接する点を中心に上下および左右に2つずつスポットが隣接するような4つのスポットによるマーキングが行われる。   For example, when the magnification is 1, marking is performed with five spots such that the spots are adjacent to the top and bottom and to the left and right of the center spot. When the magnification is 1.5 times and 2 times, marking is performed with four spots such that two spots are adjacent vertically and horizontally around the point where the spot touches.

このようなマーキングを行うことにより、マーキングの中心位置を、X方向およびY方向に精密に算出することができる。即ち、マーキングによるスポット径が一定の大きさであったとしても、倍率と解像度に応じて適切な大きさとなるように連続的にスポットを形成することで、複数の画素に跨るような大きさのマーキングを行うことができる。このようなマーキングを行うことが、精度の高いマーキング位置情報の計測を行うのに重要となる。   By performing such marking, the center position of the marking can be accurately calculated in the X direction and the Y direction. In other words, even if the spot diameter by marking is a constant size, by continuously forming spots so as to be an appropriate size according to the magnification and resolution, the size of the size across multiple pixels Marking can be performed. Such marking is important for measuring highly accurate marking position information.

次に、図14は、図1のレーザ走査顕微鏡11を使用して、注目箇所に光刺激をして観察を行う処理を説明するフローチャートである。   Next, FIG. 14 is a flowchart for explaining processing for performing observation by applying light stimulation to a point of interest using the laser scanning microscope 11 of FIG.

レーザ走査顕微鏡11の制御装置には、上述したように、一次結像面34に配置される蛍光試料34bに対するマーキングから求められた補正係数が記憶されている。ステップS11において、レーザ光源21−1が観察用のレーザ光を射出し、第1の走査系16−1が観察面12でレーザ光を走査させ、光検出器37からの出力に基づいて、観察面12の画像が取得される。これにより、例えば、図15に示すような視野の画像51が取得されて、図示しない表示装置に表示される。   As described above, the control device of the laser scanning microscope 11 stores the correction coefficient obtained from the marking for the fluorescent sample 34b arranged on the primary imaging plane 34. In step S <b> 11, the laser light source 21-1 emits laser light for observation, the first scanning system 16-1 scans the laser light on the observation surface 12, and observation is performed based on the output from the light detector 37. An image of surface 12 is acquired. Thereby, for example, a visual field image 51 as shown in FIG. 15 is acquired and displayed on a display device (not shown).

そして、ユーザが、画像51に写されている観察対象52において、レーザ光による刺激を行う注目箇所を指定すると、ステップS12において、その注目箇所の座標(Xt,Yt)が特定される。このとき、注目箇所は、画像51に対応付けられた座標系で表されるため、注目箇所の座標(Xt,Yt)は、計測された画像51の座標系、即ち、第1の走査系16−1の座標系に従って取得される。   Then, when the user designates a spot of interest to be stimulated by laser light in the observation object 52 shown in the image 51, the coordinates (Xt, Yt) of the spot of interest are specified in step S12. At this time, since the point of interest is represented by a coordinate system associated with the image 51, the coordinates (Xt, Yt) of the point of interest are the coordinate system of the measured image 51, that is, the first scanning system 16. Obtained according to the coordinate system of -1.

ステップS13において、予め記憶されている補正係数を用いた補正計算により、第2の走査系16−2の座標系における注目箇所の座標(Xt,Yt)に一致する座標に補正する演算を行い、その補正後の補正座標を取得する。   In step S13, calculation is performed to correct the coordinates to the coordinates (Xt, Yt) of the point of interest in the coordinate system of the second scanning system 16-2 by correction calculation using a correction coefficient stored in advance. The corrected coordinates after the correction are acquired.

ステップS14において、ステップS13で取得した補正座標を、第2の走査系16−2に対する走査位置情報として与え、その走査位置情報に基づいて、第2の走査系16−2を駆動させるための走査信号が設定される。   In step S14, the correction coordinates acquired in step S13 are given as scanning position information for the second scanning system 16-2, and scanning for driving the second scanning system 16-2 based on the scanning position information is performed. The signal is set.

ステップS15において、レーザ光源21−2が刺激用のレーザ光を射出し、第2の走査系16−2が、ステップS14で設定された走査信号に従って駆動してレーザ光を走査することで、注目箇所に光刺激が行われる。   In step S15, the laser light source 21-2 emits stimulation laser light, and the second scanning system 16-2 is driven according to the scanning signal set in step S14 to scan the laser light. Light stimulation is performed on the spot.

ステップS16において、ステップS11と同様に、観察用のレーザ光が第1の走査系16−1により再走査し、光刺激が行われた後の画像が取得され、処理は終了する。このとき、図15に示すように、ステップS12において特定された座標に一致する座標(Xt,Yt)に、光刺激により退色した箇所が検出される。   In step S16, similarly to step S11, the laser beam for observation is rescanned by the first scanning system 16-1, an image after the light stimulation is performed is acquired, and the process ends. At this time, as shown in FIG. 15, a spot faded by light stimulation is detected at coordinates (Xt, Yt) that coincide with the coordinates specified in step S12.

