JP2009122116A - Flow measuring device - Google Patents
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Abstract
【課題】流量の計測値が本来的な異常を示す場合に限って、適切な警報処理を実施できるようにする。
【解決手段】流路を流通する流体の流量を計測する計測ユニットと、前記計測ユニットの計測値に関する下限値を設定する設定部311と、前記計測ユニットの計測値が前記下限値未満の場合に、警報処理を行なう流量監視部313と、前記流体が前記流路を流通し始めたタイミングから前記計測ユニットの計測値が前記下限値を超えるまでは、前記警報処理を無効に制御する警報制御部312と、を備える。
【選択図】図7Only when a measured value of a flow rate indicates an inherent abnormality, an appropriate alarm process can be performed.
A measurement unit that measures a flow rate of a fluid flowing through a flow path, a setting unit 311 that sets a lower limit value regarding a measurement value of the measurement unit, and a measurement value of the measurement unit that is less than the lower limit value A flow rate monitoring unit 313 for performing an alarm process, and an alarm control unit for invalidating the alarm process from the timing when the fluid starts to flow through the flow path until the measurement value of the measurement unit exceeds the lower limit value. 312.
[Selection] Figure 7
Description
本発明は、計測技術に関し、例えば流量計測装置に関する。 The present invention relates to a measurement technique, for example, a flow rate measuring device.
計測技術に関して、例えば下記の特許文献1には、ビル設備、水処理システム等において、電力量、流量など単位時間当たり物理量として計測される量の異常状態を監視する技術が記載されている。 Regarding the measurement technique, for example, Patent Document 1 described below describes a technique for monitoring an abnormal state of an amount measured as a physical quantity per unit time such as an electric energy and a flow rate in a building facility, a water treatment system, and the like.
この技術では、例えば、ビル設備の監視システムの要素であるホストコンピュータが、ビル内の配電盤や計装盤等に設置されたセンサ群(電圧、電流、水位等の瞬時値データである計測値データを検出する通常のセンサと、電力量センサ、流量センサなど)で得られるパルス信号や計測値データを収集し、収集したデータの上下限監視を行なう上下限監視プロセスと、警報処理プロセスとを処理する。上下限監視プロセスには、瞬時データである計測値データに対する上下限監視プロセスと、センサから得られるパルス信号積算値に対する上下限監視プロセスとが含まれる。 In this technology, for example, a host computer that is an element of a building equipment monitoring system is a sensor group (measured value data that is instantaneous value data such as voltage, current, water level, etc.) installed on a switchboard or instrument panel in the building. The normal and low limit monitoring process that collects the pulse signal and measurement value data obtained by a normal sensor that detects noise, the electric energy sensor, the flow sensor, etc., and monitors the upper and lower limits of the collected data, and the alarm processing process To do. The upper / lower limit monitoring process includes an upper / lower limit monitoring process for measured value data that is instantaneous data, and an upper / lower limit monitoring process for a pulse signal integrated value obtained from a sensor.
前記ホストコンピュータは、瞬時値データである計測値データに対しては取得した計測値データが所定の上限値を超えているかどうか、または下限値未満かどうかを計測値データの上下限監視プロセスにおいて監視し、上限値を超えている場合または下限値未満の場合には警報処理プロセスにおいて所定の警報処理を行なう。 The host computer monitors whether or not the acquired measurement value data exceeds the predetermined upper limit value or less than the lower limit value for the measurement value data which is instantaneous value data in the upper and lower limit monitoring process of the measurement value data. If the upper limit value is exceeded or less than the lower limit value, predetermined alarm processing is performed in the alarm processing process.
また、前記ホストコンピュータは、予め設定されているサンプリング周期毎に各計数値を収集し、サンプリング周期間の計数値の差のデータをパルス信号積算値として求め、この値が上限値を超えているかどうか、または下限値未満かどうかの監視を行なうとともに、上限値を超えている場合または下限値未満の場合には警報処理プロセスにおいて所定の警報処理を行なう。 In addition, the host computer collects each count value for each preset sampling period, obtains the data of the difference between the count values during the sampling period as a pulse signal integrated value, and whether this value exceeds the upper limit value. Whether or less than the lower limit value is monitored, and if the upper limit value is exceeded or less than the lower limit value, predetermined alarm processing is performed in the alarm processing process.
上述した従来技術によれば、前記ホストコンピュータは、ビル設備や水処理システム等を流通する流体(気体や液体)を、センサにて計測し、その計測値に基づき、予め設定された上下限監視を行ない、所定の警報処理を実施することができる。 According to the above-described prior art, the host computer measures a fluid (gas or liquid) flowing through a building facility, a water treatment system, or the like with a sensor, and presets upper and lower limit monitoring based on the measured value. And a predetermined alarm process can be performed.
しかしながら、当該従来技術によると、例えば前記ビル設備や水処理システムをいったん停止した後に起動した場合、前記流体の流量がゼロから徐々に増えていくが、計測される流量が下限値未満である限り、異常ではないにも関わらず、警報処理が実施されてしまうことになる。このような現象は、ビル設備や水処理システム等の設備機器の起動時(立ち上がり時)の流量変化を考慮していないために生じる。 However, according to the prior art, for example, when the building equipment or the water treatment system is once stopped and then started, the flow rate of the fluid gradually increases from zero, as long as the measured flow rate is less than the lower limit value. Even though it is not abnormal, the alarm process is executed. Such a phenomenon occurs because a change in flow rate at the time of startup (at the time of startup) of equipment such as a building facility or a water treatment system is not taken into consideration.
そこで、本発明の目的の一つは、設備機器の起動時等において異常ではないにも関わらず流量に関する警報処理がなされてしまうことを抑止することにある。 Therefore, one of the objects of the present invention is to prevent the alarm processing relating to the flow rate from being performed even when there is no abnormality when the equipment is started up.
なお、前記目的に限らず、後述する発明を実施するための形態に示す各構成により導かれる作用効果であって、従来の技術によっては得られない作用効果を奏することも本発明の他の目的の一つとして位置付けることができる。 In addition, the present invention is not limited to the above-described object, and other effects of the present invention can be achieved by the functions and effects derived from the respective configurations shown in the embodiments for carrying out the invention which will be described later. It can be positioned as one of
本発明の流量計測装置の一態様は、流路を流通する流体の流量を計測する計測ユニットと、前記計測ユニットの計測値に関する下限値を設定する設定部と、前記計測ユニットの計測値が前記下限値未満の場合に、警報処理を行なう流量監視部と、前記流体が前記流路を流通し始めたタイミングから前記計測ユニットの計測値が前記下限値を超えるまでは、前記警報処理を無効に制御する警報制御部と、を備える。 One aspect of the flow rate measurement device of the present invention is a measurement unit that measures the flow rate of fluid flowing through a flow path, a setting unit that sets a lower limit value related to the measurement value of the measurement unit, and the measurement value of the measurement unit When the flow rate monitoring unit performs warning processing when the flow rate is less than the lower limit value, the warning processing is disabled until the measurement value of the measurement unit exceeds the lower limit value from the timing when the fluid starts to flow through the flow path. An alarm control unit for controlling.
これにより、前記流体が前記流路を流通し始めたタイミングから前記計測ユニットの計測値が前記下限値を超えるまでは、前記警報処理が無効となるので、異常でないにも関わらず、警報処理が実施されてしまうことを抑止できる。 As a result, the alarm process becomes invalid from the timing when the fluid starts to flow through the flow path until the measurement value of the measurement unit exceeds the lower limit value. It can be suppressed from being implemented.
ここで、前記警報制御部は、前記タイミング以降に前記計測ユニットの計測値と前記下限値とを周期的に比較し、前記計測値が前記下限値を初めて超えたと判断すると、前記警報処理を有効に制御する、こととしてもよい。 Here, the alarm control unit periodically compares the measurement value of the measurement unit with the lower limit value after the timing, and determines that the measurement value exceeds the lower limit value for the first time, the alarm process is enabled. It is good also as controlling.
また、前記タイミングは、前記流体を前記流路へ流通させる設備機器が起動されたタイミングに相当する、こととしてもよい。 The timing may correspond to a timing at which an equipment device that circulates the fluid into the flow path is activated.
さらに、前記設定部は、前記計測値に関する上限値をさらに設定し、前記流量監視部は、前記計測ユニットの計測値が前記上限値を超えると、前記警報処理を実施する、こととしてもよい。 Furthermore, the setting unit may further set an upper limit value related to the measurement value, and the flow rate monitoring unit may perform the alarm process when the measurement value of the measurement unit exceeds the upper limit value.
また、前記設定部は、前記計測ユニットに設けられた操作部に対する操作に応じた信号を受けることにより、あるいは、前記計測ユニットと通信可能に接続された外部機器からの設定に従って、前記下限値、あるいは前記下限値及び上限値の設定を行なう、こととしてもよい。 Further, the setting unit receives the signal according to an operation on the operation unit provided in the measurement unit, or according to a setting from an external device that is communicably connected to the measurement unit, the lower limit value, Alternatively, the lower limit value and the upper limit value may be set.
