JP2010054392A - Light guiding apparatus for spectrally measuring small quantity of liquid - Google Patents
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Abstract
【課題】透明基板に形成された流路溝中を流れ透明基板より低屈折率の試料溶液に対し、高感度な分光測定を可能とする、簡単な構造の微少量液体分光測定装置を実現する。
【解決手段】透明基板1の表面に形成された測定対象である試料溶液の流路である流路溝2と、流路溝の両側に流路溝と平行に形成された反射溝3、4とを備え、透明基板1の材料は、試料溶液の屈折率より大きな屈折率を有するものであり、光源5から出て透明基板1の側面から入射された検出光の光束が、流路溝2を横切り反射溝3、4の内壁面6により全反射されることを繰り返し、少なくとも2回以上、流路溝2を横切りながら進行し検出器12に導かれる。
【選択図】図1[PROBLEMS] To realize a micro liquid crystal measuring apparatus having a simple structure capable of performing highly sensitive spectroscopic measurement for a sample solution having a refractive index lower than that of a transparent substrate flowing in a channel groove formed on a transparent substrate. .
A flow path groove 2 that is a flow path of a sample solution to be measured formed on a surface of a transparent substrate 1 and reflection grooves 3 and 4 formed on both sides of the flow path groove in parallel with the flow path groove. The material of the transparent substrate 1 has a refractive index larger than the refractive index of the sample solution, and the light flux of the detection light that has exited from the light source 5 and entered from the side surface of the transparent substrate 1 Is repeatedly reflected by the inner wall surface 6 of the reflection grooves 3 and 4, proceeds at least two times while crossing the flow channel groove 2, and is guided to the detector 12.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、微少量の液体試料について分光測定を行う装置に関し、詳細には、マイクロ流路を流れる微小量の液体試料に対して、流路の表面処理などを行うことなく、高感度な分光測定を実現する測定装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for performing spectroscopic measurement on a very small amount of a liquid sample, and more specifically, high-sensitivity spectroscopy without performing surface treatment of the channel on a very small amount of liquid sample flowing through the microchannel. The present invention relates to a measurement apparatus that realizes measurement.
近年、微少量の液体について高感度な光学的測定を行うニーズが高まっている。その1例は環境分析測定であり、水溶液などのサンプル液体に含まれる微量化学物質を高感度に分光測定する必要がある。また、タンパク質やDNAのような生体関連化学物質の測定でも微量分析が求められる。これは、サンプル量の確保が困難であり、かつ、サンプル処理に用いる検査試薬が高価であり、必要試料量が増加することによって測定コストの増大を招くからである。 In recent years, there has been an increasing need for highly sensitive optical measurement of a minute amount of liquid. One example is environmental analysis measurement, and it is necessary to spectroscopically measure a trace chemical substance contained in a sample liquid such as an aqueous solution with high sensitivity. Microanalysis is also required for measurement of biologically relevant chemical substances such as proteins and DNA. This is because it is difficult to secure the sample amount, and the test reagent used for the sample processing is expensive, and an increase in the necessary sample amount causes an increase in measurement cost.
このような微小量の液体を扱うシステムとしてマイクロ流体デバイスが注目されている。ここでは、微小溝を流れる試料溶液についての分析を行う。微小流路内の液体の高感度な分光測定の実現が望まれている。分光測定の手法としては、高感度な蛍光法が広く用いられている。 A microfluidic device is attracting attention as a system for handling such a minute amount of liquid. Here, the sample solution flowing through the minute groove is analyzed. Realization of highly sensitive spectroscopic measurement of the liquid in the microchannel is desired. As a method of spectroscopic measurement, a highly sensitive fluorescence method is widely used.
しかし、蛍光法は検出可能物質が蛍光性の物質に限定される。吸光度を測定する吸収法は測定対象を選ばないが、蛍光法と比較すると感度が低い。しかし、吸収法は、測定対象物質が蛍光性の物質に限られない点、吸光度が物質濃度に比例するという点で蛍光法より優れているため、高感度に測定する手法の開発が必要になる。 However, in the fluorescence method, the detectable substance is limited to a fluorescent substance. The absorption method for measuring the absorbance is not limited to the measurement target, but is less sensitive than the fluorescence method. However, the absorption method is superior to the fluorescence method in that the substance to be measured is not limited to a fluorescent substance and the absorbance is proportional to the substance concentration, so a method for measuring with high sensitivity is required. .
これまで提案されてきたマイクロ流路内部の液体の吸光度による分光測定を行う具体的な手段、及びその問題点について、以下さらに説明する。 Specific means for performing spectroscopic measurement based on the absorbance of the liquid inside the microchannel and the problems that have been proposed will be further described below.
(1)マイクロ流路に対する1回透過の測定
マイクロ流路を横切る光を利用した吸光度による分析をおこなう場合、吸光度はBeer−Lambert則に従うため、溶液濃度あるいは、光路長に比例する。マイクロ流路の深さは通常50〜100マイクロメートル程度である。光路長が非常に短くなってしまうため、十分な感度が得られないという問題がある。
(1) Measurement of one-time transmission with respect to a microchannel When performing an analysis by absorbance using light crossing the microchannel, the absorbance is proportional to the solution concentration or the optical path length because it follows the Beer-Lambert rule. The depth of the microchannel is usually about 50 to 100 micrometers. Since the optical path length becomes very short, there is a problem that sufficient sensitivity cannot be obtained.
