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JP2010205773A - Solid-state imaging device and method for manufacturing the same - Google Patents

Solid-state imaging device and method for manufacturing the same Download PDF

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JP2010205773A JP2009046644A JP2009046644A JP2010205773A JP 2010205773 A JP2010205773 A JP 2010205773A JP 2009046644 A JP2009046644 A JP 2009046644A JP 2009046644 A JP2009046644 A JP 2009046644A JP 2010205773 A JP2010205773 A JP 2010205773A
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Takashi Tasei
隆 田制
Yasushi Nakagiri
康司 中桐
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Panasonic Corp
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Abstract

【課題】本発明は、小型固体撮像装置において製造時や製品完成後の固体撮像素子基板の傾きや反りによる配線パターンの絶縁発生を防ぎ、品質を向上させることを目的とする。
【解決手段】貫通開口部を有する絶縁性構造体に、前記貫通開口部を塞ぐように固体撮像素子基板を装着し、固体撮像素子基板の固定用として、第1の接着剤と第2の接着剤の2種類が形成する。
【選択図】図1
An object of the present invention is to prevent the occurrence of insulation of a wiring pattern due to the inclination or warpage of a solid-state image pickup device substrate at the time of manufacture or after completion of a product in a small solid-state image pickup device, and to improve the quality.
A solid-state image pickup device substrate is mounted on an insulating structure having a through-opening portion so as to close the through-opening portion, and a first adhesive and a second adhesive are used for fixing the solid-state image pickup device substrate. Two types of agents form.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、固体撮像装置およびその製造方法に係り、特に、監視カメラ、医療用カメラ、車載用カメラなどの半導体撮像素子を用いて形成される小型の固体撮像装置およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a solid-state imaging device and a manufacturing method thereof, and more particularly to a small solid-state imaging device formed using a semiconductor imaging device such as a surveillance camera, a medical camera, and an in-vehicle camera, and a manufacturing method thereof. .

近年、携帯電話、車載部品等で小型カメラの需要が急速に進展している。この種の小型カメラは固体撮像素子によりレンズなどの光学系を介して入力される画像を電気信号として出力する固体撮像装置が使用されている。そしてこの撮像装置の小型化、高性能化に伴い、カメラがより小型化され、各方面で使用されてきており、映像の入力装置としての市場を広げている。従来の半導体撮像素子を用いた撮像装置は、レンズ、半導体撮像素子、その駆動回路および信号処理回路などを搭載したLSI等の部品を夫々筐体あるいは構造体に形成してこれらを組み合わせている。このような組み合わせによる実装構造は、従来、平板上のプリント基板上に各素子を搭載することによって形成されていた。   In recent years, the demand for small cameras for mobile phones, in-vehicle components, etc. has been rapidly increasing. This type of small camera uses a solid-state imaging device that outputs an image input as an electrical signal by an optical system such as a lens by a solid-state imaging device. With the downsizing and higher performance of this imaging device, the camera is further downsized and used in various fields, expanding the market as a video input device. In a conventional image pickup apparatus using a semiconductor image pickup device, components such as an LSI on which a lens, a semiconductor image pickup device, a driving circuit thereof, a signal processing circuit, and the like are mounted are respectively formed in a housing or a structure and combined. Conventionally, such a mounting structure is formed by mounting each element on a printed circuit board on a flat plate.

そこで、装置の更なる小型化をはかるために、図7に示すような固体撮像装置が開示されている(特許文献1)。開口部102と立体配線部104を持つ樹脂構造体101の表裏に固体撮像素子103と光学フィルター109を搭載した構造である。さらに、固体撮像素子103をバンプ105を用いて樹脂構造体101に接続した後に、周囲に封止樹脂108を充填することにより補強固定している。   Therefore, in order to further reduce the size of the device, a solid-state imaging device as shown in FIG. 7 is disclosed (Patent Document 1). In this structure, a solid-state imaging device 103 and an optical filter 109 are mounted on the front and back of a resin structure 101 having an opening 102 and a three-dimensional wiring portion 104. Further, after the solid-state imaging device 103 is connected to the resin structure 101 using the bumps 105, the surroundings are reinforced and fixed by filling a sealing resin 108 around the periphery.

