JP2010000649A - 記録ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】吐出された液滴の着弾精度を向上し、記録画像の高画質化、高速化を図ること。
【解決手段】本発明の記録ヘッドＩＪＨには、インク供給口５００から圧力室２００にインクが供給されるインク供給方向に直交する方向への幅が、インク供給方向に直交する方向への圧力室の幅よりも小さく形成されたインク流路を有している。そして、記録ヘッドＩＪＨにおいて、ヒータ４００のインク供給方向に沿う中心が、圧力室２００のインク供給方向に沿う中心よりも圧力室２００におけるインク供給方向の奥側へオフセットされて配置されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、記録媒体に対して液体を吐出する記録ヘッドに関する。

近年、記録ヘッドが記録媒体に対向して配置され、記録ヘッドよりインク滴を吐出して記録媒体に記録が行われるインクジェット記録装置が急速に普及している。このようなインクジェット記録装置は小型化が容易であり、また比較的簡単にカラー記録を行うことができるなどの利点を有している。インクジェット記録装置としては、例えば、特許文献１に開示されているものがある。このようなインクジェット記録装置においては、記録によって得られる画像の品質を高めるために様々な手法が用いられている。

記録がインクジェット記録装置を用いて行われることにより、中間の階調を表現するのに、一定サイズの記録ドットにより単位面積当たりの記録ドット数を制御するドット密度制御法によって記録を行うことが可能となる。そのような制御手段としては、インク滴のサイズの異なったノズルを設け、画像の明部から中間部分は小さいインク滴で記録ドットを形成し、中間調部分から暗部までは大きいインク滴で記録ドットを形成するような記録方法が提案されている。

このように、吐出する液滴の流量の異なる吐出口が形成された記録ヘッドを用いて記録を行うインクジェット記録装置としては、例えば、特許文献２に開示されているものがある。このようなインクジェット記録装置においては、記録ヘッドにおける吐出口径、インク流路の断面積、流抵抗等の条件の異なる複数種類の吐出口が記録ヘッドに形成され、これによって複数種類の液滴を吐出することを可能とすることが知れられている。

一方、高画質化の要求に対し、記録の際に吐出される液滴について、さらなる小液滴化を目指したとき、そのまま液滴を吐出したのであれば液滴の吐出量が少なくなるので、単位面積あたりに必要な吐出量を打ち込むことができなくなる。そのため、小液滴化のために吐出口の径を小さくすると、これに伴いノズル列解像度を上げる必要があるが、これにも限界がある。一般に吐出される液滴について小液滴化を進めていくと、吐出における効率が低下することが既に知られている。また、ノズル解像度を向上させるためにノズル密度を高くしていくと、ノズルを配列する上で、ノズル解像度に対する因子としてヒータサイズの関与する比率が非常に大きくなる。そして、さらにノズル密度を上げていくと、ヒータ自体の大きさがノズルの配列に影響を与えてしまい、ヒータに配線を通すことが難しくなり、最後にはヒータが一列に並ばなくなる。また、ヒータに限らず、インクを供給する流路についても同じことが言える。インク流路自体の大きさがノズル密度の向上を妨げてしまうことが考えられる。

そのため、特許文献３に示すようなヒータを交互に千鳥状に並べ、ドット径の異なる複数の吐出口を千鳥に配置した発明も開示されている。

また、特許文献４に示すようなヒータを交互に千鳥状に並べ、流路の流抵抗を工夫した発明も開示されている。

特開平４−１０９４１号公報 特開２００３−３１１９６４号公報 特開２００５−１３７９号公報 特開２００６−３１５３９５号公報

しかしながら、上述のような対策を行ったとしても記録の結果得られる画像の品質が低下してしまうことがある。

例えば、インクジェット記録装置における記録ヘッドには、インク供給口に供給されたインクが共通液室に供給され、記録素子が内部に配置された圧力室に、インク流路を介してインクが供給されるものがある。そして、そのような記録ヘッドにおいて、圧力室の流路幅の大きさが、インク流路の流路幅よりも大きく形成されている形式の記録ヘッドが採用されることがある。このように、記録ヘッドの圧力室と共通液室との間で延びているインク流路の流路幅が比較的狭く形成されることで、インク流路内部に貯留されているインクの流抵抗を増大させ、インク流路内のインクを移動させ難くすることができる。インク流路内のインクが移動し難いので、圧力室内部でエネルギー発生素子を駆動させた際に、発泡エネルギーの共通液室方向への逃げを少なくすることができる。結果的に、エネルギー発生素子によって発生させられたエネルギーのうち多くのエネルギーがインクの吐出に用いられるようになり、インクの吐出が効率的に行われるようになる。

ところが、このようにインク流路の流路幅を圧力室よりも狭めて形成することで、圧力室におけるインク流路との境界部分に、流路の内方に向かって壁面が形成される。そして、エネルギー発生素子を駆動させた際に生成される気泡が、圧力室の壁面のうちのインク供給口側の壁面と接触する虞が生じる。気泡がこの部分の壁面と接触すると、気泡が変形し、気泡の形状が対称的でなくなる虞が生じる。これにより、気泡の形状に偏りが生じ、インクが真っ直ぐに吐出されない虞が生じる。

このようにインクが真っ直ぐに吐出されなくなってしまうと、インクの尾引き部分の一部がちぎれて分離し主滴から離れることで液柱の副滴（サテライト）が発生する虞がある。一般に、インクジェット記録装置における記録ヘッドからの吐出においては、吐出される液滴は、主滴とその後方に続くサテライトと言われる副滴に分けられる。このようにサテライトが発生してしまうと、サテライトが主滴と異なる方向に飛翔する。そして、そのサテライトの着弾によって、記録画像の粒状性に影響を与え、ドットの濃密差によるスキャン境界の濃度ムラやスジ等が発生し、これによって記録画像が影響を受けることが分かってきている。

現状ではこの着弾ずれによる記録画像への影響を回避するために、キャリッジの速度を落として、実質的にサテライトの影響を小さくしたり、マルチパス数を増やして、記録速度を落としたりすることで対策を行っている。しかしながら、記録の高画質を維持しつつ記録速度を向上させるには、主滴だけでなくサテライトによる着弾精度を向上させることが必要となってきている。

また、さらなる問題として、近年の更なる小液滴化に伴いこのサテライトがさらに細かくなると、これが装置周辺で浮遊し、記録装置に付着して機内汚れの問題を引き起こしている。

