JP2010064029A - Fluid delivery device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は流体吐出装置に関し、特に、装置内部に通過断面積が縮小された加速ユニットが設置され、吐出させたい流体を加速させ、加速ユニットは更に二流体を均等に吐出させる機能を有する二流体噴霧装置に関する。 The present invention relates to a fluid ejection device, and in particular, an acceleration unit having a reduced cross-sectional area is installed inside the device to accelerate a fluid to be ejected, and the acceleration unit further has a function of ejecting two fluids equally. It relates to a spraying device.
ノズル装置は液体霧化原理を応用したものであり、液体霧化原理は一流体および二流体の二種類に分類される。一流体ノズルは液体加圧式ノズルと称し、ポンプを利用して液体を必要な圧力まで加圧し、その後、ノズル内部の特殊機構に流し、最後に出口から分散させる。この種のノズルは平均噴霧粒径が大きいので、噴霧粒径を小さくさせたい場合、使用圧力を高めるか、或いは孔径を縮小させる必要があり、ポンプの選択に関する問題およびノズルが詰まる問題が発生する。二流体ノズルは気体補助式ノズルと称し、高圧気体(一般に空気)を液体に衝突させ、液体の表面張力を破壊して液体を微小な霧にし、出口から分散させる。一流体ノズルと比較して二流体ノズルは微細な粒径を生成することができ、ノズルの孔径も大きいので異物が詰まることも少なく、流量の調整範囲も大きい。 The nozzle device is an application of the liquid atomization principle, and the liquid atomization principle is classified into two types of one fluid and two fluids. The one-fluid nozzle is called a liquid pressurizing nozzle and pressurizes the liquid to a required pressure by using a pump, and then flows into a special mechanism inside the nozzle and finally disperses from the outlet. Since this type of nozzle has a large average spray particle size, if it is desired to reduce the spray particle size, it is necessary to increase the operating pressure or reduce the pore size, which causes problems related to pump selection and nozzle clogging. . The two-fluid nozzle is called a gas-assisted nozzle, which collides high-pressure gas (generally air) with the liquid, breaks the surface tension of the liquid, makes the liquid a fine mist, and disperses it from the outlet. Compared with the one-fluid nozzle, the two-fluid nozzle can generate a fine particle size, and since the nozzle has a large hole diameter, foreign matter is hardly clogged and the flow rate adjustment range is large.
二流体ノズルの霧化機構は、内部霧化(internal atomizing)および外部霧化(external atomizing)に分類することができる。外部霧化は液体がシステムを離れた後、外部において直接気体を液体に衝突させ、気体と液体を混合させて霧化し、作用区域が外部に位置するので、その圧力を再利用することができない。内部霧化はノズル本体内で気体が供給され、気体を液体に衝突させ、混合チャンバによって液体と気体が混合され、各種形式の出口孔(円形または長尺状開口など)によって必要な散布形式および効果が指定された表面上に形成される。外部霧化は通常高湿度または低気温環境で使用され、内部霧化は出口孔の設計によって、通常、物体の洗浄、液体散布または鋼片冷却に使用される。従来技術による二流体ノズルにおいては空気の消費量が少なく、液滴粒径が小さく、衝突力が大きいという三つの条件を同時に満足することは難しく、空気消費量が少ないほど、衝突力が小さく、液滴粒径が大きい。反対に、粒径が小さいほど、必要な衝突力が大きくなり、空気消費量も多くなり、多量の空気は気流から大きな比率の液滴を奪う。孔径を縮小することによって液滴速度を高めて衝突力を増加させる場合、気体速度は音速を限界点とするので孔径を縮小させることによって上述の三つの条件を同時に満足させることができない。
本発明の第1の目的は、流体吐出装置の主体内に一つまたは多段式の加速ユニットを設置して流体速度を高める流体吐出装置を提供することにあり、流体吐出装置は二流体噴霧システムとすることができ、従来技術による二流体噴霧システムにおいては加圧空気は一度しか利用できず、大部分の加圧空気は一度の加速の後、大気中に消失するが、本発明においては、一つまたは多段式の加速ユニットが設置されることによって空気が複数回回収されて利用でき、液滴を複数回加速させることができ、必要な液滴速度に達成させることができ、液滴速度または粒径が必要とする水準に達した場合、空気圧力を低下させることができるので、加速ユニットが設置されたノズル装置によって、圧力を増加させない状況で液滴速度を高めることができ、空気消費量を低減させることができる。
