[go: up one dir, main page]

JP2009248066A - Ultrasonic cleaning device - Google Patents

Ultrasonic cleaning device Download PDF

Info

Publication number
JP2009248066A
JP2009248066A JP2008103090A JP2008103090A JP2009248066A JP 2009248066 A JP2009248066 A JP 2009248066A JP 2008103090 A JP2008103090 A JP 2008103090A JP 2008103090 A JP2008103090 A JP 2008103090A JP 2009248066 A JP2009248066 A JP 2009248066A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic
cleaning
sweep
frequency
khz
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008103090A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Haruki Shioiri
春樹 塩入
Isao Motegi
功男 茂手木
Takahiro Hanaishi
隆裕 花石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tiyoda Electric Co Ltd
Original Assignee
Tiyoda Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tiyoda Electric Co Ltd filed Critical Tiyoda Electric Co Ltd
Priority to JP2008103090A priority Critical patent/JP2009248066A/en
Publication of JP2009248066A publication Critical patent/JP2009248066A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic cleaning device having a high cleaning capacity. <P>SOLUTION: The ultrasonic cleaning device 30 for cleaning a cleaning object in a cleaning tank 31 by applying ultrasonic vibration to liquid in the cleaning tank 31, is provided with a control part 46 controlling the whole liquid in the cleaning tank 31 to greatly vibrate by sweeping the oscillation frequency of ultrasonic wave within a given frequency range, and sweeping the sweep of the oscillation frequency with a given period. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、洗浄槽内の液体に超音波振動を印加して、洗浄槽内の被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置に関する。   The present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus for cleaning an object to be cleaned in a cleaning tank by applying ultrasonic vibration to a liquid in the cleaning tank.

超音波振動を洗浄槽内の液体に加えることにより、洗浄槽内の被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置が、従来より良く知られている。
超音波洗浄装置においては、単一の周波数では洗浄ムラなどが生じることから、超音波振動の周波数をスイープ(掃引)することで、十分な洗浄効果を得ようとしている(例えば特許文献1参照)。
2. Description of the Related Art Conventionally, an ultrasonic cleaning apparatus that cleans an object to be cleaned in a cleaning tank by applying ultrasonic vibration to a liquid in the cleaning tank is well known.
In an ultrasonic cleaning apparatus, cleaning unevenness or the like occurs at a single frequency. Therefore, a sufficient cleaning effect is obtained by sweeping the frequency of ultrasonic vibration (see, for example, Patent Document 1). .

なお、特許文献2には、超音波周波数を、40.6kHz〜37.4kHzまで0.125μsごとに変化させる旨が開示されている。
また、特許文献3には、超音波発生機構が2系統設けられており、一方の超音波発生機構では25kHz〜31kHzまで40msごとに変化させ、他方の超音波発生機構では34kHz〜42kHzまで40msごとに変化させることが開示されている。
Patent Document 2 discloses that the ultrasonic frequency is changed from 40.6 kHz to 37.4 kHz every 0.125 μs.
Patent Document 3 is provided with two ultrasonic generation mechanisms. One ultrasonic generation mechanism changes the frequency from 25 kHz to 31 kHz every 40 ms, and the other ultrasonic generation mechanism changes every 34 ms from 34 kHz to 42 kHz. Is disclosed.

特開平2−52083号公報JP-A-2-52083 特開平5−301078号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-301078 特開平8−131978号公報Japanese Patent Laid-Open No. 8-131978

上述したように、従来の超音波洗浄装置では、超音波をスイープさせる構成は良く知られているが、さらに高い洗浄能力が要求されているという課題がある。   As described above, in a conventional ultrasonic cleaning apparatus, a configuration for sweeping ultrasonic waves is well known, but there is a problem that higher cleaning capability is required.

本発明者等は、さらに洗浄効率を上げるべく鋭意検討を重ねた。この結果、周波数をスイープさせる場合に、さらにこのスイープ周期でスイープさせると、非常に高い洗浄能力が示されることが判明し、本発明に想到した。   The present inventors made extensive studies to further increase the cleaning efficiency. As a result, it was found that when the frequency is swept, further sweeping at this sweep cycle shows a very high cleaning ability, and the present invention has been conceived.

