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JP2009160068A - Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic equipment using the same - Google Patents

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JP2009160068A
JP2009160068A JP2007340110A JP2007340110A JP2009160068A JP 2009160068 A JP2009160068 A JP 2009160068A JP 2007340110 A JP2007340110 A JP 2007340110A JP 2007340110 A JP2007340110 A JP 2007340110A JP 2009160068 A JP2009160068 A JP 2009160068A
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JP
Japan
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ultrasonic
piezoelectric element
pump
electrodes
ultrasonic probe
Prior art date
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Pending
Application number
JP2007340110A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Hanyu
武 羽生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Medical and Graphic Inc
Original Assignee
Konica Minolta Medical and Graphic Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Priority to JP2007340110A priority Critical patent/JP2009160068A/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To cool an ultrasonic transmitter-receiver by a configuration which can be downsized, in an ultrasonic probe used in ultrasonic diagnostic equipment. <P>SOLUTION: The ultrasonic probe is provided with a piezoelectric element pump 21. The piezoelectric element pump 21 comprises: a pump body 22 composed by connecting two or more stages of piezoelectric elements 22a formed in a cylindrical shape and having electrodes 22b at both ends, having a cap 25 on the input side where a flow passage area is narrower than that of the output side; and a control power source for successively applying a voltage for enlarging the inner diameter of the cylinder and then reducing it from the input side to the output side between the electrodes 22b of the piezoelectric elements 22a of the respective stages. Thus, since the operations (a) and (b) are repeatedly performed and cooled air is supplied to the ultrasonic transmitter-receiver, it is achieved by the configuration which can be substantially downsized compared to a fan or the like. Also, power consumption can be made half or less of that in the case of a cooling fan when obtaining the same cooling effect. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、超音波診断装置に使用される超音波探触子(プローブ)およびそれを用いる超音波診断装置に関する。   The present invention relates to an ultrasonic probe (probe) used in an ultrasonic diagnostic apparatus and an ultrasonic diagnostic apparatus using the same.

前記超音波診断装置は、超音波パルス反射法により、体表から生体内の軟組織の断層像を無侵襲に得る医療用画像機器である。この超音波診断装置は、他の医療用画像機器に比べ、小型で安価、X線などの被爆がなく安全性が高い、ドップラー効果を応用して血流イメージングが可能等、多くの特長を有し、循環器系(心臓の冠動脈)、消化器系(胃腸)、内科系(肝臓、膵臓、脾臓)、泌尿科系(腎臓、膀胱)、および産婦人科系などで広く利用されている。   The ultrasonic diagnostic apparatus is a medical imaging device that non-invasively obtains a tomographic image of a soft tissue in a living body from a body surface by an ultrasonic pulse reflection method. Compared to other medical imaging equipment, this ultrasound diagnostic device has many features such as small size, low cost, high safety without exposure to X-rays, and blood flow imaging using the Doppler effect. It is widely used in the circulatory system (coronary artery of the heart), digestive system (gastrointestinal), internal medicine system (liver, pancreas, spleen), urology system (kidney, bladder), and obstetrics and gynecology.

このような医療用超音波診断装置に使用される超音波探触子は、高感度、高解像度の超音波の送受信を行うために、圧電セラミックの圧電効果が一般的に利用される。この場合、送信用圧電振動子には、単一圧電振動子であるシングル型探触子または複数の圧電振動子を1次元または2次元に配置したアレイ型探触子がよく使用される。アレイ型は精細な画像を得ることができるので、医療用として広く普及している。しかしながら、高精細化のための素子数の増大に伴い、開口面積を大きくすべき必要があるところ、寧ろ、使い勝手から狭くなる傾向があり、密な圧電振動子の集積は、素子に電圧の負荷がかかり、稼働時には温度が上昇し、素子の感度に悪影響を与えている。そのため、放熱の工夫が必要となっている。   An ultrasonic probe used in such a medical ultrasonic diagnostic apparatus generally uses the piezoelectric effect of a piezoelectric ceramic in order to transmit and receive high-sensitivity and high-resolution ultrasonic waves. In this case, a single-type probe that is a single piezoelectric vibrator or an array-type probe in which a plurality of piezoelectric vibrators are arranged one-dimensionally or two-dimensionally is often used as the transmitting piezoelectric vibrator. Since the array type can obtain a fine image, it is widely used for medical purposes. However, with the increase in the number of elements for higher definition, the aperture area needs to be increased. On the contrary, there is a tendency to become narrower from the viewpoint of ease of use. The temperature rises during operation, adversely affecting the sensitivity of the device. Therefore, a device for heat dissipation is necessary.

そこで、特許文献1には、圧電振動子およびその駆動用の回路基板のそれぞれに熱伝導性の良好な板を取付け、探触子から離れた所へ発生した熱を伝搬させて、放熱フィンとなっているその板の他端側をファンで冷却している。   Therefore, in Patent Document 1, a plate having good thermal conductivity is attached to each of the piezoelectric vibrator and the circuit board for driving the piezoelectric vibrator, and the generated heat is propagated away from the probe, The other end of the plate is cooled by a fan.

