JP2010145119A

JP2010145119A - Cold cathode ionization vacuum gage

Info

Publication number: JP2010145119A
Application number: JP2008319717A
Authority: JP
Inventors: Takahiro Chiba; 高洋千葉; Yoshiaki Kawai; 芳明川井; Yuji Takamiya; 祐二高宮; Jun Wakamori; 淳若森; Toru Yokoyama; 徹横山
Original assignee: Diavac Ltd
Current assignee: Diavac Ltd
Priority date: 2008-12-16
Filing date: 2008-12-16
Publication date: 2010-07-01
Anticipated expiration: 2028-12-16
Also published as: JP5170768B2

Abstract

【課題】放電誘発部材によって放電が生じやすく、高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れをより抑制した冷陰極電離真空計を提供する。また、陰極の洗浄作業を放電誘発部材を交換することにより、陰極の洗浄作業を簡素化できる冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。
【解決手段】放電誘発部材２０が、記板状の基体２１と、前記基体に形成された陽極が挿通する貫通孔２２と、前記基体の外縁部から斜方向に延設され、前記貫通孔の軸線方向に弾性変形可能な板状の固定部２３と、前記固定部と対峙する基体の外縁部に設けられた、前記貫通孔の軸線方向に延設された板状のガイド部２４とを備え、前記貫通孔２２が複数の長孔２２ａが放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔２２ａによって突起部２１ａが形成されると共に、前記貫通孔２２の中心部に前記陽極４４が配置されている。
【選択図】図２Disclosed is a cold cathode ionization vacuum gauge in which a discharge is easily generated by a discharge inducing member and a time delay between a time when a high voltage is applied and a time when a current starts to flow after discharging is further suppressed. Another object of the present invention is to provide a cold cathode ionization vacuum gauge that can simplify the cathode cleaning operation by exchanging the discharge inducing member for the cathode cleaning operation.
A discharge inducing member (20) includes a plate-like base (21), a through hole (22) through which an anode formed on the base is inserted, and extends obliquely from an outer edge of the base (20). A plate-shaped fixing portion 23 that is elastically deformable in the axial direction, and a plate-shaped guide portion 24 that is provided on the outer edge portion of the base that faces the fixing portion and extends in the axial direction of the through hole. The through hole 22 is a through hole in which a plurality of long holes 22a are connected in a radial pattern, and a protrusion 21a is formed by the adjacent long holes 22a, and the anode 44 is formed at the center of the through hole 22. Has been placed.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は冷陰極電離真空計に関し、特に放電を誘発させることにより、放電開始時の遅れをより抑制し、測定を効率的に行える冷陰極電離真空計に関する。 The present invention relates to a cold cathode ionization vacuum gauge, and more particularly, to a cold cathode ionization vacuum gauge that can suppress a delay at the start of discharge and induce measurement efficiently by inducing discharge.

一般に、高真空状態の気体の圧力を計測する真空計として、冷陰極電離真空計（ＣＣＧ）が良く使用されており、この冷陰極電離真空計には、ペニング真空計、マグネトロン真空計、倒置型マグネトロン真空計等、様々な形式のものがある。 Generally, a cold cathode ionization vacuum gauge (CCG) is often used as a vacuum gauge for measuring the pressure of a gas in a high vacuum state. This cold cathode ionization vacuum gauge includes a Penning vacuum gauge, a magnetron vacuum gauge, an inverted type, and the like. There are various types such as a magnetron vacuum gauge.

この冷陰極電離真空計の構成を、ペニング真空計を例にとって、図８に基づいて説明する。図に示すように、この冷陰極電離真空計４１はチャンバー５０に取り付けられたペニング真空計であって、この真空計４１は、エンクロージャ４２内に、陰極４３と、筒状の陰極４３により囲まれた棒状の陽極４４と、エンクロージャ４２の外側の磁気手段（磁石４５ａ及び４５ｂ）と、前記陽極４４に電圧を印加する電源４６と、陽極４４を流れる電流を測定する電流計４７とを有している。
なお、前記チャンバー５０、エンクロージャ４２、陰極４３は、接地（アース）されている。 The configuration of this cold cathode ionization vacuum gauge will be described with reference to FIG. 8, taking a Penning vacuum gauge as an example. As shown in the figure, this cold cathode ionization gauge 41 is a Penning vacuum gauge attached to a chamber 50, and this vacuum gauge 41 is enclosed in an enclosure 42 by a cathode 43 and a cylindrical cathode 43. A rod-shaped anode 44, magnetic means (magnets 45a and 45b) outside the enclosure 42, a power supply 46 for applying a voltage to the anode 44, and an ammeter 47 for measuring the current flowing through the anode 44. Yes.
The chamber 50, the enclosure 42, and the cathode 43 are grounded (earthed).

この冷陰極電離真空計４１の動作、原理について簡単に説明する。まず、自然放射線等により陰極４３と陽極４４の空間に初期電子が生成され、その電子が磁石４５ａ，４５ｂの磁界の磁力線に巻きつくような螺旋運動し、最後に陽極４４に捕集される。このとき、該電子が気体と衝突し、電離イオンを生成する。そして、この電離イオンを陽極４４に収集し、その電流値を電流計４７によって測定し、該電流値から圧力が測定される。 The operation and principle of the cold cathode ionization gauge 41 will be briefly described. First, initial electrons are generated in the space between the cathode 43 and the anode 44 by natural radiation or the like, and the electrons move spirally around the magnetic field lines of the magnetic fields of the magnets 45 a and 45 b, and are finally collected by the anode 44. At this time, the electrons collide with the gas and generate ionized ions. The ionized ions are collected at the anode 44, the current value is measured by an ammeter 47, and the pressure is measured from the current value.

