JP2010117923A - Flow regulation device and flow regulation system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、気体や液体などの流体の流量を調節する流量調節装置および流量調節システムに関するものである。 The present invention relates to a flow rate adjustment device and a flow rate adjustment system for adjusting the flow rate of a fluid such as gas or liquid.
従来から、流体の流量を機械的な手段を用いて調節する装置が種々提案されている。例えば特許文献1では、燃料電池システムにおける燃料ガスの流量を制御するバルブを、ステップモータ等からなるメカ機構で構成し、このステップモータによって、流路の断面積を増減する方向に弁体を作動させることにより、流体の流量を調節している。また、特許文献2では、燃料電池システムにおける2種の流体の混合流体を昇圧させる増幅ノズルにおいて、一方の流体の噴出し口の開口面積を、スリーブのスライドによって増減することにより、上記流体の流量を調節している。
Conventionally, various devices for adjusting the flow rate of fluid using mechanical means have been proposed. For example, in
ところが、特許文献1および2のように、機械的な手段によって流体の流量を調節する構成では、そのような機械的な手段を配置するためのスペースを大きく確保しなければならず、装置が大型化するという問題が生ずる。
However, as in
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、機械的な手段以外の方法で流体の流量を調節することにより、装置を小型化することができる流量調節装置および流体調節システムを提供することにある。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and its object is to adjust the flow rate of the fluid by a method other than mechanical means, thereby reducing the size of the apparatus. It is to provide a regulating device and a fluid regulating system.
本発明の流量調節装置は、流路管の内部を流れる流体の流量を調節する流量調節装置であって、流体が通過する貫通孔を有する誘電体層と、上記誘電体層の表裏にそれぞれ形成される電極層と、上記各電極層に電圧を印加して上記誘電体層を変形させる電圧印加手段とを備えていることを特徴としている。以下、上記構成の流量調節装置を第1の流量調節装置とも称する。 The flow rate adjusting device of the present invention is a flow rate adjusting device for adjusting the flow rate of the fluid flowing inside the flow path pipe, and is formed on each of the dielectric layer having a through-hole through which the fluid passes and on the front and back of the dielectric layer. And a voltage applying means for deforming the dielectric layer by applying a voltage to each of the electrode layers. Hereinafter, the flow control device having the above-described configuration is also referred to as a first flow control device.
本発明の流量調節装置は、流路管の内部を流れる流体の流量を調節する流量調節装置であって、流体が通過する第1の貫通孔を有する誘電体層と、上記誘電体層の表裏にそれぞれ形成される電極層と、上記各電極層に電圧を印加して上記誘電体層を変形させる電圧印加手段と、流体が通過する第2の貫通孔を有するオリフィス板とを備え、上記誘電体層は、電圧無印加時には、一方の電極層が上記第2の貫通孔を閉鎖する厚さとなり、電圧印加時には、該誘電体層の厚さの変化により、上記一方の電極層と上記オリフィス板との間に間隙を形成し、その間隙を介して上記第1の貫通孔から上記第2の貫通孔への流体の流路を形成することを特徴としている。以下、上記構成の流量調節装置を第2の流量調節装置とも称する。 The flow rate adjusting device of the present invention is a flow rate adjusting device that adjusts the flow rate of the fluid flowing through the flow path pipe, and includes a dielectric layer having a first through-hole through which the fluid passes, and the front and back sides of the dielectric layer. Each of the electrode layers, a voltage applying means for applying a voltage to each of the electrode layers to deform the dielectric layer, and an orifice plate having a second through hole through which a fluid passes, The body layer has a thickness that closes the second through-hole when no voltage is applied, and changes the thickness of the dielectric layer when the voltage is applied. A gap is formed between the first through hole and the second through hole, and a gap is formed between the plate and the plate. Hereinafter, the flow control device having the above-described configuration is also referred to as a second flow control device.
本発明の流量調節装置において、上記誘電体層の外縁は、流路管の内面と当接していてもよい。 In the flow control device of the present invention, the outer edge of the dielectric layer may be in contact with the inner surface of the flow channel tube.