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、さらなる高画質化、高速化の要求に対し、吐出された液滴の着弾精度を向上し、記録画像の高画質化、高速化を図ることを目的とする。

本発明の記録ヘッドは、液体供給口から供給される液体を貯留する圧力室と、前記圧力室に配置され、前記圧力室に貯留されている液体に付与するためのエネルギーを発生させる記録素子と、前記圧力室に連通し、前記記録素子によってエネルギーが付与された液体を吐出するための吐出口と、前記液体供給口から前記圧力室に供給される液体が通り、前記液体供給口から前記圧力室に液体が供給される液体供給方向に直交する方向への幅が、前記液体供給方向に直交する方向への前記圧力室の幅よりも小さく形成された液体流路とを有するノズルを複数具えた記録ヘッドにおいて、前記記録素子の前記液体供給方向に沿う中心は、前記圧力室の前記液体供給方向に沿う中心よりも前記圧力室における前記液体供給方向の奥側へオフセットされて配置されていることを特徴とする。

本発明によれば、記録ヘッドから液滴が吐出される際に、記録素子によって発生させられる気泡の変形が抑えられた状態で液滴を吐出することができる。従って、吐出される液滴が、気泡の変形によって影響を受けずに済み、所定の位置に、より正確に液滴を吐出することができる。

（第一実施形態）
以下添付図面を参照して本発明の第一実施形態について詳細に説明する。

＜装置本体の概略説明＞
図１は、本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドとしての記録ヘッドを用いたインクジェット記録装置ＩＪＲＡの斜視図が示されている。図１に示されるインクジェット記録装置ＩＪＲＡはキャリッジＨＣを備えており、キャリッジＨＣには、インクジェットカートリッジＩＪＣが搭載されている。本実施形態においては、インクジェットカートリッジＩＪＣとしては、記録ヘッドＩＪＨとインクタンクＩＴとが一体型として内蔵されて形成されている。なお、本実施形態においてはインクジェットカートリッジＩＪＣは記録ヘッドＩＪＨとインクタンクＩＴとが一体型として形成されているが、本発明はこれに限定されず、それぞれが分離可能に形成され、使用の際に組み立てられる形式のものであっても良い。キャリッジＨＣは、ガイドレール５００３の延びる方向に移動可能にガイドレール５００３に支持されている。そして、キャリッジＨＣは、ガイドレール５００３に沿って図１の矢印ａ、ｂ方向に往復移動しながら記録媒体に液滴を吐出することで記録を行う。

５０１６は記録ヘッドＩＪＨの前面をキャップするキャップ部材５０２２を支持する部材で、５０１５はこのキャップ内を吸引する吸引器である。これらの吸引回復部材が記録ヘッドＩＪＨに吸引回復を行う際には、キャップ部材５０２２が記録ヘッドＩＪＨの吐出口をキャップし、キャップ内開口５０２３を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。

＜制御構成の説明＞
次に、上述したインクジェット記録装置ＩＪＲＡについての記録制御を実行するための制御構成について説明する。

図２は、インクジェット記録装置ＩＪＲＡの制御回路の構成を示すブロック図である。以下、制御構成の動作について説明する。まず、インタフェース１７００に記録信号が入るとゲートアレイ１７０４とＭＰＵ１７０１との間で記録信号が記録に用いられるための記録データに変換される。そして、モータドライバ１７０６、１７０７が駆動されると共に、ヘッドドライバ１７０５に送られた記録データに従って記録ヘッドＩＪＨが駆動され、記録が行われる。

＜記録ヘッドの構成についての説明＞
次に本発明におけるインクジェット記録ヘッドＩＪＨについて説明する。

本実施形態におけるインクジェット記録ヘッドとしての記録ヘッドＩＪＨは、液体としてのインクを吐出するために利用されるエネルギーとして熱エネルギーを発生する手段の記録素子としてのヒータを備えている。そして、そこで発生させられた熱エネルギーによってインク内部で膜沸騰を生じさせ、インクに相変化を生起させている。そして、膜沸騰によって発生させられた気泡によってインクに運動エネルギーを与えることでインクが吐出口から吐出されている。本実施形態における記録ヘッドＩＪＨにおいては、このような方式が用いられることにより、記録される文字や画像等の高密度化および高精細化が図られている。

本実施形態のインクジェット記録ヘッドの全体構成について述べる。図３には、本実施形態における記録ヘッドＩＪＨの一部が破断されて、記録ヘッドＩＪＨの内部の構造の一部が示された斜視図が示されている。本実施形態の記録ヘッドＩＪＨは、素子基板１５０と流路形成部材１１１とが互いに接合されて形成されている。素子基板１５０には、記録素子としての複数のヒータ４００が設けられている。そして、流路形成部材１１１には複数のインクの流路が形成され、素子基板１５０の主面に積層されて接合されている。

素子基板１５０は、一般にはＳｉによって形成されている。なお、Ｓｉ以外の材料によって形成されていても良く、例えば、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等によって形成されていても良い。素子基板１５０の主面上には、それぞれのノズルに形成されたそれぞれのインクの流路毎に、ヒータ４００と、このヒータ４００に電圧を印加する電極（図示せず）と、この電極に接続された配線（図示せず）が所定の配線パターンでそれぞれ形成されている。また、素子基板１５０の主面には、蓄熱の発散性を向上させる絶縁膜（図示せず）が、ヒータ４００を被覆するように設けられている。また、素子基板１５０の主面には、気泡が消泡した際に生じるキャビテーションから保護するための保護膜（図示せず）が、絶縁膜を被覆するように設けられている。

流路形成部材１１１は、図３に示されているように、インクが流動する複数のノズル３００と、これら各ノズル３００にインクを供給するインク供給口５００を有している。インク供給口５００とノズル３００との間には、共通液室７００が形成されている。また、それぞれのノズル３００は、その先端開口である複数の吐出口１００を有している。吐出口１００は、素子基板１５０上のヒータ４００に対応している位置に形成されている。

この記録ヘッドＩＪＨは、図３に示されるように、素子基板上に複数のヒータ４００および複数のノズル３００を有する。そして、それぞれのノズル３００は、インク供給口５００の延びる方向と平行な方向に並べられた二列のノズル列を構成するように形成されている。これらのノズル列は、インク供給口５００を挟んでインク供給口５００の両側部に位置するように形成されている。これらのノズル列は、隣接する各ノズルの間隔が６００ｄｐｉ〜１２００ｄｐｉのピッチとなるように形成されている。また、本実施形態においては、一方のノズル列における隣接する各ノズル間のピッチが、他方のノズル列における対応するノズルにおける隣接する各ノズル間のピッチ対して半ピッチ分ずれて千鳥状に形成されている。

