JP2010140848A - Manufacturing method of organic light emitting device - Google Patents
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Abstract
【課題】そし基板の電極層が剥れない厚さを有するフリット材層中の光加熱温度を維持し、フリット材層全体を溶融して、基板密着の良い、かつ、クラック発生のない封着を施す有機発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】封止基板9上にフリット材層5,6を形成する工程と、レーザー光を照射することによりフリット材層5,6を溶融し、素子基板1と封止基板9とを封着する工程と、を有する有機発光装置の製造方法であって、フリット材層5,6を形成する工程が、レーザー光吸収剤を含有する複数層のフリット材層5,6を、レーザー光透過率が順次減少するように積層する工程であり、レーザー光を、レーザー光透過率が高いフリット材層6側から照射する有機発光装置の製造方法。
【選択図】図1The present invention relates to a sealing method that maintains a light heating temperature in a frit material layer having a thickness such that the electrode layer of the substrate does not peel off, melts the entire frit material layer, has good substrate adhesion, and does not generate cracks. A method of manufacturing an organic light emitting device is provided.
A method of forming frit material layers 5 and 6 on a sealing substrate 9 and melting the frit material layers 5 and 6 by irradiating a laser beam to seal the element substrate 1 and the sealing substrate 9 together. A step of forming the frit material layers 5 and 6, wherein the step of forming the frit material layers 5 and 6 irradiates the plurality of frit material layers 5 and 6 containing a laser light absorber with laser light transmission. A method of manufacturing an organic light emitting device in which laser light is irradiated from the frit material layer 6 side having a high laser light transmittance.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス(以下「有機EL」という場合がある。)素子の発光を光源、表示等に利用する有機発光装置の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an organic light-emitting device that uses light emitted from an organic electroluminescence (hereinafter sometimes referred to as “organic EL”) element for a light source, a display, and the like.
フラットディスプレイパネルの一つに有機発光素子が搭載された有機ELディスプレイがあり、研究開発が盛んに進められている。この有機発光素子は、水分や酸素などのガスに弱い性質を有しているため、水分や酸素等から保護する必要がある。 One of the flat display panels is an organic EL display on which an organic light emitting element is mounted, and research and development are actively carried out. Since this organic light emitting device has a property that is weak against moisture and oxygen, it is necessary to protect it from moisture and oxygen.
水分や酸素等から有機発光素子を保護する技術として、中空封止方式がある。この方式は、有機発光素子が形成された素子基板と封止基板との間に空間を介在させて不活性ガスを封入し、フリット材等からなる封着材で素子基板と封止基板とを封着することにより、有機発光素子を封止する技術である。 As a technique for protecting the organic light emitting element from moisture, oxygen, and the like, there is a hollow sealing method. In this method, a space is interposed between the element substrate on which the organic light emitting element is formed and the sealing substrate, and an inert gas is sealed, and the element substrate and the sealing substrate are bonded with a sealing material such as a frit material. This is a technique for sealing an organic light emitting element by sealing.
前記方式の例としては、特許文献1、2にあるように、レーザー照射により、フリット材層を溶融して封着する方式が知られている。 As an example of the method, as disclosed in Patent Documents 1 and 2, a method of melting and sealing a frit material layer by laser irradiation is known.
ここで、中空封止方式では、素子基板と封止基板との間を広くする必要がある。これは、素子基板と封止基板との間が狭いと、封止基板の押圧による撓みから素子基板の電極層が剥れるからである。 Here, in the hollow sealing method, it is necessary to widen the space between the element substrate and the sealing substrate. This is because if the space between the element substrate and the sealing substrate is narrow, the electrode layer of the element substrate peels from the bending due to the pressing of the sealing substrate.
しかしながら、例えば、100μmの厚さのフリット材層にレーザーを照射すると、レーザー照射位置から離れるに従い熱エネルギーが減衰し、遠方接触部(基板とフリット材層との接触部)に熱が伝わらず十分な封着ができない場合があった。 However, for example, when a laser is irradiated to a frit material layer having a thickness of 100 μm, the thermal energy attenuates as the distance from the laser irradiation position increases, and heat is not transferred to a distant contact portion (contact portion between the substrate and the frit material layer). In some cases, it was impossible to seal properly.