本発明の流量調節装置は、上記誘電体層を流路管内で支持する支持部材をさらに備え、上記支持部材は、上記誘電体層の貫通孔を形成する内面と当接する当接部を有している構成であってもよい。 The flow control device of the present invention further includes a support member that supports the dielectric layer in the flow path pipe, and the support member has a contact portion that contacts an inner surface forming a through hole of the dielectric layer. It may be a configuration.
本発明の流量調節装置において、上記誘電体層は、電圧印加によって変形する電気活性ポリマーであることが望ましい。 In the flow control device of the present invention, the dielectric layer is preferably an electroactive polymer that is deformed by application of a voltage.
本発明の流量調節装置において、上記各電極層は、上記誘電体層の貫通孔の周囲に輪帯状に形成されていることが望ましい。 In the flow control device of the present invention, each of the electrode layers is preferably formed in a ring shape around the through hole of the dielectric layer.
本発明の流量調節装置において、上記各電極層は、弾性を有していることが望ましい。 In the flow control device of the present invention, it is desirable that each of the electrode layers has elasticity.
本発明の流量調節装置において、上記各電極層は、弾性材料でコーティングされていてもよい。 In the flow control device of the present invention, each of the electrode layers may be coated with an elastic material.
本発明の流量調節システムは、上述した本発明の流量調節装置が少なくとも1個と、流路管の内部を流れる流体の流量を検知する検知手段と、上記検知手段にて検知された流量に基づいて、上記流量調節装置を制御する制御手段とを備えていることを特徴としている。 The flow control system of the present invention is based on at least one of the above-described flow control devices of the present invention, detection means for detecting the flow rate of the fluid flowing through the flow path pipe, and the flow rate detected by the detection means. And a control means for controlling the flow rate adjusting device.
本発明の流量調節システムは、第1の流量調節装置と、第2の流量調節装置とを含んでいる構成であってもよい。 The flow control system of the present invention may be configured to include a first flow control device and a second flow control device.
本発明によれば、誘電体層の表裏の各電極層に対して電圧印加手段が電圧を印加すると、誘電体層は変形し、誘電体層の貫通孔の開口径が変化する。これにより、貫通孔を通過する流体(例えば気体や液体)の流量を調節することが可能となる。 According to the present invention, when the voltage applying unit applies a voltage to the electrode layers on the front and back sides of the dielectric layer, the dielectric layer is deformed and the opening diameter of the through hole of the dielectric layer is changed. Thereby, it becomes possible to adjust the flow volume of the fluid (for example, gas and liquid) which passes a through-hole.
また、本発明によれば、誘電体層は、電圧無印加時には、一方の電極層がオリフィス板の第2の貫通孔を閉鎖する厚さとなり、電圧印加時には、該誘電体層の厚さの変化により、一方の電極層とオリフィス板との間に間隙を形成し、その間隙を介して誘電体層の第1の貫通孔からオリフィス板の第2の貫通孔への流体の流路を形成するので、最終的に、第2の貫通孔を通過する流体(例えば気体や液体)の流量を調節することが可能となる。 Further, according to the present invention, when no voltage is applied, the dielectric layer has such a thickness that one electrode layer closes the second through hole of the orifice plate, and when a voltage is applied, the thickness of the dielectric layer Due to the change, a gap is formed between one electrode layer and the orifice plate, and a fluid flow path is formed from the first through hole of the dielectric layer to the second through hole of the orifice plate via the gap. Therefore, finally, the flow rate of the fluid (for example, gas or liquid) that passes through the second through hole can be adjusted.
いずれにしても、各電極層への電圧印加による誘電体層の変形を利用することにより、従来のような機械的な手段を用いずに流体の流量を調節することができるので、そのような機械的な手段の配置スペースを確保する必要がない分、装置を小型化することができる。 In any case, the flow rate of the fluid can be adjusted without using mechanical means as in the prior art by utilizing the deformation of the dielectric layer by applying a voltage to each electrode layer. Since it is not necessary to secure a space for arranging mechanical means, the apparatus can be miniaturized.
