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JP2009038078A - Electromagnetic wave shield film, and plasma display panel - Google Patents

Electromagnetic wave shield film, and plasma display panel Download PDF

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JP2009038078A
JP2009038078A JP2007198685A JP2007198685A JP2009038078A JP 2009038078 A JP2009038078 A JP 2009038078A JP 2007198685 A JP2007198685 A JP 2007198685A JP 2007198685 A JP2007198685 A JP 2007198685A JP 2009038078 A JP2009038078 A JP 2009038078A
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JP
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electromagnetic wave
wave shielding
silver halide
metal
shielding film
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Application number
JP2007198685A
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Japanese (ja)
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Keiri Konishi
敬吏 小西
Masaru Iwagaki
賢 岩垣
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Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic wave shield film which has excellent image sharpness and color tones, small moire, high adhesion to a metal grid, a short intensification time, and excellent coating property while maintaining high electromagnetic shield performance, and to provide a plasma display panel using the same. <P>SOLUTION: After a silver halide sensitive material having a photosensitive layer containing silver halide and a binder on a base is pattern-exposed, black-and-white development and intensification processing are carried out to manufacture the electromagnetic wave shield film having metal arranged in a grid shape, wherein a line width of the metal grid is 3 to 20 μm, a numerical aperture is 80 to 95%, and a standard deviation in inter-metal-grid distance is 0.1 to 1.3. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、電磁波シールドフィルム及びプラズマディスプレイパネルに関する。   The present invention relates to an electromagnetic wave shielding film and a plasma display panel.

近年、携帯電話やパソコン、TV等に用いられるディスプレイ装置等に代表されるような電子機器の使用機会が増加しているが、これらの電子機器からは一般に電磁波が放出され、それにより、電子、電気機器の誤動作、障害あるいは人体に対しても害を与える可能性がある等、いわゆる電磁波障害(EMI)が生じることが知られている。それに伴い、このようなEMIを低減する必要性が高まっており、欧米を中心に電磁波放出の強さに関する規格または規制が設けられ、最近の電子機器にはこれらの基準を満たすことが求められている。特に、CRTやフラットパネルディスプレイ、あるいは窓ガラスのように視認性を必要とする機材には、電磁波遮蔽性能と透明性を両立させることが必要である。   In recent years, there have been increasing opportunities to use electronic devices such as display devices used in mobile phones, personal computers, TVs, etc., but electromagnetic waves are generally emitted from these electronic devices, so that It is known that so-called electromagnetic interference (EMI) occurs, such as malfunction of electrical equipment, failure, or the possibility of harming the human body. Along with this, there is an increasing need to reduce such EMI, and standards or regulations regarding the intensity of electromagnetic wave emission are established mainly in Europe and the United States, and recent electronic devices are required to meet these standards. Yes. In particular, equipment that requires visibility such as a CRT, a flat panel display, or a window glass needs to satisfy both electromagnetic wave shielding performance and transparency.

これまで、電磁波シールドフィルムを作製する場合、フォトリソエッチングや最近では、インクジェットとメッキの組み合わせ等が知られてきている。昨今では、電磁波シールド用の透明導電膜等について、より微細なメッシュにより、電磁波シールド能と透明性の両立が望まれている。しかし、インクジェットや印刷では、なかなかパターン精度が追いつかないのが現状である。また、フォトリソエッチングでは、作製工程が煩雑であり、コストがかかってしまうのが現状である。   So far, in the case of producing an electromagnetic wave shielding film, photolithography etching, and recently, a combination of inkjet and plating has been known. In recent years, regarding a transparent conductive film for electromagnetic wave shielding, it is desired to achieve both electromagnetic wave shielding ability and transparency with a finer mesh. However, the current situation is that pattern accuracy cannot easily catch up with inkjet and printing. Further, in photolithography etching, the manufacturing process is complicated and the cost is high.

また、安全性の面からも、高い電磁波シールド能が必須となっており、安価で高度な電磁波シールド能を持つフィルムが望まれている。   Further, from the viewpoint of safety, a high electromagnetic shielding ability is essential, and an inexpensive film having an advanced electromagnetic shielding ability is desired.

そこで、安価なシールドフィルムとして、銀塩法が注目を浴びてきており、交点太りもなく、微細なパターンが作製できる。ただし、銀塩法では、導電性を付与するために、現像後にメッキを行うことが通常であり、その際の金属格子の密着性、モアレ干渉縞が問題となっている。   Therefore, the silver salt method has been attracting attention as an inexpensive shield film, and a fine pattern can be produced without increasing the intersection. However, in the silver salt method, in order to impart conductivity, plating is usually performed after development, and the metal grid adhesion and moire interference fringes at that time are problematic.

この対策として、特許文献1では金属格子の線幅を1〜20μm、開口率を56〜96%として、シールド能と画像鮮明性のバランスを取り、モアレ干渉縞を防止する方法が開示されている。しかし、現在のプラズマディスプレイパネルにおいては、この条件では不十分である。また、金属格子の標準偏差、断線部個数については触れていない。   As a countermeasure, Patent Document 1 discloses a method of preventing the moire interference fringes by setting the line width of the metal grating to 1 to 20 μm and the aperture ratio to 56 to 96% to balance the shielding ability and the image sharpness. . However, this condition is not sufficient for current plasma display panels. In addition, the standard deviation of the metal grid and the number of disconnected parts are not mentioned.

また、特許文献2では、エッチングにより金属格子の線幅を15μm以下にしてモアレを防止する方法が開示されている。しかし、この条件では不十分である。また、画像鮮鋭性への記載はなく、金属格子の標準偏差、断線部個数については触れていない。
特開平11−317593号公報 特開2001−343520号公報
Patent Document 2 discloses a method for preventing moire by reducing the line width of a metal lattice to 15 μm or less by etching. However, this condition is not sufficient. Further, there is no description on image sharpness, and the standard deviation of the metal grid and the number of disconnected parts are not mentioned.
JP 11-317593 A JP 2001-343520 A

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、高い電磁波シールド能を維持しながら、画像の鮮鋭性、色調が良好でモアレが少なく、金属格子の密着性が高く、補力時間が短く、塗布性が良好な電磁波シールドフィルム及びこれを用いたプラズマディスプレイパネルを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and its purpose is to maintain a high electromagnetic shielding ability while maintaining good image sharpness and color tone with less moire, high adhesion of a metal grid, and intensification. An object of the present invention is to provide an electromagnetic wave shielding film having a short time and good coatability, and a plasma display panel using the same.

本発明の上記課題は、以下の構成により達成される。   The above object of the present invention is achieved by the following configurations.

1.支持体上にハロゲン化銀及びバインダーを含有する感光性層を有するハロゲン化銀感光材料をパターン露光後、白黒現像及び補力処理を行って作製し、金属を格子状に配置した電磁波シールドフィルムにおいて、金属格子の線幅が3〜20μm、開口率が80〜95%、かつ、金属格子間距離の標準偏差が0.1〜1.3であることを特徴とする電磁波シールドフィルム。   1. In an electromagnetic wave shielding film in which a silver halide photosensitive material having a photosensitive layer containing a silver halide and a binder on a support is subjected to pattern exposure, black-and-white development and intensification processing are performed, and metal is arranged in a lattice shape An electromagnetic wave shielding film, wherein the line width of the metal grid is 3 to 20 μm, the aperture ratio is 80 to 95%, and the standard deviation of the distance between the metal grids is 0.1 to 1.3.

2.前記金属格子の線幅が3〜14μmであることを特徴とする前記1に記載の電磁波シールドフィルム。   2. 2. The electromagnetic wave shielding film as described in 1 above, wherein the metal grating has a line width of 3 to 14 μm.

3.前記ハロゲン化銀感光材料のハロゲン化銀の塗布量が、金属銀換算で0.3〜3.0g/m2であることを特徴とする前記1または2に記載の電磁波シールドフィルム。 3. 3. The electromagnetic wave shielding film as described in 1 or 2 above, wherein the silver halide photosensitive material has a silver halide coating amount of 0.3 to 3.0 g / m 2 in terms of metallic silver.

4.前記感光性層の膜厚が、0.03〜0.3μmであることを特徴とする前記1〜3のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。   4). 4. The electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 3, wherein the photosensitive layer has a thickness of 0.03 to 0.3 μm.

5.前記感光性層のハロゲン化銀/バインダーの体積比が、0.2〜0.8であることを特徴とする前記1〜4のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。   5). 5. The electromagnetic wave shielding film as described in any one of 1 to 4, wherein the photosensitive layer has a silver halide / binder volume ratio of 0.2 to 0.8.

6.前記金属格子の断面積Sが、線幅W、線高さHに対して、0.85≦S/(W×H)≦1.0の関係を満たすことを特徴とする前記1〜5のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。   6). The cross-sectional area S of the metal grid satisfies the relationship of 0.85 ≦ S / (W × H) ≦ 1.0 with respect to the line width W and the line height H. The electromagnetic wave shielding film of any one of Claims 1.

7.電磁波シールドフィルムの面方向1m2当たりの前記金属格子の断線部の数が、1〜100であることを特徴とする前記1〜6のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。 7). 7. The electromagnetic wave shielding film according to any one of the above 1 to 6, wherein the number of disconnection portions of the metal lattice per 1 m 2 in the surface direction of the electromagnetic wave shielding film is 1 to 100.

8.前記補力処理が物理現像であることを特徴とする前記1〜7のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。   8). The electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 7, wherein the intensifying treatment is physical development.

9.前記補力処理が、物理現像を行った後にメッキを行うことを特徴とする前記1〜7のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。   9. 8. The electromagnetic wave shielding film as described in any one of 1 to 7, wherein the intensifying treatment is performed after physical development.

10.前記物理現像に用いる物理現像液が酸性であることを特徴とする前記8または9に記載の電磁波シールドフィルム。   10. 10. The electromagnetic wave shielding film as described in 8 or 9 above, wherein the physical developer used for the physical development is acidic.

11.前記1〜10のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルムを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。   11. A plasma display panel comprising the electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 10 above.

本発明により、高い電磁波シールド能を維持しながら、画像の鮮鋭性、色調が良好でモアレが少なく、金属格子の密着性が高く、補力時間が短く、塗布性が良好な電磁波シールドフィルム及びこれを用いたプラズマディスプレイパネルを提供することができる。   According to the present invention, an electromagnetic wave shielding film having excellent image sharpness, color tone, less moire, high adhesion of a metal grid, short intensification time, and good coatability while maintaining high electromagnetic wave shielding ability. A plasma display panel using can be provided.

本発明者らは上記課題について検討した結果、支持体上にハロゲン化銀及びバインダーを含有する感光性層を有するハロゲン化銀感光材料をパターン露光後、白黒現像及び補力処理を行って作製し、金属を格子状に配置した電磁波シールドフィルムにおいて、金属格子の線幅を3〜20μm、開口率を80〜95%、かつ、金属格子間距離の標準偏差を0.1〜1.3とすることにより、飛躍的にシールド能が上がることを確認した。   As a result of studying the above problems, the inventors of the present invention prepared a silver halide photosensitive material having a photosensitive layer containing a silver halide and a binder on a support by performing black-and-white development and intensification processing after pattern exposure. In the electromagnetic wave shielding film in which the metal is arranged in a lattice shape, the line width of the metal lattice is 3 to 20 μm, the aperture ratio is 80 to 95%, and the standard deviation of the distance between the metal lattices is 0.1 to 1.3. As a result, it was confirmed that the shielding ability improved dramatically.

即ち、高いシールド能を得るためには、金属格子の線幅及び開口率を特定の範囲内に調整するだけでは不十分であり、金属格子間距離の標準偏差を1.3以下にすることが必要である。従来このような標準偏差を得ることは困難であったが、本発明らは、露光方法を従来のレーザ露光から格子状のフォトマスクを用いた露光に換えることにより、1.3以下の金属格子間距離の標準偏差を達成した。なお、金属格子間距離の標準偏差を0.1未満にすることはコスト面から好ましくない。   That is, in order to obtain a high shielding ability, it is not sufficient to adjust the line width and aperture ratio of the metal grid within a specific range, and the standard deviation of the distance between the metal grids should be 1.3 or less. is necessary. Conventionally, it has been difficult to obtain such a standard deviation. However, the present inventors have changed the exposure method from conventional laser exposure to exposure using a lattice-like photomask, thereby reducing a metal lattice of 1.3 or less. A standard deviation of the distance was achieved. In addition, it is not preferable from a cost viewpoint to make the standard deviation of the distance between metal lattices less than 0.1.

銀塩法では、金属銀を元に補力処理して作製しているため、金属格子線内部の導電性が高いと推定しており、線幅と金属格子間距離との関係でシールド能が制御できるものと考えている。   In the silver salt method, it is presumed that the conductivity inside the metal grid line is high because it is made by intensifying treatment based on metal silver, and the shielding ability is related to the relationship between the line width and the distance between the metal grids. I think it can be controlled.

また、この関係式においては、高い透過率の達成に寄与し、プラズマディスプレイパネル用電磁波シールドフィルムとして、高いポテンシャルを保持している。   In addition, this relational expression contributes to the achievement of a high transmittance and maintains a high potential as an electromagnetic wave shielding film for a plasma display panel.

以下、本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail, but the present invention is not limited thereto.

(支持体)
本発明において支持体としては、通常の合成樹脂フィルムを用いることができる。
(Support)
In the present invention, a normal synthetic resin film can be used as the support.

例えば、セルロースエステル系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリカーボネート系フィルム、ポリアリレート系フィルム、ポリスルホン(ポリエーテルスルホンも含む)系フィルム、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、セロファン、セルロースジアセテートフィルム、セルロースアセテートブチレートフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレンビニルアルコールフィルム、シンジオタクティックポリスチレン系フィルム、ポリカーボネートフィルム、ノルボルネン樹脂系フィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリエーテルケトンフィルム、ポリエーテルケトンイミドフィルム、ポリアミドフィルム、フッ素樹脂フィルム、ナイロンフィルム、ポリメチルメタクリレートフィルムまたはアクリルフィルム等を用いることができる。また、これらプラスチックフィルム以外に、石英ガラス、ソーダガラス等も用いることが可能である。   For example, cellulose ester film, polyester film, polycarbonate film, polyarylate film, polysulfone (including polyethersulfone) film, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate polyester film, polyethylene film, polypropylene film, cellophane, Cellulose diacetate film, cellulose acetate butyrate film, polyvinylidene chloride film, polyvinyl alcohol film, ethylene vinyl alcohol film, syndiotactic polystyrene film, polycarbonate film, norbornene resin film, polymethylpentene film, polyether ketone film, Polyetherketoneimide film, polyamid Film, fluororesin film, a nylon film, a polymethyl methacrylate film or an acrylic film or the like. In addition to these plastic films, quartz glass, soda glass, and the like can be used.

中でも、セルローストリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリスルホン(ポリエーテルスルホンを含む)、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムが好ましく用いられる。本発明においては、透明性、等方性、接着性、耐久性等の観点から、支持体としてはポリエステル系フィルムであるポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムを用いることが特に好ましい。   Of these, cellulose triacetate film, polycarbonate film, polysulfone (including polyethersulfone), polyethylene terephthalate film, and polyethylene naphthalate film are preferably used. In the present invention, it is particularly preferable to use a polyethylene terephthalate film or a polyethylene naphthalate film that is a polyester film as the support from the viewpoints of transparency, isotropic properties, adhesiveness, durability, and the like.

