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JP2010021824A - Microwave visible sensor - Google Patents

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JP2010021824A
JP2010021824A JP2008181078A JP2008181078A JP2010021824A JP 2010021824 A JP2010021824 A JP 2010021824A JP 2008181078 A JP2008181078 A JP 2008181078A JP 2008181078 A JP2008181078 A JP 2008181078A JP 2010021824 A JP2010021824 A JP 2010021824A
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JP
Japan
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detection
microwave
antenna
waveguide
detection member
Prior art date
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Pending
Application number
JP2008181078A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinichi Kobayashi
伸一 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Micro Denshi Co Ltd
Original Assignee
Micro Denshi Co Ltd
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Publication date
Application filed by Micro Denshi Co Ltd filed Critical Micro Denshi Co Ltd
Priority to JP2008181078A priority Critical patent/JP2010021824A/en
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  • Constitution Of High-Frequency Heating (AREA)
  • Waveguide Connection Structure (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suggest a microwave visible sensor capable of visually detecting the electromagnetic field distribution and the standing wave position of microwaves in a waveguide. <P>SOLUTION: The microwave visible sensor 50 is constituted by: providing a plurality of small holes 36 along a tube axis on the side 34E of an applicator 34 of rectangular waveguide structure; fixing a substrate 38 with a plurality of detection members 37 having antennas 39 suited to each interval of the small holes 36 to the side 34E of the applicator 34; and providing each detection member 37 with a detection diode 40 which is conducted by electromotive force to be generated in the antennas 39, and an LED 41 which is lit by conduction of the detection diode 40. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、導波管内を伝播するマイクロ波の電界強度分布やマイクロ波定在波の発生位置などを視覚を通して検出することができるマイクロ波可視センサーに関する。   The present invention relates to a microwave visible sensor that can visually detect a field intensity distribution of a microwave propagating in a waveguide, a generation position of a microwave standing wave, and the like.

方形導波管式アプリケータを備え、このアプリケータ内で被処理物にマイクロ波を照射し、被処理物を加熱処理するマイクロ波装置が広く知られている。
図8は、従来例として示したマイクロ波加熱の試験装置を示す簡略図、図9は同試験装置の部分的な拡大断面図である。
この試験装置は、マグネトロン10が高周波結合器11に搭載されており、マグネトロン10から出力されたマイクロ波電力(本出願では、単に「マイクロ波」という)が高周波結合器11に結合し、導波管回路を伝播する。
2. Description of the Related Art A microwave apparatus that includes a rectangular waveguide applicator, irradiates a workpiece with microwaves in the applicator, and heats the workpiece is widely known.
FIG. 8 is a simplified diagram showing a microwave heating test apparatus shown as a conventional example, and FIG. 9 is a partially enlarged sectional view of the test apparatus.
In this test apparatus, a magnetron 10 is mounted on a high-frequency coupler 11, and microwave power output from the magnetron 10 (in this application, simply referred to as “microwave”) is coupled to the high-frequency coupler 11 and guided. Propagates the tube circuit.

すなわち、マイクロ波は、高周波結合器11、パワーモニタ12、スタブチューナー13、アプリケータ14、可動プランジャ15のプランジャ可動部15aに至り、このプランジャ可動部15aで反射される。
詳しくは、アプリケータ14とプランジャ可動部15aで反射されたマイクロ波がマグネトロン10に向かう。
したがって、パワーモニタ12の反射電力値をモニタしながらスタブチューナー13を調整して、スタブチューナー13で反射波と逆位相の波を作り打ち消すと、パワーモニタ12の反射電力値がゼロになる。
That is, the microwave reaches the high frequency coupler 11, the power monitor 12, the stub tuner 13, the applicator 14, and the plunger movable portion 15a of the movable plunger 15, and is reflected by the plunger movable portion 15a.
Specifically, the microwaves reflected by the applicator 14 and the plunger movable portion 15 a are directed toward the magnetron 10.
Therefore, when the stub tuner 13 is adjusted while monitoring the reflected power value of the power monitor 12, and the stub tuner 13 creates and cancels the wave having the opposite phase to the reflected wave, the reflected power value of the power monitor 12 becomes zero.

また、方形導波管で構成されたアプリケータ14には、上面(磁界面H)に試験管16の挿入口14aが設けられており、試料17を入れた細長の試験管16をその挿入口14aから挿入し、アプリケータ14内に試料17を配設するようになっている。
なお、試験管16には、挿入長さを調整するための調整部材18が設けられている。
The applicator 14 formed of a rectangular waveguide is provided with an insertion port 14a for the test tube 16 on the upper surface (magnetic field surface H). The elongated test tube 16 containing the sample 17 is inserted into the insertion port 14a. The sample 17 is inserted in the applicator 14 and disposed in the applicator 14.
The test tube 16 is provided with an adjusting member 18 for adjusting the insertion length.