一方、特許文献2には、圧電振動子の後背部に使用するバッキング材内部に、熱伝導性ファイバーを設けて放熱を行うことが示されている。また、特許文献3には、圧電振動子とケースとの間に充填される防水用モールド材に、中空金属材を混入することで、放熱性を高めることが示されている。
特開2007−209699号公報 特開2006−129965号公報 特開2006−204622号公報
On the other hand, Patent Document 2 discloses that a heat conductive fiber is provided inside a backing material used for the back portion of the piezoelectric vibrator to radiate heat. Patent Document 3 discloses that heat dissipation is improved by mixing a hollow metal material into a waterproof mold material filled between the piezoelectric vibrator and the case.
JP 2007-209699 A JP 2006-129965 A JP 2006-204622 A

前記特許文献1の従来技術では、圧電振動子の冷却は充分に行え、したがって圧電振動子の温度上昇による画質の劣化を抑えることができる。しかしながら、熱伝導性の良好な板や放熱フィンなど、探触子部分は従来とさほど変らない大きさであっても、周囲に余計な放熱のための機構が必要となり、大型化するという問題がある。一方、特許文献2や特許文献3の従来技術では、圧電振動子の冷却を充分に行うことができず、また放熱側の筐体などが過熱したりするという問題がある。   In the prior art disclosed in Patent Document 1, the piezoelectric vibrator can be sufficiently cooled, and hence deterioration of image quality due to a temperature rise of the piezoelectric vibrator can be suppressed. However, even if the probe part, such as a plate with good thermal conductivity and a heat radiating fin, has a size that does not change much from the conventional one, an extra heat dissipation mechanism is required in the surrounding area, which increases the size. is there. On the other hand, in the prior arts of Patent Document 2 and Patent Document 3, there is a problem that the piezoelectric vibrator cannot be sufficiently cooled, and the heat-dissipating housing is overheated.

本発明の目的は、小型化可能な構成で超音波送受信子の充分な冷却を行うことができる超音波探触子およびそれを用いる超音波診断装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide an ultrasonic probe capable of sufficiently cooling an ultrasonic transmitter / receiver with a structure that can be miniaturized, and an ultrasonic diagnostic apparatus using the ultrasonic probe.

本発明の超音波探触子は、超音波送受信子から被検体内に超音波を送信し、前記被検体内で反射された超音波を前記超音波送受信子で受信して受信信号を得て、その受信信号に基づく画像を表示する超音波診断装置に使用される超音波探触子おいて、筒状に形成されて両端部に電極を有する圧電素子が複数段接続されるとともに、入力側となる一方の端部側の流路面積が出力側となる他方の端部側の流路面積より狭く形成されて成るポンプ本体と、前記各段の圧電素子の電極間に、前記筒の内径が拡大した後縮小させる電圧を入力側から出力側へ順次印加してゆくことで、前記超音波送受信子へ冷却媒体を供給させる制御電源とを備えて構成される圧電素子ポンプを含むことを特徴とする。   The ultrasonic probe of the present invention transmits an ultrasonic wave from an ultrasonic transmitter / receiver into a subject, receives an ultrasonic wave reflected in the subject by the ultrasonic transmitter / receiver, and obtains a received signal. In an ultrasonic probe used in an ultrasonic diagnostic apparatus for displaying an image based on the received signal, a plurality of piezoelectric elements formed in a cylindrical shape and having electrodes at both ends are connected to the input side. The inner diameter of the cylinder is between the pump body formed so that the flow area on one end side becomes narrower than the flow area on the other end side on the output side, and the electrodes of the piezoelectric elements in each stage. And a piezoelectric power pump configured to include a control power source for supplying a cooling medium to the ultrasonic wave transmitter / receiver by sequentially applying a voltage to be reduced after being enlarged from the input side to the output side. And

上記の構成によれば、超音波送受信子から被検体内に超音波を送信し、前記被検体内で反射された超音波を前記超音波送受信子で受信して受信信号を得て、その受信信号に基づく画像を表示する超音波診断装置に使用される超音波探触子おいて、前記超音波送受信子へ冷却媒体を供給する圧電素子ポンプを設ける。その圧電素子ポンプは、円筒状などの筒状に形成されて両端部に電極を有する圧電素子が複数段接続されるとともに、入力側となる一方の端部側の流路面積が出力側となる他方の端部側の流路面積より狭く形成されて成るポンプ本体と、前記各段の圧電素子の電極間に、前記筒の内径が拡大した後縮小させる電圧を入力側から出力側へ順次印加してゆく制御電源とを備えて構成され、前記のような電圧印加によってポンプ本体では、先ず入力側の筒が拡大して、入力側および次段の筒側から冷却媒体を吸込み、縮小すると流路面積の差によって前記流体は次段の筒側へ押出され、以降、各段の圧電素子は、冷却媒体を吸込み、押出すポンプ動作を、入力側から出力側へ順に行う。すなわち、ポンプ本体が、言わば腸の蠕動運動のようにして、冷却媒体を押出してゆく。   According to the above configuration, an ultrasonic wave is transmitted from the ultrasonic transceiver into the subject, and the ultrasonic wave reflected in the subject is received by the ultrasonic transceiver to obtain a reception signal, and the reception In an ultrasonic probe used in an ultrasonic diagnostic apparatus for displaying an image based on a signal, a piezoelectric element pump for supplying a cooling medium to the ultrasonic transmitter / receiver is provided. The piezoelectric element pump is formed in a cylindrical shape such as a cylinder and is connected to a plurality of stages of piezoelectric elements having electrodes at both ends, and the flow area on one end side which is the input side is the output side Sequentially applied from the input side to the output side between the pump body, which is formed narrower than the flow path area on the other end side, and the electrodes of the piezoelectric elements at each stage, after the inner diameter of the cylinder is enlarged In the pump body by the voltage application as described above, the input side cylinder first expands, sucks the cooling medium from the input side and the next stage cylinder side, and flows when the cooling medium is reduced. The fluid is pushed out to the cylinder side of the next stage due to the difference in the path area. Thereafter, the piezoelectric element of each stage performs the pumping operation of sucking and pushing out the cooling medium in order from the input side to the output side. That is, the pump body pushes out the cooling medium in the manner of a peristaltic movement of the intestine.