上述の流量計測装置によれば、流路に流体を流通させる設備機器の起動時などにおいて、流量の計測値が下限値未満であっても、警報処理が実施されない。したがって、流量の計測値が本来的な異常を示す場合に限って、適切な警報処理を実施することができる(換言すれば、無用な警報処理を抑止できる)。結果として、ユーザは意図しない警報処理に対応しなくて済み、流量計測装置のユーザの使い易さ(利便性)を向上することができる。また、無用な警報処理が抑制されるので、流量計測装置の電力浪費を低減することも可能である。 According to the flow rate measuring device described above, alarm processing is not performed even when the measured value of the flow rate is less than the lower limit value at the time of starting the equipment that circulates the fluid through the flow path. Therefore, appropriate alarm processing can be performed only when the measured value of the flow rate shows a natural abnormality (in other words, unnecessary alarm processing can be suppressed). As a result, the user does not have to deal with an unintended alarm process, and the ease of use (convenience) of the user of the flow rate measuring device can be improved. In addition, since unnecessary alarm processing is suppressed, it is possible to reduce power consumption of the flow rate measuring device.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。ただし、以下に説明する実施形態は、あくまでも例示であり、以下に明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。即ち、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形(各実施例を組み合わせる等)して実施することができる。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. However, the embodiment described below is merely an example, and there is no intention to exclude various modifications and technical applications that are not explicitly described below. In other words, the present invention can be implemented with various modifications (combining the embodiments, etc.) without departing from the spirit of the present invention.
図1〜図4に、本実施形態に係る流量計の構成例を示す。本実施形態の流量計1(流量計測装置)は、気体や液体等の流体が流通する配管等の流路の一部に取り付けられて、計測対象の流体の一例であるガスの瞬時流量を検出する。また、流量計1は、検出した瞬時流量を積算してガスの使用量(積算流量)を算出することもできる。 1 to 4 show a configuration example of a flow meter according to the present embodiment. The flow meter 1 (flow rate measuring device) of this embodiment is attached to a part of a flow path such as a pipe through which a fluid such as a gas or a liquid flows, and detects an instantaneous flow rate of a gas that is an example of a fluid to be measured. To do. The flow meter 1 can also calculate the amount of gas used (integrated flow rate) by integrating the detected instantaneous flow rate.
例えば、流量計1は、気体(ガス)が流通する配管Pの一部に取り付けられて流路を形成する流路ユニット2と、流路ユニット2に取り付けられる計測ユニット3と、を備えている。計測ユニット3は、フローセンサ(流れセンサ)12や制御部30(図7参照)等を有する。 For example, the flow meter 1 includes a flow path unit 2 that is attached to a part of a pipe P through which gas (gas) flows to form a flow path, and a measurement unit 3 that is attached to the flow path unit 2. . The measurement unit 3 includes a flow sensor (flow sensor) 12, a control unit 30 (see FIG. 7), and the like.
流路ユニット2は、例示的に、図2〜図4に示すように略直方体形状を呈する筐体であり、ガスが流通する断面円形の管路7、管路7の途中に形成された絞り機構8、管路7の上側(計測ユニット3が取り付けられる側)であって絞り機構8を挟んで上流側及び下流側の位置に形成され管路7と外部とを連通させる分岐流路9、10等を有している。管路7の上流側及び下流側には、配管Pが捩じ込み接続される。絞り機構8は、管路7の内径よりも小さい内径を有しており、上流側の配管Pから下流側の配管Pへと流通するガスに絞り機構8の前後で差圧を発生させるように機能する。 The flow path unit 2 is, for example, a case having a substantially rectangular parallelepiped shape as shown in FIGS. 2 to 4, a pipe 7 having a circular cross section through which gas flows, and a throttle formed in the middle of the pipe 7. A branch channel 9 formed on the upstream side and the downstream side of the mechanism 8 on the upper side of the pipe line 7 (the side on which the measurement unit 3 is attached) and sandwiching the throttle mechanism 8 and communicating the pipe line 7 with the outside; 10 mag. A pipe P is screwed and connected to the upstream side and the downstream side of the pipe line 7. The throttle mechanism 8 has an inner diameter that is smaller than the inner diameter of the pipe line 7 and generates a differential pressure before and after the throttle mechanism 8 in the gas flowing from the upstream pipe P to the downstream pipe P. Function.
流路ユニット2の上面には、例えば図2及び図4に示すように、平面視略円形状で所定深さの凹部2aが形成されており、この凹部2aには、計測ユニット3のバイパス流路形成部3b(後述)が嵌め込まれる。絞り機構8よりも上流側に配置された分岐流路9は、ボディ内部側の小径部とボディ外部側の大径部とを備えており、計測ユニット3のバイパス流路形成部3bのバイパス流路3c(後述)に連通接続される。絞り機構8よりも下流側に配置された分岐流路10も同様にボディ内部側の小径部とボディ外部側の大径部とを備えており、バイパス流路3cに連通接続される。 For example, as shown in FIGS. 2 and 4, a concave portion 2 a having a substantially circular shape in plan view and a predetermined depth is formed on the upper surface of the flow path unit 2, and the bypass flow of the measurement unit 3 is formed in the concave portion 2 a. A path forming portion 3b (described later) is fitted. The branch flow path 9 arranged on the upstream side of the throttle mechanism 8 includes a small diameter part on the inner side of the body and a large diameter part on the outer side of the body, and the bypass flow of the bypass flow path forming part 3b of the measurement unit 3 It is connected to a path 3c (described later). Similarly, the branch flow path 10 disposed on the downstream side of the throttle mechanism 8 also includes a small diameter portion on the inner side of the body and a large diameter portion on the outer side of the body, and is connected to the bypass flow path 3c.
計測ユニット3は、図1〜図4に示すように略直方体形状を呈する筐体を有しており、この筐体の上側(流路ユニット2と反対側)には、表示部4a及び操作部4bを有する表示操作パネル4が設けられている。表示部4aは、例えば図7に示すように、各種情報を最大5桁の数字又は英字で表示するデジタル表示部(7セグメントディスプレイ)41と、操作部4bの操作により設定されたモードを示すモード表示灯42,43と、を有している。 The measurement unit 3 has a housing having a substantially rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. 1 to FIG. 4, and a display unit 4 a and an operation unit are disposed on the upper side (opposite the flow path unit 2) of the housing. A display operation panel 4 having 4b is provided. For example, as shown in FIG. 7, the display unit 4a includes a digital display unit (7-segment display) 41 that displays various types of information in a maximum of 5 digits or letters, and a mode that indicates a mode set by operating the operation unit 4b. Indicator lamps 42 and 43.
例えば、一方のモード表示灯42は瞬時流量モード表示灯であり、他方のモード表示灯43は積算流量モード表示灯である。瞬時流量モード表示灯42が点灯している場合には、7セグメントディスプレイ(以下、単に「ディスプレイ」ともいう)41に表示されている値の単位が瞬時流量[L/min]であることを表し、積算流量モード表示灯43が点灯している場合には、7セグメントディスプレイ41に表示されている値の単位が積算流量[L]であることを表すことができる。なお、モード表示灯42,43の表示部4aにおける配置位置は任意である。図7に例示するようにディスプレイ41の横に配置してもよいし、ディスプレイ41の下(あるいは上でもよい)に配置してもよい。 For example, one mode indicator lamp 42 is an instantaneous flow rate mode indicator lamp, and the other mode indicator lamp 43 is an integrated flow rate mode indicator lamp. When the instantaneous flow rate mode indicator 42 is lit, it indicates that the unit of the value displayed on the 7-segment display (hereinafter simply referred to as “display”) 41 is the instantaneous flow rate [L / min]. When the integrated flow mode indicator lamp 43 is lit, it can be expressed that the unit of the value displayed on the 7-segment display 41 is the integrated flow [L]. In addition, the arrangement position in the display part 4a of the mode indicator lamps 42 and 43 is arbitrary. As illustrated in FIG. 7, it may be disposed beside the display 41 or may be disposed below (or above) the display 41.
ディスプレイ41は、図7に例示する制御部30のCPU31の制御の下、検出したガスの瞬時流量や瞬時流量の積算値を表示できるほか、ROM32やEEPROM33、RAM34等の各種メモリ(情報記憶手段)に記憶された情報を表示することができる。 The display 41 can display the instantaneous flow rate of the detected gas and the integrated value of the instantaneous flow rate under the control of the CPU 31 of the control unit 30 illustrated in FIG. 7, and various memories (information storage means) such as the ROM 32, the EEPROM 33, and the RAM 34. The information stored in can be displayed.
当該情報には、例示的に、フローセンサ12による計測結果(瞬時流量及び/又は積算流量)、瞬時流量に対応する経過時間や時刻に係る情報、流量計1の機種に関する情報、流量計1(計測ユニット3)に搭載しているファームウェアに関する情報(例えばバージョン情報、コピーライト情報、製造元除法、ソフトウェア識別情報等)、分流比に関する情報、計測ユニット3がサポートする機能及びその機能における設定値等のいずれか1又はいずれか2以上の組み合わせが含まれる。なお、前記分流比は、分岐流路9、バイパス流路3c、及び分岐流路10を流れる流体の流量に対する、管路7を流れる流体の流量の比として表される。 The information includes, for example, a measurement result (instantaneous flow rate and / or integrated flow rate) by the flow sensor 12, information on elapsed time and time corresponding to the instantaneous flow rate, information on the type of the flow meter 1, flow meter 1 ( Information related to firmware (for example, version information, copyright information, manufacturer division, software identification information, etc.) installed in the measurement unit 3), information on the diversion ratio, functions supported by the measurement unit 3, and setting values for the functions, etc. Any one or a combination of any two or more is included. The diversion ratio is expressed as the ratio of the flow rate of the fluid flowing through the pipe line 7 to the flow rate of the fluid flowing through the branch channel 9, the bypass channel 3 c, and the branch channel 10.
