JP2009012366A - Laminate and printed wiring board - Google Patents
Laminate and printed wiring board Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009012366A JP2009012366A JP2007178280A JP2007178280A JP2009012366A JP 2009012366 A JP2009012366 A JP 2009012366A JP 2007178280 A JP2007178280 A JP 2007178280A JP 2007178280 A JP2007178280 A JP 2007178280A JP 2009012366 A JP2009012366 A JP 2009012366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- laminate
- group
- component
- plating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 231
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 231
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 74
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 54
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims abstract description 46
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims abstract description 35
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 100
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 80
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 53
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 51
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 claims description 42
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 41
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 25
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 22
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 20
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims description 18
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 claims description 17
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 claims description 17
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 13
- 125000000951 phenoxy group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(O*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 13
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 13
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 11
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 11
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 9
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 7
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims description 7
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 claims description 7
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 135
- 238000000034 method Methods 0.000 description 98
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 91
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 47
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 description 32
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 27
- -1 siloxane structure Chemical group 0.000 description 26
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 24
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 23
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 23
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 21
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 18
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 18
- 230000008569 process Effects 0.000 description 18
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 17
- 239000000805 composite resin Substances 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 14
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 14
- ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N trimellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 14
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 12
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 11
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 11
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 11
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 10
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 10
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical compound CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 9
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 150000003628 tricarboxylic acids Chemical class 0.000 description 9
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical group C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000012024 dehydrating agents Substances 0.000 description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 8
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 8
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 8
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 8
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 7
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 7
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- WNXJIVFYUVYPPR-UHFFFAOYSA-N 1,3-dioxolane Chemical compound C1COCO1 WNXJIVFYUVYPPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910002012 Aerosil® Inorganic materials 0.000 description 5
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 5
- USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N diphenyl ether Chemical compound C=1C=CC=CC=1OC1=CC=CC=C1 USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 5
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 5
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 5
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 description 5
- 229920006259 thermoplastic polyimide Polymers 0.000 description 5
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 4
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N isoquinoline Chemical compound C1=NC=CC2=CC=CC=C21 AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 4
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 4
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 4
- HVLLSGMXQDNUAL-UHFFFAOYSA-N triphenyl phosphite Chemical compound C=1C=CC=CC=1OP(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 HVLLSGMXQDNUAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NGNBDVOYPDDBFK-UHFFFAOYSA-N 2-[2,4-di(pentan-2-yl)phenoxy]acetyl chloride Chemical compound CCCC(C)C1=CC=C(OCC(Cl)=O)C(C(C)CCC)=C1 NGNBDVOYPDDBFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LJGHYPLBDBRCRZ-UHFFFAOYSA-N 3-(3-aminophenyl)sulfonylaniline Chemical compound NC1=CC=CC(S(=O)(=O)C=2C=C(N)C=CC=2)=C1 LJGHYPLBDBRCRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MQAHXEQUBNDFGI-UHFFFAOYSA-N 5-[4-[2-[4-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)oxy]phenyl]propan-2-yl]phenoxy]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(OC2=CC=C(C=C2)C(C)(C=2C=CC(OC=3C=C4C(=O)OC(=O)C4=CC=3)=CC=2)C)=C1 MQAHXEQUBNDFGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 3
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 3
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000003462 sulfoxides Chemical class 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- YKNMIGJJXKBHJE-UHFFFAOYSA-N (3-aminophenyl)-(4-aminophenyl)methanone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC(N)=C1 YKNMIGJJXKBHJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBCKQZAAMUWICA-UHFFFAOYSA-N 1,4-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=C(N)C=C1 CBCKQZAAMUWICA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-dichlorophosphoryloxybenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1OP(Cl)(Cl)=O VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-difluorophenoxy)pyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=CN=C1OC1=CC=C(F)C=C1F LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 2-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=CC=N1 BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LXJLFVRAWOOQDR-UHFFFAOYSA-N 3-(3-aminophenoxy)aniline Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=C(N)C=CC=2)=C1 LXJLFVRAWOOQDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZBMISJGHVWNWTE-UHFFFAOYSA-N 3-(4-aminophenoxy)aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=CC(N)=C1 ZBMISJGHVWNWTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZMPZWXKBGSQATE-UHFFFAOYSA-N 3-(4-aminophenyl)sulfonylaniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=CC(N)=C1 ZMPZWXKBGSQATE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CKOFBUUFHALZGK-UHFFFAOYSA-N 3-[(3-aminophenyl)methyl]aniline Chemical compound NC1=CC=CC(CC=2C=C(N)C=CC=2)=C1 CKOFBUUFHALZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DKKYOQYISDAQER-UHFFFAOYSA-N 3-[3-(3-aminophenoxy)phenoxy]aniline Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=C(OC=3C=C(N)C=CC=3)C=CC=2)=C1 DKKYOQYISDAQER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZZMBONADFMYLJG-UHFFFAOYSA-N 3-silyloxysilyloxysilylpropan-1-amine Chemical compound NCCC[SiH2]O[SiH2]O[SiH3] ZZMBONADFMYLJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YBRVSVVVWCFQMG-UHFFFAOYSA-N 4,4'-diaminodiphenylmethane Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1CC1=CC=C(N)C=C1 YBRVSVVVWCFQMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical class O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FKNQCJSGGFJEIZ-UHFFFAOYSA-N 4-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=NC=C1 FKNQCJSGGFJEIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQGYZOYWNCKGEK-UHFFFAOYSA-N 5-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)oxy]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(OC=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 QQGYZOYWNCKGEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N Dimethylamine Chemical compound CNC ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 125000003236 benzoyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C(*)=O 0.000 description 2
- ZLSMCQSGRWNEGX-UHFFFAOYSA-N bis(4-aminophenyl)methanone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N)C=C1 ZLSMCQSGRWNEGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 2
- 229960003280 cupric chloride Drugs 0.000 description 2
- 238000007766 curtain coating Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KZTYYGOKRVBIMI-UHFFFAOYSA-N diphenyl sulfone Chemical compound C=1C=CC=CC=1S(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 KZTYYGOKRVBIMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 108010025899 gelatin film Proteins 0.000 description 2
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diamine Chemical compound NCCCCCCN NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N m-methyl-PhOH Natural products CC1=CC=CC(O)=C1 RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-methyl phenol Natural products CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 2
- IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1 IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 239000003495 polar organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 2
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 2
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L sodium persulfate Substances [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 2
- 125000006158 tetracarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 2
- ZUHZGEOKBKGPSW-UHFFFAOYSA-N tetraglyme Chemical compound COCCOCCOCCOCCOC ZUHZGEOKBKGPSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N trimellitic anhydride Chemical compound OC(=O)C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- 150000003739 xylenols Chemical class 0.000 description 2
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000005206 1,2-dihydroxybenzenes Chemical class 0.000 description 1
- GEYOCULIXLDCMW-UHFFFAOYSA-N 1,2-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC=C1N GEYOCULIXLDCMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 1,3-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC(N)=C1 WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWGJDPKCLMLPJW-UHFFFAOYSA-N 1,8-diaminooctane Chemical compound NCCCCCCCCN PWGJDPKCLMLPJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFPGARUNNKGOBB-UHFFFAOYSA-N 1-Ethyl-2-pyrrolidinone Chemical compound CCN1CCCC1=O ZFPGARUNNKGOBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NOGFHTGYPKWWRX-UHFFFAOYSA-N 2,2,6,6-tetramethyloxan-4-one Chemical compound CC1(C)CC(=O)CC(C)(C)O1 NOGFHTGYPKWWRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GKKUVAJSHWPSBO-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(methoxycarbonyl)benzoic acid Chemical compound COC(=O)C1=CC=C(C(=O)OC)C(C(O)=O)=C1 GKKUVAJSHWPSBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZKVXZJTMPUDTE-UHFFFAOYSA-N 2-[[(2-aminophenyl)-diphenylsilyl]oxy-diphenylsilyl]aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1[Si](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)O[Si](C=1C(=CC=CC=1)N)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 IZKVXZJTMPUDTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISPYQTSUDJAMAB-UHFFFAOYSA-N 2-chlorophenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1Cl ISPYQTSUDJAMAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MTVRACIHAHWZEW-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxycarbonylterephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(=O)OC=2C=CC=CC=2)=C1 MTVRACIHAHWZEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- QHWXZLXQXAZQTO-UHFFFAOYSA-N 3-(3-aminophenyl)sulfinylaniline Chemical compound NC1=CC=CC(S(=O)C=2C=C(N)C=CC=2)=C1 QHWXZLXQXAZQTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZKGYNWLJTGAEGS-UHFFFAOYSA-N 3-(4-aminophenyl)sulfanylaniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1SC1=CC=CC(N)=C1 ZKGYNWLJTGAEGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDGMNVDCJJQDKD-UHFFFAOYSA-N 3-(4-aminophenyl)sulfinylaniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)C1=CC=CC(N)=C1 HDGMNVDCJJQDKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZDBWYUOUYNQZBM-UHFFFAOYSA-N 3-(aminomethyl)aniline Chemical compound NCC1=CC=CC(N)=C1 ZDBWYUOUYNQZBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGWQCROGAHMWSU-UHFFFAOYSA-N 3-[(4-aminophenyl)methyl]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1CC1=CC=CC(N)=C1 FGWQCROGAHMWSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GBUNNYTXPDCASY-UHFFFAOYSA-N 3-[3-[2-[3-(3-aminophenoxy)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=C(C=CC=2)C(C=2C=C(OC=3C=C(N)C=CC=3)C=CC=2)(C(F)(F)F)C(F)(F)F)=C1 GBUNNYTXPDCASY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBPVOEHZEWAJKQ-UHFFFAOYSA-N 3-[4-(3-aminophenoxy)phenoxy]aniline Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=CC(OC=3C=C(N)C=CC=3)=CC=2)=C1 LBPVOEHZEWAJKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOUQMRHSPOKPBD-UHFFFAOYSA-N 3-[4-[2-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]butan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound C=1C=C(OC=2C=C(N)C=CC=2)C=CC=1C(C)(CC)C(C=C1)=CC=C1OC1=CC=CC(N)=C1 KOUQMRHSPOKPBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQZOFDAHZVLQJO-UHFFFAOYSA-N 3-[4-[4-(3-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=CC(OC=3C=CC(OC=4C=C(N)C=CC=4)=CC=3)=CC=2)=C1 NQZOFDAHZVLQJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WCXGOVYROJJXHA-UHFFFAOYSA-N 3-[4-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfonylphenoxy]aniline Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=CC(=CC=2)S(=O)(=O)C=2C=CC(OC=3C=C(N)C=CC=3)=CC=2)=C1 WCXGOVYROJJXHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPXCORHXFPYJEH-UHFFFAOYSA-N 3-[[3-aminopropyl(dimethyl)silyl]oxy-dimethylsilyl]propan-1-amine Chemical compound NCCC[Si](C)(C)O[Si](C)(C)CCCN GPXCORHXFPYJEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWRBLCDTKAWRHT-UHFFFAOYSA-N 3-[[[3-aminopropyl(dimethyl)silyl]oxy-dimethylsilyl]oxy-dimethylsilyl]propan-1-amine Chemical compound NCCC[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)CCCN ZWRBLCDTKAWRHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOVNOYLOWBNHKQ-UHFFFAOYSA-N 3-[[[3-aminopropyl(dipropyl)silyl]oxy-dipropylsilyl]oxy-dipropylsilyl]propan-1-amine Chemical compound NCCC[Si](CCC)(CCC)O[Si](CCC)(CCC)O[Si](CCC)(CCC)CCCN DOVNOYLOWBNHKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DTHBNESGKSGIFM-UHFFFAOYSA-N 3-amino-6-(4-aminophenyl)benzene-1,2-diol Chemical group C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C(O)=C1O DTHBNESGKSGIFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIOAPDWNQGXED-UHFFFAOYSA-N 3-amino-n-(3-aminophenyl)benzamide Chemical compound NC1=CC=CC(NC(=O)C=2C=C(N)C=CC=2)=C1 OMIOAPDWNQGXED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UDKYPBUWOIPGDY-UHFFFAOYSA-N 3-amino-n-(4-aminophenyl)benzamide Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1NC(=O)C1=CC=CC(N)=C1 UDKYPBUWOIPGDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBDYQJGGWYVVHQ-UHFFFAOYSA-N 3-methoxycarbonylpyridine-2,6-dicarboxylic acid Chemical compound COC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)N=C1C(O)=O WBDYQJGGWYVVHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITQTTZVARXURQS-UHFFFAOYSA-N 3-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=CN=C1 ITQTTZVARXURQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PRHXPVYKDFJJEX-UHFFFAOYSA-N 3-silyloxysilylpropan-1-amine Chemical compound NCCC[SiH2]O[SiH3] PRHXPVYKDFJJEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ICNFHJVPAJKPHW-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Thiodianiline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1SC1=CC=C(N)C=C1 ICNFHJVPAJKPHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYYKXFEKMGYLZ-UHFFFAOYSA-N 4-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C=1C=C2C(=O)OC(=O)C2=CC=1C1=CC=CC2=C1C(=O)OC2=O FYYYKXFEKMGYLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUBKGAEYFXURZ-UHFFFAOYSA-N 4-(2-carboxy-2,2-diphenylethoxy)phthalic acid Chemical compound C(=O)(O)C=1C=C(OCC(C(=O)O)(C2=CC=CC=C2)C2=CC=CC=C2)C=CC=1C(=O)O VHUBKGAEYFXURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFWYZZPDZZGSLJ-UHFFFAOYSA-N 4-(aminomethyl)aniline Chemical compound NCC1=CC=C(N)C=C1 BFWYZZPDZZGSLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OPVHOFITDJSMOD-UHFFFAOYSA-N 4-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)oxy]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C=1C=C2C(=O)OC(=O)C2=CC=1OC1=CC=CC2=C1C(=O)OC2=O OPVHOFITDJSMOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IDLYVPNAAUXRPW-UHFFFAOYSA-N 4-[(4-aminobutyl-methoxy-methylsilyl)oxy-methoxy-methylsilyl]butan-1-amine Chemical compound NCCCC[Si](C)(OC)O[Si](C)(CCCCN)OC IDLYVPNAAUXRPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJYDKROUZBIMLE-UHFFFAOYSA-N 4-[2-[2-[2-(4-aminophenoxy)phenyl]propan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound C=1C=CC=C(OC=2C=CC(N)=CC=2)C=1C(C)(C)C1=CC=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 AJYDKROUZBIMLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWFFEQXPFFDJER-UHFFFAOYSA-N 4-[3-(4-aminophenoxy)propoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OCCCOC1=CC=C(N)C=C1 KWFFEQXPFFDJER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAFZPVANKKJENB-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-aminophenoxy)butoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OCCCCOC1=CC=C(N)C=C1 LAFZPVANKKJENB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZTURPSSWBAQMO-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ethyl]phenoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC(C=C1)=CC=C1CCC(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 QZTURPSSWBAQMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMKWGXGSGPYISJ-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound C=1C=C(OC=2C=CC(N)=CC=2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 KMKWGXGSGPYISJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DSXVBZHFXLKHJU-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[2-[4-[2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propan-2-yl]phenyl]propan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound C=1C=C(C(C)(C)C=2C=CC(OC=3C=CC(N)=CC=3)=CC=2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 DSXVBZHFXLKHJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDFYRFKAYFZVNH-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC(C=C1)=CC=C1OC(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 LDFYRFKAYFZVNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYDATEKARGDBKU-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]phenoxy]aniline Chemical group C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(C=2C=CC(OC=3C=CC(N)=CC=3)=CC=2)C=C1 HYDATEKARGDBKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXTPNMJRVQKNRN-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfanylphenoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC(C=C1)=CC=C1SC(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 SXTPNMJRVQKNRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UTDAGHZGKXPRQI-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfonylphenoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(S(=O)(=O)C=2C=CC(OC=3C=CC(N)=CC=3)=CC=2)C=C1 UTDAGHZGKXPRQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNABHHDNHRETRU-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[4-[4-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]phenyl]sulfonylphenoxy]phenoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(S(=O)(=O)C=2C=CC(OC=3C=CC(OC=4C=CC(N)=CC=4)=CC=3)=CC=2)C=C1 CNABHHDNHRETRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLHXQWDUYXSTPA-UHFFFAOYSA-N 4-[5-(4-aminophenoxy)pentoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OCCCCCOC1=CC=C(N)C=C1 SLHXQWDUYXSTPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJXULZRBAPPHNY-UHFFFAOYSA-N 4-[[(4-aminophenyl)-dimethylsilyl]oxy-dimethylsilyl]aniline Chemical compound C=1C=C(N)C=CC=1[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C1=CC=C(N)C=C1 OJXULZRBAPPHNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHQAJTTYAPWHHM-UHFFFAOYSA-N 4-[[[(4-aminophenyl)-dimethylsilyl]oxy-dimethylsilyl]oxy-dimethylsilyl]aniline Chemical compound C=1C=C(N)C=CC=1[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C1=CC=C(N)C=C1 MHQAJTTYAPWHHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPAQFJJCWGSXGJ-UHFFFAOYSA-N 4-amino-n-(4-aminophenyl)benzamide Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1NC(=O)C1=CC=C(N)C=C1 XPAQFJJCWGSXGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004203 4-hydroxyphenyl group Chemical group [H]OC1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- HRIHPDGZXAFURW-UHFFFAOYSA-N 4-silyloxysilylbutan-1-amine Chemical compound NCCCC[SiH2]O[SiH3] HRIHPDGZXAFURW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-carbonyl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)=O)=C1 VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZHBXLZQQVCDGPA-UHFFFAOYSA-N 5-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)sulfonyl]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(S(=O)(=O)C=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 ZHBXLZQQVCDGPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRZONFZDVPNEHO-UHFFFAOYSA-N 5-carbamoylnaphthalene-1,6-dicarboxylic acid Chemical compound C1=CC=C2C(C(=O)N)=C(C(O)=O)C=CC2=C1C(O)=O NRZONFZDVPNEHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002019 Aerosil® 380 Inorganic materials 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- 244000025254 Cannabis sativa Species 0.000 description 1
- 235000012766 Cannabis sativa ssp. sativa var. sativa Nutrition 0.000 description 1
- 235000012765 Cannabis sativa ssp. sativa var. spontanea Nutrition 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N Dapsone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(N)C=C1 MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000875 Dissolving pulp Polymers 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylaniline Chemical compound CN(C)C1=CC=CC=C1 JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N N,N‐diethylformamide Chemical compound CCN(CC)C=O SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWXPDGCFMMFNRW-UHFFFAOYSA-N N-methylcaprolactam Chemical compound CN1CCCCCC1=O ZWXPDGCFMMFNRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPRFUYFQSIZDLP-UHFFFAOYSA-N NC(CC[SiH2]O[SiH2]O[SiH3])CC Chemical compound NC(CC[SiH2]O[SiH2]O[SiH3])CC YPRFUYFQSIZDLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQPWEBFTIPEDRH-UHFFFAOYSA-N NCCCCC[SiH2]O[SiH2]O[SiH3] Chemical compound NCCCCC[SiH2]O[SiH2]O[SiH3] DQPWEBFTIPEDRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001131 Pulp (paper) Polymers 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 1
- AWMVMTVKBNGEAK-UHFFFAOYSA-N Styrene oxide Chemical compound C1OC1C1=CC=CC=C1 AWMVMTVKBNGEAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYYLAHMAYZBJOI-UHFFFAOYSA-N [3-[4-(3-aminophenoxy)benzoyl]phenyl]-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methanone Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=CC(=CC=2)C(=O)C=2C=C(C=CC=2)C(=O)C=2C=CC(OC=3C=C(N)C=CC=3)=CC=2)=C1 WYYLAHMAYZBJOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAGJCSPSIXPCAK-UHFFFAOYSA-N [4-[4-(3-aminophenoxy)benzoyl]phenyl]-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methanone Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=CC(=CC=2)C(=O)C=2C=CC(=CC=2)C(=O)C=2C=CC(OC=3C=C(N)C=CC=3)=CC=2)=C1 JAGJCSPSIXPCAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004018 acid anhydride group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- TUQQUUXMCKXGDI-UHFFFAOYSA-N bis(3-aminophenyl)methanone Chemical compound NC1=CC=CC(C(=O)C=2C=C(N)C=CC=2)=C1 TUQQUUXMCKXGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BBRLKRNNIMVXOD-UHFFFAOYSA-N bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methanone Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=CC(=CC=2)C(=O)C=2C=CC(OC=3C=C(N)C=CC=3)=CC=2)=C1 BBRLKRNNIMVXOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSDYQEILXDCDTR-UHFFFAOYSA-N bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]methanone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(C(=O)C=2C=CC(OC=3C=CC(N)=CC=3)=CC=2)C=C1 LSDYQEILXDCDTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N bpda Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000009120 camo Nutrition 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 235000005607 chanvre indien Nutrition 0.000 description 1
- 239000007810 chemical reaction solvent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 229910052570 clay Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000004643 cyanate ester Substances 0.000 description 1
- ZWAJLVLEBYIOTI-UHFFFAOYSA-N cyclohexene oxide Chemical compound C1CCCC2OC21 ZWAJLVLEBYIOTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWFSEYBSWVRWGL-UHFFFAOYSA-N cyclohexene oxide Natural products O=C1CCCC=C1 FWFSEYBSWVRWGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- CCAFPWNGIUBUSD-UHFFFAOYSA-N diethyl sulfoxide Chemical compound CCS(=O)CC CCAFPWNGIUBUSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LTYMSROWYAPPGB-UHFFFAOYSA-N diphenyl sulfide Chemical compound C=1C=CC=CC=1SC1=CC=CC=C1 LTYMSROWYAPPGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YWEUIGNSBFLMFL-UHFFFAOYSA-N diphosphonate Chemical compound O=P(=O)OP(=O)=O YWEUIGNSBFLMFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical compound [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000011487 hemp Substances 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N hexamethylphosphoric triamide Chemical class CN(C)P(=O)(N(C)C)N(C)C GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000006358 imidation reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- 229940018564 m-phenylenediamine Drugs 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N n,n-diethylacetamide Chemical compound CCN(CC)C(C)=O AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OOHAUGDGCWURIT-UHFFFAOYSA-N n,n-dipentylpentan-1-amine Chemical compound CCCCCN(CCCCC)CCCCC OOHAUGDGCWURIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GLTDLAUASUFHNK-UHFFFAOYSA-N n-silylaniline Chemical compound [SiH3]NC1=CC=CC=C1 GLTDLAUASUFHNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDHQTWZKAJOZQL-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,4,5-tricarboxylic acid Chemical compound C1=CC=C2C(C(=O)O)=CC=C(C(O)=O)C2=C1C(O)=O DDHQTWZKAJOZQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOBFTMLCEYUAQC-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(C(O)=O)C=C2C=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC2=C1 DOBFTMLCEYUAQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTVNOVQHSGMMOV-UHFFFAOYSA-N naphthalenetetracarboxylic dianhydride Chemical compound C1=CC(C(=O)OC2=O)=C3C2=CC=C2C(=O)OC(=O)C1=C32 YTVNOVQHSGMMOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 150000003014 phosphoric acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000003018 phosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- DLYUQMMRRRQYAE-UHFFFAOYSA-N phosphorus pentoxide Inorganic materials O1P(O2)(=O)OP3(=O)OP1(=O)OP2(=O)O3 DLYUQMMRRRQYAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- NQSMDRQSCOCSKD-UHFFFAOYSA-N pyridine-2,3,6-tricarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=N1 NQSMDRQSCOCSKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N pyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1 HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000006798 ring closing metathesis reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012756 surface treatment agent Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N thioacetamide Natural products CC(N)=O DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N tributylamine Chemical compound CCCCN(CCCC)CCCC IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FICPQAZLPKLOLH-UHFFFAOYSA-N tricyclohexyl phosphite Chemical compound C1CCCCC1OP(OC1CCCCC1)OC1CCCCC1 FICPQAZLPKLOLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N triglyme Chemical compound COCCOCCOCCOC YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N tripropylamine Chemical compound CCCN(CCC)CCC YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005387 trisiloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
Description
本発明は、微細配線形成性に優れた積層体及びプリント配線板に関するものである。 The present invention relates to a laminate and a printed wiring board excellent in fine wiring formability.
