JP2009138165A - Conductor pattern forming ink, conductor pattern and wiring board - Google Patents
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Abstract
【課題】液滴の吐出安定性に優れ、形成される導体パターンでのクラック、断線の発生を防止することができる導体パターン形成用インクを提供すること、信頼性の高い導体パターンを提供すること、および、このような導体パターンを備え、信頼性の高い配線基板を提供すること。
【解決手段】本発明の導体パターン形成用インクは、液滴吐出法により、基板上に導体パターンを形成するための導体パターン形成用インクであって、平均粒径D[nm]の金属粒子と、水系分散媒と、有機バインダーとを含み、導体パターン形成用インク中における隣接する前記金属粒子同士の平均粒子間距離をL1[nm]としたとき、1.7≦L1/D≦3.8の関係を満足し、導体パターン形成用インクから前記水系分散媒を除去した時の隣接する前記金属粒子同士の平均粒子間距離をL2[nm]としたとき、1.03≦L2/D≦1.6の関係を満足することを特徴とする。
【選択図】なしAn object of the present invention is to provide an ink for forming a conductor pattern that has excellent droplet ejection stability and can prevent the occurrence of cracks and breaks in the formed conductor pattern, and to provide a highly reliable conductor pattern. And providing a highly reliable wiring board provided with such a conductor pattern.
The conductive pattern forming ink of the present invention is a conductive pattern forming ink for forming a conductive pattern on a substrate by a droplet discharge method, and includes metal particles having an average particle diameter D [nm] When the average inter-particle distance between the adjacent metal particles in the conductive pattern forming ink is L 1 [nm], including an aqueous dispersion medium and an organic binder, 1.7 ≦ L 1 / D ≦ 3 .8, and when the average inter-particle distance between adjacent metal particles when the aqueous dispersion medium is removed from the conductive pattern forming ink is L 2 [nm], 1.03 ≦ L 2 The relationship of /D≦1.6 is satisfied.
[Selection figure] None
Description
本発明は、導体パターン形成用インク、導体パターンおよび配線基板に関するものである。 The present invention relates to a conductor pattern forming ink, a conductor pattern, and a wiring board.
電子部品が実装される回路基板(配線基板)として、セラミックスで構成された基板(セラミックス基板)上に、金属材料で構成された配線が形成されたセラミックス回路基板が、広く用いられている。このようなセラミックス回路基板では、基板(セラミックス基板)自体が、多機能性材料で構成されているため、多層化による内装部品の形成、寸法の安定性等の点で有利である。
そして、このようなセラミックス回路基板は、セラミックス粒子とバインダーとを含む材料で構成されたセラミックス成形体上に、形成すべき配線(導体パターン)に対応するパターンで、金属粒子を含む組成物を付与し、その後、当該組成物が付与されたセラミックス成形体に対し、脱脂、焼結処理を施すことにより製造されている。
As a circuit board (wiring board) on which electronic components are mounted, a ceramic circuit board in which wiring made of a metal material is formed on a board made of ceramics (ceramic board) is widely used. In such a ceramic circuit board, since the board (ceramic board) itself is made of a multifunctional material, it is advantageous in terms of formation of interior parts by multi-layering, dimensional stability, and the like.
Such a ceramic circuit board is provided with a composition containing metal particles in a pattern corresponding to a wiring (conductor pattern) to be formed on a ceramic molded body made of a material containing ceramic particles and a binder. Thereafter, the ceramic molded body to which the composition is applied is manufactured by degreasing and sintering.
セラミックス成形体上へのパターン形成の方法としては、スクリーン印刷法が広く用いられている。その一方で、近年、配線の微細化(例えば、線幅:60μm以下の配線)、狭ピッチ化による回路基板の高密度化が求められているが、スクリーン印刷法では、配線の微細化、狭ピッチ化に不利であり、上記のような要求に応えるのが困難である。
そこで、近年、セラミックス成形体上へのパターン形成の方法として、液体吐出ヘッドから金属粒子を含む液体材料(導体パターン形成用インク)を液滴状に吐出する液滴吐出法、いわゆるインクジェット法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
A screen printing method is widely used as a method for forming a pattern on a ceramic molded body. On the other hand, in recent years, miniaturization of wiring (for example, wiring with a line width of 60 μm or less) and high density circuit boards by narrowing the pitch have been demanded. It is disadvantageous for pitching and it is difficult to meet the above requirements.
Therefore, in recent years, a so-called ink jet method has been proposed as a method for forming a pattern on a ceramic molded body, in which a liquid material containing metal particles (ink for forming a conductor pattern) is ejected in droplets from a liquid ejection head. (For example, refer to Patent Document 1).
しかし、従来のインクを用いて基板にパターンを形成した場合、基板上に形成されたパターンから、分散媒を取り除く際や、パターンを焼結する際に、パターン中に亀裂(クラック)が生じやすく、結果として形成した導体パターンの一部に断線が生じやすいものとなっていた。特に、近年の配線の微細化、狭ピッチ化による回路基板の高密度化に伴い、このような問題の発生が顕著であった。 However, when a pattern is formed on a substrate using conventional ink, cracks are easily generated in the pattern when the dispersion medium is removed from the pattern formed on the substrate or when the pattern is sintered. As a result, disconnection is likely to occur in a part of the formed conductor pattern. In particular, the occurrence of such a problem has been remarkable with the recent increase in the density of circuit boards due to the miniaturization of wiring and the reduction in pitch.
本発明の目的は、液滴の吐出安定性に優れ、形成される導体パターンでのクラック、断線の発生を防止することができる導体パターン形成用インクを提供すること、信頼性の高い導体パターンを提供すること、および、このような導体パターンを備え、信頼性の高い配線基板を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a conductive pattern forming ink that has excellent droplet ejection stability and can prevent cracks and breaks in the formed conductive pattern, and a highly reliable conductive pattern. An object of the present invention is to provide a highly reliable wiring board having such a conductor pattern.
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の導体パターン形成用インクは、液滴吐出法により、基板上に導体パターンを形成するための導体パターン形成用インクであって、
平均粒径D[nm]の金属粒子と、水系分散媒と、有機バインダーとを含み、
導体パターン形成用インク中における隣接する前記金属粒子同士の平均粒子間距離をL1[nm]としたとき、1.7≦L1/D≦3.8の関係を満足し、
導体パターン形成用インクから前記水系分散媒を除去した時の隣接する前記金属粒子同士の平均粒子間距離をL2[nm]としたとき、1.03≦L2/D≦1.6の関係を満足することを特徴とする。
これにより、液滴の吐出安定性に優れ、形成される導体パターンでのクラック、断線の発生を防止することができる導体パターン形成用インクを提供することができる。
Such an object is achieved by the present invention described below.
The conductive pattern forming ink of the present invention is a conductive pattern forming ink for forming a conductive pattern on a substrate by a droplet discharge method,
Including metal particles having an average particle diameter D [nm], an aqueous dispersion medium, and an organic binder,
When the average inter-particle distance between adjacent metal particles in the conductive pattern forming ink is L 1 [nm], the relationship of 1.7 ≦ L 1 /D≦3.8 is satisfied,
When the average inter-particle distance between the adjacent metal particles when the aqueous dispersion medium is removed from the conductive pattern forming ink is L 2 [nm], a relationship of 1.03 ≦ L 2 /D≦1.6 It is characterized by satisfying.
As a result, it is possible to provide an ink for forming a conductor pattern that has excellent droplet ejection stability and can prevent the occurrence of cracks and disconnections in the formed conductor pattern.
本発明の導体パターン形成用インクでは、前記金属粒子の平均粒径は、1〜100nmであることが好ましい。
これにより、インクの吐出安定性をより高いものとすることができるとともに、微細な導体パターンを容易に形成することができる。
本発明の導体パターン形成用インクでは、前記銀粒子の含有量は、0.5〜60wt%であることが好ましい。
これにより、導体パターンの断線をより効果的に防止することができ、より信頼性の高い導体パターンを提供することができる。
In the conductive pattern forming ink of the present invention, the average particle diameter of the metal particles is preferably 1 to 100 nm.
As a result, the ink ejection stability can be further improved, and a fine conductor pattern can be easily formed.
In the conductor pattern forming ink of the present invention, the content of the silver particles is preferably 0.5 to 60 wt%.
Thereby, disconnection of a conductor pattern can be prevented more effectively, and a more reliable conductor pattern can be provided.
本発明の導体パターン形成用インクでは、前記有機バインダーは、ポリグリセリン化合物を含むものであることが好ましい。
これにより、形成される導体パターンでのクラック、断線の発生をより確実に防止することができる。
本発明の導体パターン形成用インクでは、前記有機バインダーの重量平均分子量は、300〜3000であることが好ましい。
これにより、形成される導体パターンでのクラック、断線の発生をより確実に防止することができる。
本発明の導体パターン形成用インクでは、前記有機バインダーの含有量は、1〜30wt%であることが好ましい。
これにより、形成される導体パターンでのクラック、断線の発生をより効果的に防止することができる。
In the conductive pattern forming ink of the present invention, the organic binder preferably contains a polyglycerol compound.
Thereby, generation | occurrence | production of the crack in the conductor pattern formed and a disconnection can be prevented more reliably.
In the conductive pattern forming ink of the present invention, the organic binder preferably has a weight average molecular weight of 300 to 3,000.
Thereby, generation | occurrence | production of the crack in the conductor pattern formed and a disconnection can be prevented more reliably.
In the conductive pattern forming ink of the present invention, the content of the organic binder is preferably 1 to 30 wt%.
Thereby, generation | occurrence | production of the crack in the conductor pattern formed and a disconnection can be prevented more effectively.
本発明の導体パターン形成用インクでは、糖アルコールを含むことが好ましい。
これにより、インクの吐出安定性をより高いものとすることができる。
本発明の導体パターン形成用インクでは、前記糖アルコールとして、結晶性を有する糖アルコールを含むことが好ましい。
これにより、インクの吐出安定性をさらに高いものとすることができる。
The ink for forming a conductor pattern of the present invention preferably contains a sugar alcohol.
Thereby, the ink ejection stability can be further improved.
In the ink for forming a conductor pattern of the present invention, it is preferable that the sugar alcohol includes a sugar alcohol having crystallinity.
As a result, the ink ejection stability can be further increased.
本発明の導体パターン形成用インクでは、前記糖アルコールの含有量は、3〜20wt%であることが好ましい。
これにより、導体パターン形成用インクの水系分散媒の揮発をより確実に抑制することができ、導体パターン形成用インクは、より長期にわたって液滴の吐出安定性が特に優れたものとなる。
In the conductive pattern forming ink of the present invention, the sugar alcohol content is preferably 3 to 20 wt%.
Thereby, volatilization of the aqueous dispersion medium of the conductor pattern forming ink can be more reliably suppressed, and the conductor pattern forming ink has particularly excellent droplet discharge stability over a longer period of time.
本発明の導体パターン形成用インクでは、導体パターン形成用インク中の前記糖アルコールの含有量をA[wt%]、前記有機バインダーの含有量をB[wt%]としたとき、0.05≦B/A≦10の関係を満足することが好ましい。
これにより、形成されたパターンが吸湿することを確実に防止しつつ、パターンの流動性を十分なものとすることができ、形成される導体パターンは、断線、クラックの発生がより確実に防止されたものとなる。また、インクの吐出安定性を特に優れたものとすることができる。
In the conductive pattern forming ink of the present invention, when the content of the sugar alcohol in the conductive pattern forming ink is A [wt%] and the content of the organic binder is B [wt%], 0.05 ≦ It is preferable to satisfy the relationship of B / A ≦ 10.
As a result, it is possible to ensure sufficient fluidity of the pattern while reliably preventing the formed pattern from absorbing moisture, and the formed conductor pattern is more reliably prevented from being broken or cracked. It will be. Further, the ink ejection stability can be made particularly excellent.
本発明の導体パターン形成用インクでは、前記基板は、セラミックス粒子と、バインダーとを含む材料で構成されたシート状のセラミックス成形体を脱脂、焼結を施されることにより形成されるものであり、
導体パターン形成用インクは、液滴吐出法により、前記セラミックス成形体上に付与されるものであることが好ましい。
本発明の導体パターン形成用インクは、このようなセラミックス成形体上に導体パターンを形成するのに好適に用いることができる。
In the ink for forming a conductor pattern of the present invention, the substrate is formed by degreasing and sintering a sheet-like ceramic molded body composed of a material containing ceramic particles and a binder. ,
The conductive pattern forming ink is preferably applied onto the ceramic molded body by a droplet discharge method.
The ink for forming a conductor pattern of the present invention can be suitably used for forming a conductor pattern on such a ceramic molded body.
本発明の導体パターン形成用インクは、前記金属粒子と前記金属粒子の表面に付着した分散剤とで構成された金属コロイド粒子が前記水系分散媒に分散したコロイド液であることが好ましい。
これにより、インク内での金属粒子の凝集が防止され、クラックおよび断線が確実に防止された、より微細な導体パターンを形成することができる。
The ink for forming a conductor pattern of the present invention is preferably a colloidal liquid in which metal colloid particles composed of the metal particles and a dispersant attached to the surface of the metal particles are dispersed in the aqueous dispersion medium.
Thereby, agglomeration of metal particles in the ink is prevented, and a finer conductor pattern in which cracks and disconnections are reliably prevented can be formed.
本発明の導体パターンは、本発明の導体パターン形成用インクによって形成されたことを特徴とする。
これにより、信頼性の高い導体パターンを提供することができる。
本発明の配線基板は、本発明の導体パターンが備えられてなることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い配線基板を提供することができる。
The conductor pattern of the present invention is formed by the conductor pattern forming ink of the present invention.
Thereby, a highly reliable conductor pattern can be provided.
The wiring board of the present invention is provided with the conductor pattern of the present invention.
Thereby, a highly reliable wiring board can be provided.
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
《導体パターン形成用インク》
本発明の導体パターン形成用インクは、基板上に導体パターンを形成するのに用いるインクであり、特に、液滴吐出法によって導体パターンを形成するのに用いるインクである。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.
<Conductor pattern forming ink>
The ink for forming a conductor pattern of the present invention is an ink used for forming a conductor pattern on a substrate, in particular, an ink used for forming a conductor pattern by a droplet discharge method.
導体パターンが形成される基板は、いかなるものであってもよいが、本実施形態では、基板としてセラミックス基板を用いることとする。また、本実施形態では、セラミックスとバインダーとを含む材料で構成されたシート状のセラミックス成形体(セラミックスグリーンシート)に導体パターン形成用インクを付与するものとして説明する。なお、セラミックス成形体およびセラミックス成形体に付与されたインクは、後述するように焼結処理され、それぞれセラミックス基板および導体パターンとなる。 The substrate on which the conductor pattern is formed may be any substrate, but in this embodiment, a ceramic substrate is used as the substrate. In the present embodiment, the description will be made assuming that the ink for forming a conductor pattern is applied to a sheet-like ceramic formed body (ceramic green sheet) made of a material containing ceramics and a binder. The ceramic formed body and the ink applied to the ceramic formed body are sintered as described later to become a ceramic substrate and a conductor pattern, respectively.
以下、導体パターン形成用インクの好適な実施形態について説明する。なお、本実施形態では、金属粒子を水系分散媒に分散してなる分散液として、銀粒子が分散した分散液を用いた場合について代表的に説明する。
導体パターン形成用インク(以下、単にインクともいう)は、水系分散媒と、水系分散媒に分散した銀粒子(金属粒子)と、有機物で構成された有機バインダーとを含むものである。
Hereinafter, preferred embodiments of the conductor pattern forming ink will be described. In this embodiment, a case where a dispersion liquid in which silver particles are dispersed is used as a dispersion liquid in which metal particles are dispersed in an aqueous dispersion medium.
The ink for forming a conductor pattern (hereinafter, also simply referred to as ink) includes an aqueous dispersion medium, silver particles (metal particles) dispersed in the aqueous dispersion medium, and an organic binder composed of an organic substance.
特に、本発明の導体パターン形成用インクは、金属粒子の平均粒径をD[nm]、導体パターン形成用インク中における隣接する金属粒子同士の平均粒子間距離をL1[nm]としたとき、1.7≦L1/D≦3.8の関係を満足し、かつ、導体パターン形成用インクから水系分散媒を除去した時の隣接する金属粒子同士の平均粒子間距離をL2[nm]としたとき、1.03≦L2/D≦1.6の関係を満足する点に特徴を有している。なお、本明細書では、「平均粒子間距離」とは、特に断りのない限り、隣接する各金属粒子間における粒子の中心間距離の平均のことを指すものとする。 In particular, in the conductor pattern forming ink of the present invention, when the average particle diameter of the metal particles is D [nm], and the average distance between adjacent metal particles in the conductor pattern forming ink is L 1 [nm]. 1.7 ≦ L 1 /D≦3.8 is satisfied, and the average interparticle distance between adjacent metal particles when the aqueous dispersion medium is removed from the conductor pattern forming ink is expressed as L 2 [nm ] Is characterized in that the relationship of 1.03 ≦ L 2 /D≦1.6 is satisfied. In the present specification, the “average interparticle distance” refers to the average of the distances between the centers of adjacent metal particles unless otherwise specified.
