[go: up one dir, main page]

JP2009009031A - Organic EL display substrate and method of manufacturing the same - Google Patents

Organic EL display substrate and method of manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
JP2009009031A
JP2009009031A JP2007172215A JP2007172215A JP2009009031A JP 2009009031 A JP2009009031 A JP 2009009031A JP 2007172215 A JP2007172215 A JP 2007172215A JP 2007172215 A JP2007172215 A JP 2007172215A JP 2009009031 A JP2009009031 A JP 2009009031A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
organic
substrate
bank
display device
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2007172215A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Tokunaga
博之 徳永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2007172215A priority Critical patent/JP2009009031A/en
Publication of JP2009009031A publication Critical patent/JP2009009031A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

【課題】余剰の有機EL材料溶液を容易に除去することができる有機EL表示装置用基板を提供する。
【解決手段】基板本体101と、基板本体101上に配置される電極102と、電極102間に設けられ電極102をストライプ状に分割するバンク103と、電極102の端部に設けられている信号取り出し電極部104と、から構成され、バンク103と平行の位置関係にある信号取り出し電極部(右端電極部104b)に突出部105が設けられていることを特徴とする、有機EL表示装置用基板1。
【選択図】図1
A substrate for an organic EL display device capable of easily removing excess organic EL material solution is provided.
A substrate body 101, an electrode 102 disposed on the substrate body 101, a bank 103 provided between the electrodes 102 for dividing the electrode 102 into stripes, and a signal provided at an end of the electrode 102 A substrate for an organic EL display device, characterized in that a projecting portion 105 is provided on a signal extraction electrode portion (right end electrode portion 104b) that is formed of an extraction electrode portion 104 and is in a positional relationship parallel to the bank 103. 1.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、有機EL表示装置用基板及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a substrate for an organic EL display device and a method for manufacturing the same.

有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子という。)は、EL発光能を有する発光層を有機低分子化合物又は有機高分子化合物で構成される素子である。また、有機EL素子は、自己発光のため広い視野角がよく、耐衝撃性に優れる等、ディスプレイを構成する素子として理想的な特徴を有している。このため、有機EL素子は各種の分野において研究、開発が進められている。   An organic electroluminescence element (hereinafter referred to as an organic EL element) is an element in which a light-emitting layer having EL light emission ability is composed of an organic low-molecular compound or an organic polymer compound. The organic EL element has ideal characteristics as an element constituting a display, such as a wide viewing angle due to self-emission, and excellent impact resistance. For this reason, research and development of organic EL elements are being promoted in various fields.

ここで有機EL素子の製造方法としては、真空蒸着法、インクジェット法、印刷法等が広く研究されている。また、これらの製造方法は、有機EL素子を集積した有機ELディスプレイを製造する際にも用いられるものである。   Here, as a manufacturing method of the organic EL element, a vacuum deposition method, an ink jet method, a printing method, and the like are widely studied. These manufacturing methods are also used when manufacturing an organic EL display in which organic EL elements are integrated.

インクジェット法の一種であるノズルプリンティング法は、有機EL材料を液体に溶解したものを使用して、この有機EL材料の溶液を電極上に塗布する方法である。この方法を用いた有機ELディスプレイの製造例として、具体的には、非特許文献1に開示されているものが挙げられる。非特許文献1によれば、基板上に有機材料で形成されたバンクに真空装置内でフッ素プラズマを発生させ撥液加工を施すことにより、液体状の有機EL材料の塗り分けを可能にしている。   The nozzle printing method, which is a kind of ink jet method, is a method in which an organic EL material dissolved in a liquid is used and a solution of the organic EL material is applied onto an electrode. Specific examples of the production of an organic EL display using this method include those disclosed in Non-Patent Document 1. According to Non-Patent Document 1, a liquid organic EL material can be separately applied by generating fluorine plasma in a vacuum device and applying liquid repellency to a bank formed of an organic material on a substrate. .

この場合、バンク以外の部分に有機EL材料が付着することがある。このため、特許文献1で開示されているように、塗布プロセスの後、電極部等の上にレーザー光を照射して付着した有機EL材料を除去することが必要になる。   In this case, the organic EL material may adhere to portions other than the bank. For this reason, as disclosed in Patent Document 1, it is necessary to remove the organic EL material attached by irradiating a laser beam on the electrode portion or the like after the coating process.

また、特許文献2には、印刷法や塗布法で塗布した有機EL材料が表示部以外に濡れ広がらないようにするために表示部に隣接して物理的な障害物を設けて、電極部等を保護する方法が開示されている。   In addition, in Patent Document 2, a physical obstacle is provided adjacent to the display unit so that the organic EL material applied by a printing method or a coating method does not spread out other than the display unit, and an electrode unit or the like. A method of protecting is disclosed.

