JP2009128158A - パターン検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】パターン検査のスループットを低下させることなく、反射照明手段の照度測定を行えるようにし、ピットの存在を見逃すことがないようにすること。
【解決手段】撮像ユニット５１がワークＷの幅方向に走査され、反射照明手段２１により照明された配線パターン像が、撮像ユニット５１で受像され、図示しない制御部にて記憶される。また、反射照明手段２１からの照明光が反射部材（ミラー）６０に反射して、撮像ユニット５１で受像される。制御部は、反射部材６０による反射光を画像処理して輝度を求め、この輝度を、下限値と比較し、下限照度による輝度よりも低ければ、反射照明光の照度低下として、制御部は装置を停止し警報等のトラブル表示を行なう。また、反射部材６０の輝度が、下限照度による輝度以上であれば、制御部４は、撮像した配線パターンの検査を行なう。
【選択図】 図２

Description

本発明は、基板に形成されているパターンに照明光を照射し、照明されたパターン画像を取得して自動で検査を行なうパターン検査装置に関し、特に、照明光の照度をパターンの検査を行なうたびに測定することができ、不良の見逃しを防ぐパターン検査装置に関するものである。

帯状ワークの幅方向にテンションを与えるワーク保持手段を備え、該保持手段に保持されたフィルム状の帯状ワークに照明光を照射し、撮像手段により帯状ワークに形成されたパターンを撮像して、パターンを検査するパターン検査装置が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２等参照）。
また、本発明者らは、先に、光透過性の基板上に形成されたパターンに照明光を照射して撮像した画像に基づきパターンの良否を判定するパターン検査において、光透過性基板に対し、基板のパターンが形成されている側から、検査領域に対して斜めに入射するように照射する第１の照明手段による照明と、基板のパターンが形成されている側とは反対側から照明光を照射する第２の照明手段による照明とを行い、基板に対して、第１の照明手段側に設けられた撮像手段により、基板のパターンを撮像するパターン検査装置およびパターン検査方法を提案した（特願２００７−１３７５７７号）。
このパターン検査装置およびパターン検査方法を用いることにより、撮像手段で撮像される画像の輝度分布パターンから、配線パターンの線幅、およびパターン上のピット（凹部）の有無を検出することができ、ピットの検出とパターンの線幅の測定とを１回の撮像画像で行うことができ、したがって、短時間でピットの有無とパターンの幅の検査を行うことが可能となる。

特開２００４−２８５９７号公報 特開２００６−１７６４２号公報

上記特願２００７−１３７５７７号によれば、検査領域に対して斜めに照射する第１の照明手段（反射照明手段）による照明光により、パターン上にあるピットを検出する。詳しくは、パターン上にピットが存在すると、その部分で反射した照明光が撮像手段に入射し、明るい部分として撮像される。一方、基板のパターンが形成されている側とは反対側から照射する第２の照明手段（透過照明手段）による照明光により、パターンの線幅を測定する。
反射および透過照明手段の光源として、ランプやＬＥＤを使うことが考えられるが、いずれを使用したとしても、経時変化により照度が低下する。照度が時下した状態として、次の３つ組み合わせが考えられる。
（１）透過照明手段の照度のみが低下する場合。
（２）反射照明手段の照度のみが低下する場合。
（３）反射照明手段と透過照明手段の両方が低下する場合。

それぞれの場合について、検査装置がどのように動作するかを説明する。
（１）透過照明手段の照度のみが低下する場合。
透過照明手段は、配線パターンが形成されている部分は照明光が通過せず、光透過性の基板の部分は照明光が通過して、配線パターンの線幅を検出する。
透過照明光の照度が低下すると、基板の部分を通過する照明光の量が少なくなるので、基板の部分も暗くなり、撮像される画像は、全体的に暗くなる。そのため、検査装置は、線幅が太い不良であると誤って判断する。以降この線幅が太いという不良が連続する。
（２）反射照明手段の照度のみが低下する場合。
反射照明手段の照度が低いと、パターンの表面に凹部（ピット）があっても明るく撮像されず、その結果凹部（ピット）の存在を検出することができない。しかし、透過照明手段の照度は正常であるから、パターンの線幅は通常通り測定ができる。したがって、線幅に異常がなければ、凹部（ピット）の存在を見逃し、そのまま良品としてしまうことがある。
（３）反射照明手段と透過照明手段の両方が低下する場合。
透過照明手段の照度のみが低下する場合と同様である。即ち、基板の部分を通過する照明光の量が少なくなるので、基板の部分も暗くなり、撮像される画像は、全体的に暗くなる。そのため、検査装置は、線幅が太い不良であると誤って判断する。以降この線幅が太いという不良が連続する。

