JP2011084035A - 流体供給装置、流体噴射装置及び流体供給方法 - Google Patents

Abstract

【課題】流体蓄圧部の構成を簡単にして容易に設計することができる流体供給装置、流体噴射装置及び流体供給方法を提供する。
【解決手段】インク流路１５と、ポンプ室の容積を増減させるように変位可能な第１変位部３７がポンプ室と隣接する第１空気室３４ａの圧力変化に応じて変位することによりポンプ駆動するポンプ４３と、ポンプ室よりも下流となる位置に設けられ、上流側から下流側へのインクの通過のみを許容するボール弁３９と、蓄圧室３２ａの容積を増減させるように変位可能な第２変位部３８が蓄圧室と隣接する第２空気室３５ａの圧力変化に応じて変位することにより蓄圧室に貯留されたインクを加圧する吐出側バルブ４４と、第１空気室及び第２空気室の各々に連通して各空気室のうち一方の空気室の容積を増加させるように正圧を発生させた場合には他方の変圧室の容積を減少させるように負圧を発生させる圧力発生装置４５を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、流体供給装置、流体噴射装置及び流体供給方法に関する。

従来、ターゲットに対して流体を噴射する流体噴射装置として、インクジェット式プリンターが広く知られている。このプリンターは、記録ヘッド（流体噴射ヘッド）に供給されるインク（流体）を記録ヘッドに形成されたノズルから噴射することによりターゲットとしての記録媒体に印刷を施すようになっている。

そして、こうしたプリンターには、例えば特許文献１に記載されるように、インクカートリッジ（流体供給源）と記録ヘッドとの間を接続するインク流路（流体供給流路）の途中にインクカートリッジ側となる上流側から記録ヘッド側となる下流側にインクを加圧供給するためにポンプ駆動するポンプを備えた流体供給装置が設けられている。

すなわち、この流体供給装置は、ダイアフラム式ポンプなどの脈動型のポンプをインク流路に備え、ポンプよりも上流側となる位置に上流側から下流側へのインクの通過を許可する吸引側バルブを一方向弁として備えると共に、ポンプよりも下流側となる位置に上流側から下流側へのインクの通過を許可するボール弁を一方向弁として備えている。さらに、この流体供給装置のインク流路においてボール弁よりも下流側となる位置には記録ヘッドにインクを加圧供給するための吐出側バルブ（流体蓄圧部）が設けられている。

また、この流体供給装置におけるポンプは、インクが流入出するポンプ室と、該ポンプ室の容積を増減させるべく変位する変位部材と、該変位部材を変位させるべく駆動する圧力発生装置とを備えている。また、吐出側バルブは、インクを流入出する蓄圧室と、該蓄圧室の容積を増減させるべく変位する変位部材と、該変位部材を蓄圧室の容積が減少する方向に付勢力を付与するばね等の付勢部材を備えている。そして、インクカートリッジ側からインクを記録ヘッド側に供給させる場合には、圧力発生装置を駆動させることにより、ポンプ室の容積が増大するように変位部材を変位させる。すると、容積が増大したポンプ室内には、インクカートリッジ側からインクが流入する。その後、ポンプ室の容積が減少するように変位部材を変位させると、ポンプ室内のインクは、変位部材によってポンプ室から下流側に向けて吐出されて一方向弁としてのボール弁を通過する。そして、ボール弁を通過したインクは、一旦、蓄圧室内に貯留される。この場合において、蓄圧室は容積が減少する方向に付勢部材の付勢力が付与されているのでインクは蓄圧室内に蓄圧状態で貯留されることになる。そして、蓄圧状態で貯留されたインクは、ボール弁によってポンプ室側への逆流が抑制されると共に、インクが消費される下流側に向けて加圧供給されることになる。

特開２００９−１６０９１２号公報

ところで、この流体供給装置は、ポンプの加圧力で蓄圧室内にインクを満たしている為、インクの圧力により蓄圧室の変位部材が上方へ弾性変形できるように蓄圧室の加圧力、すなわち吐出側バルブにおける付勢部材による加圧力はポンプの加圧力よりも小さくなければならない。そのため、吐出側バルブにおける付勢部材の設計が非常に複雑になり、さらに、蓄圧室の加圧に付勢部材を用いると配置構成の関係から流体供給装置自体の設計が難しくなるという問題があった。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、蓄圧室に作用する圧力の変化に応じて蓄圧室内に上流側から流体を流入させて蓄圧状態で一旦貯留すると共に当該蓄圧室内から流体を下流側に向けて加圧供給する流体蓄圧部の構成を簡単にして容易に設計することができる流体供給装置、流体噴射装置及び流体供給方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の流体供給装置は、流体供給源側となる上流側から下流側に向けて流体を供給する流体供給流路と、該流体供給流路の一部をポンプ室として該ポンプ室の容積を増減させるように変位可能な第１変位部が該第１変位部を介して前記ポンプ室と区画された容積可変の第１変圧室の圧力変化に応じて変位することによりポンプ駆動するポンプと、前記流体供給流路における前記ポンプ室よりも下流となる位置に設けられ、上流側から下流側への流体の通過を許容する一方向弁と、前記流体供給流路における前記ポンプ室よりも下流側の一部を蓄圧室として該蓄圧室の容積を増減させるように変位可能な第２変位部が該第２変位部を介して前記蓄圧室と区画された容積可変の第２変圧室の圧力変化に応じて変位することにより前記蓄圧室に貯留された流体を加圧する流体蓄圧部と、前記第１変圧室及び前記第２変圧室の各々に連通して前記第１変圧室及び前記第２変圧室のうち一方の変圧室の容積を増加させるように当該一方の変圧室に作用させる正圧を発生させた場合には他方の変圧室の容積を減少させるように当該他方の変圧室に作用させる負圧を発生させる圧力発生装置と、を備える。

この構成によれば、圧力発生装置から第１変圧室に付与される負圧に応じて第１変位部がポンプ駆動するときに圧力発生装置から第２変圧室に付与される正圧に応じて第２変位部が蓄圧室に貯留されている流体を下流側に加圧供給する。したがって、流体蓄圧部においては付勢部材を用いることなく蓄圧室に貯留されている流体を加圧することができるため、流体蓄圧部の構成が簡単になり、かかる流体蓄圧部を備える流体供給装置を容易に設計することができる。