しかし、このような構造と製造方法では、搭載する固体撮像素子の高機能化によるピン数の増加や樹脂構造体の小型化に対して、一部の配線パターン部において、電気的な接触界面での浮きや剥離が発生するという現象が起こっていた。   However, with such a structure and manufacturing method, an increase in the number of pins due to higher functionality of the mounted solid-state imaging device and a reduction in the size of the resin structure can cause an electrical contact interface in some wiring pattern portions. Phenomenon of floating and peeling occurred.

特開2003−158252号公報JP 2003-158252 A

このように、電気的な接触界面での浮きや剥離が発生する場合には、電気不良となり、部分的な電気不良でも固体撮像装置としては不良品となってしまう。特に、初期組立て時の電気接続は大丈夫でもその後の信頼性を確保するのが困難となり、不良発生率が増加するという課題が発生していた。   As described above, when floating or peeling at the electrical contact interface occurs, an electrical failure occurs, and even a partial electrical failure becomes a defective product as a solid-state imaging device. In particular, even if the electrical connection at the time of initial assembly is okay, it is difficult to ensure the subsequent reliability, and there is a problem that the incidence of defects increases.

本発明は、前記実情に鑑みてなされたもので、固体撮像素子の電気的接続の補強固体の強化のために、第1の接着剤と第2の接着剤を形成することを特徴とし、配線基板との電気接続を確実にするとともに、固体撮像装置の品質の向上を図ることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and is characterized in that a first adhesive and a second adhesive are formed to reinforce a solid for reinforcing electrical connection of a solid-state imaging device, It is an object to ensure electrical connection with a substrate and improve the quality of a solid-state imaging device.

本発明の固体撮像装置は、絶縁性樹脂で構成され、貫通開口部を有する構造体と、前記構造体表面に形成された配線部と、前記配線部に接続されると共に、前記貫通開口部を塞ぐように前記構造体に装着された固体撮像素子と、前記固体撮像素子と対向し前記貫通開口部を塞ぐように前記構造体に装着された透光性部材とを具備し、前記固体撮像素子の前記構造体への電気的接続の固定用として、第1の接着剤と第2の接着剤の2種類が形成されていることを特徴としている。
この構成により、前記固体撮像素子を装着した時の電気的接続直後の状態を第1の接着剤で補強固定し、その後、全体の補強固定を第2の接着剤で行うことができるので、電気接続を強固にすることが出来るために、品質および歩留まりの向上を得ることが出来る。
The solid-state imaging device according to the present invention is made of an insulating resin and has a structure having a through-opening, a wiring formed on the surface of the structure, connected to the wiring, and the through-opening A solid-state image sensor mounted on the structure so as to close; and a translucent member mounted on the structure so as to face the solid-state image sensor and close the through opening. In order to fix the electrical connection to the structure, two types of adhesives, a first adhesive and a second adhesive, are formed.
With this configuration, the state immediately after the electrical connection when the solid-state imaging element is mounted can be reinforced and fixed with the first adhesive, and then the entire reinforcement and fixing can be performed with the second adhesive. Since the connection can be strengthened, quality and yield can be improved.

本発明の他の固体撮像装置は、第1の接着剤は粘度が高く、第2の接着剤は粘度が低いことを特徴としている。
この構成により、第1の接着剤の使用時には部分的に補強固定することが可能であり、第2の接着剤の使用時には全体を充填する補強固定を行なうことが出来、双方の効果により、補強固定効果を向上させることが出来る。
Another solid-state imaging device according to the present invention is characterized in that the first adhesive has a high viscosity and the second adhesive has a low viscosity.
With this configuration, when the first adhesive is used, it can be partially reinforced and fixed, and when the second adhesive is used, the whole can be reinforced and fixed. The fixing effect can be improved.

本発明の他の固体撮像装置は、第1の接着剤を固体撮像素子の角部に用い、第2の接着剤を固体撮像素子の辺部に用いられていることを特徴としている。
この構成により、第1の接着剤により傾きに対して効果がある角部を補強固定し、第2の接着剤により全体を充填する辺を補強固定することが可能となり、補強固定効果を向上させることが出来る。
Another solid-state imaging device of the present invention is characterized in that the first adhesive is used at the corners of the solid-state imaging element and the second adhesive is used at the sides of the solid-state imaging element.
With this configuration, it is possible to reinforce and fix corners that are effective against inclination with the first adhesive, and to reinforce and fix the side filling the whole with the second adhesive, thereby improving the reinforcing and fixing effect. I can do it.

