JP2009117141A - 液状体の塗布方法、有機ｅｌ素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】高精度に塗布量を補正可能な液状体の塗布方法、これを用いた有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例の液状体の塗布方法は、複数のノズルから塗布領域に少なくとも１つ以上の液滴からなる複数の液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂を吐出する場合の液状体の塗布方法であって、各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂に対して補正間隔Δｑ₁を基準として規格化した複数の補正水準を与え、補正間隔Δｑ₂を補正間隔Δｑ₁の３倍の値に設定する。塗布領域に塗布される液状体の塗布量は、基準となる駆動信号により液滴を吐出して各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂を構成した場合の水準「０」に、Δｑ₁、２Δｑ₁、３Δｑ₁、４Δｑ₁、５Δｑ₁、６Δｑ₁、７Δｑ₁、８Δｑ₁の等間隔に刻まれた８水準の補正を加えた９水準の塗布量を実現できる。よって、複数の駆動信号は、基準の駆動信号に対して補正を加えた補正駆動信号を補正間隔Δｑ₁を基準として最大５種類生成すればよい。
【選択図】図１

Description

本発明は、液状体の塗布方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。

液状体の塗布方法としては、電極間に形成されてなる複数層の機能層のうち少なくとも１層を、液滴吐出ヘッドの複数のノズルから液状体を液滴として吐出することにより形成し、液滴吐出ヘッドを走査し、１つの上記電極に対応する領域に対して異なるノズルから吐出された液滴を塗布する表示装置の製造方法が知られている（特許文献１）。

上記表示装置の製造方法によれば、異なるノズルを用いて液滴を吐出することにより、ノズル間の吐出量のバラツキが相殺され、各電極間における組成物量のバラツキを小さくすることができるとしている。

また、他の液状体の塗布方法としては、液状粘性物が吐出される複数のノズルと、当該ノズルのそれぞれに対応する複数の圧力発生素子とが設けられたヘッドを備え、圧力発生素子のそれぞれに対して基準となる駆動パルスを印加して、ノズルのそれぞれから液状粘性物を吐出する第１工程と、吐出された液状粘性物の吐出重量の測定結果に基づいて複数のノズルを区分し、各区分に含まれるノズルに対応する圧力発生素子に対して区分に応じた波形を有する駆動パルスを印加して液状粘性物を吐出する第２工程と、を含む吐出装置の制御方法が知られている（特許文献２）。

特開２００３−２４９３５５号公報 特開２００５−１９３１０４号公報

上記表示装置の製造方法によれば、１つの領域に対して、同一ノズルから液滴を塗布する場合に比べて、異なるノズルを上記領域に対応させる液滴吐出ヘッドの走査回数が増えてしまい、液滴塗布における生産性を向上させることが難しいという課題を有している。

また、上記吐出装置の制御方法によれば、複数のノズルの数が増加すれば、吐出重量に応じた駆動パルスの種類も増えてしまい、駆動パルスを生成して圧力発生素子に印加する駆動回路がより複雑になるという課題を有している。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例の液状体の塗布方法は、複数のノズルから液状体を液滴として吐出して、基板上に設けられた複数の塗布領域ごとに前記液状体を塗布する液状体の塗布方法であって、前記ノズルごとに吐出される前記液滴の吐出量の情報を少なくとも含むノズル情報を入手するノズル情報入手工程と、前記複数のノズルと前記基板とを相対移動させる走査に基づいて、前記塗布領域ごとに前記液状体を少なくとも１つの前記液滴からなる複数の液滴群として関連付けて配置する配置情報を生成する配置情報生成工程と、前記ノズル情報と前記配置情報とに基づいて、前記塗布領域ごとに塗布される前記液状体の塗布量を演算する演算工程と、前記塗布量のばらつきを複数の区間に区分する区分工程と、前記区間の代表値と所定塗布量との差を求めて、前記区間ごとの前記所定塗布量に対する補正量を定める補正量設定工程と、補正が必要な前記区間においては、前記補正量を前記液滴群ごとに異ならせて配分する補正量配分工程と、配分された前記補正量を反映した塗布量が、複数の駆動信号の組み合わせによって得られるように、前記液滴群ごとに対応する前記駆動信号を設定する駆動信号設定工程と、前記配置情報に基づいた前記走査を行い、前記組み合わせにより選択された前記駆動信号を用いて使用するノズルを駆動し、前記塗布領域ごとに前記液状体を吐出する吐出工程と、を備えたことを特徴とする。

吐出される液滴の吐出量においてばらつきを有する複数のノズルを用いて、塗布領域ごとに液状体を液滴として塗布すると、その塗布量も同様にばらつきを有する。この塗布量のばらつきを抑えるために、ノズルを駆動する駆動信号をノズルごとに補正する方法が考えられるが、ノズル数に応じた駆動信号を生成したり、使用するノズルに対応する駆動信号を印加したりする駆動回路の構成が複雑になる。
この方法によれば、塗布領域に塗布する液状体を複数の液滴群により構成し、演算工程では、ノズル情報と配置情報とに基づいて、塗布領域ごとの塗布量を演算する。よって、塗布量のばらつき情報を入手できる。
区分工程では、複数の液滴群の総和からなる塗布量のばらつきを複数の区間に区分する。
補正量設定工程では、区間ごとの所定塗布量に対する補正量を定め、補正量配分工程では、当該補正量を液滴群ごとに異ならせて配分する。
液滴群ごとに配分された補正量を反映した塗布量は、駆動信号設定工程において、複数の駆動信号の組み合わせにより与えられることになる。したがって、ノズルごとに補正した駆動信号で駆動する場合に比べて、複数の駆動信号の数を抑えて、液状体の塗布を行うことができる。
また、塗布領域ごとの補正量は、塗布量のばらつきを複数の区間に区分し、区間ごとにその代表値と所定塗布量との差に基づいて与えられる。したがって、実際の塗布量は、所定塗布量に近づくように補正され、複数の塗布領域における塗布量のばらつき割合を、ノズルごとに吐出される液滴の吐出量のばらつき割合より小さくすることができる。

［適用例２］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記複数の駆動信号のうちの１つを基準駆動信号とし、前記所定塗布量が前記基準駆動信号に対する前記液滴の基準吐出量に前記複数の液滴群の総吐出数を乗じて得られた値に設定され、前記ノズル情報入手工程は、前記基準駆動信号を適用して前記複数のノズルを駆動し、吐出された前記液滴の吐出量の情報を入手することを特徴とする。

この方法によれば、基準駆動信号で複数のノズルを駆動した場合の液滴の基準吐出量に基づいて、所定塗布量が設定される。したがって、ノズルごとに吐出される液滴の吐出量のばらつきの分布を反映させつつ塗布量のばらつきを抑えることができる。

［適用例３］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記配置情報生成工程は、異なる走査においてそれぞれの前記液滴群を配置するように前記配置情報を生成することが好ましい。
この方法によれば、吐出工程では、配置情報に基づいて液滴の吐出が行われるので、それぞれの液滴群は、異なる走査により吐出される。したがって、同一走査内では、使用するノズルを駆動する複数の駆動信号の組み合わせの選択が同一となるため、走査ごとに安定した駆動条件でノズルを駆動することができる。すなわち、塗布量のばらつきをより抑えることができる。

［適用例４］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記配置情報生成工程は、前記走査において、同一ノズルを用いて前記複数の液滴群を配置するように前記配置情報を生成することを特徴とする。
この方法によれば、吐出工程では、各塗布領域における複数の液滴群が、同一ノズルを用いて吐出されるので、使用するノズルを変えるような複数のノズルと基板との複雑な走査を不要として、効率的に液状体を塗布することができる。また、吐出特性が一定である同一ノズルを用いることにより、安定的な吐出を可能とする。

［適用例５］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記配置情報生成工程は、前記走査において、前記液滴群ごとまたは前記液滴ごとにノズルを変えて前記複数の液滴群を配置するように前記配置情報を生成するとしてもよい。
この方法によれば、ノズルごとの液滴の吐出量のばらつきを塗布領域ごとに分散させた状態で、複数の液滴群を構成することができる。すなわち、液状体の塗布量のばらつきをより小さくすることができる。

［適用例６］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記配置情報生成工程は、前記複数のノズルからなる複数のノズル列と前記基板とを走査する場合、前記走査において、同一のノズル列を用いて前記複数の液滴群を配置するように前記配置情報を生成するとしてもよい。
この方法によれば、吐出工程では、各塗布領域における複数の液滴群が、同一のノズル列を使用して吐出される。したがって、吐出特性が同等であるノズル列の中のノズルで複数の塗布領域の同一液滴群を補正するため、複数の塗布領域に渡って一貫性があり精度の高い補正を施すことができる。すなわち、液状体の塗布量のばらつきをより小さくすることができる。

［適用例７］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記配置情報生成工程は、前記複数のノズルを有する複数の吐出ヘッドと前記基板とを走査する場合、前記走査において、同一の前記吐出ヘッドを用いて前記複数の液滴群を配置するように前記配置情報を生成するとしてもよい。
この方法によれば、吐出工程では、各塗布領域における複数の液滴群が、同一の吐出ヘッドを使用して吐出される。したがって、吐出特性が同等である吐出ヘッドの中のノズルで複数の塗布領域の同一液滴群を補正するため、複数の塗布領域に渡って一貫性があり精度の高い補正を施すことができる。すなわち、液状体の塗布量のばらつきをより小さくすることができる。

［適用例８］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記区分工程は、前記複数の区間を等間隔に区分することが好ましい。
この方法によれば、複数の塗布領域における塗布量のばらつきを等間隔な複数の区間に区分するので、区間によって偏りを生じさせずに均一な塗布量の補正を行うことができる。

［適用例９］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記区分工程は、前記塗布量のばらつきの範囲と、前記複数の区間の範囲とが合致するように、前記複数の区間を設定することを特徴とする。
上記塗布量のばらつきは、複数のノズルの吐出量のばらつきに起因しており、この方法によれば、実際の塗布量のばらつき割合を、確実にノズルの吐出量のばらつき割合以下にすることが可能な補正量を各液滴群に与えることができる。