従来、プリント配線板用材料として用いられる銅張積層板として、ガラス織布にエポキシ樹脂を含浸させたいわゆるガラスエポキシ基板や、ガラス織布にビスマレイミド/トリアジン樹脂を含浸させたいわゆるBT基板と銅箔とを熱圧着したものが知られている。この種の銅張積層板において絶縁体表面に形成する銅被覆層として用いられる銅箔はいわゆる電解銅箔であり、一般にその厚みは35μmおよび18μmのものが主流となっていたが、電子機器の発達にともなうプリント配線板の微細配線化により、最近では例えば9μm厚箔のようなきわめて薄い電解銅箔を用いた銅張積層板が使用されるようになってきた。 Conventionally, as copper-clad laminates used as printed wiring board materials, so-called glass epoxy substrates in which glass woven fabric is impregnated with epoxy resin, or so-called BT substrates in which glass woven fabric is impregnated with bismaleimide / triazine resin and copper One obtained by thermocompression bonding with a foil is known. The copper foil used as the copper coating layer formed on the surface of the insulator in this type of copper clad laminate is a so-called electrolytic copper foil. Generally, the thickness is 35 μm and 18 μm. With the development of fine wiring of printed wiring boards, development of copper-clad laminates using very thin electrolytic copper foils such as 9 μm thick foils has recently been used.
このような銅張積層板を用いて配線形成する場合、配線部以外の銅箔をエッチング処理により溶解除去することによって配線を形成する、いわゆるサブトラクティブ法により得られる。しかしながら、電解銅箔の表面粗度は大きく、その凹凸が基板の樹脂に食い込んでいるため、十分にエッチングしないと凹部の銅を除去できず、そのため設計よりも配線が細く形成されてしまうといった問題、逆にエッチングを十分に行わないと凹部に銅が残ってしまうといった問題を有していた。上述のように絶縁層表面の凹凸を極力小さくしないと、回路形状や回路幅、回路厚みなどを設計通りに良好に形成することができない。よって微細配線形成のためには、配線を形成する樹脂の表面は平滑であることが重要である。 When wiring is formed using such a copper-clad laminate, it is obtained by a so-called subtractive method in which wiring is formed by dissolving and removing copper foil other than the wiring portion by etching. However, since the surface roughness of the electrolytic copper foil is large and the unevenness thereof has digged into the resin of the substrate, the copper in the recesses cannot be removed unless it is sufficiently etched, so that the wiring is formed thinner than the design. On the other hand, if etching is not performed sufficiently, there is a problem that copper remains in the recess. As described above, unless the unevenness on the surface of the insulating layer is made as small as possible, the circuit shape, circuit width, circuit thickness, and the like cannot be satisfactorily formed as designed. Therefore, in order to form fine wiring, it is important that the surface of the resin forming the wiring is smooth.
このような課題に対して、特定構造のポリイミド樹脂を用いためっき用材料を少なくとも片面に用いた積層体が作成されている(例えば、特許文献1、2参照。)。このプリプレグ材料は平滑な面に銅層を強固に形成することが可能になるため、微細配線形成性に優れるという利点を有する。しかしながら、めっき工程において、全ての薬液で対応可能というわけではないということが判明してきた。表面平滑なめっき用材料を用いた積層体では、めっき薬液の浴負荷や、めっき薬液の建浴状態等による影響を受ける可能性があった。例えば、めっき薬液を建浴し、ある一定期間使用して老化した液を用いて該めっき用材料に無電解めっき皮膜を形成すると、無電解めっき皮膜が膨れる可能性があった。一方、アンカー効果による接着性向上手法では、使用するフィラーの粒径が大きく、微細配線形成には限界があり、無機フィラーを樹脂に混合するため弾性率が高くなってしまう。そのため、樹脂組成物としては無電解めっき皮膜の応力を緩和しにくく、無電解めっき皮膜の膨れを生じやすい状態になる。微細配線形成性を疎外しない程に微細に粗化させるという手法ではアンカー効果はそれ程期待できず、また樹脂組成物としての弾性率が高くなるため、無電解めっき皮膜の応力を緩和しにくく、無電解めっき皮膜が膨れることなく強固に密着せしめることは非常に困難であった。
従って、本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされたものであって、無電解めっきと各種材料間との接着性を向上させ、且つ無電解めっきや耐熱性試験後の膨れを生じさせない無電解めっき用材料を少なくとも片側に有する積層体に提供することにある。 Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and improves the adhesion between the electroless plating and various materials, and prevents swelling after the electroless plating and the heat resistance test. The object is to provide a laminate having at least one electroless plating material that is not generated.
本発明者等は、上記課題に鑑み鋭意検討を行った結果、下記の積層体により、上記課題が解決しうることを見出した。すなわち、本発明は、以下の発明を含む。 As a result of intensive studies in view of the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by the following laminate. That is, the present invention includes the following inventions.
(1)繊維と樹脂との複合体(a)の少なくとも片面に、金属めっき層を形成するための樹脂層(b)を有する積層体であって、前記樹脂層(b)は、(A)樹脂組成物成分および(B)フィラー成分を必須成分として含有し、樹脂層(b)の表面粗さがカットオフ値0.002mmで測定した算術平均粗さRaで0.4um以下であり、(B)フィラーの比表面積が、20m2/g以上600m2/g以下であり、且つ樹脂層(b)の20℃での弾性率が2.3GPa以上15GPa以下であることを特徴とする積層体。 (1) A laminate having a resin layer (b) for forming a metal plating layer on at least one surface of a composite of fiber and resin (a), wherein the resin layer (b) is (A) The resin composition component and the (B) filler component are contained as essential components, and the surface roughness of the resin layer (b) is 0.4 um or less in arithmetic average roughness Ra measured at a cutoff value of 0.002 mm. B) A laminate in which the specific surface area of the filler is 20 m 2 / g or more and 600 m 2 / g or less, and the elastic modulus at 20 ° C. of the resin layer (b) is 2.3 GPa or more and 15 GPa or less. .
(2)(B)フィラー成分が、樹脂層(b)の全固形分中、20重量%〜90重量%含有していることを特徴とする(1)に記載の積層体。 (2) The laminate according to (1), wherein the filler component (B) is contained in an amount of 20% to 90% by weight in the total solid content of the resin layer (b).
(3)(B)フィラー成分が、無機フィラーを含有することを特徴とする(1)〜(2)のいずれか1つに記載の積層体。 (3) The laminate according to any one of (1) to (2), wherein the filler component (B) contains an inorganic filler.
(4)(B)フィラー成分が、微粉状シリカ及びフュームドシリカからなる群から選ばれた少なくとも1種を含有することを特徴とする(1)〜(3)のいずれか1つに記載の積層体。 (4) (B) The filler component contains at least one selected from the group consisting of finely divided silica and fumed silica, as described in any one of (1) to (3) Laminated body.
(5)(B)フィラー成分が、フュームドシリカを含有することを特徴とする(1)〜(4)のいずれか1つに記載の積層体。 (5) The laminate according to any one of (1) to (4), wherein the (B) filler component contains fumed silica.
(6)(A)樹脂組成物成分が、下記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有する樹脂を含有する樹脂組成物成分であることを特徴とする(1)〜(5)のいずれか1つに記載の積層体。 (6) (A) The resin composition component is a resin composition component containing a resin having one or more structures among the structures represented by any one of the following general formulas (1) to (6). The laminate according to any one of (1) to (5), wherein
(式中、R1およびR3は、それぞれ独立して、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価の芳香族基を表す。また、R4は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ独立して、アルキル基、フェニル基、アルコキシ基、またはフェノキシ基を表し、R2は、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価のフェニレン基を表す。x=3〜10、さらに、n=3〜100であり、mは1〜200の整数である。)。 (In the formula, R 1 and R 3 each independently represent a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent aromatic group. R 4 may be the same or different. Each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkoxy group, or a phenoxy group, and R 2 represents a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent phenylene group. X = 3 to 10, n = 3 to 100, and m is an integer of 1 to 200).
(7)(A)樹脂組成物成分が、下記一般式(6)の構造を有する樹脂を含有する樹脂組成物成分であることを特徴とする(1)〜(6)のいずれか1つに記載の積層体。 (7) In any one of (1) to (6), the resin composition component (A) is a resin composition component containing a resin having a structure of the following general formula (6) The laminated body of description.
(式中、R1およびR3は、それぞれ独立して、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価の芳香族基を表す。また、R4は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ独立して、アルキル基、フェニル基、アルコキシ基、またはフェノキシ基を表し、R2は、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価のフェニレン基を表す。x=3〜10、さらに、n=3〜100であり、mは1〜200の整数である。)。 (In the formula, R 1 and R 3 each independently represent a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent aromatic group. R 4 may be the same or different. Each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkoxy group, or a phenoxy group, and R 2 represents a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent phenylene group. X = 3 to 10, n = 3 to 100, and m is an integer of 1 to 200).
(8)(A)樹脂組成物成分が、下記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリイミド樹脂、若しくは下記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリアミドイミド樹脂のいずれかを少なくとも含有する樹脂組成物成分であることを特徴とする(1)〜(7)のいずれか1つに記載の積層体。 (8) (A) The resin composition component is a polyimide resin having one or more structures among the structures represented by any of the following general formulas (1) to (6), or the following general formula (1) (1) to (7), which is a resin composition component containing at least one of polyamideimide resins having one or more structures among the structures represented by any one of (6) to (6) The laminated body as described in any one of these.
(式中、R1およびR3は、それぞれ独立して、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価の芳香族基を表す。また、R4は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ独立して、アルキル基、フェニル基、アルコキシ基、またはフェノキシ基を表す。x=3〜10、さらに、mは1〜200の整数である。)。 (In the formula, R 1 and R 3 each independently represent a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent aromatic group. R 4 may be the same or different. And each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkoxy group, or a phenoxy group, where x = 3 to 10, and m is an integer of 1 to 200.
(9)(A)樹脂組成物成分が、下記一般式(6)の構造を有するポリイミド樹脂を含有する樹脂組成物成分であることを特徴とする(1)〜(8)のいずれか1つに記載の積層体。 (9) Any one of (1) to (8), wherein the resin composition component (A) is a resin composition component containing a polyimide resin having the structure of the following general formula (6). The laminated body as described in.
(式中、R1およびR3は、それぞれ独立して、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価の芳香族基を表す。また、R4は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ独立して、アルキル基、フェニル基、アルコキシ基、またはフェノキシ基を表し、R2は、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価のフェニレン基を表す。x=3〜10、さらに、n=3〜100であり、mは1〜200の整数である。)。 (In the formula, R 1 and R 3 each independently represent a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent aromatic group. R 4 may be the same or different. Each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkoxy group, or a phenoxy group, and R 2 represents a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent phenylene group. X = 3 to 10, n = 3 to 100, and m is an integer of 1 to 200).
(10)(A)樹脂組成物成分が、熱硬化性成分を含有する樹脂組成物成分であることを特徴とする(1)〜(9)のいずれか1つに記載の積層体。 (10) The laminate according to any one of (1) to (9), wherein the resin composition component (A) is a resin composition component containing a thermosetting component.
(11)(A)前記熱硬化成分が、エポキシ樹脂であることを特徴とする(10)に記載の積層体。 (11) The laminate according to (10), wherein the thermosetting component is an epoxy resin.
(12)前記繊維と樹脂との複合体(a)がBステージであることを特徴とする(1)〜(11)のいずれか1つに記載の積層体。 (12) The laminated body according to any one of (1) to (11), wherein the composite (a) of the fiber and the resin is a B stage.
(13)前記繊維と樹脂との複合体(a)がCステージであることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1つに記載の積層体。 (13) The laminated body according to any one of claims 1 to 11, wherein the composite (a) of the fiber and the resin is a C stage.
(14)(1)〜(13)のいずれか1つに記載の積層体表面に無電解めっき皮膜が形成されていることを特徴とする積層体。 (14) A laminate in which an electroless plating film is formed on the surface of the laminate according to any one of (1) to (13).
(15)前記無電解めっき皮膜が、無電解銅めっき皮膜であることを特徴とする(14)に記載の積層体。 (15) The laminate according to (14), wherein the electroless plating film is an electroless copper plating film.
(16)(1)〜(15)のいずれか1つに記載の積層体を用いてなるプリント配線板。 (16) A printed wiring board using the laminate according to any one of (1) to (15).
本発明の積層体は、繊維と樹脂との複合体(a)の少なくとも片面に、金属めっき層を形成するための樹脂層(b)を有し、かつ樹脂層(b)が(A)樹脂組成物成分および(B)フィラー成分を必須成分として含有し且つ弾性率を特定の範囲にコントロールすることにより、微細配線形成を阻害しない非常に微細な表面粗度にもかかわらず、老化しためっき薬液、等のあらゆる状態のめっき薬液を用いても無電解めっき皮膜が膨れることなく強固に接着せしめることが可能である。また本発明の積層体は、他の各種材料との接着性にも優れる。また、本発明の積層体は金属めっき層を形成するための樹脂層に(B)フィラー成分を含有するため耐熱性に優れ、且つ低熱膨張性も示すものとなる。 The laminate of the present invention has a resin layer (b) for forming a metal plating layer on at least one surface of a composite of fiber and resin (a), and the resin layer (b) is (A) resin. An aged plating chemical solution that contains a composition component and (B) filler component as essential components and controls the elastic modulus within a specific range, but does not hinder the formation of fine wiring, despite the very fine surface roughness. It is possible to firmly bond the electroless plating film without swelling even if a plating chemical solution in any state such as. Moreover, the laminated body of this invention is excellent also in adhesiveness with other various materials. Moreover, since the laminated body of this invention contains the (B) filler component in the resin layer for forming a metal plating layer, it is excellent in heat resistance, and also shows low thermal expansibility.
本発明の実施の一形態について以下に詳細に説明するが、本発明は以下の記載に限定されるものではない。 One embodiment of the present invention will be described in detail below, but the present invention is not limited to the following description.
(本発明の積層体及びプリント配線板の構成)
本発明の積層体は、繊維と樹脂との複合体(a)の少なくとも片面に、金属めっき層を形成するための樹脂層(b)を有し、かつ樹脂層(b)が(A)樹脂組成物成分および(B)フィラー成分を必須成分として含有し、樹脂層(b)の表面粗さがカットオフ値0.002mmで測定した算術平均粗さRaで0.4um以下であり、(B)フィラーの比表面積が20m2/g以上600m2/g以下であり、樹脂層(b)の且つ20℃での弾性率が2.3GPa以上15GPa以下であることを特徴とする。その構成は、(a)/(b)でも良いし、(b)/(a)/(b)でも良いし、(a)/樹脂層(c)/(b)でも良く、また、(a)/樹脂層(c)/高分子フィルム/(b)でも良く、(a)と(b)を含みさえすればどのような構成でも良い。本発明の積層体を用いたプリント配線板としては、例えば、本発明の積層体に配線形成を施すことで、片面若しくは両面プリント配線板を得ることができる。また、該、片面若しくは両面プリント配線板をコア基板として、ビルドアップ配線板を得ることもできる。さらに、本発明の積層体をビルドアップ材として用いることで、ビルドアップ配線板を得ることも可能である。本発明の積層体は微細配線形成性に優れるため、その他の各種高密度プリント配線板にも好ましく適用可能である。本発明の積層体の構成物の1つである繊維と樹脂との複合体(a)は、Bステージであっても良く、Cステージであっても良い。上記の積層体の構成物である、金属めっき層を形成するための樹脂層(b)は、金属めっき層との接着性の観点から、シロキサン構造を有するポリイミド樹脂を含むことが好ましい。上記の積層体は、いずれの構成であっても樹脂層(b)上に金属めっき層が形成されていても良い。
(Configuration of Laminate and Printed Wiring Board of the Present Invention)
The laminate of the present invention has a resin layer (b) for forming a metal plating layer on at least one surface of a composite of fiber and resin (a), and the resin layer (b) is (A) resin. The composition component and the (B) filler component are contained as essential components, and the surface roughness of the resin layer (b) is 0.4 um or less in arithmetic average roughness Ra measured at a cutoff value of 0.002 mm. ) The specific surface area of the filler is 20 m 2 / g or more and 600 m 2 / g or less, and the elastic modulus of the resin layer (b) at 20 ° C. is 2.3 GPa or more and 15 GPa or less. The structure may be (a) / (b), (b) / (a) / (b), (a) / resin layer (c) / (b), or (a ) / Resin layer (c) / polymer film / (b), or any structure as long as it includes (a) and (b). As a printed wiring board using the laminated body of the present invention, for example, a single-sided or double-sided printed wiring board can be obtained by performing wiring formation on the laminated body of the present invention. Also, a build-up wiring board can be obtained using the single-sided or double-sided printed wiring board as a core substrate. Furthermore, it is also possible to obtain a buildup wiring board by using the laminate of the present invention as a buildup material. Since the laminate of the present invention is excellent in fine wiring formability, it can be preferably applied to other various high-density printed wiring boards. The composite (a) of fiber and resin, which is one of the components of the laminate of the present invention, may be a B stage or a C stage. The resin layer (b) for forming a metal plating layer, which is a constituent of the above laminate, preferably contains a polyimide resin having a siloxane structure from the viewpoint of adhesion to the metal plating layer. The laminate may have any structure, and a metal plating layer may be formed on the resin layer (b).
(繊維と樹脂との複合体(a))
本発明の繊維と樹脂との複合体(a)は、あらゆる繊維、樹脂の組み合わせが可能であり、例えば、上記樹脂は、熱可塑性樹脂のみからなる樹脂であっても良いし、熱硬化性成分のみからなる樹脂であっても良いし、また、熱可塑性樹脂及び熱硬化性成分からなる樹脂であっても良い。この中でも、Bステージ、若しくはCステージの繊維と樹脂との複合体(a)を得るためには、本発明の複合体(a)に用いられる樹脂は熱硬化性成分を含むことが好ましい。
(Composite of fiber and resin (a))
The fiber and resin composite (a) of the present invention can be any combination of fibers and resins. For example, the resin may be a resin composed of only a thermoplastic resin, or a thermosetting component. It may be a resin composed of only a resin, or may be a resin composed of a thermoplastic resin and a thermosetting component. Among these, in order to obtain a composite (a) of B-stage or C-stage fibers and resin, the resin used for the composite (a) of the present invention preferably contains a thermosetting component.
ここで、Bステージとは、半硬化状態ともいわれ、繊維と樹脂との複合体(a)に用いられる熱硬化性成分の反応の中間的な段階であって、(a)は加熱により軟化するが、ある種の液体に接触しても完全には溶融や溶解をしない段階である。よって、繊維と樹脂との複合体(a)がBステージである場合、本発明の積層体は加熱加工により軟化し、内層回路を埋め込むことが可能となるため、ビルドアップ材として好ましく使用することができる。また、Cステージとは、繊維と樹脂との複合体(a)に用いられる熱硬化性成分が実質的に硬化し、不溶不融の状態にある段階である。よって、繊維と樹脂との複合体(a)がCステージである場合、そのまま金属層を形成し、パターニングすることでプリント配線板を得ることができることになる。 Here, the B stage is also referred to as a semi-cured state, and is an intermediate stage of the reaction of the thermosetting component used in the composite of fiber and resin (a), and (a) is softened by heating. However, even if it contacts with a certain kind of liquid, it does not melt or dissolve completely. Therefore, when the composite of fiber and resin (a) is a B stage, the laminate of the present invention is softened by heat processing and can embed an inner layer circuit, and therefore preferably used as a build-up material. Can do. The C stage is a stage in which the thermosetting component used in the composite of fiber and resin (a) is substantially cured and insoluble and infusible. Therefore, when the composite (a) of fiber and resin is a C stage, a printed wiring board can be obtained by forming a metal layer as it is and patterning it.
繊維としては特に限定はないが、プリント配線板用途という点を考慮すると、紙、ガラス織布、ガラス不織布、アラミド織布、アラミド不織布、ポリテトラフロロエチレンから選ばれた少なくとも一種であることが好ましい。紙としては、木材、樹皮、綿、麻、合成樹脂等の素原料より調製された製紙用パルプ、溶解用パルプ、合成パルプ等のパルプを原料とする紙を用いることができる。ガラス織布、ガラス不織布としては、EガラスまたはDガラスおよび他のガラスからなるガラス織布またはガラス不織布を使用することができる。アラミド織布、アラミド不織布としては、芳香族ポリアミド、若しくは芳香族ポリアミドイミドからなる不織布を使用できる。ここで芳香族ポリアミドとは従来公知のメタ型芳香族ポリアミド又はパラ型芳香族ポリアミド或いはそれらの共重合芳香族ポリアミド等である。ポリテトラフロロエチレンとしては、延伸加工して微細な連続多孔質構造をもったポリテトラフロロエチレンを好ましく使用することができる。 The fiber is not particularly limited, but it is preferably at least one selected from paper, glass woven fabric, glass non-woven fabric, aramid woven fabric, aramid non-woven fabric, and polytetrafluoroethylene in consideration of the use of a printed wiring board. . As the paper, paper made from pulp such as paper pulp, dissolving pulp, synthetic pulp and the like prepared from raw materials such as wood, bark, cotton, hemp and synthetic resin can be used. As the glass woven fabric and the glass nonwoven fabric, a glass woven fabric or glass nonwoven fabric made of E glass or D glass and other glass can be used. As the aramid woven fabric and the aramid nonwoven fabric, a nonwoven fabric made of aromatic polyamide or aromatic polyamideimide can be used. Here, the aromatic polyamide is a conventionally known meta-type aromatic polyamide, para-type aromatic polyamide, or a copolymerized aromatic polyamide thereof. As polytetrafluoroethylene, polytetrafluoroethylene having a fine continuous porous structure that has been stretched can be preferably used.
