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JP2010070309A - Optical film and its manufacturing method - Google Patents

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JP2010070309A
JP2010070309A JP2008238863A JP2008238863A JP2010070309A JP 2010070309 A JP2010070309 A JP 2010070309A JP 2008238863 A JP2008238863 A JP 2008238863A JP 2008238863 A JP2008238863 A JP 2008238863A JP 2010070309 A JP2010070309 A JP 2010070309A
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JP
Japan
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film
base material
winding
tape
roll
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Application number
JP2008238863A
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Japanese (ja)
Inventor
Toyoaki Hieda
豊秋 稗田
Masami Nakagame
雅己 仲亀
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Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
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Publication date
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Abstract

【課題】塵埃などで膜面やフィルムにダメージが与えられることを防止し、クニックやシワが発生することを防止することができる光学フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】フィルム10に予め層設された下地層12上に真空成膜によって薄膜14を積層する光学フィルムの製造方法において、該下地層12が層設されたフィルム両端部にエンボス又はスリット目加工を施したテープ82を巻き付けて巻き取る巻取工程を備える。
【選択図】 図4
Disclosed is a method for producing an optical film, which can prevent a film surface or film from being damaged by dust or the like, and can prevent nicks and wrinkles from occurring.
In a method of manufacturing an optical film in which a thin film 14 is laminated by vacuum film formation on an underlayer 12 previously layered on a film 10, embossing or slit lines are formed at both ends of the film where the underlayer 12 is layered. A winding step of winding and winding the processed tape 82 is provided.
[Selection] Figure 4

Description

本発明は、光学フィルム及びその製造方法に関し、特に、フィルム上に下地層を設け、その下地層上に真空成膜法により薄膜を設ける光学フィルム及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an optical film and a method for producing the same, and more particularly to an optical film in which a base layer is provided on the film and a thin film is provided on the base layer by a vacuum film forming method and a method for producing the same.

光学素子、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどの表示装置、半導体装置、薄膜太陽電池など、各種の装置に、ガスバリアフィルム、保護フィルム、光学フィルタや反射防止フィルム等の光学フィルムが利用されている。   Optical films such as gas barrier films, protective films, optical filters, and antireflection films are used in various devices such as optical elements, display devices such as liquid crystal displays and organic EL displays, semiconductor devices, and thin film solar cells.

また、これらの光学フィルムの製造に、スパッタリングやプラズマCVD等の真空成膜法による成膜(薄膜形成)が利用されている。真空成膜法によって、効率良く、高い生産性を確保して成膜を行なうために、長尺な基材に連続的に成膜することが行われている。   In addition, film formation (thin film formation) by a vacuum film formation method such as sputtering or plasma CVD is used for manufacturing these optical films. In order to perform film formation efficiently and with high productivity by a vacuum film formation method, film formation is continuously performed on a long base material.

このような成膜方法を実施する設備として、長尺な基材(フィルム)をロール状に巻回してなる供給ロールと、成膜済の基材をロール状に巻回する巻取りロールとを用いる、いわゆるロール・ツー・ロール(Roll to Roll)の成膜装置が知られている。このロール・ツー・ロールの成膜装置は、プラズマCVDによって基材に成膜を行なう成膜室を通過する所定の経路で、供給ロールから巻取りロールまで長尺な基材を挿通し、供給ロールからの基材の送り出しと、巻取りロールによる成膜済基材の巻き取りとを同期して行いつつ、成膜室において、搬送される基材に連続的に成膜を行なう。   As equipment for carrying out such a film forming method, a supply roll formed by winding a long base material (film) in a roll shape, and a winding roll for winding a film-formed base material in a roll shape A so-called roll-to-roll film forming apparatus is known. This roll-to-roll film forming device inserts a long base material from a supply roll to a take-up roll through a predetermined path passing through a film forming chamber for forming a film on the base material by plasma CVD, and supplies it. The film formation is continuously performed on the substrate to be conveyed in the film formation chamber while the base material is fed from the roll and the film-formed base material is taken up by the take-up roll in synchronization.

このように成膜したフィルムが巻き取られる際に、フィルムに付着した塵埃や巻きズレにより膜面やフィルムに傷などのダメージが与えられてしまうという問題があった。   When the film thus formed is wound up, there has been a problem that the film surface or film is damaged by dust or winding deviation adhering to the film.

そこで、例えば、引用文献1には、巻き取り中の横ずれを防止し、擦れ傷の発生がなく且つ良好な外観で巻き上げることが出来るフィルムの巻き取り方法として、製膜工程から送出されるフィルムの両端部の少なくとも片面に凹凸部を形成(ナーリング)して凸部の高さをフィルムの平均高さより高くした後、巻取機によってロール状に巻き取る方法が開示されている。また、引用文献2には、巻き取られたフィルムの巻き姿が良好で巻きズレのしにくい巻き取り方法として、巻芯に巻き取ったフィルムの端面形状が所定の凹凸形状となるように、巻き取るフィルムを所定振幅、所定周期で幅方向にトラバースさせながら巻き取ることで、フィルムが幅方向に厚さムラがある場合であっても、厚い部分と薄い部分とが相互に積層されるため、巻圧が均一で巻き姿が良好なフィルムを巻き取ることができることが開示されている。
特開平8−175708号公報 特開平10−212059号公報
Therefore, for example, in Patent Document 1, as a method of winding a film that can prevent a lateral shift during winding, can be wound up with no appearance of scratches, and has a good appearance, A method is disclosed in which a concavo-convex portion is formed (knurled) on at least one surface of both end portions to make the height of the convex portion higher than the average height of the film, and then wound into a roll with a winder. Further, in Cited Document 2, as a winding method in which the wound form of the wound film is good and the winding is difficult to shift, the end surface of the film wound on the core is wound so that the end surface has a predetermined uneven shape. By winding the film to be taken while traversing in the width direction with a predetermined amplitude and a predetermined cycle, even if the film has a thickness unevenness in the width direction, the thick part and the thin part are laminated together, It is disclosed that a film having a uniform winding pressure and a good winding shape can be wound.
JP-A-8-175708 Japanese Patent Laid-Open No. 10-212059

ところで、ガスバリアフィルムや保護フィルム等の光学フィルムは、単層であるとは限らず、例えば、プラスチックフィルム等の基材上に、ポリマーを主成分とする有機膜(下地層)を成膜し、その上に無機物からなる無機膜(薄膜)を成膜してなる光学フィルム(積層フィルム)も知られている。   By the way, an optical film such as a gas barrier film or a protective film is not necessarily a single layer, for example, an organic film (underlayer) mainly composed of a polymer is formed on a base material such as a plastic film, An optical film (laminated film) obtained by forming an inorganic film (thin film) made of an inorganic material thereon is also known.

このようにフィルム上に下地層と薄膜とを製膜する場合、下地層を製膜したときにフィルムは一旦ロールとして巻き取られ、その巻き取られたフィルムを真空成膜装置の巻出部に設置してフィルムの下地層上に薄膜を製膜することが一般に行われている。   Thus, when forming a base layer and a thin film on a film, when forming a base layer, a film is once wound up as a roll, and the wound film is used for the unwinding part of a vacuum film-forming apparatus. It is common practice to install and form a thin film on the underlying layer of the film.

