JP2010054229A - 静電容量測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノイズに起因した静電容量の測定精度の低下を軽減する。
【解決手段】コンデンサ９に定電流Ｉを供給して充電する充放電部２と、充電状態のコンデンサ９の両端間電圧Ｖｃを測定する電圧測定部３と、電圧測定部３によって測定された両端間電圧Ｖｃに基づいて両端間電圧Ｖｃの変化量（Ｖ_１−Ｖ_Ｓ），（Ｖ_２−Ｖ_１），・・・，（Ｖ_ｎ−Ｖ_ｎ−１）を複数期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ分算出し、期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎の両端間電圧Ｖｃの変化量（Ｖ_１−Ｖ_Ｓ），（Ｖ_２−Ｖ_１），・・・，（Ｖ_ｎ−Ｖ_ｎ−１）および期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎のコンデンサ９への充電量に基づいて期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎のコンデンサ９の静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを算出すると共に、各静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎの平均値をコンデンサ９の最終静電容量Ｃｃとして算出する処理部４とを備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、コンデンサの静電容量を測定する静電容量測定装置に関するものである。

この種の静電容量測定装置として、下記特許文献１に開示されている容量測定システムが知られている。この静電容量測定装置は、コンデンサ（キャパシタ）が接続される入力端子、入力端子に接続されるプログラム可能な定電流源、入力端子に接続されたコンデンサと並列に接続される放電スイッチ、入力端子に接続された比較器、入力端子に発生する電圧を検出するアナログ−デジタルコンバータ、これら各デバイスに結合されたマイクロプロセッサ、メモリおよび表示装置を備えている。

この静電容量測定装置は、静電容量の測定に際して、（ａ）コンデンサを少なくとも部分的に放電して、コンデンサにかかる電圧を測定し、初期電圧を得るステップと、（ｂ）定電流値および時間間隔を選択して、予め定められた値を有する電荷パケットを与えるステップと、（ｃ）電荷パケットをコンデンサに運び、これによって全蓄積電荷に比例する電圧を生成するステップと、（ｄ）コンデンサの電圧を予め定められた最小電圧と比較して、コンデンサの電圧が予め定められた最小電圧を超えるか否かを判定するステップと、（ｅ）予め定められた最小電圧がコンデンサの電圧を超えれば、ステップ（ｂ），（ｃ）および（ｄ）を繰返して、コンデンサにおける全蓄積電荷および対応する最終電圧を与えるステップとを備え、ここに異なる定電流値および異なる時間間隔が選択されて異なる所定値を有する電荷パケットを与えることができ、（ｆ）初期電圧を最終電圧から減算して差動電圧を得て、コンデンサ上の全蓄積電荷を差動電圧によって除算することによって静電容量を計算するステップとを実行する。
特許第３６２４１８４号公報（第１−４頁、第２図）

ところが、上記の静電容量測定装置には、以下の解決すべき課題がある。すなわち、コンデンサの初期電圧および最終電圧のうちの少なくとも１つの電圧値の測定の際にコンデンサの両端間にノイズが発生したときには、測定された電圧値はこのノイズの影響を受け、ひいてはこの電圧値を用いて算出される静電容量についてもノイズの影響が避けられない。しかしながら、この静電容量測定装置には、静電容量をコンデンサの初期電圧および最終電圧の２つの電圧値を用いて計算する構成のため、静電容量に与えるノイズの影響が大きく、ノイズに起因した静電容量の測定精度の低下が大きいという課題が存在している。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、ノイズに起因した静電容量の測定精度の低下を軽減し得る静電容量測定装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の静電容量測定装置は、コンデンサに定電流を供給して当該コンデンサを充電する電流供給部と、充電状態の前記コンデンサの両端間電圧を測定する電圧測定部と、当該電圧測定部によって測定された両端間電圧に基づいて当該両端間電圧の変化量を複数期間分算出し、当該期間毎の当該両端間電圧の変化量および当該期間毎の前記コンデンサへの充電量に基づいて当該期間毎の当該コンデンサの静電容量を算出すると共に、当該各期間について算出された前記静電容量の平均値を当該コンデンサの最終静電容量として算出する処理部とを備えている。

