JP2010525344A - 排気管内のシート抵抗 - Google Patents

Abstract

本発明は、排気管又は排ガス再循環パイプ内のシート抵抗（チップ）の配置に関する。この場合、シート抵抗は支持体に固定されており、この支持体は、遮蔽部又はケーシングに対してシールされており、この遮蔽部又はケーシングは、排気管又は排ガス再循環パイプに気密に結合されており、支持体と遮蔽部又はケーシングとは、排気管又は排ガス再循環パイプの半径方向外方で、排気管又は排ガス再循環パイプから間隔を保って互いにシールされている。

Description

本発明は、熱い流体が貫流する導管特に排気管内の、特に風速計又は煤センサ又は温度センサのためのシート抵抗（Chip;チップ）を有する装置、並びに熱い流体を測定するための、シート抵抗を有する測定装置、及びホットフィルム風速計を有する排ガス再循環装置に関する。このような形式のシート抵抗は、Heraeus-Broschuere PTM-W2（ヘロイス−パンフレットＰＴＭ−Ｗ２）に従って市販されている。

ドイツ連邦共和国特許第１０２６０８９６号明細書によれば、測風学的な測定のための、排気管内に突入するシート抵抗（チップ）について開示されている。

ドイツ連邦共和国特許第１９９５９８５４号明細書によれば、排気管内に突入し、この排気管に結合された支持体に固定されているシート抵抗（チップ）について開示されている。ドイツ連邦共和国特許第１９９５９８５４号明細書には、排ガス再循環装置について記載されており、この排ガス再循環装置においては、流入する空気が、測風学的原理に従って質量流量計によって測定され、排ガス量を測定するために、排気管内に水冷式の第２の質量流量計が配置されている。

流量センサの測風学的な測定原理は、ドイツ連邦共和国特許第１９５０６２３１号明細書により公知である。

ドイツ連邦共和国特許第１０３０５６９４号明細書には、チップ部分が薄い金属シートより製作されている、排ガス測定のための質量流量計が開示されている。これらのセンサは、故障し易く、場合によっては再現可能な結果を提供できない。

ドイツ連邦共和国特許第１０２００６０５８４２５号明細書に開示されたホットフィルム風速計においては、熱測定及び温度測定エレメントが、セラミック円板又は金属円板内に配置されている。

本発明の課題は、費用、材料及び大量生産のためのコストに関連して適した、セラミックチップと排気管との間の温度変化に耐えられる結合部を提供することである。センサ制御式の排ガス再循環の故障し易さは減少され、しかもセンサの感度は最大にされなければならない。

この課題を解決した本発明によれば、シート抵抗（チップ）の支持体が排気管又は排ガス再循環パイプの外で、遮蔽部又はケーシングに対してシールされている。

これによって、特に排ガス再循環パイプとケーシングに対する支持体のシールとの間において、支持体が排気管の外側で金属製のケーシングに固定された配置構成が可能である。

また本発明によれば、シールを、排気管、特に排ガス再循環パイプ内で支持体に対して間隔を保って配置することができる。

前記課題の解決策は、独立請求項に記載されている。有利な実施態様は従属請求項に記載されている。

有利な実施態様によれば、シート抵抗のための電流ブッシングが排気管内で媒体に対してシールされていて、排ガス再循環パイプ及び排気管に対して電気的に絶縁されている。このために、シート抵抗を固定用はんだ液滴の領域内でセラミック製の支持体に対してシールすれば特に有利である。何故ならば、それによって接続ワイヤが排ガスに対して分離され、接続ワイヤの領域内での排ガスによる測定エラーが排除されるからである。測定エラーの問題は特に、絶縁損失が発生するか又は、堆積物或いは湿気によって並列抵抗が発生する、という点にある。

シート抵抗（チップ）特に風速計のシート抵抗が、熱い流体を有する管、特に排気管又は排ガス再循環パイプ内に配置されており、この場合、シート抵抗（チップ）が支持体、特に中空体内に固定されており、該中空体が、遮蔽部又はケーシングに対してシールされており、前記遮蔽部又はケーシングが排気管又は排ガス再循環パイプに気密に結合されている構成において、本発明によれば支持外が、排気管又は排ガス再循環パイプの外側で、前記遮蔽部又はケーシングに対してシールされている。

特に、測定装置が、シート抵抗、支持体、遮蔽部並びに、支持体と遮蔽部との間にシールを有している。

これによって、シート抵抗（チップ）が支持体内に固定されていて、該支持体が金属管外側で金属製のケーシングに対してシールされていて、本発明に従って、金属製のケーシングが、排気管又は排ガス再循環パイプに気密に結合されていれば、シート抵抗（チップ）によって、金属管内の５００℃以上の熱い流体の測定が可能である。

シート抵抗と、支持体特に中空体と、遮蔽部又は金属製のケーシングとを有し、前記中空体内でシート抵抗が機械的に固定され、前記遮蔽部又は金属製のケーシングが支持体に対してシールされている、熱い流体内での測定に適した測定装置が、本発明に従って支持体の長手方向に配置された、シート抵抗のための電気的な引き込み部を有しており、この場合、シート抵抗が主に、支持体の長手方向に沿って、（遮蔽部又はケーシングに対して支持体をシールする）シールに対して間隔を保って配置されている。本発明によれば、支持体をケーシングに対して間隔を保つために使用されるスペーサホルダは、もはや気密である必要はない。本発明によれば、温度負荷に基づくシール性のための高価な費用は節約される。引き込み部は、シート抵抗の接続ワイヤ及び場合によって付加的な延長部より成っている。本発明は、接続ワイヤの代わりに接続面を有するシート抵抗も対象としている。この場合、引き込み部は、シート抵抗の構成部分ではない。

有利な実施例によれば、
・中空体の開口内にシート抵抗が固定されており、
・中空体が金属製のケーシング内に固定されており、
・支持体が、シート抵抗とは反対側の端部で、金属製のケーシングに対してシールされており、
・金属製のケーシングが、支持体、特にセラミック製の多孔毛管に対して間隔を保っており、特に、遮蔽部が排気管又は排ガス再循環パイプ内で支持体に対して間隔を保っている。

・金属製のケーシングが、シート抵抗の側で単数又は複数のシート抵抗のためのブッシングを除いて、支持体、特にセラミック製の多孔毛管を包囲しており、
・支持体、特にセラミック製の多孔毛管は、シート抵抗とシールとの間の領域で金属製のケーシングに固定されており、
・測定装置が、２つの支持体、特にセラミック製の多孔毛管を有していて、該多孔毛管内にそれぞれ１つのシート抵抗が固定されており、
シート抵抗がブッシングの領域内で気密に支持体に対してシールされており、
・支持体及びシート抵抗は、シール箇所で、互いに膨張率が合わせられている材料より成っている。

簡単な実施例によれば、支持体は管として構成されている。

有利な測定装置は、シート抵抗を有する、流れセンサの測風学的な測定装置であって、この場合、本発明によれば、２つのシート抵抗がそれぞれ１つの管内に固定されており、この管は、セラミック薄片の熱膨張率及び、このセラミック薄片を支持する管の熱膨張率が、最大で±２．５×１０^-6／Ｋだけ異なっているように、膨張率が合わせられている。膨張率の合わせられた材料は、無機材料例えばガラスによるシールを可能にする。膨張率が合わせられていない材料のために、ガラスは、非常に僅かな弾性を有していて、公知の弾性的なシール材料は、非常に僅かな耐熱性を有している。

特に排ガス再循環パイプ内で、測風学的な測定を実施するための方法において、本発明によれば、測風学的な測定が排ガス再循環パイプ内のシート抵抗によって実施され、この場合、シート抵抗の支持体は、排気管内を通ってガイドされ、その排気管の外亜ぐぁに位置する側が、金属製のケーシングに対してシールされる。

特に排ガス再循環パイプ内での測風学的な測定のための、測定装置が排ガス再循環パイプ内の測定装置の配置されている構成において、本発明によれば、測風学的な測定が、排ガス再循環パイプ内でシート抵抗によって実施され、この場合、シート抵抗の支持体は排気管を通ってガイドされ、その排気管の外側に位置する側が金属製のケーシングに対してシールされる。

ヒータを有し、場合によってさらに１つ又は２つの測定抵抗を有し、また場合によっては付加的な１つの測定抵抗を有し、この付加的な測定抵抗が場合によってはさらに１つの加熱抵抗を有している、測風学的な測定装置を製造するための方法において、ヒータとして構成されたシート抵抗を中空体内に固定し、この中空体の膨張率を、前記シート抵抗の膨張率に対して、２．５×１０^-6／Ｋを越えない程度、特に最大で１×１０^-6／Ｋだけ異なるようにした。この場合、本発明によれば、中空体は、固定部を除いて、金属製のケーシングに対して間隔が維持されるように、金属製のケーシング内に固定される。有利な形式で、中空体は付加的に、金属ケーシングに対して、シート抵抗とは反対側の、管の端部においてシールされる。

測定装置特に測風学的な測定装置を製造するために、本発明によれば、シート抵抗が固定されている中空体が、そのシート抵抗とは反対側の端部に設けられた有機的なシール材料によって金属製のケーシングに対してシールされる。

中空体内に固定されたシート抵抗を有し、かつ前記中空体が金属製のケーシング内に固定されていて、この金属製のケーシングに対して間隔を保っている、排気管又は排ガス再循環パイプ内に突入する測定装置を製造するために、本発明によれば、中空体の前記固定部が、排気管の外側で金属ケーシングに配置されている。

