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JP2009021459A - 面発光型半導体レーザの駆動方法および光伝送モジュール - Google Patents

面発光型半導体レーザの駆動方法および光伝送モジュール Download PDF

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JP2009021459A JP2007183875A JP2007183875A JP2009021459A JP 2009021459 A JP2009021459 A JP 2009021459A JP 2007183875 A JP2007183875 A JP 2007183875A JP 2007183875 A JP2007183875 A JP 2007183875A JP 2009021459 A JP2009021459 A JP 2009021459A
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修 上野
Akira Sakamoto
朗 坂本
Kazuhiro Sakasai
一宏 逆井
Hideo Nakayama
秀生 中山
Akemi Murakami
朱実 村上
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Abstract

【課題】電力消費を低減しつつ高速駆動が可能な面発光型半導体レーザの駆動方法を提供する。
【解決手段】VCSELは、光を発生する活性領域、当該活性領域を挟み込むように配置された共振器構造、および活性領域に電力を供給する駆動電極とを含み、駆動電極に印加される電圧と電流によって規定される内部抵抗を有している。このVCSELの駆動方法は、ローレベルの電流値Iとハイレベルの電流値Iで規定される電流値振幅Iを持つ変調信号をVCSELの駆動電極へ印加するステップを含んでおり、変調信号は、内部抵抗が電流増に対して減少する負勾配領域内にある。
【選択図】図8

Description

本発明は、面発光型半導体レーザの駆動方法および光伝送モジュールに関する。
ギガ周波数帯以上の高速で変調される光伝送モジュールでは、内部抵抗が小さくなるように設計された面発光型半導体レーザ(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser diode:以下、VCSELと呼ぶ)が用いられている。シングルモードの一部のVCSELでは、50オームよりも大きな数百ないし数千オームの内部抵抗を有しているが、このような高抵抗のVCSELでは、駆動回路系や配線系で通常用いられている抵抗値、例えば50オームよりも大きいため、インピーダンスの不整合が生じてしまう。
こうした問題に鑑み、特許文献1や特許文献2は、高速変調のためにVCSELの抵抗を50オーム以下にする技術を開示している。特許文献3は、内部抵抗が高い半導体レーザを高速スイッチングするため、半導体レーザと並列に抵抗を設け、負荷のインピーダンスを低下する技術を開示している。特許文献4は、信号線とVCSELとの間に介在する終端抵抗と、VCSELに並列に接続された抵抗とを設けることで、内部抵抗の高いVCSELでも広帯域にわたり反射損失が少なく高周波駆動することができる技術を開示している。さらに、特許文献5は、内部抵抗が数百オームのVCSELを高速駆動するために電圧駆動方式を用いる技術を開示している。
特開平5−283791号公報 特開2002−353568号公報 特開2003−101127号公報 特開2004−273584号公報 特開2002−335038号公報
携帯端末など電磁ノイズに敏感な機器では、信号の伝送の光源にVCSELを用いた光伝送モジュールが検討されている。そこでの最大の技術的課題は、VCSELの消費電力の低減である。低電力化のためには、VCSELのしきい値電流を下げ、駆動電流を低下させることが一つの方法であるが、通常、しきい値電流を下げると、内部抵抗が高くなってしまい、VCSELを高速駆動することが困難になってしまう。また、特許文献3や特許文献4は、高抵抗のVCSELの駆動方法を提案しているが、これらの駆動方法は、VCSELに並列に低抵抗を設けるものであり、この抵抗により電力が消費されてしまうため、携帯端末の低電力化には適していない。
