[go: up one dir, main page]

JP2010064380A - Printing method - Google Patents

Printing method Download PDF

Info

Publication number
JP2010064380A
JP2010064380A JP2008233295A JP2008233295A JP2010064380A JP 2010064380 A JP2010064380 A JP 2010064380A JP 2008233295 A JP2008233295 A JP 2008233295A JP 2008233295 A JP2008233295 A JP 2008233295A JP 2010064380 A JP2010064380 A JP 2010064380A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image pattern
ink
blanket
defect
applying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008233295A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5338214B2 (en
Inventor
Mamoru Tamakoshi
守 玉越
Koji Imayoshi
孝二 今吉
Yohei Nishikawa
洋平 西川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP2008233295A priority Critical patent/JP5338214B2/en
Publication of JP2010064380A publication Critical patent/JP2010064380A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5338214B2 publication Critical patent/JP5338214B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Printing Methods (AREA)

Abstract

【課題】印刷法を用いて被印刷基板に欠陥のない画像パターンを形成するに当たり、高度な欠陥識別システムが不要で、容易に高精度な欠陥修正が可能で、被印刷基板のロスが少ない検査・修正技術を備える印刷方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、ブランケット上にインキ液を塗布して設け、該インキ液を予備乾燥し予備乾燥インキ膜を形成する工程、画像パターンを凹部とした凸版を該予備乾燥インキ膜に押し当て引き離すことで当接部分のインキ膜を該凸版の凸部に転移させ、該ブランケット上に該画像パターンを残置する工程、該画像パターンを被印刷基板に転写する工程、とを有する印刷方法において、 被印刷基材に転写する前に、該ブランケット上の該画像パターンの欠陥を検出し、該欠陥を修正する工程を含むことを特徴とする印刷方法である。
【選択図】図1
An inspection method that does not require an advanced defect identification system, can be easily corrected with high accuracy, and has little loss on a printed substrate when a printing method is used to form a defect-free image pattern on the printed substrate. Provide a printing method with a correction technique.
At least a step of applying an ink liquid on a blanket and pre-drying the ink liquid to form a pre-dried ink film, and pressing and pulling a relief plate with an image pattern as a recess against the pre-dried ink film A printing method comprising: transferring the ink film of the abutting portion to the convex portion of the relief plate, leaving the image pattern on the blanket, and transferring the image pattern to a substrate to be printed. Before transferring to a printing base material, it is a printing method characterized by including the process of detecting the defect of the said image pattern on this blanket, and correcting this defect.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、ガラス基材やプラスチックフィルム上へ画像パターンを形成する印刷方法に係わり、特には印刷工程上で画像パターンの欠陥検査・修正をするタイミングを適切に設定することで印刷効率を向上させた印刷方法に関する。   The present invention relates to a printing method for forming an image pattern on a glass substrate or a plastic film, and in particular, improves printing efficiency by appropriately setting the timing of image pattern defect inspection / correction in the printing process. Relates to the printing method.

近年、フラットパネルディスプレイの発展の中で、液晶ディスプレイも大型化、薄型化が進められ、それに伴い高コントラスト、広視野角など画質の面でも改善が進められてきた。そして今尚、カラーフィルタや薄膜トランジスタなどの液晶ディスプレイを構成する部材は高精細なものを低価格で製造することを求められている。   In recent years, with the development of flat panel displays, liquid crystal displays have become larger and thinner, and accordingly, improvements have been made in terms of image quality such as high contrast and wide viewing angle. In addition, it is still required to manufacture high-definition materials at low cost for members constituting liquid crystal displays such as color filters and thin film transistors.

従来、微細な画像パターンを形成する方法として、染色法や顔料分散法などのフォトリソグラフィー技術が一般的に用いられてきた。特に最近のカラーフィルタの製造方法としては顔料分散法が最も広範に使用されており、顔料を含むインキを基板に塗布し、乾燥させた後、露光装置により露光して現像という工程を経て画像パターンを得ることができる。   Conventionally, photolithography techniques such as a dyeing method and a pigment dispersion method have generally been used as a method for forming a fine image pattern. In particular, the pigment dispersion method is the most widely used method for producing color filters, and after applying an ink containing a pigment to a substrate, drying it, exposing it with an exposure device and developing it, the image pattern Can be obtained.

また、顔料分散法に代わるカラーフィルタ製造技術として特許文献1では、版胴に巻き付けたブランケット上にインキを塗工・予備乾燥してインキ膜を形成し、その後、画像パターンを凹部として形成された凸版をインキ膜に押圧し引き離すことにより、凸部に当接した部位のインキ膜がブランケットから剥離され、ブランケット上に画像パターンを残置形成し、最後に、ブランケット上に残置した画像パターンを被印刷基材上に転写し、被印刷基材上に画像パターンを形成する印刷技術が開示されている。   Further, in Patent Document 1 as a color filter manufacturing technique that replaces the pigment dispersion method, an ink film is formed by coating and pre-drying ink on a blanket wound around a plate cylinder, and then an image pattern is formed as a recess. By pressing the relief plate against the ink film and pulling it off, the ink film at the part in contact with the convex part is peeled off from the blanket, leaving an image pattern on the blanket, and finally printing the image pattern left on the blanket A printing technique for transferring onto a substrate and forming an image pattern on the substrate to be printed is disclosed.

さらに、特許文献2では、印刷の安定性を向上させる目的と、アライメント作業を容易にする目的から、ブランケットとして版胴に巻き付けたシリコーンゴムまたはシリコーン樹脂を用いる代わりに、インキ剥離性を有するように表面処理を施した平板のガラス板やプラスチックフィルムを用いる技術が開示されている。   Further, in Patent Document 2, for the purpose of improving printing stability and facilitating alignment work, instead of using silicone rubber or silicone resin wound around a plate cylinder as a blanket, it has ink releasability. A technique using a flat glass plate or plastic film subjected to surface treatment is disclosed.

