JP2009261173A - 振動アクチュエータ駆動装置及び光学機器 - Google Patents

Abstract

【課題】好適な制御が可能な振動アクチュエータ駆動装置を提供すること。
【解決手段】振動アクチュエータ３０を駆動させるための駆動信号を発生させる駆動回路４１と、前記駆動回路４１の近傍に備えられ温度を検出するセンサ４６と、前記センサ４６の出力に応じて前記駆動信号を補正する制御部４３とを含むことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
【選択図】 図２

Description

本発明は、振動アクチュエータ駆動装置及びそれを備えた光学機器に関する。

振動アクチュエータは、例えば、カメラの交換レンズ等に備えられ、オートフォーカスレンズを駆動する駆動モータとして実用化されている。このような振動アクチュエータの駆動装置において、振動子の機械的共振周波数が温度等により変動した場合に、駆動周波数を補正する技術が開示されている（特許文献１参照）。

特開平７−１５９８４号公報

このような振動アクチュエータにおいては、駆動に際して、振動アクチュエータを構成する弾性体の摩擦等による発熱で、圧電素子の温度が上昇してしまい、圧電素子の共振周波数が変化してしまう。ここで、上述の技術では、振動アクチュエータを構成する弾性体に温度センサを接着し、弾性体の温度を測定することにより、振動アクチュエータの駆動周波数を補正し、振動アクチュエータの速度制御を行っている。しかしながら、上述の技術では、振動アクチュエータを構成する弾性体に直接温度センサを接着させるので、温度センサの電源および出力を振動アクチュエータ駆動装置の制御回路に接続するための配線が必要となる。さらには、振動アクチュエータ駆動装置の基板外に配線を引き回すので、温度センサの出力に対して、ノイズがのってしまう場合がある。本発明が解決しようとする課題は、好適な制御が可能な振動アクチュエータ駆動装置及びそれを備えた光学機器を提供することである。

請求項１に係る発明は、振動アクチュエータ（３０）を駆動させるための駆動信号を発生させる駆動回路（４１）と、前記駆動回路（４１）の近傍に備えられ温度を検出するセンサ（４６）と、前記センサ（４６）の出力に応じて前記駆動信号を補正する制御部（４３）とを含むことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記センサ（４６）の出力と前記振動アクチュエータ（３０）の周波数特性との関係を記憶したメモリ（４７）を有し、前記制御部（４３）は、前記メモリ（４７）に記憶された情報を用いて前記駆動信号を補正することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。

請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記駆動回路（４１）は、前記振動アクチュエータを駆動させるための電圧を発生させるインダクタ（５１，６１）を有し、前記センサ（４６）は、前記インダクタ（５１，６１）の温度を直接的又は間接的に検出することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。

請求項４に係る発明は、請求項３に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記駆動回路（４１）は、前記インダクタ（５１，６１）に流れる電流をスイッチングするスイッチング素子（５２，５３，６２，６３）を有し、前記センサ（４６）は、前記スイッチング素子（５２，５３，６２，６３）の温度を直接的又は間接的に検出することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。

請求項５に係る発明は、請求項３又は請求項４に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記インダクタ（５１，６１）は、前記振動アクチュエータ（３０）のキャパシタ成分（３１ａ，３１ｂ）と共振回路を構成していることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。

請求項６に係る発明は、請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記駆動回路（４１）を搭載する基板（４８）と、前記基板に搭載され、前記駆動回路（４１）とは独立した独立回路とを有し、前記センサ（４６）は、前記独立回路よりも前記駆動回路（４１）に近い位置に備えられていることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。

請求項７に係る発明は、請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、前記駆動回路（４１）を搭載する基板（４８）と、前記基板（４８）に搭載され、前記駆動回路（４１）とは独立した独立回路と、前記独立回路の近傍に備えられた、前期独立回路の温度を検出する独立回路用センサ（４６ａ）とを有し、前記制御部（４３）は、前記センサ（４６）の出力と、前記独立回路用センサ（４６ａ）の出力との差を用いて前記駆動信号を補正することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置である。

請求項８に係る発明は、請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された振動アクチュエータ駆動装置と、振動アクチュエータとを含むことを特徴とする光学機器である。

本発明では、好適な制御が可能な振動アクチュエータ駆動装置を提供することができる。

《第１実施形態》
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は第１実施形態のカメラシステム１を示す要部構成図である。本実施形態のカメラシステム１は、撮像素子１１を有するカメラボディ１０と、レンズ２１を有するレンズ鏡筒２０とを備えている。なお、カメラシステム１としては、例えば、一眼レフデジタルカメラ、ビデオカメラ、携帯電話用のカメラ、銀塩フィルムを用いた一眼レフカメラなどが挙げられるが、特にこれらに限定されない。

レンズ鏡筒２０は、カメラボディ１０に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒２０は、交換レンズである例を示したがこれに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。レンズ鏡筒２０は、レンズ２１、カム筒２２、ギア２３，２４、超音波モータ３０、超音波モータ駆動装置４０等を備えている。超音波モータ３０は、カメラシステム１のフォーカス動作時にレンズ２１を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ３０から得られた駆動力は、ギア２３，２４を介してカム筒２２に伝えられる。レンズ２１は、カム筒２２に保持されており、超音波モータ３０の駆動力により、光軸方向へ移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。

本実施形態の超音波モータ３０は、回転型超音波モータであり、円環状の振動子と円環状の相対運動部材（回転子あるいは移動子とも言う）とからなる。円環状の振動子は、円環状の弾性体とこの弾性体に接合された円環状の圧電素子（電気機械エネルギー変換素子）とから構成され、円環状の圧電素子は周回方向に適宜電極が分極されている（例えば１２極程度）。そして、このように分極された圧電素子には、超音波モータ駆動装置４０から、位相が９０度ずれた２つの交流信号が、それらの反転信号と組み合わせて、分極された電極ごとに適宜交互に供給される。これにより圧電素子が振動し、弾性体に進行波の振動が発生し、弾性体に加圧接触された相対運動部材が、弾性体に発生した進行波の振動を受けて回転駆動される。

図２は第１実施形態の超音波モータ駆動装置４０の構成を示す図である。図２に示すように、超音波モータ駆動装置４０は、ドライブ回路４１と、直流電源回路４２と、マイコン４３と、ＭＲ処理センサ４４と、温度センサ４６と、メモリ４７とを有しており、これらが超音波モータ駆動装置用基板４８上に実装されている。

ドライブ回路４１は、超音波モータ３０を構成する圧電素子３１ａ，３１ｂと電気的に接続されており、これら圧電素子３１ａ，３１ｂに、それぞれ位相が９０度ずれた２つの交流信号を供給できるようになっている。なお、圧電素子３１ａ，３１ｂは、超音波モータ３０において、キャパシタ成分を構成することとなる。また、図２中においては、図を簡略化するため、ドライブ回路４１から供給される、位相が９０度ずれた２つの交流信号は、２つの圧電素子３１ａ，３１ｂに供給されるものとして記載しているが、圧電素子３１ａは、一方の交流信号およびその反転信号が供給される分極された圧電素子すべてを意味するものとする。また、同様に、圧電素子３１ｂは、他方の交流信号およびその反転信号が供給される分極された圧電素子すべてを意味するものとする。

図３は第１実施形態のドライブ回路４１の回路構成を示す図である。図３に示すように、ドライブ回路４１は、第１交流信号供給回路５０及び第２交流信号供給回路６０からなり、第１交流信号供給回路５０は、トランス５１、ＭＯＳＦＥＴ５２，５３、ダイオード５４，５５、及びインバータ５６から構成される。また、同様に、第２交流信号供給回路６０は、第１交流信号供給回路５０と同様に、トランス６１、ＭＯＳＦＥＴ６２，６３、ダイオード６４，６５、及びインバータ６６から構成される。そして、第１交流信号供給回路５０のトランス５１及び第２交流信号供給回路６０のトランス６１は、それぞれ、圧電素子３１ａ及び圧電素子３１ｂと共振回路を構成している。

また、図３に示すように、ドライブ回路４１を構成する第１交流信号供給回路５０及び第２交流信号供給回路６０には、直流電源回路４２から直流電流Ｉ１，Ｉ２が、マイコン４３から駆動周波数パルス信号Ｐ１，Ｐ２が、それぞれ供給されるようになっている。

直流電源回路４２は、たとえば、ＤＣ／ＤＣコンバータなどが挙げられ、直流電流Ｉ１，Ｉ２をドライブ回路４１に供給する。

マイコン４３は、超音波モータ駆動装置４０を制御するためのメインＣＰＵである。マイコン４３は、パルス発生回路及びスイッチング制御回路を有しており、これによりドライブ回路４１に駆動周波数パルス信号Ｐ１，Ｐ２を供給する。また、マイコン４３は、ＭＲセンサ処理回路４４により送られた超音波モータ３０の回転速度のデータや、温度センサ４６により測定された温度データが送られるようになっている。そして、これら超音波モータ３０の回転速度のデータや温度データに基づき、ドライブ回路４１に供給する駆動周波数パルス信号を制御できるようになっている。なお、温度センサ４６の温度データに基づく駆動周波数パルス信号の制御については後に詳述する。

ＭＲセンサ処理回路４４は、ＭＲセンサ４５により測定された超音波モータ３０の回転速度を検出して、マイコン４３に出力する。図２に示すように、ＭＲセンサ４５は、超音波モータ３０近傍に設けられ、超音波モータ駆動装置用基板４８外に設けられた配線により、超音波モータ駆動装置用基板４８上のＭＲセンサ処理回路４４と電気的に接続されている。

温度センサ４６は、たとえばサーミスタであり、図２に示すように、超音波モータ駆動装置用基板４８上のドライブ回路４１近傍に備えられており、ドライブ回路４１から発生される温度を検出するとともに、検出された温度がマイコン４３に送られるようになっている。なお、温度センサ４６の設置位置としては、ドライブ回路４１の近傍であれば良く、特に限定されないが、たとえば、ドライブ回路４１のうち、トランス５１，６１の近傍や、ＭＯＳＦＥＴ５２，５３，６２，６３の近傍に設置することができる。温度センサ４６を、これらトランス５１，６１やＭＯＳＦＥＴ５２，５３，６２，６３の近傍に設置することにより、ドライブ回路４１が駆動した際における、トランス５１，６１やＭＯＳＦＥＴ５２，５３，６２，６３の発熱を直接的に検出することができる。なお、これらトランス５１，６１やＭＯＳＦＥＴ５２，５３，６２，６３の近傍に温度センサ４６を設置する方法としては、これらが接続されている配線パターンに温度センサ４６を実装する方法などが挙げられる。

メモリ４７は、温度センサ４６により測定されるドライブ回路４１近傍の温度と、圧電素子の共振周波数及び駆動周波数（圧電素子に印加する交流電圧の周波数）との関係を記憶しており、これらの情報をマイコン４３に送信できるようになっている。

そして、このような超音波モータ駆動装置４０は、次のように動作する。すなわち、まず、マイコン４３に設けられたパルス発生回路およびスイッチング制御回路により、超音波モータ３０を所望の回転速度Ｎで回転させるべく、所望の回転速度Ｎに対応した駆動周波数ｆの位相が９０度ずれた２つのパルス信号Ｐ１，Ｐ２が出力される。出力されたパルス信号Ｐ１，Ｐ２は、マイコン４３から、ドライブ回路４１を構成する第１交流信号供給回路５０及び第２交流信号供給回路６０に、それぞれ供給され、ＭＯＳＦＥＴ５２，６２をオンオフする。ＭＯＳＦＥＴ５２，６２がオンオフ制御されることにより、トランス５１，６１の２次巻線側にパルス信号Ｐ１，Ｐ２と同じ周波数ｆの昇圧された信号Ｃ１，Ｃ２が発生する。

２次巻線側に発生する昇圧された信号Ｃ１，Ｃ２は、超音波モータ３０の圧電素子３１ａ，３１ｂに供給され、圧電素子３１ａ，３１ｂはパルス信号と同じ周波数ｆで振動する。信号Ｃ１，Ｃ２は、位相が９０度ずれている。圧電素子３１ａは、前述したように、分極された複数の圧電素子の集合であり、信号Ｃ１、信号−Ｃ１が供給される圧電素子の集合である。同様に、圧電素子３１ｂも、分極された複数の圧電素子の集合であり、信号Ｃ２、信号−Ｃ２が供給される圧電素子の集合である。なお、信号−Ｃ１、信号−Ｃ２は、信号Ｃ１、信号Ｃ２に対して、グランドと各信号の配線を逆にして配線する信号である。そして、このようにして圧電素子３１ａ，３１ｂに信号Ｃ１，Ｃ２が供給されると、圧電素子３１ａ，３１ｂに接合された弾性体に進行波が発生し、弾性体に加圧接触された相対運動部材は、弾性体に発生した進行波の振動を受け、駆動周波数ｆに対応した回転速度Ｎで回転駆動される。

また、本実施形態においては、このようにして超音波モータ３０が駆動されるとき、駆動周波数ｆの周期において、トランス５１，６１の２次側巻線と圧電素子３１ａ，３１ｂとの直列回路上に設けられたＭＯＳＦＥＴ５３，６３を一定期間オフすることにより、トランス５１，６１と圧電素子３１ａ，３１ｂ間で発生する自由振動を抑制できるようになっている。

図４に、超音波モータ３０の駆動時及び停止時における、超音波モータ３０、ドライブ回路４１近傍及び超音波モータ駆動装置用基板４８端部の温度推移を表すグラフを示す。なお、図４に示すグラフは、室温（２５℃）下で各測定を行ったデータである。図４に示すように、超音波モータ３０の駆動が開始すると、超音波モータ３０の温度（すなわち、超音波モータ３０の圧電素子の温度）は上昇し、一方、超音波モータ３０の駆動を停止すると、超音波モータ３０の温度は下降する。ここで、超音波モータ３０の駆動により、超音波モータ３０の温度が上昇する理由としては、たとえば、超音波モータ３０を構成する弾性体の摩擦等による発熱で、超音波モータ３０を構成する圧電素子の温度が上昇してしまうことが挙げられる。

また、図５に、超音波モータ３０を構成する圧電素子の温度と、圧電素子の共振周波数及び駆動周波数（圧電素子に印加する交流電圧の周波数）との関係を表すグラフを示す。図５に示すように、超音波モータ３０を構成する圧電素子の共振周波数及び駆動周波数は、圧電素子の温度が変化することに伴い変化することなる。そのため、超音波モータ駆動装置４０から超音波モータ３０に供給する信号Ｃ１，Ｃ２（駆動周波数）を一定としても、超音波モータ３０の駆動により圧電素子の温度が変化してしまうため、結果として、超音波モータ３０の回転速度が変化してしまうこととなる。したがって、超音波モータ駆動装置４０において、超音波モータ３０を駆動する際には、超音波モータ３０を構成する圧電素子の温度変化を検出して、温度変化に応じて駆動周波数を補正することが望ましい。

ここで、図４の超音波モータ３０の温度変化（すなわち、超音波モータ３０の圧電素子の温度変化）とドライブ回路４１近傍の温度変化とを参照することにより、超音波モータ３０の駆動が開始すると、超音波モータ３０と同様に、ドライブ回路４１も駆動することとなるため、ドライブ回路４１も発熱し、ドライブ回路４１近傍における温度も上昇することが確認できる。さらに、超音波モータ３０の駆動を停止すると、超音波モータ３０と同様に、ドライブ回路４１も駆動を停止することとなるため、ドライブ回路４１近傍における温度も下降することも確認できる。すなわち、超音波モータ３０の圧電素子とドライブ回路４１近傍とで温度の挙動は近似しているものといえる。

なお、ドライブ回路４１を構成する各要素のうち、トランス５１，６１及びＭＯＳＦＥＴ５２，５３，６２，６３は、ドライブ回路４１が駆動した際における、発熱量が大きいものである。そのため、ドライブ回路４１の近傍に温度センサ４６を設置することにより、その設置位置により、これらトランス５１，６１や、ＭＯＳＦＥＴ５２，５３，６２，６３の温度を直接的又は間接的に検出することとなる。たとえば、トランス５１近傍に温度センサ４６を設置した場合には、トランス５１の温度を直接的に検出するとともに、トランス６１、及びＭＯＳＦＥＴ５２，５３，６２，６３の温度については間接的に検出することとなる。

そして、本実施形態では、ドライブ回路４１の近傍に温度センサ４６を設置することにより、ドライブ回路４１から発生される温度を検出し、この温度を用いて、超音波モータ３０の圧電素子の温度を間接的に測定することができる。なお、図４に示すように、ドライブ回路４１近傍の温度と、超音波モータ３０の温度とは温度の変化の挙動は近似するものの、温度の変化の絶対量は異なるものとなる。そのため、温度センサ４６により測定された温度値は、マイコン４３に送られた際に、マイコン４３により超音波モータ３０の圧電素子の温度に変換されることとなる。そして、マイコン４３は、メモリ４７から、図５に示すような温度センサ４６により測定されるドライブ回路４１近傍の温度（すなわち、超音波モータ３０を構成する圧電素子の温度）と、圧電素子の共振周波数及び駆動周波数との相関データを読み出し、これに基づき、ドライブ回路４１から超音波モータ３０に供給する信号Ｃ１，Ｃ２の周波数を逐次補正する。

このような本実施形態によれば、上記のような構成を採用することにより、超音波モータ駆動装置４０上のドライブ回路４１近傍に温度センサ４６を設けるため、超音波モータ３０に直接温度センサを接着させた場合に必要となる、超音波モータ駆動装置４０と超音波モータ３０との間の配線を不要とすることができ、外来ノイズを除去することができる。また、温度センサ４６を音波モータ３０に接着させる工程が不要となる。更に、基板外への配線を不要としながら、振動アクチュエータの温度変化による共振周波数、駆動周波数の変化を適切に検出でき、好適な制御が可能となる。

しかも、図４からも確認できるように、超音波モータ３０とドライブ回路４１近傍とで温度の挙動は近似しているため、超音波モータ３０の温度変化を適切に検出することができ、温度変化に応じて駆動周波数を適切に補正することができる。加えて、図４からも明らかなように、超音波モータの駆動及び停止による、ドライブ回路４１近傍の温度変化は比較的に大きいものであるため、温度センサ４６として高精度なセンサを用いる必要もない。

《第２実施形態》
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本発明の第２実施形態は、以下に説明する以外は、上述の第１実施形態と同様の構成を有し、同様の作用効果を奏するものである。

図６は、第２実施形態の超音波モータ駆動装置４０ａの構成を示す図である。第２実施形態の超音波モータ駆動装置４０ａには、ドライブ回路４１近傍に設けた温度センサ４６に加えて、超音波モータ駆動装置用基板４８の端部付近に温度センサ４６ａが設けられている点で第１実施形態と異なる。すなわち、温度センサ４６ａを温度センサ４６及びドライブ回路４１から離れた位置に配置した構成としている。温度センサ４６ａを用いてドライブ回路４１による影響が少ない超音波モータ駆動装置用基板４８の温度を検出するためである。

そして、第２実施形態では、超音波モータ３０の温度を間接的に測定しマイコン４３により、ドライブ回路４１から超音波モータ３０に供給する信号Ｃ１，Ｃ２の周波数を逐次補正する際に、ドライブ回路４１近傍に設けた温度センサ４６の測定値だけでなく、超音波モータ駆動装置用基板４８の端部付近に設けた温度センサ４６ａの測定値も用いる。すなわち、温度センサ４６の測定値と温度センサ４６ａの測定値との差分をとり、この値に基づき、逐次補正する。

超音波モータ駆動装置用基板４８上に、ドライブ回路４１以外に発熱する部品が搭載される場合の他、直流電源回路４２により直流電源が供給される部品がドライブ回路４１以外にあり、これらの負荷変動により直流電源回路４２の発熱量が変動する場合がある。このような場合には、ドライブ回路４１付近の温度変化と、超音波モータ３０との間の温度変化の挙動が近似しなくなる場合がある。これに対して、第２実施形態によれば、ドライブ回路４１近傍に設けた温度センサ４６に加えて、超音波モータ駆動装置用基板４８の端部付近に温度センサ４６ａが設け、これらの測定値の差分をとることにより、上記問題を有効に解決できるものである。また、温度センサ４６ａは、ドライブ回路４１以外の発熱する部品や、直流電源回路４２の近傍に設置することも好ましい。この場合、温度センサ４６ａを用いて、ドライブ回路４１以外の発熱する部品、回路等の温度を検出し、温度センサ４６と温度センサ４６ａとの検出値の差分をとることが好ましい。検出値の差分をとることにより、ドライブ回路４１以外の発熱する部品の影響を除去できるからである。

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

図１は第１実施形態のカメラシステム１を示す要部構成図である。 図２は第１実施形態の超音波モータ駆動装置の構成を示す図である。 図３は第１実施形態のドライブ回路の回路構成を示す図である。 図４は超音波モータの駆動時及び停止時における、超音波モータ、ドライブ回路近傍及び超音波モータ駆動装置用基板端部の温度推移を示すグラフである。 図５は超音波モータを構成する圧電素子の温度と、圧電素子の共振周波数及び駆動周波数との関係を表すグラフである。 図６は第２実施形態の超音波モータ駆動装置の構成を示す図である。

符号の説明

１…カメラシステム
１０…カメラボディ
２０…レンズ鏡筒
３０…超音波モータ
３１ａ，３１ｂ…圧電素子
４０，４０ａ…超音波モータ駆動装置
４１…ドライブ回路
４２…直流電源回路
４３…マイコン
４６，４６ａ…温度センサ
４７…メモリ

Claims (8)

1. 振動アクチュエータを駆動させるための駆動信号を発生させる駆動回路と、
   前記駆動回路の近傍に備えられ温度を検出するセンサと、
   前記センサの出力に応じて前記駆動信号を補正する制御部とを含むことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
2. 請求項１に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、
   前記センサの出力と前記振動アクチュエータの周波数特性との関係を記憶したメモリを有し、
   前記制御部は、前記メモリに記憶された情報を用いて前記駆動信号を補正することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、
   前記駆動回路は、前記振動アクチュエータを駆動させるための電圧を発生させるインダクタを有し、
   前記センサは、前記インダクタの温度を直接的又は間接的に検出することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
4. 請求項３に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、
   前記駆動回路は、前記インダクタに流れる電流をスイッチングするスイッチング素子を有し、
   前記センサは、前記スイッチング素子の温度を直接的又は間接的に検出することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
5. 請求項３又は請求項４に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、
   前記インダクタは、前記振動アクチュエータのキャパシタ成分と共振回路を構成していることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
6. 請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、
   前記駆動回路を搭載する基板と、
   前記基板に搭載され、前記駆動回路とは独立した独立回路とを有し、
   前記センサは、前記独立回路よりも前記駆動回路に近い位置に備えられていることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
7. 請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された振動アクチュエータ駆動装置であって、
   前記駆動回路を搭載する基板と、
   前記基板に搭載され、前記駆動回路とは独立した独立回路と、
   前記独立回路の近傍に備えられた、前期独立回路の温度を検出する独立回路用センサとを有し、
   前記制御部は、前記センサの出力と、前記独立回路用センサの出力との差を用いて前記駆動信号を補正することを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
8. 請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された振動アクチュエータ駆動装置と、振動アクチュエータとを含むことを特徴とする光学機器。

Images