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JP2010526381A - ネットワークインターフェースデバイス - Google Patents

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JP2010526381A
JP2010526381A JP2010506670A JP2010506670A JP2010526381A JP 2010526381 A JP2010526381 A JP 2010526381A JP 2010506670 A JP2010506670 A JP 2010506670A JP 2010506670 A JP2010506670 A JP 2010506670A JP 2010526381 A JP2010526381 A JP 2010526381A
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interface device
pump
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computer
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JP2010506670A
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ジョナサン オーウェン ベイル,
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エンテグリース,インコーポレイテッド
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Abstract

製造システムにおけるネットワークインターフェースデバイスは、データベースクエリ言語で、リモートユーザからの通信を受信し得る。ネットワークインターフェースデバイスは、ポンプでサポートされている言語で、コマンドおよびクエリを翻訳または転送し得る。ネットワークインターフェースデバイスは、ポンプでサポートされている言語を使用して、製造プロセスにおいてポンプおよび他の構成要素へコマンドおよびクエリを通信し得る。コマンドまたはクエリの結果は、ネットワークインターフェースデバイスへ返送され得、該デバイスは、情報をデータベースに送信し得る。GUIは、リモートユーザがポンプまたは他の機能の状態をチェックすることを可能にする。

Description

(著作権の告知)
本特許文書の開示内容の一部、含まれる付録には、著作権の請求対象となる資料を含む。本著作権者は、特許商標庁の特許ファイルまたは記録に記載されるように、特許文書または特許開示による複製のいずれに対しても異議を唱えないが、その他全てのあらゆる著作権を留保する。
(関連出願)
本願は、2007年5月4日に出願された米国仮特許出願第60/927,644号、「INTELLIGEN MINI NETWORK INTERFACE」の優先権を主張するものであり、その全内容は、あらゆる意図のために、明示的に参照することによって本明細書に組み込まれる。
本発明は概してインターフェースデバイスに関し、より具体的には、流体構成要素のコンピュータネットワークとのインターフェースを提供し、データベースクエリ言語に従うクエリに対し応答が可能な、ネットワークインターフェースデバイスに関する。
半導体製造技術が進化するにつれ、ポンプの動作および性能を監視するシステムの高機能化も拡大してきた。半導体メーカー等のポンプの顧客からは、顧客の工場オートメーション(FA)システムに、ポンプまたはポンプシステムから詳細情報を得る機能を統合したいという要望が高まっている。既存のアプローチにおいては、各顧客の工場オートメーションシステムは、ポンプ監視のためにPCベースのマン・マシンインターフェース(MMI)ソフトウェアまたはPCプラットフォーム上で実行されるカスタムソフトウェアを実行していることが多いため、こうした統合は手動で行われており、多くの場合非常に単調なプロセスとなっている。
したがって、工場のポンプインターフェースデバイスは、顧客の工場オートメーションシステム上で実行するように特に書かれたカスタムソフトウェアによって修正されることになる。こうしたカスタムソリューションはコスト高、非効率であり、時間のかかるものである。
一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、コンピュータ機器のデバイスである。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、これに接続される流体構成要素の無人の監視および報告を行い、特定のコンピュータおよび/またはソフトウェアを必要としない。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、SQLプラットフォーム上で実行されるスタンドアロンデバイスである。ほとんどの工場オートメーションシステムは情報の処理および記憶にデータベースサーバを利用しているため、データベース言語を使用することで、カスタムまたは特化した顧客ソフトウェアなしでネットワークインターフェースデバイスがデータベースサーバと対話し、データベースクエリに応答することが可能となる。このように、構成要素についての特化した情報を、一般的な方法でアクセスおよび取得できる。
一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、流体制御システムに特定の複数の機能を実行し、クエリ言語で通信するために翻訳可能なソフトウェア命令でコード化された一ハードウェアである。一実施形態では、クエリ言語は、リレーショナルデータベース管理システムからデータを作成、修正および検索するために使用できる。一実施形態では、クエリ言語は構造化照会言語(SQL)である。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、ほぼ全ての顧客データベースまたは工場オートメーションシステムに単純および一貫したインターフェースを提供するために、適切なネットワークソフトウェアと共にSQLを使用する。
