JP2009007075A - 板状物保管移送装置および板状物保管移送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ＦＤＰ用基板などの板状物をその雰囲気下で扱う清浄な雰囲気の第１の領域に隣接した、該第１の領域よりも清浄度の低い第２の領域を、板状物を収納する密閉容器を保管箇所とし、第１の領域と第２の領域との境部において、高い清浄度の下で、該板状物を前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送することができる、板状物の保管移送システムを提供する。
【解決手段】 板状物を収納する密閉可能で開閉部をその側面側に有する板状物容器と、前記第２の領域に配設され、板状物容器を格納する板状物容器格納部と、前記第２の領域に配設され、該板状物容器を搬送、格納するめに載せる板状物容器載置部と、前記両領域の境部に配設され、板状物を、前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する際に、前記第１の領域の雰囲気の下で、板状物容器の開閉部を開くことができるように準備する容器開閉準備機構部と、第１の領域側に配設され、板状物を板状物容器から出し入れする板状物出し入れ部とを、備えている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、高清浄環境を保つことが必要とされる板状物を保管、移送する装置、方法に関し、該板状物としては、フラットディスプレイパネル用の板状の各種材料、例えば、ガラスやプラスチックや、有機透明材料、金属、レアメタル、シリコンなどの板状物や、それらに処理を施した板状の処理部材の、保管に関するものである。

従来、液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラットディスプレイパネルは、求められる品質レベルが非常に高く、これらのパネル生産ラインでは、常に高清浄環境を保つため、生産ライン全体を高清浄のクリーンルーム内に配設している。
そして、これらフラットディスプレイパネルに供せられる板状の基材や、該基材に処理を施した板状の部材を総称して、ここでは、フラットディスプレイパネル用基板（以下、ＦＤＰ用基板あるいは板状物とも言う）と呼ぶが、ＰＤＰ用基板はカセットなどに収納して段積みしてまとめられ、カセット毎に次の工程に移動するようになっており、工程間の処理待ちＰＤＰ用基板や処理済みＰＤＰ用基板を収納したカセットは、それぞれ、別にパーティションで区切られただけの高清浄の格納部に保管されている。
しかし、生産ラインの他に、パーティションで仕切られた前記荷格納体部エリアを高清浄環境にすると、環境維持が大変であり、設備導入および高清浄環境維持にコストが高くなってしまう。
このような中、特に、液晶表示用フラットディスプレイパネルにおいては、より大型のカラーフィルター形成板状物の製造が要求されており、これに伴い、これを製造するための設備の導入や高清浄環境維持に、費用が高額になってしまい、コスト面で問題となっている。

例えば、実公平２−１５８４３号公報（特許文献１）には、複数種の小物物品を保管する場合などに採用される設備として、多数の小物物品をケースに格納し、必要に応じて該当するケースを移載機と対応する位置に移動させる、回転棚設備が記載されているが、このような設備は、液晶やプラズマディスプレイなどのディスプレイパネル生産ラインにおいても、パネル用の板状の各種材料（例えば、ガラスやプラスチック）や、これらに処理を施した板状物を保管する場合に採用されている。
実公平２−１５８４３号公報

上記のように、従来、フラットディスプレイパネル用基板（ＦＤＰ用基板とも言う）を収納したカセットは、高い清浄度のクリーンルーム内の荷格納体部で保管されており、ＦＤＰ用基板の大型化に伴い、高清浄環境維持のためのコストが一層高くなり、この対応が求められていた。
本発明はこれに対応するもので、ＦＤＰ用基板などの板状物をその雰囲気下で扱う清浄な雰囲気の第１の領域に隣接した、該第１の領域よりも清浄度の低い第２の領域を、板状物を収納する密閉容器を保管箇所とし、第１の領域と第２の領域との境部において、高い清浄度の下で、該板状物を前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送することができる、板状物の保管移送システムを、提供しようとするものである。