上記のような関係を満足することにより、インク中において、隣接する金属粒子間に、適度な量の水系分散媒を存在させることができる。その結果、導体パターン形成用インクの粘度を適度なものとすることができ、吐出安定性に優れたものとなる。また、水系分散媒を除去する際、または、除去した後に、隣接する金属粒子間に、有機バインダーを好適に存在させることができる。このように有機バインダーが銀粒子同士の間に存在することで、金属粒子同士が凝集するのを防止することができる。また、パターンを焼結する際には、有機バインダーが金属粒子同士を繋ぎ、基板の寸法の変化によって金属粒子同士が不本意に離れてしまうのを防止することができる。その結果、形成される導体パターンにおいてクラック、断線の発生を防止することができる。 By satisfying the above relationship, an appropriate amount of an aqueous dispersion medium can be present between adjacent metal particles in the ink. As a result, the viscosity of the conductor pattern forming ink can be made moderate, and the ejection stability is excellent. Moreover, when removing an aqueous dispersion medium or after removing, an organic binder can be suitably present between adjacent metal particles. Thus, it can prevent that metal particles aggregate by an organic binder existing between silver particles. Moreover, when sintering a pattern, an organic binder can connect metal particles, and it can prevent that metal particles leave | separate unintentionally by the change of the dimension of a board | substrate. As a result, it is possible to prevent the occurrence of cracks and disconnections in the formed conductor pattern.
これに対して、L1/Dが前記下限値未満であると、インク中において、隣接する金属粒子間に、適度な量の水系分散媒を存在させることができず、インクの粘度が高くなり、インクジェット方式(液滴吐出法)による吐出が困難となる。また、インク中において隣接する金属粒子同士が凝集しやすくなり、金属粒子が粗大化する。その結果、吐出不良が生じてしまう。一方、L1/Dが前記上限値を超えると、水系分散媒を除去する際の体積収縮が大きくなり、形成される導体パターンにクラックや断線が生じてしまう。また、比較的厚いパターンを形成する場合に、複数回重ね塗りする必要が生じる。 On the other hand, if L 1 / D is less than the lower limit, an appropriate amount of aqueous dispersion medium cannot be present between adjacent metal particles in the ink, and the viscosity of the ink increases. In addition, it becomes difficult to discharge by an ink jet method (droplet discharge method). In addition, adjacent metal particles in the ink tend to aggregate and the metal particles become coarse. As a result, ejection failure occurs. On the other hand, when L 1 / D exceeds the upper limit, volume shrinkage when removing the aqueous dispersion medium increases, and cracks and disconnections occur in the formed conductor pattern. In addition, when a relatively thick pattern is formed, it is necessary to apply a plurality of times.
また、L2/Dが前記下限値未満であると、水系分散媒を除去する際に、金属粒子同士が融着してしまい、水系分散媒を取り除く際や焼結する際に生じるパターンの寸法の変化に追従することができず、形成される導体パターンにクラックや断線が生じてしまう。一方、L2/Dが前記上限値を超えると、パターンを焼結する際に、金属粒子同士を十分に融着させることができず、結果として、形成される導体パターンにクラックや断線が生じてしまう。 Further, when L 2 / D is less than the lower limit, the metal particles are fused to each other when the aqueous dispersion medium is removed, and the dimension of the pattern generated when the aqueous dispersion medium is removed or sintered. It is impossible to follow this change, and cracks and breaks occur in the formed conductor pattern. On the other hand, when L 2 / D exceeds the upper limit, when sintering the pattern, the metal particles cannot be sufficiently fused together, and as a result, cracks and breaks occur in the formed conductor pattern. End up.
上述したように、本発明の導体パターン形成用インクは、金属粒子の平均粒径をD[nm]、導体パターン形成用インク中における隣接する金属粒子同士の平均粒子間距離をL1[nm]としたとき、1.7≦L1/D≦3.8の関係を満足するが、1.7≦L1/D≦3.5の関係を満足するのがより好ましく、1.75≦L1/D≦3.0の関係を満足するのがさらに好ましい。これにより、本発明の効果をより顕著なものとすることができる。 As described above, in the conductive pattern forming ink of the present invention, the average particle diameter of metal particles is D [nm], and the average interparticle distance between adjacent metal particles in the conductive pattern forming ink is L 1 [nm]. when a, but to satisfy the relation of 1.7 ≦ L 1 /D≦3.8, more preferably satisfy the relation of 1.7 ≦ L 1 /D≦3.5, 1.75 ≦ L More preferably, the relationship of 1 / D ≦ 3.0 is satisfied. Thereby, the effect of this invention can be made more remarkable.
また、本発明の導体パターン形成用インクは、金属粒子の平均粒径をD[nm]、導体パターン形成用インクから水系分散媒を除去した時の隣接する金属粒子同士の平均粒子間距離をL2[nm]としたとき、1.03≦L2/D≦1.6の関係を満足するが、1.1≦L1/D≦1.4の関係を満足するのがより好ましく、1.15≦L1/D≦1.3の関係を満足するのがさらに好ましい。これにより、本発明の効果をより顕著なものとすることができる。 In the conductive pattern forming ink of the present invention, the average particle diameter of the metal particles is D [nm], and the average distance between adjacent metal particles when the aqueous dispersion medium is removed from the conductive pattern forming ink is L. When 2 [nm] is satisfied, the relationship of 1.03 ≦ L 2 /D≦1.6 is satisfied, but it is more preferable that the relationship of 1.1 ≦ L 1 /D≦1.4 is satisfied. More preferably, the relationship of 15 ≦ L 1 /D≦1.3 is satisfied. Thereby, the effect of this invention can be made more remarkable.
以下、導体パターン形成用インクの各構成成分について詳細に説明する。
[水系分散媒]
まず、水系分散媒について説明する。
本発明において、「水系分散媒」とは、水および/または水との相溶性に優れる液体(例えば、25℃における水100gに対する溶解度が30g以上の液体)で構成されたもののことを指す。このように、水系分散媒は、水および/または水との相溶性に優れる液体で構成されたものであるが、主として水で構成されたものであるのが好ましく、特に、水の含有率が70wt%以上のものであるのが好ましく、90wt%以上のものであるのがより好ましい。
Hereinafter, each component of the conductor pattern forming ink will be described in detail.
[Aqueous dispersion medium]
First, the aqueous dispersion medium will be described.
In the present invention, the “aqueous dispersion medium” refers to a liquid composed of water and / or a liquid having excellent compatibility with water (for example, a liquid having a solubility in 100 g of water at 25 ° C. of 30 g or more). As described above, the aqueous dispersion medium is composed of water and / or a liquid having excellent compatibility with water, but is preferably composed mainly of water. It is preferably 70 wt% or more, more preferably 90 wt% or more.
水系分散媒の具体例としては、例えば、水、メタノール、エタノール、ブタノール、プロパノール、イソプロパノール等のアルコール系溶媒、1,4−ジオキサン、テトラヒドロフラン(THF)等のエーテル系溶媒、ピリジン、ピラジン、ピロール等の芳香族複素環化合物系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMA)等のアミド系溶媒、アセトニトリル等のニトリル系溶媒、アセトアルデヒド等のアルデヒド系溶媒等が挙げられ、これらのうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、導体パターン形成用インク中における水系分散媒の含有量は、25〜60wt%であることが好ましく、30〜50wt%であることがより好ましい。これにより、インクの粘度を好適なものとしつつ、分散媒の揮発による粘度の変化を少ないものとすることができる。
Specific examples of the aqueous dispersion medium include, for example, water, methanol, ethanol, butanol, propanol, isopropanol and other alcohol solvents, 1,4-dioxane, tetrahydrofuran (THF) and other ether solvents, pyridine, pyrazine, pyrrole and the like. Aromatic heterocyclic compound solvents, amide solvents such as N, N-dimethylformamide (DMF) and N, N-dimethylacetamide (DMA), nitrile solvents such as acetonitrile, and aldehyde solvents such as acetaldehyde. Of these, one or a combination of two or more can be used.
In addition, the content of the aqueous dispersion medium in the conductor pattern forming ink is preferably 25 to 60 wt%, and more preferably 30 to 50 wt%. Thereby, while making the viscosity of an ink suitable, the change of the viscosity by volatilization of a dispersion medium can be made small.
[銀粒子]
次に、銀粒子(金属粒子)について説明する。
銀粒子は、形成される導体パターンの主成分であり、導体パターンに導電性を付与する成分である。
また、銀粒子は、インク中において分散している。
[Silver particles]
Next, silver particles (metal particles) will be described.
Silver particles are the main component of the conductor pattern to be formed, and are components that impart conductivity to the conductor pattern.
The silver particles are dispersed in the ink.
銀粒子の平均粒径は、1〜100nmであるのが好ましく、10〜30nmであるのがより好ましい。これにより、インクの吐出安定性をより高いものとすることができるとともに、微細な導体パターンを容易に形成することができる。なお、本明細書では、「平均粒径」とは、特に断りのない限り、体積基準の平均粒径のことを指すものとする。
また、インク中において、銀粒子の平均粒子間距離は、1.7〜380nmであるのが好ましく、1.75〜300nmであるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インクの粘度をより適度なものとすることができ、吐出安定性に特に優れたものとなる。
The average particle diameter of the silver particles is preferably 1 to 100 nm, and more preferably 10 to 30 nm. As a result, the ink ejection stability can be further improved, and a fine conductor pattern can be easily formed. In the present specification, the “average particle size” means a volume-based average particle size unless otherwise specified.
Further, in the ink, the average interparticle distance of silver particles is preferably 1.7 to 380 nm, and more preferably 1.75 to 300 nm. Thereby, the viscosity of the conductor pattern forming ink can be made more appropriate, and the discharge stability is particularly excellent.
また、インク中に含まれる銀粒子(分散剤が表面に吸着していない銀粒子(金属粒子))の含有量は、0.5〜60wt%であるのが好ましく、10〜45wt%であるのがより好ましい。これにより、導体パターンの断線をより効果的に防止することができ、より信頼性の高い導体パターンを提供することができる。
また、銀粒子(金属粒子)は、その表面に分散剤が付着した銀コロイド粒子(金属コロイド粒子)として、水系分散媒中に分散していることが好ましい。これにより、銀粒子の水系分散媒への分散性が特に優れたものとなり、インクの吐出安定性が特に優れたものとなる。
Further, the content of silver particles (silver particles (metal particles) on which the dispersant is not adsorbed on the surface) contained in the ink is preferably 0.5 to 60 wt%, and 10 to 45 wt%. Is more preferable. Thereby, disconnection of a conductor pattern can be prevented more effectively, and a more reliable conductor pattern can be provided.
The silver particles (metal particles) are preferably dispersed in an aqueous dispersion medium as silver colloid particles (metal colloid particles) having a dispersant attached to the surface thereof. Thereby, the dispersibility of the silver particles in the aqueous dispersion medium is particularly excellent, and the ink ejection stability is particularly excellent.
分散剤は、特に限定されないが、COOH基とOH基とを合わせて3個以上有し、かつ、COOH基の数がOH基と同じか、それよりも多いヒドロキシ酸またはその塩を含むことが好ましい。これらの分散剤は、銀粒子の表面に吸着してコロイド粒子を形成し、分散剤中に存在するCOOH基の電気的反発力によって銀コロイド粒子を水溶液中に均一に分散させてコロイド液を安定化する働きを有する。このように、銀コロイド粒子が安定してインク中に存在することにより、より容易に微細な導体パターンを形成することができる。また、インクによって形成されたパターン(前駆体)において銀粒子が均一に分布し、クラック、断線等が発生しにくいものとなる。これに対して、分散剤中のCOOH基とOH基の数が3個未満であったり、COOH基の数がOH基の数よりも少ないと、銀コロイド粒子の分散性が十分に得られない場合がある。
このような分散剤は、例えば、クエン酸、りんご酸、クエン酸三ナトリウム、クエン酸三カリウム、クエン酸三リチウム、クエン酸三アンモニウム、りんご酸二ナトリウム、タンニン酸、ガロタンニン酸、五倍子タンニン等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
The dispersant is not particularly limited, but may contain a hydroxy acid or a salt thereof having three or more COOH groups and OH groups in total and having the same or more COOH groups as the OH groups. preferable. These dispersants adsorb on the surface of silver particles to form colloidal particles, and the colloidal liquid is stabilized by uniformly dispersing silver colloidal particles in an aqueous solution by the electric repulsive force of COOH groups present in the dispersant. Has the function of As described above, since the silver colloid particles are stably present in the ink, a fine conductor pattern can be more easily formed. Further, the silver particles are uniformly distributed in the pattern (precursor) formed by the ink, and cracks, disconnections, and the like are less likely to occur. On the other hand, if the number of COOH groups and OH groups in the dispersant is less than 3 or the number of COOH groups is less than the number of OH groups, the dispersibility of the silver colloid particles cannot be sufficiently obtained. There is a case.
Such dispersants include, for example, citric acid, malic acid, trisodium citrate, tripotassium citrate, trilithium citrate, triammonium citrate, disodium malate, tannic acid, gallotannic acid, pentaploid tannin and the like. 1 type or 2 types or more of them can be used in combination.
また、分散剤は、COOH基とSH基とを合わせて2個以上有するメルカプト酸またはその塩を含んでいてもよい。これらの分散剤は、メルカプト基が銀微粒子の表面に吸着してコロイド粒子を形成し、分散剤中に存在するCOOH基の電気的反発力によってコロイド粒子を水溶液中に均一に分散させてコロイド液を安定化する働きを有する。このように、銀コロイド粒子が安定してインク中に存在することにより、より容易に微細な導体パターンを形成することができる。また、インクによって形成されたパターン(前駆体)において銀粒子が均一に分布し、クラック、断線等が発生しにくいものとなる。これに対して、分散剤中のCOOH基とSH基の数が2個未満すなわち片方のみであると、銀コロイド粒子の分散性が十分に得られない場合がある。 Further, the dispersant may contain mercapto acid or a salt thereof having two or more COOH groups and SH groups. In these dispersants, mercapto groups are adsorbed on the surface of silver fine particles to form colloidal particles, and colloidal particles are uniformly dispersed in an aqueous solution by the electric repulsive force of COOH groups present in the dispersant. Has the function of stabilizing As described above, since the silver colloid particles are stably present in the ink, a fine conductor pattern can be more easily formed. Further, the silver particles are uniformly distributed in the pattern (precursor) formed by the ink, and cracks, disconnections, and the like are less likely to occur. On the other hand, when the number of COOH groups and SH groups in the dispersant is less than 2, that is, only one, the dispersibility of the silver colloidal particles may not be sufficiently obtained.
このような分散剤としては、例えば、メルカプト酢酸、メルカプトプロピオン酸、チオジプロピオン酸、メルカプトコハク酸、チオ酢酸、メルカプト酢酸ナトリウム、メルカプトプロピオン酸ナトリウム、チオジプロピオン酸ナトリウム、メルカプトコハク酸二ナトリウム、メルカプト酢酸カリウム、メルカプトプロピオン酸カリウム、チオジプロピオン酸カリウム、メルカプトコハク酸二カリウム等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of such a dispersant include mercaptoacetic acid, mercaptopropionic acid, thiodipropionic acid, mercaptosuccinic acid, thioacetic acid, sodium mercaptoacetate, sodium mercaptopropionate, sodium thiodipropionate, disodium mercaptosuccinate, Examples include potassium mercaptoacetate, potassium mercaptopropionate, potassium thiodipropionate, dipotassium mercaptosuccinate, and the like, and one or more of these can be used in combination.
インク中における銀コロイド粒子の含有量は、1〜60wt%程度であるのが好ましく、10〜50wt%程度であるのがより好ましい。銀コロイド粒子の含有量が前記下限値未満であると、銀の含有量が少なく、導体パターンを形成した際、比較的厚い膜を形成する場合に、複数回重ね塗りする必要が生じる。一方、銀コロイド粒子の含有量が前記上限値を超えると、銀の含有量が多くなり、分散性が低下し、これを防ぐためには攪拌の頻度が高くなる。 The content of the silver colloid particles in the ink is preferably about 1 to 60 wt%, and more preferably about 10 to 50 wt%. When the content of the silver colloidal particles is less than the lower limit, the silver content is small, and when a conductive pattern is formed, it is necessary to apply a plurality of times when a relatively thick film is formed. On the other hand, when the content of the silver colloidal particles exceeds the upper limit, the silver content increases and the dispersibility decreases. To prevent this, the frequency of stirring increases.
また、銀コロイド粒子の熱重量分析における500℃までの加熱減量は、1〜25wt%程度が好ましい。コロイド粒子(固形分)を500℃まで加熱すると、表面に付着した分散剤、後述する還元剤(残留還元剤)等が酸化分解され、大部分のものはガス化されて消失する。残留還元剤の量は、僅かであると考えられるので、500℃までの加熱による減量は、銀コロイド粒子中の分散剤の量にほぼ相当すると考えられる。加熱減量が1wt%未満であると、銀粒子に対する分散剤の量が少なく、銀粒子の充分な分散性が低下する。一方、25wt%を超えると、銀粒子に対する残留分散剤の量が多なり、導体パターンの比抵抗が高くなる。但し、比抵抗は、導体パターンの形成後に加熱焼結して有機分を分解消失させることである程度改善することができる。そのため、より高温で焼結されるセラミックス基板等に有効である。
なお、銀コロイド粒子の形成については、後に詳述する。
The heat loss up to 500 ° C. in the thermogravimetric analysis of the silver colloidal particles is preferably about 1 to 25 wt%. When the colloidal particles (solid content) are heated to 500 ° C., the dispersant adhering to the surface, the reducing agent (residual reducing agent) described later, etc. are oxidatively decomposed, and most of them are gasified and disappear. Since the amount of the residual reducing agent is considered to be small, the weight loss due to heating up to 500 ° C. is considered to substantially correspond to the amount of the dispersant in the silver colloid particles. When the loss on heating is less than 1 wt%, the amount of the dispersant for the silver particles is small, and the sufficient dispersibility of the silver particles is lowered. On the other hand, when it exceeds 25 wt%, the amount of the residual dispersant with respect to the silver particles increases, and the specific resistance of the conductor pattern increases. However, the specific resistance can be improved to some extent by heating and sintering after formation of the conductor pattern to decompose and disappear organic components. Therefore, it is effective for a ceramic substrate that is sintered at a higher temperature.
