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JP2009198966A - Photosensitive resin composition, and photosensitive film, permanent mask resist and method for producing permanent mask resist using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition, and photosensitive film, permanent mask resist and method for producing permanent mask resist using the same Download PDF

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JP2009198966A
JP2009198966A JP2008042842A JP2008042842A JP2009198966A JP 2009198966 A JP2009198966 A JP 2009198966A JP 2008042842 A JP2008042842 A JP 2008042842A JP 2008042842 A JP2008042842 A JP 2008042842A JP 2009198966 A JP2009198966 A JP 2009198966A
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JP
Japan
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resin composition
photosensitive resin
meth
photosensitive
permanent mask
Prior art date
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Pending
Application number
JP2008042842A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Ohashi
武志 大橋
Tetsuya Yoshida
哲也 吉田
Satoshi Otomo
聡 大友
Tetsufumi Fujii
徹文 藤井
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition which satisfies plating resistance, stability, flexibility, chemical resistance and resolution required as a permanent mask resist formed on a film substrate, such as a coverlay of an FPC, and which is excellent particularly in plating resistance and stability. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition includes (A) an epoxy acrylate compound obtained by reacting a resin, obtained by reacting an epoxy resin (a1) with a vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2), with a polybasic acid anhydride (a3), (B) an acrylic resin having a carboxyl group, (C) a guanamine compound represented by a general formula (1), (D) a photopolymerizable compound having a polymerizable ethylenically unsaturated group within a molecule, (E) a photopolymerization initiator, and (F) a heat curing agent. There are also provided a photosensitive film, a permanent mask resist and a method for producing the permanent mask resist using the photosensitive resin composition. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、感光性樹脂組成物これを用いた感光性フィルム、永久マスクレジスト及び永久マスクレジストの製造方法に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a photosensitive film using the same, a permanent mask resist, and a method for producing a permanent mask resist.

近年、プリント配線板の一種として、フレキシブルプリント配線板(Flexible Printed Circuit;以下、「FPC」という。)と呼ばれるフィルム状のプリント配線板が、特にカメラ、磁気ヘッド、携帯電話などの小型機器に用いられている。これは、FPCがそれ自体を折り曲げてもその機能を維持することができることから、上述のような小型機器に収容するプリント配線板として最適であるためである。
特に最近では、各種電子機器の更なる小型化及び軽量化の要請が増えてきており、FPCの採用によって、該小型機器の更なる小型化、軽量化、製品コストの低減並びに設計の簡素化等が徐々に進められている。
FPCに用いられるソルダーレジストには、通常のプリント配線板に用いられるソルダーレジストと同様に、耐薬品性、高解像性、電気絶縁性及びはんだ耐熱性等の特性に加えて、FPCを折り曲げた際に破壊されないという、いわゆる可とう性が要求される。また、FPCを部分的に厚くしたり硬くしたりするために、FPCに補強板を貼り付ける場合があるが、かかる補強板は高圧、高温条件下で熱プレス機を用いて貼り付けられるため、FPC用のソルダーレジストには熱プレス耐性も要求される。
現在のところ、ポリイミドフィルムが上記各種特性をある程度備えることから、FPC用のソルダーレジストとして、接着剤付きのポリイミドフィルムを打ち抜いて形成されるカバーレイが広く用いられている。
しかしながら、上述のカバーレイは、型抜きに用いられる金型が非常に高価である上、型抜きしたカバーレイの人手による位置合わせ作業、及び貼り合わせ作業が必要となることから製造コストが高くなってしまうという問題がある。
更には、FPCが電子機器の小型化の要請に応えるべく採用されているにも関わらず、そのFPCに型抜きされたカバーレイを設けようとすると、微細パターンの形成が困難になってしまうという問題もある。
これらの問題点を改善するために、フォトレジスト法によるレジスト形成方法が採用されつつある。このフォトレジスト法は、基板上に感光性樹脂膜を形成した後、この感光性樹脂膜を部分露光により硬化した後、未露光部を現像工程により除去するものであり、これにより微細パターンを形成することができる。
このようなフォトレジスト法の採用に伴い、種々の感光性樹脂組成物が開発されている。例えば、特定のエポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸との付加生成物を無水コハク酸等と反応させることによって得られる不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂を含有する液状のFPC用感光性樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献1及び2参照)。
また、FPCは基板上にレジストを形成した後、電解金めっきや無電解金めっき等を施す必要があるため、ソルダーレジストには良好なめっき耐性が要求される。中でも無電解めっきは高温の薬液中で行われることが多いため、レジスト層と回路が形成された基板間にめっき液が入り込み、レジストの剥がれやめっきもぐりが発生しやすくなり、回路の絶縁性等に問題を生じる可能性がある。この対策として、感光性樹脂組成物に密着性向上剤等の添加剤を含有させた感光性樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献3参照)。
特開平07−207211号公報 特開平08−134390号公報 特開平13−183819号公報
In recent years, as a kind of printed wiring board, a film-like printed wiring board called a flexible printed circuit (hereinafter referred to as “FPC”) is used particularly for small devices such as cameras, magnetic heads, and mobile phones. It has been. This is because the FPC can maintain its function even when it is bent, and is optimal as a printed wiring board to be accommodated in a small device as described above.
In recent years, there has been an increasing demand for further miniaturization and weight reduction of various electronic devices. By adopting FPC, further miniaturization and weight reduction of the small devices, reduction of product cost, simplification of design, etc. Is gradually progressing.
In the solder resist used for FPC, in addition to the characteristics such as chemical resistance, high resolution, electrical insulation and solder heat resistance, the FPC is bent in the same manner as the solder resist used for ordinary printed wiring boards. So-called flexibility is required that it is not destroyed. In addition, in order to partially thicken or harden the FPC, a reinforcing plate may be attached to the FPC, but such a reinforcing plate is attached using a hot press machine under high pressure and high temperature conditions. Solder resist for FPC is also required to have heat press resistance.
At present, a coverlay formed by punching out a polyimide film with an adhesive is widely used as a solder resist for FPC because the polyimide film has the above-mentioned various characteristics to some extent.
However, the above-described coverlay is expensive because the mold used for die cutting is very expensive, and the manual alignment and bonding work of the die-cut coverlay is required. There is a problem that it ends up.
Furthermore, even though the FPC has been adopted to meet the demand for downsizing of electronic devices, it would be difficult to form a fine pattern if an attempt was made to provide a die cut coverlay on the FPC. There is also a problem.
In order to improve these problems, a resist forming method using a photoresist method is being adopted. In this photoresist method, after a photosensitive resin film is formed on a substrate, the photosensitive resin film is cured by partial exposure, and then an unexposed portion is removed by a development process, thereby forming a fine pattern. can do.
With the adoption of such a photoresist method, various photosensitive resin compositions have been developed. For example, a liquid photosensitive resin composition for FPC containing an unsaturated group-containing polycarboxylic acid resin obtained by reacting an addition product of a specific epoxy resin and an unsaturated monocarboxylic acid with succinic anhydride or the like. It has been proposed (see, for example, Patent Documents 1 and 2).
Further, since FPC needs to be subjected to electrolytic gold plating or electroless gold plating after forming a resist on a substrate, the solder resist is required to have good plating resistance. In particular, electroless plating is often performed in a high-temperature chemical solution, so that the plating solution enters between the resist layer and the substrate on which the circuit is formed, and resist peeling and plating are likely to occur. May cause problems. As a countermeasure, a photosensitive resin composition in which an additive such as an adhesion improver is added to the photosensitive resin composition has been proposed (see, for example, Patent Document 3).
Japanese Patent Application Laid-Open No. 07-207211 Japanese Patent Laid-Open No. 08-134390 Japanese Patent Laid-Open No. 13-183819

しかしながら、上記添加剤を含む従来の感光性樹脂組成物では、フィルムの安定性を悪化させる等の問題がある。例えば、真空ラミネート時の熱履歴が長い場合や高温条件下で作業した場合、フィルム中に含まれる熱硬化剤が反応することによって熱硬化が進み、その後の露光、現像工程において、所望のパターン形状が得られない、あるいは現像残渣が発生する等の問題を生じることがある。従って、従来の感光性樹脂組成物では、優れた密着効果と高い安定性の両立ができていないのが実状である。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、FPCのカバーレイのようなフィルム状の基材上に形成される永久マスクレジストとして要求される耐めっき性、安定性、可とう性、耐薬品性及び解像性の各特性を十分に満足し、特に耐めっき性及び安定性に優れる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、このような感光性樹脂組成物を用いた感光性フィルム、永久マスクレジスト及び永久マスクレジストの製造方法を提供することを目的とする。
However, the conventional photosensitive resin composition containing the additive has problems such as deterioration of film stability. For example, when the heat history during vacuum lamination is long or when working under high temperature conditions, the thermosetting proceeds by the reaction of the thermosetting agent contained in the film, and the desired pattern shape in the subsequent exposure and development processes May not be obtained or a development residue may occur. Therefore, in the conventional photosensitive resin composition, it is the actual condition that both excellent adhesion effect and high stability cannot be achieved.
The present invention has been made in view of the above problems, plating resistance, stability, flexibility required as a permanent mask resist formed on a film-like substrate such as an FPC coverlay, An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that sufficiently satisfies the chemical resistance and resolution characteristics, and is particularly excellent in plating resistance and stability. Moreover, an object of this invention is to provide the manufacturing method of the photosensitive film, permanent mask resist, and permanent mask resist which used such a photosensitive resin composition.

上記目的を達成するために、本発明は、(A)エポキシ樹脂(a1)とビニル基含有モノカルボン酸(a2)とを反応させて得られる樹脂と、多塩基酸無水物(a3)と、を反応させて得られるエポキシアクリレート化合物と、(B)カルボキシル基を有するアクリル系樹脂と、(C)下記一般式(1)で表されるグアナミン化合物と、(D)分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(E)光重合開始剤と、(F)熱硬化剤と、を含有してなる、感光性樹脂組成物を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention provides (A) a resin obtained by reacting an epoxy resin (a1) with a vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2), a polybasic acid anhydride (a3), An epoxy acrylate compound obtained by reacting (B), an acrylic resin having a carboxyl group, (C) a guanamine compound represented by the following general formula (1), and (D) ethylene polymerizable in the molecule Provided is a photosensitive resin composition comprising a photopolymerizable compound having a polymerizable unsaturated group, (E) a photopolymerization initiator, and (F) a thermosetting agent.

Figure 2009198966

[一般式(1)中、Rは水素原子、アルキル基又は置換基を有していてもよいアリール基を示す。]
かかる感光性樹脂組成物によれば、上記構成を有することにより、FPCのカバーレイのようなフィルム状の基材上に形成される永久マスクレジストとして要求される特性を十分に満足し、特に耐めっき性及びフィルム安定性に優れる永久マスクレジストを形成することができる。
Figure 2009198966

[In General Formula (1), R 1 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group which may have a substituent. ]
According to such a photosensitive resin composition, by having the above-described configuration, the characteristics required as a permanent mask resist formed on a film-like substrate such as an FPC coverlay are sufficiently satisfied. A permanent mask resist having excellent plating properties and film stability can be formed.

また、本発明の感光性樹脂組成物において、前記エポキシ樹脂(a1)は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、及び多官能エポキシ樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。このようなエポキシ樹脂を用いることにより、硬化させて得られる永久マスクレジストの耐めっき性、安定性、耐薬品性及び解像性等が一層優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the epoxy resin (a1) is composed of a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a bisphenol S type epoxy resin, a novolac type epoxy resin, and a polyfunctional epoxy resin. It is preferably at least one selected from the group. By using such an epoxy resin, it is possible to obtain a photosensitive resin composition that is further excellent in plating resistance, stability, chemical resistance, resolution and the like of a permanent mask resist obtained by curing.