(2)マイクロ流路中を流れる液体をコアとする導波システムによる測定
流路内部を流路方向に光を通じれば、十分な光路長が確保される。しかし、マイクロ流路の深さは通常50〜100マイクロメートル程度であり、このサイズで光を平行光線化して透過させるのは実質的に不可能である。そのため、光ファイバーに類似した導波形態を利用する必要がある。この導波状態は、液体の屈折率が流路を形成する母材の屈折率より高い場合にのみ実現されるため、母材と溶液の組み合わせが限定される。
(2) Measurement using a waveguide system with a liquid flowing in the microchannel as a core If a light is passed through the channel in the direction of the channel, a sufficient optical path length is secured. However, the depth of the microchannel is usually about 50 to 100 micrometers, and it is practically impossible to transmit light in this size by converting it into parallel rays. Therefore, it is necessary to use a waveguide form similar to an optical fiber. Since this waveguide state is realized only when the refractive index of the liquid is higher than the refractive index of the base material forming the flow path, the combination of the base material and the solution is limited.
最も広範に利用される水溶液サンプルの屈折率はn=1.33程度であるのに対して、マイクロ流路形成の母材としてよく使われるガラスの屈折率はn>1.4であり、この組み合わせでは導波状態をつくることができない。最も必要性の高い組み合わせに適応できないことが本手法の最大の問題点である。 The refractive index of the most widely used aqueous solution sample is about n = 1.33, whereas the refractive index of glass often used as a base material for forming a microchannel is n> 1.4. The combination cannot create a guided state. The biggest problem with this method is that it cannot be adapted to the most necessary combination.
(3)流路の壁を金属反射層、あるいは、低屈折率材でコートした液体コア導波システムによる測定
溝構造の表面に反射層となる金属の薄膜(特許文献1及び特許文献2参照)、あるいは、水よりも小さな屈折率を有する媒体の薄膜(非特許文献1参照)を形成することにより、低屈折率の水溶液を試料溶液とする場合にも溝内部の液体をコアとする導波状態を作ることができる。これにより、流路の壁を金属反射層、あるいは、低屈折率材でコートした液体コア導波システムによる測定する手段も知られている。
(3) Measurement by a liquid core waveguide system in which the walls of the flow path are coated with a metal reflection layer or a low refractive index material A metal thin film that becomes a reflection layer on the surface of the groove structure (see Patent Document 1 and Patent Document 2) Alternatively, by forming a thin film of a medium having a refractive index smaller than that of water (see Non-Patent Document 1), even when an aqueous solution having a low refractive index is used as a sample solution, the waveguide having the liquid inside the groove as a core is used. Can make a state. Accordingly, a means for measuring by a liquid core waveguide system in which the walls of the flow path are coated with a metal reflection layer or a low refractive index material is also known.
しかし、微小な溝の内部に薄く均一なコート層を作るのは技術的に難しく、繰り返し使用によりコートは剥がれてしまう可能性が高いという問題点がある。 However, it is technically difficult to form a thin and uniform coating layer inside the minute groove, and there is a problem that the coating is likely to be peeled off by repeated use.
(4)ARGOWシステムによる測定
低屈折率の液体試料がガラスなどの高屈折率部材によって作られた表面反射層を形成していないマイクロ溝構造をながれる場合、高屈折率部材の端面によって反射されて進行する光束が、マイクロ溝部位を繰り返し横切ることを利用するのがSchmidtらにより提案されている非共鳴導波(Anti−Resonant Guided Optical Wave)である(非特許文献1参照)。
(4) Measurement by ARGOW system When a liquid sample with a low refractive index has a micro-groove structure without a surface reflection layer made of a high refractive index member such as glass, it is reflected by the end face of the high refractive index member. It is the non-resonant guided optical wave proposed by Schmidt et al. (See Non-Patent Document 1) that utilizes the fact that the traveling light beam repeatedly crosses the micro-groove region.
この方法は溝構造を形成する母材である2枚のガラス板の上下面での光の全反射を利用するものであり、試料の流通するマイクロ溝を光が横切る回数は、用いるガラスの厚さにより規定される。母材とするガラスが薄いと取り扱いが著しく困難になるため、0.5ミリメートル、好ましくは1ミリメートル以上の厚さを有する必要がある。この厚さが厚いほど、光が液体を通過する回数が減少するため、感度の向上が限定されるという問題点がある。 This method uses total reflection of light on the upper and lower surfaces of two glass plates, which are base materials for forming a groove structure, and the number of times light crosses the microgroove through which the sample circulates depends on the thickness of the glass used. It is prescribed by Since the glass as a base material is extremely difficult to handle, it is necessary to have a thickness of 0.5 mm, preferably 1 mm or more. The thicker the thickness, the lower the number of times light passes through the liquid.
(5)その他の手段
従来から利用されている分光装置としては、エバネッセント波成分を利用した導波路型の分光装置が存在する(特許文献3参照)。この方法においては、検出光が高屈折率媒体内部を全反射しながら進行する際に、高屈折率媒体の外縁からさらに外側に1波長程度のしみ出す光を利用した測定を行う。
(5) Other Means As a spectroscopic device that has been used conventionally, there is a waveguide type spectroscopic device that uses an evanescent wave component (see Patent Document 3). In this method, when detection light travels while totally reflecting inside the high refractive index medium, measurement is performed using light that oozes about one wavelength outward from the outer edge of the high refractive index medium.
