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JP2009130300A - 発光装置の製造方法 - Google Patents

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JP2009130300A
JP2009130300A JP2007306626A JP2007306626A JP2009130300A JP 2009130300 A JP2009130300 A JP 2009130300A JP 2007306626 A JP2007306626 A JP 2007306626A JP 2007306626 A JP2007306626 A JP 2007306626A JP 2009130300 A JP2009130300 A JP 2009130300A
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Abstract

【課題】放熱性を高めることができ且つフラックス洗浄工程が不要な発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】LEDチップ10をサブマウント部材30に共晶接合するチップ搭載工程を行い(図1(a))、その後、サブマウント部材30を伝熱板21に共晶接合するサブマウント搭載工程を行う(図1(b))。次に、配線基板22を伝熱板21の上記一表面側に固着する配線基板固着工程を行い(図1(c))、LEDチップ10と配線基板22の配線パターン23,23とをボンディングワイヤ14,14を介して接続するワイヤボンディング工程、封止部50の一部となる液状の封止樹脂50aを注入する樹脂注入工程を行い(図1(d))、光学部材60を配線基板22に固着する光学部材固着工程を行い、色変換部材70を配線基板22に固着する色変換部材固着工程を行う(図1(f))。
【選択図】図1

Description

本発明は、LEDチップ(発光ダイオードチップ)を利用した発光装置の製造方法に関するものである。
従来から、LEDチップとLEDチップから放射された光によって励起されてLEDチップとは異なる発光色の光を放射する波長変換材料としての蛍光材料とを組み合わせてLEDチップの発光色とは異なる色合いの混色光を出す発光装置の研究開発が各所で行われている。なお、この種の発光装置としては、例えば、青色光あるいは紫外光を放射するLEDチップと蛍光体とを組み合わせて白色の光(白色光の発光スペクトル)を得ることができるものが知られている。
また、この種の発光装置の応用例として、白色光が得られる発光装置を複数個用いた照明器具なども提供されている。しかしながら、この種の照明器具では、複数個の発光装置を回路基板に実装して器具本体に収納する必要があるので、LEDチップの発光部から器具本体までの熱抵抗が大きくなり、LEDチップのジャンクション温度が最大ジャンクション温度を超えないようにLEDチップへの入力電力を制限する必要があるから、光出力の高出力化が制限されてしまう。
これに対して、LEDチップを利用した発光装置において、光出力の高出力化を図るためにLEDチップで発生した熱を効率良く放熱させることができるようにした発光装置が提案されている(例えば、特許文献1)。
ここで、上記特許文献1には、図10に示すように、第1の熱伝導性材料からなる伝熱板21’と、伝熱板21’よりも小さな平面サイズに形成され伝熱板21’の一表面側に接着剤により接合された第2の熱伝導性材料からなるサブマウント部材30’と、サブマウント部材30’における伝熱板21’側とは反対側に接着剤により接合されたLEDチップ10’と、有機系絶縁性基材22a’の一表面側にLEDチップ10’に電気的に接続される配線パターン23’,23’が形成されるとともにサブマウント部材30’が内側に離間して配置される窓孔24’が厚み方向に貫設されてなり伝熱板21’の上記一表面側に固着された配線基板22’と、配線基板22’上においてLEDチップ10’およびボンディングワイヤ14’,14’を囲む形で配設された封止枠体40’と、蛍光体を含有した透光性封止樹脂からなり封止枠体40’の内側でLEDチップ10’およびボンディングワイヤ14’,14’を封止した封止部50’とを備えた発光装置が提案されている。
特開2006−5290号公報(段落〔0020〕,〔0011〕−〔0016〕、および図5,図1)
ところで、図10に示した構成の発光装置では、サブマウント部材30’と伝熱板21’とが有機系材料からなる接着剤(例えば、シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂など)により接合されていると、LEDチップ10’から伝熱板21’までの熱抵抗が大きくなって熱伝導性が低下してしまう。
そこで、図10に示した構成の発光装置の製造にあたっては、LEDチップ10’とサブマウント部材30’とを接合する接着剤、サブマウント部材30’と伝熱板21’とを接合する接着剤として、伝熱板21’の上記一表面側に固着されている配線基板22’の有機系絶縁性基材22a’の耐熱温度を考慮して、銀ペーストや半田(SnAgCu)ペーストを用いることが考えられるが、フラックスなどの樹脂成分が配線パターン23’,23’上に残渣として残ってしまい、ボンディング不良などの接続不良の原因となる恐れがあるので、フラックス洗浄工程を追加する必要があった。