しかし、フォトリソグラフィー法や印刷法などでカラーフィルターや薄膜トランジスタなどを製造する場合、基板の大型化が進むことによって、工程上で様々な欠陥が生じやすくなり、高い歩留りを維持することは困難となっている。   However, when manufacturing color filters, thin film transistors, etc. by photolithography or printing, various defects are likely to occur in the process due to the increase in the size of the substrate, making it difficult to maintain a high yield. ing.

例えば、カラーフィルタの製造工程における欠陥をみてみると、不必要な部位に異物が残存する「面積欠陥」、異物の混入などが突起となり高さムラとなってしまう「突起欠陥」、塗工欠陥や異物の混入などによりパターンの連続性が損なわれた「付着欠陥」、色抜けやハジキ等から発生する「色欠陥」など様々なものが存在し、歩留まりに大きな影響を与えている。   For example, when looking at defects in the manufacturing process of color filters, “area defects” in which foreign matters remain in unnecessary parts, “protrusion defects” in which foreign matters become protrusions and become uneven in height, coating defects There are various things such as “adhesion defects” in which the continuity of the pattern is impaired due to contamination of foreign matter and foreign matters, and “color defects” that occur due to color loss or repelling, which have a great influence on the yield.

したがって、カラーフィルターや薄膜トランジスタなどの液晶ディスプレイを構成する部材の欠陥を減らす技術の開発も必要不可欠ではあるが、それとともに、発生した欠陥を修正して良品化する技術が重要になっている。   Therefore, development of a technique for reducing defects of members constituting a liquid crystal display such as a color filter and a thin film transistor is indispensable, but at the same time, a technique for correcting a generated defect to make it non-defective is important.

発生した欠陥を修正する一般的な方法は、まず、基板上に形成された画像パターンを顕微鏡などで形状検査し、接触式もしくは非接触式のセンサーにより画像パターンの線幅などの形状や高さを計測した後に、欠陥の種類を識別した上で、各欠陥ごとで適宜修正を行うものである。   The general method for correcting defects is to first inspect the shape of the image pattern formed on the substrate with a microscope, etc., and then use the contact or non-contact sensor to determine the shape and height of the image pattern, such as the line width. After measuring the above, after identifying the type of defect, the defect is appropriately corrected for each defect.

例えば突起欠陥は接触式もしくは非接触式のセンサーによって正確に高さや面積を測定した上で、研磨ヘッドによる突起部位の研磨で高さの調整を行う。突起欠陥修正後は高さ精度と平坦性が求められるが、研磨と高さ測定を繰り返し行うことによって、高さ精度を出している。   For example, the height of a protrusion defect is accurately measured by a contact type or non-contact type sensor, and the height is adjusted by polishing the protrusion portion with a polishing head. After correcting the projection defect, height accuracy and flatness are required, but height accuracy is obtained by repeating polishing and height measurement.

面積欠陥は本来パターンが存在しない部分に異物とインキが付着しているような状態であるが、このような欠陥に対しては紫外〜赤外レーザーやYAGレーザーなどを用いて付着物を破砕除去(以下、カットとも記す)する。   An area defect is a state in which foreign matter and ink are attached to a portion where no pattern originally exists. For such a defect, the adhered matter is crushed and removed using an ultraviolet to infrared laser, a YAG laser, or the like. (Hereinafter also referred to as cut).

付着欠陥や色欠陥の修正においても、まず最初に修正箇所をレーザーカットして何もない状態にした後に、新たにインキ液膜を塗布して修正するか、もしくはさらに画像パターン形成と整形を行って修正とする。   Even in the correction of adhesion defects and color defects, first, the correction part is laser cut to make it empty, and then corrected by applying a new ink film, or further image pattern formation and shaping Will be corrected.

ただし、レーザーカットにより欠陥部分を除去する場合は、基板の材質によってはレーザーにより表面を傷付けてしまう可能性があるため、プラスチックフィルムなどを用いる場合はレーザーカットを行うことは困難となる。   However, when a defective portion is removed by laser cutting, the surface may be damaged by the laser depending on the material of the substrate, so that it is difficult to perform laser cutting when using a plastic film or the like.

修正箇所に新たにインキ液を塗着する際には、狭い範囲に精度良くインキ液を塗布する必要があるうえに、膜厚などの制御も求められるが、塗布方法として様々な方法が開示されている。   When newly applying ink liquid to the corrected area, it is necessary to apply the ink liquid precisely in a narrow range and control of the film thickness is also required, but various methods are disclosed as application methods. ing.

例えば、適切な色濃度を有する修正用インキを修正用針先につけた後、修正部に塗布して乾燥させて修正する方法(特許文献3参照)や、修正用インキの供給にインクジェットやディスペンサを用いる方法が知られている(特許文献4、5参照)。   For example, a correction ink having an appropriate color density is applied to the correction needle tip, and then applied to the correction portion and dried for correction (see Patent Document 3), or an inkjet or dispenser is used to supply the correction ink. A method to be used is known (see Patent Documents 4 and 5).

修正用のインキとしては、UV硬化性のレジストが広く用いられる。色欠陥部分などにはレーザーカット後にインキを塗布しUV硬化して修正完了となるが、付着欠陥部分など画像パターンの修正が必要となる場合はUV硬化後にレーザー加工などを行い画像パターンを整形する。   As a correction ink, a UV curable resist is widely used. Color defect parts are coated with ink after laser cutting and UV curing is completed to complete the correction. However, if it is necessary to correct the image pattern such as adhesion defect parts, the image pattern is shaped by laser processing after UV curing. .