本発明の電磁波シールドフィルムをプラズマディスプレイの表示画面に用いる場合には、高い透明性が要求されるため、支持体自体の透明性も高いことが望ましい。この場合における支持体であるプラスチックフィルムまたはガラス板の可視光域の平均透過率は、好ましくは85〜100%であり、より好ましくは90〜100%である。また、本発明では、色調調節剤として前記プラスチックフィルムまたはガラス板を本発明の目的を妨げない程度に着色したものを用いることもできる。可視光域の平均透過率とは、400〜700nmの可視光領域の透過率を、少なくとも5nm毎に測定して求めた可視光域の各透過率を積算し、その平均値として求めたものと定義する。測定においては、測定アパチャーを、前述のメッシュパターンより十分大きくとっておく必要があり、少なくともメッシュの格子面積より100倍以上大きな面積で測定して求める。   When the electromagnetic wave shielding film of the present invention is used for a display screen of a plasma display, high transparency is required. Therefore, it is desirable that the support itself has high transparency. The average transmittance in the visible light region of the plastic film or glass plate as the support in this case is preferably 85 to 100%, more preferably 90 to 100%. Moreover, in this invention, what colored the said plastic film or glass plate to the extent which does not interfere with the objective of this invention can also be used as a color tone regulator. The average transmittance in the visible light region is obtained by integrating the transmittances in the visible light region obtained by measuring the transmittance in the visible light region of 400 to 700 nm at least every 5 nm, and obtaining the average value thereof. Define. In measurement, the measurement aperture needs to be sufficiently larger than the mesh pattern described above, and is obtained by measuring at least an area 100 times larger than the mesh area of the mesh.

本発明に用いる支持体は、長尺ロール状として連続搬送しながら生産するために、100m以上、より好ましくは500m以上、さらに好ましくは1000m以上、2000m以下である。   The support used in the present invention is 100 m or more, more preferably 500 m or more, still more preferably 1000 m or more and 2000 m or less in order to produce the continuous support as a long roll.

本発明に用いる支持体の幅は、より大画面のディスプレイパネル用の要望から1m以上、好ましくは1.5m以上、さらに好ましくは、2m以上、5m以下である。   The width of the support used in the present invention is 1 m or more, preferably 1.5 m or more, and more preferably 2 m or more and 5 m or less because of the demand for a display panel with a larger screen.

本発明に用いる支持体の厚さには特に制限はないが、透過率の維持及び取り扱い性の観点から、5〜200μmであることが好ましく、30〜150μmであることがさらに好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of the support body used for this invention, It is preferable that it is 5-200 micrometers from a viewpoint of the maintenance of a transmittance | permeability, and a handleability, and it is further more preferable that it is 30-150 micrometers.

(金属格子)
本発明は、電磁波を遮蔽するために形成される導電性の金属格子の線幅が3〜20μm、開口率が80〜95%、かつ、金属格子間距離の標準偏差が0.1〜1.3であることが特徴である。金属格子の線幅、金属格子間距離はマイクロスコープで拡大し、測定する。金属格子間距離の標準偏差は、金属格子間距離をランダムに100点測定し、その測定値の標準偏差を算出する。
(Metal grid)
In the present invention, the conductive metal grid formed to shield electromagnetic waves has a line width of 3 to 20 μm, an aperture ratio of 80 to 95%, and a standard deviation of the distance between the metal grids of 0.1 to 1. 3 is a feature. The line width of the metal grid and the distance between the metal grids are measured with a microscope. As for the standard deviation of the distance between the metal grids, the metal grid distance is measured at 100 points at random, and the standard deviation of the measured values is calculated.

開口率の規定は、ディスプレイパネル画像の鮮明さを保ちつつ、シールド能を維持するためであり、格子間距離の標準偏差については、距離がずれるとシールド能の差ができるためである。標準偏差が小さい範囲では、シールド能が非常に高く、ばらついているとそのズレの部分から電磁波がもれ、シールド能が低くなる恐れがある。   The definition of the aperture ratio is to maintain the shielding ability while maintaining the clearness of the display panel image, and the standard deviation of the inter-lattice distance is because the shielding ability can be different when the distance is shifted. In a range where the standard deviation is small, the shielding ability is very high, and if there is a variation, electromagnetic waves leak from the misaligned part, and the shielding ability may be lowered.

金属格子の線幅は、本発明では3〜20μmである。20μmを超えると、本発明の開口率80〜95%を維持する場合、格子の面積が大きくなり過ぎ、シールド能が維持できない。格子を目立たせなくする観点からは、18μm以下が好ましく、14μm以下がさらに好ましい。線幅が14μm以下の際、モアレ適正が高い上に、電磁波シールド能を両立することができる。上記、開口率、標準偏差を維持した場合、線幅14μm以下であれば、高いシールド能を得ることができる。10μm以下が最も好ましい。3μm未満では導電性がやや不足する。   The line width of the metal grid is 3 to 20 μm in the present invention. If it exceeds 20 μm, when the aperture ratio of 80 to 95% of the present invention is maintained, the area of the lattice becomes too large and the shielding ability cannot be maintained. From the viewpoint of making the lattice inconspicuous, it is preferably 18 μm or less, and more preferably 14 μm or less. When the line width is 14 μm or less, the moire suitability is high and the electromagnetic wave shielding ability can be compatible. When the aperture ratio and standard deviation are maintained, a high shielding ability can be obtained if the line width is 14 μm or less. 10 μm or less is most preferable. If it is less than 3 μm, the conductivity is slightly insufficient.

金属格子の線間隔は150μm以上であることが好ましく、180μm以上がより好ましく、200μm以上が特に好ましい。また、格子細線の厚さは、0.1〜25μmが好ましく、0.2〜20μmがより好ましく、0.5〜15μmが特に好ましい。   The line spacing of the metal grid is preferably 150 μm or more, more preferably 180 μm or more, and particularly preferably 200 μm or more. Moreover, 0.1-25 micrometers is preferable, as for the thickness of a lattice fine wire, 0.2-20 micrometers is more preferable, and 0.5-15 micrometers is especially preferable.

本発明では金属格子間距離の標準偏差は0.1〜1.3である。標準偏差が0.1未満の場合、現実的な安定生産にコストがかかり、1.3を超えると、シールド能が大きく劣化してしまう。   In the present invention, the standard deviation of the distance between the metal lattices is 0.1 to 1.3. When the standard deviation is less than 0.1, a cost is required for realistic stable production, and when it exceeds 1.3, the shielding ability is greatly deteriorated.

本発明における金属格子の開口率は80〜95%である。可視光透過率の観点から開口率は80%より大きいことが好ましく、85%以上がさらに好ましく、90%以上が最も好ましい。開口率が95%を超えると、シールド能の維持は難しく、開口率が80%未満では、画像の鮮鋭性が維持できない。開口率とは、格子をなす細線のない部分が全体に占める割合であり、例えば、線幅10μm、格子間距離200μmの正方形の格子状格子の開口率は90%である。   The aperture ratio of the metal lattice in the present invention is 80 to 95%. From the viewpoint of visible light transmittance, the aperture ratio is preferably greater than 80%, more preferably 85% or more, and most preferably 90% or more. If the aperture ratio exceeds 95%, it is difficult to maintain the shielding ability. If the aperture ratio is less than 80%, the sharpness of the image cannot be maintained. The aperture ratio is the ratio of the portion without the fine lines forming the grid to the whole. For example, the aperture ratio of a square grid-like grid having a line width of 10 μm and an inter-lattice distance of 200 μm is 90%.

本発明においては、高い透光性と高い電磁波遮蔽性能を付与するために、格子状の細線格子パターンを露光により描画し、次いで白黒現像処理及び補力処理を行うことで、導電性の格子パターンを形成し、電磁波シールドフィルムとすることが好ましい。   In the present invention, in order to provide high translucency and high electromagnetic wave shielding performance, a grid-like fine wire grid pattern is drawn by exposure, followed by black-and-white development processing and intensification processing, thereby providing a conductive grid pattern. It is preferable to form an electromagnetic wave shielding film.

本発明においては、金属格子で電磁波を吸収して発生する電流を接地するために、金属格子に接して額縁部を設けることが好ましい。額縁部は、一般的には導通性を高めるために短冊状の枠を形成している。   In the present invention, it is preferable to provide a frame portion in contact with the metal grid in order to ground the current generated by absorbing electromagnetic waves with the metal grid. The frame portion generally forms a strip-shaped frame in order to improve conductivity.

本発明において、額縁部の導電性が金属格子よりも高いことが好ましく、そのためには金属格子よりも開口率を小さくすること、金属格子よりもピッチを小さくすること、金属格子よりも線幅を大きくすること、金属格子よりも細線の厚さを大きくすること、等がある。額縁金属格子の開口率は、好ましくは10〜80%、より好ましくは10〜70%である。10%よりも小さいと本発明の効果が小さく、80%よりも高いと接地性が不充分となる。   In the present invention, it is preferable that the conductivity of the frame portion is higher than that of the metal grid. For this purpose, the aperture ratio is made smaller than the metal grid, the pitch is made smaller than the metal grid, and the line width is made larger than that of the metal grid. Increasing the thickness, increasing the thickness of the fine wire than the metal grid, and the like. The aperture ratio of the frame metal lattice is preferably 10 to 80%, more preferably 10 to 70%. If it is less than 10%, the effect of the present invention is small, and if it is more than 80%, the grounding property is insufficient.

(金属格子の形成方法)
本発明の電磁波シールドフィルムにおいては、電磁波シールド機能を有する導電性の金属格子の形成方法は、ハロゲン化銀感光材料を露光、現像処理、補力処理を行って形成する銀塩写真法を用いる。その際、前述のように、金属格子間距離の標準偏差を達成するために、露光は格子状のフォトマスクを用いた露光で行うことが望ましい。従来、レーザ露光機がよく使用されているが、本発明者らの検討の結果、レーザ露光機では露光ヘッドが複数ユニットの集合となり、各ユニットの調整、またユニット間の調整が困難であり、金属格子間距離がばらつきやすいことが分かった。
(Method of forming metal grid)
In the electromagnetic wave shielding film of the present invention, a method for forming a conductive metal lattice having an electromagnetic wave shielding function uses a silver salt photographic method in which a silver halide photosensitive material is formed by exposure, development processing and intensification processing. At this time, as described above, in order to achieve the standard deviation of the distance between the metal grids, it is desirable that the exposure is performed using a grid-like photomask. Conventionally, a laser exposure machine is often used, but as a result of the study by the present inventors, the exposure head is a set of a plurality of units in the laser exposure machine, adjustment of each unit, and adjustment between units is difficult, It was found that the distance between the metal lattices was likely to vary.

また、乳剤層を薄く塗布し、補力処理を物理現像にて行うことが、細線化には望ましい。物理現像は、化学現像銀に非常に選択性よく付着するため、化学現像銀が少量でも補力処理が可能であり、乳剤層を薄くすることができ、露光によるにじみ起因のラインの太幅化を抑えることができる。また、銀粒子のみが堆積していくため、少量で導電性を確保しやすく、補力処理によるライン幅の拡大を抑えることができる。化学現像だけで導電性を確保するためには、現像銀粒子間のバインダーによる導電性阻害を考慮し、乳剤層を厚く塗布して、現像銀ラインの断面積を大きくとる必要があるが、この方法は、露光によりラインがにじみやすく、細線化には不向きである。また、物理現像以外の補力処理として、無電解メッキが一般的であるが、化学現像後の現像銀に対する選択性が低く、ラインがにじむばかりか、未露光部にもメッキが付着しやすいため、こちらも、細線化には不向きである。   In addition, it is desirable for thinning to apply a thin emulsion layer and to carry out intensification processing by physical development. Since physical development adheres to chemically developed silver with very high selectivity, it can be applied with a small amount of chemically developed silver, the emulsion layer can be thinned, and the line width caused by exposure blurring can be increased. Can be suppressed. Moreover, since only silver particles accumulate, it is easy to ensure conductivity with a small amount, and the expansion of the line width due to the intensification process can be suppressed. In order to ensure conductivity only by chemical development, it is necessary to increase the cross-sectional area of the developed silver line by coating the emulsion layer thickly in consideration of conductivity inhibition by the binder between the developed silver particles. This method is easy to blur lines by exposure and is not suitable for thinning. In addition, electroless plating is generally used as a supplementary treatment other than physical development, but the selectivity to developed silver after chemical development is low, and not only the lines are blurred, but the plating tends to adhere to unexposed areas. This is also unsuitable for thinning.

本発明の電磁波シールドフィルム作製する場合、後述するハロゲン化銀及びバインダーを含有する感光性層が支持体上に設けられるが、感光性層は、この他に、硬膜剤、硬調化剤、活性剤等を含有することができる。   When preparing the electromagnetic wave shielding film of the present invention, a photosensitive layer containing a silver halide and a binder, which will be described later, is provided on the support. In addition to this, the photosensitive layer includes a hardening agent, a thickening agent, an activity. An agent etc. can be contained.

(ハロゲン化銀)
本発明において、ハロゲン化銀の塗布量は、銀換算で0.3〜3g/m2であることが好ましく、より好ましくは銀換算で0.3〜1g/m2である。この範囲では、金属格子線幅が太くならずに目的の電磁波シールドフィルムを作製することができる。
(Silver halide)
In the present invention, the coating amount of silver halide is preferably 0.3 to 3 g / m 2 in terms of silver, and more preferably from 0.3 to 1 g / m 2 in terms of silver. In this range, the target electromagnetic wave shielding film can be produced without increasing the metal grid line width.

ハロゲン化銀の含有量が0.3g/m2未満の場合、効率的な補力処理が難しく、電磁波遮蔽性能を十分に得ることが困難である。これは、後述する物理現像または金属メッキ処理の触媒となる現像銀核の量が不十分となり、有効な導電性格子を形成しにくくなるためと推定される。3g/m2を超えると補力処理は可能であるが、格子線自体の鮮鋭性がなくなってくる。それに伴い、開口率の低下、ディスプレイパネル画像の鮮鋭性が低下する。また、バインダーに対するハロゲン化銀の量が相対的に多くなるため、被膜が脆弱になりやすく、十分な被膜強度を維持することが困難となる。ハロゲン化銀の塗布量は、塗布サンプルの銀量分析により、塗布銀量を算出する。 When the silver halide content is less than 0.3 g / m 2 , it is difficult to perform efficient intensification treatment and it is difficult to obtain sufficient electromagnetic wave shielding performance. This is presumably because the amount of developed silver nuclei serving as a catalyst for physical development or metal plating treatment described later becomes insufficient, and it becomes difficult to form an effective conductive lattice. If it exceeds 3 g / m 2 , the intensification process is possible, but the sharpness of the grid lines themselves is lost. Along with this, the aperture ratio decreases and the sharpness of the display panel image decreases. In addition, since the amount of silver halide relative to the binder is relatively large, the coating tends to become brittle and it is difficult to maintain sufficient coating strength. The silver halide coating amount is calculated by analyzing the silver amount of the coated sample.

