JP2010249722A - Radiation image detecting cassette - Google Patents
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 31
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 87
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 86
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 26
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 12
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
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- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
Description
本発明は、放射線画像検出カセッテに関する。 The present invention relates to a radiological image detection cassette.
近年、被写体に放射線を照射し、被写体を透過した放射線を検出して放射線画像を得る方法として、デジタル方式の放射線画像検出装置が用いられている。このような放射線画像検出装置としては、いわゆるFPD(Flat Panel Detector)がある。 In recent years, a digital radiographic image detection apparatus has been used as a method of obtaining a radiographic image by irradiating a subject with radiation and detecting the radiation transmitted through the subject. As such a radiation image detection apparatus, there is a so-called FPD (Flat Panel Detector).
FPDの一例としては、基板上に複数の検出素子を二次元的に配列し、被写体を透過した放射線が蛍光体(シンチレータ)に照射され、照射された放射線量に応じて発光する可視光を電荷に変換して光電変換素子に蓄積し、光電変換素子に蓄積した電荷を読み出すことにより放射線画像を得るものがある。このようなFPDは撮影直後に放射線画像を得られるという即時性を有している。 As an example of an FPD, a plurality of detection elements are two-dimensionally arranged on a substrate, radiation that has passed through a subject is irradiated onto a phosphor (scintillator), and visible light that is emitted according to the amount of irradiated radiation is charged. There is one that obtains a radiographic image by reading the electric charge accumulated in the photoelectric conversion element by converting into the photoelectric conversion element. Such an FPD has immediacy that a radiographic image can be obtained immediately after imaging.
特許文献1に記載されたX線画像記録用電子カセッテは可搬型のFPDであり、所定の場所に運ばれて放射線画像の撮影に使用される。特許文献1に記載されたX線画像記録用電子カセッテにおいて、二次元光電変換素子を支持するガラス基板は、支持板に接着固定されており、X線画像記録用電子カセッテ内の所定位置に設置されている。 The electronic cassette for X-ray image recording described in Patent Document 1 is a portable FPD, and is carried to a predetermined place and used for radiographic imaging. In the electronic cassette for X-ray image recording described in Patent Document 1, the glass substrate that supports the two-dimensional photoelectric conversion element is bonded and fixed to a support plate, and is installed at a predetermined position in the electronic cassette for X-ray image recording. Has been.
特許文献1に記載されたX線画像記録用電子カセッテにおいて、ガラス基板と支持板が異なる材質である場合、熱膨張係数の差異により、X線画像記録用電子カセッテ内で温度が上昇するとガラス基板と支持板が異なる割合で膨張することになる。ガラス基板と支持板が全面的に接着固定された状態で各々が異なる割合で膨張すると、ガラス基板を含むX線検出パネルが反ってしまったり、接着固定された部分が剥がれてガラス基板がずれてしまったりする。また、場合によってはガラス基板が割れてしまう。 In the electronic cassette for X-ray image recording described in Patent Document 1, when the glass substrate and the support plate are made of different materials, if the temperature rises in the electronic cassette for X-ray image recording due to the difference in thermal expansion coefficient, the glass substrate And the support plate will expand at different rates. If the glass substrate and the support plate are all bonded and fixed, and each expands at a different rate, the X-ray detection panel including the glass substrate is warped, or the bonded and fixed portion is peeled off and the glass substrate is displaced. I'm sorry. In some cases, the glass substrate is broken.
そこで、本発明の目的は、熱による伸縮が発生した場合でも接着して固定されたガラス基板が割れてしまう等の不具合を防止する放射線画像検出カセッテを提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a radiation image detection cassette that prevents problems such as breakage of a glass substrate that is bonded and fixed even when expansion and contraction due to heat occurs.