The formation of silver colloid particles will be described in detail later.
[有機バインダー]
また、導体パターン形成用インクは、有機バインダーを含む。有機バインダーは、導体パターン形成用インクによって形成されたパターンにおいて、銀粒子の凝集を防止するものである。すなわち、形成されたパターンにおいて、有機バインダーは、銀粒子同士の間に存在することで銀粒子同士が凝集して、パターンの一部に亀裂(クラック)が生じることを防止できる。また、焼結時においては、有機バインダーは、分解されて除去されることができ、パターン中の銀粒子同士は、結合して導体パターンを形成する。特に、金属粒子の平均粒径と平均粒子間距離との上記のような関係を満足し、かつ、有機バインダーを含むことにより、クラック、断線が発生することをより確実に防止しつつ、容易に所望の形状の導体パターンを形成することができる。
[Organic binder]
The conductive pattern forming ink contains an organic binder. The organic binder prevents aggregation of silver particles in a pattern formed by the conductor pattern forming ink. That is, in the formed pattern, the organic binder is present between the silver particles, so that the silver particles can be prevented from agglomerating and a crack (crack) can be prevented from being generated in a part of the pattern. Further, at the time of sintering, the organic binder can be decomposed and removed, and silver particles in the pattern are bonded to form a conductor pattern. In particular, satisfying the above relationship between the average particle diameter of metal particles and the distance between average particles, and by including an organic binder, it is easier to prevent the occurrence of cracks and disconnections more reliably. A conductor pattern having a desired shape can be formed.
有機バインダーとしては、特には限定されないが、例えば、ポリエチレングリコール#200(重量平均分子量200)、ポリエチレングリコール#300(重量平均分子量300)、ポリエチレングリコール#400(平均分子量400)、ポリエチレングリコール#600(重量平均分子量600)、ポリエチレングリコール#1000(重量平均分子量1000)、ポリエチレングリコール#1500(重量平均分子量1500)、ポリエチレングリコール#1540(重量平均分子量1540)、ポリエチレングリコール#2000(重量平均分子量2000)等のポリエチレングリコール、ポリビニルアルコール#200(重量平均分子量:200)、ポリビニルアルコール#300(重量平均分子量:300)、ポリビニルアルコール#400(平均分子量:400)、ポリビニルアルコール#600(重量平均分子量:600)、ポリビニルアルコール#1000(重量平均分子量:1000)、ポリビニルアルコール#1500(重量平均分子量:1500)、ポリビニルアルコール#1540(重量平均分子量:1540)、ポリビニルアルコール#2000(重量平均分子量:2000)等のポリビニルアルコール、ポリグリセリン、ポリグリセリンエステル等のポリグリセリン骨格を有するポリグリセリン化合物が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。また、ポリグリセリンエステルとしては、例えば、ポリグリセリンのモノステアレート、トリステアレート、テトラステアレート、モノオレエート、ペンタオレエート、モノラウレート、モノカプリレート、ポリシノレート、セスキステアレート、デカオレエート、セスキオレエート等が挙げられる。
この中でも、有機バインダーとして、ポリグリセリン化合物を用いた場合、以下のような効果が得られる。
Although it does not specifically limit as an organic binder, For example, polyethyleneglycol # 200 (weight average molecular weight 200), polyethyleneglycol # 300 (weight average molecular weight 300), polyethyleneglycol # 400 (average molecular weight 400), polyethyleneglycol # 600 ( Weight average molecular weight 600), polyethylene glycol # 1000 (weight average molecular weight 1000), polyethylene glycol # 1500 (weight average molecular weight 1500), polyethylene glycol # 1540 (weight average molecular weight 1540), polyethylene glycol # 2000 (weight average molecular weight 2000), etc. Polyethylene glycol, polyvinyl alcohol # 200 (weight average molecular weight: 200), polyvinyl alcohol # 300 (weight average molecular weight: 300), polyvinyl alcohol # 400 (average molecular weight: 400), polyvinyl alcohol # 600 (weight average molecular weight: 600), polyvinyl alcohol # 1000 (weight average molecular weight: 1000), polyvinyl alcohol # 1500 (weight average molecular weight: 1500), polyvinyl alcohol # Polyglycerin compounds having a polyglycerin skeleton such as polyvinyl alcohol such as 1540 (weight average molecular weight: 1540), polyvinyl alcohol # 2000 (weight average molecular weight: 2000), polyglycerin, polyglycerin ester, etc. Alternatively, two or more kinds can be used in combination. Examples of the polyglycerol ester include polyglycerol monostearate, tristearate, tetrastearate, monooleate, pentaoleate, monolaurate, monocaprylate, polycinnolate, sesquistearate, decaoleate, and sesquioleate. Etc.
Among these, when a polyglycerin compound is used as the organic binder, the following effects can be obtained.
ポリグリセリン化合物は、導体パターン形成用インクによって形成されたパターン(後に詳述する導体パターンの前駆体)を乾燥(脱分散媒)した際に、パターンにクラックが発生するのを特に好適に防止することができる。これは、以下のように考えられる。導体パターン形成用インク中にポリグリセリン化合物が含まれることにより、銀粒子(金属粒子)の間に高分子鎖が存在することとなり、ポリグリセリン化合物が銀粒子同士の距離を適度なものとすることができる。さらに、ポリグリセリン化合物は比較的沸点が高いため、水系分散媒の除去時においては除去されず、銀粒子の周囲に付着する。以上により、水系分散媒除去時において、ポリグリセリン化合物が銀粒子を包み込んだ状態が長く続き、水系分散媒の揮発による急激な体積収縮が避けられるとともに銀の粒成長(凝集)が妨げられる結果、パターン中のクラックの発生が抑制されると考えられる。 The polyglycerin compound particularly suitably prevents the pattern from cracking when a pattern (a conductor pattern precursor, which will be described in detail later) formed by the conductor pattern forming ink is dried (dedispersion medium). be able to. This is considered as follows. By including a polyglycerol compound in the conductive pattern forming ink, a polymer chain exists between silver particles (metal particles), and the polyglycerol compound makes the distance between the silver particles moderate. Can do. Furthermore, since the polyglycerin compound has a relatively high boiling point, it is not removed when the aqueous dispersion medium is removed, and adheres around the silver particles. As described above, when the aqueous dispersion medium is removed, the state in which the polyglycerin compound wraps the silver particles continues for a long time, and rapid volume contraction due to volatilization of the aqueous dispersion medium is avoided and silver grain growth (aggregation) is hindered. It is considered that the occurrence of cracks in the pattern is suppressed.
また、ポリグリセリン化合物は、導体パターンを形成する際の焼結時において、断線が発生するのをより確実に防止することができる。これは、以下のように考えられる。ポリグリセリン化合物は、比較的沸点あるいは分解温度が高い。このため、導体パターン形成用インクから導体パターンを形成する過程において、水系分散媒が蒸発した後、比較的高い温度まで、ポリグリセリン化合物を、蒸発或いは熱(酸化)分解せずに、パターン中に存在させることができる。したがって、ポリグリセリン化合物が蒸発或いは熱(酸化)分解するまでは、銀粒子の周囲にポリグリセリン化合物が存在し、銀粒子同士の接近と凝集とを抑制することができ、ポリグリセリン化合物が分解した後には、より均一に銀粒子同士を接合させることができる。さらに、焼結時においてパターン中の銀粒子(金属粒子)の間に高分子鎖(ポリグリセリン化合物)が存在することとなり、ポリグリセリン化合物が銀粒子同士の距離を保つことができる。また、このポリグリセリン化合物は、適度な流動性を有している。このため、ポリグリセリン化合物を含むことにより、導体パターンの前駆体は、セラミックス成形体の温度変化による膨張・収縮への追従性が優れたものとなる。 Further, the polyglycerin compound can more reliably prevent disconnection from occurring during sintering when forming the conductor pattern. This is considered as follows. Polyglycerin compounds have a relatively high boiling point or decomposition temperature. Therefore, in the process of forming the conductor pattern from the conductor pattern forming ink, after the aqueous dispersion medium evaporates, the polyglycerin compound is not evaporated or thermally (oxidized) decomposed to a relatively high temperature in the pattern. Can exist. Therefore, until the polyglycerin compound evaporates or is thermally (oxidized) decomposed, the polyglycerin compound exists around the silver particles, and the approach and aggregation of the silver particles can be suppressed, and the polyglycerin compound is decomposed. Later, the silver particles can be joined more uniformly. Furthermore, a polymer chain (polyglycerin compound) exists between silver particles (metal particles) in the pattern during sintering, and the polyglycerin compound can keep the distance between the silver particles. Moreover, this polyglycerin compound has moderate fluidity | liquidity. For this reason, by including a polyglycerin compound, the precursor of the conductor pattern has excellent followability to expansion / contraction due to temperature change of the ceramic molded body.
以上より、形成された導体パターンに断線が生じることをより確実に防止することができると考えられる。
また、このようなポリグリセリン化合物を含むことにより、インクの粘度をより適度なものとすることができ、インクジェットヘッドからの吐出安定性をより効果的に向上させることができる。また、成膜性も向上させることができる。
From the above, it is considered that disconnection of the formed conductor pattern can be more reliably prevented.
Moreover, by including such a polyglycerin compound, the viscosity of the ink can be made more appropriate, and the ejection stability from the ink jet head can be improved more effectively. In addition, film formability can be improved.
ポリグリセリン化合物としては、上述した中でも、ポリグリセリンを用いるのが好ましい。ポリグリセリンは、セラミックス成形体の温度変化による膨張・収縮への追従性が特に優れるとともに、セラミックス成形体の焼結後には、導体パターン中からより確実に除去することができる成分である。その結果、導体パターンの電気的特性をより高いものとすることができる。さらに、ポリグリセリンは、水系分散媒への溶解度も高いので、好適に用いることができる。 Among the above-mentioned polyglycerin compounds, polyglycerin is preferably used. Polyglycerin is a component that is particularly excellent in the ability to follow expansion and contraction due to temperature changes of the ceramic molded body, and can be more reliably removed from the conductor pattern after the ceramic molded body is sintered. As a result, the electrical characteristics of the conductor pattern can be made higher. Furthermore, since polyglycerin has high solubility in an aqueous dispersion medium, it can be suitably used.
また、ポリグリセリンと、後述するような糖アルコールとを組み合わせて用いることにより、以下のような効果が得られる。ポリグリセリンは、糖アルコールとの親和性が特に高いため、インク中に糖アルコールが含まれている場合、インク中での流動性が十分に高いものとなる。このため、インクによって形成されたパターンは、乾燥、焼結時において、流動性を十分に高いものとすることができ、断線、クラックの発生をより確実に防止することができる。 Moreover, the following effects are acquired by using in combination polyglycerin and the sugar alcohol which is mentioned later. Since polyglycerin has a particularly high affinity with sugar alcohol, when sugar alcohol is contained in the ink, the fluidity in the ink is sufficiently high. For this reason, the pattern formed with the ink can have sufficiently high fluidity during drying and sintering, and the occurrence of disconnection and cracks can be more reliably prevented.
有機バインダーとしては、その重量平均分子量が300〜3000であるものを用いるのが好ましく、400〜1000であるものを用いるのがより好ましく、400〜600であるものを用いるのがさらに好ましい。これにより、導体パターン形成用インクによって形成されたパターンを乾燥した際に、クラックの発生をより確実に防止することができる。また、後述するようにインク中に糖アルコールを含む場合、有機バインダーと糖アルコールとの親和性が十分に高いものとなり、焼結時において、インクによって形成されたパターンは、より長期にわたって流動性を維持することができ、セラミック成形体の温度変化による収縮、膨張への追従性が特に優れたものとなる。これに対し、有機バインダーの重量平均分子量が前記下限値未満であると、有機バインダーの組成によっては、水系分散媒を除去する際に有機バインダーが分解しやすい傾向があり、クラックの発生を防止する効果が小さくなる。また、有機バインダーの重量平均分子量が前記上限値を超えると、有機バインダーの組成によっては、排除体積効果等によりインク中への溶解性、分散性が低下する場合がある。 As the organic binder, those having a weight average molecular weight of 300 to 3000 are preferable, those having 400 to 1000 are more preferable, and those having 400 to 600 are more preferable. Thereby, when the pattern formed with the conductor pattern forming ink is dried, the occurrence of cracks can be more reliably prevented. In addition, when the sugar alcohol is included in the ink as described later, the affinity between the organic binder and the sugar alcohol becomes sufficiently high, and the pattern formed by the ink has a fluidity for a longer period during sintering. It can be maintained, and the followability to shrinkage and expansion due to temperature change of the ceramic molded body is particularly excellent. On the other hand, when the weight average molecular weight of the organic binder is less than the lower limit, depending on the composition of the organic binder, the organic binder tends to be decomposed when removing the aqueous dispersion medium, thereby preventing the occurrence of cracks. The effect is reduced. When the weight average molecular weight of the organic binder exceeds the upper limit, the solubility and dispersibility in the ink may be reduced depending on the composition of the organic binder due to the excluded volume effect or the like.
また、インク中に有機バインダーの含有量は、1〜30wt%であるのが好ましく、5〜20wt%であるのがより好ましい。これにより、インクの吐出安定性を特に優れたものとしつつ、クラック、断線の発生をより効果的に防止することができる。これに対して、有機バインダーの含有量が前記下限値未満であると、有機バインダーの組成によっては、クラックの発生を防止する効果が小さくなる場合がある。また、有機バインダーの含有量が前記上限値を超えると、有機バインダーの組成によっては、インクの粘度を十分に低いものとすることが困難な場合がある。 Further, the content of the organic binder in the ink is preferably 1 to 30 wt%, and more preferably 5 to 20 wt%. This makes it possible to more effectively prevent the occurrence of cracks and disconnections while making the ink ejection stability particularly excellent. On the other hand, when the content of the organic binder is less than the lower limit, the effect of preventing the occurrence of cracks may be reduced depending on the composition of the organic binder. If the content of the organic binder exceeds the upper limit, it may be difficult to make the viscosity of the ink sufficiently low depending on the composition of the organic binder.
[その他の成分]
導体パターン形成用インクには、上記成分の他、糖アルコールが含まれていてもよい。
糖アルコールは、糖類のアルデヒド基およびケトン基を還元して得られるものである。
糖アルコールは、一般に、保湿性に優れた成分であり、導体パターン形成用インクの分散媒の揮発を防止することに寄与することのできる成分である。このため、導体パターン形成用インクに糖アルコールが含まれていることにより、インクジェット装置の吐出部付近において水系分散媒が揮発することを防止でき、インクの粘度の上昇、乾燥が抑えられる。この結果、インクの液滴の吐出安定性が特に優れたものとなる。すなわち、インクの液滴の重量のばらつきが小さいものとなり、目詰まり、飛行曲がり等が少ないものとなる。また、特に、インクジェット装置に導体パターン形成用インクを充填した後に、長期間(例えば、5日間)運転を行わずにインクジェット装置を待機状態とした場合であっても、本発明の導体パターン形成用インクは、均一な量で、目的とする位置に精度よく吐出されることができる。以上より、厚さおよび幅が均一なパターンをインクによって容易に形成でき、得られる導体パターンは、厚さおよび幅が均一で、クラック、断線等の少ないものとなる。
[Other ingredients]
The conductive pattern forming ink may contain sugar alcohol in addition to the above components.
Sugar alcohol is obtained by reducing aldehyde groups and ketone groups of sugars.
Sugar alcohol is generally a component excellent in moisture retention, and can contribute to preventing volatilization of the dispersion medium of the conductor pattern forming ink. For this reason, the sugar alcohol is contained in the conductor pattern forming ink, whereby the aqueous dispersion medium can be prevented from volatilizing in the vicinity of the discharge portion of the ink jet apparatus, and the increase in the viscosity of the ink and the drying can be suppressed. As a result, the ejection stability of ink droplets is particularly excellent. That is, variation in the weight of ink droplets is small, and clogging, flight bending, and the like are small. In particular, even when the ink jet device is in a standby state without being operated for a long time (for example, 5 days) after the ink for forming the conductor pattern is filled in the ink jet device, the conductor pattern forming ink of the present invention is used. The ink can be ejected with a uniform amount to a target position with high accuracy. As described above, a pattern having a uniform thickness and width can be easily formed with ink, and the resulting conductor pattern has a uniform thickness and width and is less likely to have cracks, breakage, and the like.
また、導体パターン形成用インクは、水系分散媒の揮発が少ないため、長期にわたって粘度等の物性の変化が少ない、保存性に優れたものとなる。
また、導体パターン形成用インクによって形成されたパターン(前駆体)では、乾燥(脱水系分散媒)される際に、水系分散媒が揮発するとともに、糖アルコールの濃度が上昇する。これにより、導体パターンの前駆体の粘度が上昇するため、前駆体を構成するインクの不本意な部位への流れ出しがより確実に防止される。その結果、形成される導体パターンをより高い精度で所望の形状とすることができる。
In addition, since the ink for forming a conductor pattern has little volatilization of the aqueous dispersion medium, it has excellent storage stability with little change in physical properties such as viscosity over a long period of time.