さらに、特許文献3には、塗布法で塗布した有機EL材料が表示部以外に付着した部分を溶剤によって拭き取る方法が開示されている。   Furthermore, Patent Document 3 discloses a method of wiping off a portion where an organic EL material applied by a coating method adheres to a portion other than the display portion with a solvent.

特開2006−164904号公報JP 2006-164904 A 特開2004−288403号公報JP 2004-288403 A 特開2004−152512号公報JP 2004-152512 A 05 SID Digest P.119205 SID Digest P.M. 1192

しかしながら、特許文献1のようにはみ出した有機EL材料をレーザー照射で除去しようとすると、基板から剥がれた有機膜が表示部を汚染する可能性があった。また特許文献2に開示されている障害物は、ノズルプリンティング法のように表示部外にも連続的に液を塗布する方式では有効に機能することができなかった。また、特許文献3のように溶剤で有機EL材料を拭き取る場合でも、厚く塗布した場合、この厚く塗布した部分を拭き残す恐れがあった。   However, when the organic EL material that protrudes as disclosed in Patent Document 1 is to be removed by laser irradiation, the organic film peeled off from the substrate may contaminate the display portion. Further, the obstacle disclosed in Patent Document 2 cannot function effectively in a system in which liquid is continuously applied to the outside of the display portion as in the nozzle printing method. Further, even when the organic EL material is wiped off with a solvent as in Patent Document 3, when thickly applied, there is a risk that the thickly applied portion may be wiped off.

本発明は、上記課題を解決するものであり、余剰の有機EL材料溶液を容易に除去することができる有機EL表示装置用基板を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an organic EL display device substrate that can easily remove excess organic EL material solution.

本発明の有機EL表示装置用基板は、基板本体と、該基板本体上に配置される電極と、該電極と該電極との間に設けられ該電極をストライプ状に分割するバンクと、該電極の端部に設けられている信号取り出し電極部と、から構成され、該バンクと平行の位置関係にある該信号取り出し電極部に突出部が設けられていることを特徴としている。   The substrate for an organic EL display device of the present invention includes a substrate main body, an electrode disposed on the substrate main body, a bank provided between the electrode and the electrode and dividing the electrode into stripes, and the electrode And a signal extraction electrode portion provided at an end of the bank, and the signal extraction electrode portion in a positional relationship parallel to the bank is provided with a protruding portion.

本発明によれば、余剰の有機EL材料溶液を容易に除去することができる有機EL表示装置用基板を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the board | substrate for organic EL display apparatuses which can remove an excessive organic EL material solution easily can be provided.

本発明の有機EL表示装置用基板から製造される有機EL表示装置は、取り出し電極上に突出部が配置されている。これにより、ディスペンス(ノズルプリンティング)方式で、有機EL材料を含む溶液を塗布したときに、この突出部が有する撥液性によって、取り出し電極上に液剤が付着しないか、又は極薄くしか付着しない部分が形成される。これにより、取り出し電極部に付着した有機EL材料を簡単に除去することができる。   In the organic EL display device manufactured from the organic EL display device substrate of the present invention, a protruding portion is disposed on the extraction electrode. As a result, when a solution containing an organic EL material is applied by a dispense (nozzle printing) method, the liquid agent does not adhere to the take-out electrode due to the liquid repellency of the protruding portion, or the portion to which only a very thin adhesive adheres Is formed. Thereby, the organic EL material adhering to the extraction electrode portion can be easily removed.

以下、本発明について、図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の有機EL表示装置用基板における第一の実施形態を示す平面図である。図1の有機EL表示装置用基板1は、基板本体101と、画素電極102と、バンク103と、信号取り出し電極部104と、突出部105と、から構成される。   FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of an organic EL display device substrate of the present invention. The organic EL display device substrate 1 of FIG. 1 includes a substrate body 101, a pixel electrode 102, a bank 103, a signal extraction electrode portion 104, and a protruding portion 105.

