JP2009171682A - リニアモータ、部品実装装置及び部品検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】メンテナンス性の良いリニアモータを提供する。
【解決手段】リニアモータは、リニアモータ本体４０（固定子４２及び可動子４４）と、リニアガイド３２と、フレーム３０とから構成される。固定子４２は、複数のティースが並ぶコア４２１と当該コア４２１のティースに装着されるコイル４２２とを有する電機子からなり、可動子４４は、レール３２１に沿って延びて当該レール３２１を被うようにスライダ３２２に固定されるスライドベース４４１を含み、かつこのスライドベース４４１における固定子４２との対向面に表面極性が交互に異なるように複数の永久磁石４４２が配列されるものであって、さらに前記スライドベース４４１に、レール３２１にアクセス可能な開口部４４１ａが形成されているものである。
【選択図】図３

Description

本発明は、リニアモータ、およびこのモータを用いて部品保持部材を駆動する部品実装装置等に関するものである。

従来から、表面の磁極が交互に異なる永久磁石を一方向に配列してなる界磁子と、この界磁子に対向して配置され、コイルを装着したコアを具備した電機子とを備え、上記コイルに対する通電制御に応じて、界磁子及び電機子のうち一方側を固定子、他方側を可動子として当該可動子を固定子に対して相対的に永久磁石の配列方向に直線的に移動させるリニアモータが一般に知られている（例えば特許文献１）。

リニアモータは、種々の産業機械に適用されており、電子部品を基板上に搬送して実装する部品実装装置においても使用されている。例えば、この部品実装装置では、部品吸着用のノズルを昇降駆動させるための駆動機構にリニアモータが適用されている。
特開２００５−２５３２５９号公報

リニアモータは、界磁子と電機子との間に所定寸法のギャップを設けることが適正な推進力を発生させる上で重要となり、一般には、リニアガイド等のガイド手段をフレーム部材に組込み、フレーム部材に固定子を、ガイド手段の前記スライダに可動子をそれぞれ固定することにより前記ギャップを確保することが行われている。

ところが、この構成では、ガイド手段を介して可動子がフレーム部材に組込まれてしまうと、レールの大部分が可動子に被われてしまうため、後にレールの固定状態や異物の混入状況等を確認したり、レールのずれの修正を行おうとすると、可動子を単独で、又はスライダと共にレールから取外して上記作業を行う必要があり、しかも、その場合には上記ギャップの再調整が必要となる等、非常にメンテナンス性が悪い。従って、この点を改善することが求められている。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、第１の目的は、メンテナンス性の良いリニアモータを提供することにあり、第２の目的は、リニアモータが適用される部品実装装置や部品検査装置においてそのメンテナンス性を向上させることにある。

上記課題を解決するために、本発明にかかるリニアモータは、フレーム部材の所定の組付面に固定されて一軸方向に延設されるレールと、このレールに移動自在に装着されるスライダと、このスライダに固定される可動子と、この可動子に対して並列に配置された状態で前記組付面に固定される固定子と、を有し、前記固定子と可動子との間に吸引力を発生させながら前記レールに沿って前記可動子を移動させるリニアモータにおいて、前記可動子に、当該可動子側からの前記レールへのアクセスを可能とする開口部が形成されているものである。より具体的には、前記固定子は、複数のティースが前記一軸方向に並ぶコアと当該コアの前記ティースに装着されるコイルとを有する電機子からなり、前記可動子は、前記レールに沿って延びて当該レールを被うように前記スライダに固定される可動ベースを含み、かつこの可動ベースにおける前記固定子との対向面に表面極性が交互に異なるように前記一軸方向に複数の磁石が配列された界磁子からなるものであって、さらに前記可動ベースに前記開口部が形成されているものである。

このようなリニアモータの構成によれば、開口部を介してレールの状態を確認することができ、また、この開口部から工具を差し込んでレールを固定するボルト等を操作することによりレールの位置を修正等することが可能となる。従って、可動子を取外すことなくレール等のメンテナンスを行うことが可能となり、メンテナンス性が向上する。