In addition, in the pattern (precursor) formed by the conductor pattern forming ink, the aqueous dispersion medium volatilizes and the sugar alcohol concentration increases when dried (dehydrated dispersion medium). As a result, the viscosity of the conductor pattern precursor is increased, so that the ink constituting the precursor can be more reliably prevented from flowing to an unintended portion. As a result, the formed conductor pattern can be formed into a desired shape with higher accuracy.
また、糖アルコールは、分子量あたりの酸素数が多いため、雰囲気が糖アルコールの分解温度に達すると、容易に分解して除去される。このため、導体パターンを形成する際には、導体パターンの温度を糖アルコールの分解温度よりも高くすることで、導体パターン内から糖アルコールを確実に除去(酸化分解)することができる。
糖アルコールとしては、例えば、トレイトール、エリスリトール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、アラビトール、リビトール、キシリトール、ソルビトール、マンニトール、スレイトール、グリトール、タリトール、ガラクチトール、アリトール、アルトリトール、ドルシトール、イディトール、グリセリン(グリセロール)、イノシトール、マルチトール、イソマルチトール、ラクチトール、ツラニトール等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
In addition, since sugar alcohol has a large number of oxygen per molecular weight, it is easily decomposed and removed when the atmosphere reaches the decomposition temperature of sugar alcohol. For this reason, when forming a conductor pattern, sugar alcohol can be reliably removed (oxidative decomposition) from the conductor pattern by making the temperature of the conductor pattern higher than the decomposition temperature of the sugar alcohol.
Examples of sugar alcohols include threitol, erythritol, pentaerythritol, dipentaerythritol, tripentaerythritol, arabitol, ribitol, xylitol, sorbitol, mannitol, threitol, glycol, tallitol, galactitol, allitol, altritol, dolitol, iditol. Glycerin (glycerol), inositol, maltitol, isomaltitol, lactitol, tranitol and the like, and one or more of these can be used in combination.
上述した中でも、導体パターン形成用インクは、糖アルコールとして、結晶性を有する糖アルコール(以下、結晶性糖アルコールともいう。)を含むのが好ましい。
結晶性糖アルコールを含むことにより、以下のような効果が得られる。インクを用いて形成されたパターンは、水系分散媒を除去後において、結晶性糖アルコール由来の結晶が形成される。結晶性糖アルコールは、結晶化した状態において、比較的吸湿しにくい。これは、糖アルコールの分子同士が規則正しく配列することにより、結晶化した糖アルコール中に水分子が侵入しにくいためだと考えられる。このため、パターンは、保湿性に優れた糖アルコールを含むにもかかわらず、吸湿することが防止される。この結果、パターンを焼結する際に、パターン中に含まれた水分が急激に気化して気泡となり、パターンを損傷することを防止することができる。以上より、形成される導体パターンは、断線、クラック等の発生がより確実に防止され、信頼性の特に高いものとなる。また、導体パターンを形成する過程において、製造上の都合等により、インクによって形成されたパターンを、一定期間放置する場合もあるが、このような場合であっても、インクによって形成されたパターンは、吸湿しにくいため、形成される導体パターンは、個体間で均質なものとなり、信頼性が高いものとなる。
Among the above, the conductor pattern forming ink preferably contains a sugar alcohol having crystallinity (hereinafter also referred to as a crystalline sugar alcohol) as the sugar alcohol.
By containing the crystalline sugar alcohol, the following effects can be obtained. In the pattern formed using ink, crystals derived from crystalline sugar alcohol are formed after the aqueous dispersion medium is removed. Crystalline sugar alcohol is relatively difficult to absorb moisture in the crystallized state. This is thought to be because water molecules are unlikely to enter the crystallized sugar alcohol due to the regular arrangement of sugar alcohol molecules. For this reason, the pattern is prevented from absorbing moisture despite containing a sugar alcohol excellent in moisture retention. As a result, when the pattern is sintered, it is possible to prevent moisture contained in the pattern from abruptly evaporating into bubbles and damaging the pattern. As described above, the conductor pattern to be formed is more highly reliable in that the occurrence of disconnection, cracks, etc. is more reliably prevented. In addition, in the process of forming the conductor pattern, the pattern formed with the ink may be left for a certain period due to manufacturing reasons, etc., but even in such a case, the pattern formed with the ink is Since it is difficult to absorb moisture, the formed conductor pattern is uniform among individuals and has high reliability.
結晶性糖アルコールとしては、特に限定されないが、例えば、トレイトール、エリスリトール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、アラビトール、リビトール、キシリトール、ソルビトール、マンニトール、スレイトール、グリトール、タリトール、ガラクチトール、アリトール、アルトリトール、ドルシトール、イディトール、イノシトール、ツラニトール等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
上述した中でも、結晶性糖アルコールは、単糖由来の糖アルコールを含むことが好ましい。単糖由来の糖アルコールは、結晶性が高く、より確実に形成されたパターンが吸湿することを防止することができる。また、単糖由来の糖アルコールは、保湿性に特に優れており、導体パターン形成用インクの吐出安定性を特に優れたものとすることができる。
The crystalline sugar alcohol is not particularly limited. , Altitol, dolitol, iditol, inositol, tranitol and the like, and one or more of these can be used in combination.
Among the above, the crystalline sugar alcohol preferably includes a sugar alcohol derived from a monosaccharide. A sugar alcohol derived from a monosaccharide has high crystallinity and can prevent a pattern formed more reliably from absorbing moisture. In addition, sugar alcohols derived from monosaccharides are particularly excellent in moisture retention, and the discharge stability of the conductor pattern forming ink can be made particularly excellent.
また、上述した中でも、結晶性糖アルコールは、エリスリトール、キシリトール、マンニトールなる群から選択される1種または2種以上を含むことが好ましい。これらの糖アルコールは、インク中においては特に保湿性に優れるとともに、インクによって形成されたパターン中においては容易に結晶化し、パターンが吸湿することを確実に防止することができる。 Of the above, the crystalline sugar alcohol preferably contains one or more selected from the group consisting of erythritol, xylitol, and mannitol. These sugar alcohols are particularly excellent in moisture retention in the ink, and can be easily crystallized in the pattern formed by the ink to reliably prevent the pattern from absorbing moisture.
糖アルコールの結晶性の指標としては、例えば、糖アルコールの結晶の水に対する溶解熱を用いることができる。糖アルコールは、一般に、吸熱しながら水に溶解するが、吸熱によるエネルギーは、糖アルコールの結晶における分子同士の解離に主に用いられていると考えることができる。このため、結晶の水に対する溶解熱が低い糖アルコールは、結晶化しやすい糖アルコールと考えることができる。 As an index of the crystallinity of the sugar alcohol, for example, the heat of dissolution of the sugar alcohol crystals in water can be used. Sugar alcohol generally dissolves in water with endotherm, but it can be considered that energy by endotherm is mainly used for dissociation of molecules in sugar alcohol crystals. For this reason, a sugar alcohol having a low heat of dissolution in water of crystals can be considered as a sugar alcohol that is easily crystallized.
結晶性糖アルコールは、その結晶の水に対する溶解熱が−20〜−60cal/gであることが好ましく、−30〜−50cal/gであることがより好ましい。これにより、水系分散媒除去時において、形成されたパターン中の結晶性糖アルコールは、好適に発熱しつつ結晶化することができる。一方で、水系分散媒除去後においては、結晶化した結晶性糖アルコールは、水分へ溶解するためには外部からのエネルギーが必要なため、大気中の水分を吸収することが少なく、安定に結晶として存在する。この結果、パターンは特に吸湿しにくいものとなる。 The crystalline sugar alcohol preferably has a heat of dissolution of the crystal in water of −20 to −60 cal / g, and more preferably −30 to −50 cal / g. Thereby, at the time of removing the aqueous dispersion medium, the crystalline sugar alcohol in the formed pattern can be crystallized while suitably generating heat. On the other hand, after removal of the aqueous dispersion medium, the crystallized crystalline sugar alcohol requires external energy in order to dissolve in moisture, so it absorbs less moisture in the atmosphere and stably crystallizes. Exists as. As a result, the pattern is particularly difficult to absorb moisture.
また、導体パターン形成用インク中における結晶性を有する糖アルコールの含有量は、3〜20wt%であるのが好ましく、5〜15wt%であることがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インクの保湿性を特に優れたものとしつつ、インクによって形成されたパターンが、水系分散媒除去後に吸湿することをより確実に防止することができる。 The content of the sugar alcohol having crystallinity in the conductive pattern forming ink is preferably 3 to 20 wt%, more preferably 5 to 15 wt%. This makes it possible to more reliably prevent the pattern formed by the ink from absorbing moisture after removing the aqueous dispersion medium, while making the moisture for the conductor pattern forming ink particularly excellent.
また、上述したような結晶性糖アルコールとともに、マルチトール、ラクチトールの少なくともいずれか一方を用いるのが好ましい。これにより、水系分散媒を除去する過程において、結晶性糖アルコールの結晶が成長(粗大化)するのを効果的に防止することができ、形成する導体パターンでのクラック、断線の発生をより確実に防止することができるとともに、均質で、信頼性の高い導体パターンを効率よく形成することができる。これは、以下のように考えられる。マルチトール、ラクチトールは、結晶化しにくい化合物であるため、パターン(前駆体)において、水系分散媒除去時に結晶化することがない。また、マルチトール、ラクチトールは、その化学構造の類似性から、他の糖アルコールとの親和性が高い化合物である。このため、インクによって形成されたパターン(前駆体)において、水系分散媒除去時に、マルチトール、ラクチトールは、結晶性糖アルコールの分子間に侵入し、結晶性糖アルコールの結晶成長を阻害することができる。この結果、結晶性糖アルコールは、粗大な結晶としては析出せず、微小な結晶として、パターン中に分散して析出すると考えられる。 Moreover, it is preferable to use at least one of maltitol and lactitol together with the crystalline sugar alcohol as described above. As a result, it is possible to effectively prevent the crystal sugar alcohol crystals from growing (coarse) in the process of removing the aqueous dispersion medium, and to more reliably generate cracks and breaks in the conductor pattern to be formed. In addition, it is possible to efficiently form a uniform and highly reliable conductor pattern. This is considered as follows. Since maltitol and lactitol are difficult to crystallize, the pattern (precursor) does not crystallize when the aqueous dispersion medium is removed. In addition, maltitol and lactitol are compounds having high affinity with other sugar alcohols due to their similar chemical structures. For this reason, in the pattern (precursor) formed by the ink, when the aqueous dispersion medium is removed, maltitol and lactitol may enter between the molecules of the crystalline sugar alcohol and inhibit the crystal growth of the crystalline sugar alcohol. it can. As a result, it is considered that the crystalline sugar alcohol is not precipitated as coarse crystals but is dispersed and precipitated in the pattern as fine crystals.
導体パターン形成用インク中のマルチトールおよびラクチトールの総含有量は、0.5〜15wt%であることが好ましく、2〜10wt%であることがより好ましい。これにより、上記効果をより顕著なものとすることができる。
導体パターン形成用インク中の結晶性糖アルコールの含有量をC[wt%]、マルチトールおよびラクチトールの総含有量をD[wt%]としたとき、0.025≦D/C≦5.0の関係を満足することが好ましく、0.1≦D/C≦2.0の関係を満足することがより好ましい。これにより、水系分散媒を除去する過程において、結晶性糖アルコールの結晶が成長(粗大化)するのをより効果的に防止することができ、形成する導体パターンでのクラック、断線の発生をより確実に防止することができるとともに、均質で、信頼性の高い導体パターンをより効率よく形成することができる。
The total content of maltitol and lactitol in the conductive pattern forming ink is preferably 0.5 to 15 wt%, and more preferably 2 to 10 wt%. Thereby, the said effect can be made more remarkable.
When the content of the crystalline sugar alcohol in the conductive pattern forming ink is C [wt%] and the total content of maltitol and lactitol is D [wt%], 0.025 ≦ D / C ≦ 5.0 It is preferable to satisfy this relationship, and it is more preferable to satisfy the relationship 0.1 ≦ D / C ≦ 2.0. Thereby, in the process of removing the aqueous dispersion medium, it is possible to more effectively prevent the crystalline sugar alcohol crystal from growing (coarse), and to further prevent generation of cracks and disconnections in the conductor pattern to be formed. While being able to prevent reliably, a homogeneous and reliable conductor pattern can be formed more efficiently.
また、上述したような糖アルコールの、導体パターン形成用インク中における含有量は、3 〜20wt%であるのが好ましく、5〜15wt%であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インクの水系分散媒の揮発をより確実に抑制することができ、導体パターン形成用インクは、より長期にわたって液滴の吐出安定性が特に優れたものとなる。これに対し、インク中に含まれる糖アルコールの含有量が前記下限値未満であると、インクの組成によってはインクの保湿性を十分に高くすることができない場合がある。一方、前記上限値を超えると、銀粒子に対する糖アルコールの量が多なりすぎ、焼結時に残存しやすくなる。その結果として、導体パターンの比抵抗が高くなる。但し、比抵抗は、焼結時間や焼結環境の制御によりある程度改善することができる。 Further, the content of the sugar alcohol as described above in the conductive pattern forming ink is preferably 3 to 20 wt%, and more preferably 5 to 15 wt%. Thereby, volatilization of the aqueous dispersion medium of the conductor pattern forming ink can be more reliably suppressed, and the conductor pattern forming ink has particularly excellent droplet discharge stability over a longer period of time. On the other hand, if the content of the sugar alcohol contained in the ink is less than the lower limit, the moisture retention of the ink may not be sufficiently increased depending on the composition of the ink. On the other hand, if the upper limit is exceeded, the amount of sugar alcohol with respect to the silver particles becomes too large and tends to remain during sintering. As a result, the specific resistance of the conductor pattern is increased. However, the specific resistance can be improved to some extent by controlling the sintering time and the sintering environment.
また、導体パターン形成用インク中の上記糖アルコールの含有量をA[wt%]、有機バインダーの含有量をB[wt%]としたとき、0.05≦B/A≦10の関係を満足することが好ましく、0.1≦B/A≦5の関係を満足することがより好ましい。これにより、形成されたパターンが吸湿することを確実に防止しつつ、パターンの流動性を十分なものとすることができ、形成される導体パターンは、断線、クラックの発生がより確実に防止されたものとなる。また、インクの吐出安定性を特に優れたものとすることができる。 Further, when the content of the sugar alcohol in the conductive pattern forming ink is A [wt%] and the content of the organic binder is B [wt%], the relationship of 0.05 ≦ B / A ≦ 10 is satisfied. It is preferable to satisfy the relationship of 0.1 ≦ B / A ≦ 5. As a result, it is possible to ensure sufficient fluidity of the pattern while reliably preventing the formed pattern from absorbing moisture, and the formed conductor pattern is more reliably prevented from being broken or cracked. It will be. Further, the ink ejection stability can be made particularly excellent.
また、導体パターン形成用インクには、上記成分の他、アセチレングリコール系化合物が含まれていてもよい。アセチレングリコール系化合物は、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角を所定の範囲に調整する機能を有するものである。また、アセチレングリコール系化合物は、少ない添加量で、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角を所定の範囲に調整することができる。このように、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角を所定の範囲に調整することにより、より微細な導体パターンを形成することができる。また、吐出した液滴内に気泡が混入した場合であっても、速やかに気泡を除去することができる。その結果、形成される導体パターンでのクラック、断線の発生をより効果的に防止することができる。 In addition to the above components, the conductive pattern forming ink may contain an acetylene glycol compound. The acetylene glycol-based compound has a function of adjusting the contact angle between the conductor pattern forming ink and the ceramic molded body within a predetermined range. Further, the contact angle between the conductor pattern forming ink and the ceramic molded body can be adjusted within a predetermined range with a small amount of the acetylene glycol compound. Thus, a finer conductor pattern can be formed by adjusting the contact angle between the conductor pattern forming ink and the ceramic molded body within a predetermined range. Further, even when bubbles are mixed in the discharged droplets, the bubbles can be quickly removed. As a result, generation of cracks and disconnections in the formed conductor pattern can be more effectively prevented.
上記化合物は、具体的には、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角が40〜80°(より好ましくは50〜80°)に調整する機能を有するものである。接触角が小さすぎると、微細な線幅の導体パターンを形成するのが困難となる場合がある。一方、接触角が大きすぎると、吐出条件等によっては、均一な線幅の導体パターンを形成するのが困難となる場合がある。また、着弾した液滴とセラミックス成形体との接触面積が小さくなりすぎてしまい、着弾した液滴が着弾位置からずれてしまう場合がある。 Specifically, the compound has a function of adjusting the contact angle between the conductor pattern forming ink and the ceramic molded body to 40 to 80 ° (more preferably 50 to 80 °). If the contact angle is too small, it may be difficult to form a conductor pattern with a fine line width. On the other hand, if the contact angle is too large, it may be difficult to form a conductor pattern with a uniform line width depending on the discharge conditions and the like. In addition, the contact area between the landed droplet and the ceramic molded body may be too small, and the landed droplet may deviate from the landing position.