プランジャ可動部15はプランジャ可動部15aを調整し、アプリケータ14内に発生するマイクロ波の定在波の位置を移動調整する。
具体的には、アプリケータ14内には、マグネトロン10から出力されたマイクロ波の進行波とプランジャ可動部15aで反射される反射波とが干渉して大きな定在波が発生するので、この定在波による大きな電界を試料17に作用させるように調整する。
The plunger movable portion 15 adjusts the plunger movable portion 15 a to move and adjust the position of the standing wave of the microwave generated in the applicator 14.
Specifically, a large standing wave is generated in the applicator 14 due to interference between the traveling wave of the microwave output from the magnetron 10 and the reflected wave reflected by the plunger movable portion 15a. It adjusts so that the big electric field by a standing wave may act on the sample 17. FIG.

上記した試験装置は、試料17をマイクロ波加熱し、試料17の化学反応や化学変化の有無などの試験を行うものであるが、ただ、この試験装置の場合、定在波の発生位置が分からないとい言う問題がある。
すなわち、プランジャ可動部15aを調整して定在波を試料17に合わせるが、定在波の発生位置が分からないため、プランジャ可動部15aの調整を経験に基づいて大まかに行なうため、定在波が試料17の位置に発生している否かが正確には分からない。
In the above test apparatus, the sample 17 is microwave-heated and a test such as the presence or absence of chemical reaction or chemical change of the sample 17 is performed. However, in the case of this test apparatus, the position where the standing wave is generated is unknown. There is a problem of not saying.
That is, the plunger movable portion 15a is adjusted to match the standing wave with the sample 17. However, since the position where the standing wave is generated is not known, the plunger movable portion 15a is roughly adjusted based on experience. It is not accurately known whether or not the above occurs at the position of the sample 17.

一方、マイクロ波の電磁界分布を検出する検出装置が本出願人によって既に提案されている。
この検出装置は、図10に示すように、ユニット化した検出部21A、21Bを基板22の面上に多数個配列した構成となっている。
なお、基板22は、基板自体がマイクロ波によって加熱されないように誘電体の低いプリント基板となっている。
On the other hand, a detection device for detecting a microwave electromagnetic field distribution has already been proposed by the present applicant.
As shown in FIG. 10, this detection apparatus has a configuration in which a large number of unitized detection units 21 </ b> A and 21 </ b> B are arranged on the surface of the substrate 22.
The substrate 22 is a printed substrate having a low dielectric so that the substrate itself is not heated by microwaves.

検出部21A、21Bは、図11に詳細に示してある。
すなわち、検出部21Aは、U字形とした長形アンテナ23aと直線アンテナ23bとによって検波ダイオード24とLED25とを直列接続した構成となっている。(図12参照)
なお、検波ダイオード24は、マイクロ波周波数f=2450MHz程度の高周波電圧がアンテナに発生したとき導通する検波ダイオードであり、また、LED25は、緑色光の発光ダイオードとなっている。
The detectors 21A and 21B are shown in detail in FIG.
That is, the detection unit 21A has a configuration in which the detection diode 24 and the LED 25 are connected in series by a U-shaped long antenna 23a and a linear antenna 23b. (See Figure 12)
The detection diode 24 is a detection diode that is turned on when a high-frequency voltage with a microwave frequency of about f = 2450 MHz is generated in the antenna, and the LED 25 is a green light-emitting diode.

検出部21Bは、検波ダイオード26とLED27とを2つの直線(短径)アンテナ28a、28bによって直列接続した構成となっている。(図13参照)
なお、検波ダイオード26は上記した検波ダイオード24と同様のものであるが、LED27は、赤色光の発光ダイオードとなっている。
The detection unit 21B has a configuration in which the detection diode 26 and the LED 27 are connected in series by two linear (short-diameter) antennas 28a and 28b. (See Figure 13)
The detection diode 26 is the same as the detection diode 24 described above, but the LED 27 is a red light emitting diode.

上記した検出部21A、21Bは、各アンテナ23a、23b、28a、28bをプリント形成した基板22の面上に検波ダイオード24、26、LED25、27を面上半田して取り付けてある。
このように構成した検出部21A、21Bは、アンテナが長いほど検出感度が高く、検出部21Bに対し検出部21Aの検出感度が高くなっている。
In the detection units 21A and 21B, the detection diodes 24 and 26 and the LEDs 25 and 27 are mounted on the surface of the substrate 22 on which the antennas 23a, 23b, 28a, and 28b are printed and soldered.
The detection units 21A and 21B configured as described above have higher detection sensitivity as the antenna is longer, and the detection sensitivity of the detection unit 21A is higher than that of the detection unit 21B.