また、請求項２記載の静電容量測定装置は、請求項１記載の静電容量測定装置において、前記処理部は、前記各期間の長さを一定として前記変化量を測定する。

また、請求項３記載の静電容量測定装置は、請求項１または２記載の静電容量測定装置において、前記処理部は、前記各期間が連続する状態で前記変化量を測定する。

請求項１記載の静電容量測定装置では、処理部が、期間毎のコンデンサの両端間電圧の変化量および期間毎のコンデンサへの充電量に基づいて期間毎のコンデンサの静電容量を算出すると共に、各期間について算出された静電容量の平均値をコンデンサの最終静電容量として算出する。したがって、この静電容量測定装置によれば、仮にいずれかの期間での両端間電圧の測定時にコンデンサの両端間にノイズが発生したとしても、最終静電容量は複数の期間について算出された静電容量の平均値として算出されるため、ノイズの影響を軽減することができ、最終静電容量の測定精度の低下を軽減することができる。

また、請求項２記載の静電容量測定装置によれば、処理部が各期間の長さを一定として両端間電圧の変化量を測定することにより、各期間についての静電容量を算出するための計算を簡略化できるため、最終静電容量の算出までに要する時間を短縮することができる。

また、請求項３記載の静電容量測定装置によれば、処理部が各期間が連続する状態で変化量を測定するため、期間毎のコンデンサの両端間電圧の計測に要する時間を短縮することができ、最終静電容量の算出までの時間を短くすることができる。

以下、本発明に係る静電容量測定装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、静電容量測定装置１の構成について、図面を参照して説明する。

図１に示す静電容量測定装置１は、充放電部２、電圧測定部３、処理部４、記憶部５および表示部６を備え、一対のプローブ７，８を介して接続されたコンデンサ９の静電容量Ｃｃを測定可能に構成されている。本例では、コンデンサ９の一端（図１中の上端）は、プローブ７を介して充放電部２および電圧測定部３に接続され、コンデンサ９の他端（図１中の下端）は、プローブ８を介して静電容量測定装置１の内部基準電位（内部グランド）に接続される。

充放電部２は、例えば、定電流源および定電流負荷装置（いずれも図示せず）で構成されて、定電流源の作動時には本発明における電流供給部として機能して定電流Ｉを外部に供給可能であると共に、定電流負荷装置の作動時には定電流Ｉを外部から吸い込み可能に構成されている。また、充放電部２は、処理部４からの制御信号Ｓ１により、定電流供給動作状態、定電流吸い込み動作状態、およびこれらの動作をいずれも実施しない停止状態のうちのいずれかの状態に移行させられる。なお、図示はしないが、定電流負荷装置に代えて、各プローブ７，８間に放電抵抗とスイッチの直列接続回路を配置して、このスイッチを処理部４が接断制御することにより、各プローブ７，８間に接続されたコンデンサ９から電流を放電する構成を採用することもできる。この構成によれば、回路の簡略化を図ることができ、装置を安価に構成することができる。

電圧測定部３は、一例として図１に示すように、バッファ１１およびＡ／Ｄ変換器１２を備え、コンデンサ９の両端間電圧Ｖｃを測定して、両端間電圧Ｖｃを示すディジタルデータＤｖを出力する。この場合、バッファ１１は、その入力端子がプローブ８を介してコンデンサ９の一端にハイインピーダンス状態で接続されて、両端間電圧Ｖｃを入力し、入力した両端間電圧Ｖｃをローインピーダンスで出力する。Ａ／Ｄ変換器１２は、バッファ１１から出力された両端間電圧Ｖｃを所定のサンプリング周期（両端間電圧Ｖｃの変化に対して十分に短い周期）でサンプリングすることにより、その電圧値を示すディジタルデータＤｖに変換して出力する。

