JP2009122036A

JP2009122036A - 太陽電池セルの外観検査装置

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Publication number: JP2009122036A
Application number: JP2007298036A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Nakagawa; 敏彦中川
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2007-11-16
Filing date: 2007-11-16
Publication date: 2009-06-04

Abstract

【課題】欠陥を正確に検出し、かつ検査時間の増大を防ぐことが可能な太陽電池セルの外観検査装置を提供する。
【解決手段】太陽電池セルの外観検査装置１０１は、太陽電池セルの電極が形成された基板Ｂを複数の位置に移動する搬送部４と、一列に配列された画素を含み、複数の位置における基板Ｂをそれぞれ撮影する撮影部１と、発光素子１１と、発光素子１１が照射した光を基板Ｂにおける撮影部１の撮影領域に集光する集光レンズ１２と、撮影部１によって撮影された複数の位置における基板Ｂの画像に基づいて太陽電池セルの電極における金属突起を検出する画像処理部３とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、太陽電池セルの外観検査装置に関し、特に、太陽電池セルの焼成電極表面における金属突起を検出する太陽電池セルの外観検査装置に関する。

太陽電池セルの欠陥を検出する技術として、たとえば、特許文献１には、以下のような構成が開示されている。すなわち、斜光照明および落射照明は、太陽電池セルの表面に光を照射する。これら斜光照明および落射照明を切り替えてＩＴＶ（Industrial Television）カメラにより撮影した画像の差をとることによりクラック欠陥部を検出する。

また、特許文献２には、以下のような構成が開示されている。すなわち、光源から出た光線を太陽電池の電池面においてほぼ点状に集光する。面走査手段が太陽電池を移動させることにより、太陽電池の電池面において集光点を走査させる。受光部が電池面からの散乱反射光を受光して光量に比例した画像信号を出力する。この画像信号に基づいて太陽電池の欠陥が検出される。
特開平３−２１８０４５号公報特開平４−３３９２４７号公報

しかしながら、特許文献１記載の構成では、太陽電池セルの表面全体に光を照射する。このため、たとえばアルミ粒の様に１ｍｍに満たない大きさのものを検出する場合、太陽電池セルの表面に照射される光の照度ムラにより、照度が強い場所では太陽電池セルの表面の光沢差等によるノイズ成分が大きくなり、過剰な欠陥判定がなされてしまう。逆に照度が弱い場所では、検出感度が弱くなるために欠陥を見逃してしまう。

また、特許文献２記載の構成では、光源から出た光線を太陽電池の電池面においてほぼ点状に集光し、この集光点を太陽電池セルの全領域で走査させる構成であるため、検査時間が増大してしまう。

それゆえに、本発明の目的は、欠陥を正確に検出し、かつ検査時間の増大を防ぐことが可能な太陽電池セルの外観検査装置を提供することである。

上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる太陽電池セルの外観検査装置は、太陽電池セルの電極が形成された基板を複数の位置に移動する搬送部と、一列に配列された画素を含み、複数の位置における基板をそれぞれ撮影する撮影部と、発光素子と、発光素子が照射した光を基板における撮影部の撮影領域に集光する集光レンズと、撮影部によって撮影された複数の位置における基板の画像に基づいて太陽電池セルの電極における金属突起を検出する画像処理部とを備える。

好ましくは、搬送部は、受けたパルス信号に基づいて基板の移動速度を制御し、画像処理部は、さらに、パルス信号に基づいて複数の位置における基板の画像を合成し、合成した画像に基づいて、検出した金属突起の基板における位置を特定する。

より好ましくは、太陽電池セルの外観検査装置は、さらに、特定された位置に基づいて金属突起を除去する除去部を備える。

好ましくは、太陽電池セルの外観検査装置は、さらに、発光素子からの光が照射される基板の第１主表面の反対側の第２主表面に複数箇所で吸着することにより基板を固定する吸着部を備え、搬送部は、吸着部とともに基板を複数の位置に移動する。

好ましくは、搬送部は、撮影部に含まれる画素の配列方向と略垂直な方向に基板を移動する。

好ましくは、撮影部は、０．５ｍｍ／ｄｏｔ以上の分解能を有する。

本発明によれば、欠陥を正確に検出し、かつ検査時間の増大を防ぐことができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。

［構成および基本動作］
図１（ａ）は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置を側面から見た図である。図１（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置を上面から見た図である。

図１を参照して、外観検査装置１０１は、ラインカメラ（撮影部）１と、照明部２と、画像処理部３と、搬送部４と、モータコントローラＭＣと、セル搬送プレートＰＬとを備える。搬送部４は、パルスモータＭと、セル搬送コンベアＣＢＡとを含む。