本発明の他の固体撮像装置は、前記第1の接着剤は熱硬化性接着剤であり、前記第2の接着剤はUV硬化性および熱硬化性を有する接着剤であることを特徴としている。
この構成により、第1の接着剤を熱硬化して固定してから、第2の接着剤をUV照射しながら充填することで、接着剤の光学部材(光学フィルタなど)への付着を防止し、信頼性の高い固体撮像装置を提供することができる。
Another solid-state imaging device of the present invention is characterized in that the first adhesive is a thermosetting adhesive and the second adhesive is an adhesive having UV curable properties and thermosetting properties. .
With this configuration, the first adhesive is thermally cured and fixed, and then the second adhesive is filled while being irradiated with UV, thereby preventing adhesion of the adhesive to the optical member (such as an optical filter). A solid state imaging device with high reliability can be provided.

本発明の他の固体撮像装置は、透光性部材として光学フィルタを用いることを特徴としている。
この構成により、良好な光学特性を得ることが出来る。
Another solid-state imaging device of the present invention is characterized in that an optical filter is used as the translucent member.
With this configuration, good optical characteristics can be obtained.

本発明の固体撮像装置の製造方法は、貫通開口部を持つ絶縁性樹脂の表面に形成された配線部上に固体撮像素子を装着する工程と、装着した前記固体撮像素子の角部に第1の接着剤を塗布する工程と、前記第1の接着剤を同時に熱硬化する工程と、第2の接着剤を前記固体撮像素子の周囲に充填する工程と、前記第2の接着剤を硬化する工程と、透光性部材を装着する工程とからなることを特徴としている。
この構成により、補強固定力が向上する構造を製造することが出来、品質および歩留まりの向上を得ることが出来る。
The method for manufacturing a solid-state imaging device according to the present invention includes a step of mounting a solid-state imaging device on a wiring portion formed on the surface of an insulating resin having a through-opening, and a first portion at a corner of the mounted solid-state imaging device. A step of applying the adhesive, a step of thermally curing the first adhesive at the same time, a step of filling the second adhesive around the solid-state imaging device, and curing the second adhesive. It consists of a process and the process of mounting | wearing a translucent member, It is characterized by the above-mentioned.
With this configuration, it is possible to manufacture a structure in which the reinforcing fixing force is improved, and it is possible to obtain an improvement in quality and yield.

本発明の固体撮像装置の製造方法は、前記充填する工程が、前記貫通開口部を介してUV照射しながら前記第2の接着剤を充填する工程であることを特徴とする。
この構成により、第1の接着剤を熱硬化して固定してから、第2の接着剤をUV照射しながら充填することで、接着剤の光学フィルタなどへの付着を防止し、信頼性の高い固体撮像装置を提供することができる。
In the method for manufacturing a solid-state imaging device according to the present invention, the filling step is a step of filling the second adhesive while irradiating UV through the through opening.
With this configuration, the first adhesive is thermally cured and fixed, and then the second adhesive is filled while being irradiated with UV, thereby preventing adhesion of the adhesive to an optical filter and the like. A high solid-state imaging device can be provided.