測定対象物質は光が導波する高屈折率媒体の内部ではなく外側に存在するため、導波による光路長の拡大は測定感度の向上に寄与しない。この方法は、高屈折率媒体の外側、検出光の1波長程度以内の距離に存在する物質についての分光分析を行うためのものであり、溶液試料内に均一に分布する測定対象物質に対する測定をおこなう場合の高感度化は望めない。 Since the substance to be measured exists outside the high refractive index medium through which light is guided, the increase of the optical path length due to the waveguide does not contribute to the improvement of measurement sensitivity. This method is for performing spectroscopic analysis on a substance existing outside the high refractive index medium and within a distance of about one wavelength of the detection light, and measures a measurement target substance uniformly distributed in a solution sample. High sensitivity cannot be expected when performing.
また、この高屈折率媒体による導波は、その表面に固定化した測定対象物質からの蛍光、あるいは、散乱光を選択的に導くことで高感度に検出するためにも利用される(特許文献4参照)。これらの手段は溶液内部に均一に分布する化学成分の分光測定を高感度に行うことを目的とする本発明とは測定対象が異なる。 In addition, the waveguide by the high refractive index medium is also used for detecting with high sensitivity by selectively introducing fluorescence or scattered light from the measurement target substance immobilized on the surface (Patent Document). 4). These means are different in measurement object from the present invention aiming at performing high-sensitivity spectroscopic measurement of chemical components uniformly distributed in the solution.
本発明は上記従来の分光測定の手段の問題点を解決することを目的とするものであり、透明基板に形成された流路溝中を流れ透明基板より低屈折率の試料溶液に対し、高感度な分光測定を可能とする、簡単な構造の微少量液体分光測定装置を実現するものである。 The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the conventional means of spectroscopic measurement, and it flows through a channel groove formed in a transparent substrate and has a higher refractive index than that of the transparent substrate. It is intended to realize a micro liquid crystal measuring device having a simple structure that enables sensitive spectroscopic measurement.
本発明は上記課題を解決するために、透明基板の表面に形成された測定対象である試料溶液の流路である流路溝と、該流路溝の両側に該流路溝と平行に形成された反射溝とを備えた導波型微少量液体分光測定装置であって、前記透明基板の材料は、試料溶液の屈折率より大きな屈折率を有するものであり、前記透明基板の側面から入射された検出光の光束が、流路溝を横切り反射溝の内壁面により全反射されることを繰り返し、少なくとも2回以上、流路溝を横切りながら進行し検出器に導かれることを特徴とする導波型微少量液体分光測定装置を提供する。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention forms a flow channel that is a flow path of a sample solution to be measured formed on the surface of a transparent substrate, and is formed on both sides of the flow channel in parallel to the flow channel. A waveguide micro-volume liquid spectroscopic measurement device having a reflective groove, wherein the material of the transparent substrate has a refractive index larger than the refractive index of the sample solution, and is incident from the side surface of the transparent substrate. The detected light beam is repeatedly reflected across the flow path groove and totally reflected by the inner wall surface of the reflection groove, and travels through the flow path groove at least twice and is guided to the detector. Provided is a waveguide type micro liquid crystal spectrometer.
透明基板は、ガラス、フッ化カルシウム、シリコンカーバイド、サファイヤ、アルミナ、水晶又はダイヤモンドで形成される透明硬質基板で形成することが好ましい。 The transparent substrate is preferably formed of a transparent hard substrate formed of glass, calcium fluoride, silicon carbide, sapphire, alumina, crystal or diamond.
流路溝の両側に形成された反射溝は、それぞれ一本の連続する溝構造又は直線上に間隔をおいて一列に並ぶように形成された複数の溝から成る溝構造であることが好ましい。 The reflection grooves formed on both sides of the channel groove are preferably a single continuous groove structure or a groove structure composed of a plurality of grooves formed in a line on a straight line.
流路溝及び反射溝の深さは10〜1000マイクロメートルであり、より好ましくは150〜1000マイクロメートルである。 The depth of the flow channel grooves and the reflection grooves is 10 to 1000 micrometers, and more preferably 150 to 1000 micrometers.
流路溝の溝幅は、5〜1000マイクロメートルであることが好ましい。 The groove width of the channel groove is preferably 5 to 1000 micrometers.
反射溝の溝幅は1マイクロメートル以上であり、より好ましくは1〜50マイクロメートルである。反射溝は流路溝と平行に10〜1000マイクロメートル離れた位置に配置されていることが好ましい。 The groove width of the reflection groove is 1 micrometer or more, more preferably 1 to 50 micrometers. It is preferable that the reflection groove is arranged at a position separated by 10 to 1000 micrometers in parallel with the flow path groove.
流路溝と反射溝は、レーザー波長に強い吸収をもつ流動性物質を基板の材料である被加工透明材料の表面に接触させて、該被加工透明材料の裏面側から強度範囲が0.01J/cm2/pulse〜100J/cm2/pulseのマスクにより形状を調整されたレーザー光を照射することで好適に作製される。 The flow channel groove and the reflection groove have a strength range of 0.01 J from the back surface side of the transparent material to be processed by bringing a fluid substance having strong absorption at the laser wavelength into contact with the surface of the transparent material to be processed as the substrate material. / Cm 2 / pulse to 100 J / cm 2 / pulse is preferably produced by irradiating laser light whose shape is adjusted with a mask.
本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置によれば、透明基板に形成された流路溝中を流れる、透明基板より低屈折率の試料溶液に対する分光測定を行うために、流路溝の両側に、反射板となる反射溝を形成することによって、反射溝の内壁面に反射層となる薄膜を形成することなく、検出用光束が試料溶液を横切り、反射溝による反射させることを複数回の繰り返させた導波状態を発生させる構成としたので、高感度な分光測定が可能になる。 According to the waveguide type micro liquid crystal spectrometer according to the present invention, in order to perform spectroscopic measurement on a sample solution having a lower refractive index than that of the transparent substrate flowing in the channel groove formed in the transparent substrate, the channel groove By forming a reflection groove as a reflection plate on both sides of the substrate, a plurality of detection light beams can cross the sample solution and be reflected by the reflection groove without forming a thin film as a reflection layer on the inner wall surface of the reflection groove. Since it is configured to generate a guided state that is repeated a number of times, highly sensitive spectroscopic measurement is possible.