処理部４は、記憶部５に予め記憶されている動作プログラムに従って作動して、ディジタルデータＤｖに基づくコンデンサ９の静電容量の算出処理（静電容量測定処理５０（図３参照））を実行する。記憶部５は、ＲＯＭおよびＲＡＭで構成されて、処理部４のための動作プログラムを記憶すると共に、処理部４用のワークメモリとして機能する。表示部６は、一例として液晶ディスプレイ装置で構成されて、静電容量測定処理５０の結果を表示可能に構成されている。

次に、静電容量測定装置１による静電容量測定動作について、図２，３を参照して説明する。

静電容量測定装置１では、作動状態において、電圧測定部３が、コンデンサ９の両端間電圧Ｖｃを入力して、その電圧値を示すディジタルデータＤｖに変換して出力する動作を繰り返し実行している。

この状態において、処理部４は、静電容量測定処理を実行する。この静電容量測定処理では、処理部４は、まず、制御信号Ｓ１を充放電部２に出力することにより、充放電部２を定電流負荷として作動させて放電処理を開始させる（ステップ５１）。これにより、図１において矢印で示す方向とは逆の向きでコンデンサ９に定電流Ｉが流れて、コンデンサ９が放電され、その両端間電圧Ｖｃは図２に示すように一定の割合で低下する。

次いで、処理部４は、電圧測定部３から出力されるディジタルデータＤｖに基づいてコンデンサ９の両端間電圧Ｖｃを検出しつつ、両端間電圧Ｖｃが予め規定（プログラミング）されている初期電圧Ｖｓを下回ったか否かを判別する（ステップ５２）。処理部４は、コンデンサ９に対する放電処理の実行中においてステップ５２を繰り返し実行し、両端間電圧Ｖｃが初期電圧Ｖｓを下回ったと判別したときには、制御信号Ｓ１を切り替えることにより、充放電部２を定電流源として作動させて充電処理を開始させる（ステップ５３）。これにより、図１において矢印で示す方向でコンデンサ９に定電流Ｉが流れて、コンデンサ９が充電され、これによりコンデンサ９の両端間電圧Ｖｃが図２に示すように一定の割合で上昇する。なお、上記したようにＡ／Ｄ変換器１２のサンプリング周期は両端間電圧Ｖｃの変化に対して十分に短いため、コンデンサ９に対する充電処理は、実質的に両端間電圧Ｖｃが初期電圧Ｖｓと一致した状態から開始される。

続いて、処理部４は、予め規定（プログラミング）されている長さ（一定）の時間（後述する各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ（以下、特に区別しないときには「期間Ｔ」ともいう）の長さ）の計測を開始する（ステップ５４）。本例では、一例として計測時間（期間Ｔの長さ）は１００ｍｓに規定されている。コンデンサ９の両端間電圧Ｖｃの測定に際して、５０Ｈｚまたは６０Ｈｚの周波数のハムノイズが重畳する場合もあるが、期間の長さを１００ｍｓとして、この間隔で後述するように両端間電圧Ｖｃを測定することで、ハムノイズが除去される。処理部４は、計測している時間が各期間Ｔの長さ（１００ｍｓ）に達したか否か（つまり、期間Ｔの終期に達したか否か）の判別を繰り返し実行し（ステップ５５）、達したと判別したときには、達した時点における（期間Ｔの終期における）ディジタルデータＤｖで示されるコンデンサ９の両端間電圧Ｖｃ（Ｖ１）を測定して、記憶部５に記憶させる（ステップ５６）。

次いで、処理部４は、予め規定（プログラミング）された個数（本例ではｎ個（ｎは２以上の整数））分の期間Ｔの計測がすべて完了したか否かを判別し（ステップ５７）、完了するまで、上記ステップ５４〜ステップ５６を繰り返し実行する。これにより、記憶部５には、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎの終了時点（終期）での両端間電圧Ｖｃ（Ｖ_１，Ｖ_２，・・・，Ｖ_ｎ）が記憶される。