図1の有機EL表示装置用基板1において、画素電極102は、基板本体101上にマトリックス状に配置されている。各駆動回路が画素電極の下に配置(図示せず)されているアクティブマトリックス型になっている。バンク103は、画素電極102と画素電極102との間に設けられていて、画素電極102をストライプ状に分割している。信号取り出し電極部104は、画素電極102の周辺に設けられている。図1の有機EL表示装置用基板1では、信号取り出し電極部104は、右端部(右端電極部104a)と上端部(上端電極部104b)とにそれぞれ設けられている。ここで、バンク103と平行の位置関係にある右端電極部104aの各電極部上には、突出部105が設けられている。   In the organic EL display substrate 1 of FIG. 1, the pixel electrodes 102 are arranged in a matrix on the substrate body 101. Each drive circuit is an active matrix type arranged (not shown) under the pixel electrode. The bank 103 is provided between the pixel electrode 102 and the pixel electrode 102, and divides the pixel electrode 102 into stripes. The signal extraction electrode unit 104 is provided around the pixel electrode 102. In the organic EL display substrate 1 of FIG. 1, the signal extraction electrode portions 104 are provided at the right end portion (right end electrode portion 104a) and the upper end portion (upper end electrode portion 104b), respectively. Here, a protruding portion 105 is provided on each electrode portion of the right end electrode portion 104 a that is in a positional relationship parallel to the bank 103.

図1の有機EL表示装置用基板1は、ストライプ状に配置された、各色の画素電極102の間にバンク103が形成されており、バンク103とバンク103との間に挟まれた画素電極102上に有機EL材料の溶液が塗布できるようになっている。   In the organic EL display substrate 1 of FIG. 1, a bank 103 is formed between pixel electrodes 102 of each color arranged in a stripe shape, and the pixel electrode 102 sandwiched between the banks 103 and 103. A solution of the organic EL material can be applied thereon.

図1の有機EL表示装置用基板1において、バンク103及び突出部105の表面には撥液処理が施されている。特に、突出部105に撥液処理を施すことによって、右辺電極部104a上に有機EL材料の溶液がほとんど残らなくなる。   In the organic EL display substrate 1 of FIG. 1, the surface of the bank 103 and the protruding portion 105 is subjected to a liquid repellent treatment. In particular, when the protrusion 105 is subjected to a liquid repellent treatment, almost no organic EL material solution remains on the right electrode portion 104a.

図2は、図1の有機EL表示装置用基板上に、有機EL材料溶液を塗布したときの様子を示す平面図である。ディスペンサーを用いて、図2中の106で示される軌道を描くようにして、有機EL材料を連続的に塗布すると、図2に示されるように、軌道106が右端電極部104aの一部と重なることがある。   FIG. 2 is a plan view showing a state when an organic EL material solution is applied on the organic EL display device substrate of FIG. 1. When the organic EL material is continuously applied using a dispenser so as to draw a trajectory indicated by 106 in FIG. 2, the trajectory 106 overlaps with a part of the right end electrode portion 104a as shown in FIG. Sometimes.

図3は、図1の有機EL表示装置用基板上にある右端電極部104aにおける有機EL材料の溶液の付着の様子を示す図である。図3において、右端電極部104aには撥液処理を施した突出部105を有している。このため、有機EL材料溶液107を右辺電極部104a上から滴下したとしても、この突出部105が有する撥液効果により、有機EL材料溶液107が右辺電極部104a上からはじかれる。その結果、右端電極部104a上には、有機EL材料溶液107がほとんど残らなくなる。たとえ右端電極部104a上に有機EL材料が残ったとしても、公知の方法により有機EL材料を右端電極部104a上から除去することができる程度まで薄くすることができる。   FIG. 3 is a diagram showing how the organic EL material solution adheres to the right end electrode portion 104a on the organic EL display device substrate of FIG. In FIG. 3, the right end electrode portion 104a has a protruding portion 105 subjected to a liquid repellent treatment. For this reason, even if the organic EL material solution 107 is dropped from the right side electrode portion 104a, the organic EL material solution 107 is repelled from the right side electrode portion 104a due to the liquid repellent effect of the protruding portion 105. As a result, almost no organic EL material solution 107 remains on the right end electrode portion 104a. Even if the organic EL material remains on the right end electrode portion 104a, the organic EL material can be thinned to such an extent that it can be removed from the right end electrode portion 104a by a known method.

バンク103及び突出部105の表面に撥液処理を施す方法として、バンク103及び突出部105を形成する材料に撥水剤を混ぜる方法と、バンク103及び突出部105を形成した後に撥液処理を施す方法と、がある。後者の撥水処理の具体的な方法としては、フッ素、フッ素化合物を含んだガスを導入したプラズマ処理による方法、有機シリコン化合物、フッ素含有シリコン化合物、有機フッ素化合物等の撥液剤を真空成膜又は塗布法により成膜する方法が知られている。   As a method of applying a liquid repellency treatment to the surfaces of the bank 103 and the protrusion 105, a method of mixing a water repellent with the material forming the bank 103 and the protrusion 105, and a liquid repellency treatment after forming the bank 103 and the protrusion 105. There is a method to apply. Specific examples of the latter water-repellent treatment include a plasma treatment method in which a gas containing fluorine or a fluorine compound is introduced, or a liquid repellent such as an organic silicon compound, a fluorine-containing silicon compound, or an organic fluorine compound is formed into a vacuum film or A method of forming a film by a coating method is known.