金属製のケーシングを、熱い排ガスに対して測定装置を断熱するために使用するために、金属製のケーシングは中空体に対して間隔を保って配置されており、前記中空体はその排気管内に突入する端部がシート抵抗を支持している。中空体は有利には、熱い排ガスが通る管の外側で、金属ケーシングに固定されている。

本発明による測定装置は、測風学的な測定装置として又は煤センサとして又は温度センサとして使用するために適している。

配置構成又は測定装置毎に、複数のシート抵抗を支持体内に配置するか、又は複数のシート抵抗のために複数の支持体を、例えば加熱エレメントとしての及び温度センサとしてのその他のシート抵抗を有する測風学的な測定装置内に配置することができる。加熱エレメントを有するチップは、有利な形式で、付加的に１つの特に２つの測定抵抗を有しており、これらの測定抵抗によって、ガス流の方向を検出することができる。また温度センサは有利には、自由燃焼のためのヒータを有している。

質量流量の測定は、本発明の実施例によれば、水によって冷却される領域内でも、水によって冷却される領域の後ろでも行われない。このような構成のために、ホットフィルム風速計が、冷却装置の前に配置されるか、又は空気によって冷却される冷却装置内に配置される。

本発明によればもはや、吸い込まれた空気の流量を測定する必要はない。

自動車内燃機関の算出されたパラメータによって、低い環境汚染及び効率に関連したエンジン作動の最適化が得られ、この場合パラメータは非常に簡単な形式で算出される。

内燃機関から排出される排ガスはホットフィルム風速計に供給され、この場合、算出された、再循環された排ガスの流量及び場合によって吸い込まれた空気の流量から、実際値信号（Ｘ，Ｘ１，Ｘ２）が形成され、内燃機関の最適な作業自転のための目標値信号（Ｗ）と比較され、実際値信号と目標値信号との偏差が調節信号を生ぜしめ、この調節信号が調節部材によって排ガス再循環に作用するようになっている。

調節信号（Ｙ，Ｙ１）によって、少なくとも１つの調節部材が排ガス再循環を制御する。この調節部材は、有利な形式で制御可能な弁として構成されている。

方法の有利な実施態様によれば、目標値信号（Ｗ）は、出力プリセット信号（例えばアクセルペダル）及び内燃機関の少なくとも１つのパラメータから導き出される。パラメータとして、排ガス温度又は回転数並びに再循環された排ガスの量から形成される信号が用いられる。この場合、内燃機関パラメータとしての少なくとも１つの信号と基準値信号との差が比較され、この場合、所定の差を上回ると、調節信号（Ｙ，Ｙ１，Ｙ２）を発信する。

調節信号Ｙ，Ｙ１が、有利な形式で制御可能な弁によって、直接排ガス再循環に作用するのに対して、調節信号Ｙ２は、内燃機関のインレット領域（このインレット領域内に、流入する空気と部分的に再循環された排ガスとから成る混合気が流入する）に設けられた調節部材に作用する。

本発明の方法の実施態様によれば、ホットフィルム風速計内に、一定の温度を維持する２つの加熱抵抗が、排ガスの質量流を測定するために相前後して配置されており、この場合、２つの加熱抵抗にそれぞれ調節可能な電流（ｌ_１，ｌ_２）が供給され、この電流（ｌ_１，ｌ_２）の強さから質量流及びその方向のための信号が形成される。

さらにまた、方法の実施態様によれば、脈動する少なくとも１つの電流ｌ_１，ｌ_２から電流振幅の+１と−１とを交互に乗算し、次いで差を形成することによって、質量流の流れを算出する。

車両内燃機関の出口領域から空気入口領域（この空気入口領域において調整器によって調節可能な排ガスと流入する空気との混合気が内燃機関に供給可能である）への、（部分的な）排ガス再循環のための装置において、本発明に従って、再循環される排ガス及び空気の質量を検出するために、ホットフィルム風速計が排ガス再循環パイプ内で冷却装置の前に、又は空気冷却される冷却器内に配置されている。

出口領域は、調節部材としての制御可能な弁及びホットフィルム風速計を有する排ガス再循環のための流れ管路を介して、内燃機関の入口領域に接続されている。

これによって、燃料量を、空気貫流率に関連して出力プリセット信号を考慮しながら調節することができる。

本発明による装置の有利な第１実施態様によれば、ホットフィルム風速計が少なくとも１つの測定抵抗と、少なくとも１つの加熱抵抗とを有しており、この場合、抵抗はそれぞれマイクロシステム技術によって構成されている。有利な形式で、抵抗は、白金若しくは白金族金属とから成る測定技術的なベース部上に薄膜層又は厚膜層エレメントとして構成されている。

単数又は複数の加熱抵抗は、５００℃乃至７５０℃の温度範囲内で駆動するために設けられている。

短い応答時間の測定抵抗及び迅速なマイクロヒータを有する測定電流センサは、例えばヨーロッパ特許公開第２９６４２３０号明細書により公知である。

本発明の第２の有利な実施態様によれば、ホットフィルム風速計が、規定された固定の超過温度例えば４５０℃及び５５０℃で駆動される、少なくとも２つの迅速なマイクロヒータ若しくは加熱抵抗を有している。これらの温度は、付着した煤が熱分解によって常に燃焼され、それによってマイクロヒータがクリーンに維持されるように選定されている。迅速は調整エレクトロニクスがヒータに電流を供給し、それによってヒータの温度は一定に維持される。熱流は、質量流からもまた質量温度からも推量できる。厚膜技術でも薄膜技術でも製造される白金加熱エレメントを使用することによって、規定された抵抗・温度特性曲線を利用して白金加熱温度の５００℃〜７５０℃を調節することができる。

第２の実施態様（第２の加熱抵抗）の主要な利点は、加熱抵抗は事実上煤けることがないので、常に最適な測定特性で駆動される、という点にある。

加熱抵抗若しくは測定抵抗は、有利な形式でプレート状のダイヤフラム（有利な形式で電気的な絶縁され、かつ耐熱性である材料例えばセラミックより成る）上に設けられた少なくとも２つの導体路に形成されている。

本発明の実施態様によれば、ホットフィルム風速計は大量生産に適した配置を有していて、大量生産に適した、排ガス再循環のため使用される。このホットフィルム風速計は、ドリフト（偏流）に抗して働く、特にセルフクリーニング式のホットフィルム風速計又は、強い汚れ例えば排ガスにさらすことができる、安定的に機能する流れセンサエレメントである。

本発明のために重要な実施態様によれば、加熱器で熱することによって温度測定エレメントがセルフクリーニングされる。特にこの加熱器は、温度測定エレメントのチップ側に組み込まれている。有利な実施例によれば、少なくとも２つの白金−薄膜抵抗がセラミック製の支持体薄片上に配置されている。これによって、汚れを熱するか又は焼くために温度測定エレメントを加熱することができる。

特に、温度測定エレメントの２つの抵抗は、セラミックの支持体、有利には中実なセラミック薄片上に配置されている。

複数部分より成るセラミック構成部分のセラミック製の構成部材として、有利な形式で積層体として既に構成された支持体部分の他に、温度測定エレメント及び加熱エレメントが考慮される。特に有利には、支持体部分がカバーとして構成されているか、又は中空体の面若しくは側として、特に端面側として構成されている。セラミック製の支持体の代わりに、抵抗を、選択的な支持体上のセラミック製のベース部上に配置してもよい。

温度測定エレメントが、２つの長い縁部及び２つの短い縁部を備えた長方形のセラミック製の支持体薄片を有していて、該セラミック製の支持体薄片が、セラミックシート積層体のセラミックシート間の狭い縁部のうちの一方の領域内に、又はセラミック構成部分の少なくとも２つの部分間に配置されていれば、有利である。

同様に有利には、少なくとも１つの加熱エレメントが、２つの長い縁部及び２つの狭い縁部を備えた長方形のセラミック製に支持体薄片を有しており、該セラミック製の支持体薄片が、セラミックシート積層体のセラミックシート間の狭い縁部の少なくとも一歩婦の領域内に、又はセラミック構成部分の少なくとも２つの部分間に配置されていれば、有利である。

特に有利には、温度測定エレメント又は少なくとも１つの加熱エレメントが、２つの長い縁部及び２つの狭い縁部を備えた長方形のセラミック製の支持体薄片を有しており、この場合、前記セラミック製の支持体薄片が、カバー又は中空体端面側の開口内に配置されている。

この場合、白金−薄膜抵抗は、有利な形式で、セラミックシート積層体又はセラミック構成部分とは反対側の、支持体薄片の端部に配置されており、それによって、熱に鈍感な（熱に対して強い）セラミックシート積層体又はセラミック構成部分に基づいて白金−薄膜抵抗に対する熱的な影響を小さくすることができる。

温度測定エレメントと加熱エレメントとが互いに影響し合わないようにするために、加熱エレメントの白金−薄膜抵抗が、セラミックシート積層体又はセラミック構成部分に対して、温度測愛知エレメントの白金−薄膜抵抗よりも遠くに配置されていれば、有利である。これによって、加熱エレメントの白金−薄膜抵抗は、温度測定エレメントの白金−薄膜抵抗と同じ測定媒体の流れ内には配置されない。

本発明によれば、特に測風学的な測定装置も提供される。この測定装置においては、抵抗は、カバー又は中空体に形成された単数又は複数の開口内に固定されており、この場合、２つの抵抗が、１乃至３単位まで異なっている。