この場合、真空下でフィルムを巻き出すため、下地層を製膜したときの巻き取り後、特許文献1や特許文献2の方法では、ロールとして巻き取られたフィルムの中央部にエアーの入出ができないことからクニック(折れ曲がり、押し跡)やシワが発生するという問題があった。なお、特許文献1のようにナーリングをしても、巻き取り時の巻圧で凹凸部が圧縮されてしまいフィルム中央部にエアーの入出ができない。   In this case, in order to unwind the film under vacuum, in the method of Patent Document 1 or Patent Document 2, after the winding when the underlayer is formed, air enters and exits the central portion of the film wound as a roll. There was a problem that wrinkles and wrinkles occurred because it was not possible. In addition, even if knurling like patent document 1, an uneven | corrugated | grooved part will be compressed with the winding pressure at the time of winding, and air cannot enter / exit into the film center part.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、塵埃などで膜面やフィルムにダメージが与えられることを防止し、且つ、クニックやシワが発生することを防止することができる光学フィルムの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to prevent damage to the film surface and film due to dust and the like, and to prevent occurrence of nicks and wrinkles. An object is to provide a manufacturing method.

前記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、フィルムに予め層設された下地層上に真空成膜によって薄膜を積層する光学フィルムの製造方法において、該下地層が層設されたフィルム両端部にエンボス又はスリット目加工を施したテープを巻き付けて巻き取る巻取工程を備えたことを特徴とする。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a method of manufacturing an optical film in which a thin film is laminated by vacuum film formation on an underlayer previously formed on the film. The film is provided with a winding process in which a tape with embossing or slitting is wound around both ends of the film.

請求項1によれば、下地層が層設されたフィルムの両端部にエンボス又はスリット目加工を施したテープを巻き付けて巻き取ることで、ロールとして巻き取られたフィルム中央部にエアーが入出することができるので、クニック(折れ曲がり、押し跡)やシワが発生するのを防止することができる。また、フィルム上の膜がフィルムと重なることを抑制できるので、塵埃などで膜面やフィルムにダメージが与えられることを防止することができる。   According to claim 1, air enters and exits the central portion of the film wound up as a roll by winding and winding the tape with embossed or slitted processing around both ends of the film on which the underlayer is provided. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of nicks (bending and pushing marks) and wrinkles. Moreover, since it can suppress that the film | membrane on a film overlaps with a film, it can prevent that a film surface and a film are damaged by dust etc.

特に、巻取工程後、真空成膜法により薄膜を形成する場合、大気から真空状態にロールの設置環境が変わるため、ロールとして巻き取られたフィルム中央部へのエアーの出入りができることが好ましく、エアーの出入りができることで、塵埃などで下地層にダメージが与えられることを防止し、且つ、クニックやシワが発生することを防止することができる。   In particular, when forming a thin film by a vacuum film-forming method after the winding process, because the installation environment of the roll changes from the atmosphere to a vacuum state, it is preferable that the air can enter and exit from the center of the film wound as a roll, By allowing air to enter and exit, it is possible to prevent the underlying layer from being damaged by dust and the like, and to prevent nicks and wrinkles from occurring.

請求項2の発明は請求項1において、前記テープの厚みは50μm以上であって、前記エンボス又はスリット目加工の深さが前記テープの厚みの20〜50%の範囲であることを特徴とする。   The invention of claim 2 is characterized in that, in claim 1, the thickness of the tape is 50 μm or more, and the depth of the embossing or slit processing is in the range of 20 to 50% of the thickness of the tape. .

請求項2によれば、テープの厚みは50μm以上であって、エンボス又はスリット目加工の深さがテープの厚みの20〜50%の範囲であることが好ましい。なお、テープの厚みが50μm未満であると、テープのエンボス又はスリット目加工が巻圧で潰されてしまう。そして、エンボス又はスリット目加工の深さがテープの厚みの20%未満であると、テープのエンボス又はスリット目加工が巻圧で潰されてしまい、ロールとして巻き取られたフィルム中央部にエアーが入出することができなくなり、エンボス又はスリット目加工の深さがテープの厚みの50%よりも大きいと、テープのエンボス又はスリット目加工された部分に強度が無く、巻圧によって加工した形状が潰されてしまう。   According to claim 2, it is preferable that the thickness of the tape is 50 μm or more, and the depth of embossing or slit processing is in the range of 20 to 50% of the thickness of the tape. When the thickness of the tape is less than 50 μm, the embossing or slit processing of the tape is crushed by the winding pressure. When the embossing or slitting depth is less than 20% of the tape thickness, the embossing or slitting process of the tape is crushed by the winding pressure, and air is wound on the center of the film wound up as a roll. If it becomes impossible to enter and exit and the depth of embossing or slitting is greater than 50% of the tape thickness, the embossed or slitting part of the tape has no strength and the shape processed by the winding pressure is crushed. Will be.

請求項3の発明は、請求項1又は2に記載の製造方法によって製造されたことを特徴とする光学フィルムである。   A third aspect of the present invention is an optical film manufactured by the manufacturing method according to the first or second aspect.

本発明のフィルムの製造方法によって製造された光学フィルムは、クニックやシワのない光学フィルムであるので、光学素子、表示装置、半導体装置、薄膜太陽電池など、各種の装置に好適に用いることができる。   Since the optical film produced by the film production method of the present invention is an optical film free from nicks and wrinkles, it can be suitably used for various devices such as optical elements, display devices, semiconductor devices, and thin film solar cells. .

本発明によれば、塵埃などで下地層やフィルムにダメージが与えられることを防止し、且つ、クニックやシワが発生することを防止することができる光学フィルムの製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the optical film which can prevent that a base layer and a film are damaged with dust etc., and can prevent that a nick and a wrinkle generate | occur | produce can be provided.

以下添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について説明する。本発明は以下の好ましい実施の形態により説明されるが、本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、本実施の形態以外の他の実施の形態を利用することができる。従って、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。また、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を含む範囲を意味する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The present invention will be described with reference to the following preferred embodiments, but can be modified in many ways without departing from the scope of the present invention, and other embodiments than the present embodiment can be used. be able to. Accordingly, all modifications within the scope of the present invention are included in the claims. In the present specification, a numerical range represented by using “to” means a range including numerical values described before and after “to”.

以下、本発明の光学フィルムの製造方法について説明する。なお、以下の実施形態では、下地層を形成する塗布液が、放射線硬化性のモノマー又はオリゴマーが含有された塗布液の場合について説明するが、本発明では、下地層を形成する塗布液が、熱硬化樹脂であっても良い。この場合には、以下の説明における有機成膜装置を構成するUV照射装置は不要である。また、以下の実施形態では、下地層が有機膜、薄膜が無機膜の場合を例に説明するが、それに限定されるものではない。   Hereinafter, the manufacturing method of the optical film of this invention is demonstrated. In the following embodiment, the case where the coating liquid for forming the underlayer is a coating liquid containing a radiation curable monomer or oligomer will be described.In the present invention, the coating liquid for forming the underlayer is, A thermosetting resin may be used. In this case, the UV irradiation apparatus constituting the organic film forming apparatus in the following description is unnecessary. In the following embodiments, the case where the underlayer is an organic film and the thin film is an inorganic film will be described as an example, but the present invention is not limited thereto.