被膜物性を維持するためにバインダー量を増やした場合、ハロゲン化銀の粒子間距離が大きくなるため、現像銀ネットワークが形成されにくくなり、有効な導電性格子を形成しにくくなるとともに、温度、湿度変化に対する耐久性も不十分となり本発明の効果が得られ難くなる。   When the binder amount is increased to maintain the physical properties of the film, the distance between silver halide grains increases, so that it becomes difficult to form a developed silver network, and it becomes difficult to form an effective conductive lattice, and the temperature and humidity. The durability against changes is insufficient, and the effects of the present invention are hardly obtained.

本発明において、ハロゲン化銀感光材料のバインダー量は10〜0.2g/m2の場合が、導電性と被膜物性の両立という観点から特に好ましい。バインダー量が10mg/m2未満の場合、バインダーに対するハロゲン化銀の量が相対的に多くなるため、被膜が脆弱になりやすく、十分な被膜強度を維持することが困難となる。また、バインダー量が0.2g/m2より多い場合には、ハロゲン化銀粒子の粒子間距離が大きくなるため、現像銀ネットワークが形成されにくくなり、有効な導電性格子を形成しにくくなるとともに、温度、湿度変化に対する耐久性も不十分となり本発明の効果が得られなくなる。 In the present invention, the amount of binder in the silver halide photosensitive material is particularly preferably 10 to 0.2 g / m 2 from the viewpoint of achieving both conductivity and film properties. When the amount of the binder is less than 10 mg / m 2, the amount of silver halide relative to the binder is relatively large, so that the coating tends to become brittle and it is difficult to maintain sufficient coating strength. On the other hand, when the amount of the binder is more than 0.2 g / m 2 , the distance between the silver halide grains becomes large, so that it becomes difficult to form a developed silver network, and it becomes difficult to form an effective conductive lattice. Further, durability against changes in temperature and humidity becomes insufficient, and the effects of the present invention cannot be obtained.

本発明において、感光性層のハロゲン化銀/バインダーの体積比は、0.2〜0.8であることが好ましい。これは前述の、現像銀粒子同士の接触面積を大きくするためであり、また乳剤塗布性が飛躍的に向上するだけでなく、バインダー比が比較的高いため、線幅が細くても、金属格子の密着性がよい。0.2未満では、白黒現像後の補力処理が非常にかかりにくくなり、コストアップにつながる。0.8を超えると、ベースへの塗布性が悪く、乳剤膜の凹凸ができやすい。そのため、格子の導電性ムラができやすく、シールド能が低下しやすい。ハロゲン化銀/バインダー比は、基準体積の塗布サンプルについて、銀量分析を実施し、算出する。   In the present invention, the silver halide / binder volume ratio of the photosensitive layer is preferably 0.2 to 0.8. This is to increase the contact area between the developed silver grains as described above, and not only dramatically improve the emulsion coating property but also the relatively high binder ratio, so even if the line width is small, the metal lattice Good adhesion. If it is less than 0.2, it will be very difficult to apply the reinforcement processing after black-and-white development, leading to an increase in cost. If it exceeds 0.8, the coating property to the base is poor and the unevenness of the emulsion film tends to be formed. Therefore, the conductive irregularity of the lattice is easily generated, and the shielding ability is likely to be lowered. The silver halide / binder ratio is calculated by conducting a silver amount analysis on a reference volume of the coated sample.

本発明に用いられるハロゲン化銀粒子の組成は、塩化銀、臭化銀、塩臭化銀、沃臭化銀、塩沃臭化銀、塩沃化銀等、任意のハロゲン組成を有するものであってもよいが、導電性のよい金属銀を得るためには、感度の高い微粒子が好ましく、沃臭化銀粒子が好ましく用いられる。沃素を多く含むようにすると感度も高く微粒子にすることができる。   The composition of the silver halide grains used in the present invention has an arbitrary halogen composition such as silver chloride, silver bromide, silver chlorobromide, silver iodobromide, silver chloroiodobromide and silver chloroiodide. However, in order to obtain metallic silver having good conductivity, fine grains having high sensitivity are preferable, and silver iodobromide grains are preferably used. When a large amount of iodine is contained, the sensitivity is high and the particles can be made fine.

ハロゲン化銀粒子が現像され金属銀粒子になった後の表面比抵抗を下げ、電磁波を効率的に遮蔽するためには、現像銀粒子同士の接触面積ができるだけ大きくなる必要がある。そのためには表面積比を高めるためにハロゲン化銀粒子サイズが小さい程よいが、小さすぎる粒子は凝集して大きな塊状になりやすく、その場合接触面積は逆に少なくなってしまうので最適な粒子径が存在する。本発明において、ハロゲン化銀粒子の平均粒子サイズは、球相当径で0.01〜0.5μmが好ましく、より好ましくは0.03〜0.3μmである。なお、ハロゲン化銀粒子の球相当径とは、粒子形状が球形の同じ体積を有する粒子の直径を表す。ハロゲン化銀粒子の平均粒子サイズは、ハロゲン化銀粒子の調製時の温度、pAg、pH、銀イオン溶液とハロゲン溶液の添加速度、粒子径コントロール剤(例えば、1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール、2−メルカプトベンズイミダゾール、ベンズトリアゾール、テトラザインデン化合物類、核酸誘導体類、チオエーテル化合物類等)を適宜組み合わせて制御することができる。   In order to reduce the surface specific resistance after silver halide grains are developed to become metallic silver grains and effectively shield electromagnetic waves, the contact area between developed silver grains needs to be as large as possible. For this purpose, a smaller silver halide grain size is better to increase the surface area ratio, but too small grains tend to agglomerate into large agglomerates, and in that case the contact area will be reduced, so there is an optimum grain size. To do. In the present invention, the average grain size of the silver halide grains is preferably 0.01 to 0.5 μm, more preferably 0.03 to 0.3 μm, in terms of a sphere equivalent diameter. In addition, the sphere equivalent diameter of silver halide grains represents the diameter of grains having the same volume and having a spherical shape. The average grain size of silver halide grains is the temperature at the time of preparation of silver halide grains, pAg, pH, addition rate of silver ion solution and halogen solution, grain size control agent (for example, 1-phenyl-5-mercaptotetrazole, 2-mercaptobenzimidazole, benztriazole, tetrazaindene compounds, nucleic acid derivatives, thioether compounds, etc.) can be appropriately combined and controlled.

本発明においては、塗布銀量(g/m2)を粒径(μm)で除した値が6〜25となることが好ましい。比較的粒径の小さいハロゲン化銀を多量に用いた場合に、この値が25より大きくなりやすく、この場合、フィルム断裁時のエッジ部分において、被膜からハロゲン化銀粒子の滑落等が生じやすくなる傾向にある。また、比較的粒径の大きいハロゲン化銀を少量用いた場合にこの値が6より小さくなりやすく、この場合、単位面積中のハロゲン化銀の粒子個数が少なくなるため、導電性が低下しやすい傾向となるためである。 In the present invention, the value obtained by dividing the coating silver amount (g / m 2 ) by the particle size (μm) is preferably 6 to 25. When a large amount of silver halide having a relatively small grain size is used, this value tends to be larger than 25. In this case, the silver halide grains are likely to slip off from the coating at the edge portion when the film is cut. There is a tendency. In addition, when a small amount of silver halide having a relatively large grain size is used, this value tends to be smaller than 6, and in this case, the number of silver halide grains in a unit area is reduced, so that the conductivity tends to be lowered. This is because it becomes a trend.

本発明においては、ハロゲン化銀粒子の形状は特に限定されず、例えば、球状、立方体状、平板状(6角平板状、3角形平板状、4角形平板状等)、8面体状、14面体状等、さまざまな形状であることができる。感度を高くするためにアスペクト比が2以上や4以上、さらに8〜16であるような平板粒子も好ましく使用することができる。粒子サイズの分布には特に限定はないが、露光によるパターン形成時に、パターンの輪郭をシャープに再現させ、高い導電性を維持しながら透明性を高めるという観点からは、狭い分布が好ましい。本発明に係るハロゲン化銀感光材料に用いられるハロゲン化銀粒子の粒径分布は、好ましくは変動係数が0.22以下、さらに好ましくは0.15以下の単分散ハロゲン化銀粒子である。ここで変動係数は、粒径分布の広さを表す係数であり、次式によって定義される。   In the present invention, the shape of the silver halide grains is not particularly limited, and for example, spherical, cubic, flat plate (hexagonal flat plate, triangular flat plate, tetragonal flat plate, etc.), octahedron, tetrahedron It can be in various shapes such as shapes. In order to increase the sensitivity, tabular grains having an aspect ratio of 2 or more, 4 or more, and further 8 to 16 can be preferably used. The particle size distribution is not particularly limited, but a narrow distribution is preferable from the viewpoint of enhancing the transparency while sharply reproducing the outline of the pattern and maintaining high conductivity during pattern formation by exposure. The particle size distribution of the silver halide grains used in the silver halide photosensitive material according to the present invention is preferably monodispersed silver halide grains having a coefficient of variation of 0.22 or less, more preferably 0.15 or less. Here, the variation coefficient is a coefficient representing the breadth of the particle size distribution, and is defined by the following equation.

変動係数=S/R
(式中、Sは粒径分布の標準偏差、Rは平均粒径を表す。)
本発明で用いられるハロゲン化銀粒子は、さらに他の元素を含有していてもよい。例えば、写真乳剤において、硬調な乳剤を得るために用いられる金属イオンをドープすることも有用である。特に鉄イオン、ロジウムイオン、ルテニウムイオンやイリジウムイオン等の第8〜10族金属イオンは、金属銀像の生成の際に露光部と未露光部の差が明確に生じやすくなるため好ましく用いられる。
Coefficient of variation = S / R
(In the formula, S represents the standard deviation of the particle size distribution, and R represents the average particle size.)
The silver halide grains used in the present invention may further contain other elements. For example, in a photographic emulsion, it is also useful to dope metal ions used to obtain a high-contrast emulsion. In particular, Group 8-10 metal ions such as iron ion, rhodium ion, ruthenium ion and iridium ion are preferably used because the difference between the exposed portion and the unexposed portion tends to be clearly generated when the metal silver image is generated.

これらの金属イオンは、塩や錯塩の形でハロゲン化銀乳剤に添加することができる。ロジウムイオン、イリジウムイオンに代表される遷移金属イオンは、各種の配位子を有する化合物であることもできる。そのような配位子としては、例えば、シアン化物イオンやハロゲンイオン、チオシアナートイオン、ニトロシルイオン、水、水酸化物イオン等を挙げることができる。具体的な化合物の例としては、臭化ロジウム酸カリウムやイリジウム酸カリウム等が挙げられる。   These metal ions can be added to the silver halide emulsion in the form of a salt or a complex salt. Transition metal ions represented by rhodium ions and iridium ions can also be compounds having various ligands. Examples of such a ligand include cyanide ions, halogen ions, thiocyanate ions, nitrosyl ions, water, hydroxide ions, and the like. Specific examples of the compound include potassium bromide rhodate and potassium iridate.

本発明において、ハロゲン化銀に含有される前記金属イオン化合物の含有率は、ハロゲン化銀1モル当たり、10-10〜10-2モル/モルAgであることが好ましく、10-9〜10-3モル/モルAgであることがさらに好ましい。 In the present invention, the content of the metal ion compound contained in the silver halide is preferably 10 −10 to 10 −2 mol / mol Ag per mol of silver halide, and is preferably 10 −9 to 10 −. More preferably, it is 3 mol / mol Ag.

ハロゲン化銀粒子に上述の金属イオンを含有させるためには、該金属化合物をハロゲン化銀粒子の形成前、ハロゲン化銀粒子の形成中、ハロゲン化銀粒子の形成後等、物理熟成中の各工程における任意の場所で添加すればよい。また、添加においては、重金属化合物の溶液を粒子形成工程の全体あるいは一部にわたって連続的に行うことができる。   In order for silver halide grains to contain the above-described metal ions, the metal compound is subjected to physical ripening before formation of silver halide grains, during formation of silver halide grains, after formation of silver halide grains, etc. What is necessary is just to add in the arbitrary places in a process. Moreover, in addition, the solution of a heavy metal compound can be continuously performed over the whole or a part of particle formation process.

本発明では、さらに感度を向上させるため、写真乳剤で行われる化学増感を施したり、分光増感を施したりすることができる。   In the present invention, in order to further improve the sensitivity, chemical sensitization performed with a photographic emulsion or spectral sensitization can be performed.

(バインダー)
本発明に係る感光性層(少なくともハロゲン化銀及びバインダーからなる層)において、ハロゲン化銀粒子を均一に分散させ、かつハロゲン化銀粒子を支持体上に担持し、ハロゲン化銀感光性層と他の層、または支持体との接着性を確保する目的でバインダーを用いる。本発明に用いることができるバインダーには、特に制限がなく、非水溶性ポリマー及び水溶性ポリマーのいずれも用いることができるが、現像性向上の観点からは、水溶性ポリマーを用いることが好ましい。
(binder)
In the photosensitive layer according to the present invention (a layer comprising at least silver halide and a binder), silver halide grains are uniformly dispersed, and the silver halide grains are supported on a support, and a silver halide photosensitive layer and A binder is used for the purpose of ensuring adhesion to other layers or the support. The binder that can be used in the present invention is not particularly limited, and any of a water-insoluble polymer and a water-soluble polymer can be used. From the viewpoint of improving developability, it is preferable to use a water-soluble polymer.

本発明に係るハロゲン化銀感光材料には、バインダーとしてゼラチンを用いることが有利であるが、必要に応じてゼラチン誘導体、ゼラチンと他の高分子のグラフトポリマー、ゼラチン以外のタンパク質、糖誘導体、セルロース誘導体、単一あるいは共重合体のごとき合成親水性高分子物質等の親水性コロイドも用いることができる。   In the silver halide light-sensitive material according to the present invention, it is advantageous to use gelatin as a binder, but if necessary, gelatin derivatives, graft polymers of gelatin and other polymers, proteins other than gelatin, sugar derivatives, cellulose Hydrophilic colloids such as synthetic hydrophilic polymer materials such as derivatives, mono- or copolymers can also be used.

また、感光性層の膜厚は0.03〜0.3μmであることが好ましい。0.03μm未満では、支持体への金属格子の接着性が悪く、剥がれやすくなる。0.3μmを超えると、バインダー膜の干渉により色がつきやすく、色調が悪くなる。感光性層の膜厚は、塗布サンプルを裁断し、断面をマイクロスコープで拡大し、測定する。   Moreover, it is preferable that the film thickness of a photosensitive layer is 0.03-0.3 micrometer. If it is less than 0.03 μm, the adhesion of the metal grid to the support is poor, and it tends to peel off. If it exceeds 0.3 μm, color is likely to be formed due to interference of the binder film, resulting in poor color tone. The film thickness of the photosensitive layer is measured by cutting a coated sample and enlarging a cross section with a microscope.

(ハロゲン化銀感光材料の層構成)
本発明の電磁波シールドフィルムの形成に用いられるハロゲン化銀感光材料の層構成については、基本的には、支持体と感光性層からなる。さらに電磁波シールドフィルムとしての高機能化、加工特性、耐久性のみならず、ハロゲン化銀感光材料の製造効率、製造安定性等を考慮して、種々の層を設けることが好ましい。
(Layer structure of silver halide photosensitive material)
The layer structure of the silver halide photosensitive material used for forming the electromagnetic wave shielding film of the present invention basically comprises a support and a photosensitive layer. Furthermore, it is preferable to provide various layers in consideration of not only high functionality, processing characteristics and durability as an electromagnetic wave shielding film but also the production efficiency and production stability of the silver halide photosensitive material.