本発明の実施の一形態について、図面に基づいて説明すれば、以下の通りである。
図1および図2は、本実施形態の流量調節装置1の概略の構成をそれぞれ示すものであって、図1は外縁が規制されていない場合の平面図および断面図を示し、図2は外縁が規制されている場合の平面図および断面図を示している。流量調節装置1は、流路管10(図5参照)の内部を流れる流体(気体や液体)の流量を調節するものであり、誘電体層2と、電極層3a・3bと、電圧印加部4(図3参照)とを有して構成されている。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 and FIG. 2 show schematic configurations of the
誘電体層2は、電圧印加によって変形する電気活性ポリマー(誘電エラストマー、高分子アクチュエータ、EPAM(electroactive polymer artificial muscle))であり、シリコンゴムなどの柔軟な誘電材料で構成されている。この誘電体層2は、流体が通過する貫通孔2aを中央に有している。誘電体層2の厚さは、誘電体層2の構成材料、流す流体の種類等を考慮して適切に設定されればよい。
The
電極層3a・3bは、シリコンゴムにカーボンブラックなどの導電性材料を添加して構成された、弾性を有する導電性の電極であり、誘電体層2の表裏にそれぞれ形成されている。特に、電極層3a・3bは、誘電体層2の貫通孔2aの周囲に輪帯状(円環状)にそれぞれ形成されている。図3に示すように、電極層3a・3bには、電圧印加部4によって電圧が印加される。
The
電圧印加部4は、電極層3a・3bに電圧を印加して誘電体層2を変形させる電圧印加手段である。電圧印加部4が電極層3a・3bに電圧を印加することにより、電極層3a・3b間の引力により誘電体層2は圧縮され、貫通孔2aの開口径を絞る方向に変形する。
The
ここで、誘電体層2の外縁が規制されていない場合は、図1のように、電圧印加により、誘電体層2は、外縁が広がり、かつ、内径(貫通孔2aの開口径)が狭まるように変形するとともに、ほぼ均一な薄い厚さとなる。一方、誘電体層2の外縁が規制されている場合は、図2のように、電圧印加により、誘電体層2は、内径が狭まるように変形するが、貫通孔2a側から外縁側に向かう方向には変形できないために、外縁側では内径側よりも厚みが増し、貫通孔2aの周囲では外縁側よりも薄い構造となる。
Here, when the outer edge of the
次に、電極層3a・3bへの電圧印加による誘電体層2の変位の詳細について説明する。図4(a)は、電極層3a・3bに電圧を印加した瞬間の誘電体層2および電極層3a・3bの断面図であり、図4(b)は、電圧印加による変形時の誘電体層2および電極層3a・3bの断面図であり、図4(c)は、電圧印加を停止したときの誘電体層2および電極層3a・3bの断面図である。
Next, details of displacement of the
図4(a)に示すように、電極層3a・3bに電圧を印加することにより、プラスの電圧を印加した側の電極(例えば電極3a)にはプラスの電位が生じ、マイナスの電圧を印加した側の電極(例えば電極3b)にはマイナスの電位が生じる。このプラスとマイナスの電位間に引力Pが発生する。単位面積あたりの引力P(N/m2)は、真空の誘電率をε0、比誘電率をε、印加電圧をV、電極層3a・3b間の距離をtとして、以下の式で表される。この引力Pにより、誘電体層2は、電極層3a・3b間の距離が縮む方向に変位を開始する。
P=(ε0εV2)/t2
As shown in FIG. 4A, by applying a voltage to the
P = (ε 0 εV 2 ) / t 2
誘電体層2自体は体積が一定であるため、誘電体層2は、厚さ方向に縮むと、図4(b)に示すように、電極層3a・3bと平行な方向に膨張する。また、電極層3a・3b間が近づくことにより、発生する引力Pもさらに増加し、さらに誘電体層2の厚さが縮む方向への力を生じさせる。
Since the
電極層3a・3bへの電圧印加を停止すると、誘電体層2に働く外力(電極層3a・3b間の引力P)がなくなることから、図4(c)に示すように、誘電体層2自体の弾性力Qにより、誘電体層2は元の形状に戻る。
When the voltage application to the electrode layers 3a and 3b is stopped, the external force acting on the dielectric layer 2 (attractive force P between the electrode layers 3a and 3b) disappears. Therefore, as shown in FIG. Due to its own elastic force Q, the