１乃至３単位だけ大きい抵抗は、温度測定抵抗として適しており、以下では温度測定抵抗と称呼する。温度測定抵抗に対して１乃至３単位だけ小さい抵抗は、加熱手段（ヒータ）として適している。このような加熱抵抗は、本発明の枠内で種々異なる機能を有している。

１．温度センサの構成部分としての、温度センサのセルフクリーニングのための加熱抵抗、
２．測風学的な原理に基づいて質量流を測定するための加熱出力センサとしての加熱抵抗、
２つの加熱器を備えた加熱出力センサは、質量流の流れ方向を規定することができる。付加的な温度抵抗を備えた加熱出力センサは、加熱出力センサの正確な温度調節を行う。この場合、本発明は、白金を用いて厚膜層又は薄膜層として構成された、特に白金−薄膜層として構成されたシート抵抗である。シート抵抗は基板上、特にセラミック製のベース部上に配置されている。セラミック製のベース部を支持体として構成するか、又は金属薄片等の支持体上に配置することができる。慣用語として、支持体材料上に施されたシート抵抗も同様にシート抵抗と称呼されるので、シート抵抗において、狭い意味で、純粋な抵抗シートと支持体材料を含むシート抵抗との間に表現上の違いはない。カバー又は中空体の開口内に差し込まれたシート抵抗は基板を有しており、この基板上に薄膜層又は圧膜層が抵抗シートして配置されている。

有利な実施態様によれば、複数のシート抵抗が、狭い意味でセラミック製のベース部上に配置されている。また広い意味で、複数の種々異なるシート抵抗が、相並んでカバー又は中空体の１つの開口内に配置されるか又はそれぞれ１つの開口内に別個に配置される。有利な形式で加熱出力センサ及び温度センサが互いに間隔を保って配置されている。１つの加熱出力センサの２つの加熱器が、流れ方向で相前後して位置するように、相前後して配置されている。有利な形式で、２つの加熱器を備えた複数の加熱出力センサが１つの共通のベース部上に構成されているか、又は複数の加熱出力センサが相前後して配置された２つの同一のチップを備えて構成されている。

カバー又は中空体の複数の開口は、有利な形式で複数のスリット又は孔である。

カバーは、管を気密に閉鎖するために設けられている。カバーが金属より成っていれば、カバーは金属管と溶接される。広い意味で、シート抵抗はカバーの単数又は複数の開口内にガイドされ、カバーのこれらの開口内で固定されている。中空体は、シート抵抗の接続部を受容するために用いられ、これらのシート抵抗の感応部分が単数又は複数の開口を通って中空体から突き出している。

本発明の重要な実施態様によれば、厚膜又は薄膜で形成された抵抗は、排気管内に大量生産で組み付けられるセンサエレメントに簡単に組み込むことができる。カバー又は中空体内にシート抵抗を差し込む、本発明による解決策は、抵抗の支持体材料でもまた排気管の材料でも、カバー又は中空体を簡単にシールすることができる。

本発明によれば、シート抵抗がカバー又は中空体のベース面に垂直に構成することができる。これによって、プレートに対して平行な構成と比較して製造技術的な利点が得られる。この場合、本発明は垂直な構成に限定されるものではなく、カバー若しくは中空体の表面に対して任意の角度でもよい。本発明の重要な利点は、角度の垂直な成分が、本発明に従って構成可能である、という点にある。従って、本発明の利点は、６０°乃至９０°の角度特に８０°乃至９０°において得られる。

有利な実施態様によれば、
・中空体の端面側が開放していて、特に一方側が閉じた管として構成されており、
・カバーがディスク（円板）として構成されており、
・少なくとも２つのシート抵抗を受容するための開口の底面が、カバー底面又は対応する中空体底面よりも、少なくとも１単位だけ小さくなっており、
・カバー又は中空体が、シート抵抗を受容するための２つの開口を有しており、
・カバーがセラミック材料より成っており、
・セラミック製の支持体材料上に支持されたシート抵抗が、セラミック製のカバーの開口内、特にセラミック円板の開口内にガラスはんだによって固定されており、
・セラミック製の基板上に支持されたシート抵抗が、金属カバー又は中空体の少なくとも１つの開口内、特に金属管に溶接された金属円板の少なくとも１つの開口内に注型又はガラスによって固定されており、
・温度測定エレメントの２つの抵抗が一平面に位置しており、
・より小さい抵抗（ヒータ２０２ｄ）がより大きい抵抗（温度測定のための抵抗２０２ａ）を取り囲んでいる。

本発明による測定装置は、流れセンサ又は煤センサのために適している。

ホットフィルム風速計は、測風学的な原理に従って加熱出力抵抗及び温度センサによって駆動される。本発明によれば、温度センサは測風学的な測定装置の一部として別の加熱器を備えている。これによって、温度センサの洗浄は、ヒータで加熱することによって可能である。測風学的な測定装置において、温度センサ、及びこの温度センサのヒータとは別の加熱出力センサを分離し、有利な形式で互いに間隔を置き、特にカバー又は中空体の別個の開口内に差し込むようにすることは、有利であることが実証されている。温度センサは、ヒータより著しく高い抵抗、典型的には３単位までの高い抵抗を有している。温度センサによって、質量流の規定に作用する排ガス温度の影響を修正することができる。

場合によって加熱出力センサに配置された温度測定抵抗（この温度測定抵抗によって加熱器の温度が特に正確に調節可能である）は、温度センサとは異なっている。完成された温度測定抵抗は、温度センサとは異なり、流体温度を測定するために設けられているものではない。何故ならば温度測定抵抗は、加熱出力センサの運転中における加熱出力センサの温度制御のためにだけ適しているからである。

加熱出力センサ及び温度センサは２つとも、有利な形式でそれぞれ１つの加熱器と１つの温度測定抵抗とを有している。加熱出力センサと温度センサとが同じ構造であれば、その機能的な決定は電気的に行われる。

白金−薄膜抵抗の支持体は薄い薄片（Plaettchen）として構成されているので、システムの熱的な鈍感さはできるだけ小さく、ひいては白金・薄膜抵抗の高い応答速度が得られる。セラミック複合体を形成するために、焼結された複数のセラミックシートが使用される。これらのセラミックシートは有利な形式でガラスはんだによって接着される。ホットフィルム風速計を構成するために使用される材料は、有利な形式で−４０℃乃至＋８００℃の範囲内の温度にさらされる。

セラミック支持体薄片が、１００μｍ乃至６５０μｍの範囲の厚さ、特に１５０μｍ乃至４００μｍの範囲の厚さを有していれば、特に有利である。セラミック製の支持体薄片のための材料として、特に少なくとも９６重量％有利には９９重量％以上のＡｌ_２Ｏ_３が有利であることが実証されている。

白金−薄膜抵抗がそれぞれ０．５μｍ乃至２μｍの範囲の厚さを有していれば、有利であることが実証されている。加熱抵抗は、有利な形式で１乃至５０オーム（Ｏｈｍ）であって、構成部分が小さくなるにつれて低い値になる。本発明の実施例による構成部分の寸法においては、１００乃至２０００オームが有利である。温度チップにおける温度測定抵抗は、加熱抵抗の数倍大きい。特にこの抵抗の大きさの差は、１乃至２単位である。

白金−薄膜抵抗を、測定媒体による侵食作用に対して保護するために、白金−薄膜抵抗をそれぞれ不動態化層でカバーすれば有利であることが実証された。この場合、不動態化層は、有利には１０μｍ乃至３０μｍの範囲、特に１５μ乃至２０μｍの範囲の厚さを有している。特に有利には、不動態化層は、少なくとも２つの異なる個別層、特にＡｌ_２Ｏ_３とガラスセラミックより成る少なくとも２つの異なる個別層より成っていれば、有利であることが実証された。薄膜技術は、層厚が０．５μｍ乃至５μｍ特に１μｍ乃至３μｍのＡｌ_２Ｏ_３を製造するために適している。

この場合、熱に対して鈍感なカバー又は中空体によって白金−薄膜抵抗の熱的な影響をできるだけ小さくするために、白金−薄膜抵抗は、有利な形式で、支持体薄片の、カバー又は中空体とは反対側の端部に配置される。

温度測定エレメントと加熱エレメントとの互いの影響を阻止するために、加熱エレメントの白金−薄膜抵抗は、温度測定エレメントの白金―薄膜抵抗よりも遠くに配置されている。これによって、加熱エレメントの白金−薄膜抵抗は、温度測定エレメントの白金−薄膜抵抗と同じ、測定媒体の流れ方向に配置されてはいない。

温度測定エレメントの有利な配置は、流れ方向で加熱エレメントの前である。

有利な形式で、加熱エレメント及び温度測定エレメントの支持体薄片は、互いに間隔を保っている。つまり特に互いに平行である。

２つの加熱エレメントと１つの温度測定エレメント、又は２つの温度測定エレメントと１つの加熱エレメントとが、一列に配置されていれば、交互の流れ方向を有する媒体を測定するために特に有利であることが実証されている。

加熱エレメント及び温度測定エレメントの支持体薄片を、カバー又は中空体内に互いに間隔保って、及び互いに平行に配置すれば有利であることが実証されている。

支持体薄片が媒体の流れ方向に配置されていれば、本発明によるホットフィルム風速計によって、導管内でガス状又は液状の媒体を質量量流測定することができる。

有利な形式で、加熱エレメント及び温度測定エレメントの支持体薄片が互いに間隔を保って配置されている。つまり、同じセラミックシート間に又はセラミック構成部分の部分間に連続的に配置されている。