可動ベースの具体的な形状は、種々考えられるが、例えば前記可動ベースは、前記レールに沿って複数の前記開口部が形成されることにより略梯子型に構成されているのが好適である。この構成によれば、可動子の強度を保ちつつ長手方向に亘って広い開口部を確保することが可能になる。

なお、上記のようなリニアモータの構成は、前記フレーム部材に、前記固定子及び前記レールをそれぞれ位置決めするための位置決め部が設けられ、前記固定子及び前記レールをそれぞれ位置決め部材に当接させた状態で前記フレーム部材に固定することにより、前記固定子と可動子との間に所定寸法の隙間が形成されるものにおいて特に有用である。

すなわち、このような構成の場合、可動子の組付けに際しては、まず可動子をスライダの定められた位置に予め組付けておき、その状態でレール、スライダ及び可動子の組立体をフレーム部材に組込むのが効率的であるが、上記のように可動子に開口部が設けた構成によれば、当該開口部から工具を差し込んで難なくボルト等を操作することできるので、上記のよう効率的な組立方法を難なく実施することが可能となる。

一方、本発明に係る部品実装装置は、リニアモータを有する駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び基板上への部品の実装を行う部品実装装置において、前記リニアモータとして、上記のようなリニアモータを有するものである。

また、本発明に係る部品検査装置は、リニアモータを有する駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行う部品検査装置において、前記リニアモータとして、上記のようなリニアモータを有するものである。

これらの装置によれば、部品保持部材の駆動機構として上記のようなメンテナンス性の良いリニアモータを適用しているので、結果的に装置のメンテナンス性も良いものとなる。

本発明のリニアモータによれば、レールの取付け調整等を、可動子を取外すことなく行うことが可能とるためメンテナンス性が良いものとなる。そして、本発明の部品実装装置、および部品検査装置によれば、上記のようなリニアモータを適用している結果、装置のメンテナンス性も良いものとなる。

図１は、本発明に係るリニアモータが適用される部品実装装置（本発明に係る部品実装装置）の概略構成を平面図で示している。なお、この図を含め本説明で使用する図面には、各図の方向関係を明確にするためにＸＹＺ直角座標軸が示してある。

同図に示すように、部品実装装置の基台１０上には、基板搬送機構としてコンベア１２が配置されており、このコンベア１２によりプリント基板Ｐ（以下、単に基板Ｐという）が同図右側から左側に搬送されて所定の作業位置（同図に示す基板Ｐの位置）に搬入されるようになっている。作業位置の下方領域には、実装作業中に基板Ｐをバックアップピンにより支持する基板支持装置１１が配置されている。

前記コンベア１２の両側（図１では上下両側）にはそれぞれフィーダ設置領域１３が設けられており、これらフィーダ設置領域１３には、例えばテープフィーダ１４等の部品供給装置がコンベア１２に沿って並列に配置されている。各テープフィーダ１４は、集積回路（ＩＣ）、トランジスタ、抵抗、コンデンサ等の小片状のチップ部品を所定間隔で収納、保持したテープが巻回されたリールを保持しており、このリールから前記テープを繰り出すことによりフィーダ先端の部品供給位置に部品を供給し、ヘッドユニット１５により部品をピックアップさせるように構成されている。

前記基台１０の上方には部品実装用の前記ヘッドユニット１５が設けられている。このヘッドユニット１５は、前記テープフィーダ１４から部品を吸着して基板Ｐ上に搬送すると共に、基板Ｐ上の所定位置に実装するもので、所定領域内でＸ軸方向（コンベア１２による基板Ｐの搬送方向）及び水平面上でこれと直交するＹ軸方向にそれぞれ移動可能とされている。すなわち、ヘッドユニット１５は、Ｘ軸方向に延びるヘッドユニット支持部材１８に移動可能に支持されている。また、このヘッドユニット支持部材１８は、その両端部がＹ軸方向に延びる固定レール１７に支持され、この固定レール１７に沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。そして、Ｘ軸サーボモータ２０によりボールねじ軸２１を介してヘッドユニット１５がＸ軸方向に駆動される一方、Ｙ軸サーボモータ２２によりボールねじ軸２３を介してヘッドユニット支持部材１８がＹ軸方向に駆動されるようになっている。

