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JP2010199269A - Capacitor and condenser module - Google Patents

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JP2010199269A
JP2010199269A JP2009041986A JP2009041986A JP2010199269A JP 2010199269 A JP2010199269 A JP 2010199269A JP 2009041986 A JP2009041986 A JP 2009041986A JP 2009041986 A JP2009041986 A JP 2009041986A JP 2010199269 A JP2010199269 A JP 2010199269A
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Japan
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capacitor
electrode
internal electrode
terminal
lead
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Application number
JP2009041986A
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Japanese (ja)
Inventor
Shinichi Osawa
真一 大沢
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Publication date
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Abstract

【課題】 低ESLかつ高ESRで、デカップリング回路に好適なコンデンサを提供する。
【解決手段】 直方体状の積層体の内部に、誘電体層を挟んで交互に、第1内部電極ならびに第2内部電極がそれぞれ対向して複数配置されており、第1内部電極および第2内部電極は、それぞれ、積層体の内縁部に配置されて第1外部電極または第2外部電極と接続した帯状の導出部と、導出部の端から誘電体層の中央部にかけて形成された帯状の接続部と、誘電体層の中央部において接続部と接続するとともに、導出部および接続部との間に一定の距離を隔てて形成された主容量部とを備え、第1内部電極の接続部と第2内部電極の接続部とが対向しているコンデンサである。第1内部電極および第2内部電極に接続部が形成されているので、電流経路が長くなり、接続部同士はそれぞれ対向して配置されているので、低ESLかつ高ESRな積層コンデンサとすることができる。
【選択図】 図2
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a capacitor suitable for a decoupling circuit with low ESL and high ESR.
SOLUTION: A plurality of first internal electrodes and a plurality of second internal electrodes are alternately arranged inside a rectangular parallelepiped laminated body with a dielectric layer interposed therebetween, and the first internal electrode and the second internal electrode are arranged. Each of the electrodes is disposed in the inner edge of the laminate and is connected to the first external electrode or the second external electrode. The strip-shaped connection is formed from the end of the lead-out portion to the center of the dielectric layer. And a main capacitance part formed at a certain distance between the lead-out part and the connection part, and connected to the connection part at the center part of the dielectric layer, the connection part of the first internal electrode, The capacitor is opposed to the connection portion of the second internal electrode. Since the connection portion is formed on the first internal electrode and the second internal electrode, the current path becomes long, and the connection portions are arranged to face each other, so that a multilayer capacitor having low ESL and high ESR is obtained. Can do.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は電子回路に使用される積層コンデンサに関し、特に高周波で動作するICチップに対して使用されるデカップリング回路に用いるコンデンサとして好適に用いられる積層コンデンサに関する。   The present invention relates to a multilayer capacitor used in an electronic circuit, and more particularly to a multilayer capacitor suitably used as a capacitor used in a decoupling circuit used for an IC chip operating at a high frequency.

従来、ICチップと電源との間には、電源からICチップへの電源ノイズの侵入を防ぐためのデカップリング回路を接続する必要があった。   Conventionally, it has been necessary to connect a decoupling circuit between the IC chip and the power source to prevent intrusion of power source noise from the power source to the IC chip.

デカップリング回路は、低周波数から高周波数までの広い周波数帯域でノイズをグランドに流すことにより電流の変動を取り除くようにした回路である。このような機能は、広い周波数帯域でグランドとの間のインピーダンスが低い特性であるコンデンサを用いることにより得られるものである。このような機能を有するデカップリング回路は、自己共振周波数の異なるコンデンサを複数並列接続し、それぞれのコンデンサの自己共振周波数付近のインピーダンスが最も低くなる周波数帯域を、対象とする広い周波数帯域において低周波数側から高周波数側まで連続するように配置することによって構成される。そして、デカップリング回路の高周波数側に対応して採用されるコンデンサとしては、例えば積層コンデンサが好適に用いられている。   The decoupling circuit is a circuit that removes fluctuations in current by flowing noise to the ground in a wide frequency band from a low frequency to a high frequency. Such a function can be obtained by using a capacitor having a characteristic of low impedance to ground in a wide frequency band. A decoupling circuit having such a function connects a plurality of capacitors having different self-resonance frequencies in parallel, and the frequency band in which the impedance near the self-resonance frequency of each capacitor is the lowest is a low frequency in a wide frequency band of interest. It is configured by arranging so as to be continuous from the side to the high frequency side. And as a capacitor | condenser employ | adopted corresponding to the high frequency side of a decoupling circuit, a multilayer capacitor is used suitably, for example.

デカップリング回路に従来用いられている積層コンデンサとしては、例えば、複数の長方形状の誘電体層を積層して成る直方体状の積層体と、この積層体の内部で誘電体層を挟んで容量形成部が互いに対向するように交互に配置された複数の第1内部電極および第2内部電極と、積層体の一方の端面および他方の端面に、それぞれ積層方向に渡って形成され、第1内部電極同士または第2内部電極同士をそれぞれ電気的に接続する第1外部電極および第2外部電極とを備えた積層コンデンサが知られている(例えば、特許文献1を参照。)。   As a multilayer capacitor conventionally used for a decoupling circuit, for example, a rectangular parallelepiped laminate formed by laminating a plurality of rectangular dielectric layers, and a capacitor is formed by sandwiching the dielectric layers inside the laminate. A plurality of first internal electrodes and second internal electrodes arranged alternately so that the portions face each other, and formed on one end surface and the other end surface of the multilayer body in the stacking direction, respectively. A multilayer capacitor including a first external electrode and a second external electrode that electrically connect each other or each of the second internal electrodes is known (see, for example, Patent Document 1).

特開2004−296940号公報JP 2004-296940 A

従来の積層コンデンサは、等価直列インダクタンス(ESL:Equivalent Series Inductance)を低くするために電流の経路を短くしているので、等価直列抵抗(ESR:Equivalent Series Resistance)も低いものとなっており、このような積層コンデンサでは自己共振周波数付近においてインピーダンスが極端に低くなるとともに、反共振周波数付近においてはインピーダンスが極端に高くなるという急峻なインピーダンス特性を有していた。デカップリング回路にこのような積層コンデンサを複数用いた場合には、反共振周波数においてインピーダンスが極端に高くなってしまう。その結果、このような周波数帯では、反共振周波数付近でノイズをグランドに流すことができないという問題があった。   The conventional multilayer capacitor shortens the current path in order to reduce the equivalent series inductance (ESL), so the equivalent series resistance (ESR) is also low. Such a multilayer capacitor has a steep impedance characteristic that the impedance is extremely low near the self-resonance frequency and the impedance is extremely high near the anti-resonance frequency. When a plurality of such multilayer capacitors are used in the decoupling circuit, the impedance becomes extremely high at the anti-resonance frequency. As a result, in such a frequency band, there is a problem that noise cannot flow to the ground near the anti-resonance frequency.

この問題を解決するためには、インピーダンス特性が複合された部分での共振周波数と反共振周波数の高低差を小さくして平坦なインピーダンス特性を得る必要があり、そのために、コンデンサのESRを高くするという対策がとられていた。   In order to solve this problem, it is necessary to obtain a flat impedance characteristic by reducing the level difference between the resonance frequency and the anti-resonance frequency in the portion where the impedance characteristic is combined. For this purpose, the ESR of the capacitor is increased. Measures were taken.

一方で、ESLは自己共振周波数を決定する値であり、ESLが高くなるのに伴い自己共振周波数が低くなる。また、自己共振周波数より高い周波数域においては、コンデンサとして機能しなくなる。従って、ESLの値を小さくすることで、自己共振周波数を高くすることができ、より高い周波数域までコンデンサとして機能させるためにESLを低くする必要があった。   On the other hand, ESL is a value that determines the self-resonance frequency, and as the ESL increases, the self-resonance frequency decreases. Further, it does not function as a capacitor in a frequency range higher than the self-resonant frequency. Therefore, by reducing the ESL value, the self-resonance frequency can be increased, and it is necessary to lower the ESL in order to function as a capacitor up to a higher frequency range.

このため、デカップリング回路に用いるコンデンサはESRが低くなり過ぎないようにしておかなければならないが、ESRを高くするために電流経路を長くすると、ESLが高くなるという問題点がある。例えば、上述した従来の積層コンデンサにおいて、第1外部電極と第2外部電極との間隔を長くして第1内部電極および第2内部電極に流れる電流の経路を長くすると、ESRを高くすることはできるもののESLも高くなってしまうという問題があった。   For this reason, the capacitor used in the decoupling circuit must be kept so that the ESR does not become too low. However, if the current path is lengthened to increase the ESR, there is a problem that the ESL becomes high. For example, in the conventional multilayer capacitor described above, if the distance between the first external electrode and the second external electrode is increased and the path of the current flowing through the first internal electrode and the second internal electrode is increased, the ESR is increased. However, there was a problem that the ESL was high.

本発明は上記のような従来の積層コンデンサにおける問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、低ESLであり、かつ高ESRの積層コンデンサを提供することにある。   The present invention has been devised in view of the problems in the conventional multilayer capacitor as described above, and an object thereof is to provide a multilayer capacitor having a low ESL and a high ESR.