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、放熱性を高めることができ且つフラックス洗浄工程が不要な発光装置の製造方法を提供することにある。
請求項1の発明は、第1の熱伝導性材料からなる伝熱板と、伝熱板よりも小さな平面サイズに形成され伝熱板の一表面側に接合された第2の熱伝導性材料からなるサブマウント部材と、サブマウント部材における伝熱板側とは反対側に接合されたLEDチップと、有機系絶縁性基材の一表面側にLEDチップに電気的に接続される配線パターンが形成されるとともにサブマウント部材が内側に離間して配置される窓孔が厚み方向に貫設されてなり伝熱板の前記一表面側に固着された配線基板とを備えた発光装置の製造方法であって、配線基板を伝熱板の前記一表面側に固着する配線基板固着工程を行う以前に、LEDチップをサブマウント部材に共晶接合するチップ搭載工程およびサブマウント部材を伝熱板に共晶接合するサブマウント搭載工程を備えることを特徴とする。
この発明によれば、配線基板を伝熱板の前記一表面側に固着する配線基板固着工程を行う以前に、LEDチップをサブマウント部材に共晶接合するチップ搭載工程およびサブマウント部材を伝熱板に共晶接合するサブマウント搭載工程を備えるので、チップ搭載工程においてLEDチップがサブマウント部材に共晶接合され、また、サブマウント搭載工程においてサブマウント部材が伝熱板に共晶接合されるから、チップ搭載工程およびサブマウント搭載工程においてフラックスを利用する必要がなく、しかも、LEDチップから伝熱板までの熱抵抗が小さくなるから、放熱性を高めることができ且つフラックス洗浄工程が不要になる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記チップ搭載工程および前記サブマウント搭載工程それぞれにおける共晶接合は、Nガス雰囲気中でのAuSu共晶接合であることを特徴とする。
この発明によれば、前記チップ搭載工程および前記サブマウント搭載工程における共晶接合がSnAgCu共晶接合の場合に比べて、前記LEDチップから前記伝熱板までの熱抵抗をより小さくすることができる。
請求項1の発明では、放熱性を高めることができ且つフラックス洗浄工程が不要になるという効果がある。
(実施形態1)
まず、本実施形態における発光装置について図2〜図6を参照しながら説明した後、当該発光装置の製造方法について図1を参照しながら説明する。
本実施形態における発光装置1は、LEDチップ10と、一表面側にLEDチップ10への給電用の配線パターン(導体パターン)23,23を有しLEDチップ10が上記一表面側に実装された矩形板状の実装基板20と、LEDチップ10から放射された光の配光を制御する光学部材であって実装基板20との間にLEDチップ10を収納する形で実装基板20の上記一表面側に固着された透光性材料からなるドーム状の光学部材60と、光学部材60と実装基板20とで囲まれた空間に充実されLEDチップ10および当該LEDチップ10に電気的に接続された複数本(本実施形態では、2本)のボンディングワイヤ14を封止した透光性封止材からなる封止部50と、LEDチップ10から放射され封止部50および光学部材60を透過した光によって励起されてLEDチップ10の発光色とは異なる色の光を放射する蛍光体および透光性材料により形成されたものであって実装基板20の上記一表面側において実装基板20との間にLEDチップ10などを囲む形で配設されるドーム状の色変換部材70とを備えている。ここにおいて、色変換部材70は、実装基板20の上記一表面側において光学部材60の光出射面60bとの間に空気層80が形成されるように配設されている。また、実装基板20は、上記一表面において光学部材60の外側に、光学部材60を実装基板20に固着する際に上記空間から溢れ出た封止樹脂を堰き止める環状の堰部27が突設されている。
ここにおいて、本実施形態における発光装置1を照明器具の光源として用いる場合には、例えば、照明器具における金属(例えば、Al,Cuなどの熱伝導率の高い金属)製の器具本体100(図3、図5、図6参照)と実装基板20とを、シリカやアルミナなどのフィラーからなる充填材を含有し且つ加熱時に低粘度化する樹脂シート(例えば、溶融シリカを高充填したエポキシ樹脂シートのような有機グリーンシート)からなる接合用部材90により接合すればよい。ここで、上記樹脂シートからなる接合用部材90は、電気絶縁性を有するとともに熱伝導率が高く加熱時の流動性が高く凹凸面への密着性が高いので、実装基板20を金属製の器具本体100に接合用部材90を介して接合する(実装基板20と器具本体100との間に接合用部材90を介在させた後で接合用部材90を加熱することで実装基板20と器具本体100とを接合する)際に接合用部材90と実装基板20および器具本体100との間に空隙が発生するのを防止することができて、密着不足による熱抵抗の増大やばらつきの発生を防止することができ、サーコン(登録商標)のようなゴムシート状の放熱シートなどを挟む場合に比べて、LEDチップ10から器具本体100までの熱抵抗を小さくすることができて放熱性が向上するとともに熱抵抗のばらつきが小さくなり、LEDチップ10のジャンクション温度の温度上昇を抑制できるから、入力電力を大きくでき、光出力の高出力化を図れる。なお、本実施形態における発光装置1を照明器具の光源として用いる場合には、図5に示すように、器具本体100に複数個の発光装置1を実装して複数個の発光装置1を直列接続したり並列接続したりすればよい。また、発光装置1は、金属製の器具本体100に限らず、接合用部材90を介して金属製部材に接合するようにしてもよい。