また、本発明の感光性樹脂組成物において、前記(B)カルボキシル基を有するアクリル系樹脂は、(メタ)アクリル酸及び/又は(メタ)アクリル酸アルキルエステルを共重合モノマーとして含むことが好ましい。このようなアクリル系樹脂を用いることにより、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を回路が形成されたプリント配線板上にラミネートする際に、回路間への空気などの巻き込み(エアーボイド)を抑制できるので、硬化させて得られる永久マスクレジストの耐めっき性、可とう性が一層優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。   Moreover, the photosensitive resin composition of this invention WHEREIN: It is preferable that the acrylic resin which has the said (B) carboxyl group contains (meth) acrylic acid and / or (meth) acrylic-acid alkylester as a copolymerization monomer. By using such an acrylic resin, when laminating a photosensitive resin composition layer composed of a photosensitive resin composition on a printed wiring board on which a circuit is formed, air or the like is involved between the circuits (air Since the voids can be suppressed, a photosensitive resin composition having further excellent plating resistance and flexibility of a permanent mask resist obtained by curing can be obtained.

また、本発明の感光性樹脂組成物において、前記(B)カルボキシル基を有するアクリル系樹脂の酸価は50〜200mgKOH/gであることが好ましく、Tg(ガラス転移温度)は30〜100℃であることが好ましい。このようなアクリル系樹脂を用いることにより、解像性、耐電食性、フィルム形成時の感光性樹脂組成物層表面のタック性、可とう性が一層優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。   Moreover, in the photosensitive resin composition of this invention, it is preferable that the acid value of the acrylic resin which has the said (B) carboxyl group is 50-200 mgKOH / g, and Tg (glass transition temperature) is 30-100 degreeC. Preferably there is. By using such an acrylic resin, it is possible to obtain a photosensitive resin composition having further excellent resolution, electric corrosion resistance, tackiness of the surface of the photosensitive resin composition layer during film formation, and flexibility.

また、本発明の感光性樹脂組成物において、前記(C)グアナミン化合物の含有割合は、(A)成分と(B)成分と(D)成分との合計量の0.01〜10質量%であることが好ましい。(C)成分をこのような含有量で含むことにより、耐めっき性、安定性がバランスよく優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。   Moreover, the photosensitive resin composition of this invention WHEREIN: The content rate of the said (C) guanamine compound is 0.01-10 mass% of the total amount of (A) component, (B) component, and (D) component. Preferably there is. By including the component (C) in such a content, a photosensitive resin composition having excellent balance of plating resistance and stability can be obtained.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、フレキシブル配線板の永久マスクレジストの形成に用いられるものであることが好ましい。フレキシブル基板上に永久マスクとなる硬化膜を形成するためのものである。本発明の感光性樹脂組成物を硬化させることによって得られる永久マスクレジストは、耐めっき性、安定性、可とう性、耐薬品性及び解像性に優れるため、かかる感光性樹脂組成物はフレキシブル配線板上に設けられるカバーレイ等の永久マスクレジストの形成に好適に使用することができる。   Moreover, it is preferable that the photosensitive resin composition of this invention is used for formation of the permanent mask resist of a flexible wiring board. It is for forming the cured film used as a permanent mask on a flexible substrate. Since the permanent mask resist obtained by curing the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in plating resistance, stability, flexibility, chemical resistance and resolution, such a photosensitive resin composition is flexible. It can be suitably used for forming a permanent mask resist such as a coverlay provided on the wiring board.

また、本発明は、支持体と、該支持体上に設けられた前記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える感光性フィルムを提供する。かかる感光性フィルムによれば、感光性樹脂組成物層が上記本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成された層であるため、耐めっき性、安定性、可とう性、耐薬品性及び解像性に優れる永久マスクレジストを形成することができる。   Moreover, this invention provides a photosensitive film provided with a support body and the photosensitive resin composition layer which consists of the said photosensitive resin composition provided on this support body. According to such a photosensitive film, since the photosensitive resin composition layer is a layer formed using the photosensitive resin composition of the present invention, plating resistance, stability, flexibility, chemical resistance and A permanent mask resist having excellent resolution can be formed.

また、本発明は、前記感光性樹脂組成物を光照射により硬化させてなる永久マスクレジストを提供する。かかる永久マスクレジストは、上記効果を奏する本発明の感光性樹脂組成物を硬化させてなるものであるため、耐めっき性、安定性、可とう性、耐薬品性及び解像性に優れる。このため、かかる永久マスクレジストは、例えばフレキシブル配線板のようなフィルム状の基材上に形成されるカバーレイとして好適に使用できる。   Moreover, this invention provides the permanent mask resist formed by hardening the said photosensitive resin composition by light irradiation. Since this permanent mask resist is obtained by curing the photosensitive resin composition of the present invention that exhibits the above-described effects, it is excellent in plating resistance, stability, flexibility, chemical resistance and resolution. For this reason, this permanent mask resist can be suitably used as a coverlay formed on a film-like substrate such as a flexible wiring board.

また、本発明は、基材上に、前記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を積層する積層工程と、活性光線を前記感光性樹脂組成物層の所定部分に照射して、前記感光性樹脂組成物層に光硬化部を形成させる露光工程と、前記感光性樹脂組成物層の前記光硬化部以外の部分を除去する現像工程と、を含む永久マスクレジストの製造方法を提供する。かかる製造方法によれば、上記効果を奏する本発明の感光性樹脂組成物を用いているため、耐めっき性、安定性、可とう性、耐薬品性及び解像性に優れ、フレキシブルプリント配線板に好適に使用できる永久マスクレジストを製造することができる。   Further, the present invention is a method of laminating a photosensitive resin composition layer composed of the photosensitive resin composition on a substrate, and irradiating a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer with actinic rays, Provided is a method for producing a permanent mask resist, comprising: an exposure step of forming a photocured portion on the photosensitive resin composition layer; and a developing step of removing a portion other than the photocured portion of the photosensitive resin composition layer. To do. According to this manufacturing method, since the photosensitive resin composition of the present invention that exhibits the above effects is used, it is excellent in plating resistance, stability, flexibility, chemical resistance and resolution, and a flexible printed wiring board. The permanent mask resist which can be used suitably for can be manufactured.

本発明によれば、FPCのカバーレイのようなフィルム状の基材上に形成される永久マスクレジストとして要求される耐めっき性、安定性、可とう性、耐薬品性及び解像性の各特性を十分に満足し、特に耐めっき性及び安定性に優れる感光性樹脂組成物、かかる感光性樹脂組成物を備える感光性フィルム、かかる感光性樹脂組成物により形成される永久マスクレジスト及びその製造方法を提供することができる。   According to the present invention, each of plating resistance, stability, flexibility, chemical resistance and resolution required as a permanent mask resist formed on a film-like substrate such as an FPC coverlay. Photosensitive resin composition that sufficiently satisfies the characteristics and particularly excellent in plating resistance and stability, photosensitive film provided with such photosensitive resin composition, permanent mask resist formed by such photosensitive resin composition, and production thereof A method can be provided.

以下、場合により図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、図面の説明において、同一又は同等の要素には同一符号を用い、重複する説明は省略する。なお、本明細書における(メタ)アクリル酸とはアクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸、それらの混合物を意味し、(メタ)アクリレートとはアクリレート及びそれに対応するメタクリレート、それらの混合物を意味し、(メタ)アクリロイルとはアクリロイル及びそれに対応するメタクリロイル、それらの混合物を意味する。
図1は、本発明の感光性フィルムの好適な一実施形態を示す模式断面図である。感光性フィルム1は、支持体10と、支持体10上に設けられる感光性樹脂組成物層20と、感光性樹脂組成物層20上に設けられる保護フィルム30とを備える。
感光性樹脂組成物層20は、感光性樹脂組成物からなる。感光性樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂(a1)とビニル基含有モノカルボン酸(a2)とを反応させて得られる樹脂と、多塩基酸無水物(a3)と、を反応させて得られるエポキシアクリレート化合物と、(B)カルボキシル基を有するアクリル系樹脂と、(C)下記一般式(1)で表されるグアナミン化合物を必須成分として含む添加剤と、(D)分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(E)光重合開始剤と、(F)熱硬化剤と、を含有するものである。
In the following, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings as the case may be. In the description of the drawings, the same or equivalent elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. In the present specification, (meth) acrylic acid means acrylic acid and methacrylic acid corresponding thereto, and a mixture thereof, and (meth) acrylate means acrylate and corresponding methacrylate and a mixture thereof. By (meth) acryloyl is meant acryloyl and the corresponding methacryloyl and mixtures thereof.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a preferred embodiment of the photosensitive film of the present invention. The photosensitive film 1 includes a support 10, a photosensitive resin composition layer 20 provided on the support 10, and a protective film 30 provided on the photosensitive resin composition layer 20.
The photosensitive resin composition layer 20 is made of a photosensitive resin composition. The photosensitive resin composition is obtained by reacting (A) a resin obtained by reacting an epoxy resin (a1) with a vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2) and a polybasic acid anhydride (a3). An epoxy acrylate compound, (B) an acrylic resin having a carboxyl group, (C) an additive containing a guanamine compound represented by the following general formula (1) as an essential component, and (D) polymerizable in the molecule A photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, (E) a photopolymerization initiator, and (F) a thermosetting agent.

以下、各成分について詳細に説明する。
(A)エポキシ樹脂(a1)とビニル基含有モノカルボン酸(a2)とを反応させて得られる樹脂と、多塩基酸無水物(a3)とを反応させて得られるエポキシアクリレート化合物、すなわち(A)成分は、次の二段階の反応によって得ることができる。最初の反応(以下、便宜的に「第一の反応」という。)では、エポキシ樹脂(a1)とビニル基含有モノカルボン酸(a2)とが反応する。次の反応(以下、便宜的に「第二の反応」という。)では、第一の反応で生成した樹脂と、多塩基酸無水物(a3)とが反応する。
第一の反応では、エポキシ樹脂(a1)のエポキシ基とビニル基含有モノカルボン酸(a2)のカルボキシル基との付加反応により水酸基が生成する。
エポキシ樹脂(a1)としては特に制限はないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、及び多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。
ビニル基含有モノカルボン酸(a2)としては、例えば、アクリル酸、アクリル酸の二量体、メタクリル酸、β−フルフリルアクリル酸、β−スチリルアクリル酸、桂皮酸、クロトン酸、α−シアノ桂皮酸、及びソルビン酸等を用いることができる。また、水酸基含有アクリレートと飽和又は不飽和基含有二塩基酸無水物との反応生成物である半エステル化合物、ビニル基含有モノグリシジルエーテル又はビニル基含有モノグリシジルエステルと飽和又は不飽和基含有二塩基酸無水物との反応生成物である半エステル化合物を用いることができる。ここで、半エステル化合物とは、例えば、2個のカルボキシル基のうち、一方だけがエステル化された化合物をいう。これらのビニル基含有モノカルボン酸(a2)は、単独で、又は二種類以上併用して用いることができる。
半エステル化合物は、水酸基含有アクリレート、あるいはビニル基含有モノグリシジルエーテル又はビニル基含有モノグリシジルエステルと、飽和又は不飽和基含有二塩基酸無水物とを等モル比で反応させることによって得ることができる。
Hereinafter, each component will be described in detail.
(A) An epoxy acrylate compound obtained by reacting a resin obtained by reacting an epoxy resin (a1) with a vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2) and a polybasic acid anhydride (a3), that is, (A ) Component can be obtained by the following two-stage reaction. In the first reaction (hereinafter referred to as “first reaction” for convenience), the epoxy resin (a1) reacts with the vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2). In the next reaction (hereinafter referred to as “second reaction” for convenience), the resin produced in the first reaction reacts with the polybasic acid anhydride (a3).
In the first reaction, a hydroxyl group is generated by an addition reaction between the epoxy group of the epoxy resin (a1) and the carboxyl group of the vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2).
The epoxy resin (a1) is not particularly limited, and examples thereof include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, and polyfunctional epoxy resin. Can be mentioned.
Examples of the vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2) include acrylic acid, dimer of acrylic acid, methacrylic acid, β-furfurylacrylic acid, β-styrylacrylic acid, cinnamic acid, crotonic acid, and α-cyanocinnamic acid. An acid, sorbic acid, etc. can be used. Further, a half-ester compound, a vinyl group-containing monoglycidyl ether or a vinyl group-containing monoglycidyl ester and a saturated or unsaturated group-containing dibasic compound, which is a reaction product of a hydroxyl group-containing acrylate and a saturated or unsaturated group-containing dibasic acid anhydride A half ester compound which is a reaction product with an acid anhydride can be used. Here, the half ester compound refers to, for example, a compound in which only one of two carboxyl groups is esterified. These vinyl group-containing monocarboxylic acids (a2) can be used alone or in combination of two or more.
The half ester compound can be obtained by reacting a hydroxyl group-containing acrylate, a vinyl group-containing monoglycidyl ether or a vinyl group-containing monoglycidyl ester with a saturated or unsaturated group-containing dibasic acid anhydride in an equimolar ratio. .