このように複雑で長い工程を得て基板上のカラーフィルタの欠陥は修正されるが、検査技術、欠陥除去技術、塗布技術、パターン整形など、高い技術とそれなりの設備が必要となる。
特開2001−56405号公報 特開2007−185778号公報 特開平8−182949号公報 特開平11−271752号公報 特開平6−109919号公報
In this way, the defect of the color filter on the substrate is corrected by obtaining a complicated and long process, but high technology and appropriate equipment such as inspection technology, defect removal technology, coating technology, and pattern shaping are required.
JP 2001-56405 A JP 2007-185778 A JP-A-8-182949 Japanese Patent Laid-Open No. 11-271752 JP-A-6-109919

上記の通り、歩留まりの向上のために画像パターンの修正技術の開発は重要な課題であるが、基板に形成した画像パターンを修正するのは大変な手間と高い技術を要する。例えば、基板上の欠陥に対して、突起欠陥か付着欠陥かを識別する欠陥識別システムが必要となり、さらに各欠陥に合わせて高精度で欠陥を修正する技術が必要になる。   As described above, development of an image pattern correction technique is an important issue for improving the yield, but correcting an image pattern formed on a substrate requires a lot of labor and high technique. For example, a defect identification system for identifying whether a defect on the substrate is a protrusion defect or an adhesion defect is required, and a technique for correcting the defect with high accuracy according to each defect is required.

さらに、基板の大型化とともに、画像パターンの高精細化が進んでいる状況のため、欠陥修正の技術は一段と高いものが要求される。例えば、付着欠陥をレーザーカットしようとした際に、除去するべき箇所だけを狭い範囲でカットする技術が必要になるように、高
精細化が進むほど修正が困難になってくる。
Furthermore, as the size of the substrate is increasing and the definition of the image pattern is increasing, a higher level of defect correction technology is required. For example, when an attempt is made to laser-cut an adhesion defect, correction becomes more difficult as the definition becomes higher so that a technique for cutting only a portion to be removed in a narrow range is required.

また、欠陥の中には修正不可能な欠陥も存在するが、修正不可能と判断された基板はそれまでの工程が無駄となってしまい、コストと時間の面から考えてもロスが多くなってしまう。   In addition, there are defects that cannot be corrected among the defects, but the substrate that was determined to be uncorrectable would be wasted on the previous steps, resulting in a large loss in terms of cost and time. End up.

そこで本発明は、印刷法を用いて被印刷基板に欠陥のない画像パターンを形成するに当たり、高度な欠陥識別システムが不要で、容易に高精度な欠陥修正が可能で、被印刷基板のロスが少ない検査・修正技術を備える印刷方法を提供するものである。   Therefore, the present invention eliminates the need for an advanced defect identification system when forming a defect-free image pattern on a substrate to be printed using a printing method, and can easily perform highly accurate defect correction, thereby reducing the loss of the substrate to be printed. The present invention provides a printing method having a few inspection and correction techniques.

前記課題を解決するための請求項1に記載の発明は、少なくとも、ブランケット上にインキ液を塗布し、該インキ液を予備乾燥し予備乾燥インキ膜を形成する工程と、画像パターンを凹部とした凸版を予備乾燥インキ膜に押し当て引き離すことで当接部位の乾燥インキ膜を該凸版の凸部に転移させ、前記ブランケット上に画像パターンを残置する工程と、残置した画像パターンを被印刷基板に転写する工程と、を有する印刷方法において、
前記ブランケット上に残置した画像パターンを被印刷基板に転写する前に、残置した画像パターンの欠陥を検出し該欠陥を修正する工程、を含むことを特徴とする印刷方法
としたものである。
The invention according to claim 1 for solving the above-described problem is at least a step of applying an ink liquid on a blanket, pre-drying the ink liquid to form a pre-dried ink film, and forming the image pattern as a recess. By pressing the relief plate against the pre-dried ink film and separating it, the dry ink film at the contact portion is transferred to the convex portion of the relief plate, leaving the image pattern on the blanket, and the remaining image pattern on the substrate to be printed A printing method comprising the steps of:
Before transferring the image pattern left on the blanket to the substrate to be printed, the printing method is characterized by including a step of detecting a defect in the remaining image pattern and correcting the defect.

また請求項2に記載の発明は、前記欠陥を修正する工程が、前記欠陥部分の画像パターンを除去した部分に、新たにインキ液を塗布し、該インキ膜を予備乾燥して後、前記凸版を該予備乾燥インキ膜に押し当て引き離すことで前記画像パターンの形状補正を行う工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の印刷方法としたものである。   Further, in the invention according to claim 2, the step of correcting the defect is performed by newly applying an ink liquid to a portion where the image pattern of the defective portion is removed, preliminarily drying the ink film, and then The printing method according to claim 1, further comprising a step of correcting the shape of the image pattern by pressing and separating the ink from the pre-dried ink film.

また請求項3に記載の発明は、前記画像パターンを除去した部分への新たなインキ液の塗布方法が、インキを先端部に付着させた針からブランケット上に塗布する方法であることを特徴とする請求項1又は2に記載の印刷方法としたものである。   The invention according to claim 3 is characterized in that the method of applying a new ink liquid to the portion from which the image pattern has been removed is a method of applying the ink on a blanket from a needle having an ink attached to the tip. The printing method according to claim 1 or 2.

また請求項4に記載の発明は、前記画像パターンを除去した部分への新たなインキ液の塗布方法が、インキをインクジェット装置によりブランケット上に塗布する方法であることを特徴とする請求項1又は2に記載の印刷方法としたものである。   According to a fourth aspect of the present invention, the method for applying a new ink liquid to the portion from which the image pattern has been removed is a method for applying ink onto a blanket by an ink jet apparatus. 2 is used.