上記目的を達成するため、本発明に係る放射線画像検出カセッテは、
被写体に向けて照射された放射線を検出して放射線画像データを取得する可搬型の放射線画像検出カセッテであって、
入射した放射線に対応した電気信号を出力する検出部と、
当該検出部が設置されたガラス基板と、
当該ガラス基板を支持する基台と、を有し、
前記ガラス基板と前記基台との間の一部領域に空隙が形成された状態で、前記ガラス基板と前記基台が接着されていることを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, a radiological image detection cassette according to the present invention comprises:
A portable radiation image detection cassette that detects radiation irradiated toward a subject and obtains radiation image data,
A detector that outputs an electrical signal corresponding to the incident radiation;
A glass substrate on which the detection unit is installed;
A base that supports the glass substrate;
The glass substrate and the base are bonded together with a gap formed in a partial region between the glass substrate and the base.
本発明に係る放射線画像検出カセッテによれば、熱による伸縮が発生した場合でも接着して固定されたガラス基板が割れてしまう等の不具合を防止し、継続的に適正な放射線画像の検出を行うことが出来る。 According to the radiographic image detection cassette of the present invention, even when expansion and contraction due to heat occurs, it is possible to prevent a malfunction such as a broken glass substrate that is bonded and fixed, and continuously detect an appropriate radiographic image. I can do it.
[カセッテ型検出器の概要]
図1は、カセッテ型検出器の斜視図である。放射線画像検出カセッテであるカセッテ型検出器1は、カセッテ型のフラットパネルディテクタ(Flat Panel Detector)である。カセッテ型検出器1は、照射された放射線を検出してデジタル画像データとして取得する放射線検出部2(図3等参照)と、放射線検出部2を内部に収納するハウジング3とを備えている。
[Outline of cassette type detector]
FIG. 1 is a perspective view of a cassette type detector. A cassette type detector 1 which is a radiation image detection cassette is a cassette type flat panel detector. The cassette type detector 1 includes a radiation detection unit 2 (see FIG. 3 and the like) that detects irradiated radiation and acquires it as digital image data, and a
本実施形態において、ハウジング3は、放射線入射方向の厚さが15mmとなるように形成されている。なお、ハウジング3の放射線入射方向の厚さは16mm以下であることが好ましく、従来のスクリーン/フィルム用のカセッテにおける規格(JIS Z 4905)に準拠するサイズ(15mm+1mmであり、かつ15mm−2mm)の範囲内であることが好ましい(JIS Z 4905に対応する国際規格は、IEC 60406である)。
In the present embodiment, the
図2は、ハウジング3の分解斜視図である。図2に示すように、ハウジング3は、両端部に開口部311、312を有する中空の本体部31と、本体部31の各開口部311、312を塞ぐ第1の蓋部材32及び第2の蓋部材33とを備えている。
FIG. 2 is an exploded perspective view of the
本体部31は、カーボン繊維体(例えば炭素繊維強化プラスチック:CFRP)で構成され、軽量で強度が優れたものである。本体部31の厚さは筒状にしてカセッテ型検出器1の強度を保つようにしている。
The
第1の蓋部材32及び第2の蓋部材33は、蓋本体部321、331と、挿入部322、332とを備えており、例えば、アルミニウム、マグネシウムで形成される。
The
挿入部322、332の各側面には、第1の蓋部材32及び第2の蓋部材33と、本体部31と、を係合する係合片324、334が、開口部311、312に対する挿入方向に向かって延出している。係合片324、334の外側面には、それぞれ係合凸部325、335が設けられている。第1の蓋部材32と第2の蓋部材33が本体部31に挿入されると、係合凸部325、335が本体部31に設置された係合凹部315、316に係合する。
第1の蓋部材32における蓋本体部321の一側面には、カセッテ型検出器1と外部の機器との間で無線により情報の送受信を行うための無線通信部4が埋め込まれており、無線通信部4には、金属からなる平板状の一対の放射板41、42と、一対の放射板41、42に対して給電する給電部43とが設けられている。
A wireless communication unit 4 for wirelessly transmitting and receiving information between the cassette type detector 1 and an external device is embedded in one side surface of the lid
また、蓋本体部321の一面であって、無線通信部4が形成されている面と同一面上には、ハウジング3の内部に設けられた充電池24(図3等参照)を充電する際に外部の電源等と接続される充電用端子51と、カセッテ型検出器1の電源のON/OFFを切り替える電源スイッチ52が設けられている。更に、無線通信部4が形成されている面と放射線入射側の面とによって形成される角部には、例えばLED等で構成され充電池24の充電状況や各種の操作状況等を表示するインジケータ53が設けられている。
In addition, when charging the rechargeable battery 24 (see FIG. 3 and the like) provided inside the
[カセッテ型検出器の内部構造]
次にカセッテ型検出器1の内部構造について説明する。図3は、図1に示すカセッテ型検出器1をa方向から見た所定箇所の断面図である。
[Internal structure of cassette type detector]
Next, the internal structure of the cassette type detector 1 will be described. FIG. 3 is a cross-sectional view of a predetermined portion of the cassette type detector 1 shown in FIG.