本発明の流体供給装置において、前記ポンプは、前記圧力発生装置からの負圧の作用による前記第１変圧室の減圧に基づき前記第１変位部が前記第１変圧室の容積が減少する方向に変位して前記ポンプ室に前記流体を引き入れる吸引駆動をするとともに、前記圧力発生装置からの正圧の作用による前記第１変圧室の加圧に基づき前記第１変位部が前記第１変圧室の容積が増加する方向に変位して前記ポンプ室から前記流体を吐出する吐出駆動をする一方、前記流体蓄圧部は、前記圧力発生装置からの正圧の作用による前記第２変圧室の加圧に基づき前記第２変位部が前記第２変圧室の容積が増加する方向に変位して前記蓄圧室に貯留された流体を加圧するとともに、前記圧力発生装置からの負圧の作用による前記第２変圧室の減圧に基づき前記第２変位部が前記第２変圧室の容積が減少する方向に変位して前記蓄圧室に前記流体を引き入れる。

この構成によれば、ポンプを吸引駆動させて流体をポンプ室内に吸引する場合には、流体蓄圧部が蓄圧室に貯留されている流体を加圧する。一方、ポンプを吐出駆動させて流体をポンプ室内から吐出する場合には、流体蓄圧部が蓄圧室に流体を引き入れる。したがって、ポンプの吸引駆動及び吐出駆動の切り替えに連動して流体蓄圧部による蓄圧室内に貯留される流体の下流側への加圧供給と上流側からの流入とを行うことができる。

本発明の流体供給装置において、前記圧力発生装置は、前記第１変圧室に連通する第１連通室と前記第２変圧室に連通する第２連通室とを区画しつつ変位可能な第３変位部が、前記第１連通室及び前記第２連通室のうち一方の容積を増加させた場合には他方の容積を減少させるように変位することにより前記第１変圧室及び前記第２変圧室のうち一方の変圧室を加圧すると共に他方の変圧室を減圧する。

この構成によれば、第１変圧室と第２変圧室とに連通する圧力発生装置の第１連通室及び第２連通室のうちの何れか一方の容積を変化させることにより、流体供給装置のポンプの吸引駆動と吐出駆動との切り替え及び流体蓄圧部による蓄圧室内に貯留される流体の下流側への加圧供給と上流側からの流入とを行うことができる。

本発明の流体供給装置において、前記ポンプは前記第１変位部を前記ポンプ室の容積が減少する方向又は増加する方向に付勢する付勢部材を備えている。
この構成によれば、ポンプをポンプ駆動させて流体を供給する場合には、ポンプを吸引駆動させる場合又は吐出駆動させる場合のいずれか一方の場合にのみ付勢部材の付勢力に抗して第１変位部を変位させればよく、逆の場合は付勢部材の付勢力で第１変位部が元の状態に変位するので、ポンプの駆動負荷を低減することができる。

本発明の流体供給装置は、前記第１変圧室及び第２変圧室を大気開放するための大気開放手段を更に備えている。
この構成によれば、第１変圧室及び第２変圧室の加圧状態もしくは減圧状態を必要に応じて解除することができる。

上記目的を達成するために、本発明の流体噴射装置は、流体を噴射する流体噴射ヘッドと、流体供給源側から前記流体噴射ヘッド側に向けて前記流体を供給する上記流体供給装置とを備える。

この構成によれば、流体噴射装置において上記流体供給装置の場合と同様の作用効果を得ることができる。
上記目的を達成するために、本発明の流体供給方法は、前記流体供給流路の一部を構成するポンプ室の容積を増減させるように変位可能な第１変位部を介して前記ポンプ室と区画された第１変圧室と、前記流体供給流路の一部を構成する蓄圧室の容積を増減させるように変位可能な第２変位部を介して前記蓄圧室と区画された第２変圧室とに連通して、前記第１変圧室及び前記第２変圧室の各々の容積を増減させるように加圧又は減圧する圧力発生装置が、前記第１変圧室を減圧して該第１変圧室の容積が減少する方向に前記第１変位部を変位させて前記ポンプ室に前記流体を引き入れるとともに、前記第２変圧室を加圧して該第２変圧室の容積が増加する方向に前記第２変位部を変位させて前記蓄圧室から前記流体を流出させる流体流出段階と、前記圧力発生装置が、前記第１変圧室を加圧して該第１変圧室の容積を増加する方向に前記第１変位部を変位させて前記ポンプ室から前記流体を吐出させるとともに、前記第２変圧室を減圧して該第２変圧室の容積が減少する方向に前記第２変位部を変位させて前記蓄圧室に前記流体を流入させる流体流入段階と、を備える。

この構成によれば、上記流体供給装置と同様の作用効果を得ることができる。

第１実施形態におけるインクジェット式記録装置の模式図。 （ａ）はポンプが吸引駆動時の第１実施形態におけるインク供給装置の模式図、（ｂ）はポンプが吐出駆動時の第１実施形態におけるインク供給装置の模式図。 （ａ）はポンプが吐出駆動及びインク噴射時の第１実施形態におけるインク供給装置の模式図、（ｂ）はインク噴射及びポンプが吸引駆動時の第１実施形態におけるインク供給装置の模式図。 （ａ）はポンプが吸引駆動時の第２実施形態におけるインク供給装置の模式図、（ｂ）はポンプが吐出駆動時の第２実施形態におけるインク供給装置の模式図。 （ａ）はポンプが吐出駆動及びインク噴射時の第２実施形態におけるインク供給装置の模式図、（ｂ）はインク噴射及びポンプが吸引駆動時の第２実施形態におけるインク供給装置の模式図。

（第１実施形態）
以下、本発明を流体噴射装置の一種であるインクジェット式記録装置（以下、「プリンター」ともいう）に具体化した第１実施形態を図１〜図３を参照しながら説明する。

図１に示すように、本実施形態のプリンター１１は、ターゲット（図示略）に対して流体としてのインクを噴射する流体噴射ヘッドとしての記録ヘッド１２と、流体供給源としてのインクカートリッジ１３に収容されたインクを記録ヘッド１２側に供給する流体供給装置としてのインク供給装置１４とを備えている。インク供給装置１４には、インクカートリッジ１３に上流端が接続されると共に記録ヘッド１２に下流端が接続された状態で、インクカートリッジ１３側となる上流側から記録ヘッド１２側となる下流側に向けてインクを供給する流体供給流路としてのインク流路１５が設けられている。