［適用例１０］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記区分工程は、前記塗布量のばらつきにおいて、最大値と最小値とがそれぞれ前記区間の代表値となるように、前記複数の区間を設定するとしてもよい。
補正量は、区間の代表値と所定塗布量との差によって与えられるので、この方法によれば、塗布量のばらつきにおける最大値および最小値に対して、より適合した補正量を各液滴群に与えることができる。

［適用例１１］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記補正量設定工程は、前記塗布量のばらつきの中央値を前記所定塗布量として、前記中央値を含む区間を補正先に選び、前記区間ごとの前記補正量を定めることを特徴とする。
この方法によれば、中央値を含む区間を中心として塗布量が増加する正の補正と、塗布量が減少する負の補正とを組み合わせて、正負対称的な補正を行うことができる。これにより、中央値を含む区間の幅に相当するばらつき範囲に液状体の塗布量を収めることができる。

［適用例１２］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記補正量配分工程は、前記液滴群ごとに前記複数の駆動信号の組み合わせに基づいた複数の補正水準を割り当て、前記複数の補正水準の間隔が、前記液滴群ごとに等間隔であることが好ましい。
この方法によれば、割り当てられた複数の補正水準の間隔が、液滴群ごとに等間隔であるため、液滴群ごとに均等な補正を行うことができる。

［適用例１３］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記複数の液滴群のうち、補正の基準となる液滴群を定め、当該液滴群の前記補正水準における間隔に対して、他方の液滴群の前記補正水準における間隔が２倍以上であることを特徴とする。
この方法によれば、複数の補正水準の組み合わせにより得られる複数の液滴群の塗布量の水準において、同等となる組み合わせを確率的に少なくすることができる。したがって、より多くの液状体の塗布量の水準を提供して補正を行うことができる。

［適用例１４］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記複数の液滴群のうち、補正の基準となる液滴群を定め、当該液滴群の前記補正水準における間隔と当該液滴群の前記補正水準の数とを乗じたものが、他の液滴群の前記補正水準の間隔であるとしてもよい。
この方法によれば、他の液滴群の補正水準の間隔が基準となる液滴群に対して等比数となる。したがって、複数の液滴群を互いに関係付け一貫性のある塗布量の補正を行うことができる。

［適用例１５］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記複数の液滴群のうち、液滴数が最も少ない液滴群を前記補正の基準とすることを特徴とする。
この方法によれば、液滴数を基準として複数の液滴群の間で、補正量の比率を平準化できる。すなわち、誤差の小さい高精度な補正を行うことができる。

［適用例１６］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記複数の液滴群のうち、液滴量が最も少ない液滴群を前記補正の基準とするとしてもよい。
この方法によれば、液滴量を基準として複数の液滴群の間で、補正量の比率を平準化できる。すなわち、誤差の小さい高精度な補正を行うことができる。

［適用例１７］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記基準となる液滴群における補正水準の数と、他の液滴群における補正水準の数とが同一であることを特徴とする。
この方法によれば、液滴群ごとに等しい補正水準の数が与えられ、これらを組み合わせた塗布量は、より多くの補正水準を有することになり、より緻密な補正を行うことができる。

［適用例１８］上記適用例の液状体の塗布方法において、前記液滴群ごとの前記補正水準の数と、前記複数の駆動信号の数とが同一であることを特徴とする。
補正水準の数は、複数の駆動信号により与えられるので、この方法によれば、液滴群ごとに複数の駆動信号を有効に活用し、複数の液滴群に対して一貫性のある塗布量の補正を行うことができる。

［適用例１９］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上に区画形成された複数の発光層形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の塗布方法を用い、前記発光層形成領域ごとに発光層形成材料を含む液状体を前記複数の液滴群として塗布する塗布工程と、塗布された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する発光層形成工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、塗布工程では、発光層形成領域ごとに発光層形成材料を含む液状体を所定塗布量に対してばらつきを抑えて塗布することができる。したがって、発光層形成工程では、膜厚ばらつきが少ない発光層を形成することができる。ゆえに、膜厚ばらつきに起因する発光ムラや輝度ムラを低減し、安定した発光特性を有する有機ＥＬ素子を製造することができる。

［適用例２０］上記適用例の有機ＥＬ素子の製造方法において、前記塗布工程は、異なる発光色が得られる複数種の前記液状体をそれぞれ所望の前記発光層形成領域に塗布し、前記発光層形成工程は、塗布された複数種の前記液状体を固化して、少なくとも赤、緑、青、３色の前記発光層を形成することを特徴とする。
この方法によれば、少なくとも赤、緑、青、３色の発光層を形成するので、フルカラーの発光が安定して得られる有機ＥＬ素子を製造することができる。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。

（実施形態１）
＜液状体の塗布方法＞
まず、本実施形態における液状体の塗布方法の基本的な考え方について説明する。本実施形態の液状体の塗布方法は、液滴吐出法（インクジェット法）を用いて１つの塗布領域に複数（ｍ個）の液滴群Ｇｒ（Ｇｒ₁、Ｇｒ₂、Ｇｒ₃、・・・、Ｇｒ_m）からなる液状体（インク）を塗布する場合に適用するものである。各液滴群（Ｇｒ₁、Ｇｒ₂、Ｇｒ₃、・・・、Ｇｒ_m）は、それぞれ少なくとも１滴の液滴から構成されるものとする。各液滴群（Ｇｒ₁、Ｇｒ₂、Ｇｒ₃、・・・、Ｇｒ_m）の吐出量（以降、液滴量という）をｑ₁、ｑ₂、ｑ_3、・・・、ｑ_mとすると、１つの塗布領域に塗布される液状体の総量（塗布量）Ｑは、以下の数式（１）で与えられる。

液状体を液滴として塗布領域に吐出する方法としては、後述する液滴吐出装置１０（図７参照）を用いる。液滴吐出装置１０は、液滴群Ｇｒの基準液滴量ｑに対して、等間隔Δｑでｎ水準の補正を行うことができる。すなわち、ｑ、ｑ＋Δｑ、ｑ＋２Δｑ、ｑ＋３Δｑ、・・・、ｑ＋（ｎ−１）Δｑの中から補正された水準を選択することができる。したがって、複数の液滴群（Ｇｒ₁、Ｇｒ₂、Ｇｒ₃、・・・、Ｇｒ_m）の液滴量に対して、等間隔な複数（ｎ）の水準で液滴量の補正が可能である。

説明を判りやすくするために、１つの塗布領域に２つの液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂からなる液状体を塗布する場合を例に説明する。

図１は、基本的な液状体の塗布方法を示す表である。図１の表１に示すように、液滴群Ｇｒ₁は、補正間隔Δｑ₁に基づいた「０」〜「２」の３水準の補正水準を有する。同様に、液滴群Ｇｒ₂は、補正間隔Δｑ₂に基づいた「０」〜「２」の３水準の補正水準を有する。したがって、液滴群Ｇｒ₁と液滴群Ｇｒ₂とからなる液状体の塗布量は、それぞれの補正水準を組み合わせると、合計９通りの補正が可能であることがわかる。

本実施形態において、０×Δｑ₁、１×Δｑ₁、２×Δｑ₁は、液滴群Ｇｒ₁の各補正水準における補正量を示している。補正水準において「０」の水準は、基準となる液滴量の液滴群が塗布領域に吐出されることを指している。すなわち、液滴群の液滴量の補正が必要ない状態を言う。０×Δｑ₂、１×Δｑ₂、２×Δｑ₂においても同様である。すなわち、本実施形態では、液滴群Ｇｒ₁に与える補正間隔Δｑ₁と、液滴群Ｇｒ₂に与える補正間隔Δｑ₂とを異ならせることを基本としている。

このような液状体の塗布方法では、液滴を吐出させる駆動信号は、補正間隔Δｑ₁と補正間隔Δｑ₂とを異ならせるので、基準となる液滴量の液滴群を吐出可能な基準となる駆動信号を含めて、液滴の吐出量を変えることが可能な最大５種類の駆動信号が必要である。言い換えれば、５種類の駆動信号を組み合わせて液滴群を吐出することにより、液状体の塗布量を９通りに補正することが可能である。

また、例えば、液滴群Ｇｒ₂の液滴数（吐出数）を３、液滴群Ｇｒ₁の液滴数を１、各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂の補正水準をそれぞれ３として、同じ駆動信号を適用した場合には、液滴群Ｇｒ₂の液滴量は液滴群Ｇｒ₁の３倍となり、上記の条件を満たす。このように液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂を構成する液滴数の比が補正水準の数と等しい場合には、駆動信号として同じものを使うことが可能となるので、駆動信号の数は少なくて済む。

このような液状体の塗布方法は、駆動信号をどのように生成するかに関わるので、以下の実施例１〜実施例４と、比較例とを参照して説明する。

（実施例１）
図２は、実施例１の液状体の塗布方法を示す表である。実施例１の液状体の塗布方法は、液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂に対して補正間隔Δｑ₁を基準として規格化した複数の補正水準を与え、補正間隔Δｑ₂を補正間隔Δｑ₁の整数倍（３倍）の値に設定する。すなわち補正間隔Δｑ₂＝３Δｑ₁とする。補正間隔Δｑ₁＝１とすると、補正間隔Δｑ₂＝３となる。

これによれば、表２に示すように、液状体の総量（すなわち塗布量）Ｑは、基準となる駆動信号により液滴を吐出して各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂を構成した場合の水準「０」（すなわち基準吐出量の液滴で各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂が構成される場合）に、Δｑ₁、２Δｑ₁、３Δｑ₁、４Δｑ₁、５Δｑ₁、６Δｑ₁、７Δｑ₁、８Δｑ₁の等間隔に刻まれた８水準の補正を加えることができる。したがって、「０」を含めると９水準の液状体の塗布量を実現できる。よって、複数の駆動信号は、基準の駆動信号に対して補正を加えた補正駆動信号を補正間隔Δｑ₁を基準として５種類、また先の条件（液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂を構成する液滴数の比が補正水準の数と等しい）の場合は３種類生成する。また、実施例１は、基準となる液滴群Ｇｒ₁に対して、他の液滴群Ｇｒ₂を液滴量が増加する方向に補正する例である。