図1に、光学フィルムの製造方法によって製造される光学フィルムの概念図を示す。   In FIG. 1, the conceptual diagram of the optical film manufactured by the manufacturing method of an optical film is shown.

図1に示すように、光学フィルムの製造方法は、基材B(フィルム原反)の表面に、所定のポリマーを主成分とする下地層12を成膜(形成)し、この下地層12の上に真空成膜法によって薄膜14を成膜して、積層体(以下、積層フィルム、光学フィルムともいう。)10を製造するものである。   As shown in FIG. 1, in the method for producing an optical film, a base layer 12 mainly composed of a predetermined polymer is formed (formed) on the surface of a base material B (film raw fabric). A thin film 14 is formed thereon by a vacuum film forming method to manufacture a laminate (hereinafter also referred to as a laminated film or an optical film) 10.

光学フィルムの製造方法は、一例として、基材Bの表面に下地層(有機膜)12を成膜する有機成膜装置20と、下地層12の上(表面)に薄膜(無機膜)14を成膜する無機成膜装置22とによって積層フィルム10を製造するものである。   As an example of the method for producing an optical film, an organic film forming apparatus 20 for forming a base layer (organic film) 12 on the surface of the base material B, and a thin film (inorganic film) 14 on the base layer 12 (surface). The laminated film 10 is manufactured by the inorganic film forming apparatus 22 for forming a film.

図2(A)に、光学フィルムの製造方法を実施する有機成膜装置20の一例を概念的に示す。   FIG. 2A conceptually shows an example of an organic film forming apparatus 20 that implements the method for producing an optical film.

有機成膜装置20は、塗布手段26、加熱手段28、および、UV照射装置30を有するもので、予め調製した放射線硬化性のモノマー又はオリゴマーが含有された塗布液を基材Bに塗布手段26で塗布し、加熱手段28で乾燥して、UV照射装置30で重合することにより、下地層12を成膜する。   The organic film forming apparatus 20 includes a coating unit 26, a heating unit 28, and a UV irradiation unit 30. A coating solution containing a radiation curable monomer or oligomer prepared in advance is applied to the base material B. The base layer 12 is formed by coating with the above, drying with the heating means 28, and polymerizing with the UV irradiation device 30.

この有機成膜装置20は、ロール・ツー・ロールによって有機膜(下地層)を成膜するもので、基材Bは、基材ロール40として回転軸32に装填され、長手方向に搬送されつつ有機膜が成膜され、有機膜を成膜した基材Boをロール42として巻取り軸34に巻き取られる。   The organic film forming apparatus 20 forms an organic film (underlayer) by roll-to-roll, and the base material B is loaded on the rotary shaft 32 as a base material roll 40 and is conveyed in the longitudinal direction. An organic film is formed, and the substrate Bo on which the organic film is formed is wound around the winding shaft 34 as a roll 42.

基材ロール40から送り出された基材Bは、最初に塗布手段26に搬送される。塗布手段26では、基材Bの表面に、予め調製した下地層12となる放射線硬化性のモノマー又はオリゴマーが含有された塗布液を塗布する。この塗布液の塗布は、通常の液体塗布方法が全て利用可能である。   The base material B sent out from the base material roll 40 is first transported to the coating means 26. In the coating means 26, a coating solution containing a radiation curable monomer or oligomer that becomes the base layer 12 prepared in advance is applied to the surface of the base material B. All the usual liquid application methods can be used for applying the coating liquid.

基材Bは、次いで、加熱手段28に搬送される。加熱手段28では、塗布手段26が塗布した塗布液中の溶媒を乾燥する。塗布液の加熱方法には、特に限定はなく、ヒータによる加熱、温風による加熱等、基材Bの搬送速度等に応じて、UV照射装置30に至る前に、塗布液を加熱可能なものであれば、公知の加熱手段が全て利用可能である。   The substrate B is then conveyed to the heating means 28. The heating unit 28 dries the solvent in the coating solution applied by the coating unit 26. There is no particular limitation on the heating method of the coating liquid, and the coating liquid can be heated before reaching the UV irradiation device 30 depending on the conveyance speed of the base material B, such as heating with a heater or heating with warm air. Any known heating means can be used.

基材Bは、次いで、UV照射装置30に搬送される。UV照射装置30では、塗布手段26が塗布し加熱手段28で加熱乾燥した塗布液に、UV(紫外線)を照射することにより、放射線硬化性のモノマー又はオリゴマーを重合させて、下地層12を成膜する。   Next, the base material B is conveyed to the UV irradiation device 30. In the UV irradiation device 30, the coating solution coated by the coating unit 26 and heated and dried by the heating unit 28 is irradiated with UV (ultraviolet rays) to polymerize a radiation curable monomer or oligomer, thereby forming the underlayer 12. Film.

そして、本発明においては、テープ巻出機81からテープ82を巻き出し、基材(フィルム)Boの両端部にエンボス又はスリット目加工を施したテープ82を巻取り軸34で巻き付けて巻き取られる。   In the present invention, the tape 82 is unwound from the tape unwinding machine 81, and the tape 82 having embossed or slit-like processing applied to both ends of the base material (film) Bo is wound around the winding shaft 34. .

次いで、下地層12を成膜した基材Boを巻回した基材ロール42を、図2(B)に概念的に示すような、無機成膜装置22に装填する。   Next, the base material roll 42 around which the base material Bo on which the base layer 12 is formed is loaded into the inorganic film forming apparatus 22 as conceptually shown in FIG.

無機成膜装置22は、基材Boの表面(すなわち下地層12の表面)に、真空成膜法によって無機膜14を成膜(形成)するもので、供給室50と、成膜室52と、巻取り室54とを有する。   The inorganic film forming apparatus 22 forms (forms) the inorganic film 14 on the surface of the base material Bo (that is, the surface of the base layer 12) by a vacuum film forming method, and includes a supply chamber 50, a film forming chamber 52, And a winding chamber 54.

無機成膜装置22も、有機成膜装置20と同様に、ロール・ツー・ロールによる成膜を行なう装置で、基材ロール42から基材Boを送り出し、長手方向に搬送しつつ薄膜14を成膜して、下地層12と薄膜14とを成膜した光学フィルム10を巻取り軸58によってロール状に巻き取る。   Similarly to the organic film forming apparatus 20, the inorganic film forming apparatus 22 is an apparatus that performs film formation by roll-to-roll. The substrate Bo is sent out from the base roll 42, and the thin film 14 is formed while being conveyed in the longitudinal direction. The optical film 10 having the base layer 12 and the thin film 14 formed thereon is wound up in a roll shape by a winding shaft 58.

供給室50は、回転軸56と、ガイドローラ60と、真空排気手段61とを有する。また、有機成膜装置20で基材ロール42の基材Boに巻き付けられているテープ82を巻き取る巻取機83を有する。   The supply chamber 50 includes a rotation shaft 56, a guide roller 60, and a vacuum exhaust unit 61. Further, the organic film forming apparatus 20 includes a winder 83 that winds the tape 82 wound around the base material Bo of the base material roll 42.