上記した検出装置は、マイコロ波を照射すると、検出部21A、21B各々のアンテナによってマイクロ波が受電されるが、マイクロ波の電磁界が強い部所では、検出部21A、21Bが共に検出動作する。
つまり、マイクロ波磁界によって各アンテナに誘起する起電力によって検出部21A、21Bの検波ダイオード24、26が共に導通し、緑色LED25と赤色LED27とが発光する。
When the above-described detection device irradiates the myco waves, the microwaves are received by the antennas of the detection units 21A and 21B, but the detection units 21A and 21B both perform detection operations in a portion where the electromagnetic field of the microwave is strong. .
That is, the detection diodes 24 and 26 of the detection units 21A and 21B are both conducted by the electromotive force induced in each antenna by the microwave magnetic field, and the green LED 25 and the red LED 27 emit light.

マイクロ波電磁界が弱い部所では、検出感度の低い検出部21Bが非検出状態となるため、検出部21Aのみが検出動作し、緑色LED25のみが発光する。
このように、緑色と赤色の発光色の多い部所と緑色の発光色が多い部所とでマイクロ波の強弱部所を視覚を通して検出することができる。
In a portion where the microwave electromagnetic field is weak, the detection unit 21B having a low detection sensitivity is in a non-detection state, so that only the detection unit 21A performs a detection operation and only the green LED 25 emits light.
In this way, it is possible to visually detect the strength and weakness portions of the microwaves in the portion where the green and red emission colors are large and the portion where the green emission color is large.

特開2006―322869号公報JP 2006-322869 A

解決しようとする問題点は、上記したように、導波管内に発生するマイクロ波の定在波位置や導波管内の電磁界分布が視覚を通して検出できないために、マイクロ波応用装置において、マイクロ波電界を最良の形態で被処理物に与えることができないことである。
そこで、本発明では、マイクロ波の電磁界分布を検出する上記の検出装置を応用して、導波管内の定在波や電磁界分布などを視覚をもって検出することができるマイクロ波可視センサーを提案することを目的とする。
The problem to be solved is that, as described above, the standing wave position of the microwave generated in the waveguide and the electromagnetic field distribution in the waveguide cannot be detected through vision. The electric field cannot be applied to the workpiece in the best form.
Therefore, the present invention proposes a microwave visible sensor that can visually detect a standing wave or an electromagnetic field distribution in a waveguide by applying the above-described detection device that detects a microwave electromagnetic field distribution. The purpose is to do.

上記した目的を達成するため、本発明では第1の発明として、マイクロ波を受けるアンテナと、前記アンテナによって受けたマイクロ波を検波するダイオードと、前記ダイオードの検波にしたがって給電されて点灯する光源とから形成した検出部材を設け、前記検出部材のアンテナを導波管に形成した小孔に対応させて配設させるようにして当該検出部材を導波管に備え、前記検出部材の光源の点灯を視覚によって確認し、導波管内に存在するマイクロ波を検出する構成としたことを特徴とするマイクロ波可視センサーを提案する。   In order to achieve the above-described object, the present invention provides, as a first invention, an antenna that receives a microwave, a diode that detects the microwave received by the antenna, a light source that is powered and lit according to the detection of the diode, The detection member is provided, and the detection member is provided in the waveguide so that the antenna of the detection member is disposed corresponding to the small hole formed in the waveguide, and the light source of the detection member is turned on. We propose a microwave visible sensor that is characterized by visual confirmation and that detects microwaves in the waveguide.

第2の発明としては、基板の裏面には、マイクロ波を受けるアンテナを配設し、前記基板の表面には、スルーホールを介して前記アンテナと接続し、前記アンテナによって受けたマイクロ波を検波するダイオードと、このダイオードの検波にしたがって給電されて点灯する光源とを配設して形成した検出部材を設け、前記検出部材のアンテナを導波管に形成した小孔に対応させて配設させるようにして当該検出部材の基板を導波管外面に固着し、前記検出部材の光源の点灯を視覚によって確認し、導波管内に存在するマイクロ波を検出する構成としたことを特徴とするマイクロ波可視センサーを提案する。   According to a second aspect of the present invention, an antenna that receives microwaves is disposed on the back surface of the substrate, and the surface of the substrate is connected to the antenna through a through hole, and the microwaves received by the antenna are detected. And a detection member formed by providing a light source that is powered and turned on according to the detection of the diode, and an antenna of the detection member is provided corresponding to a small hole formed in the waveguide In this way, the substrate of the detection member is fixed to the outer surface of the waveguide, the lighting of the light source of the detection member is visually confirmed, and the microwave existing in the waveguide is detected. A wave visible sensor is proposed.