本発明の第2の目的は、加速ユニットが設置されることによって更に大きな衝突力および更に小さな液滴粒径を達成することができる流体吐出装置を提供することにあり、高速な水滴であればあるほど、微細な粒径になり、速度が速ければ速いほど、粒径が小さな水滴となり、作業効率を高めることができ、鋼片の冷却、LCDガラス基板の洗浄、環境の加湿または消毒などに応用することができる。
A first object of the present invention is to provide a fluid ejecting apparatus in which one or a multi-stage acceleration unit is installed in the main body of the fluid ejecting apparatus to increase the fluid velocity. In the two-fluid spray system according to the prior art, the pressurized air can be used only once, and most of the pressurized air disappears into the atmosphere after one acceleration. By installing one or multistage acceleration unit, air can be recovered and used multiple times, droplets can be accelerated multiple times, the required droplet velocity can be achieved, droplet velocity Or, when the particle size reaches the required level, the air pressure can be reduced, so the nozzle device with the acceleration unit can increase the droplet velocity without increasing the pressure. It is possible to reduce the air consumption.
A second object of the present invention is to provide a fluid ejection device that can achieve a larger impact force and a smaller droplet size by installing an acceleration unit. The finer the particle size, the faster the speed, the smaller the particle size, the smaller the water droplets, the higher the work efficiency, and the cooling of billets, LCD glass substrate cleaning, environmental humidification or disinfection, etc. Can be applied.
上述の目的を解決するために、請求項1の発明は、流体が進入して混合されるチャンバと、チャンバ内に設置されるか、或いはチャンバと接続され、チャンバ内の流体の加速に使用される少なくとも一つの加速ユニットと、加速ユニットの一端と接続される流体出口部分と、を備えることを特徴とする流体吐出装置である。 In order to solve the above-mentioned object, the invention of claim 1 is a chamber in which fluid enters and is mixed, and is installed in or connected to the chamber, and is used for acceleration of the fluid in the chamber. A fluid discharge device comprising: at least one acceleration unit; and a fluid outlet portion connected to one end of the acceleration unit.
請求項2の発明は、流体吐出装置は、二流体噴霧システムであることを特徴とする請求項1記載の流体吐出装置である。 The invention according to claim 2 is the fluid ejection device according to claim 1, wherein the fluid ejection device is a two-fluid spray system.
請求項3の発明は、流体吐出装置は、ノズルであることを特徴とする請求項2記載の流体吐出装置である。 The invention according to claim 3 is the fluid ejection device according to claim 2, wherein the fluid ejection device is a nozzle.
請求項4の発明は、流体吐出装置は、エアナイフ霧化システムであることを特徴とする請求項2記載の流体吐出装置である。 The invention according to claim 4 is the fluid ejection device according to claim 2, wherein the fluid ejection device is an air knife atomization system.
請求項5の発明は、加速ユニットは、少なくとも一つのベンチュリ管であることを特徴とする請求項1記載の流体吐出装置である。 The invention according to claim 5 is the fluid ejection device according to claim 1, wherein the acceleration unit is at least one venturi tube.
請求項6の発明は、加速ユニットは、少なくとも一つのオリフィスであることを特徴とする請求項1記載の流体吐出装置である。 The invention according to claim 6 is the fluid ejection device according to claim 1, wherein the acceleration unit is at least one orifice.