上記（１）の透過照明手段の照度のみが低下する場合と、上記（３）の反射照明手段と透過照明手段の両方が低下する場合は、良品を不良品と誤って判断することになるが、少なくとも不良品を見逃すことはない。また、線幅が太いという不良が連続したら装置を停止して、透過照明の照度を測定するという制御を加えれば、良品を不良品と誤って判断する件数を少なくすることができる。
しかし、反射照明手段の照度のみが低下した場合は、不良を見逃して不良品を良品として流出させてしまい、またその照度低下に気がつかない状態が長く続く場合がある。これを防ぐためには、反射照明手段の照度を定期的に測定し、あらかじめ設定した照度値（照度の下限値）以上であることを確認した上で検査を行なわなければならない。
照明光の照度を測定するためには、例えば、ワークの検査領域に照度計を配置し、そこに照明光を照射して照度測定を行うことが考えられる。
しかし、照度はある時点を境に急激に低下することもあり、下限値以下になる時点を予測することは難しい。そのため、照度の測定は頻繁に行う必要があるが、照度測定の回数が増えると、その分ワークのパターン検査の時間が長くなり、スループットが低下する。 本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、パターン検査のスループットを低下させることなく、反射照明手段の照度測定をパターンの検査ごとに行えるようにし、ピットの存在を見逃すことがないようにすることである。

本発明においては、次のようにして前記課題を解決する。
（１）パターンが形成されたワークに対し反射照明光を照射する反射照明手段と、上記反射照明手段により照明された上記パターンを撮像する撮像手段と、ワークを保持するワーク保持手段とを備えたパターン検査装置において、撮像手段が通過する領域に反射部材を設ける。
この反射部材は、反射照明手段からの照明光を、撮像手段に向けて反射し、撮像手段はこの反射光を受光する。装置の制御部はこの反射光の輝度に基づいて反射照明手段からの照明光の照度を測定して閾値を比較し、パターン検査を続行するか否かを判定する。
すなわち、上記制御部は、画像を取り込み、反射部材からの反射光が存在すると、その明るさをあらかじめ設定された閾値と比較する。そして、得られた照度が、あらかじめ設定された照度の下限値以上であれば、パターン検査を続行する。一方、照度値が下限値よりも小さければ、ピットの存在の有無の判定が適切に行われないとして、パターン検査を中止する。
（２）上記において、反射照明手段と上記撮像手段とを備えた撮像ユニットと、ワーク保持手段とを相対的に移動させる移動手段とを設け、上記撮像手段が通過する領域に、上記反射照明手段からの光を撮像手段に向けて反射する反射部材を設ける。
（３）パターンが形成された長尺状のフィルムワークに対し反射照明光を照射する反射照明手段と、上記反射照明手段により照明された上記パターンを撮像する撮像手段と、上記フィルムワークを保持するワーク保持手段と、上記反射照明手段と上記撮像手段を備えた撮像ユニットを、上記ワークの幅方向に移動する撮像ユニット移動手段とを設ける。
上記撮像手段が通過する領域に、上記反射照明手段からの光を撮像手段に向けて反射する反射部材を設ける。
（４）上記（３）において、反射部材を、ワーク保持手段のワークの幅方向両側（ワークの幅方向左右２箇所）に設ける。その場合は、検査を行なうパターンの撮像の前後において、照明光の照度の変化の有無を測定することができる。
（５）上記（１）（２）（３）（４）において、反射部材を、反射面が逆円錐状もしくは円錐状の形状とする。

