JP2009272208A - マスク部材貼付装置および塗布システム - Google Patents

Abstract

【課題】流動性材料が塗布される基板上の非塗布領域に流動性材料の付着を防止するマスク部材を粘着剤層を介して貼付するマスク部材貼付装置において、マスク部材の貼付時に粘着剤層が押し潰されて塗布領域にはみ出てしまうことを防止する。
【解決手段】マスク部材貼付装置では、マスク部材１２が基板９の非塗布領域９２に向けて押圧されることにより、マスク部材１２が、非塗布領域９２上に形成された粘着剤層１１を介して基板９上に貼付される。粘着剤層１１は、粘着材料１１１および粒状のスペーサ１１２を含んでいるため、マスク部材１２の基板９の主面９０からの高さはスペーサ１１２の直径におよそ等しくされる。また、マスク部材１２の貼付時に粘着剤層１１が押し潰されて塗布領域９１へとはみ出してしまうことを防止することができる。その結果、基板９の塗布領域９１に有機ＥＬ液を高精度に塗布することができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、流動性材料が塗布される基板の主面上の非塗布領域に、非塗布領域に対する流動性材料の付着を防止するマスク部材を貼付するマスク部材貼付装置、および、当該マスク部材貼付装置を備えるとともに基板に流動性材料を塗布する塗布システムに関する。

従来より、有機ＥＬ（Electro Luminescence）材料を利用した有機ＥＬ表示装置の開発が行われており、例えば、高分子有機ＥＬ材料を用いたアクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ表示装置の製造では、ガラス基板（以下、単に「基板」という。）に対して、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）回路の形成、陽極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）電極の形成、隔壁の形成、正孔輸送材料を含む流動性材料（以下、「正孔輸送液」という。）の塗布、加熱処理による正孔輸送層の形成、有機ＥＬ材料を含む流動性材料（以下、「有機ＥＬ液」という。）の塗布、加熱処理による有機ＥＬ層の形成、陰極の形成、および、絶縁膜の形成が順次行われる。

有機ＥＬ表示装置の製造において、正孔輸送液または有機ＥＬ液を基板に塗布する装置の１つとして、特許文献１および特許文献２に示されるように、流動性材料を連続的に吐出する複数のノズルを、基板に対して主走査方向および副走査方向に相対移動することにより、基板上に流動性材料をストライプ状に塗布する装置が知られている。

有機ＥＬ表示装置用の基板の表面には、正孔輸送液や有機ＥＬ液等の流動性材料が塗布されるべき塗布領域（すなわち、発光領域）の周囲に、ドライバ回路が組み込まれた領域や、塗布領域を封止する封止基板との接合時に接着剤等を塗布するための領域が設けられている。有機ＥＬ表示装置の製造では、正孔輸送層や有機ＥＬ層の形成工程においてこれらの塗布領域の周囲の領域（以下、「非塗布領域」という。）に流動性材料が付着する可能性があり、流動性材料が付着した状態で後工程が行われると電極の特性劣化や封止不良等が発生する可能性がある。したがって、基板上の非塗布領域に流動性材料が付着することを防止する必要がある。

特許文献３では、有機ＥＬ素子用の基板上の非塗布領域にマスキングテープを貼付することにより、素子形成領域に選択的に塗布液を塗布する技術が開示されている。また、特許文献４では、マスキングテープの両側面において、マスキングテープの粘着剤層の下面エッジを上面エッジよりも幅方向に関して内側に位置させることにより、マスキングテープが基板から剥離される際に、粘着剤層の下面エッジ近傍の部位をマスキングテープの基材により強固に支持し、粘着剤層の一部が残渣として基板上に残ることを防止する技術が開示されている。
特開２００４−１１１０７３号公報 特開２００４−８９７７１号公報 特開２００６−２１６４１４号公報 特開２００８−０２４８５７号公報

ところで、特許文献３および特許文献４のようなマスキングテープは、基板に対して押圧されることにより貼付されるが、このとき、マスキングテープの粘着剤層が柔らかいと、粘着剤層が押し潰されて塗布領域にはみ出してしまい、塗布領域に対する塗布液の塗布がはみ出した粘着剤層により妨げられるおそれがある。

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、マスク部材の貼付時に粘着剤層が押し潰されて塗布領域にはみ出てしまうことを防止し、流動性材料を基板上の塗布領域に高精度に塗布することを目的としている。

請求項１に記載の発明は、流動性材料が塗布される基板の主面上の非塗布領域に、前記非塗布領域に対する前記流動性材料の付着を防止するマスク部材を貼付するマスク部材貼付装置であって、基板を保持する基板保持部と、帯状のマスク部材を、粘着材料と粒状のスペーサとを含む粘着剤層を介して前記基板の主面上の非塗布領域と塗布領域との間の境界と平行に前記非塗布領域に貼付する貼付機構とを備える。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のマスク部材貼付装置であって、前記貼付機構が、前記粘着材料と前記スペーサとを含む粘着剤を前記基板の前記主面に塗布することにより前記非塗布領域上に前記粘着剤層を形成する粘着剤塗布機構を備え、前記貼付機構により、前記非塗布領域の前記粘着剤層上に前記マスク部材が貼付される。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のマスク部材貼付装置であって、前記マスク部材がロールから繰り出されて前記粘着剤層上に貼付されるテープ状の部材である。

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のマスク部材貼付装置であって、前記マスク部材が、テープ状の基材と、前記基材の一方の面に形成された補助粘着剤層とを備え、前記マスク部材が前記粘着剤層上に貼付される際に、前記補助粘着剤層と前記粘着剤層とが互いに接着される。

請求項５に記載の発明は、請求項１に記載のマスク部材貼付装置であって、前記マスク部材がロールから繰り出されるテープ状の部材であり、前記貼付機構が、前記マスク部材を前記ロールから繰り出すマスク部材供給部と、前記マスク部材の前記マスク部材供給部から繰り出された部位に、前記粘着材料と前記スペーサとを含む粘着剤を付与することにより、前記マスク部材の一方の面に前記粘着剤層を形成する粘着剤層形成部と、前記粘着剤層を前記非塗布領域に接触させつつ前記マスク部材を前記非塗布領域に向けて押圧する押圧部と、前記マスク部材が前記押圧部により押圧された状態で、前記基板を前記非塗布領域の前記境界に平行な方向に前記押圧部に対して相対的に移動することにより、前記マスク部材を前記境界に沿って順次貼付する移動機構とを備える。

請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載のマスク部材貼付装置であって、前記スペーサが球状の粒子である。

請求項７に記載の発明は、請求項１ないし６のいずれかに記載のマスク部材貼付装置であって、前記非塗布領域に貼付された前記マスク部材の一方の側部よりも内側に前記粘着剤層が位置し、前記マスク部材の前記粘着剤層から前記塗布領域に向かって側方に突出する部位が前記基板の前記主面から離間する庇部とされる。

請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のマスク部材貼付装置であって、前記非塗布領域に貼付された前記マスク部材の他方の側部よりも内側に前記粘着剤層が位置し、前記非塗布領域が前記塗布領域ともう１つの塗布領域との間に位置し、前記マスク部材の前記粘着剤層から前記もう１つの塗布領域に向かって側方に突出する部位が前記基板の前記主面から離間するもう１つの庇部とされる。

請求項９に記載の発明は、請求項８に記載のマスク部材貼付装置であって、前記マスク部材の幅が、前記非塗布領域の幅に等しい。

請求項１０に記載の発明は、基板に流動性材料を塗布する塗布システムであって、請求項１ないし９のいずれかに記載のマスク部材貼付装置と、マスク部材が貼付された基板上の前記マスク部材を含む領域に流動性材料を塗布する塗布装置と、粘着材料と粒状のスペーサとを含む粘着剤層を前記基板上に残しつつ前記基板から前記マスク部材を剥離するマスク部材剥離装置と、前記マスク部材貼付装置、前記塗布装置および前記マスク部材剥離装置へと順に前記基板を搬送する基板搬送機構とを備え、前記塗布装置が、前記基板に向けて流動性材料を吐出する吐出機構と、前記吐出機構を前記基板の主面に平行であって前記マスク部材と交差する主走査方向に前記基板に対して相対的に移動するとともに、前記主走査方向への移動が行われる毎に前記基板を前記吐出機構に対して前記主走査方向に垂直な副走査方向に相対的に移動する移動機構とを備える。

請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載の塗布システムであって、前記粘着剤層の前記基板に対する粘着力が、前記粘着剤層の前記マスク部材に対する粘着力よりも大きい。

請求項１２に記載の発明は、請求項１０または１１に記載の塗布システムであって、前記マスク部材が剥離された前記基板の塗布領域の周囲、または、前記塗布領域を封止する封止基板における前記基板の前記塗布領域の周囲に対応する領域に封止接着剤を塗布する封止接着剤塗布装置と、前記基板の前記主面に前記粘着剤層を介在させつつ前記封止基板を重ねて前記スペーサにより前記基板と前記封止基板との間の間隙の高さを決定し、前記塗布領域を囲む前記封止接着剤により前記封止基板と前記基板とを接着する封止装置とをさらに備える。

請求項１３に記載の発明は、基板に流動性材料を塗布する塗布システムであって、請求項７ないし９のいずれかに記載のマスク部材貼付装置と、マスク部材が貼付された基板上の前記マスク部材を含む領域に流動性材料を塗布する塗布装置と、粘着材料と粒状のスペーサとを含む粘着剤層を前記基板上に残しつつ前記基板から前記マスク部材を剥離するマスク部材剥離装置と、前記マスク部材が剥離された前記基板の塗布領域の周囲、または、前記塗布領域を封止する封止基板における前記基板の前記塗布領域の周囲に対応する領域に封止接着剤を塗布する封止接着剤塗布装置と、前記基板の前記主面に前記粘着剤層を介在させつつ前記封止基板を重ねて前記スペーサにより前記基板と前記封止基板との間の間隙の高さを決定し、前記塗布領域を囲む前記封止接着剤により前記封止基板と前記基板とを接着する封止装置と、前記マスク部材貼付装置、前記塗布装置、前記マスク部材剥離装置、前記封止接着剤塗布装置および前記封止装置へと順に前記基板を搬送する基板搬送機構とを備え、前記塗布装置が、前記基板に向けて流動性材料を吐出する吐出機構と、前記吐出機構を前記基板の主面に平行であって前記マスク部材と交差する主走査方向に前記基板に対して相対的に移動するとともに、前記主走査方向への移動が行われる毎に前記基板を前記吐出機構に対して前記主走査方向に垂直な副走査方向に相対的に移動する移動機構とを備え、前記封止接着剤の一部が、前記粘着剤層が設けられる非塗布領域のうち、前記非塗布領域と前記塗布領域との間の境界と前記粘着剤層の側部とに挟まれる領域に設けられる。