ところで、この冷陰極電離真空計において、陰極と陽極との間に高電圧を印加しても放電が生じないことがあり、また放電が生じても、冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間には時間の遅れが生ずることがあった。
この遅れは、気体の圧力によって変わり、標準的な真空計では、１０^-3Ｐａの圧力下で数秒間、１０^-8Ｐａの圧力下で数時間である。このように、低圧力下における放電開始時の遅れは、許容しがたい長さであり、測定の効率化を阻害するものであった。 By the way, in this cold cathode ionization gauge, discharge may not occur even if a high voltage is applied between the cathode and the anode, and even if discharge occurs, a high voltage is applied to the cold cathode ionization gauge. There may be a time delay between the applied time and the time at which discharge starts and current begins to flow.
This delay varies with the pressure of the gas, and for a standard vacuum gauge is a few seconds under a pressure of 10 ⁻³ Pa and a few hours under a pressure of 10 ⁻⁸ Pa. Thus, the delay at the start of discharge under low pressure is an unacceptable length and hinders measurement efficiency.

これを解決する提案が特許文献１においてなされている。この提案された発明について図９、図１０に基づいて説明する。尚、図８に示した部材と同一または相当する部材にあっては、同一符号を付する。
この発明にあっては、陽極４４がリング状に形成されると共に、陽極電圧供給部４８によって支持されている。そして、点火補助部材（放電誘発部材）として、金属ストリップ４９が設けられている。この金属ストリップ４９は、陽極４４の下端部に固定されており、この金属ストリップ４９の自由端部は、この陽極リング４４の開口部から側面に突き出している。この自由端部は、前記陰極４３の近傍にまで延びている。
この箇所における高い電界の強度が、この金属板ストリップ４９の端部から電離イオンを引き離し、この電離イオンがケーシング壁に当たった際に２次電子を生成する。この電子によって、迅速かつ確実なペニング測定セルの点火が低い圧力の場合でも可能になる。
特表平１０−５１０９２１号公報 The proposal which solves this is made | formed in the patent document 1. FIG. The proposed invention will be described with reference to FIGS. Note that members that are the same as or correspond to the members shown in FIG.
In the present invention, the anode 44 is formed in a ring shape and supported by the anode voltage supply unit 48. A metal strip 49 is provided as an ignition auxiliary member (discharge inducing member). The metal strip 49 is fixed to the lower end portion of the anode 44, and the free end portion of the metal strip 49 projects from the opening portion of the anode ring 44 to the side surface. This free end extends to the vicinity of the cathode 43.
The high electric field strength at this location pulls the ionized ions away from the end of the metal plate strip 49 and generates secondary electrons when the ionized ions hit the casing wall. This electron allows a quick and reliable ignition of the Penning measurement cell even at low pressures.
Japanese National Patent Publication No. 10-510921

ところで、前記特許文献１記載の発明においては、陽極側に金属ストリップを固定して、放電を誘発するようになしている。
しかしながら、特許文献１記載の発明にあっては、陽極の所定位置に金属ストリップを固定しなければならず、取付け作業において特別な工具等を必要とし、取付け作業が困難であった。特に、金属ストリップは消耗品であるため、所定時間経過毎に交換作業を行う必要があった。その際、陽極を取り外さなければならず、その交換作業が煩わしいものであった。 By the way, in the invention described in Patent Document 1, a metal strip is fixed on the anode side to induce discharge.
However, in the invention described in Patent Document 1, the metal strip has to be fixed at a predetermined position of the anode, and a special tool or the like is required for the installation work, which makes the installation work difficult. In particular, since the metal strip is a consumable item, it has been necessary to perform replacement work every predetermined time. At that time, the anode had to be removed, and the replacement work was troublesome.

しかも、冷陰極電離真空計を所定時間使用すると、陽極表面、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染され、放電特性が変化するため、洗浄作業を行う必要があり、煩わしいものであった。 In addition, if the cold cathode ionization vacuum gauge is used for a predetermined time, the anode surface and the cathode surface are contaminated with oil film, carbonized layer, reaction with measurement gas, sputtering, etc., and the discharge characteristics change, so it is necessary to perform cleaning work It was annoying.

本発明者らは、放電誘発部材の取付け、交換作業を容易になすことができ、更に洗浄作業をより容易になすことができる冷陰極電離真空計について鋭意研究を行った。
そして検討の結果、陽極側に金属ストリップ（放電誘発部材）を取付けた場合、金属ストリップ（放電誘発部材）の交換作業の際、陽極も取り外さなければならないという課題の克服は困難であることが明らかになった。 The inventors of the present invention conducted intensive research on a cold cathode ionization vacuum gauge that can easily perform the work of attaching and replacing the discharge inducing member and that can further facilitate the cleaning work.
As a result of the examination, it is clear that when the metal strip (discharge inducing member) is attached to the anode side, it is difficult to overcome the problem that the anode must be removed when replacing the metal strip (discharge inducing member). Became.

そこで更に、本発明者らは、陰極側に放電誘発部材を取付ける場合について検討を行った。即ち、電子は陰極側から放出されるため、陰極側に電子が放出されやすい放電誘発部材を取付ける方が、陽極側に放電誘発部材を取付けるより好ましいと考え、陰極側に放電誘発部材を取付ける場合について検討を行った。
その結果、陰極側に放電誘発部材を取付けた場合に、陽極等を取外すことなく、放電誘発部材のみを交換できる新規、有用な構成を知見し、更に陰極の洗浄作業を放電誘発部材の交換により簡素化した冷陰極電離真空計を想到するに至った。 Therefore, the present inventors further examined the case where the discharge inducing member is attached to the cathode side. That is, since electrons are emitted from the cathode side, it is preferable to install a discharge inducing member that is easy to emit electrons on the cathode side, rather than attaching a discharge inducing member on the anode side. Was examined.
As a result, when a discharge inducing member is attached to the cathode side, a new and useful configuration is found in which only the discharge inducing member can be replaced without removing the anode or the like. We came up with a simplified cold cathode ionization gauge.

本発明は、取付けを容易に行うことができる放電誘発部材を備え、前記放電誘発部材によって放電が生じやすく、高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れをより抑制した冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。
また、陰極の洗浄作業を放電誘発部材を交換することにより、陰極の洗浄作業を簡素化できる冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。 The present invention includes a discharge inducing member that can be easily attached, and the discharge inducing member is likely to cause a discharge. The time between the time when a high voltage is applied and the time when the current starts to flow after discharging An object of the present invention is to provide a cold cathode ionization vacuum gauge in which the delay is further suppressed.
Another object of the present invention is to provide a cold cathode ionization vacuum gauge that can simplify the cathode cleaning operation by exchanging the discharge inducing member for the cathode cleaning operation.