セル搬送プレートＰＬには、太陽電池セルが形成された基板Ｂが載せられる。セル搬送プレートＰＬは、後述する吸着保持部５１を含む。なお、基板Ｂは、多結晶半導体基板および単結晶半導体基板のいずれであってもよい。

ラインカメラ１は、１次元配置すなわち１列に配置されたＣＣＤ（Charge Coupled Device）画素を含み、基板Ｂを撮影する。また、ラインカメラ１の分解能は、０．５ｍｍ／ｄｏｔ以上であれば十分であるが、たとえば０．０５ｍｍ／ｄｏｔ以上であることが好ましい。

照明部２は、基板Ｂ上およびセル搬送プレートＰＬ上の照射領域ＬＡに光を照射する。照明部２は、複数個の発光素子１１と、複数個の発光素子１１が照射した光を照射領域ＬＡに集光する集光レンズ１２とを含む。照射領域ＬＡは、ラインカメラ１の撮影領域を含み、たとえばラインカメラ１の撮影領域と略同じである。

ここで、ラインカメラを用いた撮像ではある程度の光量が必要となるため、照明部として一般にインバータ付蛍光管等が用いられる。

しかしながら、太陽電池セルの外観検査における被検出体であるアルミ粒は、径が数百μｍと非常に微細である一方で、突起物であると言う特異性から光量よりむしろ均一性に優れた照明が必要となる。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置では、集光レンズ１２が複数個の発光素子１１からの光を基板Ｂの主表面の一部領域である照射領域ＬＡに集光することにより、基板Ｂに照射される光の均一性を高めることができる。

搬送部４は、セル搬送プレートＰＬを方向Ｄに移動させる。搬送部４は、ラインカメラ１に含まれる複数個のＣＣＤ画素の配列方向と略垂直な方向にセル搬送プレートＰＬを移動する。搬送部４は、モータコントローラＭＣから受けたパルス信号に基づいてセル搬送プレートＰＬの移動速度を制御する。より詳細には、パルスモータＭは、モータコントローラＭＣから受けたパルス信号に基づいて回転速度を変更する。パルスモータＭの回転力はセル搬送コンベアＣＢＡに伝達され、セル搬送コンベアＣＢＡ上のセル搬送プレートＰＬが移動する。

このような構成により、ラインカメラ１によるスキャニングすなわち撮影時、太陽電池セルの形成された基板Ｂを一定速度で移動することができるため、太陽電池セル全面の安定した画像を得ることができる。

画像処理部３は、ラインカメラ１によって撮影された複数の位置における基板Ｂの画像に基づいて太陽電池セルの焼成電極表面における金属突起を検出する。

図２（ａ）は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置における吸着保持部の構成を上面から見た図である。図２（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置における吸着保持部の断面図である。

図２を参照して、吸着保持部５１は、発光素子１１からの光が照射される基板Ｂの主表面Ｓ１の反対側の主表面Ｓ２に複数箇所で吸着することにより基板Ｂを固定する。

吸着保持部５１は、吸着ベース２１と、衝撃吸収材２２と、複数個の真空吸着パッドＰＡＤとを含む。

吸着ベース２１上に衝撃吸収材２２および真空吸着パッドＰＡＤが設けられる。真空吸着パッドＰＡＤは、基板Ｂに吸着することにより、基板Ｂを固定する。複数個の真空吸着パッドＰＡＤによって基板Ｂを複数箇所で吸着して固定する構成により、基板Ｂにかかるストレスを分散させることができる。

衝撃吸収材２２は、真空吸着パッドＰＡＤを基板Ｂに吸着させる際の、基板Ｂへのストレスを吸収する。

ここで、被撮像体である太陽電池セルは、焼成工程における高温状態から急激に室温冷却される。このため、太陽電池セルは、基板Ｂの材料であるシリコンと太陽電池セルの裏面電極を形成するアルミとの熱収縮率の違いによって大きく収縮し、反り返る。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルでは、吸着保持部５１によって太陽電池セルの反りを矯正して平坦にすることができる。これにより、太陽電池セル全面において均一な検査を行なうことができる。

図３は、パルスモータＭの速度制御の一例を示す図である。
図３を参照して、時刻Ｔ１まですなわち領域Ａ１においては、モータコントローラＭＣはパルスモータＭを最大速度Ｓｍａｘまで加速する。次に、時刻Ｔ１から時刻Ｔ２まですなわち領域Ａ２においては、モータコントローラＭＣはパルスモータＭを一定速度すなわち最大速度Ｓｍａｘに制御する。次に、時刻Ｔ２から時刻Ｔ３まですなわち領域Ａ３においては、モータコントローラＭＣはパルスモータＭを減速する。