本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）撮像手段が通過する領域に反射部材を設け、撮像ユニットの撮像素子が受像した反射部材の輝度に基づいて反射照明光の照度を測定する。このため、検査領域に照度計を配置し、検査時、検査領域から照度計を退避させる必要がなく、パターンを撮像する一連の手順の一部として照度測定を行うことができる。
したがって、反射照明光の照度測定を頻繁に行っても、パターン検査の時間が長くならず、スループットは低下しない。
（２）パターンに反射照明光を照射して撮像するたびに照度測定を行うことができ、下限値より低い照度でのパターンの撮像を防ぐことができる。したがって、パターン上の凹部（ピット）の見逃しを防ぐことができる。
（３）撮像手段が、ワークの幅方向に相対的に移動して撮像を行うものである場合、反射部材を、ワーク保持手段の、ワークの幅方向両側（ワークの幅方向左右２箇所）に設けることにより、照度測定を各パターン検査の前後において照度測定を行うことができる。したがって、パターン撮像の途中に、急激に照度が低下した場合であっても、速やかに照明光の照度低下を検出することができる。

図１は、本発明の第１の実施例であるフィルムワークのパターン検査装置の概略構成を示す図である。
本実施例のフィルムワークのパターン検査装置（以下、パターン検査装置ともいう）は、フィルムワーク搬送機構（テープ搬送機構）１０を備え、パターンが形成されたＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｎｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープやＦＰＣ (Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）等のフィルムワークＷ（以下ワークともいう）は、テープ搬送機構１０の送り出しリール１１から巻き出され、巻き取りリール１２に巻き取られる。
巻き取りリール１２の近傍には、不良のパターンにマークをつけるマーカ部３が設けられている。マーカ部３において、不良と判定されたパターンにパンチでの穿孔や色塗りなどのマークを施し、その部分が不良であることが目視で確認できるようにする。
送り出しリール１１から送り出されたフィルムワークＷは、検査部５に送られる。検査部５の搬送下流側には搬送ローラ７１が設けられ、また、検査部５の搬送上流側にはブレーキローラ７２が設けられており、フィルムワークＷは長手方向にテンションをかけられながら間歇的に搬送される。

検査部５には、ワークＷに形成されている回路等のパターンを撮像する撮像ユニット５１、ワークＷに対し撮像ユニット５１と同じ側に反射照明手段２１、撮像ユニット５１の反対側に透過照明手段２２が設けられている。
撮像ユニット５１は、反射照明手段２１によるフィルムワークＷで反射した照明光によるパターン像と、透過照明手段２２によるフィルムワークＷを透過した照明光によるパターン像とを受像し撮像する。
撮像ユニット５１には走査手段８０が取り付けられており、走査手段８０は、フィルムワークＷの検査パターン上で、撮像ユニット５１と反射照明手段２１および透過照明手段２２を一組として、ワークＷの幅方向（同図手前奥方向）に移動させ、フィルムワークＷの検査領域（パターンが形成されている領域）全体の画像を得る。

また、検査部５には、撮像ユニット５１によりパターン画像を取得している時、フィルムワークＷの幅方向の両端（エッジ）を保持し、ワークＷを幅方向に引っ張ってテンションをかけ、弛みを低減させるワーク保持手段９０も設けられている。なお、図１は、ワーク保持手段９０の構成については省略しており、ワーク保持手段の構成例は図２で説明する。
装置の制御部４は、画像処理部４ａとＣＰＵ４ｂを有し、撮像ユニット５１により撮像された画像パターンは画像処理部４ａで画像処理されＣＰＵ４ｂに送られる。
また、ＣＰＵ４ｂには、入力部４ｃから照度の基準値が入力され、ＣＰＵ４ｂは、画像の輝度分布パターンと上記基準値とを比較し、配線パターンの線幅、およびパターン上の凹部の有無を検出する。そして、異常があれば、アラーム発生部４ｄからアラームを出力する。また、制御部４は、検査部５、マーカ部３及びテープ搬送機構１０などのパターン検査装置全体の動作を制御する。