本明細書中に開示されるいくつかの実施形態は、通信ポート、コンピュータネットワーク通信ポート、一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリおよび一式のコンピュータ実行可能命令を実行するためのプロセッサを含むネットワークインターフェースデバイスに関し得る。一式のコンピュータ実行可能命令は、1つ以上のポンプ通信ポートを介してネットワークインターフェースデバイスに連結される1つ以上のポンプと通信し、コンピュータネットワーク通信ポートを介してネットワークインターフェースデバイスに連結されるデータベースサーバと通信するように動作し得る。いくつかの実施形態では、1つ以上のポンプコントローラとの対話は、1つ以上のポンプコントローラに接続される1つ以上のポンプについての情報の取得を含む。いくつかの実施形態では、データベースサーバとの対話はデータベースサーバからのクエリへの応答を含む。いくつかの実施形態では、1つ以上のポンプ通信ポートは少なくとも1つのシリアルポートを含む。いくつかの実施形態では、コンピュータネットワーク通信ポートはイーサネット(登録商標)ポートを含む。いくつかの実施形態では、システムはワイヤレスネットワークインターフェースを含む。いくつかの実施形態では、一式の命令はさらに、1つ以上のポンプコントローラへリモートマン・マシンインターフェース(MMI)アクセスを提供するように動作可能である。いくつかの実施形態では、リモートMMIアクセスは、コンピュータネットワーク通信ポートを介してネットワークインターフェースデバイスに連結されるクライアントマシン上で実行されるウェブブラウザアプリケーションによって実行可能である。いくつかの実施形態では、1つ以上のポンプについての情報は、サイクル数、デバイスID、タイムスタンプ、レシピ番号、レシピ量、分注確認スコア、分注プロファイル、またはそれらの組み合わせのうちの1つ以上を含む。いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、ポンプと通信してポンプを構成するように動作可能である。いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、データベースサーバへポンプについての情報をプッシュ配信するように動作可能である。いくつかの実施形態では、一式の命令はさらに、ネットワークインターフェースデバイスに通信可能に連結されるユーザデバイスに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを提供するように動作可能である。いくつかの実施形態では、データベースサーバは工場オートメーションシステムの一部であり、一式の命令はさらに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを工場オートメーションシステムに提供するために動作可能である。いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、構造化照会言語(SQL)でデータベースと対話するように動作可能である。いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、ハイパーテキスト転送プロトコル(HTTP)および動的ホスト構成プロトコル(DHCP)をサポートするように動作可能である。
本明細書中に開示されるいくつかの実施形態は、1つ以上のポンプと通信するための通信ポート、少なくとも1つのネットワーク通信ポート、一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリ、一式のコンピュータ実行可能命令を実行するためのプロセッサを有するネットワークインターフェースデバイスに関し得る。一式のコンピュータ実行可能命令は、1つ以上のポンプと通信可能に連結される1つ以上のポンプコントローラと通信し、リモートユーザによってアクセスされるコンピュータデバイスと通信するように動作可能であり得る。いくつかの実施形態では、コンピュータデバイスとの通信は、コンピュータデバイスへの1つ以上のポンプについての情報の通信を含む。いくつかの実施形態では、1つ以上のポンプコントローラとの通信は、1つ以上のポンプについての情報の取得を含む。
本明細書中に開示されるいくつかの実施形態は、第1のトランスポートプロトコルに従ったリモートコンピューティングデバイスからのコマンドの受信、第2のトランスポートプロトコルに従った1つ以上のポンプコントローラへのコマンドの転送、1つ以上のポンプコントローラによってサポートされるコマンドプロトコルを使った1つ以上のポンプコントローラとの通信、およびネットワークインターフェースデバイスに連結されるデータベースサーバとの通信を含む、方法に関し得る。いくつかの実施形態では、1つ以上のポンプコントローラとの対話は、1つ以上のポンプコントローラに連結される1つ以上のポンプについての情報の取得を含む。いくつかの実施形態では、データベースサーバとの対話は、データベースサーバでサポートされるクエリ言語に従った、1つ以上のポンプコントローラから受信される情報のデータベースサーバへの転送を含む。いくつかの実施形態では、方法はさらに、第1のプロトコルに従ってリモートコンピューティングデバイスから受信したコマンドの、1つ以上のポンプによってサポートされる第2のコマンドプロトコルへの翻訳を含む。いくつかの実施形態では、方法はさらに、リモートコンピュータデバイスへのアラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせの送信を含む。いくつかの実施形態では、クエリ言語は構造化照会言語(SQL)を含む。
いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、ワイヤレスネットワークインターフェースを介してコンピュータデバイスと通信するように動作可能である。いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、コンピュータデバイスへのアラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを提供するように動作可能である。
いくつかの実施形態では、一式のコンピュータ実行可能命令は、クエリ言語を使ってデータベースと通信するように動作可能である。本明細書中に開示されている実施形態は多くの利点を提供できる。例えば、ネットワークインターフェースデバイスは、設定および構成のためのポンプへのリモートアクセス、これをオンサイトで行うための必要性/コストの排除または低減を実現できる。別の例として、ネットワークインターフェースデバイスは、無人のデータ収集および顧客の工場オートメーションデータベースへの提示を提供し、これを手動で行う必要性/コストを排除または低減できる。さらに別の例として、ネットワークインターフェースデバイスは、改良の目的において有益である、ポンプ機能のより容易な診断および可視性を提供できる。
図1は、ネットワークインターフェースデバイスを有するシステムの図を示す。 図2は、ネットワークインターフェースを提供するための方法の実施形態の工程図である。 図3は、ネットワークインターフェースを提供するための方法の実施形態の工程図である。 図4は、ネットワーク設定アプリケーションの一実施形態のスクリーンショットを示す。 図5は、単純なネットワークMMIの一実施形態のスクリーンショットを示す。 図6は、リモートポンプを選択するための一実施形態のスクリーンショットを示す。 図7は、製造システムのためのリモートMMI接続を示すGUIの一実施形態のスクリーンショットを示す。 図8は、リモートポンプの状態スクリーンの一実施形態のスクリーンショットを示す。 図9は、リモートポンプのリアルタイム表示の一実施形態のスクリーンショットを示す。 図10は、インターフェースの一実施形態のハードウェア構成の図を示す。 図11は、一実施形態による、命令を有するソフトウェアコードを含むコンピュータ媒体の図を示す。 図12Aは、データをデータベース言語を使用してデータベースサーバに転送するためのコードを有するファイルの部分を示す。 図12Bは、データをデータベース言語を使用してデータベースサーバに転送するためのコードを有するファイルの部分を示す。