本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、電力消費を低減しつつ高速駆動が可能な面発光型半導体レーザの駆動方法を提供することを目的とする。
さらに本発明は、携帯端末等の低消費電力化に適した光伝送モジュールを提供することを目的とする。
本発明に係る面発光型半導体レーザの駆動方法は、光を発生する活性領域、当該活性領域を挟み込むように配置された共振器構造、および活性領域に電力を供給する駆動電極とを含み、前記駆動電極に印加される電圧と電流によって規定される内部抵抗を有する面発光型半導体レーザにおいて、第1の電流値と当該第1の電流値よりも大きい第2の電流値で規定される電流値振幅を持つ変調信号を前記駆動電極へ印加するステップを含み、前記変調信号は、前記内部抵抗が電流増に対して減少する負勾配領域内にある。
内部抵抗は、印加される電圧と電流の関係を微分することにより規定される。第1の電流値は、好ましくは内部抵抗の変化が飽和に向かう屈曲点よりも小さく、さらに面発光型半導体レーザのしきい値電流よりも幾分だけ大きくてもよい。第2の電流値は、前記内部抵抗の屈曲点よりも大きくしてもよい。好ましくは電流値振幅は、2mA以下であり、変調信号の周波数は1GHz以上であり、変調信号を出力する駆動回路と面発光型半導体レーザの駆動電極とを接続する伝送路の距離は2mm以下であることが望ましい。さらに、第1の電流値に対応する第1の内部抵抗は、伝送路の抵抗よりも高くてもよく、第1の内部抵抗は、少なくとも80Ωである。さらに、第2の電流値に対応する面発光型半導体レーザの光出力は、光リンク全体のパワーバジェットに依存するが、例えば0.4mW以上である。
本発明に係る光伝送モジュールは、面発光型半導体レーザおよび面発光型半導体レーザを駆動する駆動回路を備え、面発光型半導体レーザの駆動により光信号を送信する光送信装置と、光送信装置から送信された光信号を伝送する光伝送媒体と、光伝送媒体によって伝送された光信号を受信する光受信装置とを含むものであって、前記面発光型半導体レーザは、光を発生する活性領域、当該活性領域を挟み込むように配置された共振器構造、および活性領域に電力を供給する駆動電極とを含み、前記駆動電極に印加される電圧と電流によって規定される内部抵抗を有しており、前記駆動回路は、第1の電流値と当該第1の電流値よりも大きい第2の電流値で規定される電流値振幅を持つ変調信号を前記駆動電極へ印加し、前記変調信号は、前記内部抵抗が電流増に対して減少する負勾配領域にある。
好ましくは、駆動回路は、変調信号を少なくとも1GHzの変調信号を面発光型半導体レーザへ供給し、変調信号の電流値振幅は、2mA以下である。また、駆動回路と面発光型半導体レーザの駆動電極とを接続する伝送路の距離は2mm以下であり、前記光伝送媒体は、約30cm以下であることが好ましい。さらに、好ましくは、面発光型半導体レーザは、マルチモードのレーザ光を出力し、前記光伝送媒体は、プラスチック光ファイバである。
さらに本発明に係る携帯型電子装置は、上記の光伝送モジュールを含む。好ましくは、携帯型電子端末は、本体部と、本体部に接続部を介して接続された表示部とを含み、前記本体部は光送信装置を含み、前記表示部は光受信装置を含み、前記光伝送媒体は前記接続部を通過する。
本発明は、面発光型半導体レーザの内部抵抗の負勾配領域を利用して面発光型半導体レーザを駆動するが、負勾配領域は、しきい値近傍であるため、変調時の平均電流値もしきい値近傍の低電流となり、低電力化が可能である。また、負勾配領域を利用することで、変調時に電流が流れ易くなり、立ち上がり時のジッターが発生しにくく、高速変調が可能となる。
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施例に係る光伝送モジュールの代表的な構成例を示す図である。図1Aに示すように、光伝送モジュール10は、光信号を送信する光送信装置20、送信された光信号を伝送する光伝送媒体30と、伝送された光信号を受信する光受信装置40とを含んで構成される。