この場合、セラミックシート積層体が２つのセラミックシートより形成されているか、又はセラミック構成部分が２つのセラミック管より成っていて、該セラミック管の壁部の横断面が、それぞれ半月状プロフィールを有している。

１つの温度測定エレメントと２つの加熱エレメントと１つの温度測定エレメントとが、一列に配置されていれば、変化する流れ方向を有する媒体を測定するために特に有利であることが実証された。

さらにまた、セラミックシート積層体が３つのセラミックシートより形成されていれば、有利であることが実証された。

この場合、加熱エレメント及び温度測定エレメントの支持体薄片が、セラミックシートによって互いに間隔を保って、かつ互いに平行に配置されていれば、特に有利であることが実証された。

有利には、加熱エレメントが、第１のセラミックシートと第２のセラミックシートとの間に配置され、温度測定エレメントが３つのセラミックシートの第２のセラミックシートと第３のセラミックシートとの間に配置され、この場合、加熱エレメントと温度測定エレメントとが、セラミックシート積層体の同じ高さ位置に配置されている。

また有利には、加熱エレメントが、３つのセラミックシートの第１のセラミックシートと第３のセラミックシートとの間に配置されていて、第２の温度測定エレメントが３つのセラミックシートの第２のセラミックシートと第３のセラミックシートとの間に配置されており、この場合、加熱エレメントは温度測定エレメント間に配置されている。

また有利には、セラミックシート積層体が４つのセラミックシートより形成された配置されている。

この場合、第１の温度測定エレメントが、４つのセラミックシートの第１のセラミックシートと第２のセラミックシートとの間に配置されていて、第２の温度測定エレメントが、４つのセラミックシートの第３のセラミックシートと第４のセラミックシートとの間に配置されており、加熱エレメントが第３のセラミックシートの第２のセラミックシートと第３のセラミックシートとの間に配置されており、この場合、加熱エレメントと温度測定エレメントとが、セラミック積層体の同じ高さ位置に並んで配置されている。

さらに、第１の温度測定エレメントが、４つのセラミックシートの第１のセラミックシートと第２のセラミックシートとの間に配置され、第２の温度測定エレメントが、４つのセラミックシートの第３のセラミックシートと痔４のセラミックシートとの間に配置されており、加熱エレメントが第２のセラミックシートと第３のセラミックシートとの間に配置されており、この場合、温度測定エレメントがセラミックシート積層体の同じ高さに並んで配置されていて、加熱エレメントが温度測定エレメントに対してずらして配置されている。

理想的には、本発明によるホットフィルム風速計を、導管を貫流するガス状又は液状の媒体の質量流量測定のために使用し、この場合、支持体薄片は媒体の流れ方向に対して平行に配置されている。

この場合、本発明によるホットフィルム風速計は、（例えば内燃機関の排ガスにおけるような）特に−４０℃〜+８００℃の範囲の温度を有するガス状の媒体を測定するために適している。

温度測定エレメントを加熱することによるセルフクリーニングは、特に、内燃機関特にディーゼルエンジンの排ガス範囲内に配置されたセンサのために適している。カーボンが付着したセンサは、加熱特に焼き戻し（Ausgluehen）によって迅速に再び完全に機能する。この場合、セルフクリーニングは、エンジンの耐用年数の間、任意にしばしば繰り返される。

支持体エレメントに複数の温度測定エレメント及び加熱エレメントを配置することによって、理想的な形式で、媒体の流れ方向若しくは流れ方向変化を検知することができる。この場合、本発明によるホットフィルム風速計を、時間的な間隔をおいて変化する流れ方向を有する媒体を測定するために使用すれば有利である。

測風学的な測定装置の縦断面図及び平面図である。 図１に示した測定装置の分解図である。 シート抵抗毎にそれぞれ１つの支持体を備えた、測風学的な測定装置の縦断面図である。 図３の外側を示す図である。 図３の支持体を示す図である。 図３の接続領域を示す図である。 測定装置の熱い領域内のシート抵抗及びそのシールを示す図である。 排ガス再循環装置を備えた内燃機関のためのコントロール回路の概略図である。 排ガス再循環装置のためのホットフィルム風速計を示す図である。 本来のホットフィルム風速計を示す図である。 本来の測定エレメントを備えた排ガス再循環装置のための流れ管路の一部の拡大図である。 流れ方向識別手段を有するホットフィルム風速計の一部の拡大図である。 断熱された２つのヒータを備えたホットフィルム風速計を示す図である。 ２層式のセラミックシート積層体と、１つの温度測定エレメント及び加熱エレメントを備えたホットフィルム風速計の、図１４ａの平面図である。 図１４に示したホットフィルム風速計の側面図である。 ２層式のセラミックシート積層体と２つの温度測定エレメントと２つの加熱エレメントとを備えたホットフィルム風速計の、図１５ａの平面図である。 図１５に示したホットフィルム風速計の側面図である。 ２層式のセラミックシート積層体と２つの温度測定エレメントと１つの２重加熱エレメントとを備えたホットフィルム風速計の、図１６ａの平面図である。 図１６に示したホットフィルム風速計の側面図である。 ３層式のセラミックシート積層体と、２つの温度測定エレメントと１つの２重加熱エレメントとを備えたホットフィルム風速計の平面図である。 ３層式のセラミックシート積層体と２つの温度測定エレメントと１つの２重加熱エレメントとを備えたホットフィルム風速計の平面図である。 図１８に示したホットフィルム風速計の斜視図である。 ３層式のセラミックシート積層体と温度測定エレメントと加熱エレメントとを備えたホットフィルム風速計の平面図である。 図１９に示したホットフィルム風速計の側面図である。 図１９ａに示したホットフィルム風速計の側面図である。 ４層式のセラミックシート積層体と、２つの温度測定エレメントと１つの２重加熱エレメントとを備えたホットフィルム風速計の平面図である。 ４層式のセラミックシート積層体と２つの温度測定エレメントと１つの２重加熱エレメントとを備えたホットフィルム風速計の平面図である。 複数部分より成るセラミック構造部と、１つの温度測定エレメントと、１つの加熱エレメントとを備えたホットフィルム風速計の、図１２ａのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図２２に示したホットフィルム風速計の側面図である。 金属円板に配置された加熱エレメント及び温度測定エレメントを備えたホットフィルム風速計の断面図である。 セラミック円板に配置された加熱及び温度測定エレメントを備えたホットフィルム風速計の断面図である。 セラミック円板に配置されたシート抵抗を有する、図１４又は図１５に示した部分の図である。 図１６ａに示した部分の平面図である。

図１及び図２に示した簡単な測風学的な測定装置によれば、シート抵抗２がガラスはんだ又はセラミック注型材によって支持体３に固定されている。注型材若しくはガラスはんだは、特に固定液の領域で支持体をシート抵抗の基板に対して気密に密封している。支持体３は、測定抵抗とは反対側の端部が、エラストマーより成るシール５によって金属製のケーシング４ａに対してシールされている。金属製のケーシング４ａに対してシールされた、支持体３の端部は、使用中に、風速計（Anemoneter；アネモメータ）のこの冷たい端部が運転状態において、シール５として使用されたエラストマー材料の使用目的を損なうまでには熱くならない程度に、排気管から離れて配置されている。金属製のケーシング４は同時に、金属製のケーシング４と支持体３との間に存在するエアギャップによって、熱に対する遮蔽部４ａでもある。金属製のケーシング４と支持体３との間のエアギャップ絶縁部は、スペーサホルダ６によって間隔が保たれており、このスペーサホルダ６は、排気管８の外側で支持体３に対して間隔を保っているが、シールはしていない。このスペーサホルダ６は、排気管内で加熱された支持体３を、排気管８の外側における熱導出を介して冷却する。シート抵抗２（チップ）は、基板の領域内では、スリットを有するキャップ４ｃによって部分的にカバーされているので、シート抵抗の測定抵抗の領域だけが、排ガス流内に配置するために、キャップ４ｃのスリットから大きく突き出している。基板上の固定液及び、測定抵抗に通じる導体路の部分は、キャップ４ｃによって熱的に遮蔽される。

それによって熱い排ガスは、キャップのスリットを通って、支持体３と遮蔽部４との間のギャップ内でシール５まで拡散するが、流れることはない。このような理由により、排気管の外側に間隔を保って位置する、測風学的な測定装置の冷たい端部は、エラストマー製のシール部材が破壊されるまで強く加熱されることはない。冷たい端部は、排気管の外側に位置するケーシング部分４ｂと４ｃとの間に位置している。ケーシング部分４ｃは、支持体３を通ってガイドされる、シート抵抗２の接続ワイヤとのケーブル接続部のためのケーシング領域４ｃを形成する。ケーシング部分４ｂは、ケーシング４に対する支持体３のシールのために必要である。

図３は、ヒータとして構成されたシート抵抗２と温度測定エレメントとして構成されたシート抵抗２とを有する測風学的な測定装置の有利な構成を示す。２つのシート抵抗２は、それぞれシート材料例えば注型材、ガラス又はガラスセラミックと共に、それぞれ支持体３内に固定されている。支持体３はシート抵抗２に対して気密にシールされている。このような形式のセラミックの支持体３は図５に示されている。セラミックの支持体３は、セラミック製の管、特にセラミック製の多孔毛管として構成されていて、それぞれその、チップ２の測定抵抗とは反対側の端部が、エラストマー材料５によって、金属製のケーシング４に対してシールされている。さらに、支持体３と金属製のケーシング４との間に、エアギャップと空気を通すスペーサホルダ６とが配置されている。このスペーサホルダ６は、運転状態で排気管８の外側において排気管８から間隔を保つように配置されている。スペーサホルダ６は、熱をケーシング４に導出することによってセラミック製の支持管体３を冷却する。