実施形態および種々の特徴ならびにその有利な詳細を、付随の図面に図示され、以下の説明においておよび詳細に説明されている非制限的な実施例を参照して、より完全に説明する。公知の出発材料、加工技術、構成要素および装置の記載は、詳細な開示内容が不必要にも不明確となることのないよう、省略されている。当業者は、しかしながら、発明を実施するための形態および特定の実施例は、好適な実施形態を開示するものである一方で、説明のみを意図して記載されているのであり、制限することを意図して記載されているものではないことを理解されよう。基本的な本発明の概念の範囲内における種々の代用、変更、追加または再構成が、本開示内容を一読後、当業者に明らかであろう。
本明細書中で使用しているように、「含む(comprises、comprising、includes、including)」「有する(has、having)」という用語またはそのいずれかのその他の変形は、非排他的な包含を意味することを意図されている。例えば、要素のリストを含む方法、プロセス、物品、または装置は、必ずしもこれらの要素のみに制限されるとは限らず、明示的にリストされていないまたはこうした方法、プロセス、物品、または装置に固有であるその他の要素を含み得る。さらに、反対に明示的に述べられていない限り、「または(or)」は、包括的な「または(or)」を指し、排他的な「または(or)」を指さない。例えば、状態AまたはBは、Aは真(または存在する)でありBは偽(または存在しない)である、Aは偽(または存在しない)でありBは真(または存在する)である、AおよびBの両方が真(または存在する)である、のいずれのものよっても満たされる。
半導体製造において、種々の流体構成要素を、ウエハへの化学物質の混合物の分注と同様に、化学物質の混合のために使用し得る。構成要素の実施例はポンプ、弁、ヒーター、熱交換器、タンク、フィルタおよびセンサを含み得るが、これに制限されない。Entegris IntelliGen Minifフォトリソグラフィローリングエッジ(rolling edge)ダイヤフラムポンプ等の高性能のポンプを、化学物質を直接混合および分注するために使用可能である(EntegrisおよびIntelliGenはEntegris,Inc.of Chaska,Minnesotaの商標である)。米国特許出願番号第11/051,576号、第11/602,472号、第11/054,467号、第11/229,912号、第10/915,853号、第11/502,048号、第11/659,710号、第11/666,124号、第10/521,697号、第11/292,559号、第11/364,286号、第60/861,856号、第11/365,395号、第11/386,427号、第11/273,091号、第11/602,464号、第11/602,465号、第11/602,485号、第11/602,513号、第11/602,457号、第11/602,507号、第11/602,508号、第11/602,449号、第11/353,294号、第11/502,729号、および第11/452,754号は、ネットワークインターフェースデバイス70が遠隔通信し得るポンプについて記載しており、これらは、本明細書に参照として全てが組み込まれる。例えば、IntelliGen Miniポンプは、混合および分注動作、さらにその他の動作(アイドル時間を含む)についてのデータを提供できる。IntelliGen Miniの場合、ポンプ動作中にデータを収集できる。ポンプから収集できるデータの実施例には、タイムスタンプ、サイクル数、全サイクル数、容積容量、ポンプの収容容積、流入速度、排出速度、最大流入速度、最大排出速度またはポンプコントローラによって提供可能なその他のデータを含む。収集されたデータは、エラー検知、システム性能の分析、プロセスの向上、ポンプ故障の検知およびポンプ保守サイクルの予知等の異なる目的で有用となり得る。
製造システムで通常みられる工場のポンプインターフェースデバイスは、リモートアクセスまたはデータベース能力を有しないか、あるいはアクセスはMMIに制限され得る。半導体製造の場合、製造プロセス中のポンプを遠隔監視できないということは、システムにアクセスする必要がある要員が専用の作業着を着込んでクリーンルームへ入室しなければならないことを意味する。対照的に、本明細書中に開示される実施形態では、ユーザが製造システムのポンプに遠隔アクセスできることを可能にし、これは、クリーンルームのすぐ外から、何千マイルも離れた部屋までであり得る。システムをインターネット等の公衆ネットワークへ接続することによって、その他の建物、部署等からアクセスできる。例えば、ある建物にいる保守要員が、別の建物のポンプに定期的にアクセスし得る。保守要員は、ポンプの保守履歴、ポンプで実行されるサイクル数についての情報、またはその他の情報を判断するためにポンプにアクセスし得る。この情報は、業務の優先順位を決定するために保守要員によって使用され得、保守スタッフが持ってくるべきツールまたはパーツについての情報を提供し得、保守スタッフが作業中のエリア付近のマシンの予防的保守を実行できるように、付近の構成要素の情報を提供し得る。
いくつかの実施形態は、所定のポンプの情報を自動的にデータベースまたは工場オートメーションシステムにプッシュ配信するまたはプル配信することを可能にする。工場オートメーションシステムは製造ロボットのワークフローを監視するためにデータベースを使用し、これによって、リモートユーザが、特別なソフトウェアなしにまたは各顧客のためにサーバを設定することなしに、工場オートメーション(FA)システムとのインターフェースを得ることができる。本明細書中で開示されている実施形態は、顧客の工場オートメーション(FA)と統合し得る。本明細書中に記載されている種々の実施形態はポンプ制御プロトコルに従って、ポンプのためのリモートネットワークインターフェースデバイスを提供し、データベースのクエリプロトコルに従ってデータベースへデータを提供する。これによって、ポンプの無人のポーリングおよびポンプデータのデータベースへの統合が可能になる。データは、ネットワークインターフェースデバイスによって開始されるプッシュ配信またはコマンドに応答するプル配信として、データベースに提供可能である。本明細書中に開示されている実施形態はさらに、研究用アプリケーションまたは特別な顧客アプリケーションで有用であり得るモジュラー開発プラットフォームを提供でき、さらに抽象レイヤを提供でき、これは、ユーザが、再構成の必要なく、半導体製造プロセスに関連するその他の装置、構成要素、およびプロダクトと通信できるようにすることで、業界標準の統合を可能にする。
本明細書中に開示されている実施形態は、ネットワークインターフェースデバイスに一般的なソリューションを提供することで、顧客ソリューションの必要性を排除または低減させる。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイスは、高性能のポンプまたはIntelliGen Miniポンプシステム等のポンプシステムをコンピュータにリンクさせ、これによって、非公開または公衆コンピュータネットワークに常駐するデータベースサーバを介してネットワーク展開できる。ユーザがユーザ名およびパスワードによってネットワークインターフェースデバイスにログインすることを可能にする、ウェブベースのアプリケーションによってアクセスし得る。ユーザは、ポンプの状態をチェックする等のために、ネットワークインターフェースデバイスと直接対話し得、または情報を自動的にデータベースにプッシュ配信またはプル配信できるように、データベースサーバ言語を使用してコマンドを送信し得る。