上記目的を達成するためになされた本発明にかかる冷陰極電離真空計は、筒状の陰極と、前記筒状の陰極の内部空間に配置された棒状の陽極と、前記陽極と陰極との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極と陰極との間に放電を起こす磁性手段と、前記陰極内に収納される放電誘発部材とを備えた冷陰極電離真空計において、前記放電誘発部材が、前記板状の基体と、前記基体に形成された陽極が挿通する貫通孔と、前記基体の外縁部から斜方向に延設され、前記貫通孔の軸線方向に弾性変形可能な板状の固定部と、前記固定部と対峙する基体の外縁部に設けられた、前記貫通孔の軸線方向に延設された板状のガイド部とを備え、前記貫通孔が複数の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成されると共に、前記貫通孔の中心部に前記陽極が配置されていることを特徴としている。 The cold cathode ionization vacuum gauge according to the present invention, which has been made to achieve the above object, includes a cylindrical cathode, a rod-shaped anode disposed in an internal space of the cylindrical cathode, and a gap between the anode and the cathode. In the cold cathode ionization vacuum gauge, comprising: a magnetic means for forming a magnetic field substantially orthogonal to the electric field of the first electrode and causing a discharge between the anode and the cathode; and a discharge inducing member housed in the cathode. A member is a plate-shaped base member, a through-hole through which the anode formed in the base body is inserted, and a plate-like shape extending obliquely from the outer edge of the base member and elastically deformable in the axial direction of the through-hole. And a plate-shaped guide portion provided in an outer edge portion of the base that faces the fixing portion and extending in the axial direction of the through-hole, wherein the through-hole has a plurality of long holes in a radial shape. Through-holes connected to each other, and protrusions are formed by adjacent long holes. Rutotomoni, the anode in the center of the through hole is characterized in that it is arranged.

このように、放電誘発部材は、板状の基体と、前記基体の外縁部から斜方向に延設され、前記貫通孔の軸線方向に弾性変形可能な板状の固定部と、前記固定部と対峙する基体の外縁部に設けられた、前記貫通孔の軸線方向に延設された板状のガイド部とを備えている。
そのため、放電誘発部材のガイド部が陰極の内壁上を摺動しながら収納され、固定部は貫通孔の軸線方向に弾性変形しながら収納される。その結果、放電誘発部材は陰極内に収納され、放電誘発部材の固定部の圧接力によって、放電誘発部材は陰極に取り付けられる。
このように、放電誘発部材は、陰極に対して容易に取付けができ、またガイド部あるいは固定部をピンセット等の把持手段により把持し、陰極から引き出すことにより、放電誘発部材を容易に取外すことができる。 As described above, the discharge inducing member includes a plate-like base, a plate-like fixing portion that extends obliquely from the outer edge portion of the base and is elastically deformable in the axial direction of the through hole, and the fixing portion. And a plate-like guide portion provided in the outer edge portion of the opposing base body and extending in the axial direction of the through hole.
Therefore, the guide part of the discharge inducing member is accommodated while sliding on the inner wall of the cathode, and the fixed part is accommodated while being elastically deformed in the axial direction of the through hole. As a result, the discharge inducing member is accommodated in the cathode, and the discharge inducing member is attached to the cathode by the pressing force of the fixing portion of the discharge inducing member.
In this way, the discharge inducing member can be easily attached to the cathode, and the discharge inducing member can be easily removed by grasping the guide portion or the fixing portion with grasping means such as tweezers and pulling it out from the cathode. it can.

更に、基体に形成された陽極が挿通する貫通孔とを備え、前記貫通孔が複数の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成されると共に、前記貫通孔の中心部に前記陽極が配置されているため、前記突起部と陽極との間で放電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、測定を効率的に行なうことができる。 And a through hole through which the anode formed in the substrate is inserted, wherein the through hole is a through hole in which a plurality of long holes are radially connected, and a protrusion is formed by the adjacent long hole, Since the anode is disposed at the center of the through hole, electric discharge is likely to occur between the protrusion and the anode, and when the high voltage is applied to the cold cathode ionization vacuum gauge, The time delay from the time when the current starts to flow is small, and the measurement can be performed efficiently.

ここで、前記陰極が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材は、その基体が前記陰極の底面に接して収容されていることが望ましい。
このように、陰極の底面が放電誘発部材によって覆われているため、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染される度合が少なく、前記放電誘発部材を交換することで、陰極の底面の洗浄を省略することができ、洗浄作業を簡素化することができる。 Here, it is preferable that the cathode is formed in a bottomed cylindrical shape, and the discharge inducing member is housed in contact with the base of the cathode.
As described above, since the bottom surface of the cathode is covered with the discharge inducing member, the cathode surface is less likely to be contaminated by oil film, carbonized layer, reaction by measurement gas, sputtering, etc., and the discharge inducing member is replaced. Thus, the cleaning of the bottom surface of the cathode can be omitted, and the cleaning operation can be simplified.

上記目的を達成するためになされた本発明にかかる冷陰極電離真空計は、筒状の陰極と、前記筒状の陰極の内部空間に配置された棒状の陽極と、前記陽極と陰極との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極と陰極との間に放電を起こす磁性手段と、前記陰極内に収納される放電誘発部材とを備えた冷陰極電離真空計において、前記放電誘発部材は有底筒状に形成されると共に、前記放電誘発部材の底面に、前記陽極が挿通する貫通孔が形成され、前記貫通孔が複数の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成されると共に、前記貫通孔の中心部に前記陽極が配置されていることを特徴としている。 The cold cathode ionization vacuum gauge according to the present invention, which has been made to achieve the above object, includes a cylindrical cathode, a rod-shaped anode disposed in an internal space of the cylindrical cathode, and a gap between the anode and the cathode. In the cold cathode ionization vacuum gauge, comprising: a magnetic means for forming a magnetic field substantially orthogonal to the electric field of the first electrode and causing a discharge between the anode and the cathode; and a discharge inducing member housed in the cathode. The member is formed in a bottomed cylindrical shape, and a through hole through which the anode is inserted is formed on the bottom surface of the discharge inducing member, and the through hole is a through hole in which a plurality of long holes are radially connected. In addition, a protrusion is formed by the adjacent long hole, and the anode is arranged at the center of the through hole.