特許文献2では、透明材質層と不透明材質層を積層し、密封材の厚さを調整することが開示されている。しかしながら、特許文献2の方法では、不透明材質層のみに光が吸収され、局所的な光加熱によって、基板にクラックが発生し易くなり、所望の封着ができないという問題が生じた。また、光吸収材を含まない透明材質層と光吸収材を含む不透明材質層との間に温度差が生じ、レーザー照射後、歪みが起こり、透明材質層と不透明材質層との層界面において剥れるという問題が生じた。 Patent Document 2 discloses that a transparent material layer and an opaque material layer are laminated to adjust the thickness of the sealing material. However, the method of Patent Document 2 has a problem that light is absorbed only by the opaque material layer, and cracks are likely to occur in the substrate due to local light heating, so that the desired sealing cannot be performed. In addition, a temperature difference occurs between the transparent material layer that does not include the light absorbing material and the opaque material layer that includes the light absorbing material, and distortion occurs after laser irradiation, and peeling occurs at the layer interface between the transparent material layer and the opaque material layer. The problem of being generated.
そこで、本発明は、素子基板の電極層が剥れない厚さを有するフリット材層中の光加熱温度を維持し、フリット材層全体を溶融して、基板密着の良い、かつ、クラック発生のない封着を施すことを目的とする。 Therefore, the present invention maintains the light heating temperature in the frit material layer having such a thickness that the electrode layer of the element substrate does not peel off, melts the entire frit material layer, has good substrate adhesion, and generates cracks. Aims to give no sealing.
上記課題を解決するために、本発明は、一対の電極間に有機化合物層を挟持した有機発光素子を設けた素子基板上、または、封止基板上にフリット材層を形成する工程と、レーザー光を照射することにより前記フリット材層を溶融し、前記素子基板と前記封止基板とを封着する工程と、を有する有機発光装置の製造方法であって、前記フリット材層を形成する工程が、レーザー光透過率が順次増加または減少するように、レーザー光吸収剤を含有する複数層のフリット材層を積層する工程であり、前記レーザー光を、レーザー光透過率が高いフリット材層側から照射することを特徴とする有機発光装置の製造方法を提供するものである。 In order to solve the above problems, the present invention includes a step of forming a frit material layer on an element substrate provided with an organic light-emitting element having an organic compound layer sandwiched between a pair of electrodes, or a sealing substrate, and a laser. A step of melting the frit material layer by irradiating light and sealing the element substrate and the sealing substrate, wherein the frit material layer is formed. Is a step of laminating a plurality of frit material layers containing a laser light absorber so that the laser light transmittance sequentially increases or decreases, and the laser light is transmitted to the frit material layer side having a high laser light transmittance. The manufacturing method of the organic light-emitting device characterized by irradiating from is provided.
本発明によれば、素子基板の電極層が剥れない厚さを有するフリット材層中の光加熱温度を維持し、フリット材層全体を溶融して、基板密着の良い、かつ、クラック発生のない封着を施すことができる。 According to the present invention, the light heating temperature in the frit material layer having such a thickness that the electrode layer of the element substrate is not peeled is maintained, the entire frit material layer is melted, and the substrate adheres well and cracks are generated. There can be no sealing.
以下、図面を参照しながら本発明について詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は本発明により製造した有機発光装置の一例を示す概略断面図である。図1の有機発光装置10は、素子基板1上に、第一電極層2と第二電極層4からなる一対の電極間に有機化合物層3を挟持した有機発光素子が一以上設けられている。この有機発光素子は、第一電極層2と第二電極層4との間に電圧を印加することで、一方の電極から注入されるホールと、もう一方の電極から注入される電子と、が有機化合物層3内の発光層において再結合することで光を発する。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of an organic light-emitting device manufactured according to the present invention. In the organic light-
本発明では、素子基板1と封止基板9とをフリット材層5及び6によって封着するものである。フリット材層5及び6は、表示領域の外側を覆うように形成され、外気からの水分、酸素等を遮断することができる。
In the present invention, the element substrate 1 and the sealing substrate 9 are sealed by the
次に、本発明における有機発光装置の構成部材について説明する。 Next, components of the organic light emitting device in the present invention will be described.
素子基板1として、ガラス基板、Si基板などを使用することができる。 As the element substrate 1, a glass substrate, a Si substrate, or the like can be used.