モータコントローラＭＣは、パルスモータＭへ出力するパルス信号自体あるいはパルスモータＭの加減速に同期した信号をモータ同期信号ＭＳＹとして画像処理部３へ出力する。

太陽電池セルの形成された基板Ｂは、吸着保持部５１によって吸着固定された状態で、照明部２により光が照射されたラインカメラ１の撮像領域を搬送部４によって通過する。

そして、画像処理部３は、モータコントローラＭＣから受けたモータ同期信号ＭＳＹに基づいて、ラインカメラ１によって撮影された複数位置における基板Ｂの画像を合成することにより、太陽電池セル全体の画像を生成する。すなわち、画像処理部３は、ラインカメラ１から受けた各列の画像信号をモータ同期信号ＭＳＹに基づいて合成することにより、太陽電池セル全体の画像を生成する。

このような構成により、パルスモータＭの加減速に関わらず、歪みの無い太陽電池セル全体の画像を得ることができる。

図４は、画像処理部３が特定したアルミ粒の登録座標を示す図である。
図４を参照して、画像処理部３は、生成した太陽電池セル全体の画像に基づいて、金属突起すなわちアルミ粒（金属突起）の基板Ｂにおける位置を特定する。ここでは、画像処理部３は、２個のアルミ粒ＡＬ１，ＡＬ２を抽出し、アルミ粒ＡＬ１，ＡＬ２の座標Ｐ１（１０８，９６７）、座標Ｐ２（１５６，２９７）を登録している。

図５は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置がアルミ粒を除去する様子を示す図である。

図５を参照して、外観検査装置１０１は、研磨機（除去部）４１を備える。研磨機４１は、たとえばバフ/リューターである。

画像処理部３は、外観検査装置１０１が備える図示しないＸＹテーブル等を制御することにより、研磨機４１をアルミ粒ＡＬ１，ＡＬ２の登録座標に対応する基板Ｂ上の位置へ移動させる。そして、研磨機４１は、アルミ粒ＡＬ１，ＡＬ２を除去する。

図６は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置の変形例を側面から見た図である。

ラインカメラ１と、照明部２と、基板Ｂ（太陽電池セル）の搬送方向との位置関係は、図１に示すものに限定されるものではない。

たとえば、図６に示すように、ラインカメラ１を角度θ１（０°≦θ１≦９０°）の範囲で取り付け、かつ照明部２を角度θ２（０°≦θ２≦１８０°）の範囲で取り付けてもよい。また、基板Ｂ（太陽電池セル）の搬送方向は、紙面左方向、紙面右方向、紙面鉛直上方向および紙面鉛直下方向のいずれであってもよい。

図７は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図７を参照して、太陽電池用多結晶シリコンウエハとして、たとえばＰ型多結晶シリコン半導体基板ＳＩＢを準備する。

図８は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図８を参照して、次に、Ｐ型多結晶シリコン半導体基板ＳＩＢ（以下、単に半導体基板ＳＩＢとも称する。）を８０℃前後かつ数％の濃度を有するＮａＯＨ等のアルカリ水溶液に数秒間浸漬させる。

そして、半導体基板ＳＩＢにエッチング処理を行ない、半導体基板ＳＩＢの表面の洗浄を行なう。そして、シリコンウエハのスライス時に半導体基板ＳＩＢの表面に発生した欠陥層Ｓ１，Ｓ２をエッチングにより除去する。そして、半導体基板ＳＩＢに対して中和処理を行ない、純水で洗浄する。

図９は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図９を参照して、次に、チタン等の金属酸化物を含む接合分離用マスキング薬剤ＭＥ１を半導体基板ＳＩＢの裏面に、リン等の拡散源を含む薬液すなわちドーパント薬剤ＤＲ１を半導体基板ＳＩＢの表面に数百〜数千ｒｐｍの回転速度でスピン塗布する。

図１０は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図１０を参照して、次に、９００℃程度の高温の炉内で半導体基板ＳＩＢを数１０分間処理することにより、半導体基板ＳＩＢの表面にＮ＋拡散層Ｓ３を形成する。

図１１は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図１１を参照して、次に、数％の濃度を有するＨＦ水溶液に半導体基板ＳＩＢを数秒間浸漬することにより、半導体基板ＳＩＢの表面のドーパント薬剤ＤＲ１、マスキング薬剤ＭＥ１を剥離し、その後純水で半導体基板ＳＩＢを洗浄する。