図3に示すように、放射線検出部2は、検出器ユニット21、基台22、電気部品(中継基板23A、制御基板23B、充電池24(例えばリチウムイオンキャパシタ等)により構成されている。本実施形態において、基台22の上方の面には検出器ユニット21が支持されており、基台22の下方の面には制御基板23Bや充電池24等、複数の電気部品が取り付けられている。
As shown in FIG. 3, the
基台22は可撓性であり、樹脂により構成されている。基台22の材質は例えばポリカーボネイトとABSを混合した樹脂である。基台22はガラス基板213を支持しており、図3には示していないが基台22とガラス基板213の間には薄い鉛の層が介在している。
The
検出器ユニット21はシンチレータ211、検出部212、ガラス基板213、対向基板214等から構成されている。検出器ユニット21の基本構造を説明すると、検出部212がガラス基板213の上に設置されており、その上方にシンチレータ211が設置されている。シンチレータ211の上方には対向基板214が設置されており、シンチレータ211は対向基板214とガラス基板213に挟まれている。ガラス基板213と対向基板214は、例えば、ともに厚みが0.6mm程度の基板である。
The
シンチレータ211は入射した放射線を光に変換する機能を有する。シンチレータ211は、例えば、蛍光体を主たる成分とし、入射した放射線に基づいて、波長が300nmから800nmの電磁波、すなわち、可視光線を中心に紫外光から赤外光にわたる電磁波(光)を出力するようになっている。
The
検出部212はシンチレータ211から出力された電磁波(光)を電気エネルギーに変換して蓄積し、蓄積された電気エネルギーに基づいた電気信号を出力する。検出部212で発生した電気信号は不図示のフレキシブルハーネスにより第1中継基板23Aに送られる。
The
基台22の端部や対向基板214の上方には緩衝材215が設置されている。
A
以上、図1〜図3に示すカセッテ型検出器1を使用することにより、被写体の放射線画像を検出することが可能となっている。 As described above, by using the cassette type detector 1 shown in FIGS. 1 to 3, it is possible to detect a radiographic image of a subject.