本発明のコンデンサは、複数の四角形状の誘電体層を積層してなる積層体の内部に、前記誘電体層を挟んで交互に、前記積層体の対向する一対の外側面に形成された第1外部電極と電気的に接続された第1内部電極ならびに前記一対の外側面とは異なる他の対向する一対の外側面に形成された第2外部電極と電気的に接続された第2内部電極がそれぞれ対向して複数配置されたコンデンサであって、前記第1内部電極および前記第2内部電極は、それぞれ、前記積層体の内縁部に配置されて前記第1外部電極または第2外部電極と接続した帯状の導出部と、該導出部の端から前記誘電体層の中央部にかけて形成された帯状の接続部と、前記誘電体層の中央部において前記接続部と接続するとともに、前記導出部および前記接続部との間に一定の距離を隔てて形成された主容量部とを備え、前記第1内部電極の接続部と前記第2内部電極の接続部とが対向していることを特徴とするものである。   The capacitor of the present invention is formed in a laminated body formed by laminating a plurality of rectangular dielectric layers, and is formed on a pair of opposed outer surfaces of the laminated body alternately with the dielectric layer interposed therebetween. A first internal electrode electrically connected to one external electrode and a second internal electrode electrically connected to a second external electrode formed on a pair of opposing outer surfaces different from the pair of outer surfaces Each of which is a plurality of capacitors facing each other, wherein each of the first internal electrode and the second internal electrode is disposed at an inner edge of the multilayer body, and the first external electrode or the second external electrode The connected strip-shaped lead-out portion, the strip-shaped connection portion formed from the end of the lead-out portion to the center portion of the dielectric layer, and the connection portion at the center portion of the dielectric layer, and the lead-out portion And constant between the connecting part And a main capacitor portion formed at a distance, and a connecting portion of the second internal electrode and the connecting portion of the first internal electrode is characterized in that it is opposed.

また、本発明のコンデンサモジュールは、前記コンデンサを、複数個、平面的に配置するとともに、環状の金属からなる複数の第1端子電極および第2端子電極を前記コンデンサ間に平面的に配置して、前記第1端子電極で前記第1導出部同士を電気的に接続し、前記第2端子電極で前記第2導出部同士を電気的に接続してなることを特徴とするものである。   In the capacitor module of the present invention, a plurality of the capacitors are arranged in a plane, and a plurality of first terminal electrodes and second terminal electrodes made of an annular metal are arranged in a plane between the capacitors. The first derivation portions are electrically connected to each other by the first terminal electrode, and the second derivation portions are electrically connected to each other by the second terminal electrode.

本発明のコンデンサによれば、上記構成を備えることから、第1外部電極から電流が入る場合であれば、電流は、第1内部電極の帯状の導出部および帯状の接続部を通り、第1内部電極の中央へと流れ、さらに、誘電体層を介して第2内部電極の中央から第2内部電極の帯状の接続部および帯状の導出部を通って第2外部電極へと流れる。上記の電流経路は、第1内部電極および第2内部電極に帯状の接続部が形成されていることから、長くなっている。また、接続部は、帯状に形成されているので、その断面積が小さい。従って、本発明のコンデンサは、第1内部電極および第2内部電極に、帯状の接続部が形成されていることにより、ESRを高くすることができる。さらに、第1内部電極の帯状の接続部と第2内部電極の帯状の接続部とが誘電体層を介して対向し、積層方向に互いに重なった状態で形成されており、第1内部電極の帯状の接続部を流れる電流の方向と第2内部電極の帯状の接続部を流れる電流の方向とが逆になっていることから、第1内部電極の接続部で発生するインダクタンスと第2内部電極の接続部で発生するインダクタンスとが打ち消しあうので、ESLの増加を抑えることができる。従って、ESLを高くすることなく、ESRを高くすることにより、低ESLかつ高ESRの積層コンデンサを提供することができる。このようなコンデンサを複数用いることにより、全体のインピ−ダンスを低く抑えたままで自己共振周波数が近いコンデンサ同士によって形成される反共振周波数におけるインピーダンスを低く抑えることが出来るので、ノイズをグランドに流しやすくすることができる。   According to the capacitor of the present invention, since the above configuration is provided, if a current enters from the first external electrode, the current passes through the strip-shaped lead-out portion and the strip-shaped connection portion of the first internal electrode, and the first It flows to the center of the internal electrode, and further flows from the center of the second internal electrode through the dielectric layer to the second external electrode through the strip-shaped connection portion and strip-shaped lead-out portion of the second internal electrode. The above-described current path is long because the band-like connection portion is formed on the first internal electrode and the second internal electrode. Moreover, since the connection part is formed in strip | belt shape, the cross-sectional area is small. Therefore, the capacitor according to the present invention can increase the ESR by forming the band-shaped connecting portion in the first internal electrode and the second internal electrode. Further, the band-shaped connecting portion of the first internal electrode and the band-shaped connecting portion of the second internal electrode are opposed to each other through the dielectric layer, and are overlapped with each other in the stacking direction. Since the direction of the current flowing through the band-shaped connection portion and the direction of the current flowing through the band-shaped connection portion of the second internal electrode are reversed, the inductance generated at the connection portion of the first internal electrode and the second internal electrode Since the inductance generated at the connection portion cancels out, an increase in ESL can be suppressed. Therefore, it is possible to provide a multilayer capacitor having a low ESL and a high ESR by increasing the ESR without increasing the ESL. By using a plurality of such capacitors, the impedance at the anti-resonance frequency formed by capacitors with close self-resonance frequencies can be kept low while keeping the overall impedance low, making it easy to flow noise to the ground. can do.

また、本発明のコンデンサモジュールによれば、上記のコンデンサを複数個、平面的に配置して、環状の金属からなる複数の第1端子電極および第2端子電極をコンデンサの間に平面的に配置して、第1端子電極で第1外部電極同士を電気的に接続し、第2端子電極で第2外部電極同士を電気的に接続してなることから、ICチップのデカップリング回路に用いるときにICチップの電源端子用はんだバンプを環状の第1端子電極および第2端子電極の内部に配置させることができるので、コンデンサモジュールを構成するコンデンサがデカップリング回路の一部としてICチップの電源端子用はんだバンプ間に配置されることとなり、配線長が最短となって低ESL化を図ることができ、有効周波数領域を高周波側に移すことができる。また、ICチップ下に実装できるので全体の実装面積を少なく出来る。   According to the capacitor module of the present invention, a plurality of the above capacitors are arranged in a plane, and a plurality of first terminal electrodes and second terminal electrodes made of a ring metal are arranged in a plane between the capacitors. When the first external electrodes are electrically connected by the first terminal electrodes and the second external electrodes are electrically connected by the second terminal electrodes, the IC chip decoupling circuit is used. Since the solder bump for the power terminal of the IC chip can be disposed inside the annular first terminal electrode and the second terminal electrode, the capacitor constituting the capacitor module is used as a part of the decoupling circuit. As a result, the wiring length becomes the shortest and the ESL can be reduced, and the effective frequency region can be shifted to the high frequency side. Further, since it can be mounted under the IC chip, the entire mounting area can be reduced.

そして、ICチップの電源端子用はんだバンプ間に納まる小型のコンデンサ間を環状の金属からなる第1端子電極および第2端子電極によってつなぎ、平面的に一体化していることから、コンデンサモジュールを電源端子用はんだバンプの高さ程度にまで薄く形成しても、製造工程における運搬時や製造後の実装時における衝撃による曲げ応力が金属部分の撓みにより緩和されるので、曲げの力に対して容易に破壊することがない一定の強度を得ることができる。   Since the small capacitors that fit between the solder bumps for the power supply terminals of the IC chip are connected by the first terminal electrode and the second terminal electrode made of an annular metal and integrated in a plane, the capacitor module is connected to the power supply terminal. Even if the solder bumps are made as thin as possible, bending stress due to impact during the transportation in the manufacturing process or mounting after the manufacturing is relieved by the bending of the metal part, so it is easy for the bending force A certain strength that does not break can be obtained.

(a)は本発明のコンデンサの実施の形態の一例を示す外観斜視図であり、(b)は(a)のコンデンサのA−A線断面図である。(A) is an external appearance perspective view which shows an example of embodiment of the capacitor | condenser of this invention, (b) is the sectional view on the AA line of the capacitor | condenser of (a). (a)は図1に示すコンデンサの第1内部電極5が形成された誘電体層7を上方から見た平面図であり、(b)は図1に示すコンデンサの第2内部電極6が形成された誘電体層7を上方から見た平面図である。(A) is a plan view of the dielectric layer 7 on which the first internal electrode 5 of the capacitor shown in FIG. 1 is formed as viewed from above, and (b) is the formation of the second internal electrode 6 of the capacitor shown in FIG. It is the top view which looked at the made dielectric material layer 7 from upper direction. (a)は図1に示すコンデンサの第1内部電極5が形成された誘電体層7を上方から見た平面図の他の例であり、(b)は図1に示すコンデンサの第2内部電極6が形成された誘電体層7を上方から見た平面図の他の例である。(A) is another example of the top view which looked at the dielectric layer 7 in which the 1st internal electrode 5 of the capacitor | condenser shown in FIG. 1 was formed from upper direction, (b) is the 2nd inside of the capacitor | condenser shown in FIG. It is another example of the top view which looked at the dielectric material layer 7 in which the electrode 6 was formed from upper direction. (a)は本発明のコンデンサモジュールの実施の形態の例を示す外観斜視図であり、(b)は本発明のコンデンサモジュールの実施の形態の例を上方から見た平面図である。(A) is the external appearance perspective view which shows the example of embodiment of the capacitor module of this invention, (b) is the top view which looked at the example of embodiment of the capacitor module of this invention from the upper direction. 図4に示す第1端子電極21または第2端子電極22の拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view of the first terminal electrode 21 or the second terminal electrode 22 shown in FIG. 4. (a)は本発明のコンデンサモジュールの実施の形態の例の実装前の断面図であり、(b)は本発明のコンデンサモジュールの実施の形態の例の実装時の断面図である。(A) is sectional drawing before mounting of the example of embodiment of the capacitor module of this invention, (b) is sectional drawing at the time of mounting of the example of embodiment of the capacitor module of this invention. デカップリング回路のインピーダンス特性を示す線図である。It is a diagram which shows the impedance characteristic of a decoupling circuit.