アセチレングリコール系化合物としては、例えば、サーフィノール104シリーズ(104E、104H、104PG−50、104PA等)、サーフィノール400シリーズ(420、465、485等)、オルフィンシリーズ(EXP4036、EXP4001、E1010等)(「サーフィノール」および「オルフィン」は、日信化学工業株式会社の商品名)等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of the acetylene glycol compounds include Surfinol 104 series (104E, 104H, 104PG-50, 104PA, etc.), Surfynol 400 series (420, 465, 485, etc.), Olphine series (EXP4036, EXP4001, E1010, etc.). ("Surfinol" and "Orphine" are trade names of Nissin Chemical Industry Co., Ltd.) and the like, and one or more of these can be used in combination.
また、インク中には、HLB値が異なる2種以上のアセチレングリコール系化合物を含んでいるのが好ましい。導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角を所定の範囲により容易に調整することができる。
特に、インク中に含まれる2種以上のアセチレングリコール系化合物のうち、最もHLB値が高いアセチレングリコール系化合物のHLB値と、最もHLB値が低いアセチレングリコール系化合物のHLB値との差が、4〜12であるのが好ましく、5〜10であるのがより好ましい。これにより、より少ないアセチレングリコール系化合物の添加量で、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角を所定の範囲により容易に調整することができる。
The ink preferably contains two or more acetylene glycol compounds having different HLB values. The contact angle between the conductor pattern forming ink and the ceramic molded body can be easily adjusted within a predetermined range.
In particular, the difference between the HLB value of the acetylene glycol compound having the highest HLB value and the HLB value of the acetylene glycol compound having the lowest HLB value among the two or more acetylene glycol compounds contained in the ink is 4 It is preferably -12, and more preferably 5-10. Accordingly, the contact angle between the conductor pattern forming ink and the ceramic molded body can be easily adjusted within a predetermined range with a smaller amount of the acetylene glycol compound.
インク中に2種以上のアセチレングリコール系化合物を含むものを用いる場合、最もHLB値の高いアセチレングリコール系化合物のHLB値は、8〜16であるのが好ましく、9〜14であるのがより好ましい。
また、インク中に2種以上のアセチレングリコール系化合物を含むものを用いる場合、最もHLB値の低いアセチレングリコール系化合物のHLB値は、2〜7であるのが好ましく、3〜5であるのがより好ましい。
インク中に含まれるアセチレングリコール系化合物の含有量は、0.001〜1wt%であるのが好ましく、0.01〜0.5wt%であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角をより効果的に所定の範囲に調整することができる。
When the ink containing two or more acetylene glycol compounds is used, the HLB value of the acetylene glycol compound having the highest HLB value is preferably 8 to 16, more preferably 9 to 14. .
Moreover, when using what contains 2 or more types of acetylene glycol type compounds in an ink, it is preferable that the HLB value of the acetylene glycol type compound with the lowest HLB value is 2-7, and it is 3-5. More preferred.
The content of the acetylene glycol compound contained in the ink is preferably 0.001 to 1 wt%, and more preferably 0.01 to 0.5 wt%. As a result, the contact angle between the conductor pattern forming ink and the ceramic molded body can be more effectively adjusted to a predetermined range.
また、導体パターン形成用インクには、上記成分の他、1,3−プロパンジオールが含まれていてもよい。これにより、インクジェットヘッドの吐出部付近における水系分散媒の揮発をより効果的に抑制することができるとともに、インクの粘度をより適度なものとすることができ、吐出安定性がさらに向上する。
インク中に1,3−プロパンジオールを含む場合、その含有量は、0.5〜20wt%であるのが好ましく、2〜10wt%であるのがより好ましい。これにより、インクの吐出安定性をより効果的に向上させることができる。
なお、導体パターン形成用インクの構成成分は、上記成分に限定されず、上記以外の成分を含んでいてもよい。
例えば、導体パターン形成用インクは、エチレングリコール、1,3−ブチレングリコール、プロピレングリコール等の多価アルコールを含んでいてもよい。
Further, the conductor pattern forming ink may contain 1,3-propanediol in addition to the above components. As a result, volatilization of the aqueous dispersion medium in the vicinity of the ejection portion of the inkjet head can be more effectively suppressed, the viscosity of the ink can be made more appropriate, and ejection stability is further improved.
When 1,3-propanediol is contained in the ink, the content thereof is preferably 0.5 to 20 wt%, and more preferably 2 to 10 wt%. Thereby, the ejection stability of ink can be improved more effectively.
The constituent components of the conductor pattern forming ink are not limited to the above components, and may include components other than those described above.
For example, the conductive pattern forming ink may contain a polyhydric alcohol such as ethylene glycol, 1,3-butylene glycol, or propylene glycol.
《導体パターン形成用インクの製造方法》
次に、上述したような導体パターン形成用インクの製造方法の一例について説明する。
本実施形態では導体パターン形成用インクは、銀コロイド粒子が水系分散媒中に分散したコロイド液であるとして説明する。
本実施形態のインクを製造する際には、まず、上記分散剤と、還元剤とを溶解した水溶液を調製する。
分散剤の配合量としては、出発物質である硝酸銀のような銀塩中の銀と分散剤とのモル比が1:1〜1:100程度となるように配合することが好ましい。銀塩に対する分散剤のモル比が大きくなると、銀粒子の粒径が小さくなって導体パターン形成後の粒子同士の接触点が増えるため、体積抵抗値の低い被膜を得ることができる。
<< Method for producing conductive pattern forming ink >>
Next, an example of a method for producing the above-described conductor pattern forming ink will be described.
In this embodiment, the conductor pattern forming ink will be described as a colloidal liquid in which silver colloidal particles are dispersed in an aqueous dispersion medium.
When manufacturing the ink of this embodiment, first, an aqueous solution in which the dispersant and the reducing agent are dissolved is prepared.
As a blending amount of the dispersing agent, it is preferable to blend so that a molar ratio of silver and the dispersing agent in a silver salt such as silver nitrate as a starting material is about 1: 1 to 1: 100. When the molar ratio of the dispersant to the silver salt is increased, the particle size of the silver particles is reduced and the contact points between the particles after the formation of the conductor pattern is increased, so that a film having a low volume resistance value can be obtained.
還元剤は、出発物質である硝酸銀(Ag+NO3−)のような銀塩中のAg+イオンを還元して銀粒子を生成するという働きを有する。
還元剤としては、特に限定されず、例えば、ヒドラジン、ジメチルアミノエタノール、メチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアミン系;水酸化ホウ素ナトリウム、水素ガス、ヨウ化水素等の水素化合物系;一酸化炭素、亜硫酸次亜リン酸等の酸化物系、Fe(II)化合物、Sn(II)化合物等の低原子価金属塩系、D−グルコースのような糖類、ホルムアルデヒド等の有機化合物系、あるいは上記の分散剤として挙げたヒドロキシ酸であるクエン酸、りんご酸や、ヒドロキシ酸塩であるクエン酸三ナトリウム、クエン酸三カリウム、クエン酸三リチウム、クエン酸三アンモニウム、りんご酸二ナトリウムやタンニン酸等が挙げられる。中でも、タンニン酸や、ヒドロキシ酸は還元剤として機能すると同時に分散剤としての効果を発揮するため好適に用いることができる。あるいは、金属表面で安定した結合を形成する分散剤として上記に挙げたメルカプト酸であるメルカプト酢酸、メルカプトプロピオン酸、チオジプロピオン酸、メルカプトコハク酸、チオ酢酸やメルカプト酸塩であるメルカプト酢酸ナトリウム、メルカプトプロピオン酸ナトリウム、チオジプロピオン酸ナトリウム、メルカプトコハク酸ナトリウム、メルカプト酢酸カリウム、メルカプトプロピオン酸カリウム、チオジプロピオン酸カリウム、メルカプトコハク酸カリウム等を好適に用いることができる。これらの分散剤や還元剤は単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。これらの化合物を使用する際には、光や熱を加えて還元反応を促進させてもよい。
また、還元剤の配合量としては、上記出発物質である銀塩を完全に還元できる量が必要であるが、過剰な還元剤は不純物として銀コロイド液中に残存してしまい、成膜後の導電性を悪化させる等の原因となるため、必要最小限の量が好ましい。具体的な配合量としては、上記銀塩と還元剤とのモル比が1:1〜1:3程度である。
The reducing agent has a function of generating silver particles by reducing Ag + ions in a silver salt such as silver nitrate (Ag + NO 3− ) which is a starting material.
The reducing agent is not particularly limited, and examples thereof include amines such as hydrazine, dimethylaminoethanol, methyldiethanolamine, and triethanolamine; hydrogen compounds such as sodium borohydride, hydrogen gas, and hydrogen iodide; carbon monoxide, Oxides such as hyposulfite hypophosphorous acid, low valent metal salts such as Fe (II) compounds and Sn (II) compounds, saccharides such as D-glucose, organic compounds such as formaldehyde, or the above dispersions Citric acid and malic acid which are the hydroxy acids mentioned as agents, and trisodium citrate, tripotassium citrate, trilithium citrate, triammonium citrate, disodium malate and tannic acid which are hydroxy acid salts It is done. Among them, tannic acid and hydroxy acid can be suitably used because they function as a reducing agent and at the same time exert an effect as a dispersant. Alternatively, mercaptoacetic acid, mercaptopropionic acid, thiodipropionic acid, mercaptosuccinic acid, mercaptosuccinic acid, mercaptoacetate sodium that is thioacetic acid or mercaptoate, listed above as a dispersant that forms a stable bond on the metal surface, Sodium mercaptopropionate, sodium thiodipropionate, sodium mercaptosuccinate, potassium mercaptoacetate, potassium mercaptopropionate, potassium thiodipropionate, potassium mercaptosuccinate and the like can be suitably used. These dispersants and reducing agents may be used alone or in combination of two or more. When these compounds are used, the reduction reaction may be promoted by applying light or heat.
In addition, the amount of the reducing agent is required to be an amount that can completely reduce the silver salt that is the starting material. However, the excessive reducing agent remains as impurities in the silver colloidal solution, and the film is formed after film formation. The necessary minimum amount is preferable because it causes deterioration of conductivity. Specifically, the molar ratio of the silver salt to the reducing agent is about 1: 1 to 1: 3.
本実施形態において、分散剤と還元剤とを溶解して水溶液を調製した後、この水溶液のpHを6〜12に調整することが好ましい。
これは、以下のような理由による。例えば、分散剤であるクエン酸三ナトリウムと還元剤である硫酸第一鉄とを混合した場合、全体の濃度にもよるがpHは大体4〜5程度と、上記したpH6を下回る。このとき存在する水素イオンは、下記反応式(1)で表される反応の平衡を右辺に移動させ、COOHの量が多くなる。したがって、その後、銀塩溶液を滴下して得られる銀粒子表面の電気的反発力が減少し、銀粒子(コロイド粒子)の分散性が低下してしまう。
−COO−+H+ → −COOH…(1)
In this embodiment, it is preferable to adjust the pH of the aqueous solution to 6 to 12 after dissolving the dispersant and the reducing agent to prepare the aqueous solution.
This is due to the following reasons. For example, when trisodium citrate, which is a dispersant, and ferrous sulfate, which is a reducing agent, are mixed, the pH is about 4 to 5 and lower than the
−COO − + H + → −COOH (1)
そこで、分散剤と還元剤とを溶解して水溶液を調製した後、この水溶液にアルカリ性の化合物を添加し、水素イオン濃度を低下させる。
添加するアルカリ性の化合物としては、特に限定されず、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、アンモニア水等を用いることができる。これらの中では、少量で容易にpHを調整できる水酸化ナトリウムが好ましい。
なお、アルカリ性の化合物の添加量が多すぎて、pHが12を超えると、鉄イオンのような残存している還元剤のイオンの水酸化物の沈殿が起こりやすくなる。
Therefore, after dissolving the dispersant and the reducing agent to prepare an aqueous solution, an alkaline compound is added to the aqueous solution to reduce the hydrogen ion concentration.
It does not specifically limit as an alkaline compound to add, For example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, ammonia water etc. can be used. In these, sodium hydroxide which can adjust pH easily with a small amount is preferable.
In addition, when there is too much addition amount of an alkaline compound and pH exceeds 12, precipitation of the hydroxide of the ion of the remaining reducing agent like iron ion will occur easily.
次に、本実施形態のインクの製造工程では、調製した分散剤と還元剤とが溶解した水溶液に銀塩を含む水溶液を滴下する。
銀塩としては、特に限定されず、例えば、酢酸銀、炭酸銀、酸化銀、硫酸銀、亜硝酸銀、塩素酸銀、硫化銀、クロム酸銀、硝酸銀、二クロム酸銀等を用いることができる。これらの中では、水への溶解度が大きい硝酸銀が好ましい。
また、銀塩の量は、目的とするコロイド粒子の含有量、および、還元剤により還元される割合を考慮して定められるが、例えば、硝酸銀の場合、水溶液100重量部に対して15〜70重量部程度とするのが好ましい。
Next, in the ink manufacturing process of this embodiment, an aqueous solution containing a silver salt is dropped into an aqueous solution in which the prepared dispersant and reducing agent are dissolved.
The silver salt is not particularly limited, and for example, silver acetate, silver carbonate, silver oxide, silver sulfate, silver nitrite, silver chlorate, silver sulfide, silver chromate, silver nitrate, silver dichromate and the like can be used. . Among these, silver nitrate having a high solubility in water is preferable.
The amount of the silver salt is determined in consideration of the content of the desired colloidal particles and the ratio reduced by the reducing agent. For example, in the case of silver nitrate, 15 to 70 parts per 100 parts by weight of the aqueous solution. The amount is preferably about parts by weight.
銀塩水溶液は、上記銀塩を純水に溶かすことにより調製し、調製した銀塩の水溶液を徐々に前述した分散剤と還元剤とが溶解した水溶液中に滴下する。
この工程において、銀塩は還元剤により銀粒子に還元され、さらに、該銀粒子の表面に分散剤が吸着して銀コロイド粒子が形成される。これにより、銀コロイド粒子が水溶液中にコロイド状に分散した水溶液が得られる。
The silver salt aqueous solution is prepared by dissolving the silver salt in pure water, and the prepared silver salt aqueous solution is gradually dropped into the aqueous solution in which the dispersing agent and reducing agent described above are dissolved.
In this step, the silver salt is reduced to silver particles by a reducing agent, and the dispersant is adsorbed on the surface of the silver particles to form silver colloidal particles. As a result, an aqueous solution in which silver colloidal particles are colloidally dispersed in the aqueous solution is obtained.
得られた溶液中には、コロイド粒子のほかに、還元剤の残留物や分散剤が存在しており、液全体のイオン濃度が高くなっている。このような状態の液は、凝析が起こり、沈殿しやすい。そこで、このような水溶液中の余分なイオンを取り除いてイオン濃度を低下させるために、洗浄を行うことが望ましい。
洗浄の方法としては、例えば、得られたコロイド粒子を含む水溶液を一定期間静置し、生じた上澄み液を取り除いた上で、純水を加えて再度攪拌し、さらに一定期間静置して生じた上澄み液を取り除く工程を幾度が繰り返す方法、上記静置の代わりに遠心分離を行う方法、限外濾過等でイオンを取り除く方法等を挙げることができる。
In the obtained solution, in addition to the colloidal particles, a reducing agent residue and a dispersing agent are present, and the ion concentration of the whole liquid is high. The liquid in such a state is likely to coagulate and precipitate easily. Therefore, it is desirable to perform cleaning in order to remove excess ions in such an aqueous solution and lower the ion concentration.
As a washing method, for example, the aqueous solution containing the obtained colloidal particles is allowed to stand for a certain period, and the resulting supernatant liquid is removed, and then pure water is added and stirred again, and further left to stand for a certain period. In addition, a method of repeating the step of removing the supernatant liquid several times, a method of performing centrifugation instead of the above-mentioned standing, a method of removing ions by ultrafiltration, and the like can be mentioned.
あるいは、次のような方法で洗浄を行ってもよい。溶液を製造した後に溶液のpHを5以下の酸性の領域に調整し、上記反応式(1)の反応の平衡を右辺に移動させることで銀粒子表面の電気的反発力を減少させ、積極的に金属コロイド粒子を凝集させた状態で洗浄を行い、塩類や溶媒を除去することができる。メルカプト酸のような低分子量の硫黄化合物を分散剤として粒子表面に有する金属コロイド粒子であれば金属表面で安定した結合を形成するため、凝集した金属コロイド粒子は、溶液のpHを6以上のアルカリ性の領域に再調整することにより、容易に再分散し、分散安定性に優れた金属コロイド液を得ることができる。 Alternatively, cleaning may be performed by the following method. After the solution is prepared, the pH of the solution is adjusted to an acidic region of 5 or less, and the electric repulsive force on the surface of the silver particles is reduced by moving the equilibrium of the reaction of the above reaction formula (1) to the right side. It is possible to remove salts and solvents by washing in a state where metal colloidal particles are aggregated. In the case of a metal colloid particle having a low molecular weight sulfur compound such as mercapto acid on the particle surface as a dispersant, a stable bond is formed on the metal surface. Therefore, the aggregated metal colloid particle has an alkaline pH of 6 or more. By re-adjusting to this region, it is possible to obtain a metal colloid liquid that is easily redispersed and excellent in dispersion stability.