なお、プリンター１１には、印刷処理に使用するインクの色数（種類）に対応して複数のインク供給装置１４が設けられている。但し、各インク供給装置１４は共通の構成からなるため、図１には何れか一色のインクを供給する一つのインク供給装置１４を記録ヘッド１２及び一つのインクカートリッジ１３と共に図示している。そして、以下においては、この図１に示す一つのインク供給装置１４がインク流路１５を介してインクカートリッジ１３から記録ヘッド１２に向けてインクを供給する場合を例にして説明を行う。

図１に示すように、記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａには、インクを噴射可能な複数のノズル開口１６が設けられている。また、記録ヘッド１２には、バルブユニット１７が内蔵されている。バルブユニット１７はインクを安定して供給するための流動圧調整機構を備えたもので、消費量に応じた量のインクを供給することで、インクの流動圧を調整するようになっている。

プリンター１１には、記録ヘッド１２のクリーニング等を行うメンテナンスユニット１８が設けられている。メンテナンスユニット１８は、記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａにノズル開口１６を囲うように当接可能なキャップ１９と、キャップ１９内に負圧を発生させるために駆動される吸引ポンプ２０と、吸引ポンプ２０の駆動に伴って記録ヘッド１２内から吸引されたインクを収容するための廃液タンク２１とを備えている。そして、印刷処理の終了時などには、図１に示す状態からキャップ１９を移動させて記録ヘッド１２に当接させた状態で吸引ポンプ２０を駆動し、キャップ１９の内部空間に負圧を発生させる。これにより、記録ヘッド１２内から増粘したインクや気泡混じりのインクを廃液タンク２１に向けて吸引排出するクリーニングを実施するようになっている。

インクカートリッジ１３は、内部がインクを収容するインク室２２ａとされた略箱体形状のケース２２を備えている。ケース２２の下壁からはインク室２２ａ内に連通する筒部２３が突設されていると共に、筒部２３の先端にはインクを導出可能なインク供給口２４が形成されている。

そして、インクカートリッジ１３をインク供給装置１４に接続する際には、このインク供給口２４に対して、インク供給装置１４からインク流路１５の上流端を構成するべく突設されたインク供給針２５が挿入されるようになっている。また、ケース２２の上壁には、インクが収容されたインク室２２ａ内を大気に連通させる大気連通孔２６が設けられ、インク室２２ａ内に収容されたインクの液面に対して大気圧を作用させるようになっている。

次に、インク供給装置１４の構成について詳細に説明する。
図１に示すように、インク供給装置１４は、基台となる樹脂製の第１流路形成部材２７と、この第１流路形成部材２７に対して積層状態に組み付けられる同じく樹脂製の第２流路形成部材２８と、組み付け時に両流路形成部材２７，２８の間に挟み込まれるゴム板等からなる可撓性部材２９とを備えている。

第１流路形成部材２７の一面（図１における上面）には、平面視円形状をなす凹部３０，３１，３２が形成されている。また、第２流路形成部材２８の一面（図１における下面）には、第１流路形成部材２７に形成された凹部３０，３１，３２と互いに対向する平面視円形状の凹部３３，３４，３５がそれぞれ形成されている。

可撓性部材２９は、第１流路形成部材２７の凹部３０〜３２と第２流路形成部材２８の凹部３３〜３５との間をそれぞれ仕切るように第１流路形成部材２７と第２流路形成部材２８との間に挟み込まれている。そして、可撓性部材２９において凹部３０と凹部３３との間に介在する部分は、両凹部３０，３３の間で弾性変形することにより変位可能な弁体３６として機能するようになっている。

なお、弁体３６の中心部分には貫通孔３６ａが形成されている。そのため、凹部３０と凹部３３とは貫通孔３６ａを介して連通されていると共に、凹部３０，３３によって囲み形成される空間域が弁室３０ａとなっている。

可撓性部材２９において凹部３１と凹部３４との間に介在する部分は、両凹部３１，３４の容積を増減させるように変位可能な第１変位部３７として機能するようになっている。また、第１変位部３７と凹部３１とで囲み形成される空間域はインク流路１５の一部を構成するポンプ室３１ａ（図２参照）となっている一方、第１変位部３７と凹部３４とで囲み形成される空間域は第１変圧室としての第１空気室３４ａとなっている。

可撓性部材２９において凹部３２と凹部３５との間に介在する部分は、両凹部３２，３５の容積を増減させるように変位可能な第２変位部３８として機能するようになっている。また、第２変位部３８と凹部３２とで囲み形成される空間域はインク流路１５の一部を構成する蓄圧室３２ａとなっている一方、第２変位部３８と凹部３５とで囲み形成される空間域は第２変圧室としての第２空気室３５ａとなっている。

そして、積層状態とされる第１流路形成部材２７、第２流路形成部材２８及び可撓性部材２９には、上流側となるインク供給針２５から下流側となる記録ヘッド１２側へ繋がるインク流路１５ａ〜１５ｄが図１における右側から左側に向かって形成されている。

具体的には、第１流路形成部材２７には、第２流路形成部材２８を貫通するように突設されたインク供給針２５と、インク供給針２５の先端側と凹部３０の間を連通するインク流路１５ａが形成されている。また、凹部３３と凹部３１の間はインク流路１５ｂによって連通されていると共に、凹部３１と凹部３２の間はインク流路１５ｃによって連通されている。さらに、上流側が凹部３２に接続されたインク流路１５ｄの下流端には、インク供給チューブ１５ｅの一端（上流端）が接続されている。そして、インク供給チューブ１５ｅの他端（下流端）は記録ヘッド１２に接続されている。

すなわち、インク供給装置１４においては、上流側から下流側に向かって順次配置されるインク供給針２５、インク流路１５ａ、弁室３０ａ、インク流路１５ｂ、ポンプ室３１ａ、インク流路１５ｃ、蓄圧室３２ａ、インク流路１５ｄ、インク供給チューブ１５ｅによって、インク流路１５が構成されている。

また、弁室３０ａの凹部３３内には弁体３６を常には凹部３０側に向けて付勢するコイルスプリング４０が収容されていると共に、弁体３６には、凹部３０の内底面に当接することで閉弁状態となる突起部３６ｂが設けられている。そして、弁体３６はコイルスプリング４０によって常には閉弁方向に付勢された状態とされている。本実施形態において、弁室３０ａ、弁体３６及びコイルスプリング４０は、上流側から下流側へのインクの通過のみを許容する吸引側バルブ４１を構成している。