図２は、図１のパターン検査装置の検査部の詳細な構成を示す図である。なお、透過照明手段２２は省略して示している。
図２（ａ）は、検査部をフィルムワークＷの搬送方向から見た図であり、図２（ｂ）は、ワークＷを撮像ユニット５１側から見た図である。
反射照明手段２１は撮像ユニット５１の周りに輪帯（リング）状に設けられ、撮像ユニット５１の３６０°全方位からワークＷを照明する。
撮像ユニット５１は、撮像素子であるＣＣＤラインセンサ５２と、このＣＣＤラインセンサ５２上にフィルムワークＷ上のパターンを結像させる光学素子（単数または複数枚のレンズ）を有するレンズユニット５３で構成されている。ＣＣＤラインセンサ５２は、長手方向がワークＷの搬送方向に沿って設けられる。

また、撮像ユニット５１には、前記した走査手段８０に対応するモータ８１ａとレール８１ｂから構成された撮像ユニット駆動機構８１が取り付けられており、撮像ユニット５１をワークＷの幅方向（図２（ｂ）の矢印方向）に走査（スキャン）することにより、ワークＷ上に形成されている配線等のパターンＰを撮像する。
ワークエッジ保持手段９０は、ワークＷの、撮像を行なう領域の幅方向両側に設けられ、ワークＷのパターンが形成されていない両側周辺部を上下から把持し、たるみが生じないようにワークＷにテンションを与える。なお、このように、ワークＷの両側周辺部を把持するパターン検査装置については、前記特許文献１，２に記載されている。

ワークエッジ保持手段９０の撮像ユニット５１側であって、撮像ユニット５１が通過する領域には、反射部材（ミラー）６０が取り付けられている。
反射部材（ミラー）６０は、撮像ユニット５１の周りに輪帯（リング）状に設けられた反射照明手段２１からの光を均一に反射できるように、図３（ａ）に示すように、反射面は、例えばすり鉢状（逆円錐状）である。反射面の角度は、反射照明手段２１からの照明光が、撮像ユニット５１に入射するよう設定されている。
なお、反射部材（ミラー）６０は、図３（ｂ）に示すように、照明光の入射角度に合わせて傾けた反射面を持つ円錐状のミラーであってもよい。

反射部材（ミラー）６０により反射した照明光は、撮像ユニット５１のＣＣＤラインセンサ５２に入射する。制御部４は、反射部材（ミラー）の輝度が２５６諧調のうちどの諧調であるかを検出する。
あらかじめ実験により、パターン上の凹部（ピット）を検出できる下限の照度で照明した時の反射部材（ミラー）６０の輝度の諧調が求められ、制御部４には、この値が前記入力部４ｃから入力され、照度の基準値として記憶されている。
制御部４は、ＣＣＤラインセンサ５２に入射した反射部材（ミラー）６０の輝度と、記憶している下限照度の輝度とを比較し、反射部材（ミラー）６０の輝度が下限照度による輝度よりも低ければ、反射照明光の輝度低下と判断し、装置の検査動作を停止して、警報等のトラブル表示を行う。
また、反射部材（ミラー）６０は、図２（ａ）（ｂ）に示すようにワーク保持手段９０の、ワークＷの幅方向両側２箇所に設けられている。

パターン検査装置の動作を、図４、図５、図６の動作説明図、図７のフローチャートにより説明する。
図４に示すように、ワークＷが搬送され、検査を行なう領域が検査部５に停止する。ついで、反射照明手段２１および透過照明手段２２（図示せず）が点灯する。
配線パターンの撮像が行なわれる前に、反射照明手段２１からの照明光が、ワーク保持手段９０の一方の側に設けられた反射部材（ミラー）６０に反射して、撮像ユニット５１のＣＣＤラインセンサ５２に受像される。この反射部材６０の画像は制御部４に送られ記憶される。
図５に示すように、撮像ユニット駆動機構８１により、撮像ユニット５１が、ワークＷの幅方向に、一方の側から他方の側に（同図右から左に）走査される。反射照明手段２１および透過照明手段２２により照明された配線パターン像が、撮像ユニット５１のＣＣＤラインセンサに受像され、制御部４にて記憶される（図７のステップＳ１，Ｓ２）。
図６に示すように、配線パターンの撮像が終わると、反射照明手段２１からの照明光が、ワーク保持手段９０の他方の側に設けられた反射部材（ミラー）６０に反射して、撮像ユニット５１のＣＣＤラインセンサ５２に受像される。反射部材６０の画像が制御部４にて記憶される。