バンク103及び突出部105は、それぞれ別の材料で構成されていてもよいが、望ましくは、両者は、同一材料で構成される。また、バンク103及び突出部105は、それぞれ別の工程で形成していてもよいが、望ましくは、両者は、同一工程で形成される。両者を同一の材料で、かつ同一工程で形成する方が簡便で最適な方法であるといえる。   The bank 103 and the protruding portion 105 may be made of different materials, but desirably both are made of the same material. Further, the bank 103 and the protruding portion 105 may be formed in different processes, but preferably both are formed in the same process. It can be said that it is a simple and optimal method to form both in the same material and in the same process.

バンク103及び突出部105を構成する材料は、ポリイミド、アクリル、エポキシ等の樹脂材料が使用できる。また、バンク103及び突出部105の形成方法として、塗布法等も利用できるが、好ましくは、パターニング法を利用する。パターニング法の具体的な方法として、感光性を持たせた樹脂材料を使用したフォトリソグラフィー法や、印刷法等が用いられる。   Resin materials such as polyimide, acrylic, and epoxy can be used as the material constituting the bank 103 and the protruding portion 105. Further, as a method for forming the bank 103 and the protruding portion 105, a coating method or the like can be used, but a patterning method is preferably used. As a specific patterning method, a photolithography method using a resin material having photosensitivity, a printing method, or the like is used.

突出部105の高さは、望ましくは、バンク103の高さと同程度とする。これは、バンク103及び突出部105を同一工程で形成した場合でも、別工程で形成した場合でも同じである。これは、液の飛び散り等で、画素電極102に有機EL材料溶液を塗布する工程に影響を与えないためである。   The height of the protruding portion 105 is desirably approximately the same as the height of the bank 103. This is the same whether the bank 103 and the protruding portion 105 are formed in the same process or in different processes. This is because liquid splashes do not affect the process of applying the organic EL material solution to the pixel electrode 102.

また突出部105は、望ましくは、図1に示されるように、隣り合う画素列では平面的に互い違いにする。これは、突出部105によって撥液された有機EL材料の溶液が、特定の部分に集まらないようにするためである。   The protrusions 105 are preferably staggered in a plane in adjacent pixel columns as shown in FIG. This is to prevent the solution of the organic EL material repelled by the protrusion 105 from collecting in a specific portion.

基板本体101の構成材料として、ガラス、Siウエハ、アルミナ等のセラミック、透明樹脂、ステンレスに絶縁膜を付けたもの等の金属基板が使用できる。   As a constituent material of the substrate main body 101, a metal substrate such as glass, Si wafer, ceramic such as alumina, transparent resin, or stainless steel with an insulating film attached can be used.

図4は、本発明の有機EL表示装置用基板の第二の実施形態を示す平面図である。図4の有機EL表示装置用基板2は、基板本体201と、電極202と、バンク203と、信号取り出し電極部204と、突出部205とで構成される。   FIG. 4 is a plan view showing a second embodiment of the substrate for an organic EL display device of the present invention. The organic EL display device substrate 2 in FIG. 4 includes a substrate body 201, electrodes 202, banks 203, signal extraction electrode portions 204, and protruding portions 205.

電極202は、基板本体201上にストライプ状に配置されている。ここでは、パッシブマトリックス型の有機EL素子基板を示している。バンク203は、電極202と電極202との間に設けられるものであり、各電極202をストライプ状に分割させるものである。信号取り出し電極部204は、各電極202の左端(左端電極部204a)及び右端(右端電極部204b)に設けられている。左端電極部204a及び右端電極部204bは、バンク203に対して平行の位置関係にあると共に、その電極部上には突出部205が設けられている。   The electrodes 202 are arranged in a stripe pattern on the substrate body 201. Here, a passive matrix organic EL element substrate is shown. The bank 203 is provided between the electrodes 202 and 202, and divides each electrode 202 into stripes. The signal extraction electrode portion 204 is provided at the left end (left end electrode portion 204a) and right end (right end electrode portion 204b) of each electrode 202. The left end electrode portion 204a and the right end electrode portion 204b are in a positional relationship parallel to the bank 203, and a protruding portion 205 is provided on the electrode portion.