以下に、本実施形態における記録ヘッドＩＪＨの主要部となるノズル構造について説明する。

図４（ａ）には、本実施形態における記録ヘッドＩＪＨのノズル構造について、液滴を吐出する方向から見たノズル内部を示す断面図が示されている。また、図４（ｂ）には、記録ヘッドＩＪＨの複数のノズルのうちの１つのノズルについて、Ｂ−Ｂ’線に沿う断面図が示されている。

本実施形態における記録ヘッドＩＪＨのノズル３００は、圧力室２００と、記録素子としてのヒータ４００と、吐出口１００と、液体流路としてのインク流路６００とを有している。圧力室２００は、記録を行うために液体供給口としてのインク供給口５００から供給される液体としてのインクを内部に貯留している。ヒータ４００は、圧力室２００の内部に配置されており、圧力室２００に貯留されているインクに付与するためのエネルギーを発生させる。本実施形態では、ヒータ４００は、電気エネルギーを熱エネルギーに変換することで、インクに付与するための熱を発生させている。吐出口１００は、圧力室２００に連通して形成されており、ヒータ４００によってエネルギーが付与されたインクを記録媒体に吐出する。

そして、ノズル３００において、圧力室２００と、インク供給口５００の周囲に形成されている共通液室７００との間には、インク流路６００が形成されている。インク流路６００には、インク供給口５００から圧力室２００の内部に供給されるインクが通っている。インク流路６００におけるインク供給方向に直交する方向への幅は、インク供給方向に直交する方向への圧力室２００の幅よりも小さく形成されている。ここで、液体供給方向としてのインク供給方向とは、インク供給口５００から圧力室２００にインクが供給される方向のことをいうものとする。

ノズル３００におけるインク流路６００がこのように形成されているので、インク流路６００の一端が圧力室２００に連通するとともに他端がインク供給口５００の周囲の共通液室に連通されている。本実施形態における圧力室２００とインク供給路３００の境界は、ノズル列方向の幅が変化しているところであり、インク供給方向に直交する方向に沿って流路の幅が広くなっている部分である。

図４（ｂ）に示されるように、本実施形態においては、ヒータ４００が圧力室２００の内部に配置されると共に吐出口１００が圧力室２００に連通するように形成されている。そして、吐出口１００からインクが吐出される吐出方向と、インクがインク供給口５００から圧力室２００に供給される際のインク供給方向とが直交するようにノズル３００が形成されている。

次に、図４において、本実施形態における各部の寸法について説明する。本実施形態においては、ノズル列における吐出口が並べられている方向へのノズルピッチは４２．３μｍ（６００ｄｐｉ）である。ヒータ４００は、１２μｍ×２８μｍの長方形であり、その縦横比は１／２以下である。吐出口１００は、短径が１０μｍで長径が１２．５μｍの長円となっており、厚みは１１μｍとなっており吐出量は約２ｐｌである。また、圧力室２００はノズル列方向の幅は１９μｍ、長さは４５μｍでヒータ４００と圧力室２００の奥壁及び側壁とのクリアランスは約３．５μｍで、ヒータ４００のノズル流路側端から圧力室のインク流路３００側の壁とのクリアランスは、１３．５μｍである。インク供給路３００の幅は１１μｍ、長さは１５．５μｍ、高さは１４μｍである。

そして、本実施形態の記録ヘッドＩＪＨでは、ヒータ４００のインク供給方向に沿う中心は、圧力室２００におけるインク供給方向に沿う中心よりも圧力室２００におけるインク供給方向の奥側へオフセットされて配置されている。

図４（ａ）に示されるように、本実施形態では、ヒータ４００は、ヒータ４００のインク供給方向に沿う中心Ｈ１ｃが圧力室２００のインク供給方向の中心Ｃ１ｃに対して５μｍオフセットされて配置されている。そして、圧力室２００におけるインク供給口に近い側の領域には、ヒータ４００が配置されずに気泡の生成に関与しない空間が比較的大きく取られている。

このヒータ４００のインク供給方向に沿う中心が、圧力室２００のインク供給方向の中心Ｃ１ｃに対して奥側にオフセットされてヒータ４００が配置されることについての効果について、図５、図６を用いて説明する。

図５（ａ）には、本実施形態における記録ヘッドからインクが吐出される際の記録ヘッドを吐出方向に見た断面図が示されており、図５（ｂ）には、液滴が吐出されている際の図５（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図が示されている。また、図６（ａ）には、本発明が適用されない比較例としての記録ヘッドからインクが吐出される際の記録ヘッドを吐出方向に見た断面図が示されており、図６（ｂ）には、液滴が吐出されている際の図６（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図が示されている。

図５、図６に示される記録ヘッドにおいては、どちらもヒータ４００と流路形成部材１１１が製法上何らかの理由でずれて配置されたノズルについて示されている。また、図５（ａ）、図６（ａ）にはそれぞれヒータ４００が発熱した際に、気泡が最大発泡となった時間での気泡４０１についても示されている。図５（ｂ）、図６（ｂ）は、生成された気泡が大気と連通した後の状態であり、吐出された液滴の尾引き４０２が切れていない状態が示されている。

図５、図６に示されるように、ヒータ４００が駆動されることにより気泡４０１が生成され成長すると、気泡４０１はインク供給口側にも成長する。このとき、図６（ａ）、（ｂ）に示される従来の記録ヘッドでは、ヒータ４００とインク流路６００との間隔が比較的小さく形成されている。従って、気泡４０１におけるインク供給口に近い側の部位が、圧力室２００とインク流路６００との境界部分における内方に突出した壁面に干渉し接触する虞が生じる。このとき、気泡４００と圧力室２００の壁面とが接触することから気泡４００が変形し、気泡４００の形状が対称的な形状とならなくなる。もし、このように生成された気泡の形状が対称的にならずに非対称な形状となった場合、ヒータ４００上で気泡４００の位置が偏ってしまい、気泡が均等に吐出方向に成長しなくなる虞がある。このように気泡が偏って成長した場合、吐出される液滴は、図６（ｂ）に示されるように吐出方向に真っ直ぐに吐出されなくなり、液滴の着弾精度の低下を招いてしまう虞が生じる。