このように、放電誘発部材は有底筒状に形成され陰極内に収納されるため、放電誘発部材は陰極に対して容易に取付けができ、また放電誘発部材を陰極から引き出すことにより、放電誘発部材を容易に取外すことができる。
また、放電誘発部材の底面に前記陽極が挿通する貫通孔が形成され、前記貫通孔が複数の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成されると共に、前記貫通孔の中心部に前記陽極が配置されているため、前記突起部と陽極との間で放電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、測定を効率的に行なうことができる。 As described above, since the discharge inducing member is formed in a cylindrical shape with a bottom and is accommodated in the cathode, the discharge inducing member can be easily attached to the cathode, and the discharge inducing member is drawn out from the cathode, thereby inducing the discharge inducing. The member can be easily removed.
In addition, a through-hole through which the anode is inserted is formed on the bottom surface of the discharge inducing member, and the through-hole is a through-hole in which a plurality of long holes are radially connected, and a protrusion is formed by the adjacent long hole. In addition, since the anode is disposed at the center of the through hole, a discharge is easily generated between the projection and the anode, and the time when a high voltage is applied to the cold cathode ionization vacuum gauge, and the discharge Thus, the time delay from the time when the current starts to flow is small, and the measurement can be performed efficiently.

ここで、陰極及び放電誘発部材が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材の底面が前記陰極の底面に接して収容されているため、陰極の内表面は、放電誘発部材によって覆われる。そのため、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染される度合が少なく、前記放電誘発部材を交換することで、陰極の内表面の洗浄を省略することができ、洗浄作業を簡素化することができる。 Here, since the cathode and the discharge inducing member are formed in a bottomed cylindrical shape and the bottom surface of the discharge inducing member is accommodated in contact with the bottom surface of the cathode, the inner surface of the cathode is covered with the discharge inducing member. Therefore, the cathode surface is less likely to be contaminated by oil film, carbonized layer, reaction by measurement gas, sputtering, etc., and by replacing the discharge inducing member, cleaning of the inner surface of the cathode can be omitted, Cleaning work can be simplified.

ここで、前記貫通孔は、少なくとも４個の長孔が放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔によって突起部が形成され、少なくとも４個の突起部が前記貫通孔内に形成されていることが望ましい。
このように、４個の長孔が放射状に連結された貫通孔である場合、隣接する長孔によって突起部が４個形成される。この突起部の数が多いほど、突起部と陽極との間で放電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、測定を効率的に行なうことができる。 Here, the through-hole is a through-hole in which at least four long holes are radially connected, and a protrusion is formed by the adjacent long hole, and at least four protrusions are formed in the through-hole. It is desirable that
In this way, when the four long holes are radially connected through holes, four protrusions are formed by the adjacent long holes. The greater the number of protrusions, the more likely discharge occurs between the protrusions and the anode, and the time between when the high voltage is applied to the cold cathode ionization gauge and when the current begins to flow after discharge. Therefore, the measurement can be performed efficiently.

また、放電誘発部材の上端面に載置されるポールピースを備え、前記ポールピースを陰極に対して固定することによって、前記放電誘発部材を陰極内部に固定することが望ましい。
このようにポールピースを陰極に固定することにより、放電誘発部材を陰極内部に容易に固定することができる。 In addition, it is preferable that a pole piece placed on the upper end surface of the discharge inducing member is provided, and the discharge inducing member is fixed inside the cathode by fixing the pole piece to the cathode.
By fixing the pole piece to the cathode in this way, the discharge inducing member can be easily fixed inside the cathode.

本発明の冷陰極電離真空計によれば、放電が生じ易く、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れを小さくできるという効果を奏する。
また、本発明の冷陰極電離真空計によれば、放電誘発部材を陰極に対して、容易に取付け、取外すことができるという効果を奏する。
更に、本発明の冷陰極電離真空計によれば、陰極の洗浄作業を放電誘発部材を交換することにより、陰極の洗浄作業を簡素化できるという効果を奏する。 According to the cold cathode ionization vacuum gauge of the present invention, the discharge is likely to occur, and the time delay between the time when the high voltage is applied to the cold cathode ionization vacuum gauge and the time when the current starts to flow after discharging is reduced. There is an effect that it can be made smaller.
Further, according to the cold cathode ionization vacuum gauge of the present invention, there is an effect that the discharge inducing member can be easily attached to and detached from the cathode.
Furthermore, according to the cold cathode ionization vacuum gauge of the present invention, the cathode cleaning operation can be simplified by exchanging the discharge inducing member.

本発明の実施形態を図１乃至図５に基づいて説明する。ここで、図１は、本発明にかかる冷陰極電離真空計を示す概略構成図、図２は、図１に用いられている放電誘発部材の正面図、図３は図２に示した放電誘発部材の側面図、図４は図２に示した放電誘発部材のＡ−Ａ部分の拡大図、図５は図４のＢ−Ｂ断面図である。尚、図８に示した部材と同一、相当部材は同一符号を付し、詳細な説明は省略する。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a cold cathode ionization vacuum gauge according to the present invention, FIG. 2 is a front view of a discharge inducing member used in FIG. 1, and FIG. 3 is a discharge inducing shown in FIG. 4 is a side view of the member, FIG. 4 is an enlarged view of the AA portion of the discharge inducing member shown in FIG. 2, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. In addition, the same member as FIG. 8 and an equivalent member attach | subject the same code | symbol, and omit detailed description.