第3の発明としては、基板の裏面には、マイクロ波を受けるアンテナを配設し、前記基板の表面には、スルーホールを介して前記アンテナと接続し、前記アンテナによって受けたマイクロ波を検波するダイオードと、このダイオードの検波にしたがって給電されて点灯する光源とを配設して形成した検出部材を、長形の基板の長手方向に沿って複数個配列し、前記した各々の検出部材のアンテナを導波管の管軸方向に沿って形成した複数の小孔に配設させるようにして前記基板を導波管外面に固着し、前記した各検出部材の光源の点灯状態を視覚によって確認し、導波管内のマイクロ波電界強度分布またはマイクロ波定在波位置を検出する構成としたことを特徴とするマイクロ波可視センサーを提案する。   According to a third aspect of the present invention, an antenna that receives microwaves is disposed on the back surface of the substrate, and the surface of the substrate is connected to the antenna via a through hole, and the microwaves received by the antenna are detected. And a plurality of detection members formed by arranging a light source that is powered and turned on according to detection of the diodes along the longitudinal direction of the long substrate, and each of the detection members described above is arranged. The substrate is fixed to the outer surface of the waveguide so that the antenna is disposed in a plurality of small holes formed along the tube axis direction of the waveguide, and the lighting state of the light source of each detection member is visually confirmed. Then, a microwave visible sensor characterized in that the microwave electric field intensity distribution or the microwave standing wave position in the waveguide is detected is proposed.

第1、第2の発明の可視センサーによれば、検出部材のアンテナが導波管の小孔を介してマイクロ波を受け、このアンテナにマイクロ波磁界による起電力が発生する。
したがって、所定電圧以上の起電力がアンテナに発生したとき、検波ダイオードが導通して光源が点灯する。
具体的には、検出部材が所定感度で点灯するので、導波管の所定部所内のマイクロ波電磁界が所定値以上の強さであるときに検出部材の光源が点灯する。
これより、検出部材の光源が消灯しているか、点灯したかを確認することによって導波管内の電磁界分布を視覚をもって知ることができる。
According to the visible sensors of the first and second inventions, the antenna of the detection member receives microwaves through the small hole of the waveguide, and an electromotive force is generated in the antenna due to the microwave magnetic field.
Therefore, when an electromotive force exceeding a predetermined voltage is generated in the antenna, the detection diode is turned on and the light source is turned on.
Specifically, since the detection member is turned on with a predetermined sensitivity, the light source of the detection member is turned on when the microwave electromagnetic field in the predetermined portion of the waveguide is greater than or equal to a predetermined value.
Accordingly, it is possible to visually know the electromagnetic field distribution in the waveguide by checking whether the light source of the detection member is turned off or turned on.

第3の発明では、導波管には管軸に沿って形成した複数個の小孔を設け、さらに、導波管の前記小孔各々にアンテナを配設させるようにした複数個の検出部材を導波管外面に配列させた構成としてある。
したがって、導波管の管軸方向に並んだ検出部材の光源が導波管内のマイクロ波電磁界分布または定在波に対応した点灯状態となる。
すなわち、マイクロ波電磁界の強い部所の検出部材は光源が点灯し、マイクロ波電磁界の弱い部所の検出部材は光源が消灯したままとなるから、検出部材の点灯状態よりマイクロ波の電磁界分布を視認することができ、さらに、定在波の位置を視覚をもって検出することができる。
In the third invention, the waveguide is provided with a plurality of small holes formed along the tube axis, and a plurality of detection members in which an antenna is disposed in each of the small holes of the waveguide. Are arranged on the outer surface of the waveguide.
Therefore, the light sources of the detection members arranged in the tube axis direction of the waveguide are in a lighting state corresponding to the microwave electromagnetic field distribution or standing wave in the waveguide.
That is, the light source is turned on for the detection member in the portion where the microwave electromagnetic field is strong, and the light source is kept turned off in the detection member in the portion where the microwave electromagnetic field is weak. The field distribution can be visually recognized, and the position of the standing wave can be detected visually.

一方、第3の発明によれば、可動プランジヤなどを動作させて導波管内の定在波位置を移動させると、導波管の管軸方向に並んだ複数の検出部材の光源が、定在波の移動にしたがって順次点灯する。
つまり、定在波の移動にしたがって点灯する光源が順次切り替わるので、定在波の位置調整が検出部材の光源の点灯を確認しながら行うことができる。
On the other hand, according to the third invention, when the standing wave position in the waveguide is moved by operating a movable plunger or the like, the light sources of the plurality of detection members arranged in the tube axis direction of the waveguide are Lights up sequentially as the waves move.
That is, since the light source to be turned on is sequentially switched according to the movement of the standing wave, the position adjustment of the standing wave can be performed while confirming the lighting of the light source of the detection member.

次に、本発明の実施形態について図面に沿って説明する。
図1は、一実施形態として示したマイクロ波可視センサー50を装備したマイクロ波加熱の試験装置の簡略図である。
図示の如く、この試験装置は、マグネトロン30、高周波結合器31、パワーモニタ32、スタブチューナー33、アプリケータ34、可動プランジャ35から構成してあり、マイクロ波可視センサー50を備えたアプリケータ34以外は図8に従来例として示した試験装置に比べ同構成となっている。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a simplified diagram of a microwave heating test apparatus equipped with a microwave visible sensor 50 shown as an embodiment.
As shown in the figure, this test apparatus is composed of a magnetron 30, a high-frequency coupler 31, a power monitor 32, a stub tuner 33, an applicator 34, and a movable plunger 35. Other than the applicator 34 provided with the microwave visible sensor 50. Has the same configuration as that of the conventional test apparatus shown in FIG.