図5は、上述した流量調節装置1を円筒状の流路管10の内部に配置した状態を示している。また、図6は、電圧印加時(ON時)および電圧印加停止時(OFF時)における上記流量調節装置1の平面図である。電極層3a・3bへの電圧印加により、誘電体層2の貫通孔2aの開口径が小さくなるため、管路10内を流れる流体の流量を減らすことができる。一方、電極層3a・3bへの電圧印加を停止することにより、誘電体層2の貫通孔2aの開口径が元の大きさに戻り、流路管10内を流れる流体の流量を増大させることができる。このとき、電極層3a・3bに印加する電圧を調整すれば、貫通孔2aの開口径を任意に調整して流量を任意に調整することができる。つまり、流量を無段階に調整することができる。
FIG. 5 shows a state in which the above-described flow
以上のように、本実施形態の流量調節装置1は、貫通孔2aを有する誘電体層2と、電極層3a・3bと、電圧印加部4とを有して構成されているので、電極層3a・3bへの電圧印加によって誘電体層2を変形させて貫通孔2aの開口径を変化させることができる。これにより、貫通孔2aを通過する流体(例えば気体や液体)の流量を調節することができ、流量調節にあたり、従来のような機械的な手段を用いなくても済む。したがって、そのような機械的な手段の配置スペースを確保する必要がない分、装置を小型化することができる。特に、流体の流路長方向を短くして、流路長方向における装置の小型化が容易となる。
As described above, the flow
また、図5のように、誘電体層2の外縁が流路管10の内面と当接していれば、電極層3a・3bへの電圧印加時に、誘電体層2の外縁の変形が流路管10で規制されるため、誘電体層2の貫通孔2aの開口径が確実に小さくなる。したがって、電極層3a・3bへの電圧印加を制御することにより、貫通孔2aを通過する流体の流量を確実に調節することができる。
Further, as shown in FIG. 5, if the outer edge of the
また、誘電体層2が電気活性ポリマーであるので、電圧印加によって誘電体層2を確実に変形させることができ、これによって貫通孔2aの開口径を確実に変化させることができる。
In addition, since the
また、電極層3a・3bは、誘電体層2の貫通孔2aの周囲に輪帯状に形成されているので、電極層3a・3bへの電圧印加により、誘電体層2の貫通孔2aをほぼ相似形状で(例えば同心円状に)変化させることができ、流量調整を安定して行うことができる。
Further, since the electrode layers 3a and 3b are formed in a ring shape around the through
また、電極層3a・3bは弾性を有しているので、電極層3a・3bへの電圧印加による誘電体層2の変形に電極層3a・3bを追従させることができる。したがって、電極層3a・3bが誘電体層2の変形を阻害することがない。
Further, since the electrode layers 3a and 3b have elasticity, the electrode layers 3a and 3b can follow the deformation of the
なお、電極層3a・3bを、弾性を有しない非変形材料(例えばアルミ箔)で構成することも可能である。この場合は、誘電体層2と電極層3a・3bとの間に導電性グリースを介在させ、電極層3a・3bに対して誘電体層2を滑らせて変形させればよい。
The electrode layers 3a and 3b can be made of a non-deformable material (for example, aluminum foil) that does not have elasticity. In this case, conductive grease may be interposed between the
ところで、図7は、流量調節装置1の他の構成を示す斜視図である。同図に示すように、流量調節装置1は、誘電体層2に貫通孔2aが複数個(図7では4個)設けられる構成であってもよい。この場合、電極層3a・3bは、各貫通孔2aの周囲に輪帯状に形成されることになる。このような構成の流量調節装置1であっても、上述した本発明の効果を得ることができる。
Incidentally, FIG. 7 is a perspective view showing another configuration of the