図4の有機EL表示装置用基板2において、左端電極部204a及び右端電極部204bの上に突出部205を設けることにより、図1の有機EL表示装置用基板1と同様に各電極部上に有機EL材料の溶液がほとんど残らなくなる。   In the organic EL display device substrate 2 of FIG. 4, by providing the protrusions 205 on the left end electrode portion 204a and the right end electrode portion 204b, each of the electrode portions is formed on the electrode portions in the same manner as the organic EL display device substrate 1 of FIG. Almost no solution of the organic EL material remains.

本発明の有機EL表示装置用基板上に、有機EL素子を構成する層を設けるときは、インクジェット法等の塗布法を使用できる。このときストライプ状に分割された電極毎に異なる発光色の有機EL材料を塗布することができる。   When providing the layer which comprises an organic EL element on the board | substrate for organic EL display apparatuses of this invention, coating methods, such as an inkjet method, can be used. At this time, an organic EL material having a different emission color can be applied to each of the electrodes divided into stripes.

本発明の有機EL表示装置用基板上に有機EL材料の溶液を塗布する際は、好ましくは、図2に示されるように、有機EL材料の溶液の軌道106が、突出部105を設けた信号取り出し電極部と重なるようにする。   When applying the organic EL material solution onto the organic EL display device substrate of the present invention, preferably, as shown in FIG. 2, the orbit 106 of the organic EL material solution is a signal provided with a protrusion 105. It overlaps with the extraction electrode part.

有機EL素子を構成する層を一通り形成した後は、好ましくは、取り出し電極部以外の部分をガラスキャップ又はSiNx膜等で封止する。封止工程の後、有機溶剤による拭き取りやレーザー照射等を用いて、取り出し電極部に僅かに残った有機EL材料を容易に除去することができるようにするためである。 After one layer forming the organic EL element is formed, it is preferable to seal a portion other than the extraction electrode portion with a glass cap or a SiN x film. This is because, after the sealing step, the organic EL material slightly remaining in the extraction electrode portion can be easily removed by wiping with an organic solvent, laser irradiation, or the like.

[実施例1]
図1に示す有機EL表示装置用の基板を作製した。
[Example 1]
A substrate for the organic EL display device shown in FIG. 1 was produced.

まずガラス基板101上の表示領域に相当する部分に、酸化錫インジウム(ITO)をパターニングして、マトリクス状の画素電極102及びTFT回路(図示せず)を形成した。次に、表示領域の右端及び上端に、Alからなる信号取り出し電極104を形成した。このとき、取り出し電極の数は、右端電極部104aが100個に対し、上端電極部104bが300個であった。   First, indium tin oxide (ITO) was patterned in a portion corresponding to a display region on the glass substrate 101 to form a matrix pixel electrode 102 and a TFT circuit (not shown). Next, a signal extraction electrode 104 made of Al was formed on the right end and the upper end of the display area. At this time, the number of extraction electrodes was 100 for the right end electrode portion 104a and 300 for the upper end electrode portion 104b.

次に、感光性ポリイミド材料(東レ フォトニース)を、画素電極102上に塗布した。次に、バンク103と突出部105のパターンを有するフォトマスクを用意した。次に、このフォトマスクを介して、感光性ポリイミドに光を照射した。光を照射した後、薬剤処理することによりことにより、バンク103及び突出部105を形成した。このバンク103に平行な取り出し電極は、右端電極部104aであり、100個であった。   Next, a photosensitive polyimide material (Toray Photo Nice) was applied on the pixel electrode 102. Next, a photomask having a pattern of the bank 103 and the protruding portion 105 was prepared. Next, light was irradiated to the photosensitive polyimide through this photomask. After irradiating light, the bank 103 and the protrusion part 105 were formed by carrying out a chemical | medical agent process. The number of extraction electrodes parallel to the bank 103 is the right end electrode portion 104a, which is 100.

次に、CF4ガスによりフッ素プラズマ処理を行うことでバンクとダミーバンクを同時に撥液性にした。以上のようにして、有機EL表示装置用基板を得た。 Next, fluorine plasma treatment was performed with CF 4 gas to make the bank and the dummy bank liquid repellent at the same time. As described above, an organic EL display device substrate was obtained.

次に、この有機EL表示装置用基板を使用して、有機EL表示装置を作製した。まず表示領域及び近接部分に、ノズルプリンティング装置を用いてバンク103とバンクとの間に、PEDOT/PSSを塗布し、200℃で30分間ベークすることにより、正孔注入層を形成した。このとき正孔注入層の膜厚は30nmとした。   Next, this organic EL display device substrate was used to produce an organic EL display device. First, PEDOT / PSS was applied between the bank 103 and the bank using a nozzle printing device in the display area and the adjacent portion, and baked at 200 ° C. for 30 minutes to form a hole injection layer. At this time, the thickness of the hole injection layer was 30 nm.