以下に、本発明のコンデンサおよびコンデンサモジュールについて添付図面を参照しつつ詳細に説明する。   Hereinafter, the capacitor and the capacitor module of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1(a)は本発明のコンデンサの実施の形態の例を示す外観斜視図であり、図1(b)は図1(a)に示すコンデンサ1のA−A線断面図である。図2(a)および(b)は、それぞれ図1に示すコンデンサ1の第1内部電極5が形成された誘電体層7および第2内部電極6が形成された誘電体層7を上方から見た平面図である。図3(a)は第1内部電極5の実施の形態の他の例を示す平面図であり、図3(b)は第2内部電極6の実施の形態の他の例を示す平面図である。図3において、図2と同様の部位には同様の符号を付している。図4(a)は本発明のコンデンサモジュールの実施の形態の例を示す外観斜視図であり、図4(b)は本発明のコンデンサモジュールの実施の形態の例を上方から見た平面図である。図5は、図4に示す第1端子電極21または第2端子電極22の拡大図である。図6(a)は本発明のコンデンサモジュールの実施の形態の例の実装前の断面図であり、図6(b)は本発明のコンデンサモジュールの実施の形態の例の実装時の断面図である。これらの図において、1はコンデンサ、2は第1外部電極、3は第2外部電極、4は積層体、5は第1内部電極、6は第2内部電極、7は誘電体層、10はコンデンサモジュール、11は第1導出部、12は第2導出部、13は第1接続部、14は第2接続部、15は第1主容量部、16は第2主容量部、21は第1端子電極、22は第2端子電極、23は貫通孔、24はICチップ、25は電源端子用はんだバンプ、26は実装基板である。   FIG. 1A is an external perspective view showing an example of an embodiment of the capacitor of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA of the capacitor 1 shown in FIG. 2 (a) and 2 (b) show the dielectric layer 7 formed with the first internal electrode 5 and the dielectric layer 7 formed with the second internal electrode 6 of the capacitor 1 shown in FIG. FIG. FIG. 3A is a plan view showing another example of the embodiment of the first internal electrode 5, and FIG. 3B is a plan view showing another example of the embodiment of the second internal electrode 6. is there. In FIG. 3, the same parts as those in FIG. FIG. 4A is an external perspective view showing an example of the embodiment of the capacitor module of the present invention, and FIG. 4B is a plan view of the example of the embodiment of the capacitor module of the present invention as viewed from above. is there. FIG. 5 is an enlarged view of the first terminal electrode 21 or the second terminal electrode 22 shown in FIG. 6A is a cross-sectional view before mounting the example of the capacitor module according to the embodiment of the present invention, and FIG. 6B is a cross-sectional view when mounting the example of the capacitor module according to the embodiment of the present invention. is there. In these figures, 1 is a capacitor, 2 is a first external electrode, 3 is a second external electrode, 4 is a laminate, 5 is a first internal electrode, 6 is a second internal electrode, 7 is a dielectric layer, and 10 is a dielectric layer. Capacitor module, 11 is a first derivation unit, 12 is a second derivation unit, 13 is a first connection unit, 14 is a second connection unit, 15 is a first main capacitance unit, 16 is a second main capacitance unit, and 21 is a first 1 terminal electrode, 22 is a 2nd terminal electrode, 23 is a through-hole, 24 is an IC chip, 25 is a solder bump for power terminals, and 26 is a mounting substrate.

図1(a)および(b)に示すコンデンサ1は、複数の誘電体層7を積層してなる積層体4の内部に、誘電体層7を挟んで互いに対向するように交互に複数配置された、複数の第1内部電極5および第2内部電極6が形成されて構成されたものである。   Capacitors 1 shown in FIGS. 1A and 1B are alternately arranged in a multilayer body 4 formed by laminating a plurality of dielectric layers 7 so as to face each other with the dielectric layer 7 interposed therebetween. In addition, a plurality of first internal electrodes 5 and second internal electrodes 6 are formed.

また、直方体状のコンデンサ1の4つの側面のうち対向する一対の側面に第1外部電極2が形成され、第1外部電極2が形成されていない一対の側面に第2外部電極3が形成されている。   Further, the first external electrode 2 is formed on a pair of opposing side surfaces of the four side surfaces of the rectangular parallelepiped capacitor 1, and the second external electrode 3 is formed on a pair of side surfaces where the first external electrode 2 is not formed. ing.

積層体4は、複数の方形状の誘電体層7を、例えば50層〜1000層積層して形成されている。なお、図1(b)においては、簡略化して説明するために、積層体4の積層数を省略して示している。   The stacked body 4 is formed by stacking, for example, 50 to 1000 layers of a plurality of rectangular dielectric layers 7. In FIG. 1B, the number of stacked layers 4 is not shown in order to simplify the description.

誘電体層7は、1層当り1μm〜5μmの厚みで、上方から見て方形状に形成されている。この誘電体層7を形成する材料としては、例えば、チタン酸バリウム,チタン酸カルシウム,チタン酸ストロンチウム等の比誘電率が比較的高いセラミックスを主成分とする誘電体材料が用いられる。   The dielectric layer 7 has a thickness of 1 μm to 5 μm per layer and is formed in a square shape when viewed from above. As a material for forming the dielectric layer 7, for example, a dielectric material mainly composed of ceramics having a relatively high relative dielectric constant such as barium titanate, calcium titanate, strontium titanate, or the like is used.

第1外部電極2は、複数の第1内部電極5をつないで、また、第2外部電極3は、複数の第2内部電極6をつないで積層方向に渡って被着されて形成されている。これら第1外部電極2および第2外部電極3の材料としては、例えばニッケル,銅,銀,パラジウム等の金属を主成分とする導体材料が用いられ、2μm〜20μmの厚みでそれぞれ積層体1に被着されている。このような内部電極と接続された外部電極が、外部の電気回路と電気的に接続されることによりコンデンサ内に電流が流れる。   The first external electrode 2 is formed by connecting a plurality of first internal electrodes 5, and the second external electrode 3 is formed by being connected in the stacking direction by connecting a plurality of second internal electrodes 6. . As the material of the first external electrode 2 and the second external electrode 3, for example, a conductor material mainly composed of a metal such as nickel, copper, silver, or palladium is used, and the laminated body 1 has a thickness of 2 μm to 20 μm. It is attached. The external electrode connected to such an internal electrode is electrically connected to an external electric circuit, whereby a current flows in the capacitor.

図2(a)および(b)に示す第1内部電極5および第2内部電極6は、外部との絶縁性を保つために、第1導出部11,第2導出部12を除く周縁が誘電体層7の周縁よりも若干内側に位置しており、0.5μm〜2μmの厚みに形成されている。材料としては、例えば、ニッケル,銅,ニッケル−銅,銀−パラジウム等の金属を主成分とする導体材料が用いられる。   The first internal electrode 5 and the second internal electrode 6 shown in FIGS. 2A and 2B have dielectric edges other than the first lead-out portion 11 and the second lead-out portion 12 in order to maintain insulation from the outside. It is located slightly inside the periphery of the body layer 7 and is formed to a thickness of 0.5 μm to 2 μm. As the material, for example, a conductor material containing a metal such as nickel, copper, nickel-copper, silver-palladium as a main component is used.

このような図2(a)に示す第1内部電極5は、積層体4の誘電体層7間の内縁部で、誘電体層7の対向する一対の辺に沿って形成され、第1外部電極2と電気的に接続した帯状の第1導出部11と、第1導出部11の両端から誘電体層7の中央部にかけて形成された帯状の第1接続部13と、誘電体層7の中央部において第1接続部13と接続するとともに、第1導出部11および第1接続部13との間に一定の距離を隔てて形成された主容量部15とを備えている。   The first internal electrode 5 shown in FIG. 2A is formed along the pair of opposing sides of the dielectric layer 7 at the inner edge between the dielectric layers 7 of the multilayer body 4, A strip-shaped first lead portion 11 electrically connected to the electrode 2, a strip-shaped first connection portion 13 formed from both ends of the first lead portion 11 to the center of the dielectric layer 7, In addition to being connected to the first connecting portion 13 in the central portion, a main capacity portion 15 formed with a certain distance between the first lead-out portion 11 and the first connecting portion 13 is provided.