本発明にかかる冷陰極電離真空計１の概略構成について、図１に基づいて説明する。この陰極電離真空計１の陽極４４の一端は、コネクタ６に取り付けられ、陽極４４はコネクタ６に対して電気的に接続される。
一方、陽極４４の他端は、フィードスルー（電流導入端子）１３を介し、更に放電誘発部材２０の貫通孔２２を挿通し、陰極４３の筒内の空間に配置される。 A schematic configuration of the cold cathode ionization vacuum gauge 1 according to the present invention will be described with reference to FIG. One end of the anode 44 of the cathode ionization vacuum gauge 1 is attached to the connector 6, and the anode 44 is electrically connected to the connector 6.
On the other hand, the other end of the anode 44 is disposed in the space inside the cylinder of the cathode 43 through the feedthrough (current introduction terminal) 13 and further through the through hole 22 of the discharge inducing member 20.

前記陽極４４及び陰極４３はエンクロージャ４２内に配置されている。この筒状の陰極４３の開口先端部には、放電状態を維持するポールピース１４が嵌合し、図示しない固定手段により固定されている。このポールピース１４は円盤形状を有し、複数の貫通孔１４aを備えている。
また、前記エンクロージャ４２には、フランジ７及び前記フランジ７に取り付けられた補助圧力センサとしてのピラニ真空計８が設けられている。尚、図１中、符号７ａは前記フランジ７を固定するために螺子である。
また、 The anode 44 and the cathode 43 are disposed in the enclosure 42. A pole piece 14 that maintains the discharge state is fitted to the opening tip of the cylindrical cathode 43 and is fixed by a fixing means (not shown). The pole piece 14 has a disk shape and includes a plurality of through holes 14a.
Further, the enclosure 42 is provided with a flange 7 and a Pirani gauge 8 as an auxiliary pressure sensor attached to the flange 7. In FIG. 1, reference numeral 7a denotes a screw for fixing the flange 7.
Also,

また、前記コネクタ６は、回路基板３ｃ、３ｂ、３ａを介して、コネクタ９ｂに電気的に接続されている。更に、このコネクタ９ｂは図示しないが従来と同様に前記陽極４４に電圧を印加する電源４６に接続され、更に前記電源４６は陽極４４を流れる電流を測定する電流計４７に接続されている。
更にまた、このエンクロージャ４２は、カソード板４を介して基板３ｃに接続され、接地されている。尚、これら回路基板３ａ，３ｂ，３ｃは基板保持部材１０によって保持され、ケース２内に収容されている。 The connector 6 is electrically connected to the connector 9b via the circuit boards 3c, 3b, 3a. Further, although not shown, the connector 9b is connected to a power source 46 for applying a voltage to the anode 44 as in the prior art, and the power source 46 is further connected to an ammeter 47 for measuring the current flowing through the anode 44.
Furthermore, the enclosure 42 is connected to the substrate 3c via the cathode plate 4 and grounded. These circuit boards 3 a, 3 b, 3 c are held by the board holding member 10 and accommodated in the case 2.

また、このケース２の背面には、前記したコネクタ９ｂのほか、スイッチ９ａ、電源のオン−オフを表示するＬＥＤ９ｃが設けられている。更に、図中の符号１１は回路基板３ａ，３ｂを接続するコネクタ、符号１２は回路基板３ｂ、３ｃを接続するコネクタである。 In addition to the connector 9b, the back surface of the case 2 is provided with a switch 9a and an LED 9c for displaying on / off of the power source. Further, reference numeral 11 in the figure denotes a connector for connecting the circuit boards 3a and 3b, and reference numeral 12 denotes a connector for connecting the circuit boards 3b and 3c.

更に、放電誘発部材２０について説明する。
図２に示すように、放電誘発部材２０はステンレス製の板状部材で形成されており、陽極４４が挿通する貫通孔２２が形成された基体２１を備えている。前記基体の外縁部２１ｂ、２１ｃは、筒状の陰極４３の円状底面と同一の円弧（同一径）で形成されている。
また、前記基体の外縁部２１ｂ、２１ｃを連結する側縁部２１ｄ、２１ｅは直線状に形成されている。このように側縁部２１ｄ、２１ｅは直線状に形成することによって、放電誘発部材２０が陰極４３の底面に配置された際、陰極４３の底面に形成されたピラニ真空計８のための貫通孔（図示せず）を塞がないようにしている。尚、基体２１を陰極底面と同一の円形状（同一径）になし、基体２１に陽極が挿通する貫通孔及びピラニ真空計８のための貫通孔を形成しても良い。 Further, the discharge inducing member 20 will be described.
As shown in FIG. 2, the discharge inducing member 20 is formed of a stainless steel plate-like member, and includes a base 21 having a through hole 22 through which the anode 44 is inserted. The outer edge portions 21 b and 21 c of the base are formed with the same arc (same diameter) as the circular bottom surface of the cylindrical cathode 43.
Further, the side edge portions 21d and 21e connecting the outer edge portions 21b and 21c of the base are formed in a straight line. By forming the side edge portions 21d and 21e in a straight line in this way, when the discharge inducing member 20 is disposed on the bottom surface of the cathode 43, a through hole for the Pirani vacuum gauge 8 formed on the bottom surface of the cathode 43 is formed. (Not shown) is not blocked. The substrate 21 may be formed in the same circular shape (same diameter) as the cathode bottom surface, and a through hole through which the anode is inserted and a through hole for the Pirani gauge 8 may be formed.

また、図２、３に示すように、前記基体２１の外縁部２１ｂには、外縁部から斜め方向に延設され、前記貫通孔２２の軸線方向（基体２１に対して垂直な方向）に弾性変形可能な固定部２３が設けられている。
更に、前記固定部２３の形成部と対峙する基体２１の外縁部２１ｃには、外縁部から前記貫通孔２２の軸線方向（基体２１に対して垂直な方向）に延設されたガイド部２４が設けられている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the outer edge portion 21 b of the base body 21 extends obliquely from the outer edge portion, and is elastic in the axial direction of the through hole 22 (direction perpendicular to the base body 21). A deformable fixing part 23 is provided.
Furthermore, a guide portion 24 extending from the outer edge portion in the axial direction of the through hole 22 (a direction perpendicular to the base body 21) is provided on the outer edge portion 21c of the base body 21 facing the forming portion of the fixing portion 23. Is provided.