次に本発明に用いる繊維と樹脂との複合体(a)の樹脂について説明する。樹脂としては特に制限はなく、熱可塑性樹脂のみからなる樹脂であっても良いし、熱硬化性成分のみからなる樹脂であっても良いし、また、熱可塑性樹脂及び熱硬化性成分からなる樹脂であっても良い。熱可塑性樹脂としては、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、などを挙げることができる。また、熱硬化性成分としては、エポキシ樹脂、熱硬化型ポリイミド樹脂、シアナートエステル樹脂、ヒドロシリル硬化樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスアリルナジイミド樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、アリル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、などを挙げることができる。また、上記の熱可塑性樹脂と熱硬化成分とを併用しても良い。 Next, the resin of the composite of fiber and resin (a) used in the present invention will be described. There is no restriction | limiting in particular as resin, Resin consisting only of a thermoplastic resin may be sufficient as resin which consists only of a thermosetting component, and resin consisting of a thermoplastic resin and a thermosetting component It may be. Examples of the thermoplastic resin include polysulfone resin, polyether sulfone resin, thermoplastic polyimide resin, polyphenylene ether resin, polyolefin resin, polycarbonate resin, and polyester resin. Thermosetting components include epoxy resins, thermosetting polyimide resins, cyanate ester resins, hydrosilyl cured resins, bismaleimide resins, bisallyl nadiimide resins, acrylic resins, methacrylic resins, allyl resins, unsaturated polyester resins. , Etc. Moreover, you may use together said thermoplastic resin and a thermosetting component.
本発明の繊維と樹脂との複合体(a)は、繊維があるために低熱膨張性が得られるという利点を有しているが、さらなる低熱膨張性を得る観点から、各種有機、無機フィラーを添加しても良い。 The composite (a) of the fiber and resin of the present invention has an advantage that low thermal expansion is obtained because of the presence of the fiber. From the viewpoint of obtaining further low thermal expansion, various organic and inorganic fillers are used. It may be added.
本発明の繊維と樹脂との複合体(a)は、上述の樹脂を適当な溶媒に溶解して、樹脂溶液とし、上述の繊維に含浸、さらに加熱乾燥することにより得られる。ここで、加熱乾燥はBステージで止めても良いし、さらに加熱乾燥を進めて、Cステージまで行っても良い。 The fiber / resin composite (a) of the present invention is obtained by dissolving the above-described resin in an appropriate solvent to obtain a resin solution, impregnating the above-described fiber, and further drying by heating. Here, the heat drying may be stopped at the B stage, or the heat drying may be further advanced to the C stage.
本発明の繊維と樹脂との複合体(a)の厚みは特に制限はないが、本発明の積層体を高密度プリント配線板に適用する場合は薄いほうが好ましく、具体的には2mm以下であることが好ましく、1mm以下であることがさらに好ましい。また、本発明の積層体をビルドアップ材として使用する場合は、得られるビルドアップ配線板の薄型化の観点から、できるだけ薄いことが好ましく、且つ内層回路を充分に埋め込むだけの樹脂分を有することが好ましい。現状、最も薄いガラス織布は40μmと言われており、このようなガラス繊維を用いることにより、本発明の繊維と樹脂との複合体(a)を薄くすることができる。また、技術の進歩により、さらに薄いガラス織布等の繊維が得られれば、このような繊維を用いることで、本発明の繊維と樹脂との複合体(a)の更なる薄型化が可能となる。 The thickness of the composite (a) of the fiber and resin of the present invention is not particularly limited, but when the laminate of the present invention is applied to a high-density printed wiring board, it is preferably thinner, specifically 2 mm or less. Preferably, it is 1 mm or less. In addition, when using the laminate of the present invention as a build-up material, it is preferably as thin as possible from the viewpoint of thinning the resulting build-up wiring board, and has a resin component sufficient to embed the inner layer circuit sufficiently. Is preferred. At present, the thinnest glass woven fabric is said to be 40 μm. By using such a glass fiber, the composite (a) of the fiber and the resin of the present invention can be thinned. In addition, if a fiber such as a thinner glass woven fabric is obtained as a result of technological advancement, it is possible to further reduce the thickness of the composite (a) of the fiber and resin of the present invention by using such a fiber. Become.
(金属めっき層を形成するための樹脂層(b))
本発明でいう金属めっき層を形成するための樹脂層(b)とは、その平滑表面に強固に金属めっき層を形成でき、且つ、繊維と樹脂との複合体(a)とも強固に接着することが可能な樹脂層をいう。すなわち、繊維と樹脂との複合体(a)と、金属めっき層との間に形成された接着剤の働きを有する樹脂層ということができる。
(Resin layer (b) for forming a metal plating layer)
The resin layer (b) for forming a metal plating layer in the present invention can form a metal plating layer firmly on its smooth surface, and also adheres firmly to the composite of fiber and resin (a). A resin layer that can be used. That is, it can be said that it is a resin layer having the function of an adhesive formed between the composite of fiber and resin (a) and the metal plating layer.
本発明は、金属めっき層を形成するための樹脂層(b)の表面粗さ(この表面のことを以下の説明中で「表面a」という場合がある。)が、カットオフ値0.002mmで測定した算術粗さRaが0.4um以下であり、且つ樹脂層(b)の20℃での弾性率が2.3GPa以上15GPa以下であることを特徴とする。 In the present invention, the surface roughness of the resin layer (b) for forming the metal plating layer (this surface may be referred to as “surface a” in the following description) has a cutoff value of 0.002 mm. The arithmetic roughness Ra measured in (1) is 0.4 μm or less, and the elastic modulus at 20 ° C. of the resin layer (b) is 2.3 GPa or more and 15 GPa or less.
(表面粗さ)
本発明にかかる表面aについて説明する。表面aは、厚さが10Å以上を有する表面のことをいう。本発明にかかる表面aは、カットオフ値0.002mmで測定した算術平均粗さRaで0.4μm以下である。この条件を満たす場合、良好な微細配線形成性を有する。算術平均粗さRaとは、JIS B 0601(平成6年2月1日改正版)に定義されている。特に本発明の算術平均粗さRaの数値は、光干渉式の表面構造解析装置で表面を観察により求められた数値を示す。本発明のカットオフ値とは、上記JIS B 0601に記載されているが、断面曲線(実測データ)から粗さ曲線を得る際に設定する波長を示す。即ち、カットオフ値が0.002mmで測定した値Raとは、実測データから0.002mmよりも長い波長を有する凹凸を除去した粗さ曲線から算出された算術平均粗さである。本発明の表面aの表面粗度は、無電解めっき皮膜との密着性と、微細配線形成性との両立という相反する特性のバランスを考慮して、カットオフ値0.002mmで測定した算術平均粗さRaで0.005μm〜0.4μmの範囲にあることが好ましく、0.01μm〜0.3μmの範囲にあることが特に好ましい。
(Surface roughness)
The surface a according to the present invention will be described. The surface a refers to a surface having a thickness of 10 mm or more. The surface a according to the present invention has an arithmetic average roughness Ra measured at a cutoff value of 0.002 mm and is 0.4 μm or less. When this condition is satisfied, it has good fine wiring formability. Arithmetic mean roughness Ra is defined in JIS B 0601 (revised on February 1, 1994). In particular, the numerical value of the arithmetic average roughness Ra of the present invention is a numerical value obtained by observing the surface with an optical interference type surface structure analyzer. The cutoff value of the present invention is described in the above JIS B 0601, and indicates a wavelength set when a roughness curve is obtained from a cross-sectional curve (measured data). That is, the value Ra measured with a cut-off value of 0.002 mm is an arithmetic average roughness calculated from a roughness curve obtained by removing irregularities having a wavelength longer than 0.002 mm from measured data. The surface roughness of the surface a of the present invention is an arithmetic average measured at a cutoff value of 0.002 mm in consideration of the balance of conflicting properties of coexistence of adhesion with the electroless plating film and fine wiring formability. The roughness Ra is preferably in the range of 0.005 μm to 0.4 μm, and particularly preferably in the range of 0.01 μm to 0.3 μm.
(弾性率)
本発明にかかる弾性率について説明する。
本発明にかかる樹脂層(b)の弾性率は、次のようにして確認する。すなわち、表面aを有する樹脂層(b)の25μm厚の単層シートを作製し、該シートを用いて弾性率を測定する。具体的には、本発明の無電解めっき用材料を形成するための樹脂溶液を調整し、圧延銅箔(BHY―22B―T、ジャパンエナジー社製)のシャイン面に乾燥後の厚みが25μmとなるように流延塗布し、乾燥させ、充分に揮発分を除去してシートを得る。塩酸/塩化第二鉄系エッチャントにて圧延銅箔をエッチングにて除去し、60℃/30分乾燥させて、表面aを有する25μm厚みの単層シートを得る。該シートを、下記条件にて弾性率測定を実施することで、20℃での弾性率を求めることができる。
測定装置:DMS6100(SIIナノテクノロジー(株)製)
温度範囲:10℃〜300℃
昇温速度:3℃/分
シートの測定方向:配向角から45度の方向で測定
本発明の樹脂層(b)の弾性率は、(B)フィラー成分の比表面積や、混合量、種類、また、(A)樹脂組成物の混合量、種類、等によりコントロールすることが可能であるが、特には、(B)フィラー成分の比表面積と、混合量によりコントロールすることが容易であり、好ましい。尚、(B)フィラー成分の比表面積が大きく、混合量が多いほど、弾性率が高くなる傾向にある。
(Elastic modulus)
The elastic modulus according to the present invention will be described.
The elastic modulus of the resin layer (b) according to the present invention is confirmed as follows. That is, a 25 μm thick single layer sheet of the resin layer (b) having the surface a is prepared, and the elastic modulus is measured using the sheet. Specifically, the resin solution for forming the electroless plating material of the present invention is prepared, and the thickness after drying on the shine surface of a rolled copper foil (BHY-22BT, manufactured by Japan Energy) is 25 μm. The sheet is casted and dried, and the volatile matter is sufficiently removed to obtain a sheet. The rolled copper foil is removed by etching with a hydrochloric acid / ferric chloride-based etchant and dried at 60 ° C./30 minutes to obtain a 25 μm-thick single layer sheet having a surface a. The elastic modulus at 20 ° C. can be obtained by measuring the elastic modulus of the sheet under the following conditions.
Measuring device: DMS6100 (manufactured by SII Nanotechnology)
Temperature range: 10 ° C to 300 ° C
Rate of temperature increase: 3 ° C./min Measurement direction of sheet: measured in the direction of 45 degrees from the orientation angle The elastic modulus of the resin layer (b) of the present invention is the specific surface area of (B) filler component, the mixing amount, the type, Further, it can be controlled by the mixing amount, type, etc. of the (A) resin composition, and in particular, it is easy to control by the specific surface area of the (B) filler component and the mixing amount, which is preferable. . In addition, it exists in the tendency for an elasticity modulus to become high, so that the specific surface area of (B) filler component is large and there are many mixing amounts.
ここで本発明の樹脂層(b)の弾性率が15GPaよりも高くなると、無電解めっき皮膜との接着性が低下し、無電解めっき皮膜が膨れやすくなる。これは、樹脂層(b)が固く、粘り強さに欠け、無電解めっき皮膜の応力を緩和できなくなるためである。 Here, when the elastic modulus of the resin layer (b) of the present invention is higher than 15 GPa, the adhesiveness with the electroless plating film is lowered, and the electroless plating film is liable to swell. This is because the resin layer (b) is hard and lacks in tenacity and cannot relieve the stress of the electroless plating film.
また無電解めっき用材料の弾性率が2.3GPaよりも低くなるということは、(B)フィラー成分の比表面積が小さく、混合量が少ない場合であるので、このときは粗化表面を十分に形成できないため、無電解めっき皮膜が膨れやすくなる。 In addition, the elastic modulus of the electroless plating material is lower than 2.3 GPa because (B) the specific surface area of the filler component is small and the amount of mixing is small. Since it cannot be formed, the electroless plating film tends to swell.
本発明の積層体の少なくとも片面に有する樹脂層(b)は、少なくとも無電解めっきを施すための表面aを有していればどんな形態であっても構わないが、無電解めっきを施したい材料表面に、まず本発明の無電解めっき用材料を形成し、その後無電解めっきを施す方法が好ましく用いられる。これにより、本発明の無電解めっき用材料が層間接着剤の役割を果たすことにより、無電解めっきと材料間とが強固に接着するという利点を生かし、各種装飾めっき用途や、機能めっき用途に適用することが可能である。その中でも、無電解めっき液を選ばず、無電解めっき皮膜を強固に形成できるという利点を生かし、プリント配線板用の無電解めっき用材料として好適に用いることができる。 The resin layer (b) on at least one surface of the laminate of the present invention may be in any form as long as it has at least the surface a for performing electroless plating, but the material to be subjected to electroless plating A method in which the electroless plating material of the present invention is first formed on the surface and then electroless plating is preferably used. As a result, the material for electroless plating of the present invention plays the role of an interlayer adhesive, making use of the advantage that the electroless plating and the material are firmly bonded, and is applicable to various decorative plating applications and functional plating applications. Is possible. Among these, the electroless plating solution can be suitably used as an electroless plating material for a printed wiring board by taking advantage of the ability to form an electroless plating film firmly without selecting an electroless plating solution.
((A)樹脂組成物成分)
本発明にかかる(A)樹脂組成物成分について説明する。本発明にかかる(A)樹脂組成物成分としては特に限定はないが、無電解めっき皮膜との密着性の観点から、一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有する樹脂を含有する樹脂組成物であることが好ましい。
((A) Resin composition component)
The (A) resin composition component concerning this invention is demonstrated. Although there is no limitation in particular as (A) resin composition component concerning this invention, From a viewpoint of adhesiveness with an electroless-plating film, among the structures represented by either of General formula (1)-(6) A resin composition containing a resin having one or more structures is preferable.
(式中、R1およびR3は、それぞれ独立して、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価の芳香族基を表す。また、R4は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ独立して、アルキル基、フェニル基、アルコキシ基、またはフェノキシ基を表し、R2は、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価のフェニレン基を表す。x=3〜10、さらに、n=3〜100であり、mは1〜200の整数である。)。 (In the formula, R 1 and R 3 each independently represent a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent aromatic group. R 4 may be the same or different. Each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkoxy group, or a phenoxy group, and R 2 represents a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent phenylene group. X = 3 to 10, n = 3 to 100, and m is an integer of 1 to 200).
また、無電解めっき皮膜との密着性のみならず、耐熱性等の特性バランスを考慮すると、一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリイミド樹脂若しくはポリアミドイミド樹脂のいずれかを少なくとも含有する樹脂組成物であることがさらに好ましい。以下に、ポリイミド樹脂とポリアミドイミド樹脂について説明する。 Moreover, considering not only adhesion with the electroless plating film but also a balance of characteristics such as heat resistance, one or more structures among the structures represented by any one of the general formulas (1) to (6) are included. More preferably, it is a resin composition containing at least either a polyimide resin or a polyamideimide resin. Below, a polyimide resin and a polyamideimide resin are demonstrated.
(ポリイミド樹脂)
まず、一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリイミド樹脂について説明する。本発明の上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリイミド樹脂は、上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有していれば、いかなるポリイミド樹脂を用いても良い。例えば、上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有する酸二無水物成分あるいは上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミン成分を用いて、ポリイミド樹脂の前駆体であるポリアミド酸を製造し、これをイミド化してポリイミド樹脂を製造する方法、官能基を有する酸二無水物成分あるいは官能基を有するジアミン成分を用いて官能基を有するポリアミド酸を製造し、この官能基と反応しうる官能基、及び上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有する化合物を反応させて、(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造が導入されたポリアミド酸を製造し、これをイミド化してポリイミド樹脂を製造する方法、官能基を有する酸二無水物成分あるいは官能基を有するジアミン成分を用いて官能基を有するポリアミド酸を製造し、これをイミド化して官能基を有するポリイミドを製造し、この官能基と反応しうる官能基、及び上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有する化合物を反応させて、(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造が導入されたポリイミド樹脂を製造する方法、などが挙げられる。ここで、上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンは比較的容易に入手することが可能であるため、上記の中でも、酸二無水物成分と、上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミン成分とを反応させて目的とするポリイミド樹脂を製造することが好ましい。
(Polyimide resin)
First, a polyimide resin having one or more structures among the structures represented by any one of the general formulas (1) to (6) will be described. Of the structures represented by any one of the above general formulas (1) to (6), the polyimide resin having one or more structures is represented by any one of the above general formulas (1) to (6). Any polyimide resin may be used as long as it has one or more structures. For example, in the structure represented by any one of the general formulas (1) to (6), the acid dianhydride component having one or more structures or the general formulas (1) to (6) Among the structures represented, a diamine component having one or more structures is used to produce a polyamic acid that is a precursor of a polyimide resin, and a method of imidizing this to produce a polyimide resin, an acid having a functional group A polyamic acid having a functional group is produced by using a dianhydride component or a diamine component having a functional group, and the functional group capable of reacting with the functional group and any one of the general formulas (1) to (6). A polyamic acid in which one or more structures are introduced among the structures represented by any one of (1) to (6) is produced by reacting a compound having one or more structures And imidize this to polyimide A method for producing a fat, an acid dianhydride component having a functional group or a diamine component having a functional group is used to produce a polyamic acid having a functional group, and this is imidized to produce a polyimide having a functional group. A compound having one or more structures among the functional group capable of reacting with the functional group and the structure represented by any one of the general formulas (1) to (6) is reacted, and (1) to (6 ), A method for producing a polyimide resin in which one or more structures are introduced, and the like. Here, among the structures represented by any one of the general formulas (1) to (6), a diamine having one or more structures can be obtained relatively easily. A target polyimide resin is produced by reacting an acid dianhydride component with a diamine component having one or more structures among the structures represented by any of the general formulas (1) to (6). It is preferable.
次に、本発明のポリイミド樹脂として、酸二無水物成分と、上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミン成分とを用いた場合の製造例について説明する。 Next, as the polyimide resin of the present invention, an acid dianhydride component and a diamine component having one or more structures among the structures represented by any of the general formulas (1) to (6) are used. An example of manufacturing in the case of such a case will be described.
酸二無水物成分としては特に限定はなく、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、p−フェニレンジフタル酸無水物などの芳香族テトラカルボン酸二無水物、4,4’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、3,4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’−オキシジフタル酸無水物、4,4’−(4,4’−イソプロピリデンジフェノキシ)ビス(無水フタル酸)、4,4’−ハイドロキノンビス(無水フタル酸)、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物、1,2−エチレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)等を挙げることができる。これらは1種のみで用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いることも可能である。 The acid dianhydride component is not particularly limited, and pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetra Carboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 3, 3 ′, 4,4′-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl Propanic acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, p-phenylenediphthalic anhydride Such Aromatic tetracarboxylic dianhydride, 4,4′-hexafluoroisopropylidenediphthalic anhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,3′-oxydiphthalate Acid anhydride, 4,4 ′-(4,4′-isopropylidenediphenoxy) bis (phthalic anhydride), 4,4′-hydroquinonebis (phthalic anhydride), 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) ) Propanedibenzoate-3,3 ′, 4,4′-tetracarboxylic dianhydride, 1,2-ethylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride) And the like. These may be used alone or in combination of two or more.
続いて、ジアミン成分について説明する。本発明においては、ジアミン成分として、下記一般式(1)〜(6)で表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミン成分を含むことが好ましい。 Subsequently, the diamine component will be described. In the present invention, the diamine component preferably includes a diamine component having one or more structures among the structures represented by the following general formulas (1) to (6).
(式中、R1およびR3は、それぞれ独立して、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価の芳香族基を表す。また、R4は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ独立して、アルキル基、フェニル基、アルコキシ基、またはフェノキシ基を表し、R2は、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価のフェニレン基を表す。x=3〜10、さらに、n=3〜100であり、mは1〜200の整数である。)。 (In the formula, R 1 and R 3 each independently represent a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent aromatic group. R 4 may be the same or different. Each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkoxy group, or a phenoxy group, and R 2 represents a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent phenylene group. X = 3 to 10, n = 3 to 100, and m is an integer of 1 to 200).
上記一般式(1)で表される構造を有するジアミンとしては、ヘキサメチレンジアミンや、オクタメチレンジアミンなどを例示することができる。上記一般式(2)で表される構造を有するジアミンとしては、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)プロパン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ブタン、1,5−ビス(4−アミノフェノキシ)ペンタン等を挙げることができる。上記一般式(3)で表される構造を有するジアミンとしては、エラスマー1000P、エラスマー650P、エラスマー250P(イハラケミカル工業(株)製)が挙げられる。また、上記一般式(4)で表される構造を有するジアミンとしては、ポリエーテルポリアミン類、ポリオキシアルキレンポリアミン類を挙げる事ができ、ジェファーミンD−2000、ジェファーミンD−4000(ハンツマン・コーポレーション社製)等を例示することができる。さらに、上記一般式(6)で表される構造を有するジアミンとしては、1,1,3,3,−テトラメチル−1,3−ビス(4−アミノフェニル)ジシロキサン、1,1,3,3,−テトラフェノキシ−1,3−ビス(4−アミノエチル)ジシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサメチル−1,5−ビス(4−アミノフェニル)トリシロキサン、1,1,3,3,−テトラフェニル−1,3−ビス(2−アミノフェニル)ジシロキサン、1,1,3,3,−テトラフェニル−1,3−ビス(3−アミノプロピル)ジシロキサン、1,1,5,5,−テトラフェニル−3,3−ジメチル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、1,1,5,5,−テトラフェニル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(3−アミノブチル)トリシロキサン、1,1,5,5,−テトラフェニル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(3−アミノペンチル)トリシロキサン、1,1,3,3,−テトラメチル−1,3−ビス(2−アミノエチル)ジシロキサン、1,1,3,3,−テトラメチル−1,3−ビス(3−アミノプロピル)ジシロキサン、1,1,3,3,−テトラメチル−1,3−ビス(4−アミノブチル)ジシロキサン、1,3−ジメチル−1,3−ジメトキシ−1,3−ビス(4−アミノブチル)ジシロキサン、1,1,5,5,−テトラメチル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(2−アミノエチル)トリシロキサン、1,1,5,5,−テトラメチル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(4−アミノブチル)トリシロキサン、1,1,5,5,−テトラメチル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(5−アミノペンチル)トリシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサメチル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサエチル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサプロピル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、等が挙げられる。また、一般式(6)で表される構造を有する、比較的入手しやすいジアミンとして、信越化学工業株式会社製のKF−8010、X−22−161A、X−22−161B、X−22−1660B−3、KF−8008、KF−8012、Xー22−9362、等を挙げることができる。上記一般式(1)〜(6)で表される構造を有するジアミンは単独で用いてもよく、2種以上を混合してもよい。 Examples of the diamine having the structure represented by the general formula (1) include hexamethylene diamine and octamethylene diamine. Examples of the diamine having the structure represented by the general formula (2) include 1,3-bis (4-aminophenoxy) propane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) butane, and 1,5-bis (4 -Aminophenoxy) pentane and the like. Examples of the diamine having the structure represented by the general formula (3) include Elastomer 1000P, Elastomer 650P, and Elastomer 250P (manufactured by Ihara Chemical Industry Co., Ltd.). Further, examples of the diamine having the structure represented by the general formula (4) include polyether polyamines and polyoxyalkylene polyamines, such as Jeffamine D-2000 and Jeffamine D-4000 (Huntsman Corporation). Etc.). Furthermore, as the diamine having the structure represented by the general formula (6), 1,1,3,3-tetramethyl-1,3-bis (4-aminophenyl) disiloxane, 1,1,3 , 3, -tetraphenoxy-1,3-bis (4-aminoethyl) disiloxane, 1,1,3,3,5,5-hexamethyl-1,5-bis (4-aminophenyl) trisiloxane, 1,1,3,3-Tetraphenyl-1,3-bis (2-aminophenyl) disiloxane, 1,1,3,3, -tetraphenyl-1,3-bis (3-aminopropyl) disiloxane 1,1,5,5, -tetraphenyl-3,3-dimethyl-1,5-bis (3-aminopropyl) trisiloxane, 1,1,5,5, -tetraphenyl-3,3-dimethoxy -1,5-bis (3-aminobutyl) trisiloxy Sun 1,1,5,5, -tetraphenyl-3,3-dimethoxy-1,5-bis (3-aminopentyl) trisiloxane, 1,1,3,3, -tetramethyl-1,3- Bis (2-aminoethyl) disiloxane, 1,1,3,3-tetramethyl-1,3-bis (3-aminopropyl) disiloxane, 1,1,3,3, -tetramethyl-1, 3-bis (4-aminobutyl) disiloxane, 1,3-dimethyl-1,3-dimethoxy-1,3-bis (4-aminobutyl) disiloxane, 1,1,5,5, -tetramethyl- 3,3-dimethoxy-1,5-bis (2-aminoethyl) trisiloxane, 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-dimethoxy-1,5-bis (4-aminobutyl) trisiloxane Siloxane, 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-dimeth Xyl-1,5-bis (5-aminopentyl) trisiloxane, 1,1,3,3,5,5-hexamethyl-1,5-bis (3-aminopropyl) trisiloxane, 1,1,3 3,5,5-hexaethyl-1,5-bis (3-aminopropyl) trisiloxane, 1,1,3,3,5,5-hexapropyl-1,5-bis (3-aminopropyl) trisiloxane , Etc. Further, as relatively easily available diamines having a structure represented by the general formula (6), KF-8010, X-22-161A, X-22-161B, X-22-manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 1660B-3, KF-8008, KF-8012, X-22-9362, and the like. The diamine having the structure represented by the general formulas (1) to (6) may be used alone or in combination of two or more.