本発明のシステムおよび方法の実施形態は、図1を参照してより詳細に説明することができ、これは、ネットワーク50に連結され、さらに製造システム100のポンプ75に接続されるポンプ・コンピュータネットワークインターフェースデバイス70の一実施形態を示す。いくつかの実施形態では、デバイス70の他の実施形態はネットワーク50に接続し得る。デバイス70は埋め込みサーバであり得る。ネットワーク50に接続されるリモートユーザ150は、製造システム100に配置されるネットワークインターフェースデバイスにコマンドを送信し得る。リモートユーザ150によって送信されるコマンドは、ポンプ75との直接通信を実現し得る。例えば、リモートユーザ150によって送信されるコマンドは、ポンプ75をオンにし、ポンプ75の状態をリクエストし、ポンプ75をオフにする等し得る。リモートユーザ150によって送信されるコマンドは、各ポンプ75のデータを毎日送信する命令、ポンプ75が所定のプロセスを開始した時を知らせる命令等を含み得る。データベースサーバ155は、製造システム100に関連する情報のデータベースを保守できる。
いくつかの実施形態では、ネットワークインターフェースデバイス70は、流体の流れの特性、温度および構成を制御するために、プロセス中にポンプ75と通信するために使用し得る。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイス70は、IntelliGen Miniポンプシステムまたはその他のポンプシステムおよびプロダクトへのリモートネットワークベースのアクセスを提供するように動作可能である。一実施形態では、ネットワーク50へアクセスできるユーザ150はネットワークインターフェースデバイス70にアクセスでき、ポンプ75について、またはシステム100がどのように動作しているかの特化した情報をリモート位置から取得できる。ネットワークインターフェースデバイス70によって情報を「プッシュ配信」し得、またはネットワークインターフェースデバイス70に連結されるサーバによって「プル配信」し得る。情報には、分注サイクル、サイクル数、ポンプ名またはその他のID、タイムスタンプ、レシピ番号、レシピ量、分注確認スコア、および分注プロファイルのそれぞれについての情報を含み得るが、これに限定されない。アラーム、警告および通知は、ポンプ75からネットワークインターフェースデバイス70へプッシュ配信可能な情報のいくつかの例である。情報は、電子メールまたはインスタントメッセージングを介してユーザ150にプッシュ配信し得る。例えば、ポンプ75が選択した流体量を排出しなかったということを示す情報を、リモートユーザ150へのインスタントメッセージングを介して送信し得る。いくつかの実施形態では、ネットワークインターフェースデバイス70は、第1の通信を介して選択した情報を送信し、その他の選択した情報を第2の通信を介して送信するように構成し得る。情報は、1つ以上のウェブアプリケーションにアクセスするユーザ150によってプル配信し得る。いくつかの実施形態では、リモートユーザ150は、ウェブページを使用し、およびこれをナビゲーションして、ネットワークインターフェースデバイス70にログオンし、これと通信し得る。
動作において、ネットワークインターフェースデバイス70は、ポンプ75によって使用されるコマンドプロトコルに従って、ポンプ75にクエリを実行できる。ある場合には、ネットワークインターフェースデバイス70は、リモートユーザ150またはデータベースサーバ155からネットワーク50を介して通信を受信し得る。通信はコマンドまたはクエリを含み得る。例えば、コマンドはポンプ75から流体を分注する命令を含んでもよく、クエリはポンプ75における流体の量を決定する命令を含み得る。コマンドはポンプ75に関連付けられたプロトコルに従ってサポートし得、またはいくつかのその他のプロトコルに従ってサポートし得る。その他の場合、ネットワークインターフェースデバイス70はポンプ75によって使用されるコマンドプロトコルに従ってポンプ75からデータをリクエストでき、ユーザ150またはデータベースサーバ155へデータをプッシュ配信できる。データをデータベースサーバ155へプッシュ配信する実施例において、ネットワークインターフェースデバイス70は、SQL、.QL、CQL、CODASYL、D、ISBL、OQL、QUELまたはその他のクエリ言語を含むがこれに制限されない、データベースサーバ155によってサポートされるクエリ言語を使用してデータをプッシュ配信するように構成できる。その結果、ネットワークインターフェースデバイス70はポンプ75から自動的にデータを収集し、リモートデータベースに投入できる。
いくつかの実施形態では、リモートユーザ150は、コマンドをポンプ75に直接送信し、ポンプ75から直接応答を受信するために、ネットワークインターフェースデバイス70を使用し得る。図2は、ポンプ75のプロトコルを使用して、ポンプ75と直接通信するために、ネットワークインターフェースデバイス70を使用する方法の一実施形態の工程図を示す。したがって、リモートユーザ150は、ポンププロトコルに従ってコマンドを生成するように動作可能なコンピュータを使用し得る。ステップ210において、ポンプ75に適切なプロトコルを使用するコマンドがリモートユーザ150によって生成され、適切なネットワークプロトコルを使ってネットワークインターフェースデバイス70に送信され得る。インターネットプロトコルバージョン4(IPv4)は、リモートユーザ150からネットワークインターフェースデバイス70へコマンドを送信するために使用し得るネットワークプロトコルの一例である。
ステップ220において、ネットワークインターフェースデバイス70はコマンドを受信し、適切なトランスポートプロトコルを使ってコマンドをポンプ75に転送し得る。したがって、インターネットプロトコルを利用してユーザ150によってコマンドが送信される場合、データは、種々のインターネットプロトコルレイヤから抽出、アンラップ(unwrapped)、または分離され、製造システム100に関連付けられたプロトコルを使用して転送され得る。いくつかの実施形態では、シリアルトランスポートプロトコルを、一実施形態によってコマンドをポンプ75に転送するために使用し得る。いくつかの実施形態では,ネットワークインターフェースデバイス70は、コマンドまたはクエリを、選択した時刻に、ある時間間隔で、選択した回数、またはいくつかのその他の基準で選択したポンプ75に送信し得る。例えば、リモートユーザ150は、プロセスにおいて特定の間隔で情報を受信するためにコマンドを送信し得る。ネットワークインターフェースデバイス70は、MMIコマンドを構築し、プロセスが生じるたびに同時にコマンドを送信し得る。情報は各プロセスと同時に記録されるため、情報は製造プロセスの分析に有用であり得る。同様に、ネットワークインターフェースデバイス70は、システム100において流体を充填、混合、分注または加工するようにポンプ75に通信するために、選択した間隔で一式のコンピュータ実行可能命令を実行するように動作可能であり得る。