操作部4bには、各種情報の表示態様(表示内容や表示形式)を設定するための各種操作(入力)キーが設けられている。例示的に、操作部4bには、左シフトキー401、右シフトキー402、下(DOWN)キー403、上(UP)キー404、実行キー405、入力キー406、表示キー407等が設けられている。 The operation unit 4b is provided with various operation (input) keys for setting various information display modes (display contents and display format). For example, the operation unit 4b is provided with a left shift key 401, a right shift key 402, a down (DOWN) key 403, an up (UP) key 404, an execution key 405, an input key 406, a display key 407, and the like.
左シフトキー401、右シフトキー402、下キー403、上キー404は、例えば、瞬時流量/積算流量モードの選択や、情報の表示内容や表示形式の選択等に用いられる。実行キー405は、例えば、フローセンサ12によるガスの流量(瞬時値及び/又は積算値)の計測を実行(開始)させるのに用いられる。入力キー406は、例えば、各種情報の入力に用いることができる。表示キー407は、例えば、前記モード設定や、7セグメントディスプレイ41の表示内容や表示形式を変更するのに用いられる。 The left shift key 401, the right shift key 402, the down key 403, and the up key 404 are used, for example, for selection of instantaneous flow rate / integrated flow rate mode, information display content and display format, and the like. The execution key 405 is used, for example, to execute (start) measurement of a gas flow rate (instantaneous value and / or integrated value) by the flow sensor 12. The input key 406 can be used for inputting various information, for example. The display key 407 is used, for example, to change the mode setting or the display contents and display format of the 7-segment display 41.
なお、表示部4a(ディスプレイ41)への情報出力(表示制御)は、図7に例示する制御部30の中央演算処理装置(CPU)31の制御の下に行なわれる。CPU31は、操作部4bに対するユーザの操作に応じた入力信号を受信し、当該入力信号に応じて表示部4aに対して適切な表示制御を行なう。 Information output (display control) to the display unit 4a (display 41) is performed under the control of the central processing unit (CPU) 31 of the control unit 30 illustrated in FIG. The CPU 31 receives an input signal corresponding to a user operation on the operation unit 4b, and performs appropriate display control on the display unit 4a according to the input signal.
図2〜図4に示す計測ユニット3の筐体の側面には、給電用及び各種信号送受信用のケーブルCを接続させるためのケーブル接続部5が設けられている。また、計測ユニット3を構成する筐体の下側(流路ユニット2が取り付けられる側)には、板状部3aが固定されている。図2及び図4に示すように、計測ユニット3の板状部3aと、流路ユニット2に形成され相互に重ねられたネジ孔と、にネジ6が螺入されることにより、計測ユニット3が流路ユニット2に固定される。 On the side surface of the housing of the measurement unit 3 shown in FIGS. 2 to 4, a cable connection portion 5 for connecting a power supply cable C and a signal transmission / reception cable C is provided. In addition, a plate-like portion 3 a is fixed to the lower side of the housing constituting the measurement unit 3 (the side on which the flow path unit 2 is attached). As shown in FIGS. 2 and 4, the screw 6 is screwed into the plate-like portion 3 a of the measurement unit 3 and the screw holes formed in the flow path unit 2 and overlapped with each other, whereby the measurement unit 3. Is fixed to the flow path unit 2.
計測ユニット3の板状部3aと流路ユニット2との間には、図4に示すように、バイパス流路形成部3bが配置される。バイパス流路形成部3bは、流路ユニット2の凹部2aに嵌め込まれるような平面視略円形状の薄型の部材であり、その下面には、流路ユニット2の分岐流路9、10に連通接続されるバイパス流路3cが形成されている。流路ユニット2の上流側の管路7を流通するガスは、絞り機構8の前後の差圧によりその一部が上流側の分岐流路9を経由して計測ユニット3のバイパス流路3cに導かれて流入し、その後、流路ユニット2の下流側の分岐流路10を経由して下流側の管路7にバイパス(合流)されるようになっている。主流路である管路7に流れる流量とバイパス流路3cに流れる流量との比率(分流比)は、計算あるいは実測によって予め特定しておく。なお、流路ユニット2の凹部2a内であってバイパス流路形成部3bの周囲には、例えば図2及び図4に示すようなパッキン11が嵌め込まれ、このパッキン11により、計測ユニット3の板状部3aと流路ユニット2の凹部2aとが形成する空間の気密性を確保できる。 As shown in FIG. 4, a bypass flow path forming portion 3 b is disposed between the plate-like portion 3 a of the measurement unit 3 and the flow path unit 2. The bypass flow path forming portion 3b is a thin member having a substantially circular shape in a plan view so as to be fitted into the concave portion 2a of the flow path unit 2. The lower surface thereof communicates with the branch flow paths 9 and 10 of the flow path unit 2. A bypass flow path 3c to be connected is formed. A part of the gas flowing through the upstream pipe line 7 of the flow path unit 2 is transferred to the bypass flow path 3c of the measurement unit 3 via the upstream branch flow path 9 due to the differential pressure before and after the throttle mechanism 8. After being led in, it is bypassed (joined) to the downstream pipe line 7 via the branch flow path 10 on the downstream side of the flow path unit 2. The ratio (diversion ratio) between the flow rate flowing through the conduit 7 as the main flow channel and the flow rate flowing through the bypass flow channel 3c is specified in advance by calculation or actual measurement. A packing 11 as shown in FIGS. 2 and 4, for example, is fitted in the recess 2a of the flow path unit 2 and around the bypass flow path forming portion 3b. The airtightness of the space formed by the recess 3a and the recess 2a of the flow path unit 2 can be ensured.
ここで、分岐流路9,10の断面積が小さい場合、分岐流路9、バイパス流路3c、及び分岐流路10を流れる流体の流量に対する、管路7を流れる流体の流量の比である分流比は大きくなる。これに対し、分岐流路9,10の断面積が大きい場合、分岐流路9、バイパス流路3c、及び分岐流路10を流れる流体の流量に対する、管路7を流れる流体の流量の分流比は小さくなる。 Here, when the cross-sectional areas of the branch channels 9 and 10 are small, the ratio of the flow rate of the fluid flowing through the pipe line 7 to the flow rate of the fluid flowing through the branch channel 9, the bypass channel 3 c and the branch channel 10. The diversion ratio increases. On the other hand, when the cross-sectional areas of the branch passages 9 and 10 are large, the diversion ratio of the flow rate of the fluid flowing through the pipe line 7 to the flow rate of the fluid flowing through the branch passage 9, the bypass passage 3 c and the branch passage 10. Becomes smaller.
このように、分岐流路9,10の断面積と、管路7の断面積とに応じて、流体の流路抵抗が変化し、結果として分流比が変化する。なお、流体の流路抵抗は、必ずしも流路の断面積のみに依存しない。例えば、管路7、及び分岐流路9,10のそれぞれの長さが変化した場合も、流体の流路抵抗が変化し、結果として分流比が変化する。 Thus, the flow path resistance of the fluid changes according to the cross-sectional area of the branch flow paths 9 and 10 and the cross-sectional area of the pipe line 7, and as a result, the diversion ratio changes. Note that the flow path resistance of the fluid does not necessarily depend only on the cross-sectional area of the flow path. For example, even when the lengths of the pipe line 7 and the branch flow paths 9 and 10 change, the flow path resistance of the fluid changes, and as a result, the diversion ratio changes.
上記分流比に関する情報は、例えば図7に示す制御部30のCPU31を通じてメモリ(ROM32、EEPROM33又はRAM34)に記憶させることができる。分流比は、分岐流路9,10の流路抵抗、管路7の流路抵抗等に依存するが、流路ユニット2に取り付けられることで管路7の一部を成す計測ユニット3の抵抗によっても変化し得る。そのため、分流比は、流路ユニット2に取り付けられる計測ユニット3毎に異なる場合もある。したがって、分流比に関する情報は、例えば分流比の値そのものでもよいし、分流比と対応付けられた情報、例えば、計測ユニット3の機種に関する情報や識別番号、製品番号等としてもよい。 The information on the diversion ratio can be stored in a memory (ROM 32, EEPROM 33 or RAM 34) through the CPU 31 of the control unit 30 shown in FIG. The diversion ratio depends on the flow path resistance of the branch flow paths 9 and 10, the flow path resistance of the pipe line 7, etc., but the resistance of the measurement unit 3 that forms a part of the pipe line 7 by being attached to the flow path unit 2. It can also be changed by. Therefore, the diversion ratio may be different for each measurement unit 3 attached to the flow path unit 2. Therefore, the information related to the diversion ratio may be, for example, the value of the diversion ratio itself, or may be information associated with the diversion ratio, for example, information relating to the model of the measurement unit 3, an identification number, a product number, or the like.
計測ユニット3の底面に固定された板状部3aの中央部には、フローセンサ12が設けられている。フローセンサ12は、バイパス流路3cを流通するガスの流速又は流量(瞬時流量)を検出する。フローセンサ12としては、種々の構成を採用することができ、本実施形態においては、例示的に、ダイヤフラムを有する熱式流量センサを採用している。 A flow sensor 12 is provided at the center of the plate-like portion 3 a fixed to the bottom surface of the measurement unit 3. The flow sensor 12 detects the flow velocity or flow rate (instantaneous flow rate) of the gas flowing through the bypass flow path 3c. Various configurations can be adopted as the flow sensor 12, and in the present embodiment, a thermal flow sensor having a diaphragm is exemplarily employed.