また請求項5に記載の発明は、前記画像パターンを除去した部分への新たなインキ液の塗布方法が、ディスペンサ装置によりブランケット上に塗布する方法であることを特徴とする請求項1又は2に記載の印刷方法としたものである。
また請求項6に記載の発明は、前記ブランケットがインキ剥離性を有する表面からなるガラス、もしくはプラスチックフィルムであることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の印刷方法としたものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the method according to the first or second aspect, the method of applying a new ink liquid to the portion from which the image pattern has been removed is a method of applying the ink liquid onto a blanket using a dispenser device. The printing method described is used.
The invention according to claim 6 is the printing method according to any one of claims 1 to 5, wherein the blanket is glass or a plastic film having a surface having ink peelability. Is.

通常、画像パターンの欠陥検出と修正は、基板上に画像パターンを形成した後に行われる。これに対し、本発明では、ブランケット上の画像パターンを被印刷基板に転写する前に画像パターンを検査し、修正が必要な欠陥が発見された場合はブランケット上で修正を行う。この場合には、ブランケットは被印刷基板に比べインキ剥離性を有するように設計できるため、粘着性を有するテープなどで容易に欠陥部分の画像パターンを除去することができる。そのためレーザーカットのような高価な装置と高度な技術は必要がない。   Normally, defect detection and correction of an image pattern are performed after the image pattern is formed on the substrate. In contrast, in the present invention, the image pattern on the blanket is inspected before being transferred to the substrate to be printed, and if a defect that needs to be corrected is found, correction is performed on the blanket. In this case, since the blanket can be designed so as to have ink releasability as compared with the substrate to be printed, the image pattern of the defective portion can be easily removed with an adhesive tape or the like. Therefore, expensive equipment such as laser cutting and advanced technology are not required.

また、突起欠陥でも付着欠陥でも、欠陥の種類に関わらず、その部分の画像パターンを粘着性を有するテープなどで除去した上で、新たに画像パターンを形成するという共通の
修正方法を用いることができる。
In addition, it is possible to use a common correction method for forming a new image pattern after removing the image pattern of the portion with a sticky tape or the like, regardless of the type of defect, whether it is a protrusion defect or an adhesion defect. it can.

さらにまた、基板上での修正と異なり、ブランケット上での修正は単色パターンの状態で修正がなされるため、高精細な画像パターンであっても欠陥検出と修正が容易になる。すなわち、ブランケット上で検査を行う方が、先に印刷した画像パターンが存在しないので欠陥の識別と発見が容易となり、且つ周囲に他の画像パターンがない状態で欠陥部分を除去修正をすることになるので、作業性も向上する。   Furthermore, unlike the correction on the substrate, the correction on the blanket is performed in the state of a single color pattern, so that it is easy to detect and correct a defect even in a high-definition image pattern. In other words, the inspection on the blanket makes it easier to identify and find the defect because there is no image pattern printed earlier, and to remove and correct the defective part in the state where there is no other image pattern around. Therefore, workability is also improved.

また、基板上に修正不可能な欠陥が発見された場合、それまでの工程や基板は無駄になってしまうが、本発明では修正不可能な欠陥があったとしても、被印刷基板に転写する前に検知され、その修正不可能な欠陥を含む画像パターンは破棄されて転写されることはないので、それまで製造してきた被印刷基板が無駄になることはない。   In addition, when an uncorrectable defect is found on the substrate, the previous processes and substrate are wasted, but even if there is an uncorrectable defect in the present invention, it is transferred to the substrate to be printed. Since the image pattern that has been detected before and includes the uncorrectable defect is not discarded and transferred, the printed substrate that has been manufactured is not wasted.

このように本発明になる検査・修正方法を内在する印刷法は、歩留まりの向上、コスト削減という大きな効果を期待できる。   As described above, the printing method including the inspection / correction method according to the present invention can be expected to have a great effect of yield improvement and cost reduction.

以下に、本発明に係る印刷方法を具体的に説明する。   The printing method according to the present invention will be specifically described below.

本発明で用いるブランケットとしては、シリンダー状のゴム製ブランケットやインキ剥離性を有する平板表面からなるガラスやプラスチックフィルムを用いることができる。   As the blanket used in the present invention, a cylindrical rubber blanket or glass or plastic film having a flat plate surface with ink peelability can be used.

シリンダー状のゴム製ブランケットの材料としては、ジメチルシロキサン、メチルビニルシロキサン、メチルフルオロビニルシロキサン、メチルフェニルビニルシロキサン等や、上記ポリマーとNBR、EPDM、スチレンブタジエンゴム(SBR)とのブレンド及び共重合系、フッ素ゴム、シリコーンゴム、及びNBR、EPDM、SBR等にシリコーンオイル等を混合したものを用いることができる。   Cylindrical rubber blanket materials include dimethyl siloxane, methyl vinyl siloxane, methyl fluoro vinyl siloxane, methyl phenyl vinyl siloxane, etc., and blends and copolymers of the above polymers with NBR, EPDM, styrene butadiene rubber (SBR) In addition, fluorine rubber, silicone rubber, and NBR, EPDM, SBR, or the like mixed with silicone oil or the like can be used.

インキ剥離性を有する表面からなるガラスやプラスチックフィルムは、各基材へシリコーンオイル、シリコーンワニスで代表される離型剤を塗布することにより、又はシリコーンゴムの薄膜層を形成することで製造することができる。またフッ素系樹脂、フッ素系ゴム等も使用することができるし、フッ素樹脂微粉末をシリコーンゴムあるいは、アクリルゴムやウレタンゴムのような一般的な合成ゴムに混ぜて剥離性を出すなどの使い方をしてもかまわない。   Glass and plastic films consisting of surfaces with ink release properties are manufactured by applying a release agent represented by silicone oil and silicone varnish to each substrate, or by forming a thin film layer of silicone rubber. Can do. Fluorine-based resin, fluorine-based rubber, etc. can also be used, and use such as exfoliation by mixing fluorine resin fine powder with general synthetic rubber such as silicone rubber or acrylic rubber or urethane rubber. It doesn't matter.