例えば、支持体と感光性層の間に非感光性中間層を設けたり、支持体に対してハロゲン化銀感光性層とは反対側に、バッキング層を設けたり、感光性層の上に保護層を設けたりすることが好ましい。これらの層は複数層から構成されてもよい。   For example, a non-photosensitive intermediate layer is provided between the support and the photosensitive layer, a backing layer is provided on the opposite side of the support from the silver halide photosensitive layer, or protection is provided on the photosensitive layer. It is preferable to provide a layer. These layers may be composed of a plurality of layers.

本発明においては、支持体を挟んだ両側に各々感光性層を設け、それぞれに導電性パターンを形成することも好ましく行われる。この場合、各々の面に塗設されるハロゲン化銀乳剤は、分光増感等により、それぞれ異なる波長に感度を有することが好ましい。表裏面で異なる波長に感度を持たせることにより、各々の面に異なる導電性パターンを作成することが可能となり、例えば表裏面で各々異なる周波数の電磁波に対して選択的に遮蔽効果を有するように導電性パターンを形成することも可能となる。   In the present invention, it is also preferable to provide a photosensitive layer on each side of the support and to form a conductive pattern on each. In this case, it is preferable that the silver halide emulsion coated on each surface has sensitivity at different wavelengths by spectral sensitization or the like. By giving sensitivity to different wavelengths on the front and back surfaces, it becomes possible to create different conductive patterns on each surface, for example, to selectively shield against electromagnetic waves of different frequencies on the front and back surfaces. It is also possible to form a conductive pattern.

(電磁波シールドフィルムの製造方法)
本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法は、支持体上に、少なくともハロゲン化銀及びバインダーからなる感光性層を塗布したハロゲン化銀感光材料を、パターン露光後、現像処理及び補力処理を行って、連続する導電性の金属格子と額縁部とを形成するものである。
(Method for producing electromagnetic shielding film)
In the method for producing an electromagnetic wave shielding film of the present invention, a silver halide photosensitive material in which a photosensitive layer comprising at least silver halide and a binder is coated on a support is subjected to patterning exposure, development processing and intensification processing. A continuous conductive metal grid and a frame portion are formed.

従って、基本的には、(1)支持体上にハロゲン化銀乳剤を塗布してハロゲン化銀感光材料を形成する工程、(2)ハロゲン化銀感光材料にパターン露光する工程、(3)露光済みハロゲン化銀感光材料を現像処理する工程、(4)現像処理済みのハロゲン化銀感光材料を補力処理する工程からなるが、ハロゲン化銀乳剤を塗布する前の支持体の前処理や下塗り工程、塗布したハロゲン化銀感光材料を乾燥したりエージングする工程、現像処理済みのハロゲン化銀感光材料を補力処理する前に物理現像する工程、補力処理後に加圧加熱等の安定化処理する工程等を設けてもよい。   Therefore, basically, (1) a step of forming a silver halide photosensitive material by coating a silver halide emulsion on a support, (2) a step of pattern exposing the silver halide photosensitive material, and (3) exposure. A process for developing a processed silver halide light-sensitive material, and (4) a step for intensifying a silver halide light-sensitive material that has been subjected to a development process. Steps, drying and aging the applied silver halide photosensitive material, physical development before intensifying the developed silver halide photosensitive material, stabilization processing such as pressure heating after intensification processing You may provide the process to do.

これらの各工程は、それぞれ独立してバッチ処理してもよいが、支持体の繰り出しから、各工程が連続するウェブに対して連動していることが好ましい。最後は、形成された電磁波シールドフィルムが長尺巻として得られてもよいし、必要なサイズに裁断されてシート状にて集積されてもよい。   Each of these steps may be batch-processed independently, but it is preferable that each step is linked to a continuous web from the feeding of the support. Finally, the formed electromagnetic shielding film may be obtained as a long roll, or may be cut into a required size and accumulated in a sheet form.

(塗布工程)
塗布工程は、支持体上に前記構成層を塗布する工程である。塗布方法としては、例えば、ディップコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビヤコート法、インクジェットコート法あるいは米国特許第2,681,294号明細書に記載のホッパーを使用するエクストルージョンコート法等が挙げられる。また、必要に応じて、米国特許第2,761,791号、同第3,508,947号、同第2,941,898号及び同第3,526,528号明細書、原崎勇次著「コーティング工学」253頁(1973年朝倉書店発行)等に記載された2層以上の層を同時に塗布する方法も、好ましく用いることができる。
(Coating process)
A coating process is a process of apply | coating the said structural layer on a support body. Examples of the coating method include dip coating, spray coating, air knife coating, curtain coating, roller coating, wire bar coating, gravure coating, inkjet coating, or US Pat. No. 2,681,294. Examples include an extrusion coating method using the hopper described in the specification. If necessary, U.S. Pat. Nos. 2,761,791, 3,508,947, 2,941,898 and 3,526,528, Yuji Harasaki, “ The method of simultaneously applying two or more layers described in “Coating Engineering” on page 253 (published by Asakura Shoten in 1973) can also be preferably used.

(露光工程)
本発明では、後述する現像処理、補力処理(物理現像及び/またはメッキ処理)から選ばれる少なくともいずれかを施して、導電性パターンを形成するために、ハロゲン化銀感光材料の露光を行う。露光に用いられる光源としては、例えば、紫外線、可視光線、赤外線等の光、電子線、X線等の放射線等が挙げられるが、ハロゲン化銀の特性を活用する点で、可視光線を用いることが好ましい。特に波長分布の狭い光源を利用することによって、電磁波シールドフィルム形成を効率よくコントロールでき、安定に製造できるので好ましい。
(Exposure process)
In the present invention, the silver halide photosensitive material is exposed in order to form a conductive pattern by performing at least one selected from development processing and reinforcement processing (physical development and / or plating processing) described later. Examples of the light source used for exposure include light such as ultraviolet rays, visible rays, and infrared rays, and radiation such as electron beams and X-rays. Visible rays are used in terms of utilizing the characteristics of silver halide. Is preferred. In particular, it is preferable to use a light source having a narrow wavelength distribution because the formation of the electromagnetic shielding film can be efficiently controlled and can be stably produced.

特に本発明では、格子状のフォトマスクを用いて露光することが好ましい。光源は、ハロゲン化銀の感光特性から、青色光、UV光が好ましい。   In particular, in the present invention, exposure is preferably performed using a lattice-like photomask. The light source is preferably blue light or UV light because of the photosensitive properties of silver halide.

(現像処理)
本発明では、ハロゲン化銀感光材料を露光した後、現像処理(白黒現像)が行われる。現像処理は、発色現像主薬を含有しない、いわゆる黒白現像処理である。
(Development processing)
In the present invention, after the silver halide photosensitive material is exposed, development processing (monochrome development) is performed. The development process is a so-called black and white development process that does not contain a color developing agent.

現像処理液としては、現像主薬としてハイドロキノン、ハイドロキノンスルホン酸ナトリウム、クロルハイドロキノン等のハイドロキノン類の他に、1−フェニル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4,4−ジメチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−4−ヒドロキシメチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−3−ピラゾリドン等のピラゾリドン類及びN−メチルパラアミノフェノール硫酸塩等の超加成性現像主薬と併用することができる。また、ハイドロキノンを使用しないでアスコルビン酸やイソアスコルビン酸等レダクトン類化合物を上記超加成性現像主薬と併用することが好ましい。   As the developing solution, in addition to hydroquinones such as hydroquinone, sodium hydroquinonesulfonate, chlorohydroquinone and the like as developing agents, 1-phenyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4,4-dimethyl-3-pyrazolidone, 1- Use in combination with pyrazolidones such as phenyl-4-methyl-4-hydroxymethyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4-methyl-3-pyrazolidone and superadditive developing agents such as N-methylparaaminophenol sulfate. Can do. Further, it is preferable to use a reductone compound such as ascorbic acid or isoascorbic acid in combination with the superadditive developing agent without using hydroquinone.

また、現像処理液には保恒剤として亜硫酸ナトリウム塩や亜硫酸カリウム塩、緩衝剤として炭酸ナトリウム塩や炭酸カリウム塩、現像促進剤としてジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジエチルアミノプロパンジオール等を適宜使用できる。   In addition, sodium sulfite or potassium sulfite as a preservative, sodium carbonate or potassium carbonate as a buffer, diethanolamine, triethanolamine, diethylaminopropanediol or the like as a development accelerator can be appropriately used in the developing solution.

現像処理で用いられる現像処理液は、画質を向上させる目的で、画質向上剤を含有することができる。画質向上剤としては、例えば、1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール、5−メチルベンゾトリアゾール等の含窒素ヘテロ環化合物を挙げることができる。   The development processing solution used in the development processing can contain an image quality improver for the purpose of improving the image quality. Examples of the image quality improver include nitrogen-containing heterocyclic compounds such as 1-phenyl-5-mercaptotetrazole and 5-methylbenzotriazole.

本発明においては、露光後に行われる現像処理が、定着前物理現像を含んでいることが好ましい。ここで言う定着前物理現像とは、後述の定着処理を行う前に、露光により潜像を有するハロゲン化銀粒子の内部以外から銀イオンを供給し、現像銀を補強するプロセスのことを示す。現像処理液から銀イオンを供給するための具体的な方法としては、例えば予め現像処理液中に硝酸銀等を溶解しておき銀イオンを溶かしておく方法、あるいは現像液中に、チオ硫酸ナトリウム、チオシアン酸アンモニウム等のようなハロゲン化銀溶剤を溶解しておき、現像時に未露光部のハロゲン化銀を溶解させ、潜像を有するハロゲン化銀粒子の現像を補力する方法等が挙げられる。   In the present invention, it is preferable that the development processing performed after exposure includes physical development before fixing. The term “physical development before fixing” as used herein refers to a process in which silver ions are supplied from outside the silver halide grains having a latent image by exposure to reinforce developed silver before performing a fixing process described later. As a specific method for supplying silver ions from the developing solution, for example, a method of dissolving silver nitrate or the like in advance in a developing solution and dissolving silver ions, or sodium thiosulfate in the developing solution, Examples include a method in which a silver halide solvent such as ammonium thiocyanate is dissolved, unexposed silver halide is dissolved during development, and development of silver halide grains having a latent image is supplemented.

本発明においては、現像液中に予めハロゲン化銀溶剤を溶解しておく処方を用いた方が、未露光部でのカブリ発生による、フィルムの透過率低下を抑制できるため好ましい。   In the present invention, it is preferable to use a formulation in which a silver halide solvent is preliminarily dissolved in a developer because a reduction in the transmittance of the film due to fogging in unexposed areas can be suppressed.

なお、本発明においては、額縁部を金属格子よりも導電性を高くするために、ハロゲン化銀感光材料の現像処理に際して、額縁部相当領域の現像処理反応を促進することができる。具体的には、現像処理液中において、額縁部相当領域付近の液温度を高めたり、額縁部相当領域付近の液攪拌を高めることによって達成される。言うまでもなく、現像処理反応が促進された部分では、銀現像率が高まって現像銀が金属格子よりも多く形成され、線幅や厚さの大きい額縁格子を形成することができる。   In the present invention, in order to make the frame portion more conductive than the metal grid, it is possible to accelerate the development processing reaction in the region corresponding to the frame portion during the development processing of the silver halide photosensitive material. Specifically, this is achieved by increasing the liquid temperature in the vicinity of the frame portion equivalent region or increasing the liquid agitation in the vicinity of the frame portion equivalent region in the developing solution. Needless to say, in the portion where the development processing reaction is promoted, the silver development rate is increased and more developed silver is formed than the metal lattice, and a frame lattice having a large line width and thickness can be formed.

本発明に係る現像処理においては、露光されたハロゲン化銀粒子の現像終了後に、未露光部分のハロゲン化銀粒子を除去して安定化させる目的で行われる定着処理を行う。本発明における定着処理は、ハロゲン化銀粒子を用いた写真フィルムや印画紙等で用いられる定着液処方を用いることができる。定着処理で使用する定着液は、定着剤としてチオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸カリウム、チオ硫酸アンモニウム等を使用することができる。定着時の硬膜剤として硫酸アルミウム、硫酸クロミウム等を使用することができる。定着剤の保恒剤としては、現像処理液で述べた亜硫酸ナトリウム、亜硫酸カリウム、アスコルビン酸、エリソルビン酸等を使用することができ、その他にクエン酸、蓚酸等を使用することができる。   In the development processing according to the present invention, after the development of the exposed silver halide grains, fixing processing is performed for the purpose of removing and stabilizing the unexposed silver halide grains. For the fixing treatment in the present invention, a fixer formulation used for photographic films, photographic papers and the like using silver halide grains can be used. The fixing solution used in the fixing process may use sodium thiosulfate, potassium thiosulfate, ammonium thiosulfate, or the like as a fixing agent. Aluminum sulfate, chromium sulfate, or the like can be used as a hardener for fixing. As the fixing agent preservative, sodium sulfite, potassium sulfite, ascorbic acid, erythorbic acid and the like described in the developing solution can be used, and citric acid, oxalic acid, and the like can be used.

本発明に使用する水洗水には、防黴剤としてN−メチル−イソチアゾール−3−オン、N−メチル−イソチアゾール−5−クロロ−3−オン、N−メチル−イソチアゾール−4,5−ジクロロ−3−オン、2−ニトロ−2−ブロム−3−ヒドロキシプロパノール、2−メチル−4−クロロフェノール、過酸化水素等を使用することができる。   The washing water used in the present invention includes N-methyl-isothiazol-3-one, N-methyl-isothiazol-5-chloro-3-one, and N-methyl-isothiazole-4,5 as antifungal agents. -Dichloro-3-one, 2-nitro-2-bromo-3-hydroxypropanol, 2-methyl-4-chlorophenol, hydrogen peroxide and the like can be used.

(補力処理)
本発明においては、上述の現像処理によって形成された現像銀同士の接触を補助し、導電性を高めるために補力処理を行うことが好ましい。本発明において補力処理とは、現像処理中、あるいは処理後に予めハロゲン化銀感光材料中に含有されていない導電性物質源を外部から供給し、導電性を高める処理のことを指し、具体的な方法としては、例えば、物理現像、メッキ処理、物理現像及びメッキ処理、等を挙げることができる。本発明において補力処理としては、物理現像、または物理現像後にメッキ処理を行うことが好ましい。
(Reinforcement processing)
In the present invention, in order to assist the contact between the developed silvers formed by the above-described development process, and to increase the conductivity, it is preferable to perform a reinforcement process. In the present invention, the intensifying process refers to a process in which a conductive substance source not contained in the silver halide light-sensitive material is supplied from the outside during the development process or after the process to increase the conductivity. Examples of such methods include physical development, plating treatment, physical development and plating treatment, and the like. In the present invention, as the intensifying treatment, it is preferable to perform physical development or plating after physical development.

(物理現像処理)
物理現像は、潜像を有するハロゲン化銀感光材料を、銀イオンあるいは銀錯イオンと還元剤を含有する処理液に浸漬することで施すことができる。
(Physical development processing)
Physical development can be performed by immersing a silver halide photosensitive material having a latent image in a processing solution containing silver ions or silver complex ions and a reducing agent.