本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置の実施の形態を実施例に基づいて図面を参照して、以下に説明する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a waveguide type micro liquid crystal spectrometer according to the present invention will be described below with reference to the drawings based on examples.
(概要)
本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置は、透明基板に形成された流路溝内を流れる試料溶液の分光測定を可能とする装置であり、透明基板材料は、試料溶液の屈折率より大きな屈折率を有するもので作製され、分光測定の対象となる液体試料を流す流路としての溝構造(以下、「流路溝」という。)の両側に、反射板としての溝構造(以下、「反射溝」という。)を形成することで、反射溝内の壁面に特に表面反射層を形成することなく、導波状態を形成して分光測定の高感度化を図るようにした構成を特徴とするものである。
(Overview)
The waveguide type micro liquid crystal measurement device according to the present invention is a device that enables spectroscopic measurement of a sample solution flowing in a channel groove formed in a transparent substrate, and the transparent substrate material is a refractive index of the sample solution. Groove structures (hereinafter referred to as “channel grooves”) that serve as spectroscopic measurement targets and flow channels through which a liquid sample to be subjected to spectroscopic measurement flows (hereinafter referred to as “channel grooves”). , Referred to as “reflection groove”), a structure in which a waveguide state is formed to increase the sensitivity of spectroscopic measurement without forming a surface reflection layer on the wall surface in the reflection groove. It is a feature.
ここで、導波状態とは、透明基板の側面から入射された検出光の光束が、流路溝を横切り反射溝の内壁面により全反射されることを繰り返し、少なくとも2回以上、流路を横切りながら進行する状態を言う。 Here, the waveguide state means that the detection light beam incident from the side surface of the transparent substrate is repeatedly reflected across the flow channel groove and totally reflected by the inner wall surface of the reflection groove, at least twice. A state of progressing while crossing.
透明基板の材料(母材)として石英ガラス(屈折率1.46)を用いた場合、反射溝を中空とすることによって、反射溝に対する入射角が臨界角である43.23°を超える光束は全反射される。これに対して、流路溝中に水溶液試料が含まれる場合の臨界角は65.64°であり、入射角がこの角度を超えない限り、光束は溶液を透過する。 When quartz glass (refractive index: 1.46) is used as the material (base material) of the transparent substrate, by making the reflection groove hollow, the incident light flux with respect to the reflection groove exceeds 43.23 ° which is a critical angle. Total reflection. On the other hand, the critical angle when the aqueous solution sample is contained in the channel groove is 65.64 °, and the light beam passes through the solution unless the incident angle exceeds this angle.
透明基板の側面からの入射した光束が透明基板内部において、流路溝および反射溝に対して入射する角度を、上記臨界角43.23°と臨界角65.64°の中間に設定することにより、光束は反射溝の内壁面で全反射され、試料溶液を流す流路溝を何度も横切りながら進行し、検出器に導かれる。このように、試料溶液を複数回、流路溝を横切ることで、実質的な光路長が増大し、その結果測定感度が向上する。 By setting the angle at which the incident light beam from the side surface of the transparent substrate is incident on the flow channel groove and the reflection groove inside the transparent substrate to an intermediate between the critical angle 43.23 ° and the critical angle 65.64 °. The light beam is totally reflected by the inner wall surface of the reflection groove, travels many times across the channel groove through which the sample solution flows, and is guided to the detector. As described above, the sample solution crosses the flow channel groove a plurality of times, the substantial optical path length increases, and as a result, the measurement sensitivity is improved.
この導波型微少量液体分光測定装置においては、流路溝及び反射溝の配置を加工時の破損が起こらない範囲で自由に設定可能であり、ガラス板の厚さなどによる制限を受けない。そのため、著しく取り扱いを困難にすることなく、流路を横切る回数を増加させ、感度を向上させることが可能である。 In this waveguide-type micro liquid crystal spectrometer, the arrangement of the flow channel grooves and the reflection grooves can be freely set within a range in which damage during processing does not occur, and is not limited by the thickness of the glass plate. Therefore, it is possible to increase the number of times of traversing the flow path and to improve sensitivity without making handling extremely difficult.
図1(a)、(b)は、本発明の導波型微少量液体分光測定装置の平面図及びA−A断面を示す図である。この導波型微少量液体分光測定装置(以下、単に「分光測定装置」ともいう。)は、石英ガラス等で形成された透明硬質の透明基板1の表面に、分光測定の対象となる液体試料を流す流路としての流路溝2、流路溝2の両側にそれぞれ配置され、流路溝2と平行に形成された反射溝3、4とを有する構成を特徴とする。 FIGS. 1A and 1B are a plan view and a cross-sectional view taken along line AA of the waveguide type micro liquid crystal spectrometer of the present invention. This guided microscopic liquid spectroscopic measuring device (hereinafter also simply referred to as “spectrometric measuring device”) is a liquid sample to be subjected to spectroscopic measurement on the surface of a transparent hard transparent substrate 1 formed of quartz glass or the like. It is characterized in that it has a flow channel 2 as a flow channel for flowing the water, and reflection grooves 3 and 4 that are arranged on both sides of the flow channel 2 and are formed in parallel with the flow channel 2.