水酸基含有アクリレートとしては、例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブチルアクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、ポリエチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコールモノメタクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、グリシジルアクリレート及びグリシジルメタクリレート等を用いることができる。
ビニル基含有モノグリシジルエーテル又はビニル基含有モノグリシジルエステルとしては、グリシジル(メタ)アクリレート等を用いることができる。
Examples of the hydroxyl group-containing acrylate include hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate, hydroxypropyl methacrylate, hydroxybutyl acrylate, hydroxybutyl methacrylate, polyethylene glycol monoacrylate, polyethylene glycol monomethacrylate, trimethylolpropane diacrylate, and trimethylol. Propane dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, and the like can be used.
As the vinyl group-containing monoglycidyl ether or vinyl group-containing monoglycidyl ester, glycidyl (meth) acrylate or the like can be used.

飽和又は不飽和基含有二塩基酸無水物としては、例えば、無水コハク酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、及び無水イタコン酸等を用いることができる。   Examples of the saturated or unsaturated group-containing dibasic acid anhydride include succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, ethyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, Methylhexahydrophthalic anhydride, ethylhexahydrophthalic anhydride, itaconic anhydride and the like can be used.

第一の反応における、エポキシ樹脂(a1)とビニル基含有モノカルボン酸(a2)との比率は、エポキシ樹脂(a1)のエポキシ基1当量に対して、ビニル基含有モノカルボン酸(a2)が0.7〜1.05当量となる比率であることが好ましく、0.8〜1.0当量となる比率であることがより好ましい。
エポキシ樹脂(a1)とビニル基含有モノカルボン酸(a2)とは有機溶剤に溶解させて反応させることができる。有機溶剤としては、例えば、エチルメチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート等のエステル類、オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素類、石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等を用いることができる。
第一の反応では、反応を促進させるために触媒を用いることが好ましい。触媒としては、例えば、トリエチルアミン、ベンジルメチルアミン、メチルトリエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウムブロマイド、ベンジルトリメチルアンモニウムアイオダイド、及びトリフェニルホスフィン等を用いることができる。触媒の使用量は、エポキシ樹脂(a1)とビニル基含有モノカルボン酸(a2)の合計100質量部に対して、0.1〜10質量部とすることが好ましい。
第一の反応において、エポキシ樹脂(a1)同士又はビニル基含有モノカルボン酸(a2)同士、あるいはエポキシ樹脂(a1)とビニル基含有モノカルボン酸(a2)との重合を防止するため、重合防止剤を使用することが好ましい。重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、カテコール、及びピロガロール等を用いることができる。重合防止剤の使用量は、エポキシ樹脂(a1)とビニル基含有モノカルボン酸(a2)の合計100質量部に対して、0.01〜1質量部とすることが好ましい。第一の反応の反応温度は、60〜150℃が好ましく、80〜120℃がより好ましい。
第一の反応では、必要に応じてビニル基含有モノカルボン酸(a2)と、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、ビフェニルテトラカルボン酸無水物等の多塩基酸無水物とを併用することができる。
In the first reaction, the ratio of the epoxy resin (a1) to the vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2) is such that the vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2) is 1 equivalent to the epoxy group of the epoxy resin (a1). The ratio is preferably 0.7 to 1.05 equivalent, and more preferably 0.8 to 1.0 equivalent.
The epoxy resin (a1) and the vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2) can be dissolved and reacted in an organic solvent. Examples of the organic solvent include ketones such as ethyl methyl ketone and cyclohexanone, aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and tetramethylbenzene, methyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, Glycol ethers such as dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether and triethylene glycol monoethyl ether, esters such as ethyl acetate, butyl acetate, butyl cellosolve acetate and carbitol acetate, aliphatic carbonization such as octane and decane Petroleum solvents such as hydrogen, petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha can be used.
In the first reaction, it is preferable to use a catalyst in order to accelerate the reaction. Examples of the catalyst that can be used include triethylamine, benzylmethylamine, methyltriethylammonium chloride, benzyltrimethylammonium chloride, benzyltrimethylammonium bromide, benzyltrimethylammonium iodide, and triphenylphosphine. It is preferable that the usage-amount of a catalyst shall be 0.1-10 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of an epoxy resin (a1) and a vinyl group containing monocarboxylic acid (a2).
In the first reaction, in order to prevent polymerization between epoxy resins (a1) or between vinyl group-containing monocarboxylic acids (a2) or between epoxy resin (a1) and vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2), polymerization prevention It is preferable to use an agent. As the polymerization inhibitor, for example, hydroquinone, methyl hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, catechol, pyrogallol and the like can be used. The amount of the polymerization inhibitor used is preferably 0.01 to 1 part by mass with respect to 100 parts by mass in total of the epoxy resin (a1) and the vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2). 60-150 degreeC is preferable and, as for the reaction temperature of a 1st reaction, 80-120 degreeC is more preferable.
In the first reaction, a vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2) and polybasic acid anhydrides such as trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic anhydride, biphenyltetracarboxylic anhydride, etc. Can be used together.

第二の反応では、第一の反応で生成した水酸基及びエポキシ樹脂(a1)中に元来ある水酸基が、多塩基酸無水物(a3)の酸無水物基と半エステル反応すると推察される。多塩基酸無水物(a3)は、飽和又は不飽和基含有多塩基酸無水物である。飽和又は不飽和基含有多塩基酸無水物としては、例えば、無水コハク酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、及び無水イタコン酸等を用いることができる。
第二の反応では、第一の反応によって得られる樹脂中の水酸基1当量に対して、0.1〜1.0当量の多塩基酸無水物(a3)を反応させることができる。多塩基酸無水物(a3)の量をこの範囲内で調製することによって、(A)成分の酸価を調整することができる。
In the second reaction, it is presumed that the hydroxyl group produced in the first reaction and the hydroxyl group originally present in the epoxy resin (a1) undergo a half-ester reaction with the acid anhydride group of the polybasic acid anhydride (a3). The polybasic acid anhydride (a3) is a saturated or unsaturated group-containing polybasic acid anhydride. Examples of the saturated or unsaturated group-containing polybasic acid anhydride include succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, ethyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, Methylhexahydrophthalic anhydride, ethylhexahydrophthalic anhydride, itaconic anhydride and the like can be used.
In the second reaction, 0.1 to 1.0 equivalent of the polybasic acid anhydride (a3) can be reacted with 1 equivalent of the hydroxyl group in the resin obtained by the first reaction. By adjusting the amount of the polybasic acid anhydride (a3) within this range, the acid value of the component (A) can be adjusted.

(A)成分の酸価は30〜180mgKOH/gであることが好ましく、50〜150mgKOH/gであることがより好ましく、60〜120mgKOH/gであることがさらに好ましい。酸価が30mgKOH/g未満では感光性樹脂組成物の希アルカリ溶液への溶解性が低下する傾向があり、酸価が180mgKOH/gを超えると硬化後において基材等への密着性が低下する傾向がある。第二の反応の反応温度は、60〜120℃であることが好ましい。   The acid value of the component (A) is preferably 30 to 180 mgKOH / g, more preferably 50 to 150 mgKOH / g, and still more preferably 60 to 120 mgKOH / g. If the acid value is less than 30 mgKOH / g, the solubility of the photosensitive resin composition in a dilute alkali solution tends to decrease, and if the acid value exceeds 180 mgKOH / g, the adhesion to a substrate or the like decreases after curing. Tend. The reaction temperature of the second reaction is preferably 60 to 120 ° C.

本発明で用いる(A)エポキシアクリレート化合物としては、CCR−1218H、CCR−1159H、CCR−1222H、TCR−1335H、ZAR−2001H、及びZCR−1569H等(以上、日本化薬株式会社製、商品名)などの市販品が入手可能である。
本実施形態にかかる感光性樹脂組成物を作製する場合、(A)成分の固形分(有機溶剤に溶解している場合、以下同じ)の含有割合が、(A)成分の固形分及び(B)成分の固形分の合計量の50〜95質量%であることが好ましく、55〜90質量%であることがより好ましく、60〜80質量%であることがさらに好ましい。
該含有割合が50質量%未満の場合、形成されるカバーレイ等の永久マスクレジストの耐めっき性及び耐薬品性が低下する傾向がある。一方、配合割合が95質量%を超える場合、形成される永久マスクレジストの可とう性及び感光性樹脂組成物のラミネート性が低下する傾向がある。
Examples of the (A) epoxy acrylate compound used in the present invention include CCR-1218H, CCR-1159H, CCR-1222H, TCR-1335H, ZAR-2001H, ZCR-1569H, etc. (above, Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) ) And other commercial products are available.
When the photosensitive resin composition according to the present embodiment is produced, the content ratio of the solid content of the component (A) (the same applies hereinafter when dissolved in the organic solvent) is the solid content of the component (A) and (B ) It is preferably 50 to 95% by mass, more preferably 55 to 90% by mass, and still more preferably 60 to 80% by mass of the total amount of the solid content of the component.
When this content rate is less than 50 mass%, there exists a tendency for the plating resistance and chemical resistance of permanent mask resists, such as a coverlay formed, to fall. On the other hand, when the blending ratio exceeds 95% by mass, the flexibility of the formed permanent mask resist and the laminating property of the photosensitive resin composition tend to deteriorate.

(B)カルボキシル基を有するアクリル系樹脂、すなわち(B)成分としては、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルを含む重合性単量体をラジカル重合させることにより製造することができる。
(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、下記一般式(2)で表される化合物、及び下記一般式(2)のアルキル基にヒドロキシル基、エポキシ基、ハロゲン等が置換されたものが挙げられる。
(B) Acrylic resin having a carboxyl group, that is, (B) component, can be produced by radical polymerization of a polymerizable monomer containing (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid alkyl ester. .
Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include a compound represented by the following general formula (2), and an alkyl group of the following general formula (2) in which a hydroxyl group, an epoxy group, a halogen, or the like is substituted.