光送信装置20は、電気信号を光信号に変換するものであり、VCSEL50と、VCSEL50を駆動するための駆動回路60を含んで構成される。VCSEL50は、光信号の伝送距離に応じた波長のレーザ光を出射し、伝送距離が短い場合には、例えば850nmのレーザ光を出力する。また、レーザ光は、シングルモードまたはマルチモードの何れであっても良いが、伝送距離が比較的短い場合には、マルチモードのレーザ光を用いることが望ましい。
光伝送媒体30は、光導波路や光ファイバ等から構成される。VCSEL50からマルチモードのレーザ光が出力される場合には、マルチモードのPOF(プラスチック光ファイバ)やマルチモードの光導波路を用いることができる。POFで曲げ性を要求される場合には、マルチコアのPOFを用いることが望ましい。
光受信装置40は、伝送された光信号を電気信号に変換するものであり、光信号を受光しこれを電気信号に変換するフォトダイオード70と、変換された電気信号を増幅するアンプ80とを含んで構成される。勿論、フォトダイオード70の代わりに増幅機能を有するフォトトランジスタを用いても良い。
図1Bに示す光伝送モジュール10Aは、並行して光信号を伝送する光電複合配線の例を示している。この場合、光送受信装置90Aは、光信号を送信するためにVCSEL50と駆動回路60を含み、さらに光信号を受信するためにフォトダイオード70およびアンプ80を含む。光送受信装置90Bも同様に、VCSEL50および駆動回路60と、フォトダイオード70およびアンプ80とのセットを含んでいる。この場合、光伝送媒体30は、双方向の光通信用の伝送路を提供する。
図1Cは、光送信装置20の他の構成例を示す図である。光送信装置20Aは、VCSEL50から出力されるレーザ光を集光するレンズやミラー等の光学系22を含むものであってもよい。上記した図1Aないし図1Cに示す光送信装置、光伝送媒体および光受信装置の構成は、例示であり、本発明は、これらに限定されることを意図するものではない。
また、上記した光伝送モジュールにおいて、VCSEL50は、単一の光源をもつシングルスポットタイプであってもよいし、複数の光源をもつマルチスポットタイプであってもよい。シングルスポットタイプのVCSELを用いた場合には、単一光源から発せられる光信号がシリアル伝送される。これに対して、マルチスポットタイプのVCSELアレイを用いた場合には、複数光源から発せられる光信号がパラレル伝送される。VCSELアレイの各々が異なる波長で駆動される場合には、光伝送媒体30は光信号を多重伝送することができる。
図2は、光送信装置の構成を示す図である。駆動回路60は、データ信号を受信するインターフェース(I/F)部100と、I/F部100で受信されたディジタルデータ信号に応じてVCSEL50に駆動電流を供給する駆動部110と、制御信号等に基づき駆動部110を制御する制御部120とを有する。制御部120は、周囲温度によってVCSELの駆動条件を変化させる場合には、温度を検出するセンサや、各温度の駆動条件を定めたメモリとを備えることができる。これらは、光モジュール内に設けることが望ましいが、光モジュール外に設けて制御信号として受け取ることも可能である。さらに制御部120は、VCSELの光出力が一定となるような制御を行うことも可能である。この場合、制御部120は、VCSEL50の光出力を検出するセンサからの出力信号をモニタする。
駆動部110は、通常の電流駆動の回路のほか、電圧駆動の回路、およびこれらの複合回路であってもよい。電流駆動の場合、駆動部110は、受信したデータ信号のローレベル、またはハイレベルに応じた変調信号を伝送ライン130を介してVCSEL50へ印加する。VCSELを駆動するための変調信号の周波数は、伝送速度や信号処理能力に応じて適宜決定されるが、本実施例の光伝送モジュールは、1GHz以上の高周波数でVCSEL50を駆動することを可能とする。
図3は、VCSELと駆動回路の実装例を示す図である。図3Aに示すように、VCSEL50を構成する半導体素子50Aと駆動回路60を構成する半導体素子60Aが回路基板140上に実装され、半導体素子60Aの出力用の電極がボンディングワイヤ130Aを介して半導体素子50Aの駆動電極に接続される。