また、主滴の後に続くサテライトと呼ばれる微小な液滴が、主滴と分離して飛翔することがある。もし、尾引きが主滴の吐出方向と異なる方向を向いている場合、このサテライトがさらに発生しやすくなる。そして、このサテライトが細かく分裂して発生した場合、これが主滴と異なる位置に着弾することにより、記録によって得られる画像の劣化を招くだけでなく、浮遊ミストとなって記録装置に付着して機内を汚してしまう虞がある。さらには、例えばサテライトがキャリッジのエンコーダー等の測定機器に付着した場合、これらの測定機器が測定できなくなる等の問題を引き起こす虞がある。

これに対して、図５（ａ）、（ｂ）に示される本実施形態の記録ヘッドでは、ヒータ４００は、ヒータ４００のインク供給方向に沿う中心が圧力室２００のインク供給方向に沿う中心に対してインク供給方向の奥側へオフセットされるように配置されている。従って、ヒータ４００における最もインク供給口５００側の部位とインク流路６００との間に比較的大きなスペースが確保されている。このため、気泡４０１が成長しても、気泡４０１が圧力室２００の壁面におけるインク供給口５００側の部分と接触することが抑えられる。従って、液滴を吐出するために気泡が生成されて成長していく過程で、気泡の変形が抑えられる。これにより、気泡が圧力室２００の内部で対称的な形状を保ったまま液滴を吐出することができ、液滴が所定方向に真っ直ぐ吐出されるので、液滴の着弾精度の低下を招かずに液滴の高い着弾精度を保つことができる。

本実施形態では、ヒータ４００は、ノズル３００のインク供給方向に沿って長辺が形成され、インク供給方向に直交する方向に沿って短辺が形成されるように圧力室２００の内部に配置されている。そして、ヒータ４００の短辺の長さは、長辺の長さの１／２以下となるように形成されている。ヒータ４００が正方形の場合では、尾引きの曲がりは小さく、画像劣化やミストの問題は起き難い。また、吐出口が小さい方、すなわち液滴の吐出量が小さい方が特に尾引きへの影響が大きいことが分かっている。また、ヒータ４００と流路形成部材１１１のずれ量は、１μｍ以下でも影響が生じることが分かっている。これを回避することは、現在の記録ヘッドの製造技術では非常に困難であることが分かっている。

このように、上述の問題はヒータ４００が長方形で、かつ図４、５に示されるようにインク供給方向に平行に延びる長辺を有するように配置されることで吐出の際のインクの尾引きへの影響が特に顕著になることが分かっている。このような記録ヘッドでは、ヒータ４００と流路形成部材１１１が製法上何らかの理由でずれて配置された場合、尾引きが大きく曲がってしまう。

従って、製造の段階での加工や組立の際の精度を考慮すると、ヒータの形状は長方形よりも正方形に近い形状の方が好ましい。ところが、高品質の画像を得るために画素数を増やすことが求められ、このため記録ヘッドのノズル密度を高くすることがインクジェット記録装置に求められる場合がある。そして、記録ヘッドにおけるノズル密度を高めるために、圧力室をインク供給方向に沿った長辺を有する長方形の形状とし、それに伴いヒータを同様の形状に形成する場合が考えられる。

しかしながら、このようにヒータ４００が長方形で、インク供給方向に平行に延びる長辺を有するように配置される記録ヘッドにおいては、上述のようにヒータと流路形成部材との間のずれによる影響が大きい。そのため、このような圧力室及びヒータをインク供給方向に沿った長辺を有する長方形の形状とした記録ヘッドにおいて本発明が適用されると、本発明による効果は大きい。

以上のように、本実施形態の記録ヘッドＩＪＨによれば、図５（ａ）に示されるようにヒータ４００が、ヒータ４００のインク供給方向に沿う中心と圧力室２００のインク供給方向に沿う中心とがオフセットされるように配置される。従って、気泡４０１が生成されて成長しても内方に突出した壁面に干渉することが抑えられる。従って、消泡過程においても気泡の対称的な形状が保たれ、図５（ｂ）に示されるように流路形成部材１１１がずれて接合されても液滴が真っ直ぐに所定方向に吐出されることになる。このとき、インク滴の尾引きが若干曲がる可能性があるものの、従来のノズルほどの曲がりが生じることはない。これにより、吐出される液滴の着弾精度が高く保たれ、記録によって得られる画像の品質が高く保たれる。また、サテライトの吐出方向が主滴に従って直進性が向上し、かつ細かく分裂し難くなる。また後方のサテライトの方が主滴よりも速度が速い場合には、サテライトの直進性が高いためサテライトが合体することになる。従って、主滴と異なる位置にサテライトが着弾することで、記録画像の画像劣化を引き起こすことを抑えることができる。また、記録ヘッドと記録媒体との間に浮遊ミストが生じることを抑えることができる。

（第二実施形態）
次に、本発明の第二実施形態について図７を参照して説明する。なお、上記第一実施形態と同様に構成できる部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。

図７は本発明の第二実施形態による記録ヘッドＩＪＨ’のノズル構造を示している。図７（ａ）はインクジェット記録ヘッドＩＪＨ’の複数のノズルのうち要部についてインクの吐出方向に見たノズル内部を示す断面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿った断面図、図７（ｃ）は図７（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿った断面図である。

第二実施形態の記録ヘッドＩＪＨ’は、圧力室が、インク供給口５００の一方の側で、インク供給方向に直交する方向にインク供給口５００からの距離の異なる二種類が交互に複数配置されて千鳥状に形成されている点で第一実施形態と異なっている。

図７において、圧力室は、第一の圧力室２１０と、第一の圧力室２１０よりもインク供給口５００からの距離が短い位置に形成された第二の圧力室２２０とを有している。そして、第一の圧力室２１０に配置されている第一の記録素子としての第一のヒータ４１０の面積は、第二の圧力室２２０に配置されている第二の記録素子としての第二のヒータ４２０の面積よりも小さくなるように形成されている。

本実施形態における各部の寸法は、ノズル列が延びている方向についてのノズルピッチは長いノズルと短いノズルがそれぞれ一方のノズル列で４２．５μｍ（６００ｄｐｉ）のピッチで配置されている。そして、これらのノズル列が千鳥状に配置されることで、記録ヘッドＩＪＨ’としては１２００ｄｐｉのノズル解像度を実現している。