また図2(b)に示す第2内部電極6は、積層体4の誘電体層7間の内縁部で、誘電体層7の対向する一対の辺に沿って形成され、第2外部電極3と電気的に接続した帯状の第2導出部12と、第2導出部12の端から誘電体層7の中央部にかけて形成された帯状の第2接続部14と、誘電体層7の中央部において第2接続部14と接続するとともに、第2導出部12および第2接続部14との間に一定の距離を隔てて形成された主容量部15とを備えている。   The second internal electrode 6 shown in FIG. 2B is formed along a pair of opposing sides of the dielectric layer 7 at the inner edge between the dielectric layers 7 of the multilayer body 4, and the second external electrode 3. A strip-shaped second lead-out portion 12 electrically connected to the strip, a strip-shaped second connection portion 14 formed from the end of the second lead-out portion 12 to the central portion of the dielectric layer 7, and the central portion of the dielectric layer 7 And the main connection portion 15 formed at a certain distance between the second lead-out portion 12 and the second connection portion 14.

第1内部電極5は、積層体4の対向する一対の外側面に形成された第1外部電極2と第1導出部11で電気的に接続されており、第2内部電極6は第1外部電極2が形成された外側面とは異なる他の対向する一対の外側面に形成された第2外部電極3と第2導出部12で電気的に接続されている。   The first internal electrode 5 is electrically connected to the first external electrode 2 formed on a pair of opposed outer surfaces of the multilayer body 4 by the first lead-out portion 11, and the second internal electrode 6 is connected to the first external electrode. The second external electrode 3 formed on a pair of opposing outer surfaces different from the outer surface on which the electrode 2 is formed is electrically connected to the second lead-out portion 12.

また、第1導出部11および第2導出部12の幅は20μm〜40μm、第1接続部13および第2接続部14の幅は20μm〜40μm、第1導出部11および第1接続部13と主容量部15との間の間隔ならびに、第2導出部12および第2接続部14と主容量部15との間の間隔は20μm〜40μmとなるように形成されている。   The widths of the first lead-out part 11 and the second lead-out part 12 are 20 μm to 40 μm, the widths of the first connection part 13 and the second connection part 14 are 20 μm to 40 μm, and the first lead-out part 11 and the first connection part 13 The interval between the main capacitor portion 15 and the interval between the second lead-out portion 12 and the second connecting portion 14 and the main capacitor portion 15 are 20 μm to 40 μm.

コンデンサは、一般的に対向し合う内部電極の間で静電容量を得るものであり、本例のコンデンサ1では、主に、第1内部電極5の第1主容量部15と第2内部電極6の第2主容量部16とが対向した領域で静電容量を得ることができる。   The capacitor generally obtains a capacitance between the opposed internal electrodes. In the capacitor 1 of this example, the first main capacitance portion 15 of the first internal electrode 5 and the second internal electrode are mainly used. Capacitance can be obtained in a region facing the sixth second main capacitor portion 16.

第1導出部11は、第1内部電極5を積層体4の側面へ導出する部分であり、第1外部電極2と接続するための部分である。また、第2導出部12は、第2内部電極6を積層体4の側面へ導出する部分であり、第2外部電極3と接続するための部分である。   The first lead-out part 11 is a part for leading the first internal electrode 5 to the side surface of the multilayer body 4, and is a part for connecting to the first external electrode 2. The second lead-out part 12 is a part for leading the second internal electrode 6 to the side surface of the multilayer body 4 and is a part for connecting to the second external electrode 3.

このような本例のコンデンサ1では、第1外部電極2から電流が入る場合であれば、電流は、第1内部電極5の第1導出部11および帯状の第1接続部13を通り、第1内部電極5の中央へと流れ、さらに、誘電体層7を介して第2内部電極6の中央から第2内部電極6の第2接続部14および第2導出部12を通って第2外部電極3へと流れる。上記の電流経路は、途中に帯状の第1接続部13および第2接続部14が形成されていることから、長くなっている。また、第1接続部13および第2接続部14は、帯状に形成されているので、その断面積が小さい。従って、第1接続部13および第2接続部14が形成されていることにより、本例のコンデンサ1は、ESRを高くすることができる。また、本例のコンデンサ1は、第1内部電極5の帯状の第1接続部13と第2内部電極6の帯状の第2接続部14とが、誘電体層7を介して対向し、積層方向に互いに重なった状態で形成されており、第1内部電極5の帯状の第1接続部13を流れる電流の方向と第2内部電極6の帯状の第2接続部14を流れる電流の方向とが逆になっていることから、第1接続部13で発生するインダクタンスと第2接続部14で発生するインダクタンスとが打ち消し合うので、ESLの増加を抑えることができる。従って、ESLを高くすることなく、ESRを所望の値まで高くすることにより、低ESLかつ高ESRの積層コンデンサとすることができる。このような本例のコンデンサ1を複数用いることにより、全体のインピ−ダンスを低く抑えたままで自己共振周波数が近いコンデンサ同士によって形成される反共振周波数におけるインピーダンスを低く抑えることが出来るので、ノイズをグランドに流しやすくすることができる。   In such a capacitor 1 of this example, if current flows from the first external electrode 2, the current passes through the first lead-out portion 11 and the strip-shaped first connection portion 13 of the first internal electrode 5, and the first 1 flows to the center of the internal electrode 5 and further passes through the dielectric layer 7 from the center of the second internal electrode 6 through the second connection portion 14 and the second lead-out portion 12 of the second internal electrode 6 to the second external portion. It flows to the electrode 3. The above-described current path is long because the band-like first connection portion 13 and second connection portion 14 are formed in the middle. Moreover, since the 1st connection part 13 and the 2nd connection part 14 are formed in strip | belt shape, the cross-sectional area is small. Therefore, by forming the first connection portion 13 and the second connection portion 14, the capacitor 1 of this example can increase the ESR. Further, in the capacitor 1 of this example, the strip-shaped first connection portion 13 of the first internal electrode 5 and the strip-shaped second connection portion 14 of the second internal electrode 6 are opposed to each other with the dielectric layer 7 interposed therebetween. And the direction of the current flowing through the band-shaped first connection portion 13 of the first internal electrode 5 and the direction of the current flowing through the band-shaped second connection portion 14 of the second internal electrode 6. Is reversed, the inductance generated at the first connecting portion 13 and the inductance generated at the second connecting portion 14 cancel each other, so that an increase in ESL can be suppressed. Therefore, a multilayer capacitor having a low ESL and a high ESR can be obtained by increasing the ESR to a desired value without increasing the ESL. By using a plurality of capacitors 1 of this example, the impedance at the anti-resonance frequency formed by capacitors having close self-resonance frequencies can be kept low while keeping the overall impedance low, so noise can be reduced. It can be made easy to flow to the ground.

図1(a)および(b),図2(a)および(b)ならびに図4(a)および(b)に示したコンデンサ1は、例えば以下に示す方法により製造される。   The capacitor 1 shown in FIGS. 1A and 1B, FIGS. 2A and 2B, and FIGS. 4A and 4B is manufactured by, for example, the following method.

誘電体層7がチタン酸バリウムを主成分とする誘電体材料から成る場合であれば、チタン酸バリウムの粉末に適当な有機溶剤,ガラスフリット,有機バインダ等を添加・混合して泥漿状のセラミックスラリーとなすとともに、このセラミックスラリーをドクターブレード法等によって所定厚みに形成してセラミックグリーンシートを作製する。   If the dielectric layer 7 is made of a dielectric material mainly composed of barium titanate, an appropriate organic solvent, glass frit, organic binder, etc. are added to and mixed with the barium titanate powder to produce a slurry ceramic. The ceramic slurry is formed to a predetermined thickness by a doctor blade method or the like, and a ceramic green sheet is produced.

次に、セラミックグリーンシートを所定形状に複数枚に分割し、各セラミックグリーンシートの一主面に、例えば、ニッケルの粉末に適当な有機溶剤,ガラスフリット,有機バインダ等を添加・混合して得た導体ペーストを、スクリーン印刷法等によって所定パターンに印刷・塗布する。   Next, the ceramic green sheet is divided into a plurality of predetermined shapes, and for example, an appropriate organic solvent, glass frit, organic binder or the like is added to and mixed with one main surface of each ceramic green sheet. The conductor paste is printed and applied in a predetermined pattern by a screen printing method or the like.

得られたセラミックグリーンシートを所定の枚数だけ積層して圧着することにより、複数のセラミックグリーンシートからなる積層シートを形成し、これを個々のコンデンサ1に対応する個片の生積層体に切断分離する。   By laminating a predetermined number of the obtained ceramic green sheets and press-bonding, a laminated sheet composed of a plurality of ceramic green sheets is formed, and this is cut and separated into individual green laminated bodies corresponding to individual capacitors 1 To do.

この切断分離した個片の生積層体を、例えば1100℃〜1400℃の温度で焼成することにより、複数の誘電体層7を積層して成る積層体4を得ることができる。   By firing this cut and separated individual green laminate at a temperature of 1100 ° C. to 1400 ° C., for example, a laminate 4 in which a plurality of dielectric layers 7 are laminated can be obtained.