上記いずれの構成であっても、ブランケットは適度のインキ受容性を有すると同時に、一度受容した半乾燥インキ膜の完全なインキ剥離性を有する必要がある。剥離性の目安として表面へインキ液を滴下した際の接触角を指標とすると、接触角が10°以上90°以下の程度となることが好ましく、20°以上70°以下であることがより好ましい。   In any of the above-described configurations, the blanket needs to have an appropriate ink receptivity, and at the same time, have a complete ink peelability of the semi-dry ink film once received. When the contact angle when the ink liquid is dropped onto the surface as an index of releasability is used as an index, the contact angle is preferably about 10 ° to 90 °, more preferably 20 ° to 70 °. .

インキに関しては特に限定されるものではないが、一般的な顔料・樹脂・溶剤と補助剤からなる様々なインキを用いることができる。   The ink is not particularly limited, but various inks composed of general pigments, resins, solvents and auxiliary agents can be used.

画像パターンを形成するための凸版は、無アルカリガラス等の低膨張ガラス表面に感光性樹脂を塗布し、パターン露光・現像処理行った後、定法のドライエッチング処理やウエットエッチング処理、もしくはサンドブラスト処理を用いて、2μmから30μmの版深を設けた凸版を用いることができる。   The letterpress used to form the image pattern is coated with a photosensitive resin on the surface of low-expansion glass such as alkali-free glass, and after pattern exposure / development processing, regular dry etching processing, wet etching processing, or sand blasting processing is performed. It is possible to use a relief plate provided with a plate depth of 2 μm to 30 μm.

凸版の材料としては、ナイロン、アクリル、シリコーン樹脂、スチレン−ジエン共重合体などからなるものを用いることもできる。またエチレン−プロピレン系、ブチル系、ウ
レタン系ゴムなどのゴム製の凸版を用いることもできる。このような樹脂製の凸版は、すでに凸版印刷やフレキソ印刷用に用いられており、予め作製した型に所定の樹脂を流し込んで版とする、あるいは彫刻によっても製造することができるが、感光性樹脂を用いる方法がより高精度のものを製造できる。
As the material of the relief plate, a material made of nylon, acrylic, silicone resin, styrene-diene copolymer or the like can be used. Also, a relief printing plate made of rubber such as ethylene-propylene, butyl, or urethane rubber can be used. Such resin-made relief plates have already been used for relief printing and flexographic printing, and can be produced by pouring a predetermined resin into a previously produced mold or by engraving. A method using a resin can be manufactured with higher accuracy.

ブランケット上で検査・修正を行った画像パターンを転写する被印刷基板としては、ガラス、プラスチックフィルム、金属など様々なものを用いることができる。それらは特に制限されるものではない。画像パターンの修正を基板上で行う場合は、プラスチックフィルムなどを基板として用いているとレーザーカットで基板を傷付けてしまうなどの不具合があったが、本発明での修正方法を用いれば、被印刷基板の材質の制限はなくなる。   Various substrates such as glass, plastic film, and metal can be used as a substrate to be printed on which an image pattern inspected / corrected on a blanket is transferred. They are not particularly limited. When the image pattern is corrected on the substrate, there is a problem that the substrate is damaged by laser cutting when a plastic film or the like is used as the substrate. However, if the correction method according to the present invention is used, printing is performed. There are no restrictions on the board material.

本発明では、上記に示したブランケット、インキ、凸版を用いてブランケット上に画像パターンを形成した後に、顕微鏡などにより画像パターンの検査を行うが、その検査は、光学顕微鏡、CCD(Charge Coupled Device)顕微鏡などにより行うことができる。機能としては、オートフォーカス、電気的に制御可能な手動焦点制御機構のいずれか、もしくはその両方を有し、顕微鏡で捉えた画像を、外部に設置したモニターや位置補正のための画像処理装置へ出力できることが望ましい。   In the present invention, after forming an image pattern on the blanket using the above-described blanket, ink, and letterpress, the image pattern is inspected with a microscope or the like. The inspection is performed using an optical microscope, CCD (Charge Coupled Device). It can be performed with a microscope or the like. Functions include either autofocus or electrically controllable manual focus control mechanism, or both. Images captured with a microscope can be transferred to an external monitor or image processing device for position correction. It is desirable to be able to output.

修正すべき欠陥が発見された場合には、ブランケット上で修正を行うが、画像パターンの欠陥部分の除去は、粘着性を有するテープで容易に行える。   If a defect to be corrected is found, it is corrected on the blanket, but the defective portion of the image pattern can be easily removed with an adhesive tape.

欠陥部分の画像パターンを除去した後に新たにインキを塗布して欠陥のない画像パターンを再現する方法は、インキを先端部に付着させた針による針塗布、インクジェット装置による塗布、ディスペンサ装置による塗布などで行うことができる。   The method of reproducing the image pattern without defect by newly applying ink after removing the image pattern of the defective part is needle coating with a needle with ink attached to the tip, coating with an inkjet device, coating with a dispenser device, etc. Can be done.

針塗布は、針がブランケットに接触するときにブランケットを傷付けないように、エアシリンダで衝撃を緩和する構造になっている。また、針の太さや、インキに針をディップする際のコントロールによってインキの塗布量を調整することが可能となっている。   Needle application has a structure in which an impact is reduced by an air cylinder so that the blanket is not damaged when the needle contacts the blanket. In addition, it is possible to adjust the amount of ink applied by controlling the thickness of the needle and the control when dipping the needle into the ink.

インクジェット装置による塗布では、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたバブル方式、或いは、圧電素子を用いたピエゾ方式が使用可能であるが、修正に用いる液体への熱の影響が無いピエゾ方式の方が欠陥修正に用いる材料の選択の幅が広く好ましい。   In the application by the ink jet device, a bubble method using an electrothermal transducer or a piezo method using a piezoelectric element can be used as an energy generating element, but there is no influence of heat on the liquid used for correction. It is preferable that the range of selection of materials used for defect correction is wide.