（実施例２）
図３は、実施例２の液状体の塗布方法を示す表である。実施例２の液状体の塗布方法は、実施例１に対して、補正間隔Δｑ₂を補正間隔Δｑ₁の整数倍（２倍）の値に設定する。すなわち補正間隔Δｑ₂＝２Δｑ₁とする。補正間隔Δｑ₁＝１とすると、補正間隔Δｑ₂＝２となる。

これによれば、表３に示すように、液状体の総量Ｑ（すなわち塗布量）は、部分的に等価（同水準）の組み合わせが発生するので、「０」〜「６」まで等間隔「１」で刻まれた７水準に補正することができる。よって、実施例１に比べて２水準低下したものの、液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂の補正水準の総数よりも、１つ多い数の水準で液状体の塗布量の補正が可能である。複数の駆動信号の種類は、実施例１と同じであるが、塗布量の補正幅は、当然ながら減少する。

（実施例３）
図４は、実施例３の液状体の塗布方法を示す表である。実施例３の液状体の塗布方法は、補正間隔Δｑ₂を補正間隔Δｑ₁の非整数倍とする。例えば、補正間隔Δｑ₂＝２．４Δｑ₁とする。補正間隔Δｑ₁＝１とすれば、補正間隔Δｑ₂＝２．４となる。すなわち、実施例１と実施例２の中間的な値をとると、表４に示すように、１以下の精度で補正が可能となる。補正可能な水準の数は実施例１と同じであるが、その一方で液滴群間の補正間隔が不均一となる。言い換えれば、塗布量の補正間隔をあえて不均一（整数倍ではない）とするような補正が可能である。

（実施例４）
図５は、実施例４の液状体の塗布方法を示す表である。実施例４の液状体の塗布方法は、水準「０」を基準として正負の補正を可能とするものである。例えば、補正間隔Δｑ₁を０を含む±１とし、補正間隔Δｑ₂を補正間隔Δｑ₁の３倍、すなわち、０を含む±３とする。各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂における補正水準の数は、それぞれ３であり、実施例１と変わらない。

これによれば、表５に示すように、液状体の総量Ｑは、「０」を基準として、±Δｑ₁、±２Δｑ₁、±３Δｑ₁、±４Δｑ₁の正負対称の補正が可能である。よって、複数の駆動信号は、基準となる駆動信号に対して正負対称の補正を可能とする補正駆動信号を含むものとする。

実施例１〜実施例４では、各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂の補正水準の数を奇数である３としたが、偶数としてもよい。ただし、実施例４では、正負対称の補正が不可能となる。言い換えれば、正負非対称の補正をすることができる。

（比較例）
図６は、比較例の液状体の塗布方法を示す表である。比較例は、補正間隔Δｑ₁と補正間隔Δｑ₂とを同等とするものである。例えば、補正間隔Δｑ₁＝補正間隔Δｑ₂＝１とする。

これによれば、表６に示すように、液状体の総量（すなわち塗布量）Ｑは、実施例１〜実施例４に比べて部分的に等価（同水準）の組み合わせがより多く発生するので、各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂における補正水準の数の和よりも低下した水準数の補正しかできない。

上記実施例１〜実施例４、および比較例を参照すると、最も好ましい補正方法としては、ｍ個の液滴群（Ｇｒ₁、Ｇｒ₂、Ｇｒ₃、・・・、Ｇｒ_m）がそれぞれｎ個（ｎ₁、ｎ_2、ｎ_3、・・・、ｎ_m）の補正水準で等間隔の補正間隔Δｑ（Δｑ₁、Δｑ₂、Δｑ₃、・・・、Δｑ_m）を有するものとする。そして、補正間隔Δｑ（Δｑ₁、Δｑ₂、Δｑ₃、・・・、Δｑ_m）の大きさを異ならせる。例えば、Δｑ₁＜Δｑ₂＜Δｑ₃＜・・・＜Δｑ_mとする。各液滴群Ｇｒの補正間隔をＮ×Δｑで表現すると、Ｎは、０、１、２、・・・、ｎ−１の中の１つの整数となる。そして、液滴群Ｇｒごとの補正水準の数が等しいとする。これによれば、液滴群（Ｇｒ₁、Ｇｒ₂、Ｇｒ₃、・・・、Ｇｒ_m）からなる液状体の塗布量は、Ｎ_mＮ_m-1、・・・・、Ｎ₂Ｎ₁のｍ桁の数で表現することができる。同時に、補正水準の間隔を、補正間隔Δｑ₂＝ｎ×補正間隔Δｑ₁、補正間隔Δｑ₃＝ｎ×Δｑ₂、・・・、Δｑ_m＝ｎ×Δｑ_m-1の等比数列とすることで、液状体の塗布量の補正は、ｎ進数（Ｎ_mＮ_m-1、・・・、Ｎ₂Ｎ₁）で表現でき、その時の全体の補正量は、ｎ進数に最小補正間隔である補正間隔Δｑ₁を乗じた量となる。また、取り得る全体補正量は、補正間隔Δｑ₁の等間隔でｎ^mの水準数となる。これが最も多くの水準で等間隔に補正を施すことができる条件となる。

また、液滴群（Ｇｒ₁、Ｇｒ₂、Ｇｒ₃、・・・、Ｇｒ_m）の補正水準の数が等しくない場合には、補正間隔Δｑ₂＝ｎ₁×Δｑ₁、補正間隔Δｑ₃＝ｎ₂×補正間隔Δｑ₂、・・・、補正間隔Δｑ_m＝ｎ_m-1×補正間隔Δｑ_m-1とすることで、補正間隔Δｑ₁の等間隔でｎ_m×ｎ_m-1×・・・×ｎ₂×ｎ₁通りの全体補正量の水準を得ることができる。

上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態１の液状体の塗布方法によれば、液状体を構成する液滴群Ｇｒごとに異なる補正間隔Δｑで規定した等間隔の複数（ｎ）の補正水準を有し、その組み合わせにより、塗布量（総量Ｑ）を補正する。補正間隔Δｑは、基準となる駆動信号と補正駆動信号とを含む複数の駆動信号のうちから１つを選択することによって与えられる補正間隔。したがって、複数の駆動信号の数よりも多い水準の補正を行うことができる。また、補正間隔Δｑを最小の補正間隔Δｑ₁の整数倍に設定すれば、最も多くの水準で等間隔に補正を施すことができる。すなわち、１滴の液滴を単位とする吐出量の補正よりも、液滴群を単位としてさらに高分解能な液状体の塗布量の補正が可能である。

（実施形態２）
＜液滴吐出装置＞
次に、実施形態１の液状体の塗布方法を実現可能な、液滴吐出装置について図７〜図１２を参照して説明する。

図７は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図７に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１０は、ワークとしての基板Ｗを主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。

ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設された基板Ｗを載置するステージ５とを備えている。移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により主走査方向に移動する。ステージ５は基板Ｗを吸着固定可能であると共に、回転機構６によって基板Ｗ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。

ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。キャリッジ８には、複数の吐出ヘッド５０（図８参照）が搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。また、吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示せず）と、複数の吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図１０参照）とが設けられている。移動台３２がキャリッジ８をＸ軸方向に移動させてヘッドユニット９を基板Ｗに対して対向配置する。

液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されている。また、吐出ヘッド５０ごとに吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構６０（図１０参照）を備えている。図７では、メンテナンス機構および重量計測機構６０は、図示省略した。

図８は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は概略分解斜視図、同図（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図８（ａ）および（ｂ）に示すように、吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応する駆動手段としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。

キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４と、キャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７とを有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。

液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。

図８（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに駆動信号が印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。振動板５８の変形に伴って隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が減少して、充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。そして、駆動信号の印加が終了すると、振動板５８は元に戻り、キャビティ５５の体積が復元して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動信号を制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液滴の吐出量や吐出スピードを可変させる吐出制御を行うことができる。

吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。振動板５８を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴Ｄとして吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。

図９は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ステージ５（図７参照）に対向する側から見た図である。

図９に示すように、ヘッドユニット９は、複数の吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの吐出ヘッド５０が搭載されている。本実施形態では、各吐出ヘッド５０（Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１）から異なる液状体を吐出可能な構成となっている。

各吐出ヘッド５０は、ほぼ等しい間隔（およそ１４１μｍのノズルピッチＰ１）で配設された複数（１８０個）のノズル５２からなる２つのノズル列５２Ａ，５２Ｂを有している。ノズル列５２Ａとノズル列５２Ｂとは互いにノズルピッチＰ１の半分のノズルピッチＰ２ずれた状態で、ノズルプレート５１に設けられている。したがって、ノズル列５２Ａ，５２Ｂに対して直交する方向から見れば、実質上およそ７０．５μｍのノズルピッチＰ２でノズル５２が配置されていることになる。ノズル５２の径はおよそ２８μｍである。１つの吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬとし、これを２つのノズル列５２Ａ，５２Ｂの有効長とする。

本実施形態では、各吐出ヘッド５０（Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１）は互いに並行してヘッドプレート９ａに配設されている。

なお、吐出ヘッド５０のヘッドプレート９ａに対する配設方法は、これに限定されない。また、吐出ヘッド５０に設けられるノズル列は２列に限らず、１列でも、あるいは３列以上でもよい。

図８（ａ）および（ｂ）に示したように、複数のノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量は、キャビティ５５、流路５６，５７の設計寸法やその加工精度によってキャビティ５５ごとに流れる液状体の流動抵抗が異なることにより、ノズル５２ごとに変動する。また、液状体が供給される供給孔５８ａが複数のキャビティ５５に対してどのような位置に形成されたかにも影響される。さらには、キャビティ５５ごとに設けられた振動子５９の固有振動特性によっても影響される。すなわち、各ノズル列５２Ａ，５２Ｂから吐出される液滴Ｄの吐出量の分布が吐出ヘッド５０ごとに異なる場合がある。