したがって、前記超音波送受信子の冷却を、ファンなどに比べて大幅に小型化可能で、低消費電力な構成で実現することができる。   Therefore, the cooling of the ultrasonic transmitter / receiver can be realized with a configuration that can be significantly reduced in size and consumes less power than a fan or the like.

また、本発明の超音波探触子では、前記圧電素子ポンプが吐出する前記冷却媒体は、空気であることを特徴とする。   In the ultrasonic probe of the present invention, the cooling medium discharged from the piezoelectric element pump is air.

上記の構成によれば、前記超音波送受信子を送風によって冷却する。   According to said structure, the said ultrasonic transmitter / receiver is cooled by ventilation.

したがって、前記超音波送受信子およびその周辺に冷却のための特別な構成を設ける必要はなく、超音波送受信子の性能を高めることができるとともに、熱を持った空気は探触子外に排出されるので、該探触子上に排熱のための構成を設ける必要がなく、筐体等が過熱することもない。   Therefore, it is not necessary to provide a special structure for cooling the ultrasonic transmitter / receiver and its surroundings, and the performance of the ultrasonic transmitter / receiver can be improved, and the heated air is discharged outside the probe. Therefore, it is not necessary to provide a configuration for exhaust heat on the probe, and the housing or the like is not overheated.

さらにまた、本発明の超音波探触子では、前記空気の流速は、10cm/秒以上であることを特徴とする。   Furthermore, in the ultrasonic probe of the present invention, the flow velocity of the air is 10 cm / second or more.

上記の構成によれば、前記超音波送受信子の温度上昇を抑え、良好な画質を維持し続けることができる。   According to said structure, the temperature rise of the said ultrasonic transmitter / receiver can be suppressed, and a favorable image quality can be maintained.

また、本発明の超音波探触子では、前記空気は、探触子内の電磁波シールド壁に沿って導入されることを特徴とする。   In the ultrasonic probe of the present invention, the air is introduced along an electromagnetic wave shielding wall in the probe.

上記の構成によれば、空気の流路を特別に設ける必要がなくなる。   According to said structure, it becomes unnecessary to provide the air flow path specially.

さらにまた、本発明の超音波診断装置は、前記の超音波探触子を用いることを特徴とする。   Furthermore, the ultrasonic diagnostic apparatus of the present invention is characterized by using the above-mentioned ultrasonic probe.

上記の構成によれば、探触子の小型化が可能な超音波診断装置を実現することができる。   According to said structure, the ultrasonic diagnosing device in which a probe can be reduced in size can be implement | achieved.

本発明の超音波探触子は、以上のように、筒状に形成されて両端部に電極を有する圧電素子が複数段接続されるとともに、入力側となる一方の端部側の流路面積が出力側となる他方の端部側の流路面積より狭く形成されて成るポンプ本体と、前記各段の圧電素子の電極間に、前記筒の内径が拡大した後縮小させる電圧を入力側から出力側へ順次印加してゆくことで、超音波送受信子へ冷却媒体を供給させる制御電源とを備えて構成される圧電素子ポンプを設ける。   As described above, the ultrasonic probe of the present invention is formed in a cylindrical shape and is connected to a plurality of stages of piezoelectric elements having electrodes at both ends, and the flow area on one end side serving as the input side Between the pump body formed to be narrower than the flow path area on the other end side on the output side and the electrodes of the piezoelectric elements at each stage, the voltage to be reduced after the inner diameter of the cylinder is enlarged from the input side A piezoelectric element pump including a control power source for supplying a cooling medium to the ultrasonic transmitter / receiver by sequentially applying to the output side is provided.

それゆえ、前記超音波送受信子の冷却を、ファンなどに比べて大幅に小型化可能で、低消費電力な構成で実現することができる。   Therefore, the cooling of the ultrasonic transmitter / receiver can be realized with a configuration that can be significantly reduced in size and consumes less power than a fan or the like.

さらにまた、本発明の超音波診断装置は、以上のように、前記の超音波探触子を用いる。   Furthermore, the ultrasonic diagnostic apparatus of the present invention uses the above-described ultrasonic probe as described above.

それゆえ、探触子の小型化が可能な超音波診断装置を実現することができる。   Therefore, an ultrasonic diagnostic apparatus capable of downsizing the probe can be realized.

以下、本発明の実施の一形態について説明するが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明内において様々な態様が含まれる。   Hereinafter, although one embodiment of the present invention is described, the present invention is not limited to this embodiment, and various aspects are included in the present invention.

[実施の形態1]
図1は、本発明の実施の一形態に係る超音波探触子1の断面図である。この超音波探触子1は、大略的に、電源供給や診断用の画像を表示したり印字出力したりする診断装置本体から延びる同軸ケーブル2の先端に取付けられ、掌大の筐体3内に、超音波送受信子10に、その駆動回路基板4,5が収納されて成る。
[Embodiment 1]
FIG. 1 is a cross-sectional view of an ultrasonic probe 1 according to an embodiment of the present invention. The ultrasonic probe 1 is generally attached to the tip of a coaxial cable 2 extending from a diagnostic apparatus main body for displaying a power supply or displaying an image for diagnosis or outputting a print. In addition, the drive circuit boards 4 and 5 are accommodated in the ultrasonic transceiver 10.