図3Bは、他の実装例である。半導体素子50Aおよび半導体素子60Aをそれぞれ樹脂封止またはセラミック封止した半導体パッケージ50B、60Bを回路基板130に実装する。例えば、半導体パッケージ50B、60Bは、その表面に形成されたバンプ電極を回路基板140の配線パターン130Bにフリップチップ実装またはフェイスダウン実装される。ここで、ボンディングワイヤ130A、または配線パターン130Bは、駆動回路60からVCSEL50への伝送ライン130を構成する。
次に、本実施例に用いられるVCSELの構成例を図4に示す。同図は、VCSEL50の構成を示す断面図である。同図に示すように、n側の下部電極層210が形成されたGaAs基板200上に、n型の下部半導体多層反射鏡212、活性領域214、p型のAlAs層216、p型の上部半導体多層反射鏡218の順で半導体薄膜が堆積されている。上部多層反射鏡218の最上層には、p型のGaAsからなるコンタクト層220が形成されている。上部多層反射鏡218から下部多層反射鏡212の一部に至るまで、円柱状のメサ202が形成されている。メサ202は高温の水蒸気下で熱処理され、メサ202内のAlAs層216の周囲には酸化領域228が形成され、これにより、AlAs層216内に光閉じ込め領域、兼電流狭窄層が形成される。
メサ102の底部、側面、および頂部の一部は、層間絶縁膜222によって覆われている。メサ202の頂部において、層間絶縁膜222にはコンタクトホールが形成され、この上からp側の電極層224がコンタクト層220にオーミック接続されている。p側の電極層224の中央には、レーザ光を出射するための円形状の開口226が形成されている。
n型の下部半導体多層反射鏡212は、例えば、Al0.9Ga0.1AsとAl0.3Ga0.7Asとを交互に複数の周期で積層し、各層の厚さは、λ/4n(但し、λは発振波長、nは媒質の屈折率)である。活性領域214は、例えば、アンドープ下部Al0.5Ga0.5Asスペーサ層とアンドープ量子井戸活性層とアンドープ上部Al0.5Ga0.5Asスペーサ層とで構成される。p型の上部半導体多層反射鏡218は、例えば、Al0.9Ga0.1AsとAl0.3Ga0.7Asとを交互に複数の周期で積層し、各層の厚さは、媒質内波長の1/4とである。上部半導体多層反射鏡218の最下層には、低抵抗のp型AlAs層216が含まれ、さらに、上部半導体多層反射鏡218の最上部に、例えば、キャリア濃度が1×1019cm-3となるp型のGaAsコンタクト層220が積層される。p側の電極層224は、例えばAuから構成され、n側の電極層210は、例えばAu/Geから構成される。層間絶縁膜222は、例えばSiNxから構成される。図4に示すVCSEL50は、約850nmの波長のマルチモードのレーザ光を出力することができる。
図5Aは、VCSELの駆動電流(横軸:mA)と駆動電圧(縦軸:V)の関係を示したグラフであり、図5Bは、VCSELの駆動電流(横軸:mA)と内部抵抗(縦軸:Ω)の関係を示すグラフである。VCSELのp側電極層224およびn側電極層210に順方向の駆動電圧および駆動電流を印加したとき、図5Aに示すように、駆動電流が一定の大きさIcまで増加するとき、駆動電圧はほぼ比例するように一定の大きさVcまで増加するが、駆動電流が一定の大きさIcを超えると駆動電圧の変化は徐々に小さくなり、飽和へ向かう。
図5Bは、駆動電流と駆動電圧の関係を微分したものである。本明細書では、図5Bに示す抵抗をVCSELの内部抵抗として定義する。図からも明らかなように、駆動電流が小さいとき、VCSELの内部抵抗は非常に高く、駆動電流が増加するにつれて内部抵抗は減少する。そして、屈曲点Kを越えると、内部抵抗の減少は徐々に小さくなり、飽和へ向かう。ここで屈曲点Kは、内部抵抗が急激な減少から飽和に向かう間の点であり、図5Bに示すように、抵抗値が飽和する領域付近で2本の漸近線を引いたときに、それらの交点を頂角とする2等分線と内部抵抗曲線が交わる点として定義することとする。
