JP2010524830A - メタライズされた表面を備えるセラミックボディを有するコンポーネント - Google Patents

Abstract

板状のメタライズされたセラミックボディを有するコンポーネントの場合、殊に該セラミックボディの両面がメタライズされていると、運転中に発生する熱の放散が困難である。本発明により、少なくとも１つの領域中でその表面（３，４）がメタライズ部（５，６）により覆われているセラミックボディ（２）を有するコンポーネント（１）が提案され、かつ、その際、該セラミックボディ（２）は立体的に構造化されている（７）。

Description

本発明は、少なくとも１つの領域中でその表面がメタライズ部で覆われているセラミックからのボディを有するコンポーネントに関する。

ＤＥ１０２００４０１２２３１Ｂ１から、少なくとも１つの表面側に少なくとも１つのメタライズ部を、ＤＣＢ法（Ｄｉｒｅｃｔ Ｃｏｐｐｅｒ Ｂｏｎｄｉｎｇ）を用いて施与された銅または銅合金からのホイルまたは層の形で有するセラミック層から成る、板状のメタライズされたセラミック支持体が公知である。

板状のメタライズされたセラミックボディを有するコンポーネントの場合、殊に該セラミックボディの両面がメタライズされていると、運転中に発生する熱の放散が困難である。

本発明の課題は、良好な熱放散を伴う、その表面がメタライズされたセラミックボディを有するコンポーネントを提示するという点にある。

該課題は、特許請求項１の固有の特徴部により解決される。本発明の好ましい構成は、従属請求項の中で提示される。

本発明によるコンポーネントは立体的に構造化されている。板の代わりにセラミックボディは三次元構造物である。それゆえボディに、例えば板状で、さらに別のボディを任意の形で取り付けることができる。しかしボディ全体は一体となっており、すなわち、それは個々の部分から構成されていない。例えば板上にさらに別の板が垂直に立っている場合、全体がＥ形であるボディが生じる。例えばヒートシンクがそのような形を有する。

コンポーネントのボディはセラミック材料から成り、その組成は、要求される特性、例えば絶縁性、部分放電強度および熱安定性に適合され得る。セラミック材料は、主成分としてＺｒＯ₂／ＨｆＯ₂５０．１質量％〜１００質量％またはＡｌ₂Ｏ₃５０．１質量％〜１００質量％またはＡｌＮ５０．１質量％〜１００質量％またはＳｉ₃Ｎ₄５０．１質量％〜１００質量％またはＢｅＯ５０．１質量％〜１００質量％、ＳｉＣ５０．１質量％〜１００質量％または該主成分の少なくとも２つの組み合わせ物を任意の組み合わせにおいて上記の成分範囲内で含有し、ならびに副成分として少なくとも１つの酸化状態における元素のＣａ、Ｓｒ、Ｓｉ、Ｍｇ、Ｂ、Ｙ、Ｓｃ、Ｃｅ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｐｂおよび／または化合物を≦４９．９質量％の割合で単独または任意の組み合わせにおいて上記の成分範囲内で含有する。主成分および副成分は、≦３質量％の割合の不純物を差し引いて、任意の組み合わせにおいて１００質量％の全組成物になるように互いに組み合わせ可能である。

メタライズ部を有さないコンポーネントのセラミック材料の熱膨張係数は１２×１０^-6／Ｋより小さい。セラミックボディの曲げ破断強度は１００ＭＰａより大きく、かつ材料の熱伝導率は１Ｗ／ｍＫより大きい。それによって熱が原因のセラミック材料の膨張によるメタライズ部の負荷は小さくなる。セラミックを介して、殊に銅でメタライズされる場合、その高い熱膨張係数が減少され、ひいてはメタライズ部と接合された電子デバイスの半導体材料の熱膨張係数に近似させられる。それによって加熱した場合に発生する半導体デバイスの材料中での応力が回避される。

メタライズ部として、セラミックボディと、有利には該担体ボディと同じまたは異なる熱伝導率を有する金属または金属層が、密接にまたは機械的な形状結合によって面全体または面の一部分で接合されている。例えばメタライズ部は、純粋な品質または工業的な品質のタングステン、銀、金、銅、白金、パラジウム、ニッケル、アルミニウムまたは鋼または少なくとも２つの異なる金属の混合物から成っていてよい。例えばメタライズ部は、付加的にまたはそれ単独でも、反応はんだ、軟質はんだまたは硬質はんだから成っていてよい。

例えばメタライズ部の金属または金属層は、セラミックボディ上へのメタライズ部の接着性を高めるために、接着を促進する添加材またはその他の添加材、例えばガラスまたはポリマー材料と混合されていてもよい。