そこで、所定の駆動電圧を有する駆動信号を振動子５９に与え、数千から数万程度の吐出数（吐出発数）の液滴Ｄをノズル５２から吐出させ、その液状体の重量を前述した重量計測機構６０（図１０参照）を用いて計測する。そして、計測された液状体の重量を上記吐出数で除して１滴あたりの重量を算出して液滴Ｄの吐出量を予め調べておく。このようなノズル５２ごとの液滴Ｄの吐出量の情報を、本実施形態では、ノズル情報と呼ぶ。
ノズル情報は、液滴Ｄの吐出量の他に、ノズル５２ごとに吐出される液滴Ｄの飛行曲がり（着弾位置に関連）や目詰まりによる不吐出の情報などを含んでいてもよい。すなわち、複数のノズル５２の吐出特性を示す情報である。

なお、液滴Ｄの吐出量の情報の入手は、上記のような方法に限らず、駆動手段の電気的容量や固有振動特性を調べることにより推測してもよい。また、用いる液状体は、実際に基板Ｗに吐出するものに限らず、ほぼ同一な物性（粘度、流動性、蒸気圧など）を有していれば試験用の液状体であってもよい。

次に液滴吐出装置１０の制御系について説明する。図１０は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。液滴吐出装置１０の制御系は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０などを駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１０を制御する制御部４とを備えている。

駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、重量計測機構６０の各ユニットを駆動制御する重量計測用ドライバ４９と、メンテナンス機構の各メンテ用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ（図示省略）とを備えている。

制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。

ＲＡＭ４３は、基板Ｗに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、基板Ｗおよび吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２Ａ，５２Ｂ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。

そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９と基板Ｗとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９と基板Ｗとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から基板Ｗに液状体を液滴Ｄとして吐出して描画を行う。この場合、Ｙ軸方向への基板Ｗの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｘ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、吐出ヘッド５０に対して一方向への基板Ｗの移動に限らず、基板Ｗを往復させて行うこともできる。

上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１０に送出するだけでなく、これらの制御情報を修正することもできる。また、前述したノズル列５２Ａ，５２Ｂのノズル情報（吐出特性）に基づいて、基板Ｗ上の塗布領域ごとに液状体を液滴Ｄとして配置する配置情報を生成する配置情報生成部としての機能を有している。配置情報は、塗布領域における液滴Ｄの吐出位置（言い換えれば、基板Ｗとノズル５２との相対位置）、液滴Ｄの配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして現したものである。

次に、吐出ヘッドの吐出制御方法について、図１１および図１２を参照して説明する。図１１は、吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図である。

図１１に示すように、ヘッドドライバ４８は、液滴Ｄの吐出量を制御する異なる複数の駆動信号ＣＯＭを、それぞれ独立して生成するＤ／Ａコンバータ（以降、ＤＡＣとする）７１Ａ〜７１Ｄと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄが生成する駆動信号ＣＯＭのスルーレートデータ（以下、波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）とする）の格納メモリを内部に有する波形データ選択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピュータ１１から送信される吐出制御データを格納するためのデータメモリ７３と、を備えている。ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の各ＣＯＭラインに、ＤＡＣ７１Ａ〜ＤＡＣ７１Ｄで生成された駆動信号ＣＯＭがそれぞれ出力される。

各吐出ヘッド５０には、ノズル５２ごとに設けられた振動子５９（図８参照）への駆動信号ＣＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４と、各ＣＯＭラインのいずれか１つを選択して、各振動子５９に接続したスイッチング回路７４に駆動信号ＣＯＭを送出する駆動信号選択回路７５と、を備えている。

ノズル列５２Ａにおいて、振動子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄのグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、振動子５９の他方の電極５９ａ（以下、セグメント電極５９ａとする）は、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５を介して、各ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。このような駆動回路の構成はノズル列５２Ｂにおいても同様である。

データメモリ７３には、各吐出ヘッド５０の走査位置に応じて周期的に設定される吐出タイミングごとに、次のデータが格納されている。すなわち、各振動子５９への駆動信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、各振動子５９に対応したＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の選択を規定する駆動信号選択データＤＢと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄに入力される波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）の種別を規定する波形番号データＷＮである。本実施形態においては、吐出データＤＡは、１ノズルあたり１ビット（０，１）で、駆動信号選択データＤＢは、１ノズルあたり２ビット（０，１，２，３）で、波形番号データＷＮは、１ＤＡＣあたり７ビット（０〜１２７）で構成されている。なお、データ構造は適宜変更可能である。

図１２は、駆動信号および制御信号のタイミング図である。上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図１２に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、駆動信号選択データＤＢ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各振動子５９のセグメント電極５９ａが、駆動信号選択データＤＢで指定されたＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のいずれか）に接続された状態となる。例えば、振動子５９のセグメント電極５９ａは、駆動信号選択データＤＢが「０」のときには、ＣＯＭ１に接続される。同様に駆動信号選択データＤＢが「１」のときにはＣＯＭ２に、駆動信号選択データＤＢが「２」のときはＣＯＭ３に、駆動信号選択データＤＢが「３」のときはＣＯＭ４に接続される。また、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄの生成に係る駆動信号の波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）がこの選択に連動して設定される。

タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成される。そして、ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４とそれぞれ接続された状態にある振動子５９に、生成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通するキャビティ５５の体積（圧力）制御が行われる。

駆動信号ＣＯＭにおける電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分は、その供給によって吐出される液状体の吐出量に密接に依存している。とりわけ、圧電方式の吐出ヘッド５０では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、タイミングｔ３〜ｔ４における電圧成分の変化（電位差）を駆動電圧Ｖｈ（Ｖｈ１〜Ｖｈ４）として規定し、これを吐出量制御の条件として利用することができる。すなわち、駆動電圧Ｖｈは、液滴Ｄの吐出量を制御する駆動信号の条件の一つである。なお、生成する駆動信号ＣＯＭは、本実施形態で示すような単純な台形波に限られるものではなく、例えば、矩形波など公知の様々な形状の波形を適宜採用することも可能である。また、異なる駆動方式（例えばサーマル方式）の実施形態の場合、駆動信号ＣＯＭのパルス幅（時間成分）を吐出量制御の条件として利用することも可能である。

本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することが可能である。用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動波形を０．１Ｖ刻みで設定することができる。

かくして、本実施形態の液滴吐出装置１０は、ノズル５２ごとの吐出特性を考慮して、各振動子５９（ノズル５２）と各ＣＯＭラインとの対応関係を規定する駆動信号選択データＤＢと、各ＣＯＭラインと駆動信号ＣＯＭの種類（駆動電圧Ｖｈ）との対応関係を規定する波形番号データＷＮとを適切に設定することにより、液滴Ｄの吐出量を調整して液状体を吐出することが可能である。言い換えれば、駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとの関係で定まる各ノズル５２の駆動信号ＣＯＭの設定を適切に行うことが、吐出量を管理するための重要事項であると言える。

上記液滴吐出装置１０において、吐出ヘッド５０の吐出制御方法は、液滴Ｄの吐出ごと、言い換えれば吐出タイミングごとに駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとを更新可能となっている。また、吐出データＤＡに対応させて駆動信号ＣＯＭを精細に設定することも可能である。したがって、ノズル５２ごとに吐出される液滴Ｄの吐出量を、吐出タイミングごとに少なくとも４段階に渡って変化させることができるので、一定の駆動信号ＣＯＭを各振動子５９に印加する場合に比べて、ノズル列５２Ａ，５２Ｂの吐出特性に起因する液滴Ｄの吐出量のばらつきを、ノズル５２ごと、且つ液滴Ｄの吐出ごとに調整することが可能である。ゆえに、ノズル列５２Ａ，５２Ｂの吐出特性に起因する吐出ムラを低減して液状体を吐出することが可能である。

ノズル５２ごとに吐出される液滴Ｄの吐出量を、液滴Ｄの吐出ごとに少なくとも４段階に渡って変化させることができるとしても、上記吐出量を一定の値、例えば、基準吐出量（あるいはねらいの吐出量）にするために、駆動信号ＣＯＭを多数のノズル５２に対応して都度調整可能とすることは、実質的に駆動回路の構成がより複雑になる。

そこで、本実施形態では、複数のノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量のばらつきを求める（前述したノズル情報から得られる）。そして、ノズル５２ごとの液滴Ｄの吐出量の情報と、塗布領域における液滴Ｄの配置情報とに基づいて、複数の塗布領域における塗布量を求める。この塗布量のばらつきの範囲を複数種の駆動信号ＣＯＭを組み合わせて得られる補正水準の数と同じ数に区分する。複数の塗布領域における塗布量を異なる複数の区間に分け、区間ごとの代表値と所定塗布量との差を求めて、これを補正量として定める。当該補正量を反映した塗布量が、駆動信号ＣＯＭの組み合わせよって得られるように、駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４を設定する。そして、塗布領域における液滴Ｄの配置情報に基づいて、塗布される液状体を塗布量が異なる複数の液滴群に分ける。どのように複数のノズル５２と基板Ｗとを走査するかによって、液滴群ごとに使用するノズル５２が確定する。塗布領域ごとの補正量を適用した駆動信号ＣＯＭの組み合わせを選択して液滴Ｄを吐出する。複数の液滴群の総和である液状体の総量（塗布量）Ｑは、限られた複数種の駆動信号ＣＯＭを用いて、液滴群ごとに複数の補正水準を与え、これを組み合わせることにより、塗布領域に塗布される液滴群の液滴量を異ならせて与えられる。したがって、複数のノズル５２が有する液滴Ｄの吐出量のばらつきの範囲よりも小さいばらつきの範囲に収まる。

より具体的には、ＣＰＵ４１が、ノズル情報に基づいて、上記区間ごとの補正量を演算して求める。あるいは、上位コンピュータ１１により演算させてデータとして入手してもよい。上記複数の補正水準が得られるように、補正量のデータから駆動電圧Ｖｈを異ならせた複数種の駆動信号ＣＯＭを生成する。塗布領域における液滴Ｄの配置情報において、液滴群ごとに駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとをリンクさせた吐出データＤＡを生成する。制御部４は、これらの配置情報、吐出データＤＡに基づいて液滴吐出装置１０の各部を制御して液滴Ｄを吐出する吐出動作を実行する。