また、図8は、流量調節装置1のさらに他の構成を示す断面図である。同図に示すように、流量調節装置1は、電極層3a・3bが弾性材料5a・5bで覆われた構成であってもよい。弾性材料5a・5bは、例えばゴムからなり、誘電体層2上に形成されている。このように、電極層3a・3bが弾性材料5a・5bでコーティングされ、保護されることにより、電極層3a・3bにおいて、流体に対する耐性を持たせることができ、電極層3a・3bの腐食の心配もなくなる。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing still another configuration of the
次に、本実施形態の流量調節装置1の応用例について説明する。
図9は、流量調節システムの一構成例を示す説明図である。この流量調節システムは、流量調節装置1と、流量センサ21と、流量制御部22と、燃料供給装置23と、空気供給装置24と、燃料電池25とを有している。
Next, an application example of the
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a configuration example of the flow rate adjustment system. This flow control system includes a
流量センサ21は、流路管10の内部を流れる流体の流量を検知する検知手段であり、例えば圧力センサからなる流量センサ21a・21bで構成されている。流量センサ21aは、流量調節装置1による流量調節前の流体の流量を検知し、流量センサ21bは、流量調節装置1による流量調節後の流体の流量を検知する。
The
流量制御部22は、流量センサ21にて検知された流量に基づいて、流量調節装置1を制御する制御手段である。例えば、流量制御部22は、流量センサ21aによって検知される流量調節前の流量が所定の流量でなければ、流量調節装置1の電圧印加部4を制御して、所定流量が得られるまで誘電体層2の貫通孔2aの開口径を絞る。所定流量になったか否かは、流量センサ21bでの流量検知に基づいて判断することができる。このような流量制御部22により、流量調節を自動制御で行うことができる。
The
燃料供給装置23は、燃料電池25に対して、燃料となる水素を流路管10(10a)を介して供給する。空気供給装置24は、燃料電池25に対して、酸素を含む空気を流路管10(10b)を介して供給する。なお、ここでは、流量調節装置1は、流路管10aにのみ設けられているが、流路管10bにのみ設けられる構成としてもよいし、流路管10a・10bの両方に設けられる構成としてもよい。燃料電池25は、燃料供給装置23から供給される水素と、空気供給装置24から供給される空気との反応により発電する。
The
本実施形態の流量調節装置1によれば、小型の構成で流量調節を行うことができるので、このような流量調節装置1を用いて上述した流量調節システムを構成することにより、システム設計の自由度を増大させることができる。
According to the
ところで、流量調節システムは、流量調節装置1を複数備えていてもよい。図10は、流量調節システムの他の構成例を示す断面図である。この流量調節システムは、流路に対して直列的に配置される2つの流量調節装置30a(第1の流量調節装置)および流量調節装置30b(第2の流量調節装置)を有している。
By the way, the flow control system may include a plurality of
流量調節装置30aは、誘電体層2の外縁が流路管10の内面と当接するように配置されており、例えば図2の流量調節装置1に相当し、流量調節用の絞りを構成している。一方、流量調節装置30bは、誘電体層2の外縁が流路管10の内面と当接せずに、間隙を介して対向して配置されており、例えば図1の流量調節装置1の構成を含み、開閉弁を構成している。以下、流量調節装置30bの詳細について説明する。
The flow
流量調節装置30bは、上述した誘電体層2、電極層3a・3b、電圧印加部4に加えて、支持部材31およびオリフィス板32をさらに備えている。支持部材31は、誘電体層2を流路管10内で支持するものであり、誘電体層2の貫通孔2a(第1の貫通孔)を形成する内面と当接する当接部31aを有している。この当接部31aにより、電極層3a・3bへの電圧印加時に誘電体層2の内面の変形が規制されるため、誘電体層2は、外縁が外側へ広がり、かつ厚さが均一に薄くなるように変形することが可能となる。
The
オリフィス板32は、流体が通過する貫通孔32a(第2の貫通孔)を中心よりも外側に複数有する円板状の板であり、流路管10内に配置されている。オリフィス板32は、電圧無印加時に電極層3bが貫通孔32aを閉鎖する位置に配置されている。
The