LEDチップ10は、青色光を放射するGaN系青色LEDチップであり、結晶成長用基板としてサファイア基板に比べて格子定数や結晶構造がGaNに近く且つ導電性を有するn形のSiC基板を用いており、SiC基板の主表面側にGaN系化合物半導体材料により形成されて例えばダブルへテロ構造を有する積層構造部からなる発光部がエピタキシャル成長法(例えば、MOVPE法など)により成長されているが、結晶成長用基板はSC基板に限らず、例えば、GaN基板などでもよい。ここで、LEDチップ10は、一表面側(図2(a)における上面側)にアノード電極(図示せず)が形成され、他表面側(図2(a)における下面側)にカソード電極が形成されている。上記カソード電極および上記アノード電極は、Ni膜とAu膜との積層膜により構成してあるが、上記カソード電極および上記アノード電極の材料は特に限定するものではなく、良好なオーミック特性が得られる材料であればよく、例えば、Alなどを採用してもよい。また、LEDチップ10の構造は特に限定するものではなく、例えば、結晶成長用基板の主表面側に発光部などをエピタキシャル成長した後に発光部を支持する支持基板(例えば、Si基板など)を発光部に固着してから、結晶成長用基板などを除去したものを用いてもよい。
実装基板20は、第1の熱伝導性材料(例えば、Cuなど)からなる矩形板状の伝熱板21と、伝熱板21よりも小さく且つLEDチップ10よりも大きな平面サイズに形成され伝熱板21の一表面側(図2(a)における上面側)に接合された第2の熱伝導性材料(例えば、AlNなど)からなるサブマウント部材30と、有機系絶縁性基材22aの一表面側にLEDチップ10に電気的に接続される上述の配線パターン23,23が形成されるとともにサブマウント部材30が内側に離間して配置される窓孔24が厚み方向に貫設されてなり伝熱板21の上記一表面側に固着された矩形板状のフレキシブル配線板からなる配線基板22とで構成されており、サブマウント部材30における伝熱板21側とは反対側にLEDチップ10が接合されている。したがって、LEDチップ10で発生した熱が配線基板22を介さずにサブマウント部材30および伝熱板21に伝熱されるようになっている。ここにおいて、配線基板22は、伝熱板21の上記一表面側に例えばポリオレフィン系の固着シート29(図3参照)を介して固着されている。また、伝熱板21の上記一表面には、サブマウント部材30の位置決め精度を高めるためのアライメントマーク21c(図3参照)が形成されている。
なお、本実施形態では、伝熱板21の第1の熱伝導性材料としてCuを採用しているが、Cuに限らず、例えば、Alなどを採用してもよい。また、本実施形態では、LEDチップ10の発光部が結晶成長用基板よりも伝熱板21から離れた側となるように伝熱板21に搭載されているが、LEDチップ10の発光部が結晶成長用基板よりも伝熱板21に近い側となるように伝熱板21に搭載するようにしてもよい。光取り出し効率を考えた場合には、発光部を伝熱板21から離れた側に配置することが望ましいが、本実施形態では結晶成長用基板と発光部とが同程度の屈折率を有しているので、発光部を伝熱板21に近い側に配置しても光の取り出し損失が大きくなりすぎることはない。
上述の配線基板22は、ポリイミドフィルムからなる有機系絶縁性基材22aの一表面側に、LEDチップ10への給電用の一対の配線パターン23,23が設けられるとともに、各配線パターン23,23および有機系絶縁性基材22aにおいて配線パターン23,23が形成されていない部位を覆う白色系のレジスト(樹脂)からなる保護層26が積層されている。したがって、LEDチップ10の側面から放射され保護層26の表面に入射した光が保護層26の表面で反射されるので、LEDチップ10から放射された光が配線基板22に吸収されるのを防止することができ、外部への光取り出し効率の向上による光出力の向上を図れる。なお、各配線パターン23,23は、有機系絶縁性基材22aの外周形状の半分よりもやや小さな外周形状に形成されている。また、有機系絶縁性基材22aの材料としては、FR4、FR5、紙フェノールなどを採用してもよい。
保護層26は、配線基板22の窓孔24の近傍において各配線パターン23,23の2箇所が露出し、配線基板22の周部において各配線パターン23,23の1箇所が露出するようにパターニングされており、各配線パターン23,23は、配線基板22の窓孔24近傍において露出した2つの矩形状の部位が、ボンディングワイヤ14が接続される端子部23aを構成し、配線基板22の周部において露出した円形状の部位が外部接続用電極部23bを構成している。なお、配線基板22の配線パターン23,23は、Cu膜とNi膜とAu膜との積層膜により構成されている。また、2つの外部接続用電極部23bのうちLEDチップ10の上記アノード電極が電気的に接続される外部接続用電極部23b(図6における右側の外部接続用電極部23b)には「+」の表示が形成され、LEDチップ10の上記カソード電極が電気的に接続される外部接続用電極部23b(図6における左側の外部接続用電極部23b)には「−」の表示が形成されているので、発光装置1における両外部接続用電極部23b,23bの極性を視認することができ、誤接続を防止することができる。