アプリケータ34は、図2、図3に示した如く、方形導波管であり、その上面(磁界H面)34Hには、従来例同様の試験管17を挿入する挿入孔34aが設けてある。
なお、試験管17は、従来例で説明したように、マイクロ波加熱による化学反応や化学変化などを試験する試料が入れてある。
As shown in FIGS. 2 and 3, the applicator 34 is a rectangular waveguide, and an upper surface (magnetic field H surface) 34H is provided with an insertion hole 34a for inserting the test tube 17 similar to the conventional example. .
The test tube 17 contains a sample for testing a chemical reaction or chemical change caused by microwave heating, as described in the conventional example.

そして、アプリケータ34の側面(電界E面)34Eには、マイクロ波可視センサー50が備えてある。
このマイクロ波可視センサー50は、アプリケータ34の側面34Eに、管軸方向に沿って2列に形成した小孔36と、複数個の検出部材37を設けてその側面34Eに面張りした長径の基板38とより構成してある。
なお、このように固着する基板38は、図4に部分拡大図として詳細に示すように、各々の検出部材37のアンテナ39を各々の小孔36に対向させるように面張りしてある。
また、基板38をアプリケータ34に固着する手段としては、ねじ止め、接着剤を使用した貼着などを用いる。
A microwave visible sensor 50 is provided on the side surface (electric field E surface) 34E of the applicator 34.
This microwave visible sensor 50 is provided with a small diameter 36 formed in two rows along the tube axis direction and a plurality of detection members 37 on the side surface 34E of the applicator 34, and has a long diameter surfaced on the side surface 34E. A substrate 38 is included.
In addition, the board | substrate 38 fixed in this way is surfaced so that the antenna 39 of each detection member 37 may face each small hole 36, as shown in detail as a partial enlarged view in FIG.
Further, as means for fixing the substrate 38 to the applicator 34, screwing, adhesion using an adhesive, or the like is used.

複数個の検出部材37は、アプリケータ34の小孔位置に合わせした位置間として長形の基板38に設けたもので、個々の検出部材37については、図10に示した従来の検出部21Aと同様に構成してある。
すなわち、検出部材37は、マイクロ波を受ける長形のアンテナ39と、このアンテナ39に発生する起電力を受けて導通する検波ダイオード40と、検波ダイオード40の導通下に点灯するLED41と、検波ダイオード40とLED41とを接続する回路線42とで構成してある。
The plurality of detection members 37 are provided on the elongated substrate 38 between the positions corresponding to the positions of the small holes of the applicator 34. The individual detection members 37 are provided with the conventional detection unit 21A shown in FIG. It is comprised similarly to.
That is, the detection member 37 includes a long antenna 39 that receives microwaves, a detection diode 40 that is turned on by receiving an electromotive force generated in the antenna 39, an LED 41 that is lit when the detection diode 40 is turned on, and a detection diode 40 and the circuit line 42 which connects LED41.

そして、この検出部材37の具体的な構成としては、図4、図5に示すように、
基板38の表面に面上半田して検波ダイオード40とLED41を実装し、また、基板38の面上にプリント配線した回路線42によってこれら検波ダイオード40とLED41とを接続し、さらに、検波ダイオード40とLED41は基板38の裏面にプリント配線したアンテナ39に対しスルーホール43a、43bを介して電気接続して、図6に示すところの回路接続となっている。
And as a concrete structure of this detection member 37, as shown in FIG. 4, FIG.
The detection diode 40 and the LED 41 are mounted on the surface of the substrate 38 by soldering on the surface, and the detection diode 40 and the LED 41 are connected by a circuit line 42 printed on the surface of the substrate 38. The LED 41 is electrically connected to the antenna 39 printed on the back surface of the substrate 38 through the through holes 43a and 43b, and has the circuit connection shown in FIG.

上記の試験装置は、マグネトロン30から出力されたマイクロ波の進行波と可動プランジャ35のプランジャ可動部35aで反射された反射波とが干渉し、アプリケータ34内には大きな定在波が発生する。
そして、この定在波よる大きな電界によって試料17を加熱し試験する。
In the above test apparatus, the traveling wave of the microwave output from the magnetron 30 interferes with the reflected wave reflected by the plunger movable portion 35 a of the movable plunger 35, and a large standing wave is generated in the applicator 34. .
Then, the sample 17 is heated and tested by the large electric field generated by the standing wave.