続いて、処理部４は、ステップ５７において、予め規定された個数（ｎ個）分の期間Ｔの計測がすべて完了したと判別したときには、記憶部５に記憶されている両端間電圧Ｖｃ（Ｖ_１，Ｖ_２，・・・，Ｖ_ｎ）に基づいて各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎにおけるコンデンサ９の両端間電圧Ｖｃの変化量を算出すると共に、算出した変化量に基づいて各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎにおけるコンデンサ９の静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを算出して、記憶部５に記憶させる（ステップ５８）。この場合、各期間においてコンデンサ９に対して供給される電荷量は（Ｉ×１００ｍｓ）で現されるため、ｋ番目の期間Ｔｋにおける静電容量Ｃｋは、（Ｉ×１００ｍｓ）／（Ｖ_ｋ−Ｖ_ｋ−１）で算出される。なお、１番目の期間Ｔ１における静電容量Ｃ_１は、（Ｉ×１００ｍｓ）／（Ｖ_１−Ｖ_Ｓ）で算出される。最後に、処理部４は、算出した各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎにおけるコンデンサ９の静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを平均して、コンデンサ９の最終的な静電容量（本発明における最終静電容量）Ｃｃを算出し、記憶部５に記憶させると共に、表示部６に表示させる（ステップ５９）。これにより、静電容量測定処理が完了する。

このように、この静電容量測定装置１では、処理部４が、複数の期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎の両端間電圧Ｖｃの変化量（Ｖ_１−Ｖ_Ｓ），（Ｖ_２−Ｖ_１），・・・，（Ｖ_ｎ−Ｖ_ｎ−１）および期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎のコンデンサ９への充電量（Ｉ×１００ｍｓ）に基づいて期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎のコンデンサ９の静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを算出すると共に、これら静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎの平均値をコンデンサ９の最終的な静電容量Ｃｃとして算出する。

したがって、この静電容量測定装置１によれば、仮にいずれかの両端間電圧Ｖｃの測定時にコンデンサ９の両端間にノイズが発生したとしても、最終的な静電容量Ｃｃは複数の静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎの平均値として算出されるため、ノイズの影響を軽減することができ、最終的な静電容量Ｃｃの測定精度の低下を軽減することができる。

また、この静電容量測定装置１では、処理部４が、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎの長さを一定（本例では１００ｍｓ）として、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎでの両端間電圧Ｖｃの変化量（Ｖ_１−Ｖ_Ｓ），（Ｖ_２−Ｖ_１），・・・，（Ｖ_ｎ−Ｖ_ｎ−１）を測定している。この場合、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎの長さを異ならしめる構成としても、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎでの静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎの平均値をコンデンサ９の最終的な静電容量Ｃｃとして算出することができるが、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎの長さを一定にすることにより、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎについての静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを算出するための計算を簡略化できるため、計算を簡略化できるため、最終的な静電容量Ｃｃの算出までに要する時間を短縮することができる。

また、この静電容量測定装置１では、処理部４が、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎを連続させた状態で、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎでの両端間電圧Ｖｃの変化量（Ｖ_１−Ｖ_Ｓ），（Ｖ_２−Ｖ_１），・・・，（Ｖ_ｎ−Ｖ_ｎ−１）を測定している。この場合、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎをすべて不連続としたり、一部を連続させ、かつ残りを不連続としたりする構成においても、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎでの静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎの平均値をコンデンサ９の最終的な静電容量Ｃｃとして算出することができるが、各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎを連続させた状態とすることにより、期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎のコンデンサ９の両端間電圧Ｖ_１，Ｖ_２，・・・，Ｖ_ｎの計測に要する時間を短縮することができ、最終的な静電容量Ｃｃの算出までの時間を短くすることができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎のコンデンサ９の静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを算出する手法として、複数の期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎の両端間電圧Ｖｃの変化量（Ｖ_１−Ｖ_Ｓ），（Ｖ_２−Ｖ_１），・・・，（Ｖ_ｎ−Ｖ_ｎ−１）に基づいて期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎のコンデンサ９の静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを算出する上記手法を採用しているが、この手法に代えて、期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎に両端間電圧Ｖｃを所定回数（複数回（３回以上）。２回としたときには上記した手法と同一となる。）サンプリングし、サンプリングによって測定した複数の両端間電圧Ｖｃの平均値を期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎に算出し、算出した平均値に基づいて期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎のコンデンサ９の静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを算出する手法を採用することもできる。