ディスペンサ装置による塗布では、修正用インキを充填させたディスペンスノズルを基板に接触させてインキを塗布する。圧力の調整により塗布量を制御でき、狭い範囲への塗布も行うことができる。   In the application by the dispenser device, the ink is applied by bringing the dispense nozzle filled with the correction ink into contact with the substrate. The amount of application can be controlled by adjusting the pressure, and application to a narrow range can also be performed.

いずれの方法を用いたとしても、新たに塗布して予備乾燥したインキ液膜が、元々ブランケット上に塗布してあるインキの膜厚と同等になるようにしておけば、高さムラのない画像パターンを形成することができる。   Regardless of which method is used, if the ink liquid film that has been newly applied and pre-dried is equivalent to the film thickness of the ink that was originally applied on the blanket, there will be no unevenness in height. A pattern can be formed.

また、新たに塗布するインキに関しては、始めにブランケット上に塗布したインキと同じインキである必要はなく、例えば、乾燥性が速いものを選択することにより被印刷基材への転写時の乾燥状態を近づけることもできる。新たにインキを塗布する方法に合わせて、粘度などの物性が異なるインキを選択することは言うまでもない。   In addition, for newly applied ink, it is not necessary to be the same ink as the ink first applied on the blanket. For example, by selecting the ink with fast drying property, the dried state at the time of transfer to the printing substrate Can also be brought closer. It goes without saying that inks having different physical properties such as viscosity are selected in accordance with the method of newly applying the ink.

新たにインキを塗布して予備乾燥させた後に、所望の画像パターンを形成する際には、始めに画像パターンを形成するために用いた凸版と同じ凸版を用いて形状の補正をすることができ、そのときには凸版上に形成したアライメントマークなどにより位置合わせを行
えばよい。
When forming a desired image pattern after newly applying ink and pre-drying, the shape can be corrected using the same relief as the relief used to form the image pattern first. In that case, alignment may be performed by an alignment mark or the like formed on the letterpress.

ブランケットとして、0.1%の塩酸4.0gとテトラエチルシリケート170g(Si(OC254、日本コルコート化学社製、製品名エチルシリケート28)とをイソプロパノール1200mlに溶かし、この溶液を室温で約2時間攪拌しながら加水分解したものをスピンコーターによりガラス基板上に0.5μm厚で塗工したものを用いた。 As a blanket, 4.0 g of 0.1% hydrochloric acid and 170 g of tetraethyl silicate (Si (OC 2 H 5 ) 4 , Nippon Kolcoat Chemical Co., Ltd., product name ethyl silicate 28) were dissolved in 1200 ml of isopropanol, and this solution was dissolved at room temperature. What was hydrolyzed while stirring for about 2 hours was applied on a glass substrate with a thickness of 0.5 μm using a spin coater.

カラーフィルタを形成するための赤色インキは以下のように製造した。メタクリル酸20部、メチルメタクリレート10部、ブチルメタクリレート55部、ヒドロキシエチルメタクリレート15部を、乳酸ブチル300部に溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル0.75部を加えて70℃にて5時間の反応によりアクリル共重合樹脂を得た後に、アクリル共重合樹脂を樹脂濃度が10%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMAC)で希釈し、アクリル共重合樹脂液とした。このアクリル共重合樹脂液80.1gに対し、赤色顔料を19.0g、分散剤0.9gを添加し、3本ロールにて混練し、赤色ペーストを得た。さらに赤色ペーストにPGME、を加え、顔料濃度が12〜15%になるよう調整し、レベリング剤としてメガファックF−483SF(大日本インキ化学工業社製)を0.2%重量部添加し赤色インキを製造した。   The red ink for forming the color filter was manufactured as follows. 20 parts of methacrylic acid, 10 parts of methyl methacrylate, 55 parts of butyl methacrylate, and 15 parts of hydroxyethyl methacrylate are dissolved in 300 parts of butyl lactate, and 0.75 part of azobisisobutylnitrile is added under a nitrogen atmosphere, and 5 parts at 70 ° C. After obtaining the acrylic copolymer resin by the reaction of time, the acrylic copolymer resin was diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMAC) so that the resin concentration was 10% to obtain an acrylic copolymer resin liquid. 18.0 g of a red pigment and 0.9 g of a dispersant were added to 80.1 g of this acrylic copolymer resin liquid, and kneaded with three rolls to obtain a red paste. Furthermore, PGME is added to the red paste, the pigment concentration is adjusted to 12 to 15%, and 0.2% by weight of Megafac F-483SF (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) is added as a leveling agent. Manufactured.

赤色インキをブランケット表面に塗工し予備乾燥させた後に、L/S=20μm/80μmのストライプパターンで構成されたアクリル系樹脂凸版を押し当てて、非画像部を転移させて、ブランケット上に赤色のストライプパターンを形成した。   After red ink is applied to the blanket surface and pre-dried, an acrylic resin relief plate composed of a stripe pattern of L / S = 20 μm / 80 μm is pressed to transfer the non-image area, and red on the blanket. The stripe pattern was formed.

既にブラックマトリクスの画像パターンが形成されたガラス基板に、赤色のストライプパターンを転写する前に、光学顕微鏡を用いて赤色のストライプパターンの検査を行った結果、図1(a)に示すような付着欠陥が存在した。   Before transferring the red stripe pattern onto the glass substrate on which the black matrix image pattern is formed, the red stripe pattern was inspected using an optical microscope. As a result, the adhesion as shown in FIG. There was a defect.