ステップ230において、ポンプ75は、コマンドを受信し、コマンドに応答し得る。コマンドはポンプ75の状態の情報のリクエストであり得、ポンプ75はポンプ75の状態の情報を提供することで応答し得る。コマンドはポンプ75をオフにするリクエストであり得、ポンプ75はオフにすることで応答し得る。その他のコマンドは、排出速度、流入速度等のポンプパラメータの変えること、気体通気させること、ポンプ75に取り込まれるかまたはここから排出される量を変えることを含み得る。
図3は、コマンドをポンププロトコルコマンドに翻訳することによって、ポンプ75と直接通信するためにネットワークインターフェースデバイス70を使用する方法の一実施形態を示す。
ステップ310において、第1のプロトコルを使用するコマンドをリモートユーザ150によって生成し、適切なネットワークプロトコルを使ってネットワークインターフェースデバイス70に送信し得る。インターネットプロトコルバージョン4(IPv4)は、コマンドをリモートユーザ150からネットワークインターフェースデバイス70へ送信するために使用し得るネットワークプロトコルの一例である。
ステップ320において、ネットワークインターフェースデバイス70は、コマンドを受信し、ポンプ75の適切なMMIプロトコルにコマンドを翻訳し、適切なトランスポートプロトコルを使ってコマンドをポンプ75に転送し得る。したがって、ユーザ150によって、インターネットプロトコルを使ってコマンドが送信された場合、データは、種々のインターネットプロトコルレイヤから抽出、アンラップ、または分離し得る。データは次いで、ポンプコマンドプロトコルで1つ以上のコマンドを生成し、適切なトランスポートプロトコルを使ってポンプ75に転送するために、ネットワークインターフェースデバイス70によって使用され得る。
ステップ330において、ポンプ75はコマンドを受信し、コマンドに応答し得る。前述のように、コマンドはポンプ75の状態についての情報のリクエストであり得、ポンプ75はポンプ75の状態についての情報を提供することで応答し得る。コマンドはポンプ75をオフにするリクエストであり得、ポンプ75はオフにすることで応答し得る。その他のコマンドは、排出速度、流入速度等のポンプパラメータを変えること、気体通気すること、ポンプ75への吸入または排出量を変えること、データがデータベースサーバ155へ送信される時を設定すること等を含み得る。
図4乃至図9は、グラフィカルユーザインターフェース(「GUI)の実施形態のスクリーンショットを示す。リモートユーザ150は、テキスト、グラフィックアイコン、視覚的なインジケータ、ウィンドウおよびテキストボックスによって、ネットワークインターフェースデバイス70と対話するために、GUIを使用し得る。図4は、動的ホスト構成プロトコル(DHCP)410の選択による等、ユーザが設定を自動的に決定し得る、または、ポート412、IPアドレス414、ネットマスク416、ホスト名418またはゲートウェイ422を指定することによって静的ネットワーク設定420を手動で決定し得る、ネットワークセットアップアプリケーションGUIの一実施形態のスクリーンショットを示す。GUIは、ユーザが、ID(Entegris.com等)424またはコンピュータ認識可能IDにIDをマップ可能な名前サーバ426を検索することを可能にし得る。
図5は、単純なネットワークMMIの一実施形態のスクリーンショットを示す。いくつかの実施形態では、GUIは、テキストを含むメニュー501を有し得る。各テキストは関連付けられたリンクを有し得る。例えば、メニュー501の「バージョン」というテキスト503を選択(すなわち、「クリック」)することにより、対応するGUIがGUIのウィンドウ504に表示される。ウィンドウ504のGUIはテキストボックス512、513、514および515を含み得る、またはその他のドロップダウンボックス、ウィンドウ等(図示せず)を有し得る。図5に示されるように、テキストボックス512は、ユーザがポンプIDまたはハードウェア製造番号を入力することを可能にし、テキストボックス514は、ユーザが電子機器IDまたは電子機器ボード製造番号を指定することを可能にし、テキストボックス516は、ユーザがモデルまたはモデル名を指定することを可能にし、テキストボックス515は、ユーザがバージョンまたはバージョン文字列を指定することを可能にする。その他の名前、番号またはその他のIDも可能である。
図6は、リモートポンプを選択するための一実施形態を示すGUIのスクリーンショットを示す。いくつかの実施形態では、ユーザは、テキストボックス601へのテキスト入力等の情報の手動入力によって、ネットワークインターフェースデバイス70のアドレスを指定し得、または、ネットワークインターフェースデバイス70を配置するためにネットワークをブラウズし得る。いくつかの実施形態では、テキストボックス602のネットワークポート(すなわち、8888)等の情報は、手動で入力し得る。いくつかの実施形態では、GUIは、ドロップダウンボックス603からの通信ポート(すなわち、COM1)の選択のため等、ドロップダウンメニューからの情報の選択を可能にし得る。同様に、アドレスは、ドロップダウンメニュー604から選択し得る。したがって、ポンプは、ネットワークインターフェースデバイス70と通信するためにシステム100に追加され得る。
図7は、システム100の現在のリモートMMIを表示するGUIの一実施形態のスクリーンショットを示す。GUIは、各構成要素720の名前710および接続730を表示し得る。したがって、ユーザは、「Single Stage L」という名前のIntelliGen Miniポンプ720は接続「bil−lifetest:8888/COM3−9」を使用して通信できることがわかる。
図8は、リモートポンプの状態のGUIの一実施形態のスクリーンショットを示す。いくつかの実施形態では、図8のスクリーンショットに示されるもの等のGUIをリモートユーザ150に送信(電子メールによる等)し得、またはユーザ150によってアクセスできるように表示し得る。実施形態は、エラーコード810、テキストボックス820および830を表示し得、ボタン850、ウィジェットまたはユーザがシステム100と通信するためにGUIを直接操作できるようにするその他のグラフィカルな要素を含み得る。エラーコード810は、システムの状態またはシステムの構成要素の素早い視覚的表示を提供し得る。テキストボックス820および830は、システム情報、レシピ情報、性能等に関連する情報を提供し得る。ボタン850は、ユーザがレシピまたはシステム、ポンプ75をプライミングし、リアルタイムの状態を表示し、アラーム等を表示することを可能にし得る。
任意のGUI(「ページ」とも称される)へのアクセスを、システムの望ましくない修正を防止するために制限し得る。その他のページにナビゲートするためにメインページにアクセスし得る。全てのポンプ75のリストおよび各ポンプの状態についての情報を表示するために、メインページにアクセスし得る。
