JP2010042922A - 保護フィルム剥離装置および保護フィルム剥離システム - Google Patents

Abstract

【課題】保護フィルムが表面に貼付される基体において保護フィルムを剥離する際に、皺、変形の発生を抑制することである。
【解決手段】保護フィルム剥離装置２０は、筐体部２２と、片面接着シート３０を繰り出す繰出部２４と、繰り出された片面接着シート３０を巻き取る巻取部２６と、繰出部２４と巻取部２６の間に配置され片面接着テープの接着面が表面側を向くように片面接着シート３０が折り返して掛けられる接触ヘッド２８を含んで構成される。そして接触ヘッド２８の先端部を剥離対象の基体の保護フィルムに接触して押し付けることで片面接着シート３０の接着面を介して保護フィルムと接触ヘッド２８が接着され、筐体部２２の全体を保護フィルムから離間する方向に移動することで保護フィルムを基体から剥離することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、保護フィルム剥離装置および保護フィルム剥離システムに係り、特に、保護フィルムが表面に貼付される基体において保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置および保護フィルム剥離システムに関する。

偏光フィルムや位相差フィルム等の光学素子フィルムは、光学的プラスチックフィルムに適当な偏光特性、位相差を付与したものが用いられるが、その表面を保護するために保護フィルムが設けられることが多い。保護フィルムは、適当な粘着層等を用いて光学素子フィルムの表面に貼付することができる。また、光学素子フィルムを液晶ディスプレイの表示面等の対象物に取付けるまでは使用されないものであるから、それまでの間、粘着層の表面を一時的に保護するセパレータと呼ばれるフィルムが貼付される。なお、セパレータは、光学素子フィルムが対象物に実際に取付けられるときは剥離されて廃棄される。その点で、セパレータは、一時的使用の保護フィルムと考えることができる。

例えば、特許文献１には、偏光板として、偏光子または偏光フィルムの両側に透明保護層を付加し、その片面側に透明保護層のうえに粘着層を介してセパレータを設ける構造が述べられている。ここで透明保護層は、偏光フィルムの耐水性や取扱性の向上などを目的とし、ポリエステル系樹脂等の厚さが１〜３００μｍのプラスチックフィルムが用いられ、接着層にはトルエン等の適宜な溶剤に天然物や合成物の樹脂類を溶解または分散させて１０〜１００μｍの厚さで塗工したものが用いられ、セパレータは粘着層が外表面に露出する場合にその粘着層を実用に供するまでの間、汚染防止等を目的に仮着カバーするものとして、厚さが１０〜２００μｍのプラスチックフィルム等が用いられることが述べられている。

このように光学素子フィルムには、粘着層を介して保護フィルムが貼付されて製造されることが多い。保護フィルムは、粘着層が実用に供されるまで貼付されたままとなるが、例えば、検査を行おうとするときに不便なことがある。すなわち、光学素子フィルムの中核的な部分は偏光子または偏光フィルムの部分であるが、保護フィルムが貼付されていると、直接的に偏光子または偏光フィルムの特性を検査できず、保護フィルムを介しての検査となる。

例えば、特許文献２には、偏光フィルムのような透明シートの表面に表面保護フィルムが貼付されているときの外観検査方法としては、検査員による目視検査が行われており、これには熟練技術が必要となると共に、検査員の間で検査レベルを統一する必要があると述べられている。そこで、可視光による透過光の２値データと、赤外光による反射光の２値データとの比較から、表面保護フィルムを剥離しなくても、透明フィルムに混入する気泡、異物と、表面保護フィルムに混入する気泡、異物とを区別できることが開示されている。

特開２００２−２２９５０号公報 特開平７−３１１１６０号公報

特許文献２に述べられているように、保護フィルムが表面に貼付されている光学素子フィルムの特性は検査員の目視検査によって検査されるが、上記のように、保護フィルムを介しての検査となる。特許文献２の装置を用いれば、保護フィルムが貼付される偏光フィルム等の透明フィルムにおける気泡、異物を、保護フィルムを剥離しなくても検査できる。しかし、そのためには特殊な検査装置と特殊な画像処理技術が必要であり、また、検査できる項目も気泡、異物等の外観項目に限られる。

そこで、保護フィルムを剥離して検査することが考えられるが、保護フィルムは薄く、しかも粘着層を介して偏光フィルム等に密着して貼付されているので、偏光フィルム等に損傷を与えずに剥離するには細心の注意が必要である。また、一旦剥離した保護フィルムは、剥離の際に皺になり、また変形をすることが多いので、再び光学素子フィルムに元通り貼付することが難しい。そのために、この方法で保護フィルムが剥離された光学素子フィルムは、保護フィルムを再貼付されることがなく、検査の後廃棄される。

上記のように、保護フィルムが表面に貼付される光学素子フィルムの場合、皺、変形等の発生をなくしてきれいに保護フィルムを剥離することができれば有益である。すなわち、きれいに剥離することで、保護フィルムで保護されている光学素子等を損傷することを抑制できる。また、剥離の際の皺、変形がなくなれば、一度剥離した保護フィルムを再貼付して再利用することも可能となってくる。

本発明の目的は、保護フィルムが表面に貼付される基体において、保護フィルムを剥離する際に、皺、変形の発生を抑制できる保護フィルム剥離装置および保護フィルム剥離システムを提供することである。

本発明に係る保護フィルム剥離装置は、保護フィルムが表面に貼付される基体から保護フィルムを剥離する剥離装置であって、片面接着シートをその幅の全体に渡って、幅に直交する方向に繰り出す繰出部と、片面接着シートをその幅の全体に渡って、幅に直交する方向に巻き取る巻取部と、繰出部と巻取部の間に配置されて、幅方向に延びる接触ヘッドであって、接触ヘッドの先端部において片面接着シートの接着面が表面側になるように、繰出部から繰り出された片面接着シートが掛けられ折り返されて巻取部に戻される接触ヘッドと、繰出部と巻取部と接触ヘッドとを保持する筐体部と、を含み、接触ヘッドの先端部を剥離対象の基体の保護フィルムに接触して押し付けることで片面接着シートの接着面を介して保護フィルムと接触ヘッドが接着され、筐体部の全体を保護フィルムから離間する方向に移動することで保護フィルムを基体から剥離することを特徴とする。