図3(a)および(b)に示す例において、第1内部電極5は、帯状の第1導出部11の一方端から誘電体層7の中央部にかけて形成された帯状の第1接続部13と、主容量部15とを備えており、第2内部電極6は、帯状の第2導出部12の一方端から誘電体層7の中央部にかけて形成された帯状の第2接続部14と、主容量部15とを備えている。   In the example shown in FIGS. 3A and 3B, the first internal electrode 5 is a belt-like first connection portion 13 formed from one end of the belt-like first lead-out portion 11 to the central portion of the dielectric layer 7. And a main capacitor portion 15, and the second internal electrode 6 is a strip-shaped second connection portion 14 formed from one end of the strip-shaped second lead-out portion 12 to the central portion of the dielectric layer 7, The main capacity unit 15 is provided.

図3(a)および(b)に示す例の内部電極を用いたコンデンサにおいては、第1導出部11の2つの端のうちの一方端と第1接続部13とが接続され、第2導出部12の2つの端のうちの一方端と第2接続部14とが接続されていることから、導出部の両端から接続部を形成した場合に比べて、第1接続部13および第2接続部14の数を減らすことで、幅をより狭くして、電流路の断面積をさらに小さくすることも容易にできるので、ESRをさらに高くするために有効である。   In the capacitor using the internal electrode of the example shown in FIGS. 3A and 3B, one end of the two ends of the first derivation unit 11 and the first connection unit 13 are connected, and the second derivation is performed. Since one end of the two ends of the portion 12 and the second connection portion 14 are connected, the first connection portion 13 and the second connection are compared with the case where the connection portion is formed from both ends of the lead-out portion. By reducing the number of the portions 14, it is possible to easily narrow the width and further reduce the cross-sectional area of the current path, which is effective for further increasing the ESR.

図4(a)および図4(b)に示すコンデンサモジュール10は、複数のコンデンサ1と複数の第1端子電極21および複数の第2端子電極22により構成されたものである。   The capacitor module 10 shown in FIGS. 4A and 4B is configured by a plurality of capacitors 1, a plurality of first terminal electrodes 21 and a plurality of second terminal electrodes 22.

また、本例のコンデンサモジュール10は、平面的に配置した際に複数のコンデンサ1および複数の第1端子電極21が前後方向または左右方向に交互に互いに接して配置されており、複数のコンデンサ1の第1端子電極21が配置されていない一対の面の方向に、複数の第2端子電極22と複数のコンデンサ1とが交互に互いに接して配置されたものである。また、それぞれの第1端子電極21には1個または2個または4個のコンデンサ1の外部電極が接して配置されており、それぞれの第2端子電極22には1個または2個または4個のコンデンサ1の外部電極が接して配置されている。ここで用いる複数の第1端子電極21および複数の第2端子電極22は、環状に形成された金属である。   In the capacitor module 10 of this example, when arranged in a plane, a plurality of capacitors 1 and a plurality of first terminal electrodes 21 are alternately arranged in contact with each other in the front-rear direction or the left-right direction. A plurality of second terminal electrodes 22 and a plurality of capacitors 1 are alternately disposed in contact with each other in the direction of a pair of surfaces where the first terminal electrodes 21 are not disposed. In addition, one, two, or four external electrodes of the capacitor 1 are disposed in contact with each first terminal electrode 21, and one, two, or four external electrodes are disposed on each second terminal electrode 22. The external electrodes of the capacitor 1 are arranged in contact with each other. The plurality of first terminal electrodes 21 and the plurality of second terminal electrodes 22 used here are metals formed in an annular shape.

なお、本例のコンデンサモジュール10においては、直方体状のコンデンサ1の積層体4の4つの側面には、銅等の金属を主成分とする導体粉末をビヒクル中に分散させてなる導体ペーストを塗布して焼き付けてなる第1外部電極2および第2外部電極3が形成されており、第1内部電極5の第1導出部11が形成された一対の側面のそれぞれに第1外部電極2が形成されて第1導出部11と接続され、第2内部電極6の第2導出部12が形成された他の対向する一対の側面のそれぞれに第2外部電極3が形成されて第2導出部12と接続されたものである。そして、本例のコンデンサモジュール10は、図4(a)および(b)に示す第1端子電極21が第1外部電極2を介して第1内部電極5の第1導出部11と電気的に接続され、第2端子電極22が第2外部電極3を介して第2内部電極6の第2導出部12と電気的に接続されていることから、コンデンサ1と第1接続部13および第2接続部14との接続が積層体4に焼き付けられた第1外部電極2または第2外部電極3を介したものとなっている。そのため、コンデンサ1と第1端子電極21および第2端子電極22との接続が強いものとなっている。   In the capacitor module 10 of this example, a conductive paste in which a conductive powder mainly composed of a metal such as copper is dispersed in a vehicle is applied to the four side surfaces of the multilayer body 4 of the rectangular parallelepiped capacitor 1. The first external electrode 2 and the second external electrode 3 formed by baking are formed, and the first external electrode 2 is formed on each of the pair of side surfaces where the first lead-out portion 11 of the first internal electrode 5 is formed. Then, the second external electrode 3 is formed on each of the other pair of opposite side surfaces that are connected to the first derivation unit 11 and formed with the second derivation unit 12 of the second internal electrode 6, and the second derivation unit 12. Is connected to. In the capacitor module 10 of this example, the first terminal electrode 21 shown in FIGS. 4A and 4B is electrically connected to the first lead-out portion 11 of the first internal electrode 5 through the first external electrode 2. Since the second terminal electrode 22 is electrically connected to the second lead-out portion 12 of the second internal electrode 6 through the second external electrode 3, the capacitor 1, the first connection portion 13, and the second The connection with the connection portion 14 is via the first external electrode 2 or the second external electrode 3 baked on the laminate 4. Therefore, the connection between the capacitor 1 and the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 is strong.

次に、図5は図1(a)に示した第1端子電極21または第2端子電極22の拡大図である。第1端子電極21および第2端子電極22は内部にはんだバンプを配置できる程度の内径の貫通孔23を有しており、例えばニッケル,銅等の金属を主成分とする導体材料によって形成されたものである。   Next, FIG. 5 is an enlarged view of the first terminal electrode 21 or the second terminal electrode 22 shown in FIG. The first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 have through-holes 23 having an inner diameter enough to allow solder bumps to be disposed therein, and are formed of a conductive material mainly composed of a metal such as nickel or copper. Is.

図5に示した第1端子電極21および第2端子電極22は、例えば、ニッケル,銅等の金属を主成分とする導体材料によって、膜厚が0.1mmで内径が0.7mmの金属チューブを0.5mmの長さにカットすることにより形成されるものである。   The first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 shown in FIG. 5 are made of, for example, a metal tube having a thickness of 0.1 mm and an inner diameter of 0.7 mm made of a conductive material mainly composed of a metal such as nickel or copper. It is formed by cutting to a length of mm.

また、第1端子電極21および第2端子電極22の貫通孔23は、コンデンサ1の主面と同一方向に向かって開口している。   Further, the through holes 23 of the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 are opened in the same direction as the main surface of the capacitor 1.

上記のように構成されるコンデンサモジュール10は、第1端子電極21と第2端子電極22との間に所定の電圧が印加されると、第1内部電極5と第2内部電極6との間に位置する誘電体層7の誘電率,厚み,対向面積および層数により設定される静電容量に応じた電荷が蓄積される。   In the capacitor module 10 configured as described above, when a predetermined voltage is applied between the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22, the capacitor module 10 is interposed between the first internal electrode 5 and the second internal electrode 6. Charges corresponding to the capacitance set by the dielectric constant, thickness, opposing area and number of layers of the dielectric layer 7 located in the are accumulated.

上述したコンデンサモジュール10は、デカップリングコンデンサとしてデカップリング回路に好適に用いられる。デカップリング回路は、マイクロプロセッシングユニット(MPU)等のICチップに電力を供給する電源回路に接続され、電源ラインとグランドとの間のリアクタンスを0に近付けることで、交流成分をグランドへ流し、電源ノイズや放射電磁雑音(EMIノイズ)を除去する役割を果たしている。   The capacitor module 10 described above is preferably used in a decoupling circuit as a decoupling capacitor. The decoupling circuit is connected to a power supply circuit that supplies power to an IC chip such as a microprocessing unit (MPU). By bringing the reactance between the power supply line and the ground close to 0, an alternating current component is caused to flow to the ground. It plays the role of removing noise and radiated electromagnetic noise (EMI noise).

次に、図6(a)は本発明の実施の形態の第1の例のコンデンサモジュール10をICチップと接続する前の断面図であり、図6(b)は本発明の実施の形態の第1の例のコンデンサモジュール10をICチップと接続した時の断面図である。なお、図6(a)および(b)に示したコンデンサモジュール10は、コンデンサ1および第1端子電極21の並びにおける断面を示している。   Next, FIG. 6A is a sectional view before the capacitor module 10 of the first example of the embodiment of the present invention is connected to the IC chip, and FIG. 6B is a diagram of the embodiment of the present invention. It is sectional drawing when the capacitor module 10 of a 1st example is connected with IC chip. Note that the capacitor module 10 shown in FIGS. 6A and 6B shows a cross section of the capacitor 1 and the first terminal electrode 21 in an array.