なお、ノズル情報は、複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２Ａ，５２Ｂごと、吐出ヘッド５０ごとに入手する。また、ノズル情報を入手するにあたり、ノズル列間において、基準駆動信号を印加したときの液滴Ｄの平均的な吐出量が、基準吐出量（ねらいの吐出量）となるように、予め例えば、基準駆動信号の駆動電圧Ｖｈを調整しておくことが好ましい。これにより、ノズル列間、吐出ヘッド間のばらつきを予め補正することができる。

次に、上記液滴吐出装置１０を用いた液状体の塗布方法について、図１３〜図１６を参照してより詳しく説明する。

図１３は、液状体の塗布方法を示すフローチャートである。図１３に示すように、本実施形態の液状体の塗布方法は、複数の塗布領域を有する基板Ｗと、複数のノズル５２を有する吐出ヘッド５０とを対向させて相対移動させる走査に同期して、塗布領域に少なくとも１つのノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出して、塗布領域に薄膜を形成するものである。

本実施形態の液状体の塗布方法は、ノズル情報を入手するノズル情報入手工程（ステップＳ１）と、塗布領域に液滴Ｄを複数の液滴群として関連付けて配置する配置情報を生成する配置情報生成工程（ステップＳ２）と、を備えている。そして、塗布領域ごとに塗布される液状体の塗布量を演算する演算工程（ステップＳ３）と、塗布量のばらつきを複数の区間に区分する区分工程（ステップＳ４）とを備えている。また、区間の代表値と所定塗布量との差を求めて、区間ごとの所定塗布量に対する補正量を定める補正量設定工程（ステップＳ５）と、補正量を液滴群ごとに異ならせて配分する補正量の配分工程（ステップＳ６）とを備えている。さらに、配分された補正量を反映した塗布量が、複数の駆動信号の組み合わせによって得られるように、液滴群ごとに対応する駆動信号を設定する駆動信号設定工程（ステップＳ７）と、配置情報に基づいた走査を行い、上記組み合わせにより選択された駆動信号を用いて使用するノズル５２を駆動し、塗布領域ごとに液状体を吐出する吐出工程（ステップＳ８）と、吐出された液状体を乾燥して塗布領域に薄膜を形成する乾燥工程（ステップＳ９）と、を備えている。

図１３のステップＳ１は、ノズル情報入手工程である。ステップＳ１では、複数種の駆動信号ＣＯＭのうち基準となる駆動信号ＣＯＭ（基準駆動信号）を設定し、数千から数万回に渡って振動子５９に当該駆動信号ＣＯＭを印加して液状体を吐出させ、その液状体の重量を測定する。求められた重量を吐出数で除して１回あたりの液滴Ｄの吐出量（重量）をノズル５２ごとに求める。なお、このようなノズル情報の入手は、前述したように、吐出ヘッド５０ごと、且つノズル列５２Ａ，５２Ｂごとに行う。また、ノズル情報を入手するにあたり、予め基準駆動波形の駆動電圧Ｖｈを補正（調整）する工程を設けることが好ましい。そして、ステップＳ２へ進む。

図１３のステップＳ２は、配置情報生成工程である。ステップＳ２では、塗布領域に塗布される液状体を少なくとも１つの液滴Ｄからなる複数の液滴群として関連付けた配置情報を生成する。後の工程の説明をわかり易くするため、本実施形態では、液滴Ｄの基準吐出量を１０ｎｇとして、１つの塗布領域に３滴の液滴Ｄを吐出して３０ｎｇの液状体を塗布することを前提として説明する。塗布領域における液滴Ｄの配置は、複数のノズル５２（吐出ヘッド５０）と基板Ｗとの走査の仕方にも関連付けられ、使用するノズル５２が決まる。塗布領域における液滴Ｄの平面的な配置のさせ方は、塗布領域の大きさ、液状体の塗布量、１滴あたりの液滴Ｄの吐出量を考慮して適宜設定する。そして、ステップＳ３へ進む。なお、各塗布領域において液滴群を配置するために使用するノズル５２は、必ずしも１つでなくてもよい。走査の仕方によっては、複数のノズル５２を用いて液滴Ｄを吐出し、液滴群を構成することも有り得る。また、走査に対応して、使用するノズル５２や吐出ヘッド５０を変えることも有り得る。

図１３のステップＳ３は、演算工程である。ステップＳ３では、ステップＳ１で求められたノズル情報と、ステップＳ２で定められた配置情報とに基づいて、基板Ｗ上における複数の塗布領域ごとの塗布量を演算する。配置情報が確定し、使用するノズル５２が決まれば、ノズル情報から使用するノズル５２を基準駆動信号で駆動したときの液滴Ｄの吐出量がわかるので、当該吐出量と配置情報に含まれている吐出数とを乗じれば、塗布量が求められる。求められた塗布量は、複数のノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量のばらつきを反映したものとなる。そして、ステップＳ４へ進む。

図１３のステップＳ４は、区分工程である。図１４は、塗布量のばらつきを示す度数分布のグラフである。ステップＳ４では、図１４に示すように、最大値と最小値を限界とする塗布量のばらつき範囲を等間隔な９つの区間に区分した。図１４に示した塗布量のばらつきは、液滴Ｄの吐出量のばらつき範囲が基準吐出量±１０％であるとする。したがって、基準吐出量を１０ｎｇとすると、３滴の液滴Ｄを塗布するので、塗布量の最小値が２７ｎｇ、最大値が３３ｎｇとなる。よって、塗布量のばらつきの範囲（レンジ）は、６ｎｇであり、１区間あたりでは、６／９＝０．６７ｎｇ（およそ０．７ｎｇ）となる。そして、ステップＳ５へ進む。

図１３のステップＳ５は、補正量設定工程である。ステップＳ５では、塗布量のばらつきを区分した区間ごとの代表値と所定塗布量との差を求め、この差を補正量として定める。図１５は、区間ごとの塗布量の範囲と補正量とを示す表である。図１５に示すように、区間ごとの液状体の塗布量の範囲は、塗布量が最小値（２７ｎｇ）を含む区間１では、区間の幅（間隔）が０．７ｎｇであるため、２７〜２７．７ｎｇとなる。同様に、塗布量が最大値（３３ｎｇ）を含む区間９では、３２．３〜３３．０ｎｇとなる。上記実施形態１の液状体の塗布方法において、表５（図５参照）の方法を適用して、塗布量の中央値（３０ｎｇ）を含む区間５を補正先に選ぶ。すなわち、所定塗布量を３０ｎｇとすると、区間ごとの補正量は、図１５のようになる。具体的には、最も塗布量が小さくなる区間１の代表値は、２７．３ｎｇであるため、補正量は、＋２．７ｎｇとなる。中央値を含む区間５の補正量は、当然ながら０ｎｇ、最も塗布量が多くなる区間９の代表値は３２．７ｎｇであるため、補正量は−２．７ｎｇとなる。他の区間も同様にして補正量を求めることができる。なお、図１５においては、小数点以下第２位を四捨五入している。

すなわち、区間ごとの塗布量Ｑにおける中央値Ｑｚは、以下の数式（２）で与えられる。

ｚは１〜９の区間番号、Ｑmaxは塗布量Ｑの最大値、Ｑminは塗布量Ｑの最小値、Ｎｚは区間総数であり、この場合補正水準の数と同一である。

また、補正間隔の最小単位ΔＱは、以下の数式（３）で与えられる。

すなわち、この場合は、ΔＱ＝０．６７ｎｇである。そして、ステップＳ６へ進む。

図１３のステップＳ６は、補正量の配分工程である。ステップＳ６では、区間ごとに与えられた補正量（すなわち補正間隔）を液滴群ごとに異なるように配分する。図１６は、区間に対応する液滴群の補正量を示す表である。前述したように１つの塗布領域に３つの液滴Ｄを吐出するとき、これを２つの液滴Ｄからなる第１の液滴群Ｇｒ₁と、１つの液滴Ｄからなる第２の液滴群Ｇｒ₂とに分けて、補正量を振り分けると、図１６のようになる。具体的には、第１の液滴群Ｇｒ₁の補正量が、０を中心に±２．０ｎｇ、第２の液滴群Ｇｒ₂の補正量が、０を中心に±０．７ｎｇとなる。よって、第１の液滴群Ｇｒ₁では、１滴あたり±１ｎｇの補正がなされ、第２の液滴群Ｇｒ₂では、１滴あたり±０．７ｎｇの補正がなされる。なお、図１６においても、小数点以下第２位を四捨五入している。

このように、液滴数が多い第１の液滴群Ｇｒ₁に大きな補正量（補正間隔）を割り付け、液滴数が少ない第２の液滴群Ｇｒ₂に小さい補正量（補正間隔）を割り付けることにより、１滴あたりの補正量に対する補正比率を液滴数を基準として平準化することができる。また、小さな補正量（絶対量を０．７ｎｇとしているが計算の基礎は、０．６７ｎｇである）に対して大きな補正量（絶対量を２．０ｎｇとしているが、計算の基礎は、０．６７の３倍の２．０１ｎｇである）は、小さな補正量の３倍となっている。したがって、誤差の小さい高精度な補正を施すことができる。そして、ステップＳ７へ進む。

図１３のステップＳ７は、駆動信号設定工程である。ステップＳ７では、上記ステップＳ６の配分に基づいて、駆動信号ＣＯＭの波形を設定する。例えば、図１２に示したＣＯＭ３ラインの駆動波形を基準駆動信号として、液滴Ｄの吐出量をプラス補正可能なＣＯＭ４ラインの駆動波形の駆動電圧Ｖｈ４を、各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂の補正水準に対応して設定する。
同様に、液滴Ｄの吐出量をマイナス補正可能なＣＯＭ２ラインの駆動波形の駆動電圧Ｖｈ２を、各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂の補正水準に対応して設定する。すなわち、前述したように、液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂ごとに駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとをリンクさせた吐出データＤＡを生成する。残りのＣＯＭ１ラインの駆動波形は、液滴Ｄを吐出しない程度の駆動電圧Ｖｈ１とする。ＣＯＭ１ラインの駆動波形を非選択（使用しない）ノズル５２に印加すれば、ノズル５２内の液状体のメニスカスを振動させて、乾燥による目詰まりを防ぐことができる。そして、ステップＳ８へ進む。

