JP2010238292A

JP2010238292A - Laminate forming apparatus, laminate forming method, glass substrate manufacturing method, glass substrate and magnetic recording medium

Info

Publication number: JP2010238292A
Application number: JP2009083936A
Authority: JP
Inventors: Fumihiko Shigeta; 文彦重田
Original assignee: Hoya Corp; Hoya Glass Disk Philippines Inc
Current assignee: Hoya Corp; Hoya Glass Disk Philippines Inc
Priority date: 2009-03-31
Filing date: 2009-03-31
Publication date: 2010-10-21
Anticipated expiration: 2029-03-31
Also published as: JP5226583B2

Abstract

【課題】積層体の形成を自動化できる装置を提供する
【解決手段】積層体形成装置２００はガラス基材載置部２１とスペーサ載置部１８を有し、ガラス基材載置部２１とスペーサ載置部１８の間には積層体載置部１７を有している。
ガラス基材載置部２１にはエアシリンダ２０および電動アクチュエータ１９が設けられ、これらの装置によってＢ１、Ｂ２、Ｃ１、Ｃ２の向きに移動可能である。
また、積層体形成装置２００は側壁４がＥ１、Ｅ２の向きに移動可能に設けられている。
さらに、側壁４には側壁８が移動可能に設けられている。
また、側壁８にはガラスチャック１０およびスペーサチャック１３がＤ１、Ｄ２の向きに移動可能に設けられている。
【選択図】図５PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus capable of automating the formation of a laminated body. A laminated body forming apparatus 200 has a glass substrate placing part 21 and a spacer placing part 18, and the glass substrate placing part 21 and the spacer are provided. Between the mounting parts 18, a stacked body mounting part 17 is provided.
An air cylinder 20 and an electric actuator 19 are provided on the glass substrate mounting portion 21 and can be moved in the directions of B1, B2, C1, and C2 by these devices.
Moreover, the laminated body formation apparatus 200 is provided so that the side wall 4 can move in the directions of E1 and E2.
Further, a side wall 8 is movably provided on the side wall 4.
Further, a glass chuck 10 and a spacer chuck 13 are provided on the side wall 8 so as to be movable in the directions of D1 and D2.
[Selection] Figure 5

Description

本発明は積層体形成装置、積層体形成方法、ガラス基板の製造方法、ガラス基板および磁気記録媒体に関するものである。 The present invention relates to a laminate forming apparatus, a laminate forming method, a glass substrate manufacturing method, a glass substrate, and a magnetic recording medium.

近年、情報化技術の高度化に伴い、情報記録技術、特に磁気記録技術は著しく進歩している。 In recent years, with the advancement of information technology, information recording technology, particularly magnetic recording technology, has made remarkable progress.

このような磁気記録技術のひとつであるＨＤＤ（ハードディスクドライブ）等の磁気記録媒体用基板としては、かつてはアルミニウム基板が広く用いられてきた。 An aluminum substrate has been widely used as a substrate for a magnetic recording medium such as an HDD (Hard Disk Drive) which is one of such magnetic recording techniques.

しかしながら、磁気ディスクの小型化、薄板化、および高密度記録化に伴い、近年は、アルミニウム基板に比べ基板表面の平坦性及び基板強度に優れたガラス基板の需要が高まっている。 However, with the downsizing, thinning, and high-density recording of magnetic disks, in recent years, there has been an increasing demand for glass substrates that have superior substrate surface flatness and substrate strength compared to aluminum substrates.

ガラス基板は、従来、例えば、特許文献１の段落〔０００４〕に示すように、ガラスを円盤状に形成して面取りを行い、端面および主表面を研磨し、その後に耐衝撃性や耐振動性を向上させるための化学強化処理を施すことにより製造されていた（特許文献１）。 Conventionally, for example, as shown in paragraph [0004] of Patent Document 1, a glass substrate is chamfered by forming glass into a disk shape, and end faces and main surfaces are polished, and then impact resistance and vibration resistance are obtained. It has been manufactured by applying a chemical strengthening treatment for improving (Patent Document 1).

ここで、端面を研磨する方法としては、一枚ずつ研磨していると手間がかかるため、例えば特許文献２の図４のように、スペーサを介してガラス基板を複数枚積層させ、ブラシを用いて複数のガラス基板の端面を一度に自動研磨する方法がある（特許文献２）。 Here, as a method of polishing the end face, since it takes time to polish one by one, for example, as shown in FIG. 4 of Patent Document 2, a plurality of glass substrates are laminated through a spacer and a brush is used. There is a method of automatically polishing the end surfaces of a plurality of glass substrates at once (Patent Document 2).

なお、スペーサは、端面の研磨残りを防止するため、ならびに、端面研磨時に積層体を固定するためにガラス基板を締め付けることにより発生する締め付け力によってガラス基板が破損するのを防止するために設けられている。 The spacer is provided to prevent the end surface from being polished and to prevent the glass substrate from being damaged by the tightening force generated by tightening the glass substrate to fix the laminate during the end surface polishing. ing.

特開２０００−０７６６５２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-076652 特開２００８−２６９７６６号公報JP 2008-269766 A

特許文献２に記載の端面研磨方法は、複数枚のガラスを一度に自動研磨できるという点では非常に有用な発明である。 The end surface polishing method described in Patent Document 2 is a very useful invention in that a plurality of glasses can be automatically polished at one time.

しかしながら、特許文献２に記載の端面研磨を行う場合、基板とスペーサの積層体を事前に用意する必要があるが、積層体の形成は自動化されておらず、これが自動化できればより望ましい。 However, when performing end face polishing described in Patent Document 2, it is necessary to prepare a laminate of a substrate and a spacer in advance, but formation of the laminate is not automated, and it is more desirable if this can be automated.

本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、積層体の形成を自動化できる装置を提供することにある。 This invention is made | formed in view of said problem, The objective is to provide the apparatus which can automate formation of a laminated body.

上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を有する。 In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration.

（構成１）ガラス基材が載置されるガラス基材載置部と、前記ガラス基材を前記ガラス基材載置部に移動させる移動アームと、スペーサが載置されるスペーサ載置部と、前記ガラス基材載置部と前記スペーサ載置部の間に設けられ、前記ガラス基材と前記スペーサが交互に積層された積層体を載置する積層体載置部と、前記ガラス基材をチャックして積層体載置部に載置するガラス基材チャック手段と、前記スペーサをチャックして前記積層体載置部に載置するスペーサチャック手段と、前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段とが交互に前記ガラス基材と前記スペーサを前記積層体載置部に載置することにより前記積層体を形成する形成手段と、を有することを特徴とする積層体形成装置。 (Configuration 1) A glass substrate placement portion on which a glass substrate is placed, a moving arm that moves the glass substrate to the glass substrate placement portion, and a spacer placement portion on which a spacer is placed A laminated body placing portion that is provided between the glass substrate placing portion and the spacer placing portion and places a laminated body in which the glass substrate and the spacer are alternately laminated; and the glass substrate. Glass substrate chuck means for chucking and placing the spacer on the laminate placing portion, spacer chuck means for chucking the spacer and placing on the laminate placing portion, and the glass substrate chuck means and the spacer A laminate forming apparatus comprising: a forming unit configured to form the laminate by alternately placing the glass base material and the spacer on the laminate placing unit.

（構成２）前記ガラス基材が収納されたガラス収納部をさらに有し、前記移動アームは、前記ガラス基材載置部を前記ガラス収納部に移動させるアーム移動手段と、前記ガラス基材をチャックするチャック手段と、を有することを特徴とする構成１記載の積層体形成装置。 (Configuration 2) It further includes a glass storage portion in which the glass base material is stored, and the moving arm includes an arm moving means for moving the glass base material placement portion to the glass storage portion, and the glass base material. A laminate forming apparatus according to Configuration 1, further comprising chuck means for chucking.