フローセンサ12は、例えば図5及び図6に示すように、キャビティ26が設けられた基板20、基板20上にキャビティ26を覆うように配置された絶縁膜25、絶縁膜25に設けられたヒータ21、ヒータ21よりも上流側に設けられた上流側測温抵抗素子22、ヒータ21よりも下流側に設けられた下流側測温抵抗素子23、上流側測温抵抗素子22よりも上流側に設けられた周囲温度センサ24等を有している。 For example, as shown in FIGS. 5 and 6, the flow sensor 12 includes a substrate 20 provided with a cavity 26, an insulating film 25 disposed on the substrate 20 so as to cover the cavity 26, and a heater provided on the insulating film 25. 21, an upstream side resistance thermometer element 22 provided on the upstream side of the heater 21, a downstream side thermometer resistance element 23 provided on the downstream side of the heater 21, and an upstream side of the upstream side thermometer resistance element 22. An ambient temperature sensor 24 is provided.
絶縁膜25のキャビティ26を覆う部分は、熱容量が小さく、基板20に対して断熱性を有するダイヤフラムを構成している。周囲温度センサ24は、バイパス流路3cに流入してきた流体の温度を測定する。ヒータ21は、キャビティ26を覆う絶縁膜25の中心に配置されており、周囲温度センサ24が計測した流体の温度よりも一定温度(例えば10℃)高くなるように、加熱される。上流側測温抵抗素子22はヒータ21より上流側の温度を検出するために用いられ、下流側測温抵抗素子23はヒータ21より下流側の温度を検出するために用いられる。 A portion of the insulating film 25 covering the cavity 26 constitutes a diaphragm having a small heat capacity and a heat insulating property with respect to the substrate 20. The ambient temperature sensor 24 measures the temperature of the fluid flowing into the bypass flow path 3c. The heater 21 is disposed at the center of the insulating film 25 covering the cavity 26 and is heated so as to be higher than the temperature of the fluid measured by the ambient temperature sensor 24 (for example, 10 ° C.). The upstream resistance temperature sensor 22 is used to detect the temperature upstream of the heater 21, and the downstream temperature resistance element 23 is used to detect the temperature downstream of the heater 21.
ここで、バイパス流路3c中の流体が静止している場合、ヒータ21で加えられた熱は、上流方向及び下流方向へ対称的に拡散する。従って、上流側測温抵抗素子22及び下流側測温抵抗素子23の温度は等しくなり、上流側測温抵抗素子22及び下流側測温抵抗素子23の電気抵抗は等しくなる。これに対し、バイパス流路3c中の流体が上流から下流に流れている場合、ヒータ21で加えられた熱は、下流方向に運ばれる。従って、上流側測温抵抗素子22の温度よりも、下流側測温抵抗素子23の温度が高くなる。 Here, when the fluid in the bypass passage 3c is stationary, the heat applied by the heater 21 is diffused symmetrically in the upstream direction and the downstream direction. Accordingly, the temperatures of the upstream resistance temperature element 22 and the downstream resistance temperature element 23 are equal, and the electrical resistances of the upstream resistance temperature element 22 and the downstream resistance temperature element 23 are equal. On the other hand, when the fluid in the bypass channel 3c flows from the upstream to the downstream, the heat applied by the heater 21 is carried in the downstream direction. Therefore, the temperature of the downstream temperature measuring resistance element 23 becomes higher than the temperature of the upstream temperature measuring resistance element 22.
そのため、上流側測温抵抗素子22の電気抵抗と下流側測温抵抗素子23の電気抵抗との間に差が生じる。下流側測温抵抗素子23の電気抵抗と上流側測温抵抗素子22の電気抵抗の差は、バイパス流路3c中の流体の速度や流量と相関関係がある。そのため、下流側測温抵抗素子23の電気抵抗と上流側測温抵抗素子22の電気抵抗の差を基に、バイパス流路3cを流れる流体の速度や流量を算出できる。 Therefore, a difference is generated between the electrical resistance of the upstream resistance temperature sensor 22 and the electrical resistance of the downstream resistance temperature sensor 23. The difference between the electrical resistance of the downstream resistance temperature sensor 23 and the electrical resistance of the upstream resistance temperature sensor 22 has a correlation with the speed and flow rate of the fluid in the bypass passage 3c. Therefore, the speed and flow rate of the fluid flowing through the bypass flow path 3c can be calculated based on the difference between the electrical resistance of the downstream resistance temperature sensor 23 and the electrical resistance of the upstream resistance temperature sensor 22.
図5及び図6に示す基板20の材料としては、シリコン(Si)等が使用可能である。絶縁膜25の材料としては、酸化ケイ素(SiO2)等が使用可能である。キャビティ26は、異方性エッチング等により形成することができる。また、ヒータ21、上流側測温抵抗素子22、下流側測温抵抗素子23及び周囲温度センサ24の各材料には白金(Pt)等が使用可能であり、リソグラフィ法等により形成可能である。 As a material of the substrate 20 shown in FIGS. 5 and 6, silicon (Si) or the like can be used. As a material of the insulating film 25, silicon oxide (SiO2) or the like can be used. The cavity 26 can be formed by anisotropic etching or the like. Further, platinum (Pt) or the like can be used for each material of the heater 21, the upstream resistance temperature sensor 22, the downstream resistance temperature sensor 23, and the ambient temperature sensor 24, and can be formed by a lithography method or the like.
また、計測ユニット3は、図7に示すように、各種電子機器を統合制御する制御部(電気回路)30を有している。制御部30は、例示的に、既述のCPU31、ROM32、EEPROM33及びRAM34のほか、入出力インターフェース(I/F)35、通信部36、及びタイマ37を有している。 Further, the measurement unit 3 includes a control unit (electric circuit) 30 that integrally controls various electronic devices, as shown in FIG. For example, the control unit 30 includes an input / output interface (I / F) 35, a communication unit 36, and a timer 37 in addition to the CPU 31, ROM 32, EEPROM 33, and RAM 34 described above.
ROM32は、設定操作や演算処理のためのアルゴリズムのほか各種制御プログラムが予め書き込まれている。EEPROM33は、不揮発性記憶手段の一例であり、記憶した情報の書き換えが可能である。なお、EEPROM33のほか、フラッシュメモリ、強誘電体メモリ(FeRAM)等を用いることも可能である。 In the ROM 32, various control programs are written in advance in addition to algorithms for setting operations and arithmetic processing. The EEPROM 33 is an example of a non-volatile storage unit, and stored information can be rewritten. In addition to the EEPROM 33, a flash memory, a ferroelectric memory (FeRAM), or the like can be used.
RAM34は、フローセンサ12によって測定された流量データ等を一時的に保存する。I/F35は、流量計1の外部機器との間で制御信号等の入出力を行なう。通信部36は、流量計1の外部機器との間で情報の送受信を行なう。タイマ37は、任意の基準時からの経過時間を計測する時間計測手段の一例である。 The RAM 34 temporarily stores flow rate data and the like measured by the flow sensor 12. The I / F 35 inputs and outputs control signals and the like with an external device of the flow meter 1. The communication unit 36 transmits / receives information to / from an external device of the flow meter 1. The timer 37 is an example of a time measuring unit that measures an elapsed time from an arbitrary reference time.
EEPROM33は、CPU31の制御の下、流量計1に対して取り外し可能に装着されており、フローセンサ12で検出した瞬時流量に係る情報やタイマ37で計測した経過時間に係る情報を記憶する。EEPROM33で記憶した情報は、例えばI/F35や通信部36を通じて外部機器に出力することができる。 The EEPROM 33 is detachably attached to the flow meter 1 under the control of the CPU 31, and stores information related to the instantaneous flow rate detected by the flow sensor 12 and information related to the elapsed time measured by the timer 37. The information stored in the EEPROM 33 can be output to an external device through the I / F 35 or the communication unit 36, for example.
CPU31は、ROM32内の各種制御プログラムを読み込んで、種々の情報処理や機器の制御を行なう。例えば、CPU31は、ユーザによる操作部4bの操作に応じた入力信号を受けて、ガスの瞬時流量に係る情報及び経過時間に係る情報(以下、「流量−時間情報」という)の収集を開始する。 The CPU 31 reads various control programs in the ROM 32 and performs various information processing and device control. For example, the CPU 31 receives an input signal corresponding to the operation of the operation unit 4b by the user, and starts collecting information on the instantaneous gas flow rate and information on the elapsed time (hereinafter referred to as “flow rate-time information”). .
例えば、流量計1が起動していて情報収集可能な状態にあるが未だ情報収集をしていない状態において、ユーザが実行キー405を押すと、CPU31は、タイマ37を作動させて、ユーザによる操作入力があった時点(任意の基準時)からの経過時間の計測を開始させるとともに、フローセンサ12によるガスの瞬時流量の検出を開始させる。そして、CPU31は、図8及び図9に例示するように、フローセンサ12において検出されたガスの瞬時流量(Q1、Q2、…、QN-1、QN)と、各検出時にタイマ37で計測された経過時間(T1、T2、…、TN-1、TN)と、を対応付けて図7に示すEEPROM33に記憶させる。 For example, when the user presses the execution key 405 in a state where the flow meter 1 is activated and the information can be collected but the information is not yet collected, the CPU 31 activates the timer 37 to operate the user. The measurement of the elapsed time from the input time (arbitrary reference time) is started, and the detection of the instantaneous gas flow rate by the flow sensor 12 is started. Then, as illustrated in FIG. 8 and FIG. 9, the CPU 31 detects an instantaneous gas flow rate (Q 1 , Q 2 ,..., Q N−1 , Q N ) detected by the flow sensor 12 and a timer at each detection. The elapsed times (T 1 , T 2 ,..., T N−1 , T N ) measured in 37 are associated with each other and stored in the EEPROM 33 shown in FIG.