表面aの耐熱性向上等を目的として、上記一般式(1)〜(6)で表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンと他のジアミンとを組み合わせて使用することも好ましく用いられる。他のジアミン成分としては、あらゆるジアミンを使用することが可能であり、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、ビス(3−アミノフェニル)スルフィド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スルホキシド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホキシド、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフォン、3,4’−ジアミノジフェニルスルフォン、3,3’−ジアミノジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,4’−ジアミノベンズアニリド、3,3’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−アミノフェニキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4−{4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ}フェニル]スルホン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニルなどを挙げることができる。 For the purpose of improving the heat resistance of the surface a, among the structures represented by the general formulas (1) to (6), it is also preferable to use a diamine having one or more structures in combination with another diamine. Used. As the other diamine component, any diamine can be used, and m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, bis (3-amino). Phenyl) sulfide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (3-aminophenyl) sulfoxide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfoxide, Bis (3-aminophenyl) sulfone, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) sulfone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3, 3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-di Minodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (Aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenylthioether, 3,4′-diamino Diphenylthioether, 3,3'-diaminodiphenylthioether, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfur 3,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,4'-diaminobenzanilide, 3,3'-diaminobenzanilide, 4, 4'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminobenzophenone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) ) Phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 2,2-bis [4- (3-aminophenyl) Enoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,2-bis [3- (3-Aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3 3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4′-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4, 4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3- Minophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,4-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-Aminophenoxy) benzoyl] benzene, 4,4′-bis [3- (4-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4′-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] ben Phenone, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, bis [4- {4- (4-aminophenoxy) phenoxy} phenyl] sulfone, 1,4 -Bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 3,3′- Examples thereof include dihydroxy-4,4′-diaminobiphenyl.
ここで、原料の入手の容易さや無電解めっき皮膜との密着といった観点から、上記一般式(1)〜(6)で表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンの中でも、下記一般式(6)で表される構造を有するジアミンが含まれることが好ましい。 Here, from the viewpoint of easy availability of raw materials and adhesion with the electroless plating film, among the diamines having one or more structures among the structures represented by the general formulas (1) to (6), the following It is preferable that the diamine which has a structure represented by General formula (6) is contained.
(式中、R1およびR3は、それぞれ独立して、CXH2Xで表される2価のアルキレン基、または2価の芳香族基を表す。また、R4は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ独立して、アルキル基、フェニル基、アルコキシ基、またはフェノキシ基を表す。x=3〜10、さらに、mは1〜200の整数である。)。 (In the formula, R 1 and R 3 each independently represent a divalent alkylene group represented by C X H 2X or a divalent aromatic group. R 4 may be the same or different. And each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkoxy group, or a phenoxy group, where x = 3 to 10, and m is an integer of 1 to 200.
上記一般式(1)〜(6)で表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンは、全ジアミン成分に対して2〜100モル%が好ましく、より好ましくは5〜100モル%である。上記一般式(1)〜(6)で表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンが、全ジアミン成分に対して2モル%より少ない場合、表面aと無電解めっき皮膜との接着強度が低くなる場合がある。 Among the structures represented by the general formulas (1) to (6), the diamine having one or more structures is preferably 2 to 100 mol%, more preferably 5 to 100 mol%, based on the total diamine component. It is. When the diamine having one or more structures among the structures represented by the general formulas (1) to (6) is less than 2 mol% with respect to the total diamine component, the surface a and the electroless plating film Adhesive strength may be lowered.
前記ポリイミドは、対応する前駆体ポリアミド酸を脱水閉環して得られる。ポリアミド酸は、酸二無水物成分とジアミン成分とを実質的に等モル反応させて得られる。 The polyimide is obtained by dehydrating and ring-closing the corresponding precursor polyamic acid. The polyamic acid is obtained by reacting an acid dianhydride component and a diamine component in substantially equimolar amounts.
反応の代表的な手順として、1種以上のジアミン成分を有機極性溶剤に溶解または分散させ、そののち1種以上の酸二無水物成分を添加し、ポリアミド酸溶液を得る方法があげられる。各モノマーの添加順序はとくに限定されず、酸二無水物成分を有機極性溶媒に先に加えておき、ジアミン成分を添加し、ポリアミド酸重合体の溶液としてもよいし、ジアミン成分を有機極性溶媒中に先に適量加えて、つぎに過剰の酸二無水物成分を加え、過剰量に相当するジアミン成分を加えて、ポリアミド酸重合体の溶液としてもよい。このほかにも、当業者に公知のさまざまな添加方法がある。具体的には下記の方法が挙げられる。 A typical procedure for the reaction is a method in which one or more diamine components are dissolved or dispersed in an organic polar solvent, and then one or more acid dianhydride components are added to obtain a polyamic acid solution. The order of addition of each monomer is not particularly limited, and the acid dianhydride component may be added to the organic polar solvent in advance, and the diamine component may be added to form a polyamic acid polymer solution, or the diamine component may be added to the organic polar solvent. A suitable amount of the acid dianhydride component may be added first, and then an excess amount of the dianhydride component may be added, and a diamine component corresponding to the excess amount may be added to form a polyamic acid polymer solution. There are various other addition methods known to those skilled in the art. Specifically, the following method is mentioned.
なお、ここでいう「溶解」とは、溶媒が溶質を完全に溶解する場合のほかに、溶質が溶媒中に均一に分散されて実質的に溶解しているのと同様の状態になる場合を含む。反応時間、反応温度は、とくに限定されない。
1)ジアミン成分を有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの酸二無水物成分を反応させて重合する方法。
2)酸二無水物成分とこれに対し過小モル量のジアミン成分とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において酸二無水物成分とジアミン成分が実質的に等モルとなるようにジアミン成分を用いて重合させる方法。
3)酸二無水物成分とこれに対し過剰モル量のジアミン成分とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いてここにジアミン成分を追加添加後、全工程において酸二無水物成分とジアミン成分が実質的に等モルとなるように酸二無水物成分を用いて重合する方法。
4)酸二無水物成分を有機極性溶媒中に溶解させた後、実質的に等モルとなるようにジアミン化合物成分を用いて重合させる方法。
5)実質的に等モルの酸二無水物成分とジアミン成分の混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法。
As used herein, “dissolution” refers to the case where the solute is uniformly dispersed in the solvent and substantially dissolved in addition to the case where the solvent completely dissolves the solute. Including. The reaction time and reaction temperature are not particularly limited.
1) A method in which a diamine component is dissolved in an organic polar solvent, and this is reacted with a substantially equimolar acid dianhydride component for polymerization.
2) An acid dianhydride component and a small molar amount of the diamine component are reacted with each other in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Then, the method of superposing | polymerizing using a diamine component so that an acid dianhydride component and a diamine component may become substantially equimolar in all the processes.
3) The acid dianhydride component is reacted with an excess molar amount of the diamine component in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, after the diamine component is additionally added, polymerization is performed using the acid dianhydride component so that the acid dianhydride component and the diamine component are substantially equimolar in all steps.
4) A method in which an acid dianhydride component is dissolved in an organic polar solvent and then polymerized using a diamine compound component so as to be substantially equimolar.
5) A method of polymerizing by reacting a substantially equimolar mixture of an acid dianhydride component and a diamine component in an organic polar solvent.
ポリアミド酸の重合反応に用いられる有機極性溶媒としては、たとえば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェノール、o−、m−またはp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフェノール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトンなどをあげることができる。さらに必要に応じて、これらの有機極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化水素とを組み合わせて用いることもできる。 Examples of the organic polar solvent used for the polyamic acid polymerization reaction include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, formamide solvents such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide, N, N- Acetamide solvents such as dimethylacetamide and N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, m- or p-cresol, xylenol, Examples thereof include phenol solvents such as halogenated phenols and catechols, hexamethylphosphoramide, and γ-butyrolactone. Further, if necessary, these organic polar solvents can be used in combination with an aromatic hydrocarbon such as xylene or toluene.
前記方法により得られたポリアミド酸溶液を、熱的または化学的方法により脱水閉環し、ポリイミドを得るが、ポリアミド酸溶液を熱処理して脱水する熱的方法、脱水剤を用いて脱水する化学的方法のいずれも用いることができる。また、減圧下で加熱してイミド化する方法も用いることができる。以下に各方法について説明する。 The polyamic acid solution obtained by the above method is dehydrated and cyclized by a thermal or chemical method to obtain a polyimide, and a thermal method in which the polyamic acid solution is subjected to heat treatment for dehydration, a chemical method for dehydration using a dehydrating agent. Any of these can be used. Moreover, the method of imidating by heating under reduced pressure can also be used. Each method will be described below.
熱的に脱水閉環する方法として、前記ポリアミド酸溶液を加熱処理によりイミド化反応を進行させると同時に、溶媒を蒸発させる方法を例示することができる。この方法により、固形のポリイミド樹脂を得ることができる。加熱の条件はとくに限定されないが、200℃以下の温度で1秒〜200分の時間の範囲で行なうことが好ましい。 As a method of thermally dehydrating and cyclizing, a method of evaporating the solvent at the same time that the polyamic acid solution is subjected to an imidation reaction by heat treatment can be exemplified. By this method, a solid polyimide resin can be obtained. The heating conditions are not particularly limited, but it is preferably performed at a temperature of 200 ° C. or lower for a time range of 1 second to 200 minutes.
また、化学的に脱水閉環する方法として、前記ポリアミド酸溶液に化学量論以上の脱水剤と触媒を加えることにより、脱水反応を起こし、有機溶媒を蒸発させる方法を例示することができる。これにより、固形のポリイミド樹脂を得ることができる。脱水剤としては、たとえば、無水酢酸などの脂肪族酸無水物、無水安息香酸などの芳香族酸無水物などがあげられる。また、触媒としては、たとえば、トリエチルアミンなどの脂肪族第3級アミン類、ジメチルアニリンなどの芳香族第3級アミン類、ピリジン、α−ピコリン、β−ピコリン、γ−ピコリン、イソキノリンなどの複素環式第3級アミン類などがあげられる。化学的に脱水閉環する際の条件は、100℃以下の温度が好ましく、有機溶媒の蒸発は、200℃以下の温度で約5分〜120分の時間の範囲で行なうことが好ましい。 Further, as a method of chemically dehydrating and cyclizing, a method of causing a dehydration reaction by adding a dehydrating agent and a catalyst having a stoichiometric amount or more to the polyamic acid solution and evaporating the organic solvent can be exemplified. Thereby, a solid polyimide resin can be obtained. Examples of the dehydrating agent include aliphatic acid anhydrides such as acetic anhydride and aromatic acid anhydrides such as benzoic anhydride. Examples of the catalyst include aliphatic tertiary amines such as triethylamine, aromatic tertiary amines such as dimethylaniline, and heterocyclic rings such as pyridine, α-picoline, β-picoline, γ-picoline, and isoquinoline. And tertiary amines of the formula. The conditions for chemically dehydrating and cyclizing are preferably 100 ° C. or less, and the organic solvent is preferably evaporated at a temperature of 200 ° C. or less for a period of about 5 minutes to 120 minutes.
また、ポリイミド樹脂を得るための別の方法として、前記の熱的または化学的に脱水閉環する方法において、溶媒の蒸発を行なわない方法もある。具体的には、熱的イミド化処理または脱水剤による化学的イミド化処理を行なって得られるポリイミド溶液を貧溶媒中に投入して、ポリイミド樹脂を析出させ、未反応モノマーを取り除いて精製、乾燥させ、固形のポリイミド樹脂を得る方法である。貧溶媒としては、溶媒とは良好に混合するがポリイミドは溶解しにくい性質のものを選択する。例示すると、アセトン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ベンゼン、メチルセロソルブ、メチルエチルケトンなどがあげられるが、これらに限定されない。 Further, as another method for obtaining a polyimide resin, there is a method in which the solvent is not evaporated in the thermal or chemical dehydration ring closure method. Specifically, a polyimide solution obtained by performing a thermal imidization treatment or a chemical imidization treatment with a dehydrating agent is put into a poor solvent, a polyimide resin is precipitated, and unreacted monomers are removed and purified and dried. And obtaining a solid polyimide resin. As the poor solvent, a solvent that is well mixed with the solvent but is difficult to dissolve polyimide is selected. Illustrative examples include, but are not limited to, acetone, methanol, ethanol, isopropanol, benzene, methyl cellosolve, methyl ethyl ketone, and the like.
つぎに、減圧下で加熱してイミド化する方法であるが、このイミド化の方法によれば、イミド化によって生成する水を積極的に系外に除去できるので、ポリアミド酸の加水分解を抑えることが可能であり、高分子量のポリイミドが得られる。また、この方法によれば、原料の酸二無水物中に不純物として存在する片側または両側開環物が再閉環するので、より一層の分子量の向上効果が期待できる。 Next, although it is the method of imidating by heating under reduced pressure, according to this imidization method, water generated by imidization can be actively removed out of the system, so that hydrolysis of polyamic acid is suppressed. And a high molecular weight polyimide is obtained. In addition, according to this method, one-sided or both-side ring-opened products existing as impurities in the raw acid dianhydride are closed again, so that a further improvement in molecular weight can be expected.
減圧下で加熱イミド化する方法の加熱条件は、80〜400℃が好ましいが、イミド化が効率よく行なわれ、しかも水が効率よく除かれる100℃以上がより好ましく、さらに好ましくは120℃以上である。最高温度は目的とするポリイミドの熱分解温度以下が好ましく、通常のイミド化の完結温度、すなわち150〜350℃程度が通常適用される。 The heating condition of the method of heating imidization under reduced pressure is preferably 80 to 400 ° C., more preferably 100 ° C. or more, more preferably 120 ° C. or more, in which imidization is efficiently performed and water is efficiently removed. is there. The maximum temperature is preferably equal to or lower than the thermal decomposition temperature of the target polyimide, and a normal imidization completion temperature, that is, about 150 to 350 ° C. is usually applied.
減圧する圧力の条件は、小さいほうが好ましいが、具体的には、9×104〜1×102Pa、好ましくは8×104〜1×102Pa、より好ましくは7×104〜1×102Paである。 The conditions for pressure reduction are preferably smaller, but specifically, 9 × 10 4 to 1 × 10 2 Pa, preferably 8 × 10 4 to 1 × 10 2 Pa, more preferably 7 × 10 4 to 1. × 10 2 Pa.
以上、ポリイミド樹脂について説明したが、市販の上記一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリイミド樹脂も用いてもよい。本発明の無電解めっき用材料に用いることができる、比較的入手しやすい上記一般式(6)を含むポリイミド樹脂の例として、信越化学工業株式会社製のX−22−8917、X−22−8904、X−22−8951、X−22−8956、X−22−8984、X−22−8985、等を挙げることができる。尚、これらはポリイミド溶液である。 Although the polyimide resin has been described above, a polyimide resin having one or more structures among the structures represented by any one of the above-described general formulas (1) to (6) may be used. As an example of the polyimide resin containing the said general formula (6) which can be used for the electroless-plating material of this invention and is comparatively easily available, X-22-8917, X-22- by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 8904, X-22-8951, X-22-8756, X-22-8984, X-22-8985, and the like. These are polyimide solutions.
(ポリアミドイミド樹脂)
次に、一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するポリアミドイミド樹脂について説明する。
(Polyamideimide resin)
Next, the polyamideimide resin having one or more structures among the structures represented by any one of the general formulas (1) to (6) will be described.
ポリアミドイミド樹脂の場合は、上述のポリイミド樹脂の場合において、酸二無水物ではなく、トリカルボン酸若しくはその反応性誘導体成分を用いることにより合成することができる。よって以下、トリカルボン酸若しくはその反応性誘導体成分について説明する。 In the case of the polyamideimide resin, it can be synthesized by using tricarboxylic acid or a reactive derivative component thereof instead of the acid dianhydride in the case of the polyimide resin described above. Therefore, tricarboxylic acid or its reactive derivative component will be described below.
トリカルボン酸としては特に限定はなく、トリメリット酸、3,3,4´−ベンゾフェノントリカルボン酸、2,3,4´−ジフェニルトリカルボン酸、2,3,6−ピリジントリカルボン酸、3,4,4´−ベンズアニリドトリカルボン酸、1,4,5−ナフタリントリカルボン酸、2−メトキシ−3,4,4´−ジフェニルエーテルトリカルボン酸、2´−クロロベンズアニリド−3,4,4´−トリカルボン酸、等を挙げることができる。また、トリカルボン酸の反応性誘導体とは、前記トリカルボン酸の無水物、ハライド、エステル、アミド、アンモニウム塩等を意味する。これらの例としては、トリメリット酸無水物、トリメリット酸モノクロライド、1,4−ジカルボキシ−3−N,N−ジメチルカルバモイルベンゼン、1,4−ジカルボメトキシ−3−カルボキシベンゼン、1,4−ジカルボキシ−3−カルボフェノキシベンゼン、2,6−ジカルボキシ−3−カルボメトキシピリジン、1,6−ジカルボキシ−5−カルバモイルナフタリン、上記トリカルボン酸類とアンモニア、ジメチルアミン、トリエチルアミン等からなるアンモニウム塩、等が挙げられる。これらのうち、トリメリット酸無水物、トリメリット酸モノクロライドは、得られるポリアミドイミド樹脂の無電解めっき皮膜との接着性が良く、また入手が容易で廉価であるため好ましく用いることができる。
上記トリカルボン酸若しくはその反応性誘導体は1種のみで用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いることも可能である。
ジアミン成分は、上述のポリイミド樹脂で記載したジアミン成分を用いればよい。
There is no limitation in particular as a tricarboxylic acid, Trimellitic acid, 3,3,4'-benzophenone tricarboxylic acid, 2,3,4'-diphenyltricarboxylic acid, 2,3,6-pyridinetricarboxylic acid, 3,4,4 '-Benzanilide tricarboxylic acid, 1,4,5-naphthalene tricarboxylic acid, 2-methoxy-3,4,4'-diphenyl ether tricarboxylic acid, 2'-chlorobenzanilide-3,4,4'-tricarboxylic acid, etc. Can be mentioned. The reactive derivative of tricarboxylic acid means an anhydride, halide, ester, amide, ammonium salt, or the like of the tricarboxylic acid. Examples of these include trimellitic anhydride, trimellitic acid monochloride, 1,4-dicarboxy-3-N, N-dimethylcarbamoylbenzene, 1,4-dicarbomethoxy-3-carboxybenzene, 1, 4-dicarboxy-3-carbophenoxybenzene, 2,6-dicarboxy-3-carbomethoxypyridine, 1,6-dicarboxy-5-carbamoylnaphthalene, ammonium comprising the above tricarboxylic acids and ammonia, dimethylamine, triethylamine, etc. Salt, and the like. Of these, trimellitic acid anhydride and trimellitic acid monochloride are preferable because they have good adhesion to the electroless plating film of the resulting polyamideimide resin, are easily available, and are inexpensive.
The said tricarboxylic acid or its reactive derivative may be used only by 1 type, and can also be used in combination of 2 or more type.
What is necessary is just to use the diamine component described with the above-mentioned polyimide resin for a diamine component.
本発明において、ポリアミドイミドの製造方法としては、イソシアネート法(たとえば,特公昭44−19274号公報)、酸クロライド法(たとえば特公昭42−15637号公報)、直接重縮合法(たとえば特公昭49−4077号公報)、溶融重縮合法(たとえば特公昭40−8910号公報)等既知の製造法により重縮合させて得ることができるが、コスト、原料調達が比較的容易なこと、容易に高分子量体が得られること、及び得られた重合体の有機溶媒への溶解性等を考慮すると、酸クロライド法と直接重縮合法が好ましく適用される。 In the present invention, the polyamideimide is produced by an isocyanate method (for example, Japanese Patent Publication No. 44-19274), an acid chloride method (for example, Japanese Patent Publication No. 42-15637), or a direct polycondensation method (for example, Japanese Patent Publication No. 49-49). 4077) and melt polycondensation methods (for example, Japanese Examined Patent Publication No. 40-8910) can be obtained by polycondensation, but cost, raw material procurement is relatively easy, and high molecular weight is easily obtained. In view of obtaining a polymer and solubility of the obtained polymer in an organic solvent, the acid chloride method and the direct polycondensation method are preferably applied.