前記筐体3において、前記同軸ケーブル2が引込まれた側とは反対側には開口6が形成されており、その開口6から前記超音波送受信子10が被検体に臨む。前記駆動回路基板4,5には、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)やFPGA(Field Programmable Gate Array)等が実装されており、前記診断装置本体からの駆動信号に応答して前記超音波送受信子10から被検体内に超音波を送信し、前記被検体内で反射された超音波が前記超音波送受信子10で受信されて得られた受信信号を適宜処理して、前記診断装置本体へ出力し、前記受信信号に基づく画像を表示させる。   In the housing 3, an opening 6 is formed on the side opposite to the side where the coaxial cable 2 is drawn, and the ultrasonic transceiver 10 faces the subject from the opening 6. An ASIC (Application Specific Integrated Circuit), an FPGA (Field Programmable Gate Array), or the like is mounted on the drive circuit boards 4 and 5, and the ultrasonic transceiver 10 is responsive to a drive signal from the diagnostic apparatus body. The ultrasonic wave is transmitted into the subject, and the received signal obtained by receiving the ultrasonic wave reflected in the subject by the ultrasonic transceiver 10 is appropriately processed and output to the diagnostic apparatus body. And displaying an image based on the received signal.

前記超音波送受信子10は、様々な態様に構成することが可能であるが、図1の例では、圧電振動子をアレイ状に並べた圧電素子群11の前面に2つの整合層12,13を、背面にダンパー14を設けて構成されている。前記圧電素子群11としては、32×32素子の2次元配置のリニアアレイを使用している。前記圧電振動子は、市販のPZT粉末から公知の手法によってグリーンシートを作成し、1200℃で焼結した後、ダイシングソーで前記32×32のアレイ状に素子を形成し、さらに銀焼き付けで配線を形成して作成することができる。前記PZTの周波数定数としては、2200Hz・mのものを使用し、したがって629μmの厚さで3.5MHzの共振周波数を得ている。前記整合層12,13はシリコン樹脂から成り、前記ダンパー(バッキング材)14はタングステン粉末をエポキシ樹脂で固めて作成している。このように構成される超音波送受信子10および上述の駆動回路基板4,5の配置は、適宜選択されればよい。   The ultrasonic transceiver 10 can be configured in various modes. In the example of FIG. 1, two matching layers 12 and 13 are provided on the front surface of the piezoelectric element group 11 in which piezoelectric vibrators are arranged in an array. And a damper 14 is provided on the back surface. As the piezoelectric element group 11, a 32 × 32 element two-dimensional linear array is used. For the piezoelectric vibrator, a green sheet is made from a commercially available PZT powder by a known method, sintered at 1200 ° C., elements are formed into a 32 × 32 array with a dicing saw, and wiring is performed by silver baking. Can be created. As the frequency constant of the PZT, a frequency constant of 2200 Hz · m is used, and thus a resonance frequency of 3.5 MHz is obtained with a thickness of 629 μm. The matching layers 12 and 13 are made of silicon resin, and the damper (backing material) 14 is made by solidifying tungsten powder with epoxy resin. The arrangement of the ultrasonic transceiver 10 configured as described above and the drive circuit boards 4 and 5 described above may be appropriately selected.

上述のように構成される超音波探触子1において、注目すべきは、本発明では、前記超音波送受信子10へ冷却空気を供給する圧電素子ポンプ21が設けられていることである。その圧電素子ポンプ21は、ポンプ本体22と、それを駆動する制御電源23とを備えて構成される。本実施の形態では、前記ポンプ本体22は、筐体3の同軸ケーブル2が引込まれた側において、その同軸ケーブル2を挟んで対称な位置に一対で設けられており、該ポンプ本体22側が吸気孔24となり、これに対応して、前記超音波送受信子10付近に一対で排気孔28が設けられ、それらの間は、電磁波の漏洩防止用のシールド壁26を流路として、矢印で示すように前記冷却空気が流れる。前記制御電源23は、前記駆動回路基板5に実装される前記ASICやFPGA等で実現される。   In the ultrasonic probe 1 configured as described above, it should be noted that in the present invention, a piezoelectric element pump 21 for supplying cooling air to the ultrasonic transceiver 10 is provided. The piezoelectric element pump 21 includes a pump body 22 and a control power source 23 that drives the pump body 22. In the present embodiment, the pump main body 22 is provided in a pair at symmetrical positions with the coaxial cable 2 sandwiched between the side of the casing 3 where the coaxial cable 2 is drawn. Corresponding to this, a pair of exhaust holes 28 are provided in the vicinity of the ultrasonic transmitter / receiver 10, and a gap between them is indicated by an arrow with a shield wall 26 for preventing leakage of electromagnetic waves as a flow path. The cooling air flows in The control power supply 23 is realized by the ASIC, FPGA, or the like mounted on the drive circuit board 5.

図2は、前記ポンプ本体22の構造を示す図であり、(a)は側面図であり、(b)は上面図である。このポンプ本体22は、図3に示すような円筒状に形成され、その両端部に電極22bを有する圧電素子22aが複数段(図2の例では6段)接続されるとともに、入力側となる一方の端部側がキャップ25で閉塞され、かつそのキャップ25に前記吸気孔24が形成されて構成される。前記キャップ25は、円筒状の圧電素子22aに連なる円筒部25aと、その一方の端部を閉塞する端板25bとを備えて構成され、前記円筒部25aに前記吸気孔24が形成される(図2の例では周方向に等間隔に4つ)ことで、ポンプ本体22の流路面積は、吸気側が排気側に比べて狭くなっている。前記流路面積は、圧電素子22aの内周の軸直角断面績に対して、吸気孔24の軸直角断面績が、半分以下、特に四分の1以下程度にすることが好ましく、また吸気孔24の個数は任意であり、さらに吸気孔24が端板25bに設けられていてもよい。   2A and 2B are diagrams showing the structure of the pump main body 22, wherein FIG. 2A is a side view and FIG. 2B is a top view. The pump body 22 is formed in a cylindrical shape as shown in FIG. 3, and piezoelectric elements 22a having electrodes 22b at both ends thereof are connected in a plurality of stages (six stages in the example of FIG. 2) and are on the input side. One end side is closed with a cap 25 and the intake hole 24 is formed in the cap 25. The cap 25 includes a cylindrical portion 25a connected to a cylindrical piezoelectric element 22a and an end plate 25b that closes one end portion of the cap 25, and the intake hole 24 is formed in the cylindrical portion 25a (see FIG. In the example of FIG. 2, the flow path area of the pump body 22 is narrower on the intake side than on the exhaust side. The flow passage area is preferably set so that the axial cross-sectional area of the intake hole 24 is less than half of the inner circumference of the piezoelectric element 22a, particularly about a quarter or less. The number of 24 is arbitrary, and the intake hole 24 may be provided in the end plate 25b.