インク供給口５００からの距離の大きい方のノズル（以下、長ノズルとも言う）３１０における第一のヒータ４１０においては、１０×２８．２μｍの長方形の形状を有している。長ノズル３１０は、第一の圧力室２１０を有しており、第一の圧力室２１０の内部には第一のヒータ４１０が配置されている。また、インク供給口５００からの距離の小さい方のノズル（以下、短ノズルとも言う）３２０においては、ヒータは、１２μｍ×２８μｍの長方形の形状を有している。短ノズル３２０は、第二の圧力室２２０を有しており、第二の圧力室２２０の内部には、第二のヒータ４２０が配置されている。これらのヒータ形状の縦横比は、共に１／２以下とされ、短辺の長さが、長辺の長さの１／２以下となるように形成されている。

また、インク供給口５００から比較的長い距離の位置に形成されている圧力室２１０に配置されているヒータの方が、インク供給口５００からの距離の近い位置に形成されている圧力室に配置されているヒータよりも面積が小さい。これは、インク供給口５００から遠いヒータは流路が長いことによってその区間での流抵抗が大きいので、そのようなノズルでは比較的リフィル時間が長くなることによる。また、本実施形態では、ヒータ及び吐出口の中心が圧力室の中心に対してオフセットされているので、その分のオフセット量を入れるとさらにリフィル時間が長くなる。そのため、インクの吐出量を減少させて、リフィル時間を短縮させるために、インク供給口から遠い位置にある圧力室内部のヒータの面積を小さくする構成としている。

ノズルの高さ寸法は第一実施形態と同様である。また、長いノズルの吐出口１００は直径９μｍの円形で吐出量は約１ｐｌ、短いノズルの吐出口は、短径１０μｍ長径１２．５μｍの長円で吐出量は約２ｐｌとなっている。インク供給口から遠い吐出口の方が、インク供給口から近い吐出口より面積が小さい。このように、第一の圧力室に形成されている第一の吐出口の面積は、第一の圧力室よりもインク供給口からの距離が短い位置に形成された第二の圧力室に配置されている第二の吐出口の面積よりも小さくなるようにそれぞれの吐出口が形成されている。これは、インク供給口から圧力室までの距離が長く圧力室の内部に到達するまでのインクの流路が長いノズルでは、リフィル時間が長くなるため、リフィル時間を短縮するために吐出量を抑え、長いノズルを径の小さいノズルとした構成となっている。

また、これらの吐出口の直径は、いずれも１５μｍ以下であるように形成されている。

また、吐出口から吐出されるインク滴は、いずれもインク滴の体積が一回の吐出につき４ｐｌ未満であるように形成されている。

長ノズルにおける第一の圧力室２００はノズル列の延在する方向への幅は２２．５μｍ、ノズル列の延在する方向への幅に直行する方向への長さは４１．２μｍで、第一のヒータ４００と第一の圧力室２００の奥壁との間隔は約２．５μｍである。また、ヒータのインク供給口側の端部から圧力室のインク供給口側の壁面との間の間隔は、１０．５μｍである。インク供給路３００の幅は１０μｍ、長さは６７μｍである。

長ノズル３１０においては、第一の圧力室２１０のインク供給方向の中心Ｃ２ｃと第一のヒータ４１０のインク供給方向の中心Ｈ２ｃとは、３．８μｍオフセットされて配置されている。このように、第一の圧力室２１０のインク流路に近い位置にはヒータが存在せずに気泡の生成に関与しないスペースが比較的多く確保されている。また、本実施形態では、第一のヒータ４１０のインク供給方向の中心Ｈ２ｃと吐出口中心Ｓ２ｃとの間も５μｍオフセットされて吐出口１１０が形成されている。

短ノズルとしての第二の圧力室２２０はノズル列方向の幅は１９μｍ、長さは４５μｍで第二のヒータ４２０と圧力室２２０の奥壁及び側壁とのクリアランスは約３．５μｍである。また、第二のヒータ４２０のインク供給口側の端部から第二の圧力室２２０のインク流路側の壁とのクリアランスは、１３．５μｍである。インク供給路３００の幅は１１μｍ、長さは１５．５μｍである。

また、短ノズル３２０においては、第二の圧力室２２０のインク供給方向の中心Ｃ１ｃと第二のヒータ４２０のインク供給方向の中心Ｈ１ｃとは、５μｍオフセットされて配置されている。このように、第二の圧力室２２０におけるインク流路に近い位置には、ヒータ４２０が存在せずに気泡の生成に関与しないスペースが確保されている。また、第二のヒータ４２０のインク供給方向の中心Ｈ１ｃと吐出口中心Ｓ１ｃとの間で４．５μｍオフセットされて吐出口１２０が形成されている。

また、本実施形態では、ヒータの面積が大きい短ノズル３２０における第二の圧力室中心と第二のヒータ中心とのオフセット量Ｈｄ１は、ヒータ面積の小さい長ノズル３１０でのオフセット量Ｈｄ２より大きい構成としている。オフセット量としては、ヒータで発生した気泡がノズル流路の狭部に干渉させない程度に、適度な量をオフセットさせることが好ましい。このとき、むやみにオフセット量を大きくすることは、その分リフィルにかかる時間を遅くしてしまう。従って、ヒータの大きさやその他の条件に応じて適度な量のオフセットを形成するノズル構成が好ましい。

結果的に、圧力室はインク供給口からの距離が異なるように複数形成され、それぞれの圧力室に配置されているヒータは、圧力室のインク供給口からの距離に応じた面積を有していることになる。そして、本実施形態では、圧力室におけるインク供給口からの距離が小さい程、ヒータが大きい面積を有しており、ヒータの面積が大きい程、ヒータのインク供給方向に沿う中心と圧力室のインク供給方向に沿う中心との間のオフセット量が大きい。

また、本実施形態においては、吐出口は、そのインク供給方向の中心が記録素子としてのヒータのインク供給方向に沿う中心よりも圧力室の奥側へオフセットされて形成されている。インクが吐出される際には、生成された気泡の奥側の部分によって貯留されているインクが押出されて吐出口から吐出されることになる。従って、もし生成された気泡が圧力室におけるインク供給口側の壁面に接触して気泡が変形したとしても、気泡における変形した部分から遠い位置の部位によって押出されてインクが吐出されることになる。従って、気泡の変形が吐出に影響を与えることを抑えることができる。これにより、気泡の変形によって吐出されるインクが所定の吐出方向と異なる方向に吐出されることが抑えられ、吐出されるインクの着弾精度が高く維持される。