したがって、可動プランジャ35を操作してプランジャ可動部35aを移動させ、定在波の発生位置を調整し、定在波を試料17の位置で正しく発生させる。
このように、可動プランジャ35を操作して定在波の発生位置を調整すると、定在波の移動に伴って整列した各検出部材37のLED41の点灯が順次切り替わる。
具体的には、図2において、右から左に、または、この逆に検出部材37の点灯が順次切り代わるから、検出部材37の点灯状態(LED41)を見ながら可動プランジャ35を操作し、試料17に最も強い電界が作用する定在波位置に調整することができる。
Accordingly, the movable plunger 35 is operated to move the plunger movable portion 35a, the standing wave generation position is adjusted, and the standing wave is correctly generated at the position of the sample 17.
As described above, when the position of the standing wave is adjusted by operating the movable plunger 35, the lighting of the LEDs 41 of the respective detection members 37 aligned in accordance with the movement of the standing wave is sequentially switched.
Specifically, in FIG. 2, since the lighting of the detection member 37 is sequentially switched from right to left or vice versa, the movable plunger 35 is operated while viewing the lighting state (LED 41) of the detection member 37, and the sample 17 can be adjusted to a standing wave position where the strongest electric field acts.

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、パワーモニタを使用しなくても定在波の存在がわかるので、導波管のチューナの整合などに使用することができる。
さらに、試料17に合わせたアプリケータ34の側面に1つの小孔を設け、この小孔に一個の検出部材37を配設する構成とすると、可動プランジャ35の操作にしたがってLED41の発光強度が変わるので、マイクロ波の電界強度を視覚をもって確認することができる。
Although the preferred embodiment of the present invention has been described above, since the presence of a standing wave can be known without using a power monitor, it can be used for matching a tuner of a waveguide.
Furthermore, when one small hole is provided on the side surface of the applicator 34 that matches the sample 17 and one detection member 37 is disposed in the small hole, the light emission intensity of the LED 41 changes according to the operation of the movable plunger 35. Therefore, the electric field strength of the microwave can be confirmed visually.

一方、本発明の実施に際しては、アンテナ39を検波ダイオード40、LED41、回路線42と共に基板38の表面に設けてもよい。
このように構成した場合、感度が多少低下するが検出部材としては充分に作用する。
他方、検出部材37は必ずしも2列に配列しなくともよく、一列に直線的に配列するマイクロ波可視センサーとすることもでき、また、上記のように構成したマイクロ波可視センサー50は検出部材37の数を任意に増減することができる。
さらに、アプリケータ34の上面34Hに複数の小孔を形成し、複数個の検出部材37を上面34Hに配列させても同様のマイクロ波可視センサーを構成することができる。
On the other hand, in carrying out the present invention, the antenna 39 may be provided on the surface of the substrate 38 together with the detection diode 40, the LED 41, and the circuit line 42.
When configured in this manner, the sensitivity slightly decreases, but it works sufficiently as a detection member.
On the other hand, the detection members 37 do not necessarily have to be arranged in two rows, and may be microwave visible sensors arranged in a straight line, and the microwave visible sensor 50 configured as described above is the detection member 37. Can be arbitrarily increased or decreased.
Furthermore, a similar microwave visible sensor can be configured by forming a plurality of small holes on the upper surface 34H of the applicator 34 and arranging a plurality of detection members 37 on the upper surface 34H.

図7は他の実施形態として示したマイクロ波可視センサーの部分図である。
本実施形態では、アプリケータ34に形成した小孔36aに、LED44の2本の接続端子44a、44bを挿入し、さらに、これら接続端子44a、44bを検波ダイオード45で接続して構成したマイクロ波可視センサーとしてある。
このように構成したマイクロ波可視センサーは、接続端子44a、44bがマイクロ波を受けるから、これらの接続端子に発生した起電力によって検波ダイオード45が導通してLED44が点灯する。
なお、図7は1つの小孔36aに設けたマイクロ波可視センサーを示したが、複数の小孔36aを形成して複数のLED44を設けても同様に備えることができる。
FIG. 7 is a partial view of a microwave visible sensor shown as another embodiment.
In the present embodiment, two connection terminals 44 a and 44 b of the LED 44 are inserted into a small hole 36 a formed in the applicator 34, and the connection terminals 44 a and 44 b are further connected by a detection diode 45. As a visible sensor.
In the microwave visible sensor configured in this way, since the connection terminals 44a and 44b receive microwaves, the detection diode 45 is turned on by the electromotive force generated at these connection terminals, and the LED 44 is lit.
FIG. 7 shows the microwave visible sensor provided in one small hole 36a, but a plurality of LEDs 44 may be provided similarly by forming a plurality of small holes 36a.