第１空気室３４ａ内には、第１変位部３７を常にはポンプ室３１ａの容積を減少させる方向に付勢する付勢部材としてのコイルスプリング４２が収容されている。本実施形態において、ポンプ室３１ａ、第１空気室３４ａ、第１変位部３７及びコイルスプリング４２は脈動型のポンプ４３を構成している。ポンプ４３は、ポンプ室３１ａの容積を増減させるように変位可能な第１変位部３７が、第１変位部３７を介してポンプ室３１ａと隣接する第１空気室３４ａの圧力変化に応じて変位することによりポンプ駆動するようになっている。そして、インク流路１５においては、ポンプ室３１ａの上流側となる位置に吸引側バルブ４１が、ポンプ室３１ａの下流側となる位置に一方向弁としてのボール弁３９が設けられることにより、ポンプ駆動に伴って下流側から上流側へ向けてインクが逆流することが抑制されるようになっている。

また、本実施形態においては、蓄圧室３２ａ、第２空気室３５ａ及び第２変位部３８によりインクを蓄圧状態で貯留する流体蓄圧部としての吐出側バルブ４４が構成されている。この吐出側バルブ４４は、蓄圧室３２ａの容積を増減させるように変位可能な第２変位部３８が、第２変位部３８を介して蓄圧室３２ａと隣接する第２空気室３５ａの圧力変化に応じて変位することにより、インクを蓄圧状態で貯留すると共に、蓄圧室３２ａ内に貯留したインクを加圧された状態で下流側へ供給する。

ポンプ４３は、圧力発生装置としてのチューブポンプ４５によって第１空気室３４ａ内が減圧されることによって、第１変位部３７がポンプ室３１ａの容積が増加する方向に変位してポンプ室３１ａ内にインクを引き入れる吸引駆動をするようになっている。このポンプ４３の吸引駆動と共に、吐出側バルブ４４は、チューブポンプ４５によって第２空気室３５ａ内が加圧されることによって、第２変位部３８が蓄圧室３２ａの容積が減少する方向に変位して蓄圧室３２ａに貯留しているインクを加圧して下流側に供給する。

チューブポンプ４５の流路チューブ４６は、その一端部４６ａが第１空気室３４ａに接続されると共に、その他端部４６ｂが第２空気室３５ａに接続されている。また、流路チューブ４６において、その一端部４６ａの近傍からは第１分岐管４７ａが分岐形成されると共に、その他端部４６ｂの近傍からは第２分岐管４７ｂが分岐形成されている。そして、これらの第１分岐管４７ａ及び第２分岐管４７ｂは図示しない大気開放弁を備えた大気開放手段としての大気開放装置４８に連通している。

チューブポンプ４５は、流路チューブ４６の外側方向への移動を規制する内周面を有した円筒状のポンプフレーム４９と、該ポンプフレーム４９内で図示しないポンプモーターによって正逆両方向に回転されるポンプホイル５０と、該ポンプホイル５０の外周部に軸支されたローラー５１、５２とを備える。ポンプフレーム４９とポンプホイル５０との間の空間には、流路チューブ４６がポンプフレーム４９の内周面に沿って円を描くように配置されて巻回され、一部重なり部を含んだ状態で配置されている。

そして、ポンプモーターの正転駆動によりポンプホイル５０が正回転された場合には、ローラー５１、５２により流路チューブ４６内の空気が他端部４６ｂから押し出されるように流動して、ポンプ４３の第１空気室３４ａが減圧されると共に、吐出側バルブ４４の第２空気室３５ａが加圧されるようになっている。また、その場合、第１空気室３４ａ内が減圧されることにより第１変位部３７がポンプ室３１ａの容積が増加する方向に変位すると共に、第２空気室３５ａ内が加圧されることにより第２変位部３８が蓄圧室３２ａの容積が減少する方向に変位するようになっている。

大気開放装置４８は、図示しない大気開放弁を有しており、チューブポンプ４５におけるポンプモーターの正転駆動が停止した後、大気開放弁がそれぞれ開作動して流路チューブ４６内が大気に開放され、第１空気室３４ａ内の負圧状態及び第２空気室３５ａ内の加圧状態が解消されるようになっている。

このように第１空気室３４ａ内の負圧状態が解消されると、第１変位部３７はコイルスプリング４２の付勢力によってポンプ室３１ａの容積が減少する方向に変位する。すなわち、ポンプ４３は、第１空気室３４ａ内が減圧されることによって上流側からインクをポンプ室３１ａ内に吸引する吸引駆動をする一方、第１空気室３４ａが大気開放されることを契機として、コイルスプリング４２の付勢力によってポンプ室３１ａからインクを下流側に吐出する吐出駆動をするようになっている。また、吐出側バルブ４４は、第２空気室３５ａ内が加圧されることによって蓄圧室３２ａに貯留されているインクを加圧する一方、第２空気室３５ａが大気開放されることを契機として、第２変位部３８の変位状態が元に戻ることによりポンプ室３１ａから吐出されたインクを蓄圧室３２ａ内に流入させるようになっている。

そして、ポンプ室３１ａが吸引駆動する際には、ポンプ室３１ａ内に生じる負圧により下流側に位置するボール弁３９が閉弁されると共に、上流側に設けられた吸引側バルブ４１がコイルスプリング４０の付勢力に抗して開弁される。また、ポンプ室３１ａが吐出駆動する際には、ポンプ室３１ａ内に生じる正圧により下流側に位置するボール弁３９が開弁されると共に、上流側に設けられた吸引側バルブ４１が閉弁される。

したがって、インクカートリッジ１３がインク供給針２５に接続されてポンプ４３が吸引駆動と吐出駆動を交互に繰り返すことにより、インクカートリッジ１３からインクが消費される記録ヘッド１２に向けて断続的にインクが供給されるようになっている。

次に、以上のように構成されたプリンター１１における作用について、特にインク供給装置１４の作用に着目して説明する。
ここで、図１に示す状態は、インクカートリッジ１３の交換直後であって、吸引側バルブ４１の弁体３６及びポンプ４３の第１変位部３７は、それぞれコイルスプリング４０，４２の付勢力で各凹部３０，３１の内底面に押し付けられた状態にあるものとする。また、吐出側バルブ４４の第２変位部３８は変位していない状態にあると共に、ボール弁３９は対応する付勢部材（図示略）により閉弁位置に付勢された状態にあるものとする。さらに、大気開放装置４８は大気開放弁が閉弁状態にあるものとする。