フローセンサ12における瞬時流量の検出間隔(サンプリング周期)及び検出回数やタイマ37での計測時間の周期は、流量計1の仕様や使用状況等に応じて適宜設定することができる。例えば、タイマ37の計測周期を800分(13時間20分)とし、タイマ37がユーザによる操作入力があった時点から800分間の時間を計測する間に、フローセンサ12において瞬時流量を10分間隔(サンプリング周期:10分)で80回検出するように設定することができる。 The detection interval (sampling cycle) and the number of detections of the instantaneous flow rate in the flow sensor 12 and the cycle of the measurement time in the timer 37 can be set as appropriate according to the specifications of the flow meter 1, usage conditions, and the like. For example, the timer 37 has a measurement cycle of 800 minutes (13 hours and 20 minutes), and the timer 37 measures the instantaneous flow rate at intervals of 10 minutes while the timer 37 measures the time of 800 minutes from the time when the user inputs an operation. It can be set to detect 80 times at (sampling period: 10 minutes).
なお、CPU31は、前記分流比に関する情報を例えばROM32又はEEPROM33から読み出し、当該分流比に関する情報と、フローセンサ12の検出値(バイパス流路3cを流通するガスの流量)とに基づいて、図4に示す管路7(配管P)を流れる流体の流量を算出(換算)することができる。求めた値は、例えば図7に示すEEPROM33に記憶させることができる。 The CPU 31 reads out information related to the flow dividing ratio from, for example, the ROM 32 or the EEPROM 33, and based on the information related to the flow dividing ratio and the detection value of the flow sensor 12 (the flow rate of the gas flowing through the bypass flow path 3c), FIG. It is possible to calculate (convert) the flow rate of the fluid flowing through the pipe line 7 (pipe P). The obtained value can be stored in, for example, the EEPROM 33 shown in FIG.
また、CPU31は、ユーザによる操作部4bの操作に応じた入力信号を受けて、流量−時間情報の収集開始時刻を入力し、入力した情報収集開始時刻に基づいて、EEPROM33に記憶させた経過時間に係る情報を、時刻に係る情報に変換することができる。例えば、図9に示すように、フローセンサ12において10分間隔で80回検出されたガスの瞬時流量(Q1、Q2、…、Q79、Q80)と、各検出時にタイマ37で計測された経過時間(T1(10分)、T2(20分)、…、T79(790分)、T80(800分))と、が対応付けられて記憶されている場合を想定する。かかる場合において、流量−時間情報の収集開始時刻(タイマ37の作動を開始させる時刻)が「8:00」であるとすると、図7に示すCPU31は、各経過時間(T1、T2、…、T79、T80)を時刻(8:10、8:20、…、21:10、21:20)に変換してEEPROM33に記憶させる。これにより、「流量−時間情報」が「流量−時刻情報」に変換される。なお、収集開始時刻である「8:00」は、操作者が時計を見て判断し、操作部4bの操作キーを操作して入力するようにしてもよい。 In addition, the CPU 31 receives an input signal corresponding to the operation of the operation unit 4b by the user, inputs the collection start time of the flow rate-time information, and the elapsed time stored in the EEPROM 33 based on the input information collection start time. Can be converted into information related to time. For example, as shown in FIG. 9, the instantaneous flow rate (Q 1 , Q 2 ,..., Q 79 , Q 80 ) of gas detected 80 times at 10 minute intervals in the flow sensor 12 and measured by a timer 37 at each detection. Assume that stored elapsed times (T 1 (10 minutes), T 2 (20 minutes),..., T 79 (790 minutes), T 80 (800 minutes)) are stored in association with each other. . In such a case, assuming that the collection start time of the flow rate-time information (time when the operation of the timer 37 is started) is “8:00”, the CPU 31 shown in FIG. 7 determines each elapsed time (T 1 , T 2 , ..., T 79 , T 80 ) are converted into times (8:10, 8:20,..., 21:10, 21:20) and stored in the EEPROM 33. Thereby, “flow rate-time information” is converted into “flow rate-time information”. The collection start time “8:00” may be determined by the operator looking at the clock and operating the operation key of the operation unit 4b.
CPU31は、操作部4bの操作により瞬時流量モードが設定された場合に、図10(A)に示すように、表示部4aの瞬時流量モード表示灯42を点灯させ、検出したガスの瞬時流量(フローセンサ12における検出値を、配管Pを流通するガスの瞬時流量に変換した値)をディスプレイ41に表示させることができる。一方、図7に示すCPU31は、操作部4bの操作により積算流量モードが設定された場合に、図10(B)に示すように、表示部4aの積算流量モード表示灯43を点灯させ、検出したガスの瞬時流量の積算値をディスプレイ41に表示させることができる。なお、瞬時流量の積算値が6桁以上となる場合、CPU31は、6桁以上の上桁と5桁以下の下桁とを分けて所定時間毎に交互にディスプレイ41に表示させることもできる。 When the instantaneous flow rate mode is set by the operation of the operation unit 4b, the CPU 31 turns on the instantaneous flow rate mode indicator lamp 42 of the display unit 4a as shown in FIG. The value obtained by converting the detected value in the flow sensor 12 into the instantaneous flow rate of the gas flowing through the pipe P) can be displayed on the display 41. On the other hand, when the integrated flow mode is set by the operation of the operation unit 4b, the CPU 31 shown in FIG. 7 turns on the integrated flow mode indicator lamp 43 of the display unit 4a to detect it as shown in FIG. 10B. The integrated value of the instantaneous gas flow rate can be displayed on the display 41. When the integrated value of the instantaneous flow rate is 6 digits or more, the CPU 31 can also display an upper digit of 6 digits or more and a lower digit of 5 digits or less alternately on the display 41 every predetermined time.
なお、ディスプレイを一組だけ用いた実施例を説明したが、コストが許せば二組のディスプレイを用いるとよい。一方のディスプレイに経過時間の情報を表示し、他方のディスプレイに対応する流量情報を表示すれば視認性が向上する。あるいは、一方のディスプレイに表示項目を文字表示し、他方のディスプレイに数値を表示すれば視認性が向上する。さらに、液晶ディスプレイやドットマトリックス型ディスプレイ等、複数の項目の表示が可能なディスプレイを用いて認識性を向上させることも可能である。 In addition, although the Example using only one set was demonstrated, it is good to use two sets of displays if a cost permits. Visibility is improved by displaying information on elapsed time on one display and displaying flow rate information corresponding to the other display. Alternatively, the visibility is improved by displaying the display items as characters on one display and displaying numerical values on the other display. Furthermore, it is possible to improve the recognition using a display capable of displaying a plurality of items, such as a liquid crystal display or a dot matrix type display.
また、CPU31は、検出した瞬時流量に係る情報及びこれに対応する経過時間又は時刻に係る情報に加えて、瞬時流量の各検出期間(タイマ37の計測周期)における付加流量情報をEEPROM33に記憶させ、この付加流量情報を表示部4aに表示させることもできる。例えば、CPU31は、図8に示すように、瞬時流量の各検出期間(0〜TN)における最大値QMAX、最小値QMIN及び平均値QAVEに係る情報を、付加流量情報としてEEPROM33に記憶させ、この付加流量情報をディスプレイ41に表示させることができる。 Further, the CPU 31 causes the EEPROM 33 to store additional flow rate information in each detection period of the instantaneous flow rate (measurement cycle of the timer 37) in addition to the information related to the detected instantaneous flow rate and the information related to the elapsed time or time corresponding thereto. The additional flow rate information can be displayed on the display unit 4a. For example, as shown in FIG. 8, the CPU 31 stores information on the maximum value Q MAX , the minimum value Q MIN, and the average value Q AVE in each detection period (0 to T N ) of the instantaneous flow rate in the EEPROM 33 as additional flow rate information. The additional flow rate information can be stored on the display 41.
この際、CPU31は、各検出期間(0〜TN)における瞬時流量の積算値や各サンプリング周期(例えばT1〜T2)における瞬時流量の積算値に係る情報を付加流量情報としてEEPROM33に記憶させ、この付加流量情報をディスプレイ41に表示させることもできる。 At this time, the CPU 31 stores the integrated value of the instantaneous flow rate in each detection period (0 to T N ) and information related to the integrated value of the instantaneous flow rate in each sampling period (for example, T 1 to T 2 ) in the EEPROM 33 as additional flow rate information. The additional flow rate information can be displayed on the display 41.
さらに、CPU31は、EEPROM33に記憶させた各種情報(瞬時流量に係る情報やこの瞬時流量に対応する経過時間・時刻に係る情報等)を、通信部36を介して、無線通信あるいは有線通信を用い、流量計1の外部機器に転送することができる。外部機器には、流量計1に対する各種機能の設定や流量積算値の自動検針を行なうための携帯式端末装置等が含まれる。 Further, the CPU 31 uses various kinds of information (information relating to the instantaneous flow rate and information relating to the elapsed time / time corresponding to the instantaneous flow rate) stored in the EEPROM 33 via the communication unit 36 using wireless communication or wired communication. Can be transferred to an external device of the flow meter 1. The external equipment includes a portable terminal device for setting various functions for the flow meter 1 and automatically reading the flow rate integrated value.
また、本実施形態のCPU31は、図7中に例示するように、設定部(流量監視値設定部)311、判断部312および流量監視部313としての機能を有する。 Further, as illustrated in FIG. 7, the CPU 31 of this embodiment has functions as a setting unit (flow rate monitoring value setting unit) 311, a determination unit 312, and a flow rate monitoring unit 313.