分光測定に用いる検出光の光束は、光源5から、図2に示すように、分光測定装置の透明基板1の斜め後方から透明基板1の側面を通過して入射し、流路溝2を通過するとともに、両側の反射溝3、4の内壁面6で反射することを繰り返し、導波状態が形成される。以下、本発明の分光測定装置の各部の構成について、具体的に説明する。 As shown in FIG. 2, the light beam of the detection light used for the spectroscopic measurement is incident through the side surface of the transparent substrate 1 from the oblique rear side of the transparent substrate 1 of the spectroscopic measurement device and passes through the flow channel groove 2. At the same time, the light is repeatedly reflected by the inner wall surfaces 6 of the reflection grooves 3 and 4 on both sides to form a waveguide state. Hereinafter, the configuration of each part of the spectrometer of the present invention will be described in detail.
(透明基板)
透明基板1は、石英ガラスの他に、ホウケイ酸ガラスなどの光学用途に用いられる一般ガラス、フッ化カルシウム、シリコンカーバイド、サファイヤ、アルミナ、水晶又はダイヤモンドの透明硬質透明基板を利用可能である。そして、透明基板1材料は、試料溶液の屈折率より大きな屈折率を有するもので作製される。一般ガラスとしては、ホウケイ酸ガラス以外に、ホウケイ酸クラウンガラス、白板ガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス等がある。
(Transparent substrate)
As the transparent substrate 1, a transparent hard transparent substrate of general glass, calcium fluoride, silicon carbide, sapphire, alumina, crystal, or diamond used for optical applications such as borosilicate glass can be used in addition to quartz glass. The transparent substrate 1 material is made of a material having a refractive index larger than that of the sample solution. In addition to borosilicate glass, general glass includes borosilicate crown glass, white plate glass, soda lime glass, lead glass, and the like.
(流路溝)
液体試料を導入して流す流路溝2は、幅及び深さについてマイクロオーダの溝、要するにマイクロ溝として形成される。流路溝2は、幅が狭くなると液体試料の導入が困難になるとともに、測定のための光路長が減少し、幅が広くなると溝の容積増加により分光に必要な液体試料の必要量より増加する。そのため、溝幅は5〜1000マイクロメートルであることが好ましく、50〜500マイクロメートルが更に好ましい。
(Flow channel groove)
The flow channel groove 2 for introducing and flowing the liquid sample is formed as a micro-order groove, that is, a micro-groove in terms of width and depth. When the width of the channel groove 2 becomes narrower, it becomes difficult to introduce a liquid sample, and the optical path length for measurement decreases, and when the width becomes wider, the volume of the groove increases to increase the required amount of the liquid sample necessary for spectroscopy. To do. Therefore, the groove width is preferably 5 to 1000 micrometers, and more preferably 50 to 500 micrometers.
溝深さについては、10〜1000マイクロメートルとすることができるが、検出光の光束が通過するのに十分な深さを有している必要があるため、150〜1000マイクロメートルの範囲であることが好ましい。実際には、8.00x0.40 ミリメートルの開口を有するマスクを1/8縮小して露光することにより、50マイクロメートル幅の流路溝2の作製を行った。石英ガラスの表面に長さ1.00ミリメートル、幅50マイクロメートルの照射領域ができる。 The groove depth can be 10 to 1000 micrometers, but it is necessary to have a depth sufficient for the light beam of the detection light to pass through, so it is in the range of 150 to 1000 micrometers. It is preferable. Actually, a flow channel groove 2 having a width of 50 micrometers was produced by exposing a mask having an opening of 8.00 × 0.40 millimeters with a reduction of 1/8. An irradiation area having a length of 1.00 millimeters and a width of 50 micrometers is formed on the surface of the quartz glass.
レーザーを80ヘルスのパルス繰り返し周波数で照射しながらステージを溝の長軸方向に10.3ミリメートルの範囲を毎秒100マイクロメートルの速度で往復移動させた。1行程ごとに、焦点方向に対して、6.5マイクロメートルステージを移動させることにより加工位置が焦点深度内に位置するように調整した。 While irradiating the laser with a pulse repetition frequency of 80 health, the stage was reciprocated in the long axis direction of the groove in the range of 10.3 millimeters at a speed of 100 micrometers per second. The machining position was adjusted to be within the depth of focus by moving the 6.5 micrometer stage with respect to the focal direction for each stroke.
クラックの発生を防ぐために、流路溝2の作製は、はじめの5往復は、1平方センチメートルあたり1.0ジュールのレーザー照射強度(フルエンス)に調整し、その後、レーザー照射強度を1平方センチメートルあたり0.9ジュールに減じ、さらに8往復することで作製した。この操作により長さ10.3ミリメートル、幅50マイクロメートル、深さ200マイクロメートルの流路溝2を作製した。但し、流路溝2の両端の各1ミリメートルの部分は傾斜面になっている。この流路溝2の容積は93ナノリットルである。 In order to prevent the generation of cracks, the first five reciprocations of the flow channel groove 2 are adjusted to a laser irradiation intensity (fluence) of 1.0 joule per square centimeter, and then the laser irradiation intensity is set to 0.00 per square centimeter. Reduced to 9 joules and made 8 more round trips. By this operation, a channel groove 2 having a length of 10.3 millimeters, a width of 50 micrometers, and a depth of 200 micrometers was produced. However, each 1-mm part of the both ends of the flow-path groove | channel 2 is an inclined surface. The volume of the channel groove 2 is 93 nanoliters.