シート抵抗２の、測定に適した機能領域は、シート抵抗を被覆するキャップ４ａのスリットを通って突き出している。

シート抵抗の外側の熱い空気は、シー手抵抗を十分に被覆するキャップ４ｃのスリットを通って、金属製のケーシング４によってセラミック製の支持体のシールまで拡散するが、流れることはない。

図４にはケーシング４が示されており、この場合、ケーシング４は、排気管内に突入するケーシング部分４ａを有しており、このケーシング部分４ａは、カバーキャップ４ａ若しくは熱的な遮蔽部４ａの機能を有している。この場合、支持体３は媒体の熱に対して遮蔽される。排気管の外側に配置された、ケーシング４ｂの部分は、スペーサホルダ６によって支持体３から間隔を保っており、この場合、図４に示したスペーサホルダ６は、スペーサホルダ６を介して熱の流れによって支持体３の冷却を改善するために、冷却リブとして構成されている。

ケーシング部分４ｃは、ケーブル接続部を包囲している。ケーシングの部分４ｂと部分４ｃとの間にシール５が配置されており、このシール５は、ケーシング４を支持体４に対してエラストマーによって気密にシールする。エラストマー製のシール５は、ホルダ１０内に挿入される。

図６は、ケーシング４ｃのケーブル出口を示しており、このケーブル出口において、ケーブル１１の心線がシート抵抗２の接続ワイヤに接続されている。

図７はシート抵抗２を示しており、このシート抵抗２の、酸化アルミニウムセラミック製の基板２０上に、測定抵抗又は加熱抵抗として構成された導体路２１が、蛇行部（メアンダ）２２を通って延在している。導体路２１に接続する接続ワイヤ２４は、ガラス又はガラスセラミック製の固定液によって固定されている。シート抵抗２はガラスはんだ７によって、支持体３に対してシールされ、かつ固定されている。キャップ４ａは、シール及び支持体を、熱衝撃及び高い熱負荷に対して保護する。導体路２１は、熱的な連結解除に基づいて遮蔽部４ａから大きく突き出している蛇行部２２と、遮蔽部４によって遮蔽された、シート抵抗２の領域とを、電気的に接続する。

図８によれば、内燃機関３１が、流入する空気及び戻し案内される排ガスのための、過給機を備えた入口領域３２を有しており、また内燃機関の排気側に出口領域３４が設けられており、この出口領域３４から、排ガスの一部が、排ガス再循環のための流れ管路３６にガイドされる。この流れ管路３６は、制御可能な弁３５と、排ガス冷却装置３８とホットフィルム風速計４０とを備えている。ホットフィルム風速計４０は、戻し案内された排ガスの量を測定する。制御可能な弁３５は、流入する新鮮空気の量と、一部が戻し案内される排ガスの量との比を調節するために、排ガス分圧を調節するために用いられる。制御可能な弁３５は、調整器４５によって調節信号Ｙで制御される。排ガス再循環のための流れ管路３６は、混合気として構成された、内燃機関３１の入口領域３２内における新鮮空気管路の開口内で終わっており、この場合、流入する新鮮空気を測定するための、付加的な流量センサ４４は任意である。

これによって、内燃機関３１の出口領域３４内で、流れ管路３６への戻し管路内に分岐する、排ガスの部分は、相次いで、弁３５、冷却装置３８及びホットフィルム風速計４０を貫流する。戻し案内された排ガスは、場合によっては、オプション的な流量センサ４４を通過した後で、開口部内において新鮮空気入口の流入する空気にぶつかる。

流入する空気と排ガスとから成る混合気は、コンプレッサを有する過給機（有利には排ガスターボ過給機として構成されている）に供給され、この場合、出口領域３４内に配置された所属の駆動タービンは、見やすくするために図示されていない。

排ガスの、戻し案内されない部分は、管路５０及び場合によって洗浄装置を介して、外に達し、この場合、排ガスの平均温度は約４００℃乃至７００℃である。

さらに、排ガス出口領域３４の領域内に、排ガス温度を測定するための温度センサが設けられている。略示された調整器４５は、管路４１を介して排ガス温度に相当する信号Ｘ１を受け、管路４３を介して、オプション的な流量センサ４４によって測定された、流入する新鮮空気の量に相当する信号Ｚを受ける。流入する新鮮空気の量は一般的に調節できないので、この流入する新鮮空気の量は、制御技術において妨害値として用いられる記号Ｚで示されている。

図９は、ホットフィルム風速計４０の縦断面図を示しており、この場合、縦断面図で示されたセンサケーシングの上側に付加的に電気的な接続コネクタが示されている。

図１０には、ホットフィルム風速計４０の拡大断面図が示されており、この場合、入口領域２６内に加熱可能な測定エレメント２７、特にヒータを備えた薄膜温度センサが示されており、これに対して出口領域２８に加熱エレメント２９が示されている。

図１１には、ホットフィルム風速計４０が、２つ又はそれ以上のヒータを備えた流れ管路６の断面図で示されている。図１１において、マイクロヒータとして構成された２つの加熱エレメント２９ａ，２９ｂが示されている。所属の調整器は、部分的に示されたエンジン制御エレクトロニクスの一部として構成されていて、符号４５′で示されている。

ホットフィルム風速計の実施例によれば、加熱エレメントは加熱出力センサとして構成されていて、温度測定センサが温度センサとして構成されており、この温度センサは、付加的に熱する（Freigluehen）ための加熱器を有していてよい。

このために、図１２によれば、媒体流の方向を検知するための２つの加熱出力センサ１２８が配置されている。測風学的な測定原理によれば、温度測定エレメントは媒体温度を正確に検出するように機能し、次いで１つ又は２つの加熱エレメント及び／又は加熱出力センサ１２８は、電気回路によって温度センサ１２９に対して一定の高い温度に維持される。測定しようとするガス流若しくは液体流は、単数又は複数の加熱出力センサの単数若しくは複数の加熱エレメントを冷却する。

一定の高い温度を維持するために、電子装置が、質量流に相当する電流を単数又は複数の加熱エレメントに供給する必要がある。この電流が正確な測定抵抗において、質量流をコントロールし、かつ評価可能である電圧を生ぜしめる。この場合、加熱出力センサ１２８又は温度センサ１２９を２重に配置したことによって、質量流の方向を検知することができる。

これに対して図１３に示した実施例によれば、煤センサとしての２つの加熱出力センサが互いに平行に、管ケーシング内に差し込まれている。

この場合、２つの加熱出力センサ１２８は、それぞれガラスコーティングされたセラミック薄片１３１を備えている。

上記配置において、加熱出力センサは熱分解灰化温度を超える温度、つまり約５００℃で駆動される。第２の加熱出力センサに煤が堆積すると、煤の堆積層は、熱的な絶縁部として作用し、またＩＲ放射特性を、物体を次第に黒くさせるように変化させる。

これは、第１の加熱出力センサに対する基準値測定において電子的に評価される。

図１４は、Ａｌ_２Ｏ_３より成る第１のセラミックシート２０１ａとＡｌ_２Ｏ_３より成る第２のセラミックシート２０１ｂとから形成されたセラミックシート積層体２０１を備えたホットフィルム風速計２０１を示す。第１のセラミックシート２０１ａと第２のセラミックシート２０１ｂとの間に、温度測定エレメント２０２と加熱エレメント２０３とが部分的に埋め込まれていて、電気的に接触している。ホットフィルム風速計の原理に従って質量流量の測定が可能である。この場合、加熱エレメント２０３は、電気的な調整回路（ブリッジ回路、及び調整回路内の増幅器）によって、一定の温度（例えば４５０℃）又は、温度測定エレメント２０２に対する一定の温度差（例えば１００Ｋ）に維持される。媒体の質量流の変化は、加熱エレメント２０３の入力の変化を生ぜしめ、この入力の変化は電気的に評価可能であり、質量流に直接関連している。

図１４ａは、図１４に示したホットフィルム風速計の側面図を示す。この場合、温度測定エレメント２０２と加熱エレメント２０３とが、電気式の導体路２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ，２０４ｄ，２０５ａ，２０５ｂを介して接続面２０４ａ′，２０４ｂ′，２０４ｄ′，２０５ａ′，２０５ｂ′に電気的に接触されている。電気的な導体路２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ，２０４ｄ，２０５ａ，２０５ｂは、第１のセラミックシート２０１ａ上に配置されていて、部分的に第２のセラミックシート２０１ｂによって覆われている。従って、電気的な導体路の位置は、部分的に破線で示されている。温度測定エレメント２０２は、Ａｌ_２Ｏ_３より成る支持体薄片２０２ｃを有している。温度測定のための白金−薄膜エレメント２０２ａ、熱するための白金−薄膜エレメント２０２ｄ、及び電気的な接続導線２０２ｂは、支持体薄片２０２ｃの裏側に、電気的な絶縁層と共に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。加熱エレメント２０３は、Ａｌ_２Ｏ_３の単層より成る支持体薄片２０３ｃを有している。ヒータとしての薄板−薄膜エレメント２０３ａ、及びその電気的な接続導線２０３ｂは、支持体シート２０３ｃの裏側に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。