第一電極層2及び第二電極層4の構成材料として、公知の電極材料を使用することができる。具体的には、Al、Agなどの金属導電膜、ITO、IZOなどの透明導電膜、及び、それらの積層膜を使用することができる。 As a constituent material of the first electrode layer 2 and the second electrode layer 4, a known electrode material can be used. Specifically, a metal conductive film such as Al or Ag, a transparent conductive film such as ITO or IZO, and a laminated film thereof can be used.
有機化合物層3の構成材料として、公知の電荷輸送材料(ホール注入・輸送材料、電子注入・輸送材料)及び発光材料を使用することができる。
As the constituent material of the
ホール注入・輸送材料として、トリアリールアミン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、オキサゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、オキサゾール誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、フタロシアニン誘導体、ポリフィリン誘導体及びポリ(ビニルカルバゾール)、ポリ(シリレン)、ポリ(チオフェン)、その他導電性高分子などを使用することができる。 As hole injection / transport materials, triarylamine derivatives, phenylenediamine derivatives, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, oxazole derivatives, imidazole derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, oxazole derivatives, fluorenone derivatives , Hydrazone derivatives, stilbene derivatives, phthalocyanine derivatives, porphyrin derivatives and poly (vinyl carbazole), poly (silylene), poly (thiophene), and other conductive polymers can be used.
電子注入・輸送材料として、オキサジアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、チアジアゾール誘導体、ピラジン誘導体、トリアゾール誘導体、トリアジン誘導体、ペリレン誘導体、キノリン誘導体、キノキサリン誘導体、フルオレノン誘導体、アントロン誘導体、フェナントロリン誘導体、有機金属錯体などを使用することができる。 As electron injection / transport materials, oxadiazole derivatives, oxazole derivatives, thiazole derivatives, thiadiazole derivatives, pyrazine derivatives, triazole derivatives, triazine derivatives, perylene derivatives, quinoline derivatives, quinoxaline derivatives, fluorenone derivatives, anthrone derivatives, phenanthroline derivatives, organometallics Complexes and the like can be used.
発光材料として、蛍光材料や燐光材料を使用することができる。例えば、アルミキノリノール錯体、ベリリウムキノリノール錯体、ヒドロキシフェニルオキサゾール、ヒドロキシフェニルチアゾール、アゾメチン金属錯体などを使用することができる。 As the light emitting material, a fluorescent material or a phosphorescent material can be used. For example, an aluminum quinolinol complex, a beryllium quinolinol complex, hydroxyphenyl oxazole, hydroxyphenyl thiazole, an azomethine metal complex, or the like can be used.
尚、有機化合物層3は、発光層のみの単一の層で構成されてもよいし、発光層を含めた複数の層で構成されていてもよい。
In addition, the
フリット材層5、6は、微細粒子のペーストを使用することが好ましい。
The
微細粒子は、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化ホウ素、酸化亜鉛、酸化テルル、酸化アルミニウム、二酸化シリコン、酸化チタン、酸化スズ、酸化リン、酸化ルテニウム、酸化鉄、酸化銅、酸化タングステン、ホウ珪酸ガラスなどからなる。 Fine particles are magnesium oxide, calcium oxide, barium oxide, lithium oxide, sodium oxide, potassium oxide, boron oxide, zinc oxide, tellurium oxide, aluminum oxide, silicon dioxide, titanium oxide, tin oxide, phosphorus oxide, ruthenium oxide, oxide It consists of iron, copper oxide, tungsten oxide, borosilicate glass, etc.
また、バインダーとしてセルロース系を使用し、エチルセルロース、ブチルセルロースなどが挙げられる。 Moreover, a cellulose type is used as a binder, and ethyl cellulose, butyl cellulose, etc. are mentioned.
また、フリット材層5,6は、レーザー光吸収剤を含む。レーザー光吸収剤としては、具体的には、鉄、マンガン、銅、バナジウムなど、及び、カーボンブラックなどを用いる。
Moreover, the
封止基板9としては、ガラス基板等のレーザー光吸収の少ない、透過性の高い材質であれば使用することができる。 As the sealing substrate 9, any material can be used as long as it is a highly transparent material with little laser light absorption, such as a glass substrate.
次に、本発明の製造方法を具体的に説明する。 Next, the production method of the present invention will be specifically described.
有機発光素子を素子基板1上に形成するが、その形成方法は、公知の製造方法を利用することができる。 An organic light emitting element is formed on the element substrate 1, and a known manufacturing method can be used as the forming method.