始めに、このような図１に示す状態から、ポンプ４３が吸引駆動する場合について、図２（ａ）に基づいて説明する。
まず、ポンプ４３をポンプ駆動させるために、チューブポンプ４５のポンプモーターが正転駆動される。すると、チューブポンプ４５が負圧を発生し、このチューブポンプ４５に流路チューブ４６の一端部４６ａを通じて接続された第１空気室３４ａ内が負圧状態になる。そのため、図２（ａ）に示すように、第１変位部３７がコイルスプリング４２の付勢力に抗して第１空気室３４ａ側に変位して、第１空気室３４ａの容積を減少させる。すると、この第１空気室３４ａの容積減少に伴い、第１変位部３７を介して第１空気室３４ａと隣接するポンプ室３１ａは逆に容積が増加し、インクがポンプ室３１ａ内に吸引される。そしてポンプ室３１ａの負圧がインク流路１５ｃにも作用しているため、ボール弁３９は閉弁状態が維持される。このとき、チューブポンプ４５に流路チューブ４６の他端部４６ｂを通じて接続された第２空気室３５ａ内は加圧状態になる。そのため、第２変位部３８が蓄圧室３２ａ側に変位して、第２空気室３５ａの容積を増加させる。すると、この第２空気室３５ａの容積増加に伴い、第２変位部３８を介して第２空気室３５ａと隣接する蓄圧室３２ａは逆に容積が減少するため、蓄圧室３２ａ内からインクが下流側に加圧された状態で流出するようになる（流体流出段階）。

次に、ポンプ４３が吐出駆動する場合について、図２（ｂ）に基づいて説明する。
ポンプ４３が吐出駆動する際には、大気開放装置４８が作動して大気開放弁が開放され、第１空気室３４ａ内の負圧状態が解消される。そのため、図２（ｂ）に示すように、ポンプ４３の第１変位部３７がコイルスプリング４２の付勢力によりポンプ室３１ａ側、すなわち、凹部３１の内底面側へ変位して、第１空気室３４ａの容積を増加させる。具体的には、ポンプ４３の第１変位部３７がコイルスプリング４２の付勢力により上死点位置から若干だけ下死点位置の方向に変位する。すると、第１空気室３４ａの容積増加に伴い、第１変位部３７を介して第１空気室３４ａと隣接するポンプ室３１ａは逆に容積が減少し、インクが加圧されてポンプ室３１ａ外へ吐出される。そして、ポンプ室３１ａから吐出されたインクの圧力により閉弁状態にあるボール弁３９を開弁作動させ、蓄圧室３２ａがポンプ室３１ａと連通する。その結果、ポンプ室３１ａ内からインクがインク流路１５ｃを介して吐出側バルブ４４の蓄圧室３２ａ内に加圧状態で流入するようになる（流体流入段階）。このとき、吐出側バルブ４４では、第２空気室３５ａ内の加圧状態も解消されるとともに、蓄圧室３２ａ内に加圧供給されたインクの圧力により第２変位部３８が第２空気室３５ａ側に変位した状態となる。その結果、蓄圧室３２ａ内にはインクが蓄圧状態で貯留される。

その後、記録ヘッド１２からインクがターゲット（図示略）に向けて噴射されると、そのインク噴射に伴うインクの消費量に相当する分量のインクがインク流路１５内から記録ヘッド１２に供給される。そのため、この下流側（記録ヘッド１２側）でのインクの消費に伴い、ポンプ室３１ａ内から対応するインク量のインクが蓄圧室３２ａを経由して加圧状態で供給される。その結果、図３（ａ）に示すように、ポンプ室３１ａ内の容積が次第に減少し、遂には第１変位部３７が下死点位置付近まで変位する。

そして、再びポンプ４３の吸引駆動を開始するためにチューブポンプ４５のポンプモーターが正転駆動され、ポンプ４３の第１空気室３４ａ内が負圧状態となる。そのため、図３（ｂ）に示すように、第１変位部３７がコイルスプリング４２の付勢力に抗して第１空気室３４ａ側に変位して、ポンプ室３１ａの容積が増加し、インクがポンプ室３１ａ内に吸引される。その一方、ポンプ室３１ａよりも下流側の蓄圧室３２ａでは、蓄圧室３２ａ内の圧力に対してポンプ室３１ａ内の圧力が低下することで、ボール弁３９は閉弁位置に変位する。このとき、第２空気室３５ａ内は再び加圧状態になり、第２変位部３８が蓄圧室３２ａ側に押圧されるのに伴い、ポンプ４３の吸引駆動中も蓄圧室３２ａと連通状態が維持されたインク流路１５ｄを介して下流側の記録ヘッド１２に向けてインクが加圧供給され続ける。以後、上記と同様のポンプ４３の吐出駆動が実行されて、ポンプ室３１ａ内からインクが下流側の蓄圧室３２ａを経由して記録ヘッド１２へと加圧供給される。

上記第１実施形態のインク供給装置１４及びプリンター１１によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）チューブポンプ４５から第１空気室３４ａに付与される負圧に応じて第１変位部３７がポンプ駆動するときにチューブポンプ４５から第２空気室３５ａに付与される正圧に応じて第２変位部３８が蓄圧室３２ａに貯留されているインクを下流側に加圧供給する。したがって、吐出側バルブ４４においては、付勢部材を用いることなく蓄圧室３２ａ内に貯留されている流体を加圧することができるため、その構成が簡単になり、かかる吐出側バルブ４４を備えるインク供給装置１４を容易に設計することができる。

（２）吐出側バルブ４４の加圧力をポンプ４３の加圧力よりも低く設定する必要がないため、吐出側バルブ４４の加圧力を大きく設計することができる。そのため、吐出側バルブ４４から記録ヘッド１２までの流路の圧力損失が大きいシステムにおいても、十分な加圧力を保持したまま記録ヘッド１２にインクを供給できる。

（３）ポンプ４３を吸引駆動させてインクをポンプ室３１ａ内に吸引する場合には、吐出側バルブ４４が第２変位部３８の変位により蓄圧室３２ａに貯留されているインクを加圧する。一方、ポンプ４３を吐出駆動させてインクをポンプ室３１ａ内から吐出する場合には、吐出側バルブ４４が第２変位部３８の変位の解消より蓄圧室３２ａ内にインクを流入させる。したがって、ポンプ４３の吸引駆動と吐出駆動の切り替えに連動して吐出側バルブ４４による蓄圧室３２ａ内に貯留されるインクの下流側への加圧供給と上流側からの流入とを行うことができる。