無機成膜装置22において、基材Bに下地層12を成膜してなる基材Boとテープ82とを巻回した基材ロール42は、供給室50の回転軸56に装填される。回転軸56に基材ロール42が装填されると、基材Boは、供給室50から、成膜室52を通り、巻取り室54の巻取り軸58に至る所定の搬送経路を通される(送通される)。無機成膜装置22においても、基材ロール42からの基材Boの送り出しと、巻取り軸56における光学フィルム10の巻き取りとを同期して行なって、長尺な基材Boを所定の搬送経路で長手方向に搬送しつつ、基材Boに薄膜14の成膜を連続的に行なう。   In the inorganic film forming apparatus 22, the base material roll 42 obtained by winding the base material Bo formed by forming the base layer 12 on the base material B and the tape 82 is loaded on the rotation shaft 56 of the supply chamber 50. When the substrate roll 42 is loaded on the rotating shaft 56, the substrate Bo passes through a predetermined conveyance path from the supply chamber 50 through the film forming chamber 52 to the winding shaft 58 of the winding chamber 54. (Passed through). Also in the inorganic film forming apparatus 22, the feeding of the base material Bo from the base material roll 42 and the winding of the optical film 10 on the take-up shaft 56 are performed in synchronization, and the long base material Bo is conveyed in a predetermined manner. The thin film 14 is continuously formed on the base material Bo while being transported in the longitudinal direction along the path.

供給室50においては、図示しない駆動源によって回転軸56を図中時計方向に回転して基材ロール42から基材Boを送り出し、ガイドローラ60によって所定の経路を案内して、基材Boを成膜室52に送る。   In the supply chamber 50, the rotating shaft 56 is rotated clockwise in the drawing by a driving source (not shown) to feed the substrate Bo from the substrate roll 42, and a predetermined path is guided by the guide roller 60. It is sent to the film formation chamber 52.

また、供給室50には、真空排気手段61が配置され、供給室50内を、成膜室52における成膜圧力に応じた所定の真空度(圧力)に減圧する。これにより、供給室50の圧力が、成膜室52の圧力(成膜)に悪影響を与えることを防止する。なお、真空排気手段61は、後述する成膜室52の真空排気手段72と同様、公知の物を用いればよい。   Further, a vacuum exhaust means 61 is disposed in the supply chamber 50, and the inside of the supply chamber 50 is depressurized to a predetermined degree of vacuum (pressure) corresponding to the film formation pressure in the film formation chamber 52. This prevents the pressure in the supply chamber 50 from adversely affecting the pressure (film formation) in the film formation chamber 52. The evacuation unit 61 may be a publicly known one as with the evacuation unit 72 of the film formation chamber 52 described later.

なお、真空中で下地層12に接触するガイドローラ60は、基材Boの端部(搬送方向と直交する方向(幅方向)の端部)のみに接触する段差付きローラが好ましい。   The guide roller 60 that comes into contact with the base layer 12 in a vacuum is preferably a stepped roller that comes into contact only with the end of the base material Bo (the end in the direction (width direction) perpendicular to the transport direction).

また、供給室50には、図示した部材以外にも、搬送ローラ対や、基材Boの幅方向の位置を規制するガイド部材など、基材Boを所定の経路で搬送するための各種の部材(搬送手段)を有してもよい。しかしながら、薄膜14の成膜中は、供給室50内は、成膜室の圧力に応じた真空度となるので、下地層12に接触する部材は、段差付きローラであるガイドローラ60と同様、基材Boの端部のみに接触する構成を有する物とする。   In addition to the illustrated members, the supply chamber 50 includes various members for transporting the base material Bo along a predetermined path, such as a pair of transport rollers and a guide member for regulating the position of the base material Bo in the width direction. (Conveying means) may be included. However, during the formation of the thin film 14, the inside of the supply chamber 50 is at a degree of vacuum corresponding to the pressure in the film formation chamber, so that the member that contacts the base layer 12 is the same as the guide roller 60 that is a stepped roller. It shall be the thing which has the structure which contacts only the edge part of base material Bo.

基材Boは、ガイドローラ60によって案内され、成膜室52に搬送される。   The substrate Bo is guided by the guide roller 60 and conveyed to the film forming chamber 52.

成膜室52は、基材Boの表面(すなわち下地層12の表面)に、真空成膜法によって薄膜14を成膜(形成)するものである。図示例において、成膜室52は、ドラム62と、成膜手段64a,64b、64c、および64dと、ガイドローラ68および70と、真空排気手段72とを有する。なお、成膜室52が、スパッタリングやプラズマCVD等による成膜をおこなうものである場合には、成膜室52には、さらに、高周波電源等も設置される。   In the film forming chamber 52, the thin film 14 is formed (formed) on the surface of the base material Bo (that is, the surface of the base layer 12) by a vacuum film forming method. In the illustrated example, the film forming chamber 52 includes a drum 62, film forming means 64 a, 64 b, 64 c, and 64 d, guide rollers 68 and 70, and a vacuum exhaust means 72. In the case where the film formation chamber 52 performs film formation by sputtering, plasma CVD, or the like, the film formation chamber 52 is further provided with a high-frequency power source or the like.

基材Boは、供給室50と成膜室52とを分離する隔壁74に形成されるスリット74aから、成膜室52に搬送される。   The substrate Bo is transferred to the film forming chamber 52 from a slit 74 a formed in a partition wall 74 that separates the supply chamber 50 and the film forming chamber 52.

なお、図示例の無機成膜装置22は、好ましい態様として、供給室50および巻取り室54にも真空排気手段を設け、成膜室52における成膜圧力に応じて、供給室50および巻取り室54も真空とするが、本発明を実施する装置は、これに限定はされない。例えば、供給室50および巻取り室54には、真空排気手段を設けずに、基材Boが通過するスリットを、基材Bに接触することなく、かつ、基材Bが通過可能な最小限のサイズとすることにより、成膜室52を略気密に構成してもよい。あるいは、供給室50および巻取り室54には、真空排気手段を設けずに、供給室50および巻取り室54と、成膜室52との間に、基材Bが通過するサブチャンバを設け、このサブチャンバ内を真空ポンプによって真空にしてもよい。   In addition, the inorganic film forming apparatus 22 in the illustrated example is preferably provided with a vacuum evacuation unit in the supply chamber 50 and the winding chamber 54, and the supply chamber 50 and the winding chamber are arranged according to the film forming pressure in the film forming chamber 52. Although the chamber 54 is also evacuated, the apparatus for carrying out the present invention is not limited to this. For example, the supply chamber 50 and the winding chamber 54 are not provided with a vacuum evacuation unit, and a slit through which the base material Bo passes can be provided at a minimum without allowing the base material B to pass through the slit. The film forming chamber 52 may be configured to be substantially airtight by setting the size to the above. Alternatively, the supply chamber 50 and the winding chamber 54 are provided with a sub-chamber through which the substrate B passes between the supply chamber 50 and the winding chamber 54 and the film forming chamber 52 without providing a vacuum exhaust means. The sub chamber may be evacuated by a vacuum pump.

なお、成膜室52の上流(基材Bの搬送方向上流)にサブチャンバ等を設ける場合には、このサブチャンバ等の内部で基材を搬送する手段も、下地層12に接触する場合には、基材Boの端部のみに接触する構成とする必要がある。   When a sub-chamber or the like is provided upstream of the film forming chamber 52 (upstream in the transport direction of the base material B), the means for transporting the base material in the sub-chamber or the like is also in contact with the base layer 12. Needs to be configured to contact only the end of the base material Bo.