選択したポンプ75の情報を表示するために、ポンプページにアクセスし得る。情報には、名前、ポート/アドレス、状態およびアラーム状態を含み得る。いくつかの実施形態では、ユーザ150は、メインページからポンプ75にアクセスし、ポンプ75をセットアップし、プロセス時のポンプ75を監視し、ポンプ75のパラメータを変更し、ポンプ75を作動させ得る。実施例として、本明細書中に開示されている実施形態によって、ユーザ150は、レシピをプログラムするためにポンプ75を選択し、ポンプ75が動作するシステムおよびポンプ75を表示し、およびプライミングすることが可能になる。
プロセスに関連するプロセスについての情報を伝達するために、レシピページを使用し得る。ユーザ150は、化学物質を各ポンプに取り入れる際、および各化学物質を各ポンプから排出させる際、関連するプロセスについての情報を表示し得、プロセスに関連する各化学物質の量を指定するためにレシピをプログラムし得る。レシピは、その他の化学物質を作成するための化学物質の混合、その他の濃度を作成するための異なる濃度の同一の化学物質の混合、熱を追加するまたは化学物質から熱を抽出するための異なる温度の化学物質の混合、および流体からの気体の放出を含み得る。レシピページは、さらに手動動作を可能にし得、化学物質を分注するためのオプションを含み得る。
システムページは、システムについての情報を通信するためにアクセスし得、システムパラメータについての情報を含み、ユーザ150がコードをリセットし、情報をクリアすること等を可能にするための機能を提供し得る。図9は、リモートポンプのリアルタイム表示の一実施形態のスクリーンショットを示す。図9は、ユーザが、リアルタイムのディスプレイにおいてポンプ動作を確認し、リモート位置からポンプと対話的に通信することを可能にする、コンピュータインターフェース100の一実施形態のスクリーンショットを示す。システムページ201は、増分212によって示される量を有し得る流体213を有するポンプ210を示す。製造プロセスのシステム100に流入する流体は、流入弁240を介してシステム100に流入し得る。図9において、流入口240は、ボックス240の「X」によって閉じた状態に示されている(すなわち、流体はシステム100に流入できない)。流体はポンプ210によって排出し、遮断弁250を通過してフィルタ280に流入し得る。遮断弁250はさらに、「X」で閉じた状態で示されている。フィルタ280は、液面を表示するための別の方法を示す。増分(ポンプ210の増分212等)を使用する代わりに、フィルタ280内の容量を、テキスト286で表し得る(すなわち0.10リットル)。フィルタ280は、名前282、サイクル数284またはいくつかのその他の情報等のその他の情報を有し得る。流体は、フィルタ280から出て、通気弁230またはタンク220へのバリア260のいずれかを通過して流れ出得る。システムページ201に示されているように、通気弁230は閉じられ、バリア260はボックス260内の丸で開いた状態で示されている。ポンプ220の容量は、流体223の液面を増分222の読み取りによって示すことができるように、ポンプ210と同様に示されている。流体は、ポンプ220から流体が排出され、システムページ201では閉じた状態で示されている、流出口270を通じてシステム100から排出され得る。システムページ201は、リモートユーザに有用となり得るその他の情報を示す。準備完了のインジケータ202、エラーインジケータ204および警告インジケータ206は、ユーザにシステム100の状態を告げることができるように、システム100の状態についての情報を提供し得る。いくつかの実施形態では、エラーインジケータ204または警告インジケータ206が作動している場合、さらなる情報を提供し得、これは、ウィンドウ295内のテキストまたはウィンドウ290内のグラフィカル表示を含み得る。システム100は、ユーザが関連する情報を表示できるようにするために、オプション214、216、218または219を提供し得る。オプション214は、ユーザが過去のアラームを表示すること、またはシステム100の履歴を見直すことを可能にし得る。オプション216は、ユーザが分注プロファイルまたはシステム100に関するその他のプロセスをグラフ表示することを可能にし得る。オプション218は、システム100をテストするため等、ユーザがシステム100をナビゲートすることを可能にし得る。オプション219は、ユーザがホームページに戻ることを可能にするか、またはその他の高レベルのオプションにナビゲートすることを可能にし得る。したがって、本明細書中に開示されている実施形態は、リモートユーザ150が状態またはその他の情報のためにシステム100の構成要素と通信することを可能にし得、レシピまたはその他のプロセスをセットアップ、修正または削除するために、またはシステム100の構成要素をテストまたは較正するために、構成要素と通信し得る。
プライミングページはプライミング動作の状態を提供でき、さらに、プライミング動作の修正を可能にし得る。プライミング動作は、プライミングページから開始し得る。
ユーザ50がポンプ75に直接アクセスすることを可能にするのに加えて、ネットワークインターフェースデバイス70は、ユーザ50によってアクセスできるリモートデータベースサーバへ異なる種類のデータをプッシュ配信し得る。種々の種類のデータが、ポンプ75によってネットワークインターフェースデバイス70へプッシュ配信されるデータに含まれ得る。タイムスタンプは、ユーザ50が、情報が記録された時点またはデータベースサーバ155にプッシュ配信された時点を知ることを可能にする任意のデータであり得る。サイクル、名前、イベントコード、イベントテキスト、およびトリガは、ポンプ75についての情報がポーリングされるべき時を示すデータを含み得る。例えば、ユーザは、ポンプ75が0.10リットルより多く排出する場合は常に、ポンプ75の性能についての情報がポーリングされるように、イベントコードを設定し得る。トリガは、既定のデータがネットワークインターフェースデバイス70に送信され得るように、有効化され得る。トリガは、サイクルカウント増分、最近のログイベント増分、パワーアップイベント、リセットイベント、プライミングイベント、警告イベントおよびエラーアラームを含み得るが、これに限定されない。例えば、各分注サイクルにおいて、ネットワークインターフェースデバイス70は、サイクルカウンタの変化を認識し、タイムスタンプ、サイクル数、レシピおよびレシピ量等の情報を得るようにポンプ75に指示し得る。複数のトリガをネットワークインターフェースデバイス70によって提供されるページにおいて確立し得、不揮発性ストレージに記憶し得る。
レシピ、レシピ名、レシピ量、最大分注圧力、DC値、および分注プロファイルという用語は、概して、ポンプ75の性能についての情報を指し得る。例えば、分注プロファイルを、レシピのためにプログラムされたものに対する最大分注圧力と比較することにより、ユーザは、ポンプ75に較正が必要なことを決定し得る。
製造番号、モデル、ファームウェアバージョン、総容量、フィルタ容量、フィルタサイクルおよびプライミングシーケンスという用語は、概してポンプ75についての情報を指し得る。例えば、製造番号および型番は、ポンプ75を、ポンプ75の予想される寿命を推定するためにほぼ同一時期に製造されたその他のポンプとの比較のために使用し得る。