前記貫通孔２２は、図２、４に示すように正面視上、８個の先端部が円弧上の長孔２２ａが放射状に連結され、いわゆる花びら形状に形成されている。更に、隣接する長孔２２ａが連結されることによって、先端が尖がった突起部２１ａが貫通孔２２内に形成される。そして、８個の長孔２２ａが放射状に連結された貫通孔２２の中心部に、前記陽極４４が配置されるように構成されている。
したがって、この放電誘部材２０にあっては、貫通孔２２の中心部に配置された陽極４４から、前記突起部２１ａまでの距離が最も短く、しかも陽極４４の外周囲には、８個の突起部２１ａが配置されている。 As shown in FIGS. 2 and 4, the through-hole 22 is formed in a so-called petal shape by connecting eight elongated holes 22 a in a circular shape in a front view in a front view. Further, by connecting adjacent long holes 22 a, a protruding portion 21 a having a sharp tip is formed in the through hole 22. The anode 44 is arranged at the center of the through hole 22 in which the eight long holes 22a are radially connected.
Therefore, in the discharge inducing member 20, the distance from the anode 44 arranged at the center of the through hole 22 to the projection 21 a is the shortest, and there are eight projections on the outer periphery of the anode 44. The part 21a is arranged.

この前記放電誘発部材２０は、基体２１が前記陰極４３の底面に接する（密接する）ように収納しても良いし、あるいは前記陰極４３の底面に接することなく、陰極４３の中間部に位置するように収納しても良い。 The discharge inducing member 20 may be stored so that the base 21 is in contact with (in close contact with) the bottom surface of the cathode 43, or is positioned in the middle of the cathode 43 without contacting the bottom surface of the cathode 43. You may store as follows.

この放電誘発部材２０を陰極４３に装着するには、筒状の陰極４３の先端開口部側から陰極４３の底面まで基体２１を挿入する。このとき、基体２１の外縁部２１ｂ、２１ｃは陰極４３の内壁に接しながら、また基体２１に形成されたガイド部２４が陰極４３の内壁上を摺動しながら挿入される。
一方、固定部２３は、前記基体２１の外縁部２１ｃから斜方向に延設されているため、図３に示すように陰極４３の内壁によって、貫通孔２２の軸線方向（基体２１に対して垂直な方向）に弾性変形しながら挿入される。
即ち、基体２１の陰極４３内への挿入に伴い、固定部２３は矢印方向に変形し、陰極４３内に挿入される。その結果、固定部２３は陰極４３の内壁に圧接しながら挿入され、この放電誘発部材２０はこの固定部２３の圧接力によって陰極４３に固定される。
このように、放電誘発部材２０は、陰極４３内に挿入することによって取付けることができるため、取付け作業を容易になすことができる。 In order to mount the discharge inducing member 20 on the cathode 43, the base 21 is inserted from the tip opening side of the cylindrical cathode 43 to the bottom surface of the cathode 43. At this time, the outer edge portions 21 b and 21 c of the base body 21 are inserted in contact with the inner wall of the cathode 43, and the guide portion 24 formed on the base body 21 is slid on the inner wall of the cathode 43.
On the other hand, since the fixing portion 23 extends obliquely from the outer edge portion 21c of the base body 21, the axial direction of the through hole 22 (perpendicular to the base body 21) is provided by the inner wall of the cathode 43 as shown in FIG. In the right direction) while being elastically deformed.
That is, as the base 21 is inserted into the cathode 43, the fixing portion 23 is deformed in the direction of the arrow and is inserted into the cathode 43. As a result, the fixing portion 23 is inserted while being pressed against the inner wall of the cathode 43, and the discharge inducing member 20 is fixed to the cathode 43 by the pressing force of the fixing portion 23.
Thus, since the discharge inducing member 20 can be attached by being inserted into the cathode 43, the attaching operation can be easily performed.

また、前記放電誘発部材２０を陰極４３から取り外すには、ガイド部２４あるいは固定部２３をピンセット等の把持手段により把持し、陰極４３から引き出すことにより、放電誘発部材２０を容易に取外すことができ、交換作業を容易になすことができる。 In order to remove the discharge inducing member 20 from the cathode 43, the discharge inducing member 20 can be easily removed by grasping the guide portion 24 or the fixing portion 23 with grasping means such as tweezers and pulling it out from the cathode 43. The replacement work can be easily performed.

また、前記したように、放電誘発部材２０が陰極４３に取付けられ、貫通孔２２に陽極４４が挿通した状態にあっては、隣接する長孔が連結されたことによって形成された突起部２１ａと陽極４４が最も接近する。
そのため、前記突起部２１ａと陽極４４の間で放電が生じ易く、特に、陽極の外周囲には、８個の突起部２１ａが配置されているため、より放電が生じ易い。
その結果、電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、放電開始時の遅れを抑制し、測定の効率化を図ることができる。
尚、陽極の外周囲には数多くの突起部２１ａを配置するのが好ましいが、少なくとも４個配置するのが好ましい。 Further, as described above, when the discharge inducing member 20 is attached to the cathode 43 and the anode 44 is inserted through the through hole 22, the protrusion 21 a formed by connecting the adjacent long holes, The anode 44 is closest.
Therefore, a discharge is likely to occur between the protrusion 21a and the anode 44. In particular, since the eight protrusions 21a are disposed around the outer periphery of the anode, the discharge is more likely to occur.
As a result, the time delay between the time when the voltage is applied and the time when the current starts to flow after discharging is small, the delay at the start of the discharge can be suppressed, and the measurement can be made more efficient.
In addition, although it is preferable to arrange many protrusions 21a around the outer periphery of the anode, it is preferable to arrange at least four protrusions 21a.