ヘッドユニット１５には、図２に示すように、部品を保持して搬送するための複数のヘッド１６が搭載されており、当実施形態では、合計１０個のヘッド１６がＸ軸方向に列状に配置されている。各ヘッド１６は、Ｚ軸方向（上下方向）に延びる駆動シャフト３４を有しており、この駆動シャフト３４の先端（下端）には部品吸着用のノズル３５が取付けられている。ノズル３５は、駆動シャフト３４の内部通路及び図略の切換弁等を介して負圧発生装置に接続されており、部品吸着時には、吸着ノズル先端に前記負圧発生装置から負圧吸引力が与えられることにより部品の吸着、保持が可能となっている。この当実施形態では、この駆動シャフト３４及びノズル３５が本発明に係る部品保持部材に相当する。

ノズル３５（駆動シャフト３４）は、ヘッドユニット１５に対して昇降（Ｚ軸方向の移動）およびノズル中心軸（Ｒ軸）回りの回転が可能とされ、昇降駆動機構および回転駆動機構によりそれぞれ駆動されるようになっている。これらの駆動機構のうち昇降駆動機構は各ヘッド１６に各々組み込まれている。なお、昇降駆動機構を含む各ヘッド１６の構成、及びノズル３５の回転駆動機構の構成については、後に説明する。

ヘッドユニット１５には、基板撮像ユニット２４が搭載されている。この基板撮像ユニット２４は、ＣＣＤ等の撮像素子をもつエリアカメラおよび照明装置等からなり、ヘッドユニット１５に対して下向きの姿勢で固定され、作業位置に搬入される基板Ｐ上の各種マークを撮像可能となっている。

なお、前記基台１０上には、図１に示すように、ヘッドユニット１５の各ヘッド１６（ノズル３５）に吸着された部品を撮像するための部品撮像ユニット２５が設けられている。この部品撮像ユニット２５も、前記基板撮像ユニット２４と同様にエリアカメラおよび照明装置等から構成されており、基台１０上に上向きの姿勢で固定されている。これにより、部品吸着後、ヘッドユニット１５が部品撮像ユニット２５上方に配置された際に、各ヘッド１６にて吸着された部品を部品撮像ユニット２５により撮像可能となっている。

次に、ヘッドユニット１５および各ヘッド１６の具体的な構成について説明する。

前記ヘッドユニット１５には上記の通り１０個のヘッド１６が搭載されている。各ヘッド１６は、Ｘ軸方向に扁平なユニット化された部材であり、図２に示すように、Ｘ軸方向に１０個並べた状態で一体にヘッドユニット１５に対して固定されている。

図３〜図５は、前記ヘッド１６の具体的な構成を示しており、図３は側面図（図２のIII−IIIに沿った矢視図）で、図４は正面図で、図５は分解斜視図でそれぞれヘッド１６を示している。なお、図５では、駆動シャフト３４等、一部の部品は便宜上省略されている。

前記ヘッド１６は、概略的には、前記ノズル３５を下端部に備える前記駆動シャフト３４と、この駆動シャフト３４とノズル３５等をＺ軸方向に駆動するリニアモータと、ノズル３５等に対して上向きの付勢力を付与するリターンスプリング４８とから構成されている。リニアモータは、前記駆動シャフト３４をＺ軸方向に案内するリニアガイド３２と、固定子４２及び可動子４４からなるリニアモータ本体４０と、フレーム３０（本発明に係るフレーム部材に相当する）とから構成されており、このフレーム３０に、前記駆動シャフト３４やリターンスプリング４８が組込まれることにより、ヘッド１６がユニット化されている。そして、リニアモータによりノズル３５（駆動シャフト３４）をＺ軸方向に駆動すると共に、リニアモータの停止時には、リターンスプリング４８の付勢力によりノズル３５を上方位置に保持するように構成されている。