この場合のコンデンサモジュール10は、例えば、実装装置を用いてコンデンサ1の上側に吸着ノズルを当てて持ち上げることにより運搬し、実装基板26上に載置する。しかる後に、ICチップ24を、電源端子用はんだバンプ25が第1端子電極21の貫通孔23内に配置するようにしてICチップ24を実装基板26に載置し、リフローはんだ付けを行なうことで電源端子用はんだバンプ25を溶融させて第1端子電極21の貫通孔23の内壁に接着するとともに、実装基板26とICチップ24の電源端子用はんだバンプ25とを接続する。また、図示していないが、第2端子電極22も第1端子電極21の場合と同様な手順で接続する。   In this case, the capacitor module 10 is transported by, for example, using a mounting device by lifting a suction nozzle against the upper side of the capacitor 1 and placing it on the mounting substrate 26. Thereafter, the IC chip 24 is placed on the mounting substrate 26 so that the power terminal solder bumps 25 are disposed in the through holes 23 of the first terminal electrode 21, and reflow soldering is performed. The power terminal solder bump 25 is melted and adhered to the inner wall of the through hole 23 of the first terminal electrode 21, and the mounting substrate 26 and the power terminal solder bump 25 of the IC chip 24 are connected. Although not shown, the second terminal electrode 22 is connected in the same procedure as that for the first terminal electrode 21.

このような本例のコンデンサモジュール10では、コンデンサ1と第1端子電極21および第2端子電極22とは、平面的に配置したとき、前後方向および左右方向に1つ置きに配置され、それぞれが斜め方向に連続となるように配置されており、ICチップ24の端子電極間にコンデンサ1を高い密度で実装できるため、ICチップ24の端子電極間の通常利用されない空間を、コンデンサモジュールを配置することにより有効に利用することができる。   In the capacitor module 10 of this example, when the capacitor 1 and the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 are arranged in a plane, they are arranged alternately in the front-rear direction and the left-right direction. Since the capacitors 1 are arranged so as to be continuous in an oblique direction and the capacitors 1 can be mounted between the terminal electrodes of the IC chip 24 with high density, the capacitor module is arranged in a space that is not normally used between the terminal electrodes of the IC chip 24. Can be used effectively.

また、従来のデカップリング回路においてはコンデンサモジュールとICチップの電源端子との間を接続する配線にはインダクタンスが存在しており、このインダクタンス成分が配線長に比例して大きくなるため、配線を短くした構造が求められている。   Further, in the conventional decoupling circuit, there is an inductance in the wiring connecting the capacitor module and the power supply terminal of the IC chip, and since this inductance component increases in proportion to the wiring length, the wiring is shortened. There is a need for such a structure.

この点に関して、本発明の実施の形態の第1の例のコンデンサモジュール10によれば、ICチップ24の電源端子用はんだバンプ25を、環状の第1端子電極21および第2端子電極22の内部に配置させることができるので、コンデンサモジュール10を構成するコンデンサ1が、デカップリング回路の一部としてICチップ24の電源端子用はんだバンプ25間に配置されることにより配線長が最短となり、低ESL化を図ることができる。   In this regard, according to the capacitor module 10 of the first example of the embodiment of the present invention, the power terminal solder bumps 25 of the IC chip 24 are formed inside the annular first terminal electrode 21 and second terminal electrode 22. Since the capacitor 1 constituting the capacitor module 10 is arranged between the power terminal solder bumps 25 of the IC chip 24 as a part of the decoupling circuit, the wiring length is minimized, and the low ESL is achieved. Can be achieved.

そして、ICチップ24の電源端子用はんだバンプ25間に納まる小型のコンデンサ1間を環状の金属からなる第1端子電極21および第2端子電極22によってつなぎ、平面的に一体化していることから、コンデンサ1を電源端子用はんだバンプ25の高さ程度にまで薄く形成しても、製造工程における運搬時や製造後の実装時の衝撃による曲げ応力が金属部分の撓みにより緩和されるので、曲げの力に対して容易に破壊することがない一定の強度を得ることができる。   Since the small capacitors 1 placed between the power terminal solder bumps 25 of the IC chip 24 are connected by the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 made of an annular metal and integrated in a plane, Even if the capacitor 1 is made as thin as the height of the solder bumps 25 for the power supply terminals, the bending stress due to the shock during transportation in the manufacturing process and mounting after manufacturing is alleviated by bending of the metal part. It is possible to obtain a certain strength that does not easily break against force.

また、コンデンサ1の対向する一対の側面に第1導出部11が形成され、一対の側面とは異なる他の対向する一対の側面に第2導出部12が形成されているときには、複数の第1端子電極21および複数の第2端子電極22が縦横に交互に平面的に配置され、最短距離で隣り合う第1端子電極21および第2端子電極22で囲まれた位置に、コンデンサ1が配置されることになり、第1端子電極21と第2端子電極22との間隔をコンデンサ1の1つ分よりも狭くすることができるので、電源端子用はんだバンプ25の配置密度が高いICチップ24に対するデカップリング回路に好適に利用できる。   Further, when the first lead-out portion 11 is formed on a pair of opposite side surfaces of the capacitor 1 and the second lead-out portion 12 is formed on another pair of opposite side surfaces different from the pair of side surfaces, a plurality of first leads The terminal electrode 21 and the plurality of second terminal electrodes 22 are alternately arranged in a plane in the vertical and horizontal directions, and the capacitor 1 is arranged at a position surrounded by the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 adjacent to each other at the shortest distance. As a result, the distance between the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 can be made narrower than that of one capacitor 1, so that the arrangement density of the power terminal solder bumps 25 can be reduced. It can be suitably used for a decoupling circuit.

図4(a)に示すコンデンサモジュール10は、図1に示すコンデンサ1と図5に示す第1端子電極21および第2端子電極22を例えば、以下に示すような方法で一体とすることにより製造される。   The capacitor module 10 shown in FIG. 4A is manufactured by integrating the capacitor 1 shown in FIG. 1 with the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 shown in FIG. 5 by the following method, for example. Is done.

まず、ICチップ24の電源端子用はんだバンプ25の配列と同じ配列寸法で例えば0.5mm径の突起部を形成した絶縁体治具を準備し、絶縁体治具の突起部にICチップ24の電源端子用はんだバンプ25と同数の第1端子電極21および第2端子電極22をはめこんで配置しておいて、第1端子電極21および第2端子電極22間にコンデンサ1を配置し、これら全体をメッキ液に浸漬してコンデンサ1の第1内部電極5の第1導出部11に第1端子電極21を、コンデンサ1の第2内部電極6の第2導出部12に第2端子電極22を、それぞれメッキ膜で接着し一体化することによりコンデンサモジュール10を製造する。メッキ液に用いる金属成分としては、例えば、銅やニッケル等が用いられる。   First, an insulator jig is prepared in which a protrusion with a diameter of 0.5 mm, for example, is formed in the same arrangement size as the arrangement of the solder bumps 25 for the power supply terminal of the IC chip 24. The same number of first terminal electrodes 21 and second terminal electrodes 22 as the solder bumps 25 for terminals are inserted and arranged, and the capacitor 1 is arranged between the first terminal electrodes 21 and the second terminal electrodes 22, and all of them. Is immersed in the plating solution, the first terminal electrode 21 is provided in the first lead-out portion 11 of the first internal electrode 5 of the capacitor 1, and the second terminal electrode 22 is provided in the second lead-out portion 12 of the second internal electrode 6 of the capacitor 1. The capacitor module 10 is manufactured by bonding and integrating them with a plating film. As a metal component used for the plating solution, for example, copper, nickel or the like is used.

また、従来のコンデンサモジュールでは、使用するICチップの電源端子用はんだバンプ数の仕様変更が発生した場合に、設計の変更やコンデンサモジュールの製作に時間がかかり、顧客の要求に素早く対応できないといった問題点もあったが、本発明のコンデンサモジュール10によれば、コンデンサ1と第1端子電極21及び第2端子電極22の組合せによって、ICチップ24の電源端子用はんだバンプ25の数の個別仕様に対応できるので、顧客の仕様変更に素早く応えることができる。   Also, in the conventional capacitor module, when the specification change of the number of solder bumps for power supply terminals of the IC chip to be used occurs, it takes time to change the design and manufacture of the capacitor module, and it is not possible to respond quickly to customer requirements However, according to the capacitor module 10 of the present invention, the number of solder bumps 25 for the power supply terminals of the IC chip 24 can be individually specified by combining the capacitor 1 with the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22. Because it can respond, it can respond quickly to changes in customer specifications.

なお、本発明は上述した実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更,改良等が可能である。   The present invention is not limited to the embodiments described above, and various changes and improvements can be made without departing from the scope of the present invention.