次に、ポリパラフェニレンビニレン誘導体であるpoly[2−methoxy,5−(2’−ethylhexoxy)−1,4−phenylen vinylene]の2重量%トルエン溶液を、バンク−バンク間に一本おきに滴下した。次に、このポリパラフェニレンビニレン誘導体のトルエン溶液を塗布していないバンク−バンク間に、ポリ(3−アルキルチオフェン)poly[3−alkylthiophene]の1重量%キシレン溶液を滴下した。この後、150℃で10分間ベークすることにより有機EL層を形成した。このとき有機EL層の膜厚はいずれも100nmとした。   Next, a 2% by weight toluene solution of poly [2-methoxy, 5- (2′-ethylhexoxy) -1,4-phenylene vinylene], which is a polyparaphenylene vinylene derivative, is dropped every other line between the banks. did. Next, a 1% by weight xylene solution of poly (3-alkylthiophene) poly [3-alkylthiophene] was added dropwise between the banks to which the toluene solution of the polyparaphenylene vinylene derivative was not applied. Thereafter, an organic EL layer was formed by baking at 150 ° C. for 10 minutes. At this time, the film thickness of the organic EL layer was 100 nm.

次に、真空蒸着装置を用いて、Cs2CO3を蒸着し電子注入層を形成した。このとき電子注入層の膜厚は3nmとした。次に、Alを蒸着し上部電極を形成した。このとき上部電極の膜厚は100nmとした。 Next, using a vacuum evaporation apparatus was deposited Cs 2 CO 3 to form an electron injection layer. At this time, the thickness of the electron injection layer was 3 nm. Next, Al was vapor-deposited to form an upper electrode. At this time, the film thickness of the upper electrode was 100 nm.

次に、真空中から不活性ガス中に移動して、画素部分に吸湿剤を備えたガラスキャップを接着して、画素部分を保護した後に、取り出し電極部に残った有機EL材料をルビセルスティックにトルエンを含ませたもので拭き取った。以上により、有機EL表示装置を得た。   Next, after moving from vacuum to an inert gas, a glass cap with a hygroscopic agent is adhered to the pixel portion to protect the pixel portion, and then the organic EL material remaining on the extraction electrode portion is removed from the ruby cell stick. And wiped with toluene. Thus, an organic EL display device was obtained.

得られた有機EL表示装置を、外部駆動回路に接続して動作させたところ、欠陥は発生しなかった。   When the obtained organic EL display device was connected to an external drive circuit and operated, no defect occurred.

[比較例1]
実施例1において、感光性ポリイミドに光を照射する際にバンク103のパターンのみ有するフォトマスクを使用した以外は実施例1と同様の方法により、図5に示される有機EL表示装置用基板を得た。図5の有機EL表示装置用基板10は、基板本体111と、画素電極112と、バンク113と、信号取り出し電極部114とから構成される。それぞれ、図1の有機EL表示装置用基板1の、基板本体101、画素電極102、バンク103、信号取り出し電極部104に対応し、右端電極部に突出部を設けないこと以外は、図1の有機EL表示装置用基板1と同様である。また、実施例1と同様の方法で有機EL表示装置を得た。ここで有機EL材料の溶液を塗布するときに、図6で示される軌道115を描くようにして塗布した。そうすると、図7で示されるように、右端電極部114a上に有機EL材料溶液116による厚い有機EL層の膜ができた。得られた有機EL表示装置について、実施例1と同様に性能を評価したところ、動作時に3%の配線不良が発生した。
[Comparative Example 1]
In Example 1, the substrate for the organic EL display device shown in FIG. 5 was obtained by the same method as Example 1 except that a photomask having only the pattern of the bank 103 was used when irradiating the photosensitive polyimide with light. It was. The organic EL display device substrate 10 of FIG. 5 includes a substrate body 111, pixel electrodes 112, banks 113, and signal extraction electrode portions 114. 1 corresponds to the substrate body 101, the pixel electrode 102, the bank 103, and the signal extraction electrode portion 104 of the substrate 1 for the organic EL display device of FIG. 1 except that no protruding portion is provided in the right end electrode portion. This is the same as the substrate 1 for an organic EL display device. In addition, an organic EL display device was obtained in the same manner as in Example 1. Here, when applying the solution of the organic EL material, it was applied so as to draw the track 115 shown in FIG. As a result, as shown in FIG. 7, a thick organic EL layer film of the organic EL material solution 116 was formed on the right end electrode portion 114a. The performance of the obtained organic EL display device was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, 3% wiring failure occurred during operation.