詳細に説明すると、前記フレーム３０は、ベースプレート３０１の周囲一部分に側壁部３０２を備えたＸ軸方向に扁平な皿形の部材で、表面処理を施したアルミ合金等により構成されている。

リニアモータ本体４０は、上記の通り固定子４２と可動子４４とを有している。固定子４２は、櫛型のコア４２１にコイル４２２が装着された固定子本体、及びこの固定子本体とは別体の一対のサブティース４２３，４２３により構成されている。固定子本体及びサブティース４２３，４２３は各々ベースプレート３０１にボルトで固定されており、図３に示すように、サブティース４２３，４２３は、固定子本体の前記コイル４２２の両端に並ぶようにベースプレート３０１に固定されている。これらサブティース４２３，４２３は、モータ駆動時に固定子両端の磁束形成を補うことにより所謂コギング力を低減するものである。なお、当実施形態では、サブティース４２３，４２３は、固定子本体とは別体に設けられているが、勿論、固定子本体（コア４２１）に一体的に設けられていてもよい。

可動子４４は、固定子４２に対してＹ軸方向に横並びに設けられている。可動子４４は、Ｚ軸方向に延びる断面コ字型のスライドベース４４１（本発明に係る可動ベースに相当する）を有しており、このスライドベース４４１の側面（固定子４２との対向面）にヨーク４４３を介して複数の永久磁石４４２が配列された構成となっている。具体的には、固定子４２側がＮ極、可動子４４側がＳ極の永久磁石４４２と、固定子４２側がＳ極、可動子４４側がＮ極の永久磁石４４２とがＺ軸方向に交互に配列されている。そして、この可動子４４がリニアガイド３２の後記スライダ３２２に固定されることにより、当該可動子４４がＺ軸方向に移動可能となっている。

リニアガイド３２は、Ｚ軸方向に延びるレール３２１と、このレール３２１に対してＺ軸方向にスライド自在に、かつＺ軸方向と直交する方向への移動不能に装着される複数のスライダ３２２，３２２とから構成されており、前記レール３２１がベースプレート３０１にボルトで固定されることによりフレーム３０に組み込まれている。そして、このリニアガイド３２の各スライダ３２２，３２２に対してリニアモータ本体４０の前記可動子４４（スライドベース４４１）が固定されている。これにより図外のリニア駆動制御部から前記リニアモータ本体４０の固定子４２に所定の駆動信号が与えられると、その駆動信号に応じた方向及び速度で可動子４４がＺ軸方向に駆動される構成となっている。

なお、固定子４２と可動子４４は、これらの間（正確には櫛形のコア４２１の可動子側端部と永久磁石４４２の固定子側表面との間）に所定のギャップが形成された状態でフレーム３０に固定されている。

詳しく説明すると、前記ベースプレート３０１には、固定子位置決め用の基準面３０４を有する一対の突部３０３，３０３が一体形成されており、他方、固定子４２の前記コア４２１の両端にはティース並び方向に延設される延設部４２１ａ，４２１ａが一体に形成されている。そして、各突部３０３，３０３の基準面３０４に対し、コア４２１の各延設部４２１ａが前記可動子４４側とは反対側（図３では左側）から突き当てられ、この状態でコア４２１に形成される貫通孔を介してボルト４２５がベースプレート３０１のねじ孔３０１ａに螺合挿入されている。これにより前記固定子４２がＹ軸方向に位置決めされた状態でフレーム３０に組付けられている。