図１２は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図１２を参照して、次に、反射防止膜およびパッシベーション膜となるＳｉ３Ｎ４膜ＭＥ２を、Ｐ−ＣＶＤ（Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition）法にて半導体基板ＳＩＢの表面に形成する。

図１３は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図１３を参照して、次に、アルミペーストおよび銀ペーストの電極パターンすなわち裏面電極ＥＬ１を印刷法にて半導体基板ＳＩＢの裏面に形成する。

図１４は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図１４を参照して、次に、７００〜８００℃程度の高温の炉内で半導体基板ＳＩＢに熱処理を行なうことにより、裏面電極ＥＬ１を半導体基板ＳＩＢと合金化することでコンタクトする。

また、裏面電極ＥＬ１のうちアルミ電極の下にＰ＋層Ｓ４が形成されることにより、半導体基板ＳＩＢはＢＳＦ（Back Surface Field）構造となる。これにより、長波長側の分光感度を向上させることができる。

図１５は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図１５を参照して、次に、半導体基板ＳＩＢの表面に、銀ペーストの電極パターンすなわち表面電極ＥＬ２を印刷法にて形成する。

図１６は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図１６を参照して、次に、７００〜８００℃程度の高温の炉内で半導体基板ＳＩＢに熱処理を行なうことにより、Ｓｉ３Ｎ４膜をファイヤースルーする。これにより、表面電極ＥＬ２を半導体基板ＳＩＢと合金化することでコンタクトする、すなわちコンタクト部ＣＴを形成する。

図１７は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

図１７を参照して、次に、裏面電極ＥＬ１および表面電極ＥＬ２のうちの銀電極の表面に無鉛はんだメッキ層ＳＰを形成する。

図１７に示す工程後、製造された太陽電池セルの電気特性を、擬似太陽光を照射しながら測定することにより、正常品と欠陥品とを分類する。

そして、正常品の太陽電池セルに対してストリング配線および組み付けを行なうことにより、太陽電池モジュールが得られる。

ここで、図１４に示す裏面電極焼成工程および図１６に示す表面電極焼成工程において、アルミ電極表面にアルミ粒（径が０．２〜０．８ｍｍの突起状アルミ金属析出物）が発生することが、太陽電池セルの歩留まり低下の要因となっている。

このアルミ粒は、裏面電極焼成工程および表面電極焼成工程における焼成条件の変動のみならず、裏面電極焼成工程および表面電極焼成工程の各々の前工程における処理条件および使用部材も発生要因となる事が経験的に確認されている。このため、アルミ粒の発生を抑制することは困難である。

アルミ粒が発生すると、裏面電極焼成工程および表面電極焼成工程の後工程において太陽電池セルが搬送機構と接触したり、太陽電池モジュールを構成する他の部品と接触したりする等によって、アルミ粒が発生した太陽電池セルが割れてしまう場合がある。

また、アルミ粒が発生した太陽電池セル自体が割れてしまうだけでなく、特に各製造工程間において太陽電池セルを輸送等するために太陽電池セルが数枚〜数十枚単位で積まれて保管され、搬送される場合に、アルミ粒が局所荷重の支点となることで、アルミ粒が発生した太陽電池セルと隣接する太陽電池セルの割れを誘発することになる。

これらの直接的および二次的な歩留まり低下を回避するために、太陽電池セルにおけるアルミ粒の正確な検出が必要である。

なお、外観検査装置１０１によるアルミ粒の検出および除去を行なうタイミングは、図１４に示す工程後であればいつでもよい。

ところで、特許文献１記載の構成では、太陽電池セルの表面に照射される光の照度ムラにより、照度が強い場所では過剰な欠陥判定がなされてしまい、逆に照度が弱い場所では、検出感度が弱くなるために欠陥を見逃してしまうという問題点があった。このため、特許文献１記載の構成では、たとえば、照明照度分布に応じて段階的に検出感度の設定を行なう必要が生じる。また、太陽電池セル全面に均一な光を照射するために、外部照明等の外乱要因を排除し、セルを覆い隠す暗室ボックスを備える必要が生じる。また、特許文献２記載の構成では、検査時間が増大してしまう。