Figure 2009198966

[一般式(2)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Rは炭素数1〜12のアルキル基を示す。]
上記一般式(2)のRで表されるアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、及びこれらの構造異性体が挙げられる。
上記一般式(2)で表される化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸プロピルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸ペンチルエステル、(メタ)アクリル酸ヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ヘプチルエステル、(メタ)アクリル酸オクチルエステル、(メタ)アクリル酸−2−エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ノニルエステル、(メタ)アクリル酸デシルエステル、(メタ)アクリル酸ウンデシルエステル、及び(メタ)アクリル酸ドデシルエステルが挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
上記一般式(2)で表される化合物は、耐めっき性の観点から、Rが炭素数4〜12のアルキル基であることが好ましい。
Figure 2009198966

[In General Formula (2), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 2 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. ]
Examples of the alkyl group represented by R 2 in the general formula (2) include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, a nonyl group, a decyl group, An undecyl group, a dodecyl group, and these structural isomers are mentioned.
Examples of the compound represented by the general formula (2) include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid propyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) ) Acrylic acid pentyl ester, (meth) acrylic acid hexyl ester, (meth) acrylic acid heptyl ester, (meth) acrylic acid octyl ester, (meth) acrylic acid-2-ethylhexyl ester, (meth) acrylic acid nonyl ester, ( Examples include meth) acrylic acid decyl ester, (meth) acrylic acid undecyl ester, and (meth) acrylic acid dodecyl ester. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
In the compound represented by the general formula (2), R 2 is preferably an alkyl group having 4 to 12 carbon atoms from the viewpoint of plating resistance.

(B)成分は、基材上に形成される永久マスクレジストの耐めっき性、可とう性及び現像性を一層向上させる観点から、(メタ)アクリル酸と該(メタ)アクリル酸のアルキルエステルとを構成モノマーとして含むものであることが好ましい。
(B)成分は、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステル以外の他の重合性単量体を構成モノマーとして更に含んでいてもよい。かかる他の重合性単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等のα−位又は芳香族環において置換されている重合可能なスチレン誘導体、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド、アクリロニトリル、ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、β−スチリル(メタ)アクリル酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、及びプロピオール酸などが挙げられる。これらは1種を単独で、又は2種以上組み合わせて用いてもよい。
The component (B) contains (meth) acrylic acid and an alkyl ester of the (meth) acrylic acid from the viewpoint of further improving the plating resistance, flexibility and developability of the permanent mask resist formed on the substrate. Is preferable as a constituent monomer.
The component (B) may further contain a polymerizable monomer other than (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid alkyl ester as a constituent monomer. Examples of such other polymerizable monomers include polymerizable styrene derivatives substituted at the α-position or aromatic ring such as styrene, vinyltoluene, α-methylstyrene, acrylamide such as diacetone acrylamide, and acrylonitrile. , Vinyl alcohol esters such as vinyl-n-butyl ether, (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, (meth) acrylic acid dimethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid diethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid glycidyl ester 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, α-bromo (meth) acrylic acid, α-chloro ( (Meth) acrylic acid, β-furyl (meth) Acrylic acid, β-styryl (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, monoester maleate, monoethyl maleate, monoisopropyl maleate, fumaric acid, cinnamic acid, α-cyanocinnamic Examples include acid, itaconic acid, crotonic acid, and propiolic acid. You may use these individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

(B)成分の重量平均分子量は、硬化後の永久マスクレジストの良好な機械強度と感光性樹脂組成物のアルカリ現像性とのバランスを図る観点から、20,000〜300,000であることが好ましく、30,000〜150,000であることがより好ましく、40,000〜100,000であることがさらに好ましい。この重量平均分子量が、20,000未満では、フィルム形成性が低下する傾向があり、300,000を超えると、現像性が低下する傾向がある。
なお、本発明における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定され、標準ポリスチレンを用いて作製した検量線により換算された値である。
The weight average molecular weight of the component (B) is 20,000 to 300,000 from the viewpoint of balancing the good mechanical strength of the cured permanent mask resist with the alkali developability of the photosensitive resin composition. Preferably, it is 30,000 to 150,000, more preferably 40,000 to 100,000. When the weight average molecular weight is less than 20,000, the film formability tends to decrease, and when it exceeds 300,000, the developability tends to decrease.
In addition, the weight average molecular weight in this invention is a value measured by the gel permeation chromatography method, and converted with the analytical curve produced using standard polystyrene.

(B)成分のカルボキシル基を含有する重合性単量体の比率は、(B)成分を構成する全ての重合性単量体の15〜50モル%であることが好ましい。カルボキシル基含有率が15モル%未満の場合、感光性樹脂組成物の現像性が低下する傾向があり、50モル%を超えると、永久マスクレジストのパターン形成が困難となる傾向がある。なお、(B)成分は、感光性樹脂組成物のアルカリ現像性を良好にする観点から、アルカリ水溶液に可溶又は膨潤可能であることが好ましい。   (B) It is preferable that the ratio of the polymerizable monomer containing the carboxyl group of a component is 15-50 mol% of all the polymerizable monomers which comprise (B) component. When the carboxyl group content is less than 15 mol%, the developability of the photosensitive resin composition tends to be lowered, and when it exceeds 50 mol%, the pattern formation of the permanent mask resist tends to be difficult. In addition, it is preferable that (B) component is soluble or swellable in aqueous alkali solution from a viewpoint of making the alkali developability of the photosensitive resin composition favorable.

(B)成分の酸価は、50〜200mgKOH/gであることが好ましく、60〜100mgKOH/gであることがより好ましい。酸価が50mgKOH/g未満であると現像性が悪化するため解像度が不十分となる傾向があり、他方、200mgKOH/gを超えると永久マスクレジストの耐電食性が不十分となる傾向がある。
また、(B)成分のTgは、30〜100℃であることが好ましく、40〜70℃であることがより好ましい。Tgが30℃未満であると感光性フィルム形成時の塗膜形成後のタックが大きくなりラミネートの際に不具合が発生する傾向がある。一方、Tgが100℃を超えると、形成した永久マスクレジストの十分な柔軟性を得られない傾向がある。
(B) It is preferable that the acid value of a component is 50-200 mgKOH / g, and it is more preferable that it is 60-100 mgKOH / g. If the acid value is less than 50 mgKOH / g, the developability deteriorates and the resolution tends to be insufficient. On the other hand, if it exceeds 200 mgKOH / g, the electric corrosion resistance of the permanent mask resist tends to be insufficient.
Moreover, it is preferable that Tg of (B) component is 30-100 degreeC, and it is more preferable that it is 40-70 degreeC. If the Tg is less than 30 ° C., the tack after forming the coating film at the time of forming the photosensitive film tends to be large, and there is a tendency for problems to occur during lamination. On the other hand, when Tg exceeds 100 ° C., there is a tendency that sufficient flexibility of the formed permanent mask resist cannot be obtained.

本実施形態にかかる感光性樹脂組成物を作製する場合、(B)成分の固形分の含有割合が、(A)成分の固形分及び(B)成分の固形分の合計量の5〜50質量%であることが好ましく、10〜45質量%であることがより好ましく、20〜40質量%であることがさらに好ましい。
該含有割合が5質量%未満の場合、形成される永久マスクレジストの可とう性及び感光性樹脂組成物のラミネート性が低下する傾向がある。一方、該配合割合が50質量%を超えると、形成されるカバーレイ等の永久マスクレジストの耐めっき性及び耐薬品性が低下する傾向がある。
When producing the photosensitive resin composition concerning this embodiment, the content rate of the solid content of (B) component is 5-50 mass of the total amount of the solid content of (A) component, and the solid content of (B) component. %, More preferably 10 to 45% by mass, and still more preferably 20 to 40% by mass.
When this content rate is less than 5 mass%, there exists a tendency for the flexibility of the permanent mask resist formed and the laminating property of the photosensitive resin composition to fall. On the other hand, when the blending ratio exceeds 50% by mass, the plating resistance and chemical resistance of a permanent mask resist such as a coverlay formed tend to be lowered.

また、本実施形態にかかる感光性樹脂組成物を作製する場合、(A)成分の固形分と(B)成分の固形分との合計の配合割合が、(A)成分の固形分と(B)成分の固形分と(D)成分との合計量の30〜90質量%であることが好ましく、50〜85質量%であることがより好ましく、60〜80質量%であることがさらに好ましい。
該配合割合が、30質量%未満では、アルカリ現像性の低下や感光性フィルムとした場合に感光性樹脂組成物層が柔らかくなってフィルム端面からのしみ出しが発生する傾向がある。一方、該配合割合が90質量%を超えると、光照射によって硬化する際の感光性樹脂組成物の感度の低下や形成される永久マスクレジストの耐めっき性及び耐薬品性が低下する傾向がある。
Moreover, when producing the photosensitive resin composition concerning this embodiment, the total compounding ratio of the solid content of (A) component and the solid content of (B) component is the solid content of (A) component and (B ) The solid content of the component and the total amount of the component (D) are preferably 30 to 90% by mass, more preferably 50 to 85% by mass, and still more preferably 60 to 80% by mass.
When the blending ratio is less than 30% by mass, the photosensitive resin composition layer tends to soften and ooze out from the film end face when the alkali developability is lowered or a photosensitive film is formed. On the other hand, when the blending ratio exceeds 90% by mass, the sensitivity of the photosensitive resin composition when cured by light irradiation and the plating resistance and chemical resistance of the formed permanent mask resist tend to decrease. .

また、本実施形態における(C)グアナミン化合物は、上記一般式(1)で表されるグアナミン化合物を必須成分として含有する。一般式(1)中、Rは水素原子、アルキル基又は置換基を有していてもよいアリール基を示す。前記アルキル基としては、炭素数1〜20のアルキル基が好ましく、炭素数1〜10のアルキル基がより好ましく、炭素数1〜5のアルキル基がさらに好ましい。前記置換基を有していてもよいアリール基としては、置換基を有していてもよいフェニル基が好ましい。なかでも、一般式(1)で表されるグアナミン化合物のうち、Rがメチル基であるアセトグアナミン、又は、Rがフェニル基であるベンゾグアナミンが特に好適である。このようなグアナミン化合物は単体または2種類以上の組合せで使用することができる。 Moreover, the (C) guanamine compound in this embodiment contains the guanamine compound represented by the said General formula (1) as an essential component. In the general formula (1), R 1 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group which may have a substituent. As said alkyl group, a C1-C20 alkyl group is preferable, a C1-C10 alkyl group is more preferable, and a C1-C5 alkyl group is further more preferable. The aryl group which may have a substituent is preferably a phenyl group which may have a substituent. Especially, among the guanamine compounds represented by the general formula (1), acetoguanamine in which R 1 is a methyl group or benzoguanamine in which R 1 is a phenyl group is particularly preferable. Such guanamine compounds can be used alone or in combination of two or more.

本実施形態にかかる感光性樹脂組成物を作製する場合、(C)成分の含有割合は、(A)成分の固形分と(B)成分の固形分と(D)成分との合計量の0.01〜10質量%とすることが好ましく、0.1〜5質量%とすることがより好ましく、0.3〜1.5質量%とすることがさらに好ましい。(C)成分をこのような含有量で含むことにより、耐めっき性及び安定性がバランスよく優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。   When producing the photosensitive resin composition concerning this embodiment, the content rate of (C) component is 0 of the total amount of solid content of (A) component, solid content of (B) component, and (D) component. The content is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.1 to 5% by mass, and still more preferably 0.3 to 1.5% by mass. By including the component (C) at such a content, a photosensitive resin composition having excellent balance of plating resistance and stability can be obtained.