メタライズ部の単一の層または複数の層は、ＤＣＢ法（Ｄｉｒｅｃｔ Ｃｏｐｐｅｒ Ｂｏｎｄｉｎｇ）またはＡＭＢ法（Ａｃｔｉｖｅ Ｍｅｔａｌ Ｂｒａｚｉｎｇ）またはスクリーン印刷法または電着法または化学堆積法または蒸着法を用いて、あるいは付着または接着またはこれらの方法を組み合わせることによりボディの表面上に、向かい合う面および／または隣接する面に施与されている。

セラミックボディ上のメタライズ部は、メタライズされた面につき少なくとも１つの層から成る。メタライズ部は、セラミックボディの表面を金属ボディとして面の一部分または面全体でまたは部分的または完全に、平行平面形またはほぼ平行平面形でまたは任意に幾何学的な形状で、またはこれらの形状を組み合わせた形で覆う。

メタライズ部の少なくとも１つの層の厚さは≦２ｍｍであり、その接着強度は２０Ｎ／ｃｍより大きい。それにより熱負荷に基づく層の自己剥離は排除されている。

セラミックボディは、少なくとも２つのその表面上でメタライズ部により覆われている。メタライズ部は１００Ｗ／ｍＫの最小熱伝導率を有する。それによりデバイスまたは回路による熱負荷が高い場合、良好な熱放散が保証されている。

少なくとも１つの表面に少なくとも１つのメタライズ部を有するコンポーネントの場合、曲げ破断強度は５５０ＭＰａより大きい。熱負荷が生じた場合も、メタライズ部の剥落およびメタライズ部の引張力および圧縮力によるセラミックボディの破壊は排除されている。

好ましくは、コンポーネントのセラミックボディはヒートシンクとして形成されている。ヒートシンクとは、電気デバイスまたは電子デバイスまたは回路を有し、かつ該デバイスまたは該回路中で生じる熱を、該デバイスまたは該回路を損傷し得る蓄熱が生じないように排出することができるように形作られているボディと理解される。担体ボディは、電気的に導電性ではないかまたはほぼ導電性ではなく、かつ良好な熱伝導率を有する材料からのボディである。そのようなボディのための理想的な材料はセラミックである。

ボディは一体となっており、かつ電子デバイスまたは回路の保護のために熱を排出または供給するエレメントを有する。有利には担体ボディは白金であり、かつ該エレメントはオリフィス、ダクト、リブおよび凹部であり、それらには熱媒体または冷却媒体を送り込むことが可能である。該媒体は液状またはガス状であってもよい。担体ボディおよび／または冷却エレメントは、好ましくは、少なくとも１つのセラミック成分または種々のセラミック材料の複合体から成る。

実施例を手がかりにして、本発明をより詳細に説明する。

本発明により板状でないセラミックボディ２を有するコンポーネント１を示す図

板状でないとは、セラミックボディ２の上側３および下側４が、そのつど大きさの異なる表面を有するように形成されていることを意味する。該ボディは立体的に構造化されている。コンポーネント１の上側３は、本発明の実施例で平らな表面を有する。この上側３には、種々のメタライズされた領域５が施与されている。上側３は回路担体である。セラミックボディ２の上側３の少なくとも１つのメタライズ部５上には、さらに別のメタライズ部６が適用されており、それは本発明の場合、第一のメタライズ部５の表面の面を部分的にマスクする。

本発明による実施例でセラミックボディ２はＥ形である。該ボディはヒートシンクである。セラミックボディ２の下側４は冷却リブ７を有する。冷却リブ７にも、メタライズされた領域５が備え付けられており、該領域５には例えば電子デバイスがはんだ付けされ得る。

セラミックボディ２の表面３上には、チップ８が、メタライズされた領域５上にはんだ付け接合部９によって固定されている。配線１０を介して、それはメタライズされた領域５と接続されている。このチップ８は熱源であり、その熱は冷却リブ７を介して排出される。

１ コンポーネント、 ２ セラミックボディ、 ３ セラミックボディの表面、 ４ セラミックボディの下側、 ５ メタライズ部、 ６ メタライズ部、 ７ 冷却リブ、 ８ チッブ、 ９ はんだ付け接合部、 １０ 配線

Claims (17)