[ガラス基板と基台との接合]
次にガラス基板213と基台22との接合方法について詳しく説明する。
[Bonding of glass substrate and base]
Next, a method for joining the
図4は、基台22の上面22Aとガラス基板213との接合方法を示す斜視図である。ガラス基板213と基台22との接合方法を説明するために、図4ではガラス基板213の一部を省略している。
FIG. 4 is a perspective view showing a method of joining the
ガラス基板213は基台22の上面22Aに接着剤Sにより接合(接着)されている(ハッチングで示す部分が接着剤Sが塗布された領域である)。ガラス基板213が接着剤Sにより基台22に接合されることにより、ガラス基板213はカセッテ型検出器1内の適正な位置に固定される。
The
前述したように基台22は樹脂により構成されており、ガラス基板213と異なる材質である。従って、基台22の熱膨張係数とガラス基板213の熱膨張係数が異なるため、カセッテ型検出器1内で温度が上昇すると、ガラス基板213よりも基台22の方が膨張して伸びる。
As described above, the
その点を考慮し、図4で示すように基台22の上面22Aにおいて、接着剤Sが設置されている領域Xと、接着剤Sが設置されていない領域Yが、交互に設けられており、ガラス基板213の長手方向bにおいて、断続的に接着剤Sが配置されている。
Considering this point, as shown in FIG. 4, on the
図5は、基台22とガラス基板213の拡大断面図である。図5でも示すように、基台22とガラス基板213との間には、接着剤Sが設置されている領域Xと、接着剤Sが設置されていない領域Yが、交互に設けられている。領域Yでは接着剤Sが設置されていないことにより、微小ではあるが領域Xにおける接着剤Sの厚み分の空隙Tが形成されている(基台22とガラス基板213との間の一部領域において空隙Tが形成されている)。
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the
領域Xでは接着剤Sによりガラス基板213と基台22が接合されるが、領域Yではガラス基板213と基台22は接合されないため、基台22が熱膨張により伸びたとしても領域Yにおいてガラス基板213が基台22により図5の左右方向に引っ張られることはない。その結果、ガラス基板213と基台22との間の全域において接着剤により接合するよりも、基台22の熱膨張によって発生するガラス基板213の反り、接合部分が剥がれることによるガラス基板213の位置ずれ、ガラス基板213の割れ等の不具合を防止することが出来る。
In the region X, the
以上説明したようにガラス基板213と基台22との間の一部領域に空隙Tが形成された状態で、ガラス基板213と基台22が接合されることにより、ガラス基板213が接着剤により適正な位置に固定されるとともに、ガラス基板213と基台22との熱膨張係数の差異により生じるガラス基板213の反り、位置ずれ、割れ等の不具合を防止することが出来る。特に規格サイズのカセッテ型検出器1では、ガラス基板213や基台22が薄いため、熱膨張の影響を受けて反り等が発生しやすい。従って、本発明は規格サイズのカセッテ型検出器1において特に効果的である。
As described above, the
なお、ガラス基板213の長手方向b(図4参照)の方が短手方向よりも、長い分だけ基台22の熱膨張の影響を受けやすい。そこで、図4に示すようにガラス基板213の長手方向bにおいて、断続的に接着剤Sが配置されることが好ましい。
Note that the longer direction b (see FIG. 4) of the
[ガラス基板と基台との接合に関する別の実施形態(1)]
図6は、図4に示す実施形態と異なる実施形態である。図6に示す実施形態は、基台22の強度を増したり、基台22の平面性を確保したりするために、ガラスを含有させた繊維強化樹脂により基台22を形成した場合の実施形態である。
[Another embodiment (1) relating to joining of glass substrate and base]
FIG. 6 is an embodiment different from the embodiment shown in FIG. The embodiment shown in FIG. 6 is an embodiment in which the
図6(b)に基台22の上面22Aを示す。例えば図6(b)に示す白抜き矢印の方向からガラスを含有する樹脂を成形金型に流して基台22を形成した場合、基台22の上面22Aには破線で示すようにガラスによる繊維が配向される。その結果、ガラスの繊維方向(c方向)と直交する方向(d方向)において、ガラス繊維が少なく樹脂が多い部分(図6(b)の無地の部分)と、ガラス繊維が多く樹脂が少ない部分(図6(b)の破線の部分)とが、交互に配設されたような構造の基台22となる。そしてカセッテ型検出器1内の温度が上昇すると、ガラス繊維が少なく樹脂が多い部分が影響して、ガラスの繊維方向と直交する方向(d方向)において基台22が伸びやすい傾向となる。
FIG. 6B shows the
そこで、図6(a)の実施形態では、ガラスの繊維方向と直交する方向(d方向)において、接着剤Sが設置されている領域Xと、接着剤Sが設置されていない領域Yが、交互に設けられており、断続的に接着剤Sが配置されている。このような接着剤Sの配置にすることにより、基台22の伸びやすい方向において基台22の熱膨張がガラス基板213に影響しなくなるため、効果的にガラス基板213の反り、位置ズレ、割れ等の不具合を防止することが出来る。
Therefore, in the embodiment of FIG. 6A, in the direction (d direction) orthogonal to the fiber direction of the glass, the region X where the adhesive S is installed and the region Y where the adhesive S is not installed are: The adhesives S are provided alternately and intermittently. By arranging the adhesive S in this way, the thermal expansion of the