（４）ポンプ４３は、吸引駆動時にはチューブポンプ４５の駆動に伴ってポンプ４３の第１変位部３７がコイルスプリング４２の付勢力に抗して第１空気室３４ａ側に変位することで第１空気室３４ａの容積が減少する一方、その減少分だけポンプ室３１ａの容積が増加してポンプ室３１ａ内の圧力が減圧状態となる。そして吐出駆動時には、第１空気室３４ａの負圧状態を大気開放により解消し、第１変位部３７がコイルスプリング４２の付勢力に従ってポンプ室３１ａ側に変位することで第１空気室３４ａの容積が増加する一方、その増加分だけポンプ室３１ａの容積量が減少してポンプ室３１ａ内の圧力が加圧状態となる。そのため、ポンプ４３をポンプ駆動させてインクを供給する場合には、ポンプ４３を吸引駆動する場合にのみコイルスプリング４２の付勢力に抗して第１変位部３７を撓み変形させればよく、逆の場合はコイルスプリング４２の付勢力で第１変位部３７が元の状態に変位するので、ポンプ４３の駆動負荷を低減することができる。

（５）インク供給装置１４は、ポンプ室３１ａ及び蓄圧室３２ａ内を加圧もしくは減圧する第１空気室３４ａ及び第２空気室３５ａ内を大気圧にするための大気開放装置４８を有する。そのため、この大気開放装置４８を通じて第１空気室３４ａ及び第２空気室３５ａ内を大気開放することにより、ポンプ室３１ａ及び蓄圧室３２ａ内の加圧状態もしくは減圧状態を必要に応じて解除することができる。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態について図４及び図５に基づいて説明する。なお、第２実施形態は、第１実施形態との対比において、インク供給装置１４が圧力発生装置としてチューブポンプ４５の代わりにピストンポンプ５３を備える点及び第１空気室３４ａ内には付勢部材としてのコイルスプリング４２が備えられていない点で異なり、その他の点では第１実施形態とほぼ同一の構成となっている。そのため、以下では上記第1実施形態と相違する点について主に説明することにし、同一の構成については同一の符号を付し、その重複した説明を省略する。

図４に示すように、本実施形態のインク供給装置１４は、圧力発生装置としてのピストンポンプ５３を備えている。ピストンポンプ５３は有底筒状のシリンダ５４を有しており、シリンダ５４内には第３変位部としてのピストン５５が進退移動自在に内装されている。そして、ピストン５５とシリンダ５４の内面との間にはピストン５５の進退移動に伴い容量が変化する第１連通室５６ａ及び第２連通室５６ｂがピストン５５によって区画形成されている。また、シリンダ５４におけるピストン５５の第１連通室５６ａ側の側面と対向する壁部にはシール機能付きの貫通孔５４ａが形成され、この貫通孔５４ａにはピストン５５の進退方向と平行な方向に延びる軸部材５７が摺動自在に挿通されている。そして、軸部材５７は、その一端が第１連通室５６ａ内においてピストン５５に連結されると共に、その他端がシリンダ５４の外部において当該軸部材５７を進退方向に駆動するピストン駆動装置５８に対して動力伝達可能に連結されている。

さらに、シリンダ５４における第１連通室５６ａの周壁部分には第１接続口５９が形成されると共に、第２連通室５６ｂの周壁部分には第２接続口６０が形成されている。そして、第１接続口５９に接続された第１流路チューブ６１を介して第１連通室５６ａはポンプ４３の第１空気室３４ａに連通し、第２接続口６０に接続された第２流路チューブ６２を介して第２連通室５６ｂは吐出側バルブ４４の第２空気室３５ａに連通している。

ピストンポンプ５３は、シリンダ５４内でのピストン５５の進退移動に伴い、第１連通室５６ａ内の容積が増加する場合には、第１空気室３４ａ内の空気が第１連通室５６ａに流入することにより、第１空気室３４ａが減圧されるようになっている。また、そのときには、第２連通室５６ｂの容積が減少して第２連通室５６ｂ内の空気が第２空気室３５ａに流入することにより、第２空気室３５ａが加圧されるようになっている。その一方、ピストンポンプ５３は、シリンダ５４内でのピストン５５の進退移動に伴い、第１連通室５６ａ内の容積が減少する場合には、第１連通室５６ａ内の空気が第１空気室３４ａに流入することにより、第１空気室３４ａが加圧されるようになっている。また、そのときには、第２連通室５６ｂの容積が増加して第２空気室３５ａ内の空気が第２連通室５６ｂに流入することにより、第２空気室３５ａが減圧されるようになっている。また、本実施形態においては、第１空気室３４ａ内にはコイルスプリングは備えられていない。

そして、ポンプ４３は、ピストンポンプ５３によって第１空気室３４ａ内が減圧されることによって、第１変位部３７がポンプ室３１ａの容積が増加する方向に変位してポンプ室３１ａ内にインクを引き入れる吸引駆動をするようになっている。その一方、ポンプ４３は、ピストンポンプ５３によって第１空気室３４ａ内が加圧されることによって、第１変位部３７がポンプ室３１ａの容積を減少する方向に変位してポンプ室３１ａ内からインクを下流側に吐出する吐出駆動をするようになっている。また、吐出側バルブ４４は、第２空気室３５ａ内が加圧されることによって蓄圧室３２ａ内に貯留されたインクを加圧して下流側に流出させる一方、第２空気室３５ａが減圧されることによって、第２変位部３８が蓄圧室３２ａの容積が増加する方向に変位して蓄圧室３２ａ内にインクを上流側から流入させるようになっている。

次に、以上のように構成された本実施形態のプリンター１１における作用について、特にインク供給装置１４の作用に着目して説明する。
始めに、ポンプ４３が吸引駆動する場合について、図４（ａ）に基づいて説明する。

まず、ポンプ４３を吸引駆動させるためには、ピストンポンプ５３の駆動に伴い、ピストン５５が第１連通室５６ａの容積が増加する方向に移動し、この第１連通室５６ａに第１流路チューブ６１を介して接続された第１空気室３４ａ内が負圧状態になる。