請求項１４に記載の発明は、請求項１３に記載の塗布システムであって、前記粘着剤層の前記基板に対する粘着力が、前記粘着剤層の前記マスク部材に対する粘着力よりも大きい。

請求項１５に記載の発明は、請求項１０ないし１４のいずれかに記載の塗布システムであって、前記流動性材料が、平面表示装置用の画素形成材料を含む。

請求項１６に記載の発明は、請求項１５に記載の塗布システムであって、前記画素形成材料が、有機ＥＬ表示装置用の有機ＥＬ材料または正孔輸送材料である。

本発明では、マスク部材の貼付時に粘着剤層が押し潰されて塗布領域にはみ出てしまうことを防止することができる。また、請求項７ないし９の発明では、塗布領域と非塗布領域との境界における流動性材料のメニスカスの発生を防止することもできる。

請求項１０ないし１６の発明では、流動性材料の塗布後にマスク部材を剥離することにより、スペーサを含む粘着剤層を基板上に容易に形成することができる。請求項１１および１４の発明では、また、粘着剤層を基板上に残しつつマスク部材を容易に剥離することができる。さらに、請求項１２および１３の発明では、基板と封止基板との間隔の均一性を向上しつつ塗布領域を封止することができる。

図１は、本発明の第１の実施の形態に係るマスク部材貼付装置を備える塗布システム８の構成を示す図である。塗布システム８は、マスク部材が貼付された平面表示装置用のガラス基板（以下、単に「基板」という。）に画素形成材料を含む流動性材料を塗布するシステムである。本実施の形態では、塗布システム８において、アクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置用の基板に、有機ＥＬ材料を含む流動性材料（以下、「有機ＥＬ液」という。）が塗布される。有機ＥＬ液は、有機ＥＬ材料の他に、キシレンやメシチレン等の有機溶媒（本実施の形態では、キシレン）を含む。

図２は、可撓性を有する樹脂製のテープ状の部材であるマスク部材１２が貼付された基板９を示す平面図である。図２では、図の理解を容易にするために、塗布システム８（図１参照）により有機ＥＬ液が塗布される領域（以下、「塗布領域」という。）９１に平行斜線を付す。本実施の形態では、基板９上に４つの塗布領域９１が設けられ、１枚の基板９から４つの有機ＥＬ表示装置用の基板が製造される。４つの塗布領域９１の周囲の格子状の領域９２は、ドライバ回路の組み込みや封止基板との接合等に利用されるため、有機ＥＬ液が塗布されるべきではない領域であり、以下、「非塗布領域９２」という。マスク部材１２は、図２に示すように、有機ＥＬ液が塗布される基板９の（＋Ｚ）側の主面９０上の非塗布領域９２に貼付されて（すなわち、密着して）非塗布領域９２に対する有機ＥＬ液の付着を防止する。

図１に示すように、塗布システム８は、基板９上の非塗布領域９２にマスク部材１２（図２参照）を貼付するマスク部材貼付装置２、マスク部材１２が貼付された基板９に向けて有機ＥＬ液をノズルから連続的に吐出しつつノズルを基板９に対して相対的に移動してマスク部材１２を含む領域に有機ＥＬ液を塗布する塗布装置３、有機ＥＬ液が塗布された基板９からマスク部材１２を剥離するマスク部材剥離装置４、マスク部材１２が剥離された基板９の塗布領域９１の周囲に封止接着剤を塗布する封止接着剤塗布装置５、および、基板９の塗布領域９１（図２参照）を封止する封止基板と基板９とを封止接着剤により接着する封止装置６を備える。

塗布システム８では、また、マスク部材貼付装置２と塗布装置３との間、塗布装置３とマスク部材剥離装置４との間、マスク部材剥離装置４と封止接着剤塗布装置５との間、および、封止接着剤塗布装置５と封止装置６との間にそれぞれ、固定型の搬送ロボット８１が設けられ、これら４つの搬送ロボット８１が、マスク部材貼付装置２、塗布装置３、マスク部材剥離装置４、封止接着剤塗布装置５および封止装置６へと順に基板９を搬送する基板搬送機構となっている。

図３は、図２に示す基板９の一部を、図２中のＡ−Ａの位置にてマスク部材１２の長手方向（すなわち、図２中のＹ方向）に垂直に切断した断面図である。マスク部材１２は、基板９の主面９０上に形成された粘着剤層１１を介して、図２および図３に示すように、基板９の主面９０上の２つの塗布領域９１の間に位置する非塗布領域９２に、非塗布領域９２と塗布領域９１との間の境界９２０と平行に貼付される。図３に示すように、粘着剤層１１は、粘着材料１１１と粘着材料１１１よりも剛性が高い粒状のスペーサ１１２を含んでおり、本実施の形態では、スペーサ１１２は球状の粒子である。マスク部材１２および粘着剤層１１は、長手方向の全長に亘って図３に示す断面と同じ外形（すなわち、輪郭）を有する。なお、図３では、図示の都合上、粘着剤層１１およびマスク部材１２の厚さやスペーサ１１２の直径を、粘着剤層１１およびマスク部材１２の幅に比べて厚く描いており、実際には、粘着剤層１１の断面にはもっと多数のスペーサ１１２が含まれる（図１１、図１６および図１９においても同様）。

粘着剤層１１の粘着材料１１１としては、例えば、ポリエステル系粘着剤、アクリル系粘着剤、シリコン系粘着剤、天然ゴム系粘着剤または合成ゴム系粘着剤が利用され、本実施の形態では、アクリル系粘着剤が利用される。

マスク部材１２は、例えば、プラスチックフィルムにより形成される。マスク部材１２として使用されるプラスチックフィルムは、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン系フィルム、ポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系フィルム、ナイロン等のポリアミド系フィルム、トリアセチルセルロースフィルム、ポリイミドフィルム等であり、これらのプラスチックフィルムは、無延伸フィルムおよび延伸（一軸延伸または二軸延伸）フィルムのいずれであってもよい。

マスク部材貼付装置２では、図２に示すように、１つのマスク部材１２が、基板９の主面９０上の非塗布領域９２と非塗布領域９２のＸ方向の両側に位置する塗布領域９１との間の２つの境界９２０と平行にＹ方向を向いた状態で非塗布領域９２に貼付され、２つのマスク部材１２が、上記マスク部材１２のＸ方向の両側において、非塗布領域９２と非塗布領域９２の（＋Ｘ）側または（−Ｘ）側に位置する塗布領域９１との間の境界９２０に平行に非塗布領域９２に貼付される。

図３に示すように、粘着剤層１１の下面１１２２（すなわち、（−Ｚ）側の面）の（＋Ｘ）側に位置する一のエッジ１１２３（以下、「第１下面エッジ１１２３」という。）は、非塗布領域９２と当該非塗布領域９２の（＋Ｘ）側に位置する塗布領域９１との間の境界９２０（図３中では、図示の都合上、丸い点にて表す。）よりも非塗布領域９２の内側である（−Ｘ）側に位置する。また、粘着剤層１１の下面１１２２の（−Ｘ）側に位置する他方の第１下面エッジ１１２３は、非塗布領域９２と当該非塗布領域９２の（−Ｘ）側に位置するもう１つの塗布領域９１との間の境界９２０（すなわち、非塗布領域９２のもう１つの境界）よりも非塗布領域９２の内側である（＋Ｘ）側に位置する。

マスク部材１２の下面１２２２（すなわち、（−Ｚ）側の面）の（＋Ｘ）側に位置する一のエッジ１２２３（以下、「第２下面エッジ１２２３」という。）は、（＋Ｘ）側の第１下面エッジ１１２３の上方に位置する粘着剤層１１の上面１１１１の（＋Ｘ）側のエッジである第１上面エッジ１１１３よりも外側である（＋Ｘ）側に位置する。このように、非塗布領域９２に貼付されたマスク部材１２の（＋Ｘ）側の側部（側面１２０３）よりも幅方向の内側に粘着剤層１１が位置することにより、マスク部材１２の粘着剤層１１から（＋Ｘ）側の塗布領域９１に向かって側方に突出する部位が、基板９の主面９０から離間する庇部１２０として基板９上に設けられる。

また、マスク部材１２の下面１２２２の（−Ｘ）側に位置する他方の第２下面エッジ１２２３は、（−Ｘ）側の第１下面エッジ１１２３の上方に位置する粘着剤層１１の（−Ｘ）側の第１上面エッジ１１１３よりも外側である（−Ｘ）側に位置する。このように、非塗布領域９２に貼付されたマスク部材１２の（−Ｘ）側の側部（側面１２０３）よりも幅方向の内側に粘着剤層１１が位置することにより、マスク部材１２の粘着剤層１１から（−Ｘ）側の塗布領域９１に向かって側方に突出する部位が、基板９の主面９０から離間するもう１つの庇部１２０として基板９上に設けられる。マスク部材１２の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側の庇部１２０の下面１２０２は、基板９の主面９０に平行とされる。

粘着剤層１１の両側の側面１１０３、および、マスク部材１２の両側の側面１２０３は、基板９の主面９０に略垂直とされる。また、マスク部材１２のＸ方向の幅は非塗布領域９２のＸ方向の幅に等しく、マスク部材１２のＸ方向の両側の第２下面エッジ１２２３は、非塗布領域９２の両側の境界９２０と平面視において重なっている。すなわち、マスク部材１２のＸ方向の中心を通る線（以下、「中心線」という。）は、非塗布領域９２の中心線に平面視において重なっている。また、粘着剤層１１のＸ方向の幅は非塗布領域９２のＸ方向の幅よりも小さくされ、粘着剤層１１の中心線は、マスク部材１２と同様に、非塗布領域９２の中心線に平面視において重なっている。