[ガラス基板と基台との接合に関する別の実施形態(2)]
図7は、図6と同様にガラスを含有させた繊維強化樹脂により基台22を形成した場合の実施形態である。
[Another embodiment (2) regarding joining of glass substrate and base]
FIG. 7 shows an embodiment in which the
図7(b)に基台22の上面22Aを示す。例えばピンゲートによりガラスを含有する樹脂を成形金型に流して基台22を形成した場合、図7(b)に示す矢印のように所定箇所から樹脂が広がるように流れて基台22が形成される。そして基台22内に形成されるガラスの繊維方向も樹脂が広がる方向に沿う形となる。
FIG. 7B shows the
そこで、図7(a)の実施形態では、接着剤Sを断続的に且つマトリックス状に配置されている。このような接着剤Sの配置にすることにより、どの方向においても基台22の熱膨張がガラス基板213に影響しなくなるため、効果的にガラス基板213と基台22との熱膨張率の差により生じるガラス基板213の反り、位置ズレ、割れ等の不具合を防止することが出来る。
Therefore, in the embodiment of FIG. 7A, the adhesive S is disposed intermittently and in a matrix. With such an arrangement of the adhesive S, the thermal expansion of the
[ガラス基板と基台との接合に関する別の実施形態(3)]
図8は、更に別の実施形態を示す。図8で示すように、ガラス基板213と基台22は、柔軟性のある粘着剤Pにより接着させている。粘着剤Pの内部には複数の空隙Tが設置されており、ガラス基板213と基台22との間の一部領域に空隙Tが形成されている形となっている。図8で示すように粘着剤Pの内部に複数の空隙Tが形成されていると、基台22が熱膨張により伸びたとしても、基台22の伸びを空隙Tが吸収し、基台22がガラス基板213を図8の左右方向に引っ張ることはない。従って、図8に示す実施形態でもガラス基板213と基台22との熱膨張係数の差異により生じるガラス基板213の反り、位置ズレ、割れ等の不具合を防止することが出来る。
[Another embodiment (3) regarding joining of glass substrate and base]
FIG. 8 shows yet another embodiment. As shown in FIG. 8, the
1 カセッテ型検出器
2 放射線検出部
3 ハウジング
21 検出器ユニット
22 基台
211 シンチレータ
212 検出部
213 ガラス基板
214 対向基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (5)
入射した放射線に対応した電気信号を出力する検出部と、
当該検出部が設置されたガラス基板と、
当該ガラス基板を支持する基台と、を有し、
前記ガラス基板と前記基台との間の一部領域に空隙が形成された状態で、前記ガラス基板と前記基台が接着されていることを特徴とする放射線画像検出カセッテ。 A portable radiation image detection cassette that detects radiation irradiated toward a subject and obtains radiation image data,
A detector that outputs an electrical signal corresponding to the incident radiation;
A glass substrate on which the detection unit is installed;
A base that supports the glass substrate;
A radiation image detection cassette, wherein the glass substrate and the base are bonded together with a gap formed in a partial region between the glass substrate and the base.
前記基台における繊維方向と直交する方向において、断続的に接着剤が配置されている請求項2に記載の放射線画像検出カセッテ。 The base is formed of a fiber reinforced resin,
The radiation image detection cassette according to claim 2, wherein an adhesive is intermittently disposed in a direction orthogonal to the fiber direction of the base.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009100808A JP2010249722A (en) | 2009-04-17 | 2009-04-17 | Radiation image detecting cassette |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009100808A JP2010249722A (en) | 2009-04-17 | 2009-04-17 | Radiation image detecting cassette |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010249722A true JP2010249722A (en) | 2010-11-04 |
Family
ID=43312220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009100808A Pending JP2010249722A (en) | 2009-04-17 | 2009-04-17 | Radiation image detecting cassette |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2010249722A (en) |
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