以下、酸クロライド法について次に説明する。
実質的に当量のジアミン成分と、トリカルボン酸無水物モノクロライドとを、非反応性極性有機溶媒中で−50℃〜100℃、好ましくは−20℃〜50℃で数分間から数日間反応させることにより,ポリアミドイミド前駆体を中間体として得る。このとき、無機酸受容剤を反応途中から加えてもよい。この無機酸受容剤としては、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリアミルアミン、ピリジン等の第3級アミン、プロピレンオキサイド、スチレンオキサイド、シクロヘキセンオキサイド等の1,2−エポキサイドなどである。また、非反応性有機溶媒としてはN,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、クレゾール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテルなどであり、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジエチレングリコールジメチルエーテルが好ましく、ジエチレングリコールジメチルエーテル、N,N−ジメチルアセトアミドとN−メチル−2−ピロリドンが好ましい。次いで、このポリアミドイミド前駆体からポリアミドイミドを得るには,脱水環化法を用いればよい。脱水環化法としては,(1)一度,重合体を単離したのち熱により環化する方法,(2)溶液状態で熱により環化する方法,および(3)溶液状態で化学的脱水剤により環化する方法がある。
Hereinafter, the acid chloride method will be described.
Reacting substantially equivalent diamine component and tricarboxylic anhydride monochloride in a non-reactive polar organic solvent at -50 ° C to 100 ° C, preferably -20 ° C to 50 ° C for several minutes to several days. Thus, a polyamideimide precursor is obtained as an intermediate. At this time, an inorganic acid acceptor may be added during the reaction. Examples of the inorganic acid acceptor include tertiary amines such as triethylamine, tripropylamine, tributylamine, triamylamine, and pyridine, and 1,2-epoxides such as propylene oxide, styrene oxide, and cyclohexene oxide. Non-reactive organic solvents include N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, cresol, diethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, tetraethylene glycol dimethyl ether, and the like. , N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone and diethylene glycol dimethyl ether are preferred, and diethylene glycol dimethyl ether, N, N-dimethylacetamide and N-methyl-2-pyrrolidone are preferred. Next, in order to obtain polyamideimide from this polyamideimide precursor, a dehydration cyclization method may be used. The dehydration cyclization method includes (1) a method in which a polymer is once isolated and then cyclized by heat, (2) a method in which the polymer is cyclized by heat, and (3) a chemical dehydrating agent in the solution state. There is a method of cyclization.
(1)については加熱温度が100〜400℃で加熱するのが好ましい。さらに詳しくは、得られた反応液を、反応溶媒に相溶性であって、樹脂に対して貧溶媒である溶剤の大過剰に注いで、樹脂を単離したのち、100〜400℃に加熱するか、得られた反応液を所望の厚さに流延したのち、溶媒を蒸発乾燥させ樹脂をファイル状に単離したのち100〜400℃に加熱することにより行なわれる。 About (1), it is preferable to heat at a heating temperature of 100-400 degreeC. More specifically, the obtained reaction solution is compatible with the reaction solvent and poured into a large excess of a solvent that is a poor solvent for the resin, and the resin is isolated and then heated to 100 to 400 ° C. Alternatively, the obtained reaction solution is cast to a desired thickness, the solvent is evaporated to dryness, the resin is isolated in a file shape, and then heated to 100 to 400 ° C.
(2)の方法においては80〜400℃、好ましくは100〜250℃に溶液を加熱することによつて行われる。この時、ベンゼン、トルエン、キシレンのような水と共沸する溶媒を併用するのが好ましい。 The method (2) is carried out by heating the solution to 80 to 400 ° C, preferably 100 to 250 ° C. At this time, it is preferable to use a solvent azeotropically with water such as benzene, toluene and xylene.
(3)の方法は化学的脱水剤の存在下0〜120℃、好ましくは10〜80℃で反応させる。化学的脱水剤としては酢酸、プロピオン酸、酪酸、安息香酸等の酸無水物等があり、この時、環化反応を促進する物質としてピリジン等を併用することが好ましい。化学的脱水剤はジアミンの総量に対して好ましくは90〜600モル%使用される。環化反応を促進する物質はジアミンの総量に対して好ましくは40〜300モル%使用される。 In the method (3), the reaction is carried out at 0 to 120 ° C, preferably 10 to 80 ° C in the presence of a chemical dehydrating agent. Examples of the chemical dehydrating agent include acid anhydrides such as acetic acid, propionic acid, butyric acid, and benzoic acid. At this time, it is preferable to use pyridine or the like as a substance that promotes the cyclization reaction. The chemical dehydrating agent is preferably used in an amount of 90 to 600 mol% based on the total amount of diamine. The substance that promotes the cyclization reaction is preferably used in an amount of 40 to 300 mol% based on the total amount of diamine.
次に、直接重縮合法について次に説明する。
実質的に当量の、一般式(1)〜(6)のいずれかで表される構造のうち、1つ以上の構造を有するジアミンを含むジアミン成分と、トリカルボン酸若しくはその反応性誘導体(ただし酸ハライド誘導体は除く)とを、非反応性極性有機溶媒中で160〜350℃、好ましくは200〜270℃で反応させる。
Next, the direct polycondensation method will be described next.
Of substantially equivalent structures represented by any one of the general formulas (1) to (6), a diamine component containing a diamine having one or more structures, and a tricarboxylic acid or a reactive derivative thereof (however, an acid) (Except for halide derivatives) in a non-reactive polar organic solvent at 160 to 350 ° C., preferably 200 to 270 ° C.
脱水触媒としては、トリフエニルホスフアイト、トリシクロヘキシルホスフアイト、リン酸、トリフエニルホスフエート、五酸化リン等のリン化合物及びホウ酸、無水ホウ酸などがあげられる。非反応性有機溶媒としてはN−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、N−メチル−カプロラクタム、クレゾール、キシレノール、クロロフエノール等が例示できる。特にN−メチル−2−ピロリドンが好ましい。 Examples of the dehydration catalyst include triphenyl phosphite, tricyclohexyl phosphite, phosphoric acid, triphenyl phosphite, phosphorus compounds such as phosphorus pentoxide, boric acid, boric anhydride, and the like. Non-reactive organic solvents include N-methyl-2-pyrrolidone, N-ethyl-2-pyrrolidone, N-methyl-caprolactam, cresol, xylenol, chlorophenol and the like. N-methyl-2-pyrrolidone is particularly preferable.
以上のようにして得られた反応液を、メタノール等の低級アルコール、水等の上記有機溶剤と相溶性であって、樹脂に対して貧溶媒である溶剤の大過剰に注いで、沈殿物を得、これをろ別し、乾燥することによって、本発明に係るポリアミドイミド樹脂を回収することができる。 The reaction solution obtained as described above is compatible with the above organic solvent such as lower alcohol such as methanol and water, and poured into a large excess of a solvent that is a poor solvent for the resin, The polyamideimide resin according to the present invention can be recovered by obtaining, filtering, and drying.
((B)フィラー成分)
本発明において、(B)フィラー成分は、無電解めっきを施す前の前処理、特にはデスミア処理時において表面aを、カットオフ値0.002mmで測定した算術平均粗さRaで0.4μm以下に粗化することを主な目的として用いられる。
((B) filler component)
In the present invention, the filler component (B) is 0.4 μm or less in arithmetic average roughness Ra measured at a cut-off value of 0.002 mm on the surface a during pre-treatment before electroless plating, particularly desmear treatment. It is used as the main purpose of roughening.
本発明に用いることができるフィラー成分としては、特に限定はなく、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、微粉状シリカ、フュームドシリカ、合成シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、雲母粉、等の無機フィラーや、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂などの有機フィラーを挙げることができる。 The filler component that can be used in the present invention is not particularly limited, and barium sulfate, barium titanate, finely divided silica, fumed silica, synthetic silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, hydroxide Examples thereof include inorganic fillers such as aluminum and mica powder, and organic fillers such as epoxy resins, phenol resins, benzoguanamine resins, polyimide resins, acrylic resins, and silicone resins.
上記のように、表面aをカットオフ値0.002mmで測定した算術平均粗さRaで0.4μm以下に粗化するためには、用いるフィラー成分の比表面積は20g/m2以上600g/m2以下が好ましく、25g/m2以上550g/m2以下であることが特に好ましい。比表面積が20g/m2未満の場合は、表面粗度が大きくなりすぎて微細配線形成性を損なう。また、600g/m2以上であるとフィラーが凝集しやすくなり、表面粗度が大きくなりすぎて微細配線形成性を損なう。 As described above, in order to roughen the surface a to 0.4 μm or less with the arithmetic average roughness Ra measured at a cutoff value of 0.002 mm, the specific surface area of the filler component used is 20 g / m 2 or more and 600 g / m. 2 or less is preferable, and 25 g / m 2 or more and 550 g / m 2 or less is particularly preferable. When the specific surface area is less than 20 g / m 2 , the surface roughness becomes too high and the fine wiring formability is impaired. On the other hand, if it is 600 g / m 2 or more, the filler tends to agglomerate, the surface roughness becomes too large, and the fine wiring formability is impaired.
また、本発明に用いるフィラーは、微細配線形成性を考慮すると平均粒径は0.3μm以下であることが好ましい。 In addition, the filler used in the present invention preferably has an average particle size of 0.3 μm or less in consideration of the fine wiring formability.
無電解めっきの前処理で形成される粗化表面を、より均一に粗化するという目的を達成するためには、無機フィラーが好ましく用いられ、その中でも微粉状シリカ、フュームドシリカ、合成シリカ、等の無機フィラーがより好ましく用いられ、微粉状シリカ、フュームドシリカがさらに好ましく用いられ、フュームドシリカが特に好ましく用いられる。 In order to achieve the purpose of more uniformly roughening the roughened surface formed by the pretreatment of electroless plating, inorganic fillers are preferably used, among which finely divided silica, fumed silica, synthetic silica, More preferably, inorganic fillers such as finely divided silica and fumed silica are more preferably used, and fumed silica is particularly preferably used.
微粉状シリカとしては、具体的にはUFP(電気化学工業製、比表面積30〜80m2/g)、などを挙げることが出来る。 Specific examples of finely divided silica include UFP (manufactured by Denki Kagaku Kogyo, specific surface area of 30 to 80 m 2 / g).
フュームドシリカとしては、アエロジル(デグサ製)の各種グレード(比表面積50〜380m2/g)、等を挙げることが出来る。
弾性率を特定の範囲にコントロールする点、及び微細配線に好適でありながら、かつ、無電解めっきとの接着力が良い等の観点から、フュームドシリカは、本発明の好ましい態様の1つである。また、フュームドシリカは、優れた分散性を有するため、均一な粗化表面を得やすいという利点がある。
Examples of fumed silica include various grades of Aerosil (manufactured by Degussa) (specific surface area of 50 to 380 m 2 / g), and the like.
Fumed silica is one of the preferred embodiments of the present invention from the viewpoint that the elastic modulus is controlled within a specific range and that it is suitable for fine wiring and has good adhesion to electroless plating. is there. Moreover, since fumed silica has excellent dispersibility, it has an advantage that a uniform roughened surface can be easily obtained.
また同様に、無電解めっきの前処理で形成される粗化表面を、より均一に粗化するという目的を達成するためには、フィラー成分が全固形分中、5〜90重量%含有していることが好ましく、7〜85重量%含有していることが特に好ましい。フィラー成分が全固形分中、5重量%未満の場合は、無電解めっきの前処理で形成される粗化表面が不均一となり、十分なアンカー効果が得られず、無電解めっき皮膜が膨れやすくなり、また、90重量%よりも多い場合は、フィラーが凝集しやすくなり、均一な微細粗化表面を得ることができなくなる。 Similarly, in order to achieve the purpose of more uniformly roughening the roughened surface formed by the pretreatment of electroless plating, the filler component is contained in an amount of 5 to 90% by weight in the total solid content. The content is preferably 7 to 85% by weight. When the filler component is less than 5% by weight in the total solid content, the roughened surface formed by the pretreatment of electroless plating becomes non-uniform, and sufficient anchoring effect cannot be obtained, and the electroless plating film tends to swell. In addition, when the amount is more than 90% by weight, the filler is likely to aggregate and a uniform fine roughened surface cannot be obtained.
(B)フィラー成分は、(A)樹脂組成物との親和性を高める、といった目的や、フィラー成分の凝集を抑える若しくは凝集をコントロールする、といった目的で、表面処理されていても良い。このような表面処理の方法は特に限定されるものではないが、公知の表面処理剤を用いて公知の条件で処理すればよい。 The (B) filler component may be surface-treated for the purpose of (A) increasing the affinity with the resin composition, or for suppressing or controlling the aggregation of the filler component. Such a surface treatment method is not particularly limited, but may be carried out under known conditions using a known surface treating agent.
上記表面処理剤として用いることのできる化合物としては、具体的には、例えば、シランカップリング剤やチタネート系カップリング剤等の各種カップリング剤、ステアリン酸等の脂肪酸、各種界面活性剤、各種樹脂酸、各種リン酸エステル等を用いることができる。 Specific examples of the compound that can be used as the surface treatment agent include various coupling agents such as silane coupling agents and titanate coupling agents, fatty acids such as stearic acid, various surfactants, and various resins. Acid, various phosphate esters, and the like can be used.
以上、本発明の無電解めっき用材料に使用される(A)樹脂組成物成分と(B)フィラー成分について述べてきたが、本発明の無電解めっき用材料は、(A)樹脂組成物成分として、一般式(6)の構造を有するポリイミド樹脂を含有し、また、(B)フィラー成分として、比表面積が20m2/g以上600m2/g以下のフュームドシリカを、全固形分中、5重量%〜90重量%含有していることが、無電解めっき皮膜の膨れを抑え、且つ無電解めっき皮膜との接着性に優れ、且つ耐熱性に優れ、さらには、微細配線形成性にも優れるため好ましい。 As mentioned above, (A) resin composition component and (B) filler component used for the electroless plating material of the present invention have been described, but the electroless plating material of the present invention is (A) resin composition component. As a polyimide resin having a structure of the general formula (6), and (B) fumed silica having a specific surface area of 20 m 2 / g or more and 600 m 2 / g or less as a filler component in the total solid content, 5 wt% to 90 wt% contained suppresses the swelling of the electroless plating film, is excellent in adhesion to the electroless plating film, is excellent in heat resistance, and further has a fine wiring formability. It is preferable because it is excellent.
<無電解めっき>
本発明にかかる無電解めっきについて説明する。
本発明に係る無電解めっきとしては、無電解銅めっき、無電解ニッケルめっき、無電解金めっき、無電解銀めっき、無電解錫めっき、ダイレクトプレーティング等を挙げる事ができ本発明に使用可能であるが、工業的観点、耐マイグレーション性等の電気特性の観点より、無電解銅めっき、無電解ニッケルめっきが好ましく、特に好ましくは無電解銅めっきである。
<Electroless plating>
The electroless plating according to the present invention will be described.
Examples of the electroless plating according to the present invention include electroless copper plating, electroless nickel plating, electroless gold plating, electroless silver plating, electroless tin plating, and direct plating. However, electroless copper plating and electroless nickel plating are preferable from the viewpoint of electrical characteristics such as industrial viewpoint and migration resistance, and electroless copper plating is particularly preferable.
本発明の無電解めっき用材料は、一般に市販されている無電解銅めっき薬液を適用可能である。また、多少使用した建浴老化後の無電解銅めっき薬液を用いた場合、一般的に無電解銅めっき皮膜が膨れやすくなるが、本発明の無電解銅めっき材料を用いれば、微細配線形成を阻害しない程度の表面粗度を生じさせるフィラーを使用し、且つ弾性率を特定範囲とすることで、無電解めっき皮膜の膨れを生じさせず、良好な密着を示す。
尚、薬液の老化の程度は、無電解銅めっき薬液の比重を調べることにより知ることができる。
As the electroless plating material of the present invention, a commercially available electroless copper plating chemical can be applied. In addition, when the electroless copper plating chemical solution after aging is used somewhat, the electroless copper plating film generally tends to swell, but if the electroless copper plating material of the present invention is used, the formation of fine wiring is possible. By using a filler that generates a surface roughness that does not hinder and having an elastic modulus within a specific range, the electroless plating film does not swell and exhibits good adhesion.
The degree of chemical solution aging can be determined by examining the specific gravity of the electroless copper plating chemical solution.
形成する無電解めっき皮膜の厚みには特に制限はないが、生産性の観点から、0.1〜5μmが好ましく、0.2〜3μmがより好ましい。 Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of the electroless-plating film | membrane to form, From a viewpoint of productivity, 0.1-5 micrometers is preferable and 0.2-3 micrometers is more preferable.
(積層体)
本発明の積層体は、繊維と樹脂との複合体(a)の少なくとも片面に、金属めっき層を形成するための樹脂層(b)を有することを特徴とする。その構成は、(a)/(b)でも良いし、(b)/(a)/(b)でも良いし、(a)/樹脂層(c)/(b)でも良く、また、(a)/樹脂層(c)/高分子フィルム/(b)でも良く、(a)と(b)を含みさえすればどのような構成でも良い。
(Laminate)
The laminate of the present invention is characterized by having a resin layer (b) for forming a metal plating layer on at least one side of a composite of fiber and resin (a). The structure may be (a) / (b), (b) / (a) / (b), (a) / resin layer (c) / (b), or (a ) / Resin layer (c) / polymer film / (b), or any structure as long as it includes (a) and (b).
本発明の積層体を用いたプリント配線板としては、例えば、本発明の積層体に配線形成を施すことで、片面若しくは両面プリント配線板を得ることができる。また、該、片面若しくは両面プリント配線板をコア基板として、ビルドアップ配線板を得ることもできる。さらに、本発明の積層体をビルドアップ材として用いることで、ビルドアップ配線板を得ることも可能である。本発明の積層体は微細配線形成性に優れるため、その他の各種高密度プリント配線板にも好ましく適用可能である。 As a printed wiring board using the laminated body of the present invention, for example, a single-sided or double-sided printed wiring board can be obtained by performing wiring formation on the laminated body of the present invention. Also, a build-up wiring board can be obtained using the single-sided or double-sided printed wiring board as a core substrate. Furthermore, it is also possible to obtain a buildup wiring board by using the laminate of the present invention as a buildup material. Since the laminate of the present invention is excellent in fine wiring formability, it can be preferably applied to other various high-density printed wiring boards.
本発明の繊維と樹脂との複合体(a)は、あらゆる繊維、樹脂の組み合わせが可能であり、例えば、上記樹脂は、熱可塑性樹脂のみからなる樹脂であっても良いし、熱硬化性成分のみからなる樹脂であっても良いし、また、熱可塑性樹脂及び熱硬化性成分からなる樹脂であっても良い。この中でも、Bステージ、若しくはCステージの繊維と樹脂との複合体(a)を得るためには、本発明の複合体(a)に用いられる樹脂は熱硬化性成分を含むことが好ましい。ここで、Bステージとは、半硬化状態ともいわれ、繊維と樹脂との複合体(a)に用いられる熱硬化性成分の反応の中間的な段階であって、(a)は加熱により軟化するが、ある種の液体に接触しても完全には溶融や溶解をしない段階である。よって、繊維と樹脂との複合体(a)がBステージである場合、本発明の積層体は加熱加工により軟化し、内層回路を埋め込むことが可能となるため、ビルドアップ材として好ましく使用することができる。 The fiber and resin composite (a) of the present invention can be any combination of fibers and resins. For example, the resin may be a resin composed of only a thermoplastic resin, or a thermosetting component. It may be a resin composed of only a resin, or may be a resin composed of a thermoplastic resin and a thermosetting component. Among these, in order to obtain a composite (a) of B-stage or C-stage fibers and resin, the resin used for the composite (a) of the present invention preferably contains a thermosetting component. Here, the B stage is also referred to as a semi-cured state, and is an intermediate stage of the reaction of the thermosetting component used in the composite of fiber and resin (a), and (a) is softened by heating. However, even if it contacts with a certain kind of liquid, it does not melt or dissolve completely. Therefore, when the composite of fiber and resin (a) is a B stage, the laminate of the present invention is softened by heat processing and can embed an inner layer circuit, and therefore preferably used as a build-up material. Can do.
また、Cステージとは、繊維と樹脂との複合体(a)に用いられる熱硬化性成分が実質的に硬化し、不溶不融の状態にある段階である。よって、繊維と樹脂との複合体(a)がCステージである場合、そのまま金属層を形成し、パターニングすることでプリント配線板を得ることができることになる。 The C stage is a stage in which the thermosetting component used in the composite of fiber and resin (a) is substantially cured and insoluble and infusible. Therefore, when the composite (a) of fiber and resin is a C stage, a printed wiring board can be obtained by forming a metal layer as it is and patterning it.
上記の積層体の構成物である、金属めっき層を形成するための樹脂層(b)は、金属めっき層との接着性の観点から、シロキサン構造を有するポリイミド樹脂を含むことが好ましい。 The resin layer (b) for forming a metal plating layer, which is a constituent of the above laminate, preferably contains a polyimide resin having a siloxane structure from the viewpoint of adhesion to the metal plating layer.
上記の積層体は、いずれの構成であっても樹脂層(b)上に金属めっき層が形成されている状態であっても良い。 The laminated body may have any configuration, and a state in which a metal plating layer is formed on the resin layer (b).
本発明の積層体は平滑な樹脂層(b)上に強固に金属めっき層を形成することが可能である。よって、設計どおりに微細配線形成を行うことが可能となる。ここで、良好な微細配線形成性を有するために、樹脂層(b)の表面粗さは、カットオフ値0.002mmで測定した算術平均粗さRaで0.5μm未満であることが好ましい。算術平均粗さRaとは、JIS B 0601(平成6年2月1日改正版)に定義されている。特に本発明の算術平均粗さRaの数値は、光干渉式の表面構造解析装置で表面を観察により求められた数値を示す。本発明のカットオフ値とは、上記JIS B 0601に記載されているが、断面曲線(実測データ)から粗さ曲線を得る際に設定する波長を示す。即ち、カットオフ値が0.002mmで測定した値Raとは、実測データから0.002mmよりも長い波長を有する凹凸を除去した粗さ曲線から算出された算術平均粗さである。 The laminate of the present invention can firmly form a metal plating layer on the smooth resin layer (b). Therefore, fine wiring can be formed as designed. Here, in order to have good fine wiring formability, the surface roughness of the resin layer (b) is preferably less than 0.5 μm in terms of arithmetic average roughness Ra measured at a cutoff value of 0.002 mm. Arithmetic mean roughness Ra is defined in JIS B 0601 (revised on February 1, 1994). In particular, the numerical value of the arithmetic average roughness Ra of the present invention is a numerical value obtained by observing the surface with an optical interference type surface structure analyzer. The cutoff value of the present invention is described in the above JIS B 0601, and indicates a wavelength set when a roughness curve is obtained from a cross-sectional curve (measured data). That is, the value Ra measured with a cut-off value of 0.002 mm is an arithmetic average roughness calculated from a roughness curve obtained by removing irregularities having a wavelength longer than 0.002 mm from measured data.
本発明の積層体の厚みに特に制限はないが、高密度プリント配線板への適用を考慮した場合には薄いほうが好ましい。具体的には2mm以下であることが好ましく、1mm以下であることがより好ましい。 Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of the laminated body of this invention, When the application to a high density printed wiring board is considered, the thinner one is preferable. Specifically, it is preferably 2 mm or less, and more preferably 1 mm or less.