そのため、図４（ａ）に示すように、第１変位部３７が第１空気室３４ａ側に変位して、第１空気室３４ａの容積を減少させる。すると、この第１空気室３４ａの容積減少に伴い、第１変位部３７を介して第１空気室３４ａと隣接するポンプ室３１ａは逆に容積が増加し、インクがポンプ室３１ａ内に吸引される。そしてポンプ室３１ａの負圧がインク流路１５ｃにも作用しているため、ボール弁３９は閉弁状態が維持される。このとき、ピストンポンプ５３の第２連通室５６ｂに第２流路チューブ６２を介して接続された第２空気室３５ａ内は加圧状態になる。そのため、第２変位部３８が蓄圧室３２ａ側に変位して、第２空気室３５ａの容積を増加させる。すると、この第２空気室３５ａの容積増加に伴い、第２変位部３８を介して第２空気室３５ａと隣接する蓄圧室３２ａは逆に容積が減少するため、蓄圧室３２ａ内からインクが下流側に加圧された状態で流出するようになる（流体流出段階）。

次に、ポンプ４３が吐出駆動する場合について、図２（ｂ）に基づいて説明する。
ポンプ４３が吐出駆動する際には、ピストンポンプ５３の駆動に伴い、ピストン５５が第１連通室５６ａの容積が減少する方向に移動し、この第１連通室５６ａに第１流路チューブ６１を介して接続された第１空気室３４ａ内が加圧状態になる。そのため、図４（ｂ）に示すように、第１変位部３７がポンプ室３１ａ側、すなわち、凹部３１の内底面側へ変位して、第１空気室３４ａの容積を増加させる。具体的には、ポンプ４３の第１変位部３７がコイルスプリング４２の付勢力により上死点位置から若干だけ下死点位置の方向に変位する。すると、この第１空気室３４ａの容積増加に伴い、第１変位部３７を介して第１空気室３４ａと隣接するポンプ室３１ａは逆に容積が減少し、インクがポンプ室３１ａ外へ吐出される。そして、ポンプ室３１ａから吐出されたインクの圧力により閉弁状態にあるボール弁３９を開弁作動させ、蓄圧室３２ａがポンプ室３１ａと連通する。その結果、ポンプ室３１ａ内からインクがインク流路１５ｃを介して吐出側バルブ４４の蓄圧室３２ａ内に加圧状態で流入するようになる（流体流入段階）。このとき、ピストンポンプ５３の第２連通室５６ｂに第２流路チューブ６２を介して接続された第２空気室３５ａ内は減圧状態になる。そのため、第２変位部３８が第２空気室３５ａ側に変位して、第２空気室３５ａ内の容積を減少させる。その結果、蓄圧室３２ａ内にはインクが蓄圧状態で貯留される。

その後、記録ヘッド１２からインクがターゲット（図示略）に向けて噴射されると、そのインク噴射に伴うインクの消費量に相当する分量のインクがインク流路１５内から記録ヘッド１２に供給される。そのため、この下流側（記録ヘッド１２側）でのインクの消費に伴い、ポンプ室３１ａ内から対応するインク量のインクが蓄圧室３２ａを経由して加圧状態で供給される。その結果、図５（ａ）に示すように、ポンプ室３１ａ内の容積が次第に減少し、遂には第１変位部３７が下死点位置付近まで変位する。

そして、再びポンプ４３の吸引駆動を開始するためにピストンポンプ５３の駆動に伴い、ピストン５５が第１連通室５６ａの容積が減少する方向に移動し、この第１連通室５６ａに第１流路チューブ６１を介して接続された第１空気室３４ａ内が加圧状態になる。そのため、図５（ｂ）に示すように、第１変位部３７が第１空気室３４ａ側に変位して、ポンプ室３１ａの容積が増加し、インクがポンプ室３１ａ内に吸引される。その一方、ポンプ室３１ａよりも下流側の蓄圧室３２ａでは、蓄圧室３２ａ内の圧力に対してポンプ室３１ａ内の圧力が低下することで、ボール弁３９は閉弁位置に変位する。このとき、第２空気室３５ａ内は再び加圧状態になり、第２変位部３８が蓄圧室３２ａ側に押圧されるのに伴い、ポンプ４３の吸引駆動中も蓄圧室３２ａと連通状態が維持されたインク流路１５ｄを介して下流側の記録ヘッド１２に向けてインクが加圧供給され続ける。以後、上記と同様のポンプ４３の吐出駆動が実行されて、ポンプ室３１ａ内からインクが下流側の蓄圧室３２ａを経由して記録ヘッド１２へと加圧供給される。

上記第２実施形態のインク供給装置１４及びプリンター１１によれば、以下のような効果を得ることができる。
（６）第１空気室３４ａと第２空気室３５ａとに連通するピストンポンプ５３の第１連通室５６ａ及び第２連通室５６ｂのうちの何れか一方の容積を変化させることにより、インク供給装置１４のポンプ４３のポンプ駆動及び吐出側バルブ４４による蓄圧室３２ａ内に貯留されるインクの下流側への加圧供給と上流側からの流入とを行うことができる。

なお、上記各実施形態は以下のような別の実施形態に変更してもよい。
・第１実施形態において、ポンプ４３の吐出駆動時にチューブポンプ４５を逆転駆動させて第１空気室３４ａを加圧すると共に第２空気室３５ａを減圧させて蓄圧室３２ａ内にインクを流入させても良い。この場合には、第１空気室３４ａ内にコイルスプリングを備えなくてもよくなるため、部品点数を削減することができる。

・第１の実施形態において、チューブポンプ４５の代わりにピストンポンプを用いてもよい。
・ボール弁３９は、ポンプ４３側から吐出側バルブ４４へのインクの流れを許容する構成ならば、インク流路１５ｃの途中もしくは上流端に設けてもよい。また、一方向弁は、ボール弁３９の代わりに、他の逆止弁形態の一方向弁のものを用いる構成としてもよい。

・付勢部材としてのコイルスプリング４０，４２は圧縮ばねではなく引っ張りばねを適用してもよい。また、板ばね、コイルスプリング及びゴム等以外の付勢部材を用いてもよい。

・第１空気室３４ａと第２空気室３５ａとに個別に圧力発生装置を接続し、駆動させるようにしてもよい。
・第１変位部３７及び第２変位部３８に圧力変動を伝えるための媒体は空気に限らず、例えばオイルなどの流体を第１変圧室（第１空気室３４ａ）及び第２変圧室（第２空気室３５ａ）に流動させるようにしてもよい。