しかしながら、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置では、搬送部４は、基板Ｂを複数の位置に移動する。ラインカメラ１は、１列に配列された複数個のＣＣＤ画素を含み、複数の位置における基板Ｂを撮影する。画像処理部３は、ラインカメラ１によって撮影された複数の位置における基板Ｂの画像に基づいて太陽電池セルの電極における金属突起を検出する。このような構成により、太陽電池セル全面に照明部２からの光を一度に照射する必要がなくなるため、太陽電池セル全面における照度の均一性が不要となる。また、集光レンズ１２が、発光素子１１からの光をラインカメラ１の撮影領域に集光する構成により、基板Ｂに照射される光の均一性を高めることができる。このため、照明照度分布に応じて段階的に検出感度の設定を行なう必要もなく、また、暗室ボックスを備える必要もない。さらに、ラインカメラ１が１列に配列された複数個のＣＣＤ画素を含む構成により、基板Ｂを複数列に分割した単位で撮影を行なうことが可能であることこから、光源からの光線の集光点を太陽電池セルの全領域で走査させる必要もない。

したがって、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置では、簡易な構成で、欠陥を正確に検出し、かつ検査時間の増大を防ぐことができる。すなわち、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置では、アルミ電極の高温焼成にて発生するアルミ粒を高精度に検出することができる。これにより、アルミ粒の発生原因となる太陽電池セルの生産条件の変動を素早く検出し、また、直接的および二次的な歩留まり低下を回避することができる。

さらに、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置では、検出したアルミ粒の位置データを正確に抽出し、研磨機等のアルミ粒除去装置を備える構成により、直接的および二次的な歩留まり低下を実際に回避することができる。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

（ａ）は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置を側面から見た図である。（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置を上面から見た図である。（ａ）は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置における吸着保持部の構成を上面から見た図である。（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置における吸着保持部の断面図である。パルスモータＭの速度制御の一例を示す図である。画像処理部３が特定したアルミ粒の登録座標を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置がアルミ粒を除去する様子を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの外観検査装置の変形例を側面から見た図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。本発明の実施の形態に係る太陽電池セルの製造工程における一工程を示す図である。

符号の説明

１ラインカメラ（撮影部）、２照明部、３画像処理部、４搬送部、１１発光素子、１２集光レンズ、２１吸着ベース、２２衝撃吸収材、４１研磨機（除去部）、５１吸着保持部、１０１外観検査装置、ＭＣモータコントローラ、ＰＬセル搬送プレート、Ｍパルスモータ、ＣＢＡセル搬送コンベア、Ｂ基板、Ｓ１，Ｓ２主表面、ＰＡＤ真空吸着パッド、ＡＬ１，ＡＬ２アルミ粒、ＳＩＢＰ型多結晶シリコン半導体基板、Ｓ１，Ｓ２欠陥層、Ｓ３Ｎ＋拡散層、Ｓ４Ｐ＋層、ＳＰメッキ層、ＭＥ１接合分離用マスキング薬剤、ＭＥ２Ｓｉ３Ｎ４膜、ＤＲ１ドーパント薬剤、ＥＬ１裏面電極、ＥＬ２表面電極。

Claims

太陽電池セルの電極が形成された基板を複数の位置に移動する搬送部と、
一列に配列された画素を含み、前記複数の位置における前記基板をそれぞれ撮影する撮影部と、
発光素子と、
前記発光素子が照射した光を前記基板における前記撮影部の撮影領域に集光する集光レンズと、
前記撮影部によって撮影された前記複数の位置における前記基板の画像に基づいて前記太陽電池セルの電極における金属突起を検出する画像処理部とを備える太陽電池セルの外観検査装置。
前記搬送部は、受けたパルス信号に基づいて前記基板の移動速度を制御し、
前記画像処理部は、さらに、前記パルス信号に基づいて前記複数の位置における前記基板の画像を合成し、前記合成した画像に基づいて、前記検出した前記金属突起の前記基板における位置を特定する請求項１記載の太陽電池セルの外観検査装置。
前記太陽電池セルの外観検査装置は、さらに、
前記特定された位置に基づいて前記金属突起を除去する除去部を備える請求項２記載の太陽電池セルの外観検査装置。
前記太陽電池セルの外観検査装置は、さらに、
前記発光素子からの光が照射される前記基板の第１主表面の反対側の第２主表面に複数箇所で吸着することにより前記基板を固定する吸着部を備え、
前記搬送部は、前記吸着部とともに前記基板を複数の位置に移動する請求項１記載の太陽電池セルの外観検査装置。
前記搬送部は、前記撮影部に含まれる前記画素の配列方向と略垂直な方向に前記基板を移動する請求項１記載の太陽電池セルの外観検査装置。
前記撮影部は、０．５ｍｍ／ｄｏｔ以上の分解能を有する請求項１記載の太陽電池セルの外観検査装置。