本実施の形態では、粘着剤層１１およびマスク部材１２の厚さはそれぞれ、約１５μｍおよび約３８μｍとされる。また、粘着剤層１１およびマスク部材１２の幅はそれぞれ４ｍｍおよび６ｍｍとされ、マスク部材１２の両側の庇部１２０の幅はそれぞれ１ｍｍとされる。上述のように、マスク部材１２および粘着剤層１１の断面の外形は長手方向の全長に亘って同形状とされるため、図３に示すマスク部材１２および粘着剤層１１の形状に関する上記説明は、マスク部材１２および粘着剤層１１の長手方向に垂直な任意の断面において同様である。

図４ないし図６はそれぞれ、マスク部材貼付装置２の構成を示す平面図、正面図および左側面図である。図４ないし図６に示すように、マスク部材貼付装置２は、基板９を保持する基板保持部２１、基板９を基板保持部２１と共に基板９の主面９０（図２参照）に平行な所定の移動方向（すなわち、図４ないし図６中のＹ方向であり、以下、「走査方向」という。）に移動する基板移動機構２２、有機ＥＬ液が塗布される前の基板９の主面９０上の非塗布領域９２（図２参照）に粘着剤層１１を介してマスク部材１２（図３参照）を貼付する貼付ヘッド２３、並びに、貼付ヘッド２３を走査方向に垂直な方向（すなわち、図４ないし図６中のＸ方向）に個別に移動するヘッド移動機構２４を備える。マスク部材貼付装置２では、基板移動機構２２により、基板保持部２１が基板９と共にレール２２１に沿って水平方向に移動する。また、ヘッド移動機構２４により、貼付ヘッド２３が基板９の移動経路の上方においてレール２４１に沿って水平方向に移動する。

図７．Ａは、貼付ヘッド２３の構成を拡大して示す左側面図であり、図７．Ａでは、貼付ヘッド２３のハウジング２３１に収容される内部構成を描いている。図７．Ａに示すように、貼付ヘッド２３は、粘着材料１１１とスペーサ１１２（図３参照）とを含む粘着剤を基板９の主面９０に塗布することにより非塗布領域９２上に粘着剤層１１を形成する粘着剤塗布機構であるディスペンサ２３２、非塗布領域９２上に形成された粘着剤層１１に向けてマスク部材１２を押圧して貼付するマスク部材押圧機構２３３、並びに、ディスペンサ２３２およびマスク部材押圧機構２３３を収容するハウジング２３１を備える。

ディスペンサ２３２は、ハウジング２３１の下部に形成された開口２３１１を介して基板９に対向する。マスク部材押圧機構２３３は、未使用のマスク部材１２が巻き付けられるロール２３４１を有するとともにロール２３４１からマスク部材１２を繰り出すマスク部材供給部２３４、ロール２３４１から繰り出されたマスク部材１２を案内するローラ２３３１〜２３３３およびガイド２３６、ガイド２３６に対向する位置に配置される切断部２３５、ハウジング２３１の下部に形成された開口２３１２上に配置される貼付ローラ２３９、並びに、貼付ローラ２３９を駆動するエアシリンダ２３８を備える。

マスク部材貼付装置２により基板９にマスク部材１２が貼付される際には、まず、図４ないし図６に示すヘッド移動機構２４により貼付ヘッド２３がＸ方向に移動されて基板９の移動経路の上方に位置する。このとき、基板９は、貼付ヘッド２３の（−Ｙ）側に位置している。続いて、基板移動機構２２により基板９が（＋Ｙ）方向に移動し、ディスペンサ２３２から吐出された粘着剤が基板９の非塗布領域９２に連続的に塗布されて粘着剤層１１が形成される。

そして、非塗布領域９２に形成された粘着剤層１１が開口２３１２の下方に到達すると、マスク部材供給部２３４のロール２３４１が図７．Ａ中における時計回りに回転することにより、マスク部材１２の先端部が開口２３１２から基板９に向かって移動する。これと並行して、エアシリンダ２３８により貼付ローラ２３９が開口２３１２を介して下方に移動し、図７．Ｂに示すように、マスク部材１２の先端部を上側から基板９の主面９０上に形成された粘着剤層１１に向けて押圧して貼付する（すなわち、マスク部材１２の先端部を基板９の主面９０に向けて押圧し、粘着剤層１１を介して基板９に貼付する）。

図４ないし図６に示すマスク部材貼付装置２では、ディスペンサ２３２（図７．Ａ参照）から粘着剤を吐出しつつ、基板移動機構２２により基板９が非塗布領域９２の境界９２０（図２参照）に平行な走査方向（すなわち、（＋Ｙ）方向）に継続的に移動することにより、非塗布領域９２に粘着剤層１１（図３参照）が形成される。また、粘着剤層１１の形成と並行して、図７．Ａに示すマスク部材供給部２３４のロール２３４１からマスク部材１２が継続的に送り出されるとともに、マスク部材１２が貼付ローラ２３９により粘着剤層１１に押圧された状態で、基板移動機構２２により基板９が走査方向に移動することにより、基板９の主面９０上において、マスク部材１２が境界９２０に沿って非塗布領域９２に順次貼付される。

貼付ヘッド２３では、切断部２３５（図７．Ａ参照）によりマスク部材１２が切断され、マスク部材１２が後端部まで粘着剤層１１に向けて押圧されることにより、マスク部材１２が粘着剤層１１を介して基板９の主面９０に密着する。マスク部材貼付装置２では、基板移動機構２２および貼付ヘッド２３が、マスク部材１２を基板９の主面９０の非塗布領域９２に粘着剤層１１を介して貼付する貼付機構となっている。

なお、図７．Ａに示す貼付ヘッド２３では、マスク部材１２の先端部および後端部の貼付時には、マスク部材１２が貼付ローラ２３９により粘着剤層１１に向けて押圧されている必要があるが、先端部および後端部の貼付時以外は、貼付ローラ２３９がハウジング２３１内へと退避してマスク部材１２の押圧が解除されていてもよい。換言すれば、マスク部材貼付装置２の貼付機構では、マスク部材１２の少なくとも先端部および後端部の貼付時にマスク部材１２が基板９に対して押圧された状態で、基板９が貼付ヘッド２３のマスク部材押圧機構２３３に対して走査方向に相対的に移動することにより、マスク部材１２が基板９上の非塗布領域９２に貼付される。

マスク部材貼付装置２では、図２に示すように、基板９の格子状の非塗布領域９２のうち、基板移動機構２２による基板９の移動方向である走査方向に平行に伸びる３つの領域（すなわち、図２中のＹ方向に伸びる領域）にのみマスク部材１２が貼付される。なお、非塗布領域９２のうち、走査方向に垂直に伸びる領域（すなわち、図２中のＸ方向に伸びる領域）には、粘着剤層１１の形成およびマスク部材１２の貼付は行われない。後述するように、図１に示す塗布システム８では、非塗布領域９２のうちマスク部材１２の貼付が省略された領域に対しては有機ＥＬ液の塗布は行われない。塗布システム８では、マスク部材１２が貼付された基板９（図２参照）が、搬送ロボット８１によりマスク部材貼付装置２から搬出されて塗布装置３に搬入される。

次に、基板９に有機ＥＬ液を塗布する塗布装置３について説明する。図８および図９は、塗布装置３を示す平面図および正面図である。図８および図９に示すように、塗布装置３は、マスク部材１２が非塗布領域９２（図２参照）に貼付された基板９を保持する基板保持部３１を備える。図８および図９では、図示の都合上、基板９の主面９０上に貼付されたマスク部材１２の図示を省略している。

塗布装置３は、また、基板保持部３１を基板９の主面９０に平行な所定の方向（すなわち、図８中のＹ方向であり、以下、「副走査方向」という。）に水平移動するとともに垂直方向に向く軸を中心として回転する基板移動機構３２、基板９上に形成された位置調整用目印（図示省略）を撮像して検出する目印検出部３３、基板保持部３１上の基板９に向けて３本のノズル３７から有機ＥＬ液を連続的に吐出する吐出機構である塗布ヘッド３４、基板９の主面９０に平行であって副走査方向に垂直な方向（すなわち、図８中のＸ方向であり、以下、「主走査方向」という。）に塗布ヘッド３４を水平移動するヘッド移動機構３５、主走査方向に関して基板保持部３１の両側に設けられるとともに塗布ヘッド３４からの有機ＥＬ液を受ける２つの受液部３６、および、塗布ヘッド３４の３本のノズル３７に有機ＥＬ液を供給する流動性材料供給部３８を備える。塗布装置３では、ヘッド移動機構３５および基板移動機構３２が、塗布ヘッド３４の３本のノズル３７を基板９に対して主走査方向に相対的に移動するとともに、基板９を塗布ヘッド３４の３本のノズル３７に対して副走査方向に相対的に移動する移動機構となる。

塗布ヘッド３４では、３本のノズル３７が、図８中のＸ方向（主走査方向）に関して略直線状に離れて配列されるとともに図８中のＹ方向（副走査方向）に僅かにずれて配置され、これらのノズル３７から吐出された有機ＥＬ液が、基板９の塗布領域９１（図２参照）に予め形成されている主走査方向に伸びる隔壁の間の溝に塗布される。本実施の形態では、隣接する２本のノズル３７の間の副走査方向に関する距離は、隔壁間のピッチ（以下、「隔壁ピッチ」という。）に等しい。塗布ヘッド３４では、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）と互いに色が異なる３種類の有機ＥＬ材料をそれぞれ含む３種類の有機ＥＬ液が３本のノズル３７から吐出される。

塗布装置３により有機ＥＬ液の塗布が行われる際には、まず、マスク部材貼付装置２（図４ないし図６参照）により非塗布領域９２にマスク部材１２（図２参照）が貼付された基板９が基板保持部３１に載置されて保持され、目印検出部３３からの出力に基づいて基板移動機構３２が駆動されて基板９が図８中に実線にて示す塗布開始位置に位置する。塗布ヘッド３４は予め図８および図９中に実線にて示す位置に位置している。

