JP2010119609A - クリーンシューズロッカー - Google Patents

Abstract

【課題】クリーンシューズロッカーと別の靴裏清掃装置を用いることなく、クリーンシューズの保存機能の他に、クリーンシューズの表面及び底面を清掃する機能を備えたクリーンシューズロッカーを提供すること。
【解決手段】クリーンシューズロッカーは、扉と、フィルターつき外気取込口と、無端形状のベルトと、回転装置と、気流発生装置と、フィルター部を含む靴箱を少なくとも１つ備える。扉は、靴箱の入口からの塵埃の流入を遮断する。無端形状のベルトは、上にクリーンシューズが置かれる。回転装置は、無端形状のベルトを回転させる。気流発生装置は、靴箱内に気流を発生させる。フィルター部は、気流により導かれた塵埃を捕獲する。
【選択図】図２Ｂ

Description

本発明は、クリーンルーム内で用いられるクリーンシューズを保管するロッカーに関する。

半導体を製造するクリーンルーム内などで用いられるクリーンシューズは、使用されていない時には、クリーンシューズ専用のクリーンシューズロッカーに収納される。特開昭６２−２３７２３４号公報（特許文献１）では、クリーンシューズロッカーは、フィルターを通した清浄空気をクリーンシューズにあてて循環させる機能を備えることにより、塵埃の付着や悪臭の滞留を防止している。また、実開昭５９−１９６１４３号公報（特許文献２）では、クリーンシューズロッカーは、殺菌効果、消臭効果を備えた部材を用いることにより、清潔性を維持している。

従来のクリーンシューズロッカー内にクリーンシューズを保管すると、クリーンシューズの靴裏の塵埃が付着したまま残る。クリーンルームの利用者は、クリーンシューズロッカー内に保管されたクリーンシューズの裏面に塵埃が付着した状態のクリーンシューズをクリーンルーム内で使用しなければならない。従って、クリーンルームの利用者は、余計な塵埃をクリーンルーム内に持ち込まないようにするには、クリーンルーム入室前に手動でクリーンシューズの裏面を清掃するか、靴裏清掃装置を別途導入する必要がある。

クリーンシューズロッカーはクリーンルームの入口の前に設置されるのが常である。一方で、設置スペースの観点、あるいは導入コストの観点から、さらに靴裏清掃装置を導入設置できない場合も少なくない。

特開昭６２−２３７２３４号公報 実開昭５９−１９６１４３号公報

特許文献１および２に開示されたクリーンシューズロッカー内にクリーンシューズを保管すると、クリーンシューズの靴裏の塵埃が付着したまま残る。従ってクリーンシューズの靴裏の塵埃をクリーンルーム内に持ち込まないようにするには、クリーンルーム入室前にクリーンシューズの裏面を清掃しなければならないという問題がある。

本発明の第１の観点において、クリーンルームで使用されるクリーンシューズを収納保管するクリーンシューズロッカーが提供される。クリーンシューズロッカーは、扉と、フィルターつき外気取込口と、無端形状のベルトと、回転装置と、気流発生装置と、フィルター部を含む靴箱を少なくとも１つ備える。扉は、靴箱の入口からの塵埃の流入を遮断する。無端形状のベルトは、上にクリーンシューズが置かれる。回転装置は、無端形状のベルトを回転させる。気流発生装置は、靴箱内に気流を発生させる。フィルター部は、気流により導かれた塵埃を捕獲する。

本発明の第２の観点において、クリーンルームで用いられるクリーンシューズの清掃と保管を両方行うクリーンシューズ清掃保管方法が提供される。クリーンシューズの清掃保管方法は、クリーンルームで使用されるクリーンシューズが靴箱内の無端輪状のベルト部に置かれた時に、気流を生成させ、無端輪状のベルト部を回転させるステップと、クリーンシューズの靴裏の塵埃を除去するステップと、靴箱内の塵埃を捕獲するステップと、気流の生成とベルト部の回転を停止させるステップを備える。