次に、VCSELの駆動方法について説明する。本実施例の光伝送モジュールは、典型的には、80Ω〜250Ω程度の内部抵抗を備えるVCSELを用いながら、変調信号の電流の範囲を、VCSELの内部抵抗が電流増に対して減少する負勾配領域において概ね負勾配領域内の微小な電流振幅で、VCSELを変調駆動することを特徴とする。図6は、負勾配領域を説明するグラフである。負勾配領域は、VCSELの内部抵抗の電流依存性が負の勾配を持つ電流領域であり、このときの負勾配領域の範囲を電流IR1で表している。より好ましくは、電流依存性が顕著に表れる、初期の負勾配を外装した付近の電流Iの2倍以下の電流IR2までの範囲である。
図7は、VCSELを駆動するときの変調信号の波形である。変調信号は、ローレベルの電流値Iとハイレベルの電流値Iで規定される電流値振幅Iを有する。本実施例では、ローレベルの電流値Iとハイレベルの電流値Iは、図6に示した負勾配領域内に設定される。この設定は、駆動回路60の制御部120によって行われ、駆動回路60は、図7に示す変調信号を伝送ライン130を介してVCSEL50に供給する。
図8Aは、本実施例のVCSELの駆動方法を示し、図8Bは、従来のVCSELの駆動方法を説明する図である。これらの図には、駆動電流と内部抵抗の関係に併せて、駆動電流と光出力との関係が示されている。先ず、本実施例のVCSELと従来のVCSELの特性を比較すると、本実施例のVCSELは、しきい値電流ITHが従来のものよりも小さく設定されている。さらに、本実施例のVCSELは、駆動電流に対する光出力の傾き(スロープ効率)を、従来のVCSELよりも高くしている。しきい値およびスロープ効率は、VCSELの電流狭窄層216のアパーチャー径等の構造を適宜変更することで所望のものを選択することが可能である。スロープ効率は、例えば、0.5W/A以上であることが望ましい。
上記したように本実施例の変調信号は、図8Aに示すように、内部抵抗の負勾配領域内に設定されている。好ましくは、ローレベルの電流値Iとハイレベルの電流値Iの電流値振幅Iの範囲は、2mA以下であり、ローレベルの電流値Iは、内部抵抗の屈曲点Kの電流値Iよりも小さい。さらに、ローレベルの電流値Iは、しきい値電流ITHよりも僅かに大きくしてもよい。これは、VCSELを高速駆動するときの応答性を高めるためであり、このときの光出力は非常に小さい。さらに、ハイレベルの電流値Iは、屈曲点Kの電流値Iよりも大きく、好ましくは、図6に示した電流値IR2よりも小さい。ローレベルの電流値Iの内部抵抗は、おおよそ80オーム以上である。
他方、従来のVCSELの駆動方法は、図8Bに示すように、変調信号は、内部抵抗の負勾配領域内に設定されていない。すなわち、変調信号のローレベルの電流値Iとハイレベルの電流値Iは、内部抵抗の双曲線のほぼ飽和した領域、言い換えれば、ローレベルの電流値Iとハイレベルの電流値Iにおいて内部抵抗の差が実質的に生じないようにしている。また、VCSELのスロープ効率を小さくし、ローレベルの電流値Iとハイレベルの電流値Iの電流値振幅Iは、本実施例よりも大きく、約5mAである。
本実施例の駆動方法によれば、従来の高速駆動で必要とされた50Ω以下の内部抵抗ではなく、50Ωを越え、典型的には80Ω以上の内部抵抗のVCSELを用いることで、低しきい値、高スロープ効率のVCSELを実現でき、低電流でのVCSELの駆動が可能となる。このようなVCSELを、従来の内部抵抗の飽和領域における大振幅の電流で駆動しようとすると高速駆動が困難であったが、本実施例では、内部抵抗の負勾配領域における小振幅電流駆動であるため、高速駆動が可能となる。
ローレベルの電流値Iからハイレベルの電流値Iに信号変調されるときは、電流が増加すると共に内部抵抗値が減少するため、勾配がゼロの飽和領域と比べて電流が流れやすく、立ち上がり時のジッターが発生しにくく高速変調可能である。他方、ハイレベルの電流値Iからローレベルの電流値Iに信号変調される時は、発光しているハイレベル付近の内部抵抗が相対的に低いので、比較的高速で光変調が可能である。さらに、電流値の変調範囲は、負勾配領域の微小領域に限定されるので、全体的に内部抵抗が高くとも高速変調が可能である。また、ハイレベルの電流値Iにおける内部抵抗と、ローレベルの電流値Iにおける内部抵抗との差は、20%以上開いていることが望ましい。