サブマウント部材30は、LEDチップ10と伝熱板21との線膨張率の差に起因してLEDチップ10に働く応力を緩和する応力緩和機能と、LEDチップ10で発生した熱を伝熱板21においてLEDチップ10のチップサイズよりも広い範囲に伝熱させる熱伝導機能を有している。したがって、本実施形態の発光装置1では、LEDチップ10がサブマウント部材30を介して伝熱板21に搭載されているので、LEDチップ10で発生した熱をサブマウント部材30および伝熱板21を介して効率良く放熱させることができるとともに、LEDチップ10と伝熱板21との線膨張率差に起因してLEDチップ10に働く応力を緩和することができる。
本実施形態では、サブマウント部材30の材料として熱伝導率が比較的高く且つ絶縁性を有するAlNを採用しており、LEDチップ10は、上記カソード電極がサブマウント部材30におけるLEDチップ10側の表面に設けられ上記カソード電極と接続される導体パターン31(図3参照)および金属細線(例えば、金細線、アルミニウム細線など)からなるボンディングワイヤ14を介して一方の配線パターン23と電気的に接続され、上記アノード電極がボンディングワイヤ14を介して他方の配線パターン23と電気的に接続されている。ここにおいて、LEDチップ10とサブマウント部材30とは、AuSnにより共晶接合され、サブマウント部材30と伝熱板21とも、AuSnにより共晶接合されているが、いずれの共晶接合においても、接合表面にあらかじめAuからなる金属層が形成されている。
サブマウント部材30の材料はAlNに限らず、線膨張率がLEDチップ10の結晶成長用基板の材料に比較的近く且つ熱伝導率が比較的高い材料であればよく、例えば、複合SiC、Si、Cu、CuWなどを採用してもよい。なお、サブマウント部材30は、上述の熱伝導機能を有しており、伝熱板21におけるLEDチップ10側の表面の面積はLEDチップ10における伝熱板21側の表面の面積よりも十分に大きいことが望ましい。
また、本実施形態における発光装置1では、サブマウント部材30の厚み寸法を、当該サブマウント部材30の表面が配線基板22の保護層26の表面よりも伝熱板21から離れるように設定してあり、LEDチップ10から側方に放射された光が配線基板22の窓孔24の内周面を通して配線基板22に吸収されるのを防止することができる。なお、サブマウント部材30においてLEDチップ10が接合される側の表面においてLEDチップ10との接合部位の周囲に、LEDチップ10から放射された光を反射する反射膜を形成すれば、LEDチップ10の側面から放射された光がサブマウント部材30に吸収されるのを防止することができ、外部への光取出し効率をさらに高めることが可能となる。ここで、反射膜は、例えば、Ni膜とAg膜との積層膜により構成すればよい。
上述の封止部50の材料である透光性封止材としては、シリコーン樹脂を用いているが、シリコーン樹脂に限らず、例えばアクリル樹脂、ガラスなどを用いてもよい。
光学部材60は、透光性材料(例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、ガラスなど)の成形品であってドーム状に形成されている。ここで、本実施形態では、光学部材60をシリコーン樹脂の成形品により構成しているので、光学部材60と封止部50との屈折率差および線膨張率差を小さくすることができる。
ところで、光学部材60は、光出射面60bが、光入射面60aから入射した光を光出射面60bと上述の空気層80との境界で全反射させない凸曲面状に形成されており、LEDチップ10と光軸が一致するように配置されている。したがって、LEDチップ10から放射され光学部材60の光入射面60aに入射された光が光出射面60bと空気層80との境界で全反射されることなく色変換部材70まで到達しやすくなり、全光束を高めることができる。なお、LEDチップ10の側面から放射された光は封止部50および光学部材60および空気層80を伝搬して色変換部材70まで到達し色変換部材70の蛍光体を励起したり蛍光体には衝突せずに色変換部材70を透過したりする。また、光学部材60は、位置によらず法線方向に沿って肉厚が一様となるように形成されている。
色変換部材70は、シリコーン樹脂のような透光性材料とLEDチップ10から放射された青色光によって励起されてブロードな黄色系の光を放射する粒子状の黄色蛍光体とを混合した混合物の成形品により構成されている(つまり、色変換部材70は、蛍光体を含有している)。したがって、本実施形態の発光装置1は、LEDチップ10から放射された青色光と黄色蛍光体から放射された光とが色変換部材70の外面70bを通して放射されることとなり、白色光を得ることができる。なお、色変換部材70の材料として用いる透光性材料は、シリコーン樹脂に限らず、例えば、アクリル樹脂、ガラス、有機成分と無機成分とがnmレベルもしくは分子レベルで混合、結合した有機・無機ハイブリッド材料などを採用してもよい。また、色変換部材70の材料として用いる透光性材料に混合する蛍光体も黄色蛍光体に限らず、例えば、赤色蛍光体と緑色蛍光体とを混合しても白色光を得ることができる。