前記圧電素子22aは、たとえば圧電フィルムを打ち抜き切断することによって成型することができる。ここに使用される材料には、圧電性を示す無機材料や有機材料を使用することができる。無機材料としては、広く使用されているPZT(鉛、ジルコニウム、チタンの合金)、脱鉛化を図ったチタン酸バリウムや鉛の代わりにニオブやビスマスを使用した無機材料、ポリ弗化ビニリデン、弗化ビニリデンと3弗化エチレンとの共重合体、ポリシアノビニリデン、ポリウレアなどを使用することができる。無機材料は、前記のようにフィルムから打ち抜きによって円筒の形に成型した前駆物質を、700℃から1300℃の範囲で焼成して成型することができる。有機材料の場合は、フィルムに成型後、切断打ち抜きによって成型することができる。   The piezoelectric element 22a can be molded, for example, by punching and cutting a piezoelectric film. As the material used here, an inorganic material or an organic material exhibiting piezoelectricity can be used. Inorganic materials include PZT (alloy of lead, zirconium and titanium), inorganic materials using niobium and bismuth instead of barium titanate and lead for deleading, polyvinylidene fluoride, fluorine A copolymer of vinylidene fluoride and ethylene trifluoride, polycyanovinylidene, polyurea, or the like can be used. The inorganic material can be molded by firing the precursor formed into a cylindrical shape by punching from the film as described above in the range of 700 ° C to 1300 ° C. In the case of an organic material, it can be formed by cutting and punching after forming into a film.

前記電極22bとしては、金、白金、銀、銅、アルミ、真鍮などを選択することができる。円筒の大きさとしては、外径が50μm〜10mm、長さ(高さ)が1μm〜1cmの範囲を選択するのが好ましい。そして、前記電極22bは、図4で示すように、一直線に縦続接続された各圧電素子22a間で、相互に逆方向に電界が発生するように並列に接続されている。   Gold, platinum, silver, copper, aluminum, brass, or the like can be selected as the electrode 22b. As the size of the cylinder, it is preferable to select a range in which the outer diameter is 50 μm to 10 mm and the length (height) is 1 μm to 1 cm. As shown in FIG. 4, the electrodes 22b are connected in parallel so that electric fields are generated in opposite directions between the piezoelectric elements 22a cascaded in a straight line.

したがって、前記制御電源23から各圧電素子22aの電極25b間に、吸気孔24から数えて、奇数番目の圧電素子と偶数番目の圧電素子とに相互に逆極性(180°位相が異なる)の交番電圧を与えると、或るタイミングでは図5(a)で示すように奇数番目の圧電素子の内径が拡大し、偶数番目の圧電素子の内径が縮小し、次のタイミングではその逆に図5(b)で示すように奇数番目の圧電素子の内径が縮小し、偶数番目の圧電素子の内径が拡大する。したがって、各圧電素子22aは、電極22bの位置を節として、太ったり細ったりして、言わば腸の蠕動運動のような動作を行い、前記流路面積の差から、閉塞されている入力側から、開放されている出力側へ空気を押出してゆく。   Therefore, between the control power source 23 and the electrode 25b of each piezoelectric element 22a, the odd-numbered piezoelectric element and the even-numbered piezoelectric element, which are counted from the intake hole 24, have alternating polarities (180 ° different in phase). When a voltage is applied, the inner diameter of the odd-numbered piezoelectric element is enlarged and the inner diameter of the even-numbered piezoelectric element is reduced as shown in FIG. 5A at a certain timing, and vice versa at the next timing. As shown in b), the inner diameter of the odd-numbered piezoelectric elements is reduced, and the inner diameter of the even-numbered piezoelectric elements is increased. Therefore, each piezoelectric element 22a is thickened and thinned with the position of the electrode 22b as a node, and performs an operation like a peristaltic movement of the intestine. The air is pushed out to the open output side.

前記圧電素子22aの共振周波数は、100kHzより低いと可聴音が響くようになり、受診者に不快音を与えるので好ましくなく、また100MHzを超えるような圧電素子を形成する場合には、該圧電素子のポンプ効率が低下するので好ましくなく、このため100kHz〜100MHzの間で任意に選択されればよい。その中でも、200kHz〜20MHzが好ましく、400kHz〜10MHzが最も好ましい。   If the resonance frequency of the piezoelectric element 22a is lower than 100 kHz, an audible sound will be heard, which is unfavorable because it gives an unpleasant sound to the examinee. When a piezoelectric element exceeding 100 MHz is formed, the piezoelectric element Therefore, it is not preferable because the pump efficiency is lowered. Therefore, it may be arbitrarily selected between 100 kHz and 100 MHz. Among them, 200 kHz to 20 MHz is preferable, and 400 kHz to 10 MHz is most preferable.