図9は、本実施例のVCSELと従来のVCSELの特性をより詳細に説明する図であり、横軸に駆動電流、縦軸に光出力を表している。上記したように、本実施例のVCSELの変調信号を負勾配領域に設定した場合、負勾配領域は、しきい値電流ITHを含む範囲に存在するため、変調時の平均電流値もしきい値電流ITH付近の低電流となり、低電力化が可能である。
さらに本実施例のVCSELのしきい値電流ITHは、従来のしきい値電流ITH0より小さいため、この点からも低電力駆動が可能である。また、単純に電流値振幅範囲を下げたのでは発光光量も低下してしまうが、スロープ効率を大きくすることで、これを補うことが可能である。図9では、変調時の光出力をPとPで示し、従来のVCSELと同一の光出力となるように本実施例のVCSELのスロープ効率を大きくしている。これにより、低電力駆動を行っても十分な光信号の光量を得ることができる。
さらにVCSELの内部抵抗が80Ω以上になると、インピーダンスのミスマッチングや浮遊容量の影響が懸念されるが、駆動回路100からVCSEL50の発光点までの距離(伝送ライン130)を、2mm以下とすることでこのような悪影響を最小化することができる。
図10は、本実施例の光伝送システムを適用した携帯電話機の概略構成を示す図である。携帯電話機300は、表面に操作ボタン等が配列された本体部310と、本体部310にヒンジ320を介して回転可能に取り付けられた表示部320とを含み、ここには、図1Bに示すような光伝送モジュールが実装されている。本体部310の内部には、光送受信装置330Aが設けられ、表示部310の内部には、光送受信装置330Bが設けられる。光送受信装置330A、330bは、可撓性の光ファイバ340により接続されている。光送受信装置330Aは、光送受信装置330Bに対して、表示部310に表示すべき画像データ等を送信する。他方、光送受信装置330Bは、光送受信装置330Aに対して、撮像カメラによって撮像された画像データ等を送信する。
好ましくは、VCSELは、850nmのマルチモードのレーザ光を出射し、駆動回路60からVCSELまでの伝送ライン130は2mm以下である。光ファイバ340は、POFを用い、その長さは30cm以下である。また、光送受信装置330Aおよび330Bの駆動回路60は、VCSELを1GHz以上の高周波数で駆動する。
携帯電話機等は、無線信号の送受を行うためのマイクロストリップアンテナを実装しており、アンテナによって生成される電磁ノイズは、電気信号に悪影響を及ぼすおそれがある。本実施例のように、VCSELを光源とする光信号を伝送することで、アンテナからの電磁ノイズ等の影響を最小減にすることが可能である。
本発明の光伝送モジュールは、上記した携帯電話機のほかにも、携帯電子装置(PDA)、ラップトップまたはノート型パーソナルコンピュータ、ゲーム機など電子機器において特に有効に利用することができる。さらに、本発明の光伝送モジュールは、電子機器内の信号伝送のほか、電子機器と他の外部の電子機器との間の信号伝送においても用いることができる。
以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明に係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
本発明の実施例に係る光伝送モジュールの代表的な構成例を示す図である。 光送信装置の構成を示す図である。 VCSELと駆動回路の実装例を示す図である。 VCSELの概略構成を示す断面図である。 図5Aは、駆動電流と駆動電圧の関係を示すグラフ、図5Bは、駆動電流と内部抵抗の関係を示すグラフである。 内部抵抗の負勾配領域を説明するグラフである。 変調信号の波形を示す図である。 図8Aは、本実施例のVCSELの駆動方法を示し、図8Bは、従来のVCSELの駆動方法示す図である。 本実施例と従来のVCSELの電流と光出力の関係を比較する図である。 本実施例の光伝送システムを適用した携帯電話機の概略構成を示す図である。
符号の説明
10、10A:光伝送モジュール
20、20A:光送信装置
22:光学系
30;光伝送媒体
40:光受信装置
50:VCSEL