以下、この手法を採用した静電容量測定処理について、図４を参照して具体的に説明する。この場合、電圧測定部３が両端間電圧Ｖｃの電圧値をディジタルデータＤｖに変換して出力している状態において、処理部４は、記憶部５に予め記憶されている動作プログラムに従って作動して、静電容量測定処理６０を実行する。

この静電容量測定処理では、処理部４は、まず、図３に示すステップ５１〜ステップ５４までの各動作と同一の動作をステップ６１〜ステップ６４においてそれぞれ実行する。

処理部４は、期間Ｔの長さの計測をステップ６４において開始した後、予め規定（プログラミング）されているサンプリング周期Ｔｓ（期間Ｔよりも十分に短い時間（例えば１ｍｓ））での両端間電圧Ｖｃ（Ｖ１）の測定を実行して、ディジタルデータＤｖで示されるコンデンサ９の両端間電圧Ｖｃを記憶部５に記憶させる（ステップ６５）。処理部４は、計測している時間が期間Ｔの長さ（１００ｍｓ）に達したか否かの判別を繰り返しつつ（ステップ６６）、計測している時間が期間Ｔに達するまで、ステップ６５の測定処理を繰り返し実行する。これにより、１つの期間Ｔ内でのサンプリング周期Ｔｓ毎の両端間電圧Ｖｃが記憶部５に記憶される。

一方、処理部４は、ステップ６６において計測している時間が期間Ｔに達したと判別したときには、予め規定（プログラミング）された個数（本例ではｎ個（ｎは２以上の整数））分の期間Ｔの計測がすべて完了したか否かを判別し（ステップ６７）、完了するまで、上記ステップ６４〜ステップ６６を繰り返し実行する。これにより、記憶部５には、サンプリング周期Ｔｓで測定された両端間電圧Ｖｃが期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ毎に記憶される。ここで、処理部４による期間Ｔの計測タイミングおよびサンプリング周期Ｔｓの計測タイミングは、Ａ／Ｄ変換器１２のサンプリング周期と共に不図示の基準クロックに同期したものとなっているため、サンプリング周期Ｔｓに基づいて各期間Ｔでサンプリングされる両端間電圧Ｖｃの数は同数（一例としてｍ個（ｍは２以上の整数））となる。なお、本例では上記したように、サンプリング周期Ｔｓを１ｍｓとし、期間Ｔを１００ｍｓとしているため、ｍ＝１００となる。