反射照明手段２１および透過照明手段２２が消灯する。
制御部４は、配線パターンの撮像の前後において受像した反射部材６０による反射光を画像処理し、反射部材６０の輝度の諧調を求める（図７のステップＳ３）。この輝度を、上記のあらかじめ記憶している、パターン上凹部（ピット）を検出できる下限値の照度で照明した時の反射部材６０の輝度と比較する（図７のステップＳ４）。
反射部材６０の輝度が、下限照度による輝度よりも低ければ、反射照明光の照度低下として、制御部４は装置を停止し警報等のトラブル表示を行なう（図７のステップＳ６）。 反射部材６０の輝度が、下限照度による輝度以上であれば、制御部４は、図５で撮像した配線パターンの検査を行なう（図７のステップＳ５）。
そのパターンの検査が終われば、ワークＷが搬送され、次に検査を行なう領域が検査部５に停止する。
以下、上述した動作の繰り返しと成るが、撮像ユニット５１は、上記とは逆方向（図５左から右）に移動する。このように、撮像ユニット５１は、ジグザグに移動して撮像と検査を行う。

本実施例の場合、ワーク保持手段９０の、ワークＷの幅方向両側２箇所にミラーが設けられているので、撮像ユニット５１が、図５の右から左に移動する場合も、左から右へ移動する場合も、いずれの場合も、配線パターンの撮像の前後における輝度（照度）の測定ができる。したがって、パターン撮像の途中で、反射照明光が大きな照度変化を生じた場合、その段階で検査を停止することができる。
仮に、ミラーが、ワーク保持手段９０のいずれか一方にしか設けられていないと、照度の測定は、あるパターンの撮像前とその次のパターンの撮像後にしかできない。したがって、照度が下限値以下になったことが検出された時、直前のパターン撮像時に照度が低下したのか、その前のパターン撮像時に照度が低下したのかを判別することが難しい。

本発明は上記実施例に限定されず、以下のように構成してもよい。
（１）上記実施例では、反射照明光の照度を、下限値に対してのみ比較したが、さらに上限値と比較するようにしてもよい。反射照明光の照度が高すぎると、本来問題のない小さいピット（凹部）も、明るく即ち大きく見え、過検出の原因となることがある。これを防ぐために、反射照明光の照度が明るすぎないことを確認する。
（２）上記実施例で示したものは、反射照明と透過照明を同時に行うパターン検査装置であるが、反射照明のみを使って検査を行う装置においても、反射照明光の照度を確認するために使用することができる。
（３）上記実施例では、撮像ユニット５１をワークに対して移動するように構成したが、撮像ユニット５１が固定され、ワークＷを把持したワーク保持手段９０が、移動するように構成された装置にも適用できる。
（４）上記実施例では、撮像ユニット５１にＣＣＤラインセンサを用い、撮像ユニット５１をワークＷの幅方向に移動してパターンを撮像するように構成したが、撮像ユニット５１にＣＣＤエリアカメラを用い、検査領域を一括して撮像する装置にも適用することができる。その場合は、ＣＣＤエリアカメラの撮像エリア（視野）内にあるワーク保持手段の部分に反射部材を設け、パターンの撮像と同時に反射部材の画像を取り込み、その輝度（照度）を演算する。
（５）その他、上記実施例では、フィルムワークのパターン検査装置の場合について説明したが、本発明は、プリント基板などの枚葉式のワークに形成されたパターンの検査装置にも同様に適用できる。