無人モードにおいて、ネットワークインターフェースデバイス70は、ポンプ75の性能についての情報を得るためにポンプ75をポーリングし得る。情報にはタイムスタンプを含み得る。タイムスタンプが変っていない場合、その他の情報は必要でない場合がある。タイムスタンプが変更っている場合、レシピ、ポンプ75がオンであるサイクル等のその他の情報およびレシピ量を、ネットワークインターフェースデバイス70に送信し得る。
ネットワークインターフェースデバイス70は、コマンドを生成するか、またはポンプ75へコマンドを転送し、ポンプ75から情報を取得し、データベースに投入するために適切なクエリ言語に従って情報をフォーマット化し得る。図10は、データベースサーバおよびその他のオプションへデータを転送するためのコードを含む例示的なファイルを示す。本実施形態において、データベースサーバはSQLサーバであり得る。
図10は、ネットワークインターフェースデバイス70の一実施形態のハードウェア構成の概要を示す。ネットワークインターフェースデバイス70は、中央処理装置(「CPU」)112、読み出し専用メモリ(「ROM」)114、ランダムアクセスメモリ(「RAM」)116、およびハードドライブメモリ(「HD」)118を含み得る。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイス100は、フラッシュメモリ等の少なくとも1つの不揮発性メモリ、一式の命令を記憶するため等の読み出し専用メモリ、それらを実行するための少なくとも1つのプロセッサを含む。
ネットワークインターフェースデバイス70は、監視対象のシステムのポンプ75との通信またはネットワーク50とのインターフェースのための1つ以上の通信ポート140を含み得る。ネットワークインターフェースデバイス70は、製造プロセスにおけるポンプまたはその他のデバイスとの通信のための通信ポート140を含み得る。通信ポート140は、RS−232およびRS−422ポートまたはいくつかのその他のシリアルまたはパラレル通信ポートであり得る。通信ポート140はイーサネット(登録商標)インターフェース等のネットワーク通信ポートまたはその他のネットワーク通信ポートにすることができる。一実施形態では、ネットワークインターフェースデバイス70は、パラレルポートまたはユニバーサルシリアルバスポート等のさらなるポート、プロセッサ、またはデータストレージデバイスを含み得る。
本明細書中に開示されている方法の一部は、ROM114、RAM116またはHD118内に常駐し得る、適したソフトウェアコードで実装し得る。命令は、HD118等のデータストレージデバイスに含み得る。図11は、HD118上のデータ処理システム読み取り可能媒体202内で具体化されるソフトウェアコードエレメント204、206、および208の組み合わせを示す。代替として、命令は、DASDアレイ、磁気テープ、フロッピー(登録商標)ディスケット、光ストレージデバイス、またはその他の適切なデータ処理システム読み取り可能媒体またはストレージデバイス上のソフトウェアコードのエレメントとして記憶し得る。
本発明の例示的な実施形態において、コンピュータ実行可能命令は、コンパイルされたC++、Java(登録商標)またはその他の言語コードの文字列であり得る。図12は、データベース言語を使用してデータベースサーバへとデータを転送するためのコードを有するファイルを示す。また、その他のアーキテクチャを使用し得る。例えば、いずれか1つのコンピュータの機能を、図10に示される異なるコンピュータによって実行し得る。加えて、こうしたコードを有するコンピュータプログラムまたはそのソフトウェア構成要素は、2つ以上のコンピュータにおいて2つ以上のデータ処理システムで読み込み可能な媒体に埋め込みし得る。
種々のハードウェア構成において、種々のソフトウェア構成要素は、単一のサーバコンピュータまたは別個のサーバコンピュータの任意の組み合わせで常駐し得る。別の実施形態において、ソフトウェア構成要素のうちのいくつかまたは全ては、同一のサーバコンピュータに常駐し得る。
前述の明細書において、本発明は特定の実施形態を参照して記載されている。しかしながら、当業者は、本発明の精神および範囲から逸脱することなく種々の修正および変更が実行可能であることを理解されよう。従って、付録を含む、明細書および本明細書中に開示される図は、限定的意味ではなく例示の目的と解釈すべきであり、かかる全修正は、本発明の範囲内に含まれることを意図している。
効果、その他の利点および課題の解決法について、特定の実施形態に関し、上に記載した。しかしながら、利点、または問題の解決法、およびいずれかの効果、利点、または解決法をより明確にし得る要素は、いずれかのまたは全ての請求項の決定的、必須、または本質的な特徴または要素として解釈すべきではない。

Claims (24)

  1. ネットワークインターフェースデバイスであって、
    1つ以上のポンプ通信ポートと、
    少なくとも1つのコンピュータネットワーク通信ポートと、
    一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリと、
    該一式のコンピュータ実行可能命令を実行するためのプロセッサであって、
    該一式のコンピュータ実行可能命令は、
    該1つ以上のポンプ通信ポートを介して1つ以上のポンプコントローラでサポートされるコマンドプロトコルを使用して、該ネットワークインターフェースデバイスに連結された該1つ以上のポンプコントローラと通信するように動作可能であり、該1つ以上のポンプコントローラと対話することは、該1つ以上のポンプコントローラに連結された1つ以上のポンプについての情報を取得することを含み、
    該少なくとも1つのコンピュータネットワーク通信ポートを介して該ポンプ・コンピュータネットワークインターフェース装置に連結されたデータベースサーバと通信するように動作可能であり、該データベースサーバと対話することは、該1つ以上のポンプコントローラから受信された情報を該データベースサーバでサポートされるクエリ言語に従って、該データベースサーバに転送することを含む、
    プロセッサと
    を含む、ネットワークインターフェースデバイス。
  2. 前記1つ以上のポンプ通信ポートは少なくとも1つのシリアルポートを含む、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  3. 前記少なくとも1つのコンピュータネットワーク通信ポートは、イーサネット(登録商標)ポートを含む、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  4. ワイヤレスネットワークインターフェースをさらに含む、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  5. 前記一式の命令はさらに、前記1つ以上のポンプコントローラへのリモートアクセスを提供するように動作可能である、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  6. 前記リモートアクセスは、前記少なくとも1つのコンピュータネットワーク通信ポートを介して前記ネットワークインターフェースデバイスに連結される、クライアントマシン上で作動するウェブブラウザアプリケーションを介して取得可能である、請求項5に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  7. 