一方、封止基板9上に、表示領域の外周に沿う様にフリット材層5及び6を形成する。本例では、複数層のフリット材層5,6を、レーザー光透過率が順次減少するように積層する。即ち、フリット材層6のレーザー光透過率はフリット材層5のレーザー光透過率よりも大きい。更に、フリット材層5,6のレーザー光透過率は、レーザー光を照射する側の基板である封止基板9のレーザー光透過率よりも小さいことが好ましい。
On the other hand, the
フリット材層5及び6のレーザー光透過率は、レーザー光吸収剤の含有量を変えることにより調整することができる。レーザー光吸収剤の含有量を多くすると、レーザー光吸収率が大きくなり、レーザー光透過率が小さくなる。一方、レーザー光吸収剤の含有量を少なくすると、レーザー光吸収率が小さくなり、レーザー光透過率が大きくなる。
The laser beam transmittance of the
レーザー光吸収剤の含有量は特に限定されないが、フリット材層6のレーザー光吸収剤の含有量を10〜20重量%とし、波長800〜1100nmのレーザー光の透過率を50〜60%に調整し、フリット材層5のレーザー光吸収剤の含有量を30〜40重量%とし、波長800〜1100nmのレーザー光の透過率を0〜10%に調整することが好ましい。また、図2に示すように、フリット材層5,6,8の三層構成とする場合には、フリット材層8のレーザー光吸収剤の含有量を2〜5重量%とし、波長800〜1100nmのレーザー光の透過率を70〜80%に調整することが好ましい。
The content of the laser light absorber is not particularly limited, but the content of the laser light absorber in the
フリット材層5,6の形成方法は、塗布法、ディスペンサー法、スクリーン印刷法等の公知の方法で行うことができる。フリット材のペーストを用いた場合にはフリット材層5,6を形成した後、乾燥・焼成し、バインダーなどの有機物を分解除去する。
The
フリット材層5及び6の合計厚みは、好ましくは60μm〜200μmである。60μmより薄いと封止基板9の押圧による撓みから対向面の第二電極層4の剥れが起こる可能性がある。一方、200μmより厚いと所望製品の薄型化に逆行する可能性がある。尚、100μmより厚い場合は、図2に示すように、フリット材層5,6,8の三層構成とすることが好ましい。
The total thickness of the
尚、フリット材層5,6は、素子基板1上に形成しても良いし、レーザー光透過率が順次増加するように積層しても良い。
The
次に、素子基板1の有機発光素子形成面と、封止基板9とを対向配置する。 Next, the organic light emitting element formation surface of the element substrate 1 and the sealing substrate 9 are disposed to face each other.
その後、荷重をかけながら、レーザー光透過率が高いフリット材層側、即ちフリット材層6側である封止基板9側からレーザーを照射し、フリット材層5及び6の全体を溶融して、素子基板1と、封止基板9とを封着する。レーザーパワー出力は、15〜60Wであることが好ましく、レーザー波長は、800〜1100nmであることが好ましい。
Thereafter, while applying a load, the laser is irradiated from the frit material layer side having a high laser light transmittance, that is, the sealing substrate 9 side which is the
まず、本実施例で用いたフリット材は、低融点ガラスの微細粒子のペーストに、下表に示すレーザー光吸収剤を含有してレーザー光波長1064nmの透過率を調整したものを用いた。レーザー光波長1064nmの透過率の測定方法は、予めガラス基板上に、調整したフリット材を各々形成し、分光光度計にて計測した。 First, the frit material used in this example was prepared by adjusting the transmittance at a laser beam wavelength of 1064 nm to a paste of fine particles of low-melting glass containing a laser beam absorber shown in the following table. As a method of measuring the transmittance at a laser beam wavelength of 1064 nm, each adjusted frit material was previously formed on a glass substrate and measured with a spectrophotometer.