続いて、処理部４は、ステップ６７において、予め規定された個数（ｎ個）分の期間Ｔの計測がすべて完了したと判別したときには、記憶部５に期間Ｔ毎に記憶されている複数の両端間電圧Ｖｃ（Ｖ_Ｃ１，Ｖ_Ｃ２，・・・，Ｖ_Ｃｍ）に基づいて各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎにおけるコンデンサ９の静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを算出して、記憶部５に記憶させる（ステップ６８）。この静電容量Ｃ_１〜Ｃ_ｎの算出に際しては、処理部４は、期間Ｔ毎に、まず、各両端間電圧Ｖｃについて、最初にサンプリングされた（測定された）両端間電圧Ｖ_Ｃ１との差分を算出し、次いで、算出したこれら差分の平均値Ｖａｖｅを算出する。この平均値Ｖａｖｅは下記式で表される。
平均値Ｖａｖｅ＝（（Ｖ_Ｃ１−Ｖ_Ｃ１）＋（Ｖ_Ｃ２−Ｖ_Ｃ１）＋・・・＋（Ｖ_Ｃｍ−Ｖ_Ｃ１））／ｍ
この場合、この平均値Ｖａｖｅは、期間Ｔの中間点における両端間電圧Ｖｃを現しているため、コンデンサ９が定電流Ｉで充電されているという条件下において、期間Ｔにおける両端間電圧Ｖｃの増加分は、２×Ｖａｖｅで現される。したがって、処理部４は、式（Ｉ×１００ｍｓ）／（２×Ｖａｖｅ）に基づいて、各期間Ｔにおける静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを算出する。

最後に、処理部４は、算出した各期間Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎにおけるコンデンサ９の静電容量Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎを平均して、コンデンサ９の最終的な静電容量（本発明における最終静電容量）Ｃｃを算出し、記憶部５に記憶させると共に、表示部６に表示させる（ステップ６９）。これにより、静電容量測定処理６０が完了する。

この静電容量測定処理６０を実行する静電容量測定装置１によれば、各期間Ｔにおいて複数（３回以上）両端間電圧Ｖｃをサンプリングして、その平均値Ｖａｖｅに基づいて静電容量Ｃｃを算出することにより、ノイズの影響を一層軽減することができ、最終的な静電容量Ｃｃの測定精度の低下を一層軽減することができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、放電処理の開始直後におけるコンデンサ９の両端間電圧Ｖｃが初期電圧Ｖｓ未満であるときには、処理部４は、最初に検出した両端間電圧Ｖｃを初期電圧Ｖｓとし、放電処理を直ちに終了させて、ステップ５３に移行し、その後は上記した内容で各処理を実行することにより、最終的な静電容量Ｃｃを算出することができる。

また、複数の期間Ｔを充電処理期間中に設定して静電容量を測定する構成に代えて、充電処理に続いて放電処理を実行するようにして、この放電処理期間中に静電容量を測定するための期間Ｔを設定するようにしてもよい。また、各期間Ｔの長さを一例として１００ｍｓに規定してハムノイズを低減する構成を採用しているが、ハムノイズの影響を無視できるのであれば、各期間Ｔを任意の長さに規定することもできる。

静電容量測定装置１の構成を示すブロック図である。 充放電処理の際のコンデンサ９の両端間電圧Ｖｃの波形図である。 静電容量測定処理５０のフローチャートである。 静電容量測定処理６０のフローチャートである。

符号の説明

１ 静電容量測定装置
２ 充放電部
３ 電圧測定部
４ 処理部
９ コンデンサ
Ｃ_１，Ｃ_２，・・・，Ｃ_ｎ，Ｃｃ 静電容量
Ｉ 定電流
Ｔ_１，Ｔ_２，・・・，Ｔ_ｎ 期間
Ｖｃ 両端間電圧

Claims (3)

1. コンデンサに定電流を供給して当該コンデンサを充電する電流供給部と、
   充電状態の前記コンデンサの両端間電圧を測定する電圧測定部と、
   当該電圧測定部によって測定された両端間電圧に基づいて当該両端間電圧の変化量を複数期間分算出し、当該期間毎の当該両端間電圧の変化量および当該期間毎の前記コンデンサへの充電量に基づいて当該期間毎の当該コンデンサの静電容量を算出すると共に、当該各期間について算出された前記静電容量の平均値を当該コンデンサの最終静電容量として算出する処理部とを備えている静電容量測定装置。
2. 前記処理部は、前記各期間の長さを一定として前記変化量を算出する請求項１記載の静電容量測定装置。
3. 前記処理部は、前記各期間が連続する状態で前記変化量を算出する請求項１または２記載の静電容量測定装置。

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