流量監視値設定部311として機能するCPU31は、フローセンサ12を用いて計測される流量に関する閾値(下限値、あるいは下限値及び上限値の組)を設定することができる。閾値(以下、「流量監視値」ともいう)は、ROM32、EEPROM33又はRAM34に予めデフォルト値として記憶させておいてもよいし、ユーザによって設定、変更できるようにしてもよい。 The CPU 31 functioning as the flow rate monitoring value setting unit 311 can set a threshold (a lower limit value or a combination of a lower limit value and an upper limit value) related to the flow rate measured using the flow sensor 12. The threshold value (hereinafter also referred to as “flow rate monitoring value”) may be stored in advance as a default value in the ROM 32, the EEPROM 33, or the RAM 34, or may be set and changed by the user.
例えば、CPU31は、ユーザによる操作部4bに対する流量監視値の設定操作に応じた信号を受信することにより、EEPROM33又はRAM34に流量監視値を記憶、設定してもよいし、I/F35又は通信部36により外部機器と通信可能に接続された外部機器から受信した流量監視値をEEPROM33又はRAM34に記憶、設定してもよい。 For example, the CPU 31 may store and set the flow rate monitoring value in the EEPROM 33 or the RAM 34 by receiving a signal according to the setting operation of the flow rate monitoring value for the operation unit 4b by the user, or the I / F 35 or the communication unit. The flow rate monitoring value received from the external device connected to be communicable with the external device by 36 may be stored and set in the EEPROM 33 or the RAM 34.
判断部312として機能するCPU31は、フローセンサ12による流量計測結果(例えば瞬時流量)を監視する。例示的に、判断部312は、配管P(管路7)内にガスが流通し始めたタイミングからフローセンサ12による計測結果が前記流量下限値を超えるか否かを判断する。前記タイミングは、例えば、配管P(管路7)にガスを流通させる設備機器が起動されたタイミングに相当するものとしてよい。この場合、設備機器の起動信号をCPU31に入力すればよい。起動信号の入力は、設備機器の起動に連動して自動的に行なわれてもよいし、ユーザが操作部4bを操作することで手動にて行なわれてもよい。 The CPU 31 functioning as the determination unit 312 monitors the flow rate measurement result (for example, instantaneous flow rate) by the flow sensor 12. Illustratively, the determination unit 312 determines whether or not the measurement result by the flow sensor 12 exceeds the flow rate lower limit value from the timing when the gas starts to flow through the pipe P (pipe line 7). The timing may correspond to, for example, a timing at which an equipment device that circulates gas through the pipe P (pipe line 7) is activated. In this case, an activation signal for the equipment may be input to the CPU 31. The input of the activation signal may be automatically performed in conjunction with the activation of the facility device, or may be manually performed by the user operating the operation unit 4b.
判断部312は、フローセンサ12による流量計測結果と、流量監視値設定部311により設定された流量監視値(流量下限値)とを周期的に比較して、流量計測結果が初めて流量監視値を超えたか否かを判断する。流量計測結果が流量監視値を初めて超えたと判断した場合、判断部312は、流量監視部313に対して監視実行指示(トリガ)を与える。 The determination unit 312 periodically compares the flow rate measurement result by the flow sensor 12 with the flow rate monitoring value (flow rate lower limit value) set by the flow rate monitoring value setting unit 311, and the flow rate measurement result is the first time the flow rate monitoring value is obtained. Judge whether or not it has been exceeded. When determining that the flow rate measurement result exceeds the flow rate monitoring value for the first time, the determination unit 312 gives a monitoring execution instruction (trigger) to the flow rate monitoring unit 313.
なお、前記比較の周期(インターバル)は、例えば、空調設備などの、配管P(管路7)へガスを流通させる設備機器が起動されて流路ユニット2の配管P(管路7)内にガスが流通し始めてからフローセンサ12による流量計測結果が流量下限値を超えるまでに通常要する時間よりも十分短い周期に設定しておけばよい。 In addition, the period (interval) of the comparison is, for example, in the pipe P (pipe line 7) of the flow path unit 2 when an equipment device that circulates gas to the pipe P (pipe line 7) such as an air conditioner is activated. What is necessary is just to set it as a period sufficiently shorter than the time normally required until the flow measurement result by the flow sensor 12 exceeds a flow volume lower limit after gas begins to distribute | circulate.
前記周期も、ROM32、EEPROM33又はRAM34に予めデフォルト値として記憶させておいてもよいし、ユーザによって設定、変更できるようにしてもよい。周期を短く設定するほど、判断の精度を向上できる。判断部312による判断結果は、EEPROM33又はRAM34に記憶させることができる。また、判断結果は、I/F35や通信部36経由で外部機器に出力してもよいし、表示部4aに出力して表示させてもよい。 The period may be stored in advance in the ROM 32, the EEPROM 33, or the RAM 34 as a default value, or may be set and changed by the user. As the cycle is set shorter, the accuracy of determination can be improved. The determination result by the determination unit 312 can be stored in the EEPROM 33 or the RAM 34. The determination result may be output to an external device via the I / F 35 or the communication unit 36, or may be output and displayed on the display unit 4a.
流量監視部313として機能するCPU31は、判断部312から監視実行指示(トリガ)を受けると、フローセンサ12の計測結果を、流量監視値に基づき、監視する。 When receiving a monitoring execution instruction (trigger) from the determination unit 312, the CPU 31 functioning as the flow rate monitoring unit 313 monitors the measurement result of the flow sensor 12 based on the flow rate monitoring value.
例示的に、流量監視値として流量下限値及び流量上限値のうち流量下限値のみが設定されている場合、流量監視部313は、流量計測結果と流量下限値とを周期的に比較して、流量計測結果が流量下限値未満となるか否か(つまり、いったん流量下限値を超えた後に当該下限値未満となったか否か)を監視する。流量計測結果が流量下限値未満になった場合、流量監視部313は、警報処理を実施する。例えば、流量監視部313は、流量計測結果が前記流量下限値未満になったこと(異常流量の検知)及び/又は警報(アラート)を警報情報の一例として生成する。 Illustratively, when only the flow rate lower limit value is set as the flow rate monitoring value, the flow rate monitoring unit 313 periodically compares the flow rate measurement result with the flow rate lower limit value, It is monitored whether or not the flow rate measurement result is less than the lower limit value of the flow rate (that is, whether or not the flow rate measurement result is once less than the lower limit value after the flow rate lower limit value is exceeded). When the flow rate measurement result is less than the lower limit flow rate, the flow rate monitoring unit 313 performs an alarm process. For example, the flow rate monitoring unit 313 generates a flow rate measurement result that is less than the lower limit value of the flow rate (detection of abnormal flow rate) and / or an alarm (alert) as an example of alarm information.
流量監視値として流量下限値及び流量上限値の双方が設定されている場合、流量監視部313は、流量計測結果と、流量下限値及び流量上限値の双方との比較を行ない、流量計測結果が、流量上限値を超えるか否か、および、流量下限値未満となるか否かをそれぞれ監視する。流量計測結果が流量上限値を超えるか、または流量下限値未満となった場合、流量監視部313は、警報処理を実施する。例えば、流量監視部313は、異常流量の検知及び/又は警報(アラート)を警報情報の一例として生成する。 When both the flow rate lower limit value and the flow rate upper limit value are set as the flow rate monitoring value, the flow rate monitoring unit 313 compares the flow rate measurement result with both the flow rate lower limit value and the flow rate upper limit value. Whether the flow rate upper limit value is exceeded and whether the flow rate lower limit value is reached are monitored. When the flow rate measurement result exceeds the flow rate upper limit value or becomes less than the flow rate lower limit value, the flow rate monitoring unit 313 performs an alarm process. For example, the flow rate monitoring unit 313 generates an abnormal flow rate detection and / or alarm (alert) as an example of alarm information.
なお、流量監視部313による監視周期も、ROM32、EEPROM33又はRAM34に予めデフォルト値として記憶させておいてもよいし、ユーザによって設定、変更できるようにしてもよい。当該監視周期を短く設定するほど、前記異常流量の監視(検知)精度を向上できる。 Note that the monitoring cycle by the flow rate monitoring unit 313 may be stored in advance in the ROM 32, the EEPROM 33, or the RAM 34 as a default value, or may be set and changed by the user. As the monitoring cycle is set shorter, the abnormal flow monitoring (detection) accuracy can be improved.
流量監視部313が生成した警報情報は、例えば、I/F35又は通信部36経由で外部機器、及び/又は、流量計1の表示部4aに出力することができる。なお、流量監視部313の機能の一部又は全部は、判断部312の機能と統合されてもよい。 The alarm information generated by the flow rate monitoring unit 313 can be output to the external device and / or the display unit 4a of the flow meter 1 via the I / F 35 or the communication unit 36, for example. Part or all of the functions of the flow rate monitoring unit 313 may be integrated with the functions of the determination unit 312.
つまり、本例のCPU31(判断部312)は、流路ユニット2の配管P(管路7)内にガスが流通し始めてからフローセンサ12による計測結果が流量下限値を超えるまでは、計測結果に基づく流量監視部313による監視(警報出力)を無効に制御する警報制御部の一例として用いられている。そして、計測結果が流量下限値を超えると、判断部312は、監視(警報出力)を有効とする制御を行なう。 That is, the CPU 31 (determination unit 312) of the present example measures the measurement result until the measurement result by the flow sensor 12 exceeds the lower limit of the flow rate after the gas starts to flow in the pipe P (pipe line 7) of the flow path unit 2. Is used as an example of an alarm control unit that invalidates the monitoring (alarm output) by the flow rate monitoring unit 313. And if a measurement result exceeds a flow volume lower limit, judgment part 312 will perform control which validates monitoring (alarm output).