そこで、本発明は上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、高い洗浄能力を有する超音波洗浄装置を提供することにある。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic cleaning apparatus having a high cleaning ability.

本発明にかかる超音波洗浄装置によれば、洗浄槽内の液体に超音波振動を印加して、洗浄槽内の被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、超音波の発振周波数を、所定の周波数の範囲内でスイープさせ、且つ発振周波数のスイープを所定の周期でスイープさせることによって洗浄槽内の液体全体が大きく振動するように制御する制御部とを具備することを特徴としている。
この構成を採用することによって、発振周波数のスイープを、さらに所定の周期でスイープさせた場合において、それぞれのスイープが所定の周波数(周期)のとき、洗浄槽内の液体全体が大きく振動する(本明細書中では、これを共振と称する場合がある)。そこで、本発明の超音波洗浄装置は、液体が共振するように、制御部が各スイープを制御するので、極めて洗浄能力の高い超音波洗浄装置とすることができる。
According to the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention, in the ultrasonic cleaning apparatus that applies ultrasonic vibration to the liquid in the cleaning tank and cleans the object to be cleaned in the cleaning tank, the ultrasonic oscillation frequency is set to a predetermined value. And a controller that controls the entire liquid in the cleaning tank to vibrate greatly by sweeping within the frequency range and sweeping the oscillation frequency at a predetermined cycle.
By adopting this configuration, when the sweep of the oscillation frequency is further swept at a predetermined cycle, the entire liquid in the cleaning tank vibrates greatly when each sweep has a predetermined frequency (cycle). In the specification, this may be referred to as resonance). Therefore, the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention can be an ultrasonic cleaning apparatus with extremely high cleaning capability because the control unit controls each sweep so that the liquid resonates.

また、超音波の発振周波数のスイープ範囲は、3kHz〜8kHzであることを特徴とするとよい。
さらに、前記スイープの周期は、周波数にすると100Hz〜1000Hzであることを特徴とするとよい。
これらのスイープ範囲で共振が生じることが実験的に判明している。
Further, the sweep range of the ultrasonic oscillation frequency may be 3 kHz to 8 kHz.
Furthermore, the sweep cycle may be 100 Hz to 1000 Hz in terms of frequency.
It has been experimentally found that resonance occurs in these sweep ranges.

本発明の超音波洗浄装置によれば、洗浄槽内の液体全体を大きく振動させて、極めて高い洗浄能力を発揮することができる。   According to the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention, the entire liquid in the cleaning tank can be vibrated greatly, and extremely high cleaning performance can be exhibited.

以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて説明する。
図1に、超音波洗浄装置のブロック図を示す。
超音波洗浄装置30は、洗浄用の液体と被洗浄物が浸漬される洗浄槽31を備えており、洗浄槽31の底部31aに振動子32を有している。また、超音波洗浄装置30は、振動子32を駆動するための駆動回路34を備えている。
振動子32は、駆動回路34からの電気信号が入力され、この電気信号に基づいて機械的な振動を発生させる機能を有している。
Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 shows a block diagram of the ultrasonic cleaning apparatus.
The ultrasonic cleaning apparatus 30 includes a cleaning tank 31 in which a cleaning liquid and an object to be cleaned are immersed, and has a vibrator 32 at the bottom 31 a of the cleaning tank 31. Further, the ultrasonic cleaning device 30 includes a drive circuit 34 for driving the vibrator 32.
The vibrator 32 has a function of receiving an electrical signal from the drive circuit 34 and generating mechanical vibration based on the electrical signal.

本実施形態の超音波洗浄装置30では、洗浄槽31で生じる超音波周波数は、少なくとも3kHz〜8kHzの範囲でスイープ可能に設けられている。
さらに、このスイープの周期(周波数)は、少なくとも100Hz〜1000Hzの範囲でスイープ可能に設けられている。
In the ultrasonic cleaning device 30 of the present embodiment, the ultrasonic frequency generated in the cleaning tank 31 is provided so as to be able to sweep in a range of at least 3 kHz to 8 kHz.
Further, the sweep period (frequency) is set to be sweepable in a range of at least 100 Hz to 1000 Hz.