(反射溝)
流路溝2の両側に形成された反射溝3、4は、互いに平行であり、それぞれ平滑性に優れた垂直な内壁面6を有する。このように反射溝3、4は、平滑性に優れた垂直な内壁面6を有するから、光の散乱による損失を抑制することができる。内壁面6の面粗さは検出光の波長の1/4以下、例えば、100ナノメートル以下であることが好ましい。さらに、検出光の光束が通過、反射するのに十分な深さを有している必要がある。反射溝3、4の深さは10〜1000マイクロメートル、より好ましくは150〜1000マイクロメートルの範囲である。
(Reflection groove)
The reflection grooves 3 and 4 formed on both sides of the channel groove 2 are parallel to each other and each have a vertical inner wall surface 6 excellent in smoothness. Thus, since the reflective grooves 3 and 4 have the vertical inner wall surface 6 excellent in smoothness, loss due to light scattering can be suppressed. The surface roughness of the inner wall surface 6 is preferably ¼ or less of the wavelength of the detection light, for example, 100 nanometers or less. Furthermore, it is necessary to have a depth sufficient for the light beam of the detection light to pass and reflect. The depth of the reflective grooves 3 and 4 is in the range of 10 to 1000 micrometers, more preferably 150 to 1000 micrometers.
これらの条件を満たす反射溝3、4は、公知のレーザー誘起背面湿式加工法(特許第3012926号参照)により作製可能である。この加工法によれば、レーザー波長に強い吸収をもつ流動性物質を被加工透明材料の表面に接触させて、被加工透明材料の裏面側から強度範囲が0.01J/cm2/pulseから100J/cm2/pulseまでのマスクにより形状を調整されたレーザー光を照射することで溝などの微細構造を作製することができる。 The reflection grooves 3 and 4 that satisfy these conditions can be produced by a known laser-induced back surface wet processing method (see Japanese Patent No. 3012926). According to this processing method, a fluid substance having strong absorption at the laser wavelength is brought into contact with the surface of the transparent material to be processed, and the intensity range from the back surface side of the transparent material to be processed is 0.01 J / cm 2 / pulse to 100 J. A fine structure such as a groove can be produced by irradiating laser light whose shape is adjusted with a mask up to / cm 2 / pulse.
さらに、この加工法においてはレーザー照射時に、被加工面が常に照射光学系のレンズの焦点深度内に位置するようにステージ位置を制御することで、たとえば幅が7マイクロメートル、深さが420マイクロメートルの高アスペクト比の反射溝3、4を作製することができる(川口ら、Jpn. J. Appl. Phys. 44 (2005) L176.参照)。 Further, in this processing method, by controlling the stage position so that the processing surface is always within the focal depth of the lens of the irradiation optical system during laser irradiation, for example, the width is 7 micrometers and the depth is 420 micrometers. High aspect ratio reflective grooves 3 and 4 can be fabricated (see Kawaguchi et al., Jpn. J. Appl. Phys. 44 (2005) L176.).
こうして得られる高アスペクト比を有する反射溝3、4は、表面粗さが100ナノメートル以下の平滑な内壁面6を有しており、光の散乱による損失を抑制可能である。 The reflection grooves 3 and 4 having a high aspect ratio thus obtained have a smooth inner wall surface 6 with a surface roughness of 100 nanometers or less, and can suppress loss due to light scattering.
反射溝3、4は、検出光を全反射する。このときに発生するエバネッセント光が対向する壁面に達して、吸収、散乱よる損失が生じないように、反射溝3、4のそれぞれの幅は検出波長の2倍以上であることが好ましい。そのため、反射溝3,4は、1マイクロメートル以上の溝幅を有していることが好ましい。また、溝幅が増大することによって、周囲の構造が薄くなり加工時、あるいは、後記する上板7の設置時の破損を招きやすい。さらに、加工時の除去体積が増加し、加工により多くのエネルギーが必要になる。そのために、反射溝3、4の溝幅は、1〜50マイクロメートルの範囲にあることが好ましい。 The reflection grooves 3 and 4 totally reflect the detection light. It is preferable that the width of each of the reflection grooves 3 and 4 is not less than twice the detection wavelength so that the evanescent light generated at this time reaches the opposing wall surfaces and no loss due to absorption or scattering occurs. Therefore, it is preferable that the reflection grooves 3 and 4 have a groove width of 1 micrometer or more. Further, the increase in the groove width makes the surrounding structure thin, and is liable to cause breakage during processing or installation of the upper plate 7 described later. Furthermore, the removal volume during processing increases, and more energy is required for processing. Therefore, the groove width of the reflection grooves 3 and 4 is preferably in the range of 1 to 50 micrometers.
また、反射溝3、4の溝深さについては、検出光の光束が反射するのに十分な深さを有している必要があるため、10〜1000マイクロメートル、より好ましくは150〜1000マイクロメートルの範囲であり、かつ、流路溝2と同程度の深さであることが好ましい。 Further, the groove depth of the reflection grooves 3 and 4 needs to be deep enough to reflect the light beam of the detection light, and is therefore 10 to 1000 micrometers, more preferably 150 to 1000 micrometers. It is preferable that the depth is in the range of meters and the depth is approximately the same as that of the channel groove 2.