本発明に係る保護フィルム剥離システムは、保護フィルムが表面に貼付される基体から保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置と、基体を保持する保持部と、保持部に対し保護フィルム剥離装置を移動させる剥離装置移動機構と、を備え、保護フィルム剥離装置は、片面接着シートをその幅の全体に渡って、幅に直交する方向に繰り出す繰出部と、片面接着シートをその幅の全体に渡って、幅に直交する方向に巻き取る巻取部と、繰出部と巻取部の間に配置されて、幅方向に延びる接触ヘッドであって、接触ヘッドの先端部において片面接着シートの接着面が表面側になるように、繰出部から繰り出された片面接着シートが掛けられ折り返されて巻取部に戻される接触ヘッドと、繰出部と巻取部と接触ヘッドとを保持する筐体部と、を含み、接触ヘッドの先端部を保持部に保持される基体の保護フィルムに接触して押し付けることで片面接着シートの接着面を介して保護フィルムと接触ヘッドが接着され、移動機構によって保護フィルム剥離装置を基体の表面から離間する方向に移動することで保護フィルムを基体から剥離することを特徴とする。

また、本発明に係る保護フィルム剥離システムにおいて、剥離装置移動機構は、保護フィルム剥離装置を基体の表面に向かって移動させ、保護フィルムの上面の幅方向の全体に渡って接触ヘッドを接触して押し付け、接触ヘッドの先端部の片面接着シートの接着面を保護フィルムに接着させる剥離装置第１移動手段と、保護フィルム剥離装置を基体の表面から離間する方向に移動させ、保護フィルムを基体から剥離させる剥離装置第２移動手段と、を有することが好ましい。

また、本発明に係る保護フィルム剥離システムにおいて、保護フィルムを幅方向の全体に渡って押さえることができる長さを有する定規状の押さえ部材と、押さえ部材を移動させる押さえ部材移動機構と、を備え、押さえ部材移動機構は、押さえ部材を基体の表面に向かって移動させ、保護フィルムの上面の幅方向の全体に渡って押さえ部材を押し付ける押さえ部材第１移動手段と、剥離装置第２移動手段による保護フィルム剥離装置の移動と協働し、保護フィルムの他方側において押さえ部材を押付けたままで、押さえ部材の押付位置が保護フィルムの剥離部分と貼付部分の境界となるように、保護フィルムの剥離位置が揃うまで保護フィルムを部分的に剥離させ、その状態で基体を露出させる剥離時押付維持手段と、剥離時押付維持の後で、剥離装置移動機構によって保護フィルム剥離装置を基体の幅方向に直交する方向に沿って他方端部側から一方端部側に移動させることと同期させて、押さえ部材を基体の幅方向に直交する方向に沿って他方端部側から一方端部側に、接触ヘッドを押付けながら移動させ、接触ヘッドの押付位置が保護フィルムの貼付部分と剥離部分の境界となるように揃えながら、保護フィルムを基体の表面に押付けて再貼付する押さえ部材第３移動手段と、を有することが好ましい。

また、本発明に係る保護フィルム剥離システムにおいて、保持部に対応する位置に配置され、保護フィルムが部分的に剥離された状態として露出された基体を検査する剥離状態検査装置を備えることが好ましい。

上記構成の少なくとも１つにより、保護フィルム剥離装置は、片面接着シートをその幅の全体に渡って、幅に直交する方向に繰り出す繰出部と巻取部と、繰出部と巻取部の間に配置されて、幅方向に延び、先端部において片面接着シートの接着面が表面側になるように、繰出部から繰り出された片面接着シートが掛けられ折り返されて巻取部に戻される接触ヘッドとを含む。そして、接触ヘッドの先端部を剥離対象の基体の保護フィルムに接触して押し付けることで片面接着シートの接着面を介して保護フィルムと接触ヘッドが接着され、全体を保護フィルムから離間する方向に移動することで保護フィルムを基体から剥離する。このように、保護フィルムをその幅の全体に渡って基体から剥離するので、剥離の際の皺、変形を抑制することができる。

また、上記構成の少なくとも１つにより、保護フィルム剥離システムは、基体を保持する保持部に対し移動可能な保護フィルム剥離装置を備え、保護フィルム剥離装置は、片面接着シートをその幅の全体に渡って、幅に直交する方向に繰り出す繰出部と巻取部と、繰出部と巻取部の間に配置されて、幅方向に延び、先端部において片面接着シートの接着面が表面側になるように、繰出部から繰り出された片面接着シートが掛けられ折り返されて巻取部に戻される接触ヘッドとを含む。そして、接触ヘッドの先端部を剥離対象の基体の保護フィルムに接触して押し付けることで片面接着シートの接着面を介して保護フィルムと接触ヘッドが接着され、全体を保護フィルムから離間する方向に移動することで保護フィルムを基体から剥離する。このように、保護フィルムをその幅の全体に渡って基体から剥離するので、剥離の際の皺、変形を抑制することができる。

また、保護フィルム剥離システムにおいて、保護フィルム剥離装置を基体の表面に向かって移動させ、保護フィルムの上面の幅方向の全体に渡って接触ヘッドを接触して押し付け、接触ヘッドの先端部の片面接着シートの接着面を保護フィルムに接着させ、また、基体の表面から離間する方向に移動させ、保護フィルムを基体から剥離させる。このように、片面接着シートを介して接触ヘッドを保護フィルムの幅の全体に渡って接着させ、これを移動させるので、保護フィルムをその幅の全体に渡って基体から剥離でき、剥離の際の皺、変形を抑制することができる。

また、保護フィルム剥離システムにおいて、保護フィルムを幅方向の全体に渡って押さえることができる長さを有し移動可能な定規状の押さえ部材を備え、その押さえ部材を基体の表面に向かって移動させ、保護フィルムの上面の幅方向の全体に渡って押さえ部材を押し付け、保護フィルム剥離装置の移動と協働し、保護フィルムの他方側において押さえ部材を押付けたままで、押さえ部材の押付位置が保護フィルムの剥離部分と貼付部分の境界となるように、保護フィルムの剥離位置が揃うまで保護フィルムを部分的に剥離させ、その状態で基体を露出させる。その後で、保護フィルム剥離装置を基体の幅方向に直交する方向に沿って他方端部側から一方端部側に移動させることと同期させて、押さえ部材を基体の幅方向に直交する方向に沿って他方端部側から一方端部側に、接触ヘッドを押付けながら移動させ、接触ヘッドの押付位置が保護フィルムの貼付部分と剥離部分の境界となるように揃えながら、保護フィルムを基体の表面に押付けて再貼付する。

このように、保護フィルムの上面の幅方向の全体に渡って押さえることができる定規状の押さえ部材を用い、この定規状の押さえ部材の押付位置が保護フィルムの剥離部分と貼付部分の境界となるように保護フィルムの剥離位置が揃うまで、保護フィルムの剥離が行われる。検査後の再貼付のときは、この定規状の押さえ部材を保護フィルムの上面上を他方端部側から一方端部側へ、剥離と逆方向に移動させながら、押さえ部材の押付位置が保護フィルムの剥離部分と貼付部分の境界となるように保護フィルムの剥離位置を揃えながら行う。これによって、剥離した保護フィルムが皺になり、または変形することが抑制され、保護フィルムに皺、変形を生じることなく基体に保護フィルムをきれいに再貼付することができる。

また、保護フィルム剥離システムにおいて、保護フィルムが部分的に剥離された状態として露出された基体を検査する剥離状態検査装置を備えるので、保護フィルムを介さないときの対象物の検査を行うことができ、保護フィルムを貼付したままで行われる検査に比べ、検査の信頼性を向上させることができる。

以下に図面を用いて本発明に係る実施の形態に付き詳細に説明する。なお以下では、保護フィルムと基体とを含む構造体として、偏光フィルム体を説明する。ここで、偏光フィルム体は、偏光子シートとその両面の保護シートを含み、そのそれぞれの保護シートのうち一方側の保護シートの外表面に外側シートが設けられ、他方側の保護シートの外表面に粘着層が設けられ、その粘着層にセパレータが貼付されるが、セパレータが保護フィルムに相当し、それ以外の要素が基体に相当する。

以下で述べる偏光フィルム体の構造は例示であって、勿論これ以外の構造を有する偏光フィルム体であってもよい。例えば、保護シートが片面のみであってもよい。また、セパレータが保護シートを兼ねる構造であってもよい。

以下では、この粘着層からセパレータを剥離することについて説明するが、偏光子シートを挟んでセパレータと反対側に配置される外側シートの剥離も、粘着力等が相違するだけであるので、それを剥離することについても、本発明を同様に実施することができる。この場合には、外側シートが保護フィルムに相当し、それ以外の要素が基体に相当することになる。

また、基体に含まれる光学素子シートは、偏光子シート以外であってもよい。例えば位相差シートであってもよく、特殊な反射特性を有するハーフミラーシート等であってもよい。また、基体は、柔軟性を有するシート状のものとして説明するが、適当な剛性を有する板状のものであってもよい。また、基体は、光学素子に関するものでなくてもよい。例えば、塗料が塗布され、あるいは適当な表面処理が行われ、その表面に保護フィルムが一時的に貼付されるものであってもよい。この場合には、基体は、表面処理等が行われた表示板等の商品となる。例えば、装飾的な表面処理が行われた商品の表面を実際に販売が完了するまで透明の保護フィルムで保護する場合、あるいは、搬送中の傷等を防止するために商品の表面を保護する保護フィルムで保護する場合等であってもよい。

なお、以下で説明する寸法、材質等は説明のための一例であって、保護フィルムを有する基体の仕様等にあわせて適宜変更が可能である。

以下では、全ての図面において同様の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、本文中の説明においては、必要に応じそれ以前に述べた符号を用いるものとする。

図１は、保護フィルム剥離装置２０の構成を説明する図である。この図は、保護フィルム剥離装置２０について、紙面の上部側に側面図が、下部側に平面図がそれぞれ示されている。保護フィルム剥離装置２０は、片面接着シートを用い、保護フィルムの幅全体に渡って基体から剥離を行うことができる機能を有する。

保護フィルム剥離装置２０は、筐体部２２と、片面接着シート３０を繰り出す繰出部２４と、繰り出された片面接着シート３０を巻き取る巻取部２６と、繰出部２４と巻取部２６の間に配置され片面接着テープの接着面が表面側を向くように片面接着シート３０が折り返して掛けられる接触ヘッド２８を含んで構成される。

筐体部２２は、作業者が手で把持できるように、あるいは適当な移動装置に取り付け可能なように、把持あるいは取付に適した外形を有するケースである。筐体部２２は、その内部に、上記の繰出部２４、巻取部２６、接触ヘッド２８がそれぞれ取付けられ、また、これらの間を通る片面接着シート３０が収容される。

筐体部２２は、内部に片面接着シート３０を収容するために、あるいは必要に応じて片面接着シート３０を交換するために、開閉ができる構造を有する。例えば、筐体部２２をケース本体と側壁板とで構成し、側壁板がケース本体に対し開閉自在とする構造を用いることができる。かかる筐体部２２は、適当なプラスチック材料を所望の形状に成形したものを用いることができる。

繰出部２４と巻取部２６は、片面接着シート３０の両端側をそれぞれ巻き取って収納する軸体である。繰出部２４と巻取部２６は、筐体部２２に回転自在に取付けられる。図１では紙面の右下側に配置されるものを繰出部２４、左上側に配置されるものを巻取部２６としたが、繰出部２４と巻取部２６はいずれも軸周りの回転が両方向に可能であるので、回転方向によって繰り出しと巻き取りの関係が逆となる。

例えば、図１において、繰出部２４と巻取部２６の双方が紙面上でいずれも反時計方向に回転するときは、右下側から接触ヘッド２８を経由して左上側に片面接着シート３０が送られる。これに対し、繰出部２４と巻取部２６の双方が紙面上でいずれも時計方向に回転するときは、左上側から接触ヘッド２８を経由して右下側に片面接着シート３０が送られるので、右上側に配置される巻取部２６が繰り出し機能を有し、左下側に配置される繰出部２４が巻き取り機能を有する。このように、繰り出し、巻き取りは、回転方向によって変化する相対的なもので、その意味では、繰出部２４と巻取部２６を、共に繰出／巻取軸と呼ぶことができる。

かかる繰出部２４と巻取部２６とは、片面接着シート３０の幅よりも長めの軸長を有する円柱状の軸体で構成することができる。その直径は、片面接着シート３０の巻き癖がつかない程度に大きいほうが好ましい。軸体は、適当なプラスチック材料で成形したもの、あるいは金属製の筒状の軸体を用いることができる。

接触ヘッド２８は、繰出部２４と巻取部２６の間に配置される幅広の平板状部材である。接触ヘッド２８は、その先端部に片面接着シート３０の接着面を配置し、その接着面を剥離対象の保護フィルムであるセパレータに接触して、セパレータと接着し、保護フィルム剥離装置２０とセパレータとを一体化させる機能を有する。この一体化機能によって、保護フィルム剥離装置２０を移動させることで、セパレータを基体から剥離することができる。

接触ヘッド２８の幅は、片面接着シート３０の幅よりもやや長めに設定される。したがって、接触ヘッド２８がセパレータと接触するときは、セパレータの幅全体で接着による一体化が行われることになる。接触ヘッド２８の先端側は、適当に小さな半径の丸みがつけられる。この丸みのところで、繰出部２４から繰り出され、巻取部２６で巻き取られる片面接着シート３０が折り返されることになるので、片面接着シート３０が破断しない程度の半径の丸みに設定することが好ましい。

片面接着シート３０は、幅広のシートで、一方の片面に接着面が設けられ、他方の片面は非接着面とされる。非接着面は、片面接着シート３０の接着面と接触してもほとんど接着しないように、適当な剥離材をコーティングすることが好ましい。これによって、繰出部２４、巻取部２６において、片面接着シート３０を軸体に順次巻きつけても、接着がほとんど行われないものとできる。

片面接着シート３０は、繰出部２４から繰り出され、接触ヘッド２８の先端部において折り返し、巻取部２６によって巻き取られる。このときに、接触ヘッド２８の先端部において、接着面が表面側となるようにされる。これにより、接触ヘッド２８の先端部は、接着力を有する部分となり、剥離対象のセパレータに接触して、接着により一体化を行うことができる。片面接着シート３０の幅は、剥離対象の保護フィルムの幅と同程度かそれよりも長いことが好ましい。

図２は、検査対象である偏光フィルム体１０の構造を説明するための模式図である。偏光フィルム体１０は、片面側から入射された光を、所定の偏光モードで偏光させる機能を有する光学素子フィルム体である。

偏光フィルム体１０は、中核となる偏光子シート１２と、その表裏両側の面にそれぞれ積層して配置される保護シート１３，１４と、一方側の保護シート１３の外側に積層して配置される外側シート１５と、他方側の保護シート１４の外側に設けられる粘着層１７と、粘着層１７に貼付されるセパレータ１９を含んで構成される。

偏光フィルム体１０は、このように、複数のシートを積層して形成され、その後に所定の形状に切断することが行われる。これらの工程が終了して、完成した偏光フィルム体１０となると、液晶パネルメーカ等の顧客に納品され、そこで液晶パネル等の取付対象物に取付けることが行われる。そのときに、セパレータ１９が粘着層１７から剥離され、露出した粘着層１７を介して偏光フィルム体１０が液晶パネル等にしっかりと貼り付け固定される。このようにして偏光フィルム付き液晶パネル等が完成すると、一般消費者の販売のために販売店に送られる。販売店の店頭に並べられた偏光フィルム体付き液晶パネルがユーザに買い上げられると、販売店はそれまで傷防止等のために設けられていた外側シート１５を取り外す。

このように、偏光フィルム体１０の表裏両側の外側にそれぞれ設けられるセパレータ１９と外側シート１５は、偏光フィルム体１０の光学的性能とは別の目的のために、一時的に偏光フィルム体１０の外側に貼付されるものである。しかし、上記のように、セパレータ１９は、偏光フィルム体１０が取付対象物に取付けられるまで、偏光フィルム体１０を構成するものとして貼付されたまま製造工程を流通し、外側シート１５は販売完了まで、流通経路も含めて、偏光フィルム体１０を構成するものとして貼付されたまま流通する。

以下では、偏光フィルム体１０において、セパレータ１９を粘着層１７から一時的に部分的に剥離し、その状態で例えば検査等の処理を行い、その後に再びセパレータ１９を粘着層１７に再貼付する様子を説明する。そこで、偏光フィルム体１０を、セパレータ１９と、それ以外の部分に分け、それ以外の部分を、偏光フィルム基体１８と呼ぶことにする。偏光フィルム体を、保護フィルムと基体との構成物であるとするときは、セパレータ１９が保護フィルムに相当し、偏光フィルム基体１８が基体に相当する。

偏光フィルム基体１８は、粘着層１７とそれ以外の要素に分けられるが、粘着層１７以外の要素の部分をまとめて、シート積層体１６と呼ぶことにする。シート積層体１６は、上記のように、粘着層１７の側から、他方側保護シート１４、偏光子シート１２、一方側保護シート１３、外側シート１５の積層体である。

偏光子シート１２は、ヨウ素、染料等の二色性物質を含有の延伸フィルムで構成することができる。具体的には、ポリビニルアルコール系フィルム、部分ホルマール化ポリビニルアルコール系フィルム、エチレン・酢酸ビニル共重合体系ケン化フィルム等の適当な親水性高分子からなるフィルムを搬送しつつ染色浴中でヨウ素、染料等を含浸させて延伸処理する湿式法を用いて偏光子シート１２を形成することができる。偏光子シート１２の厚さは、一例をあげると、５〜８０μｍ程度である。

保護シート１３，１４は、偏光子シート１２の耐水性の向上、取扱性の向上のために用いられる透明シートである。保護シート１３，１４には、ポリエステル系樹脂、アセテート系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂等の熱可塑性樹脂、アクリル系、ウレタン系、アクリルウレタン系、エポキシ系、シリコーン系等の熱硬化性樹脂、あるいは紫外線硬化性樹脂の透明シートを用いることができる。保護シート１３，１４の厚さは、一例をあげると、５〜２００μｍ程度である。

外側シート１５は、偏光フィルム体１０を構成するものとして、流通経路中での損傷から保護シート付き偏光子シートを保護する機能を有する透明シートである。外側シート１５の材質は、保護シート１３，１４と同様のもの、あるいは、後述するセパレータ１９と同様のものを用いることができる。外側シート１５の厚さは、一例をあげると、５〜２００μｍ程度である。

偏光子シート１２と保護シート１３，１４の間には、粘着層あるいは接着層が設けられ、一方側の保護シート１３とその外側の外側シート１５との間にも粘着層あるいは接着層が設けられる。これらの粘着層あるいは接着層は、シート間の積層を行うためのもので、比較的弱い接合力である。

これに対し、他方側の保護シート１４の外表面に設けられる粘着層１７は、シート積層体１６を外部の取付対象物、例えば液晶パネル等に取付けるための機能を有し、上記のシート間の積層に用いられる粘着層あるいは接着層にくらべ、強い粘着力を有する。かかる粘着層としては、トルエンや酢酸エチル等の適宜な溶剤の単独物、またはそれらの混合物からなる溶媒に、天然物や合成物の樹脂類等の粘着性物質を溶解または分散させた粘着材液を流延方式、あるいは塗工方式等で保護シート１３の表面に展開したものを用いることができる。粘着性物質の他に、充填材、酸化防止剤等を添加することもできる。粘着層１７の厚さは、一例を上げると、１０〜１００μｍである。

このように、粘着層１７は、溶媒に粘着性物質を溶解または分散させたものであるので、これを大気中に露出させておくと、溶媒が蒸散し、粘着性が低下してくる。そのために、外部の取付対象物に取り付けるために用いられるまで、大気中に露出しないことが好ましい。

セパレータ１９は、溶媒に粘着性物質を溶解または分散させた粘着層１７の粘着力の低下を防ぐために、粘着層１７を取付固定のために用いるまで、その表面を覆っておく機能を有するフィルムである。セパレータ１９は、プラスチックフィルム、ゴムシート、紙、布、不織布、発泡シート、金属箔、これらの積層体等を用いることができる。セパレータ１９の厚さは、一例を上げると、１０〜２００μｍである。セパレータ１９には、シリコーン系、フッ素系等の適宜な剥離コーティングを行うものとしてもよい。

次に、保護フィルム剥離装置２０の作用を図３から図５を用いて説明する。図３から図５は、保護フィルムであるセパレータ１９を基体である偏光フィルム基体１８から剥離する様子を順次説明する図である。そして、セパレータ１９を偏光フィルム基体１８から剥離するだけでなく、一部剥離状態で偏光フィルム基体１８の特性検査を行い、その検査後、セパレータ１９を偏光フィルム基体１８に再貼付するものとして、これらの様子も順次説明する。

図３から図５は、剥離−検査−再貼付の一連の流れを示すものであるので、図３から図５を通して、（ａ）から（ｌ）までの図として示してある。図３の（ａ）から（ｄ）は、セパレータ１９を偏光フィルム基体１８から剥離する初期の様子を示す図である。図４の（ｅ）から（ｈ）は、セパレータ１９が部分的ではあるが十分剥離され、その状態で検査が行われる様子までを示す図である。図５の（ｉ）から（ｌ）は、剥離されたセパレータ１９を検査後に再貼付し、最初と同じ状態の検査済み偏光フィルム体１１に戻す様子を示す図である。

これらの図において、偏光フィルム体１０として、セパレータ１９と、偏光フィルム基体１８を構成するシート積層体１６と粘着層１７とが示されている。偏光フィルム体１０は、適当な載物テーブル６３の上に保持されているものとして示されている。なお、これらにおいて、説明のため、厚さが誇張して示されている。また、移動方向を示すため、各図に、Ｘ方向、Ｚ方向につき、それぞれ符号を付して明示した。

図３（ａ）は、初期状態を示す図で、載物テーブル６３に偏光フィルム体１０が保持され、その上方に保護フィルム剥離装置２０が配置される様子が示されている。偏光フィルム体１０の配置は、保護フィルムであるセパレータ１９が上面となるように行われる。ここでは、図２の上下が逆、つまりセパレータ１９が図３（ａ）において上面側となるように配置が行われる。なお、例えば、偏向フィルム体１０が、図２で説明したものと異なってセパレータを上面側に配置される構造の場合もあるが、そのときにもセパレータが図１において上面側となるように、つまりこの場合は図２の上下の状態のままで、図３（ａ）において配置が行なわれる。保護フィルム剥離装置２０の配置は、作業者が手で把持して行ってもよく、適当な移動機構に保護フィルム剥離装置２０を取り付けるものとしてもよい。この状態では、保護フィルム剥離装置２０は偏光フィルム体１０と接触していない。

図３（ｂ）は、保護フィルム剥離装置２０を偏光フィルム体１０の表面に向かって移動させ、偏光フィルム体１０の上面のセパレータ１９に接触ヘッド２８を接触して押し付ける様子が示されている。保護フィルム剥離装置２０の移動方向は、図３（ｂ）の−Ｚ方向である。

上記のように、接触ヘッド２８の幅は片面接着シート３０の幅より広く、片面接着シート３０の幅は剥離対象の保護フィルムであるセパレータ１９の幅と同じかそれよりも長い。したがって、接触ヘッドの先端部は、セパレータ１９の上面の幅方向の全体に渡って接触し、これを押し付けることができる。

そして、接触ヘッド２８の先端部においては片面接着シート３０が接着面を表面側として折り返されて掛けられている。したがって、接触ヘッド２８がセパレータ１９に接触し押し付けを行うことで、この接着面がセパレータ１９の上面に接触し、これにより、接触ヘッド２８とセパレータ１９が片面接着シート３０の接着面と接着し、一体化される。

図３（ｃ）は、図３（ｂ）の状態から接触ヘッド２８をセパレータ１９に押し付けながら、図３（ｃ）の−Ｘ方向に移動させた状態を示す図である。ここで、セパレータ１９の長手方向において、その両端部をそれぞれ一方端部、他方端部と呼ぶこととし、図３（ｃ）において−Ｘ方向の端部を一方端部、＋方向の端部を他方端部とする。このように呼ぶことにすれば、図３（ｃ）の接触ヘッド２８の移動は、セパレータ１９の他方端部から一方端部へ向かっての移動である。この移動は、接触ヘッド２８の先端部がセパレータ１９の一方端部のところまで来たところで止められる。このときに、図３（ｃ）の紙面上で時計方向に巻取部２６が作動し、接触ヘッド２８の移動に同期して片面接着シート３０の繰り出しが行われる。

この移動は、図３（ｂ）において、セパレータ１９と接触ヘッド２８とが線接触的に一体化されているに過ぎないものを、セパレータ１９と片面接着シート３０との間の接触面積をＸ方向に拡大し面接触的にするためである。これにより、一体化のための接着力を大きくすることができる。その様子を図３（ｃ）における接触ヘッド２８の周辺拡大図として示した。このようにセパレータ１９と片面接着シート３０との間の接触面面積を拡大するためには、図３（ｂ）における接触位置は、セパレータ１９の一方端部から少し他方端部側に寄った位置とすることが好ましい。

図３（ｄ）は、図３（ｃ）において接触ヘッド２８の先端部がセパレータ１９の一方端部のところの少し手前、つまり少し他方端部側に寄った位置まで来たところで止められた状態から、紙面上で反時計方向に巻取部２６が作動し、片面接着シート３０の巻き取りが行われ、これに同期して保護フィルム剥離装置２０が上方に少し引き上げた状態を示す図である。上方に引き上げるとは、接触ヘッド２８を偏光フィルム基体１８から離間する方向に引き上げること、すなわち、図３（ｄ）で＋Ｚ方向として示される方向に引き上げることである。

これにより、接触ヘッド２８の先端部においてその幅の全体に渡って面接着によって接着され、接触ヘッド２８と一体化されているセパレータ１９の一方端部が、その幅全体に渡って、偏光フィルム基体１８から離間するように引き上げられ、剥離される。

図４（ｅ），（ｆ），（ｇ）は、さらに保護フィルム剥離装置２０を上方に引き上げた状態を示す図である。ここでは、押さえ部材４０が、セパレータ１９の上面に配置される様子が示されている。押さえ部材４０は、セパレータ１９を幅方向の全体に渡って押さえることができる長さを有する定規状の部材である。

押さえ部材４０は、その押さえ位置が、セパレータ１９の剥離部分と貼付部分の境界となるように、セパレータ１９の剥離位置を揃える機能を有する部材である。この押さえ部材４０を用いることで、剥離されたセパレータ１９における皺、変形の発生を効果的に抑制することができる。特に、セパレータ１９を一旦部分的に剥離した後、再び偏光フィルム基体１８に再貼付することを考慮すると、この押さえ部材４０の剥離位置揃え機能は、より効果的に働く。セパレータ１９を剥離して廃棄する場合には、押さえ部材４０の配置を省略することもできる。

押さえ部材４０は、最初は、偏光フィルム体１０に接触していない状態にある。例えば、載物テーブル６３の外側に置かれていて、作業者によって、適当なタイミングで、偏光フィルム体１０のセパレータ１９の表面に押し当てるようにして置かれる。作業者の手作業による押さえ部材４０の設定に代えて、押さえ部材移動機構を設けるものとしてもよい。その場合には、最初は、偏光フィルム体１０の上方に押さえ部材４０を引き上げておき、適当なタイミングにおいて、押さえ部材４０を下降させるものとできる。押さえ部材４０は、偏光フィルム体１０のまだ貼付されている状態のセパレータ１９の上面の幅方向の全体に渡って押し付けられるように配置される。

押さえ部材４０は、後述する検査を行うために、セパレータ１９を部分的に剥離する必要があるその剥離境界の位置に配置される。つまり、セパレータ１９の上面上で、＋Ｘ方向の端部である一方端部側のところに配置される。この位置は、セパレータ１９の剥離の間変更されない。したがって、セパレータ１９の剥離の様子を示す図４（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）において、押さえ部材４０の位置は同じである。

次に、セパレータ１９の上面上で、押さえ部材４０の押付位置がセパレータ１９の剥離部分と貼付部分の境界、すなわち剥離境界となるように、セパレータ１９の剥離位置が揃うまで、セパレータ１９を幅全体に渡ってその一方端部側から押さえ部材の押付け位置まで剥離する。図４（ｅ），（ｆ）は、セパレータ１９の剥離が押さえ部材４０の位置まで到達しない途中の様子を示す図である。押さえ部材４０は、下降した位置のままで、セパレータ１９を押し付けている状態を維持している状態である。そして、保護フィルム剥離装置２０がセパレータ１９の剥離のために、図４（ｅ），（ｆ）で示す＋Ｚ方向と＋Ｘ方向の合成された方向に移動する。

このようにしてセパレータ１９の上方への引き上げを継続していき、押さえ部材４０の押付位置がセパレータ１９の剥離部分と貼付部分の境界、すなわち剥離境界となると、この押付位置で、セパレータ１９の剥離位置がＹ方向に直線的に揃うものとできる。この状態において、皺と変形の発生が抑制されたものとなっている。

図４（ｇ）は、押さえ部材４０の押付位置がセパレータ１９の剥離部分と貼付部分の境界になった状態を示す図である。この状態においても、押さえ部材４０は、セパレータ１９の上面をしっかりと押さえつけている。つまり、セパレータ１９が剥離される間は、押さえ部材がセパレータ１９の上面を押さえる状態を維持している。

図４（ｇ）においては、セパレータ１９の他方側において押さえ部材４０を押付けたままでセパレータ１９が部分的に剥離された状態とし、その状態で、保護フィルム剥離装置２０の移動と、押さえ部材４０の移動を止めてその状態が維持される。この状態において、セパレータ１９が剥離されて露出した偏光フィルム基体１８は、検査等の処理を行うのに十分な面積を有するものとできる。

図４（ｈ）は、その状態で、載物テーブル６３に向かい合う位置に配置される検査装置５０を用いて、偏光フィルム基体１８の検査が行われる様子を示す図である。例えば、偏光フィルム基体１８の上方から、偏光特性検査が検査装置５０を用いて行うことができる。勿論、この他に、外観検査、膜厚検査等を行なうことができる。

このように、セパレータ１９を剥離して、偏光フィルム基体１８を直接検査できるので、セパレータ１９を介したときの検査結果とセパレータ１９を介さないときの検査結果に相違が生じる検査項目、例えば、偏光特性、膜厚等を十分に検査することができる。また、外観検査においても、セパレータ１９に含まれる気泡、空孔、傷、欠陥等が除外されるので、正確で的確な検査とすることができる。

検査が終了すると、剥離されたセパレータ１９を元通り偏光フィルム基体１８に再貼付することが行われる。その様子が図５（ｉ）から（ｌ）に示される。図５の各図は、セパレータ１９の剥離の工程を逆に行うものであるが、ここでは、押さえ部材４０が、セパレータ１９の上面上を、他方端部側から一方端部側に向かって、すなわち−Ｘ方向にセパレータ１９を押さえつけながら移動される。これと同期して、保護フィルム剥離装置２０が−Ｘ方向と−Ｚ方向の合成された方向に移動する。これによってセパレータ１９は、順次再貼付が行われる。

図５（ｉ），（ｊ）はその途中の様子を示し、図５（ｋ）は、保護フィルム剥離装置２０が押さえ部材４０よりも高い位置にあって、その状態で押さえ部材４０が−Ｘ方向にさらに移動し、セパレータ１９の領域を完全に越えた様子を示す図である。この状態において、セパレータ１９の再貼付が完了する。なお、このときに、接触ヘッド２８から片面接着シート３０が離脱しやすいように、繰出部２４と巻取部２６とが逆回転し、巻取部２６の側から繰出部２４の側に、片面接着シート３０が再巻取りされる。図５（ｌ）には、セパレータ１９の再貼付が終了した検査済み偏光フィルム体１１が示されるが、この状態は、図３（ａ）の初期状態と同じである。

このように、セパレータ１９の再貼付作業は、押さえ部材４０を用いながら、セパレータ１９の剥離作業を逆向きに行うものに相当する。

すなわち、セパレータ１９の再貼付においては、図５（ｉ），（ｊ）に示されるように、押さえ部材４０のセパレータ１９の押し付けながらの−Ｘ方向への移動と、保護フィルム剥離装置２０のセパレータ１９を下方に引き下げてセパレータ１９を粘着層１７の側に戻すための移動とが同期させて行われる。このことで、セパレータ１９における皺と変形の発生を抑制しながら、セパレータ１９を粘着層１７に順次押し付けて再貼付することができる。

そして、図５（ｋ）に示されるように、保護フィルム剥離装置２０が押さえ部材４０よりも高い位置にあって押さえ部材４０がセパレータ１９の領域を完全に越えて移動すると、セパレータ１９の全体が粘着層１７を介して偏光フィルム基体１８にしっかりと再貼付されたことになる。そこで、保護フィルム剥離装置２０を上方に、つまり図５（ｌ）に示す＋Ｚ方向に引き上げることで、接触ヘッド２８の先端部が線接触の状態から接着状態が外れ、検査済み偏光フィルム体１１が載物テーブル６３の上に残される。このようにして、セパレータ１９の再貼付が行われる。

図６は、保護フィルム剥離装置２０の移動駆動と、押さえ部材４０の移動駆動とを駆動装置のプログラムによって自動的に行うことができる保護フィルム剥離システム６０の構成を説明する図である。保護フィルム剥離装置２０の内容と、押さえ部材４０の内容は、図１から図５で説明したものと同じである。なお、図６には、各要素の移動方向を説明するためにＸ方向とＺ方向が示されている。

保護フィルム剥離システム６０は、本体ベース部６２と、その上に設けられる載物テーブル６３と、本体ベース部６２に移動可能に設けられる剥離装置支持部６５と、剥離装置支持部６５に取付けられ、載物テーブル６３に対し移動可能な保護フィルム剥離装置２０と、載物テーブル６３に対し移動可能な押さえ部材４０と、本体ベース部６２に対しＸ方向に剥離装置支持部６５を移動駆動するＸ方向移動駆動部６４と、剥離装置支持部６５に対しＺ方向に保護フィルム剥離装置２０を移動駆動するＺ方向移動駆動部６６と、載物テーブル６３に対し押さえ部材４０をＸ方向およびＺ方向に移動駆動する押さえ部材移動駆動部６８と、載物テーブル６３の上方に設けられる検査装置５０と、各要素の動作を全体として制御する制御装置７０とを含んで構成される。

載物テーブル６３は、検査対象である偏光フィルム体１０を保持する機能を有するテーブルである。偏光フィルム体１０の保持には、外周を把持固定する機構、底面の適当な部位を減圧で吸引して保持する機構等を用いることができる。この載物テーブル６３は、透明テーブルで構成することが好ましい。そのような構成とすることで、偏光フィルム体１０の上面側からも下面側からも検査を行うことができる。

Ｘ方向移動駆動部６４は、本体ベース部６２に設けられたＸ方向案内部に沿って剥離装置支持部６５を移動駆動する機能を有するアクチュエータである。また、Ｚ方向移動駆動部６６は、剥離装置支持部６５に設けられたＺ方向案内部に沿って保護フィルム剥離装置２０を移動駆動するアクチュエータである。Ｘ方向案内部、Ｚ方向案内部は、それぞれガイドレール等で構成することができる。また、Ｘ方向移動駆動部６４、Ｚ方向移動駆動部６６は、それぞれ、例えばリニアモータあるいはステッピングモータ等で構成することができる。

押さえ部材移動駆動部６８は、本体ベース部６２に設けられたＸ方向案内部に沿って移動可能な押さえ部材支持部を移動駆動するＸ駆動部と、押さえ部材支持部に設けられたＺ方向案内部に沿って押さえ部材を移動駆動するＺ駆動部とに分けて構成することができる。すなわち、保護フィルム剥離装置２０をＸ方向に移動する機構と、Ｚ方向に移動する機構と同様な内容で、小型化したものを、押さえ部材４０のＸ方向の移動駆動と、Ｚ方向の移動駆動に用いることができる。

制御装置７０は、押さえ部材押し付けモジュール７２と、セパレータ剥離モジュール７４と、セパレータ再貼付モジュール７６を含んで構成される。

押さえ部材押し付けモジュール７２は、押さえ部材移動駆動部６８を制御して押さえ部材４０を移動駆動し、剥離対象の偏光フィルム体１０の上面の幅の全体を、押さえ部材４０によって押し付ける機能を有する。

セパレータ剥離モジュール７４は、Ｘ方向移動駆動部６４、Ｚ方向移動駆動部６６、押さえ部材移動駆動部６８を全体として協働して移動駆動させることで、図３と図４の各図で説明した処理手順で、押さえ部材４０でセパレータ１９の上面を押さえながら、保護フィルム剥離装置２０を移動させ、セパレータ１９をその幅の全体に渡って、偏光フィルム基体１８から剥離する機能を有する。

セパレータ再貼付モジュール７６は、Ｘ方向移動駆動部６４、Ｚ方向移動駆動部６６、押さえ部材移動駆動部６８を全体として協働して移動駆動させることで、図５の各図で説明した処理手順で、保護フィルム剥離装置２０と押さえ部材４０とを同期して移動させ、セパレータ１９をその幅の全体に渡って、偏光フィルム基体１８に再貼付する機能を有する。