本実施形態のインクの製造過程では、上記工程の後、必要により銀コロイド粒子が分散した水溶液に水酸化アルカリ金属水溶液を添加し、最終的なpHを6〜11に調整することが好ましい。
これは、還元後に洗浄を行ったため、電解質イオンであるナトリウム濃度が減少している場合があり、このような状態の溶液では、下記反応式(2)で表される反応の平衡が右辺へ移動する。このままでは、銀コロイドの電気的反発力が減少して銀粒子の分散性が低下するため、適当量の水酸化アルカリを添加することにより、反応式(2)の平衡を左辺に移動させ、銀コロイドを安定化させるのである。
−COO−Na++H2O → −COOH+Na++OH−…(2)
In the ink production process of the present embodiment, it is preferable to adjust the final pH to 6 to 11 by adding an aqueous alkali metal hydroxide solution to an aqueous solution in which silver colloidal particles are dispersed as necessary after the above step.
This is because the concentration of sodium, which is an electrolyte ion, may be decreased because washing is performed after reduction. In the solution in such a state, the equilibrium of the reaction represented by the following reaction formula (2) moves to the right side. To do. If this is the case, the electrical repulsive force of the silver colloid is reduced and the dispersibility of the silver particles is lowered. Therefore, by adding an appropriate amount of alkali hydroxide, the equilibrium of the reaction formula (2) is shifted to the left side, and silver It stabilizes the colloid.
—COO — Na + + H 2 O → —COOH + Na + + OH − (2)
このときに使用する上記水酸化アルカリ金属としては、例えば、最初にpHを調整する際に用いた化合物と同様の化合物を挙げることができる。
pHが6未満では、反応式(2)の平衡が右辺に移動するため、コロイド粒子が不安定化し、一方、pHが11を超えると、鉄イオンのような残存しているイオンの水酸化塩の沈殿が起こりやすくなるため好ましくない。ただし、予め鉄イオン等を取り除いておけば、pHが11を超えても大きな問題はない。
なお、ナトリウムイオン等の陽イオンは水酸化物の形で加えるのが好ましい。これは、水の自己プロトリシスを利用できるため最も効果的にナトリウムイオン等の陽イオンを水溶液中に加えることができるからである。
As said alkali metal hydroxide used at this time, the compound similar to the compound used when adjusting pH first can be mentioned, for example.
If the pH is less than 6, the equilibrium of the reaction formula (2) shifts to the right side, so that the colloidal particles become unstable. On the other hand, if the pH exceeds 11, hydroxides of remaining ions such as iron ions This is not preferable because precipitation of selenium tends to occur. However, if iron ions or the like are removed in advance, there is no major problem even if the pH exceeds 11.
Cations such as sodium ions are preferably added in the form of hydroxides. This is because the self-protolysis of water can be used, so that cations such as sodium ions can be added to the aqueous solution most effectively.
以上のようにして得られた銀コロイド粒子が分散した水溶液に、前述したような有機バインダーや糖アルコール等の他の成分を添加することにより、導体パターン形成用インク(本発明の導体パターン形成用インク)を得る。
なお、有機バインダーや糖アルコール等の他の成分の添加時期は、特に限定されず、銀コロイド粒子の形成後ならいつでもよい。
By adding other components such as the organic binder and sugar alcohol as described above to the aqueous solution in which the colloidal silver particles obtained as described above are dispersed, a conductive pattern forming ink (for forming the conductive pattern of the present invention). Ink).
In addition, the addition time of other components, such as an organic binder and sugar alcohol, is not specifically limited, and may be any time after the formation of silver colloidal particles.
《導体パターン》
次に、本実施形態の導体パターンについて説明する。
この導体パターンは、上記インクをセラミックス成形体上に塗布した後、加熱することにより形成される薄膜状の導体パターンであって、銀粒子が相互に結合されてなり、少なくとも導体パターン表面において前記銀粒子同士が隙間なく結合している。
特に、当該導体パターンは、本発明の導体パターン形成用インクを用いて形成されるので、吐出不良による断線や隣接する導体パターン同士の接触等が防止されるとともに、クラック、断線等がなく、均質なものとなり、特に信頼性が高いものとなる。
《Conductor pattern》
Next, the conductor pattern of this embodiment will be described.
This conductor pattern is a thin-film-like conductor pattern formed by applying the above ink on a ceramic molded body and then heating, and silver particles are bonded to each other. The particles are bound together without any gaps.
In particular, since the conductor pattern is formed using the conductor pattern forming ink of the present invention, disconnection due to defective discharge or contact between adjacent conductor patterns is prevented, and there is no crack, disconnection, etc. And particularly reliable.
本実施形態の導体パターンは、上記インクを液滴吐出法によりセラミックス成形体上に付与してパターン(前駆体)を形成した後、乾燥(脱水系分散媒)させ、その後、焼結することにより形成される。
乾燥条件としては、例えば、40〜100℃で行うのが好ましく、50〜70℃で行うのがより好ましい。このような条件とすることにより、乾燥した際に、クラックが発生するのをより効果的に防止することができる。また、焼結は、160℃以上で20分以上加熱すればよい。なお、この前駆体の焼結は、セラミックス成形体の脱脂、焼結とともに行うことができる。
The conductor pattern of the present embodiment is formed by applying the above ink on a ceramic molded body by a droplet discharge method to form a pattern (precursor), drying (dehydrating dispersion medium), and then sintering. It is formed.
As drying conditions, it is preferable to carry out at 40-100 degreeC, for example, and it is more preferable to carry out at 50-70 degreeC. By setting it as such conditions, when it dries, it can prevent more effectively that a crack generate | occur | produces. Moreover, sintering should just heat at 160 degreeC or more for 20 minutes or more. The precursor can be sintered together with degreasing and sintering of the ceramic molded body.
導体パターンの比抵抗は、20μΩcm未満であることが好ましく、15μΩcm以下であることがより好ましい。このときの比抵抗は、インクの付与後、160℃で加熱、乾燥した後の比抵抗をいう。上記比抵抗が20μΩcm以上になると、導電性が要求される用途、すなわち回路基板上に形成する電極等に用いることが困難となる。
また、本実施形態の導体パターンを形成する際には、液滴吐出方法によりインクを付与してから予備加熱して水等の分散媒を蒸発させ、予備加熱後の膜の上に再度インクを付与する、といった工程を繰り返し行うことで、厚膜の導体パターンを形成することもできる。
水等の分散媒を蒸発させた後のインクには、上述したような有機バインダーと銀コロイド粒子が残存しているので、形成されたパターンが完全に乾燥しない状態でもパターンが流失してしまうおそれがない。従って、一旦、インクを付与して乾燥してから長時間放置し、その後、再度インクを付与することが可能になる。
The specific resistance of the conductor pattern is preferably less than 20 μΩcm, and more preferably 15 μΩcm or less. The specific resistance at this time refers to the specific resistance after heating and drying at 160 ° C. after ink application. When the specific resistance is 20 μΩcm or more, it becomes difficult to use it for applications requiring electrical conductivity, that is, for electrodes formed on a circuit board.
Also, when forming the conductor pattern of this embodiment, ink is applied by a droplet discharge method and then preheated to evaporate the dispersion medium such as water, and the ink is again applied on the preheated film. By repeating the step of applying, a thick-film conductor pattern can be formed.
Since the organic binder and silver colloidal particles as described above remain in the ink after the dispersion medium such as water is evaporated, the pattern may be lost even if the formed pattern is not completely dried. There is no. Therefore, it is possible to apply the ink once, dry it, leave it for a long time, and then apply the ink again.
また、上述したような有機バインダー(特に、ポリグリセリン化合物)は、化学的、物理的に安定な化合物であるので、インクを付与して乾燥してから長時間放置してもインクが変質するおそれがなく、再度インクを付与することが可能になり、均質なパターンを形成できる。これにより、導体パターン自体が多層構造になるおそれがなく、層間同士の間の比抵抗が上昇して導体パターン全体の比抵抗が増大するおそれがない。 In addition, since the organic binder (especially polyglycerin compound) as described above is a chemically and physically stable compound, the ink may be deteriorated even if it is left for a long time after being applied and dried. The ink can be applied again and a uniform pattern can be formed. Thereby, there is no possibility that the conductor pattern itself has a multilayer structure, and there is no possibility that the specific resistance between the layers increases and the specific resistance of the entire conductor pattern increases.
上記の工程を経ることによって、本実施形態の導体パターンは、従来のインクによって形成された導体パターンに比べて厚く形成することができる。より具体的には5μm以上の厚みのものを形成することができる。本実施形態の導体パターンは上記インクにより形成されるものであるので、5μm以上の厚膜に形成してもクラックの発生が少なく、低比抵抗の導体パターンを構成することができる。なお、厚みの上限については特に規定する必要はないが、過剰に厚くなると水系分散媒や有機バインダー等の除去が難しくなって比抵抗が増大するおそれがあるので、100μm以下程度にするのがよい。 By passing through the above steps, the conductor pattern of the present embodiment can be formed thicker than a conductor pattern formed by a conventional ink. More specifically, a film having a thickness of 5 μm or more can be formed. Since the conductor pattern of this embodiment is formed by the above ink, even if it is formed in a thick film of 5 μm or more, the occurrence of cracks is small, and a conductor pattern having a low specific resistance can be configured. The upper limit of the thickness is not particularly required, but if it is excessively thick, it may be difficult to remove the aqueous dispersion medium or the organic binder and the specific resistance may increase. .
さらに、本実施形態の導体パターンは、上述したような基板に対する密着性が良好である。
なお、上記のような導体パターンは、携帯電話やPDA等の移動通話機器の高周波モジュール、インターポーザー、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)、加速度センサー、弾性表面波素子、アンテナや櫛歯電極等の異形電極、その他各種計測装置等の電子部品等に適用することができる。
Furthermore, the conductor pattern of this embodiment has good adhesion to the substrate as described above.
Note that the conductor pattern as described above is a variant of a high-frequency module, interposer, MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), acceleration sensor, surface acoustic wave element, antenna, comb electrode, etc. of a mobile phone such as a mobile phone or PDA. It can be applied to electrodes and other electronic parts such as various measuring devices.
《配線基板およびその製造方法》
次に、本発明の導体パターン形成用インクによって形成された導体パターンを有する配線基板(セラミックス回路基板)およびその製造方法の一例について説明する。
本発明に係る配線基板は、各種の電子機器に用いられる電子部品となるもので、各種配線や電極等からなる回路パターン、積層セラミックスコンデンサ、積層インダクター、LCフィルタ、複合高周波部品等を基板に形成してなるものである。
<< Wiring board and manufacturing method thereof >>
Next, an example of a wiring board (ceramic circuit board) having a conductor pattern formed by the conductor pattern forming ink of the present invention and a method for manufacturing the same will be described.
The wiring board according to the present invention is an electronic component used in various electronic devices. A circuit pattern composed of various wirings, electrodes, etc., a multilayer ceramic capacitor, a multilayer inductor, an LC filter, a composite high-frequency component, etc. are formed on the substrate. It is made.
図1は、本発明の配線基板(セラミックス回路基板)の一例を示す縦断面図、図2は、図1に示す配線基板(セラミックス回路基板)の製造方法の、概略の工程を示す説明図、図3は、図1の配線基板(セラミックス回路基板)の、製造工程説明図、図4は、インクジェット装置(液滴吐出装置)の概略構成を示す斜視図、図5は、インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)の概略構成を説明するための模式図である。 FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an example of a wiring board (ceramic circuit board) according to the present invention. FIG. 2 is an explanatory view showing a schematic process of the method for manufacturing the wiring board (ceramic circuit board) shown in FIG. 3 is a manufacturing process explanatory diagram of the wiring board (ceramic circuit board) of FIG. 1, FIG. 4 is a perspective view showing a schematic configuration of an ink jet device (droplet discharge device), and FIG. 5 is an ink jet head (droplet). It is a schematic diagram for demonstrating schematic structure of a discharge head.
図1に示すように、セラミックス回路基板(配線基板)1は、セラミックス基板2が多数(例えば10枚から20枚程度)積層されてなる積層基板3と、この積層基板3の最外層、すなわち一方の側の表面に形成された、微細配線等からなる回路4とを有して形成されたものである。
積層基板3は、積層されたセラミックス基板2、2間に、本発明の導体パターン形成用インク(以下、単にインクと記す)により形成された回路(導体パターン)5を備えている。
また、これら回路5には、これに接続するコンタクト(ビア)6が形成されている。このような構成によって回路5は、上下に配置された回路5、5間が、コンタクト6によって導通したものとなっている。なお、回路4も、回路5と同様に、本発明の導体パターン形成用インクにより形成されたものとなっている。
As shown in FIG. 1, a ceramic circuit board (wiring board) 1 includes a
The
In addition, these
次に、セラミックス回路基板1の製造方法を、図2の概略工程図を参照して説明する。
まず、原料粉体として、平均粒径が1〜2μm程度のアルミナ(Al2O3)や酸化チタン(TiO2)等からなるセラミックス粉末と、平均粒径が1〜2μm程度のホウ珪酸ガラス等からなるガラス粉末とを用意し、これらを適宜な混合比、例えば1:1の重量比で混合する。
次に、得られた混合粉末に適宜なバインダー(結合剤)や可塑剤、有機溶剤(分散剤)等を加え、混合・撹拌することにより、スラリーを得る。ここで、バインダーとしては、ポリビニルブチラールが好適に用いられるが、これは水に不溶であり、かつ、いわゆる油系の有機溶媒に溶解しあるいは膨潤し易いものである。
Next, the manufacturing method of the
First, as a raw material powder, ceramic powder made of alumina (Al 2 O 3 ), titanium oxide (TiO 2 ) or the like having an average particle diameter of about 1 to 2 μm, borosilicate glass having an average particle diameter of about 1 to 2 μm, etc. Are prepared and mixed at an appropriate mixing ratio, for example, a weight ratio of 1: 1.
Next, a suitable binder (binder), a plasticizer, an organic solvent (dispersant), etc. are added to the obtained mixed powder, and a slurry is obtained by mixing and stirring. Here, polyvinyl butyral is preferably used as the binder, but it is insoluble in water and easily dissolved or swelled in a so-called oil-based organic solvent.
次に、得られたスラリーを、ドクターブレード、リバースコーター等を用いてPETフィルム上にシート状に形成し、製品の製造条件に応じて数μm〜数百μm厚のシートに成形し、その後、ロールに巻き取る。
続いて、製品の用途に合わせて切断し、さらに所定寸法のシートに裁断する。本実施形態では、例えば1辺の長さを200mmとする正方形状に裁断する。
Next, the obtained slurry is formed into a sheet on a PET film using a doctor blade, reverse coater, etc., and formed into a sheet having a thickness of several μm to several hundred μm depending on the production conditions of the product. Take up on a roll.
Subsequently, the sheet is cut according to the use of the product, and further cut into a sheet having a predetermined size. In this embodiment, for example, it is cut into a square shape having a side length of 200 mm.
次に、必要に応じて所定の位置に、CO2レーザー、YAGレーザー、機械式パンチ等によって孔開けを行うことでスルーホールを形成する。
そして、このスルーホールに、金属粒子が分散した厚膜導電ペーストを充填することにより、コンタクト6となるべき部位を形成する。さらに、厚膜導電ペーストをスクリーン印刷によって所定の位置に端子部(図示せず)を形成する。このようにしてコンタクト、端子部までを形成することにより、セラミックグリーンシート(セラミックス成形体)7を得る。なお、厚膜導電ペーストとしては、本発明の導体パターン形成用インクを用いることができる。
Next, a through hole is formed at a predetermined position by drilling with a CO 2 laser, a YAG laser, a mechanical punch or the like as required.
Then, by filling the through hole with a thick film conductive paste in which metal particles are dispersed, a portion to be the
以上のようにして得られたセラミックスグリーンシート7の一方の側の表面に、本発明における導体パターンとなる回路5の前駆体を、前記コンタクトに連続した状態に形成する。すなわち、図3(a)に示すようにセラミックスグリーンシート7上に、前述したような導体パターン形成用インク(以下単にインクともいう)10を液滴吐出(インクジェット)法により付与し、前記回路5となる前駆体11を形成する。
本実施形態において、導体パターン形成用インクの吐出は、例えば図4に示すインクジェット装置(液滴吐出装置)50、および、図5に示すインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)70を用いることにより行うことができる。以下に、インクジェット装置50およびインクジェットヘッド70について説明する。
On the surface of one side of the ceramic
In this embodiment, the conductive pattern forming ink is discharged by using, for example, an ink jet device (droplet discharge device) 50 shown in FIG. 4 and an ink jet head (droplet discharge head) 70 shown in FIG. Can do. Hereinafter, the
図4は、インクジェット装置50の斜視図である。図4において、X方向はベース52の左右方向であり、Y方向は前後方向であり、Z方向は上下方向である。
インクジェット装置50は、インクジェットヘッド(以下、単にヘッドと呼ぶ)70と、基材S(本実施形態ではセラミックスグリーンシート7)を載置するテーブル46とを有している。なお、インクジェット装置50の動作は、制御装置53により制御されるようになっている。
FIG. 4 is a perspective view of the
The
基材Sを載置するテーブル46は、第1移動手段54によりY方向に移動および位置決め可能とされ、モータ44によりθz方向に揺動および位置決め可能とされている。
一方、ヘッド70は、第2移動手段(図示せず)によりX方向に移動および位置決め可能とされ、リニアモータ62によりZ方向に移動および位置決め可能とされている。また、ヘッド70は、モータ64,66,68により、それぞれα,β,γ方向に揺動および位置決め可能とされている。このような構成のもとにインクジェット装置50は、ヘッド70のインク吐出面70Pと、テーブル46上の基材Sとの相対的な位置および姿勢を、正確にコントロールできるようになっている。
The table 46 on which the substrate S is placed can be moved and positioned in the Y direction by the first moving means 54, and can be swung and positioned in the θz direction by the
On the other hand, the
また、テーブル46の裏面には、ラバーヒータ(図示せず)が配設されている。テーブル46上に載置されたセラミックスグリーンシート7は、その上面全体がラバーヒータにて所定の温度に加熱されるようになっている。
セラミックスグリーンシート7に着弾したインク10は、その表面側から水系分散媒の少なくとも一部が蒸発する。このとき、セラミックスグリーンシート7は加熱されているので、水系分散媒の蒸発が促進される。そして、セラミックスグリーンシート7に着弾したインク10は、乾燥とともにその表面の外縁から増粘し、つまり、中央部に比べて外周部における固形分(粒子)濃度が速く飽和濃度に達することから表面の外縁から増粘していく。外縁の増粘したインク10は、セラミックスグリーンシート7の面方向に沿う自身の濡れ広がりを停止するため、着弾径しいては線幅の制御が容易になる。
この加熱温度は、前述した乾燥条件と同様となっている。
A rubber heater (not shown) is disposed on the back surface of the table 46. The entire upper surface of the ceramic
At least a part of the aqueous dispersion medium evaporates from the surface side of the
This heating temperature is the same as the drying conditions described above.