このように、超音波周波数を3kHz〜8kHzの範囲でスイープし、このスイープの周期(周波数)をさらに100Hz〜1000Hzの範囲でスイープすることで、洗浄槽31内の液体全体が大きく振動することが判明した。
このように、洗浄槽31内の液体全体が大きく振動することにより、部分的な洗浄ムラを無くし、また全体として洗浄効率が極めて高くなる。
In this way, the entire liquid in the cleaning tank 31 may vibrate greatly by sweeping the ultrasonic frequency in the range of 3 kHz to 8 kHz and further sweeping the frequency (frequency) of this sweep in the range of 100 Hz to 1000 Hz. found.
As described above, the entire liquid in the cleaning tank 31 vibrates greatly, thereby eliminating partial cleaning unevenness and extremely increasing the cleaning efficiency as a whole.

以下、振動子32を駆動させる駆動回路34の構成について説明する。
駆動回路34は、商用電源から入力された交流100Vまたは200V(50Hzまたは60Hz)から、所定の周波数の電気信号を生成して振動子32に供給するものである。
駆動回路34は、商用電源から入力された交流100Vまたは200Vを電力制御する電力制御部36を設けている。電力制御部36としては、トライアックなどが挙げられる。
Hereinafter, the configuration of the drive circuit 34 that drives the vibrator 32 will be described.
The drive circuit 34 generates an electrical signal having a predetermined frequency from an alternating current 100 V or 200 V (50 Hz or 60 Hz) input from a commercial power supply and supplies the electrical signal to the vibrator 32.
The drive circuit 34 is provided with a power control unit 36 that performs power control of AC 100V or 200V input from a commercial power source. Examples of the power control unit 36 include a triac.

電力制御部36の後段には、整流回路部38が設けられている。整流回路部38は、ブリッジ回路などから構成され、入力された交流を全波整流する。
整流回路部38の後段には、平滑回路部40が設けられている。平滑回路部40は、主として大容量のコンデンサ等が採用される。平滑回路部40によって、全波整流された波形が平滑されて滑らかな波形となる。
A rectifier circuit unit 38 is provided following the power control unit 36. The rectifier circuit unit 38 is configured by a bridge circuit or the like, and full-wave rectifies the input alternating current.
A smoothing circuit unit 40 is provided after the rectifying circuit unit 38. The smoothing circuit unit 40 mainly employs a large capacity capacitor or the like. The smoothing circuit unit 40 smoothes the full-wave rectified waveform to form a smooth waveform.

また、平滑回路部40の後段には、電力増幅部42が設けられている。電力増幅部42では、整流された電圧を所定の周波数となるようにスイッチングして出力する機能を有している。電力増幅部42は、後述する制御部46によってそのスイッチング周波数が制御される。
電力増幅部42の後段には、位相補正部44が設けられている。位相補正部44は、振動子32のリアクタンス成分による位相のズレを補正するものである。
Further, a power amplifying unit 42 is provided after the smoothing circuit unit 40. The power amplifying unit 42 has a function of switching and outputting the rectified voltage to have a predetermined frequency. The switching frequency of the power amplifying unit 42 is controlled by a control unit 46 described later.
A phase correction unit 44 is provided following the power amplification unit 42. The phase correction unit 44 corrects a phase shift due to a reactance component of the vibrator 32.

続いて、図3に基づいて、制御部46について説明する。
制御部46は、超音波洗浄装置30全体の動作を制御可能に設けられている。そして、制御部46によって、振動子32の発振周波数のスイープおよびこのスイープ幅のスイープを制御することができる。
Next, the control unit 46 will be described with reference to FIG.
The control part 46 is provided so that operation | movement of the ultrasonic cleaning apparatus 30 whole is controllable. The control unit 46 can control the sweep of the oscillation frequency of the vibrator 32 and the sweep of the sweep width.