60:駆動回路
70:フォトダイオード
80:アンプ
90A、90B:光送受信装置
100:I/F部
110:駆動部
120:制御部
130:伝送ライン
130A:ボンディングワイヤ
130B:配線パターン
140:回路基板
300:携帯電話機
310:本体部
320:表示部
330A、330B:光送受信装置
340:光ファイバ

Claims (18)

  1. 光を発生する活性領域、当該活性領域を挟み込むように配置された共振器構造、および活性領域に電力を供給する駆動電極とを含み、前記駆動電極に印加される電圧と電流によって規定される内部抵抗を有する面発光型半導体レーザの駆動方法であって、
    第1の電流値と当該第1の電流値よりも大きい第2の電流値で規定される電流値振幅を持つ変調信号を前記駆動電極へ印加するステップを含み、
    前記変調信号は、前記内部抵抗が電流増に対して減少する負勾配領域内にある、面発光型半導体レーザの駆動方法。
  2. 前記内部抵抗は、印加される電圧と電流の関係を微分することにより規定される、請求項1に記載の駆動方法。
  3. 第1の電流値は、前記内部抵抗の減少が飽和に向かう屈曲点よりも小さい、請求項1に記載の駆動方法。
  4. 第1の電流値は、面発光型半導体レーザのしきい値電流よりも大きい、請求項3に記載の駆動方法。
  5. 第2の電流値は、前記内部抵抗の屈曲点よりも大きい、請求項1に記載の駆動方法。
  6. 前記電流値振幅は、2mA以下である、請求項1に記載の駆動方法。
  7. 前記変調信号の周波数は1GHz以上である、請求項6に記載の駆動方法。
  8. 前記変調信号を出力する駆動回路と面発光型半導体レーザの駆動電極とを接続する伝送路の距離が2mm以下である、請求項6または7に記載の駆動方法。
  9. 第1の電流値に対応する第1の内部抵抗は、前記伝送路の抵抗よりも高い、請求項8に記載の駆動方法。
  10. 前記内部抵抗は、少なくとも80Ωである、請求項1に記載の駆動方法。
  11. 第1の電流値における内部抵抗値と、第2の電流値における内部抵抗値の差が20%以上である、請求項1記載の駆動方法。
  12. 面発光型半導体レーザおよび面発光型半導体レーザを駆動する駆動回路を備え、面発光型半導体レーザの駆動により光信号を送信する光送信装置と、光送信装置から送信された光信号を伝送する光伝送媒体と、光伝送媒体によって伝送された光信号を受信する光受信装置とを含む光伝送モジュールであって、
    前記面発光型半導体レーザは、光を発生する活性領域、当該活性領域を挟み込むように配置された共振器構造、および活性領域に電力を供給する駆動電極とを含み、前記駆動電極に印加される電圧と電流によって規定される内部抵抗を有しており、
    前記駆動回路は、第1の電流値と当該第1の電流値よりも大きい第2の電流値で規定される電流値振幅を持つ変調信号を前記駆動電極へ印加し、前記変調信号は、前記内部抵抗が電流増に対して減少する負勾配領域にある、
    光伝送モジュール。
  13. 前記駆動回路は、変調信号を少なくとも1GHzの変調信号を面発光型半導体レーザへ供給し、変調信号の電流値振幅は、2mA以下である、請求項12に記載の光伝送モジュール。
  14. 前記駆動回路と面発光型半導体レーザの駆動電極とを接続する伝送路の距離は2mm以下であり、前記光伝送媒体は、約30cm以下である、請求項13に記載の光伝送モジュール。
  15. 面発光型半導体レーザは、マルチモードのレーザ光を出力し、前記光伝送媒体がマルチモードの光伝送媒体である、請求項12ないし14いずれか1つに記載の光伝送モジュール。
  16. 前記内部抵抗は、少なくとも80Ωである、請求項12に記載の光伝送モジュール。
  17. 請求項12ないし16いずれか1つに記載の光伝送モジュールを含む携帯型電子装置。
  18. 携帯型電子端末は、本体部と、本体部に接続部を介して接続された表示部とを含み、前記本体部は光送信装置を含み、前記表示部は光受信装置を含み、前記光伝送媒体は前記接続部を通過する、請求項17に記載の携帯型電子装置。
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