本発明は加速ユニットが設置された流体吐出装置を提供するものである。流体吐出装置は内部霧化の二流体噴霧装置とすることができ、加速ユニットが設置されたノズルはノズル本体内で使用することができ、気体を液体に衝突させる混合チャンバ内に少なくとも一つの加速ユニットを設置することができ、加速ユニットは図8に示すベンチュリ管または図9に示すオリフィスとすることができる。加速ユニットは空気圧力を高めない状況の下、液滴速度を高めることができ、空気を回収して再利用することができ、霧化に必要な空気圧力および消費量を低減させ、高効率に圧力を応用ことができる。図6、7に示すように、加速ユニットが設置された流体吐出装置はエアナイフ霧化システムとすることができる。エアナイフの構造において、霧化機構以外に、少なくとも一つの加速ユニットが設置され、このようにして二流体の流動は加速ユニットによる加速によって均一化され、ほぼ完全に噴霧したい表面に均一で垂直に散布を行うことができ、従来技術の複数の扇形の二流体ノズルにおける散布が不均一である問題を解決できる。 The present invention provides a fluid ejection device in which an acceleration unit is installed. The fluid ejection device can be a two-fluid spray device with internal atomization, the nozzle with the acceleration unit can be used in the nozzle body, and at least one acceleration in the mixing chamber that causes the gas to collide with the liquid A unit can be installed and the acceleration unit can be a venturi tube as shown in FIG. 8 or an orifice as shown in FIG. The acceleration unit can increase the droplet velocity in a situation where the air pressure is not increased, recover and reuse the air, reduce the air pressure and consumption required for atomization, and increase efficiency Pressure can be applied. As shown in FIGS. 6 and 7, the fluid ejection device in which the acceleration unit is installed can be an air knife atomization system. In the structure of the air knife, in addition to the atomization mechanism, at least one acceleration unit is installed. In this way, the flow of the two fluids is made uniform by acceleration by the acceleration unit, and almost completely sprayed uniformly and vertically on the surface to be sprayed. And can solve the problem of non-uniform distribution in the plurality of fan-shaped two-fluid nozzles of the prior art.
本発明の目的、特徴および効果を示す実施例を図に沿って詳細に説明する。 Embodiments showing the objects, features, and effects of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本発明は流体吐出装置に関し、特に、二流体噴霧装置に関する。 The present invention relates to a fluid ejection device, and more particularly to a two-fluid spray device.
本発明の二流体噴霧装置は内部霧化の装置に属し、気体を液体に衝突させる混合チャンバ上に少なくとも一つの断面積が縮小された加速ユニットが設置される。気体および液体が混合チャンバに進入し、混合チャンバ内で均一に混合された後、加速ユニットを通過する。加速ユニットは一端の内壁が縮小し、一端の内壁が徐々に拡大した構造のベンチュリ管702、704を有する(図8を参照)。加速ユニットの内壁が収縮した一端は混合チャンバの出口と接続され、液体または気体が収縮した内壁を流れるとき、断面積が小さくなるので、二流体の速度が増加する。加速ユニットは図9に示すような断面積が縮小されたオリフィス802、804とすることができ、それによっても二流体の速度を高めることができる。以下の実施例は加速ユニットが設置されたノズル装置と加速装置が設置されていないノズル装置を比較したものであり、出口部分の液滴速度を示したものである。液体は気体が衝突した後、微細液滴を形成して非連続相となるので、液滴が出口孔に到達したとき、運動量保存則(m1v1=m2v2:mは液滴質量、vは液滴速度)によって直接液滴の速度を計算できず、運動量保存則、質量保存則およびエネルギー保存則によって計算される。以下の実施例によって本発明の概念およびその効果を証明する。
The two-fluid spraying device of the present invention belongs to an internal atomization device, and at least one acceleration unit having a reduced cross-sectional area is installed on a mixing chamber that causes a gas to collide with a liquid. After the gas and liquid enter the mixing chamber and are uniformly mixed in the mixing chamber, they pass through the acceleration unit. The acceleration unit includes
本発明の実施例一はベンチュリ管が設置された二流体ノズル200である(図2を参照)。
The first embodiment of the present invention is a two-
以下に従来技術による加速ユニットが設置されていない二流体ノズルと本実施例による加速ユニットが設置された二流体ノズルの出口部分の液滴速度の比較を示す。 A comparison of droplet velocities at the outlet portion of the two-fluid nozzle in which the acceleration unit according to the prior art is not installed and the two-fluid nozzle in which the acceleration unit according to the present embodiment is installed is shown below.