本発明においては、物理現像の現像開始点が潜像核だけでなく、現像銀が物理現像開始点となった場合についても物理現像と定義し、これを好ましく用いることができる。   In the present invention, physical development is defined not only when the development start point of physical development is the latent image nucleus but also when developed silver is the physical development start point, and this can be preferably used.

本発明では、白黒現像の後に、物理現像を行うことで、より高い電磁波シールド能と金属格子の密着性を保持することができる。また、物理現像液は、酸性に保つことで、より選択性よく金属格子の導電性を増幅させ、液の寿命を保つことができる。   In the present invention, by performing physical development after black and white development, higher electromagnetic wave shielding ability and adhesion of the metal grid can be maintained. Further, by keeping the physical developer acidic, it is possible to amplify the conductivity of the metal lattice with higher selectivity and maintain the life of the solution.

(メッキ処理)
本発明において、メッキ処理には従来公知の種々のメッキ方法を用いることができ、例えば電解メッキ及び無電解メッキを単独、あるいは組み合わせて実施することができる。中でも、メッキ金属の選択性、メッキ速度の調整、メッキ強度に優れた電解メッキを本発明では好ましく用いることができる。無電解メッキの場合は、電流分布ムラによるメッキムラが発生しないという長所を有する。メッキに用いることができる金属としては、例えば、銅、ニッケル、コバルト、すず、銀、金、白金、その他各種合金を用いることができる。メッキ処理が比較的容易であり、かつ高い導電性を得やすいという観点から、銅電解メッキを用いることが特に好ましい。
(Plating treatment)
In the present invention, various conventionally known plating methods can be used for the plating treatment. For example, electrolytic plating and electroless plating can be performed alone or in combination. Among these, electrolytic plating excellent in selectivity of plating metal, adjustment of plating speed, and plating strength can be preferably used in the present invention. In the case of electroless plating, there is an advantage that uneven plating due to uneven current distribution does not occur. As a metal that can be used for plating, for example, copper, nickel, cobalt, tin, silver, gold, platinum, and other various alloys can be used. It is particularly preferable to use copper electrolytic plating from the viewpoint that the plating process is relatively easy and high conductivity is easily obtained.

なお、上記処理は現像中、現像後定着前、定着処理後のいずれのタイミングにおいても実施可能であるが、フィルムの透明性を高く維持するという観点から、定着処理後に実施することが好ましい。   The above processing can be performed during development, at any timing after development, before fixing, and after fixing processing. However, from the viewpoint of maintaining high transparency of the film, it is preferably performed after the fixing processing.

本発明において、物理現像または金属メッキにより付与された金属量が、ハロゲン化銀感光材料を露光、現像処理することにより得られた現像銀に対して、質量換算で10〜100倍である態様が好ましい。この値は、物理現像または金属メッキを施す前後において、ハロゲン化銀感光材料中に含有される金属を、例えば蛍光X線分析等で定量することによって求めることができる。物理現像または金属メッキにより付与された金属量が、ハロゲン化銀感光材料を露光、現像処理することにより得られた現像銀に対して、質量換算で10倍未満である場合、導電性がやや低下する傾向となりやすく、また、100倍より大きい場合には、導電性格子パターン部以外の不要な部分への金属析出による透過率の低下が生じやすい傾向となる。なお、本発明においては物理現像及び金属メッキの両方の処理を施すことが好ましい。   In the present invention, an aspect in which the amount of metal applied by physical development or metal plating is 10 to 100 times in terms of mass with respect to developed silver obtained by exposing and developing a silver halide photosensitive material. preferable. This value can be determined by quantifying the metal contained in the silver halide light-sensitive material by, for example, fluorescent X-ray analysis before and after physical development or metal plating. When the amount of metal applied by physical development or metal plating is less than 10 times in terms of mass with respect to developed silver obtained by exposing and developing a silver halide photosensitive material, conductivity is slightly reduced. If the ratio is larger than 100 times, the transmittance tends to decrease due to metal deposition on unnecessary portions other than the conductive lattice pattern portion. In the present invention, it is preferable to perform both physical development and metal plating.

金属格子の断面積Sは、線幅W、線高さHに対して、0.85≦S/(W×H)≦1.0の関係を満たすことが好ましい。この範囲にあると、電磁波シールド能を保持しつつ、プラズマディスプレイに採用した場合、視野角を広く取れることが分かった。S/(W×H)が0.85未満では格子を正面から見た際、ぎらつきが見られる。また、S/(W×H)が1を超えると格子を斜めから見た場合、透過率が低下する。   The cross-sectional area S of the metal lattice preferably satisfies the relationship of 0.85 ≦ S / (W × H) ≦ 1.0 with respect to the line width W and the line height H. Within this range, it was found that a wide viewing angle could be obtained when the plasma display was adopted while maintaining the electromagnetic wave shielding ability. When S / (W × H) is less than 0.85, glare is observed when the lattice is viewed from the front. On the other hand, when S / (W × H) exceeds 1, the transmittance decreases when the lattice is viewed obliquely.

金属格子の断面積、線幅、線高さは、金属格子線を裁断し、断面をマイクロスコープで拡大し、測定する。   The cross-sectional area, line width, and line height of the metal grid are measured by cutting the metal grid line and enlarging the cross section with a microscope.

電磁波シールドフィルムの面方向1m2当たりの金属格子の断線部の数は1〜100であることが好ましい。電磁波シールドの機能からは、1m2当たりの金属格子の断線部の数は100までは許容され、高いシールド能を維持することができる。シールド能からは、断線部の数は0が好ましいが、0の場合、生産安定性の維持が難しく、コストアップになる。また、100を超えると、シールド能が低下しやすい。断線部の数は、1m2の格子サンプルについて、全ての断線部をマイクロスコープで計測する。 It is preferable that the number of disconnection parts of the metal grid per 1 m 2 of the surface direction of the electromagnetic wave shielding film is 1 to 100. From the function of the electromagnetic wave shield, the number of broken portions of the metal grid per 1 m 2 is allowed up to 100, and high shielding ability can be maintained. From the viewpoint of the shielding ability, the number of disconnected parts is preferably 0. However, in the case of 0, it is difficult to maintain production stability, resulting in an increase in cost. On the other hand, if it exceeds 100, the shielding ability tends to decrease. The number of disconnections is measured with a microscope for all 1 m 2 lattice samples.

さらに、また本発明においては、導電性を高くするために、加圧、加熱または加圧後加熱することができる。   Furthermore, in the present invention, pressurization, heating, or heating after pressurization can be performed in order to increase conductivity.

加圧は、1kPa〜100MPa、好ましくは10kPa〜10MPaの範囲、より好ましくは、50kPa〜5MPaである。加圧が1kPより少ないと導電性向上の効果が小さく、100MPaより大きいと、面を平滑に保つことができにくくヘイズが上昇するので好ましくない。   The pressure is 1 kPa to 100 MPa, preferably 10 kPa to 10 MPa, and more preferably 50 kPa to 5 MPa. If the pressure is less than 1 kP, the effect of improving the conductivity is small, and if it is greater than 100 MPa, it is difficult to keep the surface smooth, and haze increases.

加熱は、40〜300℃、好ましくは50〜200℃、より好ましくは60〜200℃である。40℃未満では導電性向上の効果が小さく、300℃より高いと面を平滑に保つことができにくいので好ましくない。   The heating is 40 to 300 ° C, preferably 50 to 200 ° C, more preferably 60 to 200 ° C. If it is less than 40 ° C., the effect of improving conductivity is small, and if it is higher than 300 ° C., it is difficult to keep the surface smooth.

(酸化処理)
本発明においては、現像処理あるいは物理現像またはメッキ処理後に酸化処理を行うことが好ましい。酸化処理により、不要な金属成分をイオン化して溶解除去することが可能となり、フィルムの透過率をより高めることが可能となる。
(Oxidation treatment)
In the present invention, it is preferable to carry out an oxidation treatment after the development treatment, physical development or plating treatment. By the oxidation treatment, unnecessary metal components can be ionized and dissolved and removed, and the transmittance of the film can be further increased.

酸化処理に用いる処理液としては、例えばFe(III)イオンを含む水溶液を用いて処理する方法、あるいは過酸化水素、過硫酸塩、過硼酸塩、過燐酸塩、過炭酸塩、過ハロゲン酸塩、次亜ハロゲン酸塩、ハロゲン酸塩、有機過酸化物等の過酸化物を含む水溶液を用いて処理する方法等、従来公知の酸化剤を含有する処理液を用いることができる。酸化処理は、現像処理終了後から、メッキ処理前の間に行うことが、短時間処理で効率的に透過率向上を行うことができるため好ましく、物理現像終了後に行うことが特に好ましい。   As the treatment liquid used for the oxidation treatment, for example, a treatment method using an aqueous solution containing Fe (III) ions, or hydrogen peroxide, persulfate, perborate, perphosphate, percarbonate, perhalogenate. A treatment solution containing a conventionally known oxidant such as a method of treating with an aqueous solution containing a peroxide such as a hypohalite, a halogenate, or an organic peroxide can be used. The oxidation treatment is preferably performed after completion of the development treatment and before the plating treatment because the transmittance can be efficiently improved in a short time treatment, and particularly preferably after completion of the physical development.

(黒化処理)
本発明においては、電磁波シールドフィルム表面での外光反射を防止するという観点から、金属格子表面に黒化処理を施すことが好ましい。このような黒化処理を施した透明電磁波シールドフィルムを、例えばプラズマディスプレイパネル(プラズマディスプレイパネル)等のディスプレイに用いた場合、外光反射によるコントラストの低下を軽減できるとともに、非使用時の画面の色調を黒く高品位に保つことができ好ましい。黒化処理の方法としては、特に制限はなく、既知の手法を適宜、単独あるいは組み合わせて用いることができる。例えば導電性パターンの最表面が金属銅から成る場合には、亜塩素酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、リン酸三ナトリウムを含む水溶液に浸漬して酸化処理する方法、あるいはピロリン酸銅、ピロリン酸カリウム、アンモニアを含む水溶液に浸漬し、電解メッキを行うことにより、黒化処理する方法、等を好ましく用いることができる。また、導電性パターンの最表層がニッケル−リン合金被膜から成る場合は、塩化銅(II)または硫酸銅(II)、塩化ニッケルまたは硫酸ニッケル、及び塩酸を含有する酸性黒化処理液中に浸漬する方法を好ましく用いることができる。
(Blackening treatment)
In the present invention, it is preferable to perform a blackening treatment on the surface of the metal grid from the viewpoint of preventing external light reflection on the surface of the electromagnetic wave shielding film. When such a blackened transparent electromagnetic wave shielding film is used for a display such as a plasma display panel (plasma display panel), for example, it is possible to reduce a decrease in contrast due to reflection of external light and It is preferable because the color tone can be kept black and high quality. The blackening treatment method is not particularly limited, and known methods can be used alone or in combination as appropriate. For example, when the outermost surface of the conductive pattern is made of metallic copper, a method of oxidizing by immersing in an aqueous solution containing sodium chlorite, sodium hydroxide, or trisodium phosphate, or copper pyrophosphate, potassium pyrophosphate, A method of blackening by immersion in an aqueous solution containing ammonia and electrolytic plating can be preferably used. If the outermost layer of the conductive pattern is made of a nickel-phosphorus alloy coating, immerse it in an acidic blackening solution containing copper (II) chloride or copper (II) sulfate, nickel chloride or nickel sulfate, and hydrochloric acid. The method to do can be used preferably.

また、上述の方法以外にも、表面を微粗面化する方法によっても黒化処理が可能であるが、高い導電性を維持するという観点からは、表面の微粗面化よりも、酸化による黒化処理の方法が好ましい。   In addition to the above-described method, the blackening treatment can be performed by a method of finely roughening the surface. However, from the viewpoint of maintaining high conductivity, oxidation is more effective than finer roughening of the surface. A blackening treatment method is preferred.

(近赤外線吸収層)
本発明の電磁波シールドフィルムを、例えば、プラズマディスプレイパネル用の光学フィルタと組み合わせて使う場合には、感光性層の下に近赤外吸収染料を含む層である近赤外線吸収層を設けることも好ましい。場合によっては近赤外線吸収層を支持体に対して、感光性層のある側の反対側に設けることもできるし、感光性層側と反対側の両方に設けてもよい。ハロゲン化銀を含む感光性層と支持体との間に近赤外線吸収層を設けること、あるいは、感光性層からみて支持体の反対側に近赤外線吸収層を設けることができるが、支持体の一方側にすると同時に塗布ができるので前者の方が好ましい。
(Near-infrared absorbing layer)
When the electromagnetic wave shielding film of the present invention is used in combination with, for example, an optical filter for a plasma display panel, it is also preferable to provide a near infrared absorbing layer that is a layer containing a near infrared absorbing dye below the photosensitive layer. . In some cases, the near-infrared absorbing layer may be provided on the opposite side of the support from the side having the photosensitive layer, or may be provided on both the photosensitive layer side and the opposite side. A near-infrared absorbing layer can be provided between the photosensitive layer containing silver halide and the support, or a near-infrared absorbing layer can be provided on the opposite side of the support as viewed from the photosensitive layer. The former is preferred because it can be applied simultaneously with one side.

近赤外線吸収染料の具体例としては、ポリメチン系、フタロシアニン系、ナフタロシアニン系、金属錯体系、アミニウム系、イモニウム系、ジイモニウム系、アンスラキノン系、ジチオール金属錯体系、ナフトキノン系、インドールフェノール系、アゾ系、トリアリルメタン系の化合物等が挙げられる。プラズマディスプレイパネル用光学フィルタで近赤外線吸収能が要求されるのは、主として熱線吸収や電子機器のノイズ防止である。このためには、最大吸収波長が750〜1100nmである近赤外線吸収能を有する色素が好ましく、金属錯体系、アミニウム系、フタロシアニン系、ナフタロシアニン系、ジイモニウム系、スクワリウム化合物系が特に好ましい。   Specific examples of near-infrared absorbing dyes include polymethine, phthalocyanine, naphthalocyanine, metal complex, aminium, imonium, diimonium, anthraquinone, dithiol metal complex, naphthoquinone, indolephenol, azo And triallylmethane-based compounds. The optical filters for plasma display panels are required to absorb near infrared rays mainly for heat ray absorption and noise prevention of electronic devices. For this purpose, a dye having a near-infrared absorbing ability having a maximum absorption wavelength of 750 to 1100 nm is preferable, and a metal complex, aminium, phthalocyanine, naphthalocyanine, diimonium, and squalium compound are particularly preferable.

近赤外線吸収染料としては、ジイモニウム化合物は、IRG−022、IRG−040(以上、日本化薬株式会社製)、ニッケルジチオール錯体化合物は、SIR−128、SIR−130、SIR−132、SIR−159、SIR−152、SIR−162(以上、三井化学株式会社製)、フタロシアニン系化合物は、IR−10,IR−12(以上、日本触媒株式会社)等の市販品を利用することができる。   As a near-infrared absorbing dye, diimonium compounds are IRG-022, IRG-040 (above, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and nickel dithiol complex compounds are SIR-128, SIR-130, SIR-132, SIR-159. , SIR-152, SIR-162 (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.), and phthalocyanine compounds may be commercially available products such as IR-10, IR-12 (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.).