上記の構成において、電圧無印加時には、流路調節装置30aの貫通孔2aの開口径は最大径となるが、流路調節装置30bの誘電体層2は、電極層3bが貫通孔32aを閉鎖する厚さとなっているため、流路管10内の流体は、貫通孔32aを介して下流側には流れない(開閉弁の閉状態に相当する)。
In the above configuration, when no voltage is applied, the opening diameter of the through
これに対して、流路調節装置30a・30bの各電極層3a・3bに電圧を印加すると、流路調節装置30aでは、貫通孔2aの開口径が最小径となり、流量が絞られるが、流路調節装置30bでは、誘電体層2の厚さが薄くなって、電極層3bとオリフィス板32との間に間隙が形成される。これにより、この間隙を介して、流路調節装置30bの貫通孔2aからオリフィス板32の貫通孔32aへの流路が形成され、流路調節装置30aの貫通孔2a、流路調節装置30bの貫通孔2aを順に通過してきた流体が、貫通孔32aを通過して下流側に流れることが可能となる(開閉弁の開状態に相当する)。
On the other hand, when a voltage is applied to the electrode layers 3a and 3b of the flow
以上のように、流路調節装置30bの構成によれば、電圧印加による誘電体層2の変形(特に厚さの変化)により、最終的に、オリフィス板32の貫通孔32aを通過する流体の流量を調節することが可能となる。したがって、従来のような機械的な手段を用いずに流体の流量を調節することができ、小型の構成で流量調節を行うことができる。また、流路調節装置30bの構成では、誘電体層2が均一厚さで変化するので、流体の流量調節をON/OFFの2値で調節する開閉弁として流路調節装置30bを機能させることができる。
As described above, according to the configuration of the flow path control
また、流量調節システムを2つの流量調節装置30a・30bを含んで構成することにより、一方(流量調節装置30a)を流量調節用の絞りとして使用し、他方(流量調節装置30b)を開閉弁として使用する、というように、それぞれの流量調節装置30a・30bに機能を分担させることができる。これにより、流量調節を確実に行うことができる。
Further, by configuring the flow rate adjusting system to include two flow
ところで、図11は、流量調節システムのさらに他の構成例を示す断面図である。同図に示すように、流量調節装置30bは、当接部31aを含む支持部材31を有さず、誘電体層2の外縁が流路管10の内面と当接することによって、誘電体層2が支持される構成であってもよい。この場合、誘電体層2の変形の仕方は流量調節装置30aと同じになるが、電圧印加によって誘電体層2の厚さが変化し、これによって、電極層3bとオリフィス板32との間に間隙が形成され、この間隙を介して貫通孔2aと貫通孔32aとの間に流路が形成されることに変わりはない。したがって、このような流量調節装置30bの構成であっても、これを開閉弁として使用することができる。また、この構成では、流量調節装置30bの貫通孔2aの開口径も変化するので、流量調節装置30bに絞りの機能も持たせることができる。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing still another configuration example of the flow rate adjustment system. As shown in the figure, the flow
なお、使用目的に応じて流量調節装置30a・30bを配置すればよく、いずれか一方のみ(例えば流量調節装置30bのみ)を配置して流量調整システムを構成することも勿論可能である。
It should be noted that the flow
本発明は、例えば燃料電池の燃料供給量の調節弁や流路の開閉弁をはじめ、気体や液体などの流体の流量を調節する流量調節装置および流量調節システムに利用可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for, for example, a flow rate adjusting device and a flow rate adjusting system for adjusting a flow rate of a fluid such as gas or liquid, as well as a fuel supply amount adjustment valve and a flow path opening / closing valve of a fuel cell.