図１３のステップＳ８は、液状体の吐出工程である。ステップＳ８では、生成された配置情報と、吐出データＤＡとに基づいて、吐出ヘッド５０と基板Ｗとを走査しつつ、吐出ヘッド５０の選択されたノズル５２から液滴Ｄを塗布領域に向けて吐出する。この場合、塗布領域には、３つの液滴Ｄが第１の液滴群Ｇｒ₁と、第２の液滴群Ｇｒ₂として吐出される。各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂は、それぞれ補正されており、液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂の総和である液状体の塗布量Ｑは、基準吐出量（１０ｎｇ）に総吐出数（ｎ＝３）を乗じた値すなわち所定塗布量を中心値として、理想的には所定の範囲（区間５の塗布量の範囲）内に収まる。実際には、液状体の温度（粘度に影響）などの環境的な変化や、吐出ヘッド５０の電気的な負荷変動などの影響を受ける可能性がある。したがって、塗布量Ｑは、必ずしも所定の範囲（区間５の塗布量の範囲）内に収まるとはいい難いが、少なくとも液滴Ｄの吐出量のばらつきの範囲よりも小さい範囲に収まる。そして、ステップＳ９へ進む。

図１３のステップＳ９は、乾燥工程である。ステップＳ９では、基板Ｗを加熱することにより、塗布領域に塗布された液状体を乾燥させる。これにより、液状体から溶媒成分が除去され、溶質からなる薄膜が形成される。基板Ｗを加熱する方法としては、赤外線ランプやヒータなどの熱源を用いて、乾燥炉内に基板Ｗを放置する方法などが挙げられる。溶媒の物性によっては、蒸発速度を制御可能な減圧乾燥を採用してもよい。

上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２の液状体の塗布方法によれば、複数のノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量のばらつきをノズル情報として入手する。このノズル情報と、複数の塗布領域における液滴Ｄの配置情報とにより、塗布領域ごとの液状体の塗布量を求める。この塗布量のばらつき範囲を等間隔な９つの区間に区分して、各区間ごとの所定塗布量に対する補正量を求める。そして、当該補正量を塗布領域に配置される液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂ごとに異ならせて割り付ける。吐出工程では、液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂の配置情報と、吐出データＤＡとに基づいて、液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂を構成する液滴Ｄを吐出する。吐出データＤＡには、使用するノズル５２の情報と、使用するノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量を補正可能な駆動信号ＣＯＭの選択データとが含まれている。したがって、塗布領域に塗布された液状体は、異なる補正量（補正間隔）が与えられた液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂からなり、その塗布量Ｑを、少なくとも液滴Ｄのばらつき範囲よりも小さい範囲に収めることができる。理想的には基準吐出量（１０ｎｇ）に総吐出数（ｎ＝３）を乗じた値を中心値として所定の範囲（区間５の塗布量Ｑの範囲）内に収めることができる。

（２）上記実施形態２の液状体の塗布方法において、液滴数が多い液滴群Ｇｒ₁に大きな補正量が割り付けられ、液滴数が少ない液滴群Ｇｒ₂に小さい補正量が割り付けられている。したがって、各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂に対する補正比率を液滴数を基準として平準化して、誤差の小さい高精度な補正を施すことができる。

なお、塗布領域に塗布される液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂の数や、液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂を構成する液滴Ｄの数並びに液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂を構成する個々の液滴Ｄの吐出量が同一であるか否かは、これに限定されない。例えば、液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂を構成する液滴Ｄの数を同じにしてもよい。その場合には、各液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂の液滴量が異なるように、区間ごとの補正量を大きな補正量と小さな補正量とに分けて、液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂に割り付ける。また、液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂間の補正比率を平準化するため、あるいはより高精度な補正を可能とするために、大きな補正量（大きな補正間隔）は小さな補正量（小さな補正間隔）の２以上の整数倍とすることが好ましい。

（実施形態３）
次に、上記実施形態２の液状体の塗布方法を適用した有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子の製造方法について、図１７〜図２１を参照して説明する。

＜有機ＥＬ装置＞
まず、有機ＥＬ装置について説明する。図１７は有機ＥＬ装置の構造を示す概略断面図である。図１７に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機ＥＬ発光層としての３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。

封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略してもよい。

素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画するバンク６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また、塗布領域としての発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を塗布して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入／輸送層６１７ａ上に積層された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと電極６１３とが電気的に短絡しないように、電極６１３の周囲を覆っている。

素子基板６０１は、例えばガラスなどの透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗなどからなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などからなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１７ではこれらの図示を省略している。

発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、バンク６１８と発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。

有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。

図１８は、基板上における発光層形成領域の配置を示す概略図である。同図（ａ）は概略平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＨ−Ｈ’線で切った概略断面図である。図１８に示すように、ワークとしての素子基板６０１上には、複数の発光層形成領域ＡがＸ軸方向およびＹ軸方向にマトリクス状に配置されている。各発光層形成領域Ａは、素子基板６０１上においてバンク６１８により区画され、Ｙ軸方向に細長いトラック状の形状をなしている。発光層形成領域Ａにおいて、Ｙ軸方向の両端部が円弧状となっているのは、着弾した液滴Ｄの当該両端部における濡れ広がりを考慮したものである。

バンク６１８は、少なくともその表面（着弾面）が撥液性を有することが望ましい。液滴Ｄの一部がバンク６１８に掛かって着弾しても、着弾面が撥液性を有していれば、発光層形成領域Ａ内に液状体（液滴Ｄ）を収容することができる。バンク６１８の形成方法としては、例えば、撥液性を有する感光性樹脂材料を基板Ｗの表面に塗布して、フォトリソグラフィ法により露光・現像する方法が挙げられる。また、撥液性を有していない感光性樹脂材料を用いた場合でも、バンク６１８を形成後、フッ素系の処理ガスを用いて表面処理することにより、表面に撥液性を付与することも可能である。

素子基板６０１における発光層形成領域Ａの配置は、設計事項であるが、より高精彩な配置が要求されている。例えば、２００ｐｐｉ（pixel per inch）の密度で素子基板６０１上に配置する場合の設計寸法の例を示すと次のようになる。Ｘ軸方向の配置ピッチＰｘが４２μｍ、同じく幅Ｐｗが３２μｍ、よってＸ軸方向のバンク６１８の幅Ｂｗが１０μｍとなる。Ｙ軸方向の配置ピッチＰｙが１２６μｍ、同じく幅ＰＬが９６μｍ、よってＹ軸方向のバンク６１８の幅ＢＬが３０μｍとなる。これによれば、発光層形成領域Ａの開口率はおよそ１８％である。当然ながら開口率をさらに上げようとすれば、バンク６１８の幅Ｂｗ，ＢＬをさらに狭くする必要がある。バンク６１８の高さは、発光層形成領域Ａに塗布する液状体の総量に応じて決定される。本実施形態では、バンク６１８の高さをおよそ２〜３μｍとした。

発光層形成領域Ａの配置が上記のように高精細になると、液滴Ｄがわずかにずれて着弾しても、バンク６１８を越えてしまい、隣接する発光層形成領域Ａに液滴Ｄの一部が流出してしまう。言い換えれば、所望の発光層形成領域Ａに必要量の液状体を塗布することができなくなるという問題が生ずる。したがって、図１８（ｂ）に示すように、吐出条件の１つとして、吐出された液滴Ｄを発光層形成領域Ａのほぼ中央付近に着弾させる必要が生じてくる。

また、液滴Ｄを発光層形成領域Ａのほぼ中央付近に着弾させても、その液滴Ｄの吐出量がばらついていると、発光層形成領域Ａごとに必要量の液状体を安定的に塗布することが困難となる。本実施形態では、発光層Ｌｕが上記実施形態２の液状体の塗布方法を用いて形成されているため、必要量の液状体がばらつきの少ない状態で各発光層形成領域Ａに塗布され、発光ムラ、輝度ムラなどの表示不具合の少ない高い表示品質を有すると共に、高精細な表示を可能としている。

＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１９〜図２１を参照して説明する。図１９は発光素子部の製造方法を示すフローチャート、図２０（ａ）〜（ｆ）は発光素子部の製造方法を示す概略断面図、図２１（ａ）および（ｂ）は液状体の吐出方法を示す概略平面図である。なお、図２０（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。

図１９に示すように、本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する陽極形成工程（ステップＳ１１）と、電極６１３に一部が掛かるようにバンク６１８を形成するバンク形成工程（ステップＳ１２）とを備えている。またバンク６１８で区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程（ステップＳ１３）と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を吐出する吐出工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている（ステップＳ１４）。また、発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する工程とを備えている（ステップＳ１５）。さらに、バンク６１８と発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程（ステップＳ１６）を備えている。各液状体の発光層形成領域Ａへの塗布は、上記実施形態２の液状体の塗布方法を用いて行う。よって、図９に示したヘッドユニット９における吐出ヘッド５０の配置を適用する。

図１９のステップＳ１１は、電極（陽極）形成工程である。ステップＳ１１では、図２０（ａ）に示すように、素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯなどの透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そしてステップＳ１２へ進む。

図１９のステップＳ１２は、バンク形成工程である。ステップＳ１２では、図２０（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の周囲を覆うようにバンク６１８を形成する。バンク６１８の材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった絶縁性を有する有機材料が好ましい。バンク６１８の形成方法としては、例えば、電極６１３が形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２〜３μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、バンク６１８を形成する方法が挙げられる。そして、ステップＳ１３へ進む。

図１９のステップＳ１３は、発光層形成領域Ａを表面処理する工程である。ステップＳ１３では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ₂ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、バンク６１８の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ₄などのフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなるバンク６１８の表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、ステップＳ１４へ進む。

図１９のステップＳ１４は、正孔注入／輸送層形成工程である。ステップＳ１４では、まず、図２０（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに塗布する。液状体９０を塗布する方法としては、図９のヘッドユニット９を備えた液滴吐出装置１０と上記実施形態２の液状体の塗布方法を用いる。吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて必要量（所定塗布量）がばらつきの少ない状態で吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。

乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３のバンク６１８により区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料として３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を用いた。なお、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして、ステップＳ１５へ進む。