ここで、色変換部材70は、内面70aが光学部材60の光出射面60bに沿った形状に形成されている。したがって、光学部材60の光出射面60bの位置によらず法線方向における光出射面60bと色変換部材70の内面70aとの間の距離が略一定値となっている。なお、色変換部材70は、位置によらず法線方向に沿った肉厚が一様となるように成形されている。また、色変換部材70は、実装基板20側の端縁(開口部の周縁)を実装基板20に対して、例えば接着剤(例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂など)を用いて固着すればよい。
ところで、本実施形態における発光装置1を光源として用いた上述の照明器具は、図5および図6に示すように、各発光装置1の接続関係を規定する配線パターン202が絶縁性基材201の一表面側に形成された回路基板200を備えている。なお、本実施形態では、複数の発光装置1を直列接続しているが、複数の発光装置1の接続関係は特に限定するものではなく、例えば、並列接続するようにしてもよいし、直列接続と並列接続とを組み合わせてもよい。
回路基板200は、浅い有底円筒状の器具本体100内において当該器具本体100の底壁100aから離間して配置されるものであり、各発光装置1それぞれに対応する部位に各発光装置1の一部を通す開孔窓204が形成されている。なお、回路基板200の絶縁性基材201の材料としては、例えば、FR4のようなガラスエポキシ樹脂を採用すればよいが、ガラスエポキシ樹脂に限らず、例えば、ポリイミド系樹脂、フェノール樹脂などでもよい。また、器具本体100の形状は特に限定するものではなく、例えば、平板状でもよい。
上述の回路基板200は、器具本体100の底壁100aに貫設されている挿通孔100cに挿通された給電用のリード線が挿通される電線挿通孔206が貫設されており、電線挿通孔206に挿通された一対の電線が電気的に接続されるようになっている。また、回路基板200は、器具本体100の底壁100a側とは反対の表面側に白色系のレジスト層からなる光反射層203が形成されており、配線パターン202の大部分が光反射層203により覆われている。
また、回路基板200は、各開口窓204の開口サイズが発光装置1における実装基板20の平面サイズよりもやや大きく設定されている。なお、回路基板200には、発光装置1のLEDチップ10へ過電圧が印加されるのを防止するために、過電圧防止用の表面実装型のツェナダイオード231(図6参照)および表面実装型のセラミックコンデンサ232(図6参照)が各開口窓204の近傍で実装されている。
一方、発光装置1は、実装基板20の各外部接続用電極部23bが端子板210を介して回路基板200の配線パターン202と電気的に接続されている。ここにおいて、端子板210は、細長の金属板の一端部をL字状に曲成することにより配線パターン202に厚み方向が重なる形で半田などを用いて接合される端子片211を形成するとともに、他端部をJ字状に曲成することにより外部接続用電極部23bに厚み方向が一致する形で半田などを用いて接合される端子片212を形成したものであり、器具本体100と回路基板200との線膨張率差に起因して接続端子210と外部接続用電極部23bおよび配線パターン202それぞれとの接合部に発生する応力を緩和可能となっており、各発光装置1と回路基板200との間の接続信頼性を高めることができる。
また、本実施形態における発光装置1では、上述のように、実装基板20の上記一表面において光学部材60の外側に、光学部材60を実装基板20に固着する際に上記空間(光学部材60と実装基板20とで囲まれた空間)から溢れ出た封止樹脂を堰き止める環状(本実施形態では、円環状)の堰部27を突設してある。ここにおいて、堰部27は、白色系のレジストにより形成されている。また、堰部27は、当該堰部27の内周面から内方へ延出し当該堰部27の中心と光学部材60の中心軸とをセンタリングする複数(本実施形態では、4つ)のセンタリング用爪部27bが周方向に離間して等間隔で設けられ、且つ、色変換部材70の位置決め部を兼ねている。ここで、上述のセンタリング用爪部27bの数は4つに限定するものではないが、少なくとも3つ設けることが望ましく、堰部27と光学部材60との間に溜めることが可能な封止樹脂の許容量を多くするためにセンタリング用爪部27bの幅寸法は小さいほうが望ましい。
また、色変換部材70は、実装基板20側の端縁に、堰部27に係合する切欠部71が全周に亘って形成されている。したがって、本実施形態における発光装置1では、実装基板20に対する色変換部材70の位置決め精度を高めることができ、また、色変換部材70と光学部材60との間隔を短くすることができる。なお、切欠部71は、色変換部材70の端縁側と内面70a側とが開放されている。
また、上述の実装基板20における配線パターン23,23は、色変換部材70よりも外側において露出した部位が上述の外部接続用電極部23b,23bを構成している。