（構成３）前記ガラス基材チャック手段および／または前記スペーサチャック手段は、前記ガラス基材および／またはスペーサを吸着する手段を有することを特徴とする構成１記載の積層体形成装置。 (Structure 3) The laminate forming apparatus according to Structure 1, wherein the glass substrate chuck means and / or the spacer chuck means has means for adsorbing the glass substrate and / or spacer.

（構成４）前記スペーサ載置部、前記積層体載置部、前記ガラス基材載置部は平面状の配置形状が一列になるように配置されていることを特徴とする構成１〜３のいずれかに記載の積層体形成装置。 (Configuration 4) In the configurations 1 to 3, wherein the spacer mounting portion, the laminate mounting portion, and the glass substrate mounting portion are arranged so that a planar arrangement shape is in a line. The laminated body formation apparatus in any one.

（構成５）前記ガラス基材載置部と前記積層体載置部、および、前記積層体載置部と前記スペーサ載置部は、それぞれ等間隔に配置されていることを特徴とする構成１記載の積層体形成装置。 (Configuration 5) Configuration 1 in which the glass substrate placement section and the laminate placement section, and the laminate placement section and the spacer placement section are arranged at equal intervals, respectively. The laminated body formation apparatus of description.

（構成６）前記形成手段は、前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段を、前記ガラス基材載置部、前記積層体載置部、前記スペーサ載置部のうち２つの上方に、一体となって移動させる第１の移動手段と、前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段を前記ガラス基材載置部、前記積層体載置部、前記スペーサ載置部のうち２つに向けて一体となって移動させる第２の移動手段と、を有することを特徴とする構成１記載の積層体形成装置。 (Structure 6) The forming unit is configured such that the glass substrate chuck unit and the spacer chuck unit are integrated with two of the glass substrate mounting unit, the stacked body mounting unit, and the spacer mounting unit. And moving the glass substrate chuck unit and the spacer chuck unit toward two of the glass substrate mounting unit, the laminate mounting unit, and the spacer mounting unit. And a second moving means for moving the integrated body as a unit.

（構成７）前記移動アームを用いて前記ガラス基材を前記ガラス基材載置部に載置する制御手段（ａ）と、前記第１の移動手段を用いて、前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記ガラス基材載置部および前記積層体載置部の上方に移動させる制御手段（ｂ）と、前記第２の移動手段を用いて前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記ガラス基材載置部および前記積層体載置部に向けて移動させ、前記ガラス基材チャック手段を用いて前記ガラス基材をチャックする制御手段（ｃ）と、前記第２の移動手段を用いて前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記ガラス基材載置部および前記積層体載置部から離れる方向に向けて移動させる制御手段（ｄ）と、前記第１の移動手段を用いて、前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記積層体載置部および前記スペーサ載置部の上方に移動させる制御手段（ｅ）と、前記第２の移動手段を用いて前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記積層体載置部および前記スペーサ載置部に向けて移動させ、前記ガラス基材を前記積層体載置部に載置し、かつ前記スペーサチャック手段を用いて前記スペーサをチャックする制御手段（ｆ）と、前記第１の移動手段を用いて、前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記積層体載置部および前記スペーサ載置部から離れる方向に向けて移動させる制御手段（ｇ）と、前記制御手段（ａ）〜（ｇ）をこの順番で繰り返す制御手段（ｈ）と、を有することを特徴とする構成６記載の積層体形成装置。 (Configuration 7) Control means (a) for placing the glass base material on the glass base material placing portion using the moving arm, and the glass base material chuck means using the first moving means, Control means (b) for moving the spacer chuck means above the glass substrate placement portion and the laminate placement portion, respectively, and the glass substrate chuck means and the spacer using the second movement means Control means (c) for moving the chuck means toward the glass substrate placing portion and the laminate placing portion, respectively, and chucking the glass substrate using the glass substrate chuck means, and the second Control means (d) for moving the glass substrate chuck means and the spacer chuck means in a direction away from the glass substrate mounting portion and the laminate mounting portion, respectively. And a control means (e) for moving the glass substrate chuck means and the spacer chuck means above the stacked body placing portion and the spacer placing portion, respectively, using the first moving means, Using the second moving means, the glass substrate chuck means and the spacer chuck means are moved toward the laminate placing portion and the spacer placing portion, respectively, and the glass substrate is moved to the laminate placing portion. And the glass substrate chuck means and the spacer chuck means using the spacer chuck means and the glass substrate chuck means and the spacer chuck means, respectively, using the spacer moving means and the first moving means. Control means (g) for moving in a direction away from the body placing portion and the spacer placing portion, and the control means (a) to (g) are repeated in this order. And control means (h), the laminate forming apparatus constructed 6, wherein it has a.

（構成８）前記制御手段（ｃ）は、前記スペーサチャック手段が前記スペーサをチャックした状態では、前記第２の移動手段を用いて前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記ガラス基材載置部および前記積層体載置部に向けて移動させ、前記ガラス基材チャック手段を用いて前記ガラス基材をチャックするとともに、前記スペーサを前記積層体載置部に載置する手段であることを特徴とする構成７記載の積層体形成装置。 (Configuration 8) In the state where the spacer chuck means chucks the spacer, the control means (c) uses the second moving means to move the glass substrate chuck means and the spacer chuck means to the glass base, respectively. Means for moving toward the material placement portion and the laminate placement portion, chucking the glass substrate using the glass substrate chuck means, and placing the spacer on the laminate placement portion. 8. The laminate forming apparatus according to Configuration 7, wherein there is provided.

（構成９）構成１〜８のいずれかに記載の積層体形成装置を用いたことを特徴とする積層体形成方法。 (Configuration 9) A laminate forming method using the laminate forming apparatus according to any one of Configurations 1 to 8.

（構成１０）構成９記載の積層体形成方法を工程に含むことを特徴とするガラス基板の製造方法。 (Structure 10) A method for producing a glass substrate, comprising the step of forming a laminate according to Structure 9.

（構成１１）請求項１０記載のガラス基板の製造方法により製造されたことを特徴とするガラス基板。 (Structure 11) A glass substrate manufactured by the method for manufacturing a glass substrate according to claim 10.

（構成１２）構成１１記載のガラス基板と、前記磁気ディスク用基板の表面に設けられた下地層、磁性層、保護層、潤滑層を有することを特徴とする磁気記録媒体。 (Structure 12) A magnetic recording medium comprising the glass substrate according to Structure 11 and an underlayer, a magnetic layer, a protective layer, and a lubricating layer provided on the surface of the magnetic disk substrate.

本発明によれば、積層体の形成を自動化できる装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the apparatus which can automate formation of a laminated body can be provided.

図１（ａ）はガラス基板３１の平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は磁気記録媒体１００を示す断面図である。1A is a plan view of the glass substrate 31, FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1A, and FIG. 1C is a cross-sectional view showing the magnetic recording medium 100. ガラス基板３１の製造方法の詳細を示すフローチャートである。3 is a flowchart showing details of a method for manufacturing a glass substrate 31. 端面研磨装置１０１を示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing an end surface polishing apparatus 101. FIG. 積層体形成装置２００を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the laminated body formation apparatus 200. FIG. 積層体形成装置２００を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the laminated body formation apparatus. 積層体形成装置２００を用いて積層体４を形成する手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure which forms the laminated body 4 using the laminated body formation apparatus 200. FIG. 積層体形成装置２００を用いて積層体４を形成する手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure which forms the laminated body 4 using the laminated body formation apparatus 200. FIG. 積層体形成装置２００を用いて積層体４を形成する手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure which forms the laminated body 4 using the laminated body formation apparatus 200. FIG. 積層体形成装置２００を用いて積層体４を形成する手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure which forms the laminated body 4 using the laminated body formation apparatus 200. FIG. 積層体形成装置２００を用いて積層体４を形成する手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure which forms the laminated body 4 using the laminated body formation apparatus 200. FIG. 積層体形成装置２００を用いて積層体４を形成する手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure which forms the laminated body 4 using the laminated body formation apparatus 200. FIG. 積層体形成装置２００を用いて積層体４を形成する手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure which forms the laminated body 4 using the laminated body formation apparatus 200. FIG. 積層体形成装置２００を用いて積層体４を形成する手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure which forms the laminated body 4 using the laminated body formation apparatus 200. FIG. 積層体形成装置２００を用いて積層体４を形成する手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure which forms the laminated body 4 using the laminated body formation apparatus 200. FIG. 積層体形成装置２００を用いて積層体４を形成する手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure which forms the laminated body 4 using the laminated body formation apparatus 200. FIG.