図８は、本発明の第２の実施例のプリント基板のパターン検査装置の検査部の構成を示す図である。本検査装置は比較的小さいプリント基板（ワークＷ）の全面の画像を、ＣＣＤエリアセンサを使用した撮像手段により一括して取得し検査を行なうものである。
図８（ａ）は、検査部を側面から見た図であり、図８（ｂ）は、ワークＷであるプリント基板を撮像ユニット５１側から見た図である。なお、同図では透過照明手段２２は省略している。
反射照明手段２１は撮像ユニット５１の周りに輪帯（リング）状に設けられ、撮像ユニットの３６０°全方位から、ワーク保持手段（ワークステージ）９１上に載置されたワークＷの前面を照明する。
撮像ユニット５１は、撮像素子であるＣＣＤエリアセンサ５４と、このＣＣＤエリアセンサ５４上にワークＷ上のパターンを結像させる光学素子を有するレンズユニット５３で構成されている。ＣＣＤエリアセンサ５４は、照明手段２１により照明されているワークＷ全面の画像を一括して撮像する。第１の実施例とは異なり、撮像ユニット５１は固定されており、ワークＷの撮像時に移動することはない。
撮像ユニット５１のＣＣＤエリアセンサ５４の視野と反射照明手段２１が照明する領域は、撮像されるワークＷの全面よりもやや広く設定されている。

ワークＷの撮像時、反射照明手段２１からの照明光を撮像ユニットのＣＣＤエリアセンサ５４に反射する反射部材（ミラー）６０が、ワークＷの外側であって、ＣＣＤエリアセンサ５４の視野内かつ反射照明手段２１が照明する領域内に挿入される。なお、挿入した反射部材６０は、ワークの搬入搬出に問題がなければ、退避する必要はない。
図８に示すように、反射部材（ミラー）６０は、ミラー保持手段６１により保持され、ミラー保持手段６１は不図示の駆動機構により、反射部材（ミラー）６０を、ＣＣＤエリアセンサ５４の視野内であって反射照明手段２１が照明する領域内に挿入退避可能に構成されている。
なお、同図では反射部材（ミラー）６０を２個設けているが、１個でも良い。ただし、２個以上あれば、反射照明光の内面の照度分布を測定することも可能になる。また、反射部材（ミラー）６０は、ワークステージ９１の、ＣＣＤエリアセンサ５４の視野内であって反射照明手段２１が照明する領域内に、埋め込むなどして設けても良い。
反射部材（ミラー）６０により反射した照明光は、ＣＣＤエリアセンサ５４に入射し、第１の実施例の場合と同様に、制御部４は、反射部材（ミラー）６０の輝度を検出し、下限照度による輝度よりも低ければ、反射照明光の照度低下と判断し、装置の検査動作を停止して、警報等のトラブル表示を行う。

図９は、本発明の第３の実施例のプリント基板のパターン検査装置の検査部の構成を示す図である。
本検査装置は比較的大きいプリント基板（ワークＷ）上を、撮像ユニットを移動させて画像を取得し検査を行うものであり、ワークＷの形状が異なるだけで、検査部の構成、動作は前記第１の実施例と基本的に同じである。
図９（ａ）は、検査部を側面から見た図であり、図９（ｂ）は、ワークＷであるプリント基板を撮像ユニット５１側から見た図である。なお、透過照明手段２２は省略して示している。
反射照明手段２１は撮像ユニット５１の周りに輪帯（リング）状に設けられ、撮像ユニットの３６０°全方位からワークＷの全面を照明する。
撮像ユニット５１は、撮像素子であるＣＣＤラインセンサ５２と、このＣＣＤラインセンサ５２上にワークＷ上のパターンを結像させる光学素子を有するレンズユニット５３で構成されている。