以下、本実施形態の発光装置1の製造方法について図1を参照しながら説明する。
まず、LEDチップ10をサブマウント部材30に共晶接合するチップ搭載工程を行うことによって、図1(a)に示す構造を得る。ここで、チップ搭載工程における共晶接合は、Nガス雰囲気中でのAuSu共晶接合であり、予めサブマウント部材30の上記接合表面の金属層上にAuSn層をスパッタ法などによりメタライズしておき、サブマウント部材30を上記導体パターン31が設けられた面とは反対側から加熱源(ヒータなど)により加熱してAuSn層を320℃以上の温度で溶融させた状態でLEDチップ10とサブマウント部材30とを近づけて共晶接合させるようにしている。なお、チップ搭載工程における加熱源および加熱方法は特に限定するものではない。また、チップ搭載工程では、成形ずみのAuSn半田をサブマウント部材30の上記接合表面の金属層上に供給し、その後、サブマウント部材30を上記導体パターン31が設けられた面とは反対側から加熱源により加熱してAuSn半田を320℃以上の温度で溶融させた状態でLEDチップ10とサブマウント部材30とを近づけて共晶接合させるようにしてもよい。
上述のチップ搭載工程の後、サブマウント部材30を伝熱板21に共晶接合するサブマウント搭載工程を行うことによって、図1(b)に示す構造を得る。ここで、サブマウント搭載工程における共晶接合は、Nガス雰囲気中でのAuSu共晶接合であり、成形ずみのAuSn半田を伝熱板21の上記接合表面の金属層上に供給し、その後、伝熱板21を他表面側から加熱源(ヒータなど)により加熱してAuSn半田を320℃以上の温度で溶融させた状態でサブマウント部材30と伝熱板21とを近づけて共晶接合させるようにしている。なお、サブマウント搭載工程における加熱源および加熱方法は特に限定するものではない。また、サブマウント搭載工程では、予め伝熱板21の上記接合表面の金属層上にAuSn層をスパッタ法などによりメタライズしておき、伝熱板21を上記他表面側から加熱源により加熱してAuSn層を320℃以上の温度で溶融させた状態でサブマウント部材30と伝熱板21とを近づけて共晶接合させるようにしてもよい。
上述のチップ搭載工程およびサブマウント搭載工程が終了した後、配線基板22を伝熱板21の上記一表面側に固着する配線基板固着工程を行うことによって、図1(c)に示す構造を得る。ここで、配線基板固着工程では、上述のポリオレフィン系の固着シート29(図3参照)を用いて配線基板22と伝熱板21とを固着しているが、固着シート29の材料は特に限定するものではない。
上述の配線基板固着工程の後、LEDチップ10と配線基板22の配線パターン23,23とをボンディングワイヤ14,14を介して電気的に接続するワイヤボンディング工程を行い、続いて、配線基板22の窓孔24に連続して形成されている樹脂注入孔28(図3参照)からサブマウント部材30と配線基板22との隙間に上述の封止部50の一部となる液状の封止樹脂(例えば、シリコーン樹脂)50aを注入するとともに、ドーム状の光学部材60の内側に上述の封止部50の一部となる液状の封止樹脂(例えば、シリコーン樹脂)50aを注入する樹脂注入工程を行ってから、図1(d)に示すように、光学部材60を実装基板20に対向させる。ここで、樹脂注入工程では、ドーム状の光学部材60の内側に、光学部材60の内側空間の容積よりも多い適量(定量)の封止樹脂50aを注入するようにしている。
その後、光学部材60と実装基板20とを近づけ、図1(e)に示すように光学部材60を位置決めしてから液状の封止樹脂50aを硬化させることにより封止部50を形成するとともに光学部材60を配線基板22に固着する光学部材固着工程を行う。ここで、実装基板20の上記一表面側において光学部材60と堰部27と保護層26とで囲まれた空間に溜まった封止樹脂50aは、硬化させることにより、図1(e)における樹脂部(余剰部)50bとなる。
その後、色変換部材70を配線基板22に接着剤(例えば、シリコーン樹脂など)により固着する色変換部材固着工程を行うことによって、図1(f)に示す構造の発光装置1を得る。
以上説明した本実施形態の発光装置1の製造方法によれば、配線基板22を伝熱板21の上記一表面側に固着する配線基板固着工程を行う以前に、LEDチップ10をサブマウント部材30に共晶接合するチップ搭載工程およびサブマウント部材30を伝熱板21に共晶接合するサブマウント搭載工程を備えるので、チップ搭載工程においてLEDチップ10がサブマウント部材30に共晶接合され、また、サブマウント搭載工程においてサブマウント部材30が伝熱板21に共晶接合されるから、チップ搭載工程およびサブマウント搭載工程においてフラックスを利用する必要がなく、しかも、LEDチップ10から伝熱板21までの熱抵抗が小さくなるから、放熱性を高めることができ且つフラックス洗浄工程が不要になる。なお、上述の製造方法では、チップ搭載工程の後でサブマウント搭載工程を行い、その後、配線基板固着工程を行う例について説明したが、チップ搭載工程とサブマウント搭載工程との順序は逆でもよく、サブマウント部材30を伝熱板21に共晶接合するサブマウント搭載工程を行った後でLEDチップ10をサブマウント部材30に共晶接合するチップ搭載工程を行い、その後、配線基板固着工程を行うようにしてもよい。