反射溝3、4は、前記のとおり、流路溝2に平行に、さらに、加工時の破損が起こらない範囲で流路溝2に近い位置に作製される。反射溝3、4が中央の流路溝2に近づくことにより、検出光の光束が流路溝2を横切る回数を増やすことができるが、流路溝2と反射溝3、4との間に形成される壁構造8が薄くなり、加工時に、あるいは、上板7の設置時に破損しやすくなる。 As described above, the reflection grooves 3 and 4 are formed in parallel with the flow path groove 2 and at a position close to the flow path groove 2 within a range in which damage during processing does not occur. The number of times the light beam of the detection light crosses the flow path groove 2 can be increased by the reflection grooves 3 and 4 approaching the central flow path groove 2, but between the flow path groove 2 and the reflection grooves 3 and 4. The formed wall structure 8 becomes thin and easily breaks during processing or when the upper plate 7 is installed.
そのため、反射溝3、4の間の距離は10〜1000マイクロメートルの範囲であり、更には100〜500マイクロメートルであることが好ましい。この距離は検出光の導入部(基板側面)から、導波の進行にしたがって変化させてもよい。 Therefore, the distance between the reflective grooves 3 and 4 is in the range of 10 to 1000 micrometers, and more preferably 100 to 500 micrometers. This distance may be changed from the detection light introducing portion (side surface of the substrate) as the wave guides.
また、反射溝3、4は、破損を防ぐために、一本の連続する溝構造(一本の溝)でなく、より短い複数の溝9が、検出光の幅の1/10程度である50マイクロメートル程度の間隔をおいて直線上に一列に並ぶように作製してもよい。 Moreover, the reflection grooves 3 and 4 are not a single continuous groove structure (single groove) but a plurality of shorter grooves 9 that are about 1/10 of the width of the detection light in order to prevent breakage. You may produce so that it may arrange in a line on a straight line at intervals of about micrometer.
このような複数の溝9から成る反射溝3、4について、以下説明する。このような反射溝3、4の作製時には、溝方向に一直線に走査を行わず、長さ1ミリメートルの溝9を、一直線上に、50マイクロメートルの間隔をおいて複数作製した。各溝9は、8.000x0.080 ミリメートルの開口を有するマスクを1/8縮小して露光することにより、10マイクロメートル幅で作製した。 The reflection grooves 3 and 4 including the plurality of grooves 9 will be described below. When the reflective grooves 3 and 4 were manufactured, scanning was not performed in a straight line in the groove direction, and a plurality of grooves 9 having a length of 1 millimeter were formed on the straight line at an interval of 50 micrometers. Each groove 9 was produced with a width of 10 micrometers by exposing a mask having an opening of 8.000 × 0.080 millimeters with a reduction of 1/8.
複数の溝9は、それぞれ80ヘルツのパルス繰り返し周波数、1.0ジュールの照射フルエンスにおいて257秒間の照射を行うことにより作製した。照射中、加工の進行に合わせて加工位置を毎秒0.6マイクロメートルの速度で移動した。この操作を13回繰り返すことにより、流路溝2の両側に合計13カ所の溝の作製を行った。 The plurality of grooves 9 were produced by performing irradiation for 257 seconds at a pulse repetition frequency of 80 Hz and an irradiation fluence of 1.0 joule, respectively. During irradiation, the processing position was moved at a speed of 0.6 micrometers per second as the processing progressed. By repeating this operation 13 times, a total of 13 grooves were produced on both sides of the flow channel groove 2.
このようにして、複数の溝9が一直線上に一列に並んで成る反射溝3、4を、流路溝2の両側に、500マイクロメートル離れた位置に互いに平行になるように作製した。得られた反射溝3、4を構成する各溝9の深さは200マイクロメートルであった。 In this way, the reflection grooves 3 and 4 in which the plurality of grooves 9 are arranged in a line on a straight line are formed on both sides of the flow path groove 2 so as to be parallel to each other at positions separated by 500 micrometers. The depth of each groove 9 constituting the obtained reflection grooves 3 and 4 was 200 micrometers.
(上板)
流路溝2と、流路溝2の両側に反射溝3、4を表面に作製した透明基板1の上に、図3(a)、(b)に示すように、上板7が載置されている。この上板7は、厚さが1ミリメートルのポリジメチルシロキサン(PDMS)の板が使用される。この上板7には、直径0.75ミリメートルの貫通孔10、11が、9ミリメートルの間をおいて2カ所に形成されている。この上板7に形成された貫通孔10、11は、試料溶液の出入り口であり、流路溝2の両端に位置するように形成されている。
(Upper plate)
As shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), the upper plate 7 is placed on the flow path groove 2 and the transparent substrate 1 having reflection grooves 3 and 4 formed on the surfaces thereof on both sides. Has been. The upper plate 7 is a polydimethylsiloxane (PDMS) plate having a thickness of 1 millimeter. In the upper plate 7, through holes 10 and 11 having a diameter of 0.75 mm are formed at two positions with a gap of 9 mm. The through holes 10 and 11 formed in the upper plate 7 are entrances and exits for the sample solution, and are formed so as to be positioned at both ends of the flow channel groove 2.
上板7については、このようにPDMS板を用いることも出来るし、石英ガラス、あるいは、一般ガラスを用いて、フッ酸処理法、あるいは、熱融着法を用いて接着してもよい。この装置において、上板7は導波に直接関係しない。そのため、溶液試料に比べて高屈折率の媒質であっても問題なく利用可能である。 As for the upper plate 7, a PDMS plate can be used as described above, or quartz glass or general glass can be used and bonded using a hydrofluoric acid treatment method or a heat fusion method. In this device, the upper plate 7 is not directly related to the wave guide. Therefore, even a medium having a higher refractive index than that of the solution sample can be used without any problem.