(積層体の製造方法)
本発明の積層体の製造方法としては、当業者の考え得るいかなる方法を用いても構わない。ここで、本発明の積層体の構成物の1つである繊維と樹脂との複合体(a)がBステージである場合についてその製造方法を例示する。
(Laminate manufacturing method)
Any method conceivable by those skilled in the art may be used as a method for producing the laminate of the present invention. Here, the manufacturing method is illustrated about the case where the composite (a) of the fiber and resin which is one of the structures of the laminated body of this invention is a B stage.
繊維と樹脂との複合体(a)を形成する樹脂を適当な溶媒に溶解した樹脂溶液を、繊維に含浸、さらに加熱乾燥することにより得たBステージの繊維と樹脂との複合体(a)上に、樹脂層(b)を形成する樹脂を適当な溶媒に溶解した樹脂溶液を浸漬、スプレーによるコーティング、スピンコート、カーテンコート、バーコート等の公知の方法により塗布、さらに乾燥して得ることができる。このとき、乾燥はBステージを保つような条件で実施することが必須である。 A B-stage fiber / resin composite (a) obtained by impregnating a fiber with a resin solution in which a resin forming the fiber / resin composite (a) is dissolved in an appropriate solvent, and further drying by heating. A resin solution in which the resin forming the resin layer (b) is dissolved in an appropriate solvent is applied by a known method such as dipping, spray coating, spin coating, curtain coating, bar coating, and drying. Can do. At this time, it is essential to carry out the drying under conditions that maintain the B stage.
また、フィルム状に成形した樹脂層(b)/Bステージの繊維と樹脂との複合体(a)とを重ねあわせ、熱プレス、真空プレス、ラミネート(熱ラミネート)、真空ラミネート、熱ロールラミネート、真空熱ロールラミネート等の熱圧着等により積層一体化して得ることができる。この場合も積層一体化はBステージを保つような条件で実施することが必須である。 Also, the resin layer (b) / B-stage fiber / resin composite (a) formed into a film is overlaid, hot press, vacuum press, laminate (heat laminate), vacuum laminate, hot roll laminate, It can be obtained by laminating and integrating by thermocompression bonding such as vacuum hot roll lamination. In this case as well, it is essential to carry out the lamination and integration under the condition that the B stage is maintained.
次に、本発明の積層体の構成物の1つである繊維と樹脂との複合体(a)がCステージである場合についてその製造方法を例示する。繊維と樹脂との複合体(a)を形成する樹脂を適当な溶媒に溶解した樹脂溶液を、繊維に含浸、さらに加熱乾燥することにより得たBステージの繊維と樹脂との複合体(a)上に、樹脂層(b)を形成する樹脂を適当な溶媒に溶解した樹脂溶液を浸漬、スプレーによるコーティング、スピンコート、カーテンコート、バーコート等の公知の方法により塗布、さらに乾燥して得ることができる。このとき、乾燥はCステージまで硬化が進むような条件で実施することが必須である。上記で、予めCステージの繊維と樹脂との複合体(a)を用いることもできる。 Next, the manufacturing method is illustrated about the case where the composite (a) of the fiber and resin which is one of the structures of the laminated body of this invention is a C stage. A B-stage fiber / resin composite (a) obtained by impregnating a fiber with a resin solution in which a resin forming the fiber / resin composite (a) is dissolved in an appropriate solvent, and further drying by heating. A resin solution in which the resin forming the resin layer (b) is dissolved in an appropriate solvent is applied by a known method such as dipping, spray coating, spin coating, curtain coating, bar coating, and drying. Can do. At this time, it is essential to carry out the drying under conditions such that the curing proceeds to the C stage. In the above, a composite (a) of C-stage fibers and resin can be used in advance.
また、フィルム状に成形した樹脂層(b)/Bステージの繊維と樹脂との複合体(a)とを重ねあわせ、熱プレス、真空プレス、ラミネート(熱ラミネート)、真空ラミネート、熱ロールラミネート、真空熱ロールラミネート等の熱圧着等により積層一体化して得ることができる。この場合も積層一体化はCステージまで硬化が進むような条件で実施することが必須である。上記で、予めCステージの繊維と樹脂との複合体(a)を用いることもできる。 Also, the resin layer (b) / B-stage fiber / resin composite (a) formed into a film is overlaid, hot press, vacuum press, laminate (heat laminate), vacuum laminate, hot roll laminate, It can be obtained by laminating and integrating by thermocompression bonding such as vacuum hot roll lamination. Also in this case, it is essential to carry out the lamination and integration under the condition that the curing proceeds to the C stage. In the above, a composite (a) of C-stage fibers and resin can be used in advance.
その他にも、市販されている銅張積層板の両面の銅箔をエッチング等の方法により除去し、その上に樹脂層(b)を形成することで、樹脂層(b)/Bステージの繊維と樹脂との複合体(a)なる積層体を得ることも可能である。 In addition, the copper foil on both sides of a commercially available copper-clad laminate is removed by a method such as etching, and a resin layer (b) is formed thereon, so that the resin layer (b) / B stage fibers It is also possible to obtain a laminate comprising a composite (a) of a resin and a resin.
積層一体化に関して説明する。積層一体化の際、フィルム状の樹脂層(b)には何らかの合紙が必要となるが、例えば該フィルムが支持体上に樹脂溶液を流延塗布・乾燥して作製されたフィルムであるならば、支持体ごと積層一体化し、その後支持体を剥離することで、支持体を合紙として使用することができる。支持体は、PETなどの各種樹脂フィルムや、アルミ箔、銅箔等の金属箔を用いることができる。別の方法として、支持体からフィルムを引き剥がし、繊維と樹脂との複合体(a)上に重ねあわせ、フッ素樹脂フィルムなどを合紙として用いて積層一体化することも可能である。いずれの場合も、合紙は樹脂層(b)から引き剥がせること、また、微細配線形成を損なうような凹凸をつけないために十分に平滑であることが重要である。上記方法で熱圧着により積層一体化した後、樹脂層(b)/繊維と樹脂との複合体(a)との界面の接着力を向上させることを目的として、熱風オーブンなどを用いて熱処理を行っても構わない。 The lamination integration will be described. At the time of lamination and integration, some interleaving paper is required for the film-like resin layer (b). For example, if the film is a film produced by casting and drying a resin solution on a support, For example, the support can be used as a slip sheet by laminating and integrating together with the support and then peeling the support. As the support, various resin films such as PET, and metal foils such as aluminum foil and copper foil can be used. As another method, it is also possible to peel the film from the support, superimpose it on the composite of fiber and resin (a), and laminate and integrate them using a fluororesin film or the like as interleaving paper. In any case, it is important that the interleaving paper can be peeled off from the resin layer (b), and is sufficiently smooth so as not to have irregularities that impair the formation of fine wiring. After stacking and integrating by thermocompression bonding according to the above method, heat treatment is performed using a hot air oven or the like for the purpose of improving the adhesive force at the interface between the resin layer (b) / fiber and resin composite (a). You can go.
このようにして得られた積層体に、無電解めっき等により金属めっき層を形成することで、金属めっき層/樹脂層(b)/繊維と樹脂との複合体(a)なる構成を含む積層体を得ることができる。金属めっき層の厚みを調整するために、無電解めっきを施した後、さらに電解めっきを施しても良い。また、無電解めっきを施す前に、デスミア処理などのアルカリ水溶液による処理を施すことは、樹脂層(b)表面を活性化し、金属めっき層と樹脂層(b)との接着力向上につながるため、好ましく実施可能である。 A laminate including the structure of metal plating layer / resin layer (b) / fiber / resin composite (a) is formed by forming a metal plating layer on the obtained laminate by electroless plating or the like. You can get a body. In order to adjust the thickness of the metal plating layer, after electroless plating, electrolytic plating may be further performed. In addition, applying an alkaline aqueous solution such as desmear treatment before electroless plating activates the surface of the resin layer (b) and leads to an improvement in the adhesion between the metal plating layer and the resin layer (b). Can be preferably implemented.
(プリント配線板)
本発明の積層体を用いたプリント配線板としては、例えば、本発明の積層体に配線形成を施すことで、片面若しくは両面プリント配線板を得ることができる。また、該プリント配線板をコア基板として、ビルドアップ配線板を得ることもできる。また、本発明の積層体をビルドアップ材として、ビルドアップ配線板を得ることも可能である。本発明の積層体は微細配線形成性に優れるため、その他の各種高密度プリント配線板にも好ましく適用可能である。
(Printed wiring board)
As a printed wiring board using the laminated body of the present invention, for example, a single-sided or double-sided printed wiring board can be obtained by performing wiring formation on the laminated body of the present invention. Also, a build-up wiring board can be obtained using the printed wiring board as a core substrate. Moreover, it is also possible to obtain a build-up wiring board using the laminate of the present invention as a build-up material. Since the laminate of the present invention is excellent in fine wiring formability, it can be preferably applied to other various high-density printed wiring boards.
本発明の、樹脂層(b)/Cステージの繊維と樹脂との複合体(a)からなる積層体を用いた片面若しくは両面プリント配線板の製造例を示す。 The manufacture example of the single-sided or double-sided printed wiring board using the laminated body which consists of the composite (a) of the fiber and resin of the resin layer (b) / C stage of this invention is shown.
(1)必要に応じて、ビアを形成する。
公知のドリルマシン、ドライプラズマ装置、炭酸ガスレーザー、UVレーザー、エキシマレーザー等を用いることができるが、UV−YAGレーザー、エキシマレーザーが小径特に50μm以下のビア形成の為に好ましく、特に好ましくは30μm以下である。また良好な形状のビアを形成でき、好ましい。言うまでも無くドリルマシンによる貫通スルーホールを形成した後、無電解めっきによるパネルめっきを行っても良い。また、穴あけ加工の後、過マンガン酸塩を用いるウェットプロセスやプラズマ等のドライデスミアなどの公知の技術でデスミアすることも可能である。
(1) Form vias as necessary.
Known drill machines, dry plasma devices, carbon dioxide lasers, UV lasers, excimer lasers, etc. can be used, but UV-YAG lasers and excimer lasers are preferable for forming vias having a small diameter, particularly 50 μm or less, particularly preferably 30 μm. It is as follows. Further, a via having a good shape can be formed, which is preferable. Needless to say, panel plating by electroless plating may be performed after a through-hole is formed by a drill machine. Further, after drilling, desmearing can be performed by a known technique such as a wet process using permanganate or dry desmear such as plasma.
(2)無電解めっきを行う。
無電解めっきの種類としては無電解銅めっき、無電解ニッケルめっき、無電解金めっき、無電解銀めっき、無電解錫めっき、等を挙げる事ができ本発明に使用可能であるが、工業的観点、耐マイグレーション性等の電気特性の観点より、無電解銅めっき、無電解ニッケルめっきが好ましく、特に好ましくは無電解銅めっきである。
(2) Perform electroless plating.
Examples of the electroless plating include electroless copper plating, electroless nickel plating, electroless gold plating, electroless silver plating, electroless tin plating, and the like. From the viewpoint of electrical properties such as migration resistance, electroless copper plating and electroless nickel plating are preferable, and electroless copper plating is particularly preferable.
(3)めっきレジストを形成する。
感光性めっきレジストとしては広く市販されている公知の材料を用いることができる。本発明のプリント配線板の製造方法では、微細配線化に対応するために50μmピッチ以下の解像度を有する感光性めっきレジストを用いることが好ましい。無論、本発明のプリント配線板の配線ピッチに、50μm以下のピッチを有する回路とそれ以上のピッチを有する回路が混在しても良い。
(3) A plating resist is formed.
As the photosensitive plating resist, known materials widely available on the market can be used. In the method for producing a printed wiring board of the present invention, it is preferable to use a photosensitive plating resist having a resolution of 50 μm pitch or less in order to cope with fine wiring. Of course, a circuit having a pitch of 50 μm or less and a circuit having a pitch higher than that may be mixed in the wiring pitch of the printed wiring board of the present invention.
(4)電解銅めっきによるパターンめっきを行う。
公知の多くの方法を適用することにより、レジストの形成されていない部分に電解銅パターンめっきを施す。具体的には電解銅めっき、電解はんだめっき、電解錫めっき、電解ニッケルめっき、電解金めっき等を挙げる事ができる。工業的観点、耐マイグレーション性等の電気特性の観点より、電解銅めっき、電解ニッケルめっきが好ましく、特に好ましくは電解銅めっきである。
(4) Perform pattern plating by electrolytic copper plating.
By applying many known methods, electrolytic copper pattern plating is applied to the portion where the resist is not formed. Specific examples include electrolytic copper plating, electrolytic solder plating, electrolytic tin plating, electrolytic nickel plating, and electrolytic gold plating. From the viewpoint of electrical characteristics such as industrial viewpoint and migration resistance, electrolytic copper plating and electrolytic nickel plating are preferable, and electrolytic copper plating is particularly preferable.
(5)レジスト剥離を行う。
レジスト剥離には、使用しためっきレジストの剥離に適した材料を使用することができ、特に制限はない。例えば、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液等を用いることができる。
(5) Strip resist.
For resist stripping, a material suitable for stripping the used plating resist can be used, and there is no particular limitation. For example, an aqueous sodium hydroxide solution or an aqueous potassium hydroxide solution can be used.
(6)無電解めっき層をクイックエッチングすることにより配線を形成する。
クイックエッチングには、公知のクイックエッチャントを用いることができる。例えば、硫酸・過酸化水素系エッチャント、過硫酸アンモニウム系エッチャント、過硫酸ナトリウム系エッチャントや希釈した塩化第二鉄系エッチャント、希釈した塩化第二銅系エッチャント等を好ましく用いることができる。
(6) A wiring is formed by quick etching the electroless plating layer.
A known quick etchant can be used for the quick etching. For example, a sulfuric acid / hydrogen peroxide-based etchant, an ammonium persulfate-based etchant, a sodium persulfate-based etchant, a diluted ferric chloride-based etchant, a diluted cupric chloride-based etchant, or the like can be preferably used.
上記の方法は、微細配線形成に適用される、いわゆるセミアディティブ工法であるが、本発明の積層体は該工法を好ましく適用できる。一方で、本発明の積層体は平滑表面に強固にめっき銅を形成することが可能であるため、樹脂の凹凸部にエッチング後の銅残りが発生するようなことがないため、レジストを形成したのち、不要な銅をエッチング除去して配線形成を行う、サブトラクティブ工法も適用することが可能である。サブトラクティブ工法は工程が少ないというメリットがある一方で、サイドエッチングによる配線形状不良等の問題を含んでいる。よって、形成する配線ピッチ、生産性、コスト等を考慮してサブトラクティブ工法、セミアディティブ工法を選択すればよい。 The above method is a so-called semi-additive method applied to fine wiring formation, but the method can be preferably applied to the laminate of the present invention. On the other hand, since the laminated body of the present invention can form plated copper firmly on a smooth surface, a copper residue after etching does not occur in the concavo-convex portion of the resin, so a resist was formed. After that, a subtractive method in which unnecessary copper is removed by etching to form a wiring can be applied. While the subtractive method has the advantage of fewer steps, it includes problems such as poor wiring shape due to side etching. Therefore, the subtractive method and the semi-additive method may be selected in consideration of the wiring pitch to be formed, productivity, cost, and the like.
上述のようにして作製したプリント配線板をコア基板とし、ビルドアップ配線板を作製することも可能である。この場合、コア基板自体に微細配線形成が可能であるため、より高密度なビルドアップ配線板を作製することが可能となる。 It is also possible to produce a build-up wiring board using the printed wiring board produced as described above as a core substrate. In this case, since fine wiring can be formed on the core substrate itself, a higher-density build-up wiring board can be produced.
次に、樹脂層(b)/Bステージの繊維と樹脂との複合体(a)からなる積層体をビルドアップ材として用いたビルドアップ配線板の製造例を示す。 Next, the manufacture example of the buildup wiring board which used the laminated body which consists of the composite (a) of the fiber and resin of a resin layer (b) / B stage as a buildup material is shown.
(1)コア基板と積層する。
順に、合紙、積層体、配線形成されたコア基板を、繊維と樹脂との複合体(a)とコア基板とを対向させ互いに積層する。この工程では、コア基板に形成されている配線パターン間を十分に埋め込むことが重要であり、本発明の積層体に用いられる、繊維と樹脂との複合体(a)の熱硬化性成分はBステージであることが必須である。積層方法としては、熱プレス、真空プレス、ラミネート(熱ラミネート)、真空ラミネート、熱ロールラミネート、真空熱ロールラミネート等の各種熱圧着方法を行うことができる。中でも真空下での処理、すなわち真空プレス処理、真空ラミネート処理、真空熱ロールラミネート処理がより良好に回路間をボイド無く埋め込むことが可能であり、好ましく実施可能である。積層した後に、Cステージまで硬化を進める目的から、熱風オーブン等を用いて加熱乾燥を行うことも可能である。
(1) Laminate with core substrate.
In order, the core substrate on which the interleaving paper, the laminate, and the wiring are formed is laminated with the fiber and resin composite (a) and the core substrate facing each other. In this step, it is important to sufficiently embed between the wiring patterns formed on the core substrate. The thermosetting component of the composite of fiber and resin (a) used in the laminate of the present invention is B. It is essential to be a stage. As the laminating method, various thermocompression bonding methods such as hot pressing, vacuum pressing, laminating (thermal laminating), vacuum laminating, hot roll laminating, and vacuum hot roll laminating can be performed. Among these, processing under vacuum, that is, vacuum press processing, vacuum laminating processing, and vacuum hot roll laminating processing can be preferably performed without voids between the circuits, and can be preferably performed. After the lamination, for the purpose of proceeding the curing to the C stage, it is also possible to perform heat drying using a hot air oven or the like.
(2)ビアを形成する。
公知のドリルマシン、ドライプラズマ装置、炭酸ガスレーザー、UVレーザー、エキシマレーザー等を用いることができるが、UV−YAGレーザー、エキシマレーザーが小径特に50μm以下のビア形成の為に好ましく、特に好ましくは30μm以下である。また良好な形状のビアを形成でき、好ましい。言うまでも無くドリルマシンによる貫通スルーホールを形成した後、無電解めっきによるパネルめっきを行っても良い。また、穴あけ加工の後、過マンガン酸塩を用いるウェットプロセスやプラズマ等のドライデスミアなどの公知の技術でデスミアすることも可能である。
(2) Form vias.
Known drill machines, dry plasma devices, carbon dioxide lasers, UV lasers, excimer lasers, etc. can be used, but UV-YAG lasers and excimer lasers are preferable for forming vias having a small diameter, particularly 50 μm or less, particularly preferably 30 μm. It is as follows. Further, a via having a good shape can be formed, which is preferable. Needless to say, panel plating by electroless plating may be performed after a through-hole is formed by a drill machine. Further, after drilling, desmearing can be performed by a known technique such as a wet process using permanganate or dry desmear such as plasma.
(3)無電解めっきを行う。
無電解めっきの種類としては無電解銅めっき、無電解ニッケルめっき、無電解金めっき、無電解銀めっき、無電解錫めっき、等を挙げる事ができ本発明に使用可能であるが、工業的観点、耐マイグレーション性等の電気特性の観点より、無電解銅めっき、無電解ニッケルめっきが好ましく、特に好ましくは無電解銅めっきである。
(3) Perform electroless plating.
Examples of the electroless plating include electroless copper plating, electroless nickel plating, electroless gold plating, electroless silver plating, electroless tin plating, and the like. From the viewpoint of electrical properties such as migration resistance, electroless copper plating and electroless nickel plating are preferable, and electroless copper plating is particularly preferable.
(4)めっきレジストを形成する。
感光性めっきレジストとしては広く市販されている公知の材料を用いることができる。本発明のプリント配線板の製造方法では、微細配線化に対応するために50μmピッチ以下の解像度を有する感光性めっきレジストを用いることが好ましい。無論、本発明のプリント配線板の配線ピッチに、50μm以下のピッチを有する回路とそれ以上のピッチを有する回路が混在しても良い。
(4) A plating resist is formed.
As the photosensitive plating resist, known materials widely available on the market can be used. In the method for producing a printed wiring board of the present invention, it is preferable to use a photosensitive plating resist having a resolution of 50 μm pitch or less in order to cope with fine wiring. Of course, a circuit having a pitch of 50 μm or less and a circuit having a pitch higher than that may be mixed in the wiring pitch of the printed wiring board of the present invention.
(5)電解めっきによるパターンめっきを行う。
電解めっきは公知の多くの方法を適用することができる。具体的には電解銅めっき、電解はんだめっき、電解錫めっき、電解ニッケルめっき、電解金めっき等を挙げる事ができる。工業的観点、耐マイグレーション性等の電気特性の観点より、電解銅めっき、電解ニッケルめっきが好ましく、特に好ましくは電解銅めっきである。
(5) Perform pattern plating by electrolytic plating.
Many known methods can be applied to the electrolytic plating. Specific examples include electrolytic copper plating, electrolytic solder plating, electrolytic tin plating, electrolytic nickel plating, and electrolytic gold plating. From the viewpoint of electrical characteristics such as industrial viewpoint and migration resistance, electrolytic copper plating and electrolytic nickel plating are preferable, and electrolytic copper plating is particularly preferable.
(6)レジスト剥離を行う。
レジスト剥離には、使用しためっきレジストの剥離に適した材料を使用することができ、特に制限はない。例えば、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液等を用いることができる。
(6) Strip resist.
For resist stripping, a material suitable for stripping the used plating resist can be used, and there is no particular limitation. For example, an aqueous sodium hydroxide solution or an aqueous potassium hydroxide solution can be used.
(7)無電解めっき層をクイックエッチングすることにより配線を形成する。
クイックエッチングには、公知のクイックエッチャントを用いることができる。例えば、硫酸・過酸化水素系エッチャント、過硫酸アンモニウム系エッチャント、過硫酸ナトリウム系エッチャントや希釈した塩化第二鉄系エッチャント、希釈した塩化第二銅系エッチャント等を好ましく用いることができる。
(7) A wiring is formed by quick etching the electroless plating layer.
A known quick etchant can be used for the quick etching. For example, a sulfuric acid / hydrogen peroxide-based etchant, an ammonium persulfate-based etchant, a sodium persulfate-based etchant, a diluted ferric chloride-based etchant, a diluted cupric chloride-based etchant, or the like can be preferably used.
この後、得られたビルドアップ配線板の最外層にさらに本発明の積層体を積層一体化し、上述の(2)〜(7)の工程により配線形成することで所望の層数を有するビルドアップ配線板を得ることができる。 Thereafter, the laminate of the present invention is further laminated and integrated with the outermost layer of the obtained build-up wiring board, and a build-up having a desired number of layers is formed by forming the wiring by the steps (2) to (7) described above. A wiring board can be obtained.