図１９のステップＳ１５は、発光層形成工程である。ステップＳ１５では、まず、図２０（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを塗布する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、発光層形成領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを塗布する方法としては、上記実施形態２の液状体の塗布方法を用いた。駆動信号ＣＯＭにおける駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の設定は、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂごとに行うことが望ましい。すなわち、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが充填される吐出ヘッド５０ごとに駆動信号の設定を行う。

図２１（ａ）および（ｂ）は、液状体の塗布方法を示す概略平面図である。図２１（ａ）および（ｂ）に示すように、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを液滴Ｄとして吐出する吐出工程では、２００ｐｐｉの密度でマトリクス状に配置された複数の発光層形成領域Ａのうち、同種の液状体を塗布する発光層形成領域Ａは、Ｘ軸方向において２つ置きに配列され、且つＹ軸方向に連続して配列されている（ストライプ方式の配置）。したがって、素子基板６０１に対して吐出ヘッド５０を平面視で傾斜するように対向配置して、ノズルピッチＰ１（およそ１４１μｍ）と同種の液状体を塗布する発光層形成領域Ａの配置ピッチ（およそ１２６μｍ）とを合致させる。吐出ヘッド５０を傾斜させる方向は、どちらの方向でもよい。実際には、液滴吐出装置１０の回転機構７を駆動して、ヘッドユニット９を回転させステージ５上に載置されたワークに対して位置決めする（図７参照）。

本実施形態では、１つの発光層形成領域Ａに３つの液滴Ｄを配置する。その順番として、まず、発光層形成領域ＡのＹ軸方向の両端部付近にそれぞれ液滴Ｄを離間させて配置する。すなわち、図２１（ａ）に示すように、第１の液滴群Ｇｒ₁として２つの液滴Ｄ₁，Ｄ₂を先行吐出する。続いて、図２１（ｂ）に示すように、先行吐出された液滴Ｄ₁，Ｄ₂の間を埋めるように、さらに第２の液滴群Ｇｒ₂として１つの液滴Ｄ₃を後行吐出する。これにより、液状体をムラなく発光層形成領域Ａ内に行き渡らせようとするものである。言い換えれば、同一ノズル５２を用い１つの発光層形成領域Ａに対して２回の走査を行って、液滴Ｄ₁〜液滴Ｄ₃を配置している。第１の液滴群Ｇｒ₁および第２の液滴群Ｇｒ₂は_、塗布量のばらつきを補正するために発光層形成領域Ａごとに設定された補正量に基づいて、液滴Ｄの吐出量を変えることが可能な複数の駆動信号の組み合わせの中から駆動信号が選択され、使用するノズル５２の振動子５９に印加されて塗布されている。これにより、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂごとに、必要量が少なくとも液滴Ｄの吐出量のばらつき範囲よりも小さい範囲で、対応する発光層形成領域Ａに塗布される。

より具体的には、例えば、図２１（ａ）において、発光層形成領域Ａには、同一ノズル５２を用いて３つの液滴Ｄが吐出される。この塗布量が区間１（図１５参照）に含まれているとする。当該ノズル５２の振動子５９に基準駆動信号を印加して３つの液滴Ｄを吐出したのでは、液状体の塗布量は、中央値の３０ｎｇに対して２．７ｎｇ不足する。そこで、＋１ｎｇの補正が可能な駆動信号を選択して２回に渡って振動子５９に印加して液滴Ｄ₁と液滴Ｄ₂とを吐出する。液滴Ｄ₁と液滴Ｄ₂とからなる第１の液滴群Ｇｒ₁は、結果的に＋２ｎｇ補正されて塗布される。次に、＋０．７ｎｇの補正が可能な駆動信号を選択して振動子５９に１回印加して液滴Ｄ₃（第２の液滴群Ｇｒ₂）を吐出する。これにより、第１の液滴群Ｇｒ₁と第２の液滴群Ｇｒ₂とからなる塗布された液状体の塗布量は、＋２．７ｎｇ補正される。第１の液滴群Ｇｒ₁と第２の液滴群Ｇｒ₂とを異なる走査において吐出し、その際に選択する駆動信号ＣＯＭは、補正水準に基づいて各駆動信号の駆動電圧Ｖｈ２〜駆動電圧Ｖｈ４が設定されている。他の使用するノズル５２においても同様な補正が行われることは言うまでもない。そして、乾燥・成膜工程へ進む。

乾燥・成膜工程では、図２０（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして、ステップＳ１６へ進む。

図１９のステップＳ１６は、陰極形成工程である。ステップＳ１６では、図２０（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとバンク６１８の表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌなどの金属やＬｉＦなどのフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌなどの膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ₂、ＳｉＮなどの保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法などが挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。

このようにして出来上がった素子基板６０１は、発光層形成領域Ａに必要量（所定塗布量）の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄ₁〜液滴Ｄ₃として安定的に塗布され、乾燥・成膜化後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。

本実施形態では、発光層形成領域Ａが素子基板６０１上において２００ｐｐｉという高精細な状態で配置されているため、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、それぞれ３滴ずつ対応する発光層形成領域Ａに塗布するだけでよい。液滴Ｄの吐出数が少ないので、塗布量のばらつきを補正するために、液滴Ｄの吐出数を調整する方法は採用できない。さらに、液滴Ｄの吐出量を変えることが可能な駆動信号ＣＯＭの種類は限られるので、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを吐出する方法として、上記実施形態２の液状体の塗布方法を採用することは、少ない駆動信号ＣＯＭの種類で、高精度な補正を可能とする点において非常に有効である。

上記実施形態３の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態３の発光素子部６０３の製造方法において、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出工程では、上記実施形態２の液状体の塗布方法を用いて素子基板６０１の高精細に配置された発光層形成領域Ａに、必要量（所定塗布量）の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂがばらつきが少ない状態で塗布されている。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、液滴Ｄ₁と液滴Ｄ₂からなる第１の液滴群Ｇｒ₁と、液滴Ｄ₃からなる第２の液滴群Ｇｒ₂として安定的に吐出され、乾燥・成膜後の膜厚が、同色の発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。

（２）上記実施形態３の発光素子部６０３の製造方法において、同一ノズル５２を用いて第１の液滴群Ｇｒ₁と第２の液滴群Ｇｒ₂とを各発光層形成領域Ａに吐出しているので、第１の液滴群Ｇｒ₁と第２の液滴群Ｇｒ₂とを異なるノズル５２を用いて吐出する場合に比べて、走査の回数を減らすことができる。また、同一ノズル５２を用いることにより、吐出特性の変動を抑えて、安定的に液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを塗布することができる。

（３）上記実施形態３の発光素子部６０３の製造方法を用いて、有機ＥＬ装置６００を製造すれば、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの膜厚がほぼ一定であるため、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラなどが低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラなどが少なく、高精細で見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ装置６００を製造することができる。

上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）上記実施形態２の液状体の塗布方法において、複数の補正水準を割り当てる範囲は、塗布量のばらつき範囲と同等であることに限定されない。例えば、塗布量のばらつきにおいて、最小値と最大値とが区間代表値となるように複数（９つ）の区間の間隔を設定してもよい。これによれば、塗布量が最小値または最大値となる塗布領域に対して、より適正な補正量を割り付けることが可能となる。

（変形例２）上記実施形態２の液状体の塗布方法において、所定塗布量は、塗布量のばらつきにおける度数分布の中央値としなくてもよい。例えば、塗布量の平均値を用いてもよい。これによれば、平均値を中心とした標準偏差を区間の設定方法として採用することができる。

（変形例３）上記実施形態２の液状体の塗布方法において、補正量を配分する方法は、液滴群の液滴数に基づいた方法に限定されない。例えば、液滴量が多い液滴群に大きな補正量を与え、液滴量が少ない液滴群に小さい補正量を与えてもよい。これによれば、液滴量を基準として液滴群の補正比率を平準化できる。

（変形例４）上記実施形態１の液状体の塗布方法および上記実施形態２の液状体の塗布方法において、液滴Ｄの吐出量およびこれに基づく液状体の塗布量は、重量に限定されない。例えば、各ノズル５２から吐出された液滴Ｄの飛行状態を撮像して、体積を求め、これを吐出量としてもよい。また、基板上に形成された薄膜の体積により、液滴Ｄの体積を求めてもよい。

（変形例５）上記実施形態２の液滴吐出装置１０において、駆動信号ＣＯＭの波形形状は、これに限定されない。単純な台形波や矩形波だけでなく、例えば、これらの波形を中間電位を挟んで組み合わせた駆動波形も採用することができる。すなわち、液滴Ｄの吐出量を可変可能とする波形形状は、駆動電圧Ｖｈを可変することに限定されず、放電時（電圧降下時）の傾きや、放電時の中間電位を変えることによっても、吐出量を変えることができる。

（変形例６）上記実施形態２の液滴吐出装置１０において、駆動信号ＣＯＭの発生のさせかたは、これに限定されない。例えば、波形形状が異なる複数の駆動波形を同一吐出周期内において発生させてもよい。すなわち、同一吐出周期内において、複数の駆動波形のうちの１つを選択するようにしてもよい。

（変形例７）上記実施形態３の有機ＥＬ素子の製造方法において、発光素子部６０３は、３色の発光層を有することに限定されない。例えば、白色などの単色の発光層を有する場合にも、上記実施形態２の液状体の塗布方法を適用することができる。これによれば、複数の単色有機ＥＬ素子を備えた、照明装置としての有機ＥＬ装置６００を提供することができる。また、白色発光の有機ＥＬ素子と少なくとも３色のカラーフィルタとを組み合わせて、フルカラー表示が可能な表示装置としての有機ＥＬ装置６００を提供することができる。

（変形例８）上記実施形態３の有機ＥＬ素子の製造方法において、素子基板６０１上の発光層形成領域Ａの配置および形状は、これに限定されない。例えば、発光層形成領域Ａが方形でもよく、また、同一の液状体が塗布される発光層形成領域Ａの配置は、ストライプ方式に限らず、モザイク方式、デルタ方式においても、上記実施形態２の液状体の塗布方法を適用することができる。