（第三実施形態）
次に、本発明の第三実施形態の記録ヘッドＩＪＨ’’について図８を参照して説明する。なお、上記第一実施形態及び第二実施形態と同様に構成できる部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。

図８は本発明の第三実施形態によるインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示している。図８（ａ）は記録ヘッド’’における要部をインク吐出方向に見たノズル内部を示す断面図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図、図８（ｃ）は図８（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿う断面図である。

第三実施形態の記録ヘッド’’は、第一の圧力室及び第二の圧力室が、記録素子の配置された主圧力室２１０、２２０と、主圧力室と吐出口との間に形成された副圧力室２１２、２２２とを有している点で第二実施形態と異なる。副圧力室２１２、２２２は、インク供給口５００からの距離の長い位置に配置されている第一のノズル３１０と、インク供給口５００からの距離の短い位置に配置されている第二のノズル３２０とのいずれにも形成されている。そして、液滴が吐出される吐出方向に見た副圧力室２１２、２２２の面積は、主圧力室２１０、２２０を吐出方向に見た面積よりも小さく、吐出口１１０、２１０を吐出方向に見た面積よりも大きい。本実施形態では、副圧力室２１２、２２２は、記録ヘッドによるインクの吐出効率を向上させるために形成されている。

図８において、本実施形態における副圧力室２１２、２２２以外の各部の寸法については、図２における第二実施形態と同様である。長ノズル３１０の副圧力室２１２の寸法は短径１９μｍ長径２８．２μｍの長円、短ノズル３２０の副圧力室２２２の寸法は短径１６．５μｍ長径２８μｍの長円で高さは６μｍ、その分吐出口の高さが小さくなり５μｍとされている。

（第四実施形態）
次に、本発明の第四実施形態の記録ヘッドＩＪＨ’’’について図９を参照して説明する。なお、上記第一実施形態ないし第三実施形態と同様に構成できる部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。

図９は本発明の第四実施形態によるインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示している。図９（ａ）は、記録ヘッドの要部をインクの吐出方向に見た際のノズル内部を示す断面図であり、図９（ｂ）は図９（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図、図９（ｃ）は図９（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿う断面図である。

第四実施形態の記録ヘッドにおいては、短ノズル３３０の圧力室２３０内部に配置されたヒータ４３０が正方形の形状を有している点で他の実施形態と異なる。

図９の記録ヘッドＩＪＨ’’’において、各部の寸法については、長ノズル３１０に関しては第二実施形態と同様である。また、短ノズル３３０に関しては、ヒータ４３０は１７μｍ×１７μｍの正方形で、吐出口１３０は直径９μｍの円形で吐出量は約１ｐｌである。圧力室２３０はノズル列方向への幅、インク供給方向への長さが共に２１μｍで、ヒータ４３０の端部と圧力室２３０のクリアランスは約２．０μｍである。

本実施形態では、短ノズル３３０に正方形ヒータ４３０を用いているので、短ノズル３３０のインクにおける流抵抗を低減させ、リフィル時間を短縮させる構成としている。また、流路における流抵抗が低減されるので、吸引回復を行う際にはインクの回収を効率的に行うことができ、吸引回復による回復性が良好になる。前述のような圧力室とヒータとの間のオフセットについては、長方形ヒータに対する諸問題を回避するためのものであるため、そのようなオフセットが長方形のヒータを有するノズルのみに適用された構成である。本実施形態の短ノズル３３０においては、圧力室２３０及びヒータ４３０の形状が正方形の形状を有しているので、そのような圧力室とヒータとの間のオフセットについては適用されない。また、これらの圧力室及びヒータと、吐出口との位置関係についても同様である。従って、圧力室２３０におけるインク供給方向の中心Ｃ２ｃ、ヒータ４３０のインク供給方向の中心Ｈ２ｃ、吐出口中心Ｓ２ｃは、全て同じ位置となっている。

（第五実施形態）
次に、本発明の第五実施形態の記録ヘッドＩＪＨ’’’’について図１０を参照して説明する。なお、上記第一実施形態ないし第四実施形態と同様に構成できる部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。

図１０には、本発明の第五実施形態による記録ヘッドＩＪＨ’’’’のノズル構造が示されており、記録ヘッドＩＪＨ’’’’を吐出方向に見た際の要部のノズル内部を示す断面図が示されている。

第五実施形態の記録ヘッドＩＪＨ’’’’は、インク供給口５００を挟んで、一方の側と他方の側とで異なる種類の圧力室が形成されている点で異なる。一方の側には、第二実施形態と同様に長ノズル３１０と短ノズル３２０とが交互に形成されて、吐出口１１０、１２０が千鳥状に配列されたノズル列が形成されている。また、インク供給口５００を挟んで他方の側には、比較的吐出量の大きいノズル３３０が形成されている。

図１０において、長ノズル３１０と短ノズル３２０とが交互に形成されたノズル列では、各部の寸法は、第二実施形態と同様の寸法を有している。一方、その逆側のノズル３３０においては、ノズルピッチは４２．３μｍ（６００ｄｐｉ）であり、ヒータ４００は２６μｍ×２６μｍの正方形の形状を有している。正方形のヒータ４３０を有するノズル列では、吐出口１３０は、直径１６．５μｍの円形で吐出量は約５ｐｌである。正方形のヒータ４３０を有する圧力室２３０は、インク供給方向への長さ及びインク供給方向に直交する方向への幅の長さが共に３０μｍである。対岸のノズル列において、圧力室２３０のインク供給方向に沿う中心Ｃ３ｃ、ヒータ４３０のインク供給方向に沿う中心Ｈ３ｃ、吐出口１３０のインク供給方向に沿う中心Ｓ３ｃは全て一致している。

本実施例の正方形の形状のヒータ４３０を有する圧力室２３０ではヒータ４３０と圧力室２３０とがオフセットされておらず、リフィル時間や吸引回復性を優先した構成となっている。

（第六実施形態）
次に、本発明の第六実施形態の記録ヘッドＩＪＨ’’’’’について図１１を参照して説明する。なお、上記第一実施形態ないし第五実施形態と同様に構成できる部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。