本発明の板状物の保管移送システムは、板状物をその雰囲気下で扱う清浄な雰囲気の第１の領域に隣接した該第１の領域よりも清浄度の低い第２の領域を、板状物を収納する密閉容器の保管箇所とし、第１の領域と第２の領域との境部において、該板状物を前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する、板状物の保管移送システムであって、板状物を収納する密閉可能で開閉部をその側面側に有する板状物容器と、前記第２の領域に配設され、板状物容器を格納する板状物容器格納部と、前記第２の領域に配設され、該板状物容器を搬送、格納するめに載せる板状物容器載置部と、前記両領域の境部に配設され、板状物を、前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する際に、前記第１の領域の雰囲気の下で、板状物容器の開閉部を開くことができるように準備する容器開閉準備機構部と、第１の領域側に配設され、板状物を板状物容器から出し入れする板状物出し入れ部とを、備えていることを特徴とするものである。
そして、上記の板状物の保管移送システムであって、前記容器開閉準備機構部は、前記第１の領域と第２の領域との上下方向の境において、境部として両領域の境の一部を仕切り、その上に板状物容器を載せることができ、且つ、上下に昇降できる載置台兼境部と、載置台兼境部で両領域を仕切り、且つ、該載置台兼境部の上に板状物容器を載せた状態で、前記板状物容器の側面側と上面側を覆い、且つ、両領域の境用仕切り部とで前記板状物容器を密閉して囲み、前記板状物容器の容器をなす、板状物容器密閉用外部とを、有するものであることを特徴とするものであり、前記板状物容器密閉用外部は、板状物容器毎に、各々、その外側に一体的に配されているものであることを特徴とするものである。
あるいは、上記の板状物の保管移送システムであって、前記容器開閉準備機構部は、前記第１の領域と第２の領域との水平方向の境において、境部として両領域の境の一部を仕切り、且つ、開閉部を有する開閉部兼境部と、該開閉部兼境部の開閉部を閉じて境部とし、該開閉部兼境部側に板状物容器の開閉部をあわせ、板状物容器内部を第１の領域と第２の領域から仕切った状態で、板状物容器の開閉部の開閉動作を行う容器開閉部とを、有するものであることを特徴とするものである。

また、上記いずれかの板状物の保管移送システムであって、前記第２の領域が、国際規格ＩＳＯ１４６４４−１でのクラス８より清浄度の低い準クリーンルームであることを特徴とするものである。
また、上記いずれか１項に記載の板状物の保管移送システムであって、前記板状物容器は、フォークリフトなどの搬送装置によって搬送することができる機構を有することを特徴とするものである。
例えば、フォークリフトで搬送する場合には、搬送するためにフォーク爪が入る部分を備えており、また、吊り上げて搬送する場合には、吊り上げるための引っかかり部を備えている。
また、上記いずれかの板状物の保管移送システムであって、液晶表示パネル作製用であることを特徴とするものである。

本発明の板状物の保管移送方法は、清浄な雰囲気の第１の領域と、板状物を収納する密閉された板状物容器を保管する保管箇所となる前記第１の領域よりも清浄度の低い第２の領域との境部において、該板状物を、前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する板状物の保管移送方法であって、前記密閉容器の開閉を、前記密閉された板状物容器全体を第１の領域の清浄な雰囲気下に移行して、あるいは、前記密閉容器の開閉部を前記第１の領域側として、該開閉部を開き、第１の領域の清浄な雰囲気下で行うものであることを特徴とするものである。