セラミックシート２０１ａ，２０１ｂは、領域２０６内で、互いに焼結によって、又はガラスはんだを介して結合されている。接続面２０４ａ′，２０４ｂ′，２０４ｄ′，２０５ａ′，２０５ｂ′は、第２のセラミックシート２０１ｂによって覆われていないので、図示してない電気的な接続ケーブルと接続することができる。

図１５は、Ａｌ_２Ｏ_３より成る第１のセラミックシート２０１ａとＡｌ_２Ｏ_３より成る第２のセラミックシート２０１ｂとから形成されたセラミックシート積層体２０１を備えたホットフィルム風速計２０１を示す。第１のセラミックシート２０１ａと第２のセラミックシート２０１ｂとの間に、２つの温度測定エレメント２０２，２０８と、２つの加熱エレメント２０３，２０７とが部分的に埋め込まれていて、電気的に接触している。

これによって、前記図１４に示した実施例と同様に、ホットフィルム風速計の原理に従って質量流量の測定が可能である。加熱エレメント２０３，２０７及び温度測定エレメント２０２，２０８は、それぞれ１つの加熱エレメント及びそれぞれ１つの温度測定エレメント（２０２，２０３若しくは２０７，２０８）のために、それぞれ１つの電気調整回路を形成し、かつ評価できる程度の数だけ設けられている。この流れセンサエレメントによって、媒体の流れ方向を識別することができる。何故ならば、熱エネルギーの伝達は、まず流れ方向で最初に配置された加熱エレメントから、それに続いて配置された加熱エレメントへと行われるからである。前記続いて配置された加熱エレメントの温度変化若しくは加熱によって、この加熱エレメントの入力は小さくなり、これは媒体の流れ方向のための信号として評価される。

図１５ａは、図１５に示したホットフィルム風速計を示す。この場合、温度測定エレメント２０２，２０８及び加熱エレメント２０３，２０７は、電気的な導体路２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ，２０４ｄ，２０５ａ，２０５ｂ、２０９ａ，２０９ｂ，２１０ａ，２１０ｂを介して、接続面２０４ａ′，２０４ｂ′，２０４ｃ′，２０４ｄ′，２０５ａ′，２０５ｂ′、２０９ａ′，２０９ｂ′，２１０ａ′，２１０ｂ′に電気的に接触されている。電気的な導体路２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ，２０４ｄ，２０５ａ，２０５ｂ、２０９ａ，２０９ｂ，２１０ａ，２１０ｂは、第１のセラミックシート２０１ａ上に配置されていて、部分的に第２のセラミックシート２０１ｂによってカバーされている。従って、その位置は部分的に破線で示されている。温度測定エレメント２０２は、Ａｌ_２Ｏ_３とＳｉＯ_２とから成る２つの単層より成る支持体薄片２０２ｃを有している。

温度測定のための白金−薄膜エレメント２０２ａ及び、熱する（Ausgluehen）ための白金−薄膜エレメント２０２ｄは、支持体薄片２０２ｃの裏側に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。加熱エレメント２０３は、Ａｌ_２Ｏ_３とＳｉＯ_２とから成る２つの単層より構成された支持体薄片２０３ｃを有している。ヒータとしての薄膜エレメント２０３ａ及びその電気的な接続導線２０３ｂは、支持体薄片２０３ｃの裏側に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。加熱エレメント２０７は、Ａｌ_２Ｏ_３とＳｉＯ_２とから成る２つの単層より構成された支持体薄片２０７ｃを有している。ヒータとしての薄膜エレメント２０７ａ及びその電気的な接続導線２０７ｂは、支持体薄片２０７ｃの裏側に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。加熱エレメント２０８は、Ａｌ_２Ｏ_３とＳｉＯ_２とから成る２つの単層より構成された支持体薄片２０８ｃを有している。温度測定のための白金−薄膜エレメント２０８ｄ及び、熱するための白金−薄膜エレメント２０２ａ、並びにその電気的な接続導線」２０８ｂは、支持体薄片２０８ｃの裏側に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。

セラミックシート２０１ａ，２０１ｂは、領域２０６内で、互いに直に焼結されているか又はガラスはんだを介して結合されている。接続面２０４ａ′，２０４ｂ′，２０４ｃ′，２０４ｄ′，２０５ａ′，２０５ｂ′、２０９ａ′，２０９ｂ′，２１０ａ′，２１０ｂ′，２１０ｃ′、２１０ｄ′は、第２のセラミックシート２０１ｂによって覆われており、従ってここでは、図示していない電気的な接続ケーブルとの接続が行われる。

図１６ａは、図１６に示したホットフィルム風速計の側面図を示す。この場合、温度測定エレメント２０２，２０８と２重加熱エレメント２１１，２１１′とは、電気的な導体路２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ，２０４ｄ，２０５ａ，２０５ｂ、２０９ａ，２０９ｂ，２１０ａ，２１０ｂ，２１０ｃ，２１０ｄを介して、接続面２０４ａ′，２０４ｂ′，２０４ｃ′，２０４ｄ′，２０５ａ′，２０５ｂ′、２０９ａ′，２０９ｂ′，２１０ａ′，２１０ｂ′，２１０ｃ′、２１０ｄ′に電気的に接触されている。電気的な導体路２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ，２０４ｄ，２０５ａ，２０５ｂ、２０９ａ，２０９ｂ，２１０ａ，２１０ｂ，２１０ｃ，２１０ｄは、第１のセラミックシート２０１ａ上に配置されていて、部分的に第２のセラミックシート２０１ｂによって覆われている。従って、その位置は部分的に破線で示されている。温度測定エレメント２０２は、Ａｌ_２Ｏ_３より成る支持体薄片２０２ｃを有している。温度測定のための白金−薄膜エレメント２０２ａ、熱するための白金−薄膜エレメント２０２ｄ、並びにその電気的な接続導線２０２ｂは、電気的な絶縁被覆と共に支持体薄片２０２ｃの裏側に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。２重加熱エレメント２１１，２１１′は支持体薄片２１１ｃを有しており、該支持体薄片２１１ｃはＡｌ_２Ｏ_３とＳｉＯ_２とから成る２つの単層より構成されている。ヒータとしての白金−薄膜エレメント２１１ａ，２１１ａ′及びその接続導線２１１ｂ、２１１ｂ′は、支持体薄片２１１ｃの裏側に電気的な絶縁被覆と共に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。温度測定エレメント２０８は、Ａｌ_２Ｏ_３とＳｉＯ_２とから成る２つの単層より構成された支持体薄片２０８ｃを有している。温度測定のための白金−薄膜エレメント２０８ｄ及び熱するための白金−薄膜エレメント２０８ａ、並びにその電気的な接続導線２０８ｂは、支持体薄片２０８ｃの裏側に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。

セラミックシート２０１ａ，２０１ｂは、領域２０６内で互いに直に焼結されているか又はガラスはんだを介して結合されている。接続面２０４ａ′，２０４ｂ′，２０４ｃ′，２０４ｄ′，２０５ａ′，２０５ｂ′、２０９ａ′，２０９ｂ′，２１０ａ′，２１０ｂ′，２１０ｃ′、２１０ｄ′は、第２のセラミックシート２０１ｂによって覆われており、従ってここでは、図示していない電気的な接続ケーブルとの接続が行われる。

図１７は、セラミックシート積層体２０１を備えたホットフィルム風速計を示しており、このセラミックシート積層体２０１は、Ａｌ_２Ｏ_３より成る第１のセラミックシート２０１ａと、Ａｌ_２Ｏ_３より成る第２のセラミックシートと、Ａｌ_２Ｏ_３より成る第３のセラミックシート２０１ｃとから構成されている。第２のセラミックシート２０１ｂと第３のセラミックシート２０１ｂとの間に第２の温度測定エレメント２０２，２０２′が部分的に埋め込まれていて、電気的に接触されている。第１のセラミックシート２０１ａと第２のセラミックシート２０１ｂとの間に２重加熱エレメント２１１，２１１′が部分的に埋め込まれていて、電気的に接触されている。この場合、２重加熱エレメントとは、電気的に別個に制御され得る２つの加熱エレメントが１つの共通の支持体薄片上に構成されている、という意味である。この流れセンサエレメントによって、媒体の流れ方向を検知することができる。

図１８、図１８ａ及び図１９は、セラミック積層体２０１を備えたそれぞれ１つのホットフィルム風速計を示す。前記セラミック積層体２０１は、それぞれＡｌ_２Ｏ_３より成る第１のセラミックシート２０１ａと第２のセラミックシート２０１ｂと第３のセラミックシート２０１ｃとから構成されている。第１のセラミックシート２０１ａと第２のセラミックシート２０１ｂとの間に温度測定エレメント２０２が部分的に埋め込まれていて、電気的に接触されている。第２のセラミックシート２０１ｂと第３のセラミックシート２０１ｃとの間に加熱エレメント２０３が部分的に埋め込まれていて、電気的に接触されている。これらの流れ測定エレメントによって、媒体の流れ方向を検知することができる。