PDMS板に作製した貫通孔10、11は、図4に示すように、試料溶液の導入、排出口として利用する。片方の貫通孔の上に試料溶液を滴下した場合、その試料溶液は、毛細管現象により流路溝2(マイクロ溝)内に充填され、導波による分光分析が可能な状態になる。この貫通孔上にPEEK製、テルフン製チューブを固定化して試料の流通に利用することが出来る。 The through holes 10 and 11 formed in the PDMS plate are used as sample solution introduction and discharge ports as shown in FIG. When the sample solution is dropped onto one through hole, the sample solution is filled into the flow channel groove 2 (micro groove) by capillary action, and is ready for spectroscopic analysis by waveguide. A PEEK tube or a terfun tube can be fixed on the through-hole and used for sample circulation.
また、上板7の貫通孔10、11を通してではなく、透明基板1上にさらに試料溶液を供給するためのマイクロ流路(図示せず)を形成してそれを通じて、試料流通用の溝に試料を供給することも可能である。この場合、試料供給用の溝の深さを50マイクロメートル以下とし、分光測定用の溝に比べて十分に浅いものを利用することで導波する光束との干渉を防ぐことができる。 Further, instead of passing through the through holes 10 and 11 of the upper plate 7, a micro flow channel (not shown) for further supplying a sample solution is formed on the transparent substrate 1, and the sample is passed through the sample distribution groove through the micro flow channel. It is also possible to supply In this case, the depth of the groove for supplying the sample is set to 50 micrometers or less, and interference with the light beam to be guided can be prevented by using a sufficiently shallow groove as compared with the groove for spectroscopic measurement.
上記実施例の分光装置によって、マイクロ流路内にローダミン6Gのエタノール溶液を導入し、光源5として波長532ナノメートルのグリーンのレーザー光を利用することで、その蛍光により導波の状態を確認した。 Using the spectroscopic device of the above example, an ethanol solution of rhodamine 6G was introduced into the microchannel, and a green laser beam having a wavelength of 532 nanometers was used as the light source 5 to confirm the state of the waveguide by the fluorescence. .
分光分析のための光源5としては、公知の任意の光源5が使用可能であり、例えば、平行光化した各種ランプ光をスリットにより細い光束とした光や、レーザー光、あるいは、発光ダイオードの光を平行光化したものなどを光源5として利用できる。 As the light source 5 for the spectroscopic analysis, any known light source 5 can be used. For example, light obtained by making various lamp lights collimated into thin light beams by slits, laser light, or light from a light emitting diode. Can be used as the light source 5.
また、検出器12については、光の検出には光線を感知しうる任意の計測装置が使用可能であるが、一般に、フォトダイオード、リニアCCDセンサー、CMOSカメラ、CCDカメラなどが好適に使用される。 As for the detector 12, any measuring device capable of sensing light can be used for detecting light, but generally a photodiode, a linear CCD sensor, a CMOS camera, a CCD camera, or the like is preferably used. .
以上、本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置の最良の形態を実施例に基づいて説明したが、本発明はこのような実施例に限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項の範囲内で、いろいろな実施例があることは言うまでもない。 As described above, the best mode of the waveguide-type micro liquid crystal spectrometer according to the present invention has been described based on the embodiments. However, the present invention is not limited to such embodiments, and It goes without saying that there are various embodiments within the technical scope.
本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置は、以上のような構成であるから、近年、ニーズが高まっている微少量の液体について高感度な分光測定を行う装置であり、環境分析測定、あるいは、タンパク質やDNAのような生体関連化学物質の測定に利用される。この様な分析に関して液体クロマトグラフィーの検出部として利用可能である。また、このような分析操作を1つの板状に集積したマイクロ流体デバイスにおける、分析部位として同一透明基板上に組み込むことも可能である。 Since the waveguide type micro liquid crystal spectrometer according to the present invention has the above-described configuration, it is an apparatus that performs high-sensitivity spectroscopic measurement for micro liquids whose needs have been increasing in recent years. Alternatively, it is used for measurement of biologically related chemical substances such as proteins and DNA. It can utilize as a detection part of a liquid chromatography regarding such an analysis. It is also possible to incorporate such analysis operations on the same transparent substrate as an analysis site in a microfluidic device in which one plate is integrated.
1 透明基板
2 流路溝
3、4 反射溝
5 光源
6 反射溝の内壁面
7 上板
8 流路溝と反射溝との間の壁構造
9 反射溝を構成する複数の溝
10、11 上板に形成された貫通孔(流路溝への出入り口)
12 検出器
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent substrate 2 Channel groove 3, 4 Reflection groove 5 Light source 6 Inner wall surface of reflection groove 7 Upper plate 8 Wall structure between channel groove and reflection groove 9 Plural grooves 10, 11 upper plate constituting reflection groove Through-hole formed in the wall (entrance to the channel groove)
12 Detector
Claims (7)
前記透明基板の材料は、試料溶液の屈折率より大きな屈折率を有するものであり、
前記透明基板の側面から入射された検出光の光束が、流路溝を横切り反射溝の内壁面により全反射されることを繰り返し、少なくとも2回以上、流路溝を横切りながら進行し検出器に導かれることを特徴とする導波型微少量液体分光測定装置。 A waveguide type comprising a channel groove that is a channel of a sample solution to be measured formed on the surface of a transparent substrate, and reflection grooves formed in parallel to the channel groove on both sides of the channel groove A micro-volume liquid spectrometer,
The material of the transparent substrate has a refractive index larger than the refractive index of the sample solution,
The detection light beam incident from the side surface of the transparent substrate is repeatedly reflected across the flow path groove and totally reflected by the inner wall surface of the reflection groove, and proceeds to the detector at least twice while crossing the flow path groove. A guided-wave micro liquid crystal spectrometer characterized by being guided.
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2008
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