以下、図面に基づき、本発明の実施形態を詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

まず、図１を参照して、本実施形態に係る積層体形成装置２００を用いたガラス基板の製造方法を用いて製造されるガラス基板３１の構造について簡単に説明する。 First, with reference to FIG. 1, the structure of the glass substrate 31 manufactured using the manufacturing method of the glass substrate using the laminated body formation apparatus 200 which concerns on this embodiment is demonstrated easily.

図１（ａ）に示すように、ガラス基板３１は、円板形状を有する本体８３を有し、本体８３の中心には内孔８５が形成されている。 As shown in FIG. 1A, the glass substrate 31 has a main body 83 having a disk shape, and an inner hole 85 is formed at the center of the main body 83.

図１（ｂ）に示すように、本体８３は、実質的に平滑な主表面８７ａ、８７ｂを有している。 As shown in FIG. 1B, the main body 83 has substantially smooth main surfaces 87a and 87b.

主表面８７ａ、８７ｂは、情報を記録再生するための層が形成される面であり、例えば図１（ｃ）に示すように、主表面８７ａ、８７ｂの一方または両方に、下地層９８ａ、磁性層９８ｂ、保護層９８ｃ、潤滑層９８ｄを設けることにより、ガラス基板３１は、磁気記録媒体１００となる(少なくとも磁性層９８ｂは記録層として必要)。 The main surfaces 87a and 87b are surfaces on which a layer for recording / reproducing information is formed. For example, as shown in FIG. 1C, one or both of the main surfaces 87a and 87b are provided with an underlayer 98a and magnetic layers. By providing the layer 98b, the protective layer 98c, and the lubricating layer 98d, the glass substrate 31 becomes the magnetic recording medium 100 (at least the magnetic layer 98b is necessary as a recording layer).

また、図１（ｂ）に示すように、本体８３は主表面８７ａ、８７ｂに対して直交している内周端面９１および外周端面８９を有している。 As shown in FIG. 1B, the main body 83 has an inner peripheral end surface 91 and an outer peripheral end surface 89 that are orthogonal to the main surfaces 87a and 87b.

内周端面９１および外周端面８９は面取されており、それぞれ内周面取面９３および外周面取面９５が設けられている。 The inner peripheral end face 91 and the outer peripheral end face 89 are chamfered, and an inner peripheral chamfered face 93 and an outer peripheral chamfered face 95 are provided, respectively.

さらに、本体８３は表面に化学強化層８７が形成されている。 Further, the main body 83 has a chemical strengthening layer 87 formed on the surface thereof.

化学強化層８７の詳細については後述するが、例えば、ガラス基板３１の原料となるガラスのイオンの一部を、よりイオン半径の大きいイオンに置換し、圧縮応力層とした層である。 Although details of the chemical strengthening layer 87 will be described later, for example, a part of glass ions that are the raw material of the glass substrate 31 is replaced with ions having a larger ion radius to form a compressive stress layer.

次に、図２〜図１４を参照して、ガラス基板３１の製造方法について説明する。 Next, with reference to FIGS. 2-14, the manufacturing method of the glass substrate 31 is demonstrated.

なお、以下の説明では、製造工程中におけるガラスを「ガラス基材３１ａ」と称し、完成品を「ガラス基板３１」と称することにする。 In the following description, the glass in the manufacturing process is referred to as “glass substrate 31a”, and the finished product is referred to as “glass substrate 31”.

まず、図２に示すように、原料となるガラスを円板状に成形してガラス基材３１ａを製造する（ステップ１０１）。 First, as shown in FIG. 2, the glass used as a raw material is shape | molded in disk shape, and the glass base material 31a is manufactured (step 101).

次に、図２に示すように、ガラス基材３１ａの板厚調整のため、主表面８７ａ、８７ｂを研削（第１ラッピング）する（ステップ１０２）。 Next, as shown in FIG. 2, the main surfaces 87a and 87b are ground (first lapping) in order to adjust the plate thickness of the glass substrate 31a (step 102).

次に、図２に示すように、ガラス基材３１ａの中心に内孔８５（図１参照）を形成する（ステップ１０３）。 Next, as shown in FIG. 2, an inner hole 85 (see FIG. 1) is formed in the center of the glass substrate 31a (step 103).

次に、図２に示すように、ガラス基材３１ａの端面のクラックを除去するため、内周端面９１および外周端面８９の面取を行う（ステップ１０４）。 Next, as shown in FIG. 2, the inner peripheral end face 91 and the outer peripheral end face 89 are chamfered to remove cracks on the end face of the glass substrate 31a (step 104).

なお、面取後に主表面８７ａ、８７ｂを研削（第２ラッピング）する工程を追加してもよい。これにより、内孔８５の形成や面取によって生じた凹凸を研削でき、研磨の際の負担を軽減できる。 In addition, you may add the process of grinding (2nd lapping) main surface 87a, 87b after chamfering. Thereby, the unevenness | corrugation which arose by formation and chamfering of the inner hole 85 can be ground, and the burden at the time of grinding | polishing can be reduced.

次に、図２に示すように、ガラス基材３１ａの内周端面９１および外周端面８９の研磨、即ち端面研磨を行う（ステップ１０５）。 Next, as shown in FIG. 2, the inner peripheral end face 91 and the outer peripheral end face 89 of the glass substrate 31a are polished, that is, end face polishing is performed (step 105).

ここで、ステップ１０５の詳細について説明する。 Details of step 105 will be described here.

まず、ステップ１０５における端面研磨に用いられる装置および方法について詳細に説明する。 First, the apparatus and method used for end face polishing in step 105 will be described in detail.

まず、端面を研磨するための端面研磨装置１０１の構造について、図３を参照して説明する。 First, the structure of the end surface polishing apparatus 101 for polishing the end surface will be described with reference to FIG.

図３に示すように、端面研磨装置１０１は、ガラス基材３１ａの端面を、複数枚が（スペーサ３２を介して）積層された積層体３３の状態で複数枚を同時に研磨する装置であり、積層体３３を固定する固定部１２２と、積層体３３を研磨する研磨体１２４と、研磨体１２４を駆動する研磨駆動部１１８と、研磨液を供給する研磨液供給部１４１を含んで構成されている。 As shown in FIG. 3, the end surface polishing apparatus 101 is an apparatus for simultaneously polishing a plurality of sheets in the state of a laminated body 33 in which a plurality of sheets are stacked (via a spacer 32) on the end surface of the glass substrate 31a. The fixing unit 122 is configured to fix the stacked body 33, the polishing body 124 that polishes the stacked body 33, the polishing drive unit 118 that drives the polishing body 124, and the polishing liquid supply unit 141 that supplies the polishing liquid. Yes.

積層体３３は、ガラス基材３１ａとスペーサ３２とを交互に積層したものである。 The laminated body 33 is obtained by alternately laminating glass base materials 31 a and spacers 32.

固定部１２２は、積層体３３を収納する基板ケース１３０と、基板ケース１３０に嵌合され、カラー１３６を介して積層体３３を締め付けて固定する締め付けカバー１３２と、基板ケース１３０を固定保持し、回動する回転保持台１３４とを有している。 The fixing portion 122 holds the substrate case 130 for housing the laminate 33, a fastening cover 132 that is fitted to the substrate case 130 and fastens and fixes the laminate 33 via the collar 136, and holds and fixes the substrate case 130. And a rotating holding table 134 that rotates.