以上説明したように本発明の固体撮像装置およびその製造方法によれば、固体撮像素子基板の傾きや反りによる電気接続不良の発生を抑制し、さらに局部的な電極部の密着性の補強も行うことが出来、品質の高い固体撮像装置を提供することができる。   As described above, according to the solid-state imaging device and the method of manufacturing the same of the present invention, the occurrence of poor electrical connection due to the inclination or warping of the solid-state imaging device substrate is suppressed, and the local electrode portion adhesion is also reinforced. Therefore, a high-quality solid-state imaging device can be provided.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態の固体撮像装置の断面図を図1、図2に示す。
構造体1には貫通開口部2が形成されており、固体撮像素子3が構造体1の表面に形成されている配線パターン4にバンプ5を介して電気的に装着されている。固体撮像素子3は貫通開口部2を塞ぐように装着されており、固体撮像素子3の端子(図示せず)に接続されているバンプ5の先端部は導電性接着剤6で接続されており、構造体1の配線パターンと接続している。そして固体撮像素子3の角部に第1の接着剤7が配されており、バンプ5と導電性接着剤6の周囲および固体撮像素子3と構造体1の間には、第2の接着剤8が充填されている。固体撮像素子3と相対して透光性部材としての光学フィルタ9が設置されている。
第1の接着剤7は図2に示すように固体撮像素子3の角部に形成されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(First embodiment)
1 and 2 are sectional views of the solid-state imaging device according to the first embodiment of the present invention.
A through opening 2 is formed in the structure 1, and the solid-state imaging device 3 is electrically attached to the wiring pattern 4 formed on the surface of the structure 1 through bumps 5. The solid-state image sensor 3 is mounted so as to close the through-opening 2, and the tip of the bump 5 connected to a terminal (not shown) of the solid-state image sensor 3 is connected by a conductive adhesive 6. The wiring pattern of the structure 1 is connected. The first adhesive 7 is disposed at the corner of the solid-state image sensor 3, and the second adhesive is provided around the bump 5 and the conductive adhesive 6 and between the solid-state image sensor 3 and the structure 1. 8 is filled. An optical filter 9 as a translucent member is installed opposite to the solid-state imaging device 3.
The first adhesive 7 is formed at the corner of the solid-state image sensor 3 as shown in FIG.

構造体1は絶縁性のポリフタルアミド樹脂で構成され、光学フィルタ9は水晶屈折板を用い、バンプ5としては金バンプを用いた。
第1の接着剤は、外部の熱変化に対する固体撮像素子全体の傾きや反りを抑制することで接続部全体にかかる応力を低減し、各接続部の接続不良発生を抑制する役割を担っている。第2の接着剤は接続バンプ周りの空間および固体撮像素子と構造体との間の空間に充填することで、各接続部の部分的な接着力の補強を行なう役割を担っている。
The structure 1 is made of an insulating polyphthalamide resin, the optical filter 9 is a crystal refracting plate, and the bump 5 is a gold bump.
The first adhesive reduces the stress applied to the entire connection part by suppressing the inclination and warpage of the entire solid-state imaging device with respect to an external heat change, and plays a role of suppressing the occurrence of connection failure at each connection part. . The second adhesive fills the space around the connection bumps and the space between the solid-state imaging device and the structure, thereby playing a role of reinforcing the partial adhesive force of each connection portion.

第1の接着剤は粘度が高く(140Pa・s)、熱硬化性のエポキシ樹脂を使用した。固体撮像素子の角部で留まり、全体の動きを抑制するためである。また、第2の接着剤は粘度が低く(5Pa・s)、UV硬化性および熱硬化性のエポキシ樹脂を使用した。必要な空間を隙間無く充填し、密着力を確保するためである。   The first adhesive had a high viscosity (140 Pa · s) and used a thermosetting epoxy resin. This is because it stays at the corner of the solid-state imaging device and suppresses the overall movement. The second adhesive had a low viscosity (5 Pa · s), and UV curable and thermosetting epoxy resins were used. This is because the necessary space is filled without any gaps to ensure adhesion.

このような構成をとることにより、熱変化や外部衝撃に対しても接続部における接続不良をさらに抑制することができ、製造時および製品完成時において電気絶縁不良が起こることなく、品質が高い固体撮像装置を得ることが出来る。   By adopting such a configuration, it is possible to further suppress poor connection at the connection portion against thermal changes and external impacts, and there is no electrical insulation failure at the time of manufacture and product completion, and a high quality solid An imaging device can be obtained.