図１９ａは、図１９に示した流れセンサエレメントの側面図を示す。この場合、温度測定エレメント２０２と加熱エレメント２０３とが、電気的な導体路２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ，２０４ｄ，２０５ａ，２０５ｂを介して接続面２０４ａ′，２０４ｂ′，２０４ｃ′，２０４ｄ′，２０５ａ′，２０５ｂ′に電気的に接触されている。電気的な導体路２０４ａ，２０４ｂは、第２のセラミックシート２０１ｂ上に配置されていて、部分的に第３のセラミックシート２０１ｃによってカバーされている。従って、その位置は部分的に破線で示されている。温度測定エレメント２０２は、Ａｌ_２Ｏ_３とＳｉＯ_２とから成る２つの単層より成る支持体薄片２０２ｃを有している。温度測定のための白金−薄膜エレメント２０２ａ及びその電気的な接続導線２０２ｂは、電気的な絶縁被覆と共に、支持体薄片２０２ｃの裏側に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。有利な実施例によれば、支持体薄片は、電気的に同様に接触されている温度エレメントを熱するための付加的な薄膜エレメント２０２ｄを備えている。加熱エレメント２０３は、Ａｌ_２Ｏ_３より成る１つの単層より構成された支持体薄片２０３ｃを有している。ヒータとしての白金−薄膜エレメント２０３ａとその電気的な接続導線２０３ｂとは、支持体薄片２０３ｃの裏側に配置されており、従ってその位置は破線で示されている。セラミックシート２０１ａ，２０１ｂは領域２０６′内で、互いに直に焼結されているか又はガラスはんだを介して結合されている。接続面２０５ａ′，２０５ｂ′は、第２のセラミックシート１ｂによってカバーされていないので、図示されていない電気的な接続ケーブル１と接続することができる。セラミックシート１ｂ，１ｃは領域２０６内において、直に互いに焼結されているか又はガラスはんだを介して結合されている。接続面２０４ａ′，２０４ｂ′は、第３のセラミックシート２０１ｃによってカバーされていないので、図示されていない電気的な接続ケーブルと接続することができる。

図１９ｂは、図１９ａに示したホットフィルム風速計の側面図を示す。この場合、ホットフィルム風速計は、導管２１２の横断面内に組み込まれている。この場合、温度測定エレメント２０２及び加熱エレメント２０３の支持体薄片２０２ｃ，２０３ｃは、流れ方向に対して平行に導管内に組み込まれている。

図２０及び図２１は、セラミックシート積層体２０１を備えたそれぞれ１つのホットフィルム風速計を示しており、このセラミックシート積層体２０１は、第１のセラミックシート２０１ａと第２のセラミックシート２０１ｂと第３のセラミックシート２０１ｃと、Ａｌ_２Ｏ_３より成る第４のセラミックシート２０１ｄとから構成されている。第１のセラミックシート２０１ａと第２のセラミックシート２０１ｂとの間に温度測定エレメント２０２が部分的に埋め込まれていて、電気的に接触している。第２のセラミックシート２０ｂと第３のセラミックシート２０１ｃとの間に２重加熱エレメント２１１，２１１′が部分的に埋め込まれていて、電気的に接触している。第３のセラミックシート２０１ｃと第４のセラミックシート２０１ｄとの間に、別の温度測定エレメント２０２′が部分的に埋め込まれていて、電気的に接触している。

図２２は、Ａｌ_２Ｏ_３より成る複数のセラミック構成部分２１３ａ，２１３ｂ，２１４ａ，２１４ｂを備えたホットフィルム風速計の横断面図Ａ−Ａ′（図２２ａ参照）を示しており、このホットフィルム風速計は、温度測定エレメント２０２と加熱エレメント２０３とを有している。セラミック構成部分２１３ａ，２１３ｂ，２１４ａ，２１４ｂは２つの中空室２１５ａ，２１５ｂを有しており、これらの中空室は、温度測定エレメント２０２若しくは加熱エレメント２０３の領域内で気密に閉鎖されている。導管内に組み込むために接続フランジ２１６が設けられている。

図２２ａは、図２２に示したホットフィルム風速計の側面図を示す。この場合、温度測定エレメント２０２及び加熱エレメント２０３は、図面では部分的に示された電気的な導体路２０４ａ，２０４ｂ２０５ａ，２０５ｂを介して接続面２０４ａ′，２０４ｂ′，２０５ａ′，２０５ｂ′に電気的に接続されている。電気的な導体路２０４ａ，２０４ｂ２０５ａ，２０５ｂは、セラミックプレート２１４ａ上に配置されていて、部分的に第２のセラミックプレート２１４ｂ（図示せず）によって覆われている。温度測定エレメント２０２は、Ａｌ_２Ｏ_３より成る単層として構成された支持体薄片２０２ｃを有している。温度測定のための白金−薄膜エレメント２０２ａ及びその電気的な接続導線２０２ｂは、支持体薄片２０２ｃの裏側に配置されており、従って破線で示されている。有利な実施例では、支持体薄片２０２ｃは、１単位（eine Groessenordnung）だけ小さい抵抗を有する付加的な白金−薄膜エレメント２０２ｄを有している。このような、熱する（Ausheizen）ために又は焼く（Ausgluehen）ために設定された抵抗は、白金−薄膜エレメント２０２ａと同様に、付加的な接触部と電気的に接触されている。加熱エレメント２０３ａは、Ａｌ_２Ｏ_３より成る単層として構成された支持体薄片２０３ｃを有している。ヒータとしての白金−薄膜エレメント２０３ａ及びその電気的な接続導線２０３ｂは、支持体薄片２０３ｃの裏側に配置されており、従って破線で示されている。

セラミックプレート２１４ａ，２１４ｂは、互いに直に焼結されているか、又はガラスはんだを介して互いに及び管外皮２１３ａ，２１３ｂに接続されていて、セラミック構成部分を形成している。２つのハーフパイプ（２１３ａ+２１４ａ；２１３ｂ+２１４ｂ）を使用してもよい。２つのハーフパイプにおいて、セラミックプレート２１４ａと管外皮２１３ａとが、若しくはセラミックプレート２１４ｂと管外皮２１４ｂとが、それぞれ１つの一体的な構成部分に統合されている。接続面２０４ａ′，２０４ｂ′，２０５ａ′，２０５ｂ′は、第２のセラミックプレート２１４ｂによって覆われていないので、図示していない電気的な接続ケーブルとの接続を行うことができる。

図２３ａによれば、注型材又はガラス１１８を有するホットフィルム風速計１０１が、耐熱性及び耐排ガス性の特殊鋼製のディスク状支持体１２１に支持されている。注型室のパターン形成（微細加工）された内壁、例えばねじ山１３０によって、注型材の良好なグリップ性が得られる。ディスク状支持体１２１の領域（この領域を通してセンサエレメントが媒体に向かって突き出される）は、長方形であって、センサエレメント横断面よりもやや大きい。

これによって、ホットフィルム風速計は、媒体をガイドする導管１０５内に向けて保持され、センサ全体の内室が媒体に対してシールされる。

ディスク状支持体１２１はケーシング管１２４内に挿入されていて、環状継ぎ目１２２と気密に溶接されている。ケーシング管１２４内にケーシング１１１が溶接されている。ケーシング１１内に、耐熱性のプラスチック又はセラミックより成る絶縁体１１０が、押し込み変形部１１７によって固定されたリング１０９によって保持される。ケーブル出口において、エラストマーより成るケーブルブッシングスリーブが押し込み変形部１１６によって、気密に固定される。引き込み部１０４は、ブッシングスリーブ１１４の孔を通ってガイドされている。各引き込み部は、クリップ１２５を介して、コンタクトスリーブ１０３に電気的に接続されている。コンタクトスリーブ１０３は、絶縁部１１０の下に拡張部１２６と、絶縁部１１０の上に、コンタクトスリーブ直径よりも幅の広い面１２７とを有しており、それによって、コンタクトスリーブ１０３は、絶縁部１１０内に軸方向で固定されている。前記面１２７において、接続ワイヤ１０２が溶接部１１５と電気的に接触される。

センサ全体を媒体ガイド導管１０５に固定することは、市販のウォームねじ・ホースクランプ１１３、並びに媒体をガイドする導管１０５に溶接された、スリット付きの金属薄板フランジ部１１２を介して行われる。

導管１０５内でのホットフィルム風速計１０１の整列は、ケーシング管１２４に固定されたセンタリングピン１１９を介して、及び幅の広いスリット１２０を介して、金属薄板フランジ部１１２内で行われる。幅の広いスリット１２０に向き合って幅の狭いスリット１２３が設けられており、この幅の狭いスリット１２３は、金属薄板フランジ部１１２をケーシング管１２４に押し付け易くするために用いられる。従って、正しい角度位置における組み立てだけが許容される。

図２３ｂは、ホットフィルム風速計（流れエレメント）１０１がガラスはんだ１１８によってディスク状支持体１０７内に固定されている、セラミック製のディスク状支持体１０７を備えた別の実施例を示す。ディスク状支持体１０７は、マイカ又はグラファイト製の耐熱性のシール１０８と共に、金属製のフレーム１０６の縁曲げすることによってフレーム１０６内に固定されている。フレーム１０６はケーシング管１２４に気密に溶接されている。

Claims (17)