（作用）
本発明の板状物の保管移送システムは、このような構成にすることにより、ＦＤＰ用基板などの板状物をその雰囲気下で扱う清浄な雰囲気の第１の領域に隣接した、該第１の領域よりも清浄度の低い第２の領域を、板状物を収納する密閉容器を保管箇所とし、第１の領域と第２の領域との境部において、高い清浄度の下で、該板状物を前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送することができる、板状物の保管移送システムの提供を可能としている。
具体的には、板状物を収納する密閉可能で開閉部をその側面側に有する板状物容器と、前記第２の領域に配設され、板状物容器を格納する板状物容器格納部と、前記第２の領域に配設され、該板状物容器を搬送、格納するめに載せる板状物容器載置部と、前記両領域の境部に配設され、板状物を、前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する際に、前記第１の領域の雰囲気の下で、板状物容器の開閉部を開くことができるように準備する容器開閉準備機構部と、第１の領域側に配設され、板状物を板状物容器から出し入れする板状物出し入れ部とを、備えていることにより、これを達成している。
詳しくは、前記第２の領域に配設され、板状物容器を格納する板状物容器格納部と、前記第２の領域に配設され、該板状物容器を搬送、格納するために載せる板状物容器載置部とを、備えていることにより、前記第２の領域においての搬送、保管をできるものとしている。
また、前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する際に、前記第１の領域の雰囲気の下で、板状物容器の開閉部を開くことができるように準備する容器開閉準備機構部を備えていることにより、清浄な雰囲気の第１の領域と、これに隣接した該第１の領域よりも清浄度の低い第２の領域との間で、一方側から他方側に移送する際に、前記第１の領域の雰囲気の下で、板状物容器の開閉部を開くことができ、板状物を高い清浄度の雰囲気下での移送を可能としている。
容器開閉準備機構部としては、第１の領域と第２の領域との上下方向の境において、境部として両領域の境の一部を仕切り、その上に板状物容器を載せることができ、且つ、上下に昇降できる載置台兼境部と、載置台兼境部で両領域を仕切り、且つ、該載置台兼境部の上に板状物容器を載せた状態で、前記板状物容器の側面側と上面側を覆い、且つ、両領域の境用仕切り部とで前記板状物容器を密閉して囲み、前記板状物容器の容器をなす、板状物容器密閉用外部とを、有するものである請求項２の発明の形態や、
第１の領域と第２の領域との水平方向の境において、境部として両領域の境の一部を仕切り、且つ、開閉部を有する開閉部兼境部と、該開閉部兼境部の開閉部を閉じて境部とし、該開閉部兼境部側に板状物容器の開閉部をあわせ、板状物容器内部を第１の領域と第２の領域から仕切った状態で、板状物容器の開閉部の開閉動作を行う容器開閉部とを、有するものである、請求項４の発明の形態が挙げられる。
請求項２の発明の形態の場合、第２の領域から第１の領域への板状物の移行は、例えば、板状物容器密閉用外部を用いて、載置台兼境部の上に板状物容器を載せた状態で、前記板状物容器の側面側と上面側を覆い、且つ、両領域の境用仕切り部とで前記板状物容器を密閉して囲む容器をなした状態で、上下に昇降できる載置台兼境部を下降させて、板状物容器ごと、第１の領域へ移行させて、第１の領域において、容器を開き、板状物出し入れ部（ロボットハンドとも言う）にて取り出して、行う。
第１の領域から第２の領域への移行は、上記と逆の動作にて行う。
第４の発明の形態の場合は、第２の領域から第１の領域への板状物の移行は、例えば、板状物容器自体は第２の領域側に置いた状態で、その開閉部を開閉部兼境部に向けてあわせ、該開閉部兼境部を境部として両領域の境の一部を仕切った状態で、板状物容器の開閉部の開動作を行い、第１の領域の板状物出し入れ部にて板状物の第１の領域への移行を行う。
板状物の第１の領域から第２の領域への移行は、上記と逆の動作にて行う。
請求項２の発明の形態において、板状物容器密閉用外部を、板状物容器毎に、各々、その外側に一体的に配し、これを用いて、第１の領域、第２の領域の両領域間の板状物容器の移行を行う場合は、特に、両領域間の板状物容器の移行を簡単にでき、また、第２の領域の清浄度の影響を受けにくいものとしている。
請求項２の発明の形態のこれとは別の形態としては、板状物容器密閉用外部を共通して用いる形態も挙げられる。

前記第２の領域が、国際規格ＩＳＯ１４６４４−１でのクラス８より清浄度の低い準クリーンルームである、請求項４の発明の形態である場合には、特に、有効である。
また、前記板状物容器としては、フォークリフトなどの搬送装置によって搬送することができる機構を有する形態が、作業性、保管性の面から好ましい。
例えば、フォークリフトで搬送する場合には、搬送するためにフォーク爪が入る部分を備えた形態が、また、吊り上げて搬送する場合には、吊り上げるための引っかかり部を備えた形態が挙げられる。
また、液晶表示パネル作製用である場合には、板状物の大型化が著しく、特に、有効である。
２１６０ｍｍ×２４６０ｍｍサイズの第８世代、２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍサイズの第１０世代といわれる大きさの板状物の保管用として有効である。

本発明の板状物の保管移送方法は、このような構成により、ＦＤＰ用基板などの板状物をその雰囲気下で扱う清浄な雰囲気の第１の領域に隣接した、該第１の領域よりも清浄度の低い第２の領域を、板状物を収納する密閉容器の保管箇所とし、第１の領域と第２の領域との境部において、高い清浄度の下で、該板状物を前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送することができる、板状物の保管移送方法の提供を可能としている。