成膜室52のドラム62は、中心線を中心に図中反時計方向に回転する円筒状の部材である。   The drum 62 of the film forming chamber 52 is a cylindrical member that rotates counterclockwise in the drawing around the center line.

供給室50から供給され、ガイドローラ68によって所定の経路に案内された基材Boは、ドラム62の周面の所定領域に掛け回されて、ドラム62に支持/案内されつつ、所定の搬送経路を搬送され、成膜手段64a〜64d等によって、表面(下地層12の上)に、薄膜14を形成される。また、成膜室52が、スパッタリングやプラズマCVD等による成膜をおこなうものである場合には、ドラム62は、対向電極としても作用するように、接地(アース)されてもよく、あるいは高周波電源に接続されてもよい。   The base material Bo supplied from the supply chamber 50 and guided to a predetermined path by the guide roller 68 is hung around a predetermined area on the peripheral surface of the drum 62 and supported / guided by the drum 62 while being predetermined. The thin film 14 is formed on the surface (on the base layer 12) by the film forming means 64a to 64d and the like. When the film formation chamber 52 performs film formation by sputtering, plasma CVD, or the like, the drum 62 may be grounded (earthed) so as to act as a counter electrode, or a high-frequency power source. May be connected.

成膜手段64a〜64dは、真空成膜法によって、基材Bの表面に薄膜14を成膜するためのものである。   The film forming means 64a to 64d are for forming the thin film 14 on the surface of the base material B by a vacuum film forming method.

ここで、本発明の製造方法においては、薄膜14の形成方法には、特に限定は無く、CVD、プラズマCVD、スパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティング等、公知の真空成膜法(気相堆積法)が、全て、利用可能である。   Here, in the manufacturing method of the present invention, the method for forming the thin film 14 is not particularly limited, and a known vacuum film forming method (vapor phase deposition method) such as CVD, plasma CVD, sputtering, vacuum deposition, ion plating, or the like. ) Are all available.

従って、成膜手段64a〜64dは、実施する真空成膜法に応じた、各種の部材で構成される。   Therefore, the film forming means 64a to 64d are configured by various members according to the vacuum film forming method to be performed.

例えば、成膜室52がICP−CVD法(誘導結合型プラズマCVD)によって薄膜14の成膜を行なうものであれば、成膜手段64a〜64dは、誘導磁場を形成するための誘導コイルや、成膜領域に反応ガスを供給するためのガス供給手段等を有して構成される。   For example, if the film formation chamber 52 performs film formation of the thin film 14 by the ICP-CVD method (inductively coupled plasma CVD), the film forming units 64a to 64d include induction coils for forming an induction magnetic field, It has gas supply means for supplying a reaction gas to the film formation region.

成膜室52が、CCP−CVD法(容量結合型プラズマCVD)によって薄膜14の成膜を行なうものであれば、成膜手段64a〜64dは、中空状でドラム46に対向する面に多数の小孔を有し反応ガスの供給源に連結される、高周波電極および反応ガス供給手段として作用するシャワー電極等を有して構成される。   If the film forming chamber 52 is for forming the thin film 14 by the CCP-CVD method (capacitive coupling type plasma CVD), the film forming means 64 a to 64 d are hollow and have a large number of surfaces facing the drum 46. A high-frequency electrode having a small hole and connected to a reaction gas supply source, a shower electrode acting as a reaction gas supply means, and the like are configured.

成膜室52が、CVD法によって薄膜14の成膜を行なうものであれば、成膜手段64a〜64dは、反応ガスの導入手段等を有して構成される。   If the film forming chamber 52 is for depositing the thin film 14 by the CVD method, the film forming means 64a to 64d are configured to include a reaction gas introducing means and the like.

さらに、成膜室52が、スパッタリングによって薄膜14の成膜を行なうものであれば、成膜手段64a〜64dは、ターゲットの保持手段や高周波電極、スパッタガスの供給手段等を有して構成される。   Further, if the film forming chamber 52 is for depositing the thin film 14 by sputtering, the film forming means 64a to 64d are configured to include a target holding means, a high frequency electrode, a sputtering gas supply means, and the like. The

真空排気手段72は、成膜室52内を真空排気して、真空成膜法による薄膜14の成膜に応じた真空度とするものである。   The vacuum evacuation means 72 evacuates the film forming chamber 52 to a degree of vacuum corresponding to the film formation of the thin film 14 by a vacuum film forming method.

真空排気手段72にも、特に限定はなく、ターボポンプ、メカニカルブースターポンプ、ロータリーポンプなどの真空ポンプ、さらには、クライオコイル等の補助手段、到達真空度や排気量の調整手段等を利用する、真空成膜装置に用いられている公知の(真空)排気手段が、各種、利用可能である。   There is no particular limitation on the vacuum exhaust means 72, and a vacuum pump such as a turbo pump, a mechanical booster pump, and a rotary pump, an auxiliary means such as a cryocoil, an ultimate vacuum degree and an exhaust amount adjusting means, etc. are used. Various known (vacuum) evacuation means used in vacuum film forming apparatuses can be used.

ドラム62に支持/搬送されつつ、成膜手段64a〜64dによって薄膜14を成膜された基材Boすなわち光学フィルム10は、ガイドローラ70によって所定経路に案内されて、巻取り室54に搬送されて、巻取り軸58によってロール状に巻き取られる。 ロール状に巻き取られた積層フィルム(光学フィルム)ロールは、次の工程に供される。   The substrate Bo, that is, the optical film 10 on which the thin film 14 is formed by the film forming units 64a to 64d while being supported / conveyed by the drum 62, is guided to a predetermined path by the guide roller 70, and is conveyed to the winding chamber 54. Then, it is wound up in a roll shape by the winding shaft 58. The laminated film (optical film) roll wound up in a roll shape is subjected to the next step.

以上のような光学フィルムの製造方法において、本発明では、基材B上に下地層12が成形された基材Boの両端部にエンボス又はスリット目加工を施したテープ82を巻き付けて巻き取るようにしている。   In the method for producing an optical film as described above, in the present invention, tape 82 embossed or slit-processed is wound around both ends of the base material Bo on which the base layer 12 is formed on the base material B. I have to.

図3(A)は、基材Boの両端部にエンボス又はスリット目加工を施したテープ82を巻き付けて巻き取った基材ロール42を正面から見た図である。また、図3(b)は、図3(A)の丸く囲んだ部分Aの断面を拡大して示した図である。   FIG. 3 (A) is a view of the base material roll 42 wound from around the tape Bo that has been embossed or slit-worked around both ends of the base material Bo. FIG. 3B is an enlarged view of a cross section of a circled portion A in FIG.

通常、基材B上に下地層12が成形された基材Boが巻取り軸34に巻き取られる際は、基材Boの両端部にエンボス又はスリット目加工を施したテープ82を巻き付けて巻き取っていない。従って、基材Boに付着した塵埃や巻きズレにより基材Boに傷などのダメージが与えられてしまうという問題があった。   Usually, when the base material Bo with the base layer 12 formed on the base material B is taken up by the take-up shaft 34, a tape 82 having an embossed or slit-like process is wound around both ends of the base material Bo. Not taking. Therefore, there has been a problem that damage such as scratches is given to the base material Bo due to dust or winding deviation adhering to the base material Bo.