本実施形態における(D)分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物は、少なくとも一つのエチレン性不飽和基を分子内に含有することを特徴とする。例えば、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリブトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等のビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物、グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させで得られる化合物、分子内にウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー、ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β′−(メタ)アクリロイルオキシアルキル−o−フタレート等のフタル酸系化合物、(メタ)アクリル酸アルキルエステル等が挙げられるが、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物を必須成分とすることが好ましい。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。   The photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group polymerizable in the molecule (D) in the present embodiment is characterized by containing at least one ethylenically unsaturated group in the molecule. For example, a compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4 -((Meth) acryloxypolypropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolybutoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypoly) Bisphenol A-based (meth) acrylate compounds such as ethoxypolypropoxy) phenyl) propane, compounds obtained by reacting glycidyl group-containing compounds with α, β-unsaturated carboxylic acids, (meth) acrylates having a urethane bond in the molecule Urethane monomers such as compounds, nonylphenoxypolyethyleneoxyacrylate, γ-chloro-β-hydroxypropyl Examples include phthalic acid compounds such as β '-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate and β-hydroxyalkyl-β'-(meth) acryloyloxyalkyl-o-phthalate, and (meth) acrylic acid alkyl esters. However, it is preferable to use a bisphenol A (meth) acrylate compound as an essential component. These may be used alone or in combination of two or more.

上記多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が2〜14であるポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2〜14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレン基の数が2〜14であり、プロピレン基の数が2〜14であるポリエチレンポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO,PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the compound obtained by reacting the polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid include, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 to 2 propylene groups. Polypropylene glycol di (meth) acrylate being 14, polyethylene polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 to 14 propylene groups, trimethylolpropane di (meth) acrylate, Trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO, PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetri (meta) ) Acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and the like.

上記2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘプタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシオクタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシノナエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシウンデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシドデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサデカエトキシ)フェニル)プロパン等が挙げられ、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−500(新中村化学工業株式会社製、製品名)として商業的に入手可能であり、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−1300(新中村化学工業株式会社製、製品名)として商業的に入手可能である。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
上記2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
Examples of the 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxy) phenyl) propane, 2,2 -Bis (4-((meth) acryloxytriethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meta ) Acryloxypentaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyheptaethoxy) phenyl) Propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxynonane) Xyl) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyundecaethoxy) phenyl) propane, 2 , 2-bis (4-((meth) acryloxydodecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytridecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- ((Meth) acryloxytetradecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxy) Hexadecaethoxy) phenyl) propane and the like, and 2,2-bis (4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl) propane is BPE- 00 (made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name) is commercially available, and 2,2-bis (4- (methacryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane is BPE-1300 (Shin-Nakamura Chemical Industry) It is commercially available as a product name). These may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxyoctapropoxy) phenyl) propane. 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxytetrapropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxyhexapropoxy) phenyl) propane and the like. . These may be used alone or in combination of two or more.

上記分子内にウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、β位にOH基を有する(メタ)アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、2,4−トルエンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス((メタ)アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート)ヘキサメチレンイソシアヌレート、EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、EO,PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業株式会社製、製品名UA−11等が挙げられる。また、EO,PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業株式会社製、製品名UA−13等が挙げられる。
なお、EOはエチレンオキサイドを示し、EO変性された化合物はエチレンオキサイド基のブロック構造を有する。また、POはプロピレンオキサイドを示し、PO変性された化合物はプロピレンオキサイド基のブロック構造を有する。
Examples of the (meth) acrylate compound having a urethane bond in the molecule include, for example, a (meth) acryl monomer having an OH group at the β-position, isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, 1, 6-reaction products with diisocyanate compounds such as hexamethylene diisocyanate, tris ((meth) acryloxytetraethylene glycol isocyanate) hexamethylene isocyanurate, EO-modified urethane di (meth) acrylate, EO, PO-modified urethane di (meth) acrylate, etc. Is mentioned. Examples of the EO-modified urethane di (meth) acrylate include Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name UA-11, and the like. Examples of EO and PO-modified urethane di (meth) acrylate include Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name UA-13, and the like.
Note that EO represents ethylene oxide, and the EO-modified compound has a block structure of an ethylene oxide group. PO represents propylene oxide, and the PO-modified compound has a block structure of propylene oxide groups.

前記ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシアクリレート等が挙げられる。   Examples of the nonylphenoxypolyethyleneoxyacrylate include nonylphenoxytetraethyleneoxyacrylate, nonylphenoxypentaethyleneoxyacrylate, nonylphenoxyhexaethyleneoxyacrylate, nonylphenoxyheptaethyleneoxyacrylate, nonylphenoxyoctaethyleneoxyacrylate, nonylphenoxynonaethylene Examples include oxyacrylate, nonylphenoxydecaethyleneoxyacrylate, and nonylphenoxyundecaethyleneoxyacrylate.

本実施形態にかかる感光性樹脂組成物を作製する場合、(D)成分の含有割合は、(A)成分の固形分と(B)成分の固形分と(D)成分との合計量の5〜60質量%とすることが好ましく、10〜50質量%とすることがより好ましく、15〜40質量%とすることがさらに好ましい。   When producing the photosensitive resin composition concerning this embodiment, the content rate of (D) component is 5 of the total amount of solid content of (A) component, solid content of (B) component, and (D) component. It is preferable to set it as -60 mass%, It is more preferable to set it as 10-50 mass%, It is more preferable to set it as 15-40 mass%.

本実施形態における(E)光重合開始剤としては、例えば、置換又は非置換の多核キノン類(2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン等)、α−ケタルドニルアルコール類(ベンゾイン、ピバロン等)、エーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン類(α−フェニル−ベンゾイン、α,α−ジエトキシアセトフェノン等)、芳香族ケトン類(ベンゾフェノン、4,4’−ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等)、チオキサントン類(2−メチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−エチルチオキサントン等)、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モノホリノ−プロパノン−1が挙げられ、これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。   Examples of the (E) photopolymerization initiator in the present embodiment include substituted or unsubstituted polynuclear quinones (2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2, 3-diphenylanthraquinone, etc.), α-ketaldonyl alcohols (benzoin, pivalon, etc.), ethers, α-hydrocarbon substituted aromatic acyloins (α-phenyl-benzoin, α, α-diethoxyacetophenone, etc.), Aromatic ketones (benzophenone, 4,4′-bisdialkylaminobenzophenone, etc.), thioxanthones (2-methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, etc.) 2-methyl-1- [4 -(Methylthio) phenyl] -2-monophorino-propanone-1 may be mentioned, and these may be used alone or in combination of two or more.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物を製造する場合、(E)成分の含有割合は、(A)成分の固形分と(B)成分の固形分と(D)成分との合計量の0.01〜20質量%であることが好ましく、0.1〜10質量%であることがより好ましく、0.5〜5質量%であることがさらに好ましい。
該含有割合が、0.01質量%未満の場合は、光照射によって硬化する際の感光性樹脂組成物の感度が低下する傾向があり、20質量%を超える場合は、形成される永久マスクレジストの耐めっき性が低下する傾向がある。
When manufacturing the photosensitive resin composition which concerns on this embodiment, the content rate of (E) component is 0 of the total amount of solid content of (A) component, solid content of (B) component, and (D) component. It is preferably 0.01 to 20% by mass, more preferably 0.1 to 10% by mass, and still more preferably 0.5 to 5% by mass.
When the content ratio is less than 0.01% by mass, the sensitivity of the photosensitive resin composition when cured by light irradiation tends to decrease, and when it exceeds 20% by mass, a permanent mask resist is formed. There is a tendency for the plating resistance of the steel to decrease.

本実施形態における(F)熱硬化剤としては、例えば、加熱によりそれ自体が架橋する熱硬化剤、即ち、熱を加えることにより、高分子網目を形成する硬化剤や加熱により(A)成分及び(B)成分のカルボキシル基と反応し3次元構造を形成する硬化剤等が挙げられる。
加熱によりそれ自体が架橋する熱硬化剤としては、ビスマレイミド化合物が挙げられる。ビスマレイミド化合物はm−ジ−N−マレイミジルベンゼン、ビス(4−N−マレイミジルフェニル)メタン、2,2−ビス(4−N−マレイミジルフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−N−マレイミジル2,5−ジブロモフェニル)プロパン、2,2−ビス〔(4−N−マレイミジルフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔(4−N−マレイミジル−2−メチル−5−エチルフェニル)プロパン等の各種ビスマレイミド化合物がそのままもしくは混合物として用いられる。これらのビスマレイミド化合物は単体としても各種樹脂との変性物でもどちらも用いることが可能である。
As the (F) thermosetting agent in the present embodiment, for example, a thermosetting agent that itself crosslinks by heating, that is, a curing agent that forms a polymer network by applying heat, and (A) component and (B) The hardening | curing agent etc. which react with the carboxyl group of a component and form a three-dimensional structure are mentioned.
A bismaleimide compound is mentioned as a thermosetting agent which bridge | crosslinks itself by heating. Bismaleimide compounds include m-di-N-maleimidylbenzene, bis (4-N-maleimidylphenyl) methane, 2,2-bis (4-N-maleimidylphenyl) propane, and 2,2-bis. (4-N-maleimidyl 2,5-dibromophenyl) propane, 2,2-bis [(4-N-maleimidylphenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [(4-N-malemidyl-2- Various bismaleimide compounds such as methyl-5-ethylphenyl) propane are used as they are or as a mixture. These bismaleimide compounds can be used either alone or modified with various resins.

加熱により(A)成分及び(B)成分のカルボキシル基と反応し、3次元構造を形成する硬化剤としては、ブロックイソシアネート化合物が挙げられる。ブロックイソシアネート化合物としては、アルコール化合物、フェノール化合物、ε−カプロラクタム、オキシム化合物、活性メチレン化合物等のブロック剤によりブロック化されたポリイソシアネート化合物が挙げられる。
ブロック化されたポリイソシアネート化合物としては、4,4−ジフェニルメタンジシソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン1,5−ジイソシアネート、o−キシレンジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、2,4−トリレンダイマー等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、イソホロンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネートが挙げられ、耐熱性の観点からは芳香族ポリイソシアネートが、着色防止の観点からは脂肪族ポリイソシアネート又は脂環式ポリイソシアネートが好ましい。
A block isocyanate compound is mentioned as a hardening | curing agent which reacts with the carboxyl group of (A) component and (B) component by heating, and forms a three-dimensional structure. Examples of the blocked isocyanate compound include polyisocyanate compounds blocked with a blocking agent such as an alcohol compound, a phenol compound, ε-caprolactam, an oxime compound, and an active methylene compound.
Blocked polyisocyanate compounds include 4,4-diphenylmethane disisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene 1,5-diisocyanate, o-xylene diisocyanate, m-xylene Aromatic polyisocyanates such as diisocyanates and 2,4-tolylene dimers, aliphatic polyisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate) and isophorone diisocyanate, and alicyclic polyisocyanates such as bicycloheptane triisocyanate An aromatic polyisocyanate is preferable from the viewpoint of heat resistance, and an aliphatic polyisocyanate or an alicyclic polyisocyanate is preferable from the viewpoint of preventing coloring.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物を製造する場合、(F)成分の固形分の配合割合は、(A)成分の固形分と(B)成分の固形分と(D)成分との合計量の5〜30質量%とすることが好ましく、10〜25質量%であることがより好ましい。該配合割合が上記範囲内であることにより、形成される永久マスクレジストの耐めっき性及び耐薬品性をさらに向上することができる。   When manufacturing the photosensitive resin composition which concerns on this embodiment, the compounding ratio of the solid content of (F) component is the sum total of solid content of (A) component, solid content of (B) component, and (D) component. It is preferable to set it as 5-30 mass% of quantity, and it is more preferable that it is 10-25 mass%. When the blending ratio is within the above range, the plating resistance and chemical resistance of the permanent mask resist to be formed can be further improved.