研磨体１２４は、積層体３３のガラス基材３１ａに直交し、ガラス基材３１ａの内孔８５の中心軸に一致し、当該研磨体１２４の回転中心となる回転軸を有し、研磨本体１４０と、研磨本体１４０側壁に設けられた複数の研磨布１２６とを有している。 The polishing body 124 is orthogonal to the glass substrate 31a of the laminated body 33, coincides with the central axis of the inner hole 85 of the glass substrate 31a, has a rotation axis serving as the rotation center of the polishing body 124, and the polishing body 140. And a plurality of polishing cloths 126 provided on the side wall of the polishing body 140.

端面研磨装置１０１を用いて端面を研磨する場合は、研磨体１２４（の研磨布１２６）を積層体３３のガラス基材３１ａの内周端面９１および内周面取面９３に接触させ、内周端面９１と研磨体１２４との間に研磨液供給部１４１から研磨液を供給し、研磨体１２４を、回転軸を中心に回転して、内周端面９１および内周面取面９３を研磨する。 When the end surface is polished using the end surface polishing apparatus 101, the polishing body 124 (the polishing cloth 126) is brought into contact with the inner peripheral end surface 91 and the inner peripheral chamfered surface 93 of the glass substrate 31 a of the laminate 33, A polishing liquid is supplied from the polishing liquid supply unit 141 between the end surface 91 and the polishing body 124, and the polishing body 124 is rotated around the rotation axis to polish the inner peripheral end surface 91 and the inner peripheral chamfered surface 93. .

なお、図３では内周端面を研磨する装置のみを開示しているが、外周端面を研磨する装置も構成は基本的に同一である。 In FIG. 3, only the apparatus for polishing the inner peripheral end face is disclosed, but the apparatus for polishing the outer peripheral end face is basically the same in configuration.

即ち、積層体を固定する固定部と、研磨体と、研磨体を回転させる駆動部とを有しており、固定部で積層体を固定した状態で研磨体を回転させて積層体中のガラス基材３１ａの外周端面８９および外周面取面９５を研磨する。 That is, it has a fixing part for fixing the laminated body, a polishing body, and a driving part for rotating the polishing body, and the glass in the laminated body is rotated by rotating the polishing body in a state where the laminated body is fixed by the fixing part. The outer peripheral end face 89 and the outer peripheral chamfered surface 95 of the base material 31a are polished.

このように、端面研磨装置１０１は積層体３３の状態にてガラス基材３１ａの端面を研磨するため、研磨前に積層体３３を形成する必要がある。 Thus, since the end surface polishing apparatus 101 polishes the end surface of the glass substrate 31a in the state of the laminated body 33, it is necessary to form the laminated body 33 before polishing.

次に、積層体形成装置２００の構成および動作について、図４〜図１４を参照して説明する。 Next, a structure and operation | movement of the laminated body formation apparatus 200 are demonstrated with reference to FIGS.

まず、積層体形成装置２００の構成について、図４Ａおよび図４Ｂを参照して説明する。 First, the structure of the laminated body formation apparatus 200 is demonstrated with reference to FIG. 4A and FIG. 4B.

図４Ａに示すように、積層体形成装置２００は板状の台座２２を有し、さらに、台座２２に隣接してガラス基材３１ａを載置するガラス基材載置部２１を有している。 As shown in FIG. 4A, the laminated body forming apparatus 200 has a plate-like pedestal 22, and further has a glass base material placement portion 21 for placing a glass base material 31a adjacent to the pedestal 22. .

台座２２には、スペーサ３２（が積層されたスペーサ積層体３４）を載置するスペーサ載置部１８が設けられ、ガラス基材載置部２１とスペーサ載置部１８の間には積層体３３が載置される積層体載置部１７が設けられている。 The pedestal 22 is provided with a spacer placement portion 18 for placing a spacer 32 (a spacer laminate 34 in which the spacers 32 are laminated), and a laminate 33 is provided between the glass substrate placement portion 21 and the spacer placement portion 18. Is provided with a stacked body mounting portion 17.

スペーサ載置部１８、積層体載置部１７は図４Ａでは棒状の形状を有しており、それぞれスペーサ３２、積層体３３の孔を挿入することにより、これらは各載置部に固定される。 The spacer placing part 18 and the laminated body placing part 17 have rod-like shapes in FIG. 4A, and these are fixed to the respective placing parts by inserting holes of the spacer 32 and the laminated body 33, respectively. .

またガラス基材載置部２１にはチャック手段としての突起２１ａが設けられており、ガラス基材３１ａの内孔８５に突起２１ａを挿入することにより、ガラス基材載置部２１にガラス基材３１ａが固定（チャック）される。 Further, the glass substrate placement portion 21 is provided with a projection 21a as a chuck means. By inserting the projection 21a into the inner hole 85 of the glass substrate 31a, the glass substrate placement portion 21 is provided with a glass substrate. 31a is fixed (chucked).

さらに、ガラス基材載置部２１にはエアシリンダ２０が移動アームおよびアーム移動手段として台座２２の面方向に平行に設けられており、ガラス基材載置部２１はエアシリンダ２０によって図４ＡのＣ１、Ｃ２の向きに移動可能である。 Furthermore, an air cylinder 20 is provided in the glass base material placing portion 21 as a moving arm and arm moving means in parallel with the surface direction of the pedestal 22, and the glass base material placing portion 21 is shown in FIG. It can move in the direction of C1 and C2.

また、エアシリンダ２０には台座２２の法線方向に電動アクチュエータ１９が設けられており、ガラス基材載置部２１は電動アクチュエータ１９によって図４ＡのＢ１、Ｂ２の向きに移動可能である。 Further, the air cylinder 20 is provided with an electric actuator 19 in the normal direction of the pedestal 22, and the glass substrate placing portion 21 can be moved by the electric actuator 19 in the directions of B 1 and B 2 in FIG. 4A.

なお、各載置部の形状は、スペーサ３２、ガラス基材３１ａ、積層体３３を固定可能で、かつ後述するガラスチャック１０およびスペーサチャック１３の動作の邪魔にならない形状であれば、特に上記した形状には限定されない。 In addition, the shape of each mounting portion is particularly described above as long as the spacer 32, the glass substrate 31a, and the laminated body 33 can be fixed and do not interfere with the operation of the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 described later. The shape is not limited.

また、ガラス基材載置部２１、スペーサ載置部１８、積層体載置部１７は平面状の配置形状が一列になるように等間隔に配置されている。 Moreover, the glass base material mounting part 21, the spacer mounting part 18, and the laminated body mounting part 17 are arrange | positioned at equal intervals so that planar arrangement | positioning shape may become a row.

一方、台座２２には、ガラス基材載置部２１、スペーサ載置部１８、積層体載置部１７の配置形状が形成する列に平行になるようにして、レール３が設けられており、レール３上には当該列に平行になるようにして板状の側壁４が設けられている。 On the other hand, the pedestal 22 is provided with the rail 3 so that the arrangement shape of the glass substrate placement portion 21, the spacer placement portion 18, and the stacked body placement portion 17 is parallel to the row formed, A plate-like side wall 4 is provided on the rail 3 so as to be parallel to the row.

側壁４にはアダプタ２を介して第１の移動手段としてのエアシリンダ１が設けられており、側壁４は、エアシリンダ１によってレール３上を図４ＡのＥ１、Ｅ２の向きに移動可能である。 The side wall 4 is provided with an air cylinder 1 as a first moving means via an adapter 2, and the side wall 4 can be moved on the rail 3 in the directions of E 1 and E 2 in FIG. 4A by the air cylinder 1. .