図1は従来技術による加速ユニットが設置されていない二流体ノズル100を示し、その構造は左から右に混合チャンバ101および出口孔102が設けられる。
FIG. 1 shows a two-
以下に加速ユニットが設置されていない二流体ノズル100の各条件を示す。
Each condition of the two-
a.混合チャンバ101内
空気速度:15m/s
水滴速度7.5m/s
水滴粒径:30μm
温度:25℃
圧力:3kg/cm2G
インナーチャンバ直径D11:6m/m
b.PT11からPT12までの長さd11:5mm
c.出口孔102部分
出口孔径D12:1.8m/m
d.PT12からPT13までの長さd12:5mm
a. Air velocity in mixing chamber 101: 15 m / s
Water drop speed 7.5m / s
Water droplet size: 30 μm
Temperature: 25 ° C
Pressure: 3kg / cm2G
Inner chamber diameter D11: 6 m / m
b. PT11 to PT12 length d11: 5mm
c. Exit hole 102 exit hole diameter D12: 1.8 m / m
d. PT12 to PT13 length d12: 5mm
図2は一つの加速ユニットが設置された二流体ノズル200を示し、その構造は左から右に混合チャンバ201、ベンチュリ管202、回収部203および出口孔204が設けられる。
FIG. 2 shows a two-
以下に一つの加速ユニットが設置された二流体ノズル200の各条件を示す。
Each condition of the two-
a.混合チャンバ201内
空気速度:15m/s
水滴速度7.5m/s
水滴粒径:30μm
温度:25℃
圧力:3kg/cm2G
インナーチャンバ直径D21:6m/m
b.PT21からPT22までの長さd21:5mm
c.ベンチュリ管202
最小直径D22:1.8m/m
d.PT22からPT23までの長さd22:5mm
e.回収部203
インナーチャンバ直径D23:6m/m
f.PT23からPT24までの長さd23:5mm
g.出口孔204部分
出口孔径D24:1.8m/m
h.PT24からPT25までの長さd24:5mm
a. Air velocity in mixing chamber 201: 15 m / s
Water drop speed 7.5m / s
Water droplet size: 30 μm
Temperature: 25 ° C
Pressure: 3kg / cm2G
Inner chamber diameter D21: 6 m / m
b. PT21 to PT22 length d21: 5mm
c.
Minimum diameter D22: 1.8 m / m
d. PT22 to PT23 length d22: 5mm
e.
Inner chamber diameter D23: 6 m / m
f. PT23 to PT24 length d23: 5mm
g.