また、順に、合紙、フィルム状の樹脂層(b)、Bステージの繊維と樹脂との複合体(a)、配線形成されたコア基板を、積層一体化することで、樹脂層(b)/繊維と樹脂との複合体(a)からなる積層体を得るのと同時に、樹脂層(b)/繊維と樹脂との複合体(a)/配線形成されたコア基板からなる、配線形成前のビルドアップ配線板を得るという工法も好ましく適用可能である。 In addition, the resin layer (b) is obtained by laminating and integrating the interleaving paper, the film-like resin layer (b), the B-stage fiber-resin composite (a), and the core substrate on which the wiring is formed. / Before forming a laminate comprising a composite of fiber and resin (a) and simultaneously forming a resin layer (b) / composite of fiber and resin (a) / core substrate formed with wiring A method of obtaining a build-up wiring board is also preferably applicable.
本発明について、実施例に基づいてより具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。当業者は本発明の範囲を逸脱することなく、種々の変更、修正、および改変を行うことができる。なお、本発明にかかる積層体の特性として、無電解めっき銅との接着性、表面粗度Ra、配線形成性は以下のように評価または算出した。 The present invention will be described more specifically based on examples, but the present invention is not limited to this. Those skilled in the art can make various changes, modifications, and alterations without departing from the scope of the present invention. In addition, as a characteristic of the laminated body concerning this invention, adhesiveness with electroless-plated copper, surface roughness Ra, and wiring formation property were evaluated or calculated as follows.
〔接着性評価〕
得られた積層体の樹脂層(b)上に下記表1、2に示す条件にて、デスミア、及び無電解銅めっき処理を施した。さらに、トータルの銅厚みが18μmになるように電解銅めっきを行った。その後、180℃、30分の乾燥処理を行った後、JPCA−BU01−1998(社団法人日本プリント回路工業会発行)に従い、常態、及びプレッシャークッカー試験(PCT)後の接着強度を測定した。
常態接着強度:25℃、50%の雰囲気下、24時間放置した後に測定した接着強度。
PCT後接着強度:121℃、100%の雰囲気下、96時間放置した後に測定した接着
強度。
[Adhesion evaluation]
On the resin layer (b) of the obtained laminate, desmear and electroless copper plating were performed under the conditions shown in Tables 1 and 2 below. Furthermore, electrolytic copper plating was performed so that the total copper thickness was 18 μm. Thereafter, after drying at 180 ° C. for 30 minutes, the adhesive strength after normal and pressure cooker tests (PCT) was measured according to JPCA-BU01-1998 (published by Japan Printed Circuit Industry Association).
Normal-state adhesive strength: Adhesive strength measured after standing for 24 hours in an atmosphere of 25 ° C. and 50%.
Adhesive strength after PCT: Adhesive strength measured after standing for 96 hours in an atmosphere of 121 ° C. and 100%.
〔表面粗度Ra測定〕
上記の接着性評価項目で得た、無電解銅めっき付き積層体の無電解めっき銅層をエッチング除去し、露出した表面の表面粗度Raの測定を行った。測定は、光波干渉式表面粗さ計(ZYGO社製NewView5030システム)を用いて下記の条件で表面aの算術平均粗さを測定した。
(測定条件)
対物レンズ:50倍ミラウ イメージズーム:2
FDA Res:Normal
解析条件:
Remove:Cylinder
Filter:High Pass
Filter Low Waven:0.002mm。
[Surface roughness Ra measurement]
The electroless plated copper layer of the laminate with electroless copper plating obtained in the above-mentioned adhesive evaluation items was removed by etching, and the surface roughness Ra of the exposed surface was measured. The measurement measured the arithmetic mean roughness of the surface a on condition of the following using the light wave interference type surface roughness meter (NewView5030 system by ZYGO).
(Measurement condition)
Objective lens: 50x Mirau Image zoom: 2
FDA Res: Normal
Analysis conditions:
Remove: Cylinder
Filter: High Pass
Filter Low Wave: 0.002 mm.
〔弾性率〕
最外層Aをシート状に成形して、20℃での弾性率を測定した。なお、測定用のシートは充分に乾燥し、揮発分が1%以下となっていることを確認した。揮発分の測定は、TGA(TGA−50、島津製作所製)測定装置を用いて、条件20℃/分、温度−Tg曲線の20〜200℃間の減量%を測定することにより定量した。
シートの具体的な作製方法は、まず、最外層Aを構成する樹脂溶液を調整し、該溶液を圧延銅箔(BHY―22B―T、ジャパンエナジー社製)のシャイン面に流延塗布し、60℃/5分、150℃/5分、180℃/60分、の加熱乾燥を熱風オーブンにて行った。その後、塩酸/塩化第二鉄系エッチャントにて圧延銅箔をエッチングにて除去し、60℃/30分乾燥させて、最外層Aからなる25μm厚みのシートを得た。該シートを、下記条件にて弾性率測定を実施することで、20℃での弾性率を求めた。
測定装置:DMS6100(SIIナノテクノロジー(株)製)
温度範囲:10℃〜300℃
昇温速度:3℃/分
シートの測定方向:配向角から45度の方向で測定。
[Elastic modulus]
The outermost layer A was formed into a sheet shape, and the elastic modulus at 20 ° C. was measured. In addition, it was confirmed that the measurement sheet was sufficiently dried and the volatile content was 1% or less. The measurement of volatile content was quantified by measuring the weight loss between 20 ° C. and 200 ° C. of the condition 20 ° C./min and temperature-Tg curve using a TGA (TGA-50, manufactured by Shimadzu Corporation) measuring device.
The specific method for producing the sheet is to first prepare a resin solution constituting the outermost layer A, and cast and apply the solution onto the shine surface of a rolled copper foil (BHY-22B-T, manufactured by Japan Energy). Heat drying at 60 ° C./5 minutes, 150 ° C./5 minutes, 180 ° C./60 minutes was performed in a hot air oven. Thereafter, the rolled copper foil was removed by etching with a hydrochloric acid / ferric chloride etchant and dried at 60 ° C./30 minutes to obtain a 25 μm thick sheet comprising the outermost layer A. The elastic modulus at 20 ° C. was obtained by measuring the elastic modulus of the sheet under the following conditions.
Measuring device: DMS6100 (manufactured by SII Nanotechnology)
Temperature range: 10 ° C to 300 ° C
Temperature increase rate: 3 ° C./min Measurement direction of sheet: Measured in a direction 45 degrees from the orientation angle.
〔耐リフロー性〕
最外層A/最外層B/ガラスエポキシ基板/最外層B/最外層Aからなる積層体を得て、露出する最外層Aに銅層を形成し、180℃、30分の乾燥処理を行うまでは接着性評価と同様にして積層体を作製し、該積層体を15mm、30mmの大きさに切断し、温度30℃、湿度70%の条件下に200時間放置して試験片とした。最高到達温度が260℃となるように設定した条件にて上記試験片をIRリフロー炉(商品名:FT―04、CIS社製)に投入し、半田耐熱性試験とした。尚、この試験は繰り返し3回行い、膨れのないものを○、膨れのあるものを×とした。
[Reflow resistance]
A laminate comprising outermost layer A / outermost layer B / glass epoxy substrate / outermost layer B / outermost layer A is obtained, a copper layer is formed on the exposed outermost layer A, and a drying process is performed at 180 ° C. for 30 minutes. Was prepared in the same manner as in the adhesive evaluation, and the laminate was cut into 15 mm and 30 mm sizes and allowed to stand for 200 hours under conditions of a temperature of 30 ° C. and a humidity of 70% to obtain test pieces. The test piece was placed in an IR reflow furnace (trade name: FT-04, manufactured by CIS) under conditions set so that the maximum temperature reached 260 ° C., and a solder heat resistance test was performed. In addition, this test was repeated 3 times, the thing without a swelling was set as (circle) and the thing with a swelling was set as x.
〔微細配線形成性〕
最外層A/最外層B/ガラスエポキシ基板/最外層B/最外層Aからなる積層体を得て、露出する最外層Aに銅層を形成し、180℃、30分の乾燥処理を行うまでは接着性評価と同様にして積層体を作製した。露出する最外層Aにデスミア、無電解めっきを施し、100℃/30分乾燥させた後、ドライフィルムレジスト形成、電解銅パターンめっき、レジスト剥離、クィックエッチングの各工程にて処理してラインアンドスペース=10μm/10μmの微細配線を形成した。微細配線の剥がれがなく、また設計通りに良好に形成できたものを○、微細配線が剥がれたり、設計通りに良好に形成できなかったものを×とした。
[Fine wiring formability]
A laminate comprising outermost layer A / outermost layer B / glass epoxy substrate / outermost layer B / outermost layer A is obtained, a copper layer is formed on the exposed outermost layer A, and a drying process is performed at 180 ° C. for 30 minutes. A laminate was prepared in the same manner as the adhesive evaluation. The exposed outermost layer A is desmeared and electroless-plated, dried at 100 ° C / 30 minutes, and then processed in each step of dry film resist formation, electrolytic copper pattern plating, resist stripping, and quick etching. = A fine wiring of 10 μm / 10 μm was formed. The case where the fine wiring was not peeled off and was successfully formed as designed was rated as “◯”, and the case where the fine wiring was peeled off or was not able to be satisfactorily formed as designed was marked as “X”.
(ポリイミド樹脂の合成例1)
容量2000mlのガラス製フラスコに、信越化学工業株式会社製KF−8010を37g(0.045mol)と、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル21g(0.105mol)と、N,N−ジメチルホルムアミド(以下、DMFと呼ぶ)を投入し、撹拌しながら溶解させ、4,4´−(4,4´−イソプロピリデンジフェノキシ)ビス(無水フタル酸)78g(0.15mol)を添加、20℃で約1時間撹拌し、固形分濃度30%ポリアミド酸のDMF溶液を得た。上記ポリアミド酸溶液をフッ素樹脂でコートしたバットにとり、真空オーブンで、200℃、120分、665Paで減圧加熱し、ポリイミド樹脂1を得た。
(Polyimide resin synthesis example 1)
In a glass flask with a volume of 2000 ml, 37 g (0.045 mol) of KF-8010 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., 21 g (0.105 mol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether, N, N-dimethylformamide (hereinafter, DMF) was added and dissolved while stirring, and 78 g (0.15 mol) of 4,4 ′-(4,4′-isopropylidenediphenoxy) bis (phthalic anhydride) was added. The mixture was stirred for a time to obtain a DMF solution of polyamic acid having a solid content concentration of 30%. The polyamic acid solution was placed in a vat coated with a fluororesin and heated under reduced pressure at 665 Pa at 200 ° C. for 120 minutes in a vacuum oven to obtain polyimide resin 1.
尚、KF−8010の化学構造を下記に示す。 The chemical structure of KF-8010 is shown below.
(式中、m=3〜12である。)。 (Where m = 3-12).
(ポリイミド樹脂の合成例2)
容量2000mlのガラス製フラスコに、信越化学工業株式会社製KF−8010を62g(0.075mol)と、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル15g(0.075mol)と、DMFを投入し、撹拌しながら溶解させ、4,4´−(4,4´−イソプロピリデンジフェノキシ)ビス(無水フタル酸)78g(0.15mol)を添加、20℃で約1時間撹拌し、固形分濃度30%ポリアミド酸のDMF溶液を得た。上記ポリアミド酸溶液をフッ素樹脂でコートしたバットにとり、真空オーブンで、200℃、120分、665Paで減圧加熱し、ポリイミド樹脂2を得た。
(Polyimide resin synthesis example 2)
In a glass flask with a capacity of 2000 ml, 62 g (0.075 mol) of KF-8010 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., 15 g (0.075 mol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether, and DMF are added and dissolved while stirring. 78 g (0.15 mol) of 4,4 ′-(4,4′-isopropylidenediphenoxy) bis (phthalic anhydride) was added and stirred at 20 ° C. for about 1 hour. A DMF solution was obtained. The polyamic acid solution was placed in a vat coated with a fluororesin and heated under reduced pressure at 665 Pa at 200 ° C. for 120 minutes in a vacuum oven to obtain polyimide resin 2.
(ポリアミドイミド樹脂の合成例1)
容量2000mlのガラス製フラスコに、2,2−ビスー(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン147.8g(0.36mol)、信越化学工業株式会社製KF−8010を33.2g(0.04mol)、プロピレンオキサイド34.8g(0.6mol)、N,N−ジメチルアセトアミド617gを計りとり、攪拌、溶解した。この溶液を0℃に冷却し、この温度でトリメリット酸モノクロライド84.2g(0.4mol)を添加した。室温で3時間攪拌後、無水酢酸200g、ピリジン50gを加え、60℃で24時間攪拌した。得られた溶液をメタノール中に投入して固形分を得た。得られた固形分を乾燥した後、再びN,N−ジメチルアセトアミドに溶解、これをメタノールに投入、得られた固形分を乾燥させる工程を3回繰り返して、ポリアミドイミド樹脂3を得た。
(Polyamideimide resin synthesis example 1)
In a glass flask having a volume of 2000 ml, 147.8 g (0.36 mol) of 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, 33.2 g (0.04 mol) of KF-8010 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., propylene 34.8 g (0.6 mol) of oxide and 617 g of N, N-dimethylacetamide were weighed and dissolved by stirring. The solution was cooled to 0 ° C., and 84.2 g (0.4 mol) of trimellitic acid monochloride was added at this temperature. After stirring at room temperature for 3 hours, 200 g of acetic anhydride and 50 g of pyridine were added, and the mixture was stirred at 60 ° C. for 24 hours. The obtained solution was put into methanol to obtain a solid content. After drying the obtained solid content, the process which melt | dissolved in N, N- dimethylacetamide again, put this into methanol, and dried the obtained solid content was repeated 3 times, and the polyamideimide resin 3 was obtained.
(表面aを形成する溶液の調合例1)
ポリイミド樹脂1を10g、フィラー(アエロジルR972、デグサ社製;比表面積110m2/g)を10g、ジオキソランとトルエンの混合溶媒(混合比=50重量%/50重量%)を180gとをボールミルにて混合し、表面aを形成する溶液(A)を得た。
(Formulation Example 1 of solution forming surface a)
In a ball mill, 10 g of polyimide resin 1, 10 g of filler (Aerosil R972, manufactured by Degussa; specific surface area 110 m 2 / g) and 180 g of a mixed solvent of dioxolane and toluene (mixing ratio = 50 wt% / 50 wt%) The solution (A) which forms the surface a by mixing was obtained.
(表面aを形成する溶液の調合例2)
フィラー(アエロジル380、デグサ社製;比表面積380m2/g)を用いた以外は調合例1と同様にして表面aを形成する溶液(B)を得た。
(Formulation example 2 of solution for forming surface a)
A solution (B) for forming the surface a was obtained in the same manner as in Preparation Example 1 except that the filler (Aerosil 380, manufactured by Degussa; specific surface area 380 m 2 / g) was used.
(表面aを形成する溶液の調合例3)
フィラー(UFP、電気化学工業(株)製;比表面積80m2/g)を用いた以外は調合例1と同様にして表面aを形成する溶液(C)を得た。
(Formulation example 3 of solution for forming surface a)
Filler (UFP, Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd .; specific surface area 80 m 2 / g) except for using to obtain a solution (C) to form a surface a in the same manner as in Formulation Example 1.
(表面aを形成する溶液の調合例4)
フィラー(UFP、電気化学工業(株)製;比表面積30m2/g)を用いた以外は調合例1と同様にして表面aを形成する溶液(D)を得た。
(Formulation example 4 of solution for forming surface a)
A solution (D) for forming the surface a was obtained in the same manner as in Preparation Example 1 except that the filler (UFP, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd .; specific surface area of 30 m 2 / g) was used.
(表面aを形成する溶液の調合例5)
フィラー((アエロジルR972、デグサ社製;比表面積110m2/g)を1.1g用いた以外は調合例1と同様にして表面aを形成する溶液(E)を得た。
(Formulation example 5 of solution for forming surface a)
A solution (E) for forming the surface a was obtained in the same manner as in Preparation Example 1 except that 1.1 g of filler (Aerosil R972, manufactured by Degussa; specific surface area 110 m 2 / g) was used.
(表面aを形成する溶液の調合例6)
フィラー((アエロジルR972、デグサ社製;比表面積110m2/g)を23.3g用いた以外は調合例1と同様にして表面aを形成する溶液(F)を得た。
(Formulation example 6 of solution for forming surface a)
A solution (F) for forming the surface a was obtained in the same manner as in Preparation Example 1 except that 23.3 g of filler (Aerosil R972, manufactured by Degussa; specific surface area 110 m 2 / g) was used.
(表面aを形成する溶液の調合例7)
ポリイミド樹脂2を10g用いた以外は調合例1と同様にして表面aを形成する溶液(G)を得た。
(Formulation example 7 of solution for forming surface a)
A solution (G) for forming the surface a was obtained in the same manner as in Preparation Example 1 except that 10 g of polyimide resin 2 was used.
(表面aを形成する溶液の調合例8)
ポリアミドイミド樹脂3を10g用いた以外は調合例1と同様にして表面aを形成する溶液(H)を得た。
(Formulation Example 8 of solution forming surface a)
A solution (H) for forming the surface a was obtained in the same manner as in Preparation Example 1, except that 10 g of polyamideimide resin 3 was used.
(表面aを形成する溶液の調合例9)
ポリイミド樹脂1を10g、フィラー(アエロジルR972、デグサ社製;比表面積110m2/g)を10g、エポキシ樹脂(JER152、ジャパンエポキシレジン(株)製)0.54g、メラミン・クレゾール樹脂(PS−6492、群栄化学(株)製)0.32g、ジオキソランとトルエンの混合溶媒(混合比=50重量%/50重量%)を180gとをボールミルにて混合し、表面aを形成する溶液(I)を得た。
(Formulation Example 9 of solution for forming surface a)
10 g of polyimide resin 1, 10 g of filler (Aerosil R972, manufactured by Degussa; specific surface area 110 m 2 / g), 0.54 g of epoxy resin (JER152, manufactured by Japan Epoxy Resins Co., Ltd.), melamine / cresol resin (PS-6492) , Manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.) 0.32 g, a mixed solvent of dioxolane and toluene (mixing ratio = 50% by weight / 50% by weight) is mixed with 180 g by a ball mill to form a surface a (I) Got.
(接着層溶液の調合例1)
容量2000mlのガラス製フラスコに、1,3−ビスー(3−アミノフェノキシ)ベンゼン87.7g(0.30mol)と、DMFを投入し、撹拌しながら溶解させ、4,4´−(4,4´−イソプロピリデンジフェノキシ)ビス(無水フタル酸)78g(0.15mol)を添加、20℃で約1時間撹拌し、固形分濃度30%ポリアミド酸のDMF溶液を得た。上記ポリアミド酸溶液をフッ素樹脂でコートしたバットにとり、真空オーブンで、180℃、120分、665Paで減圧加熱し、ポリイミドオリゴマー4を得た。
ジオキソランを12g、イミドオリゴマー4を23g量りとり、60℃で加熱溶解した。トルエンを5.2g加えた後、撹拌しながら冷却し、エポキシ樹脂(JER152、ジャパンエポキシレジン(株)製)を15g加え、撹拌混合して、X液とした。
ジオキソランを18g、ポリイミド樹脂(ULTEM−1000−1000、GEプラスチック社製)を2g量りとり、60℃で撹拌しながら加熱溶解した。冷却した後、フィラー(SFP−130MCのフェニルアミノシラン処理品、電気化学工業(株)製)を6g投入し、さらにトルエンを7.7g投入して、ミル分散し、Y液とした。
X液5.52gとY液8.77gとを量りとり、撹拌混合した後、40μm径のフィルターを用いてろ過を実施し、樹脂溶液(J)を得た。
(Formulation example 1 of adhesive layer solution)
Into a glass flask having a capacity of 2000 ml, 87.7 g (0.30 mol) of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene and DMF were added and dissolved while stirring, and 4,4 ′-(4,4 78 g (0.15 mol) of '-isopropylidenediphenoxy) bis (phthalic anhydride) was added and stirred at 20 ° C. for about 1 hour to obtain a DMF solution of polyamic acid having a solid content concentration of 30%. The polyamic acid solution was placed in a vat coated with a fluororesin and heated under reduced pressure at 180 ° C. for 120 minutes at 665 Pa in a vacuum oven to obtain polyimide oligomer 4.
12 g of dioxolane and 23 g of imide oligomer 4 were weighed and dissolved by heating at 60 ° C. After adding 5.2 g of toluene, the mixture was cooled while stirring, 15 g of epoxy resin (JER152, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) was added, and the mixture was stirred and mixed to obtain a solution X.
18 g of dioxolane and 2 g of polyimide resin (ULTEM-1000-1000, manufactured by GE Plastics) were weighed and dissolved by heating at 60 ° C. with stirring. After cooling, 6 g of a filler (SFP-130MC phenylaminosilane-treated product, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.) was added, and 7.7 g of toluene was further added, followed by mill dispersion to obtain a Y solution.
5.52 g of solution X and 8.77 g of solution Y were weighed and mixed by stirring, and then filtered using a 40 μm-diameter filter to obtain a resin solution (J).
(非熱可塑ポリイミドフィルムの製造例1)
高分子フィルムとして、25μmの非熱可塑ポリイミドフィルムを作製して用いた。セパラブルフラスコ中でパラフェニレンジアミン(以下PDA)と4,4'−ジアミノジフェニルエーテル(以下ODA)各1当量をDMFに溶解し、その後p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)(以下TMHQ)1当量を加え30分間攪拌した。その後、ピロメリット酸二無水物(以下PMDA)0.9当量を加え30分間攪拌した。次いで粘度上昇に注意しながらPMDAのDMF溶液(濃度7%)を加え23℃での粘度が2000〜3000ポイズになるように調整し、ポリアミド酸重合体のDMF溶液を得た。なおDMFの使用量はジアミン成分およびテトラカルボン酸二無水物成分のモノマー仕込濃度が、18重量%となるようにした。また、重合は40℃で行った。上記ポリアミド酸溶液100gに対して、無水酢酸10gとイソキノリン10gを添加し均一に攪拌した後、脱泡を行い、ガラス板上に流延塗布し、約110℃に約5分間乾燥後、ポリアミド酸塗膜をガラス板より剥し、自己支持性を持つゲルフィルムを得た。該ゲルフィルムをフレームに固定して、その後約200℃で約1分間、約300℃で約1分間、約400℃で約1分間、約500℃で約1分間加熱し、脱水閉環乾燥し、厚み約25μmの非熱可塑ポリイミドフィルム(K)を得た。このフィルムの熱膨張係数は12ppmであった。また、得られた非熱可塑ポリイミドフィルムの表面粗度Raは0.01μmであった。
(Production Example 1 of non-thermoplastic polyimide film)
A 25 μm non-thermoplastic polyimide film was prepared and used as the polymer film. In a separable flask, 1 equivalent each of paraphenylenediamine (hereinafter referred to as PDA) and 4,4′-diaminodiphenyl ether (hereinafter referred to as ODA) was dissolved in DMF, and then p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride) (hereinafter referred to as TMHQ). ) 1 equivalent was added and stirred for 30 minutes. Thereafter, 0.9 equivalent of pyromellitic dianhydride (hereinafter PMDA) was added and stirred for 30 minutes. Next, a DMF solution of PMDA (concentration 7%) was added while paying attention to an increase in viscosity, and the viscosity at 23 ° C. was adjusted to 2000 to 3000 poises to obtain a DMF solution of a polyamic acid polymer. The amount of DMF used was such that the monomer charge concentration of the diamine component and tetracarboxylic dianhydride component was 18% by weight. Moreover, superposition | polymerization was performed at 40 degreeC. To 100 g of the above polyamic acid solution, 10 g of acetic anhydride and 10 g of isoquinoline are added and stirred uniformly, then defoamed, cast on a glass plate, dried at about 110 ° C. for about 5 minutes, and then polyamic acid. The coating film was peeled off from the glass plate to obtain a gel film having self-supporting properties. The gel film is fixed to a frame, then heated at about 200 ° C. for about 1 minute, about 300 ° C. for about 1 minute, about 400 ° C. for about 1 minute, about 500 ° C. for about 1 minute, dehydrated and ring-closed and dried, A non-thermoplastic polyimide film (K) having a thickness of about 25 μm was obtained. The thermal expansion coefficient of this film was 12 ppm. The obtained non-thermoplastic polyimide film had a surface roughness Ra of 0.01 μm.