本発明は、上記のように、ＦＤＰ用基板などの板状物をその雰囲気下で扱う清浄な雰囲気の第１の領域に隣接した、該第１の領域よりも清浄度の低い第２の領域を、板状物を収納する密閉容器の保管箇所とし、第１の領域と第２の領域との境部において、高い清浄度の下で、該板状物を前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送することができる、板状物の保管移送システム、板状物の保管移送方法の提供を可能とした。

本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１（ａ）、図１（ｂ）は、それぞれ、本発明の板状物の保管移送システムの実施の形態の第１の例の１状態の概略図で、図１（ａ）は板状物容器密閉用外部を用いて、板状物容器を第２の領域から密閉した状態を示した図で、図１（ｂ）は載置台兼境部を下降させた状態を示した概略図であり、図２は本発明の板状物の保管移送システムの実施の形態の第２の例の概略図で、図３（ａ）、図３（ｂ）は、板状物容器格納部への板状物容器の格納を説明するための図で、図４（ａ）、図４（ｂ）は、板状物容器の１例を示した図で、図５（ａ）〜図５（ｃ）は、パレットを用いた場合の板状物容器の載置台への搭載と整列を説明するための図である。
尚、図１、図２における点線両矢印、図５における点線矢印は、各部の移動方向を示している。
図１〜図５中、１０は第２の領域、１１は板状物容器格納部、１２は（板状物容器格納部の）搭載部、２０は第１の領域、３０は板状物容器（本体容器とも言う）、３１は容器外周部（容器壁部とも言う）、３２は板状物容器密閉用外部、３５は開閉扉、３７はパレット（搬送用搭載台とも言う）、３８は板状物保持部、４０は板状物容器載置部、４１は載置台、４３は昇降機構部、４５ａ、４５ｂは整列部、５０、５０Ａは容器開閉準備機構部、５１は載置台兼境部、５２は固定部、５３は昇降機構部、５５は容器開閉部、６０は板状物出し入れ部（ロボットハンドとも言う）、７０は境用仕切り部（仕切り壁とも言う）、７１は仕切り部兼用開閉動作部、７２は第１の領域側の開閉箇所、７３は開閉扉、７４は開閉部、７５は天井側仕切り、７６は床側仕切り、８０は板状物である。

はじめに、本発明の板状物の保管移送システムの実施の形態の第１の例を、図１に基づいて説明する。
第１の例の板状物の保管移送システムは、板状物８０をその雰囲気下で扱う清浄な雰囲気の第１の領域に隣接した該第１の領域２０よりも清浄度の低い第２の領域１０を、板状物８０を収納する密閉容器３０の保管箇所とし、第１の領域と第２の領域との境部において、該板状物を前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する、板状物の保管移送システムであって、板状物８０を収納する密閉可能で開閉部をその側面側に有する板状物容器３０と、第２の領域１０に配設され、板状物容器３０を格納する板状物容器格納部１１と、第２の領域１０に配設され、板状物容器３０を搬送、格納するために載せる板状物容器載置部４０と、前記両領域の境部に配設され、板状物８０を、第１の領域１０、第２の領域２０の一方側から他方側に移送する際に、第１の領域１０の雰囲気の下で、板状物容器３０の開閉部を開くことができるように準備する容器開閉準備機構部５０と、第１の領域１０側に配設され、板状物８０を板状物容器３０から出し入れする板状物出し入れ部６０とを、備えている。

第１の例の板状物の保管移送システムは、特に、容器開閉準備機構部５０が、第１の領域１０と第２の領域２０との上下方向（天地方向とも言う）の境において、境部として両領域の境の一部を仕切り、その上に前記板状物容器を載せることができ、且つ、上下に昇降できる載置台兼境部５１と、該載置台兼境部５１で両領域を仕切り、且つ、該載置台兼境部５１の上に板状物容器３０を載せた状態で、前記板状物容器３０の側面側と上面側を覆い、且つ、両領域の境用仕切り部７０とで板状物容器３０を密閉して囲み、板状物容器３０の容器をなす、板状物容器密閉用外部３２とを、有する。
そして、ここでは、板状物容器密閉用外部３２は、板状物容器３０毎に、各々、その容器外周部（容器壁部とも言う）３１の外側に一体的に配されている。
尚、板状物容器密閉用外部３２が板状物容器３０に一体となった状態では、板状物容器密閉用外部３２は、板状物容器３０の容器外周部（容器壁部とも言う）３１の外側に近接して、板状物容器３０の底部を除き、それ以外を覆っており、且つ、上下方向（天地方向）にはずれるようになっている。
例えば、板状物容器密閉用外部３２は、板状物容器３０の上（天）側において、凹凸による嵌合等により固定されている。
また、載置台兼境部５１を下降させる際に、板状物容器密閉用外部３２は、両領域の境用仕切り部７０とで、両領域を仕切る境部となるため、板状物容器密閉用外部３２は固定部５２により固定される。（図１（ａ）参照）