側壁４には台座２２の法線方向にレール５が設けられており、レール５には側壁４と対向するようにして側壁８が設けられている。 A rail 5 is provided on the side wall 4 in the normal direction of the base 22, and a side wall 8 is provided on the rail 5 so as to face the side wall 4.

側壁８にはアダプタ７を介して第２の移動手段としてのエアシリンダ６が設けられており、側壁８はエアシリンダ６によってレール５上を図４ＡのＤ１、Ｄ２の向きに移動可能である。 The side wall 8 is provided with an air cylinder 6 as a second moving means via an adapter 7, and the side wall 8 can be moved on the rail 5 in the directions of D1 and D2 in FIG. 4A by the air cylinder 6.

側壁８には台座２２の法線方向に２本のレール９が設けられており、レール９にはガラスチャック１０（ガラス基材チャック手段）およびスペーサチャック１３（スペーサチャック手段）がガラス基材載置部２１、スペーサ載置部１８、積層体載置部１７の間隔と同じ間隔で設けられている。 Two rails 9 are provided on the side wall 8 in the normal direction of the base 22, and a glass chuck 10 (glass substrate chuck means) and a spacer chuck 13 (spacer chuck means) are mounted on the rail 9 on the glass substrate. It is provided at the same interval as the interval between the placement portion 21, the spacer placement portion 18, and the stacked body placement portion 17.

ガラスチャック１０およびスペーサチャック１３はレール９上を図４ＡのＤ１、Ｄ２の向きに移動可能であり、かつエアシリンダ６によって（側壁８の移動に応じて）Ｄ１、Ｄ２の向きに移動可能である。 The glass chuck 10 and the spacer chuck 13 are movable on the rail 9 in the directions of D1 and D2 in FIG. 4A, and are movable in the directions of D1 and D2 by the air cylinder 6 (in accordance with the movement of the side wall 8). .

ガラスチャック１０の下面にはガラス基材３１ａを吸着する吸着パッド１１が吸着手段として設けられている。 On the lower surface of the glass chuck 10, a suction pad 11 for sucking the glass substrate 31a is provided as a suction means.

スペーサチャック１３の下面にはスペーサ３２を吸着する吸着パッド１４が吸着手段として設けられている。スペーサチャック１３はさらに、スペーサ載置部１８の中心軸方向に向けて配置された噴出孔を持つエアブローノズル１６が設けられている。 A suction pad 14 for sucking the spacer 32 is provided on the lower surface of the spacer chuck 13 as a suction means. The spacer chuck 13 is further provided with an air blow nozzle 16 having an ejection hole disposed toward the central axis direction of the spacer mounting portion 18.

一方、積層体形成装置２００は台座２２と平行に、かつガラス基材載置部２１、スペーサ載置部１８、積層体載置部１７を挟んで側壁４と対向するように台座２７が設けられている。 On the other hand, the laminated body forming apparatus 200 is provided with a pedestal 27 so as to be parallel to the pedestal 22 and to face the side wall 4 with the glass substrate placing part 21, the spacer placing part 18 and the laminated body placing part 17 interposed therebetween. ing.

台座２７にはレール３と平行にレール２５が設けられており、レール２５上には台座２７と平行に台座２６がガラス収納部として設けられている。 A rail 25 is provided on the pedestal 27 in parallel with the rail 3, and a pedestal 26 is provided on the rail 25 in parallel with the pedestal 27 as a glass storage portion.

台座２６は、ガラス基材３１ａが収納されたプロセスカセット３５を載置可能に構成されている。 The pedestal 26 is configured so that a process cassette 35 in which the glass base material 31a is stored can be placed.

プロセスカセット３５は、図２における各工程間でガラス基材１ａを搬送する際にガラス基材１ａを収納する部材であり、少なくとも一面が開放された箱型の形状を有している。 The process cassette 35 is a member that stores the glass substrate 1a when the glass substrate 1a is transported between the steps in FIG. 2, and has a box shape with at least one surface opened.

プロセスカセット３５は、通常は横置き（開放面を上にした状態）で取り扱われるが、図４Ａでは開放面がガラス基材載置部２１、スペーサ載置部１８、積層体載置部１７を挟んで側壁４と対向するように、複数個が縦置きにされてレール２５に沿って設けられている。 The process cassette 35 is normally handled horizontally (with the open surface facing up), but in FIG. 4A, the open surface includes the glass substrate mounting portion 21, the spacer mounting portion 18, and the stacked body mounting portion 17. Plural pieces are arranged vertically and are provided along the rails 25 so as to face the side walls 4 with being sandwiched therebetween.

また、台座２７には、当該開放面を塞ぐようにしてガラス基材１ａの落下防止のための衝立２８が設けられている。 The pedestal 27 is provided with a partition 28 for preventing the glass substrate 1a from falling so as to block the open surface.

台座２６はアダプタ２４を介して電動アクチュエータ２３に接続可能であり、電動アクチュエータ２３によって図４ＡのＡ１、Ａ２の向きに移動することにより、プロセスカセット３５をＡ１、Ａ２の向きに移動させることが可能である。 The pedestal 26 can be connected to the electric actuator 23 via the adapter 24, and the process cassette 35 can be moved in the directions A1 and A2 by moving the electric actuator 23 in the directions A1 and A2 in FIG. 4A. It is.

このように、積層体形成装置２００はプロセスカセット３５を台座２６に直接載置して、プロセスカセット３５から直にガラス基材１ａを引き抜ける構造となっている。 Thus, the laminated body forming apparatus 200 has a structure in which the process cassette 35 is directly placed on the pedestal 26 and the glass substrate 1a is pulled out from the process cassette 35 directly.

そのため、別途、ガラス基材１ａを収納する容器を用意して、プロセスカセット３５からガラス基材１ａを容器に入れ替えるような作業は不要である。 Therefore, it is not necessary to prepare a container for storing the glass substrate 1a separately and replace the glass substrate 1a from the process cassette 35 with the container.

さらに、図４Ｂに示すように、積層体形成装置２００はコンピュータ等で構成された制御部４９を有し、制御部４９はエアシリンダ１、エアシリンダ６、吸着パッド１１、吸着パッド１４、エアシリンダ２０、電動アクチュエータ１９、エアブローノズル１６および電動アクチュエータ２３に接続され、後述するように、これらの駆動を制御している。 Further, as shown in FIG. 4B, the laminate forming apparatus 200 includes a control unit 49 configured by a computer or the like, and the control unit 49 includes the air cylinder 1, the air cylinder 6, the suction pad 11, the suction pad 14, and the air cylinder. 20, connected to the electric actuator 19, the air blow nozzle 16 and the electric actuator 23, and controls their drive as described later.

また、制御部４９は、エアシリンダ１、エアシリンダ６、ガラスチャック１０の吸着パッド１１、スペーサチャック１３の吸着パッド１４、エアシリンダ２０、電動アクチュエータ１９、エアブローノズル１６および電動アクチュエータ２３の駆動を制御するための制御手段（制御プログラム）として、プログラム（ａ）〜（ｈ）を有している。これらの役割は後述する。 The control unit 49 controls driving of the air cylinder 1, the air cylinder 6, the suction pad 11 of the glass chuck 10, the suction pad 14 of the spacer chuck 13, the air cylinder 20, the electric actuator 19, the air blow nozzle 16 and the electric actuator 23. As a control means (control program) for doing this, programs (a) to (h) are provided. These roles will be described later.

次に、積層体形成装置２００を用いた積層体３３の形成方法について、図４Ａ〜図１４を参照して説明する。 Next, a method for forming the stacked body 33 using the stacked body forming apparatus 200 will be described with reference to FIGS. 4A to 14.