本発明の電磁波シールドフィルムを、例えば、プラズマディスプレイパネル用の光学フィルタと組み合わせて使う場合には、プラズマディスプレイパネルに用いられるネオンガスの輝線発光行による色再現性の低下を防ぐために595nm付近の光を吸収する色素を含有することが好ましい。このような特定波長を吸収する色素としては、具体的には例えば、アゾ系、縮合アゾ系、フタロシアニン系、アンスラキノン系、インジゴ系、ペリノン系、ペリレン系、ジオキサジン系、キナクリドン系、メチン系、イソインドリノン系、キノフタロン系、ピロール系、チオインジゴ系、金属錯体系等の周知の有機顔料及び有機染料、無機顔料が挙げられる。これらの中でも、耐候性が良好であることから、フタロシアニン系、アンスラキノン系色素が特に好ましく用いられる。   When the electromagnetic wave shielding film of the present invention is used in combination with, for example, an optical filter for a plasma display panel, light near 595 nm is used to prevent a decrease in color reproducibility due to emission lines of neon gas used in the plasma display panel. It preferably contains an absorbing dye. Specific examples of the dye that absorbs such a specific wavelength include, for example, azo, condensed azo, phthalocyanine, anthraquinone, indigo, perinone, perylene, dioxazine, quinacridone, methine, Well-known organic pigments and organic dyes such as isoindolinone-based, quinophthalone-based, pyrrole-based, thioindigo-based, and metal complex-based materials, and inorganic pigments may be mentioned. Among these, phthalocyanine-based and anthraquinone-based dyes are particularly preferably used because of good weather resistance.

(紫外線吸収層)
本発明においては、電磁波シールドフィルムの紫外線による劣化を避けるために、極大吸収波長350nm未満の紫外線吸収剤を使用することが好ましい。
(UV absorbing layer)
In the present invention, in order to avoid deterioration of the electromagnetic wave shielding film due to ultraviolet rays, it is preferable to use an ultraviolet absorber having a maximum absorption wavelength of less than 350 nm.

紫外線吸収剤としては、公知の紫外線吸収剤、例えばサリチル酸系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、S−トリアジン系化合物、環状イミノエステル系化合物等を好ましく使用することができる。これらの中、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、環状イミノエステル系化合物が好ましい。ポリエステルに配合するものとしては、特に環状イミノエステル系化合物が好ましい。これら紫外線吸収剤の添加層については特に制限はないが、ハロゲン化銀感光性層(格子パターン層)に用いられるバインダーの紫外線による劣化を防止するという観点から、ハロゲン化銀感光性層への添加、あるいは該層よりも光源側に設けることが好ましい。   As the ultraviolet absorber, known ultraviolet absorbers such as salicylic acid compounds, benzophenone compounds, benzotriazole compounds, S-triazine compounds, cyclic imino ester compounds and the like can be preferably used. Of these, benzophenone compounds, benzotriazole compounds, and cyclic imino ester compounds are preferred. As what is blended with the polyester, a cyclic imino ester compound is particularly preferable. Although there is no restriction | limiting in particular about the addition layer of these ultraviolet absorbers, From a viewpoint of preventing the deterioration by the ultraviolet-ray of the binder used for a silver halide photosensitive layer (lattice pattern layer), addition to a silver halide photosensitive layer Alternatively, it is preferably provided on the light source side of the layer.

好ましい紫外線吸収剤としてはベンゾトリアゾール類が挙げられ、例えば特開平1−250944号公報記載の一般式[III−3]で示される化合物、特開昭64−66646号公報記載の一般式[III]で示される化合物、特開昭63−187240号公報記載のUV−1L〜UV−27L、特開平4−1633号公報記載の一般式[I]で示される化合物、特開平5−165144号公報記載の一般式(I)、(II)で示される化合物等が好ましく用いられる。   Preferred ultraviolet absorbers include benzotriazoles, for example, compounds represented by general formula [III-3] described in JP-A-1-250944, and general formula [III] described in JP-A 64-66646. A compound represented by general formula [I] described in JP-A No. 63-187240, UV-1L to UV-27L described in JP-A No. 63-187240, JP-A No. 4-1633, and JP-A No. 5-165144 The compounds represented by the general formulas (I) and (II) are preferably used.

これらの紫外線吸収剤は、例えばジオクチルフタレート、ジ−i−デシルフタレート、ジブチルフタレート等のフタル酸エステル類、トリクレジルホスフェート、トリオクチルホスフェート等の燐酸エステル類等に代表される高沸点有機溶媒に分散して添加することが好ましい。また、これらの紫外線吸収剤を支持体中に直接添加することも好ましく用いられ、この場合、例えば特表2004−531611号に記載の態様も好ましく用いることができる。   These ultraviolet absorbers are used in, for example, high-boiling organic solvents represented by phthalates such as dioctyl phthalate, di-i-decyl phthalate, and dibutyl phthalate, and phosphate esters such as tricresyl phosphate and trioctyl phosphate. It is preferable to add in a dispersed manner. Moreover, it is also preferably used to add these ultraviolet absorbers directly to the support. In this case, for example, the embodiment described in JP-T-2004-531611 can also be preferably used.

(反射防止層)
本発明の電電磁波シールドフィルムを、ディスプレイ画面の保護等を目的として用いる場合には、反射防止層を設けることが好ましい。
(Antireflection layer)
When the electromagnetic wave shielding film of the present invention is used for the purpose of protecting a display screen or the like, it is preferable to provide an antireflection layer.

反射防止層は、屈折率の異なる複数の光透過性層からなることが好ましく、無機微粒子を含有した高屈折率層、中屈折率層、低屈折率層から構成されることがより好ましい。屈折率の異なる層はそれぞれに含有される無機微粒子の種類、粒径、添加量、樹脂バインダーの種類等によって調整される。高屈折率層の屈折率は1.55〜2.30であることが好ましく、1.57〜2.20であることがさらに好ましい。中屈折率層の屈折率は、基材フィルムの屈折率と高屈折率層の屈折率との中間の値となるように調整する。中屈折率層の屈折率は1.55〜1.80であることが好ましい。低屈折率層の屈折率は1.46以下が好ましく、特に1.3〜1.45であることが望ましい。   The antireflection layer is preferably composed of a plurality of light transmissive layers having different refractive indexes, and more preferably composed of a high refractive index layer, a medium refractive index layer, and a low refractive index layer containing inorganic fine particles. The layers having different refractive indexes are adjusted according to the kind of inorganic fine particles contained therein, the particle diameter, the added amount, the kind of resin binder, and the like. The refractive index of the high refractive index layer is preferably 1.55 to 2.30, and more preferably 1.57 to 2.20. The refractive index of the medium refractive index layer is adjusted so as to be an intermediate value between the refractive index of the base film and the refractive index of the high refractive index layer. The refractive index of the middle refractive index layer is preferably 1.55 to 1.80. The refractive index of the low refractive index layer is preferably 1.46 or less, and particularly preferably 1.3 to 1.45.

反射防止層としては、金属酸化物、フッ化物、ケイ化物、ホウ化物、炭化物、窒化物、硫化物等の無機物を、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法等で単層あるいは多層に薄膜積層させる方法、アクリル樹脂、フッ素樹脂等の屈折率の異なる樹脂を単層あるいは多層に薄膜積層させる方法等を用いることができる。   As the antireflection layer, inorganic materials such as metal oxides, fluorides, silicides, borides, carbides, nitrides, sulfides, etc., can be used by vacuum deposition, sputtering, ion plating, ion beam assist, etc. A method of laminating a thin film in a layer or a multilayer, a method of laminating a resin having a different refractive index such as an acrylic resin or a fluororesin into a single layer or a multilayer can be used.

本発明の透明電磁波シールドフィルムにおいて、導電性パターンを有する層に対して該電磁波シールドフィルムの支持体を挟んだ反対側に反射防止層を形成する場合には、最初に反射防止層を形成した後に、プロテクトフィルムを貼り合わせ、その後導電性パターン層を形成することが好ましい。導電性パターンを先に形成した後に反射防止層を形成する場合、反射防止層と支持体の接着性を向上させるために行うプラズマ処理やコロナ処理の効率が低下しやすい傾向にあるため、反射防止層を最初に形成することが好ましい。また、反射防止層を先に形成した場合、該層が現像及びメッキ処理等により劣化することを防止するという観点から、予めプロテクトフィルムを貼り合わせた後、導電性パターン層を形成することが好ましい。   In the transparent electromagnetic wave shielding film of the present invention, when the antireflection layer is formed on the opposite side of the layer having the conductive pattern with the support of the electromagnetic wave shielding film sandwiched, after the antireflection layer is first formed, It is preferable to bond a protective film and then form a conductive pattern layer. When the antireflection layer is formed after the conductive pattern is formed first, the efficiency of the plasma treatment and corona treatment performed to improve the adhesion between the antireflection layer and the support tends to be reduced. It is preferred to form the layer first. In addition, when the antireflection layer is formed first, it is preferable to form a conductive pattern layer after pasting a protective film in advance from the viewpoint of preventing the layer from being deteriorated by development, plating treatment or the like. .

本発明において用いられるプロテクトフィルムは、一般的に市販されているプロテクトフィルムを用いることができるが、導電性パターン形成のための感光性層を塗工しやすくするという観点から、フィルムの厚さは10〜100μmが好ましく、特に好ましくは20〜60μmである。10μm未満の場合、フィルムの剛性が著しく低下するためプロテクトフィルムの貼合せの作業効率が低下しやすく、また100μmより厚い場合、フィルムの巻き取り時に巻き取り皺等の故障が発生しやすくなるためである。   As the protective film used in the present invention, a commercially available protective film can be used, but from the viewpoint of easy application of a photosensitive layer for forming a conductive pattern, the thickness of the film is 10-100 micrometers is preferable, Most preferably, it is 20-60 micrometers. If the thickness is less than 10 μm, the rigidity of the film is remarkably reduced, so that the work efficiency of the protection film is likely to be lowered. If the thickness is more than 100 μm, a failure such as a winding reel tends to occur when the film is wound. is there.

プロテクトフィルムに用いられる粘着剤の種類には特に制限はないが、反射防止フィルムを変質させることなく、また剥離時に反射防止フィルムにダメージを与えないものが好ましく用いられる。このような観点から、アクリル系、またはシリコーン系の粘着剤が好ましく用いられる。また、その粘着力としては、0.08〜0.6N/25mmであるものが好ましく用いられる。   Although there is no restriction | limiting in particular in the kind of adhesive used for a protective film, The thing which does not damage an antireflection film at the time of peeling, without altering an antireflection film is used preferably. From such a viewpoint, an acrylic or silicone adhesive is preferably used. Moreover, as the adhesive force, what is 0.08-0.6N / 25mm is used preferably.

以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。以下の実施態様における各種条件は、本発明の特徴や趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができ、本発明の範囲は以下の実施例により限定的に解釈されるべきものではない。なお、実施例において「部」あるいは「%」の表示を用いるが、特に断りがない限り「質量部」あるいは「質量%」を表す。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited thereto. Various conditions in the following embodiments can be appropriately changed without departing from the features and spirit of the present invention, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the following examples. In addition, although the display of "part" or "%" is used in an Example, unless otherwise indicated, "part by mass" or "mass%" is represented.

実施例1
〔感光材料の作製〕
(ハロゲン化銀乳剤の調製)
反応容器内で下記溶液Aを34℃に保ち、特開昭62−160128号公報記載の混合撹拌装置を用いて高速に撹拌しながら、硝酸(6%)を用いてpHを2.95に調整した。引き続き、ダブルジェット法を用いて下記溶液Bと下記溶液Cを一定の流量で8分6秒間かけて添加した。添加終了後に、炭酸ナトリウム(5%)を用いてpHを5.90に調整し、続いて下記溶液Dと溶液Eを添加した。
Example 1
[Production of photosensitive material]
(Preparation of silver halide emulsion)
The following solution A was kept at 34 ° C. in the reaction vessel, and the pH was adjusted to 2.95 using nitric acid (6%) while stirring at high speed using the mixing and stirring device described in JP-A-62-2160128. did. Subsequently, the following solution B and the following solution C were added at a constant flow rate over 8 minutes and 6 seconds using the double jet method. After completion of the addition, the pH was adjusted to 5.90 using sodium carbonate (5%), and then the following solution D and solution E were added.

(溶液A)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 18.7g
塩化ナトリウム 0.31g
下記溶液I 1.59ml
純水 1246ml
(溶液B)
硝酸銀 169.9g
硝酸(濃度6%) 5.89ml
純水にて317.1mlに仕上げる
(溶液C)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 5.66g
塩化ナトリウム 58.8g
臭化カリウム 13.3g
下記溶液I 0.85ml
下記溶液II 2.72ml
純水にて317.1mlに仕上げる
(溶液D)
2−メチル−4ヒドロキシ−1,3,3a,7−テトラアザインデン 0.56g
純水 112.1ml
(溶液E)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 3.96g
下記溶液I 0.40ml
純水 128.5ml
(溶液I)
界面活性剤:ポリイソプロピレンポリエチレンオキシジコハク酸エステルナトリウム塩の10%メタノール溶液
(溶液II)
六塩化ロジウム錯体の10%水溶液
上記操作終了後に、常法に従い40℃にてフロキュレーション法を用いて脱塩及び水洗処理を施し、溶液Fと防バイ剤を加えて60℃でよく分散し、40℃にてpHを5.90に調整して、最終的に臭化銀を10モル%含む平均粒子径0.09μm、変動係数10%の塩臭化銀立方体粒子乳剤を得た。
(Solution A)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 18.7g
Sodium chloride 0.31g
Solution I 1.59ml
Pure water 1246ml
(Solution B)
169.9g of silver nitrate
Nitric acid (concentration 6%) 5.89ml
Finish to 317.1 ml with pure water (Solution C)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 5.66 g
Sodium chloride 58.8g
13.3 g of potassium bromide
Solution I 0.85ml below
Solution II below 2.72 ml
Finish to 317.1 ml with pure water (Solution D)
2-Methyl-4hydroxy-1,3,3a, 7-tetraazaindene 0.56 g
112.1 ml of pure water
(Solution E)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 3.96 g
Solution I 0.40ml
128.5 ml of pure water
(Solution I)
Surfactant: 10% methanol solution of polyisopropylene polyethylene oxydisuccinate sodium salt (Solution II)
10% aqueous solution of rhodium hexachloride complex After completion of the above operation, desalting and water washing are performed using a flocculation method at 40 ° C. according to a conventional method. The pH was adjusted to 5.90 at 40 ° C., and finally a silver chlorobromide cubic grain emulsion containing 10 mol% of silver bromide and having an average grain size of 0.09 μm and a coefficient of variation of 10% was obtained.