板状物８０としては、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、該カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板が挙げられるが、これらには限定はされない。
板状物容器３０の形態としては、密閉性を保つためのシール機構を有し、図４（ａ）に示すように、板状物８０を水平に保持、あるいは、図４（ｂ）に示すように、撓ませた状態で板状物８０を、板状物保持部３８で保持するが、保管時の板状物８０のズレを防止するには撓ませた方が良い。
ここではパレット３７は、板状物容器３０と一体で、搬送、格納に用いられる。

ここでは、容器格納部１１としては、収納効率を上げるため、複数段保管できるようになっており、搬送、格納するために載せる板状物容器載置部４０と併せて、所望箇所への格納、搬出ができる。

板状物容器載置部４０としては、種々の載置台が用いられ、それ自体に搬送、昇降機構を有しても良いが、他の搬送機構部および昇降機構部を、これと併せて用いることにより、目的の搬送、格納を行っても良い。
板状物容器載置部４０自体の走行としては、ステージ機構のものやコンベア機構のものが用いられる。
例えば、フォークリフトなどで板状物容器を載置台に置き、収納する段数（下図では上段もしくは下段）を指定すれば自動で収納するようにし、また、取り出し時にも、該当する板状物容器を選択すれば自動で取出せるようにする。
尚、第１の例では板状物容器載置部４０を用いて、容器格納部１１への搬送、格納を行っているが、板状物容器載置部４０を用いず、フォークリフトなどの搬送手段を用いて直接容器格納部１１への搬送、格納を行ってもよい。

第１の例においては、載置台兼境部５１（基板の受け渡しを行う５１の方が４０よりも精度を必要と擦るので重要である）および板状物容器載置部４０の載置部４１に搭載された板状物容器３０の位置を補正する制御機構部を備えている。
図５（ａ）に示すように、板状物容器３０とパレット３７とが一体型の場合は、パレット３７ごと、作業対象の板状物容器３０をフォークリフトなどで載置台兼境部５１もしくは板状物容器載置部４０の載置部４１に供給し（図５（ｂ））、板状物容器３０の位置ズレを補正するため、図５（ｃ）に示すように、パレット３７の四方から位置決めピン等を有する整列部４５ａ、４５ｂでパレット３７を押し、位置移動して、板状物容器３０の位置を制御する。
位置の制御を精度良く収めるために、板状物容器３０の底部と載置部４１に嵌合する凹凸をつくる方式や載置部４１に四角形状の土手をつくり、位置制御する方式も挙げられる。

板状物出し入れ部６０としては、汎用のロボットハンドを用いることができるが、これに限定はされない。
例えば、コンベア機構方式で板状物出し入れを行う場合には、収納効率を上げるために、内容器として、汎用のワイヤーカセットを使用する。
但し、ワイヤーカセットを使用する場合には、容器底部にシャッター機構などを設置することとワイヤーの配置をコンベアを回避した位置にすることが必要である。