次にこの固体撮像装置の製造方法について説明する。製造工程図を図3乃至7に示す。
まず、構造体11に透光性部材としての光学フィルタ9を接着した(図3)。次いで、光学フィルタ9に対向して貫通開口部2を塞ぐように構造体1の金属配線パターン4に固体撮像素子基板3を設置した(図4)。このとき、固体撮像素子基板3の電極(図示せず)上にバンプ5を形成し、その先端に導電性接着剤6を転写形成した。バンプ5は金線で形成し、導電性接着剤6としては銀ペーストを用いた。
Next, a method for manufacturing the solid-state imaging device will be described. Manufacturing process diagrams are shown in FIGS.
First, the optical filter 9 as a translucent member was bonded to the structure 11 (FIG. 3). Next, the solid-state imaging device substrate 3 was placed on the metal wiring pattern 4 of the structure 1 so as to close the through opening 2 so as to face the optical filter 9 (FIG. 4). At this time, the bumps 5 were formed on the electrodes (not shown) of the solid-state image pickup device substrate 3, and the conductive adhesive 6 was transferred and formed on the tip thereof. The bump 5 was formed of a gold wire, and a silver paste was used as the conductive adhesive 6.

このようにして、固体撮像素子(基板)3を(金属)配線パターン4上に設置した後に、図6に示すように、第1の接着剤7を固体撮像素子3の角部に塗布した。ここで第1の接着剤7としてはUV硬化開始剤を含まないエポキシ系樹脂を用いる。
その後、図7に示すように、導電性接着剤6および第1の接着剤7を加熱硬化した。続いて第2の接着剤8を充填した。この第2の接着剤8としてはUV硬化開始剤を含むエポキシ系樹脂を用いた。このとき、固体撮像素子3の角部には、第1の接着剤7が存在しているので、第2の接着剤8の充填は、固体撮像素子3の辺部から注入を行なった。
Thus, after installing the solid-state image sensor (substrate) 3 on the (metal) wiring pattern 4, the first adhesive 7 was applied to the corners of the solid-state image sensor 3 as shown in FIG. 6. Here, an epoxy resin that does not contain a UV curing initiator is used as the first adhesive 7.
Thereafter, as shown in FIG. 7, the conductive adhesive 6 and the first adhesive 7 were heat-cured. Subsequently, the second adhesive 8 was filled. As the second adhesive 8, an epoxy resin containing a UV curing initiator was used. At this time, since the first adhesive 7 is present at the corner of the solid-state imaging device 3, the second adhesive 8 was filled from the side of the solid-state imaging device 3.

第2の接着剤8の注入時には、透光性部材9側から開口部を通してUV光(図示せず)を照射した。その結果、第2の接着剤8はこの開口部2側からUV光で硬化する。このため、固体撮像素子基板3の撮像エリアには到達することなく、必要な部分のみを充填することができる。続いて、第2の接着剤の加熱硬化を行なった。   When the second adhesive 8 was injected, UV light (not shown) was irradiated from the translucent member 9 side through the opening. As a result, the second adhesive 8 is cured with UV light from the opening 2 side. For this reason, it is possible to fill only the necessary portion without reaching the imaging area of the solid-state imaging device substrate 3. Subsequently, the second adhesive was heat-cured.

このような製造方法を取ることで、導電性ペースト硬化時における固体撮像素子基板の傾きや反りを抑制し、定位置に強固に固定することができる。さらに空間に充填された接着剤による部分的な密着性の補強も行うことができ、電気絶縁不良の無い高品質な固体撮像装置を製造することが可能となる。   By taking such a manufacturing method, the inclination and the curvature of the solid-state imaging device substrate at the time of curing the conductive paste can be suppressed and firmly fixed in place. Furthermore, partial adhesion can be reinforced with an adhesive filled in the space, and a high-quality solid-state imaging device free from defective electrical insulation can be manufactured.

以上説明したように本発明の固体撮像装置およびその製造方法によれば、固体撮像素子基板の傾きや反りによる電気接続不良の発生を抑制し、さらに局部的な電極部の密着性の補強も行うことが出来、品質の高い固体撮像装置を提供することができることから、携帯端末など種々の電子機器に適用可能である。   As described above, according to the solid-state imaging device and the method of manufacturing the same of the present invention, the occurrence of poor electrical connection due to the inclination or warping of the solid-state imaging device substrate is suppressed, and the local electrode portion adhesion is also reinforced. Therefore, since it is possible to provide a high-quality solid-state imaging device, it can be applied to various electronic devices such as a portable terminal.