マイクロ波の電界分布や定在波位置を視覚をもって検出することが望まれる、マイクロ波加熱の試験装置、マイクロ波を利用した情報記録ディスクの記録膜破壊装置、マイクロ波加熱の糸(フィラメント)の延伸装置などのマイクロ波応用装置に適用することができる。   It is desirable to visually detect the electric field distribution and standing wave position of the microwave, the microwave heating test device, the recording film destruction device of the information recording disk using the microwave, the microwave heating yarn (filament) It can be applied to a microwave application device such as a stretching device.

一実施形態のマイクロ波可視センサーを装備したマイクロ波加熱の試験装置を示す簡略図である。1 is a simplified diagram illustrating a microwave heating test apparatus equipped with a microwave visible sensor according to one embodiment. FIG. 上記した試験装置に備えるアプリケータと、このアプリケータに備えたマイクロ波可視センサーとを示す拡大部分図である。It is an expanded partial view which shows the applicator with which an above-described test apparatus is equipped, and the microwave visible sensor with which this applicator was equipped. 上記したアプリケータとマイクロ波可視センサーとの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of an above-mentioned applicator and a microwave visible sensor. 上記したマイクロ波可視センサーの一部分を拡大して示す表面図である。It is a surface view which expands and shows a part of above-mentioned microwave visible sensor. 図4同様の裏面図である。It is a back view similar to FIG. 上記したマイクロ波可視センサーに備える検出部材の回路図である。It is a circuit diagram of the detection member with which the above-mentioned microwave visible sensor is equipped. 他の実施形態のマイクロ波可視センサーを示す部分図である。It is a fragmentary figure which shows the microwave visible sensor of other embodiment. 従来例のマイクロ波加熱の試験装置を示す簡略図である。It is a simplified diagram showing a testing apparatus for microwave heating of a conventional example. 図8に示す従来の試験装置の部分的な拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the conventional test apparatus shown in FIG. マイクロ波の電界分布を検出する従来の検出装置を示す正面図である。It is a front view which shows the conventional detection apparatus which detects the electric field distribution of a microwave. 図10の従来の検出装置の一部を拡大して示した部分図である。It is the fragmentary figure which expanded and showed a part of conventional detection apparatus of FIG. 図10の従来の検出装置が備える検出部のうち、長径のアンテナを有する検出部の回路図である。It is a circuit diagram of the detection part which has a long diameter antenna among the detection parts with which the conventional detection apparatus of FIG. 10 is equipped. 図10の従来の検出装置が備える検出部のうち、短径のアンテナを有する検出部の回路図である。It is a circuit diagram of the detection part which has a short diameter antenna among the detection parts with which the conventional detection apparatus of FIG. 10 is provided.

符号の説明Explanation of symbols

34 アプリケータ
34H 上面(磁界面)
34E 側面(電界面)
36 小孔
37 検出部材
38 基板
39 アンテナ
40 検波ダイオード
41 LED
42 回路線
43a、43b スルーホール
50 マイクロ波可視センサー
34 Applicator 34H Upper surface (magnetic surface)
34E Side surface (electric field surface)
36 Small hole 37 Detection member 38 Substrate 39 Antenna 40 Detection diode 41 LED
42 Circuit lines 43a, 43b Through hole 50 Microwave visible sensor

Claims (3)