1. 少なくとも１つの領域中でその表面（３，４）がメタライズ部（５，６）により覆われているセラミックボディ（２）を有するコンポーネント（１）であって、前記セラミックボディ（２）が立体的に構造化されている（７）ことを特徴とする、セラミックボディ（２）を有するコンポーネント（１）。
2. セラミック材料が、主成分としてＺｒＯ₂／ＨｆＯ₂５０．１質量％〜１００質量％またはＡｌ₂Ｏ₃５０．１質量％〜１００質量％またはＡｌＮ５０．１質量％〜１００質量％またはＳｉ₃Ｎ₄５０．１質量％〜１００質量％またはＢｅＯ５０．１質量％〜１００質量％、ＳｉＣ５０．１質量％〜１００質量％または前記主成分の少なくとも２つの組み合わせ物を任意の組み合わせにおいて上記の成分範囲内で含有し、ならびに副成分として少なくとも１つの酸化状態における元素のＣａ、Ｓｒ、Ｓｉ、Ｍｇ、Ｂ、Ｙ、Ｓｃ、Ｃｅ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｐｂおよび／または化合物を≦４９．９質量％の割合で単独または任意の組み合わせにおいて上記の成分範囲内で含有することを、および前記主成分および前記副成分が、≦３質量％の割合の不純物を差し引いて、任意の組み合わせにおいて１００質量％の全組成物になるように互いに組み合わせ可能であることを特徴とする、請求項１記載のコンポーネント。
3. セラミック体（２）の曲げ破断強度が１００ＭＰａより大きく、かつ材料の熱伝導率が１Ｗ／ｍＫより大きいことを特徴とする、請求項１または２記載のコンポーネント。
4. メタライズ部を有さない前記セラミックボディ（２）のセラミック材料の熱膨張係数が１２×１０^-6／Ｋより小さいことを特徴とする、請求項１から３までのいずれか１項記載のコンポーネント。
5. メタライズ部（５，６）として、セラミックボディ（２）と、有利には担体ボディと同じまたは異なる熱伝導率を有する金属または金属層が、密接にまたは機械的な形状結合によって面全体または面の一部分で接合されていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項記載のコンポーネント。
6. メタライズ部（５，６）が、純粋な品質または工業的な品質のタングステン、銀、金、銅、白金、パラジウム、ニッケル、アルミニウムまたは鋼または少なくとも２つの異なる金属の混合物および／または、付加的にまたはそれ単独で、反応はんだ、軟質はんだまたは硬質はんだ（９）から成ることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項記載のコンポーネント。
7. メタライズ部（５，６）の金属または金属層が、接着を促進する添加材またはその他の添加材、例えばガラスまたはポリマー材料と混合されていることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項記載のコンポーネント。
8. セラミックボディ（２）上のメタライズ部（５，６）が少なくとも１つの層から成ること、および前記層がＤＣＢ法（Ｄｉｒｅｃｔ Ｃｏｐｐｅｒ Ｂｏｎｄｉｎｇ）またはＡＭＢ法（Ａｃｔｉｖｅ Ｍｅｔａｌ Ｂｒａｚｉｎｇ）またはスクリーン印刷法または電着法または化学堆積法または蒸着法の使用下で、あるいは付着または接着またはこれらの方法の組み合わせによってボディの表面上に、向かい合う面および／または隣接する面に施与されていることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１項記載のコンポーネント。
9. メタライズ部（５，６）が、セラミックボディ（２）の表面（３，４）を金属ボディとして面の一部分または面全体でまたは部分的または完全に、平行平面形またはほぼ平行平面形でまたは任意に幾何学的な形状で、またはこれらの形状を組み合わせた形で覆うことを特徴とする、請求項１から８までのいずれか１項記載のコンポーネント。
10. メタライズ部（５，６）が２０Ｎ／ｃｍより大きい接着強度を有することを特徴とする、請求項１から９までのいずれか１項記載のコンポーネント。
11. メタライズ部（５，６）の少なくとも１つの層の厚さが≦２ｍｍであることを特徴とする、請求項１から１０までのいずれか１項記載のコンポーネント。
12. 少なくとも１つの表面（３，４）に少なくとも１つのメタライズ部（５，６）を有するコンポーネント（１）の曲げ破断強度が５５０ＭＰａより大きいことを特徴とする、請求項１から１１までのいずれか１項記載のコンポーネント。
13. セラミックボディ（２）上の少なくとも１つのメタライズ部（５）上に、その表面の面の一部分または面全体をマスクする少なくとも１つのさらに別のメタライズ部（６）が適用されていることを特徴とする、請求項１から１２までのいずれか１項記載のコンポーネント。
14. 少なくとも１つのメタライズ部（５，６）が１００Ｗ／ｍＫの最小導電率を有することを特徴とする、請求項１から１３までのいずれか１項記載のコンポーネント。
15. セラミックボディ（２）上の少なくとも１つのメタライズ部（５）上に、能動電子部品または受動電子部品（８）が取り付けられていることを特徴とする、請求項１から１４までのいずれか１項記載のコンポーネント。
16. セラミックボディ（２）上の少なくとも１つのメタライズ部（５，６）上に、能動電子部品または受動電子部品（８）が取り付けられており、該電子部品（８）は、はんだ付け接合部および／またはボンディング接合部（９）を介して少なくとも１つの箇所で、セラミックボディ（２）上に取り付けられたメタライズ部（５）と電気的または／および熱的に接合されていることを特徴とする、請求項１から１５までのいずれか１項記載のコンポーネント。
17. セラミックボディ（２）が、冷却リブ（７）を備え付けて、ヒートシンクとして形成されていることを特徴とする、請求項１から１６のいずれか１項記載のコンポーネント。

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