次に、第１の例の板状物の保管移送システムの特徴部である容器開閉準備機構部５０の動作を、図１に基づいて、以下簡単に説明しておく。
先ず、第２の領域に保管されている板状物容器３０を第１の領域側に移行する動作の１例を説明する。
板状物容器格納部１１に保管されていた、板状物容器密閉用外部３２を板状物容器３０に一体的に配した状態のものをパレット３７を付けた状態で、パレット３７を利用することによりフォークリフト等により取り出し、板状物容器載置部４０の載置部４１に搭載し、搬送して、フォークリフト等により、図１（ａ）に示すように、該板状物容器載置部４０の載置部４１から容器開閉準備機構部５０の載置台兼境部５１の上に載せ、パレット３７の四方から位置決めピン等で整列を行う。
この状態で固定部５２により、板状物容器密閉用外部３２は固定され、板状物容器密閉用外部３２と両領域の境用仕切り部７０とは、板状物容器３０を密閉して囲み、いわば、板状物容器３０の容器をなす。
次いで、板状物容器３０をその上に載せた状態で、載置台兼境部５１を下降させ、、板状物容器３０を第１の領域側に移行し、この状態で、板状物容器３０を開き、ロボットハンド等の板状物出し入れ部６０により、板状物８０の板状物容器３０からの出し入れを行う。（図１（ｂ））
次に、第１の領域の板状物容器３０を第２の領域側に移行する動作の１例を説明する。 容器開閉準備機構部５０の載置台兼境部５１の上に載っている第１の領域の板状物容器３０を閉じ、載置台兼境部５１を上昇させ、板状物容器密閉用外部３２がなくても載置台兼境部５１で両領域を仕切る状態とする。（図（ａ）の状態）
次いで、固定部５２をはずし、板状物容器密閉用外部３２が板状物容器３０と一体として第２の領域内で移動できるようにする。
次いで、フォークリフト等により板状物容器載置部４０の載置部４１に搭載し、搬送して、フォークリフト等により、板状物容器格納部１１に保管する。
このようにして、板状物８０の第１の領域１０と第２の領域２０と間での移行は行われる。

次に、第２の例の板状物の保管移送システムを、図２に基づいて、簡単に説明する。
第２の例の板状物の保管移送システムも、第１の例と同様、板状物８０をその雰囲気下で扱う清浄な雰囲気の第１の領域に隣接した該第１の領域２０よりも清浄度の低い第２の領域１０を、板状物８０を収納する密閉容器３０の保管箇所とし、第１の領域と第２の領域との境部において、該板状物を前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する、板状物の保管移送システムである。
第２の例も、第１の例と同様、第２の領域１０に配設され、板状物容器３０を格納する板状物容器格納部１１と、第２の領域１０に配設され、板状物容器３０を搬送、格納するために載せる板状物容器載置部４０と、第１の領域１０側に配設され、板状物８０を板状物容器３０から出し入れする板状物出し入れ部６０と、板状物を、前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する際に、前記第１の領域の雰囲気の下で、板状物容器の開閉扉（開閉部）３５を開くことができるように準備する容器開閉準備機構部５０Ａを備えている。
しかし、第２の例の容器開閉準備機構部５０Ａは、第１の例の容器開閉準備機構部５０のように、板状物容器３０全体を第１の領域内に移行して板状物容器３０を開閉するためのものではなく、また、第２の例においては、板状物容器３０は、その開閉扉（開閉部とも言う）３５をその側面側に備え、板状物８０を密閉可能に収納できるもので、第１の例のような板状物容器密閉用外部３２を一体的に配したものではない。
第２の例においては、容器本体のみの状態で板状物容器３０を、第２の領域において、搬送、保管等を行う。

第２の例においては、容器開閉準備機構部５０Ａ以外の各部は、第１の例と同様のものが適用でき、それらについては、ここでは、説明を省き、容器開閉準備機構部５０Ａについてのみ、以下簡単に説明する。
第２の例における容器開閉準備機構部５０Ａは、第１の領域２０と第２の領域１０との水平方向の境において、境部として両領域の境の一部を仕切り、且つ、開閉扉７３を有する開閉部兼境部７１と、該開閉部兼境部７１の開閉扉７３を閉じて境部とし、該開閉部兼境部７１側の第１の領域側の開閉箇所７２に、そこが閉じた状態において、板状物容器３０の開閉扉３５側を合わせ、板状物容器３０の内部を第１の領域２０と第２の領域１０とから仕切った状態として、板状物容器３０の開閉扉３５の開閉動作を行う容器開閉部５５とを、有するものである。
開閉部兼境部７１側の開閉扉７３は、板状物容器３０の開閉扉３５側が開閉部兼境部７１側に合わさるまでは、第１の領域側の開閉箇所７２を閉じた状態としておく。
開閉部兼境部７１側の開閉扉７３は、その開閉部７４により、点線両矢印で示すように、上下方向（天地方向）に移動させて、その開閉を行う。
また、容器開閉部５５は、板状物容器３０の開閉扉３５を、点線両矢印で示すように、上下方向（天地方向）に移動させて、その開閉を行う。