撮像ユニット５１には、モータ８１ａとレール８１ｂから構成された撮像ユニット駆動機構８１が取り付けられており、撮像ユニット５１をワークＷの上で同図矢印方向に走査（スキャン）することにより、ワークＷ上に形成されている配線等のパターンを撮像する。
そして、撮像ユニット５１が通過する領域には、反射照明手段２１からの照明光を撮像ユニット５１のＣＣＤラインセンサ５２に反射する反射部材（ミラー）６０が挿入されている。図９に示すように、反射部材（ミラー）６０は、ミラー保持手段６１により保持されている。ミラー保持手段６１は不図示の駆動機構により、反射部材（ミラー）６１を、撮像ユニット５１が通過する領域に挿入退避可能である。
なお、同図では反射部材（ミラー）６０を２個設けているが、１個でも良い。また、反射部材（ミラー）６０は、ワークステージ９１の、撮像ユニット５１が通過する領域に、埋め込むなどして設けても良い。
反射部材（ミラー）６０により反射した照明光は、ＣＣＤラインセンサ５２に入射し、第１の実施例の場合と同様に、制御部４は、反射部材（ミラー）６０の輝度を検出し、下限照度による輝度よりも低ければ、反射照明光の照度低下と判断し、装置の検査動作を停止して、警報等のトラブル表示を行う。

本発明の第１の実施例パターン検査装置の概略構成を示す図である。 図１のパターン検査装置の検査部の詳細な構成を示す図である。 反射部材（ミラー）の形状例を示す図である。 パターン検査装置の動作を説明する図（１）である。 パターン検査装置の動作を説明する図（２）である。 パターン検査装置の動作を説明する図（３）である。 制御部の動作を示すフローチャートである。 本発明の第２の実施例パターン検査装置の概略構成を示す図である。 本発明の第３の実施例パターン検査装置の概略構成を示す図である。

符号の説明

１０ テープ搬送機構
１１ 送り出しリール
１２ 巻き取りリール
２１ 反射照明手段
２２ 透過照明手段
３ マーカ部
４ 制御部
４ａ 画像処理部
４ｂ ＣＰＵ
５ 検査部
５１ 撮像ユニット
５２ ＣＣＤラインセンサ
５３ レンズユニット
５４ ＣＣＤエリアセンサ
６０ 反射部材（ミラー）
６１ ミラー保持手段
７１ 搬送ローラ
７２ ブレーキローラ
８０ 走査手段
９０ ワーク保持手段
９１ ワーク保持手段（ワークステージ）
８１ 撮像ユニット駆動機構
８１ａ モータ
８１ｂ レール
Ｗ ワーク

Claims (5)

1. パターンが形成されたワークに対し反射照明光を照射する反射照明手段と、上記反射照明手段により照明された上記パターンを撮像する撮像手段と、ワークを保持するワーク保持手段とを備え、
   上記撮像手段の視野内には、上記反射照明手段からの光を撮像手段に向けて反射する反射部材が設けられている
   ことを特徴とするパターン検査装置。
2. パターンが形成されたワークに対し反射照明光を照射する反射照明手段と、上記反射照明手段により照明された上記パターンを撮像する撮像手段と、ワークを保持するワーク保持手段と、上記反射照明手段と上記撮像手段とを備えた撮像ユニットと、上記ワーク保持手段とを相対的に移動させる移動手段とを備え、
   上記撮像手段が通過する領域には、上記反射照明手段からの光を撮像手段に向けて反射する反射部材が設けられている
   ことを特徴とするパターン検査装置。
3. パターンが形成された長尺状のフィルムワークに対し反射照明光を照射する反射照明手段と、上記反射照明手段により照明された上記パターンを撮像する撮像手段と、上記フィルムワークを保持するワーク保持手段と、上記反射照明手段と上記撮像手段を備えた撮像ユニットを、上記ワークの幅方向に移動する、撮像ユニット移動手段とを備え、
   上記撮像手段が通過する領域には、上記反射照明手段からの光を撮像手段に向けて反射する反射部材が設けられている
   ことを特徴とするパターン検査装置。
4. 上記反射部材は、ワーク保持手段の、ワークの幅方向両側に設けられる
   ことを特徴とする請求項３に記載のパターン検査装置。
5. 上記反射部材は、反射面が逆円錐状もしくは円錐状である
   ことを特徴とする請求項１，２，３または請求項４に記載のパターン検査装置。

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