続いて、流動性材料供給部３８から塗布ヘッド３４へと有機ＥＬ液が供給されてノズル３７から有機ＥＬ液の吐出が開始され、ヘッド移動機構３５が駆動されて塗布ヘッド３４の移動が開始される。塗布装置３では、ノズル３７から有機ＥＬ液を基板９に向けて連続的に吐出しつつ、ノズル３７を基板９に対して図８中の（−Ｘ）側から（＋Ｘ）側へと（すなわち、基板９に貼付されたマスク部材１２の長手方向と垂直に交差する主走査方向に）相対的に移動することにより、基板９の隔壁間の３つの隣接する溝、および、マスク部材１２上に有機ＥＬ液が塗布される。

塗布ヘッド３４が図８および図９中に二点鎖線にて示す位置まで移動すると、基板移動機構３２が駆動され、基板９が基板保持部３１と共に図８中の（＋Ｙ）側に（すなわち、副走査方向に）隔壁ピッチの３倍の距離だけ移動する。このとき、塗布ヘッド３４では、３本のノズル３７から受液部３６に向けて有機ＥＬ液が連続的に吐出されている。

副走査方向における基板９の移動が終了すると、塗布ヘッド３４が有機ＥＬ液を吐出しつつ図８中において（＋Ｘ）側から（−Ｘ）側へと主走査方向に移動することにより、基板９上に３種類の有機ＥＬ液が塗布された後、副走査方向における基板９の移動が再び行われる。

図１０は、マスク部材１２が貼付された基板９を示す平面図である。塗布装置３では、基板９が図８中に二点鎖線にて示す塗布終了位置に位置するまで、塗布ヘッド３４の主走査方向への移動、および、塗布ヘッド３４の１回の主走査方向への移動が行われる毎に行われる基板９の副走査方向へのピッチ移動が繰り返され、これにより、図１０に示すように、基板９上のマスク部材１２を含む領域（すなわち、非塗布領域９２に貼付されたマスク部材１２上の領域、および、塗布領域９１の隔壁間の溝）に有機ＥＬ液９３がストライプ状に塗布される。なお、図１０では、図の理解を容易にするために塗布領域９１の輪郭を破線にて描いており、また、図示の都合上、基板９上に塗布された有機ＥＬ液９３の幅およびピッチを実際よりも大きく描いている（図１５においても同様）。

塗布装置３では、有機ＥＬ液９３の塗布が行われている間、塗布ヘッド３４のノズル３７（図８および図９参照）から有機ＥＬ液９３が連続的に吐出されている。塗布装置３では、非塗布領域９２のうち基板９の移動方向に垂直に伸びる領域（すなわち、図１０中においてＸ方向に伸びる領域であり、マスク部材１２の貼付が省略されている領域）に対して、塗布ヘッド３４を受液部３６上に待機させた状態で、基板９を当該領域の幅（すなわち、図１０中のＹ方向の幅）と等しい距離だけ副走査方向に移動することにより、当該領域への有機ＥＬ液９３の塗布が回避される。

図１１は、有機ＥＬ液が塗布された基板９の一部を、図１０中のＢ−Ｂの位置にて切断して示す断面図であり、図３に対応している。図１１に示すように、塗布システム８のマスク部材貼付装置２（図４ないし図６参照）によりマスク部材１２が貼付された基板９では、マスク部材１２の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側の庇部１２０が、非塗布領域９２のうち粘着剤層１１の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側にて粘着剤層１１から露出する領域９２１（以下、「露出領域９２１」という。）を、当該露出領域９２１と離間しつつ覆う。

仮に、粘着剤層の幅が非塗布領域の幅に等しく、粘着剤層の下面の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側の第１下面エッジが非塗布領域と塗布領域との境界に一致しているとすると、有機ＥＬ液が粘着剤層の側面に付着することにより、塗布領域と粘着剤層の側面との間に（すなわち、非塗布領域と塗布領域との境界上に）上方に向けて突出する有機ＥＬ液のメニスカスが形成される。そして、有機ＥＬ液の乾燥後に基板上に残る有機ＥＬ材料の膜において、非塗布領域と塗布領域との境界上にて上記メニスカスに対応する部分が突出してしまい、当該境界近傍の部位の膜厚が他の部位よりも厚くなる。その結果、後工程において有機ＥＬ材料の膜上に形成される他の膜（例えば、陰極の膜）の厚さが、当該突出部において不足してしまうおそれがある。

本実施の形態では、上述のように、粘着剤層１１の幅が非塗布領域９２の幅よりも小さくされ、非塗布領域９２の露出領域９２１がマスク部材１２により非接触にて覆われているため、塗布装置３のノズル３７（図８および図９参照）から基板９上に吐出された有機ＥＬ液９３が、非塗布領域９２の露出領域９２１に付着することが防止されるとともに、非塗布領域９２上に形成された粘着剤層１１の側面１１０３に付着することも防止される。その結果、非塗布領域９２と（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側の塗布領域９１との間の各境界９２０における有機ＥＬ液のメニスカスの発生を容易に防止することができ、塗布領域９１に形成される有機ＥＬ液の膜の厚さの均一性を向上することができる。

なお、塗布装置３では、ノズル３７が高速に移動しつつ有機ＥＬ液を吐出するため、ノズル３７が（＋Ｘ）方向に移動しつつ有機ＥＬ液の塗布が行われる際には、粘着剤層１１の（−Ｘ）側（すなわち、ノズル３７の移動方向の上流側）の露出領域９２１において、境界９２０近傍に僅かに有機ＥＬ液９３が付着することがあるが、後工程に対する影響のおそれがない程度に付着量が微量であるため、非塗布領域９２に対する有機ＥＬ液９３の付着は、マスク部材１２により実質的に防止されていると考えてよい。また、ノズル３７が（−Ｘ）方向に移動しつつ有機ＥＬ液の塗布が行われる際には、粘着剤層１１の（＋Ｘ）側の露出領域９２１の境界９２０近傍に有機ＥＬ液が僅かに付着することがあるが、この場合も上記と同様に、マスク部材１２により、非塗布領域９２に対する有機ＥＬ液９３の付着が実質的に防止されていると考えてよい。

一方、ノズル３７が（＋Ｘ）方向に移動しつつ有機ＥＬ液の塗布が行われる際には、マスク部材１２の（＋Ｘ）側（すなわち、ノズル３７の移動方向の下流側）に位置する塗布領域９１において、有機ＥＬ液９３の塗布領域９１に対する塗布開始位置が境界９２０から僅かな距離だけ離間することがある。しかしながら、塗布領域９１の境界９２０近傍の領域は有機ＥＬ表示装置の画素領域として利用されず、かつ、塗布領域９１の境界９２０近傍において有機ＥＬ液９３が塗布されない距離が、画素領域として利用されない領域の幅よりも小さいため、上記塗布開始位置と境界９２０との僅かな離間は有機ＥＬ表示装置の性能には影響しない。また、ノズル３７が（−Ｘ）方向に移動しつつ有機ＥＬ液の塗布が行われる際には、マスク部材１２の（−Ｘ）側に位置する塗布領域９１において、有機ＥＬ液９３の塗布領域９１に対する塗布開始位置が境界９２０から僅かな距離だけ離間することがあるが、上記と同様に、当該離間は有機ＥＬ表示装置の性能には影響しない。

マスク部材貼付装置２では、上述のように、粘着剤層１１およびマスク部材１２のそれぞれの中心線が非塗布領域９２の中心線に重なるように粘着剤層１１が形成されるとともにマスク部材１２が貼付され、粘着剤層１１およびマスク部材１２が、非塗布領域９２の中心線に対して線対称とされる。これにより、塗布装置３において、ノズル３７が（＋Ｘ）方向に移動しつつ有機ＥＬ液の塗布が行われる場合と、ノズル３７が（−Ｘ）方向に移動しつつ有機ＥＬ液の塗布が行われる場合とで、非塗布領域９２に対する有機ＥＬ液の僅かな付着や塗布領域９１における有機ＥＬ液の塗布開始位置と境界９２０との僅かな離間の態様を等しくすることができる。その結果、非塗布領域９２の両側の２つの塗布領域９１に対する有機ＥＬ液の塗布の質を均一化することができる。

また、マスク部材貼付装置２では、マスク部材１２の幅が非塗布領域９２の幅に等しくされ、マスク部材１２の幅方向のエッジが平面視において非塗布領域９２の両側の境界９２０に重ねられる。これにより、非塗布領域９２に対する有機ＥＬ液の付着がより確実に防止される。さらには、マスク部材１２の庇部１２０の下面１２０２が基板９の主面９０に平行とされることにより、マスク部材１２の側面１２０３に付着した有機ＥＬ液９３が、庇部１２０の下面１２０２に沿って粘着剤層１１の側面１１０３へと流れて側面１１０３に付着してしまうことを防止することができる。その結果、マスク部材１２の側面１２０３に付着した有機ＥＬ液９３が、庇部１２０の下面１２０２および粘着剤層１１の側面１１０３を経由して非塗布領域９２に付着してしまうことが防止される。

マスク部材１２の各庇部１２０の幅（すなわち、図３に示す粘着剤層１１の第１上面エッジ１１１３とマスク部材１２の第２下面エッジ１２２３との間のＸ方向の距離）はそれぞれ、０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下とされることが好ましい。各庇部１２０の幅が０．５ｍｍ以上とされることにより、粘着剤層１１の側面１１０３に対する有機ＥＬ液の付着防止の確実性をより向上することができる。また、各庇部１２０の幅が３ｍｍ以下とされることにより、庇部１２０の強度を十分に確保することができ、庇部１２０が基板９の主面９０に向けて下がってしまうことを防止することができる。

図１に示す塗布システム８では、塗布装置３により有機ＥＬ液が塗布された基板９は、搬送ロボット８１により塗布装置３から搬出されてマスク部材剥離装置４に搬入される。図１２は、マスク部材剥離装置４を示す平面図である。図１２に示すように、マスク部材剥離装置４は、図４ないし図６に示すマスク部材貼付装置２の貼付ヘッド２３に代えて剥離ヘッド４３を備え、粘着剤層１１（図１１参照）を基板９上に残しつつ基板９からマスク部材１２（図１１参照）を剥離する。マスク部材剥離装置４のその他の構成はマスク部材貼付装置２とほぼ同様である。