また、上述の製造方法では、チップ搭載工程およびサブマウント搭載工程それぞれにおける共晶接合は、Nガス雰囲気中でのAuSu共晶接合であるので、チップ搭載工程およびサブマウント搭載工程における共晶接合がSnAgCu共晶接合の場合に比べて、LEDチップ10から伝熱板21までの熱抵抗をより小さくすることができる。
また、上述の製造方法によれば、製造過程で封止部50にボイドが発生しにくくなり、信頼性が高く且つ光出力が大きな発光装置1を提供することができる。ここで、光学部材60を実装基板20に近づける前(つまり、図1(d)の段階)に、サブマウント部材30と配線基板22との隙間に注入した封止樹脂50aを硬化させておけば、光学部材60と実装基板20とを近づける際にボイドが抜けやすくなり、封止部50にボイドが発生するのを防止できてボンディングワイヤ14,14の断線や光出力の低下を防止できる。また、上述の発光装置1では、光学部材60と堰部27の内周面とが離間しているので、堰部27の外側へ封止樹脂50aが溢れて外部接続用電極部23b,23b上に付着するのを抑制することができ、外部接続用電極部23b,23bでの半田付け不良などの発生を防止可能となる。
なお、図7に示すように、実装基板20の上記一表面において環状の堰部27と各外部接続用電極部23b,23bとの間それぞれに、堰部27と同じ材料(本実施形態では、白色のレジスト)により形成された弧状の樹脂止め部25,25を設ければ、製造時に封止樹脂50aが外部接続用電極部23b,23bの表面に付着するのをより確実に防止することができる。
また、上述のLEDチップ10は、上記一表面側に上記アノード電極が形成され、上記他表面側にカソード電極が形成されているが、上記一表面側にアノード電極およびカソード電極が形成されていてもよく、この場合には、アノード電極およびカソード電極の両方ともボンディングワイヤ14,14を介して配線パターン23,23と直接接続することができる。また、サブマウント部材30に搭載するLEDチップ10の数は1個に限らず、複数個でもよい。
(実施形態2)
本実施形態における発光装置1の基本構成は実施形態1と略同じであり、図8に示すように、サブマウント部材30上に複数個(図8には2個しか記載されていないが、4個)のLEDチップ10が搭載されて直列に接続されており、これら複数個のLEDチップ10を囲む透光性材料(例えば、シリコーン樹脂、ガラスなど)からなる円環状の枠体40がサブマウント部材30上に固着され、枠体40の内側に各LEDチップ10および各ボンディングワイヤ14を封止する枠体内封止部150が設けられ、封止部50が枠体40および枠体内封止部150を覆うように形成されている点などが相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
以下、本実施形態の発光装置1の製造方法について図9を参照しながら説明するが、実施形態1と同様の工程については説明を適宜省略する。
まず、複数個のLEDチップ10をサブマウント部材30に共晶接合するチップ搭載工程を行うことによって、図9(a)に示す構造を得る。
その後、サブマウント部材30上の複数個のLEDチップ10をボンディングワイヤ14により電気的に接続する第1のワイヤボンディング工程を行うことによって、図9(b)に示す構造を得る。
続いて、サブマウント部材30を伝熱板21に共晶接合するサブマウント搭載工程を行うことによって、図9(c)に示す構造を得る。
次に、サブマウント部材30上に枠体40を接着剤(例えば、シリコーン樹脂など)により固着する枠体固着工程を行い、続いて、枠体40の内側に各LEDチップ10および各ボンディングワイヤ14を封止する透光性の封止樹脂(例えば、シリコーン樹脂など)を充填して硬化させることにより枠体内封止部150を形成する枠体内封止工程を行い、その後、配線基板22を伝熱板21の上記一表面側に固着する配線基板固着工程を行うことによって、図9(d)に示す構造を得る。
上述の配線基板固着工程の後、複数個のLEDチップ10の直列回路と配線基板22の配線パターン23,23とをボンディングワイヤ14,14を介して電気的に接続する第2のワイヤボンディング工程を行うことによって、図9(e)に示す構造を得る。
続いて、配線基板22の窓孔24に連続して形成されている樹脂注入孔28(図3参照)からサブマウント部材30と配線基板22との隙間に上述の封止部50の一部となる液状の封止樹脂(例えば、シリコーン樹脂)を注入するとともに、ドーム状の光学部材60の内側に上述の封止部50の一部となる液状の封止樹脂(例えば、シリコーン樹脂)を注入する樹脂注入工程を行ってから、光学部材60を実装基板20に対向させ、その後、光学部材60と実装基板20とを近づけ、光学部材60を位置決めしてから液状の封止樹脂を硬化させることにより封止部50を形成するとともに光学部材60を配線基板22に固着する光学部材固着工程を行うことによって、図9(f)に示す構造を得る。
その後、色変換部材70を配線基板22に接着剤(例えば、シリコーン樹脂など)により固着する色変換部材固着工程を行うことによって、図9(g)に示す構造の発光装置1を得る。