(溶液F)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 16.5g
純水 139.8ml
次に上記のハロゲン化銀乳剤を60℃にした後に、分光増感色素SD−1の所定量を、固体微粒子状の分散物として添加した後に、アデニン、チオシアン酸アンモニウム、塩化金酸及びチオ硫酸ナトリウムの混合水溶液及びトリフェニルフォスフィンセレナイドの分散液を加え、さらに60分後に沃化銀微粒子乳剤を加え、総計2時間の熟成を施した。熟成終了時に安定剤として4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデン(TAI)の所定量を添加した。
(Solution F)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 16.5g
Pure water 139.8ml
Next, after the silver halide emulsion is heated to 60 ° C., a predetermined amount of spectral sensitizing dye SD-1 is added as a solid fine particle dispersion, and then adenine, ammonium thiocyanate, chloroauric acid and thiosulfuric acid are added. A mixed aqueous solution of sodium and a dispersion of triphenylphosphine selenide were added, and after 60 minutes, a silver iodide fine grain emulsion was added, followed by ripening for a total of 2 hours. At the end of aging, a predetermined amount of 4-hydroxy-6-methyl-1,3,3a, 7-tetrazaindene (TAI) was added as a stabilizer.

なお、上記の添加剤とその添加量(AgX1モル当たり)を下記に示す。   In addition, said additive and its addition amount (per mol of AgX) are shown below.

5,5′−ジクロロ−9−エチル−3,3′−ジ−(スルホプロピル)
−オキサカルボシアニンナトリウム塩無水物 2.0mg
5,5′−ジ−(ブトキシカルボニル)−3,3′−ジ−(4−スルホブチル)−ベンゾイミダゾロカルボシアニンナトリウム塩無水和物 120mg
アデニン 15mg
チオシアン酸カリウム 95mg
塩化金酸 2.5mg
チオ硫酸ナトリウム 2.0mg
トリフェニルフォスフィンセレナイド 0.4mg
沃化銀微粒子 280mg
4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデン(TAI)
500mg
分光増感色素の固体微粒子状分散物は以下の方法によって調製した。即ち、分光増感色素の所定量を予め27℃に調温した水に加え高速撹拌機(ディゾルバー)で3,500rpmにて30〜120分間にわたって撹拌することによって得た。
5,5'-Dichloro-9-ethyl-3,3'-di- (sulfopropyl)
-Oxacarbocyanine sodium salt anhydride 2.0 mg
5,5'-di- (butoxycarbonyl) -3,3'-di- (4-sulfobutyl) -benzimidazolocarbocyanine sodium salt anhydrous 120 mg
Adenine 15mg
Potassium thiocyanate 95mg
Chloroauric acid 2.5mg
Sodium thiosulfate 2.0mg
Triphenylphosphine selenide 0.4mg
Silver iodide fine particles 280mg
4-hydroxy-6-methyl-1,3,3a, 7-tetrazaindene (TAI)
500mg
A solid fine particle dispersion of spectral sensitizing dye was prepared by the following method. That is, it was obtained by adding a predetermined amount of the spectral sensitizing dye to water previously adjusted to 27 ° C. and stirring at 3,500 rpm for 30 to 120 minutes with a high-speed stirrer (dissolver).

上記のセレン増感剤の分散液は次のように調製した。即ち、トリフェニルフォスフィンセレナイド120gを50℃の酢酸エチル30kg中に添加、撹拌し、完全に溶解した。他方で写真用ゼラチン3.8kgを純水38kgに溶解し、これにドデシルベンゼンスルフォン酸ナトリウム25%水溶液93gを添加した。次いでこれらの2液を混合して直径10cmのディゾルバーを有する高速撹拌型分散機により50℃下において分散翼周速40m/秒で30分間分散を行った。その後速やかに減圧下で、酢酸エチルの残留濃度が0.3質量%以下になるまで撹拌を行いつつ、酢酸エチルを除去した。その後、この分散液を純水で希釈して80kgに仕上げた。このようにして得られた分散液の一部を分取して上記実験に使用した。   A dispersion of the above selenium sensitizer was prepared as follows. That is, 120 g of triphenylphosphine selenide was added to 30 kg of ethyl acetate at 50 ° C., stirred, and completely dissolved. On the other hand, 3.8 kg of photographic gelatin was dissolved in 38 kg of pure water, and 93 g of 25% aqueous solution of sodium dodecylbenzenesulfonate was added thereto. Next, these two liquids were mixed and dispersed at a dispersion blade peripheral speed of 40 m / sec for 30 minutes at 50 ° C. with a high-speed stirring disperser having a dissolver having a diameter of 10 cm. Thereafter, the ethyl acetate was removed while rapidly stirring under reduced pressure until the residual concentration of ethyl acetate became 0.3% by mass or less. Thereafter, this dispersion was diluted with pure water to make 80 kg. A portion of the dispersion thus obtained was collected and used in the above experiments.

なお、上記の沃化銀微粒子の添加によりハロゲン化銀粒子乳剤中に含有されるハロゲン化銀粒子の最表面の平均ヨード含有率は約4モル%であった。   The average iodine content of the outermost surface of the silver halide grains contained in the silver halide grain emulsion by the addition of the silver iodide fine grains was about 4 mol%.

次に、このようにして増感を施した乳剤に下記添加剤を加え感光性層塗布液とした。また同時に保護層塗布液も調製した。   Next, the following additives were added to the emulsion thus sensitized to prepare a photosensitive layer coating solution. At the same time, a protective layer coating solution was also prepared.

次に、下引き処理されたポリエチレンテレフタレートフィルムベース(厚みが175μm)の片面に、感光性層塗布液(塗布銀量が1.0g/m2)と保護層塗布液を同時重層塗布、乾燥し、感光材料101〜117を得た。 Next, a photosensitive layer coating solution (the coating silver amount is 1.0 g / m 2 ) and a protective layer coating solution are applied simultaneously on one side of a subbed polyethylene terephthalate film base (thickness of 175 μm) and dried. Photosensitive materials 101 to 117 were obtained.

Figure 2009038078
Figure 2009038078

(感光性層塗布液)
上記で得た乳剤に下記の各種添加剤を加えた。
(Photosensitive layer coating solution)
The following various additives were added to the emulsion obtained above.

2,6−ビス(ヒドロキシアミノ)−4−ジエチルアミノ−1,3,5−トリアジン
5mg/m2
t−ブチル−カテコール 130mg/m2
ポリビニルピロリドン(分子量10,000) 35mg/m2
スチレン−無水マレイン酸共重合体 80mg/m2
ポリスチレンスルホン酸ナトリウム 80mg/m2
トリメチロールプロパン 350mg/m2
ジエチレングリコール 50mg/m2
ニトロフェニル−トリフェニル−ホスホニウムクロリド 20mg/m2
1,3−ジヒドロキシベンゼン−4−スルホン酸アンモニウム 500mg/m2
2−メルカプトベンツイミダゾール−5−スルホン酸ナトリウム 5mg/m2
n−C49OCH2CH(OH)CH2N(CH2COOH)2 350mg/m2
コロイダルシリカ 0.5g/m2
デキストリン(平均分子量1000) 0.2g/m2
ただし、ゼラチンとしては1.0g/m2になるように調整した。
2,6-bis (hydroxyamino) -4-diethylamino-1,3,5-triazine
5 mg / m 2
t-Butyl-catechol 130 mg / m 2
Polyvinylpyrrolidone (molecular weight 10,000) 35 mg / m 2
Styrene-maleic anhydride copolymer 80 mg / m 2
Sodium polystyrene sulfonate 80mg / m 2
Trimethylolpropane 350mg / m 2
Diethylene glycol 50mg / m 2
Nitrophenyl-triphenyl-phosphonium chloride 20 mg / m 2
1,3-dihydroxybenzene-4-ammonium sulfonate 500 mg / m 2
2-Mercaptobenzimidazole-5-sulfonic acid sodium salt 5 mg / m 2
n-C 4 H 9 OCH 2 CH (OH) CH 2 N (CH 2 COOH) 2 350mg / m 2
Colloidal silica 0.5g / m 2
Dextrin (average molecular weight 1000) 0.2 g / m 2
However, the gelatin was adjusted to 1.0 g / m 2 .

(保護層塗布液)
ゼラチン 0.8g/m2
ポリメチルメタクリレートからなるマット剤(面積平均粒径7.0μm)
50mg/m2
ホルムアルデヒド 20mg/m2
2,4−ジクロロ−6−ヒドロキシ−1,3,5−トリアジンナトリウム塩
10mg/m2
ビス−ビニルスルホニルメチルエーテル 36mg/m2
ポリアクリルアミド(平均分子量10,000) 0.1g/m2
ポリアクリル酸ナトリウム 30mg/m2
ポリシロキサン 20mg/m2
919−O−(CH2CH2O)11−H 3mg/m2
817SO2N(C37)−(CH2CH2O)15−H 2mg/m2
817SO2N(C37)−(CH2CH2O)4−(CH24SO3Na
1mg/m2
〔露光〕
得られた感光材料に、格子状のフォトマスク(格子間距離/線幅については、各種)を介してUV露光機、または格子状のフォトマスクを介さずにレーザ露光機で露光した。また、フォトマスクについては、故意に格子間距離の標準偏差を変化させたものについても、露光を行い、以下に示す評価を行った。
(Protective layer coating solution)
Gelatin 0.8g / m 2
Matting agent composed of polymethyl methacrylate (Area average particle size 7.0 μm)
50 mg / m 2
Formaldehyde 20mg / m 2
2,4-dichloro-6-hydroxy-1,3,5-triazine sodium salt
10 mg / m 2
Bis-vinylsulfonylmethyl ether 36 mg / m 2
Polyacrylamide (average molecular weight 10,000) 0.1 g / m 2
Sodium polyacrylate 30mg / m 2
Polysiloxane 20mg / m 2
C 9 F 19 -O- (CH 2 CH 2 O) 11 -H 3mg / m 2
C 8 F 17 SO 2 N ( C 3 H 7) - (CH 2 CH 2 O) 15 -H 2mg / m 2
C 8 F 17 SO 2 N ( C 3 H 7) - (CH 2 CH 2 O) 4 - (CH 2) 4 SO 3 Na
1mg / m 2
〔exposure〕
The obtained photosensitive material was exposed with a UV exposure machine or a laser exposure machine through a grid-like photomask (various distances / line widths between grids) or without a grid-like photomask. As for the photomask, exposure was also performed on the photomask with intentionally changed the standard deviation of the interstitial distance, and the following evaluation was performed.

〔化学現像〕
露光した感光材料を、下記現像液を用いて20±0.3℃で10分現像し、次に下記定着液を用いて20±1.0℃で10分定着し、純水でリンスした。
[Chemical development]
The exposed photosensitive material was developed for 10 minutes at 20 ± 0.3 ° C. using the following developer, then fixed for 10 minutes at 20 ± 1.0 ° C. using the following fixer, and rinsed with pure water.

(現像液)
水 750ml
メトール 2g
無水亜硫酸ナトリウム 100g
ハイドロキノン 5g
ほう砂 2g
水を加えて総量を1000mlに仕上げる
(定着液)
水 600ml
チオ硫酸ナトリウム 240g
亜硫酸ナトリウム 15g
酢酸(28%) 48ml
ほう酸 7.5g
粉末カリミョウバン 15g
水を加えて総量を1000mlに仕上げ、アンモニア水または氷酢酸を用いてpH4.3に調整する。
(Developer)
750 ml of water
Metol 2g
100 g of anhydrous sodium sulfite
Hydroquinone 5g
Borax 2g
Add water to make the total volume 1000ml (fixer)
600 ml of water
240g sodium thiosulfate
Sodium sulfite 15g
Acetic acid (28%) 48ml
Boric acid 7.5g
15g powdered alum
Add water to bring the total volume to 1000 ml and adjust to pH 4.3 using aqueous ammonia or glacial acetic acid.

〔物理現像〕
次に、下記物理現像液を調製し、これを用いて30±0.3℃で10分物理現像した後、純水でリンスし、導電性パターンを有する電磁波遮蔽材料の試料を得た。
[Physical development]
Next, the following physical developer was prepared and physically developed at 30 ± 0.3 ° C. for 10 minutes, followed by rinsing with pure water to obtain a sample of an electromagnetic wave shielding material having a conductive pattern.

(物理現像液)
水 900ml
クエン酸 10g
リン酸水素二ナトリウム 25g
アンモニア水(28%) 3ml
ハイドロキノン 2.3g
硝酸銀 0.23g
水を加えて総量を1000mlに仕上げる。
(Physical developer)
900ml water
Citric acid 10g
Disodium hydrogen phosphate 25g
Ammonia water (28%) 3ml
Hydroquinone 2.3g
Silver nitrate 0.23g
Add water to bring the total volume to 1000 ml.

〔測定及び評価〕
下記方法で、測定及び評価を行った。
[Measurement and evaluation]
Measurement and evaluation were performed by the following methods.

(線幅)
金属格子の線幅はマイクロスコープで拡大し測定した。
(Line width)
The line width of the metal grid was measured with a microscope.

(金属格子間距離の標準偏差)
金属格子間距離はマイクロスコープで拡大し、測定した。金属格子間距離の標準偏差は、金属格子間距離をランダムに100点測定し、その測定値の標準偏差を算出した。
(Standard deviation of the distance between metal grids)
The distance between the metal lattices was measured with a microscope. As for the standard deviation of the distance between metal grids, the distance between metal grids was randomly measured at 100 points, and the standard deviation of the measured values was calculated.

(開口率)
開口率は、金属格子をなす細線のない部分が全体に占める割合であり、金属格子線幅と格子間距離から算出した。
(Aperture ratio)
The aperture ratio is a ratio of a portion having no fine line forming the metal lattice to the whole, and was calculated from the metal lattice line width and the interstitial distance.

(シールド能)
サンプルを15cm×15cmで作製し、KEC法にシールド能を測定し、下記基準に従って評価した。シールド能の数値は、周波数100MHzの値を採用している。
(Shielding ability)
Samples were prepared at 15 cm × 15 cm, the shielding ability was measured by the KEC method, and evaluated according to the following criteria. As the numerical value of the shielding ability, a value of a frequency of 100 MHz is adopted.

◎:シールド能が46dB以上
○:シールド能が44以上〜46dB未満
△:シールド能が42以上〜44dB未満
×:シールド能が42dB未満
(鮮鋭性)
サンプルを、前面フィルタを除去したプラズマディスプレイパネル画面に貼り付けて、幾何学模様を表示し、境界線の鮮明さについて、官能評価を行った。下記基準に従って評価をした。
◎: Shielding ability is 46 dB or more ◯: Shielding ability is 44 or more to less than 46 dB △: Shielding ability is 42 or more to less than 44 dB ×: Shielding ability is less than 42 dB (sharpness)
The sample was pasted on the plasma display panel screen from which the front filter was removed, the geometric pattern was displayed, and the sensory evaluation was performed on the sharpness of the boundary line. Evaluation was performed according to the following criteria.

◎:境界線がくっきり見える
○:境界線が存在していることが分かる
×:境界線がぼやけている
(総合評価)
シールド能及び鮮鋭性を総合して評価した。
◎: The boundary line is clearly visible. ○: The boundary line exists. ×: The boundary line is blurred. (Comprehensive evaluation)
The shielding ability and sharpness were comprehensively evaluated.

評価の結果を表1に示す。   The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 2009038078
Figure 2009038078

表1から、開口率が80〜90%であり、線幅が3〜20μm、金属格子間距離の標準偏差が0.1〜1.3の範囲にあるときに、シールド能が高く、鮮鋭性がよいサンプルが得られることが分かった。さらに、線幅が14μm以下であると、さらに鮮鋭性がよくなることが分かった。   From Table 1, when the aperture ratio is 80 to 90%, the line width is 3 to 20 μm, and the standard deviation of the distance between metal lattices is in the range of 0.1 to 1.3, the shielding ability is high and the sharpness is high. It was found that a good sample was obtained. Furthermore, it was found that the sharpness is further improved when the line width is 14 μm or less.