例えば、上述の実施の形態の例では、コンデンサ1を形成する誘電体層7として上方から見た形状が方形状のものを用いているが、誘電体層7は方形状の角部が丸みを帯びたものを用いることも可能である。誘電体層7の角部が丸みを帯びている場合は、角部での欠けや割れを防止できる。   For example, in the example of the embodiment described above, the dielectric layer 7 forming the capacitor 1 has a rectangular shape as viewed from above, but the dielectric layer 7 has rounded corners of the square shape. It is also possible to use a banded one. When the corner of the dielectric layer 7 is rounded, chipping and cracking at the corner can be prevented.

また、上述の実施の形態の例では、コンデンサモジュール10の第1端子電極21および第2端子電極22には角のない円環状に形成された金属を用いているが、例えば、主面が多角形の柱状の金属で主面間に貫通孔を設けた形状のものを第1端子電極および第2端子電極として用いることも可能である。この場合は、第1端子電極および第2端子電極の外周面が複数の平面から成るため、コンデンサ1と第1端子電極および第2端子電極との接合が容易である。   In the example of the above-described embodiment, the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 of the capacitor module 10 are made of metal formed in an annular shape with no corners. It is also possible to use a prismatic metal having a shape in which a through hole is provided between main surfaces as the first terminal electrode and the second terminal electrode. In this case, since the outer peripheral surfaces of the first terminal electrode and the second terminal electrode are formed of a plurality of planes, the capacitor 1 can be easily joined to the first terminal electrode and the second terminal electrode.

本発明のコンデンサモジュールの実施例について説明する。   Examples of the capacitor module of the present invention will be described.

ここでは、積層体4を、チタン酸バリウムを主成分とする強誘電体セラミックスから成り、厚みが3μmの誘電体層7を50層積層する構成とし、ニッケルを主成分とする導体材料で厚みが3μmの第1内部電極5および第2内部電極6を積層体4の誘電体層7を挟んで互いに対向するよう交互に配置して構成し、第1内部電極5の第1導出部11はコンデンサ1の対向する一対の側面に形成し、第2内部電極6の第2導出部12は第1導出部11が形成された一対の側面とは異なる他の対向する一対の側面に形成して、各側面の第1導出部11または第2導出部12に接続されるように銅を主成分とする外部電極5,6を側面に焼き付けて、縦横の外形寸法がともに1.0mmで厚さが0.5mmの直方体状のコンデンサ1を4個製造した。   Here, the laminated body 4 is made of a ferroelectric ceramic mainly composed of barium titanate, and 50 dielectric layers 7 having a thickness of 3 μm are laminated, and the thickness is made of a conductive material mainly composed of nickel. The first internal electrodes 5 and the second internal electrodes 6 of 3 μm are alternately arranged so as to face each other with the dielectric layer 7 of the multilayer body 4 interposed therebetween. The first lead-out portion 11 of the first internal electrode 5 is a capacitor Formed on one pair of opposing side surfaces, the second lead-out portion 12 of the second internal electrode 6 is formed on another pair of opposing side surfaces different from the pair of side surfaces on which the first lead-out portion 11 is formed, The external electrodes 5 and 6 mainly composed of copper are baked on the side surface so as to be connected to the first lead-out portion 11 or the second lead-out portion 12 on each side surface, and both the vertical and horizontal outer dimensions are 1.0 mm and the thickness is 0.5. Four rectangular parallelepiped capacitors 1 were manufactured.

第1内部電極5は、積層体4の誘電体7の対向する一対の辺に沿って形成され、第1外部電極2と電気的に接続し、その幅が30μmの帯状の第1導出部11と、第1導出部11の両端から誘電体層7の中央部にかけて形成され、その幅が30μmの帯状の第1接続部13と、誘電体層7の中央部において第1接続部13と接続するとともに、第1導出部11および第1接続部13との間に30μmの距離を隔てて形成された主容量部15とを備えている。   The first internal electrode 5 is formed along a pair of opposing sides of the dielectric 7 of the multilayer body 4, is electrically connected to the first external electrode 2, and has a strip-shaped first lead-out portion 11 having a width of 30 μm. And a strip-shaped first connecting portion 13 having a width of 30 μm and connected to the first connecting portion 13 at the central portion of the dielectric layer 7. In addition, a main capacitor portion 15 formed with a distance of 30 μm between the first lead-out portion 11 and the first connection portion 13 is provided.

また、第2内部電極6は、積層体4の誘電体層7の対向する一対の辺に沿って形成され、第2外部電極3と電気的に接続し、その幅が30μmの帯状の第2導出部12と、第2導出部12の端から誘電体層7の中央部にかけて形成され、その幅が30μmの帯状の第2接続部14と、誘電体層7の中央部において第2接続部14と接続するとともに、第2導出部12および第2接続部14との間に30μmの距離を隔てて形成された主容量部15とを備えている。   The second internal electrode 6 is formed along a pair of opposing sides of the dielectric layer 7 of the multilayer body 4, is electrically connected to the second external electrode 3, and has a width of 30 μm. The lead-out part 12 is formed from the end of the second lead-out part 12 to the central part of the dielectric layer 7 and has a band-shaped second connection part 14 having a width of 30 μm, and the second connection part at the central part of the dielectric layer 7 14 and a main capacitor portion 15 formed at a distance of 30 μm between the second lead-out portion 12 and the second connection portion 14.

また、コンデンサ1と接続する第1端子電極21および第2端子電極22は、ニッケルを主成分とする、膜厚が0.1mmで内径が0.7mmの円筒形の金属を0.5mmの長さにカットすることにより製造した。   The first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 connected to the capacitor 1 are formed by cutting a cylindrical metal having a thickness of 0.1 mm and an inner diameter of 0.7 mm into a length of 0.5 mm, which is mainly composed of nickel. It was manufactured by doing.

次に、コンデンサ1を、ICチップ24の電源端子用はんだバンプ25と対応する位置に0.5mm径の突起部が形成された絶縁体治具の突起部に、第1端子電極21および第2端子電極22がはまるように配置した。コンデンサ1間に配置された複数の第1端子電極21および第2端子電極22は、それぞれコンデンサ1の同じ外部電極と接続されるように配置した。そして、絶縁体治具に配置されたコンデンサ1と第1端子電極21および第2端子電極22とを、金属成分として銅を用いた無電解メッキ液を満たしたメッキ槽へ浸漬し、第1外部電極2および第1端子電極21、ならびに第2外部電極3および第2端子電極22が互いに近接し合う部分に無電解メッキを施して接着し、形成したメッキ膜により、コンデンサ1の第1内部電極5の第1導出部11と第1端子電極21とを電気的に接続するとともに、コンデンサ1の第2内部電極6の第2導出部12と第2端子電極22とを電気的に接続してコンデンサモジュール10を製造した。   Next, the capacitor 1 is placed on the protruding portion of the insulator jig in which the protruding portion having a diameter of 0.5 mm is formed at the position corresponding to the solder bump 25 for the power supply terminal of the IC chip 24, and the first terminal electrode 21 and the second terminal. The electrodes 22 were arranged so as to fit. The plurality of first terminal electrodes 21 and second terminal electrodes 22 arranged between the capacitors 1 were arranged so as to be connected to the same external electrode of the capacitor 1. Then, the capacitor 1, the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 arranged in the insulator jig are immersed in a plating tank filled with an electroless plating solution using copper as a metal component, and the first external The electrode 2 and the first terminal electrode 21, and the second external electrode 3 and the second terminal electrode 22 are bonded to each other by applying electroless plating to the first internal electrode of the capacitor 1 by the formed plating film. The first lead-out part 11 and the first terminal electrode 21 are electrically connected to each other, and the second lead-out part 12 and the second terminal electrode 22 of the second internal electrode 6 of the capacitor 1 are electrically connected to each other. A capacitor module 10 was manufactured.

上記の方法により製造した本発明のコンデンサモジュール10を評価する試験として、コンデンサ1の上側に吸着ノズルを当てて持ち上げることにより運搬して実装基板26上に、ICチップ24をその電源端子用はんだバンプ25がコンデンサモジュール10の第1端子電極21および第2端子電極22の貫通孔23内に位置するようにして載置し、リフローはんだ付けを行なうことで、電源端子用はんだバンプ25を溶融させてこのはんだを第1端子電極21および第2端子電極22の貫通孔23の内壁に接着するとともに、ICチップ24の電源端子用はんだバンプ25を実装基板26に接続することにより、本発明の実施例のコンデンサモジュール10を実装基板26上に実装した。その結果、この実装時の運搬や載置の際に、コンデンサモジュール10に欠けや割れといった破損が発生することはなかった。   As a test for evaluating the capacitor module 10 of the present invention manufactured by the above method, the IC chip 24 is mounted on the mounting substrate 26 by lifting the capacitor 1 by placing the suction nozzle on the upper side of the capacitor 1 and solder bumps for the power supply terminals. 25 is placed in the through hole 23 of the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 of the capacitor module 10, and reflow soldering is performed to melt the power terminal solder bump 25. The solder is adhered to the inner walls of the through holes 23 of the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22, and the power terminal solder bumps 25 of the IC chip 24 are connected to the mounting substrate 26, thereby realizing an embodiment of the present invention. The capacitor module 10 was mounted on the mounting board 26. As a result, no damage such as chipping or cracking occurred in the capacitor module 10 during transportation or mounting during mounting.