〔実施例1〕
繊維と樹脂との複合体(a)に用いる樹脂溶液(J)を厚さ100μmのガラス織布に
塗布・含浸し、160℃の温度で乾燥し、さらに170℃で90分乾燥して樹脂分45重
量%の、Cステージの繊維と樹脂との複合体(a)を得た。この複合体(a)の片面に樹
脂層(b)を形成する溶液(A)をスピンコート法にて塗布、さらに60℃、150℃で
乾燥して、厚み5μmの樹脂層(b)/Cステージの(a)からなる積層体を得た。この
積層体を用いて、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表3に示す。
[Example 1]
The resin solution (J) used for the composite of fiber and resin (a) is applied and impregnated on a 100 μm thick glass woven fabric, dried at a temperature of 160 ° C., and further dried at 170 ° C. for 90 minutes to obtain a resin component. A composite (a) of 45% by weight of C-stage fiber and resin was obtained. The solution (A) for forming the resin layer (b) on one side of the composite (a) is applied by spin coating, and further dried at 60 ° C. and 150 ° C. to obtain a resin layer (b) / C having a thickness of 5 μm. A laminate comprising stage (a) was obtained. Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 3.
〔実施例2〕
繊維と樹脂との複合体(a)に用いる樹脂溶液(J)を厚さ100μmのガラス織布に
塗布・含浸し、160℃の温度で乾燥し、さらに170℃で90分乾燥して樹脂分45重
量%の、Cステージの繊維と樹脂との複合体(a)を得た。一方、樹脂層(b)を形成する溶液(A)を、支持体(商品名ルミラーT60 東レ製)の表面上に流延塗布した。その後、熱風オーブンにて60℃の温度で加熱乾燥させ、厚み2μmの樹脂層(b)フィルムを得た。上記繊維と樹脂との複合体(a)の両面に上記支持体付きフィルムを支持体付きのまま重ね合わせて、170℃、1MPa、6分の条件で真空プレス積層した。尚、樹脂層(b)と(a)とが接するように積層した。その後、支持体を引き剥がし、170℃、90分乾燥して、樹脂層(b)/Cステージの(a)/樹脂層(b)からなる積層体を得た。この積層体を用いて、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表3に示す。
[Example 2]
The resin solution (J) used for the composite of fiber and resin (a) is applied and impregnated on a 100 μm thick glass woven fabric, dried at a temperature of 160 ° C., and further dried at 170 ° C. for 90 minutes to obtain a resin component. A composite (a) of 45% by weight of C-stage fiber and resin was obtained. On the other hand, the solution (A) for forming the resin layer (b) was cast-coated on the surface of a support (trade name Lumirror T60 manufactured by Toray). Then, it heat-dried at the temperature of 60 degreeC with hot-air oven, and obtained the resin layer (b) film with a thickness of 2 micrometers. The film with the support was superposed on both sides of the fiber / resin composite (a) with the support, and vacuum press-laminated under conditions of 170 ° C., 1 MPa, 6 minutes. The resin layers (b) and (a) were laminated so as to be in contact with each other. Thereafter, the support was peeled off and dried at 170 ° C. for 90 minutes to obtain a laminate comprising resin layer (b) / C stage (a) / resin layer (b). Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 3.
〔実施例3〕
樹脂層(b)を形成する溶液(B)を用いて得た、支持体付きの厚み25μmの樹脂層
(b)フィルムを用いた以外は実施例2と同様にして、積層体を得た。この積層体を用い
て、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表3に示す。
Example 3
A laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that the 25 μm thick resin layer (b) film with a support obtained using the solution (B) for forming the resin layer (b) was used. Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 3.
〔実施例4〕
樹脂層(b)を形成する溶液(C)を用いて得た、支持体付きの厚み25μmの樹脂層(b)フィルムを用いた以外は実施例2と同様にして、積層体を得た。この積層体を用い
て、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表3に示す。
Example 4
A laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that a 25 μm thick resin layer (b) film with a support obtained using the solution (C) for forming the resin layer (b) was used. Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 3.
〔実施例5〕
樹脂層(b)を形成する溶液(D)を用いて得た、支持体付きの厚み25μmの樹脂層(b)フィルムを用いた以外は実施例2と同様にして、積層体を得た。この積層体を用い
て、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表3に示す。
Example 5
A laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that the 25 μm thick resin layer (b) film with a support obtained using the solution (D) for forming the resin layer (b) was used. Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 3.
〔実施例6〕
樹脂層(b)を形成する溶液(E)を用いて得た、支持体付きの厚み25μmの樹脂層(b)フィルムを用いた以外は実施例2と同様にして、積層体を得た。この積層体を用い
て、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表4に示す。
Example 6
A laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that the 25 μm thick resin layer (b) film with a support obtained using the solution (E) for forming the resin layer (b) was used. Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 4.
〔実施例7〕
樹脂層(b)を形成する溶液(F)を用いて得た、支持体付きの厚み25μmの樹脂層(b)フィルムを用いた以外は実施例2と同様にして、積層体を得た。この積層体を用い
て、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表4に示す。
Example 7
A laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that the 25 μm thick resin layer (b) film with a support obtained using the solution (F) for forming the resin layer (b) was used. Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 4.
〔実施例8〕
樹脂層(b)を形成する溶液(G)を用いて得た、支持体付きの厚み25μmの樹脂層(b)フィルムを用いた以外は実施例2と同様にして、積層体を得た。この積層体を用い
て、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表4に示す。
Example 8
A laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that the 25 μm thick resin layer (b) film with a support obtained using the solution (G) for forming the resin layer (b) was used. Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 4.
〔実施例9〕
樹脂層(b)を形成する溶液(H)を用いて得た、支持体付きの厚み25μmの樹脂層(b)フィルムを用いた以外は実施例2と同様にして、積層体を得た。この積層体を用い
て、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表4に示す。
Example 9
A laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that the 25 μm thick resin layer (b) film with a support obtained using the solution (H) for forming the resin layer (b) was used. Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 4.
〔実施例10〕
樹脂層(b)を形成する溶液(I)を用いて得た、支持体付きの厚み25μmの樹脂層(b)フィルムを用いた以外は実施例2と同様にして、積層体を得た。この積層体を用いて、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表4に示す。
Example 10
A laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that the 25 μm thick resin layer (b) film with a support obtained using the solution (I) for forming the resin layer (b) was used. Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 4.
〔実施例11〕
繊維と樹脂との複合体(a)に用いる樹脂溶液(J)を厚さ100μmのガラス織布に塗布・含浸し、160℃の温度で乾燥し、さらに170℃で90分乾燥して樹脂分45重量%の、Cステージの繊維と樹脂との複合体(a)を得た。この複合体(a)の片面に樹脂層(b)を形成する溶液(A)をスピンコート法にて塗布、さらに60℃、150℃で乾燥して、厚み5μmの樹脂層(b)/Cステージの(a)からなる積層体を得た。この積層体を用いて、表2に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。評価結果を表3に示す。
Example 11
The resin solution (J) used for the composite of fiber and resin (a) is applied and impregnated on a 100 μm thick glass woven fabric, dried at a temperature of 160 ° C., and further dried at 170 ° C. for 90 minutes to obtain a resin component. A composite (a) of 45% by weight of C-stage fiber and resin was obtained. The solution (A) for forming the resin layer (b) on one side of the composite (a) is applied by spin coating, and further dried at 60 ° C. and 150 ° C. to obtain a resin layer (b) / C having a thickness of 5 μm. A laminate comprising stage (a) was obtained. Using this laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 2, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. The evaluation results are shown in Table 3.
〔比較例1〕
繊維と樹脂との複合体(a)に用いる樹脂溶液(J)を厚さ100μmのガラス織布に塗布・含浸し、160℃の温度で乾燥し、さらに170℃で90分乾燥して樹脂分45重量%の、Cステージの繊維と樹脂との複合体(a)を得た。一方、ポリイミド樹脂1をジオキソラン溶液に溶解させた溶液を、支持体(商品名ルミラーT60 東レ製)の表面上に流延塗布した。その後、熱風オーブンにて60℃の温度で加熱乾燥させ、厚み2μmの樹脂層(b)を形成するフィルムを得た。上記繊維と樹脂との複合体(a)の両面に上記支持体付きフィルムを支持体付きのまま重ね合わせて、170℃、1MPa、6分の条件で真空プレス積層した。尚、樹脂層(b)と(a)とが接するように積層した。その後、支持体を引き剥がし、170℃、90分乾燥して、樹脂層(b)/Cステージの(a)/樹脂層(b)からなる積層体を得た。得られた積層体を用いて、表2に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。表5からわかるように、使用しためっき液の応力が大きいため、無電解めっき後に膨れが発生し、接着強度と耐リフロー性を評価することができなかった。また、膨れの発生していない箇所で微細配線性を確認したが、ドライフィルムレジストが剥がれ落ちたために、微細配線を良好に形成することができなかった。
[Comparative Example 1]
The resin solution (J) used for the composite of fiber and resin (a) is applied and impregnated on a 100 μm thick glass woven fabric, dried at a temperature of 160 ° C., and further dried at 170 ° C. for 90 minutes to obtain a resin component. A composite (a) of 45% by weight of C-stage fiber and resin was obtained. On the other hand, a solution obtained by dissolving the polyimide resin 1 in a dioxolane solution was cast on the surface of a support (trade name Lumirror T60 manufactured by Toray). Then, the film which heat-dried at the temperature of 60 degreeC with a hot-air oven, and formed the resin layer (b) with a thickness of 2 micrometers was obtained. The film with the support was superposed on both sides of the fiber / resin composite (a) with the support, and vacuum press-laminated under conditions of 170 ° C., 1 MPa, 6 minutes. The resin layers (b) and (a) were laminated so as to be in contact with each other. Thereafter, the support was peeled off and dried at 170 ° C. for 90 minutes to obtain a laminate comprising resin layer (b) / C stage (a) / resin layer (b). Using the obtained laminated body, it processed by the desmear and electroless plating process shown in Table 2, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. As can be seen from Table 5, since the stress of the plating solution used was large, swelling occurred after electroless plating, and the adhesive strength and reflow resistance could not be evaluated. Moreover, although fine wiring property was confirmed in the location where the swelling did not generate | occur | produce, since the dry film resist peeled off, the fine wiring was not able to be formed favorably.
〔比較例2〕
繊維と樹脂との複合体(a)に用いる樹脂溶液(J)を厚さ100μmのガラス織布に塗布・含浸し、160℃の温度で乾燥し、さらに170℃で90分乾燥して樹脂分45重量%の、Cステージの繊維と樹脂との複合体(a)を得た。一方、ポリイミド樹脂2 10gに対してフィラー(サンスフィアH-31、旭硝子製:比表面積800m2/g、平均粒径3μm)を10g、ジオキソランとトルエン(重量比 1:1)に溶解させた溶液を、支持体(商品名ルミラーT60 東レ製)の表面上に流延塗布した。その後、熱風オーブンにて60℃の温度で加熱乾燥させ、厚み2μmの樹脂層(b)を形成するフィルムを得た。上記繊維と樹脂との複合体(a)の両面に上記支持体付きフィルムを支持体付きのまま重ね合わせて、170℃、1MPa、6分の条件で真空プレス積層した。尚、樹脂層(b)と(a)とが接するように積層した。その後、支持体を引き剥がし、170℃、90分乾燥して、樹脂層(b)/Cステージの(a)/樹脂層(b)からなる積層体を得た。得られた積層体を用いて、表1に示すデスミア、無電解めっきプロセスにて処理し、各種評価項目の評価手順に従い評価した。表5からわかるように、接着性、耐リフロー性は良好であるが、表面粗度が非常に大きくなった。微細配線を剥がれはしなかったが、樹脂の表面粗度が大きい影響で配線形状が歪になり、設計どおりの配線ができなかった。
[Comparative Example 2]
The resin solution (J) used for the composite of fiber and resin (a) is applied and impregnated on a 100 μm thick glass woven fabric, dried at a temperature of 160 ° C., and further dried at 170 ° C. for 90 minutes to obtain a resin component. A composite (a) of 45% by weight of C-stage fiber and resin was obtained. On the other hand, a solution in which 10 g of filler (Sunsphere H-31, manufactured by Asahi Glass: specific surface area 800 m2 / g, average particle size 3 μm) is dissolved in 10 g of polyimide resin 2 in dioxolane and toluene (weight ratio 1: 1). The film was cast on the surface of a support (trade name Lumirror T60 manufactured by Toray). Then, the film which heat-dried at the temperature of 60 degreeC with a hot-air oven, and formed the resin layer (b) of thickness 2 micrometers was obtained. The film with the support was superposed on both sides of the fiber / resin composite (a) with the support, and vacuum press-laminated under conditions of 170 ° C., 1 MPa, 6 minutes. The resin layers (b) and (a) were laminated so as to be in contact with each other. Thereafter, the support was peeled off and dried at 170 ° C. for 90 minutes to obtain a laminate comprising resin layer (b) / C stage (a) / resin layer (b). Using the obtained laminated body, it processed by the desmear and electroless-plating process shown in Table 1, and evaluated according to the evaluation procedure of various evaluation items. As can be seen from Table 5, the adhesiveness and reflow resistance were good, but the surface roughness was very high. Although the fine wiring was not peeled off, the wiring shape was distorted due to the large surface roughness of the resin, and the wiring as designed could not be achieved.
なお本発明は、以上説示した各構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態や実施例にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the configurations described above, and various modifications can be made within the scope of the claims, and technical means disclosed in different embodiments and examples can be used. Embodiments obtained by appropriate combinations are also included in the technical scope of the present invention.
本発明にかかる積層体は、表面粗度が小さいにも関わらず、あらゆる状態の無電解めっき薬液においても無電解めっき皮膜の膨れが生じず、無電解めっき皮膜との接着性が高いことから、特に微細配線形成が必要とされるプリント配線板の製造等に好適に用いることができる。それゆえ、本発明は、樹脂組成物や接着剤等の素材加工産業や各種化学産業だけでなく、各種電子部品の産業分野に好適に用いることができる。 Although the laminate according to the present invention has a low surface roughness, the electroless plating film does not swell even in any state of the electroless plating chemical solution, and the adhesiveness with the electroless plating film is high. In particular, it can be suitably used for the production of printed wiring boards that require fine wiring formation. Therefore, the present invention can be suitably used not only in the material processing industry such as resin compositions and adhesives and various chemical industries, but also in the industrial field of various electronic components.
Claims (16)
前記樹脂層(b)は、(A)樹脂組成物成分および(B)フィラー成分を必須成分として含有し、樹脂層(b)の表面粗さがカットオフ値0.002mmで測定した算術平均粗さRaで0.4um以下であり、(B)フィラーの比表面積が20m2/g以上600m2/g以下であり、且つ樹脂層(b)の20℃での弾性率が2.3GPa以上15GPa以下であることを特徴とする積層体。 A laminate having a resin layer (b) for forming a metal plating layer on at least one surface of a composite of fiber and resin (a),
The resin layer (b) contains (A) a resin composition component and (B) a filler component as essential components, and the surface roughness of the resin layer (b) is measured with a cutoff value of 0.002 mm. Ra is 0.4 um or less, (B) the specific surface area of the filler is 20 m 2 / g or more and 600 m 2 / g or less, and the elastic modulus at 20 ° C. of the resin layer (b) is 2.3 GPa or more and 15 GPa. A laminate having the following characteristics.
さらに、n=3〜100であり、mは1〜200の整数である。) (A) The resin composition component is a polyimide resin having one or more structures among the structures represented by any of the following general formulas (1) to (6), or the following general formulas (1) to (6) 8) A resin composition component containing at least one of the polyamide-imide resins having one or more structures among the structures represented by any of the above). The laminated body as described in.
Further, n = 3 to 100, and m is an integer of 1 to 200. )
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007178280A JP2009012366A (en) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | Laminate and printed wiring board |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007178280A JP2009012366A (en) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | Laminate and printed wiring board |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009012366A true JP2009012366A (en) | 2009-01-22 |
Family
ID=40353852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007178280A Pending JP2009012366A (en) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | Laminate and printed wiring board |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2009012366A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012166514A (en) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | Insulating resin material for wiring board, multi-layer wiring board and method for manufacturing multi-layer wiring board |
| JP2012166515A (en) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | Insulating resin material for wiring board, multi-layer wiring board and method for manufacturing multi-layer wiring board |
| JPWO2016117636A1 (en) * | 2015-01-22 | 2017-11-02 | ユニチカ株式会社 | LAMINATE, MANUFACTURING METHOD AND USE METHOD, AND POLYIMIDE PRECURSOR SOLUTION FOR GLASS SUBSTRATE |
| WO2024084906A1 (en) * | 2022-10-17 | 2024-04-25 | 株式会社カネカ | Metallized resin film, printed wiring board, current collector film for lithium-ion battery, and method for producing metallized resin film |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001123066A (en) * | 1999-10-25 | 2001-05-08 | Hitachi Chem Co Ltd | Resin paste and method for producing the same |
| JP2004277734A (en) * | 2003-02-27 | 2004-10-07 | Sanyo Chem Ind Ltd | Curable resin composition and cured product thereof |
| JP2005146234A (en) * | 2003-10-24 | 2005-06-09 | Sekisui Chem Co Ltd | Manufacturing method of resin sheet and resin sheet for insulating substrate |
| JP2006138014A (en) * | 2004-10-14 | 2006-06-01 | Kaneka Corp | Plating material, polyamic acid solution, polyimide resin solution used for the plating material, and printed wiring board using the same |
| JP2006183132A (en) * | 2004-09-22 | 2006-07-13 | Kaneka Corp | Solution, material for plating, and printed wiring board |
| JP2006319239A (en) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Kaneka Corp | Laminate and printed wiring board |
-
2007
- 2007-07-06 JP JP2007178280A patent/JP2009012366A/en active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001123066A (en) * | 1999-10-25 | 2001-05-08 | Hitachi Chem Co Ltd | Resin paste and method for producing the same |
| JP2004277734A (en) * | 2003-02-27 | 2004-10-07 | Sanyo Chem Ind Ltd | Curable resin composition and cured product thereof |
| JP2005146234A (en) * | 2003-10-24 | 2005-06-09 | Sekisui Chem Co Ltd | Manufacturing method of resin sheet and resin sheet for insulating substrate |
| JP2006183132A (en) * | 2004-09-22 | 2006-07-13 | Kaneka Corp | Solution, material for plating, and printed wiring board |
| JP2006138014A (en) * | 2004-10-14 | 2006-06-01 | Kaneka Corp | Plating material, polyamic acid solution, polyimide resin solution used for the plating material, and printed wiring board using the same |
| JP2006319239A (en) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Kaneka Corp | Laminate and printed wiring board |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012166514A (en) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | Insulating resin material for wiring board, multi-layer wiring board and method for manufacturing multi-layer wiring board |
| JP2012166515A (en) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | Insulating resin material for wiring board, multi-layer wiring board and method for manufacturing multi-layer wiring board |
| JPWO2016117636A1 (en) * | 2015-01-22 | 2017-11-02 | ユニチカ株式会社 | LAMINATE, MANUFACTURING METHOD AND USE METHOD, AND POLYIMIDE PRECURSOR SOLUTION FOR GLASS SUBSTRATE |
| WO2024084906A1 (en) * | 2022-10-17 | 2024-04-25 | 株式会社カネカ | Metallized resin film, printed wiring board, current collector film for lithium-ion battery, and method for producing metallized resin film |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5037168B2 (en) | Electroless plating materials, laminates and printed wiring boards | |
| WO2004055110A1 (en) | Thermoplastic polyimide resin film, multilayer body and method for manufacturing printed wiring board composed of same | |
| JP2008265069A (en) | Insulating adhesion sheet, laminate, and printed wiring board | |
| JP2004189981A (en) | Thermoplastic polyimide resin material, laminate, and method for producing printed wiring board | |
| JPWO2003006553A1 (en) | Resin composition | |
| KR20070040826A (en) | Solutions, plating materials, insulation sheets, laminates and printed wiring boards | |
| KR20230038757A (en) | Multi-layer polyimide film | |
| JP2006224644A (en) | Insulating sheet, metallic layer and insulating sheet laminate, and printed wiring board using same | |
| JP2019014062A (en) | Laminate, flexible metal-clad laminated sheet, and flexible printed circuit board | |
| CN107428146B (en) | Polyimide laminate film, method for producing thermoplastic polyimide, and method for producing flexible metal-clad laminate | |
| JP2009012366A (en) | Laminate and printed wiring board | |
| JP2002307608A (en) | Laminated body manufacturing method and multilayer printed wiring board | |
| JP2024066870A (en) | Polyimide Laminate | |
| TW202417547A (en) | Multilayer polyimide film | |
| JP2004276411A (en) | Laminate, printed wiring board, and method of manufacturing printed wiring board | |
| JP4274824B2 (en) | Resin film, laminate, printed wiring board using the same, and manufacturing method thereof | |
| JP2003118054A (en) | Laminates and multilayer printed wiring boards | |
| JP2005135985A (en) | Manufacturing method for printed wiring board | |
| KR101195730B1 (en) | Plating material, polyamic acid solution and polyimide resin solution which are used to form said plating material, and printed wiring board using them | |
| JP2003236982A (en) | Manufacturing method of laminate and printed wiring board | |
| JP4630121B2 (en) | Laminated body and printed wiring board | |
| JP4647386B2 (en) | Method for producing plating material and method for forming electroless plating film | |
| JP4866589B2 (en) | Plating material, polyamic acid solution, polyimide resin solution used for the plating material, and printed wiring board using the same | |
| JP4866590B2 (en) | Plating material, polyamic acid solution, polyimide resin solution used for the plating material, and printed wiring board using the same | |
| JP2006319239A (en) | Laminate and printed wiring board |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100520 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111028 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111122 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120313 |