本発明のように、基材Boの両端部にエンボス又はスリット目加工を施したテープ82を巻き付けて巻き取るようにすることで、塵埃や巻きズレにより基材Boに傷などのダメージが与えられるのを防止することができる。   As in the present invention, by wrapping and winding the tape 82 embossed or slitted around both ends of the base material Bo, the base material Bo is damaged by dust or winding deviation. Can be prevented.

図4は、テープ82を拡大して示したものであり、図4(a)は、エンボス加工が施されたテープの表面と、基材Boと基材Boの間にそのテープ82を挟んだときの断面と、を示したものであり、図4(b)は、スリット目加工が施されたテープの表面と、基材Boと基材Boの間にそのテープ82を挟んだときの断面と、を示したものである。   FIG. 4 is an enlarged view of the tape 82. FIG. 4A shows the tape 82 sandwiched between the surface of the embossed tape and the base material Bo and the base material Bo. FIG. 4B shows a cross section when the tape 82 is sandwiched between the base material Bo and the base material Bo. And are shown.

基材Boの両端部に図4のようなエンボス又はスリット目加工を施したテープ82を巻き付けて巻き取ることで、エンボス又はスリット目加工を施したテープ82をエアーが通ることができ、基材ロール42として巻き取られた基材Boの中央部にエアーが入出することができる。従って、有機成膜装置20から無機成膜装置22に基材ロール42を移す際、大気から真空状態に基材ロール42の設置環境が変わるが、ロールとして巻き取られた基材Boの中央部へエアーの出入りができるので、本発明はクニック(折れ曲がり、押し跡)やシワが発生するのを防止することができる。   By winding and winding the tape 82 embossed or slitted as shown in FIG. 4 around both ends of the substrate Bo, air can pass through the tape 82 embossed or slitted. Air can enter and exit the central portion of the base material Bo wound as the roll 42. Therefore, when the substrate roll 42 is moved from the organic film forming apparatus 20 to the inorganic film forming apparatus 22, the installation environment of the substrate roll 42 changes from the atmosphere to the vacuum state, but the central portion of the substrate Bo wound up as a roll. Since air can flow in and out, the present invention can prevent the occurrence of nicks (bending and pushing marks) and wrinkles.

ここで、テープ82の厚みXは50μm以上であることが好ましく、エンボス又はスリット目加工の深さxがテープの厚みの20〜50%の範囲であることが好ましい。   Here, the thickness X of the tape 82 is preferably 50 μm or more, and the depth x of the embossing or slit processing is preferably in the range of 20 to 50% of the thickness of the tape.

なお、テープの厚みXが50μm未満であると、テープ82のエンボス又はスリット目加工が巻圧で潰されてしまう。そして、エンボス又はスリット目加工の深さxがテープの厚みXの20%未満であると、テープのエンボス又はスリット目加工が巻圧で潰されてしまい、基材ロール42として巻き取られた基材Boの中央部にエアーが入出することができなくなる。また、エンボス又はスリット目加工の深さxがテープの厚みXの50%よりも大きいと、エンボス又はスリット目加工された部分の強度が弱く、巻圧によって加工した形状が潰されてしまう。   If the thickness X of the tape is less than 50 μm, the embossing or slit processing of the tape 82 is crushed by the winding pressure. If the embossing or slitting depth x is less than 20% of the tape thickness X, the tape embossing or slitting process is crushed by the winding pressure, and the base roll 42 is wound up. Air cannot enter or leave the center of the material Bo. On the other hand, when the depth x of embossing or slitting is greater than 50% of the thickness X of the tape, the strength of the embossed or slitting part is weak, and the shape processed by the winding pressure is crushed.

このように、本発明の光学フィルムの製造方法によれば、塵埃などで膜面やフィルムにダメージが与えられることを防止し、且つ、クニックやシワが発生することを防止することができる。   Thus, according to the method for producing an optical film of the present invention, it is possible to prevent the film surface or film from being damaged by dust or the like, and to prevent the occurrence of nicks and wrinkles.

なお、下地層12は、平滑で、膜硬度が高いことが好ましい。下地層12の平滑性は10μm角の平均粗さ(Ra値)として10nm以下であることが好ましく、2nm以下であることがより好ましい。   The underlayer 12 is preferably smooth and has a high film hardness. The smoothness of the underlayer 12 is preferably 10 nm or less, and more preferably 2 nm or less, as an average roughness (Ra value) of 10 μm square.

下地層12の膜硬度はある程度以上の硬さを有することが好ましい。好ましい硬さとしては、ナノインデンテーション法で測定したときの押し込み硬度として100N/mm2 以上が好ましく、200N/mm2以上がより好ましい。また、鉛筆硬度としてはHB以上の硬さを有することが好ましく、H以上の硬さを有することがより好ましい。 It is preferable that the film hardness of the underlayer 12 has a certain degree of hardness. The preferable hardness is preferably 100 N / mm 2 or more, and more preferably 200 N / mm 2 or more as the indentation hardness when measured by the nanoindentation method. The pencil hardness is preferably HB or higher, more preferably H or higher.

本発明において、下地層12および薄膜14を成膜される基材Bには、特に限定はなく、PETフィルム等の各種の樹脂フィルム、アルミニウムシートなどの各種の金属シートなど、後述する下地層12および真空成膜による薄膜14の成膜が可能なものであれば、ガスバリアフィルム、光学フィルム、保護フィルムなどの各種の機能性フィルムに利用されている各種の基材(ベースフィルム)が、全て利用可能である。   In the present invention, the base material B on which the base layer 12 and the thin film 14 are formed is not particularly limited, and various base films 12 described later such as various resin films such as PET films and various metal sheets such as aluminum sheets. As long as the thin film 14 can be formed by vacuum film formation, all the various base materials (base films) used for various functional films such as gas barrier films, optical films and protective films are used. Is possible.

また、基材Bは、表面に、保護膜や接着膜など、各種の膜が形成されているものであってもよい。   Moreover, the base material B may have a surface on which various films such as a protective film and an adhesive film are formed.

下地層(有機膜)12を形成する塗布膜は、放射線硬化性のモノマー又はオリゴマーを主成分とする膜である。具体的には、使用されるモノマー又はオリゴマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を2個以上有し、光の照射によって付加重合するモノマー又はオリゴマーであることが好ましい。そのようなモノマー及びオリゴマーとしては、分子中に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上の化合物を挙げることができる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。   The coating film for forming the base layer (organic film) 12 is a film mainly composed of a radiation curable monomer or oligomer. Specifically, the monomer or oligomer used is preferably a monomer or oligomer that has two or more ethylenically unsaturated double bonds and undergoes addition polymerization upon irradiation with light. Examples of such monomers and oligomers include compounds having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule and having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure. Examples include monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) ) Acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, di Pentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexane All di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate; multifunctional such as trimethylolpropane and glycerin Polyfunctional acrylates and polyfunctional methacrylates such as those obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to alcohol and then (meth) acrylated can be mentioned.

更に特公昭48−41708号公報、特公昭50−6034号公報及び特開昭51−37193号公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報及び特公昭52−30490号公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレートやメタクリレートを挙げることができる。   Further, urethane acrylates described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034 and JP-A-51-37193; JP-A-48-64183, JP-B-49-43191 And polyester acrylates described in JP-B-52-30490; polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid.