また、冷陰極電離真空計が所定時間使用されると、陽極表面、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染され、放電特性が変化するため、洗浄作業が行われる。
このとき、前記陰極が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材の基体が前記陰極の底面に接して収容されている場合には、陰極の底面が放電誘発部材によって覆われているため、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染される度合が少ない。したがって、前記放電誘発部材を交換することで、陰極の底面の洗浄を省略することができ、洗浄作業を簡素化することができる。 Also, if the cold cathode ionization gauge is used for a predetermined time, the anode surface and cathode surface are contaminated by oil film, carbonized layer, reaction with measurement gas, sputtering, etc., and the discharge characteristics change, so the cleaning operation is performed. Is called.
At this time, when the cathode is formed in a bottomed cylindrical shape and the base of the discharge inducing member is accommodated in contact with the bottom surface of the cathode, the bottom surface of the cathode is covered by the discharge inducing member, The degree to which the cathode surface is contaminated by oil film, carbonized layer, reaction by measurement gas, sputtering, etc. is small. Therefore, by replacing the discharge inducing member, the cleaning of the bottom surface of the cathode can be omitted, and the cleaning operation can be simplified.

次に、第２の実施形態を図６、図７に基づいて説明する。
この実施形態における放電誘発部材３０は、陰極４３と同様に有底円筒状に形成され、陰極４３内壁に接して収納されている。また、この放電誘発部材３０の底面３１には、陽極４４が挿通する貫通孔３２及びピラニ真空計８用の貫通孔３３が設けられている。 Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS.
The discharge inducing member 30 in this embodiment is formed in a bottomed cylindrical shape like the cathode 43 and is stored in contact with the inner wall of the cathode 43. Further, a through hole 32 through which the anode 44 is inserted and a through hole 33 for the Pirani vacuum gauge 8 are provided on the bottom surface 31 of the discharge inducing member 30.

前記貫通孔３２は、図７に示すように正面視上、５個の三角形状の長孔３２ａが放射状に連結され、いわゆる星形状に形成されている。更に、隣接する三角形状の長孔３２ａが連結することによって、先端が尖がった突起部３１ａが貫通孔３２内に形成される。そして、いわゆる星形状の貫通孔３２の中心部に、前記陽極４４が配置されるように構成されている。
したがって、この放電誘部材３０にあっては、貫通孔３２の中心部に配置された陽極４４から、隣接する長孔３２aが連結されることによって形成された突起部３１ａまでの距離が最も短く、しかも陽極４４の外周囲には、５個の突起部３１ａが配置されている。 As shown in FIG. 7, the through-hole 32 is formed in a so-called star shape by connecting five triangular long holes 32 a radially in front view. Further, by connecting adjacent triangular long holes 32 a, a protruding portion 31 a having a sharp tip is formed in the through hole 32. The anode 44 is arranged at the center of the so-called star-shaped through-hole 32.
Therefore, in this discharge inducing member 30, the distance from the anode 44 disposed at the center of the through hole 32 to the protrusion 31a formed by connecting the adjacent long holes 32a is the shortest, In addition, five protrusions 31 a are arranged on the outer periphery of the anode 44.

この放電誘発部材３０を陰極４３に装着するには、放電誘発部材３０の底面３１側を陰極４３の開口先端部から陰極４３の底面まで挿入する。このとき、放電誘発部材３０の側壁が陰極の内壁と接しながら挿入される。
そして、放電誘発部材３０を陰極４３内部に収納した後、ポールピース１４を陰極１３の開口先端部の内部に収納する。このとき、前記ポールピース１４は放電誘発部材３０の上端面に載置される。
したがって、前記ポールピース１４を陰極４３に対して螺子等の手段（図示せず）によって固定することによって、前記放電誘発部材３０は陰極４３の内部に収納、取付けられる。即ち、放電誘発部材３０を陰極４３内に挿入し、前記ポールピース１４を陰極４３に固定することによって、前記放電誘発部材３０は陰極４３内部に収納、取付けられるため、取付け作業、交換作業を容易になすことができる。 In order to attach the discharge inducing member 30 to the cathode 43, the bottom surface 31 side of the discharge inducing member 30 is inserted from the opening tip of the cathode 43 to the bottom surface of the cathode 43. At this time, the side wall of the discharge inducing member 30 is inserted in contact with the inner wall of the cathode.
Then, after the discharge inducing member 30 is accommodated inside the cathode 43, the pole piece 14 is accommodated inside the opening tip of the cathode 13. At this time, the pole piece 14 is placed on the upper end surface of the discharge inducing member 30.
Accordingly, by fixing the pole piece 14 to the cathode 43 by means such as a screw (not shown), the discharge inducing member 30 is housed and attached inside the cathode 43. That is, by inserting the discharge inducing member 30 into the cathode 43 and fixing the pole piece 14 to the cathode 43, the discharge inducing member 30 can be housed and attached inside the cathode 43. Can be made.

また、前記したように、放電誘発部材３０が陰極４３に取付けられ、貫通孔３２に陽極４４が挿通した状態にあっては、突起部３１ａと陽極４４と最も接近する。そのため、前記突起部３１ａと陽極４４の間で放電が生じ易い。更に、陽極４４の外周囲には、５個の突起部３１ａが配置されているため、より放電が生じ易いものである。尚、陽極の外周囲には数多くの突起部３１ａを配置するのが好ましいが、少なくとも４個配置するのが好ましい。
その結果、電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、放電開始時の遅れを小さくでき、測定の効率化を図ることができる。 As described above, when the discharge inducing member 30 is attached to the cathode 43 and the anode 44 is inserted through the through-hole 32, the protrusion 31a and the anode 44 are closest to each other. Therefore, electric discharge is likely to occur between the protrusion 31a and the anode 44. Furthermore, since the five protrusions 31a are arranged around the outer periphery of the anode 44, discharge is more likely to occur. In addition, although it is preferable to arrange many protrusions 31a on the outer periphery of the anode, it is preferable to arrange at least four protrusions 31a.
As a result, the time delay between the time when the voltage is applied and the time when the current starts to flow after discharging is small, the delay at the start of discharging can be reduced, and the efficiency of measurement can be improved.