図6〜図8は、本願発明者の実験結果を示すグラフである。実験に際して、前記ポンプ本体22の圧電素子22aには、周波数定数1900Hz・mのPZT圧電素子を使用し、1単位素子として、長さ(高さ)tmを1.9mm(1MHz共振)、外径tzを5mm、内径txを4mmとした。この素子を6段重ねて、内径1mmの吸気孔24を4個設けた端板25bで閉塞し、各電極22bに配線を施した。配線後は、ポリイミド膜で絶縁を行い、2つのポンプ本体22を超音波探触子1に設置した。そして、圧電素子22aへの印加電圧を変化させて、吸入量の変化を見たのが図6である。前記制御電源23からの駆動周波数は共振周波数の1MHzであり、駆動電圧を変化させたときの外気吸入速度の変化を示している。駆動電圧を上げるに従い、吸入速度が上昇しており、前記超音波送受信子10をより強い風で冷却し、温度上昇を抑えることができる。排熱は、前記排気孔28から行われ、筐体3は、むしろシールド壁26に沿って流れる前記空気によって、内側から冷却される。   6 to 8 are graphs showing the experimental results of the inventors of the present application. In the experiment, a PZT piezoelectric element having a frequency constant of 1900 Hz · m is used as the piezoelectric element 22a of the pump body 22, and the length (height) tm is 1.9 mm (1 MHz resonance) and the outer diameter as one unit element. The tz was 5 mm and the inner diameter tex was 4 mm. This element was stacked in six stages, closed by an end plate 25b having four intake holes 24 having an inner diameter of 1 mm, and wiring was applied to each electrode 22b. After wiring, insulation was performed with a polyimide film, and two pump bodies 22 were installed on the ultrasonic probe 1. FIG. 6 shows the change in the suction amount by changing the voltage applied to the piezoelectric element 22a. The drive frequency from the control power supply 23 is 1 MHz, which is the resonance frequency, and shows the change in the outside air suction speed when the drive voltage is changed. As the drive voltage is increased, the suction speed is increased, and the ultrasonic transceiver 10 can be cooled with stronger wind to suppress an increase in temperature. Heat is exhausted from the exhaust hole 28, and the housing 3 is cooled from the inside by the air flowing along the shield wall 26.

図7は、超音波送受信子10の使用時間に対する温度上昇の測定結果を示すグラフである。前記圧電素子22aに印加する電圧を、0Vから60Vまで変化している。電圧を60Vまで昇圧すると、温度上昇が抑えられていることが理解される。したがって、この図7から、温度上昇を抑えられる電圧として前記60V、それに対応して前述の図6から、温度上昇を抑えられる吸入速度として、10cm/秒以上が得られる。   FIG. 7 is a graph showing the measurement result of the temperature rise with respect to the usage time of the ultrasonic transceiver 10. The voltage applied to the piezoelectric element 22a is changed from 0V to 60V. It is understood that the temperature rise is suppressed when the voltage is increased to 60V. Therefore, from FIG. 7, the voltage that can suppress the temperature rise is 60 V, and correspondingly, from FIG. 6 described above, the suction speed that can suppress the temperature rise is 10 cm / second or more.

ここで、図8には、圧電素子22aの印加電圧が0V、すなわち冷却を行わなかった場合の画質変化を示す。超音波送受信子10の温度上昇は、図7のグラフと同様である。画質は、温度上昇に伴って悪くなってゆき、温度上昇が止まると、そのレベルを維持する。この図8での画質の評価は、前記診断装置本体の表示パネルに表示された画像を目視することで行い、最も優れる画像を「優」、優れている画像を「良」、普通の画像を「可」、画質が劣るものを「劣」と評価している。本願発明のように前記駆動電圧で60V、吸入速度で10cm/秒以上で冷却を行うことで、前述の図7で示すように、温度上昇は殆どなく、したがってこの図9で示すような画質の劣化はなく、解像度、鮮鋭性、スペックルノイズの低減の現象が観察された。こうして、超音波送受信子10の温度上昇を抑えることで、鮮明な画像を安定に得ることができる。   Here, FIG. 8 shows a change in image quality when the applied voltage of the piezoelectric element 22a is 0 V, that is, when cooling is not performed. The temperature rise of the ultrasonic transceiver 10 is the same as the graph of FIG. The image quality deteriorates as the temperature rises, and maintains that level when the temperature rise stops. The image quality evaluation in FIG. 8 is performed by visually observing the image displayed on the display panel of the diagnostic apparatus main body. The most excellent image is “excellent”, the excellent image is “good”, and the normal image is “Poor” and poor image quality are evaluated as “poor”. By performing the cooling at the driving voltage of 60 V and the suction speed of 10 cm / second or more as in the present invention, there is almost no temperature rise as shown in FIG. 7, and the image quality as shown in FIG. There was no deterioration, and the phenomenon of resolution, sharpness and speckle noise reduction was observed. In this way, a clear image can be stably obtained by suppressing the temperature rise of the ultrasonic transceiver 10.

以上のように、本実施の形態の超音波探触子1では、筒状に形成されて両端部に電極22bを有する圧電素子22aが複数段接続され、入力側となる一方の端部側にキャップ25が設けられて、流路面積が出力側となる他方の端部側より狭く形成されて成るポンプ本体22と、前記各段の圧電素子22aの電極22b間に、前記筒の内径が拡大した後縮小させる電圧を入力側から出力側へ順次印加してゆくことで、超音波送受信子10へ冷却空気を供給させる制御電源23とを備えて成る圧電素子ポンプ21を設けるので、前記超音波送受信子10の冷却を、ファンなどに比べて大幅に小型化可能な構成で実現することができる。また、消費電力も、同じ冷却効果を得るにあたって、冷却ファンの場合の半分以下とすることができる。さらにまた、大面積な放熱フィンを設けたり、診断装置本体側から同軸ケーブル2中を通して送風したりする構成に比べて、低コスト化を図ることもできる。   As described above, in the ultrasonic probe 1 of the present embodiment, a plurality of piezoelectric elements 22a that are formed in a cylindrical shape and have the electrodes 22b at both ends are connected to one end side that is the input side. An inner diameter of the cylinder is expanded between a pump body 22 provided with a cap 25 and having a flow passage area narrower than the other end side on the output side, and the electrode 22b of the piezoelectric element 22a of each stage. Then, the piezoelectric element pump 21 including the control power source 23 for supplying cooling air to the ultrasonic transmitter / receiver 10 by sequentially applying the voltage to be reduced from the input side to the output side is provided. Cooling of the transceiver 10 can be realized with a configuration that can be significantly reduced in size compared to a fan or the like. Also, the power consumption can be reduced to less than half that of the cooling fan in obtaining the same cooling effect. Furthermore, the cost can be reduced as compared with a configuration in which a large-area heat radiation fin is provided or air is blown through the coaxial cable 2 from the diagnostic device main body side.