本実施形態の記録ヘッドにおいては、インク供給口３０７の一方の側に形成された長方形のヒータ３０１を有する圧力室のインク流路側の一部がテーパ状に形成されている点で上述の実施形態と異なる。そして、本実施形態における圧力室の一部がテーパ状に形成されたノズルにおいては、長方形の圧力室３０３の内部に長方形のヒータ３０１が配置されている。そして、吐出口３０２のインク供給方向に沿う中心がヒータ３０１のインク供給方向に沿う中心からオフセットされるようにノズルが形成されている。

本実施形態の記録ヘッドＩＪＨ’’’’’の要部をインクの吐出方向に見た際の記録ヘッドＩＪＨ’’’’’内部の構造を示す断面図を図１１（ａ）に示し、さらにテーパ状に形成されたインク流路を有するノズルについて拡大した平面図を図１１（ｂ）に示す。本実施形態の記録ヘッドは第五実施形態と同様に、インク供給口を挟んで一方の側に正方形のヒータが配置された圧力室が形成され、他方の側に長方形のヒータが配置された圧力室が形成されている。

本実施形態では、正方形のヒータを有するノズルからは５ｐｌのインク滴が吐出されるように形成されており、長方形のヒータを有するノズルからは２ｐｌのインク滴が吐出されるように形成されている。

次に、ノズルの各部の寸法について説明する。本実施形態の記録ヘッドには、インク供給口３０７を挟んで一方に５ｐｌのインク滴を吐出可能なノズル列２０１が形成され、他方に２ｐｌのインク滴を吐出可能なノズル列２０２とが形成されている。このとき各ノズル列を構成するインク吐出口から吐出するインク滴の大きさが、それぞれすべて５ｐｌおよび２ｐｌである必要はなく、実質的にノズル列として、それぞれ５ｐｌおよび２ｐｌ程度の大きさであればよい。

ノズル列２０２を構成する吐出口３０２は、２ｐｌのインク滴を吐出可能な面積、具体的には、直径１１．６μｍの円に形成されている。吐出口に連通する圧力室３０３やインク流路３０４やヒータ３０１の寸法も、それに合わせて調整されている。具体的には、インク流路３０４は１０．５μｍの幅で形成されている。ヒータ３０１は、１３．６×２８μｍの長方形状で形成されている。圧力室３０３の長さ３０９は４３．５μｍに形成されている。圧力室３０３の幅３０８は、インク供給口３０７と反対側の端部においては１８．５μｍ、インク流路３０４と接続する部分においてはテーパ状に流路が狭められていることで１０．５μｍに形成されている。本実施形態では、ヒータ３０１の中心は、圧力室３０３の中心からオフセットされて形成されており、そのオフセット量は４８００ｄｐｉ程度である。また、吐出口３０２は、ヒータ３０１に対して、オフセットされて形成されている。具体的には、吐出口３０２が、ヒータ３０１に対して、インク供給口３０７と反対側に４μｍオフセットされて配置してある。インク流路３０４は共通液室３０５に連通している。共通液室３０５中には、ノズルフィルタ３０６が設けられている。ノズルフィルタ３０６は直径１４μｍの円柱で形成されている。

本実施形態では、インク流路の一部がインク供給口から圧力室に向かうにつれて流路の幅が広がるようにテーパ状に形成されているので、インクの流抵抗が低減され、リフィル速度が速くなり、また、吸引回復性についても良好になる。

（第七実施形態）
次に、本発明の第七実施形態の記録ヘッドＩＪＨ’’’’’’について図１２を参照して説明する。図１２には、第七実施形態についての記録ヘッドＩＪＨ’’’’’’の平面図が示されている。なお、上記第一実施形態ないし第六実施形態と同様に構成できる部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。

第七実施形態では、第六実施形態で示されたように、インク供給口の一方の側に形成されたノズル列の圧力室のインク供給口側領域の一部がテーパ状に形成されている。そして、インク供給口からの距離の異なる二種類のノズルが交互に並べられ、それらが千鳥状に並べられるようにノズル列が形成されている。

本実施形態では、記録ヘッドは、５ｐｌのインク滴を吐出可能なノズル列６０１と、２ｐｌのインク滴を吐出可能なノズル列６０２と、１ｐｌのインク滴を吐出可能な吐出口で構成されるノズル列６０３とを有している。ノズル列６０１を構成するノズルの形状およびノズル列６０２を構成するノズルの形状は第六実施形態と同様である。ノズル列６０３を構成する各インク吐出口７０２については、１ｐｌのインク滴を吐出可能な面積、具体的には、直径９μｍの円で形成されている。各インク吐出口に連通する圧力室７０３やインク流路７０４やヒータ７０１の寸法も、それに合わせて調整されている。具体的には、インク流路７０４は１０．５μｍの幅で形成されている。ヒータ７０１は、１２．２×２８μｍの長方形状に形成されている。圧力室７０３のインク供給方向に沿う長さ７０９は５４μｍに形成されている。圧力室７０３のインク供給方向に直交する方向に沿う幅７０８は、インク供給口７０７と反対側の端部においては１８．５μｍ、インク流路７０４と接続する部分においては１０．５μｍで形成されている。すなわち、圧力室７０３の一部における流路の幅について、インク供給口７０７に近づくにつれて流路の幅が狭まるようにテーパ状に形成されている。圧力室７０３の中心と、ヒータ７０１の中心とのオフセット量は２４００ｄｐｉ程度である。また、本実施形態でも第六実施形態と同様に、吐出口７０２は、ヒータ７０１に対して、オフセットされて形成されている。具体的には、吐出口７０２が、ヒータ７０１に対して、インク供給口７０７とは反対側に４μｍオフセットされて配置してある。このインクジェット記録ヘッドを用いて記録を行ったところ、１ｐｌのインク滴を吐出するノズル列６０３においても、記録によって得られた画像の品質は良好であった。

このように、本実施形態の記録ヘッドによれば、比較的小さなノズル列に対して本発明を適用することで、ヒータによる発泡の際に生成された気泡の形状の対称性が保たれるようなノズル構成としつつ、比較的小さなインク滴の吐出が可能となる。これにより、本実施形態の記録ヘッドＩＪＨ’’’’’’を用いて記録を行うことで、１ｐｌのような微小なインク滴を吐出する際にも良好に記録が行われることが確認された。