これにより、配管P(管路7)にガスを流通させる設備機器が起動、運転されて管路7にガスが流通し始めた初期の段階において、余計な警報が発せられてしまうことを抑止することが可能となる。 As a result, it is possible to prevent an extra alarm from being issued at the initial stage when the equipment that circulates the gas in the pipe P (pipe line 7) is activated and operated and the gas begins to circulate in the pipe line 7. It becomes possible.
以下に、図11を併用して、上述のような警報制御の具体例について説明する。
フローセンサ12によって計測された流速は、電気回路である制御部30へ出力される。制御部30は、例えばCPU31及びワークエリアであるRAM34において、フローセンサ12が位置している流路の断面積と、上述の計測結果である流速とを乗じることで、瞬時流量q[L/min]を演算する。なお、CPU31は、瞬時流量qを所定時間だけ積算することで、積算流量Q[L]を算出してもよい。
A specific example of the alarm control as described above will be described below with reference to FIG.
The flow velocity measured by the flow sensor 12 is output to the control unit 30 that is an electric circuit. For example, in the RAM 31 that is the CPU 31 and the work area, the control unit 30 multiplies the cross-sectional area of the flow path in which the flow sensor 12 is located by the flow velocity that is the measurement result described above, thereby obtaining an instantaneous flow rate q [L / min. ] Is calculated. The CPU 31 may calculate the integrated flow rate Q [L] by integrating the instantaneous flow rate q for a predetermined time.
さてここで、製造工場等で、例えば前日の終業時等に製造ラインを停止した後、翌日の始業時等に再び製造ラインを起動して運用(稼動)する場合を想定する。この場合、製造ラインに組み込まれた、流路ユニット2を含む設備機器も、製造ラインの停止/起動に応じて停止/起動することができる。 Here, it is assumed that the production line is stopped at the manufacturing factory or the like, for example, at the end of the previous day, and then activated and operated (operated) again at the start of the next day. In this case, the equipment including the flow path unit 2 incorporated in the production line can also be stopped / started according to the stop / start of the production line.
製造ラインが停止されると、例えば測定ユニット3の制御部30(CPU31)に停止信号が与えられ、それまでの流量計測結果がリセットされる。リセットは、例えば判断部312が行なう。なお、当該リセットは、ユーザの操作部4bに対する操作に応じた信号をCPU31(判断部312)が受信することで実行可能である。 When the production line is stopped, for example, a stop signal is given to the control unit 30 (CPU 31) of the measurement unit 3, and the flow rate measurement result so far is reset. The reset is performed by the determination unit 312, for example. The reset can be executed by the CPU 31 (determination unit 312) receiving a signal corresponding to a user operation on the operation unit 4b.
リセット後、製造ラインが再起動されて、例えば図11中にAで示すタイミングで流量ユニット2を含む設備機器が起動されると、当該設備機器は、配管P(図1参照)へのガスの流通を開始する。これにより、流路ユニット2が取り付けられた配管P内にガスが流通し始め、ゼロから徐々にその流量が増加してゆく。 After the reset, the production line is restarted. For example, when the equipment including the flow rate unit 2 is started at the timing indicated by A in FIG. 11, the equipment is connected to the pipe P (see FIG. 1). Distribution begins. Thereby, gas begins to circulate in the pipe P to which the flow path unit 2 is attached, and the flow rate gradually increases from zero.
流路ユニット2に取り付けられた流量計1は、上述したごとくフローセンサ12及び制御部30(CPU31)によって、所定のサンプル周期で周期的に配管P内の管路7を流通するガスの流量(瞬時流量q)を計測する。 As described above, the flow meter 1 attached to the flow path unit 2 has a flow rate of gas flowing through the pipe line 7 in the pipe P periodically at a predetermined sample period by the flow sensor 12 and the control unit 30 (CPU 31). The instantaneous flow rate q) is measured.
流量計1(計測ユニット3)は、それまでゼロであったフローセンサ12による流量計測結果qが、q>0になったことを検知すると、制御部30のCPU31(判断部312)が既述の判断を開始する。すなわち、判断部312は、フローセンサ12の流量計測結果qと、流量監視値設定部311としての機能により設定された流量監視値(流量下限値)とに基づき、流量監視部313による流量監視の適否を判断する。 When the flow meter 1 (measurement unit 3) detects that the flow rate measurement result q by the flow sensor 12 that has been zero until then is q> 0, the CPU 31 (determination unit 312) of the control unit 30 has already been described. Start judging. That is, the determination unit 312 performs flow rate monitoring by the flow rate monitoring unit 313 based on the flow rate measurement result q of the flow sensor 12 and the flow rate monitoring value (flow rate lower limit value) set by the function as the flow rate monitoring value setting unit 311. Judge the suitability.
例えば、流量監視値として、流量下限値qminが設定されている場合、判断部312は、フローセンサ12により計測された流量qと当該流量下限値qminとを所定のサンプル周期で周期的に比較して、計測された流量が流量下限値qminを超える(q>qmin)か否かを監視する。 For example, when the flow rate lower limit value q min is set as the flow rate monitoring value, the determination unit 312 periodically calculates the flow rate q measured by the flow sensor 12 and the flow rate lower limit value q min at a predetermined sample period. In comparison, it is monitored whether or not the measured flow rate exceeds the flow rate lower limit q min (q> q min ).
例示的に、判断部312は、図11中にBで示すタイミングq>qminの条件が満たされたと判断すると、流量監視部313に対して監視実行指示(トリガ)を与えて流量監視部313による流量監視を有効とする。これにより、流量監視部313は、管路7の流量監視を開始する。換言すれば、判断部312は、q>qminの条件が満たされない間、監視実行指示を流量監視部313に与えないことで、流量監視部313による監視を無効な状態に制御する。 For example, when the determination unit 312 determines that the condition of timing q> q min indicated by B in FIG. 11 is satisfied, the determination unit 312 gives a monitoring execution instruction (trigger) to the flow rate monitoring unit 313 and the flow rate monitoring unit 313. Enables flow monitoring by. As a result, the flow rate monitoring unit 313 starts monitoring the flow rate of the pipeline 7. In other words, the determination unit 312 controls the monitoring by the flow rate monitoring unit 313 to an invalid state by not giving a monitoring execution instruction to the flow rate monitoring unit 313 while the condition of q> q min is not satisfied.
監視実行指示を受けた流量監視部313は、フローセンサ12の流量計測結果qと、流量下限値qmin(流量上限値qmaxが併せて設定されている場合には流量下限値qmin及び流量上限値qmax)とを周期的に比較して、流量計測結果qが流量下限値qmin以下となるか否かを監視する。流量計測結果qが流量下限値qmin未満になった場合、流量監視部313は、その旨及び/又はアラートを警報情報の一例として生成する。 Upon receiving the monitoring execution instruction, the flow rate monitoring unit 313 receives the flow rate measurement result q of the flow sensor 12 and the flow rate lower limit value q min (if the flow rate upper limit value q max is set together, the flow rate lower limit value q min and the flow rate are set. compares the upper limit value q max) periodically monitors whether the flow rate measurement result q is equal to or less than the flow rate limit value q min. When the flow rate measurement result q is less than the flow rate lower limit q min , the flow rate monitoring unit 313 generates that fact and / or alert as an example of alarm information.
流量監視値として流量下限値qminに加えて流量上限値qmaxの双方が設定されている場合、流量監視部313は、流量計測結果qと、流量下限値qmin及び流量上限値qmaxの双方との比較を周期的に行ない、流量計測結果qが、流量上限値qmaxを超えるか否か、および、流量下限値qmin以下となるか否かをそれぞれ監視する。 When both the flow rate upper limit q max in addition to the flow rate lower limit value q min are set as the flow rate monitoring values, the flow rate monitoring unit 313 sets the flow rate measurement result q, the flow rate lower limit value q min and the flow rate upper limit value q max . Comparison with both is periodically performed to monitor whether the flow rate measurement result q exceeds the flow rate upper limit q max and whether the flow rate lower limit q min or less.
流量計測結果qが、流量上限値qmaxを超えるか、または流量下限値qmin未満となった場合、流量監視部313は、その旨及び/又はアラートを警報情報の一例として生成する。 When the flow rate measurement result q exceeds the flow rate upper limit value q max or less than the flow rate lower limit value q min , the flow rate monitoring unit 313 generates that and / or an alert as an example of alarm information.
流量監視部313が生成した警報情報は、例えば、I/F35又は通信部36経由で外部機器、及び/又は、流量計1の表示部4aに出力される。これにより、ユーザは、異常流量の発生を知ることができ、適切な対処を採ることができる。 The alarm information generated by the flow rate monitoring unit 313 is output to the external device and / or the display unit 4a of the flow meter 1 via the I / F 35 or the communication unit 36, for example. Thereby, the user can know the occurrence of the abnormal flow rate and can take appropriate measures.
以上のように、本例の流量計1では、判断部312において、フローセンサ12により計測された流量(瞬時流量)qが、設備機器の起動後に、流量下限値qminを初めて超えたことをもって、流路ユニット2を含む設備機器の起動が完了したと判断して、流量監視部313による流量監視を有効とする制御を行なう。換言すれば、判断部312は、設備機器の起動後にフローセンサ12により計測された流量(瞬時流量)qが流量下限値qminを超えるまでの間、流量監視部313による流量監視を無効な状態に制御する。 As described above, in the flow meter 1 of the present example, when the flow rate (instantaneous flow rate) q measured by the flow sensor 12 in the determination unit 312 exceeds the flow rate lower limit q min for the first time after the equipment is started. Then, it is determined that the start-up of the equipment including the flow path unit 2 is completed, and the control for enabling the flow rate monitoring by the flow rate monitoring unit 313 is performed. In other words, the determination unit 312 disables the flow rate monitoring by the flow rate monitoring unit 313 until the flow rate (instantaneous flow rate) q measured by the flow sensor 12 exceeds the flow rate lower limit q min after the equipment device is activated. To control.