また、前記ベースプレート３０１には、可動子位置決め用の突条３０５が一体形成されており、この突条３０５に対し、前記レール３２１が前記固定子４２側とは反対側（図３では右側）から突き当てられ、この状態で、当該レール３２１に形成される貫通孔を介してボルト３２５がベースプレート３０１のねじ孔３０１ｂに螺合挿入されている。これによりリニアガイド３２を介して前記可動子４４がＹ軸方向に位置決めされた状態でフレーム３０に組付けられている。なお、レール３２１をベースプレート３０１に組付けた後に前記可動子４４をスライダ３２２の定められた位置に組付けてもよいし、予め前記可動子４４をスライダ３２２に組付けてからレール３２１をベースプレート３０１に組付けてもよい。

このように、前記固定子４２及び可動子４４がそれぞれＹ軸方向に位置決めされた状態でフレーム３０に組付けられることにより、固定子４２と可動子４４との間に所定寸法のギャップが形成されている。

なお、可動子４４の前記スライドベース４４１には、図３及び図５に示すように、長手方向に並ぶ複数の開口部４４１ａが形成されており、図示の例では、４つの開口部４４１ａが形成されている。これらの開口部４４１ａは、前記レール３２１に対して可動子４４側からのアクセスを可能とするものであり、例えば可動子４４のフレーム３０への組付け時には、上記のように予め固定子４２を組付けたリニアガイド３２の前記レール３２１を前記突条３０５に当接させ、前記開口部４４１ａに工具を挿入することにより、前記ボルト３２５の締め付けを難なく行えるようになっている。なお、図中符合３２３は、スライダ３２２のＺ軸方向の移動を規制するストッパであり、また符合３２４は、前記可動子４４（スライドベース４４１）のＺ軸方向の移動を規制するストッパであり、それぞれベースプレート３０１にボルトで固定されている。

上記のように構成されたリニアモータの前記可動子４４に対して駆動シャフト３４が取付けられている。詳しくは、前記スライドベース４４１の下端部分に、前記固定子４２の下方に向かってＹ軸方向に延びる取付アーム３７が固定され、この取付アーム３７の下面にシャフト支持部材３６を介して駆動シャフト３４が取付けられている。

駆動シャフト３４は、中空軸からなり、シャフト支持部材３６に対してＲ軸回りに回転自在に支持されると共に、このシャフト支持部材３６に設けられる負圧導入用のポート３６１及び図外の負圧通路を介して前記負圧発生装置に接続されている。

駆動シャフト３４は、図示されないスプライン等機構により、軸方向に変位可能に、かつシャフト中心回り（Ｒ軸回り）に回転自在に、前記ヘッドユニット１５に保持されている。

そして、リニアモータ本体４０の前記固定子４２を挟んでリニアガイド３２とは反対側の位置にリターンスプリング４８が配設されている。このリターンスプリング４８は、前記フレーム３０の上端部分と前記取付アーム３７とに亘って装着されており、これにより取付アーム３７及びシャフト支持部材３６を介して前記駆動シャフト３４に上向きの付勢力が付与されている。

なお、ヘッド１６には、可動子４４及び駆動シャフト３４（ノズル３５）の位置を検出するための位置検出サンサとして磁気センサ４５が組込まれている。すなわち、図５に示すように、リニアモータ本体４０の前記可動子４４には、磁気的に目盛りを記録したプレート状の磁気スケール４６がスライドベース４４１に沿って固定されている。一方、フレーム３０には、前記ベースプレート３０１に設けられたセンサ支持部３０６に、ＭＲセンサやホールセンサ等の磁気センサ４５が取付けられており、この磁気センサ４５により磁気スケール４６を読み取ることにより、可動子４４及び駆動シャフト３４（ノズル３５）の位置が検出可能となっている。なお、図中符合４５１は、磁気センサ４５の制御基板等を被うカバー部材である。