なお、以下の説明では、図４Ａに示すように、積層体３３の最上面にスペーサ３２が載置され、ガラスチャック１０とスペーサチャック１３は何もチャックしておらず、ガラス基材載置部２１上にガラス基材３１ａが載置されておらず、かつ、プロセスカセット３５のうち、一番右側のプロセスカセット３５のみが開放面が衝立２８で塞がれておらず、ガラス基材載置部２１と対向している状態からの各部材の動作について説明する。 In the following description, as shown in FIG. 4A, the spacer 32 is placed on the uppermost surface of the laminate 33, and the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 are not chucked at all. No glass substrate 31 a is placed on 21, and only the rightmost process cassette 35 among the process cassettes 35 is not covered by the partition 28, and the glass substrate is placed. The operation of each member from the state facing the portion 21 will be described.

まず、制御部４９はプログラム（ａ）を用いてガラス基材３１ａをガラス基材載置部２１上に載置する。 First, the control part 49 mounts the glass base material 31a on the glass base material mounting part 21 using a program (a).

具体的には、図５に示すようにエアシリンダ２０を用いてガラス基材載置部２１をＣ１の向きに移動させてプロセスカセット３５内に挿入し、電動アクチュエータ１９をＢ２、Ｂ１の向きに移動させてガラス基材３１ａの内孔８５に突起２１ａを挿入し、下からすくいあげるようにしてガラス基材３１ａをチャックし、ガラス基材載置部２１上に載置する。 Specifically, as shown in FIG. 5, the glass substrate mounting portion 21 is moved in the direction of C1 using the air cylinder 20 and inserted into the process cassette 35, and the electric actuator 19 is set in the directions of B2 and B1. The protrusion 21a is inserted into the inner hole 85 of the glass substrate 31a by being moved, the glass substrate 31a is chucked so as to be scooped up from below, and placed on the glass substrate placing portion 21.

ここで、前述のように、プロセスカセット３５は縦置の状態で配置されている。 Here, as described above, the process cassette 35 is arranged vertically.

即ち、ガラス基材１ａは、プロセスカセット３５に収納された状態で、その主表面が、スペーサ載置部１８や、積層体載置部１７と平行になっている。 That is, the glass substrate 1 a is stored in the process cassette 35, and its main surface is parallel to the spacer mounting portion 18 and the stacked body mounting portion 17.

そのため、プロセスカセット３５を横置きの状態で配置した場合と異なり、チャックしたガラス基材１ａを回転させる等して、ガラス基材１ａの主表面の角度をスペーサ載置部１８や、積層体載置部１７の角度に合わせるように調整する機構を省略できる。 Therefore, unlike the case where the process cassette 35 is arranged in a horizontal state, the angle of the main surface of the glass substrate 1a is changed by, for example, rotating the chucked glass substrate 1a, and the like. A mechanism for adjusting the angle to match the angle of the mounting portion 17 can be omitted.

その後、図６に示すように、エアシリンダ２０を用いてガラス基材載置部２１をＣ２の向きに移動させて図４の位置に戻す。 Then, as shown in FIG. 6, the glass base material mounting part 21 is moved to the direction of C2 using the air cylinder 20, and it returns to the position of FIG.

次に、制御部４９はプログラム（ｂ）を用いてエアシリンダ１を制御して側壁４、８を図４のＥ１、Ｅ２の向きに移動させ、ガラスチャック１０とスペーサチャック１３がそれぞれガラス基材載置部２１と積層体載置部１７の上方に配置されるように移動させる（図６参照）。 Next, the control unit 49 uses the program (b) to control the air cylinder 1 to move the side walls 4 and 8 in the directions of E1 and E2 in FIG. 4, so that the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 are made of glass substrates. It moves so that it may be arrange | positioned above the mounting part 21 and the laminated body mounting part 17 (refer FIG. 6).

次に、制御部４９はプログラム（ｃ）を用いてエアシリンダ６を制御し、側壁８（ガラスチャック１０とスペーサチャック１３）を図７のＤ１の向きに移動させ（即ち、ガラス基材載置部２１と積層体載置部１７に向かって移動させ）、ガラスチャック１０とスペーサチャック１３がそれぞれガラス基材載置部２１のガラス基材３１ａと積層体載置部１７の積層体３３と接触するように移動させる。 Next, the control unit 49 controls the air cylinder 6 using the program (c), and moves the side wall 8 (the glass chuck 10 and the spacer chuck 13) in the direction of D1 in FIG. The glass chuck 10 and the spacer chuck 13 are in contact with the glass substrate 31a of the glass substrate mounting portion 21 and the laminate 33 of the laminate mounting portion 17, respectively. Move to do.

このとき、制御部４９はプログラム（ｃ）を用いてガラスチャック１０の吸着パッド１１でガラス基材載置部２１のガラス基材３１ａをチャックする。 At this time, the control part 49 chucks the glass base material 31a of the glass base material mounting part 21 with the suction pad 11 of the glass chuck 10 using the program (c).

次に、図８に示すように、制御部４９はプログラム（ｄ）を用いてエアシリンダ６を制御し、側壁８（ガラスチャック１０とスペーサチャック１３）を図８のＤ２の向き（ガラスチャック１０とスペーサチャック１３がガラス基材載置部２１と積層体載置部１７から離れる向き）に移動させる。 Next, as shown in FIG. 8, the control unit 49 controls the air cylinder 6 by using the program (d), and the side wall 8 (glass chuck 10 and spacer chuck 13) is oriented in the direction D2 (glass chuck 10). And the spacer chuck 13 are moved in a direction away from the glass substrate placing part 21 and the laminate placing part 17).

次に、図９に示すように、制御部４９はプログラム（ｅ）を用いてエアシリンダ１を制御し、側壁４、８を図９のＥ１の向きに移動させ、ガラスチャック１０とスペーサチャック１３がそれぞれ積層体載置部１７とスペーサ載置部１８の上方に配置されるように移動させる。 Next, as shown in FIG. 9, the control unit 49 controls the air cylinder 1 using the program (e) to move the side walls 4 and 8 in the direction of E1 in FIG. Are moved so as to be arranged above the stacked body placing part 17 and the spacer placing part 18, respectively.

次に、図１０に示すように、制御部４９はプログラム（ｆ）を用いてエアシリンダ６を制御し、側壁８（ガラスチャック１０とスペーサチャック１３）を図１０のＤ１の向きに移動させ（即ち、積層体載置部１７とスペーサ載置部１８に向かって移動させ）、ガラスチャック１０とスペーサチャック１３をそれぞれ積層体載置部１７の積層体３３とスペーサ載置部１８のスペーサ３２と接触させる。 Next, as shown in FIG. 10, the control unit 49 controls the air cylinder 6 using the program (f), and moves the side wall 8 (glass chuck 10 and spacer chuck 13) in the direction of D1 in FIG. That is, the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 are moved toward the laminated body placing part 17 and the spacer placing part 18, respectively, and the laminated body 33 of the laminated body placing part 17 and the spacer 32 of the spacer placing part 18 are respectively moved. Make contact.

なお、ガラスチャック１０とスペーサチャック１３は拘束されておらず、レール９に沿ってＤ１、Ｄ２の向きに移動するため、積層体載置部１７の積層体３３とスペーサ載置部１８のスペーサ３２の高さが異なる場合であっても、それぞれの高さに対応した位置にガラスチャック１０とスペーサチャック１３を配置することができる。 Since the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 are not restrained and move in the directions of D1 and D2 along the rail 9, the stacked body 33 of the stacked body mounting portion 17 and the spacer 32 of the spacer mounting portion 18 are used. Even if the heights are different, the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 can be arranged at positions corresponding to the respective heights.

このとき、制御部４９はプログラム（ｆ）を用いてガラスチャック１０のガラス基材３１ａをデチャックし、ガラス基材３１ａを積層体３３のスペーサ３２上に載置する。 At this time, the control unit 49 dechucks the glass substrate 31 a of the glass chuck 10 using the program (f), and places the glass substrate 31 a on the spacer 32 of the stacked body 33.

また、制御部４９はプログラム（ｆ）を用いてスペーサチャック１３の吸着パッド１４でスペーサ載置部１８のスペーサ３２のうち、最上面のスペーサ３２をチャックする。 Further, the control unit 49 chucks the uppermost spacer 32 of the spacers 32 of the spacer mounting unit 18 with the suction pad 14 of the spacer chuck 13 using the program (f).