本発明のクリーンシューズロッカーでは、クリーンシューズの靴底に付着した塵埃が除去されて、保管される。そのため、本発明のクリーンシューズロッカーから取り出されたクリーンシューズの靴底は清浄であるため、クリーンルーム入室時に靴底を清掃する必要がない。

添付図面を参照して、本発明に係るクリーンシューズロッカーの実施の形態を説明する。

本発明の実施の形態に係るクリーンシューズロッカー全体の立体図を図１Ａに、側面図を図１Ｂに示し、Ｘ軸Ｙ軸Ｚ軸を設定する。本発明に係るクリーンシューズロッカーは、少なくとも１つの靴箱ＳＢ_Ｎ（ＮはＮ≧１の整数）を備える。本実施の形態においては、簡単のため、Ｎ＝３の時、つまり靴箱ＳＢ_１、靴箱ＳＢ_２、靴箱ＳＢ_３の３つの靴箱で構成されたクリーンシューズロッカーを例に取り、発明の詳細を説明する。クリーンシューズロッカーは、靴箱ＳＢ_Ｎと、気流発生装置１５と、フィルター部１６と、ダクト１７を備える。

靴箱ＳＢ_Ｎの上面図を図２Ａ、側面図を図２Ｂに示す。靴箱ＳＢ_Ｎは、扉１１と、フィルターつき外気取込口１２と、ベルト部１３と、回転装置１４と、ストッパー２０と、吸引口２１を備える。靴箱ＳＢ_Ｎの大きさはとくに制限しないが、一足のクリーンシューズ１８を収納する程度の大きさが妥当である。ここで、クリーンシューズ１８とは、清浄性が保たれている空間（クリーンルーム）で用いられる靴を指す。

扉１１は、クリーンシューズを収納する入口に設置される。扉１１は、外部からの塵埃の流入を遮断するために、扉１１の縁にパッキンなどが備わっていることが好ましい。従って、扉１１が閉じられた状態では、靴箱ＳＢ_Ｎは高密閉性を保っている。なお、扉１１は、蝶番で止められた部分を軸に弧を描いて開閉する周知のものである。

フィルターつき外気取込口１２は、クリーンシューズロッカー外部の塵埃の流入を遮断し、空気のみが靴箱ＳＢ_Ｎ内に流入する穴部である。従って、扉１１が閉まっている状態では、靴箱ＳＢ_Ｎ内に新たに塵埃が流入することはない。本発明の実施に形態においては、フィルターつき外気取込口１２は、図１Ａ、図１Ｂに示されるように、扉１１に設けられているが、この限りではない。

ベルト部１３は、クリーンシューズ１８をＳＢ_Ｎ内に収納する際のクリーンシューズ１８を置く靴置台の役割を兼ねる。ベルト部１３は、無端輪状になっており、回転装置１４と軸１０１の周りに巻かれている。ここで、回転装置１４は、通電を受けると図２Ｂの矢印の方向に回転する周知のものである。回転装置１４は、支持部１０２と支持部１０３に支えられている。軸１０１は、支持部１０４と支持部１０５に支えられている。支持部１０２、支持部１０３、支持部１０４、支持部１０５は、靴箱ＳＢ_Ｎの底面に設置されている。ベルト部１３は、クリーンシューズ１８が置かれた際に、クリーンシューズ１８の靴裏の反りに沿って下方に垂れる程度の弾性をもった素材であることが好ましい。また、ベルト部１３は、回転装置１４および軸１０１が回転している時に、回転装置１４と軸１０１に対して滑らずに、回転装置１４と軸１０１と同回転加速度で回転する程度の弾性をもった素材であることが好ましい。つまり、ベルト部１３と回転装置１４が滑ることのない摩擦係数、およびベルト部１３と軸１０１が滑ることのない摩擦係数、となる程度に無端輪を形成しているベルト部１３が伸びて、回転装置１４と軸１０１との間の距離ｓが設定されることが好ましい。一方で、ベルト部１３と支持部１０２、支持部１０３、支持部１０４、支持部１０５との間に、遊び部分の距離ｔをもたせることが好ましい。