以上のように、レーザ走査顕微鏡11では、補正係数を用いた補正計算により、第1の走査系16−1で得た画像に基づいて座標から第2の走査系16−2における補正座標を求めることができるので、第1の走査系16−1で得られた画像上の意図した箇所に、第2の走査系16−2を介したレーザ光の照射を確実に行うことができる。   As described above, in the laser scanning microscope 11, the correction coordinates in the second scanning system 16-2 are obtained from the coordinates based on the image obtained by the first scanning system 16-1 by the correction calculation using the correction coefficient. Therefore, it is possible to reliably irradiate the intended place on the image obtained by the first scanning system 16-1 with the laser light via the second scanning system 16-2.

即ち、従来のレーザ走査顕微鏡では、第1の走査系で得た座標を第2の走査系にそのまま設定すると、第1の走査系の座標と第2の走査系の座標との間の誤差によって、第1の走査系で得られた画像上の意図した箇所とは異なる位置に、第2の走査系を介したレーザ光が照射されていた。これに対し、レーザ走査顕微鏡11では、そのような座標間の誤差を解消することができるので、目標箇所と、実際にレーザ光が照射される箇所とを一致させることができる。   That is, in the conventional laser scanning microscope, if the coordinates obtained in the first scanning system are set as they are in the second scanning system, they are caused by an error between the coordinates of the first scanning system and the coordinates of the second scanning system. The laser beam via the second scanning system was irradiated to a position different from the intended location on the image obtained by the first scanning system. On the other hand, in the laser scanning microscope 11, such an error between coordinates can be eliminated, so that the target location and the location where the laser beam is actually irradiated can be matched.

なお、本実施の形態においては、一次結像面34において第1の走査系の座標と第2の走査系の座標とが一致するように補正が行われており、このような走査部13における補正では、顕微鏡部14の対物レンズ33に起因する誤差は補正されないため、実際には、対物レンズ33の歪なども補正する必要がある。しかしながら、対物レンズ33に起因する誤差によるズレ量は、走査部13における誤差に対する補正(本実施の形態における補正)が行われない場合に比較して僅かなものであり、かつ、同一の対物レンズ33に対しては同一の補正を適用することができるため、観察を行うたびに補正値を取得する必要がない。これにより、レーザ走査顕微鏡11の利便性を著しく向上させることができる。   In the present embodiment, correction is performed on the primary imaging plane 34 so that the coordinates of the first scanning system and the coordinates of the second scanning system coincide with each other. In the correction, since the error due to the objective lens 33 of the microscope unit 14 is not corrected, it is actually necessary to correct the distortion of the objective lens 33 and the like. However, the amount of deviation due to the error caused by the objective lens 33 is slight compared to the case where the correction for the error in the scanning unit 13 (the correction in the present embodiment) is not performed, and the same objective lens. Since the same correction can be applied to 33, it is not necessary to acquire a correction value every time observation is performed. Thereby, the convenience of the laser scanning microscope 11 can be remarkably improved.

なお、本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。   The embodiment of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

11 レーザ走査顕微鏡, 12 観察面, 13 走査部, 14 顕微鏡部, 15 結合部, 16−1 第1の走査系, 16−2 第2の走査系, 21−1および21−2 レーザ光源, 22−1および22−2 集光レンズ, 23−1および23−2 X軸走査手段, 24−1および24−2 X軸走査ミラー, 25−1および25−2 Y軸走査手段, 26−1および26−2 Y軸走査ミラー, 31 ダイクロイックミラー, 32 集光レンズ, 33 対物レンズ, 34 一次結像面, 34a 試料固定アダプタ, 34b 蛍光試料, 35 ダイクロイックミラー, 36 結像レンズ, 37 光検出器   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Laser scanning microscope, 12 Observation surface, 13 Scan part, 14 Microscope part, 15 Coupling part, 16-1 1st scanning system, 16-2 2nd scanning system, 21-1 and 21-2 Laser light source, 22 -1 and 22-2 condenser lenses, 23-1 and 23-2 X-axis scanning means, 24-1 and 24-2 X-axis scanning mirrors, 25-1 and 25-2 Y-axis scanning means, 26-1 and 26-2 Y-axis scanning mirror, 31 dichroic mirror, 32 condenser lens, 33 objective lens, 34 primary imaging surface, 34a sample fixing adapter, 34b fluorescent sample, 35 dichroic mirror, 36 imaging lens, 37 photodetector

Claims (5)