1. 排気管又は排ガス再循環パイプ内に配置されたシート抵抗（チップ）（２）を有する装置であって、前記シート抵抗（２）が支持体（３）内に固定されており、該支持体（３）が、前記排気管又は排ガス再循環パイプに結合された遮蔽部（４ａ）又はケーシング（４ｂ）に対してシールされている形式のものにおいて、
   前記支持体（３）及び前記遮蔽部又はケーシングが、前記排気管又は排ガス再循環パイプの半径方向外方で、該排気管又は排ガス再循環パイプに対して間隔を保って互いにシールされていることを特徴とする、排気管又は排ガス再循環パイプ内に配置されたシート抵抗（チップ）（２）を有する装置。
2. 前記シート抵抗（２）が測定装置（１）のシート抵抗（２）であって、該シート抵抗（２）が排気管又は排ガス再循環パイプ内に突入しており、前記測定装置（１）が、支持体及び遮蔽部又はケーシングと、前記支持体（３）と前記遮蔽部（４ａ）又は前記ケーシング（４ｂ）との間に配置されたシール（５）とを有している、請求項１記載の装置。
3. 前記シート抵抗（２）が支持体（３）内に固定されている形式の、請求項１又は２記載の、排気管又は排ガス再循環パイプ内に配置されたシート抵抗（２）を有する装置において、
   前記支持体（３）が、遮蔽部（４ａ）又はケーシング（４ｂ）に対してエラストマーシール（５）によってシールされていることを特徴とする、排気管又は排ガス再循環パイプ内に配置されたシート抵抗（２）を有する装置。
4. 前記支持体（３）が、前記排気管又は排ガス再循環パイプの外側で金属製のケーシング（４ｂ）内に固定されている、請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。
5. 前記シート抵抗（２）が、無機材料によって前記支持体（３）に対してシールされている、請求項１から４までのいずれか１項記載の装置。
6. 請求項１から５までのいずれか１項記載の装置のための測定装置（１）であって、シート抵抗（２）と、支持体（３）殊に中空体と、遮蔽部（４ａ）又は金属製のケーシング（４ｂ）とを有しており、前記支持体（３）内で前記シート抵抗が機械的に固定されており、前記遮蔽部（４ａ）又は金属製のケーシング（４ｂ）が前記支持体に対してシールされている形式のものにおいて、
   前記支持体の長手方向に、前記シート抵抗のための電気的な引き込み部が配置されていて、前記シート抵抗（２）が前記支持体（３）の長手方向に沿って、前記支持体（３）を前記遮蔽部（４ａ）又はケーシング（４ｂ）に対してシールするシール（５）に対して間隔を保って配置されていることを特徴とする、測定装置（１）。
7. 前記遮蔽部（４ａ）が、少なくとも１つの前記シート抵抗を取り囲む少なくとも１つのブッシングを有していて、前記シート抵抗（２）の領域内で前記支持体（３）を取り囲んでいる、請求項６記載の測定装置。
8. 請求項６又は７記載の、排気管又は排ガス再循環パイプ内に配置された、測定装置を有する装置において、
   前記測定装置が、シート抵抗（２）を備えた測風学的な測定装置であって、該測定装置が、前記排気管又は排ガス再循環パイプ内に突入しており、前記シート抵抗の支持体（３）が、前記排気管又は排ガス再循環パイプを通ってガイドされていて、前記支持体（３）の、前記排気管又は排ガス再循環パイプの外側に位置する側が金属製のケーシング（４ｂ）に対してシールされていることを特徴とする、測定装置を有する装置。
9. 測風学的な測定を行うための加熱エレメントと付加的な測定抵抗とを有しており、前記加熱エレメントが場合によってはさらに１つ又は２の測定抵抗を有していて、前記付加的な測定抵抗が場合によってはさらに１つのセルフクリーニングのための加熱抵抗を有しており、加熱エレメントとして構成されたシート抵抗を、支持体殊に中空体内に固定し、該支持体の膨張率を、前記シート抵抗の膨張率に対して、２．５×１０^-6／Ｋを越えない程度、殊に最大で１×１０^-6／Ｋだけ異なるようにする、測風学的な測定装置を製造するための方法において、
   前記支持体を、固定部の外側で、金属製のケーシングに対して間隔が維持されるように、金属製のケーシング内に固定することを特徴とする、測風学的な測定装置を製造するための方法。
10. 測定装置（１）を熱い排ガスに対して断熱するために金属製のケーシング（４）を使用する使用法において、
    金属製のケーシングを、支持体（３）殊に中空体を取り囲み、かつ支持体（３）殊に中空体に対して間隔を保って配置し、前記金属製のケーシングの、排気管内に突入する領域内で、前記金属製のケーシングがシート抵抗を取り囲み、かつシート抵抗に対して間隔を保って配置されるようにすることを特徴とする、測定装置（１）を熱い排ガスに対して断熱するために金属製のケーシング（４）を使用する使用法。
11. 請求項７から９までのいずれか１項記載の測定装置を、測風学的な測定装置として又は煤センサ又は温度センサとして使用することを特徴とする、測定装置の使用法。
12. 金属管内の５００℃以上の熱い流体内におけるシート抵抗（２）による測定法であって、前記シート抵抗（チップ）を支持体（３）内に固定し、該支持体（３）を前記金属管の外側で金属製のケーシング（４ｂ）に対してシールする測定法において、
    前記金属製のケーシング（４ｂ）を前記金属管と気密に結合することを特徴とする、測定法。
13. 請求項１から５までのいずれか１項記載の、排気管又は排ガス再循環パイプ内に配置されたシート抵抗（チップ）（２）を有する装置のための、自動車の内燃機関（３１）の出口領域（３４）から空気入口領域（３２）へ排ガスを再循環させるための装置であって、前記空気入口領域（３２）に、排ガスと内燃機関（３１）の流入空気とから成る調節可能な混合気が供給可能であって、燃料量が調節可能であり、前記出口領域（３４）が、制御可能な弁（３５）と排ガス冷却装置（３８）とホットフィルム風速計（４０）とを有する排ガス再循環パイプを介して、内燃機関（３１）の前記入口領域（３２）に接続されており、前記ホットフィルム風速計（１０）が加熱抵抗（２９，１２８，２０３，２０７）と温度測定抵抗（２７，１２９，２０２，２０８）とを有しており、前記加熱抵抗（２９，１２８，２０３，２０７）と前記温度測定抵抗（２７，１２９，２０２，２０８）とが、独立したシート抵抗（１２８，１２９，２０２，２０３，２０７，２０８，２１１）である形式のものにおいて、
    前記温度抵抗（２７，１２９，２０２，２０８）と前記加熱抵抗（２９，１２８，２０３，２０７）とが、それぞれセラミック製の支持体（７，２０１）に固定されていることを特徴とする、自動車の内燃機関（３１）の出口領域（３４）から空気入口領域（３２）へ排ガスを再循環させるための装置。
14. 請求項１３記載の、自動車の内燃機関（３１）の出口領域（３４）から空気入口領域（３２）へ排ガスを再循環させるための装置であって、前記空気入口領域（３２）に、排ガスと内燃機関（３１）の流入空気とから成る調節可能な混合気が供給可能であって、燃料量が調節可能であり、前記出口領域（３４）が、制御可能な弁（３５）と排ガス冷却装置（３８）とホットフィルム風速計（４０）とを有する排ガス再循環パイプを介して、内燃機関（３１）の前記入口領域（３２）に接続されており、前記ホットフィルム風速計（１０）が加熱抵抗（２９，１２８，２０３，２０７）と温度測定抵抗（２７，１２９，２０２，２０８）とを有しており、前記加熱抵抗（２９，１２８，２０３，２０７）と前記温度測定抵抗（２７，１２９，２０２，２０８）とが、独立したシート抵抗（１２８，１２９，２０２，２０３，２０７，２０８，２１１）である形式のものにおいて、
    前記ホットフィルム風速計（４０）が排ガス再循環パイプ内で冷却装置（３８）の前に配置されているか又は空気冷却式の冷却装置内に配置されているか、又は新鮮空気のためにもガス冷却された排ガスのためにもホットフィルム風速計（４０）が配置されていないことを特徴とする、自動車の内燃機関（３１）の出口領域（３４）から空気入口領域（３２）へ排ガスを再循環させるための装置。
15. 前記ホットフィルム風速計（４０）が、カバー（１０７）又は中空体面の開口を有しており、該開口内に温度測定エレメント（２７，１２９）と加熱エレメント（２９，１２８）とが固定されている、請求項１３又は１４記載の装置。
16. 温度測定エレメント（２７，１２９，２０２，２０８）と加熱エレメント（２９，１２８，２０３，２０７）とが１つの共通の支持体エレメント（１０７，２０１）に配置されているか、或いはカバー（１０７）又は中空体面の開口内に固定されている形式の、請求項１３から１５までのいずれか１項記載の装置のホットフィルム風速計（４０）をセルフクリーニングするための方法において、
    前記温度測定エレメント（２７，１２９，２０２，２０８）の、温度測定のためのセラミック製のベース部（２０２ｃ）上に白金−薄膜抵抗（２０２ａ）を設け、さらに前記温度測定エレメント（２７，１２９，２０２，２０８）を付加的な白金−薄板抵抗（２０２ｄ）によって加熱することを特徴とする、ホットフィルム風速計（４０）をセルフクリーニングするための方法。
17. 請求項１３から１５までのいずれか１項記載の装置の、複数のシート抵抗と１つのカバー（１０７）又は１つの中空体とから成るホットフィルム風速計（４０）を製造するための方法において、
    抵抗が互いに１単位乃至２単位だけ異なっている少なくとも２つの前記シート抵抗を、カバー（１０７）又は中空体の複数の開口内に差し込み、かつこれらの開口内に固定するか、又は温度測定エレメント（２７，１２９，２０２，２０８）と加熱エレメント（２８，１２８，２０３，２０７）とを支持体エレメント（１０７，２０１）に配置し、該支持体エレメント（２０１）をセラミックシート（２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃ）により積層することを特徴とする、ホットフィルム風速計（４０）を製造するための方法。

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