また、前記圧電素子ポンプ21が吐出する冷却媒体を空気として、前記超音波送受信子10を送風によって冷却することで、前記超音波送受信子10およびその周辺に冷却のための特別な構成を設ける必要はなく、超音波送受信子10の性能を高めることができるとともに、熱を持った空気は探触子1外に排出されるので、該探触子1上に排熱のための構成を設ける必要がなく、筐体3等が過熱することもない。しかも前記空気を、探触子1内の電磁波シールド壁26に沿って導入することで、空気の流路を特別に設ける必要がない。   In addition, it is necessary to provide a special configuration for cooling the ultrasonic transceiver 10 and its periphery by cooling the ultrasonic transceiver 10 by blowing air using the cooling medium discharged from the piezoelectric element pump 21 as air. In addition, the performance of the ultrasonic transmitter / receiver 10 can be improved, and the heated air is exhausted to the outside of the probe 1. Therefore, it is necessary to provide a structure for exhausting heat on the probe 1. And the housing 3 does not overheat. In addition, by introducing the air along the electromagnetic wave shielding wall 26 in the probe 1, it is not necessary to provide a special air flow path.

[実施の形態2]
図9は、本発明の実施の他の形態に係る超音波探触子におけるポンプ本体32の側面図であり、前述の図2で示すポンプ本体22に類似し、対応する部分には同一の参照符号を付して示し、その説明を省略する。注目すべきは、このポンプ本体32では、各圧電素子22aの電極22b間に絶縁層33が介在されており、図示しない制御電源からは、各圧電素子22aを個別に制御する電圧が印加されることである。すなわち、前述のポンプ本体22では、隣接する圧電素子間の電極は共用であり、単に180°位相の異なる電圧が印加されただけであったのに対して、このポンプ本体32では、隣接する圧電素子間の電極を切離し、各圧電素子22aに細かな位相を行うようにしたことである。したがって、前記蠕動運動がより滑らかになり、同じ条件で駆動しても、前記ポンプ本体32に比べて、吐出空気量を大きくすることができる。
[Embodiment 2]
FIG. 9 is a side view of a pump main body 32 in an ultrasonic probe according to another embodiment of the present invention. The pump main body 32 is similar to the pump main body 22 shown in FIG. Reference numerals are given and description thereof is omitted. It should be noted that in this pump body 32, an insulating layer 33 is interposed between the electrodes 22b of each piezoelectric element 22a, and a voltage for individually controlling each piezoelectric element 22a is applied from a control power source (not shown). That is. That is, in the pump body 22 described above, the electrodes between the adjacent piezoelectric elements are shared and only voltages having a phase difference of 180 ° are applied, whereas in the pump body 32, the adjacent piezoelectric elements are adjacent. This is because the electrodes between the elements are separated so that each piezoelectric element 22a has a fine phase. Therefore, the peristaltic motion becomes smoother, and the discharge air amount can be increased as compared with the pump main body 32 even when driven under the same conditions.

このような圧電素子ポンプは、超音波探触子に限らず、他の微細加工(MEMS)材料に応用することができる。たとえば、生化学の分野の血液循環ポンプに応用することができる、また遺伝子診断のDNA分離回路に使用することもできる。ここで、従来の超音波ポンプは、送液管に超音波振動子を接触させてその振動が管に伝達して送液するタイプであり、振動子により管が摩耗する欠点があったが、本実施の形態の圧電素子ポンプは、送液管が直接超音波振動子であるので、摩耗がなく、損傷しないという利点を有する。超音波振動子が弗化ビニリデンである超音波振動子は、薬液耐性も高いので、応用範囲を広くすることができる。本発明は空冷を基本としているが、水冷に使用することもできる。水冷の場合、防腐剤等を入れても化学反応をしにくい素材を選択すると有用である。   Such a piezoelectric element pump can be applied not only to an ultrasonic probe but also to other microfabrication (MEMS) materials. For example, it can be applied to blood circulation pumps in the field of biochemistry, and can also be used in DNA separation circuits for genetic diagnosis. Here, the conventional ultrasonic pump is a type in which an ultrasonic vibrator is brought into contact with a liquid feeding pipe, and the vibration is transmitted to the pipe to feed the liquid. The piezoelectric element pump according to the present embodiment has an advantage that it is not worn and damaged because the liquid feeding pipe is a direct ultrasonic vibrator. An ultrasonic vibrator in which the ultrasonic vibrator is vinylidene fluoride has high chemical resistance, and thus can be applied to a wide range. Although the present invention is based on air cooling, it can also be used for water cooling. In the case of water cooling, it is useful to select a material that hardly reacts with chemicals even if a preservative is added.

なお、本発明の思想の範囲において、当業者であれば、各種の改変更例および修正例を容易に想起するものであるが、それら改変例および修正例についても本発明の範囲に属するものと理解されるものである。   In the scope of the idea of the present invention, those skilled in the art can easily conceive various modified examples and modified examples, and these modified examples and modified examples also belong to the scope of the present invention. It is understood.