次に、図１１に示すように、制御部４９はプログラム（ｇ）を用いてエアシリンダ６を制御し、側壁８（ガラスチャック１０とスペーサチャック１３）を図１１のＤ２の向き（ガラスチャック１０とスペーサチャック１３が積層体載置部１７とスペーサ載置部１８から離れる向き）に移動させる。 Next, as shown in FIG. 11, the control unit 49 controls the air cylinder 6 using the program (g), and the side wall 8 (the glass chuck 10 and the spacer chuck 13) is placed in the direction D2 (glass chuck 10) in FIG. And the spacer chuck 13 are moved in a direction away from the stacked body placing portion 17 and the spacer placing portion 18).

このとき、制御部４９はプログラム（ｇ）を用いてエアブローノズル１６からチャックしたスペーサ３２にエアを吹き付ける。これは、スペーサチャック１３がチャックしたスペーサ３２の下面に別のスペーサ３２が張り付いている場合に、張り付いたスペーサ３２を分離するためである。 At this time, the control unit 49 blows air onto the spacer 32 chucked from the air blow nozzle 16 using the program (g). This is to separate the stuck spacer 32 when another spacer 32 is stuck to the lower surface of the spacer 32 chucked by the spacer chuck 13.

以下はプログラム（ｈ）を用いて、プログラム（ａ）〜プログラム（ｇ）をこの順番で繰り返し実行し、あらかじめ定められた枚数だけガラス基材３１ａが積層されるまで上記した動作を繰り返す。 In the following, program (a) to program (g) are repeatedly executed in this order using program (h), and the above-described operation is repeated until a predetermined number of glass substrates 31a are stacked.

即ち、図１２および図１３に示すように、制御部４９はプログラム（ａ）を用いてガラス基材３１ａをガラス基材載置部２１上に載置する。 That is, as shown in FIGS. 12 and 13, the control unit 49 places the glass substrate 31 a on the glass substrate placing unit 21 using the program (a).

なお、一番右側のプロセスカセット３５の基板が全て取り出されていた場合、電動アクチュエータ２３をＡ１方向に移動させて２番目のプロセスカセット３５をガラス基材載置部２１の正面（対向する位置）に移動させてからガラス基材３１ａをガラス基材載置部２１上に載置する。 When all the substrates of the rightmost process cassette 35 have been taken out, the electric actuator 23 is moved in the A1 direction, and the second process cassette 35 is moved to the front (opposite position) of the glass base material placing portion 21. Then, the glass substrate 31a is placed on the glass substrate placing portion 21.

次に、制御部４９はプログラム（ｂ）を用いてエアシリンダ１を制御して側壁４、８を図４のＥ１、Ｅ２の向きに移動させ、ガラスチャック１０とスペーサチャック１３がそれぞれガラス基材載置部２１と積層体載置部１７の上方に配置されるように移動させる。 Next, the control unit 49 uses the program (b) to control the air cylinder 1 to move the side walls 4 and 8 in the directions of E1 and E2 in FIG. 4, so that the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 are made of glass substrates. It moves so that it may be arrange | positioned above the mounting part 21 and the laminated body mounting part 17. FIG.

このとき、制御部４９はプログラム（ｃ）を用いてガラスチャック１０でガラス基材載置部２１のガラス基材３１ａをチャックし、スペーサチャック１３のスペーサ３２をデチャックして積層体３３のガラス基材３１ａ上に載置する。以下の動作は記載が重複するため省略する。 At this time, the control unit 49 uses the program (c) to chuck the glass substrate 31 a of the glass substrate mounting unit 21 with the glass chuck 10, dechuck the spacer 32 of the spacer chuck 13, and the glass substrate of the laminate 33. Place on the material 31a. The following operations are omitted because the description is duplicated.

このように、積層体形成装置２００はエアシリンダ１とエアシリンダ６を用いてガラスチャック１０とスペーサチャック１３を左右（Ｅ１、Ｅ２）上下（Ｄ２、Ｄ１）に移動させ、交互にガラス基材３１ａとスペーサ３２をチャックして積層する構造としている。 Thus, the laminated body forming apparatus 200 moves the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 left and right (E1, E2) up and down (D2, D1) using the air cylinder 1 and the air cylinder 6, and alternately glass substrate 31a. And the spacer 32 are chucked and stacked.

そのため、従来は手作業で行っていた積層体３３の形成を自動化できる。 Therefore, it is possible to automate the formation of the stacked body 33 that has been conventionally performed manually.

また、積層体形成装置２００は、エアシリンダ１とエアシリンダ６を用いてガラスチャック１０とスペーサチャック１３を同時に移動させて積層体３３を形成している。 In addition, the laminated body forming apparatus 200 forms the laminated body 33 by simultaneously moving the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 using the air cylinder 1 and the air cylinder 6.

そのため、ガラスチャック１０とスペーサチャック１３を独立駆動させる場合と比べてアクチュエータの数を減らすことができ、また制御プログラムも簡略化できる。 Therefore, the number of actuators can be reduced and the control program can be simplified as compared with the case where the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 are driven independently.

以上がステップ１０５の詳細である。 The details of step 105 have been described above.

次に、図２に示すように、ガラス基材３１ａに化学強化を行い、化学強化層８７を形成する（ステップ１０６）。 Next, as shown in FIG. 2, the glass substrate 31a is chemically strengthened to form a chemically strengthened layer 87 (step 106).

具体的には、化学強化液にガラス基材３１ａを浸漬し、化学強化液に含まれているイオンと、ガラス基材３１ａに含まれているイオンとをイオン交換する。 Specifically, the glass substrate 31a is immersed in the chemical strengthening solution, and ions contained in the chemical strengthening solution are exchanged with ions contained in the glass substrate 31a.

この際、ガラス基材３１ａに含まれているイオンよりもイオン半径が大きいイオンとイオン交換が生じることにより、化学強化層８７は圧縮応力層となり、ガラス基材３１ａの表面の強度が上昇する。 At this time, ion exchange occurs with ions having an ionic radius larger than the ions contained in the glass substrate 31a, whereby the chemically strengthened layer 87 becomes a compressive stress layer and the strength of the surface of the glass substrate 31a increases.

次に、化学強化が終わると、ガラス基材３１ａを洗浄して表面の化学強化液を除去した後、図２に示すように、ガラス基材３１ａの主表面８７ａ、８７ｂの平坦度と表面粗さを調整する（実質的に平滑にする）ため、主表面８７ａ、８７ｂを研磨する（ステップ１０７）。 Next, after the chemical strengthening is finished, the glass substrate 31a is washed to remove the surface chemical strengthening solution, and then the flatness and surface roughness of the main surfaces 87a and 87b of the glass substrate 31a are removed as shown in FIG. In order to adjust the thickness (substantially smooth), the main surfaces 87a and 87b are polished (step 107).

また、研磨は２段階に分けて行っても良い。 Polishing may be performed in two stages.

具体的には、例えば、研磨液に含まれる砥粒として、粒径が異なる２種類の砥粒を用い、まず粒径が相対的に大きい砥粒を用いて第１研磨を行い、次に粒径が相対的に小さい砥粒を用いて第２研磨を行う。 Specifically, for example, as abrasive grains contained in the polishing liquid, two types of abrasive grains having different particle diameters are used, and first polishing is performed using abrasive grains having a relatively large particle diameter, and then the grains Second polishing is performed using abrasive grains having a relatively small diameter.

研磨が終了すると、ガラス基材３１ａを洗浄し、製造中に表面に付着した研磨剤や不純物を除去する（ステップ１０８）。 When the polishing is completed, the glass substrate 31a is washed to remove abrasives and impurities adhering to the surface during manufacture (step 108).