制御部46は、CPU48と、発振器50と、ゲートドライバ52とを備えている。CPU48は、ユーザが操作可能な操作部54に接続されており、ユーザが指定した動作を実行するように発振器50や、電力制御部36に制御信号を出力し、所定の動作を実行させる。なお、発振器50としては、DDSなどが採用される。   The control unit 46 includes a CPU 48, an oscillator 50, and a gate driver 52. The CPU 48 is connected to an operation unit 54 that can be operated by the user, and outputs a control signal to the oscillator 50 and the power control unit 36 so as to execute an operation specified by the user, thereby executing a predetermined operation. A DDS or the like is employed as the oscillator 50.

操作部54では、ユーザが超音波の発振周波数のスイープ範囲を選択可能な第1のスイッチ54aと、スイープ範囲のスイープ周期を選択可能な第2のスイッチ54bを設けている。
操作部54において、第1のスイッチ54aまたは第2のスイッチ54bが操作されると、制御部46のCPU48は、超音波の発振周波数のスイープ範囲が第1のスイッチ54aで指示された範囲でスイープするように、発振器50を制御し、且つ発振周波数のスイープのスイープ周期が第2のスイッチ54bで指示された範囲となるように発振器50を制御する。
The operation unit 54 includes a first switch 54a that allows the user to select a sweep range of the ultrasonic oscillation frequency and a second switch 54b that allows the sweep period of the sweep range to be selected.
When the first switch 54a or the second switch 54b is operated in the operation unit 54, the CPU 48 of the control unit 46 sweeps the sweep range of the ultrasonic oscillation frequency within the range instructed by the first switch 54a. Thus, the oscillator 50 is controlled, and the oscillator 50 is controlled so that the sweep period of the oscillation frequency sweep falls within the range designated by the second switch 54b.

このため、電力増幅部42では、発振周波数が第1のスイッチ54aで指示された範囲でスイープし、且つ発振周波数のスイープのスイープ周期が第2のスイッチ54bで指示された範囲となるように、振動子32へ出力する電気信号をスイッチングする。
このように、ユーザが発振周波数のスイープ範囲と、このスイープ周期を選択することができる。
Therefore, in the power amplifying unit 42, the oscillation frequency is swept within the range designated by the first switch 54a, and the sweep cycle of the oscillation frequency sweep is within the range designated by the second switch 54b. The electrical signal output to the vibrator 32 is switched.
Thus, the user can select the sweep range of the oscillation frequency and the sweep cycle.

超音波を所定の範囲でスイープさせ、このスイープを所定の周期でスイープさせたとき、いずれの範囲で共振が発生したかを、図3に示す。
なお、このときの測定条件としては、洗浄槽31は、厚さ1.5mmのステンレス製であり、縦、横および深さが600mmのものを採用した。
洗浄槽31内の液体は、純水であり、液温は35℃。また、水位は振動子32の上面から200mmの位置に設定した。
なお、音圧計としては、本多電子株式会社製のポータブル型超音波音圧計(型式:HUS−5)を用いた。
FIG. 3 shows in which range the resonance occurs when the ultrasonic wave is swept in a predetermined range and this sweep is swept in a predetermined cycle.
In addition, as the measurement conditions at this time, the washing tank 31 is made of stainless steel having a thickness of 1.5 mm, and the length, width, and depth are 600 mm.
The liquid in the cleaning tank 31 is pure water, and the liquid temperature is 35 ° C. The water level was set at a position 200 mm from the upper surface of the vibrator 32.
A portable ultrasonic sound pressure meter (model: HUS-5) manufactured by Honda Electronics Co., Ltd. was used as the sound pressure meter.

図3に示すように、超音波のスイープ範囲を3kHz〜8kHzで変化させ、スイープ範囲のスイープ周期(周波数)を10Hz〜1000Hzで変化させたとき、音圧の最大値と最小値を測定した。超音波のスイープ範囲における音圧の測定は、1kHzおきに行った。また、スイープ周期(周波数)は、10Hz、20Hzおよび50Hzで測定し、100Hz〜1000Hzの間は100Hzおきで測定した。
このように測定した結果、図4の太枠の範囲内で共振が発生した。ここで言う共振とは、上述したように、液体全体が大きく振動することである。そして液体表面が大きく波立っている。
As shown in FIG. 3, when the sweep range of the ultrasonic wave was changed from 3 kHz to 8 kHz and the sweep period (frequency) of the sweep range was changed from 10 Hz to 1000 Hz, the maximum value and the minimum value of the sound pressure were measured. The measurement of the sound pressure in the ultrasonic sweep range was performed every 1 kHz. Moreover, the sweep period (frequency) was measured at 10 Hz, 20 Hz, and 50 Hz, and was measured at intervals of 100 Hz between 100 Hz and 1000 Hz.
As a result of the measurement, resonance occurred within the range of the thick frame in FIG. The resonance mentioned here means that the entire liquid vibrates greatly as described above. And the liquid surface is greatly rippled.

したがって、超音波のスイープ範囲を3kHz〜8kHzとし、このスイープの周期(周波数)を100Hz〜1000Hzとすることにより、共振が発生し、洗浄能力が極めて大きくなるということが実験的に確認できた。   Therefore, it was experimentally confirmed that the resonance occurs and the cleaning ability becomes extremely large by setting the ultrasonic sweep range to 3 kHz to 8 kHz and the sweep period (frequency) to 100 Hz to 1000 Hz.

以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもちろんである。   While the present invention has been described in detail with reference to a preferred embodiment, the present invention is not limited to this embodiment, and it goes without saying that many modifications can be made without departing from the spirit of the invention. .

本発明の超音波洗浄装置の全体構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the whole structure of the ultrasonic cleaning apparatus of this invention. 制御部のブロック図である。It is a block diagram of a control part. 超音波を所定の範囲でスイープさせ、このスイープを所定の周期でスイープさせたときの音圧の変化と、共振の発生を示す表である。6 is a table showing changes in sound pressure and occurrence of resonance when an ultrasonic wave is swept within a predetermined range and this sweep is swept in a predetermined period.

符号の説明Explanation of symbols

30 超音波洗浄装置
31 洗浄槽
31a 底部
32 振動子
34 駆動回路
36 電力制御部
38 整流回路部
40 平滑回路部
42 電力増幅部
44 位相補正部
46 制御部
48 CPU
50 発振器
52 ゲートドライバ
54 操作部
30 Ultrasonic cleaning device 31 Cleaning tank 31a Bottom 32 Vibrator 34 Drive circuit 36 Power control unit 38 Rectification circuit unit 40 Smoothing circuit unit 42 Power amplification unit 44 Phase correction unit 46 Control unit 48 CPU
50 Oscillator 52 Gate Driver 54 Operation Unit

Claims (3)

洗浄槽内の液体に超音波振動を印加して、洗浄槽内の被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、
超音波の発振周波数を、所定の周波数の範囲内でスイープさせ、且つ発振周波数のスイープを所定の周期でスイープさせることによって洗浄槽内の液体全体が大きく振動するように制御する制御部とを具備することを特徴とする超音波洗浄装置。
In the ultrasonic cleaning device that applies ultrasonic vibration to the liquid in the cleaning tank and cleans the object to be cleaned in the cleaning tank,
A control unit that sweeps the oscillation frequency of the ultrasonic wave within a predetermined frequency range and sweeps the oscillation frequency at a predetermined cycle so that the entire liquid in the cleaning tank vibrates greatly. An ultrasonic cleaning apparatus characterized by:
超音波の発振周波数のスイープ範囲は、3kHz〜8kHzであることを特徴とする請求項1記載の超音波洗浄装置。   The ultrasonic cleaning apparatus according to claim 1, wherein the sweep range of the ultrasonic oscillation frequency is 3 kHz to 8 kHz. 前記スイープの周期は、周波数にすると100Hz〜1000Hzであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の超音波洗浄装置。   The ultrasonic cleaning apparatus according to claim 1 or 2, wherein the frequency of the sweep is 100 Hz to 1000 Hz in terms of frequency.
JP2008103090A 2008-04-11 2008-04-11 Ultrasonic cleaning device Pending JP2009248066A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008103090A JP2009248066A (en) 2008-04-11 2008-04-11 Ultrasonic cleaning device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008103090A JP2009248066A (en) 2008-04-11 2008-04-11 Ultrasonic cleaning device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009248066A true JP2009248066A (en) 2009-10-29

Family

ID=41309247

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008103090A Pending JP2009248066A (en) 2008-04-11 2008-04-11 Ultrasonic cleaning device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009248066A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011052324A1 (en) 2009-10-28 2011-05-05 日本電気株式会社 Mobile information terminal, processing method, and program
JP2020015941A (en) * 2018-07-24 2020-01-30 日本製鉄株式会社 Ultrasonic processing apparatus and fine bubble supply method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5834871A (en) * 1996-08-05 1998-11-10 Puskas; William L. Apparatus and methods for cleaning and/or processing delicate parts
JP2001232312A (en) * 2000-02-24 2001-08-28 Shin Etsu Chem Co Ltd Cleaning method of pellicle adhesive layer protective liner
WO2007109255A2 (en) * 2006-03-17 2007-09-27 Goodson Michael J Megasonic processing apparatus with frequency sweeping of thickness mode transducers

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5834871A (en) * 1996-08-05 1998-11-10 Puskas; William L. Apparatus and methods for cleaning and/or processing delicate parts
JP2001232312A (en) * 2000-02-24 2001-08-28 Shin Etsu Chem Co Ltd Cleaning method of pellicle adhesive layer protective liner
WO2007109255A2 (en) * 2006-03-17 2007-09-27 Goodson Michael J Megasonic processing apparatus with frequency sweeping of thickness mode transducers

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011052324A1 (en) 2009-10-28 2011-05-05 日本電気株式会社 Mobile information terminal, processing method, and program
JP2020015941A (en) * 2018-07-24 2020-01-30 日本製鉄株式会社 Ultrasonic processing apparatus and fine bubble supply method
JP7024646B2 (en) 2018-07-24 2022-02-24 日本製鉄株式会社 Ultrasonic processing equipment and fine bubble supply method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5938718B2 (en) Induction heating cooker and its control method
KR101049300B1 (en) Ultrasonic Cleaner
JP5635094B2 (en) Method and device for matching frequency of drive current of electric motor
JP4997123B2 (en) Ultrasonic cleaning equipment
JP2015212820A5 (en) Dust removing device and device equipped with the dust removing device
KR102209002B1 (en) Ultrasonic cleaning station responding cleansing environmental change
JP2013086059A (en) Ultrasonic cleaning apparatus
JP2009248066A (en) Ultrasonic cleaning device
JP6071594B2 (en) Ultrasonic cleaning equipment
JP5340096B2 (en) Ultrasonic cleaning equipment
KR20200133701A (en) Ultrasonic cleaning station using dual frequency
CN101125327B (en) Ultrasonic driving device with complex frequency scanning
KR100972085B1 (en) Method for suppling maximum efficiency power of ultrasonic cleaner
KR20220147912A (en) Time division ultrasonic cleaner
CN108512434A (en) A kind of ultrasonic bonding supply frequency fuzzy self-adaption chases after frequency method
JP4904326B2 (en) Ultrasonic cleaning equipment
JP7478430B2 (en) Ultrasonic Cleaning Equipment
JP7231914B1 (en) SPACE-SAVING PORTABLE ULTRASONIC WASHER AND CLEANING METHOD USING THE SAME
JP2008219420A (en) Ultrasonic oscillator
JP2024046205A (en) Ultrasonic washing machine
KR20040089162A (en) Ultrasonic generator
JP2024029425A (en) Ultrasonic cleaning machine output control device
KR100584923B1 (en) Ultrasonic generator for 2-frequency cleaning
JP4915116B2 (en) Inverter control device and compressor
JP2007311379A (en) Ultrasonic cleaning apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20110404

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A977 Report on retrieval

Effective date: 20120803

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120814

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20121211