本発明の第1の実施の形態における固体撮像装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the solid-state imaging device in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態における固体撮像装置を示す平面図である。It is a top view which shows the solid-state imaging device in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the solid-state imaging device in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the solid-state imaging device in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the solid-state imaging device in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the solid-state imaging device in the 2nd Embodiment of this invention. 従来例の固体撮像装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the solid-state imaging device of a prior art example.

1 構造体
2 貫通開口部
3 固体撮像素子
4 配線パターン
5 バンプ
6 導電性接着剤
7 第1の接着剤
8 第2の接着剤
9 光学フィルタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Structure 2 Through-opening part 3 Solid-state image sensor 4 Wiring pattern 5 Bump 6 Conductive adhesive 7 First adhesive 8 Second adhesive 9 Optical filter

Claims (7)

絶縁性樹脂で構成され、貫通開口部を有する構造体と、
前記構造体表面に形成された配線部と、
前記配線部に接続されると共に、前記貫通開口部を塞ぐように前記構造体に装着された固体撮像素子と、
前記固体撮像素子と対向し前記貫通開口部を塞ぐように前記構造体に装着された透光性部材とを具備し、
前記固体撮像素子の前記構造体への電気的接続の固定用として、第1の接着剤と第2の接着剤の2種類が形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
A structure made of an insulating resin and having a through opening; and
A wiring portion formed on the surface of the structure;
A solid-state imaging device connected to the wiring portion and mounted on the structure so as to close the through opening;
A translucent member mounted on the structure so as to face the solid-state imaging element and close the through opening;
A solid-state imaging device, wherein two types of first adhesive and second adhesive are formed for fixing electrical connection of the solid-state imaging element to the structure.
請求項1に記載の固体撮像装置であって、
前記第1の接着剤は粘度が高く、前記第2の接着剤は粘度が低い固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 1,
The first adhesive has a high viscosity, and the second adhesive has a low viscosity.
請求項1または2に記載の固体撮像装置であって、
第1の接着剤を固体撮像素子の角部に用い、第2の接着剤を固体撮像素子の辺部に用いられている固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 1 or 2,
A solid-state imaging device in which a first adhesive is used at a corner of a solid-state image sensor and a second adhesive is used at a side of the solid-state image sensor.
請求項1乃至3のいずれかに記載の固体撮像装置であって、
前記第1の接着剤は熱硬化性接着剤であり、前記第2の接着剤はUV硬化性および熱硬化性を有する接着剤である固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to any one of claims 1 to 3,
The solid-state imaging device, wherein the first adhesive is a thermosetting adhesive, and the second adhesive is a UV-curable and thermosetting adhesive.
請求項1乃至4のいずれかに記載の固体撮像装置であって、
前記透光性部材は、光学フィルタである固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 1,
The translucent member is a solid-state imaging device which is an optical filter.
貫通開口部を持つ絶縁性樹脂の表面に形成された配線部上に固体撮像素子を装着する工程と、
装着した前記固体撮像素子の角部に第1の接着剤を塗布する工程と、
前記第1の接着剤を同時に熱硬化する工程と、
第2の接着剤を前記固体撮像素子の周囲に充填する工程と、
前記第2の接着剤を硬化する工程と、
透光性部材を装着する工程とからなることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
Mounting a solid-state imaging device on a wiring portion formed on the surface of an insulating resin having a through opening; and
Applying a first adhesive to a corner of the mounted solid-state imaging device;
Thermally curing the first adhesive simultaneously;
Filling the periphery of the solid-state image sensor with a second adhesive;
Curing the second adhesive;
A method for manufacturing a solid-state imaging device, comprising: a step of mounting a translucent member.
請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法であって、
前記充填する工程は、前記貫通開口部を介してUV照射しながら前記第2の接着剤を充填する工程である固体撮像装置の製造方法。
It is a manufacturing method of the solid-state imaging device according to claim 1,
The filling step is a method of manufacturing a solid-state imaging device, which is a step of filling the second adhesive while irradiating UV through the through opening.
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WO2018030140A1 (en) * 2016-08-08 2018-02-15 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 Imaging element, production method, and electronic apparatus
US10412282B2 (en) 2016-03-03 2019-09-10 Denso Corporation Camera device

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