また、比較例として、従来技術のコンデンサモジュールすなわち、実施例のコンデンモジュール10のコンデンサ1と同じ材料、同じ寸法で、第1内部電極および第2内部電極を積層体の誘電体層を挟んで互いに対向するよう交互に配置して構成し、第1内部電極の第1導出部がコンデンサの対向する一対の側面に形成され、第2内部電極の第2導出部が第1導出部の形成された一対の側面とは異なる他の対向する一対の側面に形成され、外部との絶縁性を保つために、第1内部電極の第1導出部を除く周縁および第2内部電極の第2導出部を除く周縁が誘電体層9の周縁よりも若干内側に位置するような形状で、各側面の第1導出部または第2導出部に接続されるように銅を主成分とする外部電極を側面に焼き付けて、縦横の外形寸法がともに1.0mmで厚さが0.5mmの直方体状のコンデンサを4個製造し、コンデンサの第1内部電極の第1導出部と第1端子電極とを電気的に接続するとともに、コンデンサの第2内部電極の第2導出部と第2端子電極とを電気的に接続してコンデンサモジュールを製造した。   Further, as a comparative example, the first internal electrode and the second internal electrode with the same material and the same size as the capacitor 1 of the conventional capacitor module, that is, the capacitor module 10 of the embodiment, are sandwiched between the dielectric layers of the laminate. The first lead-out portion of the first internal electrode is formed on a pair of opposing side surfaces of the capacitor, and the second lead-out portion of the second internal electrode is formed as the first lead-out portion. In order to maintain insulation from the outside formed on a pair of opposing side surfaces different from the pair of side surfaces, the peripheral edge excluding the first lead portion of the first internal electrode and the second lead portion of the second internal electrode The external electrode mainly composed of copper is formed on the side surface so that the outer periphery is located slightly inside the peripheral edge of the dielectric layer 9 and is connected to the first lead-out portion or the second lead-out portion on each side surface. After baking, the vertical and horizontal external dimensions are both Four rectangular parallelepiped capacitors having a thickness of 1.0 mm and a thickness of 0.5 mm are manufactured, the first lead-out portion of the first internal electrode of the capacitor and the first terminal electrode are electrically connected, and the second internal electrode of the capacitor The capacitor module was manufactured by electrically connecting the second lead-out part and the second terminal electrode.

これら本発明の実施例であるコンデンサモジュール10と比較例のコンデンサモジュールとについて、インピーダンス特性を測定した結果を図7に示す。図7はデカップリング回路のインピーダンス特性を示す線図であり、横軸は周波数(単位:MHz)を示し、縦軸は信号の減衰量(単位:dB)を示す。ここで、インピーダンスの測定は1〜10000[MHz]の周波数帯において行なった。そして、図7における実線の特性曲線Aは本発明の実施例であるコンデンサモジュール10を用いたデカップリング回路の減衰特性を示し、図7における点線の特性曲線Bは比較例の従来のコンデンサモジュールを用いたデカップリング回路の減衰特性を示す。   FIG. 7 shows the results of measuring impedance characteristics of the capacitor module 10 which is an example of the present invention and the capacitor module of the comparative example. FIG. 7 is a diagram showing the impedance characteristics of the decoupling circuit, where the horizontal axis indicates frequency (unit: MHz) and the vertical axis indicates signal attenuation (unit: dB). Here, the impedance was measured in a frequency band of 1 to 10000 [MHz]. 7 indicates the attenuation characteristic of the decoupling circuit using the capacitor module 10 according to the embodiment of the present invention, and the dotted characteristic curve B in FIG. 7 indicates the conventional capacitor module of the comparative example. The attenuation characteristic of the decoupling circuit used is shown.

図7に示すように、実施例である本発明のコンデンサモジュール10を用いたデカップリング回路は、インピーダンスが極端に低い部分がなく、特性曲線に極小となる平坦な部分を有し、従来のコンデンサモジュールの減衰量が最大値となる周波数よりも高周波数側において、本発明のコンデンサモジュール10の測定結果の方が、減衰量が多く、インピーダンスが低い部分を有する結果となった。   As shown in FIG. 7, the decoupling circuit using the capacitor module 10 of the present invention as an embodiment does not have an extremely low impedance portion and has a flat portion where the characteristic curve is minimized. On the higher frequency side than the frequency at which the attenuation amount of the module is the maximum value, the measurement result of the capacitor module 10 of the present invention has a portion with a higher attenuation amount and a lower impedance.

以上の結果より、本発明のコンデンサ1によれば、コンデンサ1の内部の電流経路が長く、第1接続部13と第2接続部14とで電流が互いに逆向きに流れるようにしているので、これによってデカップリング回路の高ESR化を図るとともに、高ESL化を防ぐことができ、その結果、インピーダンスの極端に低くなっている部分がなく、特性曲線に極小となる平坦な部分があることが確認できた。また、実装に際して運搬時の衝撃による曲げ応力が金属部分である第1端子電極21および第2端子電極22の撓みにより緩和されるので、曲げの力に対して容易に破壊することがない一定の強度を得ることができることも確認できた。   From the above results, according to the capacitor 1 of the present invention, the current path inside the capacitor 1 is long, and the current flows in the first connection portion 13 and the second connection portion 14 in opposite directions. As a result, the ESR of the decoupling circuit can be increased and the ESL can be prevented. As a result, there is no portion where the impedance is extremely low, and there is a flat portion where the characteristic curve is minimized. It could be confirmed. Further, since the bending stress due to the impact during transportation during the mounting is relieved by the bending of the first terminal electrode 21 and the second terminal electrode 22 which are metal parts, the bending stress is not easily destroyed by the bending force. It was also confirmed that the strength could be obtained.

1,100・・・コンデンサ
2・・・第1外部電極
3・・・第2外部電極
4・・・積層体
5・・・第1内部電極
6・・・第2内部電極
7・・・誘電体層
10・・・コンデンサモジュール
11・・・第1導出部
12・・・第2導出部
13・・・第1接続部
14・・・第2接続部
15・・・第1主容量部
16・・・第2主容量部
21・・・第1端子電極
22・・・第2端子電極
23・・・貫通孔
24・・・ICチップ
25・・・電源端子用はんだバンプ
26・・・実装基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,100 ... Capacitor 2 ... 1st external electrode 3 ... 2nd external electrode 4 ... Laminated body 5 ... 1st internal electrode 6 ... 2nd internal electrode 7 ... Dielectric Body layer
10 ... Capacitor module
11 ... 1st deriving part
12 ... 2nd derivation part
13 ... 1st connection part
14 ... 2nd connection part
15 ... 1st main capacity section
16 ... Second main capacity section
21 ... 1st terminal electrode
22 ... Second terminal electrode
23 ... Through hole
24 ・ ・ ・ IC chip
25 ... Solder bumps for power terminals
26 ・ ・ ・ Mounting board

Claims (2)

複数の四角形状の誘電体層を積層してなる積層体の内部に、前記誘電体層を挟んで交互に、前記積層体の対向する一対の外側面に形成された第1外部電極と電気的に接続された第1内部電極ならびに前記一対の外側面とは異なる他の対向する一対の外側面に形成された第2外部電極と電気的に接続された第2内部電極がそれぞれ対向して複数配置されたコンデンサであって、
前記第1内部電極および前記第2内部電極は、それぞれ、前記積層体の内縁部に配置されて前記第1外部電極または第2外部電極と接続した帯状の導出部と、該導出部の端から前記誘電体層の中央部にかけて形成された帯状の接続部と、前記誘電体層の中央部において前記接続部と接続するとともに、前記導出部および前記接続部との間に一定の距離を隔てて形成された主容量部とを備え、前記第1内部電極の接続部と前記第2内部電極の接続部とが対向していることを特徴とするコンデンサ。
Electrically connected to the first external electrodes formed on a pair of opposed outer surfaces of the multilayer body alternately inside the multilayer body formed by laminating a plurality of rectangular dielectric layers with the dielectric layer interposed therebetween A plurality of second internal electrodes electrically connected to the first internal electrodes connected to the second external electrodes formed on a pair of opposite external surfaces different from the pair of external surfaces. A placed capacitor,
The first internal electrode and the second internal electrode are disposed at the inner edge of the laminate and connected to the first external electrode or the second external electrode, respectively, and from the end of the lead The strip-shaped connection portion formed over the center portion of the dielectric layer and the connection portion at the center portion of the dielectric layer are connected to the connection portion, and a certain distance is provided between the lead-out portion and the connection portion. A capacitor having a formed main capacitance portion, wherein the connection portion of the first internal electrode and the connection portion of the second internal electrode are opposed to each other.
請求項1に記載のコンデンサを、複数個、平面的に配置するとともに、環状の金属からなる複数の第1端子電極および第2端子電極を前記コンデンサ間に平面的に配置して、前記第1端子電極で前記第1導出部同士を電気的に接続し、前記第2端子電極で前記第2導出部同士を電気的に接続してなることを特徴とするコンデンサモジュール。   A plurality of capacitors according to claim 1 are arranged in a plane, and a plurality of first terminal electrodes and second terminal electrodes made of an annular metal are arranged in a plane between the capacitors, and the first A capacitor module, wherein the first lead portions are electrically connected to each other by a terminal electrode, and the second lead portions are electrically connected to each other by the second terminal electrode.
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