マイクロ波を受けるアンテナと、前記アンテナによって受けたマイクロ波を検波するダイオードと、前記ダイオードの検波にしたがって給電されて点灯する光源とから形成した検出部材を設け、
前記検出部材のアンテナを導波管に形成した小孔に対応させて配設させるようにして当該検出部材を導波管に備え、
前記検出部材の光源の点灯を視覚によって確認し、導波管内に存在するマイクロ波を検出する構成としたことを特徴とするマイクロ波可視センサー。
Provided is a detection member formed from an antenna that receives microwaves, a diode that detects microwaves received by the antenna, and a light source that is powered and lit according to detection of the diodes,
The detection member is provided in the waveguide so that the antenna of the detection member is disposed corresponding to the small hole formed in the waveguide,
A microwave visible sensor characterized in that lighting of a light source of the detection member is visually confirmed to detect a microwave existing in a waveguide.
基板の裏面には、マイクロ波を受けるアンテナを配設し、前記基板の表面には、スルーホールを介して前記アンテナと接続し、前記アンテナによって受けたマイクロ波を検波するダイオードと、このダイオードの検波にしたがって給電されて点灯する光源とを配設して形成した検出部材を設け、
前記検出部材のアンテナを導波管に形成した小孔に対応させて配設させるようにして当該検出部材の基板を導波管外面に固着し、
前記検出部材の光源の点灯を視覚によって確認し、導波管内に存在するマイクロ波を検出する構成としたことを特徴とするマイクロ波可視センサー。
An antenna for receiving microwaves is disposed on the back surface of the substrate, and a diode for detecting the microwaves received by the antenna is connected to the antenna surface through a through hole on the surface of the substrate, and Providing a detection member formed by arranging a light source that is powered and lit according to detection,
The substrate of the detection member is fixed to the outer surface of the waveguide so that the antenna of the detection member is disposed corresponding to the small hole formed in the waveguide,
A microwave visible sensor characterized in that lighting of a light source of the detection member is visually confirmed to detect a microwave existing in a waveguide.
基板の裏面には、マイクロ波を受けるアンテナを配設し、前記基板の表面には、スルーホールを介して前記アンテナと接続し、前記アンテナによって受けたマイクロ波を検波するダイオードと、このダイオードの検波にしたがって給電されて点灯する光源とを配設して形成した検出部材を、長形の基板の長手方向に沿って複数個配列し、
前記した各々の検出部材のアンテナを導波管の管軸方向に沿って形成した複数の小孔に配設させるようにして前記基板を導波管外面に固着し、
前記した各検出部材の光源の点灯状態を視覚によって確認し、導波管内のマイクロ波電界強度分布またはマイクロ波定在波位置を検出する構成としたことを特徴とするマイクロ波可視センサー。
An antenna for receiving microwaves is disposed on the back surface of the substrate, and a diode for detecting the microwaves received by the antenna is connected to the antenna surface through a through hole on the surface of the substrate, and A plurality of detection members formed by arranging a light source that is powered and turned on according to detection along the longitudinal direction of the long substrate,
The substrate is fixed to the outer surface of the waveguide so that the antenna of each detection member is disposed in a plurality of small holes formed along the tube axis direction of the waveguide,
A microwave visible sensor characterized in that a lighting state of a light source of each detection member described above is visually confirmed to detect a microwave electric field intensity distribution or a microwave standing wave position in a waveguide.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10677830B2 (en) 2017-07-13 2020-06-09 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for detecting microwave fields in a cavity
US11765796B2 (en) 2020-03-31 2023-09-19 Midea Group Co., Ltd. Microwave cooking appliance with leak detection
US11770882B2 (en) 2020-03-31 2023-09-26 Midea Group Co., Ltd. Microwave cooking appliance with user interface display
US11849526B2 (en) 2020-03-31 2023-12-19 Midea Group Co., Ltd. Microwave cooking appliance with increased visibility into the cavity
PL444021A1 (en) * 2023-03-09 2024-09-16 Uniwersytet Łódzki Device for testing the spatial distribution of energy in a standing microwave

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4338595A (en) * 1980-09-09 1982-07-06 Microwave Radiation Dector Corporation Microwave leakage detector
JPH0241174U (en) * 1988-09-13 1990-03-22
JP2000088902A (en) * 1998-09-16 2000-03-31 Rf Product:Kk Radio wave detector
JP2006322869A (en) * 2005-05-20 2006-11-30 Micro Denshi Kk Microwave detecting device
JP2008032528A (en) * 2006-07-28 2008-02-14 Tokyo Electron Ltd Standing wave measuring unit and standing wave measuring method in waveguide, electromagnetic wave utilizing apparatus, plasma processing apparatus, and plasma processing method

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4338595A (en) * 1980-09-09 1982-07-06 Microwave Radiation Dector Corporation Microwave leakage detector
JPH0241174U (en) * 1988-09-13 1990-03-22
JP2000088902A (en) * 1998-09-16 2000-03-31 Rf Product:Kk Radio wave detector
JP2006322869A (en) * 2005-05-20 2006-11-30 Micro Denshi Kk Microwave detecting device
JP2008032528A (en) * 2006-07-28 2008-02-14 Tokyo Electron Ltd Standing wave measuring unit and standing wave measuring method in waveguide, electromagnetic wave utilizing apparatus, plasma processing apparatus, and plasma processing method

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10677830B2 (en) 2017-07-13 2020-06-09 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for detecting microwave fields in a cavity
JP2020529000A (en) * 2017-07-13 2020-10-01 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated Methods and devices for detecting microwave fields in cavities
JP7441164B2 (en) 2017-07-13 2024-02-29 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Method and apparatus for detecting microwave fields in cavities
US11765796B2 (en) 2020-03-31 2023-09-19 Midea Group Co., Ltd. Microwave cooking appliance with leak detection
US11770882B2 (en) 2020-03-31 2023-09-26 Midea Group Co., Ltd. Microwave cooking appliance with user interface display
US11849526B2 (en) 2020-03-31 2023-12-19 Midea Group Co., Ltd. Microwave cooking appliance with increased visibility into the cavity
US12200849B2 (en) 2020-03-31 2025-01-14 Midea Group Co., Ltd. Microwave cooking appliance with user interface display
US12225652B2 (en) 2020-03-31 2025-02-11 Midea Group Co., Ltd. Microwave cooking appliance with increased visibility into the cavity
PL444021A1 (en) * 2023-03-09 2024-09-16 Uniwersytet Łódzki Device for testing the spatial distribution of energy in a standing microwave
PL246861B1 (en) * 2023-03-09 2025-03-17 Univ Lodzki Device for testing the spatial distribution of energy in a standing microwave

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