（変形例９）上記実施形態３の有機ＥＬ素子の製造方法において、発光層形成領域Ａに液滴Ｄ₁〜液滴Ｄ₃を配置（吐出）する方法は、同一ノズル５２から吐出する方法に限定されない。例えば、液滴Ｄ₁から液滴Ｄ₃をそれぞれ異なるノズル５２から吐出する場合、あるいは第１の液滴群Ｇｒ₁と第２の液滴群Ｇｒ₂とをそれぞれ異なるノズル５２から吐出する場合にも、上記実施形態２の液状体の塗布方法を適用することが可能である。また、同一ノズル列５２Ａ（５２Ｂ）もしくは同一吐出ヘッド５０を用いて複数の液滴群Ｇｒ₁，Ｇｒ₂を吐出してもよい。吐出特性が同等であるノズル列５２Ａ（５２Ｂ）あるいは吐出ヘッド５０の中のノズル５２で塗布領域の同一液滴群を補正するため、複数の塗布領域に渡って一貫性があり精度の高い補正を施すことができる。すなわち、液状体の塗布量のばらつきをより小さくすることができる。

（変形例１０）上記実施形態１の液状体の塗布方法を適用可能なデバイスの製造方法は、上記実施形態３の有機ＥＬ素子の製造方法に限らない。例えば、カラーフィルタの製造方法に適用することができる。着色材料を含む３色の液状体をそれぞれ吐出ヘッド５０に充填し、図１８のバンク６１８で区画された塗布領域に複数のノズル５２から液滴Ｄとして吐出する吐出工程と、吐出された液状体を固化して、３色の着色層を形成する固化工程とを備える。これによれば、塗布領域は着色領域であり、３色の着色層を有する高精細なカラーフィルタを製造することができる。なお、液状体の種類は、３色に限定されず、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）を含む多色とし、これに対応するようにヘッドユニット９に搭載される吐出ヘッド５０の数を増やせばよい。カラーフィルタの製造方法以外にも、レンズ材料を含む液状体を用いれば、高精細な光学レンズをワーク上に形成する光学レンズの製造方法にも適用することができる。さらには、一定のパターン形状を有する配線パターンの形成方法、ベタ膜としての配向膜や絶縁膜の形成方法、電気光学材料としての液晶の充填などにも適用することができる。

（変形例１１）上記実施形態１の液状体の塗布方法を適用することができるのは、各種デバイスの製造方法に限らない。例えば、塗布領域は、バンク（隔壁）などで区画された領域でなくてもよい。液状体を記録用のインクとして、印字領域をソフト的に分割し、分割された領域に塗布されるインク量を補正する場合にも、適用することができる。これにより、走査方向において複数の液滴群からなる一定の幅を有する線分や一定の面積を有する印字面を構成することができる。すなわち、基板や記録紙を仮想的な塗布領域に分割し、ソフト的に塗布領域を想定することで上記実施形態の液状体の塗布方法を適用することができる。

基本的な液状体の塗布方法を示す表。 実施例１の液状体の塗布方法を示す表。 実施例２の液状体の塗布方法を示す表。 実施例３の液状体の塗布方法を示す表。 実施例４の液状体の塗布方法を示す表。 比較例の液状体の塗布方法を示す表。 液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 （ａ）は吐出ヘッドの構造を示す概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図。 ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。 液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。 吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図。 駆動信号および制御信号のタイミング図。 液状体の塗布方法を示すフローチャート。 塗布量の吐出量のばらつきを示す度数分布のグラフ。 区間ごとの塗布量の範囲と補正量とを示す表。 区間に対応する液滴群の補正量を示す表。 有機ＥＬ装置の構造を示す概略断面図。 （ａ）は基板上の発光層形成領域を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＨ−Ｈ'線で切った概略断面図。 発光素子部の製造方法を示すフローチャート。 発光素子部の製造方法を示す概略断面図。 液状体の塗布方法を示す概略平面図。

符号の説明

１０…液滴吐出装置、５０…吐出ヘッド、５２…ノズル、５２Ａ，５２Ｂ…ノズル列、５９…駆動手段としての振動子、１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ…発光層形成材料を含む液状体、６０１…基板としての素子基板、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…塗布領域としての発光層形成領域、Ｄ，Ｄ₁，Ｄ₂，Ｄ₃…液滴、Ｇｒ₁，Ｇｒ₂…液滴群、Ｑ…液状体の塗布量、Ｗ…ワークとしての基板。

Claims (20)

1. 複数のノズルから液状体を液滴として吐出して、基板上に設けられた複数の塗布領域ごとに前記液状体を塗布する液状体の塗布方法であって、
   前記ノズルごとに吐出される前記液滴の吐出量の情報を少なくとも含むノズル情報を入手するノズル情報入手工程と、
   前記複数のノズルと前記基板とを相対移動させる走査に基づいて、前記塗布領域ごとに前記液状体を少なくとも１つの前記液滴からなる複数の液滴群として関連付けて配置する配置情報を生成する配置情報生成工程と、
   前記ノズル情報と前記配置情報とに基づいて、前記塗布領域ごとに塗布される前記液状体の塗布量を演算する演算工程と、
   前記塗布量のばらつきを複数の区間に区分する区分工程と、
   前記区間の代表値と所定塗布量との差を求めて、前記区間ごとの前記所定塗布量に対する補正量を定める補正量設定工程と、
   補正が必要な前記区間においては、前記補正量を前記液滴群ごとに異ならせて配分する補正量配分工程と、
   配分された前記補正量を反映した塗布量が、複数の駆動信号の組み合わせによって得られるように、前記液滴群ごとに対応する前記駆動信号を設定する駆動信号設定工程と、
   前記配置情報に基づいた前記走査を行い、前記組み合わせにより選択された前記駆動信号を用いて使用するノズルを駆動し、前記塗布領域ごとに前記液状体を吐出する吐出工程と、を備えたことを特徴とする液状体の塗布方法。
2. 前記複数の駆動信号のうちの１つを基準駆動信号とし、前記所定塗布量が前記基準駆動信号に対する前記液滴の基準吐出量に前記複数の液滴群の総吐出数を乗じて得られた値に設定され、
   前記ノズル情報入手工程は、前記基準駆動信号を適用して前記複数のノズルを駆動し、吐出された前記液滴の吐出量の情報を入手することを特徴とする請求項１に記載の液状体の塗布方法。
3. 前記配置情報生成工程は、異なる走査においてそれぞれの前記液滴群を配置するように前記配置情報を生成することを特徴とする請求項１または２に記載の液状体の塗布方法。
4. 前記配置情報生成工程は、前記走査において、同一ノズルを用いて前記複数の液滴群を配置するように前記配置情報を生成することを特徴とする請求項３に記載の液状体の塗布方法。
5. 前記配置情報生成工程は、前記走査において、前記液滴群ごとまたは前記液滴ごとにノズルを変えて前記複数の液滴群を配置するように前記配置情報を生成することを特徴とする請求項３に記載の液状体の塗布方法。
6. 前記配置情報生成工程は、前記複数のノズルからなる複数のノズル列と前記基板とを走査する場合、前記走査において、同一のノズル列を用いて前記複数の液滴群を配置するように前記配置情報を生成することを特徴とする請求項３に記載の液状体の塗布方法。
7. 前記配置情報生成工程は、前記複数のノズルを有する複数の吐出ヘッドと前記基板とを走査する場合、前記走査において、同一の前記吐出ヘッドを用いて前記複数の液滴群を配置するように前記配置情報を生成することを特徴とする請求項３に記載の液状体の塗布方法。
8. 前記区分工程は、前記複数の区間を等間隔に区分することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液状体の塗布方法。
9. 前記区分工程は、前記塗布量のばらつきの範囲と、前記複数の区間の範囲とが合致するように、前記複数の区間を設定することを特徴とする請求項８に記載の液状体の塗布方法。
10. 前記区分工程は、前記塗布量のばらつきにおいて、最大値と最小値とがそれぞれ前記区間の代表値となるように、前記複数の区間を設定することを特徴とする請求項８に記載の液状体の塗布方法。
11. 前記補正量設定工程は、前記塗布量のばらつきの中央値を前記所定塗布量として、前記中央値を含む区間を補正先に選び、前記区間ごとの前記補正量を定めることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の液状体の塗布方法。
12. 前記補正量配分工程は、前記液滴群ごとに前記複数の駆動信号の組み合わせに基づいた複数の補正水準を割り当て、前記複数の補正水準の間隔が、前記液滴群ごとに等間隔であることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の液状体の塗布方法。
13. 前記複数の液滴群のうち、補正の基準となる液滴群を定め、当該液滴群の前記補正水準における間隔に対して、他方の液滴群の前記補正水準における間隔が２倍以上であることを特徴とする請求項１２に記載の液状体の塗布方法。
14. 前記複数の液滴群のうち、補正の基準となる液滴群を定め、当該液滴群の前記補正水準における間隔と当該液滴群の前記補正水準の数とを乗じたものが、他の液滴群の前記補正水準の間隔であることを特徴とする請求項１３に記載の液状体の塗布方法。
15. 前記複数の液滴群のうち、液滴数が最も少ない液滴群を前記補正の基準とすることを特徴とする請求項１３または１４に記載の液状体の塗布方法。
16. 前記複数の液滴群のうち、液滴量が最も少ない液滴群を前記補正の基準とすることを特徴とする請求項１３または１４に記載の液状体の塗布方法。
17. 前記基準となる液滴群における補正水準の数と、他の液滴群における補正水準の数とが同一であることを特徴とする請求項１３乃至１６のいずれか一項に記載の液状体の塗布方法。
18. 前記液滴群ごとの前記補正水準の数と、前記複数の駆動信号の数とが同一であることを特徴とする請求項１７に記載の液状体の塗布方法。
19. 基板上に区画形成された複数の発光層形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
    請求項１乃至１８のいずれか一項に記載の液状体の塗布方法を用い、前記発光層形成領域ごとに発光層形成材料を含む液状体を前記複数の液滴群として塗布する塗布工程と、
    塗布された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する発光層形成工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
20. 前記塗布工程は、異なる発光色が得られる複数種の前記液状体をそれぞれ所望の前記発光層形成領域に塗布し、
    前記発光層形成工程は、塗布された複数種の前記液状体を固化して、少なくとも赤、緑、青、３色の前記発光層を形成することを特徴とする請求項１９に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。

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