ベルト部１３は、図２Ｂに示されるように、ベルト部１３の表面にブラシ１９を備える。ブラシ１９は、クリーンシューズ１８の荷重で折れたり極端に曲がったりしない程度の弾性をもった材質の多数の毛で構成されていることが好ましい。一方で、ブラシ１９の毛の長さは統一されていなくてもよい。ブラシ１９の毛は、図３に示されるような向きにベルト部１３から伸びている。

ここで、ブラシ１９がクリーンシューズ１８の裏面に付着した塵埃を除去するしくみを説明する。回転装置１４および軸１０１が図２Ｂの矢印が指し示す方向に回転し始めると、ベルト１３およびブラシ１９も同様に図２Ｂの矢印が指し示す方向へ回転し始める。ベルト１３上のクリーンシューズ１８には、ベルト１３と同じ方向に動く力が働くが、クリーンシューズ１８のつま先部分もしくはかかと部分が靴箱ＳＢ_Ｎに固定されているストッパー２０に接触することにより、クリーンシューズ１８の裏面がブラシ１９に対して滑り始める。ブラシ１９がクリーンシューズ１８の裏面に対して滑り始めると、クリーンシューズ１８の裏面の凹凸部に付着した塵埃は、ブラシ１９により除去される。

ベルト部１３は、図３に示されるように、ベルト部１３の表面にさらに孔部２２を備えていてもよい。孔部２２は、Ｚ軸方向にベルト部１３を貫通する。ブラシ１９によってクリーンシューズ１８の裏面の凹凸部から除去された塵埃の一部は、孔部２２の間を通って靴箱ＳＢ_Ｎの中を舞っている間に、後に説明する気流発生装置１５によって生成される気流に乗って靴箱ＳＢ_Ｎの内から一掃される。

ここで再び図１Ａ、図１Ｂを参照する。気流発生装置１５は、靴箱ＳＢ_Ｎ内に気流を発生させる。本実施の形態における気流発生装置１５は、吸引機能を備えており、靴箱ＳＢ_Ｎ内の空気を吸引する。

フィルター部１６は、吸引された靴箱ＳＢ_Ｎ内の空気に混じった塵埃を捕獲する。本実施の形態におけるフィルター部１６は、気流発生装置１５の吸引部を兼ねているが、その限りではない。

図１ＡにおけるＡ−Ａ’断面図（ＹＺ断面）を図４に示す。気流発生装置１５の吸引機能により、靴箱ＳＢ_Ｎ内には、図４で示されるような矢印の気流が発生する。発生した気流は、靴箱ＳＢ_Ｎ内の塵埃を靴箱ＳＢ_Ｎの吸引口２１からダクト１７を経由してフィルター部１６まで運ぶ。

靴箱ＳＢ_Ｎは、さらに、図４に示されるストッパー２０表面に接触センサ２３を備える。クリーンシューズ１８のつま先部分もしくはかかと部分がストッパー２０の接触センサ２３に接触したら、靴箱ＳＢ_Ｎは、ベルト部１３にクリーンシューズ１８が置かれたと判断する。本実施の形態においては、靴箱ＳＢ_Ｎによるクリーンシューズ１８の検知を、回転装置１４と気流発生装置１５の起動のトリガーとする。換言すると、靴箱ＳＢ_Ｎは、クリーンシューズ１８を検知した時点で、回転装置１４と気流発生装置１５を起動させる。回転装置１４の起動に伴い、回転軸１０１および回転軸１０２は、図２Ｂの矢印の方向に回転を始める。一方で、本実施の形態においては、回転装置１４と気流発生装置１５の起動後の一定時間の経過を回転装置１４と気流発生装置１５の停止のトリガーとする。換言すると、一定時間経過後に、回転装置１４と気流発生装置１５は自動的に停止する。回転装置１４と気流発生装置１５の起動中の時間は、靴箱ＳＢ_Ｎ毎に設定管理できるものであると好ましい。本実施の形態においては、接触センサ２３へのクリーンシューズ１８の接触が、回転装置１４と気流発生装置１５の起動のトリガーとなっているが、その限りではない。