付着欠陥が存在するストライプパターン部分に粘着性を有するテープを接触させ、パターンの一部分を図1(b)のように除去した。付着欠陥を除去した部分に、新たに前記と同様の赤色インキを針塗布によって図1(c)のように塗布し、予備乾燥させた後に、前記のアクリル系樹脂凸版を位置合わせして接触させることにより、図1(d)のように修正したストライプパターンを形成することができた。   An adhesive tape was brought into contact with the stripe pattern portion where the adhesion defect exists, and a part of the pattern was removed as shown in FIG. A red ink similar to the above is newly applied to the part from which the adhesion defect has been removed by needle application as shown in FIG. 1 (c), and after preliminary drying, the acrylic resin relief plate is aligned and brought into contact. As a result, a modified stripe pattern as shown in FIG. 1D could be formed.

ブランケット上の赤色のストライプパターンの検査を再び行い、欠陥がないことを確認して、ブラックマトリクスの画像パターンが形成されたガラス基板に赤色のストライプパターンを転写することにより、図1(e)のような欠陥のない画像パターンを得ることができた。
(比較例)
The red stripe pattern on the blanket is inspected again to confirm that there is no defect, and the red stripe pattern is transferred to the glass substrate on which the black matrix image pattern is formed. An image pattern without such defects could be obtained.
(Comparative example)

カラーフィルタを形成するためのブランケットや赤色インキなどは前記と同様の部材を用いた。   For the blanket and red ink for forming the color filter, the same members as described above were used.

赤色インキをブランケット表面に塗工し予備乾燥させた後に、アクリル系樹脂凸版を押し当てて、ブランケット上に赤色のストライプパターンを形成し、既にブラックマトリクスの画像パターンが形成されたガラス基板に赤色のストライプパターンを転写した。   After red ink is applied to the blanket surface and pre-dried, the acrylic resin relief plate is pressed to form a red stripe pattern on the blanket, and the red color is applied to the glass substrate on which the black matrix image pattern has already been formed. The stripe pattern was transferred.

ガラス基板上に形成された画像パターンを光学顕微鏡で検査したところ、図2(a)に示すような付着欠陥が存在しており、ブラックマトリクス上では突起欠陥ともなっていることが分かったが、レーザーカットにて欠陥部分を除去しようとすると、赤色のストライプパターンとブラックマトリクスの両方の画像パターンを除去する必要があり、修正が困
難となるため、この画像パターンを破棄することにした。
When the image pattern formed on the glass substrate was inspected with an optical microscope, it was found that there were adhesion defects as shown in FIG. If it is attempted to remove the defective portion by cutting, it is necessary to remove both the red stripe pattern and the black matrix image pattern, which is difficult to correct. Therefore, this image pattern is discarded.

したがって、本発明の方法を用いた実施例においては、ブランケット上で単色の画像パターンの状態で画像修正を行ったことにより、容易に欠陥を修正でき、比較例のようにブラックマトリクスを形成したガラス基板を無駄にすることはなかった。   Therefore, in the embodiment using the method of the present invention, the defect can be easily corrected by correcting the image in the state of a single color image pattern on the blanket, and the glass in which the black matrix is formed as in the comparative example. The board was not wasted.

(a)〜(e)本発明になる欠陥修正の工程を模式的に説明する図。(A)-(e) The figure which illustrates typically the process of the defect correction which becomes this invention. 従来法で発生する欠陥の様子を模式的に説明する図。The figure which illustrates typically the mode of the defect which generate | occur | produces with the conventional method.

Claims (6)

少なくとも、ブランケット上にインキ液を塗布し、該インキ液を予備乾燥し予備乾燥インキ膜を形成する工程と、画像パターンを凹部とした凸版を予備乾燥インキ膜に押し当て引き離すことで当接部位の乾燥インキ膜を該凸版の凸部に転移させ、前記ブランケット上に画像パターンを残置する工程と、残置した画像パターンを被印刷基板に転写する工程と、を有する印刷方法において、
前記ブランケット上に残置した画像パターンを被印刷基板に転写する前に、残置した画像パターンの欠陥を検出し該欠陥を修正する工程、を含むことを特徴とする印刷方法。
At least a step of applying an ink liquid on a blanket, pre-drying the ink liquid to form a pre-dried ink film, and pressing and pulling a relief plate with an image pattern as a concave portion against the pre-dried ink film to In a printing method having a step of transferring a dry ink film to a convex portion of the relief plate and leaving an image pattern on the blanket, and a step of transferring the left image pattern to a substrate to be printed,
And a step of detecting a defect in the remaining image pattern and correcting the defect before transferring the image pattern left on the blanket to the substrate to be printed.
前記欠陥を修正する工程が、前記欠陥部分の画像パターンを除去した部分に、新たにインキ液を塗布し、該インキ膜を予備乾燥して後、前記凸版を該予備乾燥インキ膜に押し当て引き離すことで前記画像パターンの形状補正を行う工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の印刷方法。   In the step of correcting the defect, an ink liquid is newly applied to the part where the image pattern of the defective part is removed, the ink film is pre-dried, and then the relief plate is pressed against the pre-dried ink film and separated. The printing method according to claim 1, further comprising a step of correcting the shape of the image pattern. 前記画像パターンを除去した部分への新たなインキ液の塗布方法が、インキを先端部に付着させた針からブランケット上に塗布する方法であることを特徴とする請求項1又は2に記載の印刷方法。   3. The printing according to claim 1, wherein the method of applying a new ink liquid to the portion from which the image pattern has been removed is a method of applying the ink onto a blanket from a needle having an ink attached to the tip. Method. 前記画像パターンを除去した部分への新たなインキ液の塗布方法が、インキをインクジェット装置によりブランケット上に塗布する方法であることを特徴とする請求項1又は2に記載の印刷方法。   The printing method according to claim 1 or 2, wherein the method of applying a new ink liquid to the portion from which the image pattern has been removed is a method of applying ink onto a blanket using an inkjet apparatus. 前記画像パターンを除去した部分への新たなインキ液の塗布方法が、ディスペンサ装置によりブランケット上に塗布する方法であることを特徴とする請求項1又は2に記載の印刷方法。   The printing method according to claim 1 or 2, wherein a method of applying a new ink liquid to a portion from which the image pattern has been removed is a method of applying on a blanket by a dispenser device. 前記ブランケットがインキ剥離性を有する表面からなるガラス、もしくはプラスチックフィルムであることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の印刷方法。   The printing method according to any one of claims 1 to 5, wherein the blanket is made of glass or a plastic film having a surface having ink peelability.
JP2008233295A 2008-09-11 2008-09-11 Printing method Expired - Fee Related JP5338214B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008233295A JP5338214B2 (en) 2008-09-11 2008-09-11 Printing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008233295A JP5338214B2 (en) 2008-09-11 2008-09-11 Printing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010064380A true JP2010064380A (en) 2010-03-25
JP5338214B2 JP5338214B2 (en) 2013-11-13

Family

ID=42190385

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008233295A Expired - Fee Related JP5338214B2 (en) 2008-09-11 2008-09-11 Printing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5338214B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014083746A (en) * 2012-10-23 2014-05-12 Tokyo Electron Ltd Pattern formation method, and relief printing
CN112078264A (en) * 2019-06-14 2020-12-15 海德堡印刷机械股份公司 Printing method using compensated printing image for balancing inkjet printing defects

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5613172A (en) * 1979-07-16 1981-02-09 Toppan Printing Co Ltd Retouching device for minute pattern
JPH06115043A (en) * 1992-10-06 1994-04-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Offset printing method and apparatus
JP2002059527A (en) * 2000-08-22 2002-02-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd On-machine plate-making printing machine, method and apparatus for correcting printing plate
JP2005305743A (en) * 2004-04-20 2005-11-04 Toppan Printing Co Ltd PATTERN FORMING METHOD, PATTERN FORMING DEVICE, ORGANIC EL ELEMENT AND COLOR FILTER MANUFACTURING METHOD, ORGANIC EL ELEMENT AND COLOR FILTER
JP2007110065A (en) * 2005-10-12 2007-04-26 Kinko Denshi Kofun Yugenkoshi Method for inspecting and repairing defects in photoresist, and printed circuit board manufacturing process
JP2007134406A (en) * 2005-11-08 2007-05-31 Anritsu Corp Printing solder inspection apparatus

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5613172A (en) * 1979-07-16 1981-02-09 Toppan Printing Co Ltd Retouching device for minute pattern
JPH06115043A (en) * 1992-10-06 1994-04-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Offset printing method and apparatus
JP2002059527A (en) * 2000-08-22 2002-02-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd On-machine plate-making printing machine, method and apparatus for correcting printing plate
JP2005305743A (en) * 2004-04-20 2005-11-04 Toppan Printing Co Ltd PATTERN FORMING METHOD, PATTERN FORMING DEVICE, ORGANIC EL ELEMENT AND COLOR FILTER MANUFACTURING METHOD, ORGANIC EL ELEMENT AND COLOR FILTER
JP2007110065A (en) * 2005-10-12 2007-04-26 Kinko Denshi Kofun Yugenkoshi Method for inspecting and repairing defects in photoresist, and printed circuit board manufacturing process
JP2007134406A (en) * 2005-11-08 2007-05-31 Anritsu Corp Printing solder inspection apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014083746A (en) * 2012-10-23 2014-05-12 Tokyo Electron Ltd Pattern formation method, and relief printing
CN112078264A (en) * 2019-06-14 2020-12-15 海德堡印刷机械股份公司 Printing method using compensated printing image for balancing inkjet printing defects

Also Published As

Publication number Publication date
JP5338214B2 (en) 2013-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW523611B (en) Ink spraying process and apparatus of color filter
JP4683239B2 (en) Method for producing printing intaglio, method for producing electric substrate, and method for producing display device
JP5437026B2 (en) Ink composition and method for producing liquid crystal display device using the same
KR20110044292A (en) Manufacturing method of color filter, color filter substrate and color filter
JP5338214B2 (en) Printing method
CN101341443B (en) Photosensitive transfer material, member for display device, process for producing the member, black matrix, color filter, process for producing the color filter, substrate for display device, and display device
KR20090097787A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive resin transfer material, photo spacer and manufacturing method thereof, substrate for display device, and display device
JP2008207526A (en) Printing method and printing apparatus
JP5338215B2 (en) Printing method
JPH04249189A (en) Method for forming fine regist pattern
KR20080070809A (en) Photosensitive transfer materials, partitions and forming methods thereof, optical elements and manufacturing methods thereof, and display devices
TWI728489B (en) Imprint method using a soluble mold and its related imprint system
CN112955820B (en) Water-developable flexographic printing plate
JP2009235296A (en) Low polarity prepolymer and photosensitive resin composition containing it
JP5130617B2 (en) Ink and method for correcting ink discharge printed matter using the same
JP2010247394A (en) Printing device
WO2008041664A1 (en) Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminate, photosensitive transfer material, rib and method for forming the same, method for manufacturing laminate, member for display device, color filter for display device, method for manufacturing color filter, and display device
JP3197660B2 (en) Manufacturing method of color filter
JPH1086549A (en) Blanket, printing device and printing method
JP4231670B2 (en) Color filter defect correction device
JP4834974B2 (en) Method for forming black matrix of color filter and method for forming color filter
JP5195337B2 (en) Etching resist ink and resist pattern forming method using the same
JP2008050398A (en) Printing ink composition and color filter using this
JP2008116880A (en) Method for forming spacer beads on color filter for liquid crystal display device and method for producing liquid crystal display element
JP2006337952A (en) Manufacturing method of color filter

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110825

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121002

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121127

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130305

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130531

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20130610

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130709

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130722

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees