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JP2009295263A - 半導体メモリ装置 - Google Patents

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JP2009295263A
JP2009295263A JP2009125060A JP2009125060A JP2009295263A JP 2009295263 A JP2009295263 A JP 2009295263A JP 2009125060 A JP2009125060 A JP 2009125060A JP 2009125060 A JP2009125060 A JP 2009125060A JP 2009295263 A JP2009295263 A JP 2009295263A
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ギョン フン キム
Sang-Sik Yoon
サン シク ユン
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Abstract

【課題】メモリ装置のクロック分配網を改善することにより、クロックの特性を向上させること。
【解決手段】本発明に係る半導体メモリ装置は、外部クロックを受信してメモリ装置内に伝達するクロック供給部と、該クロック供給部から伝達されたクロックをメモリ装置内の各部に伝達するクロック伝達部と、該クロック伝達部から伝達されたクロックを用いてデータを出力する複数のデータ出力部とを備え、前記クロック供給部から前記クロック伝達部までにおける前記クロックが、CML(Current Mode Logic)レベルでスイングすることを特徴とする。
【選択図】図5

Description

本発明は、半導体メモリ装置に関し、より詳細には、半導体メモリ装置のクロック分配網(clock distribution network)を改善することにより、クロックの特性を向上させる技術に関する。
図1は、従来の超高速半導体メモリ装置におけるクロック分配網を示す図である。半導体メモリ装置において、クロック分配網は、外部からのクロックを、クロックを所望する半導体メモリ装置の各部に分配するための回路等である。
クロック供給部110は、チップ外部から入力されたクロック(クロック信号)をメモリ装置内に供給するためのものである。クロック供給部110は、チップ外部からクロックを受信するバッファ、外部から供給されたクロックにジッタが多い場合にクリーンなクロックを生成する位相固定ループ(PLL:Phase Locked Loop)、及びクロックのデューティがずれた場合にこれを補正するデューティ補正部(DCC:Duty Cycle Correction)などで構成される。
クロック伝達部120は、クロック供給部から供給されるクロックをメモリ装置の各部に伝達するためのものであり、クロックを伝達するためのライン間の中間に位置してクロックを繰り返すリピータ121〜126で構成される。
そして、データ入出力部131〜146は、クロック伝達部120を介して伝達されたクロックを用いてデータの入出力を行う。超高速メモリ(例えば、GDDR5)では、データストローブ信号DQSを別途に備えることなく、クロック(正確には、スペック上のWCK)に同期してデータの入出力が行われる。ここで、データストローブ信号は、チップセットと半導体メモリ装置との間のデータ伝達時において、データ伝達時点の基準となるクロックである。
図2は、CMOSレベルで信号を伝達する従来のリピータ121〜126を示す図である。
同図に示すように、従来のリピータは、イネーブル信号EN及びクロックCLKINを受信するNANDゲート201と、インバータ202,203,204とで構成される。
従来のリピータは、イネーブル信号ENがハイレベルにイネーブルされている間にのみクロックを自身の出力端子に伝達し、イネーブル信号ENがローレベルにディセーブルされている間はクロックを自体の出力端子に伝達しない。すなわち、イネーブル信号ENがディセーブルされると、リピータの出力端は、論理ローレベルに固定される。
図2には、インバータ202,203,204の内部構成を示しているが、周知のように、インバータは、PMOSトランジスタとNMOSトランジスタとが直列接続されて構成される。ハイ信号が入力された場合は、NMOSトランジスタがターンオンされ、VSSレベルを有するロー信号を自身の出力端に出力する。ロー信号が入力された場合は、PMOSトランジスタがターンオンされ、VDDレベルを有するハイ信号を自身の出力端に出力する。
このように、ハイ信号をVDDレベルで駆動し、ロー信号をVSSレベルで駆動することを、「CMOSレベル」という。以下では、自ら伝達する信号をCMOSレベルで伝達する回路を、「CMOS回路」と称する。
従来の半導体メモリ装置のクロック供給部110及びクロック伝達部120は、CMOS回路で構成される。しかし、このCMOS回路は、ノイズに弱いという特性を有する。したがって、メモリ装置の内部で発生するパワーノイズなどにより、クロックにはジッタ成分が発生する。すなわち、従来のメモリ装置は、ノイズ免疫性(noise immunity)が弱いCMOS回路を用いたクロック分配のため、クロックのジッタ成分が増加し、これにより、メモリ装置の高速動作時に安定性が低下するという問題があった。
本発明は、上記の従来技術の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、メモリ装置のクロック分配網を改善することにより、クロックの特性を向上させることにある。
上記の目的を達成するための本発明に係る半導体メモリ装置は、外部クロックを受信してメモリ装置内に伝達するクロック供給部と、該クロック供給部から伝達されたクロックをメモリ装置内の各部に伝達するクロック伝達部と、該クロック伝達部から伝達されたクロックを用いてデータを出力する複数のデータ出力部とを備え、前記クロック供給部から前記クロック伝達部までにおける前記クロックが、CML(Current Mode Logic)レベルでスイングすることを特徴とする。
上記の目的を達成するための本発明に係る半導体メモリ装置は、クロックのデューティを補正してメモリ装置内に伝達するデューティ補正部と、デューティ補正されたクロックをメモリ装置内の各部に伝達するクロック伝達部とを備え、前記デューティ補正部が、デューティを検出するために、前記クロック伝達部を通過したクロックをフィードバッククロックとして受信することを特徴とする。
上記の目的を達成するための本発明に係る半導体メモリ装置は、外部クロックを受信してメモリ装置内に伝達するクロック供給部と、該クロック供給部から伝達されたクロックをメモリ装置内の各部に伝達するクロック伝達部と、該クロック伝達部から伝達されたクロックを用いてトグルするデータを出力するEDC出力部と、前記クロック伝達部から伝達されたクロックを用いてデータを出力する複数のデータ出力部とを備え、前記クロック供給部と前記EDC出力部との間の信号伝達経路が、前記クロック供給部と前記データ出力部との間の信号伝達経路より短いことを特徴とする。
本発明に係る半導体メモリ装置は、クロック分配の過程で発生するジッタを低減できるため、クロックの特性が改善され、これにより、メモリ装置の安定した動作が保障される。
また、本発明に係る半導体メモリ装置は、デューティ補正部が、クロック伝達部を通過したクロックをフィードバッククロックとして受信させることにより、クロックの伝達によって発生するデューティのずれも補正することができる。
さらに、本発明に係る半導体メモリ装置は、データ出力部、EDC出力部、クロック供給部を効率的に配置することにより、メモリ装置の各部に伝達されるクロックの効率的な制御が可能になるという長所がある。
従来のGDDR5半導体メモリ装置におけるクロック分配網を示す図である。 CMOSレベルで信号を伝達する従来のリピータ121〜126を示す図である。 本発明に係るCMLレベルで動作する回路を説明するための図である。 CMOSレベルとCMLレベルの差異を示す図である。 本発明に係るクロック分配網を、超高速半導体メモリ装置に適用したものを示す図である。 図5のクロック供給部510の内部構成を示す図である。 図5のレベル変更部525〜536の内部を示す図である。
以下、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明の技術的思想を容易に実施できるように詳細に説明するため、添付図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明する。
図3は、本発明に係るCML(Current Mode Logic)レベルで動作する回路を説明するための図である。
同図では、CMLレベルで動作するリピータ301,302,303を示しており、その上段には、リピータ301,302,303の内部回路を詳細に示している。
内部回路を参照してその動作を説明すると、差動入力信号VINがハイレベルで入力された場合(VIN=「ハイ」、VINB=「ロー」)、トランジスタM0はターンオンされ、トランジスタM1はオフになる。トランジスタM1はオフになるため、出力端VOUTには電流が流れない。したがって、VOUT=VDDのレベルになる。また、トランジスタM0はターンオンされるため、出力端VOUTBには電流Iが流れる。したがって、VOUTB=VDD−I×Rのレベルになる。すなわち、CMLレベルで動作する回路は、論理ハイがVDDのレベルを有し、論理ローがVDD−I×Rのレベルを有する。
トランジスタM2は、イネーブル信号ENを受信してリピータ301,302,303の動作をイネーブル/ディセーブルする役割を果たし、トランジスタM3は、バイアス電圧NBIASを受信して電流Iの量を調整する役割を果たす。
図4には、CMOSレベルとCMLレベルの差異を示しており、同図を参照して両レベルの差異を理解することができる。
図3には、様々なCML回路のうちリピータのみを示しているが、様々な論理回路がCMLレベルで動作するように設計することは、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者にとって周知であるため、他の論理回路は図示しないものとする。
以下、内部において信号がCMLレベルで伝達される回路、すなわち、CML回路の特徴について説明する。CML回路は、次のような特徴を有する。
1.CML回路の電圧は、小さいスイングレベルを有する。
2.周波数にかかわらず、一定の電流のみを消費する。一般的なCMOS回路は、入力信号(クロック)がトグルするたびに電流を消費する構造であるため、周波数が高くなるほど電流消費が大きくなる。しかし、CML回路は、周波数にかかわらず、常に電流Iを消費する。したがって、低周波数では、CML回路の電流消費がCMOS回路の電流消費をはるかに超えるが、高周波ほど状況は逆転し、CML回路は、CMOS回路より少ない電流を消費することになる。
3.差動構造を有するため、ノイズ免疫性が強い。
4.CML回路は、動的電流成分を発生させないため、周辺回路へのノイズの発生を最小化する。
5.設計が容易である。
6.CML回路を設計すると、CMOS回路のようにベータ比を維持したまま、大きさを拡大する方法を用いることができる。
図5は、本発明に係るクロック分配網を、超高速半導体メモリ装置、例えば、GDDR5メモリ装置に適用したものを示す図である。
まず、図中の各部を説明した後、本発明の特徴について説明する。
同図に示すように、半導体メモリ装置は、クロック供給部510と、クロック伝達部520と、データ入出力部541〜556と、EDC(Error Detection Code)出力部561,562と、DBI(Data Bus Inversion)出力部571,572とを備える。実際の超高速メモリ装置における1つのチップは、図5のような構成を2つ備えて構成される。同図では、その半分を示しているが、図示しない残りの部分も、同図と同様に構成されるため、図示しないものとする(GDDR5のような超高速メモリ装置は、32DQ、4EDC、4DBIの構成を有するが、同図では、16DQ、2EDC、2DBIの構成を示している)。
クロック供給部510は、クロックパッドCLK,CLKBを介して外部クロックを受信してメモリ装置内に供給するものである。すなわち、クロック供給部510は、チップ内で用いられるクロックが最初に通過する部分である。クロック供給部510は、チップ外部からクロックを受信するバッファ、外部から供給されたクロックにジッタが多い場合にクリーンなクロックを生成する位相固定ループ(PLL:Phase Locked Loop)、及びクロックのデューティを補正するデューティ補正部などで構成される。超高速メモリ装置は、外部から入力されるクロックをそのまま用いるか、内部の位相固定ループの出力クロックを用いる。クロック供給部510に関するより詳細な説明は後述する。
クロック伝達部520は、クロック供給部から供給されるクロックをメモリ装置の各部、すなわち、クロックを用いる部分に伝達する。クロック伝達部520は、クロックを伝達するためのラインと、リピータ521,522,523,524と、レベル変更部525〜536とを備えて構成される。
データ入出力部541〜556は、クロック伝達部520に伝達されたクロックを用いてデータの入出力を行う。GDDR5メモリ装置の場合、データストローブ信号DQSを別途に備えることなく、クロック供給部510から供給されるクロックを用いてデータの入出力を行う。DDR2及びDDR3メモリ装置の場合は、クロック伝達部520から供給されるクロックを用いてデータを出力するが、データの受信時には、外部のチップセットから入力されるクロックに同期してデータを受信する。そのため、データ入力部とデータ出力部とは、互いに異なるクロックを用いる。すなわち、データ入力部とデータ出力部とは、メモリ装置の種類、スペックに応じて、同じクロックを用いることもでき、互いに異なるクロックを用いることもできる。しかし、データの出力時には、クロック供給部510から供給されてクロック伝達部520に伝達されたクロックを用いることは、ほとんどのメモリ装置において共通している。EDC出力部561,562は、EDCピンを介して常にトグルするデータを出力する。EDCピンを介して、「ハイ」、「ロー」、「ハイ」、「ロー」といったように、トグルし続けるデータが出力される。EDCは、JEDECによる超高速メモリに関するスペックで定義されているため、ここでは、これ以上の詳細な説明は省略する。
DBI出力部571,572は、DBIピンを介してDBI情報を出力する。DBI情報とは、現在、メモリ装置が出力しているデータが、反転したデータなのか否かを示す情報を意味する。DBIについても、JEDECによる超高速メモリに関するスペックで定義されているため、ここでは、これ以上の詳細な説明は省略する。
本発明は、クロックの特性などを向上させるために、大きく分けて3つの特徴を有する。
第一の特徴として、本発明は、半導体装置が内部的にクロックを伝達する際、CML回路を介してクロックを伝達する。図中のクロック供給部510及びクロック伝達部520は、CML回路で構成される。したがって、クロックは、CMLレベルでスイングしながら伝達される。
半導体メモリ装置内において、クロックは、CML回路を介して伝達される。したがって、CMOS回路を介して伝達されていた従来に比べ、クロックは、ノイズによる影響が少なく、その結果、クロックのジッタ成分が減少する。
半導体メモリ装置において、入出力されるデータは、CMOSレベルで入出力される。したがって、データ入出力部541〜556は、CMOS回路で構成される。そのため、クロック伝達部520のクロック出力端には、レベル変更部525〜536が備えられる。レベル変更部525〜536は、クロック伝達部520を介してCMLレベルで伝達されたクロックをCMOSレベルに変更させてデータ入出力部541〜556に伝達する。EDC出力部561,562及びDBI出力部571,572も、データ入出力部541〜556と同様に、レベル変更部525〜536を介してCMOSレベルに変更されたクロックを受信する。
レベル変更部525〜536は、その構造上、比較的多くの電流を消費する。したがって、少なくとも2つ以上のデータ入出力部541〜556がレベル変更部525〜536を共有すると、レベル変更部525〜536の数を減らすことができ、その結果、電流消費を低減することができる。レベル変更部525〜536を、多数のデータ入出力部541〜556が共有する場合は、メモリ装置内においてクロックがCMOSレベルで伝達される経路が増えることから、いくつのデータ入出力部541〜556がレベル変更部525〜536を共有するのか、その数を適宜調整することが必要である。例えば、4つのデータ入出力部541〜544が1つのレベル変更部525を共有すると、メモリ装置内においてクロックがCMOSレベルで伝達される経路長を過度に増加させることになるため、クロックのジッタ成分が増加し得る。
第二の特徴として、本発明は、クロック供給部510内のデューティ補正部が、デューティ検出のためのフィードバッククロックとして、クロック伝達部520を通過したクロックを受信することを特徴とする。クロック供給部510内には、クロックのデューティ補正のためにデューティ補正部が備えられる。周知のように、デューティ補正部は、デューティのずれの程度を検出するデューティ検出回路と、デューティ検出回路の検出結果に応じてクロックのデューティを補正する補正回路とを備えて構成される。そして、従来のデューティ検出回路は、補正回路の出力をフィードバッククロックとしてデューティを検出していた。しかし、本発明のデューティ検出回路は、補正回路の出力ではない、クロック伝達部520の出力をフィードバッククロックとしてクロックのデューティを検出する。
従来のデューティ補正部は、デューティ補正部自体の出力をフィードバッククロックとしてデューティを検出し、その結果に応じてデューティを補正していた。しかし、本発明に係るデューティ補正部は、自身から出力されたクロックを直ちに受信するのではなく、自身から出力されたクロックがクロック伝達部520を介してメモリ装置の他の部分にまで伝達されたクロックをフィードバッククロックとして受信する。したがって、本発明のデューティ補正部は、クロックがクロック伝達部520を通過しながら発生するデューティのずれまでも反映してデューティを補正することができる。その結果、メモリ装置は、より正確なデューティ比を有するクロックを用いることができる。
デューティ補正部は、データ入出力部541〜556まで伝達されたクロックをフィードバッククロックとして受信することもできるが、EDC出力部561,562に伝達されたクロックをフィードバッククロックとして受信することがより好ましい(同図では、EDC出力部561からフィードバックされることを示している)。
これは、電流の節約のために、データ入出力部541〜556には、実際にデータが入出力されるときにのみクロックが伝達されるが、EDC出力部561,562は、その特性上、常にトグルするクロックを受信するからである。もちろん、データ入出力部541〜556にも常にトグルするクロックを伝達する方式を用いるメモリ装置であれば、デューティ補正部が、データ入出力部541〜556まで伝達されたクロックをフィードバッククロックとして受信しても、動作には何ら問題がない。
第三の特徴として、本発明は、クロック供給部510が、データ入出力部541〜556に比べてEDC出力部561,562により近く配置されることを特徴とする。すなわち、クロック供給部510とEDC出力部561,562との間の信号伝達経路が、クロック供給部510とデータ入出力部541〜556との間の信号伝達経路より短い。したがって、クロック供給部510とEDC出力部561,562との間には、信号増幅回路、すなわち、リピータを必要としない。
上述のように、クロック伝達部520は、クロックを伝達するためのラインと、クロックを繰り返すリピータ521〜524とを備えて構成される。また、図2に示すように、リピータ521〜524は、イネーブル信号ENに応答してクロックの伝達の可否を制御することができる。
クロック供給部510が、データ入出力部541〜556に比べてEDC出力部561,562により近く配置されるため、EDC出力部561,562にクロックが伝達される際には、リピータ521〜524を通過せずに伝達される。そのため、イネーブル信号ENを用いてリピータ521〜524をディセーブルさせても、EDC出力部561,562には常にクロックが伝達される。反面、リピータ521〜524がディセーブルされた場合、データ入出力部541〜556にはクロックが伝達されない。
EDC出力部561,562に伝達されるクロックは、常にトグルしなければならず、データ入出力部541〜556に伝達されるクロックは、データの入出力が実際に行われるときにのみトグルすれば良い。したがって、リピータ521〜524のイネーブル信号ENを、データの入出力が行われる間にのみイネーブルされるように制御すると、クロックの効果的な制御が可能になる。
すなわち、上記の第三の特徴のように、EDC出力部561,562、データ入出力部541〜556を配置することにより、伝達されるクロックの効果的な制御が可能になる。
EDC出力部561,562のみならず、DBI出力部571,572も、データ入出力部541〜556に比べてクロック供給部510により近く配置することにより、クロックの効果的な制御が可能になる。すなわち、メモリ装置の構成要素のうち、常にトグルするクロックを受信しなければならない部分は、クロック供給部510により近く配置し、受信するクロックを常にトグルする必要のない部分は、クロック供給部510からより遠く配置することにより、クロックのより効果的な制御が可能になる。
図6は、図5のクロック供給部510の内部構成を示す図である。
クロック供給部510は、バッファ610と、分周器620と、位相固定ループ630と、マルチプレクサ640と、デューティ補正部650とを備えて構成される。
バッファ610は、クロックパッドCLK,CLKBを介してクロックを受信する。図中のCMLは、バッファ610がCML回路で構成され、内部においてクロックがCMLレベルでスイングすることを示す。
分周器620は、バッファ610に入力されたクロックCLKを分周する。分周器620は、入力されたクロックCLKの1/2の周波数を有し、位相がそれぞれ異なる4つのクロックCLK0,CLK1,CLK2,CLK3を生成する。クロックを分周する理由は、電流消費を低減し、クロックの特性が低下するのを防止するためである。一般的に、メモリ装置の内部では、分周されたクロックCLK0,CLK1,CLK2,CLK3が伝達され、分周されたクロックCLK0,CLK1,CLK2,CLK3ではない、本来のクロックCLKを用いるべき部分では、分周されたクロックCLK0,CLK1,CLK2,CLK3を再び本来のクロックCLKとして用いる。図の下段には、入力されたクロックCLKと、それが分周されたクロックCLK0,CLK1,CLK2,CLK3とを示している。図中のCMLは、分周器620がCML回路で構成され、内部においてクロックがCMLレベルでスイングすることを示す。
位相固定ループ630は、一定周波数のクロックを生成する。位相固定ループ630は、基本的に、入力されたクロックと同じクロックを生成するものの、高周波のジッタが除去され、かつ、位相が再整列されたクロックを生成する。すなわち、位相固定ループ630からは、本来入力されたクロックよりもクリーンなクロックが出力されると考えられる。図中のCMLは、位相固定ループ630がCML回路で構成され、内部においてクロックがCMLレベルでスイングすることを示す。
マルチプレクサ640は、分周器620の出力クロックまたは位相固定ループ630の出力クロックのうちの1つを選択して出力する。外部から入力されたクロックの特性が良い場合は、分周器620の出力クロックを選択して出力し、外部から入力されたクロックの特性が悪い場合は、位相固定ループ630の出力クロックを選択して出力する。これは、JEDECによる超高速メモリに関するスペックで規定されている。図中のCMLは、マルチプレクサ640がCML回路で構成され、内部においてクロックがCMLレベルでスイングすることを示す。
デューティ補正部650は、マルチプレクサから出力されるクロックのデューティを補正して出力する。上述のように、デューティ補正部650は、デューティを検出するデューティ検出回路と、デューティ検出回路の検出結果に応じてクロックのデューティを補正する補正回路とを備えて構成される。そして、本発明のデューティ検出回路は、クロック伝達部520の出力をフィードバッククロックとしてクロックのデューティを検出する。同図では、クロック伝達部520からEDC出力部561に伝達されたクロックがフィードバックされることを示している。図中のCMLは、デューティ補正部650がCML回路で構成され、内部においてクロックがCMLレベルでスイングすることを示す。
図6には、位相固定ループ630を用いてメモリ装置の各部にクロックを供給するクロック供給部510を示している。本クロック供給部510は、GDDR5メモリ装置に適用した具現例である。DDR2及びDDR3メモリ装置の場合、クロック供給部510は、位相固定ループ(PLL)の代わりに遅延固定ループ(DLL)を用いる。メモリ装置の種類、スペックに応じてクロック供給部510を設計することは、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者にとって容易にできるため、これ以上の詳細な説明は省略する。
図7は、図5のレベル変更部525〜536の内部を示す図である。
レベル変更部525〜536は、CMLレベルで入力される入力信号をCMOSレベルに変更する役割を果たす。このレベル変更部525〜536は、同図に示すように、入力信号IN,INBを受信する、並列接続されたカレントミラー710,720と、カレントミラー710,720の出力に応答して出力信号OUT,OUTBを出力する、並列接続されたカレントミラー730,740とを備えて構成される。
入力信号(入力クロック)IN,INBがCMLレベルでスイングしてレベル変更部525〜536に入力されても、出力信号OUT,OUTBは、VDD〜VSSレベルでフルスイング(すなわち、CMOSレベルで)しながら出力される。
上述のように、前記レベル変更部525〜536は、多数のカレントミラー710〜740を備えて構成されるため、相対的に多くの電流を消費することになる。
本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者であれば、図示するレベル変更部525〜536の動作について容易にわかるため、これに関する詳細な説明は省略する。
本発明の技術的思想は、上記の好ましい実施形態により具体的に記述されたが、上記の実施形態は、それを説明するためのものであって、それを制限するためのものではないことに留意しなければならない。また、本発明の技術分野における通常の専門家であれば、本発明の技術的思想の範囲内で多様な実施形態が可能であることを理解することができる。
特に、本発明は、DDR及びGDDR(グラフィックメモリ)、モバイルメモリなど、現在及び今後のメモリ装置に適用可能であることはいうまでもない。

Claims (17)

  1. 外部クロックを受信してメモリ装置内に伝達するクロック供給部と、
    該クロック供給部から伝達されたクロックをメモリ装置内の各部に伝達するクロック伝達部と、
    該クロック伝達部から伝達されたクロックを用いてデータを出力する複数のデータ出力部と、を備え、
    前記クロック供給部から前記クロック伝達部までにおける前記クロックが、CML(Current Mode Logic)レベルでスイングすることを特徴とする半導体メモリ装置。
  2. 前記クロック伝達部のクロック出力端には、
    CMLレベルの前記クロックをCMOSレベルに変更させるレベル変更部が備えられることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
  3. 前記レベル変更部が、少なくとも2つ以上の前記データ出力部により共有されることを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ装置。
  4. 前記クロック供給部が、前記クロックのデューティを補正するデューティ補正部を備え、
    前記デューティ補正部が、デューティを検出するために、前記クロック伝達部を通過したクロックをフィードバッククロックとして受信することを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
  5. 前記クロック供給部が、
    前記外部クロックをバッファリングするバッファと、
    一定周波数のクロックを生成する位相固定ループと、
    前記バッファの出力クロックまたは前記位相固定ループの出力クロックのうちの1つを選択して出力するマルチプレクサと、
    該マルチプレクサから出力されるクロックのデューティを補正して出力するデューティ補正部と、
    を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
  6. クロックのデューティを補正してメモリ装置内に伝達するデューティ補正部と、
    デューティ補正されたクロックをメモリ装置内の各部に伝達するクロック伝達部と、を備え、
    前記デューティ補正部が、デューティを検出するために、前記クロック伝達部を通過したクロックをフィードバッククロックとして受信することを特徴とする半導体メモリ装置。
  7. 前記クロック伝達部から伝達されたクロックを用いてデータを出力する複数のデータ出力部と、
    前記クロック伝達部から伝達されたクロックを用いてトグルするデータを出力するEDC出力部と、をさらに備え、
    前記デューティ補正部がフィードバッククロックとして受信するクロックは、前記EDC出力部で用いられるクロックと同じクロックであることを特徴とする請求項6に記載の半導体メモリ装置。
  8. 前記クロック伝達部は、前記EDC出力部に対し常に前記クロックを伝達し、前記データ出力部に対し前記クロックを選択的に伝達することを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリ装置。
  9. 前記クロック伝達部は、前記データが出力されたとき、前記データ出力部に前記クロックを伝達することを特徴とする請求項8に記載の半導体メモリ装置。
  10. 前記デューティ補正部及び前記クロック伝達部が、CMLレベルで動作することを特徴とする請求項6に記載の半導体メモリ装置。
  11. 外部クロックを受信してメモリ装置内に伝達するクロック供給部と、
    該クロック供給部から伝達されたクロックをメモリ装置内の各部に伝達するクロック伝達部と、
    該クロック伝達部から伝達されたクロックを用いてトグルするデータを出力するEDC出力部と、
    前記クロック伝達部から伝達されたクロックを用いてデータを出力する複数のデータ出力部と、を備え、
    前記クロック供給部と前記EDC出力部との間の信号伝達経路が、前記クロック供給部と前記データ出力部との間の信号伝達経路より短いことを特徴とする半導体メモリ装置。
  12. 前記クロック伝達部は、前記EDC出力部に対し常に前記クロックを伝達し、前記データ出力部に対し前記クロックを選択的に伝達することを特徴とする請求項11に記載の半導体メモリ装置。
  13. 前記クロック伝達部が、
    前記クロックを伝達するためのラインと、
    イネーブル信号に応答して前記ライン上のクロックを繰り返すリピータと、
    を備えることを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリ装置。
  14. 前記クロック供給部及び前記クロック伝達部が、CMLレベルで動作し、
    前記EDC出力部及び前記データ出力部が、CMOSレベルで動作することを特徴とする請求項11に記載の半導体メモリ装置。
  15. 前記クロック供給部が、前記クロックのデューティを補正するデューティ補正部を備え、
    前記デューティ補正部が、デューティを検出するために、前記クロック伝達部を通過したクロックをフィードバッククロックとして受信することを特徴とする請求項14に記載の半導体メモリ装置。
  16. 前記デューティ補正部がフィードバッククロックとして受信する、クロック伝達部を通過したクロックが、
    前記EDC出力部で用いられるクロックと同じクロックであることを特徴とする請求項15に記載の半導体メモリ装置。
  17. 前記クロック伝達部から伝達されたクロックを用いてデータを反転するか否かを示すDBI(Data Bus Inversion)を出力するDBI出力部をさらに備え、
    前記クロック供給部が、前記データ出力部に比べて前記DBI出力部により近く配置されることを特徴とする請求項11に記載の半導体メモリ装置。
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