マスク部材剥離装置４は、基板９を保持する基板保持部４１、基板９を基板保持部４１と共に図１２中のＹ方向に移動する基板移動機構４２、マスク部材１２を保持して剥離する剥離ヘッド４３、および、剥離ヘッド４３を基板９の移動方向に垂直な方向（すなわち、図１２中のＸ方向）に移動するヘッド移動機構４４を備える。マスク部材剥離装置４では、基板移動機構４２により、基板９が基板保持部４１と共にレール４２１に沿って水平方向に移動する。また、ヘッド移動機構４４により、剥離ヘッド４３が基板９の移動範囲の上方においてレール４４１に沿って水平方向に移動する。

図１３．Ａは、剥離ヘッド４３の構成を拡大して示す左側面図である。図１３．Ａでも、図７．Ａと同様に、剥離ヘッド４３のハウジング４３１の内部構成を描いている。図１３．Ａに示すように、剥離ヘッド４３は、マスク部材１２に粘着することによりマスク部材１２の少なくとも一部を保持する剥離テープ４５、剥離テープ４５の粘着面をマスク部材１２に対向させつつ剥離テープ４５を案内して基板９上のマスク部材１２に順次粘着させる剥離テープ案内部である粘着機構４３３、未使用の剥離テープ４５を粘着機構４３３に供給する剥離テープ供給部である供給リール４３２、剥離テープ４５を剥離テープ４５に粘着されたマスク部材１２と共に基板９から引き上げて回収する剥離テープ回収部である回収リール４３４、および、これらの構成を収容するハウジング４３１を備える。粘着機構４３３は、エアシリンダ４３６および押圧ローラ４３７を備える。また、剥離テープ４５の幅はマスク部材１２の幅よりも大きい。

マスク部材剥離装置４により基板９からマスク部材１２が剥離される際には、まず、図１２に示す基板移動機構４２およびヘッド移動機構４４により、基板９および剥離ヘッド４３が移動されて剥離開始位置に位置する。このとき、図１３．Ａに示すように、剥離対象であるマスク部材１２の先端が、剥離ヘッド４３のハウジング４３１の下部開口４３５の下方に位置する。

続いて、エアシリンダ４３６により押圧ローラ４３７が下部開口４３５を介して下方に移動し、剥離テープ４５を上側（すなわち、剥離テープ４５の粘着面とは反対側）からマスク部材１２の先端部に押圧して粘着する。次に、基板移動機構４２（図１２参照）により基板９が図１３．Ａ中の（＋Ｙ）方向に移動を開始する。これと同時に、供給リール４３２および回収リール４３４の図１３．Ａ中における時計回りの回転が開始されて供給リール４３２に巻き付けられている剥離テープ４５が送り出されるとともに、図１３．Ｂに示すように、押圧ローラ４３７が上方に移動して元の位置に戻ることにより、剥離テープ４５に粘着されたマスク部材１２の先端部が粘着剤層１１から離間して（＋Ｚ）側に持ち上げられる。換言すれば、マスク部材１２の先端部が、粘着剤層１１を基板９上に残しつつ基板９から剥離される。そして、図１３．Ａに示す供給リール４３２から剥離テープ４５が継続的に送り出されるとともに基板９が移動を継続することにより、基板９上のマスク部材１２が剥離テープ４５に粘着されつつ粘着剤層１１を基板９上に残して基板９から剥離し、回収リール４３４により巻き取られて回収される。

このように、図１２に示すマスク部材剥離装置４では、剥離ヘッド４３によりマスク部材１２を保持して持ち上げた状態で、基板移動機構４２により基板９をマスク部材１２が貼付されている方向に沿って移動することにより、基板９からのマスク部材１２の剥離が行われる。マスク部材剥離装置４では、有機ＥＬ液が塗布された基板９からマスク部材１２が剥離されることにより、基板９の塗布領域９１上にのみ有機ＥＬ液が残置され、非塗布領域９２には粘着材料１１１およびスペーサ１１２（図３参照）を含む粘着剤層１１が残置される。

塗布システム８では、マスク部材貼付装置２により基板９上に形成された粘着剤層１１の基板９に対する粘着力が、粘着剤層１１上に貼付されたマスク部材１２に対する粘着剤層１１の粘着力よりも大きくされる。これにより、マスク部材剥離装置４において、剥離テープ４５によりマスク部材１２を持ち上げる際に、粘着剤層１１がマスク部材１２に粘着した状態でマスク部材１２と共に基板９から剥離してしまうことが防止される。換言すれば、粘着剤層１１を基板９上に残しつつマスク部材１２のみを基板９から容易に剥離することができる。

また、マスク部材剥離装置４では、有機ＥＬ液が付着したマスク部材１２の上面を剥離テープ４５により覆ってマスク部材１２を基板９から剥離するため、マスク部材１２上に付着した有機ＥＬ液を基板９に落下させることなくマスク部材１２を回収することができる。なお、剥離テープ４５のマスク部材１２への粘着開始は、剥離テープ４５を供給しつつ剥離テープ４５の供給速度に等しい速度で移動している基板９に対して行われてもよい。

図１に示す塗布システム８では、マスク部材１２の基板９からの剥離が終了すると、搬送ロボット８１により基板９がマスク部材剥離装置４から搬出されて封止接着剤塗布装置５に搬入される。図１４は、封止接着剤塗布装置５を示す正面図である。図１４に示すように、封止接着剤塗布装置５は、基板９を保持する基板保持部５１、基板９を基板保持部５１と共に基板９の主面９０に平行なＹ方向に移動する基板移動機構５２、基板９の主面９０に向けて封止接着剤を吐出する封止接着剤吐出部であるディスペンサ５３、および、ディスペンサ５３を基板移動機構５２による基板９の移動方向に垂直なＸ方向に移動するディスペンサ移動機構５４を備える。

封止接着剤塗布装置５では、ディスペンサ５３から封止接着剤を吐出しつつ基板９がＹ方向に移動されることにより、基板９の主面９０上において封止接着剤がＹ方向へと連続的に塗布され、封止接着剤を吐出するディスペンサ５３をＸ方向へと移動することにより、封止接着剤がＸ方向へと連続的に塗布される。本実施の形態では、ディスペンサ５３から封止接着剤を吐出しつつ基板９のＹ方向への移動、および、ディスペンサ５３のＸ方向への移動が順次繰り返されることにより、図１５に示すように、基板９上の４つの塗布領域９１のそれぞれの周囲において、封止接着剤が塗布領域９１の全周に亘って非塗布領域９２に塗布される。図１５では、図の理解を容易にするために、非塗布領域９２上において封止接着剤が塗布される領域９４に平行斜線を付して示している。以下、領域９４に塗布される封止接着剤に符号９４を付して説明する。

図１６は、図１５に示す基板９の一部を、図１５中のＣ−Ｃの位置にて粘着剤層１１の長手方向である図１５中のＹ方向に垂直に切断した断面図である。非塗布領域９２に塗布された封止接着剤９４の一部は、図１６に示すように、粘着剤層１１が設けられる非塗布領域９２のうち粘着剤層１１から露出する露出領域９２１（すなわち、非塗布領域９２と塗布領域９１との間の境界９２０と粘着剤層１１の側部（側面１１０３）とに挟まれる領域）に設けられる。

基板９に対する封止接着剤の塗布が終了すると、図１に示す搬送ロボット８１により基板９が封止接着剤塗布装置５から搬出されて封止装置６に搬入される。図１７は、封止装置６を示す正面図である。図１７に示すように、封止装置６は、基板９を保持する基板保持部６１、基板９の塗布領域９１（図１５参照）を封止する封止基板９９を基板９の主面９０と対向させつつ保持する封止基板保持部６２、および、封止基板保持部６２を基板保持部６１上の基板９の主面９０に垂直な方向に相対的に移動する保持部移動機構６３を備える。

封止装置６では、保持部移動機構６３により封止基板保持部６２を基板保持部６１に対して近づけることにより、基板９の主面９０上に形成された粘着剤層１１（図１６参照）、および、基板９の主面９０上に塗布された封止接着剤９４（図１６参照）を介在させつつ、基板９の主面９０に封止基板９９が重ねられて基板９に向けて押圧される。このとき、基板９と封止基板９９との間の間隙の高さ（すなわち、基板９の主面９０に垂直な方向の距離）が粘着剤層１１に含まれるスペーサ１１２（図１６参照）により決定される。本実施の形態では、基板９と封止基板９９との間の間隙の高さが、球状の粒子であるスペーサ１１２の直径におよそ等しくなる。そして、塗布領域９１を囲む封止接着剤９４が、加熱または紫外線の照射により硬化することにより封止基板９９と基板９とが接着され、基板９上の４つの塗布領域９１が互いに独立した状態で封止される。

封止基板９９が接着された基板９は、封止装置６から塗布システム８の外部へと搬出され、後工程において、４つの塗布領域９１の間にてＸ方向およびＹ方向に伸びる非塗布領域９２にて切断されて４つの有機ＥＬ表示装置用の基板が形成される。基板９および封止基板９９が、塗布領域９１の間にてＹ方向に伸びる非塗布領域９２にて切断される際には、当該非塗布領域９２上の粘着剤層１１の幅方向（すなわち、Ｘ方向）の中央にて切断が行われる。なお、塗布システム８では、実際には、マスク部材１２の貼付、有機ＥＬ液の塗布、マスク部材１２の剥離、封止接着剤の塗布、および、封止基板９９の接着が、複数の基板に対して連続的に行われる。

以上に説明したように、塗布システム８では、基板９の非塗布領域９２上に形成される粘着剤層１１に粒状のスペーサ１１２が含まれることにより、マスク部材貼付装置２において、粘着剤層１１上に貼付されるマスク部材１２の基板９の主面９０からの高さがスペーサ１１２により決定される（すなわち、当該高さがスペーサ１１２の直径におよそ等しくされる）。その結果、マスク部材１２の基板９の主面９０からの高さを、マスク部材１２の全長に亘って均一化することができる。また、スペーサ１１２により、マスク部材１２の貼付時に粘着剤層１１が押し潰されて塗布領域９１へとはみ出してしまうことを防止することができるため、塗布装置３において、基板９の塗布領域９１に有機ＥＬ液を高精度に塗布することができる。

ところで、有機ＥＬ表示装置用の基板上に形成される有機ＥＬ層の膜厚（すなわち、有機ＥＬ液の乾燥により形成される有機ＥＬ材料の膜の厚さ）は、平面表示装置の表示性能等に大きく影響するため、高精度にコントロールされる必要がある。したがって、有機ＥＬ液を高精度に塗布することができる塗布システム８は、有機ＥＬ表示装置用の基板に対する有機ＥＬ液の塗布に特に適しているといえる。また、有機ＥＬ表示装置以外の他の平面表示装置でも、有機ＥＬ表示装置と同様に、基板上に形成される画素形成材料の膜厚が高精度にコントロールされる必要があるため、塗布システム８は、平面表示装置用の画素形成材料を含む流動性材料の塗布にも適している。

マスク部材貼付装置２では、マスク部材１２を貼付する貼付機構の一部である貼付ヘッド２３に、基板９に粘着剤を塗布して粘着剤層１１を形成するディスペンサ２３２が設けられることにより、ディスペンサ２３２とマスク部材押圧機構２３３とが個別に設けられて独立して移動する場合に比べて、粘着剤層１１とマスク部材１２との位置合わせをする必要がないため、基板９に対するマスク部材１２の貼付を容易とすることができる。また、粘着剤層１１に含まれるスペーサ１１２を球状の粒子とすることにより、マスク部材１２の基板９の主面９０からの高さを容易に均一化することができる。

塗布システム８では、封止装置６において、基板９と封止基板９９との間の間隙の高さが粘着剤層１１中のスペーサ１１２により決定されることにより、基板９と封止基板９９との間隔の均一性を向上しつつ塗布領域９１を封止することができる。特に、封止接着剤塗布装置５において、封止接着剤９４の一部が、粘着剤層１１が設けられる非塗布領域９２のうち粘着剤層１１から露出する露出領域９２１に設けられており、粘着剤層１１上に封止接着剤９４が塗布されないため、粘着剤層１１と封止基板９９とを直接接触させることができる。その結果、基板９と封止基板９９との間隔の均一性をより向上することができる。

次に、本発明の第２の実施の形態に係る塗布システムについて説明する。図１８は、第２の実施の形態に係る塗布システムのマスク部材貼付装置の貼付ヘッド２３ａの構成を示す左側面図であり、図７．Ａと同様に、貼付ヘッド２３ａのハウジング２３１に収容される内部構成を描いている。第２の実施の形態に係るマスク部材貼付装置の貼付ヘッド２３ａ以外の構成、および、塗布システムのその他の構成は第１の実施の形態と同様であり、以下の説明において対応する構成に同符号を付す。

第２の実施の形態に係るマスク部材貼付装置では、図３に示すマスク部材１２に代えて、図１９に断面にて示すマスク部材１２ａが、基板９上に形成された粘着剤層１１を介して非塗布領域９２に貼付される。マスク部材１２ａは、可撓性を有する樹脂製のテープ状の部材である基材１２１、および、基材１２１の一方の面（すなわち、図１９中の（−Ｚ）側の面）に粘着材料により形成された補助粘着剤層１２２を備え、マスク部材１２ａが粘着剤層１１上に貼付される際には、補助粘着剤層１２２と粘着剤層１１とが互いに接着される。

図１８に示すように、貼付ヘッド２３ａは、粘着材料１１１とスペーサ１１２（図１９参照）とを含む粘着剤を基板９の主面９０に塗布することにより非塗布領域９２上に粘着剤層１１を形成する粘着剤塗布機構であるディスペンサ２３２、非塗布領域９２上に形成された粘着剤層１１に向けてマスク部材１２ａを押圧して貼付するマスク部材押圧機構２３３ａ、並びに、ディスペンサ２３２およびマスク部材押圧機構２３３ａを収容するハウジング２３１を備える。第２の実施の形態に係るマスク部材貼付装置では、ベーステープ２７１の一方の主面にマスク部材１２ａが保持されたテープ２７を利用してマスク部材１２ａの貼付が行われる。テープ２７では、マスク部材１２ａの補助粘着剤層１２２（図１９参照）がベーステープ２７１により覆われている。

マスク部材１２ａが貼付される際には、マスク部材押圧機構２３３ａの切断部２３５により、テープ２７の切断部２３５と対向する側においてマスク部材１２ａのみが切断される。続いて、ディスペンサ２３２による非塗布領域９２への粘着剤層１１の形成と並行して、マスク部材供給部２３４ａおよびマスク部材回収部２３４ｂにおいてロール２３４１，２３４２が図１８中における反時計回りに回転することにより、ロール２３４１からテープ２７が繰り出されるとともに切断されたマスク部材１２ａがベーステープ２７１と共にテープ分離部材２３６ａの先端へと送られる。そして、当該先端において、ベーステープ２７１が送られてきた方向とはおよそ反対側に導かれることにより、マスク部材１２ａがベーステープ２７１から剥離し、その先端部がハウジング２３１の開口２３１２から基板９に向かって移動する。

マスク部材押圧機構２３３ａでは、第１の実施の形態と同様に、エアシリンダ２３８により貼付ローラ２３９が開口２３１２を介して下方に移動し、マスク部材１２ａの先端部を上側から（すなわち、マスク部材１２ａの基材１２１側から）基板９の主面９０に向けて押圧して貼付する。そして、マスク部材供給部２３４ａのロール２３４１からテープ２７が継続的に送り出されるとともに、マスク部材１２ａが貼付ローラ２３９により押圧された状態で基板９が非塗布領域９２の境界９２０（図１９参照）に平行な走査方向（（＋Ｙ）方向）に移動することにより、基板９の主面９０上においてマスク部材１２ａが境界９２０に沿って非塗布領域９２に順次貼付される。

マスク部材貼付装置では、第１の実施の形態と同様に、粘着剤層１１に図１９に示すように粒状のスペーサ１１２が含まれることにより、マスク部材１２ａの基板９の主面９０からの高さを、マスク部材１２ａの全長に亘って均一化することができる。また、マスク部材１２ａの貼付時に粘着剤層１１が押し潰されて塗布領域９１へとはみ出してしまうことを防止することができる。その結果、塗布装置３（図８および図９参照）において、基板９の塗布領域９１に有機ＥＬ液を高精度に塗布することができる。また、封止装置６（図１７参照）において、基板９と封止基板９９（図１７参照）との間の間隙の高さが粘着剤層１１中のスペーサ１１２により決定されることにより、基板９と封止基板９９との間隔の均一性を向上しつつ塗布領域９１を封止することができる。

第２の実施の形態に係るマスク部材貼付装置では、特に、マスク部材１２ａに補助粘着剤層１２２が設けられ、補助粘着剤層１２２と非塗布領域９２上の粘着剤層１１とが接着されることにより、マスク部材１２ａが粘着剤層１１を介して非塗布領域９２上に貼付される。これにより、粘着剤層１１の粘着力があまり大きくない場合であっても、マスク部材１２ａの基板９への貼付を確実に行うことができる。

また、マスク部材貼付装置では、粘着剤層１１の基板９に対する粘着力が、粘着剤層１１上に貼付されたマスク部材１２ａに対する粘着剤層１１の粘着力（すなわち、補助粘着剤層１２２に対する粘着剤層１１の粘着力）よりも大きくされる。これにより、マスク部材剥離装置４（図１３．Ａ参照）において、剥離テープ４５によりマスク部材１２ａを持ち上げる際に、粘着剤層１１がマスク部材１２ａに粘着した状態でマスク部材１２ａと共に基板９から剥離してしまうことが防止される。換言すれば、粘着剤層１１を基板９上に残しつつマスク部材１２ａのみを基板９から容易に剥離することができる。

次に、本発明の第３の実施の形態に係る塗布システムについて説明する。図２０は、第３の実施の形態に係る塗布システムのマスク部材貼付装置の貼付ヘッド２３ｂの構成を示す左側面図であり、図７．Ａと同様に、貼付ヘッド２３ｂのハウジング２３１に収容される内部構成を描いている。第３の実施の形態に係るマスク部材貼付装置では、第１の実施の形態と同様に、可撓性を有する樹脂製のテープ状の部材であるマスク部材１２が粘着剤層１１（図３参照）を介して基板９上に貼付される。マスク部材貼付装置の貼付ヘッド２３ｂ以外の構成、および、塗布システムのその他の構成は第１の実施の形態と同様であり、以下の説明において対応する構成に同符号を付す。

図２０に示すように、貼付ヘッド２３ｂは、未使用のマスク部材１２をロール２３４１から繰り出すマスク部材供給部２３４、ロール２３４１から繰り出されたマスク部材１２を案内するローラ２３３１〜２３３３およびガイド２３６、ガイド２３６に対向する位置に配置される切断部２３５、ローラ２３３３に対向する位置に配置されてマスク部材１２に向けて粘着剤を吐出するディスペンサ２３２ａ、ハウジング２３１の下部に形成された開口２３１２上に配置される貼付ローラ２３９、並びに、貼付ローラ２３９を駆動するエアシリンダ２３８を備える。

マスク部材１２が貼付される際には、マスク部材供給部２３４のロール２３４１が図２０中における時計回りに回転することによりマスク部材１２が繰り出され、マスク部材１２のマスク部材供給部２３４から繰り出された部位に、粘着材料１１１とスペーサ１１２（図３参照）とを含む粘着剤がディスペンサ２３２ａにより付与される。これにより、マスク部材１２の一方の面（すなわち、図２０中における（−Ｚ）側の面）に粘着剤層１１が形成される。貼付ヘッド２３ｂでは、ディスペンサ２３２ａが、マスク部材１２上に粘着剤層１１を形成する粘着剤層形成部となっている。

粘着剤層１１が形成されたマスク部材１２の先端部は、ロール２３４１の回転に伴ってハウジング２３１の開口２３１２から基板９に向かって移動する。これと並行して、エアシリンダ２３８により貼付ローラ２３９が開口２３１２を介して下方に移動することにより、粘着剤層１１を基板９の非塗布領域９２に接触させつつマスク部材１２の先端部が上側から（すなわち、粘着剤層１１とは反対側から）非塗布領域９２に向けて押圧され、粘着剤層１１を介してマスク部材１２が基板９の主面９０上に貼付される。

マスク部材１２の先端部が貼付されると、基板移動機構２２（図６参照）により基板９が図２０中の（＋Ｙ）方向に移動を開始する。そして、マスク部材供給部２３４によるマスク部材１２の繰り出し、および、ディスペンサ２３２ａによるマスク部材１２への粘着剤の塗布が継続的に行われるとともに、マスク部材１２が押圧部である貼付ローラ２３９により押圧された状態で、基板移動機構２２により基板９が非塗布領域９２の境界９２０（図２参照）に平行な走査方向（（＋Ｙ）方向）に貼付ローラ２３９に対して相対的に移動することにより、基板９の主面９０上においてマスク部材１２が境界９２０に沿って非塗布領域９２に順次貼付される。

貼付ヘッド２３ｂでは、切断部２３５によりマスク部材１２が切断され、マスク部材１２が後端部まで非塗布領域９２に向けて押圧されることにより、マスク部材１２が粘着剤層１１を介して基板９の主面９０に密着する。マスク部材貼付装置では、基板移動機構２２（図６参照）および貼付ヘッド２３ｂが、マスク部材１２を基板９の主面９０の非塗布領域９２に粘着剤層１１を介して貼付する貼付機構となっている。

マスク部材貼付装置では、マスク部材１２上に形成される粘着剤層１１に粒状のスペーサ１１２（図３参照）が含まれることにより、第１の実施の形態と同様に、マスク部材１２の基板９の主面９０からの高さを、マスク部材１２の全長に亘って均一化することができる。また、マスク部材１２の貼付時に粘着剤層１１が押し潰されて塗布領域９１（図３参照）へとはみ出してしまうことを防止することができる。その結果、塗布装置３（図８および図９参照）において、基板９の塗布領域９１に有機ＥＬ液を高精度に塗布することができる。また、封止装置６（図１７参照）において、基板９と封止基板９９との間の間隙の高さが粘着剤層１１中のスペーサ１１２により決定されることにより、基板９と封止基板９９との間隔の均一性を向上しつつ塗布領域９１を封止することができる。

第３の実施の形態に係るマスク部材貼付装置では、特に、マスク部材１２を貼付する貼付機構の一部である貼付ヘッド２３ｂに、マスク部材１２に粘着剤を塗布して粘着剤層１１を形成するディスペンサ２３２ａが設けられることにより、基板９上に粘着剤層１１を形成する場合に比べて、粘着剤層１１とマスク部材１２との位置合わせをする必要がないため、基板９に対するマスク部材１２の貼付を容易とすることができる。

また、マスク部材貼付装置では、粘着剤層１１の基板９に対する粘着力が、マスク部材１２に対する粘着剤層１１の粘着力よりも大きくされる。これにより、マスク部材剥離装置４（図１３．Ａ参照）において、剥離テープ４５によりマスク部材１２を持ち上げる際に、粘着剤層１１がマスク部材１２に粘着した状態でマスク部材１２と共に基板９から剥離してしまうことが防止される。

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。

例えば、第１および第２の実施の形態に係るマスク部材貼付装置では、ディスペンサ２３２は、必ずしもマスク部材押圧機構と共に１つのハウジング２３１に収容される必要はなく、マスク部材押圧機構２３３とは独立して設けられて個別にＸ方向に移動可能とされてもよい。この場合、例えば、非塗布領域９２に対してディスペンサ２３２による粘着剤層１１の形成が終了した後、マスク部材１２の貼付が行われてもよい。

第１および第２の実施の形態に係るマスク部材貼付装置では、ディスペンサ２３２からの粘着剤の吐出が断続的に行われることにより、基板９の非塗布領域９２上に、Ｙ方向に非連続にて配列されたそれぞれが比較的短い複数の粘着剤層が形成されてもよい。第３の実施の形態に係るマスク部材貼付装置でも同様に、ディスペンサ２３２ａからの粘着剤の吐出が断続的に行われることにより、マスク部材１２の一方の面に非連続にて配列されたそれぞれが比較的短い複数の粘着剤層が形成されてもよい。

第１および第２の実施の形態に係るマスク部材貼付装置では、基板移動機構２２による基板９の走査方向への移動に代えて、貼付ヘッドが走査方向に移動されることにより、基板９のマスク部材押圧機構に対する相対的な移動が実現されてもよい。また、ヘッド移動機構２４による貼付ヘッドの移動に代えて、基板９が基板保持部２１と共に走査方向に垂直な方向に移動されてもよい。第３の実施の形態に係るマスク部材貼付装置でも同様に、貼付ヘッド２３ｂが走査方向に移動されることにより、基板９の貼付ローラ２３９に対する相対的な移動が実現されてもよい。

第１および第２の実施の形態に係るマスク部材貼付装置では、他の装置により非塗布領域９２上に粘着剤層が形成された基板９が搬入され、当該基板９上の予め形成された粘着剤層を介してマスク部材が基板９に貼付されてもよい。

粘着剤層１１の両側の側面１１０３は、必ずしも基板９の主面９０に略垂直である必要はなく、粘着剤層１１の第１上面エッジ１１１３がマスク部材の第２下面エッジ１２２３よりも幅方向の内側に位置するのであれば、基板９の主面９０から離れるに従って幅方向の内側または外側に向かうように傾斜していてもよい。マスク部材１２についても同様に、マスク部材１２の両側の側面１２０３は、必ずしも基板９の主面９０に略垂直である必要はなく、基板９の主面９０から離れるに従って幅方向の内側または外側に向かうように傾斜していてもよい。ただし、マスク部材１２の最大幅が非塗布領域９２の幅に等しくされ、マスク部材１２の幅方向のエッジが、平面視において非塗布領域９２の両側の境界９２０に重ねられることにより、非塗布領域９２に対する有機ＥＬ液の付着がより確実に防止される。

マスク部材では、庇部１２０の下面１２０２は、必ずしも基板９の主面９０に平行とされる必要はないが、庇部１２０の下面１２０２が基板９の主面９０にほぼ平行とされることにより、上述のように、有機ＥＬ液が粘着剤層１１の側面１１０３や非塗布領域９２に付着してしまうことがより確実に防止される。また、粘着剤層１１およびマスク部材のそれぞれの中心線は、必ずしも非塗布領域９２の中心線に重なっている必要はないが、粘着剤層１１およびマスク部材の中心線をそれぞれ非塗布領域９２の中心線にほぼ重ねて粘着剤層１１が形成されるとともにマスク部材が貼付されることにより、上述のように、非塗布領域９２の両側の２つの塗布領域９１に対する有機ＥＬ液の塗布の質を均一化することができる。

上記実施の形態では、基板９上に残置される粘着剤層１１の幅は非塗布領域９２の幅よりも小さくされるが、粘着剤層１１の幅が非塗布領域９２の幅に等しくされ、第１下面エッジ１１２３が塗布領域９１と非塗布領域９２との境界９２０に一致するように粘着剤層１１が形成されてもよい。この場合であっても、粘着剤層１１に粒状のスペーサ１１２が含まれることにより、粘着剤層１１上に貼付されるマスク部材の基板９の主面９０からの高さが全長に亘って均一とされる。また、マスク部材の貼付時に粘着剤層１１が押し潰されて塗布領域９１へとはみ出してしまうことが防止される。なお、このように、粘着剤層１１により非塗布領域９２が全幅に亘って覆われる場合、封止接着剤は、例えば、粘着剤層１１の上面１１１１全体に薄く塗布される。

封止接着剤塗布装置５では、基板９ではなく、封止基板９９における基板９の塗布領域９１の周囲に対応する領域に封止接着剤が塗布されてもよい。この場合、封止接着剤の封止基板９９への塗布は、基板９に対するマスク部材の貼付、有機ＥＬ液の塗布、および、マスク部材の剥離と並行して行われることが好ましい。これにより、有機ＥＬ表示装置用の基板の製造効率を向上することができる。

塗布システムでは、マスク部材は必ずしも可撓性に富むテープ状の部材には限定されず、所定幅を有するとともに幅に比べて長さが長くある程度以上の剛性を有する帯状の部材（例えば、薄板状の樹脂部材）がマスク部材として利用されてもよい。ただし、上述の実施の形態に係る塗布システムのように、マスク部材がテープ状の部材とされることにより、マスク部材の取り扱いが容易とされ、また、マスク部材貼付装置およびマスク部材剥離装置４におけるマスク部材の貼付および剥離も容易とされる。

また、塗布システムでは、基板９を非塗布領域９２にて切断し、それぞれが１つの塗布領域９１のみを有する複数の小基板に分割する切断装置がマスク部材剥離装置４と封止接着剤塗布装置５との間に設けられてもよい。この場合、封止接着剤塗布装置５において各小基板に対する封止接着剤の塗布が行われ、封止装置６において、小基板と小基板に対応する封止基板との接着が行われる。

塗布装置３では、塗布ヘッド３４に設けられるノズルの本数は３本には限定されず、また、必ずしも３種類の有機ＥＬ液が同時に塗布される必要もない。例えば、３本以上のノズルから同一種類の有機ＥＬ液が同時に吐出されて基板９に塗布されてもよい。この場合、隣接する２本のノズルの間の副走査方向に関する距離は、隔壁ピッチの３倍と等しくされる。なお、基板９の塗布領域９１には、必ずしも隔壁が形成されている必要はなく、塗布装置３では、隔壁が設けられていない塗布領域９１に対して、有機ＥＬ液が所定のピッチにて塗布されてもよい。

また、塗布システムでは、複数の固定型の搬送ロボット８１（図１参照）に代えて、自走式の１つ（または、複数）の搬送ロボットが、マスク部材貼付装置、塗布装置３、マスク部材剥離装置４、封止接着剤塗布装置５および封止装置６へと順に基板９を搬送する基板搬送機構として設けられてもよい。

上記塗布システムは、有機ＥＬ液の塗布以外に、有機ＥＬ表示装置用の基板９に対して正孔輸送材料を含む流動性材料（以下、「正孔輸送液」という。）を塗布する際に、非塗布領域９２に対する正孔輸送液の付着防止に利用されてもよい。ここで、「正孔輸送材料」とは、有機ＥＬ表示装置の正孔輸送層を形成する材料であり、「正孔輸送層」とは、有機ＥＬ材料により形成された有機ＥＬ層へと正孔を輸送する狭義の正孔輸送層のみを意味するのではなく、正孔の注入を行う正孔注入層も含む。

また、塗布システムは、必ずしも有機ＥＬ表示装置用の有機ＥＬ材料または正孔輸送材料を画素形成材料として含む流動性材料の塗布の際にのみ利用されるわけではなく、例えば、液晶表示装置やプラズマ表示装置等の平面表示装置用の基板に対し、着色材料や蛍光材料等の他の種類の画素形成材料を含む流動性材料を塗布する場合やその他の流動性材料を塗布する場合に利用されてもよい。また、他の様々な基板に対する流動性材料の塗布の際に利用されてもよい。

第１の実施の形態に係る塗布システムの構成を示す図である。 基板の平面図である。 基板の一部を示す断面図である。 マスク部材貼付装置の平面図である。 マスク部材貼付装置の正面図である。 マスク部材貼付装置の左側面図である。 貼付ヘッドを拡大して示す左側面図である。 貼付ヘッドの一部を拡大して示す左側面図である。 塗布装置の平面図である。 塗布装置の正面図である。 基板の平面図である。 基板の一部を示す断面図である。 マスク部材剥離装置の平面図である。 剥離ヘッドを拡大して示す左側面図である。 剥離ヘッドの一部を拡大して示す左側面図である。 封止接着剤塗布装置の正面図である。 基板の平面図である。 基板の一部を示す断面図である。 封止装置の正面図である。 第２の実施の形態に係るマスク部材貼付装置の貼付ヘッドを示す左側面図である。 基板の一部を示す断面図である。 第３の実施の形態に係るマスク部材貼付装置の貼付ヘッドを示す左側面図である。

符号の説明

２ マスク部材貼付装置
３ 塗布装置
４ マスク部材剥離装置
５ 封止接着剤塗布装置
６ 封止装置
８ 塗布システム
９ 基板
１１ 粘着剤層
１２，１２ａ マスク部材
２１ 基板保持部
２２ 基板移動機構
２３，２３ａ，２３ｂ 貼付ヘッド
３２ 基板移動機構
３４ 塗布ヘッド
３５ ヘッド移動機構
８１ 搬送ロボット
９０ 主面
９１ 塗布領域
９２ 非塗布領域
９３ 有機ＥＬ液
９４ 封止接着剤
９９ 封止基板
１１１ 粘着材料
１１２ スペーサ
１２０ 庇部
１２１ 基材
１２２ 補助粘着剤層
２３２，２３２ａ ディスペンサ
２３４，２３４ａ マスク部材供給部
２３９ 貼付ローラ
９２０ 境界
９２１ 露出領域
１１０３ 側面
１２０３ 側面
２３４１ ロール

Claims (16)

1. 流動性材料が塗布される基板の主面上の非塗布領域に、前記非塗布領域に対する前記流動性材料の付着を防止するマスク部材を貼付するマスク部材貼付装置であって、
   基板を保持する基板保持部と、
   帯状のマスク部材を、粘着材料と粒状のスペーサとを含む粘着剤層を介して前記基板の主面上の非塗布領域と塗布領域との間の境界と平行に前記非塗布領域に貼付する貼付機構と、
   を備えることを特徴とするマスク部材貼付装置。
2. 請求項１に記載のマスク部材貼付装置であって、
   前記貼付機構が、前記粘着材料と前記スペーサとを含む粘着剤を前記基板の前記主面に塗布することにより前記非塗布領域上に前記粘着剤層を形成する粘着剤塗布機構を備え、
   前記貼付機構により、前記非塗布領域の前記粘着剤層上に前記マスク部材が貼付されることを特徴とするマスク部材貼付装置。
3. 請求項２に記載のマスク部材貼付装置であって、
   前記マスク部材がロールから繰り出されて前記粘着剤層上に貼付されるテープ状の部材であることを特徴とするマスク部材貼付装置。
4. 請求項３に記載のマスク部材貼付装置であって、
   前記マスク部材が、
   テープ状の基材と、
   前記基材の一方の面に形成された補助粘着剤層と、
   を備え、
   前記マスク部材が前記粘着剤層上に貼付される際に、前記補助粘着剤層と前記粘着剤層とが互いに接着されることを特徴とするマスク部材貼付装置。
5. 請求項１に記載のマスク部材貼付装置であって、
   前記マスク部材がロールから繰り出されるテープ状の部材であり、
   前記貼付機構が、
   前記マスク部材を前記ロールから繰り出すマスク部材供給部と、
   前記マスク部材の前記マスク部材供給部から繰り出された部位に、前記粘着材料と前記スペーサとを含む粘着剤を付与することにより、前記マスク部材の一方の面に前記粘着剤層を形成する粘着剤層形成部と、
   前記粘着剤層を前記非塗布領域に接触させつつ前記マスク部材を前記非塗布領域に向けて押圧する押圧部と、
   前記マスク部材が前記押圧部により押圧された状態で、前記基板を前記非塗布領域の前記境界に平行な方向に前記押圧部に対して相対的に移動することにより、前記マスク部材を前記境界に沿って順次貼付する移動機構と、
   を備えることを特徴とするマスク部材貼付装置。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載のマスク部材貼付装置であって、
   前記スペーサが球状の粒子であることを特徴とするマスク部材貼付装置。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載のマスク部材貼付装置であって、
   前記非塗布領域に貼付された前記マスク部材の一方の側部よりも内側に前記粘着剤層が位置し、前記マスク部材の前記粘着剤層から前記塗布領域に向かって側方に突出する部位が前記基板の前記主面から離間する庇部とされることを特徴とするマスク部材貼付装置。
8. 請求項７に記載のマスク部材貼付装置であって、
   前記非塗布領域に貼付された前記マスク部材の他方の側部よりも内側に前記粘着剤層が位置し、前記非塗布領域が前記塗布領域ともう１つの塗布領域との間に位置し、前記マスク部材の前記粘着剤層から前記もう１つの塗布領域に向かって側方に突出する部位が前記基板の前記主面から離間するもう１つの庇部とされることを特徴とするマスク部材貼付装置。
9. 請求項８に記載のマスク部材貼付装置であって、
   前記マスク部材の幅が、前記非塗布領域の幅に等しいことを特徴とするマスク部材貼付装置。
10. 基板に流動性材料を塗布する塗布システムであって、
    請求項１ないし９のいずれかに記載のマスク部材貼付装置と、
    マスク部材が貼付された基板上の前記マスク部材を含む領域に流動性材料を塗布する塗布装置と、
    粘着材料と粒状のスペーサとを含む粘着剤層を前記基板上に残しつつ前記基板から前記マスク部材を剥離するマスク部材剥離装置と、
    前記マスク部材貼付装置、前記塗布装置および前記マスク部材剥離装置へと順に前記基板を搬送する基板搬送機構と、
    を備え、
    前記塗布装置が、
    前記基板に向けて流動性材料を吐出する吐出機構と、
    前記吐出機構を前記基板の主面に平行であって前記マスク部材と交差する主走査方向に前記基板に対して相対的に移動するとともに、前記主走査方向への移動が行われる毎に前記基板を前記吐出機構に対して前記主走査方向に垂直な副走査方向に相対的に移動する移動機構と、
    を備えることを特徴とする塗布システム。
11. 請求項１０に記載の塗布システムであって、
    前記粘着剤層の前記基板に対する粘着力が、前記粘着剤層の前記マスク部材に対する粘着力よりも大きいことを特徴とする塗布システム。
12. 請求項１０または１１に記載の塗布システムであって、
    前記マスク部材が剥離された前記基板の塗布領域の周囲、または、前記塗布領域を封止する封止基板における前記基板の前記塗布領域の周囲に対応する領域に封止接着剤を塗布する封止接着剤塗布装置と、
    前記基板の前記主面に前記粘着剤層を介在させつつ前記封止基板を重ねて前記スペーサにより前記基板と前記封止基板との間の間隙の高さを決定し、前記塗布領域を囲む前記封止接着剤により前記封止基板と前記基板とを接着する封止装置と、
    をさらに備えることを特徴とする塗布システム。
13. 基板に流動性材料を塗布する塗布システムであって、
    請求項７ないし９のいずれかに記載のマスク部材貼付装置と、
    マスク部材が貼付された基板上の前記マスク部材を含む領域に流動性材料を塗布する塗布装置と、
    粘着材料と粒状のスペーサとを含む粘着剤層を前記基板上に残しつつ前記基板から前記マスク部材を剥離するマスク部材剥離装置と、
    前記マスク部材が剥離された前記基板の塗布領域の周囲、または、前記塗布領域を封止する封止基板における前記基板の前記塗布領域の周囲に対応する領域に封止接着剤を塗布する封止接着剤塗布装置と、
    前記基板の前記主面に前記粘着剤層を介在させつつ前記封止基板を重ねて前記スペーサにより前記基板と前記封止基板との間の間隙の高さを決定し、前記塗布領域を囲む前記封止接着剤により前記封止基板と前記基板とを接着する封止装置と、
    前記マスク部材貼付装置、前記塗布装置、前記マスク部材剥離装置、前記封止接着剤塗布装置および前記封止装置へと順に前記基板を搬送する基板搬送機構と、
    を備え、
    前記塗布装置が、
    前記基板に向けて流動性材料を吐出する吐出機構と、
    前記吐出機構を前記基板の主面に平行であって前記マスク部材と交差する主走査方向に前記基板に対して相対的に移動するとともに、前記主走査方向への移動が行われる毎に前記基板を前記吐出機構に対して前記主走査方向に垂直な副走査方向に相対的に移動する移動機構と、
    を備え、
    前記封止接着剤の一部が、前記粘着剤層が設けられる非塗布領域のうち、前記非塗布領域と前記塗布領域との間の境界と前記粘着剤層の側部とに挟まれる領域に設けられることを特徴とする塗布システム。
14. 請求項１３に記載の塗布システムであって、
    前記粘着剤層の前記基板に対する粘着力が、前記粘着剤層の前記マスク部材に対する粘着力よりも大きいことを特徴とする塗布システム。
15. 請求項１０ないし１４のいずれかに記載の塗布システムであって、
    前記流動性材料が、平面表示装置用の画素形成材料を含むことを特徴とする塗布システム。
16. 請求項１５に記載の塗布システムであって、
    前記画素形成材料が、有機ＥＬ表示装置用の有機ＥＬ材料または正孔輸送材料であることを特徴とする塗布システム。

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