実施例2
実施例1で作製した白黒現像用乳剤の塗布液量を調整し、表2記載の塗布銀量になるように塗布を行い、得られた感光材料に、格子状のフォトマスクを介してUV露光機で露光を行った後、実施例1と同様に白黒現像、補力処理を行った。その際、線幅は12μm、開口率は90%、表面抵抗10Ω/□になるように調整した。そのサンプルについて、下記の補力処理時間、総合評価及び実施例1と同様の鮮鋭性の評価を行った。評価の結果を表2に示す。
Example 2
The amount of coating solution for the black and white developing emulsion prepared in Example 1 was adjusted, coating was performed so that the coating silver amount shown in Table 2 was achieved, and the resulting photosensitive material was subjected to UV exposure through a lattice photomask. After exposure with a machine, black-and-white development and intensification processing were performed in the same manner as in Example 1. At that time, the line width was adjusted to 12 μm, the aperture ratio to 90%, and the surface resistance to 10Ω / □. About the sample, the following intensification process time, comprehensive evaluation, and the same sharpness evaluation as Example 1 were performed. The evaluation results are shown in Table 2.

(補力処理時間)
作製したサンプルについて、上記、物理現像処方を用い、30±0.3℃にて処理し、タイムステップによる導電性評価を実施し、下記基準にて評価した。補力時間としては、10Ω/□に達するまでの時間とした。
(Reinforcement processing time)
About the produced sample, it processed at 30 +/- 0.3 degreeC using the said physical development prescription, implemented the electrical conductivity evaluation by a time step, and evaluated it on the following reference | standard. The intensification time was the time required to reach 10Ω / □.

◎:補力時間が5分未満
○:補力時間が5以上〜8分未満
△:補力時間が8以上〜15分未満
×:補力時間が15分以上
(総合評価)
補力処理時間及び鮮鋭性を総合して評価した。
◎: Reinforcement time is less than 5 minutes ○: Reinforcement time is from 5 to less than 8 minutes △: Reinforcement time is from 8 to less than 15 minutes ×: Reinforcement time is 15 minutes or more (Comprehensive evaluation)
The intensification processing time and sharpness were comprehensively evaluated.

Figure 2009038078
Figure 2009038078

表2から、塗布銀量が0.3〜3.0g/m2であると、鮮鋭性を犠牲にせずに効果的に補力処理が達成できることが分かった。 From Table 2, it was found that when the applied silver amount is 0.3 to 3.0 g / m 2 , the intensifying treatment can be effectively achieved without sacrificing sharpness.

実施例3
実施例1で作製した白黒現像用乳剤のゼラチン量を調整し、塗布銀量が1.0g/m2になるように塗布を行い、得られた感光材料に、格子状のフォトマスクを介してUV露光機で露光を行った後、実施例1と同様に白黒現像、補力処理を行った。その際、線幅が12μm、開口率は90%、表面抵抗10Ω/□になるように調整した。そのサンプルについて、下記の感光性層膜厚、接着性、色調及び総合評価を行った。評価の結果を表3に示す。
Example 3
Adjust the amount of gelatin monochrome developing emulsion prepared in Example 1, it was coated so that the amount of coated silver is 1.0 g / m 2, the obtained photosensitive material, through a grid photomask After exposure with a UV exposure machine, black-and-white development and intensification processing were performed in the same manner as in Example 1. At that time, the line width was adjusted to 12 μm, the aperture ratio to 90%, and the surface resistance to 10Ω / □. About the sample, the following photosensitive layer film thickness, adhesiveness, color tone, and comprehensive evaluation were performed. Table 3 shows the evaluation results.

(感光性層膜厚)
感光性層の膜厚は、サンプルを裁断し、断面をマイクロスコープで拡大し測定した。
(Photosensitive layer thickness)
The film thickness of the photosensitive layer was measured by cutting a sample and enlarging a cross section with a microscope.

(接着性)
作製したサンプルをクロスカットセロテープ(登録商標)剥離試験(JIS K 5600−5−6)にて評価し、下記基準に従って評価した。
(Adhesiveness)
The produced sample was evaluated by a cross-cut cello tape (registered trademark) peel test (JIS K 5600-5-6) and evaluated according to the following criteria.

◎:碁盤目の残り数が100/100
○:碁盤目の残り数が80〜99/100
△:碁盤目の残り数が60〜79/100
×:碁盤目の残り数が59以下/100
(色調)
作製したサンプルについて、三波長の蛍光灯を写し、蛍光灯の色の変化を確認し、下記基準に従って評価をした。
A: The remaining number of grids is 100/100
○: Remaining number of grids is 80 to 99/100
Δ: The remaining number of grids is 60 to 79/100
×: The remaining number of grids is 59 or less / 100
(Color tone)
About the produced sample, the fluorescent lamp of three wavelengths was copied, the change of the color of the fluorescent lamp was confirmed, and it evaluated according to the following reference | standard.

○:蛍光灯が白く見え、直視した蛍光灯と同じ色である
△:蛍光灯が白く見えるが、直視した蛍光灯とは若干異なる
×:蛍光灯の色が異なった色に見える
(総合評価)
接着性及び色調を総合して評価した。
○: The fluorescent lamp looks white and is the same color as the direct-viewed fluorescent lamp. △: The fluorescent lamp looks white, but is slightly different from the direct-viewed fluorescent lamp.
The adhesiveness and color tone were comprehensively evaluated.

Figure 2009038078
Figure 2009038078

表3から、感光性層の膜厚が0.03〜0.3μmであると、接着性と色調の良好なサンプルが得られることを確認した。   From Table 3, it confirmed that the sample with favorable adhesiveness and a color tone was obtained as the film thickness of a photosensitive layer is 0.03-0.3 micrometer.

実施例4
実施例1で作製した白黒現像用乳剤のゼラチン量を調整し、塗布銀量が1.0g/m2になるように塗布を行い、得られた感光材料に、格子状のフォトマスクを介してUV露光機で露光を行った後、実施例1と同様に白黒現像、補力処理を行った。その際、線幅が12μm、開口率は90%、表面抵抗10Ω/□になるように調整した。そのサンプルについて、実施例2と同様の補力処理時間、及び下記塗布性、総合評価を行った。評価の結果を表4に示す。
Example 4
The black-and-white developing emulsion prepared in Example 1 was adjusted to have a gelatin amount and coated so that the amount of coated silver was 1.0 g / m 2 , and the resulting photosensitive material was passed through a lattice photomask. After exposure with a UV exposure machine, black-and-white development and intensification processing were performed in the same manner as in Example 1. At that time, the line width was adjusted to 12 μm, the aperture ratio to 90%, and the surface resistance to 10Ω / □. About the sample, the same intensification processing time as Example 2, and the following applicability | paintability and comprehensive evaluation were performed. Table 4 shows the evaluation results.

(塗布性)
支持体に、上記乳剤を塗布し、前面ベタ露光し、現像後の塗布ムラの評価を目視にて下記基準で評価した。
(Applicability)
The above emulsion was coated on a support, exposed on the front surface, and evaluation of coating unevenness after development was visually evaluated according to the following criteria.

○:塗布ムラがない
△:塗布ムラがかすかにあるが、1m以上離れてみると、ムラが見えない
×:1m以上離れて見ても、ムラが見える
(総合評価)
補力処理時間及び塗布性を総合して評価した。
○: No coating unevenness △: Coating unevenness is faint, but unevenness is not visible when viewed at a distance of 1 m or more x: Unevenness is visible even when viewed at a distance of 1 m or more (Comprehensive evaluation)
The intensification treatment time and applicability were comprehensively evaluated.

Figure 2009038078
Figure 2009038078

表4から、ハロゲン化銀/バインダーの体積比を0.2〜0.8に調整することで、効率的な補力処理が可能で、塗布性も良好なものを得られることが分かった。   From Table 4, it was found that by adjusting the volume ratio of silver halide / binder to 0.2 to 0.8, an efficient intensification treatment is possible and a coating property is also good.

実施例5
実施例1で作製した白黒現像用乳剤のゼラチン量を調整し、塗布銀量が1.0g/m2になるように塗布を行い、得られた感光材料に、格子状のフォトマスクを介してUV露光機で露光を行った後、実施例1と同様に白黒現像、補力処理を行った。その際、補力処理の時間を調整し、線幅12μmで線高さを変えながら、開口率を90%、表面抵抗10Ω/□になるように調整した。そのサンプルについて、下記金属格子の線高さ、断面積、モアレ及び総合評価を行った。評価の結果を表5に示す。
Example 5
The black-and-white developing emulsion prepared in Example 1 was adjusted to have a gelatin amount and coated so that the amount of coated silver was 1.0 g / m 2 , and the resulting photosensitive material was passed through a lattice photomask. After exposure with a UV exposure machine, black-and-white development and intensification processing were performed in the same manner as in Example 1. At that time, the time for the intensifying treatment was adjusted, and the aperture ratio was adjusted to 90% and the surface resistance to 10Ω / □ while changing the line height with a line width of 12 μm. About the sample, the following metal grid line height, cross-sectional area, moire, and comprehensive evaluation were performed. The evaluation results are shown in Table 5.

(線高さ)
金属格子線の線高さは、断面をマイクロスコープで拡大し測定した。
(Line height)
The line height of the metal grid line was measured by enlarging the cross section with a microscope.

(断面積)
金属格子の断面積は、金属格子を裁断し、断面をマイクロスコープで拡大し測定した。
(Cross sectional area)
The cross-sectional area of the metal grid was measured by cutting the metal grid and enlarging the cross section with a microscope.

(モアレ)
作製したサンプルについて、前面フィルタを除去したプラズマディスプレイパネル画面に貼り付けて、白色と黒色の表示画面とし、目視でモアレを確認し、下記基準にて評価した。
(Moire)
About the produced sample, it affixed on the plasma display panel screen which removed the front filter, it was set as the white and black display screen, the moire was confirmed visually, and the following reference | standard evaluated.

○:白色、黒色ともにモアレを感じない
△:白色、黒色の片方のみにモアレを感じる
×:白色、黒色ともにモアレを感じる
(総合評価)
補力処理時間及び塗布性を総合して評価した。
○: Moire is not felt in both white and black △: Moire is felt only in one of white and black ×: Moire is felt in both white and black (Comprehensive evaluation)
The intensification treatment time and applicability were comprehensively evaluated.

Figure 2009038078
Figure 2009038078

表5から、金属格子の断面積Sについて、線幅W、線高さHのとき、0.85≦S/(W×H)≦1.0を満たす場合、モアレ適性の高いものを作製できることが分かった。   From Table 5, when the cross-sectional area S of the metal lattice satisfies the condition of 0.85 ≦ S / (W × H) ≦ 1.0 when the line width is W and the line height is H, it is possible to produce a high moire suitability. I understood.

実施例6
実施例1で作製した白黒現像用乳剤を、塗布銀量が1.0g/m2になるように塗布を行い、得られた感光材料に、格子状のフォトマスクを介してUV露光機で露光を行った後、実施例1と同様に白黒現像、補力処理を行った。マスクは、あえて断線部を作製したものを作製し、使用した。その際、線幅が12μm、開口率は90%、表面抵抗0.1Ω/□になるように調整した。そのサンプルについて、下記断線部の数及び実施例1と同様にしてシールド能の評価を行った。評価の結果を表6に示す。
Example 6
The black-and-white developing emulsion prepared in Example 1, was coated so that the amount of coated silver is 1.0 g / m 2, the resulting light-sensitive material, the exposure to UV exposure machine via a lattice-like photomask After that, black-and-white development and intensification processing were performed in the same manner as in Example 1. A mask was prepared and used with a broken part. At that time, the line width was adjusted to 12 μm, the aperture ratio to 90%, and the surface resistance to 0.1Ω / □. With respect to the sample, the shielding ability was evaluated in the same manner as in Example 1 and the number of disconnected portions below. The evaluation results are shown in Table 6.

(断線部の数)
断線部の数は、1m2の金属格子サンプルについて、全ての断線部をマイクロスコープで計測した。
(Number of disconnections)
The number of disconnections was measured with a microscope for all 1 m 2 metal lattice samples.

Figure 2009038078
Figure 2009038078

表6から、断線部の数を0個/m2を達成するためには、非常に収率が低く、100個/m2以下であれば、良好なシールド能を維持できることが分かった。 From Table 6, it was found that, in order to achieve the number of disconnected portions of 0 / m 2 , the yield was very low, and good shielding ability could be maintained if the number was 100 / m 2 or less.

Claims (11)

支持体上にハロゲン化銀及びバインダーを含有する感光性層を有するハロゲン化銀感光材料をパターン露光後、白黒現像及び補力処理を行って作製し、金属を格子状に配置した電磁波シールドフィルムにおいて、金属格子の線幅が3〜20μm、開口率が80〜95%、かつ、金属格子間距離の標準偏差が0.1〜1.3であることを特徴とする電磁波シールドフィルム。 In an electromagnetic wave shielding film in which a silver halide photosensitive material having a photosensitive layer containing a silver halide and a binder on a support is subjected to pattern exposure, black-and-white development and intensification processing are performed, and metal is arranged in a lattice shape An electromagnetic wave shielding film, wherein the line width of the metal grid is 3 to 20 μm, the aperture ratio is 80 to 95%, and the standard deviation of the distance between the metal grids is 0.1 to 1.3. 前記金属格子の線幅が3〜14μmであることを特徴とする請求項1に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein a line width of the metal lattice is 3 to 14 μm. 前記ハロゲン化銀感光材料のハロゲン化銀の塗布量が、金属銀換算で0.3〜3.0g/m2であることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁波シールドフィルム。 3. The electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the silver halide photosensitive material has a silver halide coating amount of 0.3 to 3.0 g / m 2 in terms of metallic silver. 前記感光性層の膜厚が、0.03〜0.3μmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。 The film thickness of the said photosensitive layer is 0.03-0.3 micrometer, The electromagnetic wave shielding film of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 前記感光性層のハロゲン化銀/バインダーの体積比が、0.2〜0.8であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 4, wherein the photosensitive layer has a silver halide / binder volume ratio of 0.2 to 0.8. 前記金属格子の断面積Sが、線幅W、線高さHに対して、0.85≦S/(W×H)≦1.0の関係を満たすことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。 6. The cross-sectional area S of the metal lattice satisfies a relationship of 0.85 ≦ S / (W × H) ≦ 1.0 with respect to the line width W and the line height H. The electromagnetic wave shielding film of any one of these. 電磁波シールドフィルムの面方向1m2当たりの前記金属格子の断線部の数が、1〜100であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。 Electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the number of disconnected parts of the metal grid surface direction 1 m 2 per electromagnetic wave shielding film is 1 to 100. 前記補力処理が物理現像であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the intensification process is physical development. 前記補力処理が、物理現像を行った後にメッキを行うことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 7, wherein the intensifying treatment is performed after physical development. 前記物理現像に用いる物理現像液が酸性であることを特徴とする請求項8または9に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic wave shielding film according to claim 8 or 9, wherein a physical developer used for the physical development is acidic. 請求項1〜10のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルムを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 A plasma display panel comprising the electromagnetic wave shielding film according to claim 1.
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