[実施例2]
実施例1において、実施例1と同様の工程で有機EL表示装置用基板を作製し、正孔注入層、有機EL層、電子注入層及び上部電極を順次形成した後、取り出し電極部分をステンレスの治具でマスクしてSiNからなる保護層をCVD法により成膜した。CVD法は、材料ガスとして、NH3、SiH4及びN2の混合ガスを成膜チャンバーに導入し、圧力100Pa、RFパワー100Wにて成膜を行った。膜厚が5000Åとなったところで成膜を終了し保護層とした。
[Example 2]
In Example 1, a substrate for an organic EL display device was prepared in the same process as in Example 1, and after forming a hole injection layer, an organic EL layer, an electron injection layer, and an upper electrode in order, the extraction electrode portion was made of stainless steel. A protective layer made of SiN was formed by CVD using a mask. In the CVD method, a mixed gas of NH 3 , SiH 4, and N 2 was introduced as a material gas into a film formation chamber, and film formation was performed at a pressure of 100 Pa and an RF power of 100 W. When the film thickness reached 5000 mm, the film formation was completed to obtain a protective layer.

保護層によって画素部分を保護した後に、取り出し電極部にArFレーザーにより1J/cm2のエネルギーを照射して残存材料を除去した。 After protecting the pixel portion with the protective layer, the extraction electrode portion was irradiated with energy of 1 J / cm 2 with an ArF laser to remove the remaining material.

次に、取り出し電極部分以外の領域にキズ防止として膜厚100μmのPETフィルムに膜厚25μmのアクリル系の粘着剤を設けた片面接着性樹脂フィルムを、貼り合わせ機により位置合わせを行った上で、保護層上に貼り合わせた。以上のようにして有機EL表示装置を得た。   Next, after aligning a single-sided adhesive resin film provided with an acrylic adhesive with a film thickness of 25 μm on a PET film with a film thickness of 100 μm in a region other than the extraction electrode part, using a laminating machine And laminated on the protective layer. An organic EL display device was obtained as described above.

得られた有機EL表示装置を外部駆動回路に接続して動作させたところ、欠陥は発生しなかった。   When the obtained organic EL display device was connected to an external drive circuit and operated, no defect occurred.

本発明の有機EL表示装置用基板における第一の実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows 1st embodiment in the board | substrate for organic EL display apparatuses of this invention. 図1の有機EL表示装置用基板上に、有機EL材料の溶液を塗布したときの様子を示す平面図である。It is a top view which shows a mode when the solution of organic EL material is apply | coated on the board | substrate for organic EL display apparatuses of FIG. 図1の有機EL表示装置用基板上にある右端電極部における有機EL材料の溶液の付着の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of adhesion of the solution of the organic EL material in the right end electrode part on the board | substrate for organic EL display apparatuses of FIG. 本発明の有機EL表示装置用基板の第二の実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows 2nd embodiment of the board | substrate for organic EL display apparatuses of this invention. 比較例1で作製した有機EL表示装置用基板を示す平面図である。10 is a plan view showing an organic EL display device substrate manufactured in Comparative Example 1. FIG. 比較例1で作製した有機EL表示装置用基板上に、有機EL材料の溶液を塗布したときの様子を示す平面図である。It is a top view which shows a mode when the solution of an organic EL material is apply | coated on the board | substrate for organic EL display apparatuses produced by the comparative example 1. FIG. 比較例1で作製した有機EL表示装置用基板上にある右端電極部における有機EL材料の溶液の付着の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of adhesion of the solution of the organic EL material in the right end electrode part on the board | substrate for organic EL display apparatuses produced in the comparative example 1. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1,2,10 有機EL表示装置用基板
101,111,201 基板
102,112 画素電極
103,113,203 バンク
104,114,204 信号取り出し電極
104a,114a,204b 右端電極部
104b,114b 上端電極部
204a 左端電極部
105,115,205 突出部
106,115 有機EL材料溶液の塗布の軌道
107,116 有機EL材料溶液
202 電極
1, 2, 10 Organic EL display device substrate 101, 111, 201 Substrate 102, 112 Pixel electrode 103, 113, 203 Bank 104, 114, 204 Signal extraction electrode 104a, 114a, 204b Right end electrode portion 104b, 114b Upper end electrode portion 204a Left end electrode portion 105, 115, 205 Projection portion 106, 115 Orbit of application of organic EL material solution 107, 116 Organic EL material solution 202 Electrode

Claims (3)