（その他の実施形態）
なお、上述の実施形態では、圧力室の形状については、ほぼ長方形のものと正方形のものとについて開示している。しかしながら、本発明のようにヒータと圧力室のインク供給口側の壁面との間にスペースが確保されていれば気泡の流路側への成長は圧力室の形状に依存しない。従って、圧力室の形状は長方形や正方形に限られない。また吐出口については、円形または長円のみについて開示されているが、矩形であっても星型であっても良く、吐出口の形状についてもこの限りではない。

なお、本明細書において、「記録」とは、文字、図形等有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わずに用いられる。また、人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広く記録媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、または記録媒体の加工を行う場合も表すものとする。

また、「記録媒体」とは、一般的な記録装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能なものを表すものとする。

さらに、「インク」（「液体」と言う場合もある）とは、上記「記録」の定義と同様広く解釈されるべきものである。記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成または記録媒体の加工、或いはインクの処理（例えば記録媒体に付与されるインク中の色剤の凝固または不溶化）に供され得る液体を表すものとする。

本発明の第一実施形態に係る記録ヘッドを搭載した記録装置の斜視図である。 図１の記録装置における記録システムの構成を示すブロック図である。 図１の記録装置における記録ヘッドの一部を破断して構造を示す斜視図である。 （ａ）は図３の記録ヘッドにおける要部を吐出方向に見て内部の構造を示した断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。 （ａ）は本発明を適用した記録ヘッドを用いてインクを吐出する際の記録ヘッドを吐出方向に見て内部の構造を示す断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。 （ａ）は比較例としての従来の記録ヘッドを用いてインクを吐出する際の記録ヘッドを吐出方向に見て内部の構造を示す断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。 （ａ）は本発明の第二実施形態に係る記録ヘッドの要部を吐出方向に見て内部の構造を示した断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿う断面図である。 （ａ）は本発明の第三実施形態に係る記録ヘッドの要部を吐出方向に見て内部の構造を示した断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿う断面図である。 （ａ）は本発明の第四実施形態に係る記録ヘッドの要部を吐出方向に見て内部の構造を示した断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿う断面図である。 本発明の第五実施形態に係る記録ヘッドの要部を吐出方向に見て内部の構造を示した断面図である。 （ａ）は本発明の第六実施形態に係る記録ヘッドの要部を吐出方向に見て内部の構造を示した断面図であり、（ｂ）は（ａ）の要部をさらに拡大した断面図である。 本発明の第七実施形態に係る記録ヘッドの要部を吐出方向に見て内部の構造を示した断面図である。

符号の説明

１００、１１０、１２０、１３０ 吐出口
２００、２１０、２２０、２３０ 圧力室
２１０、２２０ 主圧力室
２１２、２２２ 副圧力室
３００、３１０、３２０、３３０ ノズル
４００、４１０、４２０、４３０ ヒータ
５００ インク供給口
６００、６１０、６２０ インク流路
ＩＪＨ、ＩＪＨ’、ＩＪＨ’’、ＩＪＨ’’’、ＩＪＨ’’’’、ＩＪＨ’’’’’、ＩＪＨ’’’’’’ 記録ヘッド

Claims (10)

1. 液体供給口から供給される液体を貯留する圧力室と、
   前記圧力室に配置され、前記圧力室に貯留されている液体に付与するためのエネルギーを発生させる記録素子と、
   前記圧力室に連通し、前記記録素子によってエネルギーが付与された液体を吐出するための吐出口と、
   前記液体供給口から前記圧力室に供給される液体が通り、前記液体供給口から前記圧力室に液体が供給される液体供給方向に直交する方向への幅が、前記液体供給方向に直交する方向への前記圧力室の幅よりも小さく形成された液体流路と
   を有するノズルを具えた記録ヘッドにおいて、
   前記記録素子の前記液体供給方向に沿う中心は、前記圧力室の前記液体供給方向に沿う中心よりも前記圧力室における前記液体供給方向の奥側へオフセットされて配置されていることを特徴とする記録ヘッド。
2. 前記記録素子は、前記液体供給方向に沿って長辺が形成され、前記液体供給方向に直交する方向に沿って短辺が形成されるように前記圧力室に配置され、前記記録素子の短辺の長さは、長辺の長さの１／２以下であることを特徴とする請求項１に記載の記録ヘッド。
3. 前記吐出口は、その前記液体供給方向の中心が前記記録素子の前記液体供給方向に沿う中心よりも前記圧力室の奥側へオフセットされて形成されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の記録ヘッド。
4. 前記圧力室は、前記液体供給方向に直交する方向に前記液体供給口からの距離の異なる二種類が交互に複数配置されて千鳥状に形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の記録ヘッド。
5. 前記圧力室は、第一の圧力室と、該第一の圧力室よりも前記液体供給口からの距離が短い位置に形成された第二の圧力室とを有し、
   前記第一の圧力室に配置されている第一の記録素子の面積は、前記第二の圧力室に配置されている第二の記録素子の面積よりも小さいことを特徴とすることを特徴とする請求項４に記載の記録ヘッド。
6. 前記圧力室は、前記液体供給口からの距離が異なるように複数形成され、
   それぞれの圧力室に配置されている記録素子は、前記圧力室の前記液体供給口からの距離に応じた面積を有し、前記圧力室における前記液体供給口からの距離が小さい程、記録素子が大きい面積を有しており、
   前記記録素子の面積が大きい程、前記記録素子の前記液体供給方向に沿う中心と前記圧力室の前記液体供給方向に沿う中心との間のオフセット量が大きいことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の記録ヘッド。
7. 前記圧力室は、第一の圧力室と、該第一の圧力室よりも前記液体供給口からの距離が短い位置に形成された第二の圧力室とを有し、
   前記第一の圧力室に形成されている第一の吐出口の面積は、前記第二の圧力室に配置されている第二の吐出口の面積よりも小さいことを特徴とすることを特徴とする請求項４に記載の記録ヘッド。
8. 前記吐出口の直径は、１５μｍ以下であることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の記録ヘッド。
9. 前記吐出口から吐出される液滴は、液滴の体積が一回の吐出につき４ｐｌ未満であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の記録ヘッド。
10. 前記圧力室は、前記記録素子が配置された主圧力室と、該主圧力室と吐出口との間に形成された副圧力室とを有しており、
    液滴が吐出される吐出方向に見た前記副圧力室の面積は、前記主圧力室を前記吐出方向に見た面積よりも小さく、前記吐出口を前記吐出方向に見た面積よりも大きいことを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の記録ヘッド。

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