このように構成された１０個のヘッド１６が互いにＸ軸方向に重装され、前記ヘッドユニット１５に対してその前面側（ヘッドユニット支持部材１８側とは反対側）にリターンスプリング４８が位置する状態で一体に固定されている。詳しくは、前記フレーム３０のうちリニアガイド３２等の組付け面側に一対の位置決めピン３１０，３１０が突設される一方、他面側にはこれに対応する図外の位置決め孔が穿設されており、これら位置決めピン３１０，３１０が隣接するヘッド１６の位置決め孔に挿入されることによって各ヘッド１６が互いに位置決めされた状態でＸ軸方向に重装されている。そして、この重装されたヘッド１６群に対してそのＸ軸方向外側から各々取付用フレーム１５ｂが重装され、各フレーム３０に形成される貫通孔３１２を通じて取付用フレーム１５ｂ及びヘッド１６群がボルト１５１，ナット１５２により一体に締結された上で、両取付用フレーム１５ｂがヘッドユニット１５の本体フレーム１５ａに対して位置決め固定されている。これによって１０個のヘッド１６が一体に前記ヘッドユニット１５に固定されている。

ヘッドユニット１５に固定された各ヘッド１６の駆動シャフト３４は、図２に示すように、本体フレーム１５ａに設けられる保持部１５ｃにより保持されている。さらに、駆動シャフト３４は前記保持部１５ｃに回転自在に支持され、図外の駆動ベルト等により、前記本体フレーム１５ａに固定された駆動モータ（回転型モータ）２６，２６の駆動プーリ（図示省略）に連結されており、これによって上記回転駆動機構が構成されている。

上記のように構成された部品実装装置では、次のようにして部品の実装が行われる。

まず、ヘッドユニット１５がフィーダ設置領域１３に移動して各ヘッド１９による部品の吸着が行われる。具体的には、所定のヘッド１６がテープフィーダ１４の上方に配置された後、リニアモータにより駆動シャフト３４が昇降駆動され、これによりノズル３５が下降してテープ内の部品を吸着して取出す。この際、可能な場合には、複数のヘッド１６により同時に部品の取出しが行われる。部品の吸着が完了すると、所定の経路に沿ってヘッドユニット１５が部品撮像ユニット２５の上方を経由してから基板Ｐ上に移動する。この移動中に、各ヘッド１６（ノズル３５）による部品の吸着状態が画像認識されて実装時の補正量が演算される。そして、ヘッドユニット１５が基板Ｐ上の最初の実装位置に到達すると、リニアモータにより駆動シャフト３４が昇降駆動され基板Ｐ上に部品が実装され、以降、ヘッドユニット１５が順次実装位置に移動することにより基板Ｐ上に残りの吸着部品が実装されることとなる。

以上のような本発明に係る部品実装では、リニアモータ式の駆動機構によりノズル３５（駆動シャフト３４）を昇降駆動するようにヘッド１６が構成されているが、当該ヘッド１６を構成する上記リニアモータは、上記の通り、可動子４４（スライドベース４４１）に開口部４４１ａが設けられた構成とっているので、メンテナンス性および組立性が良いという利点がある。すなわち、開口部４４１ａを介してレール３２１の固定状態、例えば突条３０５に対するレール３２１の突き当て状態や、レール３２１による異物の噛み込み等を確認する場合、仮に前記開口部４４１ａが無いとすれば、可動子４４が邪魔になってレール３２１のうち視認できない部分が生じる。従って、可動子４４を単独で、又はスライダ３２２と共にレール３２１から取り外してレール３２１を確認することが必要となるが、上記のリニアモータによれば、可動子４４に開口部４４１ａが設けられ、この開口部４４１ａを介してレール３２１を視認することが可能な為、可動子４４を取り外すことなくレール３２１の全体状況を難なく確認することができる。そして、必要な場合には、この開口部４４１ａに工具を差し込んで前記ボルト３２５を操作することにより、レール３２１の固定状態を修正し、また異物を除去することができるため、ヘッド１６（リニアモータ）のメンテナンス性が非常に良い。