かかる機能を有する制御装置７０は、例えば、コンピュータで構成できる。制御装置７０のこれらの機能は、ソフトウェアによって実現でき、具体的には、図３、図４、図５の各図に関連して説明した各処理手順を内容とする保護フィルム剥離制御プログラムを実行することで実現できる。これらの機能の一部をハードウェアで構成するものとしてもよい。

本発明に係る実施の形態において、保護フィルム剥離装置の構成を説明する図である。 本発明に係る実施の形態において、検査対象である偏光フィルム体の構造を説明するための模式図である。 本発明に係る実施の形態において、セパレータを偏光フィルム基体から剥離する初期の様子を示す図である。 本発明に係る実施の形態において、セパレータが部分的ではあるが十分剥離され、その状態で検査が行われる様子までを示す図である。 本発明に係る実施の形態において、剥離されたセパレータを検査後に再貼付し、最初と同じ状態の検査済み偏光フィルム体に戻す様子を示す図である。 本発明に係る実施の形態において、保護フィルム剥離システムの構成を説明する図である。

符号の説明

１０，１１ 偏光フィルム体、１２ 偏光子シート、１３，１４ 保護シート、１５ 外側シート、１６ シート積層体、１７ 粘着層、１８ 偏光フィルム基体、１９ セパレータ、２０ 保護フィルム剥離装置、２２ 筐体部、２４ 繰出部、２６ 巻取部、２８ 接触ヘッド、３０ 片面接着シート、４０ 押さえ部材、５０ 検査装置、６０ 保護フィルム剥離システム、６２ 本体ベース部、６３ 載物テーブル、６４ Ｘ方向移動駆動部、６５ 剥離装置支持部、６６ Ｚ方向移動駆動部、６８ 押さえ部材移動駆動部、７０ 制御装置、７２ 押さえ部材押し付けモジュール、７４ セパレータ剥離モジュール、７６ セパレータ再貼付モジュール。

Claims (5)

1. 保護フィルムが表面に貼付される基体から保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置であって、
   片面接着シートをその幅の全体に渡って、幅に直交する方向に繰り出す繰出部と、
   片面接着シートをその幅の全体に渡って、幅に直交する方向に巻き取る巻取部と、
   繰出部と巻取部の間に配置されて、幅方向に延びる接触ヘッドであって、接触ヘッドの先端部において片面接着シートの接着面が表面側になるように、繰出部から繰り出された片面接着シートが掛けられ折り返されて巻取部に戻される接触ヘッドと、
   繰出部と巻取部と接触ヘッドとを保持する筐体部と、
   を含み、接触ヘッドの先端部を剥離対象の基体の保護フィルムに接触して押し付けることで片面接着シートの接着面を介して保護フィルムと接触ヘッドが接着され、筐体部の全体を保護フィルムから離間する方向に移動することで保護フィルムを基体から剥離することを特徴とする保護フィルム剥離装置。
2. 保護フィルムが表面に貼付される基体から保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置と、
   基体を保持する保持部と、
   保持部に対し保護フィルム剥離装置を移動させる剥離装置移動機構と、
   を備え、
   保護フィルム剥離装置は、
   片面接着シートをその幅の全体に渡って、幅に直交する方向に繰り出す繰出部と、
   片面接着シートをその幅の全体に渡って、幅に直交する方向に巻き取る巻取部と、
   繰出部と巻取部の間に配置されて、幅方向に延びる接触ヘッドであって、接触ヘッドの先端部において片面接着シートの接着面が表面側になるように、繰出部から繰り出された片面接着シートが掛けられ折り返されて巻取部に戻される接触ヘッドと、
   繰出部と巻取部と接触ヘッドとを保持する筐体部と、
   を含み、
   接触ヘッドの先端部を保持部に保持される基体の保護フィルムに接触して押し付けることで片面接着シートの接着面を介して保護フィルムと接触ヘッドが接着され、移動機構によって保護フィルム剥離装置を基体の表面から離間する方向に移動することで保護フィルムを基体から剥離することを特徴とする保護フィルム剥離システム。
3. 請求項２に記載の保護フィルム剥離システムにおいて、
   剥離装置移動機構は、
   保護フィルム剥離装置を基体の表面に向かって移動させ、保護フィルムの上面の幅方向の全体に渡って接触ヘッドを接触して押し付け、接触ヘッドの先端部の片面接着シートの接着面を保護フィルムに接着させる剥離装置第１移動手段と、
   保護フィルム剥離装置を基体の表面から離間する方向に移動させ、保護フィルムを基体から剥離させる剥離装置第２移動手段と、
   を有することを特徴とする保護フィルム剥離システム。
4. 請求項３に記載の保護フィルム剥離システムにおいて、
   保護フィルムを幅方向の全体に渡って押さえることができる長さを有する定規状の押さえ部材と、
   押さえ部材を移動させる押さえ部材移動機構と、
   を備え、
   押さえ部材移動機構は、
   押さえ部材を基体の表面に向かって移動させ、保護フィルムの上面の幅方向の全体に渡って押さえ部材を押し付ける押さえ部材第１移動手段と、
   剥離装置第２移動手段による保護フィルム剥離装置の移動と協働し、保護フィルムの他方側において押さえ部材を押付けたままで、押さえ部材の押付位置が保護フィルムの剥離部分と貼付部分の境界となるように、保護フィルムの剥離位置が揃うまで保護フィルムを部分的に剥離させ、その状態で基体を露出させる剥離時押付維持手段と、
   剥離時押付維持の後で、剥離装置移動機構によって保護フィルム剥離装置を基体の幅方向に直交する方向に沿って他方端部側から一方端部側に移動させることと同期させて、押さえ部材を基体の幅方向に直交する方向に沿って他方端部側から一方端部側に、接触ヘッドを押付けながら移動させ、接触ヘッドの押付位置が保護フィルムの貼付部分と剥離部分の境界となるように揃えながら、保護フィルムを基体の表面に押付けて再貼付する押さえ部材第３移動手段と、
   を有することを特徴とする保護フィルム剥離システム。
5. 請求項４に記載の保護フィルム剥離システムにおいて、
   保持部に対応する位置に配置され、保護フィルムが部分的に剥離された状態として露出された基体を検査する剥離状態検査装置を備えることを特徴とする保護フィルム剥離システム。

Images