以上説明した本実施形態の発光装置1の製造方法によれば、実施形態1にて説明した製造方法と同様に、配線基板22を伝熱板21の上記一表面側に固着する配線基板固着工程を行う以前に、LEDチップ10をサブマウント部材30に共晶接合するチップ搭載工程およびサブマウント部材30を伝熱板21に共晶接合するサブマウント搭載工程を備えるので、チップ搭載工程においてLEDチップ10がサブマウント部材30に共晶接合され、また、サブマウント搭載工程においてサブマウント部材30が伝熱板21に共晶接合されるから、チップ搭載工程およびサブマウント搭載工程においてフラックスを利用する必要がなく、しかも、LEDチップ10から伝熱板21までの熱抵抗が小さくなるから、放熱性を高めることができ且つフラックス洗浄工程が不要になる。なお、上述の製造方法では、チップ搭載工程の後でサブマウント搭載工程を行い、その後、配線基板固着工程を行う例について説明したが、チップ搭載工程とサブマウント搭載工程との順序は逆でもよく、サブマウント搭載工程の後でチップ搭載工程を行い、当該チップ搭載工程の後で、第1のワイヤボンディング工程、枠体固着工程、枠体内封止工程、配線基板固着工程、第2のワイヤボンディング工程、光学部材固着工程、色変換部材固着工程を順次行うようにしてもよい。
また、実施形態1の発光装置1の製造方法では、配線基板22を伝熱板21の上記一表面側に固着する配線基板固着工程を行う際に固着シート29から蒸発した有機物によりLEDチップ10の電極が汚染されてワイヤボンディング工程でのボンディング不良が起こることも考えられるが、本実施形態の発光装置1の製造方法によれば、配線基板固着工程よりも前に、第1のワイヤボンディング工程においてLEDチップ10の電極がボンディングワイヤ14に接続されているので、LEDチップ10の電極が汚染されるのを防止することができるとともに、ボンディング不良の発生を防止できる。なお、第2のワイヤボンディング工程では第1のワイヤボンディング工程よりも線径の大きなワイヤを用いることができ、LEDチップ10に比べて強い超音波振動を与えることができるので、配線基板固着工程において、配線基板22の配線パターン23,23およびサブマウント部材30の導体パターンが上記有機物により汚染されたとしてもボンディング不良が発生するのを防止することができる。
なお、上述の実施形態では、LEDチップ10として、発光色が青色の青色LEDチップを採用しており、結晶成長用基板としてSiC基板を採用しているが、SiC基板の代わりにGaN基板やサファイア基板を用いてもよく、SiC基板やGaN基板を用いた場合には結晶成長用基板として絶縁体であるサファイア基板を用いている場合に比べて、結晶成長用基板の熱伝導率が高く結晶成長用基板の熱抵抗を小さくできる。また、LEDチップ10から放射される光は青色光に限らず、例えば、赤色光、緑色光、紫色光、紫外光などでもよい。また、上述の実施形態では、色変換部材70を備えた発光装置1の製造方法について説明したが、色変換部材70は必ずしも備えている必要はなく、LEDチップ10として、蛍光体層が積層された構造のものを用いても良い。
実施形態1における発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。 同上における発光装置の概略断面図である。 同上における発光装置を用いた照明器具の要部概略分解斜視図である。 同上における発光装置の要部概略平面図である。 同上における発光装置を用いた照明器具の要部概略分解斜視図である。 同上における発光装置を用いた照明器具の要部概略斜視図である。 同上における他の構成例の発光装置を用いた照明器具の要部概略分解斜視図である。 実施形態2における発光装置の概略断面図である。 同上における発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。 従来例における発光装置を示す概略断面図である。
符号の説明
1 発光装置
10 LEDチップ
14 ボンディングワイヤ
21 伝熱板
22 配線基板
22a 有機系絶縁性基材
23 配線パターン
24 窓孔
30 サブマウント部材
50 封止部
50a 封止樹脂
60 光学部材
70 色変換部材

Claims (2)

  1. 第1の熱伝導性材料からなる伝熱板と、伝熱板よりも小さな平面サイズに形成され伝熱板の一表面側に接合された第2の熱伝導性材料からなるサブマウント部材と、サブマウント部材における伝熱板側とは反対側に接合されたLEDチップと、有機系絶縁性基材の一表面側にLEDチップに電気的に接続される配線パターンが形成されるとともにサブマウント部材が内側に離間して配置される窓孔が厚み方向に貫設されてなり伝熱板の前記一表面側に固着された配線基板とを備えた発光装置の製造方法であって、配線基板を伝熱板の前記一表面側に固着する配線基板固着工程を行う以前に、LEDチップをサブマウント部材に共晶接合するチップ搭載工程およびサブマウント部材を伝熱板に共晶接合するサブマウント搭載工程を備えることを特徴とする発光装置の製造方法。
  2. 前記チップ搭載工程および前記サブマウント搭載工程それぞれにおける共晶接合は、Nガス雰囲気中でのAuSu共晶接合であることを特徴とする請求項1記載の発光装置の製造方法。
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