本発明の実施の一形態に係る超音波探触子の断面図である。1 is a cross-sectional view of an ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の一形態に係るポンプ本体の構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the pump main body which concerns on one Embodiment of this invention. 前記ポンプ本体を構成する1つの圧電素子の図である。It is a figure of one piezoelectric element which constitutes the pump main part. 前記ポンプ本体の電極引回しを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the electrode routing of the said pump main body. 前記ポンプ本体の動きを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the motion of the said pump main body. 本願発明者の実験結果であり、前記ポンプ本体への印加電圧を変化させたときの吸入量の変化を示すグラフである。It is a graph which shows the experiment result of this inventor, and shows the change of the suction | inhalation amount when changing the applied voltage to the said pump main body. 本願発明者の実験結果であり、超音波送受信子の使用時間に対する温度上昇の測定結果を示すグラフである。It is a graph which is an experimental result of this inventor, and shows the measurement result of the temperature rise with respect to the use time of an ultrasonic transceiver. 本願発明者の実験結果であり、超音波送受信子を冷却しなかった場合の画質変化を示すグラフである。It is a graph which is an experimental result of this inventor, and shows an image quality change at the time of not cooling an ultrasonic transceiver. 本発明の実施の他の形態に係る超音波探触子におけるポンプ本体の側面図である。It is a side view of the pump main body in the ultrasonic probe concerning other embodiments of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 超音波探触子
2 同軸ケーブル
3 筐体
4,5 駆動回路基板
6 開口
10 超音波送受信子
11 圧電素子群
12,13 整合層
14 ダンパー
21 圧電素子ポンプ
22 ポンプ本体
22a 圧電素子
22b 電極
23 制御電源
24 吸気孔
25 キャップ
26 シールド壁
28 排気孔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ultrasonic probe 2 Coaxial cable 3 Housing | casing 4,5 Drive circuit board 6 Opening 10 Ultrasonic transmitter / receiver 11 Piezoelectric element group 12,13 Matching layer 14 Damper 21 Piezoelectric element pump 22 Pump main body 22a Piezoelectric element 22b Electrode 23 Control Power supply 24 Intake hole 25 Cap 26 Shield wall 28 Exhaust hole

Claims (6)

超音波送受信子から被検体内に超音波を送信し、前記被検体内で反射された超音波を前記超音波送受信子で受信して受信信号を得て、その受信信号に基づく画像を表示する超音波診断装置に使用される超音波探触子おいて、
筒状に形成されて両端部に電極を有する圧電素子が複数段接続されるとともに、入力側となる一方の端部側の流路面積が出力側となる他方の端部側の流路面積より狭く形成されて成るポンプ本体と、前記各段の圧電素子の電極間に、前記筒の内径が拡大した後縮小させる電圧を入力側から出力側へ順次印加してゆくことで、前記超音波送受信子へ冷却媒体を供給させる制御電源とを備えて構成される圧電素子ポンプを含むことを特徴とする超音波探触子。
An ultrasonic wave is transmitted from the ultrasonic transmitter / receiver into the subject, the ultrasonic wave reflected in the subject is received by the ultrasonic transmitter / receiver, a received signal is obtained, and an image based on the received signal is displayed. In an ultrasound probe used in an ultrasound diagnostic apparatus,
A plurality of piezoelectric elements that are formed in a cylindrical shape and have electrodes at both ends are connected, and the flow area on one end that is the input side is greater than the flow area on the other end that is the output side The ultrasonic transmission / reception is performed by sequentially applying from the input side to the output side a voltage to be reduced after the inner diameter of the cylinder is enlarged between the narrowly formed pump body and the electrodes of the piezoelectric elements at each stage. An ultrasonic probe comprising a piezoelectric element pump configured to include a control power source for supplying a cooling medium to the child.
前記圧電素子ポンプが吐出する前記冷却媒体は、空気であることを特徴とする請求項1記載の超音波探触子。   The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the cooling medium discharged from the piezoelectric element pump is air. 前記空気の流速は、10cm/秒以上であることを特徴とする請求項2記載の超音波探触子。   The ultrasonic probe according to claim 2, wherein a flow velocity of the air is 10 cm / second or more. 前記空気は、探触子内の電磁波シールド壁に沿って導入されることを特徴とする請求項2または3記載の超音波探触子。   The ultrasonic probe according to claim 2, wherein the air is introduced along an electromagnetic wave shielding wall in the probe. 前記請求項1〜4のいずれか1項に記載の超音波探触子を用いることを特徴とする超音波診断装置。   An ultrasonic diagnostic apparatus using the ultrasonic probe according to any one of claims 1 to 4. 筒状に形成されて両端部に電極を有する圧電素子が複数段接続されるとともに、入力側となる一方の端部側の流路面積が出力側となる他方の端部側の流路面積より狭く形成されて成るポンプ本体と、
前記各段の圧電素子の電極間に、前記筒の内径が拡大した後縮小させる電圧を入力側から出力側へ順次印加してゆくことで、前記超音波送受信子へ冷却媒体を供給させる制御電源とを備えて構成されることを特徴とする圧電素子ポンプ。
A plurality of piezoelectric elements that are formed in a cylindrical shape and have electrodes at both ends are connected, and the flow area on one end that is the input side is greater than the flow area on the other end that is the output side A pump body formed narrowly;
A control power supply for supplying a cooling medium to the ultrasonic transceiver by sequentially applying a voltage to be reduced after the inner diameter of the cylinder is enlarged between the electrodes of the piezoelectric elements at each stage from the input side to the output side. And a piezoelectric element pump.
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