以上により、本発明によれば、クリーンシューズ１８を保管するクリーンシューズロッカーとは別に靴裏を清掃する装置を導入することなく、クリーンシューズロッカー自体が、クリーンシューズ１８の保存機能の他に、クリーンシューズ１８の表面及び裏面を清掃する機能を提供できる。また、クリーンシューズ１８が靴箱ＳＢ_Ｎが、回転装置１４と気流発生装置１５の起動および停止のトリガーとなる事象を管理し、事象が発生した時に、起動および停止を実行することにより、クリーンシューズ１８が靴箱ＳＢ_Ｎに収納された時点で、人手を介することなく、自動的にクリーンシューズ１８の靴裏を清掃することが可能となる。

続いて、図５に示されるように、本発明の実施の形態にかかるクリーンシューズ１８の清掃保管方法を説明する。ここで、クリーンシューズ１８の利用者が、靴箱ＳＢ_Ｎの扉１１を開けて、クリーンシューズ１８を収納し、靴箱ＳＢ_Ｎの扉１１を閉めた時点を想定する。つまり、扉１１は閉まっており、外気はフィルターつき外気取込口１２からのみ流入しているとする。

まず、クリーンルームで使用されるクリーンシューズ１８が靴箱ＳＢ_Ｎ内の無端輪状のベルト部１３に置かれた時に、気流を生成し、無端輪状のベルト部１３が回転する（ステップＳ１０１）。

続いて、無端輪状のベルト部１３を構成するブラシ１９が、ストッパー２０に接触しているクリーンシューズ１８の裏面に対して滑り始め、クリーンシューズ１８の裏面の凹凸部に付着した塵埃が除去される（ステップＳ１０２）。

次に、クリーンシューズ１８の裏面から除去され、靴箱内ＳＢ_Ｎを舞っている塵埃が気流に導かれて捕獲される（ステップＳ１０３）。

最後に、気流の生成とベルト部の回転が停止する（ステップＳ１０４）。

ここで、回転装置１４の起動および気流発生装置１５の起動のトリガーとなる事象の別の実施の形態を説明する。先に説明した実施の形態は、クリーンシューズ１８のつま先部分もしくはかかと部分がストッパー２０の接触センサ２３への接触検知を、回転装置１４と気流発生装置１５の起動のトリガーとするものであった。これを回転装置１４の起動および気流発生装置１５の起動のトリガーとなる事象の第１の実施の形態とする。

回転装置１４の起動および気流発生装置１５の起動のトリガーとなる事象の第２の実施の形態として、支持部１０２、支持部１０３、支持部１０４、支持部１０５の少なくとも一つの支持部が重量センサを備える実装が考えられる。クリーンシューズ１８がベルト部１３上に置かれたら、重量センサが反応し、回転装置１４と気流発生装置１５が通電を受ける。

回転装置１４の起動および気流発生装置１５の起動のトリガーとなる事象の第３の実施の形態として、ベルト部１３が歪みセンサを備える実装が考えられる。クリーンシューズ１８がベルト部１３上に置かれたら、ベルト部１３の歪みに歪みセンサが反応して、回転装置１４と気流発生装置１５が通電を受ける。

また、気流発生装置１５の別の実施の形態を説明する。先に説明した気流発生装置１５の実施の形態は、吸引機構により靴箱ＳＢ_Ｎ内の空気を吸引するものであった。これを気流発生装置の第１の実施の形態とする。

気流発生装置１５の第２の実施の形態として、図６に示されるように、空気がクリーンシューズロッカー内を循環する例が考えられる。

本発明によれば、クリーンシューズ１８を収納するクリーンシューズロッカーの中に、クリーンシューズ１８の裏面に付着した塵埃等を除去する機能をもたせることで、本発明によるクリーンシューズロッカーとは別に靴裏洗浄装置を導入する必要がなくなる。さらには、本発明によるクリーンシューズロッカーを導入することにより、シューズの表面のみならず、シューズの裏の凹凸部に付着した塵埃をも除去し、クリーンシューズの清掃と保管との両方が可能になる。また、靴箱にクリーンシューズが格納されたら、人手の介入の必要なく無人でクリーンシューズの清掃と保管が実現可能となる。従って、別途靴裏洗浄装置の導入が必要なくなることにより、省スペース化、省コスト化の効果が期待される。