・上記実施形態では、流体噴射装置をインクジェット式プリンター１１に具体化したが、インク以外の他の流体（例えばトナーなど）を噴射したり吐出したりする流体噴射装置を採用してもよい。微小量の液滴を吐出させる液体噴射ヘッド等を備える各種の液体噴射装置（流体噴射装置の一種）に流用可能である。なお、液滴とは、上記液体噴射装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう液体とは、液体噴射装置が噴射させることができるような材料であればよい。例えば、物質が液相であるときの状態のものであればよく、粘性の高い又は低い液状体、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状態、また物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散又は混合されたものなどを含む。また、液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インク及び油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物を包含するものとする。液体噴射装置の具体例としては、例えば液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルタの製造などに用いられる電極材や色材などの材料を分散又は溶解のかたちで含む液体を噴射する液体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置、捺染装置やマイクロディスペンサ等であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置を採用してもよい。そして、これらのうちいずれか一種の液体噴射装置に本発明を適用することができる。

１１…流体噴射装置としてのプリンター、１２…流体噴射ヘッドとしての記録ヘッド、１３…流体供給源としてのインクカートリッジ、１４…流体供給装置としてのインク供給装置、１５…流体供給流路としてのインク流路、３１ａ…ポンプ室、３２ａ…蓄圧室、３４ａ…第１変圧室としての第１空気室、３５ａ…第２変圧室としての第２空気室、３７…第１変位部、３８…第２変位部、３９…一方向弁としてのボール弁、４２…付勢部材としてのコイルスプリング、４３…ポンプ、４４…流体蓄圧部としての吐出側バルブ、４５…圧力発生装置としてのチューブポンプ、５３…圧力発生装置としてのピストンポンプ、５５…第３変位部としてのピストン、５６ａ…第１連通室、５６ｂ…第２連通室。

Claims (7)

1. 流体供給源側となる上流側から下流側に向けて流体を供給する流体供給流路と、
   該流体供給流路の一部をポンプ室として該ポンプ室の容積を増減させるように変位可能な第１変位部が該第１変位部を介して前記ポンプ室と区画された容積可変の第１変圧室の圧力変化に応じて変位することによりポンプ駆動するポンプと、
   前記流体供給流路における前記ポンプ室よりも下流となる位置に設けられ、上流側から下流側への流体の通過を許容するとともに、下流側から上流側へ流体の通過を抑制する一方向弁と、
   前記流体供給流路における前記ポンプ室よりも下流側の一部を蓄圧室として該蓄圧室の容積を増減させるように変位可能な第２変位部が該第２変位部を介して前記蓄圧室と区画された容積可変の第２変圧室の圧力変化に応じて変位することにより前記蓄圧室に貯留された流体を加圧する流体蓄圧部と、
   前記第１変圧室及び前記第２変圧室の各々に連通して前記第１変圧室及び前記第２変圧室のうち一方の変圧室の容積を増加させるように当該一方の変圧室に作用させる正圧を発生させた場合には他方の変圧室の容積を減少させるように当該他方の変圧室に作用させる負圧を発生させる圧力発生装置と、
   を備えることを特徴とする流体供給装置。
2. 請求項１に記載の流体供給装置において、
   前記ポンプは、前記圧力発生装置からの負圧の作用による前記第１変圧室の減圧に基づき前記第１変位部が前記第１変圧室の容積が減少する方向に変位して前記ポンプ室に前記流体を引き入れる吸引駆動をするとともに、前記圧力発生装置からの正圧の作用による前記第１変圧室の加圧に基づき前記第１変位部が前記第１変圧室の容積が増加する方向に変位して前記ポンプ室から前記流体を吐出する吐出駆動をする一方、
   前記流体蓄圧部は、前記圧力発生装置からの正圧の作用による前記第２変圧室の加圧に基づき前記第２変位部が前記第２変圧室の容積が増加する方向に変位して前記蓄圧室に貯留された流体を加圧するとともに、前記圧力発生装置からの負圧の作用による前記第２変圧室の減圧に基づき前記第２変位部が前記第２変圧室の容積が減少する方向に変位して前記蓄圧室に前記流体を流入させることを特徴とする流体供給装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の流体供給装置において、
   前記圧力発生装置は、前記第１変圧室に連通する第１連通室と前記第２変圧室に連通する第２連通室とを区画しつつ変位可能な第３変位部が、前記第１連通室及び前記第２連通室のうち一方の容積を増加させた場合には他方の容積を減少させるように変位することにより前記第１変圧室及び前記第２変圧室のうち一方の変圧室を加圧すると共に他方の変圧室を減圧することを特徴とする流体供給装置。
4. 請求項１又は請求項２に記載の流体供給装置において、
   前記ポンプは前記第１変位部を前記ポンプ室の容積が減少する方向又は増加する方向に付勢する付勢部材を備えていることを特徴とする流体供給装置。
5. 請求項４に記載の流体供給装置において、
   前記第１変圧室及び前記第２変圧室を大気開放するための大気開放手段を更に備えていることを特徴とする流体供給装置。
6. 流体を噴射する流体噴射ヘッドと、
   流体供給源側から前記流体噴射ヘッド側に向けて前記流体を供給する請求項１〜請求項５のうちのいずれか一項に記載の流体供給装置と、
   を備えたことを特徴とする流体噴射装置。
7. 流体供給源となる上流側から下流側に向けて流体供給流路を介して流体を供給する流体供給方法であって、
   前記流体供給流路の一部を構成するポンプ室の容積を増減させるように変位可能な第１変位部を介して前記ポンプ室と区画された第１変圧室と、前記流体供給流路の一部を構成する蓄圧室の容積を増減させるように変位可能な第２変位部を介して前記蓄圧室と区画された第２変圧室とに連通して、前記第１変圧室及び前記第２変圧室の各々の容積を増減させるように加圧又は減圧する圧力発生装置が前記第１変圧室を減圧して該第１変圧室の容積が減少する方向に前記第１変位部を変位させて前記ポンプ室に前記流体を引き入れるとともに、前記第２変圧室を加圧して該第２変圧室の容積が増加する方向に前記第２変位部を変位させて前記蓄圧室から前記流体を流出させる流体流出段階と、
   前記圧力発生装置が前記第１変圧室を加圧して該第１変圧室の容積を増加する方向に前記第１変位部を変位させて前記ポンプ室から前記流体を吐出させるとともに、前記第２変圧室を減圧して該第２変圧室の容積が減少する方向に前記第２変位部を変位させて前記蓄圧室に前記流体を流入させる流体流入段階と、
   を備えることを特徴とする流体供給方法。

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