h. PT24 to PT25 length d24: 5mm
上述の二つの例は、加速ユニット以外、その他の条件は全て同一であり、上述の二つの例において、粒径の大きさが30μmの水滴が加速過程において粒径が変更しないと仮定し、1次元を計算の基礎として数値回析法による計算によって取得された結果を表1‐1〜1‐2および表2‐1〜2‐4に示す。
表2‐4における最終行の数値は二流体ノズル200のPT25部分のデータであり、そのデータを下記に示す。
空気速度:51.8123m/s
空気温度:297.89K
圧力:0.2684*106Pa
水滴速度:68.8067m/s
The numerical values in the last row in Table 2-4 are the data of the PT25 portion of the two-
Air speed: 51.8123m / s
Air temperature: 297.89K
Pressure: 0.2684 * 10 6 Pa
Water droplet speed: 68.8067 m / s
表1‐2の最終行の数値は二流体ノズル100のPT13部分(出口孔から5mmの部分)のデータであり、そのデータを下記に示す。
The numerical values in the last row of Table 1-2 are data of the PT13 portion (5 mm from the outlet hole) of the two-
空気速度:43.6308m/s
空気温度:297.81K
圧力:0.3186*106Pa
水滴速度:50.2845m/s
Air velocity: 43.6308 m / s
Air temperature: 297.81K
Pressure: 0.3186 * 10 6 Pa
Water drop speed: 50.2845 m / s
以上の数値から分かるように、ベンチュリ管が設置された二流体ノズル200の出口から5mm部分の水滴速度は68.8067m/sであり、加速ユニットが設置されていない二流体ノズル100の出口から5mm部分の水滴速度は50.2845m/sであり、両者の速度差は18.5222m/sである。即ち、加速ユニットの水滴に対する加速効果は36.8%に達する。しかし、二流体ノズル200において、加速ユニットを通過してPT23に到達する圧損は10.8%であるので、再利用可能な圧力が残っており、複数の加速ユニットが設置されたノズル装置を設計することができる。従って、以下の実施例2においては二流体ノズル300内に二つのベンチュリ管302、304が設置されて加速ユニットとされる。
As can be seen from the above numerical values, the water droplet velocity in the 5 mm portion from the outlet of the two-
本発明の実施例2は二つのベンチュリ管が設置された二流体ノズル300である(図3を参照)。
The second embodiment of the present invention is a two-
以下は従来技術による加速ユニットが設置されていない二流体ノズル100と本実施例による二つの加速ユニットが設置された二流体ノズル300の出口部分の液滴速度の比較を示す。
The following is a comparison of the droplet velocities at the outlet of the two-
図3は二流体ノズル300内に二つのベンチュリ管302、304が設置されて加速ユニットとされ、その構造は左から右に混合チャンバ301、ベンチュリ管302、回収部303、ベンチュリ管304、回収部305および出口孔306が設けられる。
FIG. 3 shows an acceleration unit in which two
以下に二流体ノズル300の各条件を示す。
Each condition of the two-
a.混合チャンバ301内
空気速度:15m/s
水滴速度7.5m/s
水滴粒径:30μm
温度:25℃
圧力:3kg/cm2G
インナーチャンバ直径D31:6m/m
b.PT31からPT32までの長さd31:5mm
c.ベンチュリ管302
直径D32:1.8m/m
d.PT32からPT33までの長さd32:5mm
e.回収部303
直径D3:6m/m
f.PT33からPT34までの長さd33:5mm
g.ベンチュリ管304
直径D34:1.8m/m
h.PT34からPT35までの長さd34:5mm
i.回収部305
直径D35:6m/m
j.PT35からPT36までの長さd35:5mm
k.出口孔306
出口孔径D36:2.0m/m
l.PT36からPT37までの長さd36:5mm
a. Air velocity in mixing chamber 301: 15 m / s
Water drop speed 7.5m / s
Water droplet size: 30 μm
Temperature: 25 ° C
Pressure: 3kg / cm2G
Inner chamber diameter D31: 6 m / m
b. PT31 to PT32 length d31: 5mm
c.
Diameter D32: 1.8 m / m
d. PT32 to PT33 length d32: 5mm
e.
Diameter D3: 6m / m
f. PT33 to PT34 length d33: 5mm
g. Venturi 304
Diameter D34: 1.8 m / m
h. PT34 to PT35 length d34: 5mm
i. Collection unit 305
Diameter D35: 6m / m
j. PT35 to PT36 length d35: 5mm
k. Exit hole 306
Outlet hole diameter D36: 2.0 m / m
l. PT36 to PT37 length d36: 5mm
上述の二つの例において、粒径の大きさが30μmの水滴が加速過程において粒径が変更しないと仮定し、1次元を計算の基礎として数値回析法による計算によって取得された結果を表3‐1、3‐2、3‐3、3‐4、3‐5、3‐6に示す。
空気速度:46.8082m/s
空気温度:298.41K
圧力:0.2829E+6Pa
水滴速度:72.6306m/s
In the above two examples, assuming that a water droplet having a particle size of 30 μm does not change its particle size in the acceleration process, the results obtained by calculation by the numerical diffraction method on the basis of one dimension are shown in Table 3. -1, 3-2, 3-3, 3-4, 3-5, 3-6.