図１Ａは、本発明の実施の形態を示すクリーンシューズロッカーの立体図である。 図１Ｂは、本発明の実施の形態を示すクリーンシューズロッカーの側面図である。 図２Ａは、靴箱内部の上面図である。 図２Ｂは、靴箱内部の側面図である。 図３は、ベルト部の断面図である。 図４は、本発明の実施の形態を示すクリーンシューズロッカー内部の断面図である。 図５は、本発明の実施の形態を示すクリーンシューズ清掃保管方法のフローチャートである。 図６は、本発明の別の実施の形態を示すクリーンシューズロッカー内部の側面図である。

符号の説明

１１ 扉
１２ フィルターつき外気取込口
１３ ベルト部
１４ 回転装置
１５ 気流発生装置
１６ フィルター部
１７ ダクト
１８ クリーンシューズ
１９ ブラシ
２０ ストッパー
２１ 吸引口
２２ 孔部
２３ 接触センサ
１０１ 回転軸
１０２ 支持部
１０３ 支持部
１０４ 支持部
１０５ 支持部
ＳＢ_Ｎ（Ｎ≧１） 靴箱
ｓ 距離
ｔ 距離

Claims (7)

1. クリーンルームで使用されるクリーンシューズを収納する入口からの塵埃の流入を遮断する扉と、
   外気が流入する一方で塵埃の流入を遮断するフィルターつき外気取込口と、
   前記クリーンシューズを置く無端輪状のベルト部と、
   前記無端輪状のベルト部を回転させる回転装置とを
   含む靴箱を少なくとも一つ具備し、
   さらに気流を生成させる気流発生装置と、
   前記塵埃を捕獲するフィルター部と
   を具備するクリーンシューズロッカー。
2. 請求項１に記載のクリーンシューズロッカーであって、
   前記ベルト部は、
   前記クリーンシューズの底面に付着した塵埃を除去するブラシを具備する
   クリーンシューズロッカー。
3. 請求項１又は２に記載のクリーンシューズロッカーであって、
   前記靴箱は、前記回転装置の起動のトリガーとなる事象を管理し、前記事象が発生した時に、前記起動を実行する
   クリーンシューズロッカー。
4. 請求項１又は２に記載のクリーンシューズロッカーであって、
   前記靴箱は、前記回転装置の停止のトリガーとなる事象を管理し、前記事象が発生した時に、前記停止を実行する
   クリーンシューズロッカー。
5. 請求項１又は２に記載のクリーンシューズロッカーであって、
   前記靴箱は、前記気流発生装置の起動のトリガーとなる事象を管理し、前記事象が発生した時に、前記起動を実行する
   クリーンシューズロッカー。
6. 請求項１又は２に記載のクリーンシューズロッカーであって、
   前記靴箱は、前記気流発生装置の停止のトリガーとなる事象を管理し、前記事象が発生した時に、前記停止を実行する
   クリーンシューズロッカー。
7. クリーンルームで使用されるクリーンシューズが靴箱内の無端輪状のベルト部に置かれた時に、気流を生成させ、前記無端輪状のベルト部を回転させるステップと、
   ここで、前記靴箱は、閉まっている状態で入口からの塵埃の流入を遮断する扉と、外気が流入する一方で塵埃の流入を遮断するフィルターつき外気取込口を有し、
   前記クリーンシューズの靴裏の塵埃を除去するステップと、
   前記塵埃を
   前記靴箱内の前記塵埃を捕獲するステップと、
   前記気流の生成とベルト部の回転とを停止させるステップと
   を具備する
   クリーンシューズ清掃保管方法。

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