ヘッド70は、図5に示すように、インクジェット方式(液滴吐出方式)によってインク10をノズル(突出部)91から吐出するものである。
液滴吐出方式として、圧電体素子としてのピエゾ素子を用いてインクを吐出させるピエゾ方式や、インクを加熱して発生した泡(バブル)によりインクを吐出させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、インクに熱を加えないため、材料の組成に影響を与えないなどの利点を有する。そこで、図5に示すヘッド70には、前述したピエゾ方式が採用されている。
As shown in FIG. 5, the
Various known technologies such as a piezo method in which ink is ejected using a piezoelectric element as a piezoelectric element, and a method in which ink is ejected by bubbles generated by heating the ink are applied as a droplet ejection method. can do. Of these, the piezo method has the advantage that it does not affect the composition of the material because it does not apply heat to the ink. Therefore, the above-described piezo method is adopted for the
ヘッド70のヘッド本体90には、リザーバ95およびリザーバ95から分岐された複数のインク室93が形成されている。リザーバ95は、各インク室93にインク10を供給するための流路になっている。
また、ヘッド本体90の下端面には、インク吐出面を構成するノズルプレート(図示せず)が装着されている。このノズルプレートには、インク10を吐出する複数のノズル91が、各インク室93に対応して開口されている。そして、各インク室93から対応するノズル91に向かって、インク流路が形成されている。一方、ヘッド本体90の上端面には、振動板94が装着されている。この振動板94は、各インク室93の壁面を構成している。その振動板94の外側には、各インク室93に対応してピエゾ素子92が設けられている。ピエゾ素子92は、水晶等の圧電材料を一対の電極(不図示)で挟持したものである。その一対の電極は、駆動回路99に接続されている。
A
A nozzle plate (not shown) that constitutes an ink ejection surface is attached to the lower end surface of the head
そして、駆動回路99からピエゾ素子92に電気信号を入力すると、ピエゾ素子92が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子92が収縮変形すると、インク室93の圧力が低下して、リザーバ95からインク室93にインク10が流入する。また、ピエゾ素子92が膨張変形すると、インク室93の圧力が増加して、ノズル91からインク10が吐出される。なお、印加電圧を変化させることにより、ピエゾ素子92の変形量を制御することができる。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子92の変形速度を制御することができる。すなわち、ピエゾ素子92への印加電圧を制御することにより、インク10の吐出条件を制御し得るようになっている。
When an electric signal is input from the
したがって、このようなヘッド70を備えたインクジェット装置50を用いることにより、インク10を、セラミックスグリーンシート7上の所望する場所に所望の量、精度良く吐出し、配することができる。さらに、インク10は、本発明の導体パターン形成用インクであるので、ヘッド70内におけるインク10の乾燥が抑制され、金属粒子の析出が防止されている。よって、図3(a)に示したように前駆体11を、精度良くしかも容易に形成することができる。
このようにして前駆体11を形成したら、同様の工程により、前駆体11を形成したセラミックスグリーンシート7を必要枚数、例えば10枚から20枚程度作製する。
Therefore, by using the
After the
次いで、これらセラミックスグリーンシートからPETフィルムを剥がし、図2に示すようにこれらを積層することにより、積層体12を得る。このとき、積層するセラミックスグリーンシート7については、上下に重ねられるセラミックスグリーンシート7間で、それぞれの前駆体11が必要に応じてコンタクト6を介して接続するように配置する。その後、セラミックスグリーンシート7を構成するバインダーのガラス転移点以上に加熱しつつ、各セラミックスグリーンシート7同士を圧着する。これにより、積層体12を得る。
Next, the PET film is peeled off from these ceramic green sheets, and these are laminated as shown in FIG. At this time, the ceramic
このようにして積層体12を形成したら、例えば、ベルト炉などによって加熱処理する。これにより、各セラミックスグリーンシート7は焼結されることで、図3(b)に示すようにセラミックス基板2(本発明の配線基板)となり、また、前駆体11は、これを構成する銀コロイド粒子が焼結して配線パターンや電極パターンからなる回路(導体パターン)5となる。そして、このように積層体12が加熱処理されることで、この積層体12は図1に示した積層基板3となる。
After the
ここで、積層体12の加熱温度としては、セラミックスグリーンシート7中に含まれるガラスの軟化点以上とするのが好ましく、具体的には、600℃以上900℃以下とするのが好ましい。また、加熱条件としては、適宜な速度で温度を上昇させ、かつ下降させるようにし、さらに、最大加熱温度、すなわち前記の600℃以上900℃以下の温度では、その温度に応じて適宜な時間保持するようにする。
Here, the heating temperature of the
このようにガラスの軟化点以上の温度、すなわち前記温度範囲にまで加熱温度を上げることにより、得られるセラミックス基板2のガラス成分を軟化させることができる。したがって、その後常温にまで冷却し、ガラス成分を硬化させることにより、積層基板3を構成する各セラミックス基板2と回路(導体パターン)5との間がより強固に固着するようになる。
また、このような温度範囲で加熱することにより、得られるセラミックス基板2は、900°以下の温度で焼結されて形成された、低温焼結セラミックス(LTCC)となる。
Thus, the glass component of the obtained
Moreover, by heating in such a temperature range, the obtained
ここで、セラミックスグリーンシート7上に配されたインク10中の金属は、加熱処理によって互いに融着し、連続することによって導電性を示すようになる。
このような加熱処理によって回路5は、セラミックス基板2中のコンタクト6に直接接続させられ、導通させられて形成されたものとなる。ここで、この回路5が単にセラミックス基板2上に載っているだけでは、セラミックス基板2に対する機械的な接続強度が確保されず、したがって衝撃等によって破損してしまうおそれがある。しかしながら、本実施形態では、前述したようにセラミックスグリーンシート7中のガラスを一旦軟化させ、その後硬化させることにより、回路5をセラミックス基板2に対し強固に固着させている。したがって、形成された回路5は、機械的にも高い強度を有するものとなる。
なお、このような加熱処理により、回路4についても前記回路5と同時に形成することができ、これによってセラミックス回路基板1を得ることができる。
Here, the metals in the
By such heat treatment, the
Note that, by such heat treatment, the circuit 4 can be formed simultaneously with the
このようなセラミックス回路基板1の製造方法にあっては、特に積層基板3を構成する各セラミックス基板2の製造に際して、前述したようなインク10(本発明の導体パターン形成用インク)をセラミックスグリーンシート7に対して配しているので、この導体パターン形成用インク10をセラミックスグリーンシート7上に所望のパターン状で良好に配置することができ、したがって高精度の導体パターン(回路)5を形成することができる。
In such a method of manufacturing the
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、前述した実施形態では、金属粒子を溶媒に分散してなる分散液として、コロイド液を用いる場合について説明したが、コロイド液でなくてもよい。
また、前述した実施形態では、導体パターン形成用インクは、銀粒子が分散したものとして説明したが、銀以外のものであってもよい。金属粒子に含まれる金属としては、例えば、銀、銅、パラジウム、白金、金、または、これらの合金等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。金属粒子が合金である場合、前記金属が主とするもので、多の金属を含む合金であってもよい。また、上記金属同士が任意の割合で混ざった合金であってもよい。また、混合粒子(例えば、銀粒子と銅粒子とパラジウム粒子とが任意の比率で存在するもの)が液中に分散したものであってもよい。これら金属は、抵抗率が小さく、かつ、加熱処理によって酸化されない安定なものであるから、これらの金属を用いることにより、低抵抗で安定な導体パターンを形成することが可能になる。
As mentioned above, although this invention was demonstrated based on suitable embodiment, this invention is not limited to these.
For example, in the above-described embodiment, the case where the colloid liquid is used as the dispersion liquid in which the metal particles are dispersed in the solvent has been described, but the colloid liquid may not be used.
In the above-described embodiment, the conductor pattern forming ink is described as having silver particles dispersed therein, but may be other than silver. Examples of the metal contained in the metal particles include silver, copper, palladium, platinum, gold, and alloys thereof. One or more of these can be used in combination. When the metal particles are an alloy, the metal is mainly used, and an alloy containing many metals may be used. Moreover, the alloy which the said metals mixed with arbitrary ratios may be sufficient. Further, mixed particles (for example, particles in which silver particles, copper particles, and palladium particles are present in an arbitrary ratio) may be dispersed in a liquid. Since these metals have a low resistivity and are stable and are not oxidized by heat treatment, it is possible to form a stable conductor pattern with a low resistance by using these metals.
例えば、前述した実施形態では、セラミックス成形体に導体パターン形成用インクを付与し、焼結することにより、セラミックス基板と導体パターンを形成するものとして説明したが、セラミックス成形体以外にインクを付与して導体パターンを形成するものであってもよい。導体パターンの形成に用いられる基板としては、基板としては特に限定されず、例えば、セラミックス焼結体、アルミナ焼結体、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、ガラスエポキシ樹脂、ガラス等からなる基板等が挙げられる。また、セラミックス基板に直接導体パターン形成用インクを付与するものであってもよい。 For example, in the above-described embodiment, it has been described that the conductive pattern forming ink is applied to the ceramic molded body and sintered to form the ceramic substrate and the conductive pattern. However, the ink is applied to other than the ceramic molded body. The conductor pattern may be formed. As a board | substrate used for formation of a conductor pattern, it does not specifically limit as a board | substrate, For example, the board | substrate etc. which consist of a ceramic sintered compact, an alumina sintered compact, a polyimide resin, a phenol resin, a glass epoxy resin, glass etc. are mentioned. . Moreover, the ink for forming a conductor pattern may be directly applied to the ceramic substrate.
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
[1]導体パターン形成用インクの調製
各実施例および各比較例における導体パターン形成用インクは、以下のようにして製造した。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.
[1] Preparation of Ink for Conductive Pattern Formation Ink for forming a conductive pattern in each example and each comparative example was manufactured as follows.
(実施例1)
10N−NaOH水溶液を3mL添加してアルカリ性にした水50mLに、クエン酸3ナトリウム2水和物17g、タンニン酸0.36gを溶解した。得られた溶液に対して3.87mol/L硝酸銀水溶液3mLを添加し、2時間攪拌を行い、銀コロイド液を得た。次に、得られた銀コロイド液に対し、導電率が30μS/cm以下になるまで透析することで脱塩を行った。透析後、3000rpm、10分の条件で遠心分離を行うことで、粗大金属コロイド粒子を除去した。
(Example 1)
17 mL of trisodium citrate dihydrate and 0.36 g of tannic acid were dissolved in 50 mL of water made alkaline by adding 3 mL of 10N-NaOH aqueous solution. To the obtained solution, 3 mL of 3.87 mol / L silver nitrate aqueous solution was added and stirred for 2 hours to obtain a silver colloid solution. Next, desalting was performed by dialyzing the obtained silver colloid solution until the electric conductivity became 30 μS / cm or less. After dialysis, the coarse metal colloid particles were removed by centrifugation at 3000 rpm for 10 minutes.
この銀コロイド液に、有機バインダーとしての重量平均分子量500のポリグリセリンと、糖アルコールとしてのキシリトールおよびマルチトールと、アセチレングリコール系化合物としてのサーフィノール104PG50(日信化学工業社製)およびオルフィンEXP4036(日信化学工業社製)と、1,3−プロパンジオールとを、表1に示す配合量となるように添加した。このときの銀コロイド液のpHが6〜11の範囲にないときは、1N−NaOH水溶液を用いて銀コロイド液のpHを6〜11に調整した。さらに濃度調整用のイオン交換水を添加して調整し、導体パターン形成用インクとした。得られた導体パターン形成用インク中に含まれる銀粒子の平均粒径Dは、30nmであった。また、導体パターン形成用インク中における隣接する銀粒子同士の平均粒子間距離L1は、60.5nmであった。また、導体パターン形成用インクから水(水系分散媒)を除去して得られた混合物中における隣接する銀粒子同士の平均粒子間距離L2は、39.2nmであった。 To this silver colloid liquid, polyglycerin having a weight average molecular weight of 500 as an organic binder, xylitol and maltitol as sugar alcohols, Surfynol 104PG50 (manufactured by Nissin Chemical Industry Co., Ltd.) and Olphine EXP4036 as acetylene glycol compounds are used. Nissin Chemical Industry Co., Ltd.) and 1,3-propanediol were added so as to have the blending amounts shown in Table 1. When the pH of the silver colloid solution at this time was not in the range of 6 to 11, the pH of the silver colloid solution was adjusted to 6 to 11 using a 1N-NaOH aqueous solution. Furthermore, it was adjusted by adding ion exchange water for concentration adjustment to obtain a conductor pattern forming ink. The average particle diameter D of the silver particles contained in the obtained conductor pattern forming ink was 30 nm. The average inter-particle distance L 1 silver particles between adjacent in the conductive pattern forming ink was 60.5 nm. Further, the average inter-particle distance L 2 between adjacent silver particles in the mixture obtained by removing water (aqueous dispersion medium) from the conductor pattern forming ink was 39.2 nm.
(実施例2〜10)
銀コロイド液の調製において、硝酸銀水溶液を添加した後の攪拌時間および攪拌速度等の攪拌条件を調整し、表1に示すような平均粒径の銀粒子とし、また、各成分の添加量等を調整することにより、前述したような平均粒子間距離L1、L2が表1に示すような値となるようにした以外は、前記実施例1と同様にして導体パターン形成用インクを調製した。
(Examples 2 to 10)
In the preparation of the silver colloid solution, the stirring conditions such as the stirring time and stirring speed after adding the aqueous silver nitrate solution were adjusted to obtain silver particles having an average particle diameter as shown in Table 1, and the addition amount of each component, etc. By adjusting, the ink for forming a conductor pattern was prepared in the same manner as in Example 1 except that the average interparticle distances L 1 and L 2 were as shown in Table 1. .
(実施例11〜13)
有機バインダーとして、表1に示すような重量平均分子量のポリグリセリンを用いた以外は、前記実施例1と同様にして導体パターン形成用インクを調製した。
(実施例14〜16)
糖アルコールとして、表1に示すものを用い、その配合量を表1に示すように変更した以外は、前記実施例1と同様にして導体パターン形成用インクを調製した。
(Examples 11 to 13)
A conductive pattern forming ink was prepared in the same manner as in Example 1 except that polyglycerin having a weight average molecular weight as shown in Table 1 was used as the organic binder.
(Examples 14 to 16)
A conductive pattern forming ink was prepared in the same manner as in Example 1 except that the sugar alcohol shown in Table 1 was used and the blending amount thereof was changed as shown in Table 1.
(実施例17)
50mmol/Lの濃度の硝酸銀水溶液:1000mLを撹拌しながら、低分子量の硫黄化合物としてメルカプト酢酸:3.0gを添加した後、26wt%アンモニア水にて水溶液のpHを10.0に調整した。室温下、この水溶液に還元剤として400mmol/Lの濃度の水素化ホウ素ナトリウム水溶液:50mLを急速に添加することにより還元反応を行いメルカプト酢酸を粒子表面に有する銀コロイド粒子を溶液中で生成させた。
(Example 17)
While stirring a silver nitrate aqueous solution having a concentration of 50 mmol / L: 1000 mL, 3.0 g of mercaptoacetic acid as a low molecular weight sulfur compound was added, and then the pH of the aqueous solution was adjusted to 10.0 with 26 wt% aqueous ammonia. At room temperature, the aqueous solution of sodium borohydride having a concentration of 400 mmol / L as a reducing agent: 50 mL was rapidly added to the aqueous solution to carry out a reduction reaction to produce silver colloid particles having mercaptoacetic acid on the particle surface in the solution. .
こうして得られたコロイド溶液を20wt%硝酸を用いてpHを3.0に調整し、銀コロイド粒子を沈降させた後、真空濾過器で濾別し、濾液の電気伝導度が10.0μS/cm以下になるまで水洗して、銀コロイド粒子の湿ケーキを得た。
この銀コロイド粒子の湿ケーキを濃度が10wt%になるように水に添加し、撹拌しながら26wt%アンモニア水にてpHを9.0に調整して再分散させて、さらに濃縮して銀コロイド液を得た。
以下、実施例1と同様にして導体パターン形成用インクを調製した。
The colloidal solution thus obtained was adjusted to pH 3.0 using 20 wt% nitric acid, and silver colloid particles were allowed to settle, followed by filtration with a vacuum filter. The electric conductivity of the filtrate was 10.0 μS / cm. It washed with water until it became below, and obtained the wet cake of the silver colloid particle.