台部７８は、載置部７９をその上側に配し、板状物容器３０を載置部７９上に配した状態で、開閉部兼境部７１側の第１の領域側の開閉箇所７２と状物容器３０の開閉扉３５とを合わせるためのもので、図２には明示していないが、ここでは、開閉部兼境部７１の第１の領域側の開閉箇所７２に、そこが閉じた状態において、容器開閉部５５の開閉扉３５が容易に合さるように台部７８上で、載置部７９は開閉箇所方向にスライドして移動できるようになっている。
また、第１の領域側の開閉箇所７２に、合わさった後に板状物容器３０を固定できるようになっている。

次に、第２の例の板状物の保管移送システムの特徴部である容器開閉準備機構部５０Ａの動作を、図２に基づいて、簡単に説明しておく。
先ず、第２の領域に保管されている板状物容器３０について、板状物８０を第１の領域１０側に移行、あるいは第１の領域１０側から板状物容器３０に移行できる状態にする動作の１例を説明する。
板状物容器格納部１１に保管されていた、板状物容器３０をパレット３７を付けた状態で、パレット３７を利用することによりフォークリフト等により取り出し、板状物容器載置部４０の載置部４１に搭載し、搬送して、フォークリフト等により、図２に示すように、該板状物容器載置部４０の載置部４１から容器開閉準備機構部５０Ａの台部７８に配された載置部７９の上に、その開閉扉３５側を開閉部兼境部７１の第１の領域側の開閉箇所７２側にして、載せ、パレット３７の四方から位置決めピン等で整列を行う。
次いで、開閉部兼境部７１の第１の領域側の開閉箇所７２は閉じた状態であり、この状態で、板状物容器３０をスライド移動してその開閉扉３５側を開閉部兼境部７１の第１の領域側の開閉箇所７２側合わせて、固定する。
ここでは、開閉部兼境部７１の開閉扉７３が開閉箇所７２は閉じた状態で、開閉扉７３と開閉扉３５とで、第１の領域と板状物容器内部は仕切られ、また、板状物容器内部と第２の領域も容器の開閉扉側以外の側面や上下面により仕切られている。
次いで、開閉扉３５と開閉扉７３とを開けて、第１の領域１０と板状物容器３０内部との仕切を除き、この状態で、ロボットハンド等の板状物出し入れ部６０により、板状物８０の板状物容器３０からの出し入れを行う。
次に、板状物８０の板状物容器３０からの出し入れを行った後、この状態から、板状物容器３０を第２の領域２０側の板状物容器格納部１１まで移行する動作について説明する。
先ず、開閉扉３５と開閉扉７３とを閉め、第１の領域１０と板状物容器３０内部との仕切る。
次いで、板状物容器３０の固定をはずし、スライド移動して所定の位置まで移動し、フォークリフト等により板状物容器載置部４０の載置部４１に搭載し、搬送して、フォークリフト等により、板状物容器格納部１１に保管する。
このようにして、板状物８０の第１の領域１０と第２の領域２０との間での移行は行われる。

尚、上記第１の例、第２の例は１例で、本発明はこれらに限定されるものではない。
第２の例においては、板状物容器の開閉扉３５、開閉部兼境部７１の開閉扉７３は、いずれも上下方向（天地方向）に扉を開閉するものであるが、これに限定されない。
例えば、水平方向に開閉する方式のものでも良い。
各部についても、同じような機能のものであれば適用できる。

図１（ａ）、図１（ｂ）は、それぞれ、本発明の板状物の保管移送システムの実施の形態の第１の例の１状態の概略図で、図１（ａ）は板状物容器密閉用外部を用いて、板状物容器を第２の領域から密閉した状態を示した図で、図１（ｂ）は載置台兼境部を下降させた状態を示した概略図である。 本発明の板状物の保管移送システムの実施の形態の第２の例の概略図である。 図３（ａ）、図３（ｂ）は、板状物容器格納部への板状物容器の格納を説明するための図である。 図４（ａ）、図４（ｂ）は、板状物容器の１例を示した図である。 図５（ａ）〜図５（ｃ）は、パレットを用いた場合の板状物容器の載置台への搭載と整列を説明するための図である。