<実施例1>
図1に示される有機発光装置10を、以下の方法により作製した。
<Example 1>
The organic
素子基板1上に、第一電極層2と、有機化合物層3と、第二電極層4と、からなる有機発光素子を形成した。
On the element substrate 1, an organic light-emitting element composed of the first electrode layer 2, the
具体的には、まず、素子基板1であるガラス基板上にスパッタ法によりAl膜とITO膜の積層膜を成膜し第一電極層2を形成した。このとき第一電極層2の膜厚はAl膜が200nm、ITO膜が20nmであった。次に、第一電極層2上に真空蒸着法により順次、ホール輸送層α‐NPD 30nm、発光層Balq 50nm、電子輸送層Bphen(バソフェナントロリン)10nm、電子注入層Bphen+CsCO3 60nmを成膜し有機化合物層3を形成した。このとき有機化合物層3の膜厚は150nmであった。次に、有機化合物層3上にスパッタ法によりITOを成膜し第二電極層4を形成した。このとき第二電極層4の膜厚は30nmであった。
Specifically, first, a laminated film of an Al film and an ITO film was formed on a glass substrate as the element substrate 1 by a sputtering method to form the first electrode layer 2. At this time, the film thickness of the first electrode layer 2 was 200 nm for the Al film and 20 nm for the ITO film. Next, a hole transport layer α-NPD 30 nm, a light emitting layer Balq 50 nm, an electron transport layer Bphen (vasophenanthroline) 10 nm, and an electron injection layer Bphen + CsCO 3 60 nm are sequentially formed on the first electrode layer 2 by vacuum deposition.
一方、封止基板9であるガラス基板(波長1064nmのレーザー光透過率95%)上にフリット材3のペーストを1mm幅、50μmの厚さになるようにディスペンサーで塗布した。その上に、フリット材4のペーストを1mm幅、50μmの厚さになるようにディスペンサーで塗布して、フリット材層5及び6を積層形成した。その後、フリット材層5及び6を120℃で乾燥、300℃で焼成した。
On the other hand, the paste of the
次に、封止基板9と、素子基板1と、を貼合わせ、荷重98.07N(10kgf)をかけながら封止基板9側からフリット材層5及び6にレーザーを照射し、フリット材層5及び6の全体を溶融した。その時のレーザーパワー出力は、25W、レーザー波長1064nmである。
Next, the sealing substrate 9 and the element substrate 1 are bonded together, and the
レーザー照射位置に近いフリット材層6からフリット材層5と素子基板1の接触部まで順に光加熱温度が400℃で維持され、素子基板1と封止基板9とが封着された。ひねりを与えてもフリット材層5,6間に剥がれが起こらず、また、光学顕微鏡により、素子基板1にクラック発生の無いことを確認した。
The light heating temperature was maintained at 400 ° C. in order from the
<実施例2>
封止基板9上にフリット材2のペーストを1mm幅、100μmの厚さになるようにディスペンサーで塗布した後、その上に、フリット材3のペーストを1mm幅、50μmの厚さになるようにディスペンサーで塗布した。その後、その上に、フリット材4のペーストを1mm幅、50μmの厚さになるようにディスペンサーで塗布して、フリット材層5、6及び8を積層形成した。その後、フリット材層5、6及び8を120℃で乾燥、300℃で焼成した。
<Example 2>
After applying the paste of the frit material 2 on the sealing substrate 9 with a dispenser so as to have a width of 1 mm and a thickness of 100 μm, the paste of the
この封止基板を用いた以外は実施例1と同様にして、図2に示される有機発光装置11を作製した。
An organic
レーザー照射位置に近いフリット材層8からフリット材層6を介しフリット材層5と素子基板1の接触部まで順に光加熱温度が400℃で維持され、素子基板1と封止基板9とが封着された。ひねりを与えても各フリット材層5,6、8間に剥がれが起こらず、また、光学顕微鏡により、素子基板1にクラック発生の無いことを確認した。
The light heating temperature is maintained at 400 ° C. in order from the
<比較例1>
フリット材4でフリット材層6を形成し、フリット材3でフリット材層5を形成した以外は実施例1と同様にして有機発光装置を作製した。
<Comparative Example 1>
An organic light emitting device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the
レーザー照射位置に近いフリット材層6の熱吸収によって熱損失が起こり、フリット材層5と素子基板1の接触部への光加熱が不十分であった。光学顕微鏡により、素子基板1にクラック発生の無いことを確認したが、ひねりにより容易に剥がれ、素子基板1とフリット材層5との封着は不十分であった。
Heat loss occurred due to heat absorption of the
<比較例2>
フリット材1でフリット材層6を形成した以外は実施例1と同様にして有機発光装置を作製した。
<Comparative example 2>
An organic light emitting device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the
レーザー照射位置に近いフリット材層6を透過してフリット材層5に熱吸収が集中し、フリット材層5と接触する素子基板1にクラックが発生した。
Heat absorption concentrated on the
1 素子基板
2 第一電極層
3 有機化合物層
4 第二電極層
5,6,8 フリット材層
9 封止基板
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