この感光性樹脂組成物は、上記(A)〜(F)成分を必須成分とすることによって、FPCのカバーレイのようなフィルム状の基材上に形成される永久マスクレジストとして要求される種々の特性(特に耐めっき性、安定性、可とう性、耐薬品性及び解像性)を十分に満足することができる。
さらに、本実施形態に係る感光性樹脂組成物はアルカリ水溶液で現像可能であるため、良好な現像性を有する。また、(A)〜(F)成分を必須成分として含有する感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を備えた感光性フィルムを用いることによって、かかる種々の特性を向上することが可能となり、特にFPCのカバーレイのようなフィルム状の基材上に形成される永久マスクレジストの効率的な生産が可能となる。
本実施形態の感光性樹脂組成物には、上述した(A)〜(F)成分に加えて、更に染料、顔料、可塑剤、及び安定剤等を必要に応じて添加することができる。
This photosensitive resin composition is required as a permanent mask resist formed on a film-like substrate such as an FPC coverlay by using the above components (A) to (F) as essential components. Characteristics (particularly plating resistance, stability, flexibility, chemical resistance and resolution) can be sufficiently satisfied.
Furthermore, since the photosensitive resin composition according to this embodiment can be developed with an alkaline aqueous solution, it has good developability. Various characteristics can be improved by using a photosensitive film provided with a photosensitive resin composition layer comprising a photosensitive resin composition containing components (A) to (F) as essential components. In particular, it is possible to efficiently produce a permanent mask resist formed on a film-like substrate such as an FPC coverlay.
In addition to the components (A) to (F) described above, dyes, pigments, plasticizers, stabilizers, and the like can be further added to the photosensitive resin composition of the present embodiment as necessary.

以下、本発明における感光性フィルムの好適な実施形態について詳細に説明する。
感光性フィルム1に備えられる支持体10及び保護フィルム30としては、耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルム、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等からなるフィルムを用いることができ、このうち、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。また、支持体10及び保護フィルム30に用いられるフィルムは多層構造を有していても良い。更に片面もしくは両面にエンボスなどの処理を施してあっても良い。
なお、支持体10又は保護フィルム30である重合性フィルムは、所定の工程後に感光性樹脂組成物層20の表面、又は感光性樹脂組成物を硬化させて得られる永久マスクレジストの表面から除去されるものであるため、除去不可能となるような材質のものや表面処理が施されたものを用いることはできない。
支持体10又は保護フィルム30の厚さは、5〜100μmとすることが好ましく、10〜30μmとすることがより好ましい。該厚さが、5μm未満の場合は、回路被覆性が低下する傾向があり、該厚さが100μmを超える場合は、永久マスクレジストパターン形成が困難となる傾向がある。
本実施形態に係る感光性フィルム1は、支持体10の上に、本実施形態に係る感光性樹脂組成物の層を積層することにより製造することができる。本実施形態に係る感光性フィルム1の製造方法の一例を以下に詳細に説明する。
まず、(A)〜(F)成分を必須成分として含有する感光性樹脂組成物を、溶剤に均一に溶解する。この時に使用する溶剤としては、感光性樹脂組成物を溶解する溶剤であればよく、例えば、ケトン系溶剤(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等)、エーテル系溶剤(メチルソロソルブ、エチルセロソルブ等)、塩素化炭化水素系溶剤(ジクロルメタン、クロロホルム等)、アルコール系溶剤(メチルアルコール、エチルアルコール等)などを用いることができる。これらの溶剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
次いで、感光性樹脂組成物を含有する溶液を、支持体10である重合体フィルム上に、均一に塗布した後、加熱及び熱風吹き付けの一方又は双方によって溶剤を除去して乾燥皮膜とすることができる。乾燥皮膜の厚さは、特に制限はなく、10〜100μmであることが好ましく、20〜60μmであることがより好ましい。
このようにして得られた感光性樹脂組成物層20と支持体10との2層からなる感光性フィルムは、そのままで又はロール状に巻き取って貯蔵することができる。
また、感光性樹脂組成物層20と支持体10との2層からなる感光性フィルムの感光性樹脂組成物層20の主面(支持体10と接している側とは反対側の面)上に保護フィルム30をさらに積層して、感光性樹脂組成物層20が支持体10と保護フィルム30に挟まれた構造を有する感光性フィルム1を製造することができる。感光性フィルム1も、そのままで又はロール状に巻き取って貯蔵することができる。
Hereinafter, preferred embodiments of the photosensitive film in the present invention will be described in detail.
As the support 10 and the protective film 30 provided in the photosensitive film 1, a polymer film having heat resistance and solvent resistance, for example, a film made of polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, polyester or the like can be used. Of these, a polyethylene terephthalate film is preferred. Moreover, the film used for the support body 10 and the protective film 30 may have a multilayer structure. Further, embossing or the like may be performed on one side or both sides.
The polymerizable film as the support 10 or the protective film 30 is removed from the surface of the photosensitive resin composition layer 20 after a predetermined step or the surface of a permanent mask resist obtained by curing the photosensitive resin composition. Therefore, it is impossible to use a material that cannot be removed or a surface-treated one.
The thickness of the support 10 or the protective film 30 is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 30 μm. When the thickness is less than 5 μm, the circuit coverage tends to be reduced, and when the thickness exceeds 100 μm, it tends to be difficult to form a permanent mask resist pattern.
The photosensitive film 1 which concerns on this embodiment can be manufactured by laminating | stacking the layer of the photosensitive resin composition which concerns on this embodiment on the support body 10. FIG. An example of the method for producing the photosensitive film 1 according to this embodiment will be described in detail below.
First, the photosensitive resin composition containing the components (A) to (F) as essential components is uniformly dissolved in a solvent. The solvent used at this time may be any solvent that dissolves the photosensitive resin composition. For example, ketone solvents (acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, etc.), ether solvents (methyl solosolv, ethyl cellosolve, etc.) Chlorinated hydrocarbon solvents (dichloromethane, chloroform, etc.), alcohol solvents (methyl alcohol, ethyl alcohol, etc.), etc. can be used. These solvents can be used alone or in combination of two or more.
Next, after the solution containing the photosensitive resin composition is uniformly coated on the polymer film as the support 10, the solvent is removed by one or both of heating and hot air blowing to form a dry film. it can. There is no restriction | limiting in particular in the thickness of a dry film | membrane, It is preferable that it is 10-100 micrometers, and it is more preferable that it is 20-60 micrometers.
The photosensitive film composed of the two layers of the photosensitive resin composition layer 20 and the support 10 thus obtained can be stored as it is or in a roll shape.
Moreover, on the main surface (surface opposite to the side in contact with the support 10) of the photosensitive resin composition layer 20 of the photosensitive film composed of two layers of the photosensitive resin composition layer 20 and the support 10. A photosensitive film 1 having a structure in which the photosensitive resin composition layer 20 is sandwiched between the support 10 and the protective film 30 can be produced by further laminating the protective film 30 on the substrate. The photosensitive film 1 can also be stored as it is or rolled up.

本実施形態に係る感光性フィルム1を用いて基材上にフォトレジスト画像を形成することにより永久マスクレジストを製造する方法の一実施形態を説明する。
本実施形態における永久マスクレジストの製造方法は、基材上に感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層20を積層する積層工程と、活性光線を感光性樹脂組成物層20の所定部分に照射して感光性樹脂組成物層20に光硬化部を形成させる露光工程と、感光性樹脂組成物層20の光硬化部以外の部分を除去する現像工程とを含む。
基材としては特に制限はなく、回路形成用基板やプリント配線板などのほか、フィルム状の基材、エッチング等により配線が形成されたフレキシブルプリント配線板を好適に用いることができる。フィルム状の基材やフレキシブルプリント配線板は公知の物であってよく、フレキシブルプリント配線板は、例えば公知のフレキシブル基板上に銅等の導電体を公知の方法で形成することによって得ることができる。
積層工程では、感光性フィルム1の保護フィルム30を感光性樹脂組成物層20から除去した後、感光性樹脂組成物層20の主面と基材とを接触させ加熱しながら圧着することによって、基材上に感光性樹脂組成物層20と支持体10とを積層する。この積層は、減圧下で行うことが好ましい。感光性樹脂組成物層20が積層される基材の面としては、特に制限はないが、エッチング等により配線が形成されるフレキシブルプリント配線板の導電体層の面であることが好ましい。
積層時の感光性樹脂組成物層20の加熱温度は、特に制限はなく、50〜100℃とすることが好ましい。圧着時の圧着圧力は、特に制限はなく、0.2〜0.5MPaとすることが好ましく、圧着時の周囲の圧力は、4000Pa(30mmHg)以下の減圧状態とすることが好ましい。
なお、本実施形態においては、感光性樹脂組成物層20を上記のように加熱するため、予め基材を予熱処理することは必要ではないが、感光性樹脂組成物層20と基材との密着性を更に向上させるために、基材の予熱処理を行ってもよい。
An embodiment of a method for producing a permanent mask resist by forming a photoresist image on a substrate using the photosensitive film 1 according to this embodiment will be described.
The manufacturing method of the permanent mask resist in the present embodiment includes a laminating step of laminating a photosensitive resin composition layer 20 made of a photosensitive resin composition on a substrate, and a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer 20 with actinic rays. And an exposure step of forming a photocured portion on the photosensitive resin composition layer 20 and a developing step of removing portions other than the photocured portion of the photosensitive resin composition layer 20.
The substrate is not particularly limited, and a flexible printed wiring board on which wiring is formed by a film-like substrate or etching or the like can be suitably used in addition to a circuit forming substrate and a printed wiring board. A film-like base material or a flexible printed wiring board may be a known material, and the flexible printed wiring board can be obtained, for example, by forming a conductor such as copper on a known flexible substrate by a known method. .
In the laminating step, after removing the protective film 30 of the photosensitive film 1 from the photosensitive resin composition layer 20, the main surface of the photosensitive resin composition layer 20 and the substrate are brought into contact with each other and heated and pressure bonded. The photosensitive resin composition layer 20 and the support 10 are laminated on the base material. This lamination is preferably performed under reduced pressure. Although there is no restriction | limiting in particular as a surface of the base material with which the photosensitive resin composition layer 20 is laminated | stacked, It is preferable that it is the surface of the conductor layer of the flexible printed wiring board in which wiring is formed by an etching etc.
There is no restriction | limiting in particular in the heating temperature of the photosensitive resin composition layer 20 at the time of lamination | stacking, It is preferable to set it as 50-100 degreeC. There is no restriction | limiting in particular in the crimping | compression-bonding pressure at the time of crimping | bonding, It is preferable to set it as 0.2-0.5 MPa, and it is preferable that the surrounding pressure at the time of crimping | compression-bonding is 4000 Pa (30 mmHg) or less.
In this embodiment, since the photosensitive resin composition layer 20 is heated as described above, it is not necessary to pre-heat the base material in advance, but the photosensitive resin composition layer 20 and the base material In order to further improve the adhesion, the base material may be preheated.