符号の説明

１０ 第２の領域
１１ 板状物容器格納部
１２ （板状物容器格納部の）搭載部
２０ 第１の領域
３０ 板状物容器（本体容器とも言う）
３１ 容器外周部（容器壁部とも言う）
３２ 板状物容器密閉用外部
３５ 開閉扉
３７ パレット（搬送用搭載台とも言う）
３８ 板状物保持部
４０ 板状物容器載置部
４１ 載置台
４３ 昇降機構部
４５ａ、４５ｂ 整列部
５０、５０Ａ 容器開閉準備機構部
５１ 載置台兼境部
５２ 固定部
５３ 昇降機構部
５５ 容器開閉部
６０ 板状物出し入れ部（ロボットハンドとも言う）
７０ 境用仕切り部（仕切り壁とも言う）
７１ 仕切り部兼用開閉動作部
７２ 第１の領域側の開閉箇所
７３ 開閉扉
７４ 開閉部
７５ 天井側仕切り
７６ 床側仕切り
８０ 板状物

Claims (8)

1. 板状物をその雰囲気下で扱う清浄な雰囲気の第１の領域に隣接した該第１の領域よりも清浄度の低い第２の領域を、板状物を収納する密閉容器の保管箇所とし、第１の領域と第２の領域との境部において、該板状物を前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する、板状物の保管移送システムであって、板状物を収納する密閉可能で開閉部をその側面側に有する板状物容器と、前記第２の領域に配設され、板状物容器を格納する板状物容器格納部と、前記第２の領域に配設され、該板状物容器を搬送、格納するために載せる板状物容器載置部と、前記両領域の境部に配設され、板状物を、前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する際に、前記第１の領域の雰囲気の下で、板状物容器の開閉部を開くことができるように準備する容器開閉準備機構部と、第１の領域側に配設され、板状物を板状物容器から出し入れする板状物出し入れ部とを、備えていることを特徴とする板状物の保管移送システム。
2. 請求項１に記載の板状物の保管移送システムであって、前記容器開閉準備機構部は、前記第１の領域と第２の領域との上下方向の境において、境部として両領域の境の一部を仕切り、その上に前記板状物容器を載せることができ、且つ、上下に昇降できる載置台兼境部と、該載置台兼境部で両領域を仕切り、且つ、該載置台兼境部の上に前記板状物容器を載せた状態で、前記板状物容器の側面側と上面側を覆い、且つ、両領域の境用仕切り部とで前記板状物容器を密閉して囲み、前記板状物容器の容器をなす、板状物容器密閉用外部とを、有するものであることを特徴とする板状物の保管移送システム。
3. 請求項２に記載の板状物の保管移送システムであって、前記板状物容器密閉用外部は、板状物容器毎に、各々、その外側に一体的に配されていることを特徴とする板状物の保管移送システム。
4. 請求項１に記載の板状物の保管移送システムであって、前記容器開閉準備機構部は、前記第１の領域と第２の領域との水平方向の境において、境部として両領域の境の一部を仕切り、且つ、開閉部を有する開閉部兼境部と、該開閉部兼境部の開閉部を閉じて境部とし、該開閉部兼境部側に板状物容器の開閉部をあわせ、板状物容器内部を第１の領域と第２の領域から仕切った状態で、板状物容器の開閉部の開閉動作を行う容器開閉部とを、有するものであることを特徴とする板状物の保管移送システム。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項に記載の板状物の保管移送システムであって、前記第２の領域が、国際規格ＩＳＯ１４６４４−１でのクラス８より清浄度の低い準クリーンルームであることを特徴とする板状物の保管移送システム。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項に記載の板状物の保管移送システムであって、前記板状物容器は、フォークリフトなどの搬送装置によって搬送することができる機構を有することを特徴とする板状物の保管移送システム。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の板状物の保管移送システムであって、液晶表示パネル作製用であることを特徴とする板状物の保管移送システム。
8. 清浄な雰囲気の第１の領域と、板状物を収納する密閉された板状物容器を保管する保管箇所となる前記第１の領域よりも清浄度の低い第２の領域との境部において、該板状物を、前記第１の領域、前記第２の領域の一方側から他方側に移送する板状物の保管移送方法であって、前記密閉容器の開閉を、前記密閉された板状物容器全体を第１の領域の清浄な雰囲気下に移行して、あるいは、前記密閉容器の開閉部を前記第１の領域側として、該開閉部を開き、第１の領域の清浄な雰囲気下で行うものであることを特徴とする板状物の保管移送方法。

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