Air speed: 46.8082 m / s
Air temperature: 298.41K
Pressure: 0.2829E + 6Pa
Water drop speed: 72.6306 m / s
以上の数値から分かるように、二つの加速ユニットが設置された二流体ノズル300の出口から5mm部分の水滴速度は72.6306m/sであり、加速ユニットが設置されていない二流体ノズル100の出口から5mm部分の水滴速度は50.2845m/sであり、両者の速度差は22.3461m/sであり、二つの加速ユニットの水滴に対する加速効果は44.4%に達する。
As can be seen from the above numerical values, the water droplet velocity in the 5 mm portion from the outlet of the two-
以上の二つの実施例から分かるように、空気圧力が増加されず、加速ユニットが設置された二流体ノズル200、300の出口孔径(2m/m)が加速ユニットが設置されていない二流体ノズル100の出口孔径(1.8m/m)より小さくない状況の下、加速ユニットを通過する水滴は確実に加速される。
As can be seen from the above two embodiments, the two-
図4は本発明の他の実施例を示し、一つのオリフィスを加速ユニットとした二流体ノズル装置の簡略図である。 FIG. 4 shows another embodiment of the present invention, and is a simplified diagram of a two-fluid nozzle device using one orifice as an acceleration unit.
図5は本発明の他の実施例を示し、二つのオリフィスを加速ユニットとした二流体ノズル装置の簡略図である。 FIG. 5 shows another embodiment of the present invention, and is a simplified diagram of a two-fluid nozzle device having two orifices as acceleration units.
図6は上述のベンチュリ管をエアナイフ霧化システムに応用した状態の簡略図である。上述のベンチュリ管502はエアナイフ霧化システム500に応用され、ベンチュリ管502が吐出する二流体は均一且つ液滴速度が高められた状況の下、噴霧したい物体の表面に噴霧することができる。
FIG. 6 is a simplified view of the above-described venturi tube applied to an air knife atomization system. The above-described
図7は本発明の他の実施例を示し、オリフィスをエアナイフ霧化システムに応用した状態の簡略図である。 FIG. 7 shows another embodiment of the present invention, and is a simplified diagram showing a state where an orifice is applied to an air knife atomizing system.
以上の実施例から分かるように、本発明の加速ユニットが設置された流体吐出装置は確実に流体を加速させる効果を有する。上述の詳細な説明は本発明の好適な実施例を示したものであり、本発明の実施範囲を制限するものではない。本発明の特許請求の範囲に基づく同等効果の変更および修飾等は全て本発明の特許請求の範囲に含まれる。 As can be seen from the above embodiments, the fluid ejection device provided with the acceleration unit of the present invention has the effect of reliably accelerating the fluid. The above detailed description shows preferred embodiments of the present invention and is not intended to limit the scope of the present invention. All changes and modifications of the equivalent effects based on the scope of the claims of the present invention are included in the scope of the claims of the present invention.
200 一つの加速ユニットが設置された二流体ノズル
201、301 混合チャンバ
202、302、304、502、702、704 ベンチュリ管
203、303、304、305 回収部
204、306 出口孔
300 二つの加速ユニットが設置された二流体ノズル
402、404、406、602、802、804 オリフィス
500、600 エアナイフ霧化システム
200 Two-
Claims (6)
前記チャンバ内に設置されるか、或いは前記チャンバと接続され、前記チャンバ内の流体の加速に使用される少なくとも一つの加速ユニットと、
前記加速ユニットの一端と接続される流体出口部分と、を備えることを特徴とする流体吐出装置。 A chamber into which fluid enters and is mixed;
At least one acceleration unit installed in or connected to the chamber and used to accelerate fluid in the chamber;
And a fluid outlet portion connected to one end of the acceleration unit.
Priority Applications (1)
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2008
- 2008-09-12 JP JP2008234076A patent/JP2010064029A/en active Pending
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