レーザ光を試料上で走査し、前記試料からの光を用いて前記試料の画像を取得する走査型レーザ顕微鏡において、
前記レーザ光を走査する複数の走査手段と、
前記複数の走査手段から射出される前記レーザ光の光路が合成された共通の光路上に配置され、前記レーザ光を集光して、前記試料側に配置される対物レンズとの間に一次結像面を形成する集光手段と
を備え、
前記一次結像面に配置された蛍光試料に対し、前記複数の走査手段のうちの、特定の走査手段の座標系に基づいて、他の走査手段を介して照射される前記レーザ光の照射箇所の座標を設定し、
前記他の走査手段を介して前記照射箇所に前記レーザ光を照射させ、
前記特定の走査手段を介して前記蛍光材料に前記レーザ光を走査させて、前記レーザ光の走査領域の画像を取得させ、
前記画像において前記他の走査手段を介して前記レーザ光が実際に照射された箇所の座標を検出し、
前記設定された座標と、前記検出された座標とに基づいて、前記他の走査手段の座標系を前記特定の走査手段の座標系に一致させる補正を行うための補正係数を求める
ことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
In a scanning laser microscope that scans a laser beam on a sample and acquires an image of the sample using light from the sample,
A plurality of scanning means for scanning the laser beam;
The optical paths of the laser beams emitted from the plurality of scanning units are arranged on a common optical path synthesized, and the laser beams are condensed and primary coupled with an objective lens arranged on the sample side. A light collecting means for forming an image plane,
Irradiation spot of the laser beam irradiated to the fluorescent sample arranged on the primary imaging plane through another scanning unit based on the coordinate system of the specific scanning unit among the plurality of scanning units Set the coordinates of
Irradiating the irradiated portion with the laser light via the other scanning means;
Scanning the fluorescent material with the laser light through the specific scanning means to acquire an image of a scanning region of the laser light,
In the image, the coordinates of the location where the laser beam is actually irradiated through the other scanning means are detected,
Based on the set coordinates and the detected coordinates, a correction coefficient for performing correction for matching the coordinate system of the other scanning unit with the coordinate system of the specific scanning unit is obtained. Scanning laser microscope.
前記蛍光試料を前記一次結像面に配置するための位置決め手段
をさらに備え、
前記蛍光試料は、前記位置決め手段に対し貼着される
ことを特徴とする請求項1に記載の走査型レーザ顕微鏡。
A positioning means for arranging the fluorescent sample on the primary imaging plane;
The scanning laser microscope according to claim 1, wherein the fluorescent sample is attached to the positioning unit.
前記他の走査手段を介して照射される前記レーザ光の照射箇所は、前記画像を取得する際の所定の倍率ごとに、各倍率の視野内の所定位置となるように設定される
ことを特徴とする請求項1または2に記載の走査型レーザ顕微鏡。
The laser light irradiation spot irradiated through the other scanning means is set to be a predetermined position in the field of view for each predetermined magnification at the time of acquiring the image. The scanning laser microscope according to claim 1 or 2.
前記他の走査手段を介して前記蛍光試料にレーザ光が照射される1照射箇所あたりの大きさは、前記画像の1画素に対応する前記蛍光試料上の範囲よりも大きく設定される
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の走査型レーザ顕微鏡。
The size per irradiation spot where the fluorescent sample is irradiated with the laser light via the other scanning means is set to be larger than the range on the fluorescent sample corresponding to one pixel of the image. The scanning laser microscope according to any one of claims 1 to 3.
レーザ光を試料上で走査し、前記試料からの光を用いて前記試料の画像を取得する走査型レーザ顕微鏡の制御方法において、
前記走査型レーザ顕微鏡は、前記レーザ光を走査する複数の走査手段と、前記複数の走査手段から射出される前記レーザ光の光路が合成された共通の光路上に配置され、前記レーザ光を集光して、前記試料側に配置される対物レンズとの間に一次結像面を形成する集光手段とを備え、
前記一次結像面に配置された蛍光試料に対し、前記複数の走査手段のうちの、特定の走査手段の座標系に基づいて、他の走査手段を介して照射される前記レーザ光の照射箇所の座標を設定し、
前記他の走査手段を介して前記照射箇所に前記レーザ光を照射させ、
前記特定の走査手段を介して前記蛍光材料に前記レーザ光を走査させて、前記レーザ光の走査領域の画像を取得させ、
前記画像において前記他の走査手段を介して前記レーザ光が実際に照射された箇所の座標を検出し、
前記設定された座標と、前記検出された座標とに基づいて、前記他の走査手段の座標系を前記特定の走査手段の座標系に一致させる補正を行うための補正係数を求める
ステップを含むことを特徴とする制御方法。
In a control method of a scanning laser microscope that scans a laser beam on a sample and acquires an image of the sample using light from the sample,
The scanning laser microscope is disposed on a common optical path in which a plurality of scanning means for scanning the laser light and the optical paths of the laser light emitted from the plurality of scanning means are combined, and collects the laser light. A light condensing means for forming a primary imaging plane with the objective lens arranged on the sample side,
Irradiation spot of the laser beam irradiated to the fluorescent sample arranged on the primary imaging plane through another scanning unit based on the coordinate system of the specific scanning unit among the plurality of scanning units Set the coordinates of
Irradiating the irradiated portion with the laser light via the other scanning means;
Scanning the fluorescent material with the laser light through the specific scanning means to acquire an image of a scanning region of the laser light,
In the image, the coordinates of the location where the laser beam is actually irradiated through the other scanning means are detected,
Obtaining a correction coefficient for performing correction for matching the coordinate system of the other scanning unit with the coordinate system of the specific scanning unit based on the set coordinates and the detected coordinate. A control method characterized by the above.
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