また、ヘッド１６の組立時には、上述した通り、予め固定子４２を組付けたリニアガイド３２をベースプレート３０１上に載置し、レール３２１を前記突条３０５に当接させてその状態を確認しつつ、前記開口部４４１ａに工具を挿入して前記ボルト３２５の締め付けを行うことにより、可動子４４及びリニアガイド３２を一体的にフレーム３０に組込むことができるため、ヘッド１６の組立性が非常に良いものとなる。

そして、この部品実装装置では、上記の通りヘッドユニット１５には１０個のヘッド１６が搭載されているため、上記の通りリニアモータ（ヘッド１６）のメンテナンス性や組立性が良好である分、装置全体のメンテナンス性や組立性も良いものとなる。

なお、上記実施形態では、部品実装装置を例に本発明の適用について説明したが、本発明の適用対象は部品実装機に限定されるものではなく、例えば、部品を保持可能な部品保持部材が搭載された移動可能なヘッドユニットを備え、リニアモータを有する駆動機構により部品保持部材をヘッドユニットに対して昇降駆動することにより部品供給部からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行うように構成された部品検査装置についても本発明は適用可能である。

本発明に係るリニアモータが適用される部品実装装置（本発明に係る部品実装装置）の概略構成を示す平面図である。 ヘッドユニットの具体的な構成を示す正面図である。 ヘッドユニットに搭載されるヘッドの構成を示す側面図（図２のIII−III線に沿った矢視図）である。 ヘッドの構成を示す正面図である。 ヘッドの構成を示す分解斜視図である。 ヘッドユニットに対する各ヘッドの組付け方を説明する斜視図である。

符号の説明

１５ ヘッドユニット
１６ ヘッド
３０ フレーム
３２ リニアガイド
３４ 駆動シャフト
３５ ノズル
４０ リニアモータ本体
４２ 固定子
４４ 可動子
３２１ レール
３２２ スライダ

Claims (6)

1. フレーム部材の所定の組付面に固定されて一軸方向に延設されるレールと、このレールに移動自在に装着されるスライダと、このスライダに固定される可動子と、この可動子に対して並列に配置された状態で前記組付面に固定される固定子と、を有し、前記固定子と可動子との間に吸引力を発生させながら前記レールに沿って前記可動子を移動させるリニアモータにおいて、前記可動子に、当該可動子側からの前記レールへのアクセスを可能とする開口部が形成されていることを特徴とするリニアモータ。
2. 請求項１に記載のリニアモータにおいて、
   前記固定子は、複数のティースが前記一軸方向に並ぶコアと当該コアの前記ティースに装着されるコイルとを有する電機子からなり、前記可動子は、前記レールに沿って延びて当該レールを被うように前記スライダに固定される可動ベースを含み、かつこの可動ベースにおける前記固定子との対向面に表面極性が交互に異なるように前記一軸方向に複数の磁石が配列された界磁子からなるものであって、さらに前記可動ベースに前記開口部が形成されていることを特徴とするリニアモータ。
3. 請求項２に記載のリニアモータにおいて、
   前記可動ベースは、前記レールに沿って複数の前記開口部が形成されることにより略梯子型に構成されていることを特徴とするリニアモータ。
4. 請求項１乃至３の何れか一項に記載のリニアモータにおいて、
   前記フレーム部材に、前記固定子及び前記レールをそれぞれ位置決めするための位置決め部が設けられ、前記固定子及び前記レールをそれぞれ位置決め部材に当接させた状態で前記フレーム部材に固定することにより、前記固定子と可動子との間に所定寸法の隙間が形成されるように構成されていることを特徴とするリニアモータ。
5. リニアモータを有する駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び基板上への部品の実装を行う部品実装装置において、
   前記リニアモータとして、請求項１乃至４の何れか一項に記載のリニアモータを有することを特徴とする部品実装装置。
6. リニアモータを有する駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行う部品検査装置において、
   前記リニアモータとして、請求項１乃至４の何れか一項に記載のリニアモータを有することを特徴とする部品検査装置。

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