前記1つ以上のポンプについての前記情報は、サイクル数、デバイス識別子、タイムスタンプ、レシピ番号、レシピ量、分注確認スコア、分注プロファイル、またはそれらの組み合わせのうちの1つ以上を含む、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  8. 前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記1つ以上のポンプコントローラと通信して前記1つ以上のポンプコントローラを構成するように動作可能である、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  9. 前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記1つ以上のポンプについての前記情報を前記データベースサーバへプッシュ配信するように動作可能である、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  10. 前記ネットワークインターフェースデバイスはさらに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、前記ネットワークインターフェースデバイスと通信可能に連結されるユーザデバイスに提供するように動作可能である、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  11. 前記データベースサーバは、工場オートメーションシステムの一部であり、前記ネットワークインターフェースデバイスはさらに、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、該工場オートメーションシステムに提供するように動作可能である、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  12. 前記ネットワークインターフェースデバイスは、構造化照会言語(SQL)で前記データベースサーバと対話するように動作可能である、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  13. 前記ネットワークインターフェースデバイスは、ハイパーテキスト転送プロトコル(HTTP)および動的ホスト構成プロトコル(DHCP)をサポートするように動作可能である、請求項1に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  14. ネットワークインターフェースデバイスであって、
    1つ以上のポンプと通信するための複数のポートと、
    少なくとも1つのネットワーク通信ポートと、
    一式のコンピュータ実行可能命令を記憶するための不揮発性コンピュータメモリと、
    該一式の命令を実行するためのプロセッサであって、
    該一式のコンピュータ実行可能命令は、
    該1つ以上のポンプでサポートされるコマンドプロトコルを使用して、該1つ以上のポンプに連結される1つ以上のポンプコントローラと通信するように動作可能であり、該1つ以上のポンプコントローラと通信することは、該1つ以上のポンプについての情報を取得することを含み、
    リモートコンピューティングデバイスと通信するように動作可能であり、該コンピュータデバイスと通信することは、該1つ以上のポンプについての該情報を該リモートコンピュータデバイスへ通信することを含む、
    プロセッサと
    を含む、ネットワークインターフェースデバイス。
  15. 前記ネットワークインターフェースデバイスは、ワイヤレスネットワークインターフェースを介してリモートコンピュータデバイスと通信するように動作可能である、請求項14に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  16. 前記ネットワークインターフェースデバイスは、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを、前記リモートコンピュータデバイスに提供するように動作可能である、請求項14に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  17. 前記ネットワークインターフェースデバイスは、構造化照会言語(SQL)でデータベースサーバと通信するように動作可能である、請求項14に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  18. 前記ネットワークインターフェースデバイスは、前記リモートコンピューティングデバイスにおいてウェブブラウザと協働して作用し、前記1つ以上のポンプを制御するためのグラフィカルユーザインターフェースを提供するように動作可能である、請求項14に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  19. 前記ネットワークインターフェースデバイスは、第1のトランスポートプロトコルに従って前記リモートコンピューティングデバイスからコマンドを受信し、第2のトランスポートプロトコルに従って前記1つ以上のポンプへ該コマンドを転送するように動作可能である、請求項14に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  20. 前記ネットワークインターフェースデバイスは、第1のトランスポートプロトコルから前記1つ以上のポンプでサポートされる第2のコマンドプロトコルへと前記コマンドを翻訳するように動作可能である、請求項19に記載のネットワークインターフェースデバイス。
  21. 第1のトランスポートプロトコルに従ってリモートコンピューティングデバイスからコマンドを受信することと、
    第2のトランスポートプロトコルに従って1つ以上のポンプコントローラへ該コマンドを転送することと、
    該1つ以上のポンプコントローラでサポートされるコマンドプロトコルを使用して該1つ以上のポンプコントローラと通信することであって、該1つ以上のポンプコントローラと対話することは、該1つ以上のポンプコントローラに接続される1つ以上のポンプについての情報を取得することを含む、ことと、
    該ネットワークインターフェースデバイスに連結されるデータベースサーバと通信することであって、該データベースサーバと対話することは、該1つ以上のポンプコントローラからの受信情報を該データベースサーバでサポートされるクエリ言語に従って該データベースサーバへ転送することを含む、ことと
    を含む、方法。
  22. 前記第1のプロトコルに従って前記リモートコンピューティングデバイスから受信された前記コマンドを、前記1つ以上のポンプでサポートされる前記第2のコマンドプロトコルへ翻訳することをさらに含む、請求項21に記載の方法。
  23. 前記リモートコンピュータデバイスへ、アラーム、エラーメッセージ、通知、またはそれらの組み合わせを送信することをさらに含む、請求項21に記載の方法。
  24. 前記クエリ言語は、構造化照会言語(SQL)を含む、請求項21に記載の方法。
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