露光工程では、基材上に積層された感光性樹脂組成物層20に、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光線を光照射して画像的に露光し、光硬化部を形成する。この時、感光性樹脂組成物層20上に存在する支持体10が透明の場合には、そのまま露光することができるが、支持体10が不透明の場合には、支持体10を露光前に除去する必要がある。感光性樹脂組成物層20の保護の観点から、透明の支持体10を用いることによって、露光時に支持体10を残存させたまま、露光することが好ましい。
活性光源としては、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク、その他から発生する光等、公知の活性光源を使用することができる。感光性樹脂組成物層20に含まれる光重合開始剤の感受性は、通常、紫外線領域において最大であるため、活性光源は紫外線を有効に放射するものが好ましい。
現像工程では、露光工程後、アルカリ水溶液を用いて、例えばスプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により未露光部を除去して現像することができる。なお、感光性樹脂組成物層20上に支持体10が存在している場合には、これを現像前に感光性樹脂組成物層20上から除去する。
In the exposure step, the photosensitive resin composition layer 20 laminated on the substrate is irradiated with an actinic ray using a negative film or a positive film to be exposed imagewise to form a photocured portion. At this time, when the support 10 existing on the photosensitive resin composition layer 20 is transparent, it can be exposed as it is, but when the support 10 is opaque, the support 10 is removed before exposure. There is a need to. From the viewpoint of protecting the photosensitive resin composition layer 20, it is preferable to use the transparent support 10 so that the exposure is performed with the support 10 remaining at the time of exposure.
As the active light source, for example, a well-known active light source such as light generated from carbon arc, mercury vapor arc, xenon arc, or the like can be used. Since the sensitivity of the photopolymerization initiator contained in the photosensitive resin composition layer 20 is usually maximum in the ultraviolet region, it is preferable that the active light source emits ultraviolet rays effectively.
In the development step, after the exposure step, development can be performed by removing an unexposed portion using an alkaline aqueous solution by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, or scraping. In addition, when the support body 10 exists on the photosensitive resin composition layer 20, this is removed from the photosensitive resin composition layer 20 before image development.

アルカリ水溶液の塩基としては、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウム、カリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが挙げられる。これらの中で、炭酸ナトリウムの水溶液が好ましい。現像に用いるアルカリ水溶液のpHとしては、9〜11とすることが好ましい。現像温度は、感光性樹脂組成物層20の現像性に合わせて調整することができる。なお、アルカリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させることができる。   Examples of the base of the alkaline aqueous solution include alkali hydroxides such as lithium, sodium and potassium hydroxide, alkali carbonates such as lithium, sodium and potassium carbonate or bicarbonate, potassium phosphate and sodium phosphate and the like. Examples thereof include alkali metal phosphates, alkali metal pyrophosphates such as sodium pyrophosphate and potassium pyrophosphate. Of these, an aqueous solution of sodium carbonate is preferred. The pH of the alkaline aqueous solution used for development is preferably 9-11. The development temperature can be adjusted according to the developability of the photosensitive resin composition layer 20. In the alkaline aqueous solution, a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for accelerating development, and the like can be mixed.

さらに、現像後、FPCのカバーレイとしての耐めっき性、耐薬品性等をより一層向上させる目的で、形成された永久マスクレジストに高圧水銀ランプによる紫外線の照射や加熱を施すことができる。紫外線の照射量としては、0.2〜10J/cmとすることが好ましく、この照射の時に、60〜120℃の熱を伴うことが好ましい。また、加熱温度は、120〜170℃とすることが好ましく、加熱時間は15〜90分間とすることが好ましい。なお、紫外線の照射と加熱は、どちらを先に行ってもよい。
このようにして所望の性能を有するカバーレイが形成されたフレキシブルプリント配線板は、LSI等の部品が実装(はんだ付け)された後、カメラ等機器へ装着される。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。
Further, after the development, the formed permanent mask resist can be irradiated with ultraviolet rays or heated by a high-pressure mercury lamp for the purpose of further improving the plating resistance, chemical resistance and the like as an FPC coverlay. It is preferable to set it as 0.2-10 J / cm < 2 > as the irradiation amount of an ultraviolet-ray, and it is preferable to accompany the heat of 60-120 degreeC at the time of this irradiation. The heating temperature is preferably 120 to 170 ° C., and the heating time is preferably 15 to 90 minutes. Note that either ultraviolet irradiation or heating may be performed first.
In this way, the flexible printed wiring board on which the coverlay having the desired performance is formed is mounted on a device such as a camera after components such as LSI are mounted (soldered).
The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment.

以下、実施例及び比較例に基づき本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。
(実施例1〜8及び比較例1〜8)
表1に示す(A)及び(B)成分と、表2に示す(C)〜(F)成分を、表1〜表4で示す比率で配合し、混合溶液を調製した。
なお、(A)及び(B)成分の重合平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定し、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算して求めた。GPCによる測定の条件を以下に示す。
ポンプ:日立 L−6000型(株式会社日立製作所製、商品名)
カラム:Gelpack GL−R420 + Gelpack GL−R430 +
Gelpack GL−R440(計3本)(以上、日立化成工業株式会社製、商品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:室温(25℃)
流量:2.05ml/分
検出器:日立 L−3300型RI(株式会社日立製作所製、商品名)
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to a following example at all.
(Examples 1-8 and Comparative Examples 1-8)
Components (A) and (B) shown in Table 1 and components (C) to (F) shown in Table 2 were blended in the ratios shown in Tables 1 to 4 to prepare mixed solutions.
In addition, the polymerization average molecular weight of (A) and (B) component was measured by gel permeation chromatography (GPC), and it calculated | required by converting with the analytical curve using a standard polystyrene. The measurement conditions by GPC are shown below.
Pump: Hitachi L-6000 type (manufactured by Hitachi, Ltd., trade name)
Column: Gelpack GL-R420 + Gelpack GL-R430 +
Gelpack GL-R440 (3 in total) (above, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name)
Eluent: Tetrahydrofuran Measurement temperature: Room temperature (25 ° C)
Flow rate: 2.05 ml / min Detector: Hitachi L-3300 type RI (manufactured by Hitachi, Ltd., trade name)

Figure 2009198966
*1:ビスフェノールA型エポキシアクリレート化合物(日本化薬株式会社製、商品名)
*2:クレゾールノボラック型エポキシアクリレート化合物(日本化薬株式会社製、商品名)
Figure 2009198966
* 1: Bisphenol A type epoxy acrylate compound (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name)
* 2: Cresol novolac epoxy acrylate compound (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name)

Figure 2009198966
Figure 2009198966

Figure 2009198966
Figure 2009198966

Figure 2009198966

調製した混合溶液を、支持体としてのポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ:25μm)上に均一に塗布し、100℃の熱風循環式乾燥器で5分間乾燥して溶剤を除去し、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を形成した。感光性樹脂組成物層の乾燥後の厚さは、40μmであった。
Figure 2009198966

The prepared mixed solution is uniformly coated on a polyethylene terephthalate film (thickness: 25 μm) as a support, dried for 5 minutes in a 100 ° C. hot-air circulating dryer to remove the solvent, and a photosensitive resin composition The photosensitive resin composition layer which consists of was formed. The thickness after drying of the photosensitive resin composition layer was 40 μm.

次いで、感光性樹脂組成物層の主面(支持体と接している側とは反対側の面)上に、ポリエチレンフィルムを保護フィルムとして貼り合わせ、感光性樹脂組成物層が支持体と保護フィルムとの間に挟まれた感光性フィルムを作製した。
別に、35μm厚銅箔をポリイミド基材に積層したFPC用基板(ニッカン工業株式会社製、商品名:F30VC125RC11)の銅表面を砥粒ブラシで研磨し、水洗して乾燥した。
作製した感光性フィルムから保護フィルムであるポリエチレンフィルムをはく離した後、真空加圧式ラミネータ(株式会社名機製作所製、型式:MVLP−500)を用いて、感光性樹脂組成物層をFPC基板側に向けて上記FPC用基板上に感光性フィルムをラミネートして積層試料を作製した。
真空加圧式ラミネータによる積層試料の作製は、成形温度90℃、成形圧力0.4MPa(4kgf/cm)、真空時間及び加圧時間を30秒間の条件で行った。
ラミネート終了後、23℃まで冷却し、1時間以上放置した後、得られた試料にストーファーの21段ステップタブレットを使用して、株式会社オーク製作所製、HMW−201B型露光機で、150mJ/cmで露光した後、常温(25℃)で30分間放置した。
次いで、1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、30℃で50秒間スプレー現像した後、160℃で50分間の加熱処理を行い、更に、東芝電材株式会社製、東芝紫外線照射装置(定格電圧200V、定格消費電力7.2kW、H5600L/2xランプ1本)を使用し、1J/cmの紫外線照射を行い、FPC用基板上に永久マスクレジスト(カバーレイ)を形成した。
Next, a polyethylene film is bonded as a protective film on the main surface of the photosensitive resin composition layer (the surface opposite to the side in contact with the support), and the photosensitive resin composition layer is the support and the protective film. A photosensitive film sandwiched between the two was prepared.
Separately, the copper surface of a substrate for FPC (trade name: F30VC125RC11, manufactured by Nikkan Kogyo Co., Ltd.) in which a 35 μm thick copper foil was laminated on a polyimide substrate was polished with an abrasive brush, washed with water and dried.
After peeling off the polyethylene film, which is a protective film, from the produced photosensitive film, the photosensitive resin composition layer is placed on the FPC board side using a vacuum pressure laminator (manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., model: MVLP-500). A laminated sample was prepared by laminating a photosensitive film on the FPC substrate.
Preparation of the laminated sample by the vacuum pressure laminator was performed under the conditions of a molding temperature of 90 ° C., a molding pressure of 0.4 MPa (4 kgf / cm 2 ), a vacuum time and a pressurization time of 30 seconds.
After laminating, the sample was cooled to 23 ° C. and allowed to stand for 1 hour or longer. Then, a stowed 21-step tablet was used for the obtained sample, and an HMW-201B type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. was used. After exposure at cm 2 , it was left at room temperature (25 ° C.) for 30 minutes.
Next, spray development was carried out at 30 ° C. for 50 seconds using a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution, followed by heat treatment at 160 ° C. for 50 minutes, and further, Toshiba ultraviolet ray irradiation device (rated voltage 200V, Using a rated power consumption of 7.2 kW, one H5600L / 2x lamp), ultraviolet irradiation of 1 J / cm 2 was performed to form a permanent mask resist (coverlay) on the FPC substrate.

[耐折性の評価]
永久マスクレジストが形成されたFPC用基板を260℃のはんだ浴中に10秒間浸漬してはんだ処理を行った後、ハゼ折りで180°折り曲げ、折り曲げた際の永久マスクレジスト層のクラックの発生状況を目視で観察した。評価は下記の基準で行った。
「良好」:クラックの発生が無いもの、「不良」:クラックが発生したもの。
[Evaluation of folding resistance]
After the FPC board on which the permanent mask resist is formed is immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds and then soldered, it is folded 180 ° by goblet fold, and the occurrence of cracks in the permanent mask resist layer when folded Was visually observed. Evaluation was performed according to the following criteria.
“Good”: No crack occurred, “Bad”: A crack occurred.

[耐薬品性の評価]
永久マスクレジストが形成されたFPC用基板を常温の2N−塩酸水溶液及び2N−水酸化ナトリウム水溶液にそれぞれ30分間浸漬後、基材から永久レジストパターン開口部の染み込み及び浮きの発生状況を目視で観察した。評価は下記の基準で行った。
「良好」:染み込み及び浮きの発生が無いもの、「不良」:染み込み及び浮きが発生したもの。
[Evaluation of chemical resistance]
After the FPC substrate on which the permanent mask resist is formed is immersed in 2N-hydrochloric acid aqueous solution and 2N-sodium hydroxide aqueous solution at room temperature for 30 minutes, the permeation of the permanent resist pattern opening from the substrate and the occurrence of floating are visually observed. did. Evaluation was performed according to the following criteria.
“Good”: No soaking and lifting occurred, “Bad”: Soaking and lifting occurred.