これらの中で、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートが好ましい。   Among these, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are preferable.

また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合性化合物B」も好適なものとして挙げることができる。   In addition, “polymerizable compound B” described in JP-A-11-133600 can also be mentioned as a preferable example.

使用される光重合開始剤又は光重合開始剤系としては、米国特許第2367660号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第2448828号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第2722512号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3046127号明細書及び同第2951758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3549367号明細書に記載のトリアリールイミダゾール2量体とp−アミノケトンの組み合わせ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4239850号明細書に記載されているトリハロメチル−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物等を挙げることができる。特に、トリハロメチル−s−トリアジン、トリハロメチルオキサジアゾール及びトリアリールイミダゾール2量体が好ましい。   Examples of the photoinitiator or photoinitiator system used include vicinal polyketaldonyl compounds disclosed in US Pat. No. 2,367,660 and acyloin described in US Pat. No. 2,448,828. Ether compounds, aromatic acyloin compounds substituted with α-hydrocarbons described in US Pat. No. 2,722,512, polynuclear quinone compounds described in US Pat. Nos. 3,046,127 and 2,951,758, US Pat. No. 3549367, a combination of a triarylimidazole dimer and a p-aminoketone, a benzothiazole compound and a trihalomethyl-s-triazine compound described in JP-B-51-48516, US Pat. No. 4,239,850 Trihalomethyl-triazine compounds described, USA And tri halomethyl oxadiazole compounds as described in Patent No. 4,212,976 A1. In particular, trihalomethyl-s-triazine, trihalomethyloxadiazole, and triarylimidazole dimer are preferable.

また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合開始剤C」も好適なものとしてあげることができる。光重合開始剤の使用量は、塗布液の固形分の0.01〜20質量%であることが好ましく、0.5〜10質量%であることがさらに好ましい。液晶性化合物の重合のための光照射は、紫外線を用いることが好ましい。照射エネルギーは、20mJ/cm〜50J/cmであることが好ましく、100〜2000mJ/cmであることがさらに好ましい。光重合反応を促進するため、加熱条件下で光照射を実施してもよい。 In addition, “polymerization initiator C” described in JP-A-11-133600 can also be mentioned as a preferable example. The amount of the photopolymerization initiator used is preferably 0.01 to 20% by mass, more preferably 0.5 to 10% by mass, based on the solid content of the coating solution. Light irradiation for the polymerization of the liquid crystalline compound is preferably performed using ultraviolet rays. The irradiation energy is preferably 20mJ / cm 2 ~50J / cm 2 , further preferably 100 to 2000 mJ / cm 2. In order to accelerate the photopolymerization reaction, light irradiation may be performed under heating conditions.

下地層12の成膜方法としては、通常の溶液塗布法、あるいは真空成膜法等を挙げることができる。   Examples of the method for forming the underlayer 12 include a normal solution coating method or a vacuum film forming method.

溶液塗布法としては、例えばディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、スライドコート法、或いは、米国特許第2681294号明細書に記載のホッパ−を使用するエクストル−ジョンコート法により塗布することができる。   Examples of the solution coating method include a dip coating method, an air knife coating method, a curtain coating method, a roller coating method, a wire bar coating method, a gravure coating method, a slide coating method, or a hopper described in US Pat. No. 2,681,294. It can apply | coat by the extrusion-coating method which uses-.

なお、アクリレートやメタクリレートは、空気中の酸素によって重合阻害を受ける。従って、本発明において、有機膜12としてこれらを利用する場合には、重合時の酸素濃度もしくは酸素分圧を低くすることが好ましい。窒素置換法によって重合時の酸素濃度を低下させる場合、酸素濃度は2%以下が好ましく、0.5%以下がより好ましい。減圧法により重合時の酸素分圧を低下させる場合、全圧が1000Pa以下であることが好ましく、100Pa以下であることがより好ましい。また、100Pa以下の減圧条件下で2J/cm以上のエネルギーを照射して紫外線重合を行うのが特に好ましい。 In addition, acrylate and methacrylate are subject to polymerization inhibition by oxygen in the air. Therefore, in the present invention, when these are used as the organic film 12, it is preferable to lower the oxygen concentration or oxygen partial pressure during polymerization. When the oxygen concentration during polymerization is lowered by the nitrogen substitution method, the oxygen concentration is preferably 2% or less, and more preferably 0.5% or less. When the oxygen partial pressure during polymerization is reduced by the decompression method, the total pressure is preferably 1000 Pa or less, and more preferably 100 Pa or less. In addition, it is particularly preferable to perform ultraviolet polymerization by irradiating energy of 2 J / cm 2 or more under a reduced pressure condition of 100 Pa or less.

本発明において、モノマーの重合率は80%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましく、90%以上であることがさらに好ましい。ここでいう重合率とはモノマー混合物中の全ての重合性基(例えばアクリレートやメタクリレートであれば、アクリロイル基およびメタクリロイル基)のうち、反応した重合性基の比率を意味する。   In the present invention, the polymerization rate of the monomer is preferably 80% or more, more preferably 85% or more, and further preferably 90% or more. The polymerization rate here means the ratio of the reacted polymerizable groups among all polymerizable groups in the monomer mixture (for example, acrylate and methacrylate, acryloyl group and methacryloyl group).

積層フィルム(光学フィルム)として、有機ELディスプレイや液晶ディスプレイのような表示装置など、各種のデバイスや装置の保護フィルムを製造する際には、無機膜14として、酸化ケイ素膜等を成膜すればよい。   When manufacturing protective films for various devices and devices such as display devices such as organic EL displays and liquid crystal displays as laminated films (optical films), if a silicon oxide film or the like is formed as the inorganic film 14 Good.

さらに、光反射防止フィルム、光反射フィルム、各種のフィルタ等の光学フィルムを製造する際には、無機膜14として、目的とする光学特性を有する、あるいは発現する材料からなる膜を成膜すればよい。   Furthermore, when manufacturing an optical film such as a light reflection preventing film, a light reflection film, and various filters, as the inorganic film 14, a film made of a material having or expressing a desired optical characteristic may be formed. Good.

中でも特に、有機膜12の優れた表面平滑性により、ガスバリア性の優れた無機膜14を成膜できるので、本発明は、ガスバリアフィルムの製造に最適である。   Especially, since the inorganic film 14 having excellent gas barrier properties can be formed by the excellent surface smoothness of the organic film 12, the present invention is most suitable for the production of gas barrier films.

以上、本発明の光学フィルムの製造方法について詳細に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行なってもよいのは、もちろんである。   As mentioned above, although the manufacturing method of the optical film of this invention was demonstrated in detail, this invention is not limited to the said embodiment, You may perform various improvement and a change in the range which does not deviate from the summary of this invention. Of course.

以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明を説明する。   Hereinafter, the present invention will be described with reference to specific examples of the present invention.

ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物(DPHA、日本化薬(株)製)98gを、900gのメチルエチルケトン溶媒に溶解した。得られた溶液に、光重合開始剤(イルガキュア907、チバファインケミカルズ(株)製)2gを加え、攪拌溶解したものを塗布液とした。   98 g of a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) was dissolved in 900 g of methyl ethyl ketone solvent. To the resulting solution, 2 g of a photopolymerization initiator (Irgacure 907, manufactured by Ciba Fine Chemicals Co., Ltd.) was added, and the mixture was stirred and dissolved to obtain a coating solution.

基材は、富士フイルム社製のTAC(トリアセチルセルロースフィルム)で80μm厚さ1460mm幅のものを用いた。フィルムの走行速度を10m/分とした。   As the base material, a TAC (triacetyl cellulose film) manufactured by Fuji Film Co., Ltd. having a thickness of 80 μm and a width of 1460 mm was used. The running speed of the film was 10 m / min.

90℃に加熱したロールを通過した後、塗布工程においてワイヤーバーで上記組成の重合性化合物を含む塗布液を連続塗布した。塗布液が塗布された後、加熱工程において、100℃で乾燥した。次に、UV光源として350〜400nmに強い発光スペクトルを有するD−Bulbを搭載したマイクロウェーブ発光方式の紫外線照射装置(Light Hammer 10、240W/cm、Fusion UV Systems社製)を用い、UV照射装置30において、焦点から5mmの位置で0.4W/cm、0.4J/cmで1秒間UV照射し重合性化合物を重合させた。その後、室温まで放冷し、下地層(膜厚:0.5μm)が形成された長尺のフィルム(基材Bo)を巻き取った。 After passing through a roll heated to 90 ° C., a coating solution containing a polymerizable compound having the above composition was continuously applied with a wire bar in the coating step. After the coating solution was applied, it was dried at 100 ° C. in the heating step. Next, a UV irradiation apparatus (Light Hammer 10, 240 W / cm, manufactured by Fusion UV Systems) equipped with a D-Bulb having a strong emission spectrum at 350 to 400 nm as a UV light source is used. At 30, UV irradiation was performed at 0.4 W / cm 2 and 0.4 J / cm 2 for 1 second at a position 5 mm from the focal point to polymerize the polymerizable compound. Then, it stood to cool to room temperature and wound up the elongate film (base material Bo) in which the base layer (film thickness: 0.5 micrometer) was formed.

ここで、基材Boの巻き取りの際には、以下の表1に示すテープを耳端に巻き付けて巻き取った。なお、表1に記載したエンボスとスリット目の加工とは、図4に示した形状のものを示している。また、テープ幅は20mmのものを用いた。   Here, when winding the base material Bo, the tape shown in Table 1 below was wound around the ear end. In addition, the embossing and slit eye processing described in Table 1 indicate the shapes shown in FIG. The tape width was 20 mm.

巻き取ったロールをスパッタリング装置に持ち込み、下地層12の上に、薄膜14として、膜厚50nmの酸化アルミニウム膜を成膜した。酸化アルミニウム膜は、ターゲットとしてアルミニウムを、放電ガスとしてアルゴンを、反応ガスとして酸素を用いた。   The wound roll was brought into a sputtering apparatus, and an aluminum oxide film having a thickness of 50 nm was formed as a thin film 14 on the underlayer 12. The aluminum oxide film used aluminum as a target, argon as a discharge gas, and oxygen as a reaction gas.

ここで、製造された光学フィルムの欠陥の個数を評価した。1μm以上の欠陥の個数を単位面積あたりでカウントし、以下の判断基準で評価した。
◎:欠陥個数が5個/cm以下
○:欠陥個数が10個/cm以下
×:欠陥個数が10個/cmを超えるもの
Here, the number of defects of the manufactured optical film was evaluated. The number of defects of 1 μm or more was counted per unit area and evaluated according to the following criteria.
A: Number of defects is 5 / cm 2 or less B: Number of defects is 10 / cm 2 or less
X: The number of defects exceeds 10 / cm 2

Figure 2010070309
Figure 2010070309

以上から、下地層上に真空成膜によって薄膜を積層する光学フィルムの製造方法において、下地層が層設されたフィルム両端部にエンボス又はスリット目加工を施したテープを巻き付けて巻き取ることで、光学フィルムの欠陥個数を抑制することができることが分かる。   From the above, in the method for producing an optical film in which a thin film is laminated on the underlayer by vacuum film formation, by winding the tape with embossed or slit-like processing on both ends of the film where the underlayer is layered, It can be seen that the number of defects in the optical film can be suppressed.

光学フィルムの製造方法によって製造される光学フィルムを示す図The figure which shows the optical film manufactured by the manufacturing method of an optical film 光学フィルムの製造方法を実施する装置の一例を示す図The figure which shows an example of the apparatus which enforces the manufacturing method of an optical film 基材の両端部にテープを巻き付けて巻き取った基材ロールを示す図The figure which shows the base-material roll which wound the tape around the both ends of the base material and wound up エンボス加工又はスリット目加工が施されたテープの表面と断面とを示す図The figure which shows the surface and cross section of the tape to which embossing or slitting was performed

符号の説明Explanation of symbols

10…積層フィルム(光学フィルム)、12…下地層(有機膜)、14…薄膜(無機膜)、20…有機成膜装置、22…無機成膜装置、26…塗布手段、28…乾燥手段、30…UV照射装置、52…成膜室、64a,64b,64c,64d…成膜手段、81…テープ巻出機、82…テープ、83…テープ巻取機   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Laminated film (optical film), 12 ... Underlayer (organic film), 14 ... Thin film (inorganic film), 20 ... Organic film-forming apparatus, 22 ... Inorganic film-forming apparatus, 26 ... Application | coating means, 28 ... Drying means, DESCRIPTION OF SYMBOLS 30 ... UV irradiation apparatus, 52 ... Film formation chamber, 64a, 64b, 64c, 64d ... Film formation means, 81 ... Tape unwinding machine, 82 ... Tape, 83 ... Tape winder

Claims (3)

フィルムに予め層設された下地層上に真空成膜によって薄膜を積層する光学フィルムの製造方法において、
該下地層が層設されたフィルム両端部にエンボス又はスリット目加工を施したテープを巻き付けて巻き取る巻取工程を備えたことを特徴とする光学フィルムの製造方法。
In the method for producing an optical film in which a thin film is laminated by vacuum film formation on a base layer previously provided on the film
A method for producing an optical film, comprising a winding step of winding and winding a tape embossed or slit-finished on both ends of the film on which the underlayer is provided.
前記テープの厚みは50μm以上であって、前記エンボス又はスリット目加工の深さが前記テープの厚みの20〜50%の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルムの製造方法。   2. The method for producing an optical film according to claim 1, wherein the tape has a thickness of 50 μm or more, and the embossing or slitting depth is in a range of 20 to 50% of the thickness of the tape. . 請求項1又は2に記載の製造方法によって製造されたことを特徴とする光学フィルム。   An optical film manufactured by the manufacturing method according to claim 1.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012118238A (en) * 2010-11-30 2012-06-21 Nippon Zeon Co Ltd Optical film, optical film roll, and method for manufacturing optical film
CN104870352A (en) * 2012-12-13 2015-08-26 柯尼卡美能达株式会社 Optical film roll, method for producing same, polarizing plate, and display device
JP2017215473A (en) * 2016-05-31 2017-12-07 キヤノン株式会社 Laminated diffractive optical element and method of manufacturing laminated diffractive optical element

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