具体的にはスクラブ洗浄、超音波洗浄等の物理的な洗浄や、フッ化物、有機酸、過酸化水素、界面活性剤等を用いた薬液洗浄が挙げられる。 Specific examples include physical cleaning such as scrub cleaning and ultrasonic cleaning, and chemical cleaning using a fluoride, organic acid, hydrogen peroxide, surfactant, and the like.

最後に、製品検査（例えば主表面８７ａ、８７ｂの表面粗さやパーティクルの量の検査）を行う（ステップ１０９）。 Finally, product inspection (for example, inspection of the surface roughness of the main surfaces 87a and 87b and the amount of particles) is performed (step 109).

具体的には、例えばＯＤＴ（Optical Defect Tester）やＯＳＡ（Optical Surface Analyzer）を用いて欠陥検査を行う。 Specifically, defect inspection is performed using, for example, ODT (Optical Defect Tester) or OSA (Optical Surface Analyzer).

以上の工程により、ガラス基板３１が完成する。 The glass substrate 31 is completed through the above steps.

このように、本実施形態によれば、積層体形成装置２００はエアシリンダ１とエアシリンダ６を用いてガラスチャック１０とスペーサチャック１３を左右（Ｅ１、Ｅ２）上下（Ｄ２、Ｄ１）に移動させ、交互にガラス基材３１ａとスペーサ３２をチャックして積層する構造としている。 Thus, according to the present embodiment, the laminate forming apparatus 200 moves the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 left and right (E1, E2) up and down (D2, D1) using the air cylinder 1 and the air cylinder 6. The glass substrate 31a and the spacer 32 are alternately chucked and stacked.

また、本実施形態によれば、積層体形成装置２００は、エアシリンダ１とエアシリンダ６を用いてガラスチャック１０とスペーサチャック１３を同時に移動させて積層体３３を形成している。 Further, according to the present embodiment, the laminated body forming apparatus 200 forms the laminated body 33 by simultaneously moving the glass chuck 10 and the spacer chuck 13 using the air cylinder 1 and the air cylinder 6.

上述した実施形態では、本発明を磁気記録媒体用のガラス基板３１を製造する製造工程に適用した場合について説明したが、本発明は何らこれに限定されることなく、基板とスペーサを交互に積層する必要がある全ての装置に適用できる。 In the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to the manufacturing process for manufacturing the glass substrate 31 for a magnetic recording medium has been described. However, the present invention is not limited to this, and the substrate and the spacer are alternately stacked. Applicable to all devices that need to be

また、上述した実施形態ではガラス基材３１ａに化学強化を行っているが、化学強化の代わりにエッチングを行っても良い。 In the above-described embodiment, the glass substrate 31a is chemically strengthened, but etching may be performed instead of chemical strengthening.

さらに、上述した実施形態ではガラス基材３１ａに化学強化を行った後に研磨を行っているが、研磨を行った後に化学強化を行ってもよい。 Further, in the above-described embodiment, polishing is performed after chemically strengthening the glass substrate 31a. However, chemical strengthening may be performed after polishing.

１……………エアシリンダ
６……………エアシリンダ
１０…………ガラスチャック
１３…………スペーサチャック
１７…………積層体載置部
１８…………スペーサ載置部
２１…………ガラス基材載置部
３１…………ガラス基板
３１ａ………ガラス基材
４９…………制御部
８３…………本体
８５…………内孔
８７ａ………主表面
１０１………端面研磨装置
２００………積層体形成装置 1 ………… Air cylinder 6 ………… Air cylinder 10 ………… Glass chuck 13 ………… Spacer chuck 17 ………… Laminated body placing portion 18 ………… Spacer placing portion 21 ………… Glass substrate placement part 31 ………… Glass substrate 31 a ………… Glass substrate 49 ………… Control part 83 ………… Main body 85 ………… Inner hole 87 a ………… Main surface 101 ... End face polishing apparatus 200 ... Laminate forming apparatus

Claims

A glass substrate mounting portion on which the glass substrate is mounted;
A moving arm that moves the glass substrate to the glass substrate mounting portion;
A spacer placement portion on which the spacer is placed;
A laminated body placing part for placing a laminated body provided between the glass substrate placing part and the spacer placing part, wherein the glass substrate and the spacer are alternately laminated;
Glass substrate chuck means for chucking the glass substrate and placing it on the laminate mounting portion,
Spacer chuck means for chucking the spacer and mounting the spacer on the stacked body mounting portion;
Forming means for forming the laminate by alternately placing the glass substrate and the spacer on the laminate placing portion, the glass substrate chuck means and the spacer chuck means;
A laminated body forming apparatus comprising:

A glass storage part in which the glass substrate is stored;
The moving arm is
A glass substrate placement unit moving means for moving the glass substrate placement unit to the glass storage unit;
Chuck means for chucking the glass substrate;
The laminate forming apparatus according to claim 1, comprising:

2. The laminated body forming apparatus according to claim 1, wherein the glass substrate chuck means and / or the spacer chuck means includes means for adsorbing the glass substrate and / or spacer.

The said spacer mounting part, the said laminated body mounting part, and the said glass base material mounting part are arrange | positioned so that planar arrangement | positioning shape may become in a line. The laminated body formation apparatus as described in.

The lamination according to claim 1, wherein the glass substrate placement portion and the laminate placement portion, and the laminate placement portion and the spacer placement portion are arranged at equal intervals, respectively. Body forming device.

The forming means includes
A first movement for moving the glass substrate chuck means and the spacer chuck means integrally above two of the glass substrate placement portion, the laminate placement portion, and the spacer placement portion. Means,
A second movement for moving the glass substrate chuck unit and the spacer chuck unit integrally toward two of the glass substrate mounting unit, the laminate mounting unit, and the spacer mounting unit. Means,
The laminate forming apparatus according to claim 1, comprising:

Control means (a) for placing the glass substrate on the glass substrate placing part using the moving arm;
Control means (b) for moving the glass base material chuck means and the spacer chuck means above the glass base material placement part and the laminate placement part, respectively, using the first moving means,
Using the second moving unit, the glass substrate chuck unit and the spacer chuck unit are moved toward the glass substrate mounting unit and the laminate mounting unit, respectively, and the glass substrate chuck unit is used. Control means (c) for chucking the glass substrate;
Control means (d) for moving the glass substrate chuck means and the spacer chuck means in the direction away from the glass substrate mounting portion and the laminate mounting portion, respectively, using the second moving means; ,
Control means (e) for moving the glass substrate chuck means and the spacer chuck means above the stacked body placing portion and the spacer placing portion, respectively, using the first moving means,
Using the second moving means, the glass substrate chuck means and the spacer chuck means are moved toward the laminate placing portion and the spacer placing portion, respectively, and the glass substrate is placed on the laminate placing portion. A control means (f) mounted on a portion and chucking the spacer using the spacer chuck means;
Control means (g) for moving the glass substrate chuck means and the spacer chuck means in a direction away from the laminate placing portion and the spacer placing portion, respectively, using the first moving means,
Control means (h) for repeating the control means (a) to (g) in this order;
The laminate forming apparatus according to claim 6, further comprising:

In the state where the spacer chuck means chucks the spacer, the control means (c) uses the second moving means to move the glass substrate chuck means and the spacer chuck means to the glass substrate mounting portion. And a means for moving the glass substrate toward the laminate mounting portion, chucking the glass substrate using the glass substrate chuck means, and placing the spacer on the laminate mounting portion. The laminate forming apparatus according to claim 7.

A laminate forming method using the laminate forming apparatus according to claim 1.

The manufacturing method of the glass substrate characterized by including the laminated body formation method of Claim 9 in a process.

A glass substrate manufactured by the method for manufacturing a glass substrate according to claim 10.

A glass substrate according to claim 11;
A magnetic recording medium comprising an underlayer, a magnetic layer, a protective layer, and a lubricating layer provided on the surface of the magnetic disk substrate.