基板本体と、
該基板本体上に配置される電極と、
該電極と該電極との間に設けられ該画素電極をストライプ状に分割するバンクと、
該電極の端部に設けられている信号取り出し電極部と、から構成され、
該バンクと平行の位置関係にある該信号取り出し電極部に突出部が設けられていることを特徴とする、有機EL表示装置用基板。
A substrate body;
An electrode disposed on the substrate body;
A bank provided between the electrodes and dividing the pixel electrode into stripes;
A signal extraction electrode provided at the end of the electrode, and
A substrate for an organic EL display device, wherein a protrusion is provided on the signal extraction electrode portion in a positional relationship parallel to the bank.
前記突出部が、前記バンクと同一の材料で構成され、前記バンクと共に同一の工程で作製されることを特徴とする、請求項1に記載の有機EL表示装置用基板。   2. The organic EL display device substrate according to claim 1, wherein the protruding portion is made of the same material as the bank and is manufactured in the same process as the bank. 請求項1又は2に記載の有機EL表示装置用基板上に有機EL材料の溶液を塗布する際に、該有機EL材料の溶液の軌道が、前記突出部を設けた前記信号取り出し電極部と重なることを特徴とする、有機EL表示装置用基板の製造方法。   3. When applying the organic EL material solution onto the organic EL display device substrate according to claim 1, the orbit of the organic EL material solution overlaps with the signal extraction electrode portion provided with the protruding portion. A method for producing a substrate for an organic EL display device.
JP2007172215A 2007-06-29 2007-06-29 Organic EL display substrate and method of manufacturing the same Withdrawn JP2009009031A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007172215A JP2009009031A (en) 2007-06-29 2007-06-29 Organic EL display substrate and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007172215A JP2009009031A (en) 2007-06-29 2007-06-29 Organic EL display substrate and method of manufacturing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009009031A true JP2009009031A (en) 2009-01-15

Family

ID=40324141

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007172215A Withdrawn JP2009009031A (en) 2007-06-29 2007-06-29 Organic EL display substrate and method of manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009009031A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011065288A1 (en) * 2009-11-24 2011-06-03 住友化学株式会社 Manufacturing method of light emitting device
JP2014143086A (en) * 2013-01-24 2014-08-07 Dainippon Printing Co Ltd Method for manufacturing organic electroluminescent element

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011065288A1 (en) * 2009-11-24 2011-06-03 住友化学株式会社 Manufacturing method of light emitting device
JP2011113646A (en) * 2009-11-24 2011-06-09 Sumitomo Chemical Co Ltd Method of manufacturing light emitting device
JP2014143086A (en) * 2013-01-24 2014-08-07 Dainippon Printing Co Ltd Method for manufacturing organic electroluminescent element

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8519621B2 (en) Organic light emitting display and method for manufacturing the same
KR101209128B1 (en) Organic el display and method for manufacturing same
KR101537450B1 (en) Light-emitting display backplane, display device and manufacturing method of pixel define layer
KR100858919B1 (en) Display unit and method of manufacturing the display unit
JP4479381B2 (en) Electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device, and electronic apparatus
JP4520708B2 (en) Method and electronic device for encapsulating a plurality of devices fabricated on a substrate
KR100507963B1 (en) Color filter and electro-optical device
KR100553493B1 (en) Method and device for manufacturing an electrooptic device, electrooptic device, electronic equipment
JP3951445B2 (en) Organic EL element, display device, optical device, organic EL element manufacturing method, display device manufacturing method, and optical device manufacturing method
TWI281650B (en) Mask and method for manufacturing the same, method for manufacturing display, method for manufacturing organic electroluminescent display, organic electroluminescent device, and electronic device
JP4069639B2 (en) Manufacturing method of electro-optical device
US20030205845A1 (en) Encapsulation for organic light emitting diodes devices
US20110141717A1 (en) Display apparatus
JP2008147151A (en) Organic light-emitting display device and method for manufacturing the same
WO2004026003A1 (en) Organic el display
TW201029851A (en) Liquid material discharge method, wiring substrate manufacturing method, color filter manufacturing method, and organic EL element manufacturing method
US20050058785A1 (en) Substrate for inkjet printing and method of manufacturing the same
JP4069640B2 (en) Electro-optical device and electronic apparatus
KR102042532B1 (en) Organic light emitting display and method of fabricating the same
KR102502812B1 (en) Manufacturing method of organic EL display
US10153333B1 (en) Method for manufacturing an OLED backplate and method for manufacturing an OLED panel
TW200400477A (en) Electro-optical apparatus, its production method, devices and electronic appliances
JP2008293676A (en) Top emission type organic electroluminescence device and manufacturing method thereof
JP2013020764A (en) Thin film pattern forming method and method for manufacturing organic el display device
JP4520997B2 (en) Organic electroluminescence display panel and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20100907