1 流量調節装置
2 誘電体層
2a 貫通孔(第1の貫通孔)
3a 電極層
3b 電極層
4 電圧印加部(電圧印加手段)
5a 弾性材料
5b 弾性材料
10 流路管
10a 流路管
10b 流路管
21 流量センサ(検知手段)
21a 流量センサ(検知手段)
21b 流量センサ(検知手段)
22 流量制御部(制御手段)
30a 流量調節装置
30b 流量調節装置
31 支持部材
31a 当接部
32 オリフィス板
32a 貫通孔(第2の貫通孔)
DESCRIPTION OF
21a Flow sensor (detection means)
21b Flow rate sensor (detection means)
22 Flow control unit (control means)
30a
Claims (10)
流体が通過する貫通孔を有する誘電体層と、
上記誘電体層の表裏にそれぞれ形成される電極層と、
上記各電極層に電圧を印加して上記誘電体層を変形させることにより、上記誘電体層の貫通孔の開口径を変化させる電圧印加手段とを備えていることを特徴とする流量調節装置。 A flow rate adjusting device for adjusting a flow rate of a fluid flowing in a flow path pipe,
A dielectric layer having a through-hole through which fluid passes;
Electrode layers respectively formed on the front and back of the dielectric layer;
A flow rate adjusting device comprising: voltage applying means for changing an opening diameter of a through hole of the dielectric layer by applying a voltage to each of the electrode layers to deform the dielectric layer.
流体が通過する第1の貫通孔を有する誘電体層と、
上記誘電体層の表裏にそれぞれ形成される電極層と、
上記各電極層に電圧を印加して上記誘電体層を変形させる電圧印加手段と、
流体が通過する第2の貫通孔を有するオリフィス板とを備え、
上記誘電体層は、電圧無印加時には、一方の電極層が上記第2の貫通孔を閉鎖する厚さとなり、電圧印加時には、該誘電体層の厚さの変化により、上記一方の電極層と上記オリフィス板との間に間隙を形成し、その間隙を介して上記第1の貫通孔から上記第2の貫通孔への流体の流路を形成することを特徴とする流量調節装置。 A flow rate adjusting device for adjusting a flow rate of a fluid flowing in a flow path pipe,
A dielectric layer having a first through-hole through which fluid passes;
Electrode layers respectively formed on the front and back of the dielectric layer;
Voltage applying means for applying a voltage to each of the electrode layers to deform the dielectric layer;
An orifice plate having a second through-hole through which fluid passes,
When no voltage is applied, the dielectric layer has such a thickness that one electrode layer closes the second through hole. When a voltage is applied, the dielectric layer changes in thickness with the one electrode layer. A flow rate adjusting device characterized in that a gap is formed between the orifice plate and a fluid flow path from the first through hole to the second through hole through the gap.
上記支持部材は、上記誘電体層の貫通孔を形成する内面と当接する当接部を有していることを特徴とする請求項2に記載の流量調節装置。 A support member for supporting the dielectric layer in the flow channel tube;
The flow rate adjusting device according to claim 2, wherein the support member has an abutting portion that abuts against an inner surface forming a through hole of the dielectric layer.
流路管の内部を流れる流体の流量を検知する検知手段と、
上記検知手段にて検知された流量に基づいて、上記流量調節装置を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする流量調節システム。 At least one flow rate control device according to any one of claims 1 to 8,
Detection means for detecting the flow rate of the fluid flowing in the flow path pipe;
And a control means for controlling the flow rate control device based on the flow rate detected by the detection means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008291189A JP2010117923A (en) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | Flow regulation device and flow regulation system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008291189A JP2010117923A (en) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | Flow regulation device and flow regulation system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010117923A true JP2010117923A (en) | 2010-05-27 |
Family
ID=42305555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008291189A Pending JP2010117923A (en) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | Flow regulation device and flow regulation system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2010117923A (en) |
-
2008
- 2008-11-13 JP JP2008291189A patent/JP2010117923A/en active Pending
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