したがって、設備機器の起動時のように、配管P(管路7)を流通するガスの流量が、流量下限値qmin未満ではあるものの異常ではない場合に、警報処理が実行されることを抑止できる。 Therefore, the alarm processing is prevented from being executed when the flow rate of the gas flowing through the pipe P (the pipe line 7) is less than the flow rate lower limit q min but is not abnormal as when the equipment is started. it can.
よって、設備機器の起動完了後の通常の運転(稼働)中に、配管Pの流路7内のガスの流量が不適切(流量下限値qmin未満)な状態であることを警告するという本来的な意図に沿って警報処理を実行することが可能となる。すなわち、流量の計測値が本来的な異常を示す場合に限って、適切な警報処理を実施することができる(無用な警報処理を抑止できる)。 Therefore, during normal operation (operation) after the start-up of the equipment, the warning is given that the gas flow rate in the flow path 7 of the pipe P is inadequate (less than the flow rate lower limit q min ). The alarm process can be executed according to the general intention. That is, appropriate alarm processing can be performed only when the measured value of the flow rate shows an inherent abnormality (unnecessary alarm processing can be suppressed).
結果として、流量計1のユーザ(保守者や管理者等)は意図しない警報処理に対応しなくて済み、ユーザの使い易さ(利便性)を向上することができる。また、無用な警報処理が抑制されるので、流量計1の電力浪費を低減することも可能である。 As a result, the user (maintenance person, manager, etc.) of the flow meter 1 does not have to deal with unintended alarm processing, and the user's ease of use (convenience) can be improved. In addition, since unnecessary alarm processing is suppressed, it is possible to reduce power consumption of the flow meter 1.
なお、上記の警報制御は、流量下限値及び流量上限値を積算流量に関する値として、積算流量について実施してもよい。 In addition, you may implement said alarm control about an integrated flow rate by making a flow volume lower limit and a flow volume upper limit into the value regarding integrated flow.
なお、本実施形態においては、CPU31が、ユーザによる操作部4bの操作に応じた入力信号を受けて流量−時間情報の収集を開始した例を示したが、流量−時間情報の収集開始のトリガはこれに限定されるものではない。例えば、流量計1の起動と同時に、あるいは起動後の任意のタイミングでCPU31が自動的に流量−時間情報の収集を開始するようにしてもよい。 In this embodiment, the CPU 31 receives the input signal corresponding to the operation of the operation unit 4b by the user and starts collecting the flow rate-time information. However, the trigger for starting the collection of the flow rate-time information is shown. Is not limited to this. For example, the CPU 31 may automatically start collecting the flow rate-time information simultaneously with the activation of the flow meter 1 or at an arbitrary timing after the activation.
なお、本発明において「起動」とは次のような事項、あるいはこれらに準ずる事項を含む概念である。(1)流量計測装置に給電を開始した時点を「起動」とする。(2)制御部30に給電を開始した時点を「起動」とする。(3)作業者や他のコントローラ等によって流量計測装置の外部から該当するトリガ信号を受けた時点を「起動」とする。(4)流れセンサが最初に流体の流れを検出した時点(あるいはそれが所定時間継続した時点)を「起動」とする。(5)流量計測装置が一旦警報を検知した後、作業者や他のコントローラ等によって流量計測装置の外部から該当するトリガ信号を受けた時点を「起動」とする。(6)流量計測装置が一旦警報を検知した後、流れセンサが最初に流体の流れを検出した時点(あるいはそれが所定時間継続した時点)を「起動」とする。(7)流量計測装置が一旦警報を検知した後、作業者や他のコントローラ等によって警報が解除された時点を「起動」とする。(8)上記の(1)〜(7)の時点から所定時間(予め定められた時間)が経過した時点を「起動」とする。 In the present invention, “start-up” is a concept including the following matters or items equivalent thereto. (1) The time when power supply to the flow measuring device is started is referred to as “activation”. (2) The time point when power supply to the control unit 30 is started is referred to as “activation”. (3) “Startup” is a time point when a corresponding trigger signal is received from the outside of the flow measurement device by an operator or another controller. (4) A time point at which the flow sensor first detects a fluid flow (or a time point when the flow sensor continues for a predetermined time) is defined as “activation”. (5) After the flow measurement device once detects an alarm, the time point when the corresponding trigger signal is received from the outside of the flow measurement device by an operator or another controller is referred to as “activation”. (6) After the flow rate measuring device once detects an alarm, the time point when the flow sensor first detects the flow of fluid (or the time point when it continues for a predetermined time) is set as “startup”. (7) After the flow rate measuring device detects an alarm, the time when the alarm is canceled by an operator, another controller, or the like is referred to as “activation”. (8) A time point when a predetermined time (predetermined time) has elapsed from the time point (1) to (7) is referred to as “activation”.
また、本実施形態においては、流量検出手段の一例として熱式流量センサを採用した例を示したが、かかる熱式流量センサに代えて、他の方式(超音波式や電磁式)の流量センサを流量検出手段の一例として採用することもできる。また、本実施形態においては、本発明を気体流量計に適用した例を示したが、液体の流量を検出する流量計に本発明を適用することもできる。なお、以上の説明において用いた「上」及び「下」という語は便宜的な表現であり、必ずしも重力方向に対する方向の限定を表すものではない。 Further, in the present embodiment, an example in which a thermal flow sensor is employed as an example of the flow detection means has been described. However, instead of such a thermal flow sensor, another type (ultrasonic or electromagnetic) flow sensor is used. Can also be employed as an example of the flow rate detection means. Moreover, in this embodiment, although the example which applied this invention to the gas flowmeter was shown, this invention can also be applied to the flowmeter which detects the flow volume of a liquid. Note that the terms “upper” and “lower” used in the above description are expedient expressions, and do not necessarily represent the limitation of the direction with respect to the direction of gravity.
1 流量計(流量計測装置)
2 流路ユニット
3 計測ユニット
3c バイパス流路
4 表示操作パネル
4a 表示部
4b 操作部
401〜407 操作キー
12 フローセンサ(流れセンサ)
31 中央演算処理装置(CPU)
311 設定部(流量監視値設定部)
312 判断部
313 流量監視部(警報制御部)
32 ROM(不揮発性記憶手段、メモリ)
33 EEPROM(不揮発性記憶手段、メモリ)
34 RAM(揮発性記憶手段、メモリ)
35 入出力インターフェース(I/F)
36 通信部
37 タイマ(時間計測手段)
41 デジタル表示部(7セグメントディスプレイ)
42 モード表示灯(瞬時流量モード表示灯)
43 モード表示灯(積算流量モード表示灯)
1 Flow meter (flow rate measuring device)
2 channel unit 3 measuring unit 3c bypass channel 4 display operation panel 4a display unit 4b operation unit 401 to 407 operation key 12 flow sensor (flow sensor)
31 Central processing unit (CPU)
311 Setting section (flow rate monitoring value setting section)
312 Judgment unit 313 Flow rate monitoring unit (alarm control unit)
32 ROM (nonvolatile storage means, memory)
33 EEPROM (nonvolatile storage means, memory)
34 RAM (volatile storage means, memory)
35 I / O interface (I / F)
36 communication unit 37 timer (time measuring means)
41 Digital display (7-segment display)
42 Mode indicator (instantaneous flow mode indicator)
43 Mode indicator (integrated flow rate mode indicator)
Claims (8)
前記計測ユニットの計測値に関する下限値を設定する設定部と、
前記計測ユニットの計測値が前記下限値未満の場合に、警報処理を行なう流量監視部と、
前記流体が前記流路を流通し始めたタイミングから前記計測ユニットの計測値が前記下限値を超えるまでは、前記警報処理を無効に制御する警報制御部と、
を備えたことを特徴とする、流量計測装置。 A measurement unit for measuring the flow rate of the fluid flowing through the flow path;
A setting unit for setting a lower limit for the measurement value of the measurement unit;
When the measurement value of the measurement unit is less than the lower limit value, a flow rate monitoring unit that performs an alarm process,
From the timing when the fluid starts to flow through the flow path until the measurement value of the measurement unit exceeds the lower limit value, an alarm control unit that invalidates the alarm process;
A flow rate measuring device comprising:
前記タイミング以降に前記計測ユニットの計測値と前記下限値とを周期的に比較し、前記計測値が前記下限値を初めて超えたと判断すると、前記警報処理を有効に制御する、ことを特徴とする、請求項1記載の流量計測装置。 The alarm control unit
After the timing, the measurement value of the measurement unit is periodically compared with the lower limit value, and when the measurement value is determined to exceed the lower limit value for the first time, the alarm process is effectively controlled. The flow rate measuring device according to claim 1.
前記計測値に関する上限値をさらに設定し、
前記流量監視部は、
前記計測ユニットの計測値が前記上限値を超えると、前記警報処理を実施する、ことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の流量計測装置。 The setting unit
Further setting an upper limit on the measured value,
The flow rate monitoring unit
The flow rate measuring device according to any one of claims 1 to 3, wherein the alarm processing is performed when a measured value of the measuring unit exceeds the upper limit value.
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Cited By (1)
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| JP2012167947A (en) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Azbil Corp | Flowmeter |
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