[耐めっき性の評価]
耐めっき性として、無電解ニッケル/金めっきを行い評価した。永久マスクレジストが形成されたFPC用基板を用いて、脱脂(5分浸漬)、水洗、ソフトエッチング(2分浸漬)、水洗、酸洗(3分浸漬)、水洗、プレディップ(90秒浸漬)、無電解ニッケルめっき(85℃、20分)処理、水洗、無電解金めっき(80℃、10分)処理、水洗、乾燥の工程で処理を行った。なお、各工程に用いた材料は以下の通りである。
脱脂:PC−455(メルテックス社製)25質量%の水溶液
ソフトエッチング:過硫酸アンモニウム150g/Lの水溶液
酸洗:5体積%硫酸水溶液
無電解ニッケルめっき:ニムデンNPR−4(上村工業株式会社製)
無電解金めっき:ゴブライトTAM−55(上村工業株式会社製)
乾燥後、耐金めっき性を評価する為に、直ちにセロテープ(登録商標)を貼り、これを垂直方向に引き剥がして(90°ピールオフ試験)、レジストの剥れの有無を観察した。また、金めっきのもぐりの有無を観察した。金めっきのもぐりを生じた場合、透明なレジストを介して、その下にめっきにより析出した金が観察される。
[Evaluation of plating resistance]
The plating resistance was evaluated by electroless nickel / gold plating. Using an FPC substrate on which a permanent mask resist is formed, degreasing (5 minutes immersion), water washing, soft etching (2 minutes immersion), water washing, pickling (3 minutes immersion), water washing, pre-dip (90 seconds immersion) The electroless nickel plating (85 ° C., 20 minutes) treatment, water washing, electroless gold plating (80 ° C., 10 minutes) treatment, water washing and drying were performed. In addition, the material used for each process is as follows.
Degreasing: PC-455 (Meltex) 25 wt% aqueous solution soft etching: Ammonium persulfate 150 g / L aqueous pickling: 5 vol% sulfuric acid aqueous solution electroless nickel plating: Nimden NPR-4 (Uemura Kogyo Co., Ltd.)
Electroless gold plating: Goblite TAM-55 (manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.)
After drying, in order to evaluate the gold plating resistance, cellotape (registered trademark) was immediately applied, and this was peeled off in the vertical direction (90 ° peel-off test), and the presence or absence of resist peeling was observed. In addition, the presence or absence of gold plating was observed. In the case where grooving of gold plating occurs, gold deposited by plating is observed under the transparent resist.

[解像性の評価]
解像度は、ストーファーの21段ステップタブレットを有するフォトツールと解像度評価用ネガとしてライン幅/スペース幅が30〜200(単位:μm)の配線パターンを有するフォトツールを密着させ、ストーファーの21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が8.0となるエネルギー量で露光を行った。1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、30℃で50秒間スプレー現像した後、上記永久マスクレジストの形成方法と同様にして永久マスクレジストが形成されたFPC用基板を得、これを光学顕微鏡により観察した。解像度は、現像処理によって未露光部をきれいに除去することができたライン幅間のスペース幅の最も小さい値により評価した。解像度の評価は数値が小さいほど良好な値であることを示す。
[Evaluation of resolution]
The resolution is obtained by closely attaching a photo tool having a stove 21-step tablet and a photo tool having a wiring pattern with a line width / space width of 30 to 200 (unit: μm) as a negative for resolution evaluation, to 21 steps of the stofer. The exposure was performed with an energy amount such that the number of steps remaining after development of the step tablet was 8.0. After spray development at 30 ° C. for 50 seconds using a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution, an FPC substrate on which a permanent mask resist was formed was obtained in the same manner as in the method for forming a permanent mask resist, and this was observed with an optical microscope. did. The resolution was evaluated based on the smallest value of the space width between the line widths in which the unexposed portion could be removed cleanly by the development process. The evaluation of the resolution indicates that the smaller the numerical value, the better the value.

[ラミネート安定性の評価]
銅箔厚18μmを有する銅張積層板上にレジスト厚20μmのエッチング用感光性フィルム(H−Y920、日立化成工業株式会社製)を用い、ライン幅/スペース幅=100/100μmの回路を形成した。次いで、塩化第2銅エッチング液(2モル/リットル CuCl、2N−HCl水溶液、50℃、スプレー圧力 0.2MPa(2kgf/cm))を100秒間スプレーし、レジストで保護されていない部分の銅を溶解し、さらに、レジストパターンを剥離液(3質量%NaOH水溶液、45℃、スプレー圧力 0.2MPa(2kgf/cm))で剥離し、基板上に銅のラインが形成されたプリント配線板を作製した。
次いで、真空加圧式ラミネータ(株式会社名機製作所製型式MVLP−500)を用いて、感光性積層体の保護フィルムをはく離した後、感光性樹脂組成物層を基材に向けてラミネートした。この際のラミネータの成形温度は90℃、成形圧力は0.4MPa(4kgf/cm)、真空時間及び加圧時間をそれぞれ30秒とした。次いで、1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、30℃で50秒間スプレー現像し、基板銅回路上での現像残渣の有無について光学顕微鏡を用いて評価した。
[Evaluation of laminate stability]
A circuit with a line width / space width = 100/100 μm was formed on a copper clad laminate having a copper foil thickness of 18 μm using a photosensitive film for etching with a resist thickness of 20 μm (H-Y920, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.). . Next, a cupric chloride etching solution (2 mol / liter CuCl 2 , 2N-HCl aqueous solution, 50 ° C., spray pressure 0.2 MPa (2 kgf / cm 2 )) is sprayed for 100 seconds, and the portion not protected by the resist is sprayed. Copper is dissolved, and the resist pattern is further stripped with a stripping solution (3 mass% NaOH aqueous solution, 45 ° C., spray pressure 0.2 MPa (2 kgf / cm 2 )), and a copper wiring is formed on the substrate. A plate was made.
Next, using a vacuum pressure laminator (model MVLP-500, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.), the protective film of the photosensitive laminate was peeled off, and then the photosensitive resin composition layer was laminated toward the substrate. The laminator molding temperature at this time was 90 ° C., the molding pressure was 0.4 MPa (4 kgf / cm 2 ), and the vacuum time and pressurization time were 30 seconds each. Subsequently, spray development was performed at 30 ° C. for 50 seconds using a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution, and the presence or absence of a development residue on the substrate copper circuit was evaluated using an optical microscope.

以上を纏めて結果を表3、4に示した。なお、表3及び表4中、(A)及び(B)成分の括弧内の数値は、固形分の重量部を表す。   The results are summarized in Tables 3 and 4. In Tables 3 and 4, the numerical values in parentheses of the components (A) and (B) represent parts by weight of solid content.

Figure 2009198966
Figure 2009198966

Figure 2009198966
Figure 2009198966

実施例1〜4に対応する比較例1〜4では、実施例のグアナミン化合物の代わりにジシアンジアミドを用いたが、現像残渣が見られる。また、実施例5〜8に対応する比較例5〜8では、実施例のグアナミン化合物の代わりにベンゾトリアゾールを用いたが、耐めっき性で剥がれ、もぐりが見られ耐めっき性に劣った。
表3及び表4から明らかなように、本発明の感光性樹脂組成物を用いた場合には、特に耐めっき性及びラミネート安定性に優れ、折り曲げ性、耐薬品性及び解像性にも優れた永久マスクレジストが得られることを示す。
In Comparative Examples 1 to 4 corresponding to Examples 1 to 4, dicyandiamide was used instead of the guanamine compound of Example, but a development residue was observed. Further, in Comparative Examples 5 to 8 corresponding to Examples 5 to 8, benzotriazole was used instead of the guanamine compound of Example, but peeling occurred due to plating resistance, peeling was observed, and plating resistance was poor.
As is apparent from Tables 3 and 4, when the photosensitive resin composition of the present invention is used, it is particularly excellent in plating resistance and laminate stability, and is excellent in bendability, chemical resistance and resolution. It is shown that a permanent mask resist can be obtained.

本発明の感光性フィルムの好適な一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows suitable one Embodiment of the photosensitive film of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…感光性フィルム、10…支持体、20…感光性樹脂組成物層、30…保護フィルム   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Photosensitive film, 10 ... Support body, 20 ... Photosensitive resin composition layer, 30 ... Protective film

Claims (9)

(A)エポキシ樹脂(a1)とビニル基含有モノカルボン酸(a2)とを反応させて得られる樹脂と、多塩基酸無水物(a3)と、を反応させて得られるエポキシアクリレート化合物と、(B)カルボキシル基を有するアクリル系樹脂と、(C)下記一般式(1)で表されるグアナミン化合物と、(D)分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(E)光重合開始剤と、(F)熱硬化剤と、を含有してなる、感光性樹脂組成物。
Figure 2009198966

[一般式(1)中、Rは水素原子、アルキル基又は置換基を有していてもよいアリール基を示す。]
(A) An epoxy acrylate compound obtained by reacting a resin obtained by reacting an epoxy resin (a1) with a vinyl group-containing monocarboxylic acid (a2) and a polybasic acid anhydride (a3); B) an acrylic resin having a carboxyl group, (C) a guanamine compound represented by the following general formula (1), (D) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group polymerizable in the molecule, (E) The photosensitive resin composition formed by containing a photoinitiator and (F) a thermosetting agent.
Figure 2009198966

[In General Formula (1), R 1 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group which may have a substituent. ]
前記エポキシ樹脂(a1)が、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、及び多官能エポキシ樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種である、請求項1記載の感光性樹脂組成物。 The epoxy resin (a1) is at least one selected from the group consisting of a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a bisphenol S type epoxy resin, a novolac type epoxy resin, and a polyfunctional epoxy resin. 1. The photosensitive resin composition according to 1. 前記(B)カルボキシル基を有するアクリル系樹脂が、(メタ)アクリル酸及び/又は(メタ)アクリル酸アルキルエステルを共重合モノマーとして含む、請求項1又は請求項2記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition of Claim 1 or Claim 2 in which the acrylic resin which has the said (B) carboxyl group contains (meth) acrylic acid and / or the (meth) acrylic-acid alkylester as a copolymerization monomer. 前記(B)カルボキシル基を有するアクリル系樹脂の酸価が、50〜200mgKOH/gであり、Tg(ガラス転移温度)が30〜100℃である請求項1〜3いずれかに記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin according to any one of claims 1 to 3, wherein the acrylic resin having a carboxyl group (B) has an acid value of 50 to 200 mgKOH / g and a Tg (glass transition temperature) of 30 to 100 ° C. Composition. 前記(C)グアナミン化合物の含有割合は、(A)成分と(B)成分と(D)成分との合計量の0.01〜10質量%である、請求項1〜4いずれかに記載の感光性樹脂組成物。 The content ratio of the (C) guanamine compound is 0.01 to 10% by mass of the total amount of the component (A), the component (B), and the component (D), according to any one of claims 1 to 4. Photosensitive resin composition. フレキシブル配線板の永久マスクレジストの形成に用いられる、請求項1〜5いずれかに記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition in any one of Claims 1-5 used for formation of the permanent mask resist of a flexible wiring board. 支持体と、該支持体上に設けられた請求項1〜6いずれかに記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える感光性フィルム。 A photosensitive film provided with a support body and the photosensitive resin composition layer which consists of a photosensitive resin composition in any one of Claims 1-6 provided on this support body. 請求項1〜6のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を光照射により硬化させてなる永久マスクレジスト。 The permanent mask resist formed by hardening the photosensitive resin composition in any one of Claims 1-6 by light irradiation. 基材上に、請求項1〜6のいずれかに記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を積層する積層工程と、
活性光線を前記感光性樹脂組成物層の所定部分に照射して、前記感光性樹脂組成物層に光硬化部を形成させる露光工程と、
前記感光性樹脂組成物層の前記光硬化部以外の部分を除去する現像工程と、
を含む永久マスクレジストの製造方法。
A laminating step of laminating a photosensitive resin composition layer comprising the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6 on a substrate,
An exposure step of irradiating a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer with an actinic ray to form a photocured portion in the photosensitive resin composition layer;
A developing step for removing a portion other than the photocured portion of the photosensitive resin composition layer;
The manufacturing method of the permanent mask resist containing this.
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