この前記放電誘発部材３０においても、第１の実施形態と同様に、底面３０が前記陰極４３の底面に接するように収納しても良いし、あるいは前記陰極４３の底面に接することなく、陰極４３の中間部に位置するように収納しても良い。尚、前記陰極４３の底面に接することなく、陰極４３の中間部に位置するように収納する場合には、ポールピース１４によって放電誘発部材３０を固定することができないため、放電誘発部材３０の固定手段を別に設ける必要がある。 Similarly to the first embodiment, the discharge inducing member 30 may be stored so that the bottom surface 30 is in contact with the bottom surface of the cathode 43, or the cathode 43 is not in contact with the bottom surface of the cathode 43. You may store so that it may be located in the intermediate part. In the case where the discharge inducing member 30 is housed in the middle of the cathode 43 without contacting the bottom surface of the cathode 43, the discharge inducing member 30 cannot be fixed by the pole piece 14. It is necessary to provide another means.

また、陰極及び放電誘発部材が有底筒状に形成され、前記放電誘発部材の底面が前記陰極の底面に接して収容されている場合には、陰極の内表面は放電誘発部材によって覆われる。そのため、陰極表面が油皮膜や炭化層、また測定気体による反応、スパッタ等で汚染される度合が少なく、前記放電誘発部材を交換することで陰極の内表面の洗浄を省略することができ、洗浄作業を簡素化することができる。 When the cathode and the discharge inducing member are formed in a bottomed cylindrical shape and the bottom surface of the discharge inducing member is accommodated in contact with the bottom surface of the cathode, the inner surface of the cathode is covered with the discharge inducing member. For this reason, the cathode surface is less likely to be contaminated by an oil film, a carbonized layer, reaction by measurement gas, sputtering, etc., and cleaning of the inner surface of the cathode can be omitted by replacing the discharge inducing member. Work can be simplified.

尚、上記実施形態にあっては、ピラニ真空計８を設けた場合について説明したが、ピラニ真空計８は補助圧力センサであるため、必ずしも設ける必要はない。 In addition, in the said embodiment, although the case where the Pirani vacuum gauge 8 was provided was demonstrated, since the Pirani vacuum gauge 8 is an auxiliary pressure sensor, it is not necessarily required.

図１は、本発明にかかる第１の実施形態を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment according to the present invention. 図２は、図１に用いられている放電誘発部材の正面図である。FIG. 2 is a front view of the discharge inducing member used in FIG. 図３は、図２に示した放電誘発部材の側面図である。FIG. 3 is a side view of the discharge inducing member shown in FIG. 図４は、図２に示した放電誘発部材のＡ−Ａ部分の拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of the AA portion of the discharge inducing member shown in FIG. 図５は、図４に示した放電誘発部材のＢ−Ｂ断面図である。FIG. 5 is a BB cross-sectional view of the discharge inducing member shown in FIG. 図６は、本発明にかかる第２の実施形態を示す要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part showing a second embodiment according to the present invention. 図７は、図６に示した放電誘発部材の正面図である。FIG. 7 is a front view of the discharge inducing member shown in FIG. 図８は、従来の冷陰極電離真空計を示す概略構成図である。FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing a conventional cold cathode ionization vacuum gauge. 図９は、従来の放電誘発部材を示す正面図である。FIG. 9 is a front view showing a conventional discharge inducing member. 図１０は、図９に示した放電誘発部材の側面図である。FIG. 10 is a side view of the discharge inducing member shown in FIG.

Explanation of symbols

１冷陰極電離真空計
１４ポールピース
２０放電誘発部材
２１基体
２１ａ突起部
２２貫通孔
２２ａ長孔
２３固定部
２４ガイド部
３０放電誘発部材
３１底面
３１ａ突起部
３２貫通孔
３２ａ長孔
４３陰極
４４陽極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cold cathode ionization gauge 14 Pole piece 20 Discharge induction member 21 Base 21a Protrusion part 22 Through hole 22a Long hole 23 Fixed part 24 Guide part 30 Discharge induction member 31 Bottom face 31a Protrusion part 32 Through hole 32a Long hole 43 Cathode 44 Anode

Claims

A cylindrical cathode, a rod-shaped anode disposed in the inner space of the cylindrical cathode, and a magnetic field substantially perpendicular to the electric field between the anode and the cathode are formed, and a discharge is generated between the anode and the cathode. In a cold cathode ionization vacuum gauge comprising a magnetic means for causing a discharge and a discharge inducing member housed in the cathode,
The discharge inducing member extends in an oblique direction from the outer edge of the base body, the through hole through which the anode formed in the base body, the anode formed in the base body is inserted, and is elastically deformable in the axial direction of the through hole A plate-like fixing portion, and a plate-like guide portion provided in an outer edge portion of the base opposite to the fixing portion and extending in the axial direction of the through hole,
The through-hole is a through-hole in which a plurality of long holes are radially connected, a protrusion is formed by the adjacent long holes, and the anode is arranged at the center of the through-hole. A cold cathode ionization vacuum gauge.

2. The cold cathode ionization vacuum gauge according to claim 1, wherein the cathode is formed in a bottomed cylindrical shape, and the base of the discharge inducing member is accommodated in contact with the bottom surface of the cathode.

A cylindrical cathode, a rod-shaped anode disposed in the inner space of the cylindrical cathode, and a magnetic field substantially perpendicular to the electric field between the anode and the cathode are formed, and a discharge is generated between the anode and the cathode. In a cold cathode ionization vacuum gauge comprising a magnetic means for causing a discharge and a discharge inducing member housed in the cathode,
The discharge inducing member is formed in a bottomed cylindrical shape, and a through-hole through which the anode is inserted is formed on the bottom surface of the discharge inducing member,
The through-hole is a through-hole in which a plurality of long holes are radially connected, a protrusion is formed by the adjacent long holes, and the anode is arranged at the center of the through-hole. A cold cathode ionization vacuum gauge.

4. The cold cathode ionization vacuum gauge according to claim 3, wherein the cathode is formed in a bottomed cylindrical shape, and the discharge inducing member is housed in contact with the bottom surface of the cathode.

The through-hole is a through-hole in which at least four long holes are radially connected, and a protrusion is formed by the adjacent long hole, and at least four protrusions are formed in the through-hole. The cold cathode ionization vacuum gauge according to claim 1 or 3.

The cooling induction device according to claim 3, further comprising a pole piece placed on an upper end surface of the discharge inducing member, and fixing the discharge inducing member inside the cathode by fixing the pole piece to the cathode. Cathode ionization vacuum gauge.