The silver colloid particle wet cake is added to water so that the concentration becomes 10 wt%, and the pH is adjusted to 9.0 with 26 wt% ammonia water while stirring and redispersed. A liquid was obtained.
Thereafter, an ink for forming a conductor pattern was prepared in the same manner as in Example 1.
(比較例1〜4)
銀コロイド液の調製において、硝酸銀水溶液を添加した後の攪拌時間および攪拌速度等を調整し、表1に示すような平均粒径の銀粒子とし、また、各成分の添加量等を調整することにより、前述したような平均粒子間距離L1、L2が表1に示すような値となるようにした以外は、前記実施例1と同様にして導体パターン形成用インクを調製した。
(比較例5)
有機バインダーを添加しなかった以外は、前記実施例1と同様にして導体パターン形成用インクを製造した。
(Comparative Examples 1-4)
In the preparation of the silver colloid solution, the stirring time and stirring speed after adding the aqueous silver nitrate solution are adjusted to obtain silver particles having an average particle diameter as shown in Table 1, and the addition amount of each component is adjusted. Thus, an ink for forming a conductor pattern was prepared in the same manner as in Example 1 except that the average interparticle distances L 1 and L 2 were as shown in Table 1.
(Comparative Example 5)
A conductor pattern forming ink was produced in the same manner as in Example 1 except that no organic binder was added.
表1に各実施例および各比較例の導体パターン形成用インクの組成を示す。なお、表中、ポリグリセリンをpolygly、キシリトールをXY、マルチトールをML、エリスリトールをER、ソルビトールをSbと示した。また、表中、導体パターン形成用インク中における隣接する銀粒子同士の平均粒子間距離L1を単にL1と、導体パターン形成用インクから水(水系分散媒)を除去して得られた混合物中における隣接する銀粒子同士の平均粒子間距離L2を単にL2と示した。 Table 1 shows the compositions of the conductive pattern forming inks of the examples and comparative examples. In the table, polyglycerin is indicated as polygly, xylitol as XY, maltitol as ML, erythritol as ER, and sorbitol as Sb. Further, in the table, the average inter-particle distance L 1 between adjacent silver particles in the conductor pattern forming ink is simply L 1 and a mixture obtained by removing water (aqueous dispersion medium) from the conductor pattern forming ink. The average inter-particle distance L 2 between adjacent silver particles in the inside was simply indicated as L 2 .
[2]セラミックスグリーンシートの作製
まず、以下のようにしてセラミックスグリーンシート(セラミックス成形体)を用意した。
平均粒径が1〜2μm程度のアルミナ(Al2O3)と酸化チタン(TiO2)等からなるセラミックス粉末と、平均粒径が1〜2μm程度のホウ珪酸ガラス等からなるガラス粉末とを1:1の重量比で混合し、バインダー(結合剤)としてポリビニルブチラール、可塑剤としてジブチルフタレートを加え、混合・撹拌することにより得たスラリーを、ドクターブレードでPETフィルム上にシート状に形成したものをセラミックスグリーンシートとし、1辺の長さを200mmとする正方形状に裁断したものを使用した。
[2] Production of Ceramic Green Sheet First, a ceramic green sheet (ceramic molded body) was prepared as follows.
1 ceramic powder composed of alumina (Al 2 O 3 ) and titanium oxide (TiO 2 ) having an average particle diameter of about 1 to 2 μm, and glass powder composed of borosilicate glass and the like having an average particle diameter of about 1 to 2 μm. : A mixture obtained by mixing at a weight ratio of 1 and adding polyvinyl butyral as a binder (binder) and dibutyl phthalate as a plasticizer, mixing and stirring, and forming a slurry on a PET film with a doctor blade Was used as a ceramic green sheet and cut into a square shape with a side length of 200 mm.
[3]保存性評価
各実施例および各比較例で得られた導体パターン形成用インクを製造直後にガラス基板上にそれぞれ、一滴ずつ滴下し、温度:25℃、湿度:50%の雰囲気下に放置した。放置後、滴下した導体パターン形成用インクに対してガラス棒を挿し、導体パターン形成用インクが液状を保っているか否かを確認した。インクが放置されてから液状が保てなくなるまでの日数を各導体パターン形成用インクの液状保持期間として、下記の4段階の基準に従い評価した。
A:液状保持期間が、30日以上。
B:液状保持期間が、7日以上、30日未満。
C:液状保持期間が、3日以上、7日未満。
D:液状保持期間が、3日未満。
[3] Evaluation of storage stability The ink for forming a conductor pattern obtained in each Example and each Comparative Example was dropped on a glass substrate immediately after the production, in an atmosphere of temperature: 25 ° C. and humidity: 50%. I left it alone. After leaving, a glass rod was inserted into the dropped conductor pattern forming ink, and it was confirmed whether or not the conductor pattern forming ink was in a liquid state. The number of days from when the ink was left until the liquid could not be maintained was evaluated as the liquid retention period of each conductor pattern forming ink according to the following four criteria.
A: Liquid retention period is 30 days or more.
B: Liquid retention period is 7 days or more and less than 30 days.
C: The liquid retention period is 3 days or more and less than 7 days.
D: Liquid retention period is less than 3 days.
[4]液滴吐出安定性評価
各実施例および比較例で得られた導体パターン形成用インクを製造直後にそれぞれ図4、5に示すようなインクジェット装置に投入した。まず、上記導体パターン形成用インクを搭載した上記インクジェット装置を用いて描画を行い、インクが安定して吐出されることを確認した。次に、インクジェット装置を、インクジェットヘッドを描画位置から外した待機状態で室温25℃、相対湿度50%、クラス100のクリーンルーム環境下に1週間放置した。次に、インクジェット装置の電源を入れて、上記のようにして得られたセラミックスグリーンシート20枚に対してベタパターンの描画を行った。インクの吐出が不安定になった場合は、インクジェット装置に搭載されている所定のクリーニング機能を用い、吐出の安定した状態に復帰させた。以上の操作を行い、下記評価基準により吐出安定性を評価した。
[4] Evaluation of droplet discharge stability The ink for forming a conductor pattern obtained in each of the examples and comparative examples was put into an ink jet apparatus as shown in FIGS. First, drawing was performed using the above-described inkjet device equipped with the above-described conductor pattern forming ink, and it was confirmed that the ink was stably ejected. Next, the ink jet apparatus was left for one week in a clean room environment of a room temperature of 25 ° C., a relative humidity of 50%, and a class 100 with the ink jet head removed from the drawing position. Next, the inkjet apparatus was turned on, and a solid pattern was drawn on the 20 ceramic green sheets obtained as described above. When the ejection of ink became unstable, a predetermined cleaning function mounted on the ink jet apparatus was used to return to a stable ejection state. The above operation was performed and the ejection stability was evaluated according to the following evaluation criteria.
A:描画中にノズルの目詰まりが発生せず、インクが安定して吐出される。(吐出安定性良好。)
B:描画中に目詰まりが発生し、インクの吐出が安定するまでに2回以内のクリーニング動作を要する。(実用上問題なし。)
C:描画中に目詰まりが発生し、インクの吐出が安定するまでに3回以上のクリーニング動作を要する。(実用可能。)
D:描画中に目詰まりが発生し、クリーニング動作によっても回復しない。(実用不可。)
さらに、待機状態の期間を30日間として、上記と同様の操作を行い、上記と同様の評価を行った。
A: No nozzle clogging occurs during drawing, and ink is stably ejected. (Discharge stability is good.)
B: Clogging occurs during drawing, and cleaning operations within two times are required until ink ejection is stabilized. (There is no practical problem.)
C: Clogging occurs during drawing, and three or more cleaning operations are required until ink ejection is stabilized. (Practical possible.)
D: Clogging occurs during drawing and does not recover even by a cleaning operation. (Not practical.)
Further, the same operation as described above was performed with the period of the standby state being 30 days, and the same evaluation as above was performed.
[5]セラミックス回路基板の作製および評価
各実施例および比較例で得られた導体パターン形成用インクを、それぞれ図4、5に示すようなインクジェット装置に投入した。
次に、上記セラミックスグリーンシートを60℃に昇温保持した。各吐出ノズルからそれぞれ1滴当り15ngの液滴を順次吐出し、線幅が40μm、厚み15μm、長さが10.0cmのライン(前駆体)を20本描画した。各ライン間の距離は、5mmとした。そして、このラインが形成されたセラミックスグリーンシートを乾燥炉に入れ、60℃で30分間加熱して乾燥した。
[5] Fabrication and Evaluation of Ceramic Circuit Board The conductor pattern forming inks obtained in the respective examples and comparative examples were put into an ink jet apparatus as shown in FIGS.
Next, the ceramic green sheet was heated to 60 ° C. and held. Drops of 15 ng per droplet were sequentially discharged from each discharge nozzle, and 20 lines (precursors) having a line width of 40 μm, a thickness of 15 μm, and a length of 10.0 cm were drawn. The distance between each line was 5 mm. And the ceramic green sheet in which this line was formed was put into the drying furnace, and it heated and dried at 60 degreeC for 30 minutes.
上記のようにして、ラインが形成されたセラミックスグリーンシートを第1のセラミックスグリーンシートとした。この第1のセラミックスグリーンシートを各インクにつき、20枚ずつ作成した。また、各シートについて、クラックがあるか否かを確認した。この結果を表2に示した。なお、表2には、第1のセラミックスグリーンシートのうち、ラインにクラックの入っていない良品の数を示した。 The ceramic green sheet on which the line was formed as described above was used as the first ceramic green sheet. 20 sheets of this first ceramic green sheet were prepared for each ink. Each sheet was checked for cracks. The results are shown in Table 2. Table 2 shows the number of non-defective products having no cracks in the line among the first ceramic green sheets.
次に、別のセラミックスグリーンシートに上記の金属配線の両端位置に機械式パンチ等によって孔開けを行うことで計40箇所に直径100μmのスルーホールを形成し、得られた各実施例および比較例の導体パターン形成用インクを充填することでコンタクト(ビア)を形成した。さらに、このコンタクト(ビア)上に2mm角のパターンを、得られた各実施例および比較例の導体パターン形成用インクを用いて上記液滴吐出装置を用いて端子部を形成した。
この端子部が形成されたセラミックスグリーンシートを第2のセラミックスグリーンシートとした。
次に、第2のセラミックスグリーンシートの下に第1のセラミックスグリーンシートを積層し、さらに無加工のセラミックスグリーンシートを補強層として2枚積層し、生の積層体を得た。この生の積層体を各インクにつき、第1のセラミックスグリーンシート20枚それぞれに作成し、各インクにつき20ブロックずつ作成した。
Next, through holes having a diameter of 100 μm were formed in a total of 40 locations by punching another ceramic green sheet with mechanical punches or the like at both ends of the metal wiring, and each of the obtained Examples and Comparative Examples A contact (via) was formed by filling the conductive pattern forming ink. Further, a 2 mm square pattern was formed on the contact (via), and the terminal portion was formed using the above-described droplet discharge device using the conductive pattern forming inks of the respective Examples and Comparative Examples.
The ceramic green sheet on which this terminal portion was formed was used as the second ceramic green sheet.
Next, the first ceramic green sheet was laminated under the second ceramic green sheet, and two unprocessed ceramic green sheets were laminated as reinforcing layers to obtain a raw laminate. This raw laminate was prepared for each of the 20 first ceramic green sheets for each ink, and 20 blocks were prepared for each ink.
次に、生の積層体を、95℃の温度において、250kg/cm2の圧力で30秒間プレスした後、大気中において、昇温速度66℃/時間で約6時間、昇温速度10℃/時間で約5時間、昇温速度85℃/時間で約4時間といった連続的に昇温する昇温過程を経て、最高温度890℃で30分間保持するといった焼結プロファイルに従って焼結し、セラミックス回路基板を得た。
冷却後、各セラミックス回路基板について、20本の導体パターン上に形成された端子部間にテスタをあて、それぞれ導通の有無を確認し、導通率が100%であったものを良品とした。なお、導通率は、各セラミックス回路基板中にある導通のあった導体パターンの数を、形成した導体パターンの数(20本)で除したものとした。
これらの結果を表2に示す。
Next, the raw laminate was pressed at a temperature of 95 ° C. at a pressure of 250 kg / cm 2 for 30 seconds, and then in the atmosphere at a temperature rising rate of 66 ° C./hour for about 6 hours and a temperature rising rate of 10 ° C. / The ceramic circuit is sintered according to a sintering profile in which the temperature is continuously raised, such as about 5 hours in time and about 4 hours at a rate of temperature increase of 85 ° C./hour, and then held at a maximum temperature of 890 ° C. for 30 minutes. A substrate was obtained.
After cooling, for each ceramic circuit board, a tester was applied between the terminal portions formed on the 20 conductor patterns to confirm the presence or absence of conduction, and those with a conductivity of 100% were regarded as non-defective products. The conductivity was obtained by dividing the number of conductive patterns in each ceramic circuit board by the number of formed conductive patterns (20).
These results are shown in Table 2.
表2に示すように、本発明の導体パターン形成用インクは、いずれも、吐出安定性に優れるものであった。
また、表2に示すように、各比較例の導体パターン形成用インクで製造したセラミックス回路基板では、セラミックス回路基板製造の際における描画・乾燥後に、ラインに多くのクラックが発生し、ライン形状自体が崩れやすい状況であった。一方、各実施例の導体パターン形成用インクで製造したセラミックス回路基板では、ラインにほとんどクラックの発生が見られず、明らかに比較例の場合より、ライン形状も崩れることがなかった。
As shown in Table 2, each of the conductor pattern forming inks of the present invention was excellent in ejection stability.
Also, as shown in Table 2, in the ceramic circuit board manufactured with the conductive pattern forming ink of each comparative example, many cracks occurred in the line after drawing and drying at the time of manufacturing the ceramic circuit board, and the line shape itself The situation was easy to collapse. On the other hand, in the ceramic circuit board manufactured with the conductor pattern forming ink of each example, almost no cracks were observed in the line, and clearly the line shape did not collapse compared to the comparative example.
また、表2に示すように、各比較例の導体形成用インクで製造したセラミックス回路基板では、焼結後の導通による断線の確認においても、ライン間の導通はほとんど取れなかった。これに対し、各実施例の導体パターン形成用インクで製造したセラミックス回路基板では、各ラインは、導通のあるラインが非常に多く、極めて良好な金属配線が得られた。この導通不良をX線で観察した結果、断線によるものであることが確認され、焼結時に断線が発生していることが確認された。 Moreover, as shown in Table 2, in the ceramic circuit board manufactured with the conductor forming ink of each comparative example, even when the disconnection due to the conduction after sintering was confirmed, the conduction between the lines was hardly obtained. On the other hand, in the ceramic circuit board manufactured with the conductor pattern forming ink of each example, each line had a very large number of conductive lines, and extremely good metal wiring was obtained. As a result of observing this poor conduction with X-rays, it was confirmed that it was due to disconnection, and it was confirmed that disconnection occurred during sintering.
1…セラミックス回路基板(配線基板) 2…セラミックス基板 3…積層基板 4、5…回路(導体パターン) 6…コンタクト 7…セラミックスグリーンシート 10…導体パターン形成用インク(インク) 11…前駆体 12…積層体 44…モータ 46…テーブル 50…インクジェット装置(液滴吐出装置) 52…ベース 53…制御装置 54…第1移動手段 62…リニアモータ 64、66、68…モータ 70…インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド、ヘッド) 70P…インク吐出面 90…ヘッド本体 91…ノズル(突出部) 92…ピエゾ素子 93…インク室 94…振動板 95…リザーバ 99…駆動回路 S…基材
DESCRIPTION OF
Claims (14)
平均粒径D[nm]の金属粒子と、水系分散媒と、有機バインダーとを含み、
導体パターン形成用インク中における隣接する前記金属粒子同士の平均粒子間距離をL1[nm]としたとき、1.7≦L1/D≦3.8の関係を満足し、
導体パターン形成用インクから前記水系分散媒を除去した時の隣接する前記金属粒子同士の平均粒子間距離をL2[nm]としたとき、1.03≦L2/D≦1.6の関係を満足することを特徴とする導体パターン形成用インク。 Conductor pattern forming ink for forming a conductor pattern on a substrate by a droplet discharge method,
Including metal particles having an average particle diameter D [nm], an aqueous dispersion medium, and an organic binder,
When the average inter-particle distance between adjacent metal particles in the conductive pattern forming ink is L 1 [nm], the relationship of 1.7 ≦ L 1 /D≦3.8 is satisfied,
When the average inter-particle distance between the adjacent metal particles when the aqueous dispersion medium is removed from the conductive pattern forming ink is L 2 [nm], a relationship of 1.03 ≦ L 2 /D≦1.6 An ink for forming a conductor pattern, characterized in that:
導体パターン形成用インクは、液滴吐出法により、前記セラミックス成形体上に付与されるものである請求項1ないし10のいずれかに記載の導体パターン形成用インク。 The substrate is formed by degreasing and sintering a sheet-like ceramic molded body made of a material containing ceramic particles and a binder,
The ink for forming a conductor pattern according to any one of claims 1 to 10, wherein the